JP2002264506A - Optical information recording medium and its record deleting method - Google Patents

Optical information recording medium and its record deleting method

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JP2002264506A
JP2002264506A JP2001064878A JP2001064878A JP2002264506A JP 2002264506 A JP2002264506 A JP 2002264506A JP 2001064878 A JP2001064878 A JP 2001064878A JP 2001064878 A JP2001064878 A JP 2001064878A JP 2002264506 A JP2002264506 A JP 2002264506A
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    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/004Recording, reproducing or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
    • G11B7/006Overwriting
    • G11B7/0062Overwriting strategies, e.g. recording pulse sequences with erasing level used for phase-change media

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical information recording medium having a high crystallization speed which can deal with recording by a reference clock cycle at 15 ns or lower, an excellent recording signal jitter property, and an excellent preservation stability. SOLUTION: For this optical information recording medium, at least a phase changing type recording layer is provided on a substrate. The phase changing type recording layer comprises an alloy of which the major component is a composition represented by (Sbx Te1-x )1-y Gey )1-z Auz ). (In this case, 0.70<=x<=0.95, 0.01<=y<=0.10, and 0.01<=z<=0.12 are satisfied).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば書き換え可
能な相変化型記録層を有する光学的情報記録用媒体に関
し、特に、記録時の基準クロック周期が15ns以下の
高データ転送レートが達成可能であるような速い結晶化
速度と、優れた記録信号ジッタ特性と、記録マークの優
れた保存安定性を有する光学的情報記録用媒体及び記録
消去方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical information recording medium having a rewritable phase-change recording layer, and more particularly, to a high data transfer rate with a reference clock cycle of 15 ns or less during recording. The present invention relates to an optical information recording medium and a recording / erasing method having a high crystallization speed, excellent recording signal jitter characteristics, and excellent storage stability of recording marks.

【0002】[0002]

【従来の技術】相変化型記録層を有する光学的情報記録
用媒体は、結晶状態の可逆的な変化に伴う反射率変化を
利用して記録再生消去が行われる。このような光学的情
報記録用媒体、中でも相変化光ディスクは、可搬性、耐
候性、耐衝撃性等に優れた安価な大容量記録媒体として
開発および実用化が進んでいる。例えば、CD−RWな
どの書き換え可能なCDが既に普及しており、DVD−
RW、DVD+RW、DVD−RAMなどの書き換え可
能なDVDが販売されつつある。
2. Description of the Related Art In an optical information recording medium having a phase change type recording layer, recording / reproducing / erasing is performed by utilizing a reflectance change accompanying a reversible change in a crystal state. Such optical information recording media, especially phase change optical disks, are being developed and put into practical use as inexpensive large-capacity recording media having excellent portability, weather resistance, impact resistance, and the like. For example, rewritable CDs such as CD-RWs have already spread,
Rewritable DVDs such as RW, DVD + RW, and DVD-RAM are being sold.

【0003】相変化型記録の方法としては、結晶相と非
晶質相との間での可逆的変化を利用し、結晶状態を未記
録・消去状態とし、記録時に非晶質(アモルファス)の
マークを形成する手法が現在実用化されている。通常、
記録層を融点より高い温度まで加熱し急冷して非晶質の
マークを形成し、一方、記録層を加熱し結晶化温度付近
に一定時間保つことで結晶状態とする。すなわち一般的
には、安定的な結晶相と非晶質相との間での可逆的変化
を利用する。
As a method of phase change recording, a reversible change between a crystalline phase and an amorphous phase is used to change the crystalline state to an unrecorded / erased state, and to change the crystalline state during recording to an amorphous state. Techniques for forming marks are currently in practical use. Normal,
The recording layer is heated to a temperature higher than the melting point and rapidly cooled to form an amorphous mark. On the other hand, the recording layer is heated and kept near the crystallization temperature for a certain period of time to be in a crystalline state. That is, generally, a reversible change between a stable crystalline phase and an amorphous phase is used.

【0004】このような相変化型記録層の材料として
は、カルコゲン系合金薄膜が用いられることが多い。例
えば、GeSbTe系、InSbTe系、GeSnTe
系、AgInSbTe系合金が挙げられる。これらの化
合物はオーバーライト可能な材料として知られている。
オーバーライトとは、一旦記録済みの媒体に再度記録を
する際に、記録前に消去を行うことなくそのまま重ね書
きする手法、いわば消去しながら記録する手法である。
As a material of such a phase change type recording layer, a chalcogen alloy thin film is often used. For example, GeSbTe system, InSbTe system, GeSnTe
And AgInSbTe-based alloys. These compounds are known as overwritable materials.
Overwriting is a method of overwriting without erasing before recording when recording is once again performed on a recorded medium, that is, a method of recording while erasing.

【0005】特に、{(Sb2Te31-a(GeT
e)a1-bSbb(0.2<a<0.9、0≦b<0.
1)合金を主成分とする薄膜、または(SbcTe1-c
d1-d(ただし、0.6<c<0.9、0.8<d<
1、MはGe、Ag、In等から選ばれる1種以上の元
素)合金を主成分とする薄膜は、結晶・非晶質(アモル
ファス)いずれの状態も安定で、かつ、両状態間の比較
的高速の相転移が可能な記録材料であることが知られて
いる。また、後者の記録材料では、記録されたアモルフ
ァスマークを安定化させるためにGeの添加が特に有効
であることが知られている(EP834、874号公
報)。これらの系は繰り返しオーバーライトをおこなっ
た時に偏析が生じにくいといった長所もあり、両合金薄
膜とも相変化型光ディスクの記録層として実用化されて
いる。
In particular, {(Sb 2 Te 3 ) 1-a (GeT
e) a} 1-b Sb b (0.2 <a <0.9,0 ≦ b <0.
1) A thin film mainly composed of an alloy, or (Sb c Te 1-c )
d M 1-d (where 0.6 <c <0.9, 0.8 <d <
1, M is one or more elements selected from Ge, Ag, In, etc.) A thin film mainly composed of an alloy is stable in both crystalline and amorphous states, and a comparison between the two states is made. It is known that the recording material is capable of phase transition at extremely high speed. In addition, in the latter recording material, it is known that the addition of Ge is particularly effective for stabilizing the recorded amorphous mark (EP834,874). These systems also have the advantage that segregation is unlikely to occur when repeated overwriting is performed, and both alloy thin films have been put to practical use as a recording layer of a phase change optical disk.

【0006】ところで、上記2種類の合金は性質が大き
く異なる。例えば、前者は結晶核の生成頻度が大きく、
アモルファスマークを結晶化する際には結晶核が重要な
働きをするのに対して、後者ではアモルファスマークの
結晶化に結晶核がほとんど関係していない。また、両者
は記録時のレーザーパルスの照射方式、いわゆるパルス
分割方式(パルスストラテジー)の許容範囲が異なる。
Incidentally, the above two alloys have greatly different properties. For example, in the former, the generation frequency of crystal nuclei is high,
Crystal nuclei play an important role in crystallization of amorphous marks, whereas crystal nuclei hardly relate to crystallization of amorphous marks in the latter. In addition, both have different allowable ranges of a laser pulse irradiation method during recording, a so-called pulse division method (pulse strategy).

【0007】後者の合金の方が、マーク間を詰めて記録
した場合の再生信号特性が良く、高密度記録に適してい
る。
The latter alloy has better reproduction signal characteristics when recording is performed with the gaps between marks shortened, and is suitable for high-density recording.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】現在、さらなる高記録
密度が達成でき、かつ高速で記録消去が可能で高転送レ
ートが達成できる光学的情報記録用媒体を目指し、記録
材料の開発が進められている。高転送レートを達成する
には記録及び消去の両方を高速で行う必要があるため、
記録層の結晶化速度が速く、アモルファスマークの消去
(結晶化)が十分に速くなければならない。
At present, recording materials have been developed with the aim of providing an optical information recording medium capable of achieving a higher recording density, enabling high-speed recording / erasing, and achieving a high transfer rate. I have. To achieve a high transfer rate, both recording and erasing must be performed at high speed,
The crystallization speed of the recording layer must be fast, and the erasing (crystallization) of the amorphous mark must be sufficiently fast.

