JP2002235102A - Multi-functional sintering furnace - Google Patents

Multi-functional sintering furnace

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JP2002235102A
JP2002235102A JP2001027976A JP2001027976A JP2002235102A JP 2002235102 A JP2002235102 A JP 2002235102A JP 2001027976 A JP2001027976 A JP 2001027976A JP 2001027976 A JP2001027976 A JP 2001027976A JP 2002235102 A JP2002235102 A JP 2002235102A
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JP
Japan
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sintering
furnace
heater
furnace body
reflector
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Application number
JP2001027976A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsuru Suzuki
満 鈴木
Mitsuaki Kato
光昭 加藤
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Japan Atomic Energy Agency
Original Assignee
Japan Nuclear Cycle Development Institute
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multi-functional sintering furnace performing three treatments of preliminary sintering, permanent sintering and degassing by one furnace by preventing degradation of the furnace performance caused by adhesion of decomposition products generated from a material to be sintered during the preliminary sintering (degreasing) to a heater, or the like. SOLUTION: A straightening plate 11 is disposed between a heater 2 disposed along an inner wall of a furnace body inside the furnace body 1 of the sintering furnace and the material 5 to be sintered placed inside the heater, so as to surround the periphery of the material to be sintered with a space from the heater and the material to be sintered. Carrier gas and cover gas fed inside the furnace body can be straightened so as to flow downwardly inside and upwardly outside the straightening plate to prevent adhesion of the decomposition product generated from the material to be sintered to the heater.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は焼結炉に関し、さら
に詳しくは、被焼結物の予備焼結、本焼結および脱ガス
の各処理を単一の炉で行うことができる多機能焼結炉に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sintering furnace, and more particularly, to a multifunctional sintering furnace capable of performing pre-sintering, main sintering, and degassing of an object to be sintered in a single furnace. It is related to kilns.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、原子炉で用いられるMOX(ウ
ラン・プルトニウム混合酸化物)燃料を製造するに際し
ては、混合酸化物原料粉末に潤滑剤や粘結剤などの各種
添加剤を添加・混合し、この混合物をペレットに成形し
た後、焼結する工程が必要となる。焼結工程は、予備焼
結(脱脂)、本焼結および脱ガスの3工程からなり、本
焼結処理と脱ガス処理を行うための焼結炉として、例え
ば図2に示すような焼結炉が従来から用いられている。
2. Description of the Related Art For example, in producing MOX (uranium-plutonium mixed oxide) fuel used in a nuclear reactor, various additives such as a lubricant and a binder are added and mixed to a mixed oxide raw material powder. After the mixture is formed into pellets, a step of sintering is required. The sintering step includes three steps of preliminary sintering (degreasing), main sintering, and degassing. The sintering furnace for performing the main sintering and degassing is, for example, a sintering furnace as shown in FIG. Furnaces are conventionally used.

【0003】この焼結炉は、炉体1内部に炉体内壁に沿
ってヒータ2が配設され、ヒータ内側には被焼結物載置
台3が配設されている。また、ヒータ2からの熱が炉体
1外部へ輻射しないように輻射熱を断熱するためのリフ
レクタ4が、ヒータ2と炉体1内壁との間に配設されて
おり、さらに炉体上部や下部にも同様な目的で上部リフ
レクタ4aおよび下部リフレクタ4bがそれぞれ配設さ
れている。ヒータ2に給電するためのヒータ電極6がリ
フレクタ4および炉体1を貫通して炉体外部に伸びてお
り、図示しない電源と電気的に接続されている。予備焼
結して予め脱脂処理した被焼結物5を載置台3に載置
し、ヒータ電極6に給電することにより約1700℃で
被焼結物を焼結することができる。
In this sintering furnace, a heater 2 is provided inside a furnace body 1 along the inner wall of the furnace, and a mounting table 3 is provided inside the heater. Further, a reflector 4 for insulating the radiant heat so that the heat from the heater 2 does not radiate to the outside of the furnace body 1 is provided between the heater 2 and the inner wall of the furnace body 1. An upper reflector 4a and a lower reflector 4b are provided for the same purpose. A heater electrode 6 for supplying power to the heater 2 extends outside the furnace body through the reflector 4 and the furnace body 1 and is electrically connected to a power source (not shown). The pre-sintered pre-degreased sintering object 5 is placed on the mounting table 3, and power is supplied to the heater electrode 6 so that the sintering object can be sintered at about 1700 ° C.

