JP2002202346A - Position fixing method, position fixing apparatus and handler using position fixing apparatus - Google Patents
Position fixing method, position fixing apparatus and handler using position fixing apparatusInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象デバイス
をトレイに固定した状態で検査場所へ搬送し、位置決め
するときに用いる位置固定方法、位置固定装置及び位置
固定装置を用いたハンドラに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position fixing method, a position fixing device, and a handler using the position fixing device which are used when a device to be inspected is transported to an inspection place while being fixed to a tray and positioned. is there.
【０００２】[0002]
【従来の技術】デバイスの位置固定装置の一例としてハ
ンドラがある。ストリップ形状になったデバイスを搬送
するストリップハンドラでは、検査対象デバイスをダイ
シングリングに固定した状態でカセットに格納し、この
カセットからダイシングリングを取り出し、検査場所に
搬送し位置決めする。2. Description of the Related Art A handler is an example of a device for fixing a position of a device. In a strip handler that transports a strip-shaped device, a device to be inspected is stored in a cassette while being fixed to a dicing ring, the dicing ring is taken out of the cassette, transported to an inspection location, and positioned.
【０００３】図５はこのようなハンドラの従来例の構成
図である。図５の（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図であ
る。図５で、カセット１は検査対象デバイス４をダイシ
ングリングに固定した状態で格納する。ハンド２は、カ
セット１からダイシングリング３を取り出し、検査場所
となるステージ５に搬送し、ステージ５上に位置決めす
る。検査対象デバイス４はダイシングリング３に固定さ
れた状態で搬送され、位置決めされる。位置決めされた
検査対象デバイス４にプローブ６を当てて検査を行う。FIG. 5 is a block diagram of a conventional example of such a handler. 5A is a top view, and FIG. 5B is a side view. In FIG. 5, the cassette 1 stores the inspection target device 4 in a state of being fixed to the dicing ring. The hand 2 takes out the dicing ring 3 from the cassette 1, conveys it to the stage 5 as an inspection place, and positions it on the stage 5. The device 4 to be inspected is transported and positioned while being fixed to the dicing ring 3. The inspection is performed by applying the probe 6 to the positioned inspection target device 4.
【０００４】図６は従来におけるダイシングリング部分
の構成図である。図６の（ａ）は上面図、（ｂ）は側面
図である。ダイシングリング３の一面側に粘着性のフィ
ルム１０を貼り、このフィルム１０上に検査対象デバイ
ス４を貼り付け、位置決めしている。ダイシングリング
３は、例えばステンレス鋼、アルミニウム等で構成され
ている。フィルム１０は、例えばＰＶＣ（塩化ビニ
ル）、ポリオレフィン等で構成されている。FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional dicing ring portion. 6A is a top view, and FIG. 6B is a side view. An adhesive film 10 is stuck on one surface side of the dicing ring 3, and the device 4 to be inspected is stuck and positioned on the film 10. The dicing ring 3 is made of, for example, stainless steel, aluminum, or the like. The film 10 is made of, for example, PVC (vinyl chloride), polyolefin, or the like.
【０００５】しかし、このような従来例では次の問題点
があった。 フィルム１０の温度特性が悪いため、検査対象デバイ
ス４をフィルム１０に固定して耐熱温度以上の温度をか
けてデバイスの検査をできない。 温度変化によりフィルム１０に伸び縮みが発生し、デ
バイスの正確な位置決めと固定ができない。 検査対象デバイス４をフィルム１０に貼るときに、デ
バイスを高精度に位置決めすることが難しい。However, such a conventional example has the following problems. Since the temperature characteristic of the film 10 is poor, the device 4 to be inspected cannot be fixed to the film 10 and subjected to a temperature higher than the heat-resistant temperature to inspect the device. The film 10 expands and contracts due to the temperature change, so that accurate positioning and fixing of the device cannot be performed. When attaching the device 4 to be inspected to the film 10, it is difficult to position the device with high accuracy.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した問題
点を解決するためになされたものであり、検査対象デバ
イスをトレイに形成した凹部や真空吸着によって位置決
めすることによって、温度変化による検査対象デバイス
の位置ずれを低減できる位置固定方法、位置固定装置及
び位置固定装置を用いたハンドラを実現することを目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and a device to be inspected is positioned by a concave portion formed in a tray or by vacuum suction so that the device to be inspected is subject to temperature change. It is an object of the present invention to realize a position fixing method, a position fixing device, and a handler using the position fixing device, which can reduce a position shift of a device.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は次のとおりの構
成になった位置固定方法、位置固定装置及び位置固定装
置を用いたハンドラである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a position fixing method, a position fixing device, and a handler using the position fixing device, which are constructed as follows.
