JP2002216447A - Magnetic head device and magnetic recording/reproducing device - Google Patents
Magnetic head device and magnetic recording/reproducing deviceInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド装置及
び磁気記録再生装置に関する。The present invention relates to a magnetic head device and a magnetic recording / reproducing device.
【0002】[0002]
【従来の技術】浮上型磁気ディスク装置において、磁気
ヘッド支持構造は、磁気ヘッドをジンバルに取り付けた
ヘッド.ジンバル組立体(Head Gimbal Assembly、以下
HGAと称する)、HGAをアームに取り付けたヘッ
ド.アーム組立体(Head Arm Assembly、以下HAAと
称する)、及び、複数のHAAをスタックしたヘッド.
スタック組立体(Head Stack Assembly、以下HSAと
称する)の3つの態様に分けられる。2. Description of the Related Art In a floating magnetic disk drive, a magnetic head supporting structure is a head having a magnetic head mounted on a gimbal. Gimbal assembly (Head Gimbal Assembly, hereinafter referred to as HGA), head with HGA attached to arm. An arm assembly (hereinafter referred to as HAA), and a head in which a plurality of HAAs are stacked.
A stack assembly (Head Stack Assembly, hereinafter referred to as HSA) can be divided into three modes.
【0003】上述したHGA、HAA及びHSAを得る
場合、従来は、HGAの部分に磁気ヘッドを取り付けた
後、磁気ヘッドの取出電極と、タブテープ等で構成され
た可撓性リード線の金属接続片との間を、金ボールボン
ディグ等によって接続していた。この後、HGA、HA
A及びHSAの状態で、磁気ヘッドの特性、例えば書き
込み特性、及び、再生特性等の測定が行われる。In the case of obtaining the above-mentioned HGA, HAA and HSA, conventionally, after a magnetic head is attached to the HGA portion, an extraction electrode of the magnetic head and a metal connecting piece of a flexible lead made of a tab tape or the like are conventionally used. Was connected by a gold ball bondig or the like. After this, HGA, HA
In the states A and HSA, the characteristics of the magnetic head, for example, the write characteristics and the read characteristics are measured.
【0004】しかし、従来の金ボールボンディングの場
合、ヘッド支持体及び磁気ヘッドの取り付け面を基準に
して、その斜め方向からの押圧力が磁気ヘッドに加わる
ので、磁気ヘッドが取り付け面に対して傾斜してしま
い、ピッチ角及びロール角等の静止姿勢角、更には、荷
重が、修正できない領域まで変化してしまうことがあっ
た。However, in the case of conventional gold ball bonding, a pressing force is applied to the magnetic head obliquely with respect to the mounting surface of the head support and the magnetic head, so that the magnetic head is inclined with respect to the mounting surface. As a result, the static attitude angles such as the pitch angle and the roll angle, and further, the load may change to an uncorrectable region.
【0005】斜め押圧力は、ヘッド支持体にも加わるの
で、ヘッド支持体に機械的歪み、または、変形を生じ、
静止姿勢角の変動、荷重の変動などを招くという問題も
あった。ヘッド支持体に機械的歪みが生じた場合、磁気
ヘッドがその影響を受け、空気ベアリング面(ABS
面)がクラウン状に変化してしまうことがある。このよ
うなABS面の変形は、ヘッドクラッシュ、磁気ディス
クの損傷、それに起因する磁気記録破壊の原因となる。[0005] Since the oblique pressing force is also applied to the head support, mechanical distortion or deformation occurs in the head support,
There has also been a problem that fluctuations in the static attitude angle, loads and the like are caused. If mechanical distortion occurs in the head support, the magnetic head is affected and the air bearing surface (ABS)
Surface) may change into a crown shape. Such deformation of the ABS surface causes head crash, damage to the magnetic disk, and destruction of magnetic recording due to the crash.
【0006】磁気ヘッド装置に上述したような問題点が
あった場合、そのままでは出荷できないことは当然であ
る。そのような場合、不良品扱いにすることは、磁気ヘ
ッドを取り付けた高価なHGA、HAA及びHSAの廃
棄及び組立コストを無にすることを意味し、大きな損失
となる。If the magnetic head device has the above-described problems, it cannot be shipped as it is. In such a case, treating as a defective product means eliminating disposal and assembly costs of expensive HGA, HAA, and HSA to which the magnetic head is attached, resulting in a large loss.
【0007】別の従来技術として、最近、磁気ヘッドの
取出電極と、タブテープ等で構成されたリード線との間
を半田によって接続する技術が提案されている。例え
ば、特開平7ー320434号公報は、この範疇に入る
スライダ.サスペンション.アセンブリの製造方法を開
示している。この先行技術では、各終端パッド及び各コ
ンタクト.パッドに、半田バンプを形成し、半田バンプ
を平坦化する。次に、終端パッドがコンタクト.パッド
と、適切に位置合わせされるように、スライダをサスペ
ンションに取り付ける。次に、半田バンプを加熱して、
終端パッドとコンタクトパッドのバンプとをリフローさ
せて電気的に接続する。As another conventional technique, a technique has recently been proposed in which a lead electrode formed of a magnetic head and a lead wire made of a tab tape or the like are connected by soldering. For example, JP-A-7-320434 discloses a slider. suspension. A method of manufacturing an assembly is disclosed. In this prior art, each termination pad and each contact. A solder bump is formed on the pad, and the solder bump is flattened. Next, the termination pad is the contact. Attach the slider to the suspension so that it is properly aligned with the pad. Next, heat the solder bumps,
The terminal pads and the bumps of the contact pads are reflowed and electrically connected.
【0008】この先行技術では、終端パッドとコンタク
トパッドに、半田バンプを形成しなければならないの
で、スライダ及び可撓性リード線の両者において、半田
バンプを形成するための半田蒸着、半田めっきまたは半
田印刷等の工程を付加する必要があり、工程数の増加、
及び、コストアップを招く。In this prior art, since solder bumps must be formed on the termination pad and the contact pad, solder evaporation, solder plating, or soldering for forming the solder bumps is performed on both the slider and the flexible lead wire. It is necessary to add processes such as printing, which increases the number of processes,
In addition, the cost is increased.
【0009】また、半田だけによる接合であるために、
半田接合条件によっては、サスペンションに対するスラ
イダの接合強度が不充分になることもある。Also, since the joining is performed only by solder,
Depending on the soldering conditions, the bonding strength of the slider to the suspension may be insufficient.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、磁気
ヘッド装置の組立工程において、静止姿勢角及び荷重の
変動を回避し得る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置
を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetic head device and a magnetic recording / reproducing apparatus which can avoid fluctuations in a static attitude angle and a load in a process of assembling the magnetic head device.
【0011】本発明のもう一つの課題は、磁気ヘッド装
置の組立工程において、スライダ形状の変化を回避し得
る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置を提供すること
である。Another object of the present invention is to provide a magnetic head device and a magnetic recording / reproducing device capable of avoiding a change in a slider shape in a process of assembling the magnetic head device.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明は、2つの態様に係る磁気ヘッドを開示す
る。第1の態様に係る磁気ヘッド装置は、ヘッド支持体
と、磁気ヘッドとを含む。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention discloses magnetic heads according to two aspects. A magnetic head device according to a first aspect includes a head support and a magnetic head.
【0013】前記ヘッド支持体は、ヘッド取り付け部
と、絶縁された配線とを有し、前記配線の端部電極が前
記ヘッド取り付け部の付近に露出している。The head support has a head mounting portion and insulated wiring, and an end electrode of the wiring is exposed near the head mounting portion.
【0014】前記磁気ヘッドは、スライダと、取出電極
と、金属接続片とを含んでいる。前記取出電極は、前記
スライダの側端面に備えられる。前記金属接続片は、線
状突出部を有し、前記取出電極に付着され、前記線状突
出部が、前記スライダの前記端面から突出する。The magnetic head includes a slider, an extraction electrode, and a metal connecting piece. The extraction electrode is provided on a side end surface of the slider. The metal connecting piece has a linear protrusion and is attached to the extraction electrode, and the linear protrusion protrudes from the end surface of the slider.
【0015】前記磁気ヘッドは、前記スライダが前記ヘ
ッド支持体の前記ヘッド取り付け部に固定され、前記金
属接続片の前記線状突出部が前記ヘッド支持体の前記配
線の端部電極に、導電接合材によって接続される。In the magnetic head, the slider is fixed to the head mounting portion of the head support, and the linear projection of the metal connecting piece is electrically connected to an end electrode of the wiring of the head support. Connected by materials.
