JP2002195265A - Manufacturing method of thrust plate used for fluid bearing unit - Google Patents

Manufacturing method of thrust plate used for fluid bearing unit

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JP2002195265A
JP2002195265A JP2000394061A JP2000394061A JP2002195265A JP 2002195265 A JP2002195265 A JP 2002195265A JP 2000394061 A JP2000394061 A JP 2000394061A JP 2000394061 A JP2000394061 A JP 2000394061A JP 2002195265 A JP2002195265 A JP 2002195265A
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JP
Japan
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thrust plate
blank
plate blank
lower dies
manufacturing
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Application number
JP2000394061A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuyuki Hagiwara
信行 萩原
Ko Koyama
抗 小山
Katsuhiko Tanaka
克彦 田中
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NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a thrust plate used for a fluid bearing unit capable of effectively mass-producing a thrust plate having superior dimensional accuracy of a through-hole at low cost. SOLUTION: The thrust plate used for the fluid bearing unit is comprised of core metal 70 fitted in the through-hole 51 of a blank 50 of the thrust plate, an upper and lower dies 80 and 90 in which the upper and lower dies are fitted in both end portions of the core metal 70 so as to put the blank between the dies and a groove pattern generating hydrodynamic pressure is respectively formed in an opposing face to both end faces of the blank 50, and an outer cylinder 100 leading movement of the blank 50 and the upper and lower dies 80 and 90 in an axial direction by fitting on an outer periphery of the blank 50 and the upper and lower dies 80 and 90. The groove generating hydrodynamic pressure is engraved in the end faces of the blank in proportion to the groove pattern by pressing in a state in which a whole surface for both end faces and inner and outer peripheral faces of the blank 50 is tightly closed while the upper and lower dies 80 and 90 are relatively moved to an axial direction. Thus, the thrust plate used for the fluid bearing as a final product is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、情報機器、音響・
映像機器、事務機等に組み込まれる流体軸受装置のスラ
ストプレートの製造方法に関し、特に磁気ディスク装置
( HDD) やファンモータ等に組み込まれる流体軸受装
置に好適なスラストプレートの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to information equipment,
The present invention relates to a method for manufacturing a thrust plate of a hydrodynamic bearing device incorporated in a video device, an office machine, etc.
The present invention relates to a method for manufacturing a thrust plate suitable for a hydrodynamic bearing device to be incorporated in an HDD, a fan motor, or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の流体軸受装置としては、例えば図
7に示すものが知られている。この流体軸受装置は、回
転軸1の上端にハブ2が同心に固定されており、該ハブ
2の内周部にはロータ(磁石部)3が取り付けられてい
る。回転軸1はベース4の円筒部4aに嵌合されたスリ
ーブ5に所定のすき間を隔てて嵌入されており、円筒部
4aの外周部にはステータ6がロータ3に対向して取り
付けられている。スリーブ5の内周面及び/又は回転軸
1の外周面には動圧発生用の溝(図示せず。)が設けら
れており、回転軸1の外周面とスリーブ5の内周面とに
よってラジアル動圧軸受を構成している。
2. Description of the Related Art As a conventional hydrodynamic bearing device, for example, the one shown in FIG. 7 is known. In this hydrodynamic bearing device, a hub 2 is concentrically fixed to an upper end of a rotating shaft 1, and a rotor (magnet portion) 3 is attached to an inner peripheral portion of the hub 2. The rotating shaft 1 is fitted into a sleeve 5 fitted to the cylindrical portion 4a of the base 4 with a predetermined gap therebetween, and a stator 6 is attached to the outer peripheral portion of the cylindrical portion 4a so as to face the rotor 3. . Grooves (not shown) for generating dynamic pressure are provided on the inner peripheral surface of the sleeve 5 and / or the outer peripheral surface of the rotating shaft 1, and are formed by the outer peripheral surface of the rotating shaft 1 and the inner peripheral surface of the sleeve 5. It constitutes a radial dynamic pressure bearing.

【0003】また、回転軸1の下端には平板状のスラス
トプレート9が固定されており、該スラストプレート9
はその上端面がスリーブ5の下端面に対向するようにな
っている。スラストプレート9の上端面には動圧発生用
の溝10が設けられてスラスト流体軸受を構成してい
る。また、ラジアル動圧軸受及スラスト流体軸受の軸受
すきまにはグリース等の潤滑剤が封入されている。
A flat thrust plate 9 is fixed to the lower end of the rotating shaft 1.
The upper end of the sleeve 5 is opposed to the lower end of the sleeve 5. Grooves 10 for generating dynamic pressure are provided on the upper end surface of the thrust plate 9 to constitute a thrust fluid bearing. Lubricants such as grease are sealed in bearing clearances of the radial dynamic pressure bearing and the thrust fluid bearing.

【0004】ところで、このように平板状のスラストプ
レートの片端面を軸受面とするスラスト流体軸受は、焼
き入れして表面を硬化したステンレス鋼の表面(表面硬
さHvで500〜600)に動圧発生用溝パターンを耐
食インクで印刷し、非被覆面を化学エッチング加工する
ことにより製造されていた。この場合、特に加工精度の
必要とされないスラストプレートブランクの反対側(下
端面側)の非軸受面や外周面は腐食防止の被覆は行わ
ず、スラストプレートブランク全体を腐食液に浸漬して
エッチング加工していた。
By the way, the thrust fluid bearing in which one end surface of the flat thrust plate is used as a bearing surface moves to a hardened and hardened stainless steel surface (surface hardness Hv of 500 to 600). It has been manufactured by printing a groove pattern for pressure generation with a corrosion-resistant ink and chemically etching the uncoated surface. In this case, the non-bearing surface and the outer peripheral surface on the opposite side (lower end surface side) of the thrust plate blank, for which processing accuracy is not particularly required, are not coated to prevent corrosion, and the entire thrust plate blank is immersed in a corrosive liquid and etched. Was.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
なエッチング加工を、中央部に軸とのはめあい面或いは
案内面となる貫通穴を有すると共に両端面に動圧発生用
の溝が刻設されるスラストプレートの製造工程に適用し
ようとすると、寸法精度を要する貫通穴の内周面に耐食
塗料や耐食インクをコーティングする等の腐食防止の被
覆を施す必要があり、生産性が著しく低下して製造コス
トが高騰するという問題があった。
However, in the above-mentioned etching process, a groove for generating a dynamic pressure is formed at both ends by forming a through hole at a center portion to be a fitting surface with a shaft or a guiding surface. When applying to the manufacturing process of a thrust plate, it is necessary to apply a corrosion-resistant coating such as a coating of corrosion-resistant paint or corrosion-resistant ink to the inner peripheral surface of the through hole that requires dimensional accuracy, and the productivity is significantly reduced. There has been a problem that manufacturing costs have risen.