【0009】(SbcTe1-cd1-d(ただし、0.6
<c<0.9、0.8<d<1、MはGe、Ag、In
等から選ばれる1種以上の元素)合金を主成分とする薄
膜は、Sb量とTe量の比によって結晶化速度をコント
ロールできる。即ち、Sb量を多くTe量を少なくする
ことにより結晶化速度が速くなる。しかし従来、結晶化
速度を速めるためにSb量を大幅に多くすると、ジッタ
(記録されたマーク部、マーク間部を再生したときの再
生信号のジッタ)が悪化してしまうという傾向があっ
た。従ってある程度以上の高結晶化速度の記録材料で
は、良好なジッタが得にくい。
[0009] (Sb c Te 1-c) d M 1-d ( However, 0.6
<C <0.9, 0.8 <d <1, M is Ge, Ag, In
The crystallization rate of a thin film mainly containing an alloy of one or more elements selected from the above) can be controlled by the ratio of the amount of Sb to the amount of Te. That is, the crystallization rate is increased by increasing the Sb content and decreasing the Te content. However, conventionally, if the amount of Sb is greatly increased in order to increase the crystallization speed, there has been a tendency that jitter (jitter of a reproduced signal when a recorded mark portion or a portion between marks is reproduced) deteriorates. Therefore, it is difficult to obtain good jitter with a recording material having a crystallization rate higher than a certain level.

【0010】この原因は必ずしも明らかではないが、再
生信号波形をオシロスコープで観察すると、結晶状態の
反射率レベルが一定ではなく幅を持って太くなって見え
ることから、Sbが多くなったときには本来の結晶相に
加えて反射率の異なる別の結晶相が現れている可能性が
ある。すなわち結晶領域(未記録・消去状態の領域)に
おいて、異なる反射率をもつ2種以上の相がビームの大
きさに対して十分に均一ではない状態で混ざっている可
能性がある。
Although the cause is not always clear, when the reproduced signal waveform is observed with an oscilloscope, the reflectivity level of the crystal state is not constant but looks wide and wide, so that when Sb increases, the original reflectivity level increases. Another crystal phase having a different reflectance may appear in addition to the crystal phase. That is, in a crystal area (an area in an unrecorded / erased state), two or more phases having different reflectivities may be mixed in a state that is not sufficiently uniform with respect to the beam size.

【0011】このため高結晶化速度と良好な再生信号ジ
ッタとを両立できる光学的情報記録用媒体を得たいとい
う要請があった。この要請は、非常に高線速での記録消
去、例えば基準クロック周期が15ns以下での記録消
去が行えるような媒体で特に大きい。本発明は、上記問
題点を解決するためになされたもので、その目的は、高
結晶化速度と優れたジッタ特性を有する光学的情報記録
用媒体とそれに適した記録消去方法を得ることにある。
For this reason, there has been a demand for obtaining an optical information recording medium capable of satisfying both a high crystallization speed and good reproduction signal jitter. This requirement is particularly large in a medium that can perform recording and erasing at a very high linear velocity, for example, recording and erasing with a reference clock cycle of 15 ns or less. The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to obtain an optical information recording medium having a high crystallization rate and excellent jitter characteristics, and a recording / erasing method suitable for the medium. .

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、基板上
に少なくとも相変化型記録層を設けてなる光学的情報記
録用媒体であって、該相変化型光記録層が((Sbx
1-x1-yGey1-zAuz(ただし0.70≦x≦
0.95、0.01≦y≦0.10、0.01≦z≦
0.12)で表される組成を主成分とする合金からなる
ことを特徴とする光学的情報記録用媒体に存する。
The gist of the present invention is to provide an optical information recording medium comprising at least a phase change type recording layer provided on a substrate, wherein the phase change type optical recording layer is composed of ((Sb x T
e 1-x ) 1-y Ge y ) 1-z Au z (0.70 ≦ x ≦
0.95, 0.01 ≦ y ≦ 0.10, 0.01 ≦ z ≦
0.12) An optical information recording medium characterized by being made of an alloy having a composition represented by 0.12) as a main component.

【0013】本発明によれば、(SbxTe1-x1-y
y(ただし、0.70≦x≦0.95、0.01≦y
≦0.10)系合金記録層にAuを適量添加することに
より、結晶化速度の速い媒体においてジッタ(記録され
たマーク部、マーク間部を再生したときの再生信号のジ
ッタ)が改善されるので、高結晶化速度と優れたジッタ
特性を有する光学的情報記録用媒体を得ることができ
る。
According to the present invention, (Sb x Te 1-x ) 1-y G
e y (0.70 ≦ x ≦ 0.95, 0.01 ≦ y
<0.10) By adding an appropriate amount of Au to the alloy recording layer, the jitter (jitter of the reproduced signal when reproducing the recorded mark portion and the inter-mark portion) is improved in the medium having a high crystallization speed. Therefore, an optical information recording medium having a high crystallization rate and excellent jitter characteristics can be obtained.

【0014】ジッタ特性が改善される理由は必ずしも明
らかではないが、Auを添加すると、前述の結晶反射率
レベルが一定ではなく幅を持って太く見える現象が低減
されることが観察される。このことから、Sb量が多く
なったときに現れる結晶相の出現をAuが抑えている可
能性が考えられる。ところで、特開平1−251342
号公報には、Ge−Sb系合金にカルコゲン元素(S
e、Te、S)を添加し、さらに結晶化速度の増加、感
度の向上などのためにPd又はAuを添加した記録層を
有する情報記録媒体が記載されている。
Although it is not clear why the jitter characteristics are improved, it is observed that the addition of Au reduces the above-mentioned phenomenon that the crystal reflectivity level is not constant but looks wide and wide. From this, it is conceivable that Au may suppress the appearance of the crystal phase that appears when the amount of Sb increases. By the way, Japanese Patent Application Laid-Open No. H1-251342
Discloses a chalcogen element (S
e, Te, S), and an information recording medium having a recording layer to which Pd or Au is added for further increasing the crystallization rate, improving sensitivity, and the like.

【0015】該公報に開示された組成範囲は、Ge含有
量の取りうる値が5〜80at.%(原子%)にも及ぶ
広いもので、本願発明の組成範囲と一部重なる。しかし
ながら本発明では、添加しうるGe量は最大でも10a
t.%を超えることはない。これ以上の添加はジッタ特
性を悪化させてしまい、Auの添加によるジッタ改善効
果を打ち消してしまうからである。またGe量を多くし
すぎると結晶化速度を低下させる傾向もあるため、高線
速での記録が困難になってしまう。
In the composition range disclosed in the publication, the possible value of the Ge content is 5 to 80 at. % (Atomic%), and partially overlaps the composition range of the present invention. However, in the present invention, the amount of Ge that can be added is at most 10a.
t. % Will not be exceeded. This is because the addition of more than this deteriorates the jitter characteristic and cancels the jitter improvement effect by the addition of Au. On the other hand, if the amount of Ge is too large, the crystallization speed tends to decrease, so that recording at a high linear velocity becomes difficult.

