JP2002246199A - Insertion-type polarization generator - Google Patents

Insertion-type polarization generator

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JP2002246199A
JP2002246199A JP2001042855A JP2001042855A JP2002246199A JP 2002246199 A JP2002246199 A JP 2002246199A JP 2001042855 A JP2001042855 A JP 2001042855A JP 2001042855 A JP2001042855 A JP 2001042855A JP 2002246199 A JP2002246199 A JP 2002246199A
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JP
Japan
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magnet
row
magnet row
foil
type polarization
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001042855A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Kito
弘 鬼頭
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Hitachi Metals Ltd
Original Assignee
Sumitomo Special Metals Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Special Metals Co Ltd filed Critical Sumitomo Special Metals Co Ltd
Priority to JP2001042855A priority Critical patent/JP2002246199A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an insertion-type polarization generator which solves the problem of thermal demagnetization, caused by a magnet line being heated accompanying the passage of electron beams. SOLUTION: This insertion-type polarization generator is equipped with a first magnet line 2, in which many magnets are arranged in a line; a second magnet line 3 in which many magnets are arranged in a line, installed opposite to the first magnet line 2; a gap space through which electron beams are passed, formed between the first magnet line 2 and the second magnet line 3; and a vacuum tank 1 vacuum sealing the first magnet line 2 and the second magnet line 3. A foil 25 of high thermal conductivity is fit to each facing surface of the first magnet line 2 and the second magnet line 3 for radiating heat generated in the magnet lines 2, 3. The foil 25 is preferably formed in a double-layer structure of copper and nickel.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、対向する磁石列を
真空槽に真空封止してある挿入型偏光発生装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an insertion type polarization generator in which opposing magnet arrays are vacuum-sealed in a vacuum chamber.

【0002】[0002]

【従来の技術】真空中において光速近くまで加速された
電子ビームが磁界中で曲げられると、電子ビームの移動
軌跡の接線方向に放射光を発光し、これをシンクロトロ
ン放射光と呼んでいる。このようなシンクロトロン放射
光を発生させる光源を、電子貯蔵リング(電子ビーム蓄
積リング)の直線部に設置し、高指向性、高強度、高偏
向性などの特性を生かした種々の技術の実用化のための
研究が行われている。今日の電子貯蔵リングには、より
高いビーム電流、より小さなビーム断面積による高輝度
光源である挿入型偏光発生装置(アンジュレータ)が設
けられている。
2. Description of the Related Art When an electron beam accelerated to near the speed of light in a vacuum is bent in a magnetic field, it emits radiated light in the tangential direction of the movement trajectory of the electron beam, which is called synchrotron radiation. A light source that generates such synchrotron radiation light is installed on a straight line portion of an electron storage ring (electron beam storage ring), and various technologies utilizing characteristics such as high directivity, high intensity, and high deflection are put to practical use. Research is being carried out for conversion. Today's electron storage rings are equipped with an insertion type undulator which is a high intensity light source with higher beam current and smaller beam cross section.

【0003】この挿入型偏光発生装置は、多数の磁石が
列状に配置された第1磁石列と、前記第1磁石列に対向
して設けられ、多数の磁石が列状に配置された第2磁石
列と、前記第1磁石列と前記第2磁石列との間に形成さ
れる電子ビームが通過するためのギャップ空間と、前記
第1磁石列と前記第2磁石列とを真空封止する真空槽と
を備えている。真空のギャップ空間を電子ビームが通過
することにより、前述したシンクロトロン放射光を発生
させる。
This insertion type polarization generator has a first magnet row in which a large number of magnets are arranged in a row, and a first magnet row provided in opposition to the first magnet row, and a large number of magnets arranged in a row. Two magnet rows, a gap space for passing an electron beam formed between the first magnet row and the second magnet row, and vacuum sealing the first magnet row and the second magnet row And a vacuum chamber. When the electron beam passes through the vacuum gap space, the synchrotron radiation light described above is generated.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、電子ビ
ームの通過に伴い磁石列が加熱されてしまうという問題
がある。磁石が加熱されて熱がこもってしまうと、熱減
磁により磁気特性が劣化する。磁気特性が劣化すると、
ギャップ空間における磁場の状態も劣化することにな
り、所望のシンクロトロン放射光が得られなくなる可能
性がある。
However, there is a problem that the magnet array is heated as the electron beam passes. When the magnet is heated and heat is stored, the magnetic properties are degraded due to thermal demagnetization. When the magnetic properties deteriorate,
The state of the magnetic field in the gap space also deteriorates, and there is a possibility that desired synchrotron radiation cannot be obtained.

