JP2002273627A - 微細軸成形方法及び装置 - Google Patents

微細軸成形方法及び装置

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JP2002273627A JP2001072313A JP2001072313A JP2002273627A JP 2002273627 A JP2002273627 A JP 2002273627A JP 2001072313 A JP2001072313 A JP 2001072313A JP 2001072313 A JP2001072313 A JP 2001072313A JP 2002273627 A JP2002273627 A JP 2002273627A
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克司 古谷
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義郎 伊藤
Akihiro Goto
昭弘 後藤
Nagao Saito
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 微細軸の成形を安定的かつ効率的に行うこと
ができる実用的な微細軸成形方法及び装置を得る。 【解決手段】 マイナス極性の細線電極６とプラス極性
の電極７とを位置決め手段により相対位置決めし、細線
電極６と電極７との極間に加工電力供給手段１０により
加工電力を供給することにより放電を発生させ、細線電
極６に微細形状軸を成形する微細軸成形方法及び装置に
おいて、細線電極６に加工液４ａを付着させる加工液付
着手段を備え、気中にて微細軸の成形を行う。微細軸の
成形を安定的かつ効率的に行うことができ、微細軸成形
コストを低減することができる。また、成形した微細軸
をそのまま放電加工用電極として使用して微細穴加工を
行う等の工程の自動化を実現することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、微細形状の軸を
成形する微細軸成形方法及び装置の改良に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】放電加工は金型等の加工技術として確固
たる地位を築いており、自動車産業、家電産業、半導体
産業等の金型加工の分野において多用されてきた。
【０００３】図７は、放電加工のメカニズムの説明図で
あり、図において、１は電極、２は被加工物、３はアー
ク柱、４は加工液、５は放電加工により生成された加工
屑である。以下の（ａ）乃至（ｅ）のサイクル（図７の
（ａ）乃至（ｅ）に対応）を繰り返しながら被加工物２
の放電による除去加工が進行する。即ち、（ａ）放電の
発生によるアーク柱３の形成、（ｂ）放電の熱エネルギ
による局部的溶融及び加工液４の気化、（ｃ）加工液４
の気化爆発力の発生、（ｄ）溶融部（加工屑５）の飛
散、（ｅ）加工液による冷却、凝固、極間の絶縁回復、
である。これらのサイクルを高い頻度で繰り返し、被加
工物の加工が進行する。
【０００４】放電加工は、前記放電加工のメカニズムに
より、主に総型電極を転写する形彫放電加工又はワイヤ
電極を用いて被加工物を加工するワイヤ放電加工を行う
ものである。しかし、局所的な高温状態及び高圧状態等
の環境を容易に作り出せることを利用して、放電加工技
術をベースとした新しい技術開発がなされてきている。
【０００５】図８は、このような新しい技術として位置
付けられるものであり、例えば１９９９年精密工学会秋
季大会学術講演論文集の４０８頁及び１９９９年度電気
加工学会全国大会講演論文集４９乃至５２頁において開
示された、従来の微細軸成形方法の説明図である。図８
において、４は加工液（油）、６はタングステン細線電
極、７は鋼材の平板電極、８は定盤、９は加工液４を貯
留する加工槽、１０は細線電極６と平板電極７に電圧を
印加して放電を発生させる加工電力供給手段である。
【０００６】細線電極６は、その直径が０．１ｍｍ程度
のものであり、図示しない保持手段により保持されてい
る。また、平板電極７は、加工槽９内において定盤８上
に載置され、加工液４に浸漬されている。細線電極６と
平板電極７は、図示しない位置決め手段により相対位置
決めが可能となるように構成されている。細線電極６と
平板電極７は、加工液４中において、所定距離を隔てて
対向して設置され、加工電力供給手段１０により細線電