【0004】炉体1底部に開口するキャリアガス供給口
7からは、本焼結処理時に炉内を還元雰囲気とするため
に、窒素ガス+水素ガスあるいはアルゴン+水素ガスか
らなる混合ガスがキャリアガスとして供給され、供給さ
れたキャリアガスは炉体頂部に開口する排気口8から排
出される。また、ヒータ電極6近傍のリフレクタ4に開
口するカバーガス供給口9からは、キャリアガスと同様
なガスが供給される。被焼結物中に添加、混合された添
加物の大部分は予備焼結処理により分解除去されるが、
残留する微量の添加物が本焼結処理時に分解され、分解
生成物ガスが発生するため、ヒータ電極6周囲をカバー
ガスで覆うことにより、分解生成物ガスからヒータ電極
6を保護することができる。このカバーガスはキャリア
ガスと共に排気口8から排出される。
[0004] From a carrier gas supply port 7 opened at the bottom of the furnace 1, a mixed gas of nitrogen gas + hydrogen gas or argon + hydrogen gas is supplied to make the inside of the furnace a reducing atmosphere during the main sintering process. The supplied carrier gas is exhausted from an exhaust port 8 opened at the top of the furnace body. In addition, a gas similar to the carrier gas is supplied from a cover gas supply port 9 opened to the reflector 4 near the heater electrode 6. Most of the additives added and mixed in the sintering material are decomposed and removed by the pre-sintering process.
Since the remaining trace amount of the additive is decomposed during the main sintering process and a decomposition product gas is generated, the heater electrode 6 can be protected from the decomposition product gas by covering the heater electrode 6 with a cover gas. . The cover gas is exhausted from the exhaust port 8 together with the carrier gas.

【0005】図2の焼結炉には、脱ガス処理時に炉体内
部を真空雰囲気とするための吸引口10がさらに配設さ
れている。すなわち本焼結処理を完了した被焼結物を脱
ガス処理するに際しては、キャリアガス供給口7に接続
された配管のバルブ7v、排気口8に接続された配管の
バルブ8vおよびカバーガス供給口9に接続された配管
のバルブ9vをすべて閉とし、吸引口10に接続された
配管のバルブ10vを開として図示しない真空ポンプで
吸引することにより、炉内を真空雰囲気として被焼結物
の脱ガス処理を行うことができる。
[0005] The sintering furnace shown in FIG. 2 is further provided with a suction port 10 for bringing the inside of the furnace body into a vacuum atmosphere during the degassing process. That is, when the sintering object after the main sintering process is degassed, the valve 7v of the pipe connected to the carrier gas supply port 7, the valve 8v of the pipe connected to the exhaust port 8, and the cover gas supply port The pipe 9 connected to the pipe 9 is closed, the valve 10 v connected to the suction port 10 is opened, and a vacuum pump (not shown) is used to suction the furnace. Gas treatment can be performed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】図2の焼結炉は、炉内
を還元雰囲気として本焼結処理を施した後、真空雰囲気
に変えることにより、本焼結処理だけでなく脱ガス処理
にも使用することができるが、本焼結処理の前に行う予
備焼結処理に使用する場合には、以下のような問題があ
る。
The sintering furnace shown in FIG. 2 performs the main sintering process in a reducing atmosphere in the furnace and then changes to a vacuum atmosphere to perform not only the main sintering process but also the degassing process. However, when it is used in a preliminary sintering process performed before the main sintering process, there are the following problems.

【0007】すなわち、予備焼結処理は、本焼結処理に
先立って被焼結物中の添加物を分解し、分解生成物ガス
として被焼結物から除去すること(脱脂)が目的である
ため、処理中に多量の分解生成物ガスが発生する。かよ
うな分解生成物ガスは、ヒータやその他の炉構成部材に
付着して、ヒータの絶縁抵抗の低下や脱ガス処理時の真
空度の未達等が生じて焼結炉の性能に支障をきたすこと
になるため、予備焼結処理と本焼結処理および脱ガス処
理とを同一の炉で行うことは困難であった。
That is, the purpose of the preliminary sintering process is to decompose the additives in the object to be sintered and remove it as a decomposition product gas from the object to be sintered (degreasing) prior to the main sintering process. Therefore, a large amount of decomposition product gas is generated during processing. Such decomposition product gas adheres to the heater and other furnace components, and lowers the insulation resistance of the heater and does not reach the degree of vacuum at the time of degassing, thereby affecting the performance of the sintering furnace. Therefore, it was difficult to perform the preliminary sintering, the main sintering, and the degassing in the same furnace.