【0005】挿入型偏光発生装置には、ギャップ空間の
みを真空槽で覆い、ギャップ空間を挟んで対向する磁石
列を大気中に配置する構成も知られている。かかる構成
の場合は熱減磁の問題はそれほど発生しない。しかし、
対向配置する磁石列も真空槽に封止した構成の場合は、
ギャップ空間を狭く設定しており、熱減磁の問題を無視
することはできない。
There is also known an insertion type polarization generator in which only a gap space is covered with a vacuum chamber and a magnet row opposed to the gap space is disposed in the atmosphere. In such a configuration, the problem of thermal demagnetization does not occur so much. But,
In the case of a configuration in which the magnet rows facing each other are also sealed in a vacuum chamber,
Since the gap space is set narrow, the problem of thermal demagnetization cannot be ignored.

【0006】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
あり、その課題は、電子ビームの通過に伴い磁石列が加
熱されることによる熱減磁の問題を解決することのでき
る挿入型偏光発生装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to solve the problem of thermal demagnetization caused by heating of a magnet array with the passage of an electron beam. It is to provide a device.

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明に係る挿入型偏光発生装置は、多数の磁石が列状
に配置された第1磁石列と、前記第1磁石列に対向して
設けられ、多数の磁石が列状に配置された第2磁石列
と、前記第1磁石列と前記第2磁石列との間に形成され
る電子ビームが通過するためのギャップ空間と、前記第
1磁石列と前記第2磁石列とを真空封止する真空槽とを
備え、前記第1磁石列と前記第2磁石列の向かい合う表
面のそれぞれに、熱伝導性の良いシート状材料を取り付
け、前記各磁石列に発生する熱を逃がすように構成した
ことを特徴とするものである。この構成によると、第1
磁石列と第2磁石列の向かい合う表面(ギャップ空間に
面する側)のそれぞれに、熱伝導性の良いシート状材料
を取り付けている。電子ビームの通過により、磁石が加
熱されても熱はシート状材料を伝わって逃げていくよう
に構成している。 したがって、磁石内に熱がたまり磁
気特性が劣化してしまうということがない。その結果、
電子ビームの通過に伴い磁石列が加熱されることによる
熱減磁の問題を解決することのできる挿入型偏光発生装
置を提供することができる。
According to the present invention, there is provided an insertion type polarized light generator comprising: a first magnet row in which a number of magnets are arranged in a row; and a first magnet row opposed to the first magnet row. A second magnet row in which a number of magnets are arranged in a row, a gap space for passing an electron beam formed between the first magnet row and the second magnet row, A vacuum chamber for vacuum-sealing the first magnet row and the second magnet row, and a sheet material having good thermal conductivity is attached to each of the opposing surfaces of the first magnet row and the second magnet row. , Wherein the heat generated in each of the magnet rows is released. According to this configuration, the first
A sheet material having good thermal conductivity is attached to each of the opposing surfaces (the side facing the gap space) of the magnet row and the second magnet row. Even when the magnet is heated by the passage of the electron beam, the heat is transmitted through the sheet material and escapes. Therefore, the heat does not accumulate in the magnet and the magnetic characteristics do not deteriorate. as a result,
It is possible to provide an insertion-type polarization generator that can solve the problem of thermal demagnetization due to heating of a magnet row as an electron beam passes.

【0007】本発明の好適な実施形態として、前記シー
ト状材料は銅により形成されているものがあげられる。
銅は熱伝導率の良い材料であり、磁石にたまった熱を効
率良く逃がすことができる。
In a preferred embodiment of the present invention, the sheet material is formed of copper.
Copper is a material having good thermal conductivity, and can efficiently release the heat accumulated in the magnet.

【0008】本発明の別の好適な実施形態として、 前
記シート状材料は、銅とニッケルの二層構造に形成され
ているものがあげられる。シート状材料は磁石列の表面
に密着していることが好ましい。ギャップの間隔を狭く
設定した場合に、シート状材料が磁石列の表面から浮き
上がった状態になると、電子ビームがシート状材料に衝
突してしまうことがあり好ましくない。そこで、シート
状材料を銅とニッケルの二層構造とすると、ニッケルは
磁性体であるため磁石列の表面に密着させた状態で取り
付けることができる。これにより、シート状材料の磁石
表面からの浮き上がりを防止することができる。
In another preferred embodiment of the present invention, the sheet material is formed in a two-layer structure of copper and nickel. The sheet material is preferably in close contact with the surface of the magnet row. If the gap between the gaps is set to be small and the sheet-like material floats from the surface of the magnet row, the electron beam may collide with the sheet-like material, which is not preferable. Therefore, when the sheet material has a two-layer structure of copper and nickel, nickel can be attached in a state of being in close contact with the surface of the magnet row because nickel is a magnetic material. Thereby, it is possible to prevent the sheet-like material from rising from the magnet surface.

