JP2002191972A - Adsorbent and its production method - Google Patents

Adsorbent and its production method

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JP2002191972A
JP2002191972A JP2000398436A JP2000398436A JP2002191972A JP 2002191972 A JP2002191972 A JP 2002191972A JP 2000398436 A JP2000398436 A JP 2000398436A JP 2000398436 A JP2000398436 A JP 2000398436A JP 2002191972 A JP2002191972 A JP 2002191972A
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adsorbent
gas
plasma
activated carbon
gases
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JP2000398436A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomoaki Sugano
友章 菅野
Kazuo Sugiyama
和夫 杉山
Nobuyuki Niwa
宣行 丹羽
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Clariant Japan KK
Original Assignee
Clariant Japan KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an adsorbent such as active carbon which is excellent in capacity for adsorbing various components such as acidic gases, basic gases, and offensive odors and improved in properties for adsorbing a trace quantity of components and adsorption durability. SOLUTION: At least one kind of gas selected from acidic gases, basic gases, and neutral gases is introduced between a cylindrical external electrode 2 and a cylindrical internal electrode 3 and into an internal electrode space, an electric field is applied across the electrodes, and the gas is converted into plasma and ejected as a plasma jet 4. The plasma jet 4 is contacted with the adsorbent to improve the adsorption capacity of the adsorbent.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、気体中の酸性物
質、塩基性物質、悪臭物質などに対し優れた吸着能を有
するとともに、長期にわたり吸着能が保持される吸着剤
およびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an adsorbent having excellent adsorption capacity for acidic substances, basic substances, malodorous substances, and the like in a gas, and having a long-term adsorption capacity, and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近の気密性の高い家屋では、臭いがこ
もりやすく、タバコ臭、体臭、乳児の臭い、ペット臭等
のアンモニア、アミン類、メルカプタン等の塩基性ガス
あるいは悪臭性のガスを取り除きたいという要望が強ま
ってきていると同時に、近年の地球環境の悪化に伴い、
空気中のSO2、NO、HCl等の酸性ガス濃度が増加
し、これらの酸性ガスは、絵画等の美術品の変色、通信
設備、電子計算機等の部品の腐蝕などの問題を引き起こ
している。また、半導体の製造ラインでは、製品の歩留
りを向上させるために、酸性ガスの気中濃度を極力低下
させることが望まれている。
2. Description of the Related Art Recently, highly airtight houses are apt to absorb odors and remove basic gases such as tobacco odor, body odor, infant odor, pet odor, etc., ammonia, amines, mercaptan, etc. or odorous gas. At the same time as the demand for wants has been increasing,
The concentration of acid gases such as SO 2 , NO 2 , and HCl in the air increases, and these acid gases cause problems such as discoloration of artworks such as paintings and corrosion of components such as communication equipment and electronic computers. . Further, in a semiconductor manufacturing line, it is desired to reduce the concentration of acid gas in the air as much as possible in order to improve the yield of products.

【0003】このため、従来、活性炭、ゼオライト、ア
ルミナ、シリカ、吸着性を有する合成樹脂や天然物質な
ど無機あるいは有機の微粉体、繊維状物、ハニカム状物
などからなる吸着剤を用いて空気中の酸性あるいは塩基
性のガス、あるいは悪臭ガスを吸着除去することが広く
行われている。しかしながら、現状の吸着剤は、これら
塩基性ガス、酸性ガス、悪臭ガスなどに対する吸着量、
微量で存在する場合の吸着能を含めこれらガスに対する
吸着性能が十分に満足できるといえるものではなく、ま
た吸着剤の吸着性能が短期間で失われ、長期に亘り良好
な吸着性能を保持すると言う面からも満足できるもので
はなかった。そして、吸着剤の吸着量が飽和すると、吸
着剤に吸着した分子は平衡によって脱離して再放出され
るという問題が生じることとなる。
[0003] For this reason, conventionally, an adsorbent made of inorganic or organic fine powder such as activated carbon, zeolite, alumina, silica, synthetic resin having adsorbability or natural substance, fibrous material or honeycomb material has been used in the air. It is widely practiced to adsorb and remove acidic or basic gases or odorous gases. However, the current adsorbent has an amount of adsorption for these basic gases, acid gases, and odorous gases,
It cannot be said that the adsorbing performance for these gases including the adsorbing ability when present in a small amount is sufficiently satisfactory, and that the adsorbing performance of the adsorbent is lost in a short period of time and that the good adsorbing performance is maintained for a long period of time. It was not satisfactory from the aspect. Then, when the amount of the adsorbent adsorbed is saturated, there arises a problem that molecules adsorbed on the adsorbent are desorbed and released again by equilibrium.

【0004】これに対処すべく、吸着剤にアルカリ性あ
るいは酸性物質や金属酸化物などを添着し、この添着し
た吸着剤を、酸性物質、塩基性物質、あるいはメチルメ
ルカプタン、トリメチルアミンなどの悪臭ガスの除去剤
として使用することがなされていることはよく知られて
いる。
In order to cope with this, an alkaline or acidic substance or a metal oxide is impregnated into the adsorbent, and the adsorbent is removed by removing an acidic substance, a basic substance, or a malodorous gas such as methyl mercaptan or trimethylamine. It is well known that it has been used as an agent.

【0005】特に活性炭のアルカリ性物質の添着に関し
ては、水酸化ナトリウム(NaOH)、水酸化カリウム
(KOH)、炭酸ナトリウム(Na2CO3)、炭酸カリ
ウム(K2CO3)等のアルカリを主成分とした薬剤を活
性炭に添着させる方法が知られている。特開昭52−6
3882号公報には、酸またはアルカリを0.1〜20
重量%添着した活性炭が記載されており、特開昭62−
262742号公報には、活性炭ハニカムに、酸、アル
カリや、ハロゲン化鉄などの弱酸性薬品を担持した薬品
担持活性炭ハニカムが提案されている。
In particular, regarding the impregnation of an alkaline substance of activated carbon, an alkali such as sodium hydroxide (NaOH), potassium hydroxide (KOH), sodium carbonate (Na 2 CO 3 ), or potassium carbonate (K 2 CO 3 ) is used as a main component. There is known a method of impregnating activated chemicals with activated carbon. JP-A-52-6
No. 3882 discloses that an acid or alkali is used in an amount of 0.1 to 20.
Activated carbon impregnated by weight% is described.
Japanese Patent No. 262742 proposes a chemical-carrying activated carbon honeycomb in which an activated carbon honeycomb carries an acid, an alkali, or a weakly acidic chemical such as iron halide.

