JP2002228903A - Optical unit - Google Patents

Optical unit

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JP2002228903A
JP2002228903A JP2001022409A JP2001022409A JP2002228903A JP 2002228903 A JP2002228903 A JP 2002228903A JP 2001022409 A JP2001022409 A JP 2001022409A JP 2001022409 A JP2001022409 A JP 2001022409A JP 2002228903 A JP2002228903 A JP 2002228903A
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Shinji Kaneko
Takeshi Nakane
Kimihiko Nishioka
毅 中根
公彦 西岡
新二 金子
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
オリンパス光学工業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical unit which reduces the electric power consumption of the time when optical elements are displaced in order to perform focusing, zooming, deflection prevention, etc., and makes the response speed up in an optical device. SOLUTION: This optical unit is constituted by using a leaf spring actuator equipped with substrates 10 and 11 having at least one stationary electrodes and a substrate 12 having at least one movable leaf spring-like electrodes. The central portions of the substrates 10, 11 and 12 are respectively provided with holes 16, 17 and 18 and at least one holes are mounted with lenses, mirrors, prisms, etc. When a voltage is impressed between the substrate 11 and the substrate 12, an optical element supporting section 14 moves to the substrate 11 side and when the voltage is impressed between the substrate 10 and the substrate 12, the optical element supporting section 14 moves to the substrate 10 side.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光学ユニットに関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an optical unit.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、デジタルカメラ等の光学装置においては、フォーカス、ズーム、振れ防止等を行なう場合、光学系を構成する光学素子を変位させるための駆動手段として、駆動源としてそれぞれの機能にモータやソレノイドが用いられ、ギアやカム等の機械的手段によって光学素子の変位を制御していた。 In a conventional optical device such as a digital camera, focus, zoom, when performing a shake prevention, as a driving means for displacing the optical elements constituting the optical system, the respective functions as a drive source motor or a solenoid is used, has been controlled displacement of the optical element by mechanical means of gears and cams or the like.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、モータやソレノイドは消費電力が大きく、応答速度が遅く精度の高い光学性能が達成出来ないという欠点があった。 [SUMMARY OF THE INVENTION] However, the motor and the solenoid have large power consumption, high optical performance the response speed of slow precision is a drawback that can not be achieved. 具体的には、上記フォーカス、ズーム等ごとにモーター等と機械的手段を駆動させなければならず、消費電力が大きくなり、また、光学素子を変位させるために介在させているギア等の機械的手段の起動、停止を行なわなければならないため、応答速度が遅かった。 Specifically, the focus must be driven a motor or the like and the mechanical means for each zoom or the like, the power consumption becomes large, mechanical such gear is interposed in order to displace the optical element Starting means, because it must perform stop, it was slow in response speed. 更に、該機械的手段のもつバックラッシュ等の誤差によって高精度な光学性能が達成できなかった。 Furthermore, high-precision optical performance can not be achieved by error, such as a backlash with the said mechanical means.

【0004】そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、光学装置におけるフォーカス、ズーム、振れ防止等を行なうために光学素子を変位させるときの消費電力を小さくし、応答速度を速くする光学ユニットを提供することを目的とする。 [0004] Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, the focus in the optical system, zoom, power consumption when displacing the optical element to perform a shake prevention reduced, an optical unit to increase the response speed an object of the present invention is to provide.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため、本発明による光学ユニットは、板バネアクチュエータを用いて構成されている。 Means for Solving the Problems] To solve the above problems, an optical unit according to the invention is constituted by a plate spring actuator.

【0006】また、本発明は、板バネアクチュエータを用いてフォーカス(物体の移動の補償)、振れ防止、組み立て誤差の補正、温度・湿度等の変化による光学系の変化の補償、変倍、ズーム、視度調整の少なくとも1つ以上を行うように構成されている。 [0006] The present invention also provides: (compensation of movement of the object) focus using the plate spring actuator, vibration preventing, correcting the assembly error, compensating for changes in the optical system due to changes such as temperature and humidity, scaling, zoom It is configured to perform at least one or more diopter adjustment.

【0007】また、本発明は、例えば少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いて光学素子を駆動するように構成されている。 Further, the present invention is configured to drive the optical element by using, for example, at least one leaf spring actuator.

【0008】 [0008]

【発明の実施の形態】まず、本発明の実施例の説明に先立ち光学ユニットに用いる板バネアクチュエータの基本構成について説明する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a description will be given of the basic structure of the leaf spring actuator used in the optical unit Before describing embodiments of the present invention. 図1は本発明の光学ユニットに用いる板バネアクチュエータの基本構成を示す図であり、(a)は分解斜視図、(b)は板バネ部の平面図、(c)は板バネ部の変形状態を示す状態説明図である。 Figure 1 is a diagram showing a basic configuration of a leaf spring actuator used in the optical unit of the invention, (a) is an exploded perspective view, (b) is a plan view of the leaf spring portion, (c) the deformation of the plate spring portion it is a state diagram showing a state. 板バネアクチュエータ1は、可動電極を有する基板12と、固定電極を有する基板11とを貼り合わせて構成されている。 Leaf spring actuator 1 includes a substrate 12 having a movable electrode is configured by bonding the substrate 11 having the fixed electrode.

【0009】基板12は、枠部材12aと、薄板状部材14と、および両者を連結するクランク状の4つの梁部材12bとで構成されている。 [0009] substrate 12, and the frame member 12a, a thin plate member 14, and connecting the two is composed of a crank-shaped four beam members 12b. 薄板状部材14と梁部材12bは、導電性物質からなり可動電極を構成している。 The thin plate member 14 and the beam member 12b constitutes a movable electrode made of a conductive material. 梁部材12bは、薄板状部材14の4隅に接続し、 Beam member 12b is connected to the four corners of the thin plate member 14,
薄板状部材14を取り囲むようにクランク状の形状をしており、これによって小さな専有面積で梁の長さを大きくすることができるので小さなバネ定数が得られ、より小さな静電気力で薄板状部材14を、例えば図1(c)に示すように、変位させることができるようになっている。 Has a crank shape so as to surround the thin plate member 14, a small spring constant is obtained since this makes it possible to increase the length of the beam with a small footprint, the thin plate member 14 with a smaller electrostatic force the, for example, as shown in FIG. 1 (c), and is capable to be displaced. なお、図1では、梁部材はL字形状に形成されているが、コの字形状や、円弧状形状に形成されていてもよい。 In FIG. 1, the beam members are formed in an L-shape, U-shape or may be formed in an arc shape.

【0010】基板11には、図1(a)に示すように4つに分割された制御電極15が固定されている。 [0010] substrate 11, a control electrode 15 divided into four as shown in FIG. 1 (a) is fixed. 各電極は基板12の各梁部材12bの直下に対応する領域と、薄板状部材14の直下に対応する領域とを有して構成されている。 Each electrode is configured to have a region corresponding to the right under the respective beam members 12b of the substrate 12, and a region corresponding to the right under the thin plate member 14.

【0011】そして、可動電極を接地して、基板11で図中の所望の制御電極15に高電圧を印加すると、薄板状部材14の制御電極15に対応する部位及びそこに連結された梁部材12bにおいて静電引力が作用する。 [0011] Then, by grounding the movable electrode, desired control when a high voltage is applied to the electrode 15, the beam member connected site and thereto corresponding to the control electrode 15 of the thin plate member 14 in FIG. In the substrate 11 electrostatic attraction acting at 12b. ここで、基板11の他の3つの電極を接地すると、基板1 Here, when grounding the other three electrodes of the substrate 11, the substrate 1
2の他の領域では静電引力が発生しないので、結果として薄板状部材14が当該領域で基板11側に引き寄せられて、基板11に対して傾くと共に、薄板状部材14の中心部においても基板11との距離が小さくなる。 Since the two other regions electrostatic attraction does not occur, the result thin plate member 14 is attracted to the substrate 11 side in the region as, together with the inclined with respect to the substrate 11, the substrate also at the center of the thin plate member 14 the distance between the 11 is reduced. また、基板12を接地して基板11の4つの電極15に等しい電圧を印加した場合は、薄板状部材14と4つの梁部材12bに等しい静電気力が作用するので、薄板状部材14は基板11に向かって平行移動する。 Also, the case of applying a voltage equal to four electrodes 15 of the substrate 11 by grounding the substrate 12, is equal electrostatic force thin plate member 14 and the four beam members 12b acts, the thin plate member 14 is a substrate 11 move in parallel toward the.

【0012】このようにして、板バネアクチュエータ1 [0012] In this way, the leaf spring actuator 1
は、固定電極を有する基板11の4つの電極15に印加する電圧を制御することによって、薄板状部材14の傾きと鉛直方向の変位を自由に制御できるように構成されている。 By controlling the voltage applied to the four electrodes 15 of the substrate 11 having the fixed electrode, and is configured to be freely controlled displacement of slope and vertical thin plate member 14.

【0013】また、基板11,12の中央部にはそれぞれ穴17,18が設けられており、基板12の穴18にレンズ等の光学素子を取りつけたときに、光学素子を変位させて穴17,18を通る光の焦点距離等の緒条件を変化させることができるようになっている。 Further, the center portion of the substrate 11, 12 respectively holes 17 and 18 are provided, when fitted with an optical element such as a lens hole 18 of the substrate 12, the hole by displacing the optical element 17 , and it is capable of changing the cord conditions focal length of light through the 18. なお、基板12の薄板状部材14は、後述する実施例における光学素子支持部を兼ねている。 Incidentally, the thin plate member 14 of the substrate 12 also serves as an optical element support portion in the embodiment to be described later.

【0014】このように、本発明に用いる板バネアクチュエータは、少なくとも1つの固定電極を有する基板と少なくとも1つの可動な板バネ状の電極(可動電極)を有する基板とを備えている。 [0014] Thus, the leaf spring actuator used in the present invention includes a substrate having a substrate having at least one fixed electrode, at least one movable leaf spring-shaped electrode (movable electrode). なお、固定電極を有する基板と可動電極を有する基板を備えて構成されたものであれば、2つの固定電極を有する基板が、可動電極を有する基板を挟んで配置した構成であってもよく、夫々の基板の数は限定されるものではない。 Incidentally, as long as it is configured with a substrate having a substrate and a movable electrode with a fixed electrode, a substrate having two fixed electrodes may be configured to be disposed across the substrate having a movable electrode, the number of the board of each is not intended to be limited. また、静電気力を用いる代わりに2つの電極をコイル、例えば薄膜コイルで置きかえ、電磁気力で板バネを変形させてもよい。 Further, the two electrodes instead of using an electrostatic force coil, for example, replaced with a thin film coil may be deformed plate spring in the electromagnetic force. あるいは、一方の電極を永久磁石とするとともに、もう一方の電極をコイルとし、電磁気力で板バネを変形させる板バネアクチュエータとして構成してもよい。 Alternatively, one of the electrodes as well as a permanent magnet, the other electrode is a coil, it may be configured as a leaf spring actuator to deform the leaf spring in the electromagnetic force. それらのように構成した場合には、電流の極性を変えるだけで変形方向を変えることができるというメリットがある。 When constructed as described they has the advantage of being able to change the direction of deformation by changing the polarity of the current. なお、本願では、コイルは電極に含めるものとする。 In the present application, the coil of which is incorporated into the electrode.

【0015】次に、このような板バネアクチュエータを用いた本発明の光学ユニットの実施例を説明する。 [0015] Next, an embodiment of the optical unit of the present invention using such a leaf spring actuator. 図2 Figure 2
は本発明の光学ユニットの第1実施例を示す概略構成図である。 Is a schematic diagram showing a first embodiment of an optical unit of the present invention. 本実施例の光学ユニット13は、2つの、固定電極を有する基板10,11の間に、1つの、可動な板バネ状の電極を有する基板12を配置した板バネアクチュエータを用いて構成されている。 The optical unit 13 of this embodiment, the two, between the substrate 10, 11 having a fixed electrode, one, is constructed with a leaf spring actuator arranged substrate 12 having a movable leaf spring-shaped electrode there. そして、本実施例の光学ユニット13では、基板11と基板12との間に電圧を印加すると、光学素子支持部14は紙面の右側(基板11側)へ動き、他方、基板10と基板12との間に電圧を印加すると、光学素子支持部14は紙面の左側(基板10側)へ動くようになっている。 Then, the optical unit 13 of this embodiment, when a voltage is applied between the substrate 11 and the substrate 12, the optical element support portion 14 moves to the paper surface of the right side (substrate 11 side), while the substrate 10 and the substrate 12 When voltage is applied between the optical element support portion 14 is made to move to the paper surface of the left (substrate 10 side).

