JP2002260562A - Printed wiring board and image forming device - Google Patents

Printed wiring board and image forming device

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JP2002260562A
JP2002260562A JP2001059061A JP2001059061A JP2002260562A JP 2002260562 A JP2002260562 A JP 2002260562A JP 2001059061 A JP2001059061 A JP 2001059061A JP 2001059061 A JP2001059061 A JP 2001059061A JP 2002260562 A JP2002260562 A JP 2002260562A
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JP
Japan
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wiring
substrate
glass layer
cracks
wiring board
Prior art date
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Application number
JP2001059061A
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Japanese (ja)
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Yoshiki Uda
芳己 宇田
Kazuya Ishiwatari
和也 石渡
Yasuyuki Watabe
泰之 渡部
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Original Assignee
Canon Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printed wiring board which enables prevention of separation of thick film wiring by suppressing the cracking, and an image formation device having the printed wiring board. SOLUTION: The printed wiring board has a glass layer 10 mainly consisting of glass which covers a partial region of the wiring that excludes a part of the film printed wiring but does not includes wiring end in the line width directions of the wiring, or covers at least a glass layer 10 adjacent to the end of the wiring in the width direction, when the line width of the wiring is wider than a prescribed value.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に配置され
る厚膜の配線を用いた配線基板に関し、この配線基板を
備えた画像形成装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wiring board using a thick wiring disposed on a substrate, and more particularly to an image forming apparatus provided with the wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、薄型の自発光型画像表示装置が注
目を浴びている。上記表示装置としては、例えば、紫外
線を蛍光体に照射することで蛍光体を励起し発光させる
プラズマディスプレイパネル、電界放出型電子放出素子
や表面伝導型電子放出素子を電子源として用い、上記電
子放出素子から放出された電子を蛍光体に照射すること
で蛍光体を励起し発光させる平板状の画像形成装置など
がある。
2. Description of the Related Art In recent years, thin self-luminous image display devices have been receiving attention. As the display device, for example, a plasma display panel that excites a phosphor by irradiating ultraviolet rays to the phosphor to emit light, a field emission type electron emission element or a surface conduction type electron emission element is used as an electron source, There is a flat image forming apparatus or the like that irradiates the phosphor with electrons emitted from the element to excite the phosphor to emit light.

【0003】図8に表面伝導型電子放出素子の概略構成
を示す。また、図9に表面伝導型電子放出素子用いた画
像形成装置の概略構成図を示す。
FIG. 8 shows a schematic configuration of a surface conduction electron-emitting device. FIG. 9 is a schematic configuration diagram of an image forming apparatus using a surface conduction electron-emitting device.

【0004】図8(a)は表面伝導型電子放出素子構成
の平面図、図8(b)は表面伝導型電子放出素子構成の
断面図である。図において101は絶縁性基板、104
は導電性薄膜、102,103は導電性薄膜104と電
気的接続を得るための一対の電極、105は電子放出部
である。
FIG. 8A is a plan view of the structure of a surface conduction electron-emitting device, and FIG. 8B is a cross-sectional view of the structure of a surface conduction electron-emitting device. In the figure, 101 is an insulating substrate, 104
Is a conductive thin film, 102 and 103 are a pair of electrodes for obtaining electrical connection with the conductive thin film 104, and 105 is an electron emitting portion.

【0005】図9中、1005はリアプレート、100
6は外枠、1007はフェースプレートである。100
8は蛍光膜、1009はメタルバックである。外枠、基
板、フェースプレートの各接続部を封着し、画像表示装
置内部を真空に維持するための外囲器(気密容器)を構
成している。リアプレート1005には、基板1001
が固定されている。この基板1001上には表面伝導型
電子放出素子1002がN×M個配列形成されている。
また、表面伝導型電子放出素子1002は、図9に示す
とおり、M本の行方向配線1004とN本の列方向配線
1003とにより配線されている。上記行方向および列
方向配線を多数配列形成する方法として、比較的安価
で、真空装置など必要なく、大面積に対応し得る印刷技
術を用いることが考えられる。
In FIG. 9, reference numeral 1005 denotes a rear plate;
6 is an outer frame, 1007 is a face plate. 100
8 is a fluorescent film, 1009 is a metal back. The outer frame, the substrate, and the connection portions of the face plate are sealed to form an envelope (airtight container) for maintaining the inside of the image display device in a vacuum. The rear plate 1005 includes a substrate 1001
Has been fixed. On this substrate 1001, N × M surface conduction electron-emitting devices 1002 are formed and arranged.
As shown in FIG. 9, the surface conduction electron-emitting device 1002 is wired by M row-directional wirings 1004 and N column-directional wirings 1003. As a method of forming a large number of row and column wirings, it is conceivable to use a printing technique which is relatively inexpensive and does not require a vacuum device and can cope with a large area.

【0006】印刷技術としては、一般にスクリーン印刷
が用いられる。スクリーン印刷は、例えば金属粒子を混
ぜたペーストを所望のパターンの開口を有する版をマス
クとして、上記開口部からペーストを被印刷体である基
板上に印刷形成し、その後焼成を行うことで所望のパタ
ーンの導体配線などを形成するものである。
[0006] As a printing technique, screen printing is generally used. Screen printing is, for example, a paste mixed with metal particles is used as a mask having an opening of a desired pattern as a mask, and the paste is printed and formed on a substrate as a printing object from the opening, and then baked to obtain a desired paste. This is for forming conductor wiring in a pattern.

【0007】さらに上記スクリーン印刷ではできない、
パターンの細線化、位置精度アップを目的として、ペー
ストに感光特性を付与した感光性金属ペーストを用いた
方法を用いることも出来る。感光性金属ペーストを用い
た方法は、所望の配線パターンを持つフォトマスクを介
して、基板上に成膜されている感光性ペーストを露光
し、その後、現像、焼成を行うことで所望のパターンの
導体配線などを形成するものである。
[0007] Further, the above screen printing cannot be performed.
For the purpose of thinning the pattern and increasing the positional accuracy, a method using a photosensitive metal paste in which photosensitive properties are imparted to the paste can be used. The method using a photosensitive metal paste exposes a photosensitive paste formed on a substrate through a photomask having a desired wiring pattern, and then performs development and baking to form a desired pattern. It forms conductor wiring and the like.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来技術の場合には、下記のような問題が生じて
いた。
However, in the case of the above-described prior art, the following problems have occurred.

【0009】一般にガラス等の基板上に形成する配線の
膜厚を厚くした場合に、配線の端部が基板との接する部
分でガラス部分にクラック(以下、端部クラックと称
す)を生じたり、配線の長さ方向に平行な方向にクラッ
ク(以下、サイドクラックと称す)が生じることがあ
る。特に膜厚の関係と共に配線幅が一定の線幅より広く
なると顕著に発生する。
In general, when the thickness of a wiring formed on a substrate made of glass or the like is increased, a crack (hereinafter, referred to as an end crack) occurs in a glass portion at a portion where the end of the wiring contacts the substrate. A crack (hereinafter, referred to as a side crack) may occur in a direction parallel to the length direction of the wiring. In particular, when the wiring width becomes wider than a certain line width in association with the film thickness, the problem occurs remarkably.

