JP2002307244A - Method and device for electric discharge machining - Google Patents

Method and device for electric discharge machining

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JP2002307244A
JP2002307244A JP2001111921A JP2001111921A JP2002307244A JP 2002307244 A JP2002307244 A JP 2002307244A JP 2001111921 A JP2001111921 A JP 2001111921A JP 2001111921 A JP2001111921 A JP 2001111921A JP 2002307244 A JP2002307244 A JP 2002307244A
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JP
Japan
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electrode
surface treatment
processing
removal
electric discharge
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Withdrawn
Application number
JP2001111921A
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Japanese (ja)
Inventor
Kimiaki Matsukawa
公映 松川
Akihiro Goto
昭弘 後藤
Toshio Moro
俊夫 毛呂
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To carry out removal machining and surface treatment machining without performing the replacing operation of a power supply and the change operation of an electrode. SOLUTION: This device is provided with a removal machining electrode unit U1-1 provided with a removal machining electrode 5 for performing removal machining to a workpiece, and a removal machining electrode Z-axis driving device 6 for displacing the removal machining electrode 5; a surface treatment machining electrode unit U2-1 provided with a surface treatment machining electrode 7 for performing surface treatment machining to the workpiece 3, and a surface treatment machining electrode Z-axis driving device 8 for displacing the surface treatment machining electrode 7; and an electrode changing means 9 for changing the removal machining electrode unit U1-1 and the surface treatment machining electrode unit U2-1 with each other.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、放電加工方法お
よび装置に関し、特に、除去加工と表面処理加工を共通
の要素を利用して実施する放電加工方法および装置に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electric discharge machining method and apparatus, and more particularly to an electric discharge machining method and apparatus for performing removal processing and surface treatment processing using common elements.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は、特開平9−19829号公報に
記載された従来の放電表面改質方法および装置を示して
いる。この図7において、表面の改質を行うべき被加工
物3は、加工槽1内の加工液2に浸漬された状態で、X
Yテーブル4上に載置されている。XYテーブル4の上
方には、Z軸駆動装置8によって上下方向(Z軸方向)
に駆動される主軸14と、この主軸14に支持された表
面処理用電極7が設けられている。
2. Description of the Related Art FIG. 7 shows a conventional discharge surface modification method and apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-19829. In FIG. 7, a workpiece 3 whose surface is to be modified is immersed in a processing liquid 2 in a processing tank 1.
It is placed on the Y table 4. Above the XY table 4, the Z-axis drive unit 8 moves the up-down direction (Z-axis direction).
And a surface treatment electrode 7 supported by the main shaft 14.

【0003】この表面処理装置においては、放電パルス
供給電源15から出力されたパルス電圧が被加工物3と
電極7間に印加され、これによって、この被加工物3と
電極7間に放電が発生する。そして、電極7は、主軸1
4と共にZ軸駆動装置8によって上下方向にサーボ駆動
される。
In this surface treatment apparatus, a pulse voltage output from a discharge pulse supply power supply 15 is applied between the workpiece 3 and the electrode 7, thereby generating a discharge between the workpiece 3 and the electrode 7. I do. The electrode 7 is connected to the main shaft 1
4 and a Z-axis drive unit 8 is vertically servo-driven.

【0004】加工液2には、タングステンの微粉末が混
入されている。したがって、被加工物3の表面において
は、放電によって母材が溶融されるとともに、加工液2
中のタングステン粉末が混入し、その結果、被加工物3
の表面に改質層としてのタングステン合金層が形成され
る。なお、シリコン、クロムなどの他の粉末を加工液2
に混入して放電加工を行うことにより、金属表面に同様
な改質層を形成して該金属表面の耐摩耗性を向上するこ
とができる。
The working fluid 2 contains a fine powder of tungsten. Therefore, on the surface of the workpiece 3, the base material is melted by the electric discharge, and the working fluid 2 is melted.
The tungsten powder in the mixture is mixed, and as a result, the workpiece 3
A tungsten alloy layer as a modified layer is formed on the surface of the substrate. In addition, other powders such as silicon and chromium
By performing the electric discharge machining by mixing with the metal, a similar modified layer can be formed on the metal surface, and the wear resistance of the metal surface can be improved.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の表面処理装
置では、放電による通常の除去加工を行う場合に、表面
処理用の放電パルス供給電源15を除去加工用放電パル
ス供給電源に取り替えなければならず、また、電極7も
表面処理用のものから除去加工用のものに交換すること
が必要である。しかも、除去加工と表面処理加工(被膜
加工)を組み合わせた総合的な加工を行う場合には、電
源および電極の交換に長時間を要したり、交換操作に人
手を要するなどの問題が発生する。
In the above-mentioned conventional surface treatment apparatus, the discharge pulse supply power supply 15 for surface treatment must be replaced with the discharge pulse supply power supply for removal processing when performing the normal removal processing by electric discharge. In addition, it is necessary to change the electrode 7 from the one for surface treatment to the one for removal processing. In addition, in the case of performing comprehensive processing combining removal processing and surface treatment processing (coating processing), there are problems such as a long time required for replacement of a power supply and an electrode, and labor required for replacement operation. .