【0006】さらには、酸性添着活性炭に関して、特開
昭59−151963号公報には、クエン酸またはクエ
ン酸のアルカリ金属塩を担持した活性炭が開示されてお
り、特開昭59−227704号公報には、リン酸系化
合物を1〜20重量%担持した活性炭が提案されてい
る。
[0006] Further, with respect to the acid-impregnated activated carbon, JP-A-59-151963 discloses an activated carbon carrying citric acid or an alkali metal salt of citric acid, which is disclosed in JP-A-59-227704. Has proposed an activated carbon carrying 1 to 20% by weight of a phosphoric acid compound.

【0007】また、アルカリ性物質を添着した活性炭を
用いることにより、硫化水素などの酸性ガスを除去する
こと、リン酸、クエン酸等の酸を添着した活性炭を用い
ることにより、アンモニア等の塩基性ガスを除去できる
ことも知られている。
Further, by using activated carbon to which an alkaline substance is impregnated, an acidic gas such as hydrogen sulfide is removed, and by using activated carbon to which an acid such as phosphoric acid or citric acid is impregnated, a basic gas such as ammonia is removed. It is also known that can be removed.

【0008】上記のような薬剤を添着した活性炭の製造
方法としては、所定量の薬品を溶解した液に活性炭を浸
漬し、引き上げた後活性炭を水切りし、付着した薬液と
ともに活性炭を乾燥する方法、あるいは薬品を溶解した
液に活性炭を浸漬し、強制的に遠心脱水した後、乾燥す
る方法の二つの方法がある。前者の方法では、乾燥後の
活性炭の表面に薬品が析出し、あたかも粉をまぶしたよ
うな状態となることから、このような方法で製造した空
気浄化剤を使用した場合、析出した薬品の飛散が見られ
る。このため、前者の方法で製造された活性炭を空気浄
化剤として使用した場合、活性炭の表面に残存した添着
物質により空気が汚染されることが危惧される。一方、
後者の方法では、強制的に脱水するため、薬品の添着量
が前者に比べて少なくなり、性能の低下が予想される。
As a method for producing activated carbon to which the above-mentioned chemicals are impregnated, a method in which activated carbon is immersed in a liquid in which a predetermined amount of a chemical has been dissolved, pulled up, drained from activated carbon, and dried with activated chemicals, Alternatively, there are two methods of immersing activated carbon in a solution in which a chemical is dissolved, forcibly centrifugally dewatering, and then drying. In the former method, the chemicals precipitate on the surface of the activated carbon after drying, and the state becomes as if dusted.Therefore, when the air purifier manufactured by such a method is used, the precipitated chemicals are scattered. Can be seen. For this reason, when the activated carbon produced by the former method is used as an air purifying agent, there is a concern that air may be contaminated by an impregnated substance remaining on the surface of the activated carbon. on the other hand,
In the latter method, dehydration is forcibly performed, so that the amount of chemicals attached is smaller than in the former method, and performance is expected to decrease.

【0009】また、酸や弱酸性薬品とアルカリとを活性
炭に同時に担持させると塩が生成し、酸およびアルカリ
の機能が発揮されず、窒素含有化合物および硫黄含有化
合物の双方に対する吸着能が著しく低下する。そのた
め、酸担持活性炭とアルカリ担持活性炭とを個別に用い
る必要がある。さらに、硫化水素などのイオウ含有化合
物を除去するためアルカリ性薬品を担持させると、引火
点が低下し、実用上難点がある。一方、難燃剤を添加す
ると、単位比表面積当りの吸着量が減少し吸着効率が低
下する。
Further, when an acid or a weakly acidic chemical and an alkali are simultaneously supported on activated carbon, a salt is formed, the functions of the acid and the alkali are not exhibited, and the adsorbing ability for both the nitrogen-containing compound and the sulfur-containing compound is significantly reduced. I do. Therefore, it is necessary to use the acid-carrying activated carbon and the alkali-carrying activated carbon separately. Further, when an alkaline chemical is carried to remove sulfur-containing compounds such as hydrogen sulfide, the flash point is lowered, and there is a practical difficulty. On the other hand, when a flame retardant is added, the adsorption amount per unit specific surface area decreases, and the adsorption efficiency decreases.

【0010】このように、添着活性炭では、添着物質の
飛散の危惧や短期間での性能低下があること、添着され
る物質の種類により吸着除去できる臭気成分や有害物質
が限定されるため異なる種類の物質を活性炭に同時に添
着すると、一方の物質が他方の物質の除去能を低下させ
ること等の問題点がある。このため、多数の臭気成分や
有害物質を含む被処理ガスを、1つの活性炭で同時に効
率よく、しかも長期に亘り吸着除去することは従来困難
であった。
As described above, in the impregnated activated carbon, there is a fear that the impregnated substance may be scattered or the performance is reduced in a short period of time. If these substances are simultaneously impregnated with activated carbon, there is a problem that one substance reduces the ability to remove the other substance. For this reason, it has been conventionally difficult to efficiently and efficiently absorb and remove gas to be treated containing a large number of odorous components and harmful substances over a long period of time with one activated carbon.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は前述の問題点に鑑み、被処理ガス中の多数の臭気成分
や有害物質を効率よく長期に亘り除去でき、特に臭気成
分分圧が低い場合においても優れた吸着性能をもつ吸着
剤を提供することにある。具体的には、本発明の目的
は、吸着剤自体の吸着性能を長期にわたり低下させず
に、酸性、塩基性、アルデヒド、メルカプタン類などの
ガス成分を除去することができる吸着剤を提供すること
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, in view of the above problems, it is an object of the present invention to efficiently remove a large number of odor components and harmful substances in a gas to be treated over a long period of time. An object of the present invention is to provide an adsorbent having excellent adsorption performance even when the adsorbent is low. Specifically, an object of the present invention is to provide an adsorbent capable of removing gas components such as acidic, basic, aldehyde, and mercaptans without reducing the adsorption performance of the adsorbent itself for a long period of time. It is in.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、プラズマ化さ
れたガス状物質の存在下で処理された吸着剤に関する。
また、本発明は、吸着剤をプラズマ化したガス状物質と
接触させることを特徴とする吸着性能が改善された吸着
剤の製造方法に関する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to an adsorbent treated in the presence of a plasmatized gaseous substance.
The present invention also relates to a method for producing an adsorbent having improved adsorption performance, which comprises contacting the adsorbent with a gaseous substance that has been turned into plasma.