【0010】これは、配線材料であるペーストの素性に
よることが多く、スクリーン印刷法や感光性ペースト法
などの製法にはあまり依存しない。但し製法の差により
得られる配線の形状の差(特に断面形状の差)はクラッ
クの発生しやすさの違いとなって現れることがある。さ
らに金属粒子(例えば、Ag)の配線においては1回の
焼成においてはクラックが生じないものでも、その後の
工程等により焼成が繰り返された場合にクラックが生じ
てくる場合があったり、一定の時間を経るとクラックが
生じてしまうという問題があった。更に、この端部クラ
ックとサイドクラックがそれぞれ拡大して融合し、配線
自体が短冊状に反り返って剥がれるという問題があっ
た。
This often depends on the nature of the paste as the wiring material, and does not depend much on a manufacturing method such as a screen printing method or a photosensitive paste method. However, a difference in wiring shape (particularly, a difference in cross-sectional shape) obtained by a difference in a manufacturing method may appear as a difference in susceptibility to cracks. Further, in the case of wiring of metal particles (for example, Ag), even if cracking does not occur in one firing, cracking may occur when firing is repeated in a subsequent step or the like, or for a certain period of time. However, there is a problem that cracks occur after passing through. Further, there is a problem that the end cracks and the side cracks expand and fuse, respectively, and the wiring itself warps in a strip shape and peels off.

【0011】一般に、クラックが生じる推定要因として
は複数考えられるが、要因の一つとして、基板と配線材
料の熱膨張係数の差が考えられる。例えば、基板にガラ
ス系の基板を用いた場合に金属系である配線材料とガラ
ス基板の熱膨張係数の差は大略1桁程度は配線材料の方
が大きい。このため配線を焼成し常温に戻す際に基板と
配線の間で歪エネルギーが蓄えられ配線の基板側エッジ
部に応力が集中して、基板のクラックに発展する可能性
が有る。
In general, there are a plurality of possible causes of the occurrence of cracks. One of the possible causes is a difference in thermal expansion coefficient between the substrate and the wiring material. For example, when a glass-based substrate is used as the substrate, the difference in the thermal expansion coefficient between the metal-based wiring material and the glass substrate is approximately one digit larger for the wiring material. Therefore, when the wiring is baked and returned to room temperature, strain energy is accumulated between the substrate and the wiring, stress is concentrated on the substrate-side edge of the wiring, and there is a possibility that cracks may develop in the substrate.

【0012】このようなクラックが生じる状態を図1
0,11で説明すると、複数の短冊状の厚膜配線1がガ
ラス基板2の上に形成され焼成されている状態におい
て、図10の(a)部を裏面から拡大して見た図11
(a)に示したように、サイドクラック3が配線の長さ
方向とほぼ平行に発生することがある。サイドクラック
は膜厚にほぼ依存し膜厚が厚くなればクラックの生じる
確率は高くなる。
FIG. 1 shows a state in which such cracks occur.
In the state where a plurality of strip-shaped thick film wirings 1 are formed on a glass substrate 2 and fired, FIG.
As shown in (a), side cracks 3 may occur substantially parallel to the length direction of the wiring. Side cracks almost depend on the film thickness, and the thicker the film thickness, the higher the probability of occurrence of cracks.

【0013】また、配線の断面形状も影響し、感光性ペ
ースト法の場合、配線の断面形状はほぼ台形でサイドが
若干厚くなるためサイドクラックは図のように、配線の
幅方向に対して少し内側の両側に2本生じることが多
い。
Also, the cross-sectional shape of the wiring is affected. In the case of the photosensitive paste method, the cross-sectional shape of the wiring is substantially trapezoidal and the sides are slightly thicker. Often there are two on each side of the inside.

【0014】また、図10の(b)部を裏面から拡大し
て見た図11(b)に示したように、端部クラック4が
配線の端部に貝殻状のクラックパターンを伴って発生す
ることがある。端部クラックも膜厚にほぼ依存し膜厚が
厚くなればクラックの生じる確率は高くなる。
Further, as shown in FIG. 11 (b), which is an enlarged view of the portion (b) of FIG. 10 from the back surface, an end crack 4 occurs along with a shell-like crack pattern at the end of the wiring. May be. Edge cracks also depend substantially on the film thickness, and the larger the film thickness, the higher the probability of occurrence of cracks.

【0015】また、図11(c)は図10の配線を側面
から見た場合のA−A断面の配線剥がれ5であるが、5
のようにサイドクラックが伸長し端部クラックと融合
(一体化)して大きな配線の剥がれとなることがある。
これも、膜厚が厚くなるほど発生確率は高くなり、また
焼成回数が多いほど発生確率は高くなる。
FIG. 11C shows the wiring peeling 5 in the AA section when the wiring of FIG. 10 is viewed from the side.
As described above, the side cracks may extend and fuse (integrate) with the end cracks, resulting in large peeling of the wiring.
Again, the probability of occurrence increases as the film thickness increases, and the probability of occurrence increases as the number of firings increases.

【0016】問題となるクラックや配線剥がれが生じる
焼成後の膜厚としては、本発明者らの検討では5μmあ
たりから起きるものもあり、特に10μmあたりより、
12μm、18μmなどと膜厚が厚くなるほど、クラッ
クの発生と配線剥がれの発生確率およびクラックや剥が
れの程度は大きくなる。
According to the study of the present inventors, the film thickness after firing at which cracks and wiring peeling that cause problems may occur at around 5 μm, and especially at around 10 μm.
As the film thickness increases to 12 μm, 18 μm, or the like, the probability of occurrence of cracks and peeling of wiring and the degree of cracks and peeling increase.

【0017】また、クラックや配線剥離の生じる線幅と
しては、本発明者らの検討では膜厚15μm前後の膜厚
を持つ配線において線幅100μmを超えるあたりから
起きるものもあり、特に線幅200μmを超えるもの
は、クラックの発生と配線剥がれの発生確率はかなり大
きくなる。
According to the study of the present inventors, the line width at which cracks and peeling of the wiring occur may occur at a line width of about 15 μm or more when the line width exceeds 100 μm, and particularly at a line width of 200 μm. In the case of exceeding, the probability of occurrence of cracks and peeling of wiring is considerably increased.

【0018】さらに、本発明者らの検討ではソーダライ
ムガラスや無アルカリガラスやPDP(プラズマディス
プレイパネル)で使用されているPD200ガラスの上
に、前記ガラス用に焼成プロセス温度を合わせた銀ペー
ストの組み合わせで、膜厚18μmの配線では、線幅2
00μmを超えるとほぼ100%クラックが生じる。
Further, in the study of the present inventors, on a soda lime glass, a non-alkali glass, or a PD200 glass used for a PDP (plasma display panel), a silver paste having a firing process temperature adjusted for the glass is used. In combination, the line width 2
When the thickness exceeds 00 μm, almost 100% cracks occur.