【0006】この発明は、このような問題点を解決する
ためになされたものであり、除去加工と被膜形成のため
の表面処理加工を電源の取り替え操作や電極の交換操作
を伴うことなく実施することができる放電加工方法およ
び装置を提供することを目的としている。
The present invention has been made in order to solve such a problem, and performs a removing process and a surface processing process for forming a film without an operation of replacing a power supply or replacing an electrode. It is an object of the present invention to provide an electric discharge machining method and apparatus which can perform the electric discharge machining.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明にかかる放電加工方法は、除去加工用電極
および該電極を変位させる駆動手段を備える除去加工用
電極ユニットと、表面処理加工用電極および該電極を変
位させる駆動手段を備える表面処理加工用電極ユニット
とを有する放電加工装置を使用した放電加工方法であっ
て、前記除去加工用電極ユニットの除去加工用電極によ
って液中に配置された被加工物に除去加工を施す除去加
工ステップと、前記除去加工用電極ユニットに代えて前
記表面処理加工用電極ユニットを加工位置に位置させる
電極交換ステップと、前記除去加工用電極ユニットの表
面処理加工用電極によって前記被加工物に表面処理加工
を施す表面処理加工ステップと、を含むことを特徴とす
る。
In order to achieve the above object, an electric discharge machining method according to the present invention comprises: an electrode unit for removing machining comprising an electrode for removing machining and a driving means for displacing the electrode; An electro-discharge machining method using an electro-discharge machining apparatus having an electrode and a surface treatment electrode unit having a driving means for displacing the electrode, wherein the electrode is disposed in a liquid by the removal electrode of the removal electrode unit. A removing step of removing the processed workpiece, an electrode replacing step of positioning the electrode unit for surface processing in a processing position in place of the electrode unit for removing processing, and a surface treatment of the electrode unit for removing processing. A surface treatment step of subjecting the workpiece to surface treatment with a machining electrode.

【0008】この発明によれば、除去加工用電極および
該電極を変位させる駆動手段を備える除去加工用電極ユ
ニットと、表面処理加工用電極および該電極を変位させ
る駆動手段を備える表面処理加工用電極ユニットとを有
する放電加工装置を使用した放電加工方法であって、上
記除去加工用電極ユニットの除去加工用電極によって液
中に配置された被加工物に除去加工を施す除去加工ステ
ップと、除去加工用電極ユニットに代えて表面処理加工
用電極ユニットを加工位置に位置させる電極交換ステッ
プと、除去加工用電極ユニットの表面処理加工用電極に
よって被加工物に表面処理加工を施す表面処理加工ステ
ップと、を含んでいるので、除去加工用電極ユニットの
除去加工用電極によって被加工物を行った後、除去加工
用電極ユニットが表面処理加工用電極ユニットに交換さ
れ、ついで、表面処理加工用電極ユニットの表面処理加
工用電極によって被加工物に表面処理加工が施される。
According to the present invention, an electrode unit for removal processing comprising an electrode for removal processing and a drive means for displacing the electrode, an electrode for surface treatment and an electrode for surface treatment comprising a drive means for displacing the electrode An electrical discharge machining method using an electrical discharge machining apparatus having a unit, comprising: a removal machining step of performing a removal machining on a workpiece disposed in a liquid by a removal machining electrode of the removal machining electrode unit; An electrode replacement step of positioning the electrode unit for surface processing in place of the electrode unit for processing, and a surface processing step of performing surface processing on the workpiece by the electrode for surface processing of the electrode unit for removal processing, After performing the workpiece with the removing electrode of the removing electrode unit, the removing electrode unit It is replaced with a surface treatment tool electrode unit, and then, surface treatment is performed on the workpiece by the surface treatment electrode of surface treatment electrode unit.

【0009】つぎの発明にかかる放電加工方法は、上記
の発明において、前記除去加工用電極および前記表面処
理加工用電極として単純形状の電極を使用することを特
徴とする。
[0009] The electric discharge machining method according to the next invention is characterized in that, in the above invention, a simple shape electrode is used as the removal machining electrode and the surface treatment machining electrode.

【0010】この発明によれば、上記除去加工用電極お
よび表面処理加工用電極として単純形状の電極を使用す
るので、これらの電極の製造が容易となる。
According to the present invention, since the electrodes having a simple shape are used as the electrode for the removal processing and the electrode for the surface treatment, the production of these electrodes becomes easy.

【0011】つぎの発明にかかる放電加工方法は、上記
の発明において、前記除去加工用電極および前記表面処
理加工用電極として所定の間隔で配列する単純形状の複
数の電極を使用することを特徴とする。
The electric discharge machining method according to the next invention is characterized in that, in the above invention, a plurality of electrodes having a simple shape arranged at predetermined intervals are used as the removal machining electrode and the surface treatment machining electrode. I do.

【0012】この発明によれば、上記除去加工用電極お
よび表面処理加工用電極として所定の間隔で配列する単
純形状の複数の電極を使用するので、除去加工および表
面処理加工がそれぞれ複数の電極によって実施される。
According to the present invention, since a plurality of electrodes having a simple shape arranged at predetermined intervals are used as the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment, the removal processing and the surface treatment are each performed by a plurality of electrodes. Will be implemented.

【0013】つぎの発明にかかる放電加工方法は、上記
の発明において、前記除去加工用電極および前記表面処
理加工用電極として前記被加工物の最終加工形状に対応
する形状を有する電極を使用することを特徴とする。
[0013] In the electric discharge machining method according to the next invention, in the above invention, an electrode having a shape corresponding to a final machining shape of the workpiece is used as the removal machining electrode and the surface treatment machining electrode. It is characterized by.

【0014】この発明によれば、上記除去加工用電極お
よび表面処理加工用電極として被加工物の最終加工形状
に対応する形状を有する電極を使用するので、被加工物
の位置変位が不要になる。
According to the present invention, an electrode having a shape corresponding to the final processing shape of the workpiece is used as the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment processing, so that positional displacement of the workpiece is not required. .