【0013】[0013]

【作用】本発明においては、吸着剤がプラズマ化された
ガス状物質下で処理されるため、吸着剤のマクロ孔ばか
りでなく、トランジショナル孔まで、ガス状物質で処理
できることもあり、吸着剤の吸着性能が格段に向上する
と共に、従来の添着方法による吸着剤表面の添着物質の
析出も無いため、添着物質の飛散による空気中の汚染も
無い。
In the present invention, since the adsorbent is treated under a gaseous substance converted into plasma, the adsorbent can be treated not only with macropores but also with transitional pores with the gaseous substance. The adsorbing performance of the adsorbent is remarkably improved, and no adhering substance is deposited on the surface of the adsorbent by the conventional adhering method, so that there is no contamination in the air due to scattering of the adhering substance.

【0014】[0014]

【発明の実施の態様】本発明を以下更に詳細に説明す
る。本発明においてプラズマ化されたガス状物質で処理
される吸着剤は、活性炭、ゼオライト、アルミナ、シリ
カ、吸着性を有する合成樹脂、吸着性を有する天然物質
から選択された一つまたは複数の種類の材料からなる。
また、プラズマ化されるガス状物質は、酸性ガス、塩基
性ガスおよび中性ガスから選ばれる。これらのガス状物
質は、必要に応じヘリウム、アルゴン、ネオン、クリプ
トン、窒素などの不活性中性ガスとの混合ガスの状態で
プラズマ化され、吸着剤と接触される。これにより、プ
ラズマ化されたガス状物質により吸着剤表面に新たに官
能基が導入されたり、プラズマ化されたガス状物質が吸
着剤の表面官能基と水素結合、電荷移動錯体または吸着
錯体を形成したり、イオン結合したりすることにより、
吸着性能が改善される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in more detail below. In the present invention, the adsorbent treated with the gasified substance converted into plasma is activated carbon, zeolite, alumina, silica, synthetic resin having adsorptivity, one or more kinds selected from natural substances having adsorbability. Made of material.
Further, the gaseous substance to be turned into plasma is selected from acid gas, basic gas and neutral gas. These gaseous substances are converted into plasma in the state of a mixed gas with an inert neutral gas such as helium, argon, neon, krypton, or nitrogen as required, and contacted with the adsorbent. As a result, a new functional group is introduced to the surface of the adsorbent by the gasified gaseous substance, and the gaseous substance formed by the plasma forms a hydrogen bond, a charge transfer complex or an adsorbed complex with the surface functional group of the adsorbent. Or by ionic bonding,
The adsorption performance is improved.

【0015】ガス状物質を具体的に例示すると、酸性ガ
ス状物質としては、窒素酸化物、硫黄酸化物や二酸化炭
素、オキソ酸等の酸化物、過酸化水素、硫化物、臭素、
塩素、塩素酸、ヨウ素のガス状物質等が挙げられる。前
記の硫化物としては、例えば、硫化水素(H2S)を挙
げることができる。前記硫黄酸化物としては、例えば、
一酸化硫黄(SO)、二酸化硫黄(SO2)、三酸化硫
黄(SO3)、三酸化二硫黄(S23)、および七酸化
硫黄(S27)を挙げることができる。本発明において
は、プラズマ化される酸性ガス状物質としては、酸化硫
黄が好ましいものである。
Specific examples of gaseous substances include, as acidic gaseous substances, oxides such as nitrogen oxides, sulfur oxides, carbon dioxide and oxo acid, hydrogen peroxide, sulfide, bromine, and the like.
Chlorine, chloric acid, gaseous substances of iodine and the like can be mentioned. Examples of the sulfide include hydrogen sulfide (H 2 S). Examples of the sulfur oxide include:
Sulfur monoxide (SO), sulfur dioxide (SO 2), sulfur trioxide (SO 3), trioxide sulfur (S 2 O 3), and the like, and heptoxide sulfur (S 2 O 7). In the present invention, as the acidic gaseous substance to be converted into plasma, sulfur oxide is preferable.

【0016】また中性ガス状物質としては、水素、ヘリ
ウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン等の希
ガス、酸素、空気、窒素ガス等および、金属水素ガス、
金属ハロゲン化ガス、金属アルコラート等の金属有機化
合物からなるガスが挙げられる。中性ガス状物質として
は、アルゴンとヘリウムあるいは窒素と水素を含む混合
ガスが好ましいものとして挙げられる。
The neutral gaseous substances include hydrogen, helium, neon, argon, krypton, xenon and other rare gases, oxygen, air, nitrogen gas, and metallic hydrogen gas.
Gases composed of metal organic compounds such as metal halide gases and metal alcoholates are exemplified. As the neutral gaseous substance, a mixed gas containing argon and helium or nitrogen and hydrogen is preferable.

【0017】更に塩基性ガス状物質としては、アミン
類、ヨウ化物、臭化物、ジメチルアミン、メチルアミン
等のガス状物質が挙げられる。これらのガス状物質は単
独で使用されてもよいし、二種以上が併用されてもよ
い。
Further, examples of the basic gaseous substance include gaseous substances such as amines, iodides, bromides, dimethylamine and methylamine. These gaseous substances may be used alone or in combination of two or more.