【0016】このため、本実施例の光学ユニット13によれば、1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板12 The substrate 12 having the purpose, according to the optical unit 13 of this embodiment, one of the movable leaf spring-shaped electrode
でもって、光学素子支持部14のストロークを2倍とることができる。 In with, it can take twice the stroke of the optical element support portion 14. あるいは、半分の電圧を印加するだけで、光学素子支持部14を一方向へ動かしたときと同じストロークをとることができる。 Alternatively, only by applying half of the voltage, it is possible to take the same stroke as when moving the optical element support part 14 in one direction. なお、基板10,1 The substrate 10, 1
1,12の中央部にはそれぞれ穴16,17,18が設けられており、それらの穴の少なくとも一つに、レンズやミラーやプリズム等が取りつけられていて、これにより各種光学装置、例えば、デジタルカメラ、カメラ、内視鏡、TVカメラ、望遠鏡、照明光学系、双眼鏡、ファインダー、光ピックアップ装置のズーム、変倍、フォーカス、振れ防止、結像性能の劣化の補償等に用いることができるようになっている。 The central portion of the 1,12 and holes 16, 17, 18 are respectively provided, on at least one of the holes, have a lens or a mirror or prism is attached, thereby various optical devices, e.g., digital cameras, cameras, endoscopes, TV camera, a telescope, an illumination optical system, binoculars, viewfinder, zoom optical pickup device, zooming, focusing, deflection prevention, so that can be used for compensation for the deterioration of the imaging performance It has become.

【0017】図3は本発明の光学ユニットの第2実施例を示す概略構成図である。 [0017] FIG. 3 is a schematic diagram showing a second embodiment of the optical unit of the present invention. 本実施例の光学ユニット21 The optical unit of the present embodiment 21
は、1枚の固定電極を有する基板と1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板とで構成される板バネアクチュエータを2組、互いに可動な板バネ状の電極を有する基板が向き合うようにして配置し、さらにそれらの可動な板バネ状の電極の中央部に設けられた穴に光学系を備えて構成されている。 Is one of the two sets of constituted plate spring actuator substrate having a fixed electrode and a substrate having a single movable leaf spring-like electrodes, such that the face is a substrate having a movable leaf spring-like electrodes together to be located, and a further includes an optical system into a hole provided in the center of their movable leaf spring-shaped electrode. 具体的には、固定電極を有する1枚の基板10Aと1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板12Aとで構成された板バネアクチュエータ1Aと、1 Specifically, a leaf spring actuator 1A, which is composed of a substrate 12A having a single substrate 10A and one movable leaf spring-like electrodes having a fixed electrode, 1
枚の固定電極を有する基板10Bと1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板12Bとで構成された板バネアクチュエータ1Bとが、互いに可動な板バネ状の電極を有する基板12A,12Bが向き合うようにして配置されている。 Substrates 10B having a fixed electrode and a leaf spring actuator 1B, which is composed of a substrate 12B having a single movable leaf spring-like electrodes, a substrate 12A having a movable leaf spring-like electrodes together, 12B is facing manner is arranged.

【0018】各電極の中央部には、穴17A,18A, [0018] At the center of each electrode, holes 17A, 18A,
17B,18Bが設けられている。 17B, ​​18B is provided. 可動な板バネ状の電極を有する基板12A,12Bの穴18A,18Bにはそれぞれ光学系19の一端が挿し込まれている。 Substrate 12A having a movable leaf spring-like electrodes, the holes 18A of 12B, are inserted one end of the optical system 19 respectively to 18B. また、 Also,
板バネアクチュエータ1Aの基板10A,12Aの間と、板バネアクチュエータ1Bの基板10B,12Bの間には夫々逆方向の電気的な力(電圧、電流)が印加されるようになっており、これが互いに向かい合わせに配置されているため、可動な板バネ状の電極を有する基板12A,12Bは同じ向きに動くようになっている。 Substrate 10A of the leaf spring actuator 1A, and between 12A, are adapted to the substrate 10B of the leaf spring actuator 1B, electrical force (voltage, current) of the respective opposite direction during 12B is applied, this is because it is located face to face with each other, a substrate 12A having a movable leaf spring-like electrodes, 12B are adapted to move in the same direction.

【0019】このように構成された本実施例の光学ユニットによれば、光学系を通常の板バネアクチュエータの二倍の力で移動させることになるので、移動可能な光学系の質量の許容範囲が広くなり、光学設計の自由度を広げることができる。 According to the optical unit of the present embodiment thus configured, it means that move at twice the power of conventional leaf spring actuator of the optical system, the permissible range of the mass of the movable optical system becomes wide, it is possible to increase the degree of freedom of the optical design. なお、光学系19は、複数のレンズ、レンズミラー等、複数の光学素子で構成されたものでも、質量の大きい1つの光学素子で構成されたものでもよい。 The optical system 19 includes a plurality of lenses, a lens mirror or the like, also be constructed of a plurality of optical elements, may be one which is composed of one optical element having a large mass.

【0020】さらに、本実施形態の構成を応用して1枚の固定電極を有する基板と1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板とで構成される板バネアクチュエータを3 Furthermore, the formed plate spring actuator with a substrate having a substrate and one movable leaf spring-shaped electrode having one fixed electrode by applying the configuration of this embodiment 3
組以上用いて光学素子を動かすようにしてもよい。 It may be moving an optical element using the set or more.

【0021】図4は本発明の光学ユニットの第3実施例を示す概略構成図である。 [0021] FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a third embodiment of the optical unit of the present invention. 本実施例の光学ユニット31 Optical unit 31 of this embodiment
は、1枚の固定電極を有する基板と1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板とで構成される板バネアクチュエータ1を1組用いて構成される撮像光学系32を備えて構成されている。 It is configured to include a substrate and configured plate spring actuator 1 a set using the imaging optical system 32 constituted by the substrate having a single movable leaf spring-shaped electrode having one fixed electrode ing. 撮像光学系32は、レンズ33a〜3 The imaging optical system 32 includes a lens 33a~3
3eと、板バネアクチュエータ1を構成する固定電極を有する基板10及び可動な板バネ状の電極を有する基板12と、基板12の光学素子支持部に設けられた穴に固定されたレンズ33fと、レンズ33g,33hとで構成されている。 And 3e, the substrate 12 having a substrate 10 and a movable leaf spring-like electrodes having a fixed electrode which constitutes the leaf spring actuator 1, a lens 33f fixed to the hole formed in the optical element supporting portions of the substrate 12, lens 33 g, is composed of a 33h. なお、図4中、34は絞り、38は固体撮像素子である。 In FIG. 4, 34 denotes a diaphragm, 38 is a solid-state imaging device.

【0022】板バネアクチュエータ1には、駆動回路3 [0022] The leaf spring actuator 1, the driving circuit 3
6と制御回路37とを含む電子回路35が接続されており、電子回路35は、板バネアクチュエータ1を構成する基板10,12にそれぞれ4つ分割して設けられた電極に対して、等しい、或いは異なる電気的な力(電圧、 6 and the control circuit 37 and the electronic circuit 35 is connected comprising, electronic circuitry 35, to the electrode provided with four respectively divided into the substrate 10, 12 constituting the leaf spring actuator 1, equal, or different electrical force (voltage,
電流)を印加することによって、レンズ33fの位置や傾きを変化させることができるようになっている。 By applying a current), and it is capable of changing the position and inclination of the lens 33f.

【0023】なお、図4中、44は可変抵抗器41に設けられた複数の抵抗を制御するための演算装置、45, [0023] In FIG. 4, 44 denotes an arithmetical unit for controlling the plurality of resistors provided in the variable resistor 41, 45,
46,47,48はそれぞれ演算装置44に接続された温度センサー、湿度センサー,距離センサー,振れセンサーである。 46, 47, 48 is a temperature sensor which is connected to each arithmetic unit 44, a humidity sensor, a distance sensor, a vibration sensor.

【0024】レンズ33fの位置と傾斜は、結像性能が最適になるように演算装置44からの信号により各可変抵抗器41の抵抗値を変化させることにより制御される。 The slope and position of the lens 33f is controlled by varying the resistance values ​​of the variable resistors 41 by a signal from the arithmetic unit 44 to optimize imaging performance. 即ち、演算装置44への温度センサー45、湿度センサー46及び距離センサー47、振れセンサー48から、周囲温度及び湿度並びに物体までの距離、振れ量に応じた大きさの信号が入力され、演算装置44は、これらの入力信号に基づき周囲の温度及び湿度条件と物体までの距離及び振れによる結像性能の低下を補償すべく、 That is, from the temperature sensor 45, humidity sensor 46 and distance sensor 47, vibration sensor 48 to the arithmetic unit 44, the distance to the ambient temperature and humidity as well as the object, the magnitude of the signal corresponding to the shake amount is input, the arithmetic unit 44 , in order to compensate for the reduction in imaging performance due to the distance and shake until the temperature and humidity conditions and surrounding objects based on these input signals,
レンズ33fの位置や傾斜角を決定する所定の電圧が電極15に印加されるように、可変抵抗器41の抵抗値を決定するための信号を出力する。 As predetermined voltages to determine the position and inclination angle of the lens 33f is applied to the electrodes 15, it outputs a signal for determining the resistance of the variable resistor 41.

【0025】このようにして、基板12の光学素子支持部は、電極15に印加される電圧即ち静電気力で変形させられて、その位置と傾きは状況により様々な形状をとる。 [0025] In this way, the optical element supporting portions of the substrate 12 may be deformed by the voltage i.e. the electrostatic force applied to the electrodes 15, the position and tilt take various shapes depending on the situation. なお、距離センサー47は無くても良い。 The distance sensor 47 may be omitted. その場合には、レンズ33fのZ方向位置を多少変形させて、固体撮像素子からの像の信号の高周波成分がほぼ最大になるようにレンズ33fの位置、傾きを決めれば、ピント合わせができる。 In this case, slightly deforming the Z-direction position of the lens 33f, the position of the lens 33f, as high-frequency component of an image signal from the solid-state imaging device is substantially a maximum, be determined inclination can focus.

【0026】振れセンサー48は、例えば、デジタルカメラ撮影時の振れを検知し、振れによる像の乱れを補償するように可動な板バネ状の電極を有する基板12を変形させるべく、演算回路44及び可変抵抗器41を介して基板10に設けられた4つの電極15に印加される電圧を変化させる。 The shake sensor 48 is, for example, detects the shake of the time the digital camera shooting, in order to deform the substrate 12 having a movable leaf spring-like electrodes so as to compensate for disturbance of the image due to shake, the arithmetic circuit 44, and via a variable resistor 41 to vary the voltage applied to the four electrodes 15 provided on the substrate 10. この時、温度センサー45、湿度センサー46及び距離センサー47からの信号も同時に考慮され、ピント合せ、温湿度補償等が行なわれる。 At this time, the temperature sensor 45, is considered a signal at the same time from the humidity sensor 46 and distance sensor 47, focusing and compensation for temperature and humidity are performed.

【0027】なお、温度センサー45、湿度センサー4 [0027] It should be noted that the temperature sensor 45, the humidity sensor 4
6及び距離センサー47、振れセンサー48は、必ずしも必要ではなく、例えば、使用者が手動で可変抵抗器4 6 and the distance sensor 47, vibration sensor 48 is not necessarily required, for example, a variable resistor 4 user manually
1を調整して、ピント合せや、結像性能の最適化を行なうようにしてもよい。 1 adjusted to a focusing or may be performed to optimize the imaging performance.

【0028】このような本実施例の光学ユニットを用いて構成された撮像光学系32は、デジタルカメラ、フィルムカメラ(この場合は、固体撮像素子38をフィルムで置きかえる)及び電子内視鏡等に用いることができる。 [0028] Such embodiment the imaging optical system 32 constituted by using an optical unit of a digital camera, a film camera (in this case, replacing the solid-state imaging device 38 in the film) and the electronic endoscopes it can be used. また、固体撮像素子38を受光素子に置きかえれば、光ディスクのピックアップ光学系にも用いることができる。 Further, by replacing the solid-state imaging device 38 to the light receiving element, it can be used to pick up the optical system of the optical disc.