【0015】つぎの発明にかかる放電加工装置は、被加
工物に除去加工を施す除去加工用電極および該電極を変
位させる駆動手段を備える除去加工用電極ユニットと、
被加工物に表面処理加工を施す表面処理加工用電極およ
び該電極を変位させる駆動手段を備える表面処理加工用
電極ユニットと、記除去加工用電極ユニットと前記表面
処理加工用電極ユニットとを相互に交換する電極交換手
段と、を備えることを特徴とする。
[0015] An electric discharge machining apparatus according to the next invention comprises a removal machining electrode unit including a removal machining electrode for removing a workpiece and a driving means for displacing the electrode.
An electrode unit for surface treatment, which includes a surface treatment electrode for subjecting a workpiece to surface treatment and a drive unit for displacing the electrode, and the electrode unit for removal processing and the electrode unit for surface treatment, And electrode replacement means for replacement.

【0016】この発明によれば、被加工物に除去加工を
施す除去加工用電極および該電極を変位させる駆動手段
を備える除去加工用電極ユニットと、被加工物に表面処
理加工を施す表面処理加工用電極および該電極を変位さ
せる駆動手段を備える表面処理加工用電極ユニットと、
除去加工用電極ユニットと表面処理加工用電極ユニット
相互を交換する電極交換手段と、を備えるので、除去加
工用電極ユニットによって被加工物に除去加工を施こし
た後、電極交換手段で除去加工用電極ユニットと表面処
理加工用電極ユニット相互を交換すれば、被加工物を取
出すことなく表面処理加工を被加工物に施すことが可能
になる。
According to the present invention, a removing electrode unit including a removing electrode for removing a workpiece and a driving means for displacing the electrode, and a surface processing for performing a surface treatment on the workpiece. An electrode unit for surface treatment processing comprising an electrode for use and a driving means for displacing the electrode,
Since the electrode unit for removal processing and the electrode replacement means for exchanging the electrode unit for surface treatment processing are provided with each other, after the removal processing is performed on the workpiece by the electrode unit for removal processing, the electrode replacement means is used. By exchanging the electrode unit and the electrode unit for surface treatment, the surface treatment can be performed on the workpiece without removing the workpiece.

【0017】つぎの発明にかかる放電加工装置は、上記
の発明において、前記除去加工用電極および前記表面処
理加工用電極が単純形状を有することを特徴とする。
The electric discharge machining apparatus according to the next invention is characterized in that, in the above invention, the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment have a simple shape.

【0018】この発明によれば、上記除去加工用電極お
よび表面処理加工用電極が単純形状を有するので、これ
らの電極の製造が容易となる。
According to the present invention, since the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment have a simple shape, production of these electrodes becomes easy.

【0019】つぎの発明にかかる放電加工装置は、上記
の発明において、前記除去加工用電極および前記表面処
理加工用電極が前記被加工物の最終加工形状に対応する
形状を有することを特徴とする。
The electric discharge machining apparatus according to the next invention is characterized in that, in the above invention, the removal machining electrode and the surface treatment machining electrode have shapes corresponding to the final machining shape of the workpiece. .

【0020】この発明によれば、上記除去加工用電極お
よび表面処理加工用電極が被加工物の最終加工形状に対
応する形状を有するので、被加工物の位置変位が不要に
なる。
According to the present invention, since the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment have a shape corresponding to the final processing shape of the workpiece, the positional displacement of the workpiece becomes unnecessary.

【0021】つぎの発明にかかる放電加工装置は、上記
の発明において、前記除去加工用電極ユニットと前記表
面処理加工用電極ユニットの一方または双方の配設数が
複数であることを特徴とする。
[0021] The electric discharge machining apparatus according to the next invention is characterized in that, in the above invention, the number of one or both of the electrode unit for removal processing and the electrode unit for surface treatment is plural.

【0022】この発明によれば、上記除去加工用電極ユ
ニットと表面処理加工用電極ユニットの一方または双方
の配設数が複数であるので、除去加工と表面処理加工の
一方または双方が対応する複数の電極ユニットによって
実施される。
According to the present invention, since the number of one or both of the electrode unit for removal processing and the electrode unit for surface treatment processing is plural, a plurality of ones or both of the removal processing and the surface treatment processing correspond. Of the electrode unit.

【0023】つぎの発明にかかる放電加工装置は、上記
の発明において、前記除去加工用電極ユニットにおける
除去加工用電極と前記表面処理加工用電極ユニットにお
ける表面処理加工用電極との一方または双方の配設数が
複数であることを特徴とする。
The electric discharge machining apparatus according to the next invention is the electric discharge machining apparatus according to the above invention, wherein one or both of the removal electrode in the removal electrode unit and the surface treatment electrode in the surface treatment electrode unit are arranged. It is characterized in that the number is plural.

【0024】この発明によれば、上記除去加工用電極ユ
ニットにおける除去加工用電極と上記表面処理加工用電
極ユニットにおける表面処理加工用電極の一方または双
方の配設数が複数であるので、除去加工と表面処理加工
の一方または双方が対応する電極ユニットに配設された
複数の電極によって実施される。
According to the present invention, since the number of one or both of the electrode for removal processing in the electrode unit for removal processing and the electrode for surface treatment in the electrode unit for surface treatment is plural, the removal processing One or both of the surface treatment and the surface treatment are performed by a plurality of electrodes provided in the corresponding electrode unit.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照して、この
発明にかかる放電加工方法および放電加工装置の好適な
実施の形態を詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of an electric discharge machining method and an electric discharge machine according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0026】実施の形態1.図1は、この発明に係る放
電加工方法を実施するための放電加工装置の第1の実施
形態を示す概略構成図である。なお、この図1において
は、図7に示す要素と共通する要素に同一の符号を付し
てある。
Embodiment 1 FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of an electric discharge machining apparatus for performing an electric discharge machining method according to the present invention. In FIG. 1, the same reference numerals are given to the elements common to the elements shown in FIG.