【0016】また、特開平11−240252号公報
(USP6,096,399号)には、Ge−Sb−T
e系合金にAgまたはAuを0.2〜2.5at.%添
加した記録層を有する情報記録媒体が記載されている。
しかし実験例で使用されているのはGe−Sb−Te系
合金の中でも、本願とは異なるGe2Sb2Te5であ
る。前記従来技術の項で説明したとおり、Ge−Sb−
Te系合金には性質の大きく異なる2種の合金薄膜、G
2Sb2Te5を代表的組成とする{(Sb2Te31-a
(GeTe)a1-bSbb(0.2<a<0.9、0≦
b<0.1)合金を主成分とする薄膜、本願に係る記録
層の(SbcTe1-cd1-d(ただし、0.6<c<
0.9、0.8<d<1、MはGe、Ag、In等から
選ばれる1種以上の元素)合金を主成分とする薄膜とが
ある。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-240252 (US Pat. No. 6,096,399) discloses that Ge-Sb-T
Ag or Au is added at 0.2 to 2.5 at. It describes an information recording medium having a recording layer to which% is added.
But used in experimental example among Ge-Sb-Te-based alloy, the present application is different from Ge 2 Sb 2 Te 5. As described in the related art section, Ge-Sb-
Te-based alloys have two types of alloy thin films with greatly different properties, G
Let e 2 Sb 2 Te 5 be a representative composition {(Sb 2 Te 3 ) 1-a
(GeTe) a} 1-b Sb b (0.2 <a <0.9,0 ≦
b <0.1) a thin film containing an alloy as a main component, and (Sb c Te 1-c ) d M 1-d (where 0.6 <c <)
0.9, 0.8 <d <1, and M is at least one element selected from Ge, Ag, In, and the like) and a thin film mainly composed of an alloy.

【0017】そして、該公報は実質的に前者を記録層と
する場合に関するものであるのに対し、本発明は後者を
記録層とする場合に関するもので、Auを添加する目的
や効果も全く異なる。本願発明は後者を記録層とする中
でも特にSb含有量が多くTe含有量が少ない場合に特
有の問題を解決するためのものである。本発明の別の要
旨は、上記光学的情報記録用媒体に対して、基準クロッ
ク周期を15ns以下として記録及び/又は消去を行う
ことを特徴とする記録消去方法に存する。
The publication relates to the case where the former is used as the recording layer, whereas the present invention relates to the case where the latter is used as the recording layer, and the purpose and effect of adding Au are completely different. . The present invention is intended to solve a problem peculiar to the case where the latter is a recording layer, especially when the Sb content is high and the Te content is low. Another gist of the present invention resides in a recording and erasing method characterized in that recording and / or erasing is performed on the optical information recording medium with a reference clock cycle of 15 ns or less.

【0018】すなわち、上記光学的情報記録用媒体は、
相変化速度が速く、かつ再生信号のジッタ特性に優れる
ので、基準クロック周期15ns(ナノ秒)以下の高線
速で、再生信号のジッタに優れた記録消去が可能とな
る。
That is, the optical information recording medium is:
Since the phase change speed is high and the jitter characteristics of the reproduction signal are excellent, it is possible to perform recording and erasing with excellent jitter of the reproduction signal at a high linear velocity of a reference clock cycle of 15 ns (nanosecond) or less.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明についてより詳細に
説明する。本発明においては、基板上に少なくとも相変
化型記録層を設けてなる光学的情報記録用媒体であっ
て、該相変化型記録層が((SbxTe1-x1-yGey
1-zAuz(ただし0.70≦x≦0.95、0.01≦
y≦0.10、0.01≦z≦0.12)で表される組
成を主成分とする合金からなる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail. In the present invention, an optical information recording medium comprising at least a phase change type recording layer provided on a substrate, wherein the phase change type recording layer is ((Sb x Te 1-x ) 1-y Ge y )
1-z Au z (0.70 ≦ x ≦ 0.95, 0.01 ≦
(y ≦ 0.10, 0.01 ≦ z ≦ 0.12).

【0020】上記記録層の組成において、十分なジッタ
改善効果を得るためにはAuを所定量以上含有する必要
があるため、0.01≦zである。より好ましくは0.
03≦zである。一方、Au量が多すぎるとアモルファ
スマークの保存安定性が悪化するため、z≦0.12で
ある。より好ましくはz≦0.10である。さて、Sb
とTeの含有比率は結晶化速度に関係し、Sbが多くT
eが少なくなると結晶化速度は速くなる。一般には、媒
体を高速で回転させながら光照射部から出射した光ビー
ム(レーザー)スポットを記録層に照射し、光照射部と
媒体とを高速で相対移動させながら記録消去を行う。こ
の相対移動速度が大きい場合を記録線速度が大きいと称
し、相対移動速度が小さい場合を記録線速度が小さいと
称する。
In the composition of the recording layer, a predetermined amount of Au must be contained in order to obtain a sufficient jitter improving effect, so that 0.01 ≦ z. More preferably, 0.
03 ≦ z. On the other hand, if the amount of Au is too large, the storage stability of the amorphous mark deteriorates, so z ≦ 0.12. More preferably, z ≦ 0.10. Well, Sb
And the content ratio of Te are related to the crystallization speed.
As e decreases, the crystallization speed increases. In general, a recording layer is irradiated with a light beam (laser) spot emitted from a light irradiation unit while rotating the medium at a high speed, and recording and erasing are performed while the light irradiation unit and the medium are relatively moved at a high speed. A case where the relative moving speed is high is referred to as a high recording linear speed, and a case where the relative moving speed is low is referred to as a low recording linear speed.

【0021】記録線速度が大きい状態では、記録層は一
旦光ビームスポットにより加熱された後、急速に冷却さ
れる。すなわち記録層の温度履歴は急冷的になり、同じ
組成の記録層では、記録線速度が大きいほどアモルファ
ス相が形成されやすく結晶相が形成されにくくなる。こ
のため、目的とする記録線速度が大きい媒体ではSb量
を多くして結晶化速度を速くし、目的とする記録線速度
が小さい媒体ではSb量を少なくして結晶化速度を遅く
するなど、記録線速度に応じて添加量を調整するのが望
ましい。結晶化速度が遅すぎず実用的な記録線速度で記
録できるためには0.70≦xとする。好ましくは0.
80≦xとする。一方、結晶化速度が速すぎず実用的な
記録線速度で記録できるためには、x≦0.95とす
る。好ましくはx≦0.90とする。
In a state where the recording linear velocity is high, the recording layer is once heated by the light beam spot and then rapidly cooled. That is, the temperature history of the recording layer becomes quenched, and in the recording layer having the same composition, the higher the recording linear velocity, the more the amorphous phase is likely to be formed, and the more difficult it is to form the crystalline phase. For this reason, in a medium having a high target recording linear velocity, the amount of Sb is increased to increase the crystallization speed, and in a medium having a low target recording linear velocity, the Sb amount is reduced to lower the crystallization speed. It is desirable to adjust the addition amount according to the recording linear velocity. 0.70 ≦ x so that the crystallization speed is not too slow and recording can be performed at a practical recording linear velocity. Preferably 0.
It is assumed that 80 ≦ x. On the other hand, in order that the crystallization speed is not too high and recording can be performed at a practical recording linear velocity, x ≦ 0.95. Preferably, x ≦ 0.90.

【0022】Ge量はアモルファスマークの保存安定性
に関係し、Ge量が多くなるとアモルファスマークの保
存安定性が増す傾向がある。Ge量が小さすぎるとこの
効果が不十分となるため、上記合金において0.01≦
yとする。好ましくは0.03≦yとする。Ge量が多
すぎると再生信号のジッタが悪化するためy≦0.10
とする。好ましくはy≦0.08とする。
The Ge amount is related to the storage stability of the amorphous mark. As the Ge amount increases, the storage stability of the amorphous mark tends to increase. If the Ge amount is too small, this effect becomes insufficient.
y. Preferably, 0.03 ≦ y. If the Ge amount is too large, the jitter of the reproduced signal deteriorates, so that y ≦ 0.10
And Preferably, y ≦ 0.08.