【0019】このように端部クラックやサイドクラック
が生じてしまうと、配線の引き出し部においては後工程
で実施するフレキ実装やタブ実装においてフレキやタブ
が配線ごと剥がれて実装できない問題や、配線の端部が
めくれ上がり他の部分との接触によるショート問題、か
け・脱落によるショート問題、アライメントマーク等の
各種マーカーの形状不安定の問題、さらに、配線の端部
から離れた部位においても基板にクラックが入るために
最悪の場合配線が剥がれて基板から浮きあがり製品の信
頼性を損ねるという問題等があった。
If end cracks or side cracks occur as described above, in the lead-out portion of the wiring, in the flexible mounting or the tab mounting performed in a later step, the flexible or tab is peeled off together with the wiring and cannot be mounted. Edges are curled up, short-circuits due to contact with other parts, short-circuits due to crossing / dropping, problems with the shape of various markers such as alignment marks, and cracks on the board even at locations away from the ends of the wiring In the worst case, there is a problem that the wiring is peeled off and rises from the substrate, thereby impairing the reliability of the product.

【0020】本発明は上記の従来技術の課題を解決する
ためになされたもので、その目的とするところは、厚膜
の配線において、クラックを抑制してクラックにより生
じる配線剥離の防止を可能にした配線基板及びこの配線
基板を備えた画像形成装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art. It is an object of the present invention to suppress cracks in a thick-film wiring and prevent wiring peeling caused by the cracks. To provide a wiring substrate and an image forming apparatus provided with the wiring substrate.

【0021】[0021]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明にあっては、基板上に複数配置される厚膜の配
線を有する配線基板において、ガラスを主成分とし、前
記配線の線幅が所定値以上の場合に、該配線の線幅方向
の配線端を含まない一部領域を除いた領域を覆うか、ま
たは、少なくとも該配線の線幅方向の配線端に隣接する
ガラス層を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a wiring substrate having a plurality of thick-film wirings arranged on a substrate, wherein the wiring substrate is mainly composed of glass, When the width is equal to or more than a predetermined value, it covers an area excluding a partial area not including the wiring end in the line width direction of the wiring, or at least covers a glass layer adjacent to the wiring end in the line width direction of the wiring. It is characterized by having.

【0022】ここで、本発明において「配線」とは、所
望の線幅と膜厚と長さで、所望の基体(以下同様の意味
で「基板」を使用する)上に形成された導電性の物体を
指す。また、本発明における「厚膜の配線」とは厚みが
1μm以上の配線を指す。
Here, in the present invention, “wiring” means a conductive material formed on a desired substrate (hereinafter, “substrate” is used in the same meaning) with a desired line width, film thickness and length. Object. The term “thick film wiring” in the present invention refers to a wiring having a thickness of 1 μm or more.

【0023】このように構成したことにより、端部クラ
ックとサイドクラックを抑制する効果の非常に高い厚膜
配線基板を実現する事が出来る。
With such a configuration, it is possible to realize a thick film wiring board having an extremely high effect of suppressing end cracks and side cracks.

【0024】前記一部領域とは、電気的に接続される接
続部であることも好適である。
It is also preferable that the partial region is a connection portion that is electrically connected.

【0025】前記所定値とは、200μmであることも
好適である。
Preferably, the predetermined value is 200 μm.

【0026】前記ガラス層は、絶縁性を有する絶縁ペー
ストからなることも好適である。
It is preferable that the glass layer is made of an insulating paste having an insulating property.

【0027】前記絶縁ペーストは、感光性を備えること
も好適である。
It is also preferable that the insulating paste has photosensitivity.

【0028】前記基板上に配置される配線の配線材料
は、金属粒子を主成分とする金属ペーストであることも
好適である。
The wiring material for the wiring arranged on the substrate is preferably a metal paste containing metal particles as a main component.

【0029】前記金属ペーストは、銀を主成分とするこ
とも好適である。
The metal paste preferably contains silver as a main component.

【0030】画像形成装置にあっては、上記記載の配線
基板と、前記配線基板により配線される電子放出素子
と、前記電子放出素子から放出された電子によって画像
を形成する画像形成部材と、を備えることを特徴とす
る。
In the image forming apparatus, the wiring substrate described above, an electron-emitting device wired by the wiring substrate, and an image-forming member for forming an image by electrons emitted from the electron-emitting device are provided. It is characterized by having.

【0031】[0031]

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、この発明
の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、
材質、形状それらの相対配置などは、発明が適用される
装置の構成や各種条件により適宜変更されるべきもので
あり、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣
旨のものではない。
Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the dimensions of the components described in this embodiment,
The material, the shape, and the relative arrangement thereof should be appropriately changed depending on the configuration of the apparatus to which the invention is applied and various conditions, and are not intended to limit the scope of the invention to the following embodiments.

【0032】本発明を適用した配線基板は、配線に対し
て形成されたガラス層を備えたものであり、該配線の線
幅が所定値以上の配線に対して形成されたガラス層が配
線パターンにオーバーラップするか、隣接していること
を特徴としている。
The wiring board to which the present invention is applied is provided with a glass layer formed on the wiring, and the glass layer formed on the wiring having a wiring width equal to or more than a predetermined value is formed on the wiring pattern. Or overlaps or is adjacent to.

【0033】具体的には、基板上に複数配置されてなる
厚膜の配線を有する厚膜配線基板において、配線を上方
から平面的に見た場合、それぞれの配線に対して、クラ
ックを生じやすい膜厚の配線パターンに対して、所定の
線幅以上のパターンに対して、この一部、もしくは全て
の部分に対して、ガラスを主成分とするガラス層を備え
るものであり、該ガラス層は、少なくとも配線の線幅方
向の配線パターンと隣接させるか、もしくは、配線の線
幅方向に対して配線にオーバーラップした(該ガラス層
は該配線の線幅方向の配線端を含まない一部領域を除い
た領域を覆っている)ものである。すなわち、該配線を
電気的に接続する目的の部分においては一部領域として
配線が部分的に露出する箇所を有し、その他の部分はガ
ラス層を、部分的、あるいは隣接、あるいは全てを覆う
ことに特徴がある。
Specifically, in a thick-film wiring board having a plurality of thick-film wirings arranged on a substrate, when the wirings are viewed from above in a plan view, cracks tend to occur in each of the wirings. For a wiring pattern having a thickness, for a pattern having a predetermined line width or more, a part or all of the part is provided with a glass layer containing glass as a main component, and the glass layer is At least adjacent to the wiring pattern in the line width direction of the wiring, or overlapped with the wiring in the line width direction of the wiring (the glass layer is a partial region not including the wiring end in the line width direction of the wiring) Is covered). In other words, the part for the purpose of electrically connecting the wiring has a part where the wiring is partially exposed as a partial region, and the other part covers the glass layer partially, adjacently, or entirely. There is a feature.