【0009】本発明の更に別の好適な実施形態として、
前記シート状材料を取り付ける際の張力を調整する調
整機構を設けているものがあげられる。既に述べたよう
に、シート状材料は磁石列の表面に密着している必要が
ある。そこで、シート状材料を取り付ける際の張力を調
整する調整機構を設けることにより、適切な張力でぴん
と張った状態で取り付けることができる。
[0009] In still another preferred embodiment of the present invention,
An example is provided in which an adjusting mechanism for adjusting the tension when attaching the sheet material is provided. As described above, the sheet-like material needs to be in close contact with the surface of the magnet row. Therefore, by providing an adjusting mechanism for adjusting the tension at the time of attaching the sheet-like material, it is possible to attach the sheet-like material in a state where it is taut with an appropriate tension.

【0010】本発明の更に別の好適な実施形態として、
前記シート状材料の長手方向端部を固定する固定部材
を設け、前記固定部材を前記長手方向に沿って移動させ
ることにより張力を調整するように構成したものがあげ
られる。シート状材料を引っ張る場合にも、シート状材
料全体を均一に引っ張ることができるような構成が好ま
しい。そこで、シート状材料の長手方向端部を固定部材
により固定し、この固定部材を長手方向に沿って移動さ
せることにより、シート状材料の幅方向の全域にわたっ
て均一に引っ張ることができる。これにより、シート状
材料全体にわたり適切な張力をかけることができる。
[0010] In still another preferred embodiment of the present invention,
A fixing member for fixing a longitudinal end of the sheet material is provided, and the tension is adjusted by moving the fixing member along the longitudinal direction. Even when the sheet-like material is pulled, it is preferable that the sheet-like material can be uniformly pulled. Thus, by fixing the longitudinal end portion of the sheet material by a fixing member and moving the fixing member along the longitudinal direction, the sheet material can be pulled uniformly over the entire region in the width direction. Thereby, appropriate tension can be applied to the entire sheet material.

【0011】本発明の更に別の好適な実施形態として、
前記磁石は、Nd−Fe−B系希土類磁石であるもの
があげられる。
[0011] In still another preferred embodiment of the present invention,
The magnet may be an Nd-Fe-B-based rare earth magnet.

【0012】Nd−Fe−B系希土類磁石は磁気特性は
優れており、シンクロトロン放射光を得るための磁気回
路には好適である。しかし、熱に弱いという側面があ
る。よって上記の磁石を用いる場合には、本発明に係る
構成は特に好適であるということができる。
Nd-Fe-B rare earth magnets have excellent magnetic properties and are suitable for a magnetic circuit for obtaining synchrotron radiation. However, there is an aspect that it is weak to heat. Therefore, when the above-mentioned magnet is used, it can be said that the configuration according to the present invention is particularly suitable.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】<アンジュレータの構成>本発明
に係る真空封止型アンジュレータ(挿入型偏光発生装
置)の好適な実施形態を図面を用いて説明する。 図1
は、アンジュレータの断面図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS <Structure of undulator> A preferred embodiment of a vacuum-sealed undulator (insertion type polarization generator) according to the present invention will be described with reference to the drawings. Figure 1
FIG. 3 is a cross-sectional view of the undulator.

