JP2002254698A - Beam measuring device and beam measuring method for multi-beam scanning optical system - Google Patents

Beam measuring device and beam measuring method for multi-beam scanning optical system

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JP2002254698A
JP2002254698A JP2001060600A JP2001060600A JP2002254698A JP 2002254698 A JP2002254698 A JP 2002254698A JP 2001060600 A JP2001060600 A JP 2001060600A JP 2001060600 A JP2001060600 A JP 2001060600A JP 2002254698 A JP2002254698 A JP 2002254698A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and a method for measuring a scanning beam, which can accurately and reliably offer information on the scanning beam without being affected by a bend of a scanning line and the like in a scanning optical system using a multi-beam. SOLUTION: The beam measuring device for the multi-beam scanning optical system 2 is provided with a charge coupled device(CCD) camera 8 which images the scanning beam 4 applied by the optical system 2 of an image forming device 1, a moving means 10 which moves the CCD camera 8 in parallel within a scanning surface of the optical system 2, a control means 20 which controls the moving means 10, and a beam information obtaining means 21 which offers the information on the scanning beam 4 within the scanning surface according to an image obtained by the CCD camera 8. The beam measuring device measures the scanning beams 4 applied by the optical system 2. The control means 20 performs positioning control of the CCD camera 8 in order to make the scanning beams 4 applied to the CCD camera 8.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、複写機・プリンタ
ー製品等に使用されているマルチビーム走査型書込み系
ユニットにおける走査ビームを測定するマルチビーム走
査光学系ビーム測定装置及びマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus and a multi-beam scanning optical system for measuring a scanning beam in a multi-beam scanning type writing system unit used in a copying machine, a printer product or the like. It relates to a measuring method.

【0002】[0002]

【従来の技術】複写機やプリンターで用いられている書
込み光学系から照射される走査ビームの測定においては
スリットとフォトセンサを組み合わせて用いる装置やC
CDカメラを用いた装置、又は位置検出素子とCCDカ
メラやフォトセンサを用いた装置がある。それら装置で
は、例えばフォトダイオード等によって検知された同期
信号を基に、レーザーダイオードの発光タイミング及び
CCDカメラ等に代表される受光デバイスの撮像タイミ
ングを決定し、ビームプロファイル、即ち、走査ビーム
に対する情報を取得する方法が実施されてきた。
2. Description of the Related Art In the measurement of a scanning beam emitted from a writing optical system used in a copying machine or a printer, an apparatus using a combination of a slit and a photosensor or a C
There is an apparatus using a CD camera or an apparatus using a position detecting element and a CCD camera or a photo sensor. In these devices, for example, a light emission timing of a laser diode and an imaging timing of a light receiving device represented by a CCD camera or the like are determined based on a synchronization signal detected by a photodiode or the like, and a beam profile, that is, information on a scanning beam is determined. The method of obtaining has been implemented.

【0003】また、この結果からピーク時の1/2もし
くは1/e2等の光量を走査ビームの径として取得した
り、強度分布プロファイルを2次元表示もしくは3次元
表示する等の方法によって走査ビームの情報を視覚的に
認識したりする方法も行われている。
[0003] Further, from this result, the amount of light such as 1/2 or 1 / e 2 at the peak is obtained as the diameter of the scanning beam, or the intensity distribution profile is displayed two-dimensionally or three-dimensionally. There is also a method of visually recognizing such information.

【0004】例えば、特開平6−34329号公報に記
載のビーム径測定装置においては、1次元CCDライン
センサを用い、これを斜めに配置して主走査径及び副走
査径を同時に取得している。しかし、マルチビーム走査
光学系を測定する場合、1つの像高で副走査方向に存在
する複数の走査ビームのうち1つの走査ビームしか測定
できない。その他、特開平7−103819号公報に記
載のレーザービーム径計測装置のようにスリットとフォ
トダイオードを用いた方法も考案されている。しかし1
つの像高で異なる高さに同時に複数の走査ビームが照射
されるマルチビームを測定する場合、受光面に照射され
ている全光量を検出するフォトダイオードでは個々の走
査ビームを識別することができないため測定が行えな
い。
For example, in a beam diameter measuring apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-34329, a one-dimensional CCD line sensor is used, and the main scanning diameter and the sub-scanning diameter are simultaneously obtained by obliquely arranging them. . However, when measuring the multi-beam scanning optical system, only one of the plurality of scanning beams existing in the sub-scanning direction at one image height can be measured. In addition, a method using a slit and a photodiode as in a laser beam diameter measuring device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-103819 has been devised. But one
When measuring multiple beams in which multiple scanning beams are simultaneously irradiated at different heights at two image heights, the individual scanning beams cannot be identified by a photodiode that detects the total amount of light irradiating the light receiving surface. Measurement cannot be performed.

【0005】2次元CCDカメラを用いた場合において
は、走査線曲がりの影響により撮像範囲外に走査ビーム
が照射されてしまい走査ビームを測定できない例もあ
り、考慮する必要がある。
In the case where a two-dimensional CCD camera is used, there is an example in which the scanning beam is irradiated outside the imaging range due to the influence of the bending of the scanning line, and the scanning beam cannot be measured.

【0006】近年では画像形成速度向上の為に、複数の
光源を用いたり、一つの光源を分割して複数の走査ビー
ムにしたマルチビーム走査型の書込み光学系が用いられ
るようになってきた。これにより印刷速度は格段に向上
することとなるが、それに伴い走査ビームの測定装置又
は測地方法も複雑な構成・工程が必要となり、従来から
存在する1ビームのみの書込みユニットにおける走査ビ
ームを測定する装置及び方法では対応できない問題点が
発生している。
In recent years, in order to improve the image forming speed, a multi-beam scanning type writing optical system which uses a plurality of light sources or divides one light source into a plurality of scanning beams has been used. As a result, the printing speed is remarkably improved. However, a complicated configuration and process are also required for the scanning beam measuring device or the geodetic method, and the scanning beam is measured in the conventional one-beam writing unit. There are problems that cannot be handled by the apparatus and the method.

【0007】例えば、1つの像高で副走査方向に複数の
走査ビームが同時に入射される場合、受光面全域の光量
を検出するフォトダイオードを用いた装置・方法では複
数の走査ビームを識別することは困難である。また、高
精度な測定のため拡大光学系を用いた場合、走査線曲が
りに起因して受光デバイスの撮像範囲から走査ビームが
外れてしまうことが考えられる。
For example, in the case where a plurality of scanning beams are simultaneously incident in the sub-scanning direction at one image height, an apparatus / method using a photodiode for detecting the amount of light in the entire light receiving surface needs to identify the plurality of scanning beams. It is difficult. In addition, when a magnifying optical system is used for high-accuracy measurement, the scanning beam may deviate from the imaging range of the light receiving device due to the bending of the scanning line.

【0008】上記問題点の解決に加え、マルチビーム走
査光学系では1走査で照射される走査ビームの数が多い
ので測定に要する時間も長くなる為、測定時間の短縮可
能なマルチビーム走査光学系ビーム測定装置及びマルチ
ビーム走査光学系ビーム測定方法が望まれる。
[0008] In addition to solving the above problems, the multi-beam scanning optical system requires a large number of scanning beams to be irradiated in one scan, so that the time required for measurement is long. A beam measuring apparatus and a beam measuring method for a multi-beam scanning optical system are desired.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】レーザービームプリン
ターや複写機等において、走査ビームの小径化による高
解像度化と同様に、書込み速度向上による印刷時間短縮
も大きな課題となっている。これら課題のうち後者の解
決方法として、複数のビームを用いたマルチビーム走査
光学系が考案され、実用化されつつある。
In a laser beam printer, a copying machine, and the like, as well as a higher resolution by reducing the diameter of a scanning beam, a reduction in printing time by improving a writing speed is a major problem. As the latter solution among these problems, a multi-beam scanning optical system using a plurality of beams has been devised and is being put to practical use.

【0010】これら画像形成装置における書込み光学系
は印刷される画質への影響が非常に大きく、その中心部
分である書込み光学系の検査装置に要求される性能も年
々高くなっている。測定が必要とされる項目の1つとし
て、走査面全域において走査ビームを正確に且つ高精度
に取得することが挙げられる。走査ビーム径や走査ビー
ム間ピッチの均一性、回転多面鏡の面倒れによる走査線
曲がり等、特に走査線曲がりはビーム径が数十μm程度
であるのに対して走査線曲がりの大きさは数百μmと大
きく、これらは画質品質に非常に大きな影響を与える要
因であり、全走査領域において走査ビームの照射位置を
高精度で測定することが必要不可欠であると考えられ
る。
The writing optical system in these image forming apparatuses has a very large effect on the printed image quality, and the performance required of the inspection apparatus for the writing optical system, which is the central part thereof, is increasing year by year. One of the items that need to be measured is to obtain a scanning beam accurately and with high accuracy over the entire scanning surface. The scanning beam diameter and the uniformity of the pitch between the scanning beams, the scanning line bending due to the tilt of the rotating polygon mirror, etc., especially the scanning line bending is about several tens of μm, whereas the scanning line bending is only a few. These factors are as large as 100 μm, which are factors that greatly affect the image quality, and it is considered essential to measure the irradiation position of the scanning beam with high accuracy in the entire scanning area.

