JP2002254398A - Transferring device - Google Patents

Transferring device

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JP2002254398A
JP2002254398A JP2001054837A JP2001054837A JP2002254398A JP 2002254398 A JP2002254398 A JP 2002254398A JP 2001054837 A JP2001054837 A JP 2001054837A JP 2001054837 A JP2001054837 A JP 2001054837A JP 2002254398 A JP2002254398 A JP 2002254398A
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frame
moving
piezoelectric element
present
moving device
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Japanese (ja)
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Naoyuki Aoyama
尚之 青山
Taikai Fuchiwaki
大海 渕脇
Yuichi Shoji
裕一 庄司
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transferring device with three degree of freedom in X, T, θ directions independently. SOLUTION: This device is provided with a first frame 10, a second frame 20 arranged to cross the first frame 10, a fixing means 30 temporarily fixing the first and second frames 10, 20 on a traveling surface, and a transferring means 40 relatively transferring the first frame 10 and the second frame 20. The first frame 10 and the second frame 20 are relatively movable. The transferring means 40 relatively transfers the first frame 10 and the second frame 20. The fixing means 30 releases fixing of the first frame 10 and the second frame 20 transferred by the transferring means 40 on the traveling surface.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロロボット
などの自走機械に利用できる移動装置に関し、特に、3
自由度を独立に動作可能な移動装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a moving device that can be used for a self-propelled machine such as a micro robot,
The present invention relates to a mobile device capable of independently operating a degree of freedom.

【0002】[0002]

【従来の技術】文献1(青山ほか;小型自走機械群によ
る超精密生産機械システム〔第1報自走機械の設計と試
作〕、’91年度精密工学会秋講演論530ページ)に
は、精密移動機構として、前後に電磁石の脚を配置し、
左右に、互いに平行に圧電素子を取り付け、これらの電
磁石と圧電素子とを同期して動作させることによって、
尺取り虫のように移動させる機構が記載されている。こ
れによると、小型の自走機械において、前進、後退、旋
回を精密に行うことができる。
2. Description of the Related Art Document 1 (Aoyama et al., Ultraprecision Production Machine System Using Small Self-propelled Machines [1st Report, Design and Prototype of Self-propelled Machines], 1991 Precision Engineering Society Autumn Lecture Page 530) Electromagnetic legs are placed in front and back as a precision movement mechanism,
By attaching piezoelectric elements to the left and right parallel to each other and operating these electromagnets and piezoelectric elements in synchronization,
A mechanism to move like a worm is described. According to this, in a small self-propelled machine, forward, backward, and turning can be precisely performed.

【0003】しかしながら、この機構によると、左右方
向および斜め方向への移動、ならびに、信地旋回をする
ことができなかった。
[0003] However, according to this mechanism, it is not possible to move in the left-right direction and the diagonal direction and to make a pivot turn.

【0004】文献2(鳥井ほか;圧電素子と電磁石を用
いた精密位置決め用小型ロボット、’99年度精密工学
会秋季大会学術論文集125頁)には、XYθ方向での
3自由度を有する自走機械が記載されている。しかしな
がら、この技術には、制御が複雑であり、しかも、磁力
の損失が大きくて、走行面への吸着力が出しにくいとい
う不都合がある。
Reference 2 (Tori et al., Small Robot for Precision Positioning Using Piezoelectric Elements and Electromagnets, Journal of the 1999 Japan Society for Precision Engineering Autumn Meeting, p. 125) describes a self-propelled vehicle having three degrees of freedom in the XYθ directions. Machine is described. However, this technique has the disadvantage that the control is complicated, the loss of magnetic force is large, and it is difficult to generate an attraction force on the running surface.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、XY
θ方向で独立した3自由度を有する移動装置を提供する
ことを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide XY
It is an object of the present invention to provide a mobile device having three independent degrees of freedom in the θ direction.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の移動装置
は、第1フレームと、これに交差して配置された第2フ
レームと、前記第1および第2フレームを走行面に一時
的に固定するための固定手段と、前記第1フレームと第
2フレームとを相対移動させる移動手段とを備えてお
り、前記第1フレームと前記第2フレームとは、相対移
動可能とされており、前記移動手段は、前記第1フレー
ムと前記第2フレームとを相対移動させるものとなって
おり、前記固定手段は、前記移動手段によって移動させ
られる第1フレームまたは第2フレームについては、走
行面への固定を解除する構成となっているものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a moving device, comprising: a first frame, a second frame intersected with the first frame, and the first and second frames temporarily attached to a running surface. Fixing means for fixing, and moving means for relatively moving the first frame and the second frame, wherein the first frame and the second frame are relatively movable, and The moving means relatively moves the first frame and the second frame, and the fixing means moves the first frame or the second frame moved by the moving means to a running surface. It is configured to release the fixation.