【0006】本発明はこのような不都合を解消するため
になされたものであり、生産性の向上及び製造コストの
低減を図ることができる流体軸受装置用スラストプレー
トの製造方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a thrust plate for a hydrodynamic bearing device, which can improve productivity and reduce manufacturing costs. And

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る流体軸受装置用スラストプレートの製
造方法は、中央部に貫通穴を有すると共に両端面に動圧
発生用の溝が刻設された流体軸受装置用スラストプレー
トの製造方法において、スラストプレートブランクの貫
通穴に嵌合される芯金と、該芯金の両端部に前記スラス
トプレートブランクを挟み込むように嵌合され、該スラ
ストプレートブランクの両端面に対向する面にそれぞれ
動圧発生用の溝パターンが形成された一対の上下型と、
前記スラストプレートブランク及び前記上下型の外周面
に嵌合されて該スラストプレートブランク及び該上下型
の軸方向の移動を案内する外筒とを備え、前記一対の上
下型を軸方向に相対移動させて前記スラストプレートブ
ランクの両端面及び内外周面の全面を密閉した状態で押
圧することにより、該スラストプレートブランクの両端
面に前記溝パターンに応じた動圧発生用の溝を刻設する
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a thrust plate for a hydrodynamic bearing device according to the present invention has a through hole at a central portion and grooves for generating dynamic pressure at both end surfaces. In the manufacturing method of the engraved thrust plate for a hydrodynamic bearing device, a metal core fitted into a through hole of a thrust plate blank is fitted to both ends of the metal core so as to sandwich the thrust plate blank, A pair of upper and lower dies each having a groove pattern for generating dynamic pressure formed on a surface facing both end surfaces of the thrust plate blank,
An outer cylinder fitted to the outer peripheral surface of the thrust plate blank and the upper and lower molds to guide the axial movement of the thrust plate blank and the upper and lower molds, and relatively moving the pair of upper and lower molds in the axial direction. By pressing both end surfaces and the entire inner and outer peripheral surfaces of the thrust plate blank in a sealed state, grooves for dynamic pressure generation according to the groove pattern are formed on both end surfaces of the thrust plate blank. Features.

【0008】この場合、動圧発生用の溝の深さは15μ
m以下が好ましい。また、芯金としては、外径が同軸で
且つ段階的に軸方向に径が変わっており、先端の径がス
ラストプレートブランクの貫通穴径より小さく、中央部
がスラストプレートブランクの貫通穴とのクリアランス
が±2μmとされ、基端部が下型の穴径と略同径になっ
ているものを使用するのが好ましい。
In this case, the depth of the groove for generating dynamic pressure is 15 μm.
m or less is preferable. Also, as the core metal, the outer diameter is coaxial and the diameter is gradually changed in the axial direction, the diameter of the tip is smaller than the diameter of the through hole of the thrust plate blank, and the center part is the same as the through hole of the thrust plate blank. It is preferable to use one having a clearance of ± 2 μm and a base end having substantially the same diameter as the hole diameter of the lower die.

【0009】更に、スラストプレートブランクに動圧発
生用の溝を刻設してスラストプレートを製造した後に外
筒及び芯金を取り外す方法としては、上型と下型でスラ
ストプレートを挟みつつ、最初に芯金を外し、次に外筒
を外すようにするか、上型と下型でスラストプレートを
挟みつつ、芯金と外筒とを同時に外すようにするか、或
いは上型と下型でスラストプレートを挟みつつ、最初に
外筒を外し、次に芯金を外すようにするのが好ましい。
[0009] Further, as a method of removing the outer cylinder and the core after the thrust plate is manufactured by engraving a groove for generating dynamic pressure in the thrust plate blank, the upper die and the lower die sandwich the thrust plate at first. Remove the core metal and then remove the outer cylinder, or remove the core metal and outer cylinder simultaneously while holding the thrust plate between the upper and lower molds, or use the upper and lower molds It is preferable to first remove the outer cylinder and then remove the metal core while sandwiching the thrust plate.

【0010】更に、上記製造方法によってスラストプレ
ートを製造した後に、平坦な金型を用いて軸受面をプレ
ス機械で押圧加工(スパンキング) するのが好ましい。
更に、上記製造方法において、スラストプレートブラン
クの下端面から芯金の基端側の端面までの距離Lが、ス
ラストプレートブランクの外径寸法(2R)以上である
ことが好ましい。
Further, after the thrust plate is manufactured by the above manufacturing method, it is preferable that the bearing surface is pressed (spanned) by a press machine using a flat mold.
Further, in the above manufacturing method, it is preferable that the distance L from the lower end face of the thrust plate blank to the end face on the base end side of the metal core is not less than the outer diameter dimension (2R) of the thrust plate blank.