【0008】しかしながら、同一の炉で予備焼結、本焼
結、脱ガスの3つの処理を行うことができれば、炉の設
置台数の削減化や処理時間の短縮化等においてメリット
が大きく、そのためには、予備焼結時における分解生成
物のヒータや炉構成部材への付着防止対策が大きな課題
となっていた。
[0008] However, if the three processes of pre-sintering, main sintering, and degassing can be performed in the same furnace, there is a great merit in reducing the number of furnaces to be installed and shortening the processing time. In the prior art, measures to prevent adhesion of decomposition products to heaters and furnace components during pre-sintering have been a major issue.

【0009】そこで本発明は、予備焼結時に被焼結物か
ら発生する分解生成物がヒータ等に付着して焼結性能に
影響を及ぼさないようにし、これにより予備焼結処理、
本焼結処理および脱ガス処理の3つの処理を同一の炉で
行うことができる多機能焼結炉を提供することを目的と
してなされたものである。
Accordingly, the present invention is intended to prevent a decomposition product generated from a material to be sintered at the time of pre-sintering from adhering to a heater or the like and affecting the sintering performance.
An object of the present invention is to provide a multifunctional sintering furnace capable of performing three processes of a main sintering process and a degassing process in the same furnace.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明の多機能
焼結炉は、焼結炉の炉体内部に炉体内壁に沿って配設さ
れたヒータと、前記ヒータと前記炉体内壁との間に配設
されたリフレクタと、前記ヒータの内側に配設された被
焼結物載置台と、前記炉体およびリフレクタを貫通して
炉体外部に伸びるヒータ電極と、炉体底部に開口するキ
ャリアガス供給口と、炉体頂部に開口する排気口と、前
記ヒータ電極近傍の前記リフレクタに開口するカバーガ
ス供給口と、炉体内部を吸引して真空にするための吸引
口とを備えた焼結炉において、前記ヒータと前記被焼結
物載置台に載置された被焼結物との間に、前記ヒータお
よび前記被焼結物から間隔をおいて前記被焼結物の周囲
を取り囲むようにして整流板を配設し、これによって、
前記整流板外側では前記炉体内部に供給されるカバーガ
スが下向きに流れ、前記整流板内側では前記炉体内部に
供給されるキャリアガスおよびカバーガスが上向きに流
れるように整流して、被焼結物から発生する分解生成物
のヒータへの付着を防止できるようにしたことを特徴と
するものである。
That is, a multifunctional sintering furnace according to the present invention comprises a heater disposed inside a furnace body of a sintering furnace along an inner wall of the furnace, and a heater provided between the heater and the inner wall of the furnace. A reflector disposed therebetween, a sintering object mounting table disposed inside the heater, a heater electrode extending through the furnace body and the reflector to the outside of the furnace body, and opening at the bottom of the furnace body. A carrier gas supply port, an exhaust port opening at the top of the furnace body, a cover gas supply port opening at the reflector near the heater electrode, and a suction port for suctioning the inside of the furnace body to create a vacuum. In a sintering furnace, the periphery of the sintering object is spaced from the heater and the sintering object between the heater and the sintering object mounted on the sintering object mounting table. The current plate is arranged so as to surround it,
Outside the current plate, the cover gas supplied to the inside of the furnace body flows downward, and inside the current plate, the carrier gas and the cover gas supplied to the inside of the furnace flow are rectified so as to flow upward, and It is characterized in that the decomposition products generated from the residue can be prevented from adhering to the heater.