【0014】真空槽1の内部に第1磁石列2と第2磁石
列3とがギャップ空間Gを挟んで向かい合っている。ギ
ャップ空間Gは、電子ビームBが通過する通路であり、
紙面に垂直な方向に電子ビームBは進行する。また、第
1・第2磁石列2,3も多数の磁石が紙面の垂直方向に
沿って並べて配置されている。 第1・第2磁石列2,
3は、共に真空槽1の内部に封止されている。 真空槽
1には、不図示の真空ポンプが接続されている。各磁石
列2,3は、磁石列支持体4により取り付け支持されて
おり、この磁石列支持体4は昇降シャフト5等を介して
Iビーム7に取り付け支持される。このIビーム7は、
不図示の昇降機構により上下駆動できるように構成され
ており、これにより第1・第2磁石列2,3を上下動さ
せることができる。つまり、ギャップ空間Gのギャップ
間隔を調整できるようにしている。 第1磁石列2を支
持・駆動する機構と第2磁石列3を支持・駆動する機構
は同じである。
A first magnet row 2 and a second magnet row 3 face each other inside a vacuum chamber 1 with a gap space G interposed therebetween. The gap space G is a passage through which the electron beam B passes,
The electron beam B travels in a direction perpendicular to the paper. The first and second magnet rows 2 and 3 also have a large number of magnets arranged side by side along the direction perpendicular to the plane of the drawing. First and second magnet rows 2,
3 are both sealed inside the vacuum chamber 1. A vacuum pump (not shown) is connected to the vacuum chamber 1. Each magnet row 2, 3 is mounted and supported by a magnet row support 4, and this magnet row support 4 is mounted and supported on an I-beam 7 via a lifting shaft 5 or the like. This I-beam 7
The first and second magnet rows 2 and 3 can be moved up and down by a vertically moving mechanism (not shown). That is, the gap interval of the gap space G can be adjusted. The mechanism for supporting and driving the first magnet row 2 and the mechanism for supporting and driving the second magnet row 3 are the same.

【0015】<磁石ユニットの構成>図2は、各磁石列
2,3の構成単位である磁石ユニット20の構成を示す
図である。この磁石ユニット20は、永久磁石21と、
永久磁石21を保持するホルダー22と、永久磁石押え
部材23と、フォイル押さえ部材24とから構成され
る。 ホルダー22には凹部22aが形成され、この凹
部22aに永久磁石21を載置し、永久磁石押え部材2
3の押え爪23aにより永久磁石21をホルダーに固定
する。永久磁石押え部材23は、ホルダー22の裏面側
からボルト(不図示)で引き付けることによりホルダー
22に対して固定することができる。
<Structure of Magnet Unit> FIG. 2 is a view showing the structure of a magnet unit 20 which is a structural unit of each of the magnet rows 2 and 3. This magnet unit 20 includes a permanent magnet 21 and
It comprises a holder 22 for holding a permanent magnet 21, a permanent magnet holding member 23, and a foil holding member 24. A concave portion 22a is formed in the holder 22, and the permanent magnet 21 is placed in the concave portion 22a.
The permanent magnet 21 is fixed to the holder by the third holding claw 23a. The permanent magnet holding member 23 can be fixed to the holder 22 by pulling it from the back side of the holder 22 with a bolt (not shown).

【0016】永久磁石は、Nd−Fe−B系の希土類磁
石が好ましくは用いられる。例えば、米国特許4,77
0,723号、同4,792,368号に開示される希
土類磁石を用いることができる。ホルダー22は、好ま
しくは無酸素銅により形成される。永久磁石21の表面
には、フォイル25が張り付けられ、フォイル25の幅
方向両側を押えるフォイル押え部材24が設けられてい
るが、 この点は後述する。 <磁石列の取り付け支持構造>次に磁石列の取り付け支
持構造について説明する。 図3は、第2磁石列3(第
1磁石列2についても同様なので、以下単に「磁石列」
という。)を上方から見た斜視図である。図4は、磁石
列を支持する磁石列支持体4を裏面側(ギャップ空間に
面しない反対側の面)から見た斜視図である。 図5
は、磁石列取り付け構造を電子ビームの進行方向から見
た正面図である。図6は、 磁石列取り付け構造の側面
図である。
As the permanent magnet, an Nd-Fe-B rare earth magnet is preferably used. For example, US Pat.
Rare earth magnets disclosed in U.S. Pat. Nos. 0,723 and 4,792,368 can be used. The holder 22 is preferably made of oxygen-free copper. A foil 25 is attached to the surface of the permanent magnet 21 and a foil holding member 24 for holding both sides in the width direction of the foil 25 is provided. This will be described later. <Mounting Support Structure for Magnet Row> Next, the mounting support structure for the magnet row will be described. FIG. 3 shows the second magnet row 3 (the same applies to the first magnet row 2, so hereinafter simply referred to as “magnet row”).
That. FIG. 2 is a perspective view of FIG. FIG. 4 is a perspective view of the magnet row support 4 that supports the magnet rows, as viewed from the back side (the opposite side that does not face the gap space). FIG.
FIG. 3 is a front view of the magnet row mounting structure as viewed from the traveling direction of the electron beam. FIG. 6 is a side view of the magnet row mounting structure.