【0018】プラズマ化されたガス状物質を用いての吸
着剤の処理方法としては、プラズマジェット法、ラジオ
波プラズマ法、マイクロ波プラズマ法などによりガス状
物質をプラズマ化し、このプラズマ化されたガス状物質
と吸着剤とを接触させる方法が挙げられる。
As a method of treating an adsorbent using a gasified substance in the form of plasma, the gaseous substance is converted into plasma by a plasma jet method, a radio frequency plasma method, a microwave plasma method, or the like, and the plasma-converted gas is used. And a method of contacting the adsorbent with the particulate matter.

【0019】プラズマジェット法は、大気圧下でコロナ
あるいはグロー放電により生成したプラズマ(特にプラ
ズマの活性種)を被処理物にジェット状に吹き出してプ
ラズマ処理を行うものであり、従来の公知の方法および
装置を用いて行うことができる。ここで言う大気圧下と
は、100〜800Torrの圧力下を指す。プラズマ
ジェット法としては、圧力調整が容易で、装置が簡便に
なる700〜780Torrの範囲の圧力でプラズマを
発生できる装置を用いることが好ましい。
The plasma jet method is a method in which plasma (particularly, active species of plasma) generated by corona or glow discharge under atmospheric pressure is jetted out to an object to be processed to perform plasma processing. And using an apparatus. The term “atmospheric pressure” as used herein refers to a pressure of 100 to 800 Torr. As the plasma jet method, it is preferable to use an apparatus capable of generating plasma at a pressure in the range of 700 to 780 Torr, which facilitates pressure adjustment and makes the apparatus simple.

【0020】本発明でのプラズマジェット法によるプラ
ズマの発生を図1により説明する。図1は、プラズマジ
ェット発生装置の先端部断面の一例を模式的に示したも
のである。図1中、1はプラズマジェット発生装置の先
端部の断面である。2、2は円筒状の外側電極の断面、
3、3は円筒状の内側電極の断面であり、外側電極2と
内側電極3の間および内側電極3内の空隙(反応管)に
ガスが導入されると共に、外側電極2と内側電極3に交
流電源5により交流電界が印加されるプラズマジェット
である。外側電極2と内側電極3の間に交流電界を印加
することにより電極間にコロナあるいはグロー放電を発
生させ、このコロナあるいはグロー放電によりプラズマ
生成用ガスを励起してプラズマを生成させ、このプラズ
マを反応管の下面の吹き出し口からプラズマジェット4
として吹き出して、プラズマ処理を行うようにしたもの
である。図1では、外側電極2と内側電極3の間に交流
を印加した例を示したが、外側電極2にプラス電圧を、
また内側電極3にマイナス電圧を印加するようにしても
よい。
The generation of plasma by the plasma jet method according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 schematically shows an example of a cross section at the tip of a plasma jet generator. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a cross section of the tip of the plasma jet generator. 2, 2 are cross sections of the cylindrical outer electrode;
Reference numerals 3 and 3 denote cross sections of the cylindrical inner electrode. Gas is introduced into the space (reaction tube) between the outer electrode 2 and the inner electrode 3 and inside the inner electrode 3. This is a plasma jet to which an AC electric field is applied by an AC power supply 5. By applying an AC electric field between the outer electrode 2 and the inner electrode 3, a corona or glow discharge is generated between the electrodes, and a plasma generating gas is excited by the corona or the glow discharge to generate plasma. Plasma jet 4 from the outlet at the bottom of the reaction tube
And perform plasma processing. FIG. 1 shows an example in which an alternating current is applied between the outer electrode 2 and the inner electrode 3, but a positive voltage is applied to the outer electrode 2,
Further, a negative voltage may be applied to the inner electrode 3.

【0021】このとき、プラズマジェットの噴出流の周
囲から水素、水蒸気等の添加ガスや粉体等の添加物を供
給、混合すること、あるいは電極2または電極2、3を
貫通するように孔を設けておき、この孔を通して電極外
部から前記添加ガスや粉体などを供給して、添加ガスあ
るいは添加物などをプラズマジェットに混合させること
や、プラズマ生成用ガス自体に粉体などを添加しておき
プラズマ生成させることも可能である。
At this time, an additive gas such as hydrogen or water vapor or an additive such as powder is supplied and mixed from around the jet flow of the plasma jet, or a hole is formed so as to penetrate the electrode 2 or the electrodes 2 and 3. By providing the additional gas or powder from the outside of the electrode through this hole, the additional gas or additive is mixed with the plasma jet, or the powder is added to the plasma generating gas itself. It is also possible to generate plasma every other time.

【0022】上記のようなプラズマジェット法で処理を
行う際に、外側電極と内側電極に印加される交流の周波
数は、通常1kHz〜50GHzに設定される。これ
は、交流の周波数が1kHz未満であれば、放電空間で
の放電を安定化させることができなくなる恐れがあり、
交流の周波数が50GHzを超えると、放電空間でのプ
ラズマの温度上昇が著しくなる恐れがあるからである。
また、使用する交流の周波数が10kHz未満の場合に
は、生成されるラジカル量が少なくなってプラズマ処理
の効果が小さくなることがある。好ましい交流の周波数
は10kHz〜200MHzである。更に、外側電極2
と内側電極3に交流電界を印加する場合、外側電極2に
交流電源を接続し、内側電極を接地するようにすること
が好ましい。これにより、内側電極と活性炭の間の電位
差がほとんどゼロになり、内側電極と活性炭の間のスト
リーマー放電を抑制することができ、ストリーマー放電
が生成されにくくなる。
When the plasma jet method is used, the frequency of the alternating current applied to the outer electrode and the inner electrode is usually set to 1 kHz to 50 GHz. This is because if the frequency of the alternating current is less than 1 kHz, there is a possibility that the discharge in the discharge space cannot be stabilized,
If the frequency of the alternating current exceeds 50 GHz, the plasma temperature in the discharge space may increase significantly.
When the frequency of the alternating current used is less than 10 kHz, the amount of generated radicals is reduced, and the effect of the plasma treatment may be reduced. A preferred AC frequency is 10 kHz to 200 MHz. Further, the outer electrode 2
When an AC electric field is applied to the inner electrode 3 and the inner electrode 3, it is preferable to connect an AC power source to the outer electrode 2 and ground the inner electrode. Thereby, the potential difference between the inner electrode and the activated carbon becomes almost zero, the streamer discharge between the inner electrode and the activated carbon can be suppressed, and the streamer discharge is less likely to be generated.