【0011】更に、上下型の端面に設けられる動圧発生
用の溝パターンは、イオンエッチング加工により形成す
るのが好ましい。更に、上記の製造方法によって製造さ
れたスラストプレートの表面硬さは、スラスト流体軸受
を構成する相手部材の表面硬さと略等しいか、低いこと
が好ましい。
Further, it is preferable that the groove pattern for generating dynamic pressure provided on the end surfaces of the upper and lower dies is formed by ion etching. Further, it is preferable that the surface hardness of the thrust plate manufactured by the above manufacturing method is substantially equal to or lower than the surface hardness of a mating member constituting the thrust fluid bearing.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図1は本発明の実施の形態の一例で
ある流体軸受装置用スラストプレートの製造方法を説明
するための説明図でスラストプレートブランクを芯金に
挿入する状態を示す図、図2はスラストプレートブラン
クの成形状態を示す図、図3は芯金の拡大図、図4はス
ラストプレートブランクの外径寸法2Rと芯金基端部の
下型への挿入長さLとの関係を説明するための説明図、
図5は本発明の製造方法によって得られたスラストプレ
ートを備えた流体軸受装置を説明するための説明的断面
図、図6は本発明の他の実施の形態である流体軸受装置
用スラストプレートの製造方法を説明するための説明図
である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory view for explaining a method of manufacturing a thrust plate for a hydrodynamic bearing device according to an embodiment of the present invention, showing a state in which a thrust plate blank is inserted into a metal core, and FIG. 2 is a thrust plate blank. FIG. 3 is an enlarged view of a cored bar, and FIG. 4 is a view for explaining the relationship between the outer diameter 2R of the thrust plate blank and the insertion length L of the base end of the cored bar into the lower mold. Explanatory diagram,
FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view for explaining a hydrodynamic bearing device provided with a thrust plate obtained by the manufacturing method of the present invention, and FIG. 6 shows a thrust plate for a hydrodynamic bearing device according to another embodiment of the present invention. It is an explanatory view for explaining a manufacturing method.

【0013】まず、説明の便宜上、図5を参照して、本
発明の製造方法によって得られたスラストプレートを備
えた流体軸受装置を説明すると、図5において符号20
は回転軸であり、この回転軸20の上端にはハブ21が
同心に固定され、ハブ21の内周部にはロータ(磁石
部)22が取り付けられている。回転軸20はベース2
3の有底円筒部23aに嵌合されたスリーブ24に所定
のすき間を隔てて嵌入されており、有底円筒部23aの
外周部にはステータ24aがロータ22に対向して取り
付けられている。
First, for convenience of description, a hydrodynamic bearing device provided with a thrust plate obtained by the manufacturing method of the present invention will be described with reference to FIG.
Is a rotating shaft, and a hub 21 is concentrically fixed to the upper end of the rotating shaft 20, and a rotor (magnet portion) 22 is attached to an inner peripheral portion of the hub 21. The rotation shaft 20 is the base 2
3 is fitted into the sleeve 24 fitted to the bottomed cylindrical portion 23a with a predetermined gap, and a stator 24a is attached to the outer peripheral portion of the bottomed cylindrical portion 23a so as to face the rotor 22.

【0014】スリーブ24の内周面及び/又は回転軸2
0の外周面には動圧発生用の溝(図示せず。)が設けら
れており、回転軸20の外周面とスリーブ24の内周面
とによってラジアル動圧軸受を構成している。なお、図
5において符号25は空気抜き穴である。また、回転軸
20の下端にはスラストプレート30がボルト40を介
して固定されている。スラストプレート30は中央部に
はめあい面や案内面となる貫通穴31を有すると共に上
下両端面に動圧発生用の溝(図示せず。)が刻設されて
おり、上端面がスリーブ24の下端面に対向すると共に
下端面が有底円筒部23aの底部に対向してスラスト流
体軸受を構成している。ラジアル動圧軸受及びスラスト
流体軸受の軸受すきまには、油,グリース等の潤滑剤が
封入されている。
The inner peripheral surface of the sleeve 24 and / or the rotating shaft 2
A groove (not shown) for generating dynamic pressure is provided on the outer peripheral surface of the sleeve 0, and the outer peripheral surface of the rotary shaft 20 and the inner peripheral surface of the sleeve 24 constitute a radial dynamic pressure bearing. In FIG. 5, reference numeral 25 denotes an air vent hole. A thrust plate 30 is fixed to a lower end of the rotating shaft 20 via a bolt 40. The thrust plate 30 has a through hole 31 serving as a fitting surface and a guide surface in the center, and grooves (not shown) for generating dynamic pressure are formed on both upper and lower end surfaces. A thrust fluid bearing is configured to face the end face and the lower end face faces the bottom of the bottomed cylindrical portion 23a. Lubricants such as oil and grease are sealed in the bearing clearances of the radial dynamic pressure bearing and the thrust fluid bearing.

【0015】ここで、この実施の形態では、上記スラス
トプレート30を次のようにして製造している。まず、
図1〜図3を参照して、コイニング装置から説明する
と、このコイニング装置は、成形前のスラストプレート
(以下、スラストプレートブランクという。)50の貫
通穴51に嵌合される芯金70と、該芯金70の両端部
にスラストプレートブランク50を挟み込むように嵌合
され、該スラストプレートブランク50の上下端面に対
向する面にそれぞれ動圧発生用の例えばヘリングボーン
状の溝パターンが形成された一対の上下型80,90
と、スラストプレートブランク50及び上下型80,9
0の外周面に嵌合されてスラストプレートブランク50
及び上下型80,90の軸方向の移動を案内する外筒1
00とを備えている。
Here, in this embodiment, the thrust plate 30 is manufactured as follows. First,
With reference to FIGS. 1 to 3, the coining device will be described. The coining device includes a metal core 70 fitted into a through hole 51 of a thrust plate 50 (hereinafter, referred to as a thrust plate blank) 50 before molding. The thrust plate blank 50 was fitted to both ends of the metal core 70 so as to sandwich the thrust plate blank 50, and for example, a herringbone-shaped groove pattern for generating dynamic pressure was formed on the surface facing the upper and lower end surfaces of the thrust plate blank 50. A pair of upper and lower dies 80, 90
And the thrust plate blank 50 and the upper and lower dies 80, 9
0 thrust plate blank 50
And an outer cylinder 1 for guiding the axial movement of the upper and lower dies 80, 90
00.