【0007】請求項2記載の移動装置は、請求項1記載
のものにおいて、前記固定手段を電磁石としたものであ
る。
According to a second aspect of the present invention, in the moving device according to the first aspect, the fixing means is an electromagnet.

【0008】請求項3記載の移動装置は、請求項1また
は2に記載のものにおいて、前記移動手段を、前記第1
フレームと前記第2フレームとの隣接部位どうしを離間
・接近させる構成としたものである。
[0008] According to a third aspect of the present invention, in the moving device according to the first or second aspect, the moving means is connected to the first device.
In this configuration, adjacent portions of the frame and the second frame are separated from each other and approach each other.

【0009】請求項4記載の移動装置は、請求項3記載
のものにおいて、前記移動手段を圧電素子としたもので
ある。
According to a fourth aspect of the present invention, in the moving device according to the third aspect, the moving means is a piezoelectric element.

【0010】請求項5記載の移動装置は、請求項1〜4
のいずれか1項に記載のものにおいて、前記第1フレー
ムまたは第2フレームにおける、走行面との接地部位の
うち、少なくとも一つを、折れ曲がり可能としたもので
ある。
[0010] The moving device according to the fifth aspect is the first to fourth aspects.
In at least one of the first frame and the second frame, at least one of the ground contact portions with the running surface can be bent.

【0011】請求項6記載の移動装置は、請求項1〜5
のいずれか1項に記載のものにおいて、前記第1フレー
ムおよび第2フレームと前記走行面との接地部位を、そ
れぞれ2つとしたものである。
[0011] The moving device according to the sixth aspect is the first to fifth aspects.
Wherein the ground contact portions between the first and second frames and the running surface are each two.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態に係る移動機
械を、添付の図面に基づいて説明する。この実施形態の
移動機械は、図1および図2に概略を示したように、第
1フレーム10と、これに交差して配置された第2フレ
ーム20と、第1および第2フレーム10・20を走行
面2(図2参照)に一時的に固定するための固定手段3
0と、第1フレーム10と第2フレーム20とを相対移
動させる移動手段40とを主体として備えている。ここ
で、走行面2の組成としては、本実施形態では、磁性
体、例えば鉄を主成分とするものとなっており、これに
よって、磁石が走行面2に吸着できるようになってい
る。本実施形態に係る移動機械は、マイクロマシンとし
て実装した例である。その寸法は限定されないが、例え
ば、図1における幅L1が35mm、幅L2が30.4
mm、図2における高さL3が14.5mmとなってい
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A mobile machine according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. As schematically shown in FIGS. 1 and 2, the mobile machine according to this embodiment includes a first frame 10, a second frame 20 intersecting the first frame 10, and first and second frames 10 and 20. Means 3 for temporarily fixing to the running surface 2 (see FIG. 2)
0 and a moving means 40 for relatively moving the first frame 10 and the second frame 20. Here, in the present embodiment, the composition of the running surface 2 is a material having a magnetic material, for example, iron as a main component, so that the magnet can be attracted to the running surface 2. The mobile machine according to the present embodiment is an example implemented as a micromachine. Although the dimensions are not limited, for example, the width L1 in FIG.
mm, and the height L3 in FIG. 2 is 14.5 mm.