【0017】図3等に示されるように、電子ビームの進
行方向に沿って磁石列3を形成するために、図2に示さ
れる磁石ユニット20を多数個電子ビームの進行方向に
並べて配置する。 磁石ユニット20は、断面形状が横
H型の磁石取り付けビーム40に固定される。 各磁石
ユニット20は、2本のボルト41により取付面40a
に引き付けられるようにして固定される。 この磁石取
り付けビーム40は、磁石列支持体4を構成するもので
あるが、図示される構造に限定されるものではない。例
えば、複数の部材を組み合わせて磁石列支持体4を構成
してもよい。なお、磁石列3を構成するための各磁石の
磁化方向については、公知の構成を採用すればよく、例
えば、 本出願人による特開2000−206296号
公報に開示される主磁石列の磁化方向と同じでよい。
As shown in FIG. 3 and the like, in order to form the magnet rows 3 along the traveling direction of the electron beam, a large number of magnet units 20 shown in FIG. 2 are arranged in the traveling direction of the electron beam. The magnet unit 20 is fixed to a magnet mounting beam 40 having a horizontal H-shaped cross section. Each magnet unit 20 is attached to a mounting surface 40 a by two bolts 41.
It is fixed to be attracted to. The magnet mounting beam 40 constitutes the magnet row support 4, but is not limited to the illustrated structure. For example, the magnet array support 4 may be configured by combining a plurality of members. In addition, what is necessary is just to employ | adopt a well-known structure about the magnetization direction of each magnet which comprises the magnet row 3, For example, the magnetization direction of the main magnet row disclosed in Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-206296 by the present applicant. May be the same as

【0018】また、磁石列3の表面(ギャップ空間に面
する表面)には、フォイル25(シート状材料に相当す
る。 )が張り付けられる。ただし、フォイル25を張
り付けるに当たり接着剤は用いない。このフォイル25
は、電子ビームがギャップ空間を通過することにより磁
石内にたまる熱を逃がすためのものである。フォイル2
5は、熱伝導性のよい材料で形成され、ベースを銅で、
その上にニッケルめっきを施した二層構造で構成され
る。 なお、ニッケルめっきではなくニッケルクラッド
でもよい。銅は熱伝導率の良い材料であり、これにより
熱を早く逃がすことができる。もちろん、銅以外の熱伝
導率の良い材料(例えば、熱伝導率が1W/cm・de
g以上の材料)を選択しても良い。 また、ニッケル層
を設けることにより、磁石列3の表面との密着性を良く
することができる。つまり、二層構造のうち、ニッケル
層は磁石列3の表面側に、銅層はギャップ空間側になる
ように、フォイル25が張り付けられる。
A foil 25 (corresponding to a sheet-like material) is attached to the surface of the magnet row 3 (the surface facing the gap space). However, no adhesive is used to attach the foil 25. This foil 25
Is for releasing the heat accumulated in the magnet as the electron beam passes through the gap space. Foil 2
5 is formed of a material having good thermal conductivity, the base is copper,
It has a two-layer structure with nickel plating on it. Note that nickel cladding may be used instead of nickel plating. Copper is a material with good thermal conductivity, which allows heat to escape quickly. Of course, a material having good thermal conductivity other than copper (for example, having a thermal conductivity of 1 W / cm · de)
g or more). Further, by providing the nickel layer, the adhesion to the surface of the magnet row 3 can be improved. That is, in the two-layer structure, the foil 25 is attached so that the nickel layer is on the surface side of the magnet row 3 and the copper layer is on the gap space side.

【0019】永久磁石を形成するのに好ましい材料とし
て、Nd−Fe−B系希土類磁石をあげたが、この磁石
は他の種類の磁石に比べて磁気特性が優れているという
利点がある。しかし、他の磁石に比較して熱に弱いとい
う欠点がある。そこで、フォイル25により放熱させる
ことにより磁気特性を維持することができる。
As a preferable material for forming a permanent magnet, an Nd-Fe-B-based rare earth magnet has been described. However, this magnet has an advantage that its magnetic properties are superior to other types of magnets. However, it has a disadvantage that it is weak to heat as compared with other magnets. Therefore, the magnetic characteristics can be maintained by dissipating heat by the foil 25.