【0027】図1において、加工槽1には、タングステ
ン、シリコン、クロムなどの微粉末が混入された加工液
2が貯留されている。被加工物3は、加工液2中に浸漬
された状態で加工槽1内のXYテーブル4に載置されて
いる。除去加工用電極5は、この除去加工用電極5を垂
直方向(Z軸方向)に移動させるための除去加工用電極
用Z軸駆動装置6に支持され、また、表面処理加工用電
極7は、この表面処理加工用電極7を垂直方向に移動さ
せるための表面処理加工用電極用Z軸駆動装置8に支持
されている。
In FIG. 1, a processing tank 1 stores a processing liquid 2 mixed with a fine powder of tungsten, silicon, chromium, or the like. The workpiece 3 is placed on the XY table 4 in the processing tank 1 while being immersed in the processing liquid 2. The removing electrode 5 is supported by a removing electrode Z-axis driving device 6 for moving the removing electrode 5 in the vertical direction (Z-axis direction). The surface treatment electrode 7 is supported by a surface treatment electrode Z-axis drive device 8 for moving the electrode 7 in the vertical direction.

【0028】除去加工用電極5および除去加工用電極用
Z軸駆動装置6は、除去加工用電極ユニットU1−1を
構成し、表面処理加工用電極7および表面処理加工用電
極用Z軸駆動装置8は、表面処理加工用電極ユニットU
2−1を構成している。電極交換手段9は、除去加工用
電極ユニットU1−1と表面処理加工用電極ユニットU
2−1を交換するために設けたものである。また、除去
加工用放電パルス供給電源10は、前記除去加工用電極
5に電源を供給するものである。
The removal processing electrode 5 and the removal processing electrode Z-axis driving device 6 constitute a removal processing electrode unit U1-1, and include a surface processing processing electrode 7 and a surface processing electrode Z-axis driving device. 8 is a surface treatment electrode unit U
2-1. The electrode replacing means 9 includes an electrode unit U1-1 for removal processing and an electrode unit U for surface treatment.
It is provided to replace 2-1. The power source 10 for supplying a discharge pulse for removal processing supplies power to the electrode 5 for removal processing.

【0029】以下、この放電表面処理装置の動作につい
て説明する。被加工物3と除去加工用電極5との間に
は、除去加工用放電パルス供給電源10から出力された
パルス電圧が印加され、これによって、両者間に放電が
発生する。
Hereinafter, the operation of this discharge surface treatment apparatus will be described. Between the workpiece 3 and the electrode 5 for removal processing, a pulse voltage output from a discharge pulse supply power supply 10 for removal processing is applied, whereby a discharge is generated between the two.

【0030】被加工物3は、XYテーブル4によりXY
方向に変位される。一方、除去加工用電極5は、除去加
工用電極用Z軸駆動装置による上下方向サーボ駆動によ
って、被加工物3とのなす隙間が一定に保たれ、その結
果、被加工物3に対する除去加工が進行する。
The workpiece 3 is stored in an XY table 4
Displaced in the direction. On the other hand, the clearance between the removal processing electrode 5 and the workpiece 3 is kept constant by the vertical servo drive by the removal processing electrode Z-axis drive device. As a result, the removal processing on the workpiece 3 is performed. proceed.

【0031】除去加工が終了すると、電極交換手段9に
よって除去加工用電極ユニットU1−1が加工位置から
所定の待機位置まで移動されるとともに、表面処理加工
用電極ユニットU2−1が加工位置まで移動される。す
なわち、電極交換手段9によって除去加工用電極ユニッ
トU1−1と表面処理加工用電極ユニットU2−1が交
換される。
When the removal processing is finished, the electrode unit U1-1 for removal processing is moved from the processing position to a predetermined standby position by the electrode replacing means 9, and the electrode unit U2-1 for surface treatment is moved to the processing position. Is done. That is, the electrode unit U1-1 for removal processing and the electrode unit U2-1 for surface treatment are exchanged by the electrode exchange means 9.

【0032】加工位置に位置された表面処理加工用電極
ユニットU2−1の表面処理加工用電極7は、表面処理
加工用電極用Z軸駆動装置8のサーボ駆動によって被加
工物3とのなす隙間が一定に保たれる。表面処理加工用
電極7と被加工物3間には、図示していない表面処理加
工用放電パルス供給電源から出力されるパルス電圧が印
加され、その結果、被加工物3に表面処理加工が施され
る。
The surface processing electrode 7 of the surface processing electrode unit U2-1 located at the processing position has a gap formed with the workpiece 3 by the servo drive of the surface processing electrode Z-axis driving device 8. Is kept constant. A pulse voltage output from a surface treatment machining discharge pulse power supply (not shown) is applied between the surface treatment machining electrode 7 and the workpiece 3, and as a result, the workpiece 3 is subjected to the surface treatment. Is done.

【0033】なお、除去加工用放電パルス供給電源10
の出力パルスと、表面処理加工用放電パルス供給電源の
出力パルスは極性が互いに逆であり、また、電圧値も互
いに相違する。
It should be noted that the discharge pulse supply power supply 10 for removal machining
The output pulse and the output pulse of the surface treatment machining discharge pulse supply power supply have opposite polarities, and have different voltage values.

【0034】上記実施の形態1に係る放電加工装置によ
れば、被加工物3を取り外すことなく、除去加工と表面
処理加工を連続して行うことができる。
According to the electric discharge machining apparatus of the first embodiment, the removal processing and the surface treatment can be performed continuously without removing the workpiece 3.