【0023】また本発明において、外側電極2と内側電
極3の間の放電空間に印加される印加電力は5W以上3
00W未満であることが好ましい。通常、印加電力が5
W未満であると効果が得られないし、一方300W以上
であると処理条件がきつすぎるため燃焼に近い反応が生
じ、表面官能基形成の制御が困難になるからである。通
常、印加電力は10W以上200W以下が最適範囲であ
る。
In the present invention, the power applied to the discharge space between the outer electrode 2 and the inner electrode 3 is 5 W or more.
It is preferably less than 00W. Usually, the applied power is 5
If it is less than W, no effect can be obtained, while if it is more than 300 W, the treatment conditions are too severe, a reaction close to combustion occurs, and it becomes difficult to control the formation of surface functional groups. Usually, the optimum range of the applied power is 10 W or more and 200 W or less.

【0024】ガス状物質として中性ガスを用いる場合、
放電の安定性や経済性を考慮すると、アルゴンやヘリウ
ムを用いるのが好ましい。しかしアルゴン単独ではスト
リーマー放電が生成し易いので、アルゴンをヘリウムで
希釈した混合ガスを用いることが好ましく、その混合比
率は放電空間の温度とも密接に関連するが、プラズマジ
ェットの温度を250℃以下にした場合は、アルゴンを
90体積%以下にするのが好ましい。これよりもアルゴ
ンが多くなると、ストリーマー放電が生じ易くなる恐れ
がある。なお、アルゴンが多いとストリーマー放電が生
じ易くなるのは、アルゴンがヘリウムに比べて準安定状
態のエネルギーや寿命がヘリウムに比べて小さいためで
あると考えられる。特に、中性ガスとして、ヘリウムガ
スは準安定状態の寿命が長く、処理ガスの励起に都合が
よく好ましい
When a neutral gas is used as the gaseous substance,
Considering the stability and economy of discharge, it is preferable to use argon or helium. However, streamer discharge is easily generated with argon alone, so it is preferable to use a mixed gas obtained by diluting argon with helium.The mixing ratio is closely related to the temperature of the discharge space, but the temperature of the plasma jet is set to 250 ° C. or less. In this case, the content of argon is preferably set to 90% by volume or less. If the amount of argon is larger than this, streamer discharge may easily occur. It is considered that the reason why streamer discharge is likely to occur when the amount of argon is large is that argon has a smaller metastable state energy and life than helium as compared with helium. In particular, as a neutral gas, helium gas has a long metastable life and is convenient and preferable for exciting the processing gas.

【0025】中性ガスと酸性ガスまたはアルカリ性ガス
の混合ガスまたは中性ガス、酸性ガス、およびアルカリ
性ガスの混合ガスにおいて、中性ガスへの酸性ガスまた
はアルカリ性ガスまたは酸性ガスとアルカリ性ガスの混
合ガスの添加量は、中性ガスに対して20体積%以下、
好ましくは0.1〜10体積%の範囲である。酸性ガス
またはアルカリ性ガスまたは酸性ガス、アルカリ性ガス
の混合ガスの添加量が0.1体積%未満であれば、処理
効果が低くなり、反応ガスの添加量が20体積%を超え
ると、反応ガスの流量が多すぎる場合、プラズマの温度
の低下が起こり、反応ガスが効率的に活性化されなくな
り、電圧を印加しても均一な放電プラズマが発生し難く
なるためである。また、放電が不安定になる恐れもあ
る。これらガス混合の比率は使用するガスの種類によっ
て決定される。
In a mixed gas of a neutral gas and an acidic gas or an alkaline gas, or a mixed gas of a neutral gas, an acidic gas and an alkaline gas, an acidic gas or an alkaline gas or a mixed gas of an acidic gas and an alkaline gas to a neutral gas Is 20% by volume or less based on the neutral gas,
Preferably it is in the range of 0.1 to 10% by volume. When the addition amount of the acidic gas or the alkaline gas or the mixed gas of the acidic gas and the alkaline gas is less than 0.1% by volume, the treatment effect is reduced, and when the addition amount of the reaction gas exceeds 20% by volume, the reaction gas If the flow rate is too large, the temperature of the plasma decreases, the reactive gas is not efficiently activated, and it becomes difficult to generate uniform discharge plasma even when a voltage is applied. Further, the discharge may be unstable. The ratio of these gas mixtures is determined by the type of gas used.

【0026】プラズマジェット法を利用する場合、酸性
ガスまたはアルカリ性ガスまたは酸性ガスおよびアルカ
リ性ガスの混合ガスをプラズマ化して、活性炭などの吸
着剤に吹き付け処理するだけでなく、吸着剤と処理ガス
を同時にプラズマジェットに導入して、処理ガスと吸着
剤を同時にプラズマ化することも可能である。この場
合、吸着剤が活性炭であると、活性炭に付着している不
純物をプラズマによる高温処理、酸化処理することがで
きるのでより効率的に活性炭を処理ガスにより処理する
ことができる。
When the plasma jet method is used, not only is an acidic gas or an alkaline gas or a mixed gas of an acidic gas and an alkaline gas turned into plasma and sprayed onto an adsorbent such as activated carbon, but also the adsorbent and the treated gas are simultaneously treated. The treatment gas and the adsorbent can be simultaneously turned into plasma by being introduced into a plasma jet. In this case, if the adsorbent is activated carbon, impurities adhering to the activated carbon can be subjected to high-temperature treatment and oxidation treatment by plasma, so that the activated carbon can be more efficiently treated with the treatment gas.

【0027】上記電極2、3間の距離は、電極を構成す
る金属の厚さ、固体誘電体の厚さ、多孔体の厚さ、印加
電圧の大きさ、混合気体の流量等によって適宜決定され
るが、1〜30mmであることが好ましい。1mm未満
では、使用するガスに無駄が生じるため適当でない。一
方、30mmを超えると、均一な放電プラズマを発生さ
せることが困難である。
The distance between the electrodes 2 and 3 is appropriately determined by the thickness of the metal constituting the electrodes, the thickness of the solid dielectric, the thickness of the porous body, the magnitude of the applied voltage, the flow rate of the mixed gas, and the like. However, it is preferably 1 to 30 mm. If it is less than 1 mm, the gas to be used is wasted, which is not appropriate. On the other hand, if it exceeds 30 mm, it is difficult to generate uniform discharge plasma.