【0016】芯金70は、図3を参照して、先端部から
基端部に向けて順番に形成された上型案内部71、成形
部72及び下型案内部73を有している。上型案内部7
1はスラストプレートブランク50を成形部72に案内
するためのものであり、外径が成形部72の外径に比べ
て10〜20μm小さくなっている。
Referring to FIG. 3, the metal core 70 has an upper die guide 71, a molded portion 72, and a lower die guide 73 formed in order from the distal end to the base end. Upper guide 7
Numeral 1 is for guiding the thrust plate blank 50 to the forming part 72, and its outer diameter is smaller by 10 to 20 μm than the outer diameter of the forming part 72.

【0017】成形部72はスラストプレートブランク5
0の内径を成形するためのもので、製品レベルの貫通穴
31の完成内径寸法と同一になっている。上型案内部7
1と成形部72との境の段部については、スラストプレ
ートブランク50がスムースに挿入できるように、なめ
らかにつなげるのが好ましい。なお、成形部72の外径
を変えた芯金を何本も用意することによって、貫通穴3
1の寸法が異なるスラストプレートを製造することがで
きる。
The forming portion 72 is provided with a thrust plate blank 5
This is for forming an inner diameter of 0, which is the same as the completed inner diameter of the through hole 31 at the product level. Upper guide 7
It is preferable that the step portion at the boundary between 1 and the forming portion 72 be connected smoothly so that the thrust plate blank 50 can be inserted smoothly. By preparing a number of metal cores having different outer diameters of the molded portion 72, the through holes 3
Thrust plates with different dimensions can be manufactured.

【0018】下型案内部73は下型90に支持されて下
型90との同心を維持するためのものであり、下型90
の穴径とのクリアランスがφ3μm以下とされている。
上型案内部71、成形部72及び下型案内部73は同軸
に形成されており、また、芯金70全体はコイニング中
に軸方向に移動可能になっている。この実施の形態で
は、図2に示すように、下型90に芯金70の下型案内
部73を嵌合して該芯金70の基端側の端面(下端面)
がベース101についた状態、或いは芯金70の基端側
の端面とベース101がわずかなすき間になっている状
態で、成形部72によるスラストプレートブランク50
内径のコイニングが完了する位置にしている。なお、ス
ラストプレートブランク50の挿入は、ばね等により下
型90の上端面を芯金70の上型案内部71付近に上げ
ておき、上型80と下型90とによってスラストプレー
トブランク50を挟み、芯金70との直角度を維持しな
がら挿入すると、コイニング後の貫通穴内径の直角度
(内径と端面との直角度)を高めることができる。
The lower die guide portion 73 is supported by the lower die 90 to maintain concentricity with the lower die 90.
The clearance with the hole diameter is set to φ3 μm or less.
The upper die guide part 71, the forming part 72, and the lower die guide part 73 are formed coaxially, and the whole core 70 can be moved in the axial direction during coining. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the lower die guide portion 73 of the core 70 is fitted to the lower die 90, and the proximal end surface (lower end surface) of the core 70.
Is attached to the base 101, or in a state where the base 101 has a slight gap between the base end face of the metal core 70 and the base 101, the thrust plate blank 50 is formed by the molding portion 72.
It is at the position where coining of the inner diameter is completed. In addition, when inserting the thrust plate blank 50, the upper end surface of the lower die 90 is raised near the upper die guide portion 71 of the core metal 70 by a spring or the like, and the thrust plate blank 50 is sandwiched between the upper die 80 and the lower die 90. When the insertion is performed while maintaining the perpendicularity with the metal core 70, the perpendicularity of the inner diameter of the through hole after coining (the perpendicularity between the internal diameter and the end face) can be increased.

【0019】上下型80,90、外筒100及び芯金7
0の材質は、焼き入れした軸受鋼、ダイス鋼、高速度鋼
や超硬等が適しているが、寸法精度を向上させるために
は弾性変形の少ない超硬が好ましい。特に、押圧の際に
曲がりの影響が問題となる案内用の芯金70の材質に
は、弾性変形の少ない超硬が適している。スラストプレ
ートブランク50は、旋盤で円環状に作成した後、磁気
研磨でバリを除去したものやラップ仕上げしたもの等を
使用することができ、また、スラストプレートブランク
50の貫通穴51は芯金成形部72の外径の±2μmの
精度にしている。
Upper and lower dies 80 and 90, outer cylinder 100 and core metal 7
As the material of No. 0, quenched bearing steel, die steel, high-speed steel, carbide and the like are suitable, but in order to improve dimensional accuracy, carbide having little elastic deformation is preferable. In particular, as the material of the guide core 70 in which the influence of bending at the time of pressing becomes a problem, a carbide having a small elastic deformation is suitable. The thrust plate blank 50 can be formed into an annular shape on a lathe and then used to remove burrs by magnetic polishing or lap finished. Further, the through hole 51 of the thrust plate blank 50 is formed by core metal molding. The accuracy is set to ± 2 μm of the outer diameter of the portion 72.

【0020】スラストプレートブランク50の材質は、
流体軸受装置の起動停止時にスラストプレートの摺動相
手となる相手部材(この実施の形態では、スリーブ下端
面及び有底円筒部の底部)とのなじみ易さや相手部材を
傷つけて摩耗させないために、表面硬さが相手部材の表
面硬さと略同一か、低いもの、例えばHvで400以
下、好ましくは塑性加工性のよいHv300以下の銅合
金やステンレス鋼等が適している。このほかのスラスト
プレートブランク50の材質としては、焼結金属、焼結
含油金属或いはその他の軟質金属が挙げられる。
The material of the thrust plate blank 50 is
To prevent the thrust plate from sliding with the mating member (in this embodiment, the lower end surface of the sleeve and the bottom of the bottomed cylindrical portion) and prevent the mating member from being damaged and worn, A material whose surface hardness is substantially the same as or lower than the surface hardness of the mating member, for example, a copper alloy or stainless steel having an Hv of 400 or less, preferably a plastic workability of 300 or less is suitable. Other materials for the thrust plate blank 50 include sintered metal, sintered oil-impregnated metal, and other soft metals.