【0011】本発明の好ましい実施態様によれば、前記
リフレクタは炉体上部および炉体下部にも配設され、前
記整流板の上端は炉体上部リフレクタと密着し、下端は
炉体下部リフレクタとの間で間隙が形成されるように配
置されている。
According to a preferred embodiment of the present invention, the reflector is also provided at the upper part and the lower part of the furnace body, the upper end of the current plate is in close contact with the upper reflector of the furnace body, and the lower end is connected to the lower reflector of the furnace body. Are arranged so that a gap is formed between them.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下に図面に示す実施例を参照し
て本発明を詳述する。図1は本発明の多機能焼結炉の実
施例を示すものであり、図2の従来の焼結炉における部
材と同じ部材には、同じ参照番号を付すことにより説明
を省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to embodiments shown in the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a multifunctional sintering furnace according to the present invention, and the same members as those in the conventional sintering furnace shown in FIG.

【0013】図1の詳細構造について説明すると、この
焼結炉は全体が有底のステンレス鋼製円筒炉体1からな
り、炉体頂部には着脱自在の蓋1aが設けられていて、
炉体頂部から被焼結物の出し入れができるようになって
いる。なお蓋1aと炉体上端面との間はOリング1bに
より密閉が維持されており、蓋1a下面に固着された断
熱用中空構造体1cおよびこの構造体1c下面に吊設さ
れた円板状の上部リフレクタ4aは蓋1aと一体とされ
ていて、蓋1aを上方に持ち上げて取り除くことによっ
て断熱構造体1bと上部リフレクタ4aも共に取り除か
れて被焼結物を炉内へ出し入れすることができる。な
お、円板状上部リフレクタ4aの外周には円環状上部リ
フレクタ4cが配設され、側部リフレクタ4上端周縁に
固着されている。
Referring to the detailed structure of FIG. 1, this sintering furnace is composed entirely of a bottomed stainless steel cylindrical furnace body 1 and has a detachable lid 1a provided at the top of the furnace body.
The object to be sintered can be taken in and out from the top of the furnace body. The O-ring 1b keeps the hermetic seal between the lid 1a and the upper end surface of the furnace body. The heat-insulating hollow structure 1c fixed to the lower surface of the lid 1a and the disk-like structure suspended from the lower surface of the structure 1c. The upper reflector 4a is integrated with the lid 1a, and by removing the lid 1a by lifting it up, the heat insulating structure 1b and the upper reflector 4a are also removed, so that the object to be sintered can be taken in and out of the furnace. . An annular upper reflector 4c is provided on the outer periphery of the disc-shaped upper reflector 4a, and is fixed to the upper peripheral edge of the side reflector 4.

【0014】ヒータ2の内側の炉体中央部に設けられた
被焼結物載置台3は、炉体底部に置かれた支持台3aに
より支柱3bを介して支持されている。
A sintering work table 3 provided at the center of the furnace inside the heater 2 is supported by a support 3a placed at the bottom of the furnace via a support 3b.

【0015】本実施例におけるヒータ2は、3分割され
た円筒形のメッシュヒータが使用され、側部リフレクタ
4は炉体と同様に円筒形状とされていて、ヒータおよび
リフレクタの材質はいずれも耐高温変形性モリブデンが
用いられている。
As the heater 2 in this embodiment, a cylindrical mesh heater divided into three is used, and the side reflector 4 has a cylindrical shape like the furnace body, and the material of the heater and the reflector is both resistant. High-temperature deformable molybdenum is used.

【0016】処理を行う際には、ヒータ電極6近傍の側
部リフレクタ4に開口するカバーガス供給口9および炉
体底部に開口するキャリアガス供給口7から、処理に適
合した雰囲気ガスが供給され、炉内を上昇して炉体頂部
の排気口8から排出される。被焼結物5として例えばM
OX燃料ペレットを焼結するに際しては、炉内を還元雰
囲気とするために、窒素ガス+水素ガスあるいはアルゴ
ン+水素ガスからなる混合ガスがキャリアガスおよびカ
バーガスとして供給される。
At the time of processing, an atmosphere gas suitable for the processing is supplied from a cover gas supply port 9 opened to the side reflector 4 near the heater electrode 6 and a carrier gas supply port 7 opened to the bottom of the furnace body. , Rises inside the furnace and is discharged from an exhaust port 8 at the top of the furnace body. For example, M
In sintering the OX fuel pellets, a mixed gas of nitrogen gas + hydrogen gas or argon + hydrogen gas is supplied as a carrier gas and a cover gas in order to make the inside of the furnace a reducing atmosphere.