【0029】また、本実施例において、レンズ33fの位置や傾きを調整するための板バネアクチュエータを用いた光学ユニットとしては、1枚の固定電極を有する基板と1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板とで構成された板バネアクチュエータ1を用いた光学ユニットの代わりに、図1に示すような、2つの固定電極を有する基板とその間に1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板とで構成された板バネアクチュエータを用いて構成された光学ユニット13や、図2に示すような、1枚の固定電極を有する基板と1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板とで構成される板バネアクチュエータを2組、 Further, in this embodiment, as the optical unit using a leaf spring actuator for adjusting the position and inclination of the lens 33f, the substrate and one movable plate spring of which has a single fixed electrode instead of the optical unit using a leaf spring actuator 1, which is composed of a substrate having an electrode, as shown in FIG. 1, a movable leaf spring-like electrodes of one substrate and between having two fixed electrodes a substrate having or optical unit 13 which is constituted by a plate spring actuator is composed of a substrate having, as shown in FIG. 2, the substrate and one movable leaf spring-shaped electrode having one fixed electrode two sets of constituted plate spring actuator and,
互いに可動な板バネ状の電極を有する基板が向き合うようにして配置して構成された光学ユニット21等を用いて構成してもよい。 Each other may be formed using the movable plate optical unit 21 is constructed by arranging so as substrate face having a spring-like electrodes and the like.

【0030】図5は本発明の光学ユニットの第4実施例を示す概略構成図である。 FIG. 5 is a schematic block diagram showing a fourth embodiment of the optical unit of the present invention. 本実施例では複数個の板バネアクチュエータを用いて撮像装置50が構成されている。 In the present embodiment the imaging device 50 using a plurality of leaf spring actuator is constructed. 具体的には、撮像装置を構成する光学系の間に2タイプの板バネアクチュエータを用いた光学ユニット1 Specifically, the optical unit 1 using the two types of leaf spring actuator between the optical system constituting the imaging apparatus
3,21を備えて構成されている。 It is configured to include a 3,21. 光学ユニット13の可動な板バネ状の電極を有する基板12に設けられた穴には、レンズ51bが取りつけられ、固定電極を有する基板11に設けられた穴には、レンズ51cが取りつけられている。 The hole formed in the substrate 12 having the movable plate-spring-like electrodes of the optical unit 13, the lens 51b is attached to the hole provided on the substrate 11 having the fixed electrode, the lens 51c is attached . 光学ユニット21の板バネアクチュエータ1A,1Bの可動な板バネ状の電極に設けられた穴18 Leaf spring actuator 1A of the optical unit 21, a hole 18 provided on the movable leaf spring-shaped electrode 1B
A,18Bには、レンズ鏡筒を介してレンズ51h,5 A, the 18B, through the lens barrel lens 51h, 5
1iが取りつけられている。 1i is attached. 図5中、51a,51d, In FIG. 5, 51a, 51d,
51e,51f,51gはレンズである。 51e, 51f, 51g is a lens.

【0031】そして、本実施例によれば、このように光学ユニット13の板バネアクチュエータ、光学ユニット21の板バネアクチュエータ1A,1Bの3つの板バネアクチュエータを用いることで、レンズ51bを変位させ、或いは、板バネアクチュエータ1Aと1Bとに取りつけられたレンズ51h,51iを変位させて、ズームや、変倍等をすることができる。 [0031] Then, according to this embodiment, the leaf spring actuator thus the optical unit 13, by using a leaf spring actuator 1A of the optical unit 21, the three leaf springs actuator 1B, to displace the lens 51b, Alternatively, it is possible to lens 51h attached to the leaf spring actuator 1A and 1B, by displacing the 51i, zoom or zooming, and the like. なお、図4の実施例と同様に、本実施例においても図4の実施例とほぼ同様の電子回路が各板バネアクチュエータに接続されており、 Similar to the embodiment of FIG. 4, substantially the same electronic circuit as the embodiment of FIG. 4 also in this embodiment is connected to the plate spring actuator,
フォーカス、振れ防止、温湿度変化の補償、組立て誤差の補正等も同時にできるようになっている。 Focus, prevention runout compensation for changes in temperature and humidity, so that can be corrected or the like simultaneously of assembly errors. また、本実施例の光学ユニットを用いて構成された撮像光学系は、 The imaging optical system configured with the optical unit of the present embodiment,
図4の実施例の撮像光学系と同様にデジタルカメラ、フィルムカメラ、電子内視鏡、光ディスクのピックアップ光学系等にも用いることができる。 Figure 4 embodiment the imaging optical system as well as digital cameras, film cameras, electronic endoscopes, can be used to pick-up optical system and the like of the optical disc.

【0032】また、本実施例では、振れ補正をしやすくするために、レンズ51b,51cに偏心レンズを用いており、光軸方向(図のZ方向)にレンズ51bを移動させるだけで振れ補正ができるようになっている。 Further, in this embodiment, in order to facilitate the shake correcting lens 51b, and an eccentric lens 51c, just shake correction moving the lens 51b in the optical axis direction (Z direction in the drawing) so that the can. なお、図5中、53は、ズーム指示釦であり、使用者が押すと板バネアクチュエータ1A,1Bに取りつけられたレンズが所定方向に移動して撮影レンズ系のズーミングが行なわれるようになっている。 In FIG. 5, 53 is a zoom instruction button, so the leaf spring actuator 1A the user presses the lens attached to 1B are zooming of the shooting lens system moves in a predetermined direction is performed there. その他の回路構成は上述のように図4の実施例とほぼ同じである。 Other circuit configuration is almost the same as the embodiment of FIG. 4 as described above.

【0033】図6は本発明の光学ユニットの第5実施例を示す概略構成図である。 [0033] FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing a fifth embodiment of the optical unit of the present invention. 本実施例の光学ユニットは、 The optical unit of this embodiment,
1枚の固定電極を有する基板10と1枚の可動な板バネ状の電極を有する基板12とで構成された板バネアクチュエータ1の可動な板バネ状の電極を有する基板12に設けられた穴18に可変形状鏡54を取りつけて構成されている。 Hole formed in the substrate 12 having the movable plate-spring-like electrode substrate 10 and the leaf spring actuator 1, which is composed of a substrate 12 having a single movable leaf spring-shaped electrode having one fixed electrode It is constructed by attaching the deformable mirror 54 to the 18. また、図6においては、本実施例の光学ユニットに撮影レンズ56、固体撮像素子38を備えることで撮像装置が構成されている。 Further, in FIG. 6, the photographic lens 56 in the optical unit of the present embodiment, the imaging device by providing a solid-state imaging device 38 is configured. なお、図中、36'は可変形状鏡54の駆動回路であり、駆動回路36'は、可変形状鏡に設けられた電極に印加する電気的な力(電圧又は電流)を制御することで可変形状鏡54の反射面5 In the figure, 36 'is a drive circuit of the deformable mirror 54, driving circuit 36' is variable by controlling the electrical power (voltage or current) applied to the electrodes provided on the deformable mirror the reflecting surface of the deformable mirror 54 5
5を自在に変形させることができるようになっている。 So that the it can be freely deformed 5.

【0034】そして、本実施例の光学ユニットは、可変形状鏡54自体がその反射面55を変形させることで、 [0034] Then, the optical unit of the present embodiment, by the deformable mirror 54 itself deforms the reflection surface 55,
フォーカス、組立て誤差、製造誤差で生じた収差の補正等を主に行ない、板バネアクチュエータ1によって可変形状鏡54の傾斜角度を変えることで振れの補正を行ない、板バネアクチュエータ1によって可変形状鏡54のZ方向の位置を変えることでズーム、ズームに伴うピント移動の補償等を行なうようになっている。 Focus, assembling errors, mainly performs correction such aberrations occurring in the manufacturing errors, it performs correction of the shake by changing the inclination angle of the deformable mirror 54 by the leaf spring actuator 1, the deformable mirror 54 by the leaf spring actuator 1 zoom by changing the position in the Z direction, thereby performing the compensation for the focus movement caused by zooming. 可変形状鏡としては後述の例も利用可能である。 Examples below are as deformable mirror is also available. また、形状の変わらない可変焦点ミラーを用いてもよく、本願では、それらも可変形状鏡に含めるものとする。 Alternatively, it is also possible to use a variable focus mirror unchanged in shape, in this application, shall they be included in the deformable mirror.

【0035】本実施例の光学ユニットによれば、1つのユニットでもって、フォーカス、、ズーム、振れ防止等の多くの機能を実現することができる。 [0035] According to the optical unit of the present embodiment, it is possible to have in one unit, to realize the focus ,, zoom, a number of functions such as prevention shake. そして望遠鏡、 The telescope,
双眼鏡等の光学装置にも利用できる。 It can also be used in an optical apparatus such as binoculars. 更に、フォーカス、ズーム等の制御においては、公知の手段によって達成出来るメリットがある。 Furthermore, the focus, in the control of the zooming and the like, there is a merit that can be achieved by known means. 例えば、組み立て誤差によって発生する撮像素子38への撮影レンズ56の光軸ズレ、偏心、傾き等を光学素子の変位量に換算して初期値としてEEPROM等の記憶媒体に記憶させ、撮影時の温度センサー45、湿度センサー46、距離センサー4 For example, the optical axis shift of the imaging lens 56 to the imaging device 38 caused by assembly errors, eccentricity, by converting the slope or the like to the displacement of the optical element is stored in a storage medium such as an EEPROM as the initial value, the temperature at the time of shooting sensor 45, humidity sensor 46, a distance sensor 4
7、振れセンサー48からの光学素子の補正変位量を公知の手段によって加算制御することによってフォーカス、ズーム等の制御を達成することができる。 7, it is possible to achieve focus, the control of the zoom, etc. by adding controlled by known means the correction amount of displacement of the optical element from the deflection sensor 48.

【0036】次に、本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡の構成例について説明する。 [0036] Next, configuration examples of applicable the deformable mirror in the optical unit of the present invention.

【0037】図7は本発明の光学ユニットを適用した光学装置の他の実施例にかかる、光学特性ミラーを用いたデジタルカメラのケプラー式ファインダーの概略構成図である。 [0037] Figure 7 according to another embodiment of the optical device according to the optical unit of the present invention, is a schematic configuration diagram of a Keplerian finder of a digital camera using an optical characteristic mirror. もちろん、銀塩フィルムカメラにも使える。 Of course, it can also be used in a silver halide film camera. まず、光学特性可変形状鏡409について説明する。 First, a description will be given of an optical characteristic variable shape mirror 409.

【0038】光学特性可変形状鏡409は、アルミコーティングされた薄膜(反射面)409aと複数の電極4 The optical property deformable mirror 409, a thin film was coated with aluminum (reflective surface) 409a and a plurality of electrodes 4
09bからなる光学特性可変形状鏡(以下、単に可変形状鏡と言う。)であり、411は各電極409bにそれぞれ接続された複数の可変抵抗器、412は可変抵抗器411と電源スイッチ413を介して薄膜409aと電極409b間に接続された電源、414は複数の可変抵抗器411の抵抗値を制御するための演算装置、41 Optical property deformable mirror made of 09b (hereinafter, simply referred to as deformable mirror.), And 411 is a plurality of variable resistors connected respectively to the electrodes 409b, 412 is through a variable resistor 411 and a power switch 413 computing device for the power supplies connected in between the thin film 409a and the electrodes 409b, is 414 to control the resistance value of a plurality of variable resistors 411 Te, 41
5,416及び417はそれぞれ演算装置414に接続された温度センサー、湿度センサー及び距離センサーで、これらは図示のように配設されて1つの光学装置を構成している。 5,416 and the temperature sensor is connected to each arithmetic unit 414 417, a humidity sensor, and a range sensor, they constitute one optical apparatus is arranged as shown in the figure.

【0039】なお、対物レンズ902、接眼レンズ90 [0039] In addition, the objective lens 902, eyepiece lens 90
1、及び、プリズム404、二等辺直角プリズム40 1, and a prism 404, isosceles right prism 40
5、ミラー406及び可変形状鏡の各面は、平面でなくてもよく、球面、回転対称非球面の他、光軸に対して偏心した球面、平面、回転対称非球面、あるいは、対称面を有する非球面、対称面を1つだけ有する非球面、対称面のない非球面、自由曲面、微分不可能な点又は線を有する面等、いかなる形状をしていてもよく、さらに、反射面でも屈折面でも光に何らかの影響を与え得る面ならばよい。 5, each side of the mirror 406 and the deformable mirror may not be planar, spherical, other rotationally symmetric aspherical surface, spherical surface which is eccentric with respect to the optical axis, plane, rotationally symmetric aspherical surface, or a plane of symmetry aspherical, aspherical, no plane of symmetry aspherical having a plane of symmetry only one surface or the like having a free-form surface, nondifferentiable points or lines with, may have any shape, further, even by the reflecting surface or if the surface that can have some effect on the light in the refractive surface. 以下、これらの面を総称して拡張曲面という。 Hereinafter referred extended curved collectively these surfaces.