【0011】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、マルチビーム走査光学系における複
数の走査ビームの測定に対応可能なマルチビーム走査光
学系ビーム測定装置及びマルチビーム走査光学系ビーム
測定方法を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus and a multi-beam scanning optical system capable of measuring a plurality of scanning beams in a multi-beam scanning optical system. The present invention provides a system beam measurement method.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明のマルチビーム走
査光学系ビーム測定装置は、画像形成装置のマルチビー
ム走査光学系によって照射される走査ビームのドット列
を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を前記マルチビー
ム走査光学系の走査面内で主走査方向に移動させる移動
手段と、前記走査ビームのドット列が前記撮像手段によ
って撮像されるように前記移動手段を制御する制御手段
と、前記撮像手段によって取得された画像に基づいて、
前記走査ビームに対する情報を取得するビーム情報取得
手段とを備え、前記マルチビーム走査光学系によって副
走査方向に複数照射される前記走査ビームを測定するマ
ルチビーム走査光学系ビーム測定装置において、前記移
動手段が、前記撮像手段を前記マルチビーム走査光学系
の走査面内で副走査方向に移動させることを特徴とする
構成を備えている。この構成により、走査線曲がり等の
影響によらず確実にビームの測定が可能となる。
According to the present invention, there is provided a beam measuring apparatus for a multi-beam scanning optical system, comprising: an imaging unit for imaging a dot array of a scanning beam emitted by a multi-beam scanning optical system of an image forming apparatus; Moving means for moving the scanning beam in the main scanning direction within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system; controlling means for controlling the moving means so that a dot array of the scanning beam is picked up by the image pickup means; Based on the image obtained by the means,
A beam information acquisition unit for acquiring information on the scanning beam; a multi-beam scanning optical system beam measuring device for measuring the plurality of scanning beams irradiated in the sub-scanning direction by the multi-beam scanning optical system; However, the apparatus is characterized in that the imaging means is moved in the sub-scanning direction within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system. With this configuration, it is possible to reliably measure the beam irrespective of the influence of scanning line bending or the like.

【0013】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定装置は、前記ビーム情報取得手段によって前記
走査ビームに対する情報として前記走査ビームの副走査
方向のドット数が取得されるとともに、前記撮像手段に
よって撮像されるべき前記走査ビームの副走査方向のド
ット数を記憶する記憶手段と、前記ビーム情報取得手段
によって取得された前記走査ビームの副走査方向のドッ
ト数、及び、前記記憶手段によって記憶された前記走査
ビームの副走査方向のドット数を比較演算する比較手段
とを備え、前記制御手段が、前記比較手段によって算出
される結果に基づいて前記移動手段を制御することを特
徴とする構成を備えている。この構成により撮像手段に
照射されている走査ビームのドット数が妥当であるかを
判断し、所望のドット数に達するまで撮像手段を副走査
方向に移動させることによって確実に走査ビームの測定
が可能となる。
Further, in the multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to the present invention, the number of dots in the sub-scanning direction of the scanning beam is acquired by the beam information acquiring unit as information on the scanning beam, and the imaging unit acquires the information. Storage means for storing the number of dots in the sub-scanning direction of the scanning beam to be imaged, the number of dots in the sub-scanning direction of the scanning beam obtained by the beam information obtaining means, and the number of dots stored by the storage means Comparing means for comparing and calculating the number of dots of the scanning beam in the sub-scanning direction, wherein the control means controls the moving means based on a result calculated by the comparing means. ing. With this configuration, it is possible to determine whether the number of dots of the scanning beam irradiated on the imaging unit is appropriate and move the imaging unit in the sub-scanning direction until the desired number of dots is reached, so that the scanning beam can be reliably measured. Becomes

【0014】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定装置は、前記制御手段が、前記移動手段に、前
記撮像手段を前記マルチビーム走査光学系の走査面内で
主走査方向に移動させた後、前記マルチビーム走査光学
系の走査面内で副走査方向に移動させることを特徴とす
る構成を備えている。この構成により走査方向の各測定
点に順次移動し全ての走査ビームが撮像手段の撮像範囲
内に照射されるよう位置決めするというプロセスを繰り
返すことによって、全走査領域で確実に走査ビーム情報
を取得することが可能になった。
Further, in the multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to the present invention, the control means causes the moving means to move the imaging means in the main scanning direction within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system. Then, the multi-beam scanning optical system is moved in the sub-scanning direction within the scanning plane. With this configuration, the process of sequentially moving to each measurement point in the scanning direction and positioning so that all the scanning beams are irradiated within the imaging range of the imaging unit is repeated, so that the scanning beam information is reliably acquired in the entire scanning area. It became possible.

【0015】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定装置は、前記マルチビーム走査光学系の走査面
内の副走査方向において、前記撮像手段の撮像範囲より
大きい範囲を受光することによって、前記マルチビーム
走査光学系によって副走査方向に複数照射される前記走
査ビームのドットの位置を検出する光検出手段を備え、
前記移動手段が、前記光検出手段を前記マルチビーム走
査光学系の走査面内で前記撮像手段に先行して移動さ
せ、前記制御手段が、前記光検出手段によって検出され
た前記走査ビームのドットの位置に基づいて、前記移動
手段に、前記撮像手段を前記マルチビーム走査光学系の
走査面内で主走査方向及び副走査方向を同時に移動させ
ることを特徴とする構成を備えている。この構成により
マルチビーム走査光学系の全走査面内における走査ビー
ムの測定において、光検出手段を用いて次に測定するビ
ーム位置を予め検知し、その測定点に移動すると同時に
副走査方向にも移動することによって、より短い時間で
全領域の走査ビームを測定することが可能となる。
Further, the beam measuring apparatus of the multi-beam scanning optical system according to the present invention, by receiving a range larger than the imaging range of the imaging means in the sub-scanning direction in the scanning plane of the multi-beam scanning optical system, A multi-beam scanning optical system includes a light detection unit that detects a position of a dot of the scanning beam that is irradiated in a plurality of sub-scanning directions,
The moving means moves the light detecting means in advance of the imaging means in the scanning plane of the multi-beam scanning optical system, and the control means controls the number of dots of the scanning beam detected by the light detecting means. The moving means is configured to move the imaging means simultaneously in the main scanning direction and the sub-scanning direction within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system based on the position. With this configuration, in the measurement of the scanning beam in the entire scanning plane of the multi-beam scanning optical system, the beam position to be measured next is detected in advance by using the light detection means, and the beam is moved to the measurement point and also moved in the sub scanning direction. By doing so, it is possible to measure the scanning beam of the entire area in a shorter time.

【0016】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定装置は、前記制御手段が、前記光検出手段によ
って検出された前記走査ビームのドットの平均位置に基
づいて、前記移動手段を制御することを特徴とする構成
を備えている。この構成により光検出手段によって検知
された複数の走査ビームの、副走査方向に関する平均位
置に基づいて撮像手段を位置決めすることで走査線曲が
りの影響なく、全走査面内の走査ビームを測定すること
が可能となる。
Further, in the multi-beam scanning optical beam measuring apparatus according to the present invention, the control means controls the moving means based on an average position of dots of the scanning beam detected by the light detection means. Is provided. With this configuration, the position of the imaging unit is determined based on the average position of the plurality of scanning beams detected by the light detection unit in the sub-scanning direction, so that the scanning beams in the entire scanning plane can be measured without being affected by the scanning line bending. Becomes possible.

【0017】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定装置は、前記光検出手段が位置検出素子である
ことを特徴とする構成を備えている。この構成により位
置検出素子を用いることによって画像演算することなく
短時間で次に測定する走査ビームの位置検出ができ、測
定時間を短縮させることが可能となる。
Further, the beam measuring device of the multi-beam scanning optical system according to the present invention has a configuration in which the light detecting means is a position detecting element. With this configuration, the position of the scanning beam to be measured next can be detected in a short time without performing image calculation by using the position detection element, and the measurement time can be reduced.