【0034】ここで、本実施の形態において、「配線」
とは、所望の線幅と膜厚と長さで、所望の基体(以下同
様の意味で「基板」を使用する)上に形成された導電性
の物体を指す。また、「厚膜の配線」とは厚みが1μm
以上の配線を指す。
Here, in this embodiment, "wiring"
The term “conductive” refers to a conductive object formed on a desired substrate (hereinafter, “substrate” is used in the same sense) with a desired line width, film thickness, and length. The term “thick film wiring” means that the thickness is 1 μm.
Refers to the above wiring.

【0035】このように本実施の形態では、ガラス層を
備えることによって、サイドクラックと端部クラックの
発生を抑制可能な配線としている。
As described above, in the present embodiment, the provision of the glass layer provides a wiring that can suppress the occurrence of side cracks and edge cracks.

【0036】該ガラス層は、配線を上方から平面的に見
た場合に、電気的に接続する部分を除いて、配線を覆う
形か配線の端部に隣接して一体化していることがよく、
またガラス層の形成は少なくとも配線のクラックを生じ
やすい所定の線幅以上の部分に形成することが良く、ま
たガラス層の形状や厚さは電気的な接続が必要な部分に
おいては、配線の電気的な接続を阻害しなければどのよ
うな形状でも膜厚でも良い。すなわち、ガラス層が配線
の線幅方向の一部と一体化していればよい。
When the wiring is viewed from above in a plan view, the glass layer is often formed integrally with the wiring so as to cover the wiring or to be adjacent to the end of the wiring except for the electrically connected portion. ,
Further, the glass layer is preferably formed at least in a portion having a predetermined line width or more where cracks in the wiring are likely to occur, and the shape and thickness of the glass layer may be reduced in portions where electrical connection is required. Any shape or film thickness may be used as long as the connection is not hindered. That is, the glass layer may be integrated with a part of the wiring in the line width direction.

【0037】該配線の線幅の所定値は、使用する配線材
料の特性並びに配線を形成する基体材料の特性や作製プ
ロセス等により左右され一概に決定できるものではない
が、本発明者らは、基体にガラス質の材料を用い、配線
材料として数種類のペーストを用い数種類の作製プロセ
スを検討した結果、厚さが数μmから数十μmの配線に
おいて、配線の線幅がおおよそ200μm以下、配線の
厚さはおおよそ15μm以下であれば、基体にサイドク
ラックや端部クラックが生じにくいことを確認したの
で、ガラス層を形成する配線の線幅の所定値は200μ
m以上とした。本発明者らの実験においては、配線の間
隔がおおよそ100μm以下であればクラックの発生は
高い確率で抑制できたために、より好ましくはガラス層
で被覆される配線幅は100μm以上がより望ましい。
The predetermined value of the line width of the wiring depends on the characteristics of the wiring material to be used, the characteristics of the base material for forming the wiring, the manufacturing process, and the like, and cannot be determined unconditionally. As a result of examining several types of manufacturing processes using a vitreous material for the base and using several types of pastes as the wiring material, in a wiring having a thickness of several μm to several tens of μm, the line width of the wiring is approximately 200 μm or less, and If the thickness is about 15 μm or less, it has been confirmed that side cracks and edge cracks are unlikely to occur on the substrate, so the predetermined value of the line width of the wiring forming the glass layer is 200 μm.
m or more. In the experiments of the present inventors, since the occurrence of cracks could be suppressed with a high probability if the interval between the wirings was about 100 μm or less, the width of the wiring covered with the glass layer is more preferably 100 μm or more.

【0038】以上のようなガラス層を作製する工程の例
として各種の形成方法が適用できる。より最適な作製方
法の例としては、感光性ペーストによる方法が適用でき
る。この感光性ペーストによる方法は、基板上に予め形
成した配線に対して、ガラス層として基板上に絶縁ペー
ストを形成し、事前に配線に対して所望の形状にガラス
層が形成されるように配慮したフォトマスクを準備し、
このフォトマスクを介して絶縁ペースト材料に光を照射
する方法を用い、その後現像や焼成等の工程を経て配線
の一部が電気的な接続が可能なように露出したガラス層
を有する配線を形成するものである。
Various forming methods can be applied as an example of the process for producing the above glass layer. As an example of a more optimal manufacturing method, a method using a photosensitive paste can be applied. In this method using a photosensitive paste, an insulating paste is formed on a substrate as a glass layer with respect to a wiring formed in advance on a substrate, and consideration is given so that a glass layer is formed in a desired shape on the wiring in advance. Prepare a photomask
Using a method of irradiating the insulating paste material with light through this photomask, a wiring having a glass layer in which a part of the wiring is exposed so as to be able to be electrically connected is formed through processes such as development and baking. Is what you do.

【0039】また、ガラス層を作製する他の工程の例と
しては、スクリーン印刷法が適用できる。スクリーン印
刷法では、事前に所望のガラス層と相似のパターンが形
成されている版を用い、この版から絶縁ペースト材料を
吐出させて基板上や配線に対してパターンを形成する方
法を用い、その後焼成等の工程を経てガラス層を形成す
るものである。
As an example of another process for producing a glass layer, a screen printing method can be applied. The screen printing method uses a plate in which a pattern similar to the desired glass layer is formed in advance, and uses a method in which an insulating paste material is discharged from this plate to form a pattern on a substrate or wiring, and thereafter, The glass layer is formed through a process such as firing.

【0040】さらにまた、前記配線形成の一例として述
べた、感光性ペーストによる方法や、スクリーン印刷
法、もしくはこれらを組み合わせて実施する方法等にお
いて、ガラス層の形成を数層に分けて所望の膜厚にする
方法を取る形成方法も適用できる。
Further, in the method using a photosensitive paste, the screen printing method, or a method combining these methods, which is described as an example of the wiring formation, the formation of the glass layer is divided into several layers to form a desired film. A forming method that takes a method of increasing the thickness is also applicable.

【0041】前記スクリーン印刷法における配線材料は
金属ペーストを用いて作製し、金属の主成分は、銅や銀
の比較的比抵抗の低い配線材料に適した単体材料または
混合材料であるものを使用する。中でも主成分が銀であ
る金属ペーストを用いると、印刷性が良好で焼成時の雰
囲気も気にせず作製できるので都合が良い。
The wiring material used in the screen printing method is prepared using a metal paste, and the main component of the metal is a single material or a mixed material suitable for a wiring material of copper or silver having a relatively low specific resistance. I do. In particular, when a metal paste whose main component is silver is used, the printability is good and the paste can be produced without concern for the atmosphere during firing, which is convenient.

【0042】また、前記感光性ペーストによる方法にお
ける配線材料でも金属ペーストを用いて作製し、金属の
主成分は、銅や銀の比較的比抵抗の低い配線材料に適し
た単体材料または混合材料であるものを使用する。中で
も主成分が銀である金属ペーストを用いると、成膜にス
クリーン印刷法を用いれば印刷性が良好で焼成時の雰囲
気も気にせず作製できるので都合が良い。
Also, the wiring material in the method using the photosensitive paste is prepared by using a metal paste, and the main component of the metal is a single material or a mixed material suitable for a wiring material of copper or silver having a relatively low specific resistance. Use something. Above all, when a metal paste whose main component is silver is used, if a screen printing method is used for film formation, printability is good and the film can be produced without concern for the atmosphere during firing, which is convenient.