【0040】また、薄膜409aは、例えば、P.Rai-ch [0040] In addition, the thin film 409a is, for example, P.Rai-ch
oudhury編、Handbook of Michrolithography, Michroma oudhury eds., Handbook of Michrolithography, Michroma
chining and Michrofabrication, Volume 2:Michromach chining and Michrofabrication, Volume 2: Michromach
ining and Michrofabrication,P495,Fig.8.58, SPIE PR ining and Michrofabrication, P495, Fig.8.58, SPIE PR
ESS刊やOptics Communication, 140巻(1997年)P187〜 ESS published and Optics Communication, 140 Volume (1997) P187~
190に記載されているメンブレインミラーのように、複数の電極409bとの間に電圧が印加されると、静電気力により薄膜409aが変形してその面形状が変化するようになっており、これにより、観察者の視度に合わせたピント調整ができるだけでなく、さらに、レンズ90 As membrane mirror as described in 190, when the voltage between the plurality of electrodes 409b is applied, being adapted to the surface shape changes thin film 409a is deformed by electrostatic force, this Accordingly, not only can focus adjustment to suit the diopter of the observer, further, the lens 90
1,902及び/又はプリズム404、二等辺直角プリズム405、ミラー406の温度や湿度変化による変形や屈折率の変化、あるいは、レンズ枠の伸縮や変形及び光学素子、枠等の部品の組立誤差による結像性能の低下が抑制され、常に適正にピント調整並びにピント調整で生じた収差の補正が行われ得る。 1,902 and / or prism 404, isosceles right prism 405, variation of deformation and refractive index due to temperature or humidity change of the mirror 406, or stretching and deformation and the optical element of the lens frame, by the component of the assembly error of the frame, such as reduction of imaging performance is suppressed, always properly focus adjustment and correction of aberrations caused by focusing may be performed. なお、電極409bの形は、例えば図9、10に示すように、薄膜409aの変形のさせ方に応じて選べばよい。 Incidentally, the shape of the electrodes 409b, for example, as shown in FIGS. 9 and 10, it may be selected depending on the manner of deformation of the thin film 409a.

【0041】本実施例によれば、物体からの光は、対物レンズ902及びプリズム404の各入射面と射出面で屈折され、可変形状鏡409で反射され、プリズム40 According to the present embodiment, the light from the object is refracted by the entrance and exit surfaces of the objective lens 902 and the prism 404, it is reflected by the deformable mirror 409, the prism 40
4を透過して、二等辺直角プリズム405でさらに反射され(図7中、光路中の+印は、紙面の裏側へ向かって光線が進むことを示している。)、ミラー406で反射され、接眼レンズ901を介して眼に入射するようになっている。 4 is transmitted through the (in FIG. 7, the optical path of the + sign indicates that progresses rays toward the paper surface of the backside.) Isosceles right prism 405 further is reflected by the is reflected by the mirror 406, It is incident on the eye through the eyepiece 901. このように、レンズ901,902、プリズム404,405、及び、可変形状鏡409によって、 Thus, lenses 901 and 902, the prisms 404 and 405 and, by the deformable mirror 409,
本実施例の光学装置の観察光学系を構成しており、これらの各光学素子の面形状と肉厚を最適化することにより、物体面の収差を最小にすることができるようになっている。 Constitute an observation optical system of the optical device of the present embodiment, by optimizing the surface shape and thickness of each of these optical elements, thereby making it possible to aberrations of the object plane to a minimum .

【0042】すなわち、反射面としての薄膜409aの形状は、結像性能が最適になるように演算装置414からの信号により各可変抵抗器411の抵抗値を変化させることにより制御される。 [0042] That is, the shape of the thin film 409a as a reflecting surface is controlled by varying the resistance values ​​of the variable resistors 411 by signals from the arithmetical unit 414 to optimize imaging performance. すなわち、演算装置414 That is, the arithmetic unit 414
へ、温度センサー415、湿度センサー416及び距離サンサー417から周囲温度及び湿度並びに物体までの距離に応じた大きさの信号が入力され、演算装置414 To the temperature sensor 415, the signal corresponding to the distance from the humidity sensor 416, and the range sensor 417 to ambient temperature and humidity, as well as the object is inputted, the arithmetic unit 414
は、これらの入力信号に基づき周囲の温度及び湿度条件と物体までの距離による結像性能の低下を補償すべく、 , In order to compensate for the reduction in imaging performance due to temperature and humidity and the distance to surrounding objects based on these input signals,
薄膜409aの形状が決定されるような電圧を電極40 Electrode voltage such as the shape of the thin film 409a is determined 40
9bに印加するように、可変抵抗器411の抵抗値を決定するための信号を出力する。 As applied to 9b, and outputs a signal for determining the resistance of the variable resistor 411. このように、薄膜409 In this way, the thin film 409
aは電極409bに印加される電圧すなわち静電気力で変形させられるため、その形状は状況により非球面を含む様々な形状をとり、印加される電圧の極性を変えれば凸面とすることもできる。 Since a is to be deformed by voltage, that the electrostatic force is applied to the electrodes 409b, the shape take various shapes including an aspherical surface, according to circumstances, may be a convex surface when changing the polarity of the applied voltage. なお、距離センサー417はなくてもよく、その場合、固体撮像素子408からの像の信号の高周波成分が略最大になるように、デジタルカメラの撮像レンズ403を動かし、その位置から逆に物体距離を算出し、可変形状鏡を変形させて観察者の眼にピントが合うようにすればよい。 The distance sensor 417 may be omitted, in which case, as the high frequency component of an image signal from the solid-state image pickup device 408 becomes approximately maximum, moving the imaging lens 403 of the digital camera, the object distance backwards from the position is calculated, it is sufficient to focus is on the eye of the observer by deforming the deformable mirror.

【0043】また、薄膜409aをポリイミド等の合成樹脂で製作すれば、低電圧でも大きな変形が可能であるので好都合である。 [0043] Further, when manufacturing a thin film 409a of a synthetic resin such as polyimide, it is advantageous because even at a low voltage is possible large deformation. なお、プリズム404と可変形状鏡409を一体的に形成してユニット化することができる。 Incidentally, the prism 404 and the deformable mirror 409 may be unitized integrally formed.

【0044】また、図示を省略したが、可変形状鏡40 [0044] Although not shown, the deformable mirror 40
9の基板上に固体撮像素子408をリソグラフィープロセスにより一体的に形成してもよい。 It may be integrally formed by 9 solid-state image sensor 408 a lithographic process on a substrate.

【0045】また、レンズ901,902、プリズム4 Further, the lens 901 and 902, prism 4
04,405、ミラー406は、プラスチックモールド等で形成することにより任意の所望形状の曲面を用意に形成することができ、製作も簡単である。 04,405, the mirror 406 may be formed to provide a curved surface of any desired shape by a plastic molding or the like, manufacture is simple. なお、本実施例の撮像装置では、レンズ901,902がプリズム4 In the image pickup apparatus of this embodiment, the lens 901 and 902 is a prism 4
04から離れて形成されているが、レンズ901,90 Are formed away from 04, but the lens 901,90
2を設けることなく収差を除去することができるようにプリズム404,405、ミラー406、可変形状鏡4 The prisms 404 and 405 so as to be able to remove the aberration without providing 2, the mirror 406, the deformable mirror 4
09を設計すれば、プリズム404,405、可変形状鏡409は1つの光学ブロックとなり、組立が容易となる。 By designing the 09, the prisms 404 and 405, the deformable mirror 409 becomes a single optical block, and the assembly is facilitated. また、レンズ901,902、プリズム404,4 The lens 901 and 902, prism 404,4
05、ミラー406の一部あるいは全部をガラスで作製してもよく、このように構成すれば、さらに精度の良い撮像装置が得られる。 05, a portion of the mirror 406 or may be made a total of glass, with this configuration, the imaging device with a higher degree of accuracy is obtained.

【0046】なお、図7の例では、演算装置414、温度センサー415、湿度センサー416、距離センサー417を設け、温湿度変化、物体距離の変化等も可変形状鏡409で補償するようにしたが、そうではなくてもよい。 [0046] In the example of FIG. 7, the arithmetic unit 414, the temperature sensor 415, humidity sensor 416, a distance sensor 417 is provided, changes in temperature and humidity, but so as to compensate changes in the object distance in the deformable mirror 409 , it may not be the case. つまり、演算装置414、温度センサー415、 That is, the arithmetic unit 414, the temperature sensor 415,
湿度センサー416、距離センサー417を省き、観察者の視度変化のみを可変形状鏡409で補正するようにしてもよい。 Humidity sensor 416, the range sensor 417 may be eliminated and only the diopter change in the observer to correct the deformable mirror 409.

【0047】次に、可変形状鏡409の別の構成について述べる。 Next, we described another configuration of the deformable mirror 409.

【0048】図8は本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409の他の実施例を示しており、この実施例では、薄膜409aと電極409bとの間に圧電素子409cが介装されていて、これらが支持台423上に設けられている。 [0048] Figure 8 shows another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention, in this embodiment, the piezoelectric element 409c is interposed between the thin film 409a and the electrode 409b not, these are provided on the support base 423. そして、圧電素子409cに加わる電圧を各電極409b毎に変えることにより、圧電素子4 By varying the voltage applied to the piezoelectric element 409c for each electrode 409b, the piezoelectric element 4
09cに部分的に異なる伸縮を生じさせて、薄膜409 And cause partially different stretch to 09C, the thin film 409
aの形状を変えることができるようになっている。 Thereby making it possible to change the a of shape. 電極409bの形は、図9に示すように、同心分割であってもよいし、図10に示すように、矩形分割であってもよく、その他、適宜の形のものを選択することができる。 Configuration of the electrodes 409b, as shown in FIG. 9, may have a concentric division, as shown in FIG. 10, may be a rectangular division, other, it is possible to select an appropriate form .
図8中、424は演算装置414に接続された振れ(ブレ)センサーであって、例えばデジタルカメラの振れを検知し、振れによる像の乱れを補償するように薄膜40 In Figure 8, 424 denotes a connected shake (shake) sensor to the processing unit 414, for example, detects the shake of a digital camera, a thin film 40 so as to compensate for disturbance of the image due to shake
9aを変形させるべく、演算装置414及び可変抵抗器411を介して電極409bに印加される電圧を変化させる。 In order to deform the 9a, changing the voltage applied to the electrodes 409b through the arithmetical unit 414 and variable resistor 411. このとき、温度センサー415、湿度センサー4 At this time, the temperature sensor 415, the humidity sensor 4
16及び距離センサー417からの信号も同時に考慮され、ピント合わせ、温湿度補償等が行われる。 Signal 16 and the distance sensor 417 are taken into account simultaneously, and focusing and compensation for temperature and humidity are performed. この場合、薄膜409aには圧電素子409cの変形に伴う応力が加わるので、薄膜409aの厚さはある程度厚めに作られて相応の強度を持たせるようにするのがよい。 In this case, since the stress due to deformation of the piezoelectric element 409c is applied to the thin film 409a, it is preferable to allow the thickness of the thin film 409a made somewhat thick have strength accordingly.

【0049】図11は本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409のさらに他の実施例を示している。 [0049] Figure 11 illustrates yet another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention.
この実施例は、薄膜409aと電極409bの間に介置される圧電素子が逆方向の圧電特性を持つ材料で作られた2枚の圧電素子409c及び409c'で構成されている点で、図8に示された実施例とは異なる。 This embodiment, in that the piezoelectric element is Kai置 between the thin film 409a and the electrode 409b is formed in the opposite direction of the piezoelectric element two made of material having piezoelectric properties 409c and 409c ', FIG. 8 differs from the embodiment shown in. すなわち、圧電素子409cと409c'が強誘電性結晶で作られているとすれば、結晶軸の向きが互いに逆になるように配置される。 Specifically, when the piezoelectric elements 409c and 409c 'are made with ferroelectric crystals, the orientation of the crystal axes are arranged to be opposite to each other. この場合、圧電素子409cと409 In this case, the piezoelectric elements 409c and 409
c'は電圧が印加されると逆方向に伸縮するので、薄膜409aを変形させる力が図8に示した実施例の場合よりも強くなり、結果的にミラー表面の形を大きく変えることができるという利点がある。 c 'is because the stretch in the reverse direction when voltages are applied, becomes stronger than in the example of the force to deform the thin film 409a is shown in FIG. 8, it is possible to significantly change the shape of the resulting mirrored surface there is an advantage in that.