【0028】上記放電プラズマの発生は、上記電極間に
電圧を印加することによって行われる。電圧は適宜決め
られるが、印加した際に電界強度が1〜40kV/cm
となるようにすることが好ましい。1kV/cm未満で
あると処理に時間がかかりすぎ、40kV/cmを超え
るとアーク放電が発生するためである。上記電圧印加に
必要な電源部は特に限定されないが、上記したように周
波数が10〜200kHzの交流電源であることが好ま
しい。 また、上記放電プラズマ処理は室温下で充分可能
であるが、処理ガスを加熱または冷却して行ってもよ
い。
The discharge plasma is generated between the electrodes.
This is performed by applying a voltage. The voltage is decided appropriately
When applied, the electric field strength is 1 to 40 kV / cm
It is preferable that Less than 1 kV / cm
If it is, processing takes too much time and exceeds 40 kV / cm
This is because an arc discharge occurs. For the above voltage application
The required power supply is not particularly limited, but as described above,
It is preferable that the AC power supply has a wave number of 10 to 200 kHz.
New In addition, the above discharge plasma treatment can be performed at room temperature.
However, it may be performed by heating or cooling the processing gas.
No.

【0029】上記放電プラズマ処理に要する時間は、印
加電圧の大きさおよび使用される混合気体によって適宜
決定される。ラジカル、過酸化基は短時間の処理によっ
て形成可能である。ヘリウムガスの雰囲気中の場合で
は、15秒間の処理でラジカル、過酸化基が形成されて
いる。
The time required for the discharge plasma treatment is appropriately determined depending on the magnitude of the applied voltage and the mixed gas used. Radicals and peroxide groups can be formed by short-time treatment. In the case of a helium gas atmosphere, radicals and peroxide groups are formed by the treatment for 15 seconds.

【0030】また、図2に本発明の吸着剤のプラズマ処
理に利用される他の装置の例を示す。図2中、6はマイ
クロ波発振装置であり、7は導波管であり、8は石英ガ
ラス製の反応管である。反応管8は減圧9を行い、内部
の圧力が下げられる。ここで言う減圧とは10−6To
rr以上1気圧未満を言う。図2の装置においては、マ
イクロ波発振部6から発振されたマイクロ波照射により
反応管8内でプラズマが発生される。マイクロ波の周波
数は、1GHz〜1000GHz程度、通常1GHz〜
10GHzが好ましい。
FIG. 2 shows an example of another apparatus used for the plasma treatment of the adsorbent of the present invention. In FIG. 2, 6 is a microwave oscillator, 7 is a waveguide, and 8 is a quartz glass reaction tube. The pressure in the reaction tube 8 is reduced 9 to reduce the internal pressure. The pressure reduction mentioned here is 10 −6 To
It means rr or more and less than 1 atm. In the apparatus shown in FIG. 2, plasma is generated in the reaction tube 8 by irradiation of microwaves oscillated from the microwave oscillating unit 6. Microwave frequency is about 1GHz ~ 1000GHz, usually 1GHz ~
10 GHz is preferred.

【0031】本発明のプラズマ処理に供される吸着剤と
しては、活性炭、ゼオライト、アルミナ、シリカ、吸着
性を有する合成樹脂や天然物質など従来から吸着剤とし
て用いられているものである。本発明においては吸着剤
として特に活性炭が好ましいものである。用いられる活
性炭の種類は、特に限定されず、例えば、木炭、コーク
ス、ヤシガラ、天然繊維、ポリアクリロニトリル、レー
ヨン、フェノール樹脂などの合成樹脂、ピッチなどを原
料として用い、慣用の方法で製造された活性炭が使用で
きる。また、活性炭の形態は、例えば、粉末状、顆粒
状、ペレット状、マカロニ状、繊維状、ハニカム状など
のいずれであってもよい。活性炭のうち、ペレット状、
繊維状、ハニカム状活性炭が好ましく、特に、ハニカム
状活性炭は、圧力損失が小さく、被処理ガスとの接触表
面積が大きいので好ましい。
The adsorbent used in the plasma treatment of the present invention is activated carbon, zeolite, alumina, silica, an adsorbent synthetic resin or a natural substance, which has been conventionally used as an adsorbent. In the present invention, activated carbon is particularly preferred as the adsorbent. The type of activated carbon used is not particularly limited.For example, activated carbon produced by a conventional method using charcoal, coke, coconut shell, natural fiber, polyacrylonitrile, rayon, synthetic resin such as phenolic resin, pitch, etc. as raw materials Can be used. The form of the activated carbon may be, for example, any of powder, granule, pellet, macaroni, fiber, honeycomb, and the like. Of activated carbon, pellet form,
Fibrous or honeycomb activated carbon is preferred, and honeycomb activated carbon is particularly preferred because of its low pressure loss and large contact surface area with the gas to be treated.

【0032】前記活性炭のBET比表面積は、通常、2
00〜4000m2/g、好ましくは400〜3500
2/g、特に好ましくは500〜3000m2/gであ
る。ハニカム状活性炭のBET比表面積は、通常、30
0〜3000m2/g、好ましくは400〜2500m2
/g程度である。このような比表面積を有する活性炭を
用いると、吸着能を高めることができる。
The BET specific surface area of the activated carbon is usually 2
00 to 4000 m 2 / g, preferably 400 to 3500
m 2 / g, particularly preferably 500~3000m 2 / g. The BET specific surface area of the honeycomb activated carbon is usually 30
0 to 3000 m 2 / g, preferably 400 to 2500 m 2
/ G. When activated carbon having such a specific surface area is used, the adsorption capacity can be increased.