【0016】ここで、本発明に係る磁気ヘッド装置にお
いて、磁気ヘッドは、金属接続片を備えており、金属接
続片は、線状突出部を有し、スライダの側端面に備えら
れた取出電極に付着されている。Here, in the magnetic head device according to the present invention, the magnetic head includes a metal connecting piece, the metal connecting piece has a linear projection, and an extraction electrode provided on a side end surface of the slider. Is attached to.
【0017】この接合構造によれば、金属接続片の線状
突出部と、端部電極とを導電性接合材により接続する
際、線状突出部の上から端部電極に導電性接合材を供給
すればよいから、磁気ヘッドに対し、ヘッド支持体及び
磁気ヘッドの取り付け面を基準にして、その斜め方向か
ら押圧力が加わるのを回避することができる。従って、
スライダがヘッド支持体から浮き上がるのを回避し、ピ
ッチ角及びロール角の変化を最小にすことができる。According to this bonding structure, when the linear protrusion of the metal connecting piece and the end electrode are connected by the conductive bonding material, the conductive bonding material is applied to the end electrode from above the linear protrusion. Since it is sufficient to supply the magnetic head, it is possible to avoid applying a pressing force to the magnetic head obliquely with respect to the mounting surface of the head support and the magnetic head. Therefore,
It is possible to prevent the slider from floating from the head support and minimize the change in pitch angle and roll angle.
【0018】同様の理由により、ヘッド支持体に機械的
歪みが生じるのを抑制できるので、ヘッド支持体の機械
的歪みによる静止姿勢角の変動、荷重の変動を最小にす
ることができる。ヘッド支持体の機械的歪みを最小にす
ることができるので、磁気ヘッドのABS面がクラウン
状に変化するのを回避できる。従って、ABS面の変形
に起因するヘッドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及
び、磁気記録破壊を回避できる。For the same reason, it is possible to suppress the mechanical distortion of the head support, so that the variation of the static attitude angle and the variation of the load due to the mechanical distortion of the head support can be minimized. Since the mechanical distortion of the head support can be minimized, the ABS of the magnetic head can be prevented from changing in a crown shape. Therefore, it is possible to avoid head crash, damage to the magnetic disk, and destruction of magnetic recording due to deformation of the ABS.
【0019】第2の態様に係る磁気ヘッド装置は、ヘッ
ド支持体と、磁気ヘッドと、可撓性配線基板とを含む。
前記ヘッド支持体は、ヘッド取り付け部を有する。前記
磁気ヘッドは、スライダと、取出電極とを含み、前記取
出電極が前記スライダの側端面に備えられ、前記スライ
ダが前記ヘッド支持体の前記ヘッド取り付け部に固定さ
れている。A magnetic head device according to a second aspect includes a head support, a magnetic head, and a flexible wiring board.
The head support has a head mounting portion. The magnetic head includes a slider and an extraction electrode, the extraction electrode is provided on a side end surface of the slider, and the slider is fixed to the head mounting portion of the head support.
【0020】前記可撓性配線基板は、絶縁フィルムと、
配線と、金属接続片とを含む。前記絶縁フィルムは、可
撓性を有する。前記配線は、前記絶縁フィルムの内部に
埋設され、端部が前記絶縁フィルムの一面から外部に露
出している。The flexible wiring board comprises: an insulating film;
Includes wiring and metal connection pieces. The insulating film has flexibility. The wiring is embedded inside the insulating film, and an end is exposed from one surface of the insulating film to the outside.
【0021】前記金属接続片は、線状突出部を有し、前
記端部に付着され、前記線状突出部が前記絶縁フィルム
の前記一面から突出している。The metal connecting piece has a linear protrusion, and is attached to the end, and the linear protrusion protrudes from the one surface of the insulating film.
【0022】前記可撓性配線基板は、前記ヘッド支持体
に付着され、前記金属接続片の前記線状突出部が、前記
磁気ヘッドの前記取出電極に、導電接合材によって接続
されている。The flexible wiring board is attached to the head support, and the linear protrusion of the metal connection piece is connected to the extraction electrode of the magnetic head by a conductive bonding material.
【0023】上述したように、第2の態様に係る磁気ヘ
ッド装置において、可撓性配線基板は、金属接続片を備
えており、金属接続片は、線状突出部を有し、前記金属
接続片の前記線状突出部が前記磁気ヘッドの前記取出電
極に、導電接合材によって接続される。As described above, in the magnetic head device according to the second aspect, the flexible wiring board includes the metal connection pieces, and the metal connection pieces have the linear protrusions. The linear protrusion of the piece is connected to the extraction electrode of the magnetic head by a conductive bonding material.
【0024】この接合構造によっても、磁気ヘッドに対
し、の斜め方向からの押圧力が加わるのを回避すること
ができる。このため、スライダがヘッド支持体から浮き
上がるのを回避し、ピッチ角及びロール角の変化を最小
にすことができる。According to this joining structure, it is possible to avoid applying a pressing force to the magnetic head from an oblique direction. Therefore, it is possible to prevent the slider from floating from the head support, and to minimize the change in the pitch angle and the roll angle.
【0025】同様の理由により、ヘッド支持体に機械的
歪みが生じるのを抑制できるので、ヘッド支持体の機械
的歪みによる静止姿勢角の変動、荷重の変動を最小にす
ることができる。ヘッド支持体の機械的歪みを最小にす
ることができるので、磁気ヘッドのABS面がクラウン
状に変化するのを回避できる。従って、ABS面の変形
に起因するヘッドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及
び、磁気記録破壊を回避できる。For the same reason, it is possible to suppress the occurrence of mechanical distortion in the head support. Therefore, it is possible to minimize the fluctuation of the static attitude angle and the fluctuation of the load due to the mechanical distortion of the head support. Since the mechanical distortion of the head support can be minimized, the ABS of the magnetic head can be prevented from changing in a crown shape. Therefore, it is possible to avoid head crash, damage to the magnetic disk, and destruction of magnetic recording due to deformation of the ABS.
【0026】本発明の他の目的、構成及び利点について
は、添付図面を参照して、更に具体的に説明する。図
は、単なる例示に過ぎない。Other objects, configurations and advantages of the present invention will be described more specifically with reference to the accompanying drawings. The figures are merely examples.
【0027】[0027]
【発明の実施の形態】図1は第1の態様に係る磁気ヘッ
ド装置の斜視図、図2は図1に示した磁気ヘッド装置の
ヘッド取り付け部分における拡大部分断面図である。図
示された磁気ヘッド装置は、HGAであり、ヘッド支持
体1の上に、FPC3を接着し、FPC3を接着した側
において、ヘッド支持体1上に磁気ヘッド4を接着して
ある。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head device according to a first embodiment, and FIG. 2 is an enlarged partial sectional view of a head mounting portion of the magnetic head device shown in FIG. The illustrated magnetic head device is an HGA in which an FPC 3 is bonded on the head support 1, and a magnetic head 4 is bonded on the head support 1 on the side where the FPC 3 is bonded.
【0028】ヘッド支持体1は、ロードビーム11と、
可撓体12とを含む。ロードビーム11は、中央を通る
長手方向軸線の自由端近傍に突起部111(図2参照)
を有する。図示されたロードビーム11は、幅方向の両
側に折り曲げ部118を有しており、この折り曲げ部1
18により、剛性を増加させてある。また、ロードビー
ム11は、突起部111(図2参照)とは反対側の端部
に位置決め用孔112を有する。ロードビーム11は、
種々の構造、形状をとることができ、図示実施例には限
定されない。例えば、ロードビーム11には、記録媒体
(図示しない)に対する磁気ヘッド4の追従性を向上さ
せるための孔、または、全体の弾性を増すための孔等が
設けられることがある。The head support 1 includes a load beam 11 and
And a flexible body 12. The load beam 11 has a protrusion 111 near the free end of the longitudinal axis passing through the center (see FIG. 2).
Having. The illustrated load beam 11 has bent portions 118 on both sides in the width direction.
18, the rigidity is increased. The load beam 11 has a positioning hole 112 at an end opposite to the protrusion 111 (see FIG. 2). The load beam 11 is
Various structures and shapes can be adopted, and the present invention is not limited to the illustrated embodiment. For example, the load beam 11 may be provided with a hole for improving the followability of the magnetic head 4 to a recording medium (not shown) or a hole for increasing the overall elasticity.
【0029】可撓体12は薄いバネ板材で構成され、一
方の面がロードビーム11の突起部111を有する側の
面に取り付けられ、突起部111から押圧荷重を受けて
いる。可撓体12は、ロードビーム11の突起部111
を有する側に、カシメ等の手段により貼り合わされてい
る。カシメの代わりに、スポット溶着等の手段を用いら
れることもある。The flexible body 12 is made of a thin spring plate material, and one surface is attached to the surface of the load beam 11 on the side having the projection 111, and receives a pressing load from the projection 111. The flexible body 12 is provided with a projection 111 of the load beam 11.