【0023】以上のことから、本発明の媒体の記録層組
成を((SbxTe1-x1-yGey 1-zAuzと表した場
合、x、y、zの値を、0.70≦x≦0.95、0.
01≦y≦0.10、0.01≦z≦0.12とする。
種々の特性改善のために、必要に応じてこの記録層に、
In、Ag、Ga、Zn、Sn、Si、Cu、Pd、P
t、Pb、Cr、Co、O、N、S、Se、V、Nb、
Ta等を添加してもよい。特性改善の効果を得るため
に、添加量は合金の全体組成の0.1at.%(原子
%)以上が好ましい。ただし、本発明組成の好ましい特
性を損なわないため10at.%以下にとどめるのが好
ましい。
From the above, the recording layer set of the medium of the present invention
((SbxTe1-x)1-yGey) 1-zAuzPlace
In this case, the values of x, y, and z are set to 0.70 ≦ x ≦ 0.95, 0.
It is assumed that 01 ≦ y ≦ 0.10 and 0.01 ≦ z ≦ 0.12.
In order to improve various characteristics, this recording layer
In, Ag, Ga, Zn, Sn, Si, Cu, Pd, P
t, Pb, Cr, Co, O, N, S, Se, V, Nb,
Ta or the like may be added. To get the effect of characteristic improvement
In addition, the addition amount is 0.1 at. %(atom
%) Or more is preferable. However, preferred characteristics of the composition of the present invention
10 at. %
Good.

【0024】記録層膜厚は5nmから100nmの範囲
が好ましい。記録層膜厚が5nmより薄いと十分なコン
トラストが得られ難く、また結晶化速度が遅くなる傾向
があり、短時間での記録消去が困難となりやすい。ま
た、反射率を十分に高くするためにより好ましくは10
nm以上とする。一方記録層膜厚が100nmを越すと
やはり光学的なコントラストが得にくくなり、クラック
も生じやすくなる。
The thickness of the recording layer is preferably in the range of 5 nm to 100 nm. If the thickness of the recording layer is less than 5 nm, it is difficult to obtain a sufficient contrast, and the crystallization speed tends to be slow. Further, it is more preferable to set the reflectivity to 10
nm or more. On the other hand, if the thickness of the recording layer exceeds 100 nm, it is still difficult to obtain optical contrast, and cracks are likely to occur.

【0025】熱容量を小さくし記録感度を上げるために
より好ましくは50nm以下とする。さらにまた、記録
層膜厚が50nm以下とすることで、相変化に伴う体積
変化を小さくし、記録層自身や上下の保護層に対して、
繰り返しオーバーライトによる繰り返し体積変化の影響
を小さくすることができる。ひいては、微視的かつ不可
逆な変形の蓄積が抑えられノイズが低減され、繰り返し
オーバーライト耐久性が向上する。
In order to reduce the heat capacity and increase the recording sensitivity, the thickness is more preferably 50 nm or less. Furthermore, by setting the recording layer thickness to 50 nm or less, the volume change due to the phase change is reduced, and the recording layer itself and the upper and lower protective layers are
The effect of repeated volume changes due to repeated overwriting can be reduced. As a result, accumulation of microscopic and irreversible deformation is suppressed, noise is reduced, and repeated overwrite durability is improved.

【0026】書き換え可能型DVDのような高密度記録
用媒体では、ノイズに対する要求が一層厳しいため、よ
り好ましくは記録層膜厚を30nm以下とする。次に相
変化光ディスクの構造における他の部分について説明す
る。相変化光ディスクでは基板上に保護層、記録層、保
護層、反射層をこの順に、或いは逆の順に有する場合が
多い。
In a medium for high-density recording such as a rewritable DVD, the requirement for noise is more severe, so that the thickness of the recording layer is more preferably 30 nm or less. Next, another part of the structure of the phase change optical disk will be described. A phase change optical disk often has a protective layer, a recording layer, a protective layer, and a reflective layer on a substrate in this order or in the reverse order.

【0027】基板としては、ポリカーボネート、ポリア
クリレート、ポリオレフィンなどの樹脂、あるいはガラ
ス等を用いることができる。基板側から記録再生光を入
射する場合は、基板は記録再生光に対して透明とする必
要がある。記録層は、その上下を保護層で被覆されてい
る場合が多い。保護層の材料としては誘電体が多く用い
られるが、屈折率、熱伝導率、化学的安定性、機械的強
度、密着性等に留意して決定される。一般的には透明性
が高く高融点である金属や半導体の酸化物、硫化物、窒
化物やCa、Mg、Li等のフッ化物が用いられる。
As the substrate, a resin such as polycarbonate, polyacrylate, polyolefin, or glass can be used. When recording / reproducing light is incident from the substrate side, the substrate needs to be transparent to the recording / reproducing light. In many cases, the recording layer is covered with a protective layer on the upper and lower sides. As a material of the protective layer, a dielectric is often used, and is determined in consideration of a refractive index, thermal conductivity, chemical stability, mechanical strength, adhesion, and the like. Generally, oxides, sulfides, nitrides, and fluorides such as Ca, Mg, and Li of metals and semiconductors having high transparency and high melting point are used.

【0028】これらの酸化物、硫化物、窒化物、フッ化
物は必ずしも化学量論的組成をとる必要はなく、屈折率
等の制御のために組成を制御したり、混合して用いるこ
とも有効である。より具体的にはZnSや希土類硫化物
と酸化物、窒化物、炭化物等の耐熱化合物の混合物が挙
げられる。たとえばZnSとSiO2の混合物は相変化
型光ディスクの保護層に用いられる場合が多い。これら
の保護層の膜密度はバルク状態の80%以上であること
が機械的強度の面から望ましい。
These oxides, sulfides, nitrides, and fluorides do not necessarily have to have a stoichiometric composition, and it is effective to control the composition for controlling the refractive index and the like, or to use a mixture thereof. It is. More specifically, a mixture of ZnS or a rare-earth sulfide and a heat-resistant compound such as an oxide, a nitride, and a carbide may be used. For example, a mixture of ZnS and SiO 2 is often used for a protective layer of a phase change optical disk. The film density of these protective layers is preferably 80% or more of the bulk state from the viewpoint of mechanical strength.

【0029】保護層は通常、5nmから500nmの厚
さに設けられる。保護層の厚みは5nm未満であると、
記録層の変形防止効果が不十分であり、保護層としての
役目をなさない傾向がある。500nmを超えると保護
層を構成する誘電体自体の内部応力や接している膜との
弾性特性の差が顕著になって、クラックが発生しやすく
なる。
The protective layer is usually provided with a thickness of 5 nm to 500 nm. When the thickness of the protective layer is less than 5 nm,
The effect of preventing the deformation of the recording layer is insufficient, and the recording layer tends not to function as a protective layer. If the thickness exceeds 500 nm, the internal stress of the dielectric itself constituting the protective layer and the difference in elastic properties between the dielectric layer and the contacting film become remarkable, and cracks are easily generated.

【0030】一般に保護層を構成する材料は成膜レート
が小さく、長い成膜時間を要する。成膜時間を短くし製
造時間を短縮しコストを削減するためには、保護層膜厚
を200nm以下に抑えるのが好ましい。より好ましく
は150nm以下である。記録層と反射層の間に設ける
保護層の膜厚は、記録層の変形を防ぐためには5nm以
上が好ましい。一般に、繰り返しオーバーライトによっ
て保護層内部には微視的な塑性変形が蓄積され、ひいて
は再生光を散乱させノイズを増加させる。これを抑制す
るためには保護層膜厚を60nm以下とするのが好まし
い。
Generally, the material forming the protective layer has a low film forming rate and requires a long film forming time. In order to shorten the film formation time, shorten the manufacturing time, and reduce the cost, it is preferable to suppress the thickness of the protective layer to 200 nm or less. More preferably, it is 150 nm or less. The thickness of the protective layer provided between the recording layer and the reflective layer is preferably 5 nm or more to prevent deformation of the recording layer. In general, microscopic plastic deformation is accumulated inside the protective layer due to repeated overwriting, which eventually scatters reproduction light and increases noise. In order to suppress this, the thickness of the protective layer is preferably set to 60 nm or less.