【0020】フォイル25の厚みは50μm〜100μ
mであることが好ましい。厚みが50μm以下では張力
をかけたときに切れてしまう可能性がある。また、10
0μmを超えると磁石内の熱を素早く放熱することがで
きないからである。
The thickness of the foil 25 is 50 μm to 100 μm.
m is preferable. If the thickness is 50 μm or less, the film may be cut when tension is applied. Also, 10
If the thickness exceeds 0 μm, heat in the magnet cannot be quickly radiated.

【0021】フォイル25は、電子ビームの進行方向に
沿って延びる長手状に形成され、その一端は固定され、
他端は調整機構10により調整可能に構成されている
(図4参照)。この調整機構10は、フォイル25を張
り付けるときの張力が適切になるように調整するために
設けられる。 図3,4に示すように、フォイル25
は、磁石列3の端部における磁石ユニット20の個所で
90゜折り曲げられて、磁石取り付けビーム40の側端
面40bに密着しながら、さらに磁石取り付けビーム4
0の裏面側に向けて再び90゜折り曲げられている。フ
ォイル25の端部は第1固定部材11と第2固定部材1
2により固定されている。 すなわち、フォイル25の
端部は、第1固定部材11と第2固定部材12に挟持さ
れており、第2固定部材12をボルト13により第1固
定部材11に対して螺合することで固定される。固定部
材11,12は、図4の矢印A方向に沿って(フォイル
25の長手方向に沿って)移動可能に構成されている。
これに関する機構を説明する。 磁石取り付けビーム4
0の裏面には調整台14が2本のボルト15により固定
して取り付けられている。 固定部材11,12は、調
整台14に設けられた2本の調整ネジ16を回転させる
ことにより、矢印A方向に沿って移動できる。第1固定
部材11の両端部には上記移動方向に沿った長孔17が
形成されており、この長孔17に嵌合するガイドピン1
8が設けられている。これにより、固定部材11,12
をスムーズに移動させることができる。
The foil 25 is formed in a longitudinal shape extending in the traveling direction of the electron beam, one end of which is fixed,
The other end is configured to be adjustable by the adjustment mechanism 10 (see FIG. 4). The adjusting mechanism 10 is provided for adjusting the tension at the time of attaching the foil 25 to be appropriate. As shown in FIGS.
Is bent at 90 ° at the end of the magnet array 3 at the position of the magnet unit 20, and closely adheres to the side end surface 40 b of the magnet attachment beam 40, and further, the magnet attachment beam 4.
It is bent again by 90 ° toward the back side of 0. The ends of the foil 25 are the first fixing member 11 and the second fixing member 1.
2 fixed. That is, the end of the foil 25 is sandwiched between the first fixing member 11 and the second fixing member 12, and is fixed by screwing the second fixing member 12 to the first fixing member 11 with the bolt 13. You. The fixing members 11 and 12 are configured to be movable in the direction of arrow A in FIG. 4 (along the longitudinal direction of the foil 25).
The mechanism for this will be described. Magnet mounting beam 4
An adjustment table 14 is fixedly attached to the back surface of the unit 0 with two bolts 15. The fixing members 11 and 12 can be moved in the direction of arrow A by rotating two adjustment screws 16 provided on the adjustment table 14. Elongated holes 17 are formed at both ends of the first fixing member 11 along the moving direction.
8 are provided. Thereby, the fixing members 11 and 12
Can be moved smoothly.

【0022】以上のような調整機構10を設けることに
より、フォイル25を適切な張力で磁石表面に張り付け
ることができる。フォイル25と磁石表面との密着性を
良くする理由は、フォイル25が磁石表面から浮き上が
った状態になっていると、電子ビームと衝突する可能性
があり不具合が発生するからである。 また、フォイル
25を引っ張るに当たり、固定部材11,12を介して
引っ張るようにしているので、フォイル25の幅方向全
域にわたり均一な張力でフォイル25を引っ張ることが
できる。フォイル25を磁石表面に密着させることで、
ギャップ間隔を狭くすること(例えば、数mm程度)が
可能である。
By providing the adjusting mechanism 10 as described above, the foil 25 can be attached to the magnet surface with an appropriate tension. The reason why the adhesion between the foil 25 and the magnet surface is improved is that if the foil 25 is lifted off the magnet surface, the foil 25 may collide with the electron beam and cause a problem. Further, when the foil 25 is pulled, the foil 25 is pulled via the fixing members 11 and 12, so that the foil 25 can be pulled with a uniform tension over the entire area in the width direction of the foil 25. By bringing the foil 25 into close contact with the magnet surface,
It is possible to reduce the gap interval (for example, about several mm).