【0013】第1フレーム10は、図3および図4に示
されるように、本体11と、脚部12と、可動部13と
を備えている。本体11は、棒状とされている。本体1
1の上部には、凹部11aが形成されている。脚部12
は、本体11と一体のものでであり、その一端から下方
に延長されている。可動部13は、本体11の他端に、
ピン14を介して回動可能に取り付けられている。可動
部13は、下方に延長されている。可動部13が取りう
る最下端の位置は、脚部12の下端の位置より僅かに低
くなるように設定されている。このような可動部13の
構成によって、走行面2の微少な凹凸を吸収して(すな
わち凹凸に影響されずに)走行することができるように
なっている。第1フレーム10の材料としては、例え
ば、残留磁力の少ない3%ケイ素鋼など、適宜のものを
用いることができる。
As shown in FIGS. 3 and 4, the first frame 10 includes a main body 11, leg portions 12, and a movable portion 13. The main body 11 has a rod shape. Body 1
A concave portion 11a is formed in the upper part of 1. Leg 12
Is integral with the main body 11 and extends downward from one end thereof. The movable part 13 is provided at the other end of the main body 11.
It is rotatably mounted via a pin 14. The movable part 13 is extended downward. The lowermost position of the movable portion 13 can be set so as to be slightly lower than the lower end of the leg portion 12. With such a configuration of the movable portion 13, the vehicle can travel while absorbing fine irregularities on the traveling surface 2 (that is, without being affected by the irregularities). As a material of the first frame 10, an appropriate material such as 3% silicon steel having a small residual magnetic force can be used.

【0014】第2フレーム20は、図5に示されるよう
に、本体21と、脚部22および23とを備えている。
本体21は、本体11と同様に、棒状とされている。本
体11の下部には、凹部21aが形成されている。凹部
21aは、第1フレーム10の凹部11aと対向して配
置される。この構成によって、第1フレーム10と第2
フレーム20とは、平面内において、所定のストローク
(これは圧電素子の変位量によって決まる)の範囲内
で、全方向に相対移動可能となっている。第2フレーム
20の材質は、第1フレーム10と同様のものを用いる
ことができる。第1フレーム10と第2フレーム20と
は、互いの接触や磁力の干渉がないように、適宜の間隔
を有して配置されることが望ましい。
As shown in FIG. 5, the second frame 20 has a main body 21 and legs 22 and 23.
The main body 21 is shaped like a rod, like the main body 11. A recess 21 a is formed in the lower part of the main body 11. The recess 21 a is arranged to face the recess 11 a of the first frame 10. With this configuration, the first frame 10 and the second frame
The frame 20 is relatively movable in all directions within a predetermined stroke (which is determined by the displacement of the piezoelectric element) in a plane. The same material as the first frame 10 can be used as the material of the second frame 20. It is preferable that the first frame 10 and the second frame 20 are arranged at appropriate intervals so that there is no mutual contact or interference of magnetic force.