【0050】圧電素子409c,409c'に用いる材料としては、例えばチタン酸バリウム、ロッシエル塩、 The piezoelectric element 409c, as a material used for the 409c ', for example, barium titanate, Rosshieru salt,
水晶、電気石、リン酸二水素カリウム(KDP)、リン酸二水素アンモニウム(ADP)、ニオブ酸リチウム等の圧電物質、同物質の多結晶体、同物質の結晶、PbZ Quartz, tourmaline, potassium dihydrogenphosphate (KDP), ammonium dihydrogen phosphate (ADP), a piezoelectric material such as lithium niobate, polycrystals of the same material, the same material crystals, PBZ
rO 3とPbTiO 3の固溶体の圧電セラミックス、二フッ化ポリビニール(PVDF)等の有機圧電物質、上記以外の強誘電体等があり、特に有機圧電物質はヤング率が小さく、低電圧でも大きな変形が可能であるので、好ましい。 and rO 3 and PbTiO 3 solid solution piezoelectric ceramics, two organic piezoelectric substances such as fluoride polyvinyl (PVDF), there are ferroelectric, etc. other than the above, in particular organic piezoelectric material Young's modulus is small, large deformation even at a low voltage because it is possible, preferable. なお、これらの圧電素子を利用する場合、厚さを不均一にすれば、上記実施例において薄膜409aの形状を適切に変形させることも可能である。 In the case of using these piezoelectric elements, if their thicknesses are made uneven, it is also possible to properly deform the thin film 409a in the above embodiment.

【0051】また、圧電素子409c,409c'の材質としては、ポリウレタン、シリコンゴム、アクリルエラストマー、PZT、PLZT、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)等の高分子圧電体、シアン化ビニリデン共重合体、ビニリデンフルオライドとトリフルオロエチレンの共重合体等が用いられる。 [0051] Further, the piezoelectric element 409c, as the material of 409c ', polyurethane, silicone rubber, acrylic elastomer, PZT, PLZT, a polymeric piezoelectric material such as polyvinylidene fluoride (PVDF), vinylidene cyanide copolymer, vinylidene fluoride copolymers of ride and trifluoroethylene are used. 圧電性を有する有機材料や、圧電性を有する合成樹脂、圧電性を有するエラストマー等を用いると可変形状鏡面の大きな変形が実現できてよい。 And organic materials having piezoelectricity, synthetic resins having piezoelectricity, a large deformation of the surface of the deformable mirror elastomer having piezoelectricity may be realized.

【0052】なお、図8、12の圧電素子409cに電歪材料、例えば、アクリルエラストマー、シリコンゴム等を用いる場合には、圧電素子409cを別の基板40 [0052] Incidentally, FIG electrostrictive material on the piezoelectric element 409c of 8,12, for example, acrylic elastomer, in the case of using silicon rubber or the like, the piezoelectric element substrate of another 409c 40
9c−1と電歪材料409c−2を貼り合わせた構造にしてもよい。 9c-1 and may be combined structure attached electrostrictive material 409c-2.

【0053】図12は本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409のさらに他の実施例を示している。 [0053] Figure 12 illustrates yet another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention.
この実施例では、圧電素子409cが薄膜409aと電極409dとにより挟持され、薄膜409aと電極40 In this embodiment, the piezoelectric element 409c is sandwiched between the thin film 409a and the electrodes 409 d, the thin film 409a and the electrodes 40
9d間に演算装置414により制御される駆動回路42 Driving circuit is controlled by the arithmetic unit 414 between 9d 42
5を介して電圧が印加されるようになっており、さらにこれとは別に、支持台423上に設けられた電極409 5 are adapted to a voltage via a further alternatively, the electrode 409 provided on the support 423
bにも演算装置414により制御される駆動回路425 To b is controlled by the arithmetic unit 414 the drive circuit 425
を介して電圧が印加されるように構成されている。 And it is configured so that the voltage applied via the. したがって、この実施例では、薄膜409aは電極409d Thus, in this embodiment, the thin film 409a is the electrode 409d
との間に印加される電圧と電極409bに印加される電圧による静電気力とにより二重に変形され得、上記実施例に示した何れのものよりもより多くの変形パターンが可能であり、かつ、応答性も速いという利点がある。 Are possible more deformation patterns than that voltage and resulting deformed doubly by the electrostatic force by a voltage applied to the electrodes 409b, any shown in the above embodiments is applied between, and , there is an advantage that the response is quick.

【0054】そして、薄膜409a、電極409d間の電圧の符号を変えれば、可変形状鏡を凸面にも凹面にも変形させることができる。 [0054] Then, the thin film 409a, By changing the sign of the voltage between the electrodes 409 d, the deformable mirror can be deformed into a concave to convex. その場合、大きな変形を圧電効果で行ない、微細な形状変化を静電気力で行なってもよい。 In this case, a considerable deformation in the piezoelectric effect, while a slight shape change may be performed by the electrostatic force. また、凸面の変形には圧電効果を主に用い、凹面の変形には静電気力を主に用いてもよい。 Also, mainly using the piezoelectric effect the deformation of the convex surface may be mainly used the electrostatic force to the concave deformation. なお、電極4 The electrode 4
09dは電極409bのように複数の電極から構成されてもよい。 09d may be constructed as a plurality of electrodes like the electrodes 409b. この様子を図12に示した。 This state is shown in FIG. 12. なお、本願では、圧電効果と電歪効果、電歪をすべてまとめて圧電効果と述べている。 In the present application, it describes all of the piezoelectric effect and the electrostrictive effect, electrostriction. 従って、電歪材料も圧電材料に含むものとする。 Thus, also included in the piezoelectric material electrostrictive material.

【0055】図13は本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409のさらに他の実施例を示している。 [0055] Figure 13 illustrates yet another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention.
この実施例は、電磁気力を利用して反射面の形状を変化させ得るようにしたもので、支持台423の内部底面上には永久磁石426が、頂面上には窒化シリコン又はポリイミド等からなる基板409eの周縁部が載置固定されており、基板409eの表面にはアルミニウム等の金属コートで作られた薄膜409aが付設されていて、可変形状鏡409を構成している。 This embodiment is obtained by so may alter the shape of the reflecting surface by utilizing the electromagnetic force, the permanent magnet 426 is on the inner bottom surface of the support 423 is in on the top surface of silicon nitride, polyimide or the like the periphery of the substrate 409e made is mounted and fixed, on the surface of the substrate 409e thin film 409a made of a metal coating such as aluminum have been attached, it constitutes a deformable mirror 409. 基板409eの下面には複数のコイル427が配設されており、これらのコイル427はそれぞれ駆動回路428を介して演算装置4 The lower surface of the substrate 409e and the plurality of coils 427 are arranged, the arithmetic device the coils 427 through respective drive circuits 428 4
14に接続されている。 It is connected to the 14. したがって、各センサー41 Therefore, each sensor 41
5,416,417,424からの信号によって演算装置414において求められる光学系の変化に対応した演算装置414からの出力信号により、各駆動回路428 The output signals from the arithmetical unit 414 corresponding to changes of the optical system obtained at the arithmetical unit 414 by signals from 5,416,417,424, the drive circuits 428
から各コイル427にそれぞれ適当な電流が供給されると、永久磁石426との間に働く電磁気力で各コイル4 When proper electric currents are supplied to the coils 427 from the coil 4 by electromagnetic force with the permanent magnet 426
27は反発又は吸着され、基板409e及び薄膜409 27 are repelled or adsorbed, the substrate 409e and the thin film 409
aを変形させる。 Deforming the a.

【0056】この場合、各コイル427はそれぞれ異なる量の電流を流すようにすることもできる。 [0056] In this case, each coil 427 may be caused to flow through different amounts of current. また、コイル427は1個でもよいし、永久磁石426を基板40 Further, coil 427 may be one, the substrate 40 and the permanent magnets 426
9eに付設しコイル427を支持台423の内部底面側に設けるようにしてもよい。 May be provided coil 427 is attached to 9e on the inner bottom surface side of the support 423. また、コイル427はリソグラフィー等の手法で作るとよく、さらに、コイル42 The coil 427 may When making a technique of lithography or the like, the coil 42
7には強磁性体よりなる鉄心を入れるようにしてもよい。 It may be put ferromagnetic iron core 7.

【0057】この場合、薄膜コイル427の巻密度を、 [0057] In this case, the winding density of the thin film coil 427,
図14に示すように、場所によって変化させることにより、基板409e及び薄膜409aに所望の変形を与えるようにすることもできる。 As shown in FIG. 14, by changing the location, it is also possible to provide a desired modification in the substrate 409e and the thin film 409a. また、コイル427は1個でもよいし、また、これらのコイル427には強磁性体よりなる鉄心を挿入してもよい。 Further, coil 427 may be one or may be inserted ferromagnetic iron core in each of the coils 427.

【0058】図15は本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409のさらに他の実施例を示している。 [0058] Figure 15 illustrates yet another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention.
この実施例では、基板409eは鉄等の強磁性体で作られており、反射膜としての薄膜409aはアルミニウム等からなっている。 In this embodiment, the substrate 409e is made with a ferromagnetic such as iron, and the thin film 409a as a reflecting film is made with aluminum. この場合、薄膜コイルを設けなくてもすむから、構造が簡単で、製造コストを低減することができる。 In this case, since it is not necessary provided the thin film coil, the structure is simple, it is possible to reduce the manufacturing cost. また、電源スイッチ413を切換え兼電源開閉用スイッチに置換すれば、コイル427に流れる電流の方向を変えることができ、基板409e及び薄膜40 Further, if the power switch 413 is replaced with a changeover and power on-off switch, it is possible to change the direction of the current flowing through the coil 427, the substrate 409e and the thin film 40
9aの形状を自由に変えることができる。 The shape of 9a can be changed at will. 図16はこの実施例におけるコイル427の配置を示し、図17はコイル427の他の配置例を示しているが、これらの配置は、図13に示した実施例にも適用することができる。 Figure 16 shows the arrangement of coils 427 in this embodiment, although FIG. 17 shows another example of arrangement of the coils 427, these arrangements may be applied to the embodiment shown in FIG. 13.
なお、図18は、図13に示した実施例において、コイル427の配置を図17に示したようにした場合に適する永久磁石426の配置を示している。 Incidentally, FIG. 18, in the embodiment shown in FIG. 13 shows an arrangement of the permanent magnets 426 suitable for the case where as shown the arrangement of the coil 427 in FIG. 17. すなわち、図1 That is, FIG. 1
8に示すように、永久磁石426を放射状に配置すれば、図13に示した実施例に比べて、微妙な変形を基板409e及び薄膜409aに与えることができる。 As shown in 8, by disposing the permanent magnets 426 radially, can be given as compared with the embodiment shown in FIG. 13, a delicate deformation to the substrate 409e and the thin film 409a. また、このように電磁気力を用いて基板409e及び薄膜409aを変形させる場合(図13及び図15の実施例)は、静電気力を用いた場合よりも低電圧で駆動できるという利点がある。 Moreover, (the embodiment of FIGS. 13 and 15) In this way when deforming the substrate 409e and the thin film 409a with the electromagnetic force has the advantage that they can be driven at a lower voltage than the case where the electrostatic force is used.

【0059】以上いくつかの可変形状鏡の実施例を述べたが、ミラーの形を変形させるのに、図12の例に示すように、2種類以上の力を用いてもよい。 [0059] Having described the embodiments above some of the deformable mirror, to deform the shape of the mirror, as shown in the example of FIG. 12, may be used two or more kinds of forces. つまり静電気力、電磁力、圧電効果、磁歪、流体の圧力、電場、磁場、温度変化、電磁波等のうちから2つ以上を同時に用いて可変形状鏡を変形させてもよい。 That electrostatic force, electromagnetic force, piezoelectric effect, magnetostriction, pressure of the fluid, electric field, magnetic field, temperature change, or by deforming the deformable mirror using two or more simultaneously from among the electromagnetic waves. つまり2つ以上の異なる駆動方法を用いて光学特性可変光学素子を作れば、大きな変形と微細な変形とを同時に実現でき、精度の良い鏡面が実現できる。 That is, make the variable optical-property element with two or more different driving methods, can be realized a considerable deformation and a slight deformation at the same time, accurate mirror surface can be realized.