Are bonded to each other by means such as caulking. Instead of caulking, a method such as spot welding may be used.
【0030】更に、可撓体12は、ヘッド取り付け部と
なる舌状部120を有する。舌状部120は、一端が可
撓体12の横枠部121に結合されている。可撓体12
の横枠部121は両端が外枠部123、124に連なっ
ている。外枠部123、124と舌状部120との間に
は、溝122が形成されている。舌状部120の一面に
は、FPC3及び磁気ヘッド4が接着して取り付けられ
ている。舌状部120の他面には、突起部111の先端
が接触しており、これにより、ヘッド取り付け部となる
舌状部120は、直交2軸の周りの2自由度、即ち、ピ
ッチ及びロールの2つの自由度を有するようになる。Further, the flexible body 12 has a tongue-shaped portion 120 serving as a head mounting portion. One end of the tongue 120 is connected to the horizontal frame 121 of the flexible body 12. Flexible body 12
Of the horizontal frame portion 121 are connected to the outer frame portions 123 and 124 at both ends. A groove 122 is formed between the outer frame parts 123 and 124 and the tongue part 120. The FPC 3 and the magnetic head 4 are attached to one surface of the tongue 120 by bonding. The tip of the projection 111 is in contact with the other surface of the tongue 120, so that the tongue 120 serving as the head mounting portion has two degrees of freedom around two orthogonal axes, namely, pitch and roll. Has the two degrees of freedom.
【0031】FPC3は、極めて薄い絶縁フィルム31
の内部に、必要な配線32を埋設したものである。FP
C3は、ヘッド支持体1の磁気ヘッド取り付け面側に接
着されている。配線32は絶縁フィルム31の長手方向
の両端において、外部に露出され、一端側では、外部接
続用の端部電極33を構成し、他端側では、磁気ヘッド
4の取出電極21に接続される端部電極30を構成す
る。図示されたFPC3は、舌状部120に重なる枠部
35と、舌状部120の一部を露出させる切欠部34と
を有している。The FPC 3 is an extremely thin insulating film 31
The required wiring 32 is buried inside. FP
C3 is bonded to the magnetic head mounting surface side of the head support 1. The wiring 32 is exposed to the outside at both ends in the longitudinal direction of the insulating film 31, constitutes an end electrode 33 for external connection at one end, and is connected to the extraction electrode 21 of the magnetic head 4 at the other end. The end electrode 30 is formed. The illustrated FPC 3 has a frame 35 overlapping the tongue 120 and a cutout 34 exposing a part of the tongue 120.
【0032】ヘッド支持体1としては、図示されたFP
C3を貼り付ける構造の外、例えば、フォトリソグラフ
ィ等の適用により、配線パターンを、ヘッド支持体1の
表面に直接に形成した配線一体型ヘッド支持体を用いる
こともできる。As the head support 1, the illustrated FP
In addition to the structure in which C3 is attached, a wiring-integrated head support in which a wiring pattern is formed directly on the surface of the head support 1 by using, for example, photolithography can also be used.
【0033】図3は図1、2に図示された磁気ヘッドの
斜視図である。図示された磁気ヘッドは、スライダ2
と、取出電極21と、金属接続片6とを含む。スライダ
2の内部には、誘導型電磁変換素子92、及び、磁気抵
抗効果を利用した素子9(以下MR素子と称する)が備
えられている。FIG. 3 is a perspective view of the magnetic head shown in FIGS. The magnetic head shown is a slider 2
And the extraction electrode 21 and the metal connection piece 6. The slider 2 includes an inductive electromagnetic transducer 92 and an element 9 (hereinafter, referred to as an MR element) utilizing a magnetoresistive effect.
【0034】スライダ2は、媒体対向面側に、溝277
によって隔てられた2つのレール273、274を有
し、レールの表面がABS面271、272として利用
される。レール273、274は2本に限らない。1〜
3本のレールを有することがあり、レールを持たない平
面となることもある。また、浮上特性改善等のために、
媒体対向面に種々の幾何学的形状が付されることもあ
る。何れのタイプのスライダ2であっても、本発明の適
用が可能である。更に、スライダ2は、レールの表面
に、例えば8〜10nm程度の膜厚を有するDLC等の
保護膜を備えることもあり、このような場合は保護膜の
表面がABS面271、272となる。The slider 2 has a groove 277 on the medium facing surface side.
Has two rails 273 and 274 separated by a rail, and the surfaces of the rails are used as ABS surfaces 271 and 272. The number of rails 273 and 274 is not limited to two. 1 to
It may have three rails and may be a flat surface without rails. In order to improve the floating characteristics,
Various geometric shapes may be given to the medium facing surface. The present invention is applicable to any type of the slider 2. Further, the slider 2 may be provided with a protective film such as DLC having a thickness of, for example, about 8 to 10 nm on the surface of the rail. In such a case, the surface of the protective film becomes the ABS surfaces 271, 272.
【0035】空気流出方向(磁気ディスク回転方向)F
1に関して、空気流出端側にある側端面23には、誘導
型電磁変換素子92及びMR素子93に接続された取出
電極21が設けられている。実施例では、誘導型電磁変
換素子92のための2つの取出電極21と、MR素子9
3のための2つの取出電極21とを備える。Air outflow direction (magnetic disk rotation direction) F
Regarding 1, the extraction electrode 21 connected to the induction type electromagnetic transducer 92 and the MR element 93 is provided on the side end face 23 on the air outflow end side. In the embodiment, two extraction electrodes 21 for the inductive electromagnetic transducer 92 and the MR element 9
3 for two extraction electrodes 21.
【0036】金属接続片6は、取出電極21に付着され
ている。この金属接続片6は、線状突出部62を有して
おり、線状突出部62はスライダ2の側端面23から突
出している。金属接続片6は、一般には、ワイヤボンデ
ィグ線材、具体的には、AuまたはAl等のワイヤボン
ディング線材でなる。The metal connecting piece 6 is attached to the extraction electrode 21. The metal connecting piece 6 has a linear protrusion 62, and the linear protrusion 62 protrudes from the side end surface 23 of the slider 2. The metal connection piece 6 is generally made of a wire bonding wire, specifically, a wire bonding wire such as Au or Al.
【0037】金属接続片6は、ワイヤボンディング方法
を適用して、取出電極21にワイヤボンディングを実行
した後、線材を溶着部よりも少し上で切断して得られ
る。金属接続片6の基部61はワイヤボンディングされ
たときの溶着部であり、線状突出部62の線径は、ワイ
ヤボンディグ用線材の線径で与えられる。その長さL1
は任意に設定できる。一般的には、200μm程度の長
さL1を有する。The metal connecting piece 6 is obtained by applying a wire bonding method and performing wire bonding on the extraction electrode 21, and then cutting the wire slightly above the welded portion. The base 61 of the metal connection piece 6 is a welded portion when wire bonding is performed, and the wire diameter of the linear projection 62 is given by the wire diameter of the wire bonding wire. Its length L1
Can be set arbitrarily. Generally, it has a length L1 of about 200 μm.
【0038】磁気ヘッド4は、舌状部120の一面上に
おいて、枠部35及び切欠部34の上に配置され、接着
剤53によって、可撓体12の舌状部120に接着され
ている。磁気ヘッド4は、取り付け側とは反対側の表面
が、ABS面271、272となる。The magnetic head 4 is disposed on the frame 35 and the notch 34 on one surface of the tongue 120, and is adhered to the tongue 120 of the flexible body 12 by an adhesive 53. The surface of the magnetic head 4 opposite to the mounting side is the ABS surfaces 271 and 272.
【0039】金属接続片6の線状突出部62は、磁気ヘ
ッド4の取出電極21に溶着等の手段によって付着さ
れ、更に、導電性接合材60により、FPC3に備えら
れた端部電極30と接続されている。導電性接合材60
は、はんだ、または、導電性接着剤によって構成され
る。導電性接着剤は、基本的には、有機樹脂接着成分と
導電成分とを混合したもので、各種のものが既に知られ
ているので、その中から適当なものを選択し、使用する
ことができる。図2の図示では、導電性接合材60は、
FPC3に備えられた端部電極30の上に盛られ、その
上部領域内に金属接続片6の線状突出部62を位置させ
て接合してある。The linear projecting portion 62 of the metal connecting piece 6 is attached to the extraction electrode 21 of the magnetic head 4 by welding or the like, and is further connected to the end electrode 30 provided on the FPC 3 by a conductive bonding material 60. It is connected. Conductive bonding material 60
Is made of solder or a conductive adhesive. The conductive adhesive is basically a mixture of an organic resin adhesive component and a conductive component, and since various types are already known, it is possible to select and use an appropriate one from them. it can. In the illustration of FIG. 2, the conductive bonding material 60 is
It is laid on the end electrode 30 provided in the FPC 3, and the linear projection 62 of the metal connecting piece 6 is positioned and joined in the upper region thereof.