【0035】ところで、この放電加工装置では、除去加
工用電極5と表面処理加工用電極7として、共に被加工
物3の最終加工形状に合致する形状を有したものを用い
ている。
By the way, in this electric discharge machining apparatus, both the removal machining electrode 5 and the surface treatment machining electrode 7 have shapes that match the final machining shape of the workpiece 3.

【0036】このような形状の電極5,7を用いた場
合、除去加工時には、除去加工用電極用Z軸駆動装置6
による上下方向サーボ駆動のみによって、また、表面処
理加工時には、表面処理加工用電極用Z軸駆動装置8に
よる上下方向サーボ駆動のみによって被加工物3に加工
を施すことができる。つまり、除去加工用電極5および
表面処理加工用電極7をXY方向に移動させることなく
加工することができる。
When the electrodes 5 and 7 having such a shape are used, at the time of the removal processing, the Z-axis driving device 6 for the removal processing electrode is used.
The workpiece 3 can be processed only by the vertical servo drive by the vertical servo drive by the above, and only by the vertical servo drive by the surface processing electrode Z-axis driving device 8 during the surface processing. That is, it is possible to process the removal processing electrode 5 and the surface treatment processing electrode 7 without moving them in the XY directions.

【0037】上記実施の形態1に係る放電加工装置を用
いた放電加工方法では、除去加工用電極5によって被加
工物3に除去加工を施した後、加工液2中から被加工物
3を取り出すことなく、連続して表面処理加工用電極7
による表面処理加工が実行される。
In the electric discharge machining method using the electric discharge machining apparatus according to the first embodiment, after the workpiece 3 is removed by the removal electrode 5, the workpiece 3 is taken out of the machining fluid 2. Without surface treatment electrode 7
Is performed.

【0038】この方法によれば、除去加工を終了した被
加工物3が空気に触れることなく表面処理される。この
ため、表面処理によって形成された被膜と被加工物3の
表面との界面における酸化層の形成が防止されて、被膜
の剥離がより一層起こり難くなる。すなわち、表面処理
加工によって形成される被膜の強度が強固なものにな
る。また、被加工物3のセッティング位置がずれないた
め、除去加工部位と被膜形成部位とのずれがなくなると
いうメリットも得られる。
According to this method, the workpiece 3 which has been subjected to the removal processing is subjected to surface treatment without contact with air. For this reason, the formation of an oxide layer at the interface between the film formed by the surface treatment and the surface of the workpiece 3 is prevented, and peeling of the film is more unlikely to occur. That is, the strength of the film formed by the surface treatment becomes strong. In addition, since the setting position of the workpiece 3 does not shift, there is also obtained an advantage that there is no shift between the removed portion and the film formation portion.

【0039】実施の形態2.実施の形態2に係る放電加
工装置は、図2に示すように、単純形状除去加工用電極
11を備えた除去加工用電極ユニットU1−2および単
純形状表面処理加工用電極12を備えた表面処理加工用
電極ユニットU2−2を備えている。
Embodiment 2 As shown in FIG. 2, the electric discharge machining apparatus according to the second embodiment has a removal electrode unit U1-2 provided with a simple shape removal electrode 11 and a surface treatment provided with a simple shape surface treatment electrode 12. A processing electrode unit U2-2 is provided.

【0040】図3(a)および(b)に示すように、単
純形状電極11,12は、例えば、円柱形状や直方体形
状を有する。
As shown in FIGS. 3A and 3B, the simple electrodes 11 and 12 have, for example, a cylindrical shape or a rectangular parallelepiped shape.

【0041】上記単純形状電極11,12は、短時間で
加工することができ、かつ、その加工コストが低い。し
たがって、この実施の形態2に係る放電加工装置によれ
ば、電極の加工前工程が簡略化されるとともに、コスト
の低減を図ることができる。
The simple shaped electrodes 11 and 12 can be processed in a short time and the processing cost is low. Therefore, according to the electric discharge machining apparatus of the second embodiment, the pre-electrode machining process can be simplified and the cost can be reduced.

【0042】なお、この実施の形態2に係る放電加工装
置を用いる放電加工方法でも、前述した実施の形態1に
係る放電加工装置を用いる放電加工方法に準じた手順で
除去加工および表面処理加工が実施される。すなわち、
除去加工の後、被加工物3を取り外すことなく表面処理
加工を連続的に実施する。
In the electric discharge machining method using the electric discharge machining apparatus according to the second embodiment, the removal machining and the surface treatment machining are performed in the same procedure as the electric discharge machining method using the electric discharge machining apparatus according to the first embodiment. Will be implemented. That is,
After the removal processing, the surface treatment processing is continuously performed without removing the workpiece 3.

【0043】実施の形態3.この実施の形態3に係る放
電加工装置は、図4に示すように、除去加工用電極ユニ
ットU1−2が2個設けられている点で図2に示す放電
加工装置と構成が異なる。
Embodiment 3 The electric discharge machining apparatus according to the third embodiment differs from the electric discharge machining apparatus shown in FIG. 2 in that two removal machining electrode units U1-2 are provided as shown in FIG.

【0044】この実施の形態3に係る放電加工装置によ
れば、除去加工を2箇所で同時に実行することができる
ので、この除去加工が高速化するというメリットが得ら
れる。
According to the electric discharge machining apparatus of the third embodiment, since the removal processing can be performed simultaneously at two places, there is an advantage that the removal processing is speeded up.

【0045】なお、上記一対の除去加工用電極ユニット
U1−2は、表面処理加工用電極ユニットU2−2との
交換時に電極交換手段9によって同時に待機位置まで移
動される。
The pair of removal processing electrode units U1-2 are simultaneously moved to the standby position by the electrode replacement means 9 when replacing with the surface treatment processing electrode unit U2-2.