【0060】図19は本発明のさらに他の実施例に係る、光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409を用いた撮像系、例えば携帯電話のデジタルカメラ、カプセル内視鏡、電子内視鏡、パソコン用デジタルカメラ、PD [0060] Figure 19 is according to still another embodiment of the present invention, an imaging system using a deformable mirror 409 applicable to the optical unit, such as a mobile phone of a digital camera, a capsule endoscope, an electronic endoscope, PC digital camera, PD
A用デジタルカメラ等に用いられる撮像系の概略構成図である。 It is a schematic configuration diagram of an imaging system used in a digital camera or the like for A. 本実施例の撮像系は、可変形状鏡409と、レンズ902と、固体撮像素子408と、制御系103とで一つの撮像ユニット104を構成している。 Imaging system of this embodiment, the deformable mirror 409, the lens 902, the solid-state image sensor 408, to constitute a single image pickup unit 104 in the control system 103. 本実施例の撮像ユニット902では、レンズ102を通った物体からの光は可変形状鏡409で集光され、固体撮像素子408の上に結像する。 In the imaging unit 902 of this embodiment, light from an object passing through the lens 102 is condensed by the deformable mirror 409, it is imaged on the solid-state image sensor 408. 可変形状鏡409は、光学特性可変光学素子の一種であり、可変焦点ミラーとも呼ばれている。 The deformable mirror 409 is a kind of variable optical-property element and is also referred to as a variable focal-length mirror.

【0061】本実施例によれば、物体距離が変わっても可変形状鏡409を変形させることでピント合わせをすることができ、レンズをモータ等で駆動する必要がなく、小型化、軽量化、低消費電力化の点で優れている。 In accordance with the present embodiment, even if changed object distance can be focusing by deforming the deformable mirror 409, it is not necessary to drive a motor or the like of the lens, smaller, lighter, It is superior in terms of low power consumption.
また、撮像ユニット104は本発明の撮像系としてすべての実施例で用いることができる。 The imaging unit 104 can be used in all the examples as the imaging system of the present invention. また、可変形状鏡4 The variable shape mirror 4
09を複数用いることでズーム、変倍の撮像系、光学系を作ることができる。 09 Zoom by using a plurality of variable magnification of the imaging system, it is possible to make the optical system. なお、図19では、制御系103 In FIG. 19, the control system 103
にコイルを用いたトランスの昇圧回路を含む制御系の構成例を示している。 It shows an example of a control system which includes the boosting circuit of a transformer using coils in the. 特に積層型圧電トランスを用いると、小型化できてよい。 When a laminated piezoelectric transformer is particularly used, a compact design is achieved. 昇圧回路は本発明のすべての電気を用いる可変形状鏡、可変焦点レンズに用いることができるが、特に静電気力、圧電効果を用いる場合の可変形状鏡、可変焦点レンズに有用である。 Deformable mirror using all electrical booster circuit according to the present invention can be used in the variable focus lens, in particular electrostatic forces, the deformable mirror in the case of using the piezoelectric effect, useful in the variable focus lens.

【0062】図20は本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡のさらに他の実施例に係る、マイクロポンプ180で流体161を出し入れし、レンズ面を変形させる可変形状鏡188の概略構成図である。 [0062] Figure 20 is according to still another embodiment of the applicable the deformable mirror in the optical unit of the present invention, and out of fluid 161 in micro pump 180, a schematic diagram of a deformable mirror 188 to deform the lens surface it is. 本実施例によれば、レンズ面を大きく変形させることが可能になるというメリットがある。 According to this embodiment, there is a merit that it is possible to greatly deform the lens surface. マイクロポンプ180は、例えば、マイクロマシンの技術で作られた小型のポンプで、 Micropump 180, e.g., a small-sized pump fabricated by micromachining,
電力で動くように構成されている。 It is configured to move in power. 流体161は、透明基板163と、弾性体164との間に挟まれている。 Fluid 161 includes a transparent substrate 163 is sandwiched between the elastic member 164. マイクロマシンの技術で作られたポンプの例としては、熱変形を利用したもの、圧電材料を用いたもの、静電気力を用いたものなどがある。 As examples of pumps made by the micromachining technology, those utilizing thermal deformation, those using a piezoelectric material include those using electrostatic force.

【0063】図21は本発明の光学ユニットに適用可能なマイクロポンプの一実施例を示す概略構成図である。 [0063] Figure 21 is a schematic block diagram showing one embodiment of applicable micropump optical unit of the present invention.
本実施例のマイクロポンプ180では、振動板181は静電気力、圧電効果等の電気力により振動する。 In the micro pump 180 of the present embodiment, the diaphragm 181 is vibrated by the electrostatic force or the electric force such as a piezoelectric effect. 図21 Figure 21
では静電気力により振動する例を示しており、図21 In shows an example in which the vibrating plate is vibrated by the electrostatic force, 21
中、182,183は電極である。 In, 182, 183 is an electrode. また、点線は変形した時の振動板181を示している。 The dotted line shows the diaphragm 181 when deformed. 振動板181の振動に伴い、2つの弁184,185が開閉し、流体161 With the vibration of the diaphragm 181, two valves 184 and 185 open and close, fluid 161
を右から左へ送るようになっている。 It is adapted to send to the left from the right.

【0064】本実施例の可変形状鏡188では、反射膜189が流体161の量に応じて凹凸に変形することで、可変形状鏡として機能する。 [0064] In the deformable mirror 188 of this embodiment, the reflective film 189 is deformed into a concave or convex surface depending on the amount of fluid 161, which functions as a deformable mirror. 可変形状鏡188は流体161で駆動されている。 The deformable mirror 188 is driven by the fluid 161. 流体としては、シリコンオイル、空気、水、ゼリー、等の有機物、無機物を用いることができる。 The fluid can be used silicon oil, air, water, jelly, organic matter etc., the inorganic material.

【0065】なお、静電気力、圧電効果を用いた可変形状鏡、可変焦点レンズなどにおいては、駆動用に高電圧が必要になる場合がある。 [0065] Incidentally, the electrostatic force, the deformable mirror using a piezoelectric effect, in such a variable focus lens, a high voltage is sometimes required for drive. その場合には、例えば図18 In that case, for example, FIG. 18
に示すように、昇圧用のトランス、あるいは圧電トランス等を用いて制御系を構成するとよい。 As shown in, the boosting transformer or may constitute a control system using a piezoelectric transformer or the like. また、反射用の薄膜409aは、変形しない部分にも設けておくと、可変形状鏡の形状を干渉計等で測定する場合に、基準面として使うことができ便利である。 Further, the thin film 409a for reflecting, when also preferably provided in a portion which is not deformed, when measuring the shape of the deformable mirror in an interferometer, which is convenient can be used as a reference surface.

【0066】最後に、本発明で用いる用語の定義を述べておく。 [0066] Finally, it is noted definitions of terms used in the present invention.

【0067】光学装置とは、光学系あるいは光学素子を含む装置のことである。 [0067] The optical device is an apparatus including an optical system or an optical element. 光学装置単体で機能しなくてもよい。 It may not work in the optical apparatus alone. つまり、装置の一部でもよい。 In other words, it may be a part of the device.

【0068】光学装置には、撮像装置、観察装置、表示装置、照明装置、信号処理装置等が含まれる。 [0068] The optical device includes an imaging device, the observation device, a display device, an illumination device includes a signal processing device or the like.

【0069】撮像装置の例としては、フィルムカメラ、 [0069] Examples of the imaging device, a film camera,
デジタルカメラ、ロボットの眼、レンズ交換式デジタル一眼レフカメラ、テレビカメラ、動画記録装置、電子動画記録装置、カムコーダ、VTRカメラ、電子内視鏡等がある。 Digital camera, a robot's eye, the lens-interchangeable digital single-lens reflex camera, a television camera, video recorder, an electronic video recording device, a camcorder, VTR camera, or an electronic endoscope. デジカメ、カード型デジカメ、テレビカメラ、 Digital camera, card-type digital camera, television camera,
VTRカメラ、動画記録カメラなどはいずれも電子撮像装置の一例である。 Both VTR camera, video recording camera is an example of an electronic imaging device.

【0070】観察装置の例としては、顕微鏡、望遠鏡、 [0070] Examples of the observation device, a microscope, a telescope,
眼鏡、双眼鏡、ルーペ、ファイバースコープ、ファインダー、ビューファインダー等がある。 Glasses, binoculars, loupes, fiber scope, a finder, a viewfinder or the like.

【0071】表示装置の例としては、液晶ディスプレイ、ビューファインダー、ゲームマシン(ソニー社製プレイステーション)、ビデオプロジェクター、液晶プロジェクター、頭部装着型画像表示装置(head mo [0071] Examples of the display device, a liquid crystal display, a viewfinder, a game machine (manufactured by Sony Corporation PlayStation), a video projector, a liquid crystal projector, a head-mounted image display apparatus (head mo
unted display:HMD)、PDA(携帯情報端末)、携帯電話等がある。 unted display: HMD), PDA (portable information terminal), there is a mobile phone or the like.

【0072】照明装置の例としては、カメラのストロボ、自動車のヘッドライト、内視鏡光源、顕微鏡光源等がある。 [0072] Examples of the illumination device, a camera strobe, a headlight for cars, endoscopes light source, there is a microscope light source and the like.

【0073】信号処理装置の例としては、携帯電話、パソコン、ゲームマシン、光ディスクの読取・書込装置、 [0073] As an example of the signal processing device, a cellular phone, a personal computer, a game machine, an optical disc of the reading and writing apparatus,
光計算機の演算装置等がある。 An arithmetic unit for optical computers.

【0074】撮像素子は、例えばCCD、撮像管、固体撮像素子、写真フィルム等を指す。 [0074] image sensor refers to, for example, a CCD, a pickup tube, a solid-state image sensor, photographic film or the like. また、平行平面板はプリズムの1つに含まれるものとする。 Further, the plane-parallel plate is included in one of the prisms. 観察者の変化には、視度の変化を含むものとする。 The change of the viewer is intended to include changes in diopter. 被写体の変化には、 The change of the subject,
被写体となる物体距離の変化、物体の移動、物体の動き、振動、物体のぶれ等を含むものとする。 Change of object distance displacement of the object, the object motion, vibration, is intended to include an object shake or the like.

【0075】拡張曲面の定義は以下の通りである。 [0075] definition of an extended curved surface is as follows. 球面、平面、回転対称非球面のほか、光軸に対して偏心した球面、平面、回転対称非球面、あるいは対称面を有する非球面、対称面を1つだけ有する非球面、対称面のない非球面、自由曲面、微分不可能な点、線を有する面等、いかなる形をしていても良い。 Spherical, planar, other rotationally symmetric aspherical surface, spherical surface which is eccentric with respect to the optical axis, plane, aspheric surface having a rotationally symmetric aspheric surface or plane of symmetry, aspheric having plane of symmetry only one without a symmetry plane non spherical, free-form surface, not differentiable, surface or the like having a linear, may be in any form. 反射面でも、屈折面でも、光になんらかの影響を与えうる面ならば良い。 Be of a reflective surface, at refracting surface, it any surface which has some effect on the light. 本発明では、これらを総称して拡張曲面と呼ぶことにする。 In the present invention, it will be referred to as extended curved surface called collectively.

【0076】光学特性可変光学素子とは、可変焦点レンズ、可変形状鏡、面形状の変わる偏光プリズム、頂角可変プリズム、光偏向作用の変わる可変回折光学素子、つまり可変HOE,可変DOE等を含む。 [0076] The variable optical-property element includes a variable focus lens, a deformable mirror, a deflection prism whose surface profile is changed, the variable apex angle prism, a variable diffraction optical element that changes the function of light deflection, i.e. a variable HOE, or a variable DOE .

【0077】可変焦点レンズには、焦点距離が変化せず、収差量が変化するような可変レンズも含むものとする。 [0077] The variable focus lens focal length is not changed, but is also intended to include variable lens as the aberration amount changes. 可変形状鏡についても同様である。 The same applies to the deformable mirror. 要するに、光学素子で、光の反射、屈折、回折等の光偏向作用が変化しうるものを光学特性可変光学素子と呼ぶ。 In short, an optical element, reflection of light, refraction, those light deflection effect such as diffraction may vary called a variable optical-property element.

【0078】情報発信装置とは、携帯電話、固定式の電話、ゲームマシン、テレビ、ラジカセ、ステレオ等のリモコンや、パソコン、パソコンのキーボード、マウス、 [0078] The information transmission device, mobile phone, fixed phone, game machine, TV, radio cassette recorders, and remote control of stereo, etc., personal computer, computer keyboard, mouse,
タッチパネル等の何らかの情報を入力し、送信することができる装置を指す。 Type some information such as a touch panel, it refers to a device that can be transmitted. 撮像装置のついたテレビモニター、パソコンのモニター、ディスプレイも含むものとする。 With a TV monitor with the imaging device, a monitor of the personal computer, shall also include a display. 情報発信装置は、信号処理装置の中に含まれる。 Information transmission device is included in the signal processing apparatus.

【0079】以上説明したように、本発明の光学ユニットは、特許請求の範囲に記載された発明の他に、次に示すような特徴も備えている。 [0079] As described above, the optical unit of the present invention, in addition to the invention described in the claims, also provided with features as follows.