【0040】上述したように、本発明に係る磁気ヘッド
装置において、磁気ヘッド4は、金属接続片6を備えて
おり、金属接続片6は、線状突出部62を有し、スライ
ダ2の側端面に備えられた取出電極30に付着されてい
る。As described above, in the magnetic head device according to the present invention, the magnetic head 4 has the metal connecting piece 6, the metal connecting piece 6 has the linear projecting portion 62, It is attached to an extraction electrode 30 provided on the end face.
【0041】この接合構造によれば、金属接続片6の線
状突出部62と、端部電極30とを導電性接合材60に
より接続する際、線状突出部62の上から端部電極30
に導電性接合材60を供給すればよいから、磁気ヘッド
4に対し、その斜め方向から押圧力が加わるのを回避す
ることができる。従って、スライダ2がヘッド支持体1
から浮き上がるのを回避し、ピッチ角及びロール角の変
化を最小にすことができる。According to this joining structure, when the linear projecting portion 62 of the metal connecting piece 6 and the end electrode 30 are connected by the conductive joining material 60, the end electrode 30 is placed from above the linear projecting portion 62.
Since the conductive bonding material 60 may be supplied to the magnetic head 4, it is possible to avoid applying a pressing force to the magnetic head 4 from an oblique direction. Therefore, the slider 2 is moved to the head support 1
The change in pitch angle and roll angle can be minimized.
【0042】同様の理由により、ヘッド支持体1に機械
的歪みが生じるのを抑制できるので、ヘッド支持体1の
機械的歪みによる静止姿勢角の変動、荷重の変動を最小
にすることができる。ヘッド支持体1の機械的歪みを最
小にすることができるので、磁気ヘッド4のABS面2
71、272がクラウン状に変化するのを回避できる。
従って、ABS面271、272の変形に起因するヘッ
ドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及び、磁気記録破
壊を回避できる。For the same reason, the mechanical distortion of the head support 1 can be suppressed, so that the variation of the static attitude angle and the load due to the mechanical distortion of the head support 1 can be minimized. Since the mechanical distortion of the head support 1 can be minimized, the ABS 2
71, 272 can be prevented from changing into a crown shape.
Therefore, it is possible to avoid head crash, damage to the magnetic disk, and destruction of magnetic recording due to deformation of the ABS surfaces 271, 272.
【0043】図4は図3に示した磁気ヘッドの拡大断面
図である。図において、寸法は誇張されている。図にお
いて、誘導型電磁変換素子92は書き込み素子であり、
MR素子93は読み取り素子である。誘導型電磁変換素
子92及びMR素子93は、レール273、274の一
方または両者の空気流出端TRの側に備えられている。
誘導型電磁変換素子92及びMR素子93は、スライダ
2に備えられ、電磁変換のための端部がABS面27
1、272と近接した位置にある。スライダ2はAl2O3ー
TiC等でなる基体915の表面にAl2O3、SiO2等の無機絶
縁膜916を設けたセラミック構造体である。FIG. 4 is an enlarged sectional view of the magnetic head shown in FIG. In the figures, the dimensions are exaggerated. In the figure, an inductive electromagnetic transducer 92 is a writing element,
The MR element 93 is a reading element. The inductive electromagnetic transducer 92 and the MR element 93 are provided on one or both of the rails 273 and 274 on the side of the air outflow end TR.
The inductive type electromagnetic transducer 92 and the MR element 93 are provided on the slider 2, and the end for electromagnetic conversion is formed on the ABS 27.
1, 272. Slider 2 is Al 2 O 3
This is a ceramic structure in which an inorganic insulating film 916 such as Al 2 O 3 or SiO 2 is provided on the surface of a base 915 made of TiC or the like.
【0044】誘導型電磁変換素子92は、第1の磁性膜
921、第2の磁性膜922、コイル膜923、アルミ
ナ等でなるギャップ膜924、絶縁膜925及び保護膜
926などを有している。The inductive electromagnetic transducer 92 has a first magnetic film 921, a second magnetic film 922, a coil film 923, a gap film 924 made of alumina or the like, an insulating film 925, a protective film 926, and the like. .
【0045】第1の磁性膜921及び第2の磁性膜92
2の先端部は微小厚みのギャップ膜924を隔てて対向
するポール端となっており、ポール端において書き込み
を行なう。第1及び第2の磁性膜921、922は、単
膜であってもよいし、複膜膜構造であってもよい。第1
及び第2の磁性膜921、922の複膜膜化は、例え
ば、特性改善を目的として行われることがある。ポール
端の構造に関しても、トラック幅の狭小化、記録能力の
向上等の観点から、種々の改良、及び、提案がなされて
いる。本発明においては、これまで提案された何れのポ
ール構造も採用できる。ギャップ膜924は非磁性金属
膜またはアルミナ等の無機絶縁膜によって構成される。First magnetic film 921 and second magnetic film 92
2 has a pole end opposed to the gap film 924 having a very small thickness, and performs writing at the pole end. The first and second magnetic films 921 and 922 may be a single film or may have a multi-layer film structure. First
In addition, the formation of the multiple magnetic films of the second magnetic films 921 and 922 may be performed, for example, for the purpose of improving characteristics. Regarding the structure of the pole end, various improvements and proposals have been made from the viewpoints of narrowing the track width and improving the recording capability. In the present invention, any of the pole structures proposed so far can be adopted. The gap film 924 is formed of a nonmagnetic metal film or an inorganic insulating film such as alumina.
【0046】第2の磁性膜922は、更に、第1の磁性
膜921との間にインナーギャップを保って、ABS面
271、272の後方に延び、後方結合部942におい
て第2の磁性膜922に結合されている。これにより、
第1の磁性膜921、第2の磁性膜922及びギャップ
膜924を巡る薄膜磁気回路が完結する。The second magnetic film 922 further extends behind the ABS surfaces 271 and 272 while maintaining an inner gap between the second magnetic film 922 and the first magnetic film 921. Is joined to. This allows
The thin-film magnetic circuit surrounding the first magnetic film 921, the second magnetic film 922, and the gap film 924 is completed.
【0047】コイル膜923は、第1及び第2の磁性膜
921、922の間に挟まれ、後方結合部942の周り
を渦巻き状に回る。コイル膜923の両端は、取出電極
21に導通されている(図3参照)。コイル膜923の
巻数および膜数は任意である。The coil film 923 is sandwiched between the first and second magnetic films 921 and 922, and spirals around the rear coupling portion 942. Both ends of the coil film 923 are electrically connected to the extraction electrode 21 (see FIG. 3). The number of turns and the number of films of the coil film 923 are arbitrary.
【0048】絶縁膜925は、有機絶縁樹脂膜またはセ
ラミック膜で構成する。セラミック膜の代表例は、Al2O
3膜またはSiO2膜である。絶縁膜925の内部にはコイ
ル膜923が埋設されている。絶縁膜925は第1及び
第2の磁性膜921、922の間のインナーギャップの
内部に充填されている。絶縁膜925の表面には第2の
磁性膜922が備えられている。The insulating film 925 is formed of an organic insulating resin film or a ceramic film. A typical example of a ceramic membrane is Al 2 O
3 film or SiO 2 film. A coil film 923 is embedded in the insulating film 925. The insulating film 925 is filled in the inner gap between the first and second magnetic films 921 and 922. On the surface of the insulating film 925, a second magnetic film 922 is provided.
【0049】保護膜926は、誘導型電磁変換素子92
の全体を覆っている。保護膜926はAl2O3またはSiO2
等の無機絶縁材料で構成されている。The protective film 926 is formed of an inductive type electromagnetic transducer 92.
It covers the whole. The protective film 926 is made of Al 2 O 3 or SiO 2
And the like.