【０００８】（１）トレイに凹部を設け、検査対象デバ
イスを前記凹部に嵌め合わせた状態で検査場所に位置固
定することを特徴とする位置固定方法。(1) A position fixing method, wherein a concave portion is provided in a tray, and the position of the device to be inspected is fixed at an inspection place in a state fitted in the concave portion.
【０００９】（２）前記凹部に真空ポンプを連結して検
査対象デバイスを凹部に真空吸着することを特徴とする
（１）記載の位置固定方法。(2) The position fixing method according to (1), wherein a vacuum pump is connected to the concave portion to vacuum-suck the device to be inspected to the concave portion.
【００１０】（３）検査対象デバイスをトレイに固定し
た状態で搬送し、検査場所に位置決めする位置固定装置
において、前記トレイに検査対象デバイスが嵌め合わさ
れる凹部を設けたことを特徴とする位置固定装置。(3) A position fixing device for transporting a device to be inspected in a state fixed to a tray and positioning the device to be inspected at a position for inspection, wherein a concave portion for fitting the device to be inspected to the tray is provided. apparatus.
【００１１】（４）前記凹部に真空ポンプを連結する吸
引ポートを設け、前記真空ポンプは検査場所に設置した
ことを特徴とする（３）記載の位置固定装置。(4) The position fixing device according to (3), wherein a suction port for connecting a vacuum pump is provided in the concave portion, and the vacuum pump is installed at an inspection place.
【００１２】（５）前記トレイは、既存のダイシングリ
ングと共通のサイズになった円板形状のダイシングトレ
イで構成したことを特徴とする（３）または（４）記載
の位置固定装置。(5) The position fixing device according to (3) or (4), wherein the tray is constituted by a disk-shaped dicing tray having a size common to an existing dicing ring.
【００１３】（６）既存のダイシングリングがトレイの
周縁部を形成することを特徴とする（３）または（４）
記載の位置固定装置。(6) The existing dicing ring forms the peripheral portion of the tray (3) or (4).
The position fixing device according to the above.
【００１４】（７）（３）乃至（６）のいずれかに記載
された位置固定装置を含むことを特徴とする位置固定装
置を用いたハンドラ。(7) A handler using a position fixing device including the position fixing device according to any one of (3) to (6).
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図１は検査対象デバイスを固定する部分の構成を示
した図である。図１の（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）
のＡ−Ａ部分の断面図である。図１で、ダイシングトレ
イ２０は、円板状に形成され、既存のダイシングリング
と共通のサイズになっている。ダイシングトレイ２０に
は検査対象デバイスが嵌め合わされる凹部２１が形成さ
れている。この凹部２１は正確に位置が決められた凹部
である。ダイシングトレイ２０は、例えばステンレス
鋼、アルミニウム等で構成されている。凹部２１の底面
には凹部２２が形成されている。吸引ポート２３は、凹
部２２とつながっていて、外部に開口している。また、
凹部２２は凹部２１の底面に形成された溝２４とつなが
っている。溝２４は凹部２１の底面の各所に行き渡るよ
うに延びている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a portion for fixing a device to be inspected. 1A is a top view, and FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. In FIG. 1, the dicing tray 20 is formed in a disk shape and has the same size as an existing dicing ring. The dicing tray 20 has a recess 21 into which the device to be inspected is fitted. The recess 21 is a recess whose position is accurately determined. The dicing tray 20 is made of, for example, stainless steel, aluminum, or the like. A recess 22 is formed on the bottom surface of the recess 21. The suction port 23 is connected to the recess 22 and opens to the outside. Also,
The recess 22 is connected to a groove 24 formed on the bottom surface of the recess 21. The groove 24 extends so as to reach every part of the bottom surface of the concave portion 21.