【0015】固定手段30は、具体的には、コイルを主
体として構成されている。このコイルは、電源に接続さ
れており、電源がオン状態では、電磁石として作用する
ようになっている。コイル31〜34は、第1フレーム
10の脚部12、可動脚13、第2フレーム20の脚部
22および23にそれぞれ取り付けられている(図1参
照)。これにより、第1フレーム10と第2フレーム2
0とを走行面2に一次的に固定できるようになってい
る。ただし、本実施形態では、コイル31と32、コイ
ル33と34は、共通のループに属しているので、独立
ではない。固定手段30は、第1フレーム10が移動す
るときには、コイル31および32への通電をオフとす
ることで、走行面2への第1フレーム10の固定を解除
する。同様に、固定手段30は、第2フレーム20が移
動するときには、コイル33および34への通電をオフ
として、走行面2への第2フレーム20の固定を解除す
る。このような制御は、図示しないコンピュータなどの
適宜の制御装置を用いて容易に行うことができる。
More specifically, the fixing means 30 is mainly composed of a coil. The coil is connected to a power supply, and functions as an electromagnet when the power supply is on. The coils 31 to 34 are respectively attached to the legs 12, the movable legs 13, and the legs 22 and 23 of the second frame 20 (see FIG. 1). Thereby, the first frame 10 and the second frame 2
0 can be temporarily fixed to the running surface 2. However, in the present embodiment, the coils 31 and 32 and the coils 33 and 34 belong to a common loop and are not independent. When the first frame 10 moves, the fixing means 30 releases the fixing of the first frame 10 to the running surface 2 by turning off the current supply to the coils 31 and 32. Similarly, when the second frame 20 moves, the fixing means 30 turns off the current supply to the coils 33 and 34 and releases the fixing of the second frame 20 to the running surface 2. Such control can be easily performed using an appropriate control device such as a computer (not shown).

【0016】移動手段40は、図1に示されるように、
第1フレーム10と第2フレーム20との端部どうしの
間に、これらを連結するように取り付けられた圧電素子
41〜44と、これらを各フレーム10・20に取り付
けるための治具45(図1および図6参照)とを備えて
いる。この構成により、圧電素子41〜44のいずれか
が伸縮すると、第1フレーム10と第2フレーム20と
が相対移動するようになっている。より具体的には、第
1フレーム10と第2フレーム20との隣接部位どうし
が離間接近するようになっている。各圧電素子41〜4
4には、図示しない電源が接続されている。各圧電素子
41〜44は、印可される電圧の強弱によって、伸張と
圧縮を選択的に行わせることができるようになってい
る。したがって、オフセットのある正弦波交流電圧が印
可されると、周期的に伸張と圧縮を行うようになってい
る。ここでオフセットは、圧電素子によって決まるが、
この実施形態では、40V程度である。負の電圧を印可
することは、この実施形態では行わない。圧電素子41
〜44としては、たとえば、変位量6〜8μm/100
Vの積層型圧電素子(TOKIN製)など、任意のもの
を用いることができる。ただし、各圧電素子の特性は揃
っていることが望ましい。治具45の材料としては、例
えば、加工性が高くてしかも剛性のあるアクリル樹脂な
どを用いることができる。剛性のある材料を用いた場合
は、圧電素子の変位を吸収せず、移動量を確保できると
いう利点がある。
The moving means 40 is, as shown in FIG.
Piezoelectric elements 41 to 44 attached between the ends of the first frame 10 and the second frame 20 so as to connect them, and a jig 45 for attaching these to the frames 10 and 20 (FIG. 1 and FIG. 6). With this configuration, when any one of the piezoelectric elements 41 to 44 expands and contracts, the first frame 10 and the second frame 20 relatively move. More specifically, adjacent portions of the first frame 10 and the second frame 20 are separated from each other and approached. Each piezoelectric element 41-4
A power supply (not shown) is connected to 4. Each of the piezoelectric elements 41 to 44 can selectively perform expansion and compression depending on the strength of the applied voltage. Therefore, when a sine wave AC voltage having an offset is applied, expansion and compression are performed periodically. Here, the offset is determined by the piezoelectric element,
In this embodiment, it is about 40V. Applying a negative voltage is not performed in this embodiment. Piezoelectric element 41
For example, the displacement amount is 6 to 8 μm / 100
An arbitrary element such as a V-type laminated piezoelectric element (manufactured by TOKIN) can be used. However, it is desirable that the characteristics of each piezoelectric element be uniform. As a material of the jig 45, for example, an acrylic resin having high workability and rigidity can be used. When a rigid material is used, there is an advantage that the displacement of the piezoelectric element is not absorbed and the amount of movement can be secured.