【0080】(1)板バネアクチュエータを用いた光学ユニットを用いた撮像装置、観察装置、電子撮像装置、 [0080] (1) an imaging device using the optical unit using a leaf spring actuator, observation device, an electronic imaging device,
内視鏡、デジタルカメラ、TVカメラ、ファインダー、 The endoscope, digital camera, TV camera, finder,
双眼鏡、携帯電話、PDA(パーソナルデジタルアシスタント)又はFMD(フェイスマウントディスプレイ)。 Binoculars, mobile phone, PDA (personal digital assistant) or FMD (face mounted display).

【0081】(2)振れセンサー、温度センサー、湿度センサー、距離センサー、視度センサーのいずれかを1 [0081] (2) fluctuation sensor, temperature sensor, humidity sensor, distance sensor, one of the diopter sensor 1
つ以上備えた請求項2に記載の光学ユニット。 One or more with the optical unit according to claim 2.

【0082】(3)板バネアクチュエータを用いて光軸方向の変換又は視野方向の変換を行うようにした光学ユニット。 [0082] (3) an optical unit to perform the conversion or sight conversion in the optical axis direction by using a leaf spring actuator.

【0083】(4)板バネアクチュエータと偏心光学系を用いて振れ補正、光軸方向の変換又は視野方向の変換を行うようにした光学装置。 [0083] (4) a leaf spring actuator and the eccentric optical system using a shake correction, an optical device to perform the conversion of the conversion or viewing direction of the optical axis direction.

【0084】(5)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いて同時に1つ以上の光学素子を駆動するようにした光学ユニット。 [0084] (5) at least an optical unit which is adapted to drive the one or more optical elements simultaneously using a single leaf spring actuator.

【0085】(6)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いた光学ユニット。 [0085] (6) an optical unit with at least one leaf spring actuator.

【0086】(7)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いた光学ユニットを用いた撮像装置、電子撮像装置、内視鏡、デジタルカメラ、TVカメラ、ファインダー、双眼鏡、顕微鏡、携帯電話、PDA(パーソナルデジタルアシスタント)、又はFMD(フェイスマウントディスプレイ)。 [0086] (7) at least an imaging device using the optical unit using a single leaf spring actuator, an electronic imaging device, an endoscope, a digital camera, TV camera, a finder, binoculars, microscopes, cellular phone, PDA (Personal Digital Assistant), or FMD (face mounted display).

【0087】(8)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いてズーム又は変倍を行うようにした光学ユニット。 [0087] (8) at least an optical unit to perform a zoom or magnification using a single leaf spring actuator.

【0088】(9)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いてズーム又は変倍と、フォーカスとを行うようにした光学ユニット。 [0088] (9) and the zoom or magnification using at least one leaf spring actuator, an optical unit to perform a focus.

【0089】(10)2つ以上の板バネアクチュエータを用いて光学素子を駆動するようにした光学ユニット。 [0089] (10) an optical unit which is adapted to drive the optical element by using two or more leaf springs actuator.

【0090】(11)2つ以上の板バネアクチュエータを用いて同時に1つ以上の光学素子を駆動するようにした光学ユニット。 [0090] (11) an optical unit which is adapted to drive the one or more optical elements simultaneously using two or more leaf springs actuator.

【0091】(12)2つ以上の板バネアクチュエータを用いた光学ユニット。 [0091] (12) an optical unit using two or more leaf springs actuator.

【0092】(13)2つ以上の板バネアクチュエータを用いた光学ユニットを用いた撮像装置、電子撮像装置、内視鏡、デジタルカメラ、TVカメラ、ファインダー、双眼鏡、顕微鏡、携帯電話、PDA(パーソナルデジタルアシスタント)、又はFMD(フェイスマウントディスプレイ)。 [0092] (13) An imaging device using the optical unit using two or more leaf springs actuators, electronic imaging device, an endoscope, a digital camera, TV camera, a finder, binoculars, microscopes, cellular phone, PDA (Personal digital assistant), or FMD (face mounted display).

【0093】(14)2つ以上の板バネアクチュエータを用いてズーム又は変倍を行うようにした光学ユニット。 [0093] (14) optical unit to perform a zoom or magnification using two or more leaf springs actuator.

【0094】(15)2つ以上の板バネアクチュエータを用いてズーム又は変倍と、フォーカスとを行うようにした光学ユニット。 [0094] (15) optical unit to perform a zooming or magnification, a focus by using two or more leaf springs actuator.

【0095】(16)板バネアクチュエータの可動電極を有する基板に可変形状鏡を備えた光学ユニット。 [0095] (16) an optical unit provided with a deformable mirror to a substrate having a movable electrode of the leaf spring actuator.

【0096】(17)上記(16)に記載の光学ユニットを用いた光学装置。 [0096] (17) an optical device using the optical unit according to the above (16).

【0097】(18)2つの固定電極を有する基板の間に可動電極を有する基板を配置した板バネアクチュエータを用いた光学ユニット。 [0097] (18) an optical unit using the leaf spring actuator arranged a substrate having a movable electrode between a substrate having two fixed electrodes.

【0098】(19)2つの固定電極を有する基板の間に可動電極を有する基板を配置した板バネアクチュエータを用いた光学ユニットを用いた撮像装置、電子撮像装置、内視鏡、デジタルカメラ、TVカメラ、ファインダー、双眼鏡、顕微鏡、携帯電話、PDA(パーソナルデジタルアシスタント)、又はFMD(フェイスマウントディスプレイ)。 [0098] (19) An imaging device using the optical unit using the leaf spring actuator arranged a substrate having a movable electrode between a substrate having two fixed electrodes, the electronic imaging device, an endoscope, a digital camera, TV camera, finder, binoculars, microscopes, mobile phone, PDA (personal digital assistant), or FMD (face mounted display).

【0099】(20)2つの固定電極を有する基板の間に可動電極を有する基板を配置した板バネアクチュエータを用いてフォーカス(物体の移動の補償)、振れ防止、組み立て誤差の補正、温度・湿度等の変化による光学系の変化の補償、変倍、ズーム、視度調整のうちの少なくとも1つ以上を行うようにした光学ユニット。 [0099] (20) (compensation of the moving object) focus using leaf spring actuator arranged a substrate having a movable electrode between a substrate having two fixed electrodes, vibration preventing, correcting the assembly errors, the temperature and humidity variation compensation of the change of the optical system by an equal, magnification, zoom, optical unit to perform at least one or more of the diopter adjustment.

【0100】(21)少なくとも1つの固定電極を有する基板と少なくとも1つの可動電極を有する基板とを備えた板バネアクチュエータと、前記少なくとも1つの可動電極を有する基板に取りつけられた光学系又は光学素子とを有し、前記板バネアクチュエータを介して前記光学系を構成する少なくとも一つの光学素子を変位させるようにした光学ユニット。 [0100] (21) at least one substrate having a fixed electrode and a leaf spring actuator including a substrate having at least one movable electrode, the at least one optical system or the optical element mounted on a substrate having a movable electrode It has the door, an optical unit which is adapted to displace the at least one optical element constituting the optical system via the leaf spring actuator.

【0101】(22)前記板バネアクチュエータが、2 [0102] (22) the leaf spring actuator 2
つの前記固定電極を有する基板と、該2つの前記固定電極を有する基板の間に配置された1つの前記可動電極を有する基板とを備えた上記(21)に記載の光学ユニット。 One of the a substrate having a fixed electrode, an optical unit according to (21) that includes a substrate having one of said movable electrode disposed between the substrate having the two of the fixed electrode.

【0102】(23)1つの前記固定電極を有する基板と1つの前記可動電極を有する基板とを備えた2組の板バネアクチュエータが、互いに前記可動電極を有する基板同士が向き合うように配置され、かつ、前記光学系が、前記2つの可動電極を有する基板に取りつけられている上記(21)に記載の光学ユニット。 [0102] (23) two pairs of leaf springs an actuator that includes a substrate having a substrate and one of said movable electrode having one of the fixed electrode is arranged so as to face a substrate each having a movable electrode to each other, and said optical system, an optical unit according to the above (21) which is attached to the substrate having the two movable electrodes.

【0103】(24)1つの固定電極を有する基板と1 [0103] (24) a substrate having one fixed electrode and one
つの可動電極を有する基板とを備えた板バネアクチュエータと、前記1つの可動電極を有する基板に取りつけられた前記光学素子とを有する上記(21)に記載の光学ユニット。 One of the leaf spring actuator and a substrate having a movable electrode, an optical unit according to (21) having said optical element mounted on the substrate having the one movable electrode.

【0104】(25)上記(21)〜(23)に記載の光学ユニットを用いた光学装置。 [0104] (25) an optical device using the optical unit according to the above (21) to (23).

【0105】(26)板バネアクチュエータを用いた光学装置。 [0105] (26) an optical device using a leaf spring actuator.

【0106】(27)板バネアクチュエータを用いてフォーカス(物体の移動の補償)、振れ防止、組み立て誤差の補正、温度・湿度等の変化による光学系の変化の補償、変倍、ズーム、視度調整のうちの少なくとも1つ以上を行うようにした光学装置。 [0106] (27) focusing using a leaf spring actuator (compensation of movement of the object), shake prevention, correction of assembly errors, compensation for the change in the optical system due to changes such as temperature and humidity, scaling, zoom, diopter optical device to perform at least one or more of the adjustment.

【0107】(28)振れセンサー、温度センサー、湿度センサー、距離センサー、視度センサーのいずれかを1つ以上備えた上記(27)に記載の光学装置。 [0107] (28) fluctuation sensor, temperature sensor, humidity sensor, distance sensor, optical device according to the above (27) comprising one or more of any of the diopter sensor.

【0108】(29)板バネアクチュエータを用いて光軸方向の変換又は視野方向の変換を行うようにした光学装置。 [0108] (29) optical device to perform the conversion or sight conversion in the optical axis direction by using a leaf spring actuator.

【0109】(30)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いて光学素子を駆動するようにした光学系。 [0109] (30) at least an optical system which is adapted to drive the optical element using a single leaf spring actuator.

【0110】(31)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いて同時に1つ以上の光学素子を駆動するようにした光学系。 [0110] (31) at least an optical system which is adapted to drive the one or more optical elements simultaneously using a single leaf spring actuator.

【0111】(32)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いた光学装置。 [0111] (32) an optical device using the at least one leaf spring actuator.

【0112】(33)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いた撮像装置、電子撮像装置、内視鏡、デジタルカメラ、TVカメラ、ファインダー、双眼鏡、顕微鏡、携帯電話、PDA(パーソナルデジタルアシスタント)、又はFMD(フェイスマウントディスプレイ)。 [0112] (33) at least an imaging device using one leaf spring actuator, an electronic imaging device, an endoscope, a digital camera, TV camera, a finder, binoculars, microscopes, cellular phone, PDA (personal digital assistant), or FMD (face-mounted display).

【0113】(34)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いてズーム又は変倍を行うようにした光学装置。 [0113] (34) optical device to perform the zooming or magnification using at least one leaf spring actuator.

【0114】(35)少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いてズーム又は変倍と、フォーカスとを行うようにした光学装置。 [0114] (35) optical device to perform the zooming or magnification, a focus using at least one leaf spring actuator.

【0115】(36)2つ以上の板バネアクチュエータを用いて光学素子を駆動するようにした光学系。 [0115] (36) an optical system which is adapted to drive the optical element by using two or more leaf springs actuator.

【0116】(37)2つ以上の板バネアクチュエータを用いて同時に1つ以上の光学素子を駆動するようにした光学系。 [0116] (37) an optical system which is adapted to drive the one or more optical elements simultaneously using two or more leaf springs actuator.

【0117】(38)2つ以上の板バネアクチュエータを用いた光学装置。 [0117] (38) The optical apparatus using two or more leaf springs actuator.

【0118】(39)2つ以上の板バネアクチュエータを用いた撮像装置、電子撮像装置、内視鏡、デジタルカメラ、TVカメラ、ファインダー、双眼鏡、顕微鏡、携帯電話、PDA(パーソナルデジタルアシスタント)、 [0118] (39) An imaging apparatus using two or more leaf springs actuators, electronic imaging device, an endoscope, a digital camera, TV camera, a finder, binoculars, microscopes, cellular phone, PDA (personal digital assistant),
又はFMD(フェイスマウントディスプレイ)。 Or FMD (face mounted display).

【0119】(40)2つ以上の板バネアクチュエータを用いてズーム又は変倍を行うようにした光学装置。 [0119] (40) optical device to perform the zooming or magnification using two or more leaf springs actuator.