【0043】本実施の形態の配線は、該配線の膜厚が1
μm以上、好ましくは5μm以上の厚膜配線において適
用するのが望ましい。
The wiring of this embodiment has a thickness of 1
It is desirable to apply the present invention to a thick wiring having a thickness of at least 5 μm, preferably at least 5 μm.

【0044】なぜならば、使用する金属ペーストの組成
や含有物の構成比率等によって多少左右され、また基板
にソーダライムガラスや低アルカリガラスなどを用い、
表面にSiO2など表面コートした基板や無垢の基板な
ど種々の基板において状態は左右されるが、おおむね1
0μm前後の膜厚になると銀を主成分とする配線におい
ては端部クラックやサイドクラックが発生する可能性が
大となるからであり、一度の焼成においてはクラックが
生じなくともその後の絶縁層の形成時や上側配線の形成
時など数度にわたる焼成においてクラックが発生する可
能性はさらに大となるからである。
This is because the composition is slightly influenced by the composition of the metal paste to be used, the composition ratio of the contents, and so on.
The state of various substrates such as a substrate coated with a surface such as SiO 2 or a solid substrate varies depending on the substrate.
When the film thickness is about 0 μm, the possibility of occurrence of edge cracks and side cracks increases in the wiring mainly composed of silver. This is because the possibility of occurrence of cracks in firing several times, such as during formation or formation of the upper wiring, is further increased.

【0045】特に、12μmあたりを越え18μmなど
の膜厚になればクラックの発生確率は非常に高く、逆に
5μm〜10μm程度の膜厚であっても条件によっては
クラックが発生することもあるからである。
In particular, when the film thickness exceeds about 12 μm and reaches a film thickness of 18 μm or the like, the probability of occurrence of cracks is extremely high. On the contrary, even if the film thickness is about 5 μm to 10 μm, cracks may occur depending on the conditions. It is.

【0046】一例として、図1は、本実施の形態の切れ
込みのある配線の特徴を最も良く表わす配線の例を示す
図であり、10はガラス層、11は配線、12は基板、
15は電気的接続部、Aは配線幅を表している。同図は
配線幅の所定値以上の部分Aに配線の電気的接続部15
を残してガラス層10を形成した例であり、本実施の形
態のガラス層のある配線を具体的な形にした図である。
As an example, FIG. 1 is a diagram showing an example of a wiring which best shows the characteristics of a notched wiring according to the present embodiment, wherein 10 is a glass layer, 11 is a wiring, 12 is a substrate,
Reference numeral 15 denotes an electrical connection portion, and A denotes a wiring width. The figure shows that the electrical connection portion 15
This is an example in which a glass layer 10 is formed while leaving the wiring, and a diagram showing a specific form of a wiring having a glass layer according to the present embodiment.

【0047】上記のような方法で作製した厚膜配線基板
は本発明の範囲であり、さらには、該基板を用いて作製
した平板状の画像形成装置も本発明の範囲である。
The thick film wiring board manufactured by the above-described method is within the scope of the present invention, and a flat plate image forming apparatus manufactured using the substrate is also within the scope of the present invention.

【0048】以上述べたような厚膜配線基板および製造
方法を用いた平板状の画像形成装置は、その表示方法に
電子を加速して画像形成部材としての蛍光体を発光させ
る構造のもの、すなわち少なくとも電子放出素子と蛍光
体が画像形成装置内に配置されているもので電子を空間
に放出させるために真空を要する画像形成装置に使用す
ることが出来る。該電子放出素子としては、表面伝導型
を用いた画像形成装置に使用することが好適である。
The flat image forming apparatus using the thick film wiring board and the manufacturing method as described above has a structure in which electrons are accelerated by the display method to emit a phosphor as an image forming member, that is, At least the electron-emitting device and the phosphor are arranged in the image forming apparatus, and can be used in an image forming apparatus that requires a vacuum to emit electrons into space. The electron-emitting device is preferably used in an image forming apparatus using a surface conduction type.

【0049】上述したようなサイドクラックや端部クラ
ックが抑制可能な原因としては複数推定することがで
き、配線のエッジ部分に集中する応力をガラス層で覆う
ことにより形状的に応力緩和させることが出来ること、
ガラス層の方が基板との熱膨張係数において金属系配線
材料の熱膨張係数よりはるかに近いこと、配線の焼成時
に生じる焼結力から来る応力をガラス系ペースト加える
ことにより緩和出来ること、その他の要因による効果で
あると推定できる。
A plurality of causes that can suppress the side cracks and edge cracks as described above can be presumed. The stress concentrated on the edge portion of the wiring is covered by the glass layer so that the stress is reduced in shape. What you can do,
The glass layer has a coefficient of thermal expansion that is much closer to the substrate than the metal-based wiring material, and the stress resulting from the sintering force generated during the firing of wiring can be reduced by adding a glass-based paste. It can be estimated that the effect is due to factors.

【0050】[0050]

【実施例】以下、実施例により本発明を適用した配線基
板について具体的に説明する。
The present invention will be described below in detail with reference to examples.

【0051】(実施例1)図2〜図5において、画像形
成装置の配線パターンとして、基板上に下側配線と上側
配線を形成し、マトリックス配線を作製した作製方法を
示す。
Example 1 FIGS. 2 to 5 show a method of forming a matrix wiring by forming a lower wiring and an upper wiring on a substrate as wiring patterns of an image forming apparatus.

【0052】11は下側配線、10はガラス層、12は
基板、13はマスク、14はペースト、15は電気的接
続部、16は絶縁層、17は上側配線、17bは下側配
線工程で形成した上側配線の引出し部、18はスクリー
ン版、19は光(露光光、レーザ光)である。
11 is a lower wiring, 10 is a glass layer, 12 is a substrate, 13 is a mask, 14 is a paste, 15 is an electrical connection, 16 is an insulating layer, 17 is an upper wiring, and 17b is a lower wiring step. Reference numeral 18 denotes a screen plate, and reference numeral 19 denotes light (exposure light, laser light).

【0053】図2(a)は下配線工程実施後の状態で、
さらに、図3は図2(a)のA−A断面を示しており、
図3(a)は感光性ペーストの成膜後、図3(b)は露
光時、図3(c)は現像後、図3(d)は焼成後の状態
を示している。図4は絶縁層工程実施後の状態で、図5
は上配線工程実施後の状態であり、図4(b)は図4
(a)のA−A断面図、図5(b)は図5(a)のA−
A断面図である。
FIG. 2A shows a state after the lower wiring step is performed.
Further, FIG. 3 shows an AA cross section of FIG.
3A shows a state after the photosensitive paste is formed, FIG. 3B shows a state after exposure, FIG. 3C shows a state after development, and FIG. 3D shows a state after baking. FIG. 4 shows a state after the insulating layer process is performed.
4B shows a state after the upper wiring step is performed, and FIG.
5A is a cross-sectional view taken along the line AA, and FIG.
It is A sectional drawing.