【0017】上述した構造は、図2に示した従来の焼結
炉と同様であるが、図1に示した本発明の焼結炉におい
ては、被焼結物載置台3に載置された被焼結物5とヒー
タ2との間に、ヒータ2および被焼結物5から間隔をお
いて被焼結物5の周囲を取り囲むように整流板11を配
設した点が、従来構造とは相違している。整流板11は
円筒状として被焼結物周囲を隙間なく囲繞し、その上端
は円環状上部リフレクタ4cと密着し、その下端は下部
リフレクタ4bとの間で間隙が形成されるように配置さ
れている。この整流板11の材質としては例えば耐高温
変形性モリブデンが好ましく使用でき、ヒータ2の輻射
熱によりヒータと同様の高温に加熱されるため、ヒータ
の熱が遮断されることはない。
The structure described above is the same as that of the conventional sintering furnace shown in FIG. 2, but in the sintering furnace of the present invention shown in FIG. The point that the current plate 11 is disposed between the heater 5 and the heater 2 so as to surround the periphery of the heater 5 at a distance from the heater 2 and the heater 5 differs from the conventional structure. Is different. The current plate 11 has a cylindrical shape and surrounds the sintering object without any gap. The upper end thereof is in close contact with the annular upper reflector 4c, and the lower end thereof is arranged so as to form a gap with the lower reflector 4b. I have. As a material of the current plate 11, for example, high-temperature deformation-resistant molybdenum can be preferably used. Since the heater 2 is heated to the same high temperature as the heater by the radiant heat of the heater 2, the heat of the heater is not shut off.

【0018】整流板11を配設した本発明の焼結炉を用
いて予備焼結を行う場合、カバーガス供給口9およびキ
ャリアガス供給口7から供給されたカバーガスとキャリ
アガスは図中の白矢印のように炉内を流れ、被焼結物5
から発生する分解生成物ガスは図中の黒矢印のように流
れ、一定方向の流線が形成されることになる。すなわ
ち、カバーガス供給口9から供給されたカバーガスは、
整流板11上部に当たり、整流板外側で整流板11およ
びヒータ2に沿って下向きに流れ、整流板下方の間隙か
ら整流板内側へ回り込み、キャリアガス供給口7から供
給されたキャリアガスの上昇流とともに整流板内側に沿
いかつ被焼結物5周囲を包み込むようにして上向きに流
れ、排気口8から排出される。
When pre-sintering is performed using the sintering furnace of the present invention provided with the current plate 11, the cover gas and the carrier gas supplied from the cover gas supply port 9 and the carrier gas supply port 7 It flows in the furnace as indicated by the white arrow,
The decomposition product gas generated from the gas flows as shown by the black arrow in the figure, and a streamline in a certain direction is formed. That is, the cover gas supplied from the cover gas supply port 9 is:
It hits the upper part of the current plate 11, flows downward along the current plate 11 and the heater 2 outside the current plate, goes around the inside of the current plate from the gap below the current plate, and flows upward with the carrier gas supplied from the carrier gas supply port 7. It flows upward along the inside of the current plate and wraps around the sintering object 5, and is discharged from the exhaust port 8.

【0019】このようにして、被焼結物5から発生する
添加物などの分解生成物ガスとヒータ2との接触は、ヒ
ータ2に沿って下方に流れるガス流と整流板11とによ
り遮断され、分解生成物ガスのヒータ電極6およびヒー
タ2への付着を効果的かつ確実に防止できる。また、整
流板11内側に沿ってカバーガスとキャリアガスの上昇
流が絶えず流れているため、整流板11内側についても
分解生成物ガスの付着を防止できる。
In this manner, the contact between the heater 2 and the decomposition product gas such as additives generated from the sintering object 5 is cut off by the gas flow flowing downward along the heater 2 and the rectifying plate 11. In addition, the adhesion of the decomposition product gas to the heater electrode 6 and the heater 2 can be effectively and reliably prevented. In addition, since the ascending flow of the cover gas and the carrier gas constantly flows along the inside of the current plate 11, it is possible to prevent the decomposition product gas from adhering also inside the current plate 11.