【0033】[0033]

【実施例】以下、実施例および比較例により本発明を更
に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例により限
定されるものではない。 実施例1 プラズマ生成用ガスとして、中性ガスである酸素、ヘリ
ウムおよびアルゴンと、酸性ガスである二酸化イオウと
の混合気体を用い、ヘリウムの流量を3リットル/分、
アルゴンの流量を5リットル/分、二酸化イオウの流量
を1リットル/分とし更に酸素の流量を1リットル/分
になるように混合ガスを調整し、図1に示されるプラズ
マジェット発生装置の内側電極3をアースした状態で外
側電極2に高周波(周波数が13.56MHz、印加電
力が250W)を印加し、圧力760Torr下におい
てプラズマを生成し、吹き出し口から吹き出されるプラ
ズマジェット4を反応管に導入し、反応管内の比表面積
800m2のクラレケミカル製粒状活性炭10gを攪拌
させながらプラズマジェットに15分間接触させ吸着剤
としての活性炭を得た。得られた活性炭の比表面積を評
価するとともに、湿度50%RH、SV値 60000
-1になるように、15リットル/分の流量で、50p
pm濃度のアンモニアの対象ガスを得られた活性炭に通
過させ、通過させた対象ガス中のアンモニア濃度をガス
テック(株)製の検知管で測定し、アンモニアの除去効
率の50%破過時間を求めることにより吸着剤のアンモ
ニア吸着能を求めた。比表面積は約1100m2/gで
あり、一方アンモニア吸着能は11hrであった。
The present invention will be described more specifically with reference to the following examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. Example 1 As a plasma generation gas, a mixed gas of neutral gas of oxygen, helium, and argon and acid gas of sulfur dioxide was used, and the flow rate of helium was 3 liter / min.
The mixed gas was adjusted so that the flow rate of argon was 5 liters / minute, the flow rate of sulfur dioxide was 1 liter / minute, and the flow rate of oxygen was 1 liter / minute, and the inner electrode of the plasma jet generator shown in FIG. A high frequency (frequency: 13.56 MHz, applied power: 250 W) is applied to the outer electrode 2 while the ground 3 is grounded, a plasma is generated under a pressure of 760 Torr, and a plasma jet 4 blown out from a blowing port is introduced into the reaction tube. Then, 10 g of granular activated carbon made of Kuraray Chemical having a specific surface area of 800 m 2 in the reaction tube was brought into contact with a plasma jet for 15 minutes while stirring to obtain activated carbon as an adsorbent. The specific surface area of the obtained activated carbon was evaluated, the humidity was 50% RH, and the SV value was 60000.
such that h -1, at 15 l / min flow rate, 50p
The target gas of ammonia having a pm concentration of ammonia is passed through the obtained activated carbon, and the concentration of ammonia in the passed target gas is measured with a detection tube manufactured by Gastech Co., Ltd., and the 50% breakthrough time of the ammonia removal efficiency is measured. Thus, the ammonia adsorption ability of the adsorbent was obtained. The specific surface area was about 1100 m 2 / g, while the ammonia adsorption capacity was 11 hr.

【0034】実施例2 プラズマ生成用ガスとして、中性ガスであるヘリウムお
よびアルゴンと、酸性ガスである二酸化イオウとの混合
気体を図2のマイクロ波プラズマ装置の反応管8に封入
し、マイクロ波発生装置6により発せられるマイクロ波
(周波数が2.45GHz、印可電力が300W)を印
加することによってマイクロ波を生成し、反応管8内に
封入された平均細孔直径18オングストローム(細孔直
径の分布10〜50オングストローム)、細孔容積0.
5cc/g、比表面積1000m 2/gのアドール社製
繊維状活性炭1gをこのプラズマに減圧下(30Tor
r)で攪拌させながら2分間接触させ吸着剤としての活
性炭を得た。このプラズマ化したガスを接触させた繊維
状活性炭の比表面積およびアンモニア吸着能を実施例1
と同様にして測定したところ、比表面積は約1100m
2/gであり、一方アンモニア吸着能は10hrであっ
た。
Example 2 As a plasma generating gas, helium or neutral gas, which is a neutral gas, was used.
Of argon and argon with acid gas sulfur dioxide
Gas is sealed in the reaction tube 8 of the microwave plasma apparatus of FIG.
And the microwave generated by the microwave generator 6
(Frequency 2.45 GHz, applied power 300 W)
To generate a microwave, and into the reaction tube 8.
Enclosed average pore diameter 18 Å
Diameter distribution 10-50 Å), pore volume 0.
5cc / g, specific surface area 1000m Two/ G manufactured by Ador
1 g of fibrous activated carbon is applied to this plasma under reduced pressure (30 Torr).
r) contact for 2 minutes while stirring in
I got charcoal. Fiber contacted with this plasma gas
Example 1 Specific Surface Area and Ammonia Adsorption Capacity of Granular Activated Carbon
The specific surface area was about 1100 m
Two/ G, while the ammonia adsorption capacity is 10 hr.
Was.

【0035】実施例3 プラズマ生成用ガスとして、水素と窒素の1:2の混合
気体を図2のマイクロ波プラズマ装置の反応管8に0.
5リットル/分の流量で導入し、マイクロ波発生装置6
により発せられるマイクロ波(周波数が2.45GH
z、印可電力が300W)を印加することによってマイ
クロ波を生成し、反応管8内にあらかじめ封入されてい
る比表面積800m2/gのクラレケミカル(株)製の
粒状活性炭1gをこのプラズマに減圧下(30Tor
r)で攪拌させながら2分間接触させ、吸着剤としての
ガスプラズマ化処理した活性炭を得た。得られた活性炭
の比表面積およびガス吸着能を測定した。測定は、対象
ガスとして50ppm濃度のアンモニア含有ガスに替え
て50ppm濃度の硫化水素含有ガスを用いることを除
き実施例1と同様に行った。比表面積は約1000m2
/gであり、一方硫化水素吸着能は13hrであった。
EXAMPLE 3 A mixture of hydrogen and nitrogen in a ratio of 1: 2 was added to a reaction tube 8 of the microwave plasma apparatus shown in FIG.
Microwave generator 6 introduced at a flow rate of 5 liters / minute
Microwave (frequency 2.45 GHz)
z, an applied power of 300 W) to generate microwaves, and 1 g of granular activated carbon manufactured by Kuraray Chemical Co., Ltd., having a specific surface area of 800 m 2 / g, previously sealed in the reaction tube 8, is decompressed to this plasma. Bottom (30 Torr
The mixture was brought into contact for 2 minutes with stirring in r) to obtain activated carbon which had been subjected to gas plasma treatment as an adsorbent. The specific surface area and gas adsorption capacity of the obtained activated carbon were measured. The measurement was performed in the same manner as in Example 1 except that a 50 ppm concentration of hydrogen sulfide-containing gas was used as the target gas instead of the 50 ppm concentration of ammonia-containing gas. Specific surface area is about 1000m 2
/ G, while the ability to adsorb hydrogen sulfide was 13 hr.