【0054】まず図3において、基板上に下側配線11
を形成する方法を述べる。図3において、12はソーダ
石灰ガラスを使用した基板とPD200を使用した基板
を使用した基板の2種類を準備し、それぞれの基板上に
成膜方法としてスクリーン印刷法により感光性ペースト
を用いて14を形成した。
First, in FIG. 3, the lower wiring 11 is formed on the substrate.
Will be described. In FIG. 3, reference numeral 12 denotes two kinds of substrates, a substrate using soda-lime glass and a substrate using PD200, and using a photosensitive paste by a screen printing method as a film forming method on each substrate. Was formed.

【0055】感光性ペーストは、銀を主成分とするもの
で、銀粒子が6〜8割程度含有するほか、ガラス成分、
感光性を有するものを含む有機成分、ガラスフリットお
よび溶媒成分を2〜4割程度含有するものを使用した。
The photosensitive paste contains silver as a main component and contains about 60 to 80% of silver particles.
Those containing about 20 to 40% of an organic component including a photosensitive component, a glass frit, and a solvent component were used.

【0056】版は#150〜400あたりの粗さのもの
を所望の最終膜厚が得られるように使い分けるが、#1
50の粗さの版を用い成膜した。その後、感光性ペース
トを乾燥させる目的で、80〜150℃程度の乾燥を実
施した。乾燥後の膜厚は30μm程度であった。なお、
#150とは、1辺が25.4mmの中のふるい目の数
が150であることを意味する。
Plates having a roughness of about # 150 to # 400 are selectively used so as to obtain a desired final film thickness.
Film formation was performed using a plate having a roughness of 50. Thereafter, drying was performed at about 80 to 150 ° C. for the purpose of drying the photosensitive paste. The film thickness after drying was about 30 μm. In addition,
# 150 means that the number of sieves in one side of 25.4 mm is 150.

【0057】次に、図3(b)において、図2(a)の
ようなパターンであるところの引出し部の配線幅が30
0μmのパターンを有するマスク13を用い、所望の場
所に露光されるようにアライメントしペースト14を露
光した。
Next, in FIG. 3B, the wiring width of the lead portion having the pattern as shown in FIG.
Using a mask 13 having a pattern of 0 μm, the paste 14 was aligned and exposed so as to expose a desired place.

【0058】次に、図3(c)のように配線ペーストを
現像し配線パターンを形成し、これを図3(d)のよう
に焼成工程として、焼成を500℃近傍で実施した。焼
成工程を経たパターンは若干収縮することにより、配線
幅280μm高さ15μmの下配線11が形成できた。
Next, as shown in FIG. 3 (c), the wiring paste was developed to form a wiring pattern, and this was used as a firing step as shown in FIG. 3 (d). The pattern after the firing step was slightly contracted, so that the lower wiring 11 having a wiring width of 280 μm and a height of 15 μm could be formed.

【0059】次に、図4のように、同じく感光性ペース
ト法によって、絶縁ペーストを4層形成し、図4(a)
のように、絶縁層16を形成した。このとき用いたフォ
トマスクは配線11および、配線17の電気的接続部1
5を除いた引出し部分を覆うことが出来るパターンを用
いて配線の所定値以上の部分(ここでは、すなわち引出
し配線)に対して図4のようなガラス層10を形成し
た。
Next, as shown in FIG. 4, four layers of insulating paste are similarly formed by the photosensitive paste method.
As described above, the insulating layer 16 was formed. The photomask used at this time is the electric connection portion 1 of the wiring 11 and the wiring 17.
A glass layer 10 as shown in FIG. 4 was formed on a portion of a wiring having a predetermined value or more (that is, a lead wiring) using a pattern capable of covering the lead portion except 5.

【0060】さらに、図5において、上側配線17をス
クリーン印刷法にて作製した。スクリーン印刷法におい
ては、ペーストとして、銀を主成分とするもので、銀粒
子が6〜8割程度含有するものを使用した。
Further, in FIG. 5, the upper wiring 17 was formed by a screen printing method. In the screen printing method, a paste containing silver as a main component and containing about 60 to 80% of silver particles was used as a paste.

【0061】版は#150〜400あたりの粗さのもの
を所望の最終膜厚から使い分けるが、#150の粗さの
版を用い印刷した。その後、ペーストを乾燥させる目的
で、80〜150℃程度の乾燥を実施した。乾燥後の膜
厚は30μm程度であった。
A plate having a roughness of # 150 to 400 is selectively used depending on a desired final film thickness. Printing was performed using a plate having a roughness of # 150. Thereafter, drying was performed at about 80 to 150 ° C. for the purpose of drying the paste. The film thickness after drying was about 30 μm.

【0062】焼成工程を経て、同図(b)のような配線
として上側配線17を形成した。このときの焼成は、4
20℃近傍で実施した。焼成工程を経たパターンは若干
収縮することにより、配線幅280〜290μm程度、
高さ18μm程度の上配線17が形成できた。
After the firing step, the upper wiring 17 was formed as a wiring as shown in FIG. The firing at this time is 4
The test was performed at around 20 ° C. The pattern after the firing step is slightly contracted, so that the wiring width is about 280 to 290 μm,
The upper wiring 17 having a height of about 18 μm was formed.

【0063】このようにして、基板上の配線に対してガ
ラス層を作製し、上側配線を作製し、マトリックス配線
を作製した。
In this manner, a glass layer was formed on the wiring on the substrate, an upper wiring was formed, and a matrix wiring was formed.

【0064】本実施例のようなガラス層を有する配線を
用いたところ、基板の種類に依存せずどの基板において
も、サイドクラックおよび端部クラックが生じることは
なく、配線剥離等は発生しなかった。
When a wiring having a glass layer as in this embodiment was used, no side crack or edge crack occurred on any substrate regardless of the type of the substrate, and no wiring peeling or the like occurred. Was.

【0065】また、図5(a)のパターン端部において
は、接続部以外はガラス層で覆われているため、Ag配
線の歪エネルギーを低減し、応力を緩和する効果が高く
クラックの発生はなかった。
Further, at the end of the pattern shown in FIG. 5A, the portion other than the connection portion is covered with the glass layer, so that the strain energy of the Ag wiring is reduced, the effect of relaxing the stress is high, and the generation of cracks is suppressed. Did not.

【0066】(実施例2)図6は、本発明の実施例2に
係る配線基板のガラス層の別のパターンの例である。
Embodiment 2 FIG. 6 is an example of another pattern of the glass layer of the wiring board according to Embodiment 2 of the present invention.

【0067】10はガラス層、11は配線、12は基
板、15は電気的接続部である。
10 is a glass layer, 11 is a wiring, 12 is a substrate, and 15 is an electrical connection.

【0068】これを実施例1と同様の方法で作製した。This was produced in the same manner as in Example 1.