【0031】一方、記録層と基板の間に設ける保護層の
膜厚は、基板を保護するために20nm以上が好まし
い。反射層は、反射率、熱伝導度が大きい材料からなる
のが好ましい。反射率、熱伝導度が大きい反射層材料と
してはAg、Au、Al、Cu等を主成分とする金属が
挙げられる。中でもAgはAu、Al、Cu等に比べて
反射率、熱伝導度が最も大きい。
On the other hand, the thickness of the protective layer provided between the recording layer and the substrate is preferably at least 20 nm in order to protect the substrate. The reflection layer is preferably made of a material having high reflectance and thermal conductivity. Examples of the material of the reflective layer having high reflectivity and thermal conductivity include metals mainly composed of Ag, Au, Al, Cu, and the like. Among them, Ag has the largest reflectance and thermal conductivity as compared with Au, Al, Cu and the like.

【0032】短波長ではAgと比較してAu、Cu、A
lは光を吸収しやすくなる。このため、記録再生に65
0nm以下の短波長レーザーを使用する場合には、反射
層としてAgを主成分とする金属を用いることが特に好
ましい。さらにAgはスパッタリングターゲットとして
の値段が比較的安く、放電が安定で成膜速度が速く、空
気中で安定であるため好ましい。
At shorter wavelengths, Au, Cu, A
l becomes easier to absorb light. For this reason, 65
When a short-wavelength laser of 0 nm or less is used, it is particularly preferable to use a metal containing Ag as a main component for the reflective layer. Further, Ag is preferable because it is relatively inexpensive as a sputtering target, has stable discharge, has a high film-forming speed, and is stable in air.

【0033】Ag、Al、Au、Cu等は他の元素を含
んでいてもよい。これら金属は不純物が混ざると熱伝導
度や反射率が低下してしまうが、反面、安定性や膜表面
平坦性が改善される場合があるので、5at.%以下程
度の他元素を含んでもよい。含有元素としては、Cr、
Mo、Mg、Zr、V、Ag、In、Ga、Zn、S
n、Si、Cu、Au、Al、Pd、Pt、Pb、T
a、Ni、Co、O、Se、V、Nb、Ti、O、Nか
らなる群から選ばれる1以上の元素が好ましい。
Ag, Al, Au, Cu and the like may contain other elements. When these impurities are mixed with the metal, the thermal conductivity and the reflectivity are reduced, but on the other hand, the stability and the film surface flatness may be improved. % Or less. The contained elements include Cr,
Mo, Mg, Zr, V, Ag, In, Ga, Zn, S
n, Si, Cu, Au, Al, Pd, Pt, Pb, T
One or more elements selected from the group consisting of a, Ni, Co, O, Se, V, Nb, Ti, O, and N are preferable.

【0034】反射層の膜厚は50nm以上200nm以
下が好ましい。十分な反射率と放熱効果を得るためには
50nm以上が好ましい。一方、膜応力を低減するため
には200nm以下が好ましい。また、成膜時間を短く
し製造時間を短縮しコストを削減するためにも、膜厚2
00nm以下が好ましい。なお、記録層及び保護層の厚
みは、上記機械的強度、信頼性の面からの制限の他に、
多層構成に伴う干渉効果も考慮して、レーザー光の吸収
効率が良く、記録信号の振幅すなわち記録状態と未記録
状態のコントラストが大きくなるように選ばれる。
The thickness of the reflective layer is preferably 50 nm or more and 200 nm or less. In order to obtain a sufficient reflectance and heat radiation effect, the thickness is preferably 50 nm or more. On the other hand, to reduce the film stress, the thickness is preferably 200 nm or less. Further, in order to shorten the film forming time, shorten the manufacturing time, and reduce the cost,
00 nm or less is preferable. In addition, the thickness of the recording layer and the protective layer, the above mechanical strength, in addition to the restrictions in terms of reliability,
In consideration of the interference effect associated with the multilayer structure, the laser beam is selected so that the absorption efficiency of the laser beam is good and the amplitude of the recording signal, that is, the contrast between the recorded state and the unrecorded state is large.

【0035】記録層、保護層、反射層等はスパッタリン
グ法などによって形成される。各スパッタリングターゲ
ットを同一真空チャンバー内に設置したインライン装置
で膜形成を行うことが各層間の酸化や汚染を防ぐ点で望
ましい。また、生産性の面からも優れている。これらの
層のうえに、紫外線硬化樹脂などからなる保護コート層
を設けて保護しても良い。また、記録容量を大容量化す
るために、基板上に記録層を2層以上設けてもよいし、
或いは基板上に上記各層を形成したのち、接着剤で貼り
合わせても良い。
The recording layer, the protective layer, the reflective layer and the like are formed by a sputtering method or the like. It is desirable to form a film using an inline apparatus in which each sputtering target is installed in the same vacuum chamber, from the viewpoint of preventing oxidation and contamination between layers. It is also excellent in productivity. A protective coat layer made of an ultraviolet curable resin or the like may be provided on these layers for protection. Further, in order to increase the recording capacity, two or more recording layers may be provided on the substrate,
Alternatively, after each of the above layers is formed on the substrate, the layers may be bonded with an adhesive.

【0036】次に、本発明の光学的情報記録用媒体の好
ましい記録方法について説明する。本記録方法は、以上
述べた光学的情報記録用媒体に対して、基準クロック周
期を15ns以下として記録及び/又は消去を行う。こ
れによれば、上記光学的情報記録用媒体は相変化速度が
速く、かつ再生信号のジッタ特性に優れるので、基準ク
ロック周期15ns(ナノ秒)以下の高線速で、再生信
号のジッタに優れた記録消去が可能となる。
Next, a preferred recording method of the optical information recording medium of the present invention will be described. This recording method performs recording and / or erasing on the optical information recording medium described above with a reference clock cycle of 15 ns or less. According to this, the optical information recording medium has a high phase change speed and is excellent in the jitter characteristics of the reproduction signal. Therefore, the optical information recording medium is excellent in the reproduction signal jitter at a high linear velocity of 15 ns (nanosecond) or less in the reference clock cycle. The recorded data can be erased.

【0037】通常、ディスク状の媒体には螺旋状又は同
心円状に記録トラックが形成され、これに沿って情報の
記録が行われる。媒体を高速で回転させながら光照射部
から出射した光ビーム(レーザー)スポットを記録層に
照射し、光照射部と媒体とを高速で相対移動させながら
記録・再生・消去を行う。光源から出射した光は、通常
各種光学系を経て対物レンズを通って媒体に照射され
る。光照射部を媒体に対して相対移動させるとは、例え
ば対物レンズをほぼ固定した状態でディスク状の媒体を
回転させながら、該レンズから媒体の記録トラックに光
を照射する。記録トラックが媒体に螺旋状に形成されて
いる場合は、媒体を回転させながら対物レンズをディス
ク半径方向に少しずつ変移させる。
Usually, spiral or concentric recording tracks are formed on a disk-shaped medium, along which information is recorded. The recording layer is irradiated with a light beam (laser) spot emitted from the light irradiation unit while rotating the medium at high speed, and recording, reproduction, and erasing are performed while the light irradiation unit and the medium are relatively moved at high speed. Light emitted from the light source is usually applied to the medium through various optical systems, through an objective lens, and the like. To move the light irradiator relatively to the medium means, for example, irradiate a recording track of the medium from the lens while rotating the disk-shaped medium with the objective lens substantially fixed. When the recording track is formed in a spiral shape on the medium, the objective lens is shifted little by little in the radial direction of the disk while rotating the medium.

【0038】まず、アモルファス相を形成する際には高
パワーのレーザーパルスと低パワーのレーザーパルスを
交互に照射するのが好ましい。以下、高パワーのレーザ
ーパルスを記録パルスと称し、このとき印加されるパワ
ーを記録パワーPwとする。また低パワーのレーザーパ
ルスをオフパルスと称し、このとき印加されるパワーを
バイアスパワーPbとする。
First, when forming the amorphous phase, it is preferable to alternately irradiate a high-power laser pulse and a low-power laser pulse. Hereinafter, a high-power laser pulse is referred to as a recording pulse, and the power applied at this time is referred to as a recording power Pw. A low-power laser pulse is referred to as an off pulse, and the power applied at this time is referred to as bias power Pb.