【0018】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定装置は、前記ビーム情報取得手段が、前記撮像
手段の撮像範囲内での前記走査ビームの照射位置と、前
記撮像手段の移動量とに基づいて、前記走査ビームに対
する情報として、前記走査面内での前記走査ビームの照
射位置を取得することを特徴とする構成を備えている。
この構成により撮像手段の撮像範囲内で取得された走査
ビーム照射位置に更に撮像手段の移動距離を加えること
によって走査ビームが照射される絶対位置を算出するこ
とが可能となる。
Further, in the multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to the present invention, the beam information acquiring means may determine an irradiation position of the scanning beam within an imaging range of the imaging means and a movement amount of the imaging means. And acquiring an irradiation position of the scanning beam in the scanning plane as information on the scanning beam based on the scanning beam.
With this configuration, it is possible to calculate the absolute position at which the scanning beam is irradiated by further adding the moving distance of the imaging unit to the scanning beam irradiation position acquired within the imaging range of the imaging unit.

【0019】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定方法は、画像形成装置のマルチビーム走査光学
系によって照射される走査ビームのドット列を撮像する
撮像工程と、前記走査ビームのドット列が前記撮像工程
において撮像されるように、前記撮像工程における撮像
位置を前記マルチビーム走査光学系の走査面内で主走査
方向及び副走査方向に移動させる移動工程と、前記撮像
工程において取得された画像に基づいて、前記走査ビー
ムに対する情報を取得するビーム情報取得工程とを備
え、前記マルチビーム走査光学系によって副走査方向に
複数照射される前記走査ビームを測定することを特徴と
する方法を用いている。この方法により走査ビームが照
射されるように副走査方向に関して撮像手段とマルチビ
ーム走査光学系の相対位置を位置決めすることによっ
て、走査線曲がり等の影響によらず確実に走査ビームの
測定が可能となる。
Further, according to the beam measuring method of the present invention, there is provided an image forming step for picking up an image of a dot array of a scanning beam irradiated by a multi-beam scanning optical system of an image forming apparatus; A moving step of moving an imaging position in the imaging step in a main scanning direction and a sub-scanning direction within a scanning plane of the multi-beam scanning optical system so that the image is captured in the imaging step; and an image acquired in the imaging step. Based on the, comprising a beam information acquisition step of acquiring information on the scanning beam, using a method characterized in that the multi-beam scanning optical system measures a plurality of the scanning beam irradiated in the sub-scanning direction I have. By positioning the relative position of the imaging means and the multi-beam scanning optical system in the sub-scanning direction so that the scanning beam is irradiated by this method, it is possible to reliably measure the scanning beam irrespective of the influence of scanning line bending and the like. Become.

【0020】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定方法は、前記移動工程において、前記撮像工程
における撮像位置を前記マルチビーム走査光学系の走査
面内で主走査方向に移動させた後、前記マルチビーム走
査光学系の走査面内で副走査方向に移動させることを特
徴とする方法を用いている。この方法により走査方向の
各測定点に順次移動し全ての走査ビームが撮像手段の撮
像範囲内に照射されるよう位置決めするプロセスを繰り
返し、全走査面内で確実に走査ビーム情報を取得するこ
とが可能となる。
Further, in the beam measuring method for a multi-beam scanning optical system according to the present invention, in the moving step, after moving an imaging position in the imaging step in a main scanning direction within a scanning plane of the multi-beam scanning optical system, A method is used in which the multi-beam scanning optical system is moved in the sub-scanning direction within the scanning plane. According to this method, the process of sequentially moving to each measurement point in the scanning direction and positioning so that all the scanning beams are irradiated within the imaging range of the imaging unit is repeated, and the scanning beam information can be reliably acquired in the entire scanning plane. It becomes possible.

【0021】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定方法は、前記マルチビーム走査光学系の走査面
内の副走査方向において、前記撮像工程における撮像範
囲より大きい範囲を受光することによって、前記マルチ
ビーム走査光学系によって副走査方向に複数照射される
前記走査ビームのドットの位置を検出する光検出工程を
備え、前記移動工程において、前記光検出工程における
受光位置を前記マルチビーム走査光学系の走査面内で前
記撮像工程における撮像位置に先行して移動させるとと
もに、前記光検出工程において検出された前記走査ビー
ムのドットの位置に基づいて、前記撮像工程における撮
像位置を前記マルチビーム走査光学系の走査面内で主走
査方向及び副走査方向を同時に移動させることを特徴と
する方法を用いている。この方法により全走査面内で撮
像手段の位置決めに要する時間を短縮することができ、
より短時間で走査ビームを測定することが可能となる。
Further, the beam measuring method of the multi-beam scanning optical system according to the present invention is characterized in that, in the sub-scanning direction in the scanning plane of the multi-beam scanning optical system, a range larger than the imaging range in the imaging step is received. A light detecting step of detecting a plurality of positions of the dots of the scanning beam irradiated in the sub-scanning direction by a multi-beam scanning optical system; and in the moving step, a light receiving position in the light detecting step is determined by the multi-beam scanning optical system. The multi-beam scanning optical system moves the imaging position in the imaging step based on a position of a dot of the scanning beam detected in the light detection step while moving the imaging position in the imaging plane prior to the imaging position in the imaging step. Using a method characterized by simultaneously moving the main scanning direction and the sub-scanning direction within the scanning plane of That. By this method, the time required for positioning the imaging means in the entire scanning plane can be reduced,
The scanning beam can be measured in a shorter time.

【0022】また、本発明のマルチビーム走査光学系ビ
ーム測定方法は、前記ビーム情報取得工程において、前
記撮像工程における撮像範囲内での前記走査ビームの照
射位置と、前記撮像工程における撮像位置の移動量とに
基づいて、前記走査ビームに対する情報として、前記走
査面内での前記走査ビームの照射位置を取得することを
特徴とする方法を用いている。この方法により走査ビー
ムが照射される絶対位置を取得でき、全走査面内におけ
る任意の走査ビームのビーム径、光量、照射位置、走査
線曲がり等の情報を取得することが可能となる。
Further, in the beam measuring method for a multi-beam scanning optical system according to the present invention, in the beam information acquiring step, the irradiation position of the scanning beam within the imaging range in the imaging step and the movement of the imaging position in the imaging step A method is used in which an irradiation position of the scanning beam in the scanning plane is obtained as information on the scanning beam based on the amount. By this method, the absolute position at which the scanning beam is irradiated can be acquired, and information such as the beam diameter, the light amount, the irradiation position, the scanning line bending, and the like of an arbitrary scanning beam in the entire scanning plane can be acquired.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を用いて説明
する。 (第1実施形態)
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. (1st Embodiment)

【0024】図1は本発明の第1実施形態のマルチビー
ム走査光学系ビーム測定装置を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【0025】図1において、画像形成装置1のマルチビ
ーム走査光学系2としてのレーザーダイオード群3から
照射された複数の走査ビーム4は回転多面鏡5上の鏡面
上に集光される。そして、集光された走査ビーム4は、
高速で回転する回転多面鏡5の鏡面によって、レンズ群
6を通過して図示しない感光体ドラムの表面の軸方向に
沿って走査露光される。
In FIG. 1, a plurality of scanning beams 4 emitted from a laser diode group 3 as a multi-beam scanning optical system 2 of the image forming apparatus 1 are condensed on a mirror surface on a rotating polygon mirror 5. Then, the focused scanning beam 4 is
By the mirror surface of the rotating polygon mirror 5 rotating at high speed, the light passes through the lens group 6 and is scanned and exposed along the axial direction of the surface of the photosensitive drum (not shown).

【0026】ところで、本実施形態に係るマルチビーム
走査光学系ビーム測定装置は、マルチビーム走査光学系
2によって照射される走査ビーム4を撮像し、同期検知
用フォトダイオード7から出力される信号によって撮像
のタイミングを同期させたり位置を制御される2次元エ
リア型の撮像手段としてのCCDカメラ8を備えてお
り、CCDカメラ8は、図示しない感光体ドラムの軸方
向に沿って移動するように設けられている。
The multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to the present embodiment captures an image of the scanning beam 4 radiated by the multi-beam scanning optical system 2 and captures an image based on a signal output from the synchronization detecting photodiode 7. The CCD camera 8 is provided as a two-dimensional area type imaging means for synchronizing the timing and controlling the position. The CCD camera 8 is provided so as to move along the axial direction of a photosensitive drum (not shown). ing.