【0050】MR素子93は、これまで、種々の膜構造
のものが提案され、実用に供されている。例えばパーマ
ロイ等による異方性磁気抵抗効果素子を用いたもの、ス
ピンバルブ膜構造もしくはペロブスカイト型磁性体等の
巨大磁気抵抗(GMR)効果膜を用いたもの、強磁性ト
ンネル接合効果素子等がある。本発明において、何れの
タイプであってもよい。MR素子93は、第1のシール
ド膜931と、第1の磁性膜921として兼用された第
2のシールド膜921との間において、絶縁膜71の内
部に配置されている。絶縁膜71はアルミナ等によって
構成されている。MR素子93は取出電極21に接続さ
れている(図3参照)。第2のシールド膜は第1の磁性
膜921とは別であってもよい。As the MR element 93, those having various film structures have been proposed and put to practical use. For example, there are a device using an anisotropic magnetoresistive effect device made of permalloy or the like, a device using a giant magnetoresistive (GMR) effect film such as a spin valve film structure or a perovskite type magnetic material, a ferromagnetic tunnel junction effect device, and the like. In the present invention, any type may be used. The MR element 93 is disposed inside the insulating film 71 between the first shield film 931 and the second shield film 921 also serving as the first magnetic film 921. The insulating film 71 is made of alumina or the like. The MR element 93 is connected to the extraction electrode 21 (see FIG. 3). The second shield film may be different from the first magnetic film 921.
【0051】図5は第1の態様に係る磁気ヘッド装置の
別の実施例を示す部分断面図である。図において、図2
に現れた構成部分と同一の構成部分については、同一の
参照符号を付してある。この実施例では、導電性接合材
60は、FPC3に備えられた端部電極30と、磁気ヘ
ッド4の取出電極21とを、金属接続片6の線状突出部
62を核にして、直接に接合している。FIG. 5 is a partial sectional view showing another embodiment of the magnetic head device according to the first embodiment. In the figure, FIG.
The same reference numerals are given to the same components as those shown in FIG. In this embodiment, the conductive bonding material 60 directly connects the end electrode 30 provided on the FPC 3 and the extraction electrode 21 of the magnetic head 4 with the linear projection 62 of the metal connection piece 6 as a core. Are joined.
【0052】図6〜図11は、図3及び図4に図示した
磁気ヘッドにおいて、金属接続片6を溶着するために用
いられるワイヤボンディグ装置、及び、その操作方法を
示している。FIGS. 6 to 11 show a wire bonding apparatus used for welding the metal connecting piece 6 in the magnetic head shown in FIGS. 3 and 4, and an operation method thereof.
【0053】まず、図6を参照すると、ワイヤボンディ
ング装置は、スパークトーチ体80とキャピラリツール
83とを含む。スパークトーチ体80は、基体801
と、絶縁被覆803とを含む。基体801は、例えば銅
等の電気抵抗の低い金属体でなり、一部にスパーク電極
部805を有している。絶縁被覆803は、電磁波吸収
性絶縁被覆でなり、スパーク電極部805を除く基体8
01の表面を覆っている。First, referring to FIG. 6, the wire bonding apparatus includes a spark torch body 80 and a capillary tool 83. The spark torch body 80 is
And an insulating coating 803. The base 801 is made of a metal body having a low electric resistance such as copper, for example, and has a spark electrode part 805 in part. The insulating coating 803 is made of an electromagnetic wave absorbing insulating coating, and excluding the spark electrode portion 805.
01 surface.
【0054】キャピラリツール83は、金属ワイヤ82
を保持し、保持された金属ワイヤ82の先端がスパーク
トーチ体80のスパーク電極部805と対向する位置に
配置されている。金属ワイヤ82は、ワイヤ供給部81
1から供給される。金属ワイヤ82は、Auワイヤまた
はAlワイヤ等、従来より知られているものを用いるこ
とができる。The capillary tool 83 includes a metal wire 82
, And the end of the held metal wire 82 is arranged at a position facing the spark electrode portion 805 of the spark torch body 80. The metal wire 82 is connected to the wire supply unit 81
Supplied from 1. As the metal wire 82, a conventionally known wire such as an Au wire or an Al wire can be used.
【0055】更に、ワイヤボンディング装置は、高電圧
電源装置85と、金属ワイヤ固定手段871、872
と、ケーブル線891〜893とを含む。高電圧電源装
置85は金属ワイヤ82の先端とスパークトーチ体80
のスパーク電極部805との間にスパークを発生させる
のに十分な直流高電圧を発生する。高電圧電源装置85
の高電位側(+)には、電源投入スイッチ84が挿入さ
れている。Further, the wire bonding apparatus comprises a high voltage power supply 85 and metal wire fixing means 871 and 872.
And cable lines 891 to 893. The high voltage power supply 85 is connected to the tip of the metal wire 82 and the spark torch body 80.
A DC high voltage sufficient to generate a spark between the spark electrode unit 805 and the spark electrode unit 805 is generated. High voltage power supply 85
A power-on switch 84 is inserted on the high-potential side (+).
【0056】金属ワイヤ固定手段871、872は、金
属ワイヤ82の中間部を固定し、または固定を解除する
ものであって、金属ワイヤ82を固定したとき金属ワイ
ヤ82に電気的に導通する。この金属ワイヤ固定手段8
71、872は、キャピラリツール83よりも前にあっ
て、金属ワイヤ82をキャピラリツール83に供給す
る。The metal wire fixing means 871 and 872 fix or release the intermediate portion of the metal wire 82, and when the metal wire 82 is fixed, the metal wire 82 is electrically connected to the metal wire 82. This metal wire fixing means 8
71 and 872 are provided before the capillary tool 83 and supply the metal wire 82 to the capillary tool 83.
【0057】ケーブル線891〜893は、金属ワイヤ
固定手段871、872と、金属ワイヤ82と、スパー
クトーチ体80とを電気的に直列に接続する電気回路を
構成する。金属ワイヤ固定手段871、872は、ケー
ブル線892を介して高電圧電源装置85の高電位側
(+)に接続され、更に、ケーブル線893を介して接
地されている。スパークトーチ体80は、ケーブル線8
91を介して高電圧電源装置85の低電位側(−)に接
続されている。The cable lines 891 to 893 constitute an electric circuit for electrically connecting the metal wire fixing means 871 and 872, the metal wire 82, and the spark torch body 80 in series. The metal wire fixing means 871 and 872 are connected to the high-potential side (+) of the high-voltage power supply device 85 via a cable line 892, and are further grounded via a cable line 893. The spark torch body 80 is
It is connected to the low potential side (−) of the high voltage power supply 85 via 91.
【0058】図示されたワイヤボンディング装置は、更
に、超音波励振手段86を含む。超音波励振手段86は
キャピラリツール83を励振する。The illustrated wire bonding apparatus further includes an ultrasonic excitation unit 86. The ultrasonic excitation unit 86 excites the capillary tool 83.
【0059】スパークトーチ体80の下方であって、キ
ャピラリツール83と対向する位置には、予め、磁気ヘ
ッド4を搭載した支持体(ワーク)88が配置されてい
る。スパークトーチ体80が退避動作をした場合、ワー
ク88に搭載された磁気ヘッド4が、キャピラリツール
83と対向するようになる。A support (work) 88 on which the magnetic head 4 is mounted is disposed in advance below the spark torch body 80 and at a position facing the capillary tool 83. When the spark torch body 80 performs the retreat operation, the magnetic head 4 mounted on the work 88 comes to face the capillary tool 83.
【0060】図6のワイヤボンディング装置の操作に当
っては、キャピラリツール83内を通って導かれた金属
ワイヤ82の先端を、スパークトーチ体80のスパーク
電極部805と、微小間隔を隔てて対向させる。In the operation of the wire bonding apparatus shown in FIG. 6, the tip of the metal wire 82 guided through the capillary tool 83 is opposed to the spark electrode portion 805 of the spark torch body 80 at a small interval. Let it.
【0061】そして、図7に示すように、金属ワイヤ固
定手段871、872によって金属ワイヤ82の中間部
を挟持し、金属ワイヤ82を固定するとともに、電気的
に導通させる。この状態で、図8に示すように、電源投
入スイッチ84をオンにし、金属ワイヤ82の先端とス
パークトーチ体80のスパーク電極部805との間に高
電圧(直流電圧)を印加する。これによって、金属ワイ
ヤ82の先端とスパークトーチ体80のスパーク電極部
805との間にスパークが発生し、スパークの熱によっ
て、金属ワイヤ82の先端部が溶融し、金属ボール82
1が形成される。Then, as shown in FIG. 7, an intermediate portion of the metal wire 82 is sandwiched by the metal wire fixing means 871 and 872, and the metal wire 82 is fixed and made electrically conductive. In this state, as shown in FIG. 8, the power-on switch 84 is turned on, and a high voltage (DC voltage) is applied between the tip of the metal wire 82 and the spark electrode portion 805 of the spark torch body 80. As a result, a spark is generated between the tip of the metal wire 82 and the spark electrode portion 805 of the spark torch body 80, and the tip of the metal wire 82 melts due to the heat of the spark, and the metal ball 82
1 is formed.