極６と平板電極７との極間に単発の放電を発生させる。
このときの細線電極６及び平板電極７の極性は、細線電
極６がマイナス、平板電極７がプラスに設定されてい
る。図９は加工条件の例を示したものであり、この放電
により細線電極６は溶融し、放電の際の電磁力及び静電
気力等の影響で、溶融した部分が電極上方（図中Ｚ方
向）に押され、細線電極６先端部分は図１０に示すよう
な例えば直径が数十μｍ程度の微細形状に成形される。
この方法は、瞬時にして微細形状の軸を成形することが
できる画期的な微細軸成形方法であり、今後、マイクロ
マシーニング又は測定用プローブ等への適用が期待され
ている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図８のような微細軸成
形方法では、直径数１０μｍ以下の極微細形状の軸を成
形する方法であるため、放電による加工液の気化爆発力
のばらつき等により不良品となる割合が高く、安定した
微細軸の成形が困難であるという問題があった。例え
ば、加工液中にて微細軸の成形を行った場合において、
微細軸部分の長さが所望の値よりも短くなる不良、ある
いは微細軸部分の屈曲等の不良が、数１０％程度の割合
で発生する。これは、微細軸成形の歩留まりが悪く、コ
ストが上昇するだけでなく、例えば、微細形状の電極を
成形した後、この電極を使用して直ちに放電加工を行う
ような工程においてに、自動化実現への障害になるもの
である。
【０００８】また、この方法は電極の成形はパルス状の
放電１発分の時間、即ち、数１００μｓという短時間で
できるという利点があるが、このような加工のための、
両電極のセッティング等に長い時間がかかるため、前記
歩留まりの悪さと合わせて、微細軸成形の量産化が図れ
ないという問題点があった。
【０００９】この発明は、前記のような課題を解決する
ためになされたものであり、微細軸の成形を安定的かつ
効率的に行うことができる実用的な微細軸成形方法及び
装置を得ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明に係る微細軸成
形方法は、マイナス極性の細線電極及びこの細線電極に
対向するプラス極性の電極の極間に放電を発生させるこ
とにより、前記細線電極に微細形状軸を成形する微細軸
成形方法において、前記細線電極及び前記細線電極に対
向する電極の少なくとも一方に加工液を付着させて、気
中にて微細軸の成形を行うものである。
【００１１】また、この発明に係る微細軸成形方法は、
マイナス極性の細線電極及びこの細線電極に対向するプ
ラス極性の電極の極間に放電を発生させることにより、
前記細線電極に微細形状軸を成形する微細軸成形方法に
おいて、前記細線電極を加工層内の加工液に浸漬する第
１の工程と、前記細線電極を加工層から取り出す第２の
工程と、前記細線電極と前記電極とを位置決めする第３
の工程と、気中にて微細軸の成形を行う第４の工程から
なるものである。
【００１２】また、この発明に係る微細軸成形方法は、
前記細線電極を複数個使用して、前記電極との間の放電
により前記複数の細線電極に微細形状軸を同時に成形す
るものである。
【００１３】また、この発明に係る微細軸成形方法は、
前記加工液が油又は冷却能力が油と同等の油以外の液体
であるものである。
【００１４】また、この発明に係る微細軸成形方法は、
一端固定一端自由に支持された細線電極に加工液を付着
させ、この細線電極に縦振動又は横振動を付与しなが
ら、放電、レーザ又は高周波加熱等の細線電極溶融手段
により前記細線電極の先端部分を溶融し、この溶融部に
発生する前記振動による前記細線電極の自由端から固定
端方向への作用力により、気中にて微細軸の成形を行う
ものである。
【００１５】この発明に係る微細軸成形装置は、マイナ
ス極性の細線電極及びこの細線電極に対向するプラス極
性の電極とを位置決め手段により相対位置決めし、前記
細線電極及び前記細線電極に対向する電極の極間に加工
電力供給手段により加工電力を供給することにより放電
を発生させ、前記細線電極に微細形状軸を成形する微細
軸成形装置において、前記細線電極及び前記細線電極に
対向する電極の少なくとも一方に加工液を付着させる加
工液付着手段を備え、気中にて微細軸の成形を行うもの
である。
【００１６】また、この発明に係る微細軸成形装置は、
マイナス極性の細線電極及びこの細線電極に対向するプ
ラス極性の電極とを位置決め手段により相対位置決め