【0046】この実施の形態3では、2個の除去加工用
電極ユニットU1−2を設けているが、この除去加工用
電極ユニットU1−2を2個よりも多い数設けてもよ
い。また、表面処理加工用電極ユニットU2−2を2個
以上設けて、表面処理加工の高速化を図ることも可能で
あり、さらに、除去加工用電極ユニットU1−2と表面
処理加工用電極ユニットU2−2の双方を2個以上設け
ることも可能である。
In the third embodiment, two removal processing electrode units U1-2 are provided. However, more than two removal processing electrode units U1-2 may be provided. It is also possible to increase the speed of the surface treatment by providing two or more electrode units U2-2 for the surface treatment, and to further remove the electrode unit U1-2 for the removal treatment and the electrode unit U2 for the surface treatment. It is also possible to provide two or more of both -2.

【0047】もちろん、この実施の形態3に係る放電加
工装置を用いる放電加工方法においても、前述した実施
の形態1に係る放電加工装置を用いる放電加工方法に準
じた手順で除去加工および表面処理加工が実施される。
すなわち、除去加工の後、被加工物3を取り外すことな
く表面処理加工を連続的に実施する。
Of course, also in the electric discharge machining method using the electric discharge machining apparatus according to the third embodiment, the removal machining and the surface treatment machining are performed in the same procedure as the electric discharge machining method using the electric discharge machining apparatus according to the first embodiment. Is performed.
That is, after the removal processing, the surface treatment processing is continuously performed without removing the workpiece 3.

【0048】実施の形態4.この実施の形態4に係る放
電加工装置は、図5に示すように、単純形状除去加工用
電極13を複数本備えた除去加工用電極ユニットU1−
3を使用している点で図2に示す放電加工装置と構成が
異なる。
Embodiment 4 As shown in FIG. 5, the electrical discharge machining apparatus according to the fourth embodiment includes a removal electrode unit U1- having a plurality of simple shape removal electrodes 13.
3 is different from the electric discharge machine shown in FIG.

【0049】図6(a)および図6(a)のA矢視図で
ある図6(b)に示すように、上記単純形状除去加工用
電極13は、例えば、円周に沿って等角度間隔で6本配
設される。
As shown in FIG. 6 (a) and FIG. 6 (b), which is a view taken in the direction of arrow A in FIG. 6 (a), the simple shape removing electrode 13 is, for example, equiangular along the circumference. Six are arranged at intervals.

【0050】この実施の形態4に係る放電加工装置によ
れば、図4に示した放電加工装置と同様に、除去加工を
2箇所で同時に実行することができるので、この除去加
工が高速化するというメリットが得られる。
According to the electric discharge machining apparatus of the fourth embodiment, as in the electric discharge machining apparatus shown in FIG. 4, the removal machining can be performed simultaneously at two places, so that the speed of the removal machining is increased. The advantage is obtained.

【0051】なお、この実施の形態4では、単純形状除
去加工用電極13が円柱形状をなしているが、この単純
形状除去加工用電極13として直方体形状のものを用い
てもよい。また、表面処理加工用電極ユニットU2−2
に代えて除去加工用電極ユニットU1−3に準じた電極
配列構成の表面処理加工用電極ユニットを採用すること
も可能であり、更に、表面処理加工用電極ユニットのみ
上記の電極配列構成のものを採用するようにしてもよ
い。
In the fourth embodiment, the simple shape removing electrode 13 has a columnar shape. However, the simple shape removing electrode 13 may have a rectangular parallelepiped shape. Further, the electrode unit for surface treatment U2-2
It is also possible to employ a surface treatment electrode unit having an electrode arrangement configuration according to the removal processing electrode unit U1-3 in place of the above. Further, only the surface treatment electrode unit having the above electrode arrangement configuration is used. You may make it employ | adopt.

【0052】この実施の形態4に係る放電加工装置を用
いる放電加工方法においても、前述した実施の形態1に
係る放電加工装置を用いる放電加工方法に準じた手順で
除去加工および表面処理加工が実施される。すなわち、
除去加工の後、被加工物3を取り外すことなく表面処理
加工を連続的に実施する。
In the electric discharge machining method using the electric discharge machining apparatus according to the fourth embodiment, the removal machining and the surface treatment machining are performed in the same procedure as the electric discharge machining method using the electric discharge machining apparatus according to the first embodiment. Is done. That is,
After the removal processing, the surface treatment processing is continuously performed without removing the workpiece 3.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る放
電加工方法によれば、除去加工用電極ユニットの除去加
工用電極によって被加工物を行った後、除去加工用電極
ユニットが表面処理用電極ユニットに交換され、つい
で、表面処理用電極ユニットの表面処理加工用電極によ
って被加工物に表面処理加工が施こされる。つまり、除
去加工後、加工液中から被加工物を取り出すことなく、
連続して表面処理加工が実行される。その結果、除去加
工を終了した被加工物が空気に触れることなく表面処理
されるので、表面処理によって形成された被膜と被加工
物の表面との界面における酸化層の形成が防止されて、
表面処理加工によって形成される被膜の強度が一層強固
なものになる。また、被加工物のセッティング位置がず
れないため、除去加工部位と被膜形成部位とのずれがな
くなるというメリットも得られる。
As described above, according to the electric discharge machining method of the present invention, after the workpiece is processed by the removing electrode of the removing electrode unit, the removing electrode unit is used for surface treatment. The electrode is replaced with an electrode unit, and then the workpiece is subjected to surface treatment by the electrode for surface treatment of the electrode unit for surface treatment. In other words, after removal processing, without taking out the workpiece from the working fluid,
The surface treatment is continuously performed. As a result, the workpiece after the removal processing is surface-treated without contacting air, so that the formation of an oxide layer at the interface between the film formed by the surface treatment and the surface of the workpiece is prevented,
The strength of the coating formed by the surface treatment is further enhanced. In addition, since the setting position of the workpiece does not shift, there is an advantage that there is no shift between the removed portion and the film formation portion.