【0021】スラストプレートと摺動する相手部材に銅
合金やステンレス鋼を用いる場合についても、流体軸受
装置の起動停止時に摺動する軸受面が相手部材となじみ
易く且つ傷つけにくくするために、スラストプレートブ
ランク50の表面硬さは相手部材の表面硬さと略同一か
低いことが好ましい。また、スラストプレート及び相手
部材共に銅合金やステンレス鋼同士の組み合わせ(いわ
ゆるとも金) を用いても、材料成分の異なる組み合わせ
であれば硬さがほぼ同じでも流体軸受装置の起動停止時
の耐久性は損なわれないことか実験等により確認され
た。なお、相手部材に硬さの高い材質を用いる代わり
に、その表面にニッケルメッキを施したり、DLC膜等
をコーティングして表面硬さを向上させるようにしても
よい。
In the case where a copper alloy or stainless steel is used as a mating member that slides with the thrust plate, the thrust plate slides when the hydrodynamic bearing device is started and stopped so that the bearing surface slides easily with the mating member and is hardly damaged. The surface hardness of the blank 50 is preferably substantially the same as or lower than the surface hardness of the mating member. In addition, even when a combination of copper alloy or stainless steel (so-called gold) is used for both the thrust plate and the mating member, if the combination of the material components is different, the durability at the time of starting and stopping the fluid bearing device even if the hardness is almost the same is obtained. It was confirmed by experiments and the like that it was not impaired. Instead of using a material having high hardness for the mating member, the surface may be plated with nickel or coated with a DLC film or the like to improve the surface hardness.

【0022】上下型80,90に設けられる動圧発生用
の溝パターンは、イオンエッチング加工で形成するのが
好ましい。このようにすると、溝底の粗さが2μm以下
で、しかも凹凸のない寸法精度に優れた溝パターンを有
する上下型80,90を得ることができ、流体軸受装置
として求められる起動停止の耐久性に優れたスラストプ
レートを低コストで、大量に製造することができる。
The groove patterns for generating the dynamic pressure provided in the upper and lower dies 80 and 90 are preferably formed by ion etching. By doing so, it is possible to obtain the upper and lower dies 80 and 90 having a groove pattern with a groove bottom roughness of 2 μm or less and excellent dimensional accuracy without unevenness, and durability for starting and stopping required for a hydrodynamic bearing device. Thrust plates excellent in quality can be mass-produced at low cost.

【0023】また、上下型80,90の溝底の粗さをさ
らに向上させるために、必要に応じて形状を損なわない
範囲で研磨材を用いてラッピングすると溝底の粗さをよ
り向上させることができる。なお、上下型80,90の
溝パターンの加工をミーリングで機械加工する方法も試
みた結果、溝底の粗さは化学エッチング加工よりもよい
が、刃先の繰り返し移動により溝底に凹凸が残りやす
く、また、スラストプレートブランク50の外径が10
mm以下の加工に適用しようとすると、溝幅が狭くなる
ために微細な溝パターンの加工が困難となり、イオンエ
ッチング加工より寸法精度が劣ることが確認された。
Further, in order to further improve the roughness of the groove bottom of the upper and lower dies 80 and 90, if necessary, lapping is performed using an abrasive so long as the shape is not impaired. Can be. In addition, as a result of trying a method of machining the groove pattern of the upper and lower dies 80 and 90 by milling, the roughness of the groove bottom is better than that of the chemical etching, but unevenness tends to remain on the groove bottom due to the repeated movement of the cutting edge. And the outer diameter of the thrust plate blank 50 is 10
When it is applied to the processing of less than mm, it has been confirmed that the processing of a fine groove pattern becomes difficult due to the narrow groove width, and the dimensional accuracy is inferior to the ion etching processing.

【0024】ところで、コイニング中にスラストプレー
トブランク50の内径が塑性変形することによって、芯
金70に力がかかるが、この力は変形初期は全周同時に
かかるというわけにはいかず、必ず片当りがおきる。こ
の結果、 コイニング中に芯金70が傾き、芯金70とス
ラストプレートブランク50との直角度が悪くなる虞れ
がある。
Incidentally, a force is applied to the metal core 70 by plastic deformation of the inner diameter of the thrust plate blank 50 during coining. However, this force cannot be simultaneously applied to the entire circumference at the initial stage of deformation, but one end is always caused. Wake up. As a result, the core metal 70 may tilt during coining, and the perpendicularity between the core metal 70 and the thrust plate blank 50 may be deteriorated.

【0025】そこで、この実施の形態では、このような
事態を回避すべく、スラストプレートブランク50の下
端面から芯金70の基端側の端面までの距離Lと、スラ
ストプレートブランク50の外径寸法(2R)との関係
をL≧2Rとしている。図4を参照して詳述すると、下
型90の内径と芯金70とのすきまがsの場合で、芯金
70とスラストプレートブランク50との直角度δが必
要な時の幾何的要請は、2R,L≫δ,sのとき、2R
・s/L≦δである。この実施の形態の場合、2R,L
は数mmオーダーであり、すきまsはコイニング中に芯
金70を軸方向に稼動させるためφ3μm以下、直角度
δの許容値は3μm以下であった。したがって、上記幾
何的要請を用いることができ、s,δの値を代入する
と、L≧2Rとなる。
Therefore, in this embodiment, in order to avoid such a situation, the distance L from the lower end face of the thrust plate blank 50 to the end face on the base end side of the metal core 70 and the outer diameter of the thrust plate blank 50 The relationship with the dimension (2R) is L ≧ 2R. Referring to FIG. 4 in detail, when the clearance between the inner diameter of the lower die 90 and the metal core 70 is s, and the squareness δ between the metal core 70 and the thrust plate blank 50 is required, the geometrical requirement is as follows. , 2R, L≫δ, s, 2R
S / L ≦ δ. In the case of this embodiment, 2R, L
Was on the order of several mm, and the clearance s was φ3 μm or less to allow the core metal 70 to move in the axial direction during coining, and the allowable value of the squareness δ was 3 μm or less. Therefore, the above geometrical requirements can be used, and when the values of s and δ are substituted, L ≧ 2R.