【0039】これによれば、記録パルスにより加熱され
た領域をオフパルスの間に相対的に急冷することがで
き、アモルファス相が形成されやすい。パルスの立上が
り/立下がりを速くしたり、記録に用いるレーザー光源
を安価なものとするためには、小さい記録パワーPwで
記録できるのが好ましいが、小さいパワーで記録可能で
あるということは再生光で劣化しやすいことにつなが
る。このため、媒体は記録パワーPwが8〜25mWに
なるように設計するのが好ましい。より好ましくは8〜
20mWである。
According to this, the region heated by the recording pulse can be relatively rapidly cooled during the off-pulse, and an amorphous phase is easily formed. In order to speed up the rise / fall of the pulse and to reduce the cost of the laser light source used for recording, it is preferable that recording can be performed with a small recording power Pw. Leads to deterioration. For this reason, the medium is preferably designed so that the recording power Pw is 8 to 25 mW. More preferably 8 to
20 mW.

【0040】なお、バイアスパワーPbは記録パワーP
wの0.5倍以下(Pb/Pw≦0.5)が好ましく、
より好ましくは0.3倍以下(Pb/Pw≦0.3)で
ある。ここで、トラッキング性能等を考慮すると、バイ
アスパワーPbは、再生時に照射する再生光のパワーP
rの値に近い値が好ましい。再生パワーPrは通常0.
5〜1.0mWである。
The bias power Pb is equal to the recording power P
0.5 or less of w (Pb / Pw ≦ 0.5) is preferable,
It is more preferably 0.3 times or less (Pb / Pw ≦ 0.3). Here, in consideration of the tracking performance and the like, the bias power Pb is equal to the power P of the reproduction light irradiated at the time of reproduction.
A value close to the value of r is preferred. The reproduction power Pr is usually 0.
5 to 1.0 mW.

【0041】冷却速度を速めたい場合には、バイアスパ
ワーPbを小さくするのがよく、0としてもよい。即ち
光を照射しなくてもよい。結晶相形成時には、記録層に
消去パワーPeのレーザー光を連続照射するのが好まし
い。消去パワーPeは、オーバーライトの際に結晶相を
消去できるよう記録層を加熱できる大きさであれば特に
制限はないが、通常、バイアスパワーPbより大きく記
録パワーPwより小さい。例えば0.2≦Pe/Pw<
1.0とする。消去パワーPeの大きさは、記録パワー
Pwの照射により溶融した部分の再結晶化領域にも関係
する。
To increase the cooling rate, the bias power Pb is preferably reduced, and may be set to zero. That is, it is not necessary to irradiate light. During the formation of the crystal phase, it is preferable to continuously irradiate the recording layer with a laser beam having an erasing power Pe. The erasing power Pe is not particularly limited as long as the recording layer can be heated so that the crystal phase can be erased during overwriting, but is generally higher than the bias power Pb and lower than the recording power Pw. For example, 0.2 ≦ Pe / Pw <
1.0. The magnitude of the erasing power Pe is also related to the recrystallized region of the portion melted by the irradiation of the recording power Pw.

【0042】消去パワーPeが連続照射されると、記録
層は結晶化温度付近まで加熱されるとともに、加熱され
た領域を相対的に徐冷することができ、結晶相を形成で
きる。以上を組み合わせることで、アモルファス相と結
晶相を形成し分けることができ、オーバーライト記録を
行うことができる。
When the erasing power Pe is continuously applied, the recording layer is heated to a temperature near the crystallization temperature, and the heated region can be relatively gradually cooled to form a crystal phase. By combining the above, an amorphous phase and a crystalline phase can be formed and separated, and overwrite recording can be performed.

【0043】アモルファス相を形成する際に記録パルス
とオフパルスを交互に照射する具体例を以下に示す。長
さnT(Tは基準クロック周期、nは自然数)のマーク
(アモルファス相)を形成する際には、時間nTを下記
式(1)のように分割する。
A specific example of alternately irradiating a recording pulse and an off pulse when forming an amorphous phase will be described below. When forming a mark (amorphous phase) having a length nT (T is a reference clock cycle and n is a natural number), the time nT is divided as in the following equation (1).

【0044】[0044]

【数1】 α1T、β1T、α2T、β2T、・・・、αm-1T、βm-1T、αmT、βmT ・・・(1 ) (但し、α1+β1+α2+β2+・・・αm-1+βm-1+α
m+βm=n−j、jは0以上の実数、mは1以上の整数
であり、j、mは媒体及び記録条件の組合せにより決め
られる値である。) 上記式において、αiT(1≦i≦m)なる時間に記録
パルスを照射し、βiT(1≦i≦m)なる時間にはオ
フパルスを照射して記録する。そしてマークとマークの
間の領域(結晶相)においては、消去パワーPeを有す
る光を照射する。これによってオーバーライト記録が行
える。
Α 1 T, β 1 T, α 2 T, β 2 T,..., Α m-1 T, β m-1 T, α m T, β m T (1) ( Where α 1 + β 1 + α 2 + β 2 + ... α m-1 + β m-1 + α
m + β m = n-j , j is 0 or a real number, m is an integer of 1 or more, j, m is a value determined by the combination of the medium and recording conditions. In the above formula, recording is performed by irradiating a recording pulse at a time of α i T (1 ≦ i ≦ m) and irradiating an off-pulse at a time of β i T (1 ≦ i ≦ m). Then, in a region (crystal phase) between the marks, light having an erasing power Pe is irradiated. Thus, overwrite recording can be performed.

【0045】[0045]

【実施例】以下に本発明を実施例を用いて説明するが、
その要旨の範囲を越えない限り本発明は実施例に限定さ
れるものではない。溝幅0.5μm、溝深さ40nm、
溝ピッチ1.6μmの案内溝を有する直径120mm、
1.2mm厚のディスク状ポリカ−ボネ−ト基板上に、
(ZnS) 80(SiO220層(100nm)、Au−
Ge−Sb−Te記録層(18nm)、(ZnS)
80(SiO220層(40nm)、Al99.5Ta0.5合金
反射層(200nm)をスパッタリング法により成膜
し、相変化型光ディスクを作製した。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples.
The present invention is limited to the examples unless it exceeds the scope of the gist.
It is not something to be done. Groove width 0.5 μm, groove depth 40 nm,
120 mm in diameter having a guide groove with a groove pitch of 1.6 μm,
On a 1.2 mm thick disk-shaped polycarbonate substrate,
(ZnS) 80(SiOTwo)20Layer (100 nm), Au-
Ge-Sb-Te recording layer (18 nm), (ZnS)
80(SiOTwo)20Layer (40 nm), Al99.5Ta0.5alloy
Reflective layer (200nm) formed by sputtering method
Then, a phase change optical disk was manufactured.

【0046】なお、記録層組成は表−1に示す6種類と
した。またこれらの組成を((Sb xTe1-x1-y
y1-zAuzで表記した場合のx、y、zの値も併せ
て表−1に記載した。
The composition of the recording layer was six kinds shown in Table 1.
did. Further, these compositions are represented by ((Sb xTe1-x)1-yG
ey)1-zAuzThe values of x, y, and z when expressed as
The results are shown in Table 1.

【0047】[0047]

【表1】 まず、実施例1〜2、比較例1〜4の各ディスクについ
て、初期結晶化を行った。次に実施例1〜2、比較例1
〜3の各ディスクについて、レ−ザ−波長780nm、
NA0.5のピックアップを有するディスク評価装置を
用い、以下の手順で案内溝内に記録・消去を行ったのち
再生してディスク特性を評価した。
[Table 1] First, initial crystallization was performed on each of the disks of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4. Next, Examples 1 and 2 and Comparative Example 1
Laser wavelength 780 nm,
Using a disk evaluation device having a pickup of NA 0.5, recording and erasing were performed in the guide grooves according to the following procedure, and then reproduction was performed to evaluate the disk characteristics.