【0054】つぎの発明によれば、上記除去加工用電極
および表面処理加工用電極として単純形状の電極を使用
するので、除去加工および表面処理加工の電極を迅速、
簡単に製造することができる。
According to the next invention, a simple-shaped electrode is used as the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment processing.
It can be easily manufactured.

【0055】つぎの発明によれば、上記除去加工用電極
および表面処理加工用電極として所定の間隔で配列する
単純形状の複数の電極を使用するので、除去加工および
表面処理加工がそれぞれ複数の電極によって実施され、
その結果、加工時間の短縮化が可能になる。
According to the next invention, since a plurality of electrodes having a simple shape arranged at a predetermined interval are used as the electrode for removing processing and the electrode for surface processing, the removing processing and the surface processing are performed by a plurality of electrodes respectively. Implemented by
As a result, the processing time can be reduced.

【0056】つぎの発明によれば、上記除去加工用電極
および表面処理加工用電極として被加工物の最終加工形
状に対応する形状を有する電極を使用するので、被加工
物の位置変位が不要になり、その結果、加工時間の一層
の短縮化が可能になる。
According to the next invention, an electrode having a shape corresponding to the final processed shape of the workpiece is used as the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment processing, so that positional displacement of the workpiece is unnecessary. As a result, the processing time can be further reduced.

【0057】つぎの発明に係る放電加工装置によれば、
被加工物に除去加工を施こした後、加工液中から被加工
物を取り出すことなく表面処理加工を被加工物に施すこ
と可能になるので、加工処理の迅速化をはかれ、かつ、
除去加工と表面処理加工を共通の要素を利用して実施し
得るので、除去加工装置と表面処理加工装置を個別に設
ける場合に比して、設備コストの低減化および設置面積
の縮小化を図ることができる。
According to the electric discharge machining apparatus of the next invention,
After performing the removal processing on the workpiece, it becomes possible to perform the surface treatment processing on the workpiece without taking out the workpiece from the working fluid, so that the processing is speeded up, and
Since the removal processing and the surface treatment processing can be performed using a common element, the facility cost and the installation area are reduced as compared with the case where the removal processing apparatus and the surface treatment processing apparatus are separately provided. be able to.

【0058】つぎの発明によれば、上記除去加工用電極
および表面処理加工用電極が単純形状を有するので、こ
れらの電極の製造が容易となる。
According to the next invention, since the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment processing have a simple shape, the production of these electrodes becomes easy.

【0059】つぎの発明によれば、上記除去加工用電極
および表面処理加工用電極が被加工物の最終加工形状に
対応する形状を有するので、被加工物の位置変位が不要
となって、加工時間が短縮される。
According to the next invention, since the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment have a shape corresponding to the final processing shape of the workpiece, there is no need to displace the position of the workpiece. Time is reduced.

【0060】つぎの発明によれば、除去加工と表面処理
加工の一方または双方が対応する複数の電極ユニットに
よって実施されるので、加工時間の更なる短縮が可能に
なる。
According to the next invention, one or both of the removal processing and the surface treatment processing are performed by the corresponding electrode units, so that the processing time can be further reduced.

【0061】つぎの発明によれば、除去加工と表面処理
加工の一方または双方が対応する電極ユニットに配設さ
れた複数の電極によって実施されるので、加工時間の更
なる短縮が可能になる。
According to the next invention, since one or both of the removal processing and the surface treatment processing are performed by the plurality of electrodes provided in the corresponding electrode unit, the processing time can be further reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明に係る放電加工装置の第1の実施の
形態を示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of an electric discharge machine according to the present invention.

【図2】 この発明に係る放電加工装置の第2の実施の
形態を示す概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a second embodiment of the electric discharge machining apparatus according to the present invention.

【図3】 単純形状電極の一例を示す図である。(a)
は、円柱形状電極を示し、(b)は直方体状電極を示
す。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a simple shape electrode. (A)
Shows a cylindrical electrode, and (b) shows a rectangular parallelepiped electrode.

【図4】 この発明に係る放電加工装置の第3の実施の
形態を示す概略構成図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a third embodiment of the electric discharge machine according to the present invention.

【図5】 この発明に係る放電加工装置の第4の実施の
形態を示す概略構成図である。
FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a fourth embodiment of the electric discharge machine according to the present invention.

【図6】 第4の実施の形態に係る放電加工装置に適用
される電極の配列構成を示す該略図である。(a)は側
面図であり、(b)は(a)のA矢視図である。
FIG. 6 is a schematic view showing an arrangement of electrodes applied to an electric discharge machine according to a fourth embodiment. (A) is a side view, (b) is an A view of (a).