【0026】また、上下型80,90の溝パターンの転
写性をよくするためには、コイニング中に面圧を上げて
スラストプレート(成形中)内に発生する内部応力を均
等にする必要がある。面圧はスラストプレート材の降伏
応力の3倍以上にしたとき、内部の静水圧状態が均一に
いきわたり、転写性が良くなることが確認された。した
がって、コイニング時の面圧は、上下型80,90の寿
命を考慮して、スラストプレート材の降伏応力の3〜5
倍になるように設定するのが好ましい。
In order to improve the transferability of the groove patterns of the upper and lower dies 80 and 90, it is necessary to increase the surface pressure during coining to equalize the internal stress generated in the thrust plate (during molding). . It was confirmed that when the surface pressure was at least three times the yield stress of the thrust plate material, the internal hydrostatic pressure state was uniformly distributed and the transferability was improved. Therefore, the surface pressure at the time of coining is set to 3 to 5 of the yield stress of the thrust plate material in consideration of the life of the upper and lower dies 80 and 90.
It is preferable that the setting be made twice.

【0027】そして、上記構成のコイニング装置をプレ
ス機械に接続し、一対の上下型80,90を軸方向に相
対移動させてスラストプレートブランク50の両端面及
び内外周面の全面を密閉した状態で押圧することによ
り、該スラストプレートブランク50の両端面に上下型
80,90の溝パターンが転写されて動圧発生用の溝が
刻設され、上述したスラストプレート30が得られる。
Then, the coining device having the above-described configuration is connected to a press machine, and the pair of upper and lower dies 80 and 90 are relatively moved in the axial direction so that both end surfaces and the entire inner and outer peripheral surfaces of the thrust plate blank 50 are sealed. By pressing, the groove patterns of the upper and lower dies 80 and 90 are transferred to both end surfaces of the thrust plate blank 50, and grooves for generating dynamic pressure are carved. Thus, the above-described thrust plate 30 is obtained.

【0028】ここで、スラストプレート30に刻設され
た動圧発生用の溝の深さは、溝の断面形状の崩れが少な
く、しかも溝深さのばらつきを少なくするために、15
μm以下、また、溝深さのばらつきをより少なくするた
めには12μm以下が好ましいことが確認された。ま
た、コイニング後においては、押圧により動圧発生用溝
が刻設されたスラストプレートは塑性変形により芯金7
0と外筒100に食いつくため、芯金70及び外筒10
0の取り外し方によっては薄く剛性の低いスラストプレ
ートに過度な変形力が作用してスラストプレートの平面
度に悪影響を及ぼす虞れがある。
Here, the depth of the groove for generating the dynamic pressure formed in the thrust plate 30 is set to 15 in order to minimize the collapse of the cross-sectional shape of the groove and to reduce the variation in the groove depth.
It has been confirmed that the thickness is preferably not more than 12 μm, in order to further reduce the variation in the groove depth. After coining, the thrust plate in which the dynamic pressure generating grooves are engraved by pressing is pressed by the core metal 7 by plastic deformation.
0 and the outer cylinder 100, the core metal 70 and the outer cylinder 10
Depending on the manner in which the thrust plate is removed, an excessive deformation force may act on the thin and rigid rigid thrust plate, which may adversely affect the flatness of the thrust plate.

【0029】そこで、この実施の形態では、上型80と
下型90でスラストプレートを挟みつつ、最初に芯金7
0を外し、次に外筒100を外すようにするか、上型8
0と下型90でスラストプレートを挟みつつ、芯金70
と外筒100とを同時に外すようにするか、或いは上型
80と下型90でスラストプレートを挟みつつ、最初に
外筒100を外し、次に芯金70を外すようにした。こ
れにより、いずれの場合もスラストプレートの平面度を
悪くすることなく、該スラストプレートを芯金70及び
外筒100からエジェクトすることができた。
Therefore, in this embodiment, while the thrust plate is sandwiched between the upper die 80 and the lower die 90, the core metal 7
0, and then remove the outer cylinder 100 or the upper die 8
0 and the lower die 90 while sandwiching the thrust plate.
Or the outer cylinder 100 is removed simultaneously, or the outer cylinder 100 is removed first, and then the core metal 70 is removed while sandwiching the thrust plate between the upper mold 80 and the lower mold 90. Thus, in any case, the thrust plate could be ejected from the metal core 70 and the outer cylinder 100 without deteriorating the flatness of the thrust plate.

【0030】なお、スラストプレートの軸受面粗度をさ
らに向上させるために、スラストプレートを芯金70及
び外筒100からエジェクトした後に、平坦な金型を用
いて軸受面をプレス機械で押圧加工(スパンキング)す
るのが好ましい。スパンキング金型としては、超硬で中
央に穴がなく、表面を鏡面ラップしたものを用い、スラ
ストプレートの内径と外径とを拘束せず、荷重は、スラ
ストプレート材の降伏応力の1〜2倍の面圧になるよう
に設定した。以上の条件にしたところ、平面度1μm以
下で、かつ面粗度に優れたスラストプレートを得る事が
できた。
In order to further improve the roughness of the bearing surface of the thrust plate, after the thrust plate is ejected from the metal core 70 and the outer cylinder 100, the bearing surface is pressed by a press machine using a flat mold. Spanking). As a spanking mold, a cemented carbide with no hole at the center and a mirror-wrapped surface is used. The inner and outer diameters of the thrust plate are not restricted, and the load is 1-2 times the yield stress of the thrust plate material. The pressure was set to double. Under the above conditions, a thrust plate having a flatness of 1 μm or less and excellent surface roughness could be obtained.