【0069】本実施例のような短冊状のガラス層パター
ンで作製した配線を用いたところ、ガラス層の作成工程
にて焼成収縮が生じても配線の幅方向部分のエッジ部に
はガラス層が離れることなくきちっと形成することが出
来るため、配線のクラック抑制効果に対する信頼性が高
かった。
When a wire made of a strip-shaped glass layer pattern as in this embodiment is used, even if shrinkage due to firing occurs in the process of forming the glass layer, the glass layer is formed on the edge portion in the width direction of the wire. Since it can be formed properly without separation, the reliability for the effect of suppressing cracks in the wiring was high.

【0070】(実施例3)図7は、本発明の実施例3に
係る配線基板のガラス層の別のパターンの例である。
(Embodiment 3) FIG. 7 is an example of another pattern of a glass layer of a wiring board according to Embodiment 3 of the present invention.

【0071】10はガラス層、11は配線、12は基
板、15は電気的接続部である。
Reference numeral 10 denotes a glass layer, 11 denotes a wiring, 12 denotes a substrate, and 15 denotes an electrical connection.

【0072】これを実施例1と同様の方法で作製した。
但し、ガラス層パターンは1層目のみ用い2層目以降は
ガラス層パターンの無い絶縁層パターンのみのマスクを
用い、配線の高さとがガラス層の高さをほぼ同じ高さに
なるように揃えた。
This was produced in the same manner as in Example 1.
However, only the first layer is used for the glass layer pattern, and the second and subsequent layers are masked using only the insulating layer pattern without the glass layer pattern, and the height of the wiring is adjusted to be substantially the same as the height of the glass layer. Was.

【0073】本実施例のように、配線に隣接するように
ガラス層を作製した配線を用いたところ、ガラスと配線
の接続部がフラットに出来るため、後工程のフレキ実装
等において実装部のひっつき強度が高く電気的接続の信
頼性の高いものが作製できた。
When a wiring in which a glass layer is formed so as to be adjacent to the wiring is used as in this embodiment, the connecting portion between the glass and the wiring can be made flat. A product having high strength and high reliability of electrical connection was produced.

【0074】(実施例4)実施例4では、実施例1で使
用した基板(ソーダ石灰ガラスとPD200)に変え
て、無アルカリガラスを12に使用した例を示す。
(Embodiment 4) Embodiment 4 shows an example in which non-alkali glass is used for substrate 12 instead of the substrate (soda lime glass and PD200) used in Embodiment 1.

【0075】無アルカリガラスは、ソーダ石灰ガラスや
PD200に対してアルカリ分が非常に少なくこのため
熱膨張係数はおおよそ半分程度(30〜50×10-7
K前後)のガラスである。このため、ガラスペーストも
熱膨張係数を基板に可能な限り近づけたペーストを使用
し、これを実施例1と同様の方法で作製した。さらに、
完成した基板を平板状画像形成装置の基板として用い
た。
The alkali-free glass has a very small alkali content with respect to soda-lime glass and PD200, and therefore has a thermal expansion coefficient of about half (30 to 50 × 10 -7 /
K) glass. For this reason, a glass paste having a coefficient of thermal expansion as close as possible to the substrate was used as the glass paste, and was produced in the same manner as in Example 1. further,
The completed substrate was used as a substrate for a flat plate image forming apparatus.

【0076】本実施例のような無アルカリガラス上に配
線とガラス層を作製した配線を用いたところ、基板にク
ラックが生じることなく、配線のクラック抑制効果が得
られた。平板状の画像形成装置としては、基板のクラッ
クが抑制されたため、実装部の信頼性や気密容器として
の信頼性が向上した装置が作製できた。
When a wiring in which a wiring and a glass layer were formed on non-alkali glass as in this example was used, a crack was not generated on the substrate, and an effect of suppressing the wiring crack was obtained. As a flat plate-shaped image forming apparatus, an apparatus having improved reliability of the mounting portion and reliability as an airtight container could be manufactured because cracking of the substrate was suppressed.

【0077】上述した実施例によれば、端部クラックと
サイドクラックを抑制する効果の非常に高い厚膜配線基
板を実現する事が出来る。本発明を適用した配線基板で
は、サイドクラックや端部クラックが抑制されるため、
結果として性能を満足する様々な用途に使える厚膜配線
を有する装置に応用する事が可能となる。また、剥離が
ない配線が作製可能であるためフレキ実装等の工程でも
非常に有利になるなど、信頼性の高い製品を提供するこ
とが出来る。
According to the above-described embodiment, it is possible to realize a thick-film wiring board having an extremely high effect of suppressing end cracks and side cracks. In the wiring board to which the present invention is applied, side cracks and edge cracks are suppressed,
As a result, the present invention can be applied to a device having a thick film wiring which can be used for various applications satisfying the performance. In addition, a highly reliable product can be provided because a wiring without peeling can be manufactured, which is very advantageous in a process such as flexible mounting.

【0078】[0078]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
厚膜の配線において、クラックの発生を抑制することが
でき、クラックにより生じる配線剥がれを防止すること
が可能となる。
As described above, according to the present invention,
In a thick-film wiring, cracks can be suppressed from occurring, and the wiring can be prevented from peeling off due to the cracks.

【0079】したがって、配線の引き出し部においては
フレキ実装やタブ実装においてフレキやタブが配線ごと
剥がれて実装できない問題を無くすことができ、さら
に、他の部位においても端部がめくれ上がらないために
他の部分との接触によるショート問題を無くし、かけ・
脱落も無いためショート問題も無くし、アライメントマ
ーク等の各種マーカーの形状不安定等の問題も無くすこ
とが可能となる。
Therefore, in the lead-out portion of the wiring, the problem that the flexible or tab is peeled off together with the wiring in the flexible mounting or the tab mounting and the mounting cannot be performed can be eliminated. Eliminate short-circuit problems caused by contact with parts
Since there is no dropout, it is possible to eliminate the problem of short-circuit and the problem of unstable shape of various markers such as alignment marks.

【0080】さらに、基板の端部から離れた部位におい
ても基板にクラックが入らないために、配線が剥がれて
基板から浮き上がることはなくなり、製品の信頼性を大
幅に向上させることが可能となる。
Further, since cracks do not occur in the substrate even at a position distant from the edge of the substrate, the wiring does not peel off and does not float off the substrate, so that the reliability of the product can be greatly improved.

【0081】したがって、信頼性を向上させた高品位の
画像形成装置を提供することが可能となる。
Therefore, it is possible to provide a high quality image forming apparatus with improved reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用した配線基板を説明する図であ
る。
FIG. 1 is a diagram illustrating a wiring board to which the present invention is applied.

【図2】本発明の実施例1を示し、(a)は下配線工程
実施後の状態、(b)はマスクを示す図である。
FIGS. 2A and 2B show Example 1 of the present invention, wherein FIG. 2A shows a state after a lower wiring step is performed, and FIG. 2B shows a mask.