【図7】 従来の表面改質装置を示す概略構成図であ
る。
FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing a conventional surface modification device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 加工槽、2 加工液、3 被加工物、4 XYテー
ブル、5 除去加工用電極、6 除去加工用電極用Z軸
駆動装置、7 表面処理加工用電極、8 表面処理加工
用電極用Z軸駆動装置、9 電極交換手段、10 除去
加工用放電パルス供給電源、11 単純形状除去加工用
電極、12 単純形状表面処理加工用電極、13 単純
形状除去加工用電極、U1−1,U1−2,U1−3
除去加工用電極ユニット、U2−1,U2−2 表面処
理加工用電極ユニット。
Reference Signs List 1 processing tank, 2 processing liquid, 3 workpiece, 4 XY table, 5 removal processing electrode, 6 removal processing electrode Z-axis drive, 7 surface treatment processing electrode, 8 surface treatment processing electrode Drive device, 9 electrode replacement means, 10 discharge pulse supply power supply for removal processing, 11 electrode for simple shape removal processing, 12 electrode for simple shape surface treatment processing, 13 electrode for simple shape removal processing, U1-1, U1-2 U1-3
Electrode unit for removal processing, U2-1, U2-2 Electrode unit for surface treatment processing.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 毛呂 俊夫 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 3C059 AA01 AB01 AB10 DA02 DD03 HA03  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Toshio Moro 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo F-term (reference) 3C059 AA01 AB01 AB10 DA02 DD03 HA03

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 除去加工用電極および該電極を変位させ
る駆動手段を備える除去加工用電極ユニットと、表面処
理加工用電極および該電極を変位させる駆動手段を備え
る表面処理加工用電極ユニットとを有する放電加工装置
を使用した放電加工方法であって、 前記除去加工用電極ユニットの除去加工用電極によって
液中に配置された被加工物に除去加工を施す除去加工ス
テップと、 前記除去加工用電極ユニットに代えて前記表面処理加工
用電極ユニットを加工位置に位置させる電極交換ステッ
プと、 前記除去加工用電極ユニットの表面処理加工用電極によ
って前記被加工物に表面処理加工を施す表面処理加工ス
テップと、 を含むことを特徴とする放電加工方法。
1. An electrode unit for removal processing comprising an electrode for removal processing and a drive means for displacing the electrode, and an electrode unit for surface treatment and processing comprising an electrode for surface treatment and a drive means for displacing the electrode. An electrical discharge machining method using an electrical discharge machining apparatus, comprising: a removal processing step of performing removal processing on a workpiece disposed in a liquid by a removal processing electrode of the removal processing electrode unit; and the removal processing electrode unit. An electrode replacement step of positioning the electrode unit for surface processing in a processing position in place of, and a surface processing step of performing surface processing on the workpiece by a surface processing electrode of the electrode unit for removal processing, An electrical discharge machining method comprising:
【請求項2】 前記除去加工用電極および前記表面処理
加工用電極として単純形状の電極を使用することを特徴
とする請求項1に記載の放電加工方法。
2. The electric discharge machining method according to claim 1, wherein a simple shape electrode is used as the removal processing electrode and the surface treatment processing electrode.
【請求項3】 前記除去加工用電極および前記表面処理
加工用電極として所定の間隔で配列する単純形状の複数
の電極を使用することを特徴とする請求項1に記載の放
電加工方法。
3. The electric discharge machining method according to claim 1, wherein a plurality of electrodes having a simple shape arranged at predetermined intervals are used as the electrode for removal processing and the electrode for surface treatment processing.
【請求項4】 前記除去加工用電極および前記表面処理
加工用電極として前記被加工物の最終加工形状に対応す
る形状を有する電極を使用することを特徴とする請求項
1に記載の放電加工方法。
4. The electric discharge machining method according to claim 1, wherein an electrode having a shape corresponding to a final machining shape of the workpiece is used as the removal machining electrode and the surface treatment machining electrode. .
【請求項5】 被加工物に除去加工を施す除去加工用電
極および該電極を変位させる駆動手段を備える除去加工
用電極ユニットと、 被加工物に表面処理加工を施す表面処理加工用電極およ
び該電極を変位させる駆動手段を備える表面処理加工用
電極ユニットと、前記除去加工用電極ユニットと前記表
面処理加工用電極ユニットとを相互に交換する電極交換
手段と、 を備えることを特徴とする放電加工装置。
5. An electrode unit for removal processing, comprising: an electrode for removal processing for removing an object to be processed; a drive unit for displacing the electrode; a electrode for surface treatment for applying a surface treatment to a workpiece; An electric discharge machining comprising: an electrode unit for surface treatment including a drive unit for displacing an electrode; and an electrode exchange unit for exchanging the electrode unit for removal machining and the electrode unit for surface treatment with each other. apparatus.
【請求項6】 前記除去加工用電極および前記表面処理
加工用電極が単純形状を有することを特徴とする請求項
5に記載の放電加工装置。
6. The electric discharge machining apparatus according to claim 5, wherein the removal processing electrode and the surface treatment processing electrode have a simple shape.
【請求項7】 前記除去加工用電極および前記表面処理
加工用電極が前記被加工物の最終加工形状に対応する形
状を有することを特徴とする請求項5に記載の放電加工
装置。
7. The electric discharge machining apparatus according to claim 5, wherein the removal machining electrode and the surface treatment machining electrode have a shape corresponding to a final machining shape of the workpiece.
【請求項8】 前記除去加工用電極ユニットと前記表面
処理加工用電極ユニットの一方または双方の配設数が複
数であることを特徴とする請求項6に記載の放電加工装
置。
8. The electric discharge machining apparatus according to claim 6, wherein the number of one or both of the electrode unit for removal processing and the electrode unit for surface treatment is plural.
【請求項9】 前記除去加工用電極ユニットにおける除
去加工用電極と前記表面処理加工用電極ユニットにおけ
る表面処理加工用電極との一方または双方の配設数が複
数であることを特徴とする請求項6に記載の放電加工装
置。
9. The number of one or both of the electrode for removal processing in the electrode unit for removal processing and the electrode for surface treatment in the electrode unit for surface treatment processing is plural. 7. The electric discharge machine according to 6.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013248728A (en) * 2012-05-31 2013-12-12 General Electric Co <Ge> Hybrid electro-spark deposition and machining method and system

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