【0031】上記の説明から明らかなように、この実施
の形態では、加工上最も精度確保が難しい上下型80,
90の溝パターンをスラストプレートの両端面に塑性加
工により転写して動圧発生溝を刻設し、しかも、スラス
トプレートの内径部は芯金70の成形部72によって高
精度に仕上げられるため、貫通穴31の寸法精度に優れ
たスラストプレートを効率良く低コストで量産すること
ができる。
As is clear from the above description, in this embodiment, the upper and lower dies 80 and
The groove pattern of 90 is transferred to both end surfaces of the thrust plate by plastic working to form a dynamic pressure generating groove, and the inner diameter portion of the thrust plate is finished with high precision by the molded portion 72 of the metal core 70, so that the through hole is formed. Thrust plates having excellent dimensional accuracy of the holes 31 can be efficiently mass-produced at low cost.

【0032】また、コイニング中はスラストプレートブ
ランク50の両端面及び内外周面の全面を密閉した状態
で押圧するようにしているので、材料が半径方向に塑性
流動するのを少なくすることができ、この結果、上下型
80,90にバリ等の付着残留がなくなって上下型の清
掃工程を省略することができ、加工サイクルを上げるこ
とができる。
Also, during coining, both ends and the entire inner and outer peripheral surfaces of the thrust plate blank 50 are pressed in a sealed state, so that plastic flow of the material in the radial direction can be reduced. As a result, the upper and lower dies 80 and 90 are free of burrs and the like, so that the cleaning process of the upper and lower dies can be omitted, and the processing cycle can be increased.

【0033】なお、上記実施の形態に用いたコイニング
装置の構造は、加工目的を逸脱しない範囲で適宜変更す
ることができ、例えば、一対の上下型は対称設計が好ま
しいが、必ずしも対称である必要はない。次に、図6を
参照して、コイニング中にスラストプレートブランク5
0の上下端面の受ける力が製品平面度に及ぼす影響につ
いて述べる。
The structure of the coining device used in the above embodiment can be changed as appropriate without departing from the purpose of processing. For example, a pair of upper and lower dies preferably have a symmetrical design, but are not necessarily symmetrical. There is no. Next, referring to FIG. 6, thrust plate blank 5 during coining.
The effect of the force exerted on the upper and lower end surfaces on the product flatness will be described.

【0034】図6に示すように、軸上方向からスラスト
プレートブランク50に荷重をかけた場合、上下型8
0,90に挟まれたスラストプレートブランク50は、
圧縮により軸下方向に沈み、スラストプレートブランク
50は外筒100と芯金70から軸上方向に摩擦力を受
ける。このときのスラストプレートブランク50の上端
面にかかる力をF′、下端面にかかる力をF、摩擦力を
Rとすると、釣り合いの条件より、F′=F+R→F′
≠Fとなり、スラストプレートブランク50の上下端面
にかかる力が非対称になる。この結果、上下端面にかか
る力の差が大きいと、製品であるスラストプレートの平
面度(1μm以下で仕様は満足している) に悪影響を及
ぼすことになる。
As shown in FIG. 6, when a load is applied to the thrust plate blank 50 from above the shaft, the upper and lower dies 8
The thrust plate blank 50 sandwiched between 0 and 90 is
The thrust plate blank 50 receives the frictional force in the axial direction from the outer cylinder 100 and the metal core 70 by sinking downward in the axial direction due to the compression. Assuming that the force applied to the upper end face of the thrust plate blank 50 at this time is F ', the force applied to the lower end face is F, and the frictional force is R, F' = F + R → F 'from the condition of the balance.
ΔF, and the force applied to the upper and lower end surfaces of the thrust plate blank 50 becomes asymmetric. As a result, if the difference between the forces applied to the upper and lower ends is large, the flatness of the thrust plate as a product (specifications are satisfied at 1 μm or less) is adversely affected.

【0035】そこで、コイニング中にスラストプレート
ブランク50の上下端面にかかる力を対称にするには、
外筒100と芯金70とを上下型80,90の相対速度
の半分の速度で軸下方向に動かし、上下型80,90を
等速で、対向させてコイニングを行うことが考えられ
る。このようなコイニングを行うために、スラストプレ
ートブランク50に芯金70を軽圧入して芯金70の基
端側の端面がベース101面につかないようにセツト
し、コイニング中の移動とともに芯金70を軸上下方向
に動けるようにした。
Therefore, in order to make the forces applied to the upper and lower end surfaces of the thrust plate blank 50 during coining symmetric,
It is conceivable to perform coining by moving the outer cylinder 100 and the core metal 70 at a speed half that of the relative speed of the upper and lower dies 80, 90 in the axial direction, and facing the upper and lower dies 80, 90 at a constant speed. In order to perform such coining, the core metal 70 is lightly pressed into the thrust plate blank 50 and set so that the base end surface of the core metal 70 does not stick to the base 101 surface. Can be moved up and down the axis.