し、前記細線電極及び前記細線電極に対向する電極の極
間に加工電力供給手段により加工電力を供給することに
より放電を発生させ、前記細線電極に微細形状軸を成形
する微細軸成形装置において、加工液を貯留する加工液
付着用貯留槽と、前記細線電極の前記加工液付着用加工
層への出し入れを行う移動手段とを備えたものである。
【００１７】また、この発明に係る微細軸成形装置は、
マイナス極性の細線電極及びこの細線電極に対向するプ
ラス極性の電極とを位置決め手段により相対位置決め
し、前記細線電極及び前記細線電極に対向する電極との
極間に加工電力供給手段により加工電力を供給すること
により放電を発生させ、前記細線電極に微細形状軸を成
形する微細軸成形装置において、加工液を貯留する加工
液付着用貯留槽と、前記細線電極の前記加工液付着用加
工層への出し入れ、及び、前記細線電極及び前記細線電
極に対向する電極との相対位置決めを行う位置決め手段
とを備えたものである。
【００１８】また、この発明に係る微細軸成形装置は、
前記細線電極を複数個保持できる保持手段を備えたもの
である。
【００１９】また、この発明に係る微細軸成形装置は、
前記加工液が油又は冷却能力が油と同等の油以外の液体
であるものである。
【００２０】また、この発明に係る微細軸成形装置は、
保持手段により一端を固定支持され、加工液が付着した
細線電極と、前記細線電極に縦振動又は横振動を付与す
る振動付与手段と、前記振動付与手段を前記細線電極の
自由端の振幅が大きくなるよう制御する制御手段と、前
記細線電極の先端部分を溶融する放電、レーザ又は高周
波加熱等の細線電極溶融手段とを備えたものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、この発明
の実施の形態１に係る微細軸成形方法を示す説明図であ
り、図において、４ａは加工液（油）、６はタングステ
ン細線電極、７は鋼材の平板電極、１０は細線電極６と
平板電極７に電圧を印加して放電を発生させる加工電力
供給手段であり、加工液４ａは細線電極６の表面に付着
している。細線電極６は、その直径が０．１ｍｍ程度の
ものであり、図示しない保持手段により保持されてい
る。また、細線電極６と平板電極７は、図示しない位置
決め手段により相対位置決めが可能となるように構成さ
れている。この位置決め手段は、放電加工機に通常用い
られるサーボモータ及びボールねじ又はリニアモータ等
による直線駆動手段により構成することができる。
【００２２】細線電極６への加工液４ａの付着は、例え
ば塗布又はスプレーによる吹き付け等様々な加工液付着
手段により行うことができ、細線電極６の表面に加工液
４ａの被膜が形成されていればよい。
【００２３】細線電極６と平板電極７は、所定距離を隔
てて対向して設置され、加工電力供給手段１０により細
線電極６と平板電極７との極間に単発の放電を発生させ
る。このときの細線電極６及び平板電極７の極性は、細
線電極６がマイナス、平板電極７がプラスに設定されて
いる。
【００２４】また、図１の構成は、図８のような従来の
構成と異なり、細線電極６と平板電極７が加工液４に浸
漬されておらず、細線電極６と平板電極７との極間は気
体雰囲気となっている。このような状態で、例えば図２
の加工条件で加工電力供給手段１０により前記極間に単
発の放電を発生させる。このような加工により、例えば
従来技術の図１０と同様の微細形状の電極を成形するこ
とができる。また、不良率を極端に低下させることがで
き、略１００％の割合で良品を成形することができる。
【００２５】従来の加工液中での微細軸成形時の不良率
の高さ等の問題点の原因は、加工液中での放電を利用し
ている点にあると考えられる。即ち、加工液が放電によ
る発熱により気化爆発し、この気化爆発力により細線電
極の微細形状部分の変形等が生じたものと推察できる。
また、細線電極への加工液の付着を行わずに気中での放
電を行った場合では、微細形状は全く成形できなかっ
た。即ち、加工液による冷却効果が細線電極の微細形状
の成形に重要な役割を果たしていることがわかる。これ
らに対して、この発明による、細線電極に加工液の被膜
を形成して行う微細軸成形方法では、極間雰囲気が気体
であるため細線電極に形成された微細軸が加工液の気化
爆発力の影響をほとんど受けないと共に、細線電極に付
着した加工液の冷却効果のため、前記のように不良率が
極端に低下し、微細軸の成形を安定的かつ効率的に行う
ことができるものと考えられる。