【0027】CCDカメラ8は、走査ビーム4の主走査
方向及び副走査方向にCCDカメラ8を移動することが
できる移動手段10に設けられており、移動手段10に
は駆動モータ11が取り付けられ、駆動モータ11が駆
動することによって、CCDカメラ8は走査ビーム4の
主走査方向及び副走査方向へ移動することができる。駆
動モータ11には走査ビーム4のドット列がCCDカメ
ラ8によって撮像されるように移動手段10を制御する
制御手段20が取り付けられ、駆動モータ11を制御す
ることによりCCDカメラ8を走査ビーム4の主走査方
向及び副走査方向に位置決め制御することとなる。
The CCD camera 8 is provided in a moving means 10 capable of moving the CCD camera 8 in the main scanning direction and the sub-scanning direction of the scanning beam 4, and a driving motor 11 is attached to the moving means 10, When the drive motor 11 is driven, the CCD camera 8 can move in the main scanning direction and the sub-scanning direction of the scanning beam 4. A control means 20 for controlling the moving means 10 is attached to the drive motor 11 so that the dot array of the scanning beam 4 is imaged by the CCD camera 8, and by controlling the drive motor 11, the CCD camera 8 Positioning control is performed in the main scanning direction and the sub-scanning direction.

【0028】また、CCDカメラ8は、CCDカメラ8
によって取得された画像に基づいて走査ビーム4に対す
る情報を取得するビーム情報取得手段21に接続されて
おり、CCDカメラ8の各画素が撮像した走査ビーム4
は、信号として順次読み出され、ビーム情報取得手段2
1に出力される。
The CCD camera 8 is a CCD camera 8
Is connected to beam information acquisition means 21 for acquiring information on the scanning beam 4 based on the image acquired by the CCD camera 8.
Are sequentially read out as signals, and the beam information acquiring means 2
1 is output.

【0029】ビーム情報取得手段21は、CCDカメラ
8によって撮像された走査ビーム4の画像に基づきビー
ム数、ビーム径、光量、CCDカメラ8の撮像範囲内に
おけるビーム照射位置、各ビーム間の距離等の走査ビー
ム4に対する情報を算出する。
The beam information acquisition means 21 is based on the image of the scanning beam 4 captured by the CCD camera 8, the number of beams, the beam diameter, the amount of light, the beam irradiation position within the imaging range of the CCD camera 8, the distance between each beam, and the like. Of the scanning beam 4 is calculated.

【0030】制御手段20には、同期検知用フォトダイ
オード7が接続されており、同期検知用フォトダイオー
ド7は制御手段20に所定の信号を出力することによっ
て図示しない感光体ドラムの表面に対応した位置に配置
されたCCDカメラ8の撮像タイミングを同期させた
り、CCDカメラ8の位置決め制御をしたりするもので
ある。
The control means 20 is connected with a photodiode 7 for synchronization detection. The photodiode 7 for synchronization detection outputs a predetermined signal to the control means 20 so as to correspond to the surface of a photosensitive drum (not shown). This is for synchronizing the imaging timing of the CCD camera 8 disposed at the position or for controlling the positioning of the CCD camera 8.

【0031】以下、本実施形態のマルチビーム走査光学
系ビーム測定装置の動作について説明する。
The operation of the multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to this embodiment will be described below.

【0032】レーザーダイオード群3から照射される走
査ビーム4は回転多面鏡5の鏡面上に集光される。そし
て、集光された走査ビーム4は、高速で回転する回転多
面鏡5の鏡面によって、図示しない感光体ドラムの表面
に結像するようにレンズ群6を通過して、感光体ドラム
の軸方向に沿って走査露光される。そして走査ビーム4
は、感光体ドラムの表面に対応した位置に配置されたC
CDカメラ8によって検出される。
The scanning beam 4 emitted from the laser diode group 3 is focused on the mirror surface of the rotary polygon mirror 5. Then, the condensed scanning beam 4 passes through a lens group 6 so as to form an image on the surface of a photosensitive drum (not shown) by a mirror surface of a rotating polygon mirror 5 rotating at a high speed, and is moved in the axial direction of the photosensitive drum. Are scanned and exposed along. And scanning beam 4
Represents a C disposed at a position corresponding to the surface of the photosensitive drum.
It is detected by the CD camera 8.

【0033】CCDカメラ8は、走査ビーム4の主走査
方向及び副走査方向に移動可能な移動手段10に取り付
けられており、副走査方向への移動は図2に示すよう
に、移動手段10に設けられ、副走査方向に移動可能な
Zステージ10aの副走査方向への移動によって行われ
る。Zステージ10aは駆動モータ11に駆動されるこ
とによりCCDカメラ8を副走査方向に移動することが
できる。
The CCD camera 8 is attached to a moving means 10 which can move the scanning beam 4 in the main scanning direction and the sub-scanning direction. The movement in the sub-scanning direction is performed by the moving means 10 as shown in FIG. This is performed by moving the Z stage 10a, which is provided and is movable in the sub-scanning direction, in the sub-scanning direction. The Z stage 10a can move the CCD camera 8 in the sub-scanning direction by being driven by the drive motor 11.

【0034】マルチビーム走査光学系2の走査面内で主
走査方向及び副走査方向に移動させる移動工程によって
CCDカメラ8は走査ビーム4に照射される位置まで移
動され、CCDカメラ8はマルチビーム走査光学系2か
ら照射される走査ビーム4のドット列の撮像を行う撮像
工程を行う。そして、撮像工程において取得された画像
に基づいて、走査ビーム4に対する情報を取得するビー
ム情報取得工程によって走査ビーム4のビーム径、ビー
ム位置、ビーム間距離等の情報を取得する。なお、ここ
では移動工程においてCCDカメラ8を副走査方向に移
動させたが、マルチビーム走査光学系2を副走査方向に
移動することによって走査ビーム4がCCDカメラ8に
照射されるようにしてもよい。
In the moving step of moving the scanning beam of the multi-beam scanning optical system 2 in the main scanning direction and the sub-scanning direction, the CCD camera 8 is moved to a position where the scanning beam 4 is irradiated. An imaging step of imaging a dot row of the scanning beam 4 emitted from the optical system 2 is performed. Then, based on the image acquired in the imaging step, information such as the beam diameter, beam position, and beam distance of the scanning beam 4 is acquired in a beam information acquisition step of acquiring information on the scanning beam 4. Although the CCD camera 8 is moved in the sub-scanning direction in the moving step here, the scanning beam 4 may be irradiated on the CCD camera 8 by moving the multi-beam scanning optical system 2 in the sub-scanning direction. Good.

【0035】上述の構成によれば、図3に示すような走
査線曲がりを生じた走査ビーム4のドット4aを2次元
エリア型のCCDカメラ8を用いて測定する場合、特に
高精度の測定を行うために拡大光学系を用いた場合、C
CDカメラ8の撮像範囲8a上に照射される走査ビーム
4のドット4aは測定しようとしている走査ビーム4の
一部でしかないが、CCDカメラ8を副走査方向に移動
させることができるので、走査ビーム4のドット4aの
走査線曲がりに対応して走査ビーム4のドット4aを測
定することができる。なお、本発明は、複写機やプリン
ター等の画像形成装置1のマルチビーム走査光学系2か
ら照射される走査ビーム4の測定に限定したものではな
く、例えばLEDアレイ等の光源列の検査にも適用する
ことができる。 (第2実施形態)
According to the above-described configuration, when measuring the dots 4a of the scanning beam 4 having the scanning line curve as shown in FIG. 3 using the two-dimensional area type CCD camera 8, particularly high precision measurement is performed. When using a magnifying optical system to perform
The dots 4a of the scanning beam 4 irradiated onto the imaging range 8a of the CD camera 8 are only a part of the scanning beam 4 to be measured. However, since the CCD camera 8 can be moved in the sub-scanning direction, scanning is performed. The dots 4a of the scanning beam 4 can be measured corresponding to the scanning line bending of the dots 4a of the beam 4. Note that the present invention is not limited to the measurement of the scanning beam 4 emitted from the multi-beam scanning optical system 2 of the image forming apparatus 1 such as a copying machine or a printer. Can be applied. (2nd Embodiment)

【0036】図4は本発明の第2実施形態のマルチビー
ム走査光学系ビーム測定装置を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【0037】本実施形態のマルチビーム走査光学系ビー
ム測定装置は、第1実施形態の構成に加え、ビーム情報
取得手段21によって取得された走査ビーム4の副走査
方向のドット4aの数、及び、CCDカメラ8によって
撮像されるべき走査ビーム4の副走査方向のドット4a
の数を記憶する記憶手段23によって記憶された走査ビ
ーム4の副走査方向のドット4aの数を比較演算する比
較手段22が、ビーム情報取得手段21に接続されてお
り、比較手段22には記憶手段23が接続されている。
The multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to the present embodiment has the configuration of the first embodiment, and further includes the number of dots 4a in the sub-scanning direction of the scanning beam 4 acquired by the beam information acquiring means 21, and Dots 4a in the sub-scanning direction of the scanning beam 4 to be imaged by the CCD camera 8
The comparison means 22 for comparing and calculating the number of dots 4a in the sub-scanning direction of the scanning beam 4 stored by the storage means 23 for storing the number of the scanning beams 4 is connected to the beam information acquisition means 21. Means 23 is connected.