【００１６】真空ポンプ３０は、吸引ポート２３に連結
され、吸引ポート２３から吸引を行う。これにより、凹
部２２と溝２４が真空状態になり、凹部２１内に収納さ
れた検査対象デバイスが真空吸着される。The vacuum pump 30 is connected to the suction port 23 and performs suction from the suction port 23. Thereby, the concave portion 22 and the groove 24 are in a vacuum state, and the device to be inspected housed in the concave portion 21 is vacuum-sucked.
【００１７】図２はステージがダイシングトレイに載せ
られた状態を示した図、図３はダイシングトレイの上面
図である。図２及び図３で、ステージ４０上にダイシン
グトレイ２０が載せられている。ステージ４０にはリン
グ状の溝４１，４２が形成されている。通路４３は溝４
１，４２とつながっている。ステージ４０上にダイシン
グトレイ２０を載せたときに、吸引ポート２３が溝４１
と連通する。FIG. 2 is a diagram showing a state where the stage is mounted on a dicing tray, and FIG. 3 is a top view of the dicing tray. 2 and 3, the dicing tray 20 is placed on the stage 40. The stage 40 has ring-shaped grooves 41 and 42 formed therein. Passage 43 is groove 4
It is connected to 1,42. When the dicing tray 20 is placed on the stage 40, the suction port 23
Communicate with
【００１８】真空ポンプ３０は、通路４３に連結され、
通路４３から吸引を行う。これにより、溝４１，４２、
吸引ポート２３、凹部２２が真空状態になり、凹部２１
内に収納された検査対象デバイスが真空吸着される。検
査対象デバイス４はダイシングトレイ２０とともに吸着
され、検査対象デバイス４とダイシングトレイ２０がス
テージ４０に位置決めされる。The vacuum pump 30 is connected to the passage 43,
Suction is performed from the passage 43. Thereby, the grooves 41, 42,
The suction port 23 and the recess 22 are evacuated, and the recess 21
The device to be inspected housed inside is vacuum-sucked. The inspection target device 4 is sucked together with the dicing tray 20, and the inspection target device 4 and the dicing tray 20 are positioned on the stage 40.
【００１９】図４は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図４は検査対象デバイスを固定する部分の構成を
示した図である。図４の（ａ）は上面図、（ｂ）は
（ａ）のＢ−Ｂ部分の断面図である。トレイプレート５
０は、ダイシングリング３に固定され、検査対象デバイ
ス４が嵌め合わされる凹部５１が形成されている。この
凹部５１は正確に位置が決められた凹部である。なお、
トレイプレート５０はダイシングリング３と一体構成に
なっていてもよい。吸引ポート５２は凹部５１とつなが
っていて、外部に開口している。トレイプレート５０
は、例えばステンレス鋼、アルミニウム等で構成されて
いる。真空ポンプ３０は、吸引ポート５２に連結され、
吸引ポート５２から吸引を行う。これにより、凹部５１
が真空状態になり、検査対象デバイス４が凹部５１に吸
着される。FIG. 4 is a block diagram showing another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a portion for fixing the device to be inspected. 4A is a top view, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. Tray plate 5
Numeral 0 is fixed to the dicing ring 3 and has a concave portion 51 into which the device under test 4 is fitted. The recess 51 is a recess whose position is accurately determined. In addition,
The tray plate 50 may be integrated with the dicing ring 3. The suction port 52 is connected to the recess 51 and opens to the outside. Tray plate 50
Is made of, for example, stainless steel, aluminum, or the like. The vacuum pump 30 is connected to the suction port 52,
Suction is performed from the suction port 52. Thereby, the concave portion 51
Is brought into a vacuum state, and the device 4 to be inspected is attracted to the concave portion 51.
【００２０】[0020]
【発明の効果】本発明によれば次の効果が得られる。According to the present invention, the following effects can be obtained.
【００２１】請求項１乃至請求項４記載の発明では、検
査対象デバイスをトレイに形成した凹部や真空吸着によ
って位置決めしているため、フィルムをダイシングリン
グに貼った従来例に比べて温度変化による検査対象デバ
イスの位置ずれを低減できる。According to the first to fourth aspects of the present invention, since the device to be inspected is positioned by the concave portion formed in the tray or by vacuum suction, the inspection by the temperature change is performed as compared with the conventional example in which the film is pasted on the dicing ring. The displacement of the target device can be reduced.