【0062】次に、図9に示すように、電源投入スイッ
チ84をオフにし、スパークトーチ体80を、キャピラ
リツール83との対向位置から、矢印a1で示す方向に
退避させる。Next, as shown in FIG. 9, the power-on switch 84 is turned off, and the spark torch body 80 is retracted from the position facing the capillary tool 83 in the direction indicated by the arrow a1.
【0063】次に、図10に示すように、キャピラリツ
ール83を矢印b1で示す方向に下降させ、ワーク88
に搭載された磁気ヘッド4の取出電極21に、金属ワイ
ヤ82の先端に形成された金属ボール821を押し付け
る。Next, as shown in FIG. 10, the capillary tool 83 is lowered in the direction shown by the arrow b1 to
The metal ball 821 formed at the tip of the metal wire 82 is pressed against the extraction electrode 21 of the magnetic head 4 mounted on the magnetic head 4.
【0064】そして、超音波励振手段86により、キャ
ピラリツール83を超音波によって励振し、金属ワイヤ
82の先端に形成された金属ボール821を、取出電極
21に溶着する。Then, the capillary tool 83 is excited by ultrasonic waves by the ultrasonic excitation means 86, and the metal ball 821 formed at the tip of the metal wire 82 is welded to the extraction electrode 21.
【0065】次に、図11に示すように、金属ワイヤ8
2を適当な長さを残して切断し、線状突出部62を有す
る金属接続片6を形成する。これにより、図3に示した
磁気ヘッドが得られる。この後、キャピラリツール83
を矢印b2の方向に移動させ、図6のもとの位置に戻
る。Next, as shown in FIG.
The metal connection piece 6 having the linear projection 62 is formed by cutting the metal connection piece 2 while leaving an appropriate length. Thus, the magnetic head shown in FIG. 3 is obtained. After this, the capillary tool 83
Is moved in the direction of arrow b2 to return to the original position in FIG.
【0066】図6〜図11の例では、磁気ヘッド4の単
品に金属ワイヤ82をボンディングする工程を示した
が、多数の磁気ヘッドを整列したヘッド集合体または磁
気ヘッドウエハ等に対しても、同様の金属ワイヤ82に
よるボンディング工程を施すことができる。In the examples of FIGS. 6 to 11, the process of bonding the metal wire 82 to the single magnetic head 4 has been described. However, the head assembly or the magnetic head wafer in which a large number of magnetic heads are aligned can also be used. A bonding step using the same metal wire 82 can be performed.
【0067】図12は第2の態様に係る磁気ヘッド装置
の部分断面図である。図において、図2に現れた構成部
分と同一の構成部分については、同一の参照符号を付し
てある。図示された磁気ヘッド装置は、HGAであり、
ヘッド支持体1の上に、FPC3を接着し、FPC3を
接着した側において、ヘッド支持体1上に磁気ヘッド4
を接着してある。ヘッド支持体1は、ヘッド取り付け部
となる舌状片120を有する。磁気ヘッド4と、取出電
極21とを含む。取出電極21は磁気ヘッド4の空気流
出端側の側端面23に備えられている。磁気ヘッド4は
ヘッド支持体1のヘッド取り付け部となる舌状片120
に固定されている。FIG. 12 is a partial sectional view of a magnetic head device according to the second embodiment. In the figure, the same components as those shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. The illustrated magnetic head device is an HGA,
The FPC 3 is bonded on the head support 1, and the magnetic head 4 is mounted on the head support 1 on the side where the FPC 3 is bonded.
Is glued. The head support 1 has a tongue-shaped piece 120 serving as a head mounting portion. It includes a magnetic head 4 and an extraction electrode 21. The extraction electrode 21 is provided on a side end surface 23 on the air outflow end side of the magnetic head 4. The magnetic head 4 has a tongue-shaped piece 120 serving as a head mounting portion of the head support 1.
Fixed to.
【0068】図13は図12の磁気ヘッド装置に含まれ
るFPC3の拡大斜視図である。FPC3は、絶縁フィ
ルム31と、配線32とを含む。絶縁フィルム31は可
撓性を有する。配線32は、絶縁フィルム31の内部に
埋設され、両端が絶縁フィルム31の一面から外部に露
出し、端部電極30、33を構成する。FIG. 13 is an enlarged perspective view of the FPC 3 included in the magnetic head device of FIG. The FPC 3 includes an insulating film 31 and a wiring 32. The insulating film 31 has flexibility. The wiring 32 is embedded inside the insulating film 31, and both ends are exposed to the outside from one surface of the insulating film 31 to form the end electrodes 30 and 33.
【0069】この実施例の特徴は、FPC3が金属接続
片6を有することである。金属接続片6は、線状突出部
62を有し、基部61が端部電極30に溶着等の手段に
よって付着されている。線状突出部62は、基部61か
ら延び絶縁フィルム31の一面から突出する。金属接続
片6は、AuまたはAl等のワイヤボンディング線材で
なる。The feature of this embodiment is that the FPC 3 has the metal connecting piece 6. The metal connection piece 6 has a linear protrusion 62, and the base 61 is attached to the end electrode 30 by welding or the like. The linear protrusion 62 extends from the base 61 and protrudes from one surface of the insulating film 31. The metal connection piece 6 is made of a wire bonding wire such as Au or Al.
【0070】金属接続片6は、図6〜図11に図示した
ワイヤボンディング方法の適用により、端部電極30に
ワイヤボンディングを実行し、線材を溶着部よりも少し
上で切断して得られる。金属接続片6の基部61はワイ
ヤボンディングされたときの溶着部であり、線状突出部
62の線径は、ワイヤボンディグ用線材の線径で与えら
れる。その長さL1は、例えば、200μm程度であ
る。The metal connecting piece 6 is obtained by applying wire bonding to the end electrode 30 by applying the wire bonding method shown in FIGS. 6 to 11, and cutting the wire slightly above the welded portion. The base 61 of the metal connection piece 6 is a welded portion when wire bonding is performed, and the wire diameter of the linear projection 62 is given by the wire diameter of the wire bonding wire. The length L1 is, for example, about 200 μm.
【0071】端部電極30に溶着等の手段によって付着
された金属接続片6の線状突出部62は、導電性接合材
60により、磁気ヘッド4に備えられた取出電極21と
接続されている。図12の図示では、導電性接合材60
は、磁気ヘッド4の取出電極21と、FPC3に備えら
れた端部電極30とを、金属接続片6の線状突出部62
を核にして、直接に接合している。The linear projection 62 of the metal connection piece 6 attached to the end electrode 30 by welding or the like is connected to the extraction electrode 21 provided on the magnetic head 4 by a conductive bonding material 60. . In the illustration of FIG. 12, the conductive bonding material 60
Is formed by connecting the extraction electrode 21 of the magnetic head 4 and the end electrode 30 provided on the FPC 3 to the linear projection 62 of the metal connection piece 6.
The core is directly joined.
【0072】上述した第2の態様に係る磁気ヘッド装置
において、FPC3は、金属接続片6を備えており、金
属接続片6は、線状突出部62を有し、スライダ2の側
端面に備えられた取出電極30に付着されている。In the magnetic head device according to the above-described second aspect, the FPC 3 includes the metal connection piece 6, the metal connection piece 6 has the linear protrusion 62, and is provided on the side end surface of the slider 2. Is attached to the extracted extraction electrode 30.
【0073】この接合構造によれば、磁気ヘッド4の取
出電極21と、FPC3の端部電極30とを導電性接合
材60により接続する際、線状突出部62の上から端部
電極30に導電性接合材60を供給すればよいから、磁
気ヘッド4に対し、その斜め方向から押圧力が加わるの
を回避することができる。従って、スライダ2がヘッド
支持体1から浮き上がるのを回避し、ピッチ角及びロー
ル角の変化を最小にすことができる。According to this bonding structure, when the extraction electrode 21 of the magnetic head 4 and the end electrode 30 of the FPC 3 are connected by the conductive bonding material 60, the linear projection 62 is connected to the end electrode 30 from above. Since it is sufficient to supply the conductive bonding material 60, it is possible to avoid applying a pressing force to the magnetic head 4 from an oblique direction. Therefore, it is possible to prevent the slider 2 from floating from the head support 1, and to minimize the change in the pitch angle and the roll angle.