【0038】記憶手段23は、レーザーダイオード群3
が出力している副走査方向の走査ビーム4の数を予め入
力して記憶しておくものである。
The storage means 23 stores the laser diode group 3
The number of the scanning beams 4 in the sub-scanning direction which is output in the step S1 is input and stored in advance.

【0039】比較手段22は、記憶手段23に予め記憶
されている副走査方向の走査ビーム4の数と、任意の測
定点でビーム情報取得手段21によって取得された走査
ビーム4の数との差を算出するためのもので、比較手段
22によって算出された値に応じて制御手段20を介し
てCCDカメラ8を副走査方向に移動させる。
The comparing means 22 calculates the difference between the number of scanning beams 4 in the sub-scanning direction stored in the storage means 23 in advance and the number of scanning beams 4 obtained by the beam information obtaining means 21 at an arbitrary measurement point. The CCD camera 8 is moved in the sub-scanning direction via the control means 20 according to the value calculated by the comparison means 22.

【0040】次に動作について説明する。図5は本実施
形態によるマルチビーム走査光学系ビーム測定方法のフ
ローチャートである。CCDカメラ8はまず主走査方向
の位置決めをされる(ステップS101)。次にラベリ
ングという画像処理によりその位置においてCCDカメ
ラ8に照射されている走査ビーム4のドット4aの数を
取得する(ステップS102)。
Next, the operation will be described. FIG. 5 is a flowchart of the multi-beam scanning optical system beam measuring method according to the present embodiment. First, the CCD camera 8 is positioned in the main scanning direction (step S101). Next, the number of dots 4a of the scanning beam 4 irradiating the CCD camera 8 at that position is acquired by image processing called labeling (step S102).

【0041】CCDカメラ8によって撮像されるべき走
査ビーム4の副走査方向の所望のドット4aの数、及
び、CCDカメラ8によって取得された画像に基づいて
走査ビーム4に対する情報を取得するビーム情報取得手
段によって取得されたドット4aの数の差を比較手段2
2において比較演算し(ステップS103)、その算出
結果を変数B1に代入する(ステップS104)。B1
=0、即ちCCDカメラ8によって撮像されるべき走査
ビーム4の副走査方向の所望のドット4aの数、及び、
CCDカメラ8によって取得された画像に基づいて走査
ビーム4に対する情報を取得するビーム情報取得手段2
1によって取得されたドット4aの数が等しければYE
Sとなり位置決め完了となる。B1=0でない場合、ス
テップS103での算出結果B1の値を一旦変数B2に
代入しておく(ステップS105)。
The number of desired dots 4a in the sub-scanning direction of the scanning beam 4 to be imaged by the CCD camera 8, and beam information acquisition for acquiring information on the scanning beam 4 based on the image acquired by the CCD camera 8. Comparing the difference in the number of dots 4a obtained by the means 2
2, a comparison operation is performed (step S103), and the calculation result is substituted for a variable B1 (step S104). B1
= 0, that is, the number of desired dots 4a in the sub-scanning direction of the scanning beam 4 to be imaged by the CCD camera 8, and
Beam information acquisition means 2 for acquiring information on scanning beam 4 based on an image acquired by CCD camera 8
YE if the number of dots 4a obtained by 1 is equal
It becomes S and the positioning is completed. If B1 is not 0, the value of the calculation result B1 in step S103 is temporarily assigned to a variable B2 (step S105).

【0042】次に副走査方向の一方の方向に任意の移動
量だけ移動手段10を移動させることでCCDカメラ8
を移動させる(ステップS106)。なお、副走査方向
の一方の方向というのは、副走査方向の片側一方の方向
に限定するものではなく、いずれの方向に移動させても
よいということである。そして、ラベリングという画像
処理によりその位置においてCCDカメラ8に照射され
ている走査ビーム4のドット4aの数を取得する(ステ
ップS107)。
Next, the moving means 10 is moved by an arbitrary moving amount in one of the sub-scanning directions, whereby the CCD camera 8 is moved.
Is moved (step S106). It should be noted that one direction of the sub-scanning direction is not limited to one direction on one side of the sub-scanning direction, but may be moved in any direction. Then, the number of dots 4a of the scanning beam 4 irradiating the CCD camera 8 at that position is acquired by image processing called labeling (step S107).

【0043】CCDカメラ8によって撮像されるべき走
査ビーム4の副走査方向の所望のドット4aの数、及
び、CCDカメラ8によって取得された画像に基づいて
走査ビーム4に対する情報を取得するビーム情報取得手
段21によって取得されたドット4aの数の差を比較手
段22において比較演算し(ステップS108)、その
算出結果を変数B1に代入する(ステップS109)。
B1=0であればYESとなり位置決め完了である。B
1=0でない場合、ステップS105におけるB2の値
とステップS108で算出されたB1の値を比較し(ス
テップS110)、CCDカメラ撮像範囲8a上に照射
される走査ビーム4の数が増加した場合は移動手段10
をステップS106での移動方向と同方向に副走査方向
に移動させ(ステップS112)、CCDカメラ撮像範
囲8a上に照射される走査ビーム4の数が減少した場合
は逆方向に移動させる(ステップS112)。
The number of desired dots 4a in the sub-scanning direction of the scanning beam 4 to be imaged by the CCD camera 8, and beam information acquisition for acquiring information on the scanning beam 4 based on the image acquired by the CCD camera 8. The comparison means 22 performs a comparison operation on the difference in the number of dots 4a obtained by the means 21 (step S108), and substitutes the calculation result for a variable B1 (step S109).
If B1 = 0, the result is YES and the positioning is completed. B
If 1 = 0, the value of B2 in step S105 is compared with the value of B1 calculated in step S108 (step S110). Transportation means 10
Is moved in the sub-scanning direction in the same direction as the moving direction in step S106 (step S112), and is moved in the opposite direction when the number of scanning beams 4 irradiated onto the CCD camera imaging range 8a is reduced (step S112). ).

【0044】そして、ステップS108で算出されたB
1の値をB2に代入し(ステップS113)、もう一度
ステップS107に戻り、記憶手段23に予め記憶され
ている副走査方向の走査ビーム4のドット4aの数、及
び、任意の測定点でビーム情報取得手段21によって取
得された走査ビーム4のドット4aの数が等しくなるま
で本プロセスを繰り返すことによって、副走査方向の全
ての走査ビーム4がCCDカメラ8上に照射されること
になり、走査線曲がりの影響を取り除いた走査ビーム4
の自動位置決めが可能となる。
Then, the B calculated in step S108
1 is substituted for B2 (step S113), the process returns to step S107 again, and the number of dots 4a of the scanning beam 4 in the sub-scanning direction stored in the storage unit 23 in advance and the beam information at an arbitrary measurement point By repeating this process until the number of dots 4a of the scanning beam 4 acquired by the acquiring means 21 becomes equal, all the scanning beams 4 in the sub-scanning direction are irradiated on the CCD camera 8, and the scanning line Scanning beam 4 without the effect of bending
Can be automatically positioned.

【0045】また、図6に走査線曲がりを生じた走査ビ
ーム4のドット4aとCCDカメラの撮像範囲8aを示
すが、例えば図7のフローチャートに示すように、制御
手段20が、CCDカメラ8を走査ビーム4の主走査方
向の各測定点へ移動させ(ステップS202)、移動完
了後に図5におけるステップS102からステップS1
14までと同様の動作によって走査ビーム4のドット4
aがCCDカメラ撮像範囲8aに照射されるよう副走査
方向に位置決めをし(ステップS203からステップS
215)、全測定点における測定を繰り返すことによっ
て(ステップS216)、走査ビーム4の全走査面内に
おいて走査ビーム4の照射位置・ビーム径・光量等の測
定が可能となる。 (第3実施形態)
FIG. 6 shows the dots 4a of the scanning beam 4 having a scanning line curve and the imaging range 8a of the CCD camera. For example, as shown in the flowchart of FIG. The scanning beam 4 is moved to each measurement point in the main scanning direction (Step S202), and after the movement is completed, Steps S102 to S1 in FIG. 5 are performed.
14 by the same operation as that of the dot 4 of the scanning beam 4.
a is positioned in the sub-scanning direction so that “a” irradiates the imaging range 8a of the CCD camera (steps S203 to
215), by repeating the measurement at all the measurement points (step S216), it becomes possible to measure the irradiation position, beam diameter, light amount, etc. of the scanning beam 4 in the entire scanning plane of the scanning beam 4. (Third embodiment)

【0046】図8は本発明の第3実施形態のマルチビー
ム走査光学系ビーム測定装置を示す図である。
FIG. 8 is a view showing a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【0047】本実施形態のマルチビーム走査光学系ビー
ム測定装置は、図8に示すように第2実施形態の構成に
加え、走査ビーム4を検出する光検出手段としてのフォ
トダイオードアレイ30を備える。
As shown in FIG. 8, the multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus of the present embodiment includes a photodiode array 30 as a light detecting means for detecting the scanning beam 4 in addition to the configuration of the second embodiment.