【0036】この結果、上記実施の形態のように、芯金
70の基端側の端面がベース101について動けない状
態に比べて、スラストプレートブランク50の上下端面
にかかる力の対称性が向上し、製品であるスラストプレ
ートの平面度が良好になった。なお、図6では、外筒1
00の下端面とベース101との間にOリングやゴム1
02等を挿入して外筒100が軸方向に動けるようにし
ているが、外筒100の下端面とベース101との間に
単にすきまを設けて外筒100が軸方向に動けるように
してもよい。
As a result, the symmetry of the force applied to the upper and lower end surfaces of the thrust plate blank 50 is improved as compared with the state in which the base end surface of the metal core 70 cannot move with respect to the base 101 as in the above embodiment. As a result, the flatness of the product thrust plate was improved. In addition, in FIG.
O-ring or rubber 1 between the lower end surface of
02 and the like are inserted so that the outer cylinder 100 can move in the axial direction. However, a clearance may be simply provided between the lower end surface of the outer cylinder 100 and the base 101 so that the outer cylinder 100 can move in the axial direction. Good.

【0037】[0037]

【発明の効果】上記の説明から明らかなように、本発明
によれば、加工上最も精度確保が難しい上下型の溝パタ
ーンをスラストプレートの両端面に塑性加工により転写
して動圧発生溝を刻設し、しかも、スラストプレートの
内径部は芯金によって高精度に仕上げられるため、貫通
穴の寸法精度に優れたスラストプレートを効率良く低コ
ストで量産することができるという効果が得られる。
As is clear from the above description, according to the present invention, the dynamic pressure generating grooves are formed by transferring the upper and lower die groove patterns, which are most difficult to secure in processing, to both end surfaces of the thrust plate by plastic working. Since the thrust plate is engraved and the inner diameter portion of the thrust plate is finished with high accuracy by the metal core, the effect of efficiently mass-producing the thrust plate with excellent dimensional accuracy of the through hole at low cost can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態の一例である流体軸受装置
用スラストプレートの製造方法を説明するための説明図
でスラストプレートブランクを芯金に挿入する状態を示
す図である。
FIG. 1 is an explanatory view for explaining a method of manufacturing a thrust plate for a hydrodynamic bearing device as an example of an embodiment of the present invention, showing a state in which a thrust plate blank is inserted into a cored bar.

【図2】本発明の実施の形態の一例である流体軸受装置
用スラストプレートの製造方法を説明するための説明図
でスラストプレートブランクの成形状態を示す図であ
る。
FIG. 2 is an explanatory view for explaining a method of manufacturing a thrust plate for a hydrodynamic bearing device, which is an example of an embodiment of the present invention, and is a diagram showing a molding state of a thrust plate blank.

【図3】芯金の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a cored bar.

【図4】スラストプレートブランクの外径寸法2Rと芯
金基端部の下型への挿入長さLとの関係を説明するため
の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the relationship between the outer diameter dimension 2R of the thrust plate blank and the insertion length L of the base end portion of the core metal into the lower mold.

【図5】本発明の他の実施の形態である流体軸受装置用
スラストプレートの製造方法を説明するための説明図で
ある。
FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining a method of manufacturing a thrust plate for a hydrodynamic bearing device according to another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の製造方法によって得られたスラストプ
レートを備えた流体軸受装置を説明するための説明的断
面図である。
FIG. 6 is an explanatory cross-sectional view for explaining a hydrodynamic bearing device provided with a thrust plate obtained by the manufacturing method of the present invention.

【図7】従来の流体軸受装置を説明するための説明的断
面図である。
FIG. 7 is an explanatory sectional view for explaining a conventional hydrodynamic bearing device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

30…スラストプレート 31…貫通穴 50…スラストプレートブランク 51…貫通穴 70…芯金 80…上型 90…下型 100…外筒 Reference Signs List 30 thrust plate 31 through hole 50 thrust plate blank 51 through hole 70 core bar 80 upper die 90 lower die 100 outer cylinder

フロントページの続き (72)発明者 田中 克彦 神奈川県藤沢市鵠沼神明一丁目5番50号 日本精工株式会社内 Fターム(参考) 3J011 AA04 BA06 CA02 DA02 KA04 MA03 Continued on the front page (72) Inventor Katsuhiko Tanaka 1-5-50 Kumeinuma Shinmei, Fujisawa-shi, Kanagawa F-term in NSK Ltd. (reference) 3J011 AA04 BA06 CA02 DA02 KA04 MA03

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 中央部に貫通穴を有すると共に両端面に
動圧発生用の溝が刻設された流体軸受装置用スラストプ
レートの製造方法において、 スラストプレートブランクの貫通穴に嵌合される芯金
と、該芯金の両端部に前記スラストプレートブランクを
挟み込むように嵌合され、該スラストプレートブランク
の両端面に対向する面にそれぞれ動圧発生用の溝パター
ンが形成された一対の上下型と、前記スラストプレート
ブランク及び前記上下型の外周面に嵌合されて該スラス
トプレートブランク及び該上下型の軸方向の移動を案内
する外筒とを備え、 前記一対の上下型を軸方向に相対移動させて前記スラス
トプレートブランクの両端面及び内外周面の全面を密閉
した状態で押圧することにより、該スラストプレートブ
ランクの両端面に前記溝パターンに応じた動圧発生用の
溝を刻設することを特徴とする流体軸受装置用スラスト
プレートの製造方法。
1. A method of manufacturing a thrust plate for a hydrodynamic bearing device having a through hole at a center portion and grooves for generating dynamic pressure at both end surfaces, wherein a core fitted into a through hole of a thrust plate blank. A pair of upper and lower dies each having a groove pattern for generating a dynamic pressure formed on both sides of the core bar so as to sandwich the thrust plate blank and opposing both end surfaces of the thrust plate blank. And an outer cylinder fitted to the outer peripheral surfaces of the thrust plate blank and the upper and lower molds to guide the axial movement of the thrust plate blank and the upper and lower molds. The thrust plate blank is moved and pressed in a state in which both end surfaces and the entire inner and outer peripheral surfaces of the thrust plate blank are sealed, so that the groove pattern is formed on both end surfaces of the thrust plate blank. Method for producing a thrust plate for a fluid bearing apparatus characterized by engraving grooves for generating dynamic pressure in accordance with the over down.
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