【００２２】請求項５及び請求項６記載の発明では、ト
レイが既存のダイシングリングと共通サイズになってい
るため、他工程の装置との共用が可能になる。According to the fifth and sixth aspects of the present invention, since the tray has the same size as the existing dicing ring, it can be shared with the apparatus in another process.
【００２３】請求項７記載の発明によれば、温度変化に
よる検査対象デバイスの位置ずれが少ないハンドラを実
現できる。According to the seventh aspect of the present invention, it is possible to realize a handler in which the displacement of the device to be inspected due to a temperature change is small.
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention.
【図２】ステージがダイシングトレイに載せられた状態
を示した図である。FIG. 2 is a diagram showing a state where a stage is placed on a dicing tray.
【図３】ダイシングトレイの上面図である。FIG. 3 is a top view of a dicing tray.
【図４】本発明の他の実施例を示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
【図５】ハンドラの従来例の構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of a conventional example of a handler.
【図６】従来におけるダイシングリング部分の構成図で
ある。FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional dicing ring portion.
３ ダイシングリング ４ 検査対象デバイス ２０ ダイシングトレイ ２１ 凹部 ３０ 吸着手段 ４０ ステージ ５０ トレイプレート ５１ 凹部 Reference Signs List 3 dicing ring 4 device to be inspected 20 dicing tray 21 concave portion 30 suction means 40 stage 50 tray plate 51 concave portion
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三浦 元 新潟県新潟市馬越２丁目12番24号 株式会 社インテックソリューションパワー内 Ｆターム(参考） 2G003 AG11 AG16 5F031 CA20 DA05 DA13 HA13 KA15 MA33 PA30 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Gen Miura 2-12-24 Magoshi, Niigata City, Niigata F-term in Intec Solution Power Co., Ltd. 2G003 AG11 AG16 5F031 CA20 DA05 DA13 HA13 KA15 MA33 PA30
Claims (7)
を前記凹部に嵌め合わせた状態で検査場所に位置固定す
ることを特徴とする位置固定方法。1. A method of fixing a position, wherein a concave portion is provided in a tray, and a position of a device to be inspected is fixed at an inspection place in a state fitted in the concave portion.
象デバイスを凹部に真空吸着することを特徴とする請求
項１記載の位置固定方法。2. The position fixing method according to claim 1, wherein a vacuum pump is connected to the concave portion, and the device to be inspected is vacuum-sucked to the concave portion.
態で搬送し、検査場所に位置決めする位置固定装置にお
いて、前記トレイに検査対象デバイスが嵌め合わされる
凹部を設けたことを特徴とする位置固定装置。3. A position fixing device for transporting a device to be inspected in a fixed state to a tray and positioning the device to be inspected in a position fixing device, wherein a concave portion for fitting the device to be inspected is provided in the tray. .
ートを設け、前記真空ポンプは検査場所に設置したこと
を特徴とする請求項３記載の位置固定装置。4. The position fixing device according to claim 3, wherein a suction port for connecting a vacuum pump is provided in the concave portion, and the vacuum pump is installed at an inspection place.
と共通のサイズになった円板形状のダイシングトレイで
構成したことを特徴とする請求項３または請求項４記載
の位置固定装置。5. The position fixing device according to claim 3, wherein the tray is constituted by a disc-shaped dicing tray having the same size as an existing dicing ring.
部を形成することを特徴とする請求項３または請求項４
記載の位置固定装置。6. The tray according to claim 3, wherein an existing dicing ring forms a peripheral portion of the tray.
The position fixing device according to the above.
された位置固定装置を含むことを特徴とする位置固定装
置を用いたハンドラ。7. A handler using a position fixing device, comprising the position fixing device according to claim 3. Description:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000400910A JP2002202346A (en) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | Position fixing method, position fixing apparatus and handler using position fixing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000400910A JP2002202346A (en) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | Position fixing method, position fixing apparatus and handler using position fixing apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002202346A true JP2002202346A (en) | 2002-07-19 |
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ID=18865416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000400910A Pending JP2002202346A (en) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | Position fixing method, position fixing apparatus and handler using position fixing apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002202346A (en) |
Cited By (3)
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-
2000
- 2000-12-28 JP JP2000400910A patent/JP2002202346A/en active Pending
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