【0048】フォトダイオードアレイ30は、CCDカ
メラ8に設置され、マルチビーム走査光学系2の走査面
内でCCDカメラ8に先行するように移動手段10によ
って移動させられ、またCCDカメラ8と平行な受光面
を持ち、CCDカメラ撮像範囲8aよりも大きい副走査
方向の受光範囲を有している。
The photodiode array 30 is mounted on the CCD camera 8 and is moved by the moving means 10 in the scanning plane of the multi-beam scanning optical system 2 so as to precede the CCD camera 8. It has a light receiving surface and has a light receiving range in the sub-scanning direction that is larger than the CCD camera imaging range 8a.

【0049】フォトダイオードアレイ30はビーム情報
取得手段21に接続され、マルチビーム走査光学系2に
よって副走査方向に複数照射される走査ビーム4のドッ
ト4aの位置を検出する光検出工程においてフォトダイ
オードアレイ30によって検出された走査ビーム4の位
置情報をビーム情報取得手段21が取得し、取得した位
置情報を基に制御手段20を介して駆動モータ11を駆
動させることでCCDカメラ8の位置決め制御を行う。
The photodiode array 30 is connected to the beam information acquisition means 21, and is used in a photodetection step for detecting the positions of the dots 4 a of the scanning beam 4 irradiated in the sub-scanning direction by the multi-beam scanning optical system 2. The beam information acquisition unit 21 acquires the position information of the scanning beam 4 detected by 30, and drives the drive motor 11 via the control unit 20 based on the acquired position information to control the positioning of the CCD camera 8. .

【0050】上述の構成によれば、制御手段20が、光
検出手段30によって検出された走査ビーム4のドット
4aの位置に基づいて、マルチビーム走査光学系2の走
査面内でCCDカメラ8が主走査方向に距離L1移動す
ると同時に副走査方向にも距離L2だけ移動するように
移動手段10を直線補完移動することで、次の測定点へ
移動する際の時間的ロスがなくなり、連続的に短時間で
走査ビーム4の測定が可能となる。つまり、主走査方向
への各測定点への移動、副走査方向への位置決めという
2段階の移動が必要なくなり、測定時間の短縮が可能と
なる。
According to the above configuration, the control means 20 controls the CCD camera 8 within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system 2 based on the position of the dot 4a of the scanning beam 4 detected by the light detecting means 30. By linearly complementarily moving the moving means 10 so as to move the distance L1 in the main scanning direction and also the distance L2 in the sub-scanning direction, there is no time loss at the time of moving to the next measurement point. The scanning beam 4 can be measured in a short time. That is, there is no need to move in two steps, that is, movement to each measurement point in the main scanning direction and positioning in the sub-scanning direction, and thus the measurement time can be reduced.

【0051】また、CCDカメラ8の副走査方向に関す
る位置決め制御は、走査ビーム4の副走査方向に関する
最上位と最下位ドット間距離L3に比べCCDカメラ撮
像範囲8aの副走査方向に関する大きさL4が充分に大
きい場合、図9に示すように副走査方向に関する複数の
走査ビーム4の平均照射位置、つまり光検出手段30に
よって検出された走査ビーム4のドット4aの平均位置
をビーム情報取得手段21が画像演算等によって算出
し、算出された走査ビーム4の平均照射位置がCCDカ
メラ撮像範囲8aの副走査方向の中心付近を通るように
CCDカメラ8とマルチビーム走査光学系2の相対位置
を位置決め制御するようにする。
In the positioning control of the CCD camera 8 in the sub-scanning direction, the size L4 of the CCD camera imaging range 8a in the sub-scanning direction is smaller than the distance L3 between the uppermost and lowermost dots of the scanning beam 4 in the sub-scanning direction. If it is sufficiently large, as shown in FIG. 9, the beam information acquisition unit 21 determines the average irradiation position of the plurality of scanning beams 4 in the sub-scanning direction, that is, the average position of the dots 4a of the scanning beam 4 detected by the light detection unit 30. Positioning control of the relative position of the CCD camera 8 and the multi-beam scanning optical system 2 calculated by image calculation or the like so that the calculated average irradiation position of the scanning beam 4 passes near the center of the CCD camera imaging range 8a in the sub-scanning direction. To do it.

【0052】上述の構成によれば、副走査方向に複数の
走査ビーム4の全てがCCDカメラ撮像範囲8aに照射
されることになり、全ての走査ビーム4の測定が可能と
なる。 (第4実施形態)
According to the above-described configuration, all of the plurality of scanning beams 4 are irradiated on the imaging range 8a of the CCD camera in the sub-scanning direction, and all the scanning beams 4 can be measured. (Fourth embodiment)

【0053】図10は本発明の第4実施形態のマルチビ
ーム走査光学系ビーム測定装置を示す図である。本実施
形態のマルチビーム走査光学系ビーム測定装置は、第3
実施形態での光検出手段としてのフォトダイオードアレ
イ30を位置検出素子40に代えて構成したものであ
る。
FIG. 10 is a view showing a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. The multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to the present embodiment has a third
In this embodiment, the photodiode array 30 as the light detecting means in the embodiment is configured in place of the position detecting element 40.

【0054】図10において、マルチビーム走査光学系
ビーム測定装置は位置検出素子40を備え、位置検出素
子40はサンプルホールド手段53を介してアナログデ
ィジタル変換手段54に接続され、アナログディジタル
変換手段54は制御手段20に接続されている。
In FIG. 10, the beam measuring apparatus of the multi-beam scanning optical system has a position detecting element 40. The position detecting element 40 is connected to an analog / digital converting means 54 via a sample / hold means 53. It is connected to the control means 20.

【0055】位置検出素子40は、位置検出素子40に
照射される走査ビーム4の位置が電圧値として検出可能
なものである。
The position detecting element 40 can detect the position of the scanning beam 4 applied to the position detecting element 40 as a voltage value.

【0056】サンプルホールド手段53は、アナログデ
ィジタル変換手段54に入力する電圧をサンプルし、保
持し、保持された電圧をアナログディジタル手段54が
変換し終わるまでそのまま持続する回路を備えている。
The sample-and-hold means 53 has a circuit which samples and holds the voltage input to the analog-to-digital conversion means 54 and keeps the held voltage as it is until the analog-to-digital means 54 completes the conversion.

【0057】アナログディジタル変換手段54はサンプ
ルホールド手段53から入力された入力信号を変換し、
制御手段20へ出力するものである。
The analog-to-digital conversion means 54 converts the input signal input from the sample-and-hold means 53,
This is output to the control means 20.

【0058】上述の構成によれば、副走査方向に複数照
射される走査ビーム4のドット4aの平均位置は、位置
検出素子40の中心からの距離に比例した電圧値V1と
して出力されるため、出力された電圧値V1をサンプル
ホールド手段53を介してアナログディジタル変換手段
54に出力し、アナログディジタル変換手段54におい
て変換することによって副走査方向に複数照射される走
査ビーム4のドット4aの平均照射位置を容易に取得す
ることができることとなり、それによってより容易にC
CDカメラ8の副走査方向の位置決めを行うことができ
る。
According to the above configuration, the average position of the dots 4a of the scanning beam 4 irradiated in the sub-scanning direction is output as the voltage value V1 proportional to the distance from the center of the position detecting element 40. The output voltage value V1 is output to the analog-to-digital conversion means 54 via the sample-and-hold means 53, and is converted by the analog-to-digital conversion means 54 so that the average irradiation of the dots 4a of the scanning beam 4 irradiated in the sub-scanning direction. The position can be easily obtained, so that C
The positioning of the CD camera 8 in the sub-scanning direction can be performed.