【0048】まず、線速度24m/s、基準クロック周
期T=11.6ns、Pw=17mW、Pe=8.5m
W、Pb=0.8mWとして、EFMランダム信号を図
1に示すレーザー波形を用いて10回、オーバーライト
記録した。図1において横軸は時間、縦軸はレーザーパ
ワーであり、記録パワーPw、消去パワーPe、バイア
スパワーPbの3種類のパワーを使用している。図1
(a)は長さ3Tのマークを記録する場合のレーザー波
形を表し、図1(b)、(c)、(d)、(e)、
(f)、(g)、(h)、(i)はそれぞれ長さ4T、
5T、6T、7T、8T、9T、10T、11Tのマー
クを記録する場合のレーザー波形を表す。
First, a linear velocity of 24 m / s, a reference clock cycle T = 11.6 ns, Pw = 17 mW, Pe = 8.5 m
With W and Pb = 0.8 mW, an EFM random signal was overwritten 10 times using the laser waveform shown in FIG. In FIG. 1, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents laser power, and three types of power, ie, recording power Pw, erasing power Pe, and bias power Pb, are used. Figure 1
(A) shows a laser waveform when a mark having a length of 3T is recorded, and FIGS. 1 (b), (c), (d), (e),
(F), (g), (h), and (i) each have a length of 4T,
It shows the laser waveform when recording 5T, 6T, 7T, 8T, 9T, 10T, and 11T marks.

【0049】すなわち、長さnT(Tは基準クロック周
期で、nは3〜11の自然数)のマーク(アモルファス
相)を形成する際には、時間nTの期間を上記式(1)
のように分割し、記録パワーPwを持つ記録パルス、バ
イアスパワーPbを持つオフパルスを交互に照射し、一
部消去パワーPeを照射した。マーク間部を形成する期
間は消去パワーPeを持つ消去光を照射した。
That is, when forming a mark (amorphous phase) having a length nT (T is a reference clock cycle and n is a natural number of 3 to 11), the period of time nT is calculated by the above equation (1).
Then, a recording pulse having the recording power Pw and an off-pulse having the bias power Pb are alternately irradiated, and the partial erasing power Pe is irradiated. An erasing light having an erasing power Pe was applied during the period for forming the inter-mark portion.

【0050】詳しくは、各マーク形成時はPwとPbの
パルス列を次のように照射した(Tは基準クロック周
期)。 3Tマーク:1.5TのPw、1.2TのPb 4Tマーク:1TのPw、1TのPb、1TのPw、
0.6TのPb 5Tマーク:1TのPw、1.35TのPb、1.5T
のPw、0.6TのPb 6Tマーク:1TのPw、1TのPb、1TのPw、1
TのPb、1TのPw、0.6TのPb 7Tマーク:1TのPw、1TのPb、1TのPw、
1.35TのPb、1.5TのPw、0.6TのPb 8Tマーク:1TのPw、1TのPb、1TのPw、1
TのPb、1TのPw、1TのPb、1TのPw、0.
6TのPb 9Tマーク:1TのPw、1TのPb、1TのPw、1
TのPb、1TのPw、1.35TのPb、1.5Tの
Pw、0.6TのPb 10Tマーク:1TのPw、1TのPb、1TのPw、
1TのPb、1TのPw、1TのPb、1TのPw、1
TのPb、1TのPw、0.6TのPb 11Tマーク:1TのPw、1TのPb、1TのPw、
1TのPb、1TのPw、1TのPb、1TのPw、
1.35TのPb、1.5TのPw、0.6TのPb 以上のように記録したEFMランダム信号を、線速度
2.4m/sで再生し、3Tスペースジッタ(3Tマー
ク間部ジッタ)を測定した。なお、マーク間部(スペー
ス)は未記録部・消去部に対応し、マーク部は記録部に
対応する。3Tスペースとは長さ3Tのマーク間部を指
し、3Tスペースジッタとは記録されたEFMランダム
信号を再生したときの長さ3Tのマーク間部のジッタで
ある。
More specifically, when forming each mark, a pulse train of Pw and Pb was irradiated as follows (T is a reference clock cycle). 3T mark: 1.5T Pw, 1.2T Pb 4T mark: 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw,
0.6T Pb 5T mark: 1T Pw, 1.35T Pb, 1.5T
Pw, 0.6T Pb 6T mark: 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw, 1T
T Pb, 1T Pw, 0.6T Pb 7T mark: 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw,
1.35T Pb, 1.5T Pw, 0.6T Pb 8T mark: 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw, 1T Pw
T Pb, 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw, 0.
6T Pb 9T mark: 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw, 1T
T Pb, 1T Pw, 1.35T Pb, 1.5T Pw, 0.6T Pb 10T mark: 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw,
1T Pb, 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw, 1T
T Pb, 1T Pw, 0.6T Pb 11T mark: 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw,
1T Pb, 1T Pw, 1T Pb, 1T Pw,
1.35T Pb, 1.5T Pw, 0.6T Pb The EFM random signal recorded as described above is reproduced at a linear velocity of 2.4 m / s, and 3T space jitter (jitter between 3T marks) is obtained. It was measured. The space between marks (space) corresponds to an unrecorded portion / erased portion, and the mark portion corresponds to a recorded portion. The 3T space refers to an inter-mark portion having a length of 3T, and the 3T space jitter is a jitter of a 3T-length inter-mark portion when a recorded EFM random signal is reproduced.

【0051】次いで、Pe/Pw=0.5としてPwを
18〜24mWの間で変化させた以外は同条件で、10
回オーバーライト記録と3Tスペースジッタの測定を繰
り返した。結果をグラフにしたものを図2に示す。図2
において横軸は記録パワーPw(mW)、縦軸は3Tス
ペースジッタ(ns)である。
Next, under the same conditions except that Pe / Pw = 0.5 and Pw was changed between 18 and 24 mW,
Overwrite recording and measurement of 3T space jitter were repeated. FIG. 2 shows the results as a graph. FIG.
In the graph, the horizontal axis represents the recording power Pw (mW), and the vertical axis represents 3T space jitter (ns).

【0052】比較例1〜3のディスクはいずれもAuを
含まないが、最も低いジッタを示したものは比較例2の
ディスクであり、ジッタボトム値(記録パワーを変化さ
せた中でのジッタの最低値)は20.8nsであった。
3種類の中では、比較例1は最もSb量が少なくTe量
が多く、比較例3は最もSb量が多くTe量が少なく、
比較例2は中間である。Sb量が多くTe量が少ないほ
ど結晶化速度は速くなるため、比較例2のディスクの結
晶化速度は比較例1のディスクと比較例3のディスクの
間である。
The discs of Comparative Examples 1 to 3 did not contain Au, but the disc showing the lowest jitter was the disc of Comparative Example 2, and the jitter bottom value (the lowest jitter when the recording power was changed) Value) was 20.8 ns.
Among the three types, Comparative Example 1 has the least amount of Sb and a large amount of Te, and Comparative Example 3 has the largest amount of Sb and a small amount of Te.
Comparative Example 2 is intermediate. Since the crystallization speed increases as the Sb content increases and the Te content decreases, the crystallization speed of the disk of Comparative Example 2 is between that of Comparative Example 1 and that of Comparative Example 3.

【0053】結晶化速度が比較的遅い比較例1のディス
クはジッタボトム値が25.7nsであった。結晶化速
度がより速い比較例2のディスクはジッタボトム値が2
0.8nsと改善されたが、結晶化速度が最も速い比較
例3のディスクはジッタボトム値が22.7nsと、却
って悪化してしまった。これはSbとTeの含有量を変
えることによって結晶化速度を変化させるだけでは、こ
れ以上良いジッタを得ることは困難であることを示して
いる。
The disk of Comparative Example 1 having a relatively low crystallization speed had a jitter bottom value of 25.7 ns. The disc of Comparative Example 2 having a higher crystallization speed had a jitter bottom value of 2
Although it was improved to 0.8 ns, the disk of Comparative Example 3 having the highest crystallization speed had a jitter bottom value of 22.7 ns, which was rather worse. This indicates that it is difficult to obtain a better jitter by merely changing the crystallization speed by changing the content of Sb and Te.