【００２６】微細軸の成形メカニズムは、まだ解明され
ていない点も多いが、発明者らの研究により、前記のよ
うに加工液の冷却作用が重要な役割をもっていることが
わかっている。加工液として用いた油の冷却能力が微細
形状を成形するために必要な冷却能力に適合しており、
この発明の契機となった実験結果が得られたと考えられ
る。例えば、油と同程度の冷却能力を持った液体を細線
電極表面に付着させても微細形状を成形することができ
ることを確認している。一例として、水を５０℃程度の
温度にすると冷却能力が油と同程度になるが、５０℃程
度の水を細線電極表面に塗布した状態で放電を発生させ
た場合においても、油を細線電極表面に塗布した場合と
同様に微細軸の成形を安定的かつ効率的に行うことがで
きた。
【００２７】以上のように、この発明によれば、微細軸
成形の歩留りが高く、略１００％の割合で良品を成形す
ることができるため、微細軸成形コストを低減すること
ができる。また、成形した微細軸をそのまま放電加工用
電極として使用して微細穴加工を行う等の工程の自動化
を実現することができる。
【００２８】また、この発明によれば、従来の加工液中
での微細軸成形における両電極のセッティング時の加工
液の出し入れ時間が不要になるため、段取り作業時間を
短縮することができ、微細軸成形の生産性を向上するこ
とができる。
【００２９】以上の説明においては、図１のように細線
電極６と平板電極７を一対として用いて微細軸を成形す
る場合を示したが、図３に示すように、細線電極６を複
数設置してもよい。このように設置した複数の細線電極
６と平板電極７との間で放電を発生させることにより、
同時に多数の微細軸を成形することができる。
【００３０】また、以上の説明においては、細線電極６
のみに加工液４ａを付着させる場合を示したが、平板電
極７に加工液４ａを付着させてもよい。細線電極６及び
平板電極７の少なくとも一方に加工液４ａを付着させる
ことにより、図１又は図３の構成による場合と同様の作
用効果を奏する。
【００３１】実施の形態２．図４は、この発明の実施の
形態２に係る微細軸成形装置を示す説明図であり、実施
の形態１の図１と同一符号は同一又は相当部分を示して
いる。また、図４は、実施の形態１で示した塗布等によ
る加工液付着手段と別の構成の加工液付着手段の具体例
を示したものである。図４において、４は加工液
（油）、１１は加工液４を貯留する加工液付着用貯留槽
である。
【００３２】図４の（ａ）のように、図示しない移動手
段により細線電極６を加工液付着用貯留槽１１内に移動
させ、加工液４中に細線電極６を浸して、その表面に加
工液４ａを付着させる。その後、前記移動手段により細
線電極６を加工液付着用加工層１１から取り出し、図４
の（ｂ）に示すように、平板電極７に対向した所定位置
まで移動させる。次に、実施の形態１と同様の図示しな
い位置決め手段により、細線電極６と平板電極７との相
対位置決めを行い、加工電力供給手段による電力供給に
より細線電極６と平板電極７との極間に放電を発生させ
て微細軸を成形する。
【００３３】前記移動手段は、前記位置決め手段を併用
してもよいし、前記位置決め手段と別に設けてもよい。
この移動手段は、エアシリンダ等の流体アクチュエー
タ、サーボモータ及びボールねじ又はリニアモータ等に
よる直線駆動手段により構成することができる。前記移
動手段を前記位置決め手段と別に構成する場合には、細
線電極６を保持する図示しない保持手段を、前記移動手
段及び前記位置決め手段に設置し、細線電極の受け渡し
を行うように構成すればよい。
【００３４】以上のような方法により細線電極６に加工
液４ａの被膜を形成することにより、微細軸成形の自動
化を図ることができる。
【００３５】また、細線電極６を保持する図示しない保
持手段を細線電極の自動着脱を可能に構成することによ
り、微細軸成形を連続して行うことができる。
【００３６】実施の形態３．図５は、この発明の実施の
形態３に係る微細軸成形装置の構成図であり、実施の形
態１の図１と同一符号は同一又は相当部分を示してい
る。図５において、１２は振動付与手段、１３は振動付
与手段１２を制御する制御手段である。細線電極６は図
示しない保持手段により一端を固定支持され、振動付与
手段１２によりこの固定端に振動が付与される。振動付
与手段としては、例えば電磁式又は圧電式等の加振器を
用いることができる。
【００３７】図６は、振動付与手段により細線電極６に
振動を付与する方法の一例を示す説明図であり、細線電