【0059】また、走査ビーム4のドット4aの絶対位
置座標、つまり撮像工程における撮像範囲内での走査ビ
ーム4の照射位置と、撮像工程における撮像位置の移動
量とに基づく走査面内での走査ビーム4の照射位置を取
得するには、例えば図11に示すように、副走査方向の
幅がL5であるCCDカメラ撮像範囲8a上での走査ビ
ームの照射位置座標を(x2、y2)、CCDカメラ撮
像範囲8aの端部の測定原点からの座標を(x1、y
1)とすると、走査面内における走査ビーム4のドット
4aの絶対位置座標は(x1+x2、y1+L5−y
2)から取得できることとなり、この座標値と共に測定
された走査ビームの径や光量等の情報を記憶することに
よって、任意の像高での走査ビーム情報を取得可能とな
る。
Further, scanning in the scanning plane based on the absolute position coordinates of the dots 4a of the scanning beam 4, that is, the irradiation position of the scanning beam 4 within the imaging range in the imaging step and the movement amount of the imaging position in the imaging step. In order to acquire the irradiation position of the beam 4, for example, as shown in FIG. 11, the irradiation position coordinates of the scanning beam on the CCD camera imaging range 8a whose width in the sub-scanning direction is L5 are (x2, y2), The coordinates of the end of the camera imaging range 8a from the measurement origin are (x1, y
Assuming that 1), the absolute position coordinates of the dot 4a of the scanning beam 4 in the scanning plane are (x1 + x2, y1 + L5-y).
2). By storing information such as the measured scanning beam diameter and light amount together with the coordinate values, it becomes possible to acquire scanning beam information at an arbitrary image height.

【0060】[0060]

【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、マルチビ
ームを用いた走査光学系においても、走査線曲がり等の
影響を除去し、確実に走査ビームを測定することが可能
となる。また、走査ビームが同じ位置に照射されるよう
位置決めすることによって、撮像手段の照射位置に起因
するバラツキも低減することが可能となる。
According to the first aspect of the present invention, even in a scanning optical system using a multi-beam, it is possible to eliminate the influence of scanning line bending and the like, and to reliably measure the scanning beam. In addition, by positioning the scanning beam so as to irradiate the same position, it is possible to reduce the variation due to the irradiation position of the imaging unit.

【0061】また、請求項2記載の発明によれば、任意
の像高における走査ビームの測定において、所望の数の
走査ビーム数が撮像手段に照射され、確実に走査ビーム
を測定することが可能となる。
According to the second aspect of the present invention, in the measurement of a scanning beam at an arbitrary image height, a desired number of scanning beams are irradiated to the image pickup means, and the scanning beam can be measured reliably. Becomes

【0062】また、請求項3記載の発明によれば、走査
ビームの測定において、所望の数の走査ビームが撮像手
段に照射され、全走査面内で走査線曲がりに影響される
ことなく副走査方向に複数照射されるマルチビームの測
定が可能となる。
According to the third aspect of the present invention, in the measurement of the scanning beam, a desired number of the scanning beams are irradiated to the image pickup means, and the sub-scanning is performed without being affected by the scanning line bending in the entire scanning plane. It becomes possible to measure a multi-beam irradiated in a plurality of directions.

【0063】また、請求項4記載の発明によれば、位置
決めに要する時間を短縮することができ、より短時間で
走査ビームを測定することが可能となる。
According to the fourth aspect of the present invention, the time required for positioning can be reduced, and the scanning beam can be measured in a shorter time.

【0064】また、請求項5記載の発明によれば、より
短時間で全走査面内の走査ビームを測定することが可能
となる。
According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to measure the scanning beam in the entire scanning plane in a shorter time.

【0065】また、請求項6記載の発明によれば、画像
処理を施すことなく走査ビームの照射平均位置を取得で
きるため、より少ない工程で撮像手段の位置決め及び走
査ビームを測定することが可能となる。
According to the sixth aspect of the present invention, since the irradiation average position of the scanning beam can be obtained without performing image processing, the positioning of the image pickup means and the measurement of the scanning beam can be performed in fewer steps. Become.

【0066】また、請求項7記載の発明によれば、走査
面内における走査ビームが照射される絶対位置を算出し
全走査面内において走査ビームのビーム径、光量、ビー
ム照射位置、走査線曲がり等の情報を取得することが可
能となる。
According to the seventh aspect of the present invention, the absolute position at which the scanning beam is irradiated on the scanning plane is calculated, and the beam diameter, the light amount, the beam irradiation position, and the scanning line bending of the scanning beam are calculated over the entire scanning plane. Etc. can be obtained.

【0067】また、請求項8記載の発明によれば、マル
チビーム走査光学系においても、走査線曲がり等の影響
を除去し、確実に走査ビームを測定することが可能とな
る。また、走査ビームが同じ位置に照射されるよう位置
決めすることによって、撮像手段の照射位置に起因する
バラツキも低減することが可能となる。
According to the eighth aspect of the present invention, even in a multi-beam scanning optical system, it is possible to eliminate the influence of scanning line bending and the like, and to reliably measure a scanning beam. In addition, by positioning the scanning beam so as to irradiate the same position, it is possible to reduce the variation due to the irradiation position of the imaging unit.

【0068】また、請求項9記載の発明によれば、全走
査面内において確実に走査ビームの測定が可能となる。
According to the ninth aspect of the present invention, it is possible to reliably measure the scanning beam in the entire scanning plane.

【0069】また、請求項10記載の発明によれば、位
置決めに要する時間を短縮することができ、より短時間
で走査ビームを測定することが可能となる。
According to the tenth aspect, the time required for positioning can be reduced, and the scanning beam can be measured in a shorter time.

【0070】また、請求項11記載の発明によれば、走
査ビームが照射される絶対位置を算出し全走査面内にお
ける走査線曲がり等の走査ビーム情報を取得することが
可能となる。
According to the eleventh aspect of the present invention, it is possible to calculate the absolute position at which the scanning beam is irradiated, and to obtain the scanning beam information such as the bending of the scanning line in the entire scanning plane.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態に係るマルチビーム走査
光学系ビーム測定装置を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】マルチビーム走査光学系ビーム測定装置を側面
から見た図である。
FIG. 2 is a side view of a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus.

【図3】走査ビームの走査線曲がりを示す図である。FIG. 3 is a view showing a scanning line bending of a scanning beam.

【図4】本発明の第2実施形態に係るマルチビーム走査
光学系ビーム測定装置を示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第2実施形態に係るマルチビーム走査
光学系ビーム測定方法のフローチャートである。
FIG. 5 is a flowchart of a multi-beam scanning optical system beam measuring method according to a second embodiment of the present invention.

【図6】走査ビームのドットと走査ビームを測定するC
CDカメラの撮像範囲を示す図である。
FIG. 6 shows a scanning beam dot and C for measuring the scanning beam.
FIG. 3 is a diagram illustrating an imaging range of a CD camera.

【図7】本発明の第2実施形態に係るマルチビーム走査
光学系ビーム測定方法のフローチャートである。
FIG. 7 is a flowchart of a multi-beam scanning optical system beam measuring method according to a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第3実施形態に係るマルチビーム走査
光学系ビーム測定装置を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第3実施形態に係るマルチビーム走査
光学系ビーム測定装置において走査ビームの平均照射位
置に基づく測定を示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating a measurement based on an average irradiation position of a scanning beam in a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第4実施形態に係るマルチビーム走
査光学系ビーム測定装置を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

【図11】走査ビームの絶対位置情報を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing absolute position information of a scanning beam.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 画像形成装置 2 マルチビーム走査光学系 4 走査ビーム 4a ドット 8 CCDカメラ(撮像手段) 10 移動手段 20 制御手段 21 ビーム情報取得手段 23 記憶手段 22 比較手段 8a 撮像範囲 30 フォトダイオードアレイ(光検出手段) 40 位置検出素子(光検出手段) Reference Signs List 1 image forming apparatus 2 multi-beam scanning optical system 4 scanning beam 4a dot 8 CCD camera (imaging means) 10 moving means 20 control means 21 beam information acquisition means 23 storage means 22 comparison means 8a imaging range 30 photodiode array (light detection means) ) 40 Position detecting element (light detecting means)