【0023】また図3に示すように、フォイル25の幅
方向の両端部は、フォイル押え部材24により押えられ
ている。 このフォイル押え部材24も磁石ユニット2
0の裏面側からボルト(不図示)により引き付けられる
ようにして磁石ユニット20に固定される。これによ
り、フォイル25の幅方向両端部の浮き上がりを防止す
ることができる。フォイル押え部材24を設ける個数
は、図3に示すように磁石ユニット20の数個ごとで足
りる。図5に示すように、温水を流すためのパイプ42
が設けられており、このパイプ42は押え部材43とボ
ルト44により、磁石取り付けビーム40に対して取り
付けられている。フォイル25の一方の端部は図4に示
されるような調整機構10により調整可能であるが、図
示されない他方の端部については調整機構を設ける必要
がなく、固定しておいて良い。 固定の仕方について
は、図4に示すような固定部材を設ける方法で固定する
ことができる。
As shown in FIG. 3, both ends in the width direction of the foil 25 are pressed by a foil pressing member 24. This foil holding member 24 is also a magnet unit 2
0 is fixed to the magnet unit 20 so as to be attracted by bolts (not shown) from the back surface side. This makes it possible to prevent the foil 25 from rising at both ends in the width direction. As shown in FIG. 3, the number of the provided foil holding members 24 is sufficient for every few magnet units 20. As shown in FIG. 5, a pipe 42 for flowing hot water
The pipe 42 is attached to the magnet attachment beam 40 by a holding member 43 and a bolt 44. One end of the foil 25 can be adjusted by the adjusting mechanism 10 as shown in FIG. 4, but the other end (not shown) need not be provided with an adjusting mechanism and may be fixed. As for the way of fixing, it can be fixed by a method of providing a fixing member as shown in FIG.

【0024】<組み立て手順>まず、磁石取り付けビー
ム40に磁石ユニット20を順番に取り付けていく。次
に、フォイル25の一端を固定する。フォイル25を磁
石列3の表面に沿わせて張り付けていく。なお、この張
り付け工程において、フォイル25を磁石表面に押し付
ける保持治具を用いることが好ましい。この保持治具を
用いることにより、フォイル25の浮き上がりが生じな
いように、端から順に張り付けていくことができる。こ
の張り付け工程において、適宜、フォイル25の両側を
フォイル押え部材24により押えていく。さらに、フォ
イル25のもう一方の端は調整機構10により、張力を
調整されながら張り付けられていく。電子ビームの通過
する全領域についてフォイル押え部材24による押えが
完了することにより張り付け工程が完了する。また本発
明により、図3、図4の通り側端面40bは薄いフォイ
ルのみがあるだけなので、本発明によって作製されたア
ンジュレータを列状につなぎ合わせることができる。例
えば、5mの長さのアンジュレータを列状につなぎ、2
0m以上の長いアンジュレータを作製することができ
る。
<Assembly Procedure> First, the magnet units 20 are sequentially mounted on the magnet mounting beam 40. Next, one end of the foil 25 is fixed. The foil 25 is attached along the surface of the magnet row 3. In this attaching step, it is preferable to use a holding jig for pressing the foil 25 against the magnet surface. By using this holding jig, the foil 25 can be attached in order from the end so that the foil 25 does not rise. In this attaching step, both sides of the foil 25 are appropriately pressed by the foil pressing member 24. Further, the other end of the foil 25 is attached by the adjusting mechanism 10 while adjusting the tension. When the pressing by the foil pressing member 24 is completed for the entire area through which the electron beam passes, the attaching step is completed. According to the present invention, as shown in FIGS. 3 and 4, the side end face 40b has only a thin foil, so that the undulators manufactured according to the present invention can be joined in a row. For example, undulators having a length of 5 m are connected in a row, and 2
A long undulator of 0 m or more can be manufactured.

【0025】いくつかの磁石列を組み合わせる場合に、
図3に示すようにフォイル25を張り付けることによ
り、磁石列同士を隙間なく並べることができる。つま
り、フォイル25を側端面40bに密着させて裏面に回
しているので、磁石列同士を密着して並べることができ
る。
When combining several magnet rows,
By adhering the foil 25 as shown in FIG. 3, the magnet rows can be arranged without gaps. That is, since the foil 25 is brought into close contact with the side end surface 40b and is turned to the back surface, the magnet rows can be closely arranged.