【0020】その結果、分解生成物ガスの付着に起因す
る炉の焼結性能に支障をきたすことがないから、予備焼
結終了後の被焼結物を焼結炉から取り出すことなく、そ
のまま引き続き本焼結処理を行うことができる。さら
に、本焼結終了後には、キャリアガス供給口7のバルブ
7v、カバーガス供給口9のバルブ9vおよび排気口8
のバルブ8vをすべて閉じ、吸引口10に接続されたバ
ルブ10vを開いて炉内を真空雰囲気とすることによ
り、引きつづきそのまま脱ガス処理を行うことができ
る。また、上記したように一つの被焼結物に対して予備
焼結、本焼結および脱ガスの一連の処理を連続して行わ
なくてもよく、予備焼結処理を数回繰り返し行った後、
同じ焼結炉を用いて本焼結処理や脱ガス処理を数回繰り
返し行うようにすることもできる。
As a result, the sintering performance of the furnace due to the adhesion of the decomposition product gas is not hindered. The main sintering process can be performed. Further, after completion of the main sintering, the valve 7v of the carrier gas supply port 7, the valve 9v of the cover gas supply port 9, and the exhaust port 8
By closing all the valves 8v and opening the valve 10v connected to the suction port 10 to make the inside of the furnace a vacuum atmosphere, the degassing process can be performed as it is. Further, as described above, a series of pre-sintering, main sintering, and degassing may not be continuously performed on one object to be sintered, and after performing the pre-sintering process several times, ,
The main sintering process and the degassing process may be repeated several times using the same sintering furnace.

【0021】[0021]

【実験例】添加剤としてステアリン酸亜鉛を配合した模
擬MOX燃料ペレットを被焼結物とし、図1の本発明焼
結炉を用いて予備焼結、本焼結および脱ガス処理を下記
の処理条件により行った。
[Experimental example] A simulated MOX fuel pellet containing zinc stearate as an additive was used as a material to be sintered, and the following sintering, main sintering and degassing treatments were performed using the sintering furnace of the present invention shown in FIG. Performed under the conditions.

【0022】 予備焼結処理:キャリアガスおよびカバーガスとして窒
素+水素ガスの混合ガスを炉内に供給し、約800℃に
加熱。 本焼結処理: キャリアガスおよびカバーガスとして窒
素+水素ガスの混合ガスを炉内に供給し、約1700℃
に加熱。 脱ガス処理: 炉内を吸引して真空度を約7.1×10
-2Pa(初期)とし、約900℃に加熱。
Pre-sintering process: A mixed gas of nitrogen and hydrogen gas is supplied into a furnace as a carrier gas and a cover gas, and heated to about 800 ° C. Main sintering process: A mixed gas of nitrogen and hydrogen gas is supplied into the furnace as a carrier gas and a cover gas, and is heated to about 1700 °
Heating. Degassing process: The inside of the furnace is sucked to reduce the degree of vacuum to about 7.1 × 10
-2 Pa (initial), heated to about 900 ° C.

【0023】処理は、予備焼結2回−本焼結1回−予備
焼結5回−本焼結1回−脱ガス1回の順で合計10回の
処理を連続して行った結果、いずれの処理においてもヒ
ータの絶縁抵抗も良好であり、脱ガス処理に際しても所
望の真空度が得られた。このことから、予備焼結処理時
に被焼結物から発生する分解生成物ガスのヒータ等への
付着が効果的に防止されていることがわかる。
The treatment was performed twice in total in the order of pre-sintering twice, main sintering once, pre-sintering five times, main sintering once and degassing once, for a total of ten times. In any of the processes, the insulation resistance of the heater was good, and a desired degree of vacuum was obtained in the degassing process. From this, it is understood that the adhesion of the decomposition product gas generated from the object to be sintered to the heater or the like during the preliminary sintering process is effectively prevented.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上の説明からわかるように本発明の多
機能焼結炉によれば、焼結炉の炉体内部に設けられてい
るヒータと、ヒータの内側に置かれる被焼結物との間
に、整流板を配設し、炉体内部に供給されるカバーガス
およびキャリアガスを一定方向に整流するようにしたた
め、予備焼結時に被焼結物中の添加剤の分解に伴い発生
する分解生成物ガスのヒータやその他の炉構成部材への
付着を効果的にかつ確実に防止することができる。
As can be seen from the above description, according to the multifunctional sintering furnace of the present invention, the heater provided inside the furnace body of the sintering furnace, and the sintering object placed inside the heater, During the pre-sintering, a flow rectifying plate is provided to rectify the cover gas and carrier gas supplied to the inside of the furnace in a certain direction. It is possible to effectively and reliably prevent the decomposition product gas from adhering to the heater and other furnace components.