【0017】つぎに、前記のように構成された本実施形
態の移動装置の動作について説明する。まず、前進動作
について、図7に基づいて説明する。まず、第2フレー
ム20に取り付けられたコイル33・34をオンとし、
第1フレーム10に取り付けられたコイル31・32を
オフとする。これにより、第2フレーム20を走行面2
に固定し、第1フレーム10を移動可能とすることがで
きる。ついで、圧電素子43を伸張させる。同時に、圧
電素子44を圧縮させる。これにより、第1フレーム1
0を、図中上方に移動させることができる(同図a)。
つづいて、第1フレーム10に取り付けられたコイル3
1・32をオンとし、第2フレーム20に取り付けられ
たコイル33・34をオフとする。これにより、第1フ
レーム10を走行面2に固定し、第2フレーム20を移
動可能とすることができる。ついで、圧電素子44を伸
張させる。同時に圧電素子43を圧縮させる。これによ
り、第2フレーム20を、図中上方に移動させることが
できる(同図c)。以上の動作を繰り返すことで、前進
動作を行うことができる。後退動作は、以上と逆の操作
をすれば実現できる。左右動作も、前記と同じ原理で可
能である。
Next, the operation of the mobile device of the present embodiment configured as described above will be described. First, the forward movement will be described with reference to FIG. First, the coils 33 and 34 attached to the second frame 20 are turned on,
The coils 31 and 32 attached to the first frame 10 are turned off. As a result, the second frame 20 is
, And the first frame 10 can be movable. Next, the piezoelectric element 43 is extended. At the same time, the piezoelectric element 44 is compressed. Thereby, the first frame 1
0 can be moved upward in the figure (a in the figure).
Subsequently, the coil 3 attached to the first frame 10
1 and 32 are turned on, and the coils 33 and 34 attached to the second frame 20 are turned off. Thereby, the first frame 10 can be fixed to the running surface 2 and the second frame 20 can be moved. Next, the piezoelectric element 44 is expanded. At the same time, the piezoelectric element 43 is compressed. Thereby, the second frame 20 can be moved upward in the figure (c in the figure). The forward operation can be performed by repeating the above operation. The reverse operation can be realized by performing the reverse operation. Left-right movement is also possible based on the same principle as described above.

【0018】つぎに、右斜め前に移動する動作につい
て、図8に基づいて説明する。まず、第1フレーム10
を走行面2に固定し、第2フレーム20を移動可能とす
る。ついで、圧電素子41および44を伸張させ、圧電
素子42および43を圧縮させる。これにより、図8中
で右斜め上に、第2フレーム20を移動させることがで
きる(同図a)。つぎに、第2フレーム20を走行面2
に固定し、第1フレーム10を移動可能とする。つい
で、圧電素子41および44を圧縮させ、圧電素子42
および43を伸張させる(同図c)。これにより、第1
フレーム10を、図8中で右斜め上に移動させることが
できる。以上の動作を繰り返すことで、斜行動作を行う
ことができる。左斜め前、右斜め後ろ、左斜め後ろへの
移動は、同じ原理で行うことができる。
Next, the operation of moving rightward and obliquely forward will be described with reference to FIG. First, the first frame 10
Is fixed to the running surface 2 and the second frame 20 is movable. Next, the piezoelectric elements 41 and 44 are expanded, and the piezoelectric elements 42 and 43 are compressed. Thus, the second frame 20 can be moved to the upper right in FIG. 8 (FIG. 8A). Next, the second frame 20 is moved to the running surface 2.
And the first frame 10 is movable. Next, the piezoelectric elements 41 and 44 are compressed, and the piezoelectric elements 42 and 44 are compressed.
And 43 are extended (FIG. C). Thereby, the first
The frame 10 can be moved to the upper right in FIG. By repeating the above operation, a skew operation can be performed. The movement to the front left, the back right, and the back left can be performed according to the same principle.