【0026】<別実施形態>磁石ユニット、磁石ユニッ
トの支持機構については本実施形態の構成に限定される
ものではない。シート状材料の形状についても本実施形
態のものに限定されるものではない。
<Another Embodiment> The magnet unit and the support mechanism of the magnet unit are not limited to the configuration of the present embodiment. The shape of the sheet material is not limited to that of the present embodiment.

【0027】本実施形態では、シート状材料の片方の端
部にのみ調整機構を設けているが、シート状材料の両方
の端部に調整機構を設けても良い。
In the present embodiment, the adjusting mechanism is provided only at one end of the sheet material, but the adjusting mechanism may be provided at both ends of the sheet material.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】アンジュレータの構成を示す断面図FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of an undulator.

【図2】磁石ユニットの構成を示す図FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a magnet unit.

【図3】磁石列を上方から見た斜視図FIG. 3 is a perspective view of the magnet array viewed from above.

【図4】磁石列支持体を裏面側から見た斜視図FIG. 4 is a perspective view of the magnet row support as viewed from the back side.

【図5】磁石列取り付け構造を電子ビームの進行方向か
ら見た正面図
FIG. 5 is a front view of the magnet row mounting structure viewed from a traveling direction of an electron beam.

【図6】磁石列取り付け構造の側面図FIG. 6 is a side view of the magnet row mounting structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 真空槽 2 第1磁石列 3 第2磁石列 4 磁石列支持体 10 調整機構 11 第1固定部材 12 第2固定部材 20 磁石ユニット 21 永久磁石 40 磁石取り付けビーム G ギャップ空間 B 電子ビーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum tank 2 1st magnet row 3 2nd magnet row 4 Magnet row support 10 Adjustment mechanism 11 1st fixing member 12 2nd fixing member 20 Magnet unit 21 Permanent magnet 40 Magnet mounting beam G Gap space B Electron beam

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多数の磁石が列状に配置された第1磁石
列と、 前記第1磁石列に対向して設けられ、多数の磁石が列状
に配置された第2磁石列と、 前記第1磁石列と前記第2磁石列との間に形成される電
子ビームが通過するためのギャップ空間と、 前記第1磁石列と前記第2磁石列とを真空封止する真空
槽とを備え、 前記第1磁石列と前記第2磁石列の向かい合う表面のそ
れぞれに、熱伝導性の良いシート状材料を取り付け、前
記各磁石列に発生する熱を逃がすように構成したことを
特徴とする挿入型偏光発生装置。
A first magnet row in which a number of magnets are arranged in a row; a second magnet row provided in opposition to the first magnet row and in which a number of magnets are arranged in a row; A gap space through which an electron beam formed between the first magnet row and the second magnet row passes, and a vacuum chamber for vacuum-sealing the first magnet row and the second magnet row. An insert characterized in that a sheet-like material having good thermal conductivity is attached to each of the opposing surfaces of the first magnet row and the second magnet row, and heat generated in each magnet row is released. Type polarization generator.
【請求項2】 前記シート状材料は銅により形成されて
いることを特徴とする請求項1に記載の挿入型偏光発生
装置。
2. The insertion type polarization generator according to claim 1, wherein the sheet-like material is formed of copper.
【請求項3】 前記シート状材料は、銅とニッケルの二
層構造に形成されていることを特徴とする請求項1又は
2に記載の挿入型偏光発生装置。
3. The insertion type polarization generator according to claim 1, wherein the sheet-like material has a two-layer structure of copper and nickel.
【請求項4】 前記シート状材料を取り付ける際の張力
を調整する調整機構を設けていることを特徴とする請求
項1〜3のいずれか1項に記載の挿入型偏光発生装置。
4. The insertion type polarization generator according to claim 1, further comprising an adjusting mechanism for adjusting a tension when attaching the sheet material.
【請求項5】 前記シート状材料の長手方向端部を固定
する固定部材を設け、前記固定部材を前記長手方向に沿
って移動させることにより張力を調整するように構成し
たことを特徴とする請求項4に記載の挿入型偏光発生装
置。
5. A fixing member for fixing a longitudinal end portion of the sheet-shaped material, wherein tension is adjusted by moving the fixing member along the longitudinal direction. Item 5. An insertion type polarization generator according to Item 4.
【請求項6】 前記磁石は、Nd−Fe−B系希土類磁
石であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項
に記載の挿入型偏光発生装置。
6. The insertion type polarization generator according to claim 1, wherein the magnet is an Nd—Fe—B-based rare earth magnet.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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