極６に付着させる加工液４ａは省略している。図６は、
細線電極６にＹ方向の横振動を付与した場合を示してお
り、自由端である細線電極６の先端は図中Ａのように振
幅が大きくなる。このような状態で、細線電極６と平板
電極７との間に放電を発生させると、細線電極６の先端
及びその近傍が溶融し、振動付与手段１２により付与さ
れた振動による自由端から固定端方向への作用力によ
り、前記溶融部は自由端から固定端に向かって移動し
（図中矢印Ｂ）、内部の中心軸に沿って溶け残った固体
細線部が露出する。この露出部は極めて細い細線とな
り、このような方法により微細軸を成形することができ
る。
【００３８】細線電極６が所定の振動モードとなるよう
に加振するには、細線電極６の固有振動数を考慮して加
振する必要があるが、細線電極の固有振動数及び所望の
振動モード等の条件設定は制御手段１３で行うことがで
き、この制御手段により振動付与手段１２を制御して細
線電極に所望の振動を付与する。
【００３９】以上の説明においては、一端固定他端自由
の場合の横振動の一次モードとなるように、細線電極６
の固有振動数を考慮して制御手段１３により振動付与手
段１２を制御したが、一次モードに限定されるものでは
なく、２次モード等先端の振幅が大きい振動モードであ
ればよい。このような細線電極６への振動の付与によ
り、細線電極６の表面溶融部を振動の腹から節へ移動さ
せるような方向への作用力が発生するため、細線電極６
を極めて細い軸に成形することができる。
【００４０】また、以上の説明においては、細線電極６
にＹ方向の横振動を付与する場合を説明したが、Ｘ方向
の横振動と合成してもよい。
【００４１】また、以上の説明においては、細線電極６
に横振動を付与する場合を説明したが、縦振動を付与し
てもよい。
【００４２】また、以上の説明においては、放電により
細線電極６の先端及びその近傍を溶融する場合を説明し
たが、例えばレーザ又は高周波加熱等の他の細線電極溶
融手段を用いてもよい。
【００４３】
【発明の効果】この発明によれば、微細軸の成形を安定
的かつ効率的に行うことができ、微細軸成形コストを低
減することができる実用的な微細軸成形方法及び装置を
得ることができる。
【００４４】また、成形した微細軸をそのまま放電加工
用電極として使用して微細穴加工を行う等の工程の自動
化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１に係る微細軸成形方
法を示す説明図である。
【図２】 この発明の実施の形態１に係る微細軸成形方
法の加工条件の例を示す図である。
【図３】 この発明の実施の形態１に係る微細軸成形方
法を示す説明図である。
【図４】 この発明の実施の形態２に係る微細軸成形装
置を示す説明図である。
【図５】 この発明の実施の形態３に係る微細軸成形装
置の構成図である。
【図６】 振動付与手段により細線電極に振動を付与す
る方法の一例を示す説明図である。
【図７】 放電加工のメカニズムの説明図である。
【図８】 従来の微細軸成形方法の説明図である。
【図９】 従来の微細軸成形方法の加工条件の例を示す
図である。
【図１０】 従来の微細軸成形方法により成形された細
線電極の先端部分の形状の例を示す図である。
【符号の説明】
４ａ 加工液、６ 細線電極、７ 平板電極、１０ 加
工電力供給手段、１１加工液付着用貯留槽、１２ 振動
付与手段、１３ 制御手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武沢 英樹 愛知県名古屋市緑区鳴海町三高根87 三高 根ハイツ105号 (72)発明者 古谷 克司 愛知県名古屋市天白区天白町島田黒石3837 −３−23 (72)発明者 伊藤 義郎 新潟県長岡市学校町１−４−28 長岡住宅 ２−202 (72)発明者 後藤 昭弘 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 齋藤 長男 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C059 AA01 DA02 DB05

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 マイナス極性の細線電極及びこの細線電
    極に対向するプラス極性の電極の極間に放電を発生させ
    ることにより、前記細線電極に微細形状軸を成形する微