【0054】比較例1〜3のディスクでは、Sb量が多
くTe量が少なくなるにつれて、オシロスコープで観察
したときの結晶反射率レベルを示す線が、幅を持って太
くなる現象が顕著になった。即ち比較例3が最も反射率
レベルを示す線が太かった。おそらく、比較例1では結
晶化速度が遅すぎてジッタが悪く、比較例3では結晶化
速度は速くなったもののジッタに悪影響を及ぼす新たな
結晶相の影響が強くなりジッタが悪化したと思われる。
In the discs of Comparative Examples 1 to 3, as the Sb content increased and the Te content decreased, the phenomenon that the line indicating the crystal reflectance level as observed with an oscilloscope became wider and wider became remarkable. . That is, the line indicating the reflectance level in Comparative Example 3 was thick. Probably, in Comparative Example 1, the crystallization speed was too slow, resulting in poor jitter. In Comparative Example 3, although the crystallization speed was increased, the influence of a new crystal phase, which adversely affected the jitter, became stronger, and jitter was deteriorated. .

【0055】一方、実施例1、2のディスクでは、Au
の含まれない比較例1〜3のディスクに比べて良好なジ
ッタが得られた。実施例1、2のジッタボトム値はそれ
ぞれ16.5ns、14.2nsであった。すなわち実
施例1、2ではCD−RWの規格(オレンジブックパー
ト3)で定められた17.5ns以下(線速2.4m/
sにおいて)のジッタが得られた。また、結晶反射率レ
ベルを示す線が太くなる現象も軽減された。
On the other hand, in the discs of the first and second embodiments, Au
The better jitter was obtained as compared with the disks of Comparative Examples 1 to 3 which did not contain the same. The jitter bottom values of Examples 1 and 2 were 16.5 ns and 14.2 ns, respectively. That is, in the first and second embodiments, 17.5 ns or less (linear velocity of 2.4 m / s) defined by the CD-RW standard (Orange Book Part 3)
s) was obtained. Also, the phenomenon that the line indicating the crystal reflectivity level becomes thicker was reduced.

【0056】次に、実施例1、2、比較例1、4のディ
スクに、前記と同条件でEFMランダム信号を1回記録
した。そののち記録したEFMランダム信号を線速度
2.4m/sで再生し、3Tスペースジッタ(3Tマー
ク間部ジッタ)を測定した。さらにこれらディスクを8
0℃、85%RHの環境に500時間保ち(加速試験、
耐環境試験)、記録しておいたEFMランダム信号を線
速度2.4m/sで再生し、3Tスペースジッタ(3T
マーク間部ジッタ)を測定した。
Next, EFM random signals were recorded once on the disks of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 4 under the same conditions as described above. Thereafter, the recorded EFM random signal was reproduced at a linear velocity of 2.4 m / s, and 3T space jitter (jitter between 3T marks) was measured. In addition, 8
Keep in an environment of 0 ° C. and 85% RH for 500 hours (acceleration test,
Environment resistance test), the recorded EFM random signal is reproduced at a linear velocity of 2.4 m / s, and 3T space jitter (3T
The jitter between marks) was measured.

【0057】その結果、実施例1,2、比較例1のディ
スクでは加速試験後の記録信号の消失はなく、ジッタボ
トム値の変化は実施例1で0ns、実施例2で6ns、
比較例1で0nsであった。これに対し、比較例4では
記録マークがほぼ完全に結晶化し消えてしまい測定不可
能であった。更に、従来より光ディスクの記録材料とし
て使用されているInSbTe系記録層について評価を
行った。前記の線速度24m/sという高線速記録に適
した高結晶化速度を有する組成になるように記録層のS
b/Te含有量比を調整し、In6Sb78Te17、In8
Sb76Te16、In10Sb74Te16の3種類の記録層を
もつ光ディスクを作製した。これらディスクに前記と同
条件でEFMランダム信号を1回記録した。続いて前記
の80℃、85%RHに500時間保ったところ、アモ
ルファスマークが結晶化しマークが消失してしまった。
この現象はIn量には関係がなかった。なお、In量が
増えると前記の結晶反射率レベルを示す線が太くなる現
象が顕著になり、ジッタが悪化した。
As a result, in the discs of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, there was no disappearance of the recording signal after the acceleration test, and the jitter bottom value change was 0 ns in Example 1 and 6 ns in Example 2.
In Comparative Example 1, it was 0 ns. On the other hand, in Comparative Example 4, the recording mark almost completely crystallized and disappeared, and measurement was impossible. Further, an InSbTe-based recording layer conventionally used as a recording material for an optical disk was evaluated. The S of the recording layer is adjusted so that the composition has a high crystallization rate suitable for high linear velocity recording of the linear velocity of 24 m / s.
By adjusting the b / Te content ratio, In 6 Sb 78 Te 17 , In 8
Optical discs having three types of recording layers, Sb 76 Te 16 and In 10 Sb 74 Te 16 , were produced. An EFM random signal was recorded once on these disks under the same conditions as described above. Subsequently, when the temperature was maintained at 80 ° C. and 85% RH for 500 hours, the amorphous mark was crystallized and the mark disappeared.
This phenomenon was not related to the amount of In. When the amount of In was increased, the phenomenon that the line indicating the crystal reflectance level became thick became remarkable, and the jitter was deteriorated.

【0058】[0058]

【発明の効果】本発明の光学的情報記録用媒体を用いる
ことにより、15ns以下の基準クロック周期での記録
に対応できるような高結晶化速度、優れた記録信号ジッ
タ特性、及び優れた保存安定性を有する光学的情報記録
用媒体を得ることができる。
By using the optical information recording medium of the present invention, a high crystallization speed, an excellent recording signal jitter characteristic, and an excellent storage stability can be achieved so as to be able to cope with recording at a reference clock cycle of 15 ns or less. An optical information recording medium having a property can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本実施例におけるパルス分割方法の概略図FIG. 1 is a schematic diagram of a pulse division method in the present embodiment.

【図2】 本実施例における記録パワーと3Tスペース
ジッタの関係を示すグラフ
FIG. 2 is a graph showing a relationship between recording power and 3T space jitter in the present embodiment.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に少なくとも相変化型記録層を設
けた光学的情報記録用媒体であって、該相変化型記録層
が((SbxTe1-x1-yGey1-zAuz(ただし0.
70≦x≦0.95、0.01≦y≦0.10、0.0
1≦z≦0.12)で表される組成を主成分とする合金
からなることを特徴とする光学的情報記録用媒体。
1. An optical information recording medium having at least a phase change type recording layer provided on a substrate, wherein the phase change type recording layer is ((Sb x Te 1-x ) 1-y Ge y ) 1 -z Au z (where 0.
70 ≦ x ≦ 0.95, 0.01 ≦ y ≦ 0.10, 0.0
An optical information recording medium comprising an alloy having a composition represented by 1 ≦ z ≦ 0.12) as a main component.
【請求項2】 0.03≦zである、請求項1に記載の
光学的情報記録用媒体。
2. The optical information recording medium according to claim 1, wherein 0.03 ≦ z.
【請求項3】 z≦0.10である、請求項1又は2に
記載の光学的情報記録用媒体。
3. The optical information recording medium according to claim 1, wherein z ≦ 0.10.
【請求項4】 記録時の基準クロック周期を15ns以
下として請求項1乃至3のいずれかに記載の光学的情報
記録用媒体に記録を行うことを特徴とする記録消去方
法。
4. A recording and erasing method, characterized in that recording is performed on an optical information recording medium according to claim 1, wherein a reference clock cycle at the time of recording is 15 ns or less.
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