【図3】図2(a)のA−A断面を示しており、(a)
は感光性ペーストの成膜後、(b)は露光時、(c)は
現像後、(d)は焼成後の状態を示す図である。
FIG. 3 shows an AA cross section of FIG. 2 (a), and FIG.
FIG. 3B is a diagram showing a state after film formation of a photosensitive paste, (b) shows a state after exposure, (c) shows a state after development, and (d) shows a state after baking.

【図4】本発明の実施例1を示し、(a)は絶縁層工程
実施後の状態を示す図、(b)は(a)のA−A断面図
である。
4A and 4B show Example 1 of the present invention, wherein FIG. 4A is a diagram showing a state after an insulating layer process is performed, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.

【図5】本発明の実施例1を示し、(a)は上配線工程
実施後の状態を示す図、(b)は(a)のA−A断面図
である。
5A and 5B show Example 1 of the present invention, in which FIG. 5A is a diagram showing a state after an upper wiring step is performed, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.

【図6】本発明の実施例2に係る配線基板のガラス層の
別のパターンの例を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing another example of the pattern of the glass layer of the wiring board according to the second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施例3に係る配線基板のガラス層の
別のパターンの例を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing another example of the pattern of the glass layer of the wiring board according to the third embodiment of the present invention.

【図8】表面伝導型電子放出素子の一例を示す模式図で
ある。
FIG. 8 is a schematic view showing an example of a surface conduction electron-emitting device.

【図9】表面伝導型電子放出素子を用いた画像表示装置
の一例を示す概略構成図である。
FIG. 9 is a schematic configuration diagram illustrating an example of an image display device using a surface conduction electron-emitting device.

【図10】従来の配線基板を説明する図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a conventional wiring board.

【図11】(a)は図10の(a)部を裏面から拡大し
て見た図、(b)は図10の(b)部を裏面から拡大し
て見た図、(c)は図10の配線を側面から見た場合の
A−A断面の配線剥がれを説明する図である。
11A is an enlarged view of a portion (a) of FIG. 10 from the back surface, FIG. 11B is an enlarged view of a portion (b) of FIG. 10 from the back surface, and FIG. FIG. 11 is a diagram for explaining the peeling of the wiring in the AA cross section when the wiring of FIG. 10 is viewed from the side.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 厚膜配線 2 基板 3 サイドクラック 4 端部クラック 5 配線剥がれ 10 ガラス層 11 配線 12 基板 13 マスク 14 ペースト 15 電気的接続部 16 絶縁層 17 上側配線 18 スクリーン版 19 光(露光光、レーザ光) 101 絶縁性基板 102,103 素子電極 104 導電性薄膜 105 電子放出部 1001 基板 1002 表面伝導型電子放出素子 1003 列方向配線 1004 行方向配線 1005 リアプレート 1006 外枠 1007 フェースプレート 1008 蛍光膜 1009 メタルバック DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thick film wiring 2 Substrate 3 Side crack 4 Edge crack 5 Wiring peeling 10 Glass layer 11 Wiring 12 Substrate 13 Mask 14 Paste 15 Electrical connection 16 Insulating layer 17 Upper wiring 18 Screen plate 19 Light (exposure light, laser light) DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Insulating substrate 102, 103 Device electrode 104 Conductive thin film 105 Electron emission part 1001 Substrate 1002 Surface conduction type electron emission element 1003 Column wiring 1004 Row wiring 1005 Rear plate 1006 Outer frame 1007 Face plate 1008 Fluorescent film 1009 Metal back

フロントページの続き (72)発明者 渡部 泰之 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 Fターム(参考) 5C031 DD17 5C036 EE14 EE19 EF01 EF06 EF09 EG12 EH06 5C094 AA31 AA36 AA42 AA43 AA48 BA04 BA32 BA34 CA19 DA13 DA15 DB02 DB04 DB05 EA04 EB03 FA01 FA02 FB02 FB12 FB15 GA10 GB10 JA08 5E314 AA08 BB06 BB11 CC01 CC07 DD06 DD07 FF03 FF14 GG12Continuation of front page (72) Inventor Yasuyuki Watanabe 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo F-term in Canon Inc. (reference) 5C031 DD17 5C036 EE14 EE19 EF01 EF06 EF09 EG12 EH06 5C094 AA31 AA36 AA42 AA43 AA48 BA04 BA32 BA34 CA19 DA13 DA15 DB02 DB04 DB05 EA04 EB03 FA01 FA02 FB02 FB12 FB15 GA10 GB10 JA08 5E314 AA08 BB06 BB11 CC01 CC07 DD06 DD07 FF03 FF14 GG12

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上に複数配置される厚膜の配線を有す
る配線基板において、 ガラスを主成分とし、前記配線の線幅が所定値以上の場
合に、該配線の線幅方向の配線端を含まない一部領域を
除いた領域を覆うか、または、少なくとも該配線の線幅
方向の配線端に隣接するガラス層を備えることを特徴と
する配線基板。
1. A wiring board having a plurality of thick-film wirings arranged on a substrate, wherein when the wiring is made of glass as a main component and the line width of the wirings is a predetermined value or more, the wiring ends in the line width direction of the wirings. A wiring layer, which covers a region excluding a partial region that does not include a glass layer, or includes at least a glass layer adjacent to a wiring end in a line width direction of the wiring.
【請求項2】前記一部領域とは、電気的に接続される接
続部であることを特徴とする請求項1に記載の配線基
板。
2. The wiring board according to claim 1, wherein the partial region is a connection portion that is electrically connected.
【請求項3】前記所定値とは、200μmであることを
特徴とする請求項1または2に記載の配線基板。
3. The wiring board according to claim 1, wherein the predetermined value is 200 μm.
【請求項4】前記ガラス層は、絶縁性を有する絶縁ペー
ストからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれ
か1項に記載の配線基板。
4. The wiring board according to claim 1, wherein the glass layer is made of an insulating paste having an insulating property.
【請求項5】前記絶縁ペーストは、感光性を備えること
を特徴とする請求項4に記載の配線基板。
5. The wiring board according to claim 4, wherein the insulating paste has photosensitivity.
【請求項6】前記基板上に配置される配線の配線材料
は、金属粒子を主成分とする金属ペーストであることを
特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の配線
基板。
6. The wiring substrate according to claim 1, wherein a wiring material of the wiring arranged on the substrate is a metal paste containing metal particles as a main component.
【請求項7】前記金属ペーストは、銀を主成分とするこ
とを特徴とする請求項6に記載の配線基板。
7. The wiring board according to claim 6, wherein the metal paste contains silver as a main component.
【請求項8】請求項1乃至7のいずれか1項に記載の配
線基板と、前記配線基板により配線される電子放出素子
と、 前記電子放出素子から放出された電子によって画像を形
成する画像形成部材と、 を備えることを特徴とする画像形成装置。
8. An image forming apparatus comprising: the wiring substrate according to claim 1; an electron-emitting device wired by the wiring substrate; and an image forming device that forms an image using electrons emitted from the electron-emitting device. An image forming apparatus comprising: a member;
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