【0019】つぎに、旋回動作について、図9に基づい
て説明する。まず、第2フレーム20を走行面2に固定
し、第1フレーム10を移動可能とする。ついで、圧電
素子41および42を圧縮させ、圧電素子43および4
4を伸張させる。これにより、第1フレーム10を、図
中時計方向に回転させることができる(同図a)。つぎ
に、第1フレーム10を走行面2に固定し、第2フレー
ム20を移動可能とする。ついで、圧電素子41および
42を伸張させ、圧電素子43および44を圧縮させ
る。これにより、第2フレーム20を、図中時計方向に
回転させることができる(同図c)。以上の動作を繰り
返すことで、その場での旋回動作を行うことができる。
反時計回転も、以上と同じ原理で実現できる。
Next, the turning operation will be described with reference to FIG. First, the second frame 20 is fixed to the running surface 2, and the first frame 10 is movable. Next, the piezoelectric elements 41 and 42 are compressed, and the piezoelectric elements 43 and 4 are compressed.
Extend 4 Thereby, the first frame 10 can be rotated clockwise in the figure (a in the figure). Next, the first frame 10 is fixed to the running surface 2 and the second frame 20 is movable. Next, the piezoelectric elements 41 and 42 are expanded, and the piezoelectric elements 43 and 44 are compressed. As a result, the second frame 20 can be rotated clockwise in the drawing (c in the drawing). By repeating the above operation, a turning operation on the spot can be performed.
Counterclockwise rotation can also be realized by the same principle as above.

【0020】本実施形態の移動装置によれば、XYθ方
向で、独立した3自由度を有する移動を行うことができ
る。したがって、「姿勢を一定としたままでの全方向へ
の直線運動」や「移動装置に保持されたツール先端位置
を円の中心に保持したままでの円弧運動」も可能とな
る。すると、例えば、顕微鏡視野内で行われる微細な作
業のための小型自走機械として有用であるという利点も
ある。
According to the moving device of the present embodiment, it is possible to perform a movement having three independent degrees of freedom in the XYθ directions. Therefore, “linear motion in all directions with a constant posture” and “arc motion with the position of the tool tip held by the moving device held at the center of the circle” are also possible. Then, for example, there is an advantage that it is useful as a small-sized self-propelled machine for fine work performed in the microscope field of view.

【0021】また、本実施形態の移動装置では、第1フ
レーム10および第2フレーム20にそれぞれ二つの接
地部位(脚部12、可動脚13、脚部22および23)
を形成している。このため、磁力損失を少なくできる。
すると、走行面2への吸着力を強めることが容易とな
る。例えば、天井面に逆向きで吸着する移動装置を得る
ことも容易となる。
In the moving device of the present embodiment, the first frame 10 and the second frame 20 each have two grounding parts (leg 12, movable leg 13, legs 22 and 23).
Is formed. For this reason, magnetic force loss can be reduced.
Then, it becomes easy to increase the attraction force to the traveling surface 2. For example, it is easy to obtain a moving device that is attracted to the ceiling surface in the opposite direction.

【0022】さらに、本実施形態の移動装置では、移動
手段40を用いているので、圧電素子の精度までの、微
細な位置決めが可能となる。しかも、圧電素子に、オフ
セットのある正弦波交流を加えれば、短い周期での移動
が可能となり、周波数を上げることで移動速度を向上さ
せることも可能である。
Further, in the moving device of this embodiment, since the moving means 40 is used, fine positioning up to the accuracy of the piezoelectric element can be performed. In addition, if a sine wave AC having an offset is applied to the piezoelectric element, the element can be moved in a short cycle, and the moving speed can be improved by increasing the frequency.