【0074】同様の理由により、ヘッド支持体1に機械
的歪みが生じるのを抑制できるので、ヘッド支持体1の
機械的歪みによる静止姿勢角の変動、荷重の変動を最小
にすることができる。ヘッド支持体1の機械的歪みを最
小にすることができるので、磁気ヘッド4のABS面2
71、272がクラウン状に変化するのを回避できる。
従って、ABS面271、272の変形に起因するヘッ
ドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及び、磁気記録破
壊を回避できる。For the same reason, it is possible to suppress the occurrence of mechanical distortion in the head support 1, so that it is possible to minimize the fluctuation of the static attitude angle and the fluctuation of the load due to the mechanical distortion of the head support 1. Since the mechanical distortion of the head support 1 can be minimized, the ABS 2
71, 272 can be prevented from changing into a crown shape.
Therefore, it is possible to avoid head crash, damage to the magnetic disk, and destruction of magnetic recording due to deformation of the ABS surfaces 271, 272.
【0075】図14は第2の態様に係る磁気ヘッド装置
の更に別の実施例を示す部分断面図である。図におい
て、図13に現れた構成部分と同一の構成部分について
は、同一の参照符号を付してある。図14の実施例で
は、導電性接合材60は、磁気ヘッド4の取出電極21
の上に盛られ、その端部領域内に金属接続片6の線状突
出部62を位置させて接合してある。FIG. 14 is a partial sectional view showing still another embodiment of the magnetic head device according to the second aspect. In the figure, the same components as those shown in FIG. 13 are denoted by the same reference numerals. In the embodiment shown in FIG. 14, the conductive bonding material 60 is connected to the extraction electrode 21 of the magnetic head 4.
And the linear protrusion 62 of the metal connecting piece 6 is positioned and joined in the end region.
【0076】本発明は、上述したHGAへの適用の他、
HAA及びHSAについても適用可能である。図15は
HAAの正面図、図16は図15に図示されたHAAの
側面図である。図示されたHAAは、ヘッド支持体1
と、磁気ヘッド4と、腕片51とを含む。腕片51は、
適当な非磁性金属材料、例えば、アルミ合金等を用いて
一体成形されている。腕片51には、取り付け孔52が
備えられている。取り付け孔52は、磁気ディスク装置
に含まれる位置決め装置に取り付けるために用いられ
る。ヘッド支持体1は、一端が腕片51に、例えばボー
ル接続構造等によって固定されている。ヘッド支持体1
は、ロードビーム11と、可撓体12とを含む。磁気ヘ
ッド4及びFPC3は、先に説明した組み合わせ構造に
より、ヘッド支持体1に組み合わされている。The present invention can be applied to the above-described HGA,
HAA and HSA are also applicable. FIG. 15 is a front view of the HAA, and FIG. 16 is a side view of the HAA shown in FIG. The HAA shown is a head support 1
, A magnetic head 4 and an arm piece 51. The arm piece 51
It is integrally formed using a suitable non-magnetic metal material, for example, an aluminum alloy. The arm piece 51 has a mounting hole 52. The mounting hole 52 is used for mounting to a positioning device included in the magnetic disk drive. One end of the head support 1 is fixed to the arm piece 51 by, for example, a ball connection structure. Head support 1
Includes a load beam 11 and a flexible body 12. The magnetic head 4 and the FPC 3 are combined with the head support 1 by the combination structure described above.
【0077】図17は本発明に係るHSAの正面図、図
18は図17に図示されたHSAの側面図である。図示
されたHSAは、ヘッド支持体1と、磁気ヘッド4と、
ブロック5とを含む。ブロック5は、複数の腕片51を
有する。複数の腕片51は間隔D1を隔てて順次に配列
されている。腕片51は、基体50の外周面に突出して
設けられている。基体50及び腕片51は適当な非磁性
金属材料、例えば、アルミ合金等を用いて一体成形され
ている。図示実施例では、腕片51は2本であるが、そ
の個数は増加できる。FIG. 17 is a front view of the HSA according to the present invention, and FIG. 18 is a side view of the HSA shown in FIG. The illustrated HSA comprises a head support 1, a magnetic head 4,
And block 5. The block 5 has a plurality of arm pieces 51. The plurality of arm pieces 51 are sequentially arranged with an interval D1. The arm piece 51 is provided to protrude from the outer peripheral surface of the base 50. The base 50 and the arm piece 51 are integrally formed using a suitable non-magnetic metal material, for example, an aluminum alloy. In the illustrated embodiment, the number of the arm pieces 51 is two, but the number can be increased.
【0078】基体50には、腕片51の配列方向に平行
な取り付け孔52が設けられている。取り付け孔52
は、磁気ディスク装置に含まれる位置決め装置に取り付
けるために用いられる。更に、基体50には、コイル支
持部53及びボイスコイル54が備えられている。The base 50 is provided with a mounting hole 52 parallel to the direction in which the arm pieces 51 are arranged. Mounting hole 52
Is used for attaching to a positioning device included in a magnetic disk drive. Further, the base 50 is provided with a coil support 53 and a voice coil 54.
【0079】ヘッド支持体1は、腕片51のそれぞれ毎
に備えられ、一端が腕片51に、例えばボール接続構造
等によって固定されている。ヘッド支持体1は、ロード
ビーム11と、可撓体12とを含む。図示実施例では、
ヘッド支持体1は、腕片51の片面にのみ設けられてい
るが、腕片51が3枚以上備えられている場合は、腕片
51の両面に備えられることが多い。The head support 1 is provided for each of the arm pieces 51, and one end is fixed to the arm piece 51 by, for example, a ball connection structure or the like. The head support 1 includes a load beam 11 and a flexible body 12. In the illustrated embodiment,
The head support 1 is provided only on one side of the arm piece 51, but is often provided on both sides of the arm piece 51 when three or more arm pieces 51 are provided.
【0080】磁気ヘッド4及びFPC3は、ヘッド支持
体1のそれぞれ毎に、その他端側に取り付けられてい
る。磁気ヘッド4及びFPC3は、先に説明した組み合
わせ構造により、ヘッド支持体1のそれぞれに組み合わ
されている。The magnetic head 4 and the FPC 3 are attached to the other end of each of the head supports 1. The magnetic head 4 and the FPC 3 are combined with each of the head supports 1 by the combination structure described above.
【0081】図19は本発明に係る磁気記録再生装置の
平面図である。図示された磁気記録再生装置は、磁気ヘ
ッド装置71と、磁気ディスク72とを含む。磁気ヘッ
ド装置71は図3及び図4に示したもの、または、図1
6及び図17に示したものである。磁気ヘッド装置71
は、ヘッド支持体1の一端が位置決め装置73によって
支持され、かつ、駆動される。磁気ヘッド装置71の磁
気ヘッド4は、ヘッド支持体1によって支持され、磁気
ディスク72の磁気記録面と対向するように配置され
る。磁気ヘッド装置71としては、先に述べた各実施例
のものが全て使用可能である。FIG. 19 is a plan view of a magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention. The illustrated magnetic recording / reproducing apparatus includes a magnetic head device 71 and a magnetic disk 72. The magnetic head device 71 shown in FIGS. 3 and 4 or FIG.
6 and FIG. Magnetic head device 71
The one end of the head support 1 is supported by the positioning device 73 and driven. The magnetic head 4 of the magnetic head device 71 is supported by the head support 1 and is arranged so as to face the magnetic recording surface of the magnetic disk 72. As the magnetic head device 71, any of the embodiments described above can be used.
【0082】磁気ディスク72が、図示しない駆動装置
により、矢印F1の方向に回転駆動されると、磁気ヘッ
ド4が、微小浮上量で、磁気ディスク72の面から浮上
する。駆動方式としては、ロータリー.アクチュエータ
方式が一般的であるが、リニアアクチュエータ方式を採
用してもよい。図19はロータリー.アクチュエータ方
式を示し、ヘッド支持体1の先端部に取り付けられた磁
気ヘッド4が、磁気ディスク72の径方向C1、C2に
駆動される。そして、ヘッド支持体1を回転駆動する位
置決め装置73により、磁気ヘッド4が、磁気ディスク
72上の所定のトラック位置に位置決めされる。When the magnetic disk 72 is driven to rotate in the direction of arrow F1 by a driving device (not shown), the magnetic head 4 flies above the surface of the magnetic disk 72 by a small flying height. The driving method is rotary. An actuator system is generally used, but a linear actuator system may be adopted. FIG. The magnetic head 4 attached to the tip of the head support 1 is driven in the radial directions C1 and C2 of the magnetic disk 72. Then, the magnetic head 4 is positioned at a predetermined track position on the magnetic disk 72 by the positioning device 73 that rotationally drives the head support 1.