【0025】これにより、分解生成物ガスの付着に起因
する炉の性能低下をもたらすことなく、予備焼結、本焼
結および脱ガスの各処理を任意に組み合わせて一つの焼
結炉で連続処理可能な多機能焼結炉を提供することがで
きる。
[0025] Thus, the pre-sintering, main sintering and degassing processes can be arbitrarily combined and continuously performed in one sintering furnace without deteriorating the furnace performance due to the adhesion of decomposition product gas. A possible multifunctional sintering furnace can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の多機能焼結炉の実施例を示す説明図で
ある。
FIG. 1 is an explanatory view showing an embodiment of a multifunctional sintering furnace of the present invention.

【図2】従来の焼結炉の一例を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory view showing an example of a conventional sintering furnace.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1: 炉体 2: ヒータ 3: 被焼結物載置台 4: 側部リフレクタ 4a、4c:上部リフレクタ 4b:下部リフレクタ 5: 被焼結物 6: ヒータ電極 7: キャリアガス供給口 8: 排気口 9: カバーガス供給口 10: 吸引口 11: 整流板 1: furnace body 2: heater 3: sintering object mounting table 4: side reflectors 4a, 4c: upper reflector 4b: lower reflector 5: sintering object 6: heater electrode 7: carrier gas supply port 8: exhaust port 9: Cover gas supply port 10: Suction port 11: Rectifier plate

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 焼結炉の炉体内部に炉体内壁に沿って配
設されたヒータと、前記ヒータと前記炉体内壁との間に
配設されたリフレクタと、前記ヒータの内側に配設され
た被焼結物載置台と、前記炉体およびリフレクタを貫通
して炉体外部に伸びるヒータ電極と、炉体底部に開口す
るキャリアガス供給口と、炉体頂部に開口する排気口
と、前記ヒータ電極近傍の前記リフレクタに開口するカ
バーガス供給口と、炉体内部を吸引して真空にするため
の吸引口とを備えた焼結炉において、前記ヒータと前記
被焼結物載置台に載置された被焼結物との間に、前記ヒ
ータおよび前記被焼結物から間隔をおいて前記被焼結物
の周囲を取り囲むようにして整流板を配設し、これによ
って、前記整流板外側では前記炉体内部に供給されるカ
バーガスが下向きに流れ、前記整流板内側では前記炉体
内部に供給されるキャリアガスおよびカバーガスが上向
きに流れるように整流して、被焼結物から発生する分解
生成物のヒータへの付着を防止できるようにしたことを
特徴とする多機能焼結炉。
1. A heater disposed inside a furnace body of a sintering furnace along an inner wall of a furnace, a reflector disposed between the heater and the inner wall of the furnace, and a heater disposed inside the heater. An installed sintering object mounting table, a heater electrode extending through the furnace body and the reflector and extending to the outside of the furnace body, a carrier gas supply opening opening at the furnace body bottom, and an exhaust opening opening at the furnace body top. A sintering furnace provided with a cover gas supply port opening to the reflector near the heater electrode, and a suction port for sucking the inside of the furnace body to create a vacuum, wherein the heater and the sintering object mounting table are provided. A rectifying plate is provided between the heater and the sintering object so as to surround the sintering object at an interval from the heater and the sintering object. Outside the current plate, the cover gas supplied to the inside of the furnace body flows downward. Inside the current plate, the carrier gas and the cover gas supplied to the inside of the furnace body are rectified so as to flow upward so that decomposition products generated from the sintering material can be prevented from adhering to the heater. Multifunctional sintering furnace characterized by the following.
【請求項2】 前記リフレクタは炉体上部および炉体下
部にも配設され、前記整流板の上端は炉体上部リフレク
タと密着し、下端は炉体下部リフレクタとの間で間隙が
形成されるように配置されていることを特徴とする請求
項1記載の多機能焼結炉。
2. The reflector is also provided on the furnace body upper part and the furnace body lower part, and the upper end of the straightening plate is in close contact with the furnace body upper reflector, and the lower end forms a gap between the furnace body lower reflector. The multifunctional sintering furnace according to claim 1, wherein the furnace is arranged as follows.
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