【0023】[0023]

【実験例】実際に、コイル31〜34と圧電素子41〜
44とに印可した電圧の波形を図10〜図19に示す。
このようなタイミングおよび周期で通電することで、X
Yθ方向(すなわち平面内の移動)において完全に独立
な3自由度を有する移動ができた。なお、各図における
記載の意味は次の通りである。 第1:第1フレーム10に取り付けられたコイルに与え
られた電圧 第2:第2フレーム20に取り付けられたコイルに与え
られた電圧 41:圧電素子41に与えられた電圧 42:圧電素子42に与えられた電圧 43:圧電素子43に与えられた電圧 44:圧電素子44に与えられた電圧
[Experimental example] Actually, coils 31 to 34 and piezoelectric elements 41 to
The waveform of the voltage applied to the reference numeral 44 is shown in FIGS.
By energizing at such timing and cycle, X
The movement having three independent degrees of freedom in the Yθ direction (that is, movement in the plane) was achieved. The meaning of the description in each figure is as follows. 1st: voltage applied to the coil attached to the first frame 10 second: voltage applied to the coil attached to the second frame 20 41: voltage applied to the piezoelectric element 41 42: voltage applied to the piezoelectric element 42 Applied voltage 43: Voltage applied to piezoelectric element 43 44: Voltage applied to piezoelectric element 44

【0024】なお、前記実施形態および実施例の記載は
単なる一例に過ぎず、本発明に必須の構成を示したもの
ではない。各部の構成は、本発明の趣旨を達成できるも
のであれば、上記に限らない。
The description of the above embodiment and examples is merely an example, and does not show a configuration essential to the present invention. The configuration of each part is not limited to the above as long as the purpose of the present invention can be achieved.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明によれば、XYθ方向での独立な
3自由度を有し、かつ、簡易な構成である移動装置を提
供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide a moving device having three independent degrees of freedom in the XYθ directions and a simple configuration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る移動装置の概略的な
平面図である。
FIG. 1 is a schematic plan view of a moving device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の概略的な正面図である。FIG. 2 is a schematic front view of FIG.

【図3】本発明の一実施形態に係る移動装置に用いる第
1フレームの正面図である。
FIG. 3 is a front view of a first frame used in the moving device according to the embodiment of the present invention.

【図4】図3に示す第1フレームの部品図であり、同図
aは本体部分の正面図、同図bはその側面図、同図cは
可動脚の正面図、同図dはその側面図である。
4A and 4B are component diagrams of a first frame shown in FIG. 3, wherein FIG. 4A is a front view of a main body, FIG. 4B is a side view thereof, FIG. It is a side view.

【図5】本発明の一実施形態に係る移動装置に用いる第
2フレームの部品図であって、同図aは正面図、同図b
は側面図である。
5A and 5B are component diagrams of a second frame used in the moving device according to the embodiment of the present invention, wherein FIG. 5A is a front view and FIG.
Is a side view.

【図6】本発明の一実施形態に係る移動装置に用いる圧
電素子取付用の治具の平面図である。
FIG. 6 is a plan view of a jig for attaching a piezoelectric element used in the moving device according to the embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施形態に係る移動装置の前進動作
を説明する説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating a forward operation of the moving device according to the embodiment of the present invention.

【図8】本発明の一実施形態に係る移動装置の斜行動作
を説明する説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating a skew operation of the moving device according to the embodiment of the present invention.

【図9】本発明の一実施形態に係る移動装置の旋回動作
を説明する説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating a turning operation of the moving device according to the embodiment of the present invention.

【図10】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the embodiment of the present invention, and is a graph showing a time-dependent change of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【図11】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining the example of the present invention, and is a graph showing a change with time of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【図12】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining the example of the present invention, and is a graph showing a change with time of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【図13】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 13 is an explanatory diagram for explaining the example of the present invention, and is a graph showing a change with time of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【図14】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 14 is an explanatory diagram for explaining the example of the present invention, and is a graph showing a time-dependent change of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【図15】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 15 is an explanatory diagram for explaining the example of the present invention, and is a graph showing a change with time of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【図16】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 16 is an explanatory diagram for explaining the example of the present invention, and is a graph showing a time-dependent change of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【図17】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 17 is an explanatory diagram for explaining the example of the present invention, and is a graph showing a time-dependent change of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【図18】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 18 is an explanatory diagram for explaining the example of the present invention, and is a graph showing a change with time of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【図19】本発明の実施例を説明するための説明図であ
って、圧電素子やコイルに印可される電圧の径時変化を
示すグラフである。
FIG. 19 is an explanatory diagram for explaining the example of the present invention, and is a graph showing a time-dependent change of a voltage applied to a piezoelectric element or a coil.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 移動装置 2 走行面 10 第1フレーム 20 第2フレーム 30 固定手段 31〜34 コイル 40 移動手段 41〜44 圧電素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Moving device 2 Running surface 10 1st frame 20 2nd frame 30 Fixing means 31-34 Coil 40 Moving means 41-44 Piezoelectric element