【0083】以上、好ましい実施例を参照して本発明の
内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及
び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を
採り得ることは自明である。Although the contents of the present invention have been described in detail with reference to the preferred embodiments, various modifications can be made by those skilled in the art based on the basic technical idea and teaching of the present invention. It is self-evident.
【0084】[0084]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。 (a)磁気ヘッド装置の組立工程において、静止姿勢角
及び荷重の変動を回避し得る磁気ヘッド装置及び磁気記
録再生装置を提供することができる。 (b)磁気ヘッド装置の組立工程において、スライダ形
状の変化を回避し得る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生
装置を提供することができる。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (A) It is possible to provide a magnetic head device and a magnetic recording / reproducing device capable of avoiding fluctuations in a static attitude angle and a load in an assembling process of the magnetic head device. (B) It is possible to provide a magnetic head device and a magnetic recording / reproducing device capable of avoiding a change in the shape of a slider in a process of assembling the magnetic head device.
【図1】第1の態様に係る磁気ヘッド装置の斜視図であ
る。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head device according to a first embodiment.
【図2】図1に示した磁気ヘッド装置のヘッド取り付け
部分における拡大部分断面図である。FIG. 2 is an enlarged partial sectional view of a head mounting portion of the magnetic head device shown in FIG.
【図3】図1、2に図示された磁気ヘッドの斜視図であ
る。FIG. 3 is a perspective view of the magnetic head shown in FIGS.
【図4】図3に示した磁気ヘッドの拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged sectional view of the magnetic head shown in FIG. 3;
【図5】本発明に係る磁気ヘッド装置の別の実施例を示
す部分断面図である。FIG. 5 is a partial sectional view showing another embodiment of the magnetic head device according to the present invention.
【図6】図3及び図4に図示した磁気ヘッドを得るため
に供されるワイヤボンディグ装置を示している。FIG. 6 shows a wire bonding apparatus provided for obtaining the magnetic head shown in FIGS. 3 and 4.
【図7】図6に示したワイヤボンディグ装置の操作を説
明する図である。FIG. 7 is a view for explaining the operation of the wire bonding apparatus shown in FIG. 6;
【図8】図7に示した操作の次の操作を説明する図であ
る。FIG. 8 is a diagram illustrating an operation subsequent to the operation shown in FIG. 7;
【図9】図8に示した操作の次の操作を説明する図であ
る。FIG. 9 is a diagram illustrating an operation subsequent to the operation shown in FIG. 8;
【図10】図9に示した操作の次の操作を説明する図で
ある。FIG. 10 is a diagram illustrating an operation subsequent to the operation shown in FIG. 9;
【図11】図10に示した操作の次の操作を説明する図
である。11 is a diagram illustrating an operation subsequent to the operation shown in FIG.
【図12】第2の態様に係る磁気ヘッド装置の部分断面
図である。FIG. 12 is a partial sectional view of a magnetic head device according to a second embodiment.
【図13】図12の磁気ヘッド装置に含まれるFPC3
の拡大斜視図である。13 is an FPC 3 included in the magnetic head device of FIG.
It is an expansion perspective view of.
【図14】第2の態様に係る磁気ヘッド装置の更に別の
実施例を示す部分断面図である。FIG. 14 is a partial sectional view showing still another example of the magnetic head device according to the second embodiment.
【図15】HAAの正面図である。FIG. 15 is a front view of the HAA.
【図16】図15に図示されたHAAの側面図である。FIG. 16 is a side view of the HAA shown in FIG.
【図17】本発明に係るHSAの正面図である。FIG. 17 is a front view of the HSA according to the present invention.
【図18】図17に図示されたHSAの側面図である。FIG. 18 is a side view of the HSA shown in FIG.
【図19】本発明に係る磁気記録再生装置の平面図であ
る。FIG. 19 is a plan view of a magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention.
1 ヘッド支持体 2 スライダ 3 FPC 4 磁気ヘッド 6 金属接続片 61 基部 62 線状突出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Head support 2 Slider 3 FPC 4 Magnetic head 6 Metal connection piece 61 Base 62 Linear protrusion
Claims (7)
気ヘッド装置であって、 前記ヘッド支持体は、ヘッド取り付け部と、絶縁された
配線とを有し、前記配線の端部電極が前記ヘッド取り付
け部の付近に露出しており、 前記磁気ヘッドは、スライダと、取出電極と、金属接続
片とを含んでおり、 前記取出電極は、前記スライダの側端面に備えられてお
り、 前記金属接続片は、線状突出部を有し、前記取出電極に
付着され、前記線状突出部が、前記スライダの前記端面
から突出しており、 前記磁気ヘッドは、前記スライダが前記ヘッド支持体の
前記ヘッド取り付け部に固定され、前記金属接続片の前
記線状突出部が前記ヘッド支持体の前記配線の端部電極
に、導電接合材によって接続されている磁気ヘッド装
置。1. A magnetic head device including a head support and a magnetic head, wherein the head support has a head mounting portion and insulated wiring, and an end electrode of the wiring is provided with the electrode. The magnetic head includes a slider, an extraction electrode, and a metal connection piece, which are exposed near a head attachment portion, wherein the extraction electrode is provided on a side end surface of the slider, and wherein the metal is provided. The connection piece has a linear protrusion, is attached to the extraction electrode, the linear protrusion protrudes from the end face of the slider, and the magnetic head is configured such that the slider is formed of the head support. A magnetic head device fixed to a head attachment portion, wherein the linear protrusion of the metal connection piece is connected to an end electrode of the wiring of the head support by a conductive bonding material.
配線基板とを含む磁気ヘッド装置であって、 前記ヘッド支持体は、ヘッド取り付け部を有しており、 前記磁気ヘッドは、スライダと、取出電極とを含み、前
記取出電極が前記スライダの側端面に備えられ、前記ス
ライダが前記ヘッド支持体の前記ヘッド取り付け部に固
定されており、 前記可撓性配線基板は、絶縁フィルムと、配線と、金属
接続片とを含んでおり、 前記絶縁フィルムは、可撓性を有しており、 前記配線は、前記絶縁フィルムの内部に埋設され、端部
が前記絶縁フィルムの一面から外部に露出しており、 前記金属接続片は、線状突出部を有し、前記端部に付着
され、前記線状突出部が前記絶縁フィルムの前記一面か
ら突出しており、 前記可撓性配線基板は、前記ヘッド支持体に付着され、
前記金属接続片の前記線状突出部が、前記磁気ヘッドの
前記取出電極に、導電接合材によって接続されている磁
気ヘッド装置。2. A magnetic head device including a head support, a magnetic head, and a flexible wiring board, wherein the head support has a head mounting portion, and the magnetic head includes a slider. And an extraction electrode, wherein the extraction electrode is provided on a side end surface of the slider, and the slider is fixed to the head mounting portion of the head support, and the flexible wiring board includes an insulating film and , A wiring, and a metal connecting piece, wherein the insulating film has flexibility, and the wiring is embedded in the inside of the insulating film, and an end is provided from one side of the insulating film to the outside. The metal connection piece has a linear protrusion, is attached to the end, the linear protrusion protrudes from the one surface of the insulating film, the flexible wiring board Is the head It is attached to the lifting member,
The magnetic head device wherein the linear protrusion of the metal connection piece is connected to the extraction electrode of the magnetic head by a conductive bonding material.
磁気ヘッド装置であって、前記金属接続片は、ワイヤボ
ンディグ材でなる磁気ヘッド装置。3. The magnetic head device according to claim 1, wherein the metal connecting piece is made of a wire bonding material.
気ヘッド装置であって、前記金属接続片はAuまたはA
lでなる磁気ヘッド装置。4. The magnetic head device according to claim 1, wherein the metal connecting piece is made of Au or A.
1 is a magnetic head device.
気ヘッド装置であって、前記導電接合材は、はんだであ
る磁気ヘッド装置。5. The magnetic head device according to claim 1, wherein the conductive bonding material is a solder.
気ヘッド装置であって、前記導電接合材は、導電性接着
剤である磁気ヘッド装置。6. The magnetic head device according to claim 1, wherein the conductive bonding material is a conductive adhesive.
む磁気記録再生装置であって、 前記磁気ヘッド装置は、請求項1乃至6の何れかに記載
されたものでなり、 前記磁気ディスクは、前記磁気ヘッド装置との間で磁気
記録及び再生を行う磁気記録再生装置。7. A magnetic recording / reproducing apparatus including a magnetic head device and a magnetic disk, wherein the magnetic head device is any one of claims 1 to 6, wherein the magnetic disk is: A magnetic recording and reproducing device for performing magnetic recording and reproduction with the magnetic head device.
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