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】画像形成装置のマルチビーム走査光学系に
よって照射される走査ビームのドット列を撮像する撮像
手段と、 前記撮像手段を前記マルチビーム走査光学系の走査面内
で主走査方向に移動させる移動手段と、 前記走査ビームのドット列が前記撮像手段によって撮像
されるように前記移動手段を制御する制御手段と、 前記撮像手段によって取得された画像に基づいて、前記
走査ビームに対する情報を取得するビーム情報取得手段
とを備え、 前記マルチビーム走査光学系によって副走査方向に複数
照射される前記走査ビームを測定するマルチビーム走査
光学系ビーム測定装置において、 前記移動手段が、前記撮像手段を前記マルチビーム走査
光学系の走査面内で副走査方向に移動させることを特徴
とするマルチビーム走査光学系ビーム測定装置。
1. An image pickup means for picking up an image of a dot row of a scanning beam emitted by a multi-beam scanning optical system of an image forming apparatus; and moving the image pickup means in a main scanning direction within a scanning plane of the multi-beam scanning optical system. Moving means for controlling; controlling means for controlling the moving means so that the dot array of the scanning beam is imaged by the imaging means; and acquiring information on the scanning beam based on an image acquired by the imaging means. A multi-beam scanning optical system beam measuring device for measuring the plurality of scanning beams irradiated in the sub-scanning direction by the multi-beam scanning optical system, wherein the moving unit includes the imaging unit. A multi-beam scanning optical system which moves in the sub-scanning direction within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system. Measuring device.
【請求項2】前記ビーム情報取得手段によって前記走査
ビームに対する情報として前記走査ビームの副走査方向
のドット数が取得されるとともに、 前記撮像手段によって撮像されるべき前記走査ビームの
副走査方向のドット数を記憶する記憶手段と、 前記ビーム情報取得手段によって取得された前記走査ビ
ームの副走査方向のドット数、及び、前記記憶手段によ
って記憶された前記走査ビームの副走査方向のドット数
を比較演算する比較手段とを備え、 前記制御手段が、前記比較手段によって算出される結果
に基づいて前記移動手段を制御することを特徴とする請
求項1に記載のマルチビーム走査光学系ビーム測定装
置。
2. The method according to claim 2, wherein the beam information acquiring unit acquires the number of dots in the sub-scanning direction of the scanning beam as information for the scanning beam, and the dots in the sub-scanning direction of the scanning beam to be imaged by the imaging unit. Storage means for storing the number of dots, the number of dots in the sub-scanning direction of the scanning beam obtained by the beam information obtaining means, and the number of dots in the sub-scanning direction of the scanning beam stored by the storage means 2. The multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to claim 1, further comprising: a comparing unit configured to control the moving unit based on a result calculated by the comparing unit. 3.
【請求項3】前記制御手段が、前記移動手段に、前記撮
像手段を前記マルチビーム走査光学系の走査面内で主走
査方向に移動させた後、前記マルチビーム走査光学系の
走査面内で副走査方向に移動させることを特徴とする請
求項1又は2に記載のマルチビーム走査光学系ビーム測
定装置。
3. The control means moves the imaging means in the main scanning direction within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system to the moving means, and then moves the imaging means within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system. 3. The multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to claim 1, wherein the beam is moved in a sub-scanning direction.
【請求項4】前記マルチビーム走査光学系の走査面内の
副走査方向において、前記撮像手段の撮像範囲より大き
い範囲を受光することによって、前記マルチビーム走査
光学系によって副走査方向に複数照射される前記走査ビ
ームのドットの位置を検出する光検出手段を備え、 前記移動手段が、前記光検出手段を前記マルチビーム走
査光学系の走査面内で前記撮像手段に先行して移動さ
せ、 前記制御手段が、前記光検出手段によって検出された前
記走査ビームのドットの位置に基づいて、前記移動手段
に、前記撮像手段を前記マルチビーム走査光学系の走査
面内で主走査方向及び副走査方向を同時に移動させるこ
とを特徴とする請求項1に記載のマルチビーム走査光学
系ビーム測定装置。
4. In the sub-scanning direction in the scanning plane of the multi-beam scanning optical system, a plurality of light beams are irradiated in the sub-scanning direction by the multi-beam scanning optical system by receiving an area larger than the imaging range of the imaging means. Light detecting means for detecting a position of a dot of the scanning beam, wherein the moving means moves the light detecting means prior to the imaging means within a scanning plane of the multi-beam scanning optical system; Means for moving the imaging means in the scanning plane of the multi-beam scanning optical system in the main scanning direction and the sub-scanning direction based on the positions of the dots of the scanning beam detected by the light detection means. The beam measuring device according to claim 1, wherein the beam is moved simultaneously.
【請求項5】前記制御手段が、前記光検出手段によって
検出された前記走査ビームのドットの平均位置に基づい
て、前記移動手段を制御することを特徴とする請求項4
に記載のマルチビーム走査光学系ビーム測定装置。
5. The apparatus according to claim 4, wherein said control means controls said moving means based on an average position of dots of said scanning beam detected by said light detecting means.
3. The beam measuring apparatus according to claim 1, wherein
【請求項6】前記光検出手段が位置検出素子であること
を特徴とする請求項5に記載のマルチビーム走査光学系
ビーム測定装置。
6. The beam measuring apparatus according to claim 5, wherein said light detecting means is a position detecting element.
【請求項7】前記ビーム情報取得手段が、前記撮像手段
の撮像範囲内での前記走査ビームの照射位置と、前記撮
像手段の移動量とに基づいて、前記走査ビームに対する
情報として、前記走査面内での前記走査ビームの照射位
置を取得することを特徴とする請求項1〜6の何れかに
記載のマルチビーム走査光学系ビーム測定装置。
7. The scanning surface as information on the scanning beam based on an irradiation position of the scanning beam within an imaging range of the imaging unit and a moving amount of the imaging unit. The multi-beam scanning optical system beam measuring apparatus according to claim 1, wherein an irradiation position of the scanning beam within the device is acquired.
【請求項8】画像形成装置のマルチビーム走査光学系に
よって照射される走査ビームのドット列を撮像する撮像
工程と、 前記走査ビームのドット列が前記撮像工程において撮像
されるように、前記撮像工程における撮像位置を前記マ
ルチビーム走査光学系の走査面内で主走査方向及び副走
査方向に移動させる移動工程と、 前記撮像工程において取得された画像に基づいて、前記
走査ビームに対する情報を取得するビーム情報取得工程
とを備え、 前記マルチビーム走査光学系によって副走査方向に複数
照射される前記走査ビームを測定することを特徴とする
マルチビーム走査光学系ビーム測定方法。
8. An imaging step for imaging a dot array of a scanning beam irradiated by a multi-beam scanning optical system of an image forming apparatus; and the imaging step so that the dot array of the scanning beam is imaged in the imaging step. Moving the imaging position in the main scanning direction and the sub-scanning direction within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system; and a beam for acquiring information on the scanning beam based on the image acquired in the imaging step. An information acquisition step, wherein the multi-beam scanning optical system measures the plurality of scanning beams irradiated in the sub-scanning direction.
【請求項9】前記移動工程において、前記撮像工程にお
ける撮像位置を前記マルチビーム走査光学系の走査面内
で主走査方向に移動させた後、前記マルチビーム走査光
学系の走査面内で副走査方向に移動させることを特徴と
する請求項8に記載のマルチビーム走査光学系ビーム測
定方法。
9. In the moving step, after the imaging position in the imaging step is moved in the main scanning direction within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system, sub-scanning is performed within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system. 9. The method according to claim 8, wherein the beam is moved in a direction.
【請求項10】前記マルチビーム走査光学系の走査面内
の副走査方向において、前記撮像工程における撮像範囲
より大きい範囲を受光することによって、前記マルチビ
ーム走査光学系によって副走査方向に複数照射される前
記走査ビームのドットの位置を検出する光検出工程を備
え、 前記移動工程において、前記光検出工程における受光位
置を前記マルチビーム走査光学系の走査面内で前記撮像
工程における撮像位置に先行して移動させるとともに、
前記光検出工程において検出された前記走査ビームのド
ットの位置に基づいて、前記撮像工程における撮像位置
を前記マルチビーム走査光学系の走査面内で主走査方向
及び副走査方向を同時に移動させることを特徴とする請
求項8に記載のマルチビーム走査光学系ビーム測定方
法。
10. In the sub-scanning direction in the scanning plane of the multi-beam scanning optical system, by receiving an area larger than the imaging range in the imaging step, the multi-beam scanning optical system irradiates a plurality of light beams in the sub-scanning direction. A light detecting step of detecting a position of a dot of the scanning beam, wherein in the moving step, a light receiving position in the light detecting step precedes an imaging position in the imaging step in a scanning plane of the multi-beam scanning optical system. And move
Based on the positions of the dots of the scanning beam detected in the light detection step, the imaging position in the imaging step in the main scanning direction and the sub-scanning direction are simultaneously moved within the scanning plane of the multi-beam scanning optical system. The method for measuring a beam of a multi-beam scanning optical system according to claim 8.
【請求項11】前記ビーム情報取得工程において、前記
撮像工程における撮像範囲内での前記走査ビームの照射
位置と、前記撮像工程における撮像位置の移動量とに基
づいて、前記走査ビームに対する情報として、前記走査
面内での前記走査ビームの照射位置を取得することを特
徴とする請求項8〜10の何れかに記載のマルチビーム
走査光学系ビーム測定方法。
11. In the beam information acquiring step, based on an irradiation position of the scanning beam within an imaging range in the imaging step and a moving amount of the imaging position in the imaging step, information on the scanning beam is The method according to claim 8, wherein an irradiation position of the scanning beam in the scanning plane is acquired.
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