【0120】(41)2つ以上の板バネアクチュエータを用いてズーム又は変倍と、フォーカスとを行うようにした光学装置。 [0120] (41) optical device to perform the zooming or magnification, a focus by using two or more leaf springs actuator.

【0121】(42)電磁気力を用いた板ばねアクチュエーター。 [0121] (42) leaf spring actuator using an electromagnetic force.

【0122】(43)永久磁石とコイルを有す上記(4 [0122] (43) above having a permanent magnet and a coil (4
2)に記載の板ばねアクチュエーター。 Leaf spring actuator according to 2).

【0123】(44)2組以上のコイルを有す上記(4 [0123] (44) above having a two or more sets of coils (4
2)に記載の板ばねアクチュエーター。 Leaf spring actuator according to 2).

【0124】(45)可動部材側にコイルを有し、該可動部材に光学素子を設けた上記(42)に記載の板ばねアクチュエーターを有する光学ユニット。 [0124] (45) having a coil on the movable member side, an optical unit having a leaf spring actuator according to the above (42) provided with optical elements to the movable member.

【0125】(46)可動部材側に永久磁石を有し、該可動部材に光学素子を設けた上記(42)に記載の板ばねアクチュエーターを有する光学ユニット。 [0125] (46) has a permanent magnet on the movable member side, an optical unit having a leaf spring actuator according to the above (42) provided with optical elements to the movable member.

【0126】(47)可動部材側にコイルを有し、固定部材側に永久磁石を有し該可動部材に光学素子を設けた上記(42)に記載の板ばねアクチュエーターを有する光学ユニット。 [0126] (47) having a coil on the movable member side, an optical unit having a leaf spring actuator according to the above (42) provided with optical elements to the movable member has a permanent magnet on the fixed member side.

【0127】(48)上記(42)〜(47)のいずれかに記載の板ばねアクチュエーターを有する光学ユニットを用いた光学装置。 [0127] (48) an optical device using the optical unit having a leaf spring actuator according to any one of the above (42) - (47).

【0128】(49)板ばねアクチュエーターが静電気力で駆動される請求項1〜3、上記(1)〜(41)のいずれかに記載の光学ユニット、あるいは光学装置あるいは光学系。 [0128] (49) according to claim 1 to 3, leaf spring actuator is driven by electrostatic force, (1) to the optical unit or optical device or optical system, according to any one of (41).

【0129】(50)板ばねアクチュエーターが電磁力で駆動される請求項1〜3、上記(1)〜(41)のいずれかに記載の光学ユニット、あるいは光学装置あるいは光学系。 [0129] (50) according to claim 1 to 3, leaf spring actuator is driven by electromagnetic force, the (1) to the optical unit or optical device or optical system, according to any one of (41).

【0130】 [0130]

【発明の効果】本発明によれば、フォーカス、ズーム、 According to the present invention, focus, zoom,
振れ防止等を行なうために光学素子を変位させるときの消費電力が小さく、応答速度が速く高精度な光学性能を達成することができる。 Small power consumption when displacing the optical element to perform the prevention runout, it is possible to achieve high-accuracy optical performance response speed.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の光学ユニットに用いられる板バネアクチュエータの基本構成を示す図であり、(a)は分解斜視図、(b)は板バネ部の平面図、(c)は板バネ部の変形状態を示す状態説明図である。 [1] is a diagram showing a basic configuration of a leaf spring actuator used in the optical unit of the invention, (a) is an exploded perspective view, (b) is a plan view of the leaf spring portion, (c) the plate spring portion it is a state diagram showing a deformed state of.

【図2】本発明の光学ユニットの第1実施例を示す概略構成図である。 2 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of an optical unit of the present invention.

【図3】本発明の光学ユニットの第2実施例を示す概略構成図である。 Figure 3 is a schematic diagram showing a second embodiment of the optical unit of the present invention.

【図4】本発明の光学ユニットの第3実施例を示す概略構成図である。 Is a schematic diagram showing a third embodiment of the optical unit of the present invention; FIG.

【図5】本発明の光学ユニットの第4実施例を示す概略構成図である。 5 is a schematic block diagram showing a fourth embodiment of the optical unit of the present invention.

【図6】本発明の光学ユニットの第5実施例を示す概略構成図である。 6 is a schematic configuration diagram showing a fifth embodiment of the optical unit of the present invention.

【図7】本発明の光学ユニットを適用した光学装置の他の実施例にかかる、光学特性ミラーを用いたデジタルカメラのケプラー式ファインダーの概略構成図である。 According to another embodiment of the optical device according to the optical unit of the present invention; FIG is a schematic diagram of a Keplerian finder of a digital camera using an optical characteristic mirror.

【図8】本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409の他の実施例を示す概略構成図である。 8 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention.

【図9】図8の実施例の可変形状鏡に用いる電極の一形態を示す説明図である。 9 is an explanatory view showing an embodiment of electrode used in the deformable mirror of the embodiment of FIG.

【図10】図8の実施例の可変形状鏡に用いる電極の他の形態を示す説明図である。 10 is an explanatory view showing another embodiment of the electrodes used in the deformable mirror of the embodiment of FIG.

【図11】本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409のさらに他の実施例を示す概略構成図である。 11 is a schematic configuration diagram showing still another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention.

【図12】本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409のさらに他の実施例を示す概略構成図である。 12 is a schematic configuration diagram showing still another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention.

【図13】本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409のさらに他の実施例を示す概略構成図である。 13 is a schematic configuration diagram showing still another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention.

【図14】図13の実施例における薄膜コイル427の巻密度の状態を示す説明図である。 14 is an explanatory diagram showing a state of winding density of the thin-film coil 427 in the embodiment of FIG. 13.

【図15】本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409のさらに他の実施例を示す概略構成図である。 15 is a schematic configuration diagram showing still another embodiment of the deformable mirror 409 applicable to the optical unit of the present invention.

【図16】図15の実施例におけるコイル427の一配置例を示す説明図である。 Is an explanatory view showing an example of arrangement of the coil 427 in the embodiment of FIG. 16 FIG. 15.

【図17】図15の実施例におけるコイル427の他の配置例を示す説明図である。 It is an explanatory view showing another arrangement example of the coil 427 in the embodiment of FIG. 17 FIG. 15.

【図18】図13に示した実施例において、コイル42 In the embodiment shown in FIG. 18 FIG. 13, the coil 42
7の配置を図17に示したようにした場合に適する永久磁石426の配置を示す説明図である。 7 arrangement of is an explanatory diagram showing an arrangement of the permanent magnets 426 suitable for the case where as shown in FIG. 17.

【図19】本発明のさらに他の実施例に係る、光学ユニットに適用可能な可変形状鏡409を用いた撮像系、例えば携帯電話のデジタルカメラ、カプセル内視鏡、電子内視鏡、パソコン用デジタルカメラ、PDA用デジタルカメラ等に用いられる撮像系の概略構成図である。 [19] according to another embodiment of the present invention, an imaging system using a deformable mirror 409 applicable to the optical unit, for example, mobile phone digital camera, a capsule endoscope, an electronic endoscope, for PC digital cameras, is a schematic configuration diagram of an imaging system used in PDA for digital cameras and the like.

【図20】本発明の光学ユニットに適用可能な可変形状鏡のさらに他の実施例に係る、マイクロポンプ180で流体161を出し入れし、レンズ面を変形させる可変形状鏡188の概略構成図である。 According to another embodiment of the applicable the deformable mirror in the optical unit of Figure 20 the present invention, and out of fluid 161 in micro pump 180, it is a schematic diagram of a deformable mirror 188 to deform the lens surface .

【図21】本発明の光学ユニットに適用可能なマイクロポンプの一実施例を示す概略構成図である。 21 is a schematic block diagram showing one embodiment of applicable micropump optical unit of the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1,1A,1B 板バネアクチュエータ 10,11 固定電極を有する基板 12,12A,12B 可動電極を有する基板 12a 枠部材 12b 梁部材 13,21,31 光学ユニット 14 薄板状部材(光学素子支持部) 15 制御電極 16,17,18,17A,18A,17B,18B 1, 1A, 1B plate spring actuator 10,11 substrate 12,12A having a fixed electrode, the substrate 12a frame member 12b Beams 13,21,31 optical unit 14 thin plate member having a 12B movable electrode (optical element support part) 15 control electrode 16,17,18,17A, 18A, 17B, 18B
穴 19 光学系 32 撮像光学系 33a,33b,33c,33d,33e,33f,3 Hole 19 optical system 32 imaging optical system 33a, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f, 3
3g,33h,51a,51d,51e,51f,51 3g, 33h, 51a, 51d, 51e, 51f, 51
g,51h,51i,102 レンズ 34 絞り 35 電子回路 36 駆動回路 36' 可変形状鏡の駆動回路 37 制御回路 38,408 固体撮像素子 41 可変抵抗器 44 演算装置 45,415 温度センサー 46,416 湿度センサー 47,417 距離センサー 48,424 振れセンサー 50 撮像装置 51b,51c (偏心)レンズ 53 ズーム指示釦 54,188 可変形状鏡 55 反射面 56 撮影レンズ 103 制御系 104 撮像ユニット 160,180 マイクロポンプ 161 流体 163 透明基板 164 弾性体 181 振動板 182,183,409b,409d 電極 184,185 弁 189 反射膜 403 撮像レンズ 404 プリズム 405 二等辺直角プリズム 406 ミラー 409 光学特性可変形状鏡 409a 薄 g, 51h, 51i, 102 lens 34 aperture 35 electronic circuit 36 ​​driving circuit 36 ​​'deformable mirror drive circuit 37 control circuit 38,408 solid-state imaging device 41 a variable resistor 44 computing device 45,415 Temperature sensor 46,416 humidity sensor 47,417 distance sensor 48,424 shake sensor 50 imaging device 51b, 51c (eccentric) lens 53 zoom instruction button 54,188 deformable mirror 55 reflecting surface 56 taking lens 103 control system 104 imaging unit 160 and 180 micro-pumps 161 fluid 163 transparent substrate 164 elastic body 181 diaphragm 182,183,409b, 409d electrodes 184 and 185 valve 189 reflective film 403 imaging lens 404 prism 405 isosceles right prism 406 mirror 409 optical property deformable mirror 409a thin 膜 409c,409c' 圧電素子 409c−1,409e 基板 409c−2 電歪材料 411 可変抵抗器 412 電源 413 電源スイッチ 414 演算装置 423 支持台 425,428 駆動回路 426 永久磁石 427 コイル 901 接眼レンズ 902 対物レンズ Film 409c, 409c 'piezoelectric elements 409c-1,409e substrate 409c-2 electrostrictive material 411 a variable resistor 412 Power 413 Power switch 414 computing device 423 support table 425,428 driving circuit 426 permanent magnet 427 the coil 901 eyepiece 902 objective lens

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl. 7識別記号 FI テーマコート゛(参考) H04N 5/232 H04N 5/232 E Z 101:00 // H04N 101:00 G02B 7/04 E (72)発明者 中根 毅 東京都渋谷区幡ヶ谷2丁目43番2号 オリ ンパス光学工業株式会社内 Fターム(参考) 2H018 BB01 2H043 AA06 AA08 AA20 AA25 2H044 BE01 BE07 BE09 5C022 AB21 AB55 AB66 AC41 AC51 AC78 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (51) Int.Cl 7 identification mark FI theme Court Bu (reference) H04N 5/232 H04N 5/232 E Z 101 :. 00 // H04N 101: 00 G02B 7/04 E (72) inventor Takeshi Nakane Shibuya-ku, Tokyo Hatagaya 2-chome No. 43 No. 2 Olympus optical industry Co., Ltd. in the F-term (reference) 2H018 BB01 2H043 AA06 AA08 AA20 AA25 2H044 BE01 BE07 BE09 5C022 AB21 AB55 AB66 AC41 AC51 AC78

Claims (3)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 板バネアクチュエータを用いた光学ユニット。 1. A optical unit using the leaf spring actuator.
  2. 【請求項2】 板バネアクチュエータを用いてフォーカス(物体の移動の補償)、振れ防止、組み立て誤差の補正、温度・湿度等の変化による光学系の変化の補償、変倍、ズーム、視度調整のうちの少なくとも1つ以上を行うようにした光学ユニット。 2. A focus using a leaf spring actuator (compensation of movement of the object), shake prevention, correction of assembly errors, compensation for the change in the optical system due to changes such as temperature and humidity, scaling, zoom, diopter adjustment optical unit to perform at least one or more of.
  3. 【請求項3】 少なくとも1つの板バネアクチュエータを用いて光学素子を駆動するようにした光学ユニット。 Wherein the optical unit which is adapted to drive the optical element using at least one leaf spring actuator.
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