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青山 尚之 東京都多摩市連光寺1−14−35 (72)発明者 渕脇 大海 東京都調布市小島町1−18−9森川マンシ ョン306 (72)発明者 庄司 裕一 東京都板橋区高島平3−11−2−305 Fターム(参考) 2F078 CB14 CC11 3C007 BS30 CS08 CY36 DS02 HS02 HS29 KS37 KV08 LV15 MT11 WA14 WA19 XG01 XG02  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Naoyuki Aoyama 1-14-35 Renkoji, Tama-shi, Tokyo (72) Inventor Hiromi Fuchiwaki 1-18-9 Kojimacho, Chofu-shi, Tokyo Morikawa Mansion 306 (72) Inventor Yuichi Shoji 3-11-2-305 Takashimadaira, Itabashi-ku, Tokyo F-term (reference) 2F078 CB14 CC11 3C007 BS30 CS08 CY36 DS02 HS02 HS29 KS37 KV08 LV15 MT11 WA14 WA19 XG01 XG02

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1フレームと、これに交差して配置さ
れた第2フレームと、前記第1および第2フレームを走
行面に一時的に固定するための固定手段と、前記第1フ
レームと第2フレームとを相対移動させる移動手段とを
備えており、前記第1フレームと前記第2フレームと
は、相対移動可能とされており、前記移動手段は、前記
第1フレームと前記第2フレームとを相対移動させるも
のとなっており、前記固定手段は、前記移動手段によっ
て移動させられる第1フレームまたは第2フレームにつ
いては、走行面への固定を解除する構成となっているこ
とを特徴とする移動装置。
1. A first frame, a second frame intersecting the first frame, fixing means for temporarily fixing the first and second frames to a running surface, and Moving means for relatively moving a second frame, wherein the first frame and the second frame are relatively movable, and the moving means comprises a first frame and a second frame. Are relatively moved, and the fixing means is configured to release the fixation to the running surface for the first frame or the second frame moved by the moving means. Moving device.
【請求項2】 前記固定手段は、電磁石であることを特
徴とする、請求項1記載の移動装置。
2. The moving device according to claim 1, wherein said fixing means is an electromagnet.
【請求項3】 前記移動手段は、前記第1フレームと前
記第2フレームとの隣接部位どうしを離間・接近させる
構成となっていることを特徴とする、請求項1または2
に記載の移動装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein the moving means is configured to separate and approach adjacent portions of the first frame and the second frame.
The moving device according to claim 1.
【請求項4】 前記移動手段は、圧電素子であることを
特徴とする、請求項3記載の移動装置。
4. The moving device according to claim 3, wherein said moving means is a piezoelectric element.
【請求項5】 前記第1フレームまたは第2フレームに
おける、走行面との接地部位のうち、少なくとも一つ
は、折れ曲がり可能とされていることを特徴とする、請
求項1〜4のいずれか1項に記載の移動装置。
5. The vehicle according to claim 1, wherein at least one of the ground contact portions with the running surface in the first frame or the second frame is bendable. The moving device according to the paragraph.
【請求項6】 前記第1フレームおよび第2フレームと
前記走行面との接地部位は、それぞれ2つであることを
特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の移動
装置。
6. The mobile device according to claim 1, wherein each of the first frame and the second frame and the traveling surface has two ground contact portions.
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