    細軸成形方法において、 前記細線電極及び前記細線電極に対向する電極の少なく
    とも一方に加工液を付着させて、気中にて微細軸の成形
    を行うことを特徴とする微細軸成形方法。
  2. 【請求項２】 マイナス極性の細線電極及びこの細線電
    極に対向するプラス極性の電極の極間に放電を発生させ
    ることにより、前記細線電極に微細形状軸を成形する微
    細軸成形方法において、 前記細線電極を加工層内の加工液に浸漬する第１の工程
    と、 前記細線電極を加工層から取り出す第２の工程と、 前記細線電極と前記電極とを位置決めする第３の工程
    と、 気中にて微細軸の成形を行う第４の工程からなることを
    特徴とする微細軸成形方法。
  3. 【請求項３】 前記細線電極を複数個使用して、前記電
    極との間の放電により前記複数の細線電極に微細形状軸
    を同時に成形することを特徴とする請求項１又は２記載
    の微細軸成形方法。
  4. 【請求項４】 前記加工液が油又は冷却能力が油と同等
    の油以外の液体であることを特徴とする請求項１〜３の
    いずれかに記載の微細軸成形方法。
  5. 【請求項５】 一端固定一端自由に支持された細線電極
    に加工液を付着させ、この細線電極に縦振動又は横振動
    を付与しながら、放電、レーザ又は高周波加熱等の細線
    電極溶融手段により前記細線電極の先端部分を溶融し、
    この溶融部に発生する前記振動による前記細線電極の自
    由端から固定端方向への作用力により、気中にて微細軸
    の成形を行うことを特徴とする微細軸成形方法。
  6. 【請求項６】 マイナス極性の細線電極及びこの細線電
    極に対向するプラス極性の電極とを位置決め手段により
    相対位置決めし、前記細線電極及び前記細線電極に対向
    する電極の極間に加工電力供給手段により加工電力を供
    給することにより放電を発生させ、前記細線電極に微細
    形状軸を成形する微細軸成形装置において、 前記細線電極及び前記細線電極に対向する電極の少なく
    とも一方に加工液を付着させる加工液付着手段を備え、
    気中にて微細軸の成形を行うことを特徴とする微細軸成
    形装置。
  7. 【請求項７】 マイナス極性の細線電極及びこの細線電
    極に対向するプラス極性の電極とを位置決め手段により
    相対位置決めし、前記細線電極及び前記細線電極に対向
    する電極の極間に加工電力供給手段により加工電力を供
    給することにより放電を発生させ、前記細線電極に微細
    形状軸を成形する微細軸成形装置において、 加工液を貯留する加工液付着用貯留槽と、 前記細線電極の前記加工液付着用加工層への出し入れを
    行う移動手段とを備えたことを特徴とする微細軸成形装
    置。
  8. 【請求項８】 マイナス極性の細線電極及びこの細線電
    極に対向するプラス極性の電極とを位置決め手段により
    相対位置決めし、前記細線電極及び前記細線電極に対向
    する電極との極間に加工電力供給手段により加工電力を
    供給することにより放電を発生させ、前記細線電極に微
    細形状軸を成形する微細軸成形装置において、 加工液を貯留する加工液付着用貯留槽と、 前記細線電極の前記加工液付着用加工層への出し入れ、
    及び、前記細線電極及び前記細線電極に対向する電極と
    の相対位置決めを行う位置決め手段とを備えたことを特
    徴とする微細軸成形装置。
  9. 【請求項９】 前記細線電極を複数個保持できる保持手
    段を備えたことを特徴とする請求項６〜８のいずれかに
    記載の微細軸成形装置。
  10. 【請求項１０】 前記加工液が油又は冷却能力が油と同
    等の油以外の液体であることを特徴とする請求項６〜９
    のいずれかに記載の微細軸成形装置。
  11. 【請求項１１】 保持手段により一端を固定支持され、
    加工液が付着した細線電極と、 前記細線電極に縦振動又は横振動を付与する振動付与手
    段と、 前記振動付与手段を前記細線電極の自由端の振幅が大き
    くなるよう制御する制御手段と、 前記細線電極の先端部分を溶融する放電、レーザ又は高
    周波加熱等の細線電極溶融手段とを備えたことを特徴と
    する微細軸成形装置。
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