【0036】実施例4 プラズマ生成用ガスとして、水素と窒素の1:2の混合
気体を用い、図1のプラズマジェット発生装置の内側電
極3をアースした状態で外側電極2に高周波(周波数が
10MHz、印加電力が250W)を印加し、圧力76
0Torr下においてプラズマを生成し、吹き出し口か
ら吹き出されるプラズマジェット4を反応管に導入し、
反応管内の平均細孔直径18オングストローム(細孔直
径の分布10〜50オングストローム)、細孔容積0.
5cc/g、比表面積1000m 2/gのアドール社製
繊維状活性炭10gを攪拌させながら15分間接触させ
吸着剤としての活性炭を得た。このプラズマ化したガス
を接触させた繊維状活性炭について実施例3同様に比表
面積および硫化水素吸着能を求めたところ、比表面積は
約1100m2/gであり、一方硫化水素吸着能は15
hrであった。
Example 4 As a plasma generating gas, a mixture of hydrogen and nitrogen in a ratio of 1: 2 was used.
Using gas, the inner power of the plasma jet
With the pole 3 grounded, a high frequency (frequency
10 MHz, an applied power of 250 W) and a pressure of 76
Generates plasma under 0 Torr, and
The plasma jet 4 blown out is introduced into the reaction tube,
Average pore diameter of 18 Å in the reaction tube
Diameter distribution 10-50 Å), pore volume 0.
5cc / g, specific surface area 1000m Two/ G manufactured by Ador
10 g of fibrous activated carbon is contacted for 15 minutes while stirring.
Activated carbon was obtained as an adsorbent. This plasma gas
Table as in Example 3 for fibrous activated carbon contacted with
When the area and hydrogen sulfide adsorption capacity were determined, the specific surface area was
About 1100mTwo/ G, while the ability to adsorb hydrogen sulfide is 15
hr.

【0037】比較例1 比表面積800g/m2のクラレケミカル(株)製粒状
活性炭10gに、二酸化イオウ1リットル/分とヘリウ
ム3リットル/分を15分間流して活性炭を得た。比表
面積を測定したところ約800g/m2であった。また
アンモニア吸着能は0.5hrであった。
Comparative Example 1 1 liter / minute of sulfur dioxide and 3 liter / minute of helium were passed through 10 g of granular activated carbon manufactured by Kuraray Chemical Co., Ltd. having a specific surface area of 800 g / m 2 for 15 minutes to obtain activated carbon. When the specific surface area was measured, it was about 800 g / m 2 . Further, the ammonia adsorption ability was 0.5 hr.

【0038】比較例2 比表面積800g/m2のクラレケミカル(株)製粒状
活性炭10gに水酸化ナトリウムを添着させて吸着剤と
しての活性炭を得た。この添着活性炭の比表面積を測定
したところ約400g/m2であった。また硫化水素吸
着能は9hrであった。
Comparative Example 2 Sodium hydroxide was impregnated into 10 g of granular activated carbon manufactured by Kuraray Chemical Co., Ltd. having a specific surface area of 800 g / m 2 to obtain activated carbon as an adsorbent. When the specific surface area of this impregnated activated carbon was measured, it was about 400 g / m 2 . In addition, the hydrogen sulfide adsorption ability was 9 hours.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明において
は、活性炭、ゼオライト、アルミナ、シリカ、吸着性を
有する合成樹脂や天然物質など無機あるいは有機の吸着
剤を酸性ガス、アルカリ性ガス、中性ガスをプラズマ化
したガスと接触させることにより吸着剤の特性が改善さ
れ、酸性ガス、塩基性ガス、悪臭物質等に対する吸着量
が大きく、このようなガスが微量に存在する場合にも良
好な吸着性能を示し、長期間に亘り吸着性能を保持する
ことができる吸着剤を得ることができるという顕著な効
果を有する。
As described in detail above, in the present invention, an inorganic or organic adsorbent such as activated carbon, zeolite, alumina, silica, synthetic resin having an adsorbent property or a natural substance is used in an acidic gas, an alkaline gas, a neutral gas or a neutral gas. The characteristics of the adsorbent are improved by bringing the gas into contact with the gas that has been converted into plasma, and the amount of adsorption to acidic gases, basic gases, odorous substances, etc. is large. It has a remarkable effect that it is possible to obtain an adsorbent that exhibits performance and can maintain adsorption performance for a long period of time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の方法を実施するためのプラズマジェッ
ト発生装置の先端部断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a tip portion of a plasma jet generator for carrying out a method of the present invention.

【図2】本発明の方法を実施するためのマイクロ波プラ
ズマ装置の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a microwave plasma device for performing the method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プラズマジェット発生装置の先端部 2 外側電極 3 内側電極 4 プラズマジェット 5 交流電源 6 マイクロ波発生器 7 導波管 8 反応管 9 減圧 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front end of plasma jet generator 2 Outer electrode 3 Inner electrode 4 Plasma jet 5 AC power supply 6 Microwave generator 7 Waveguide 8 Reaction tube 9 Decompression

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B01J 20/20 B01J 20/20 D 20/24 20/24 A 20/26 20/26 A C01B 31/10 C01B 31/10 (72)発明者 杉山 和夫 東京都練馬区大泉町5丁目8番2号 (72)発明者 丹羽 宣行 東京都文京区本駒込2丁目28番8号 クラ リアント ジャパン 株式会社内 Fターム(参考) 4G046 HA00 HC08 HC10 HC11 HC12 4G066 AA05B AA12A AA12B AA20B AA22B AA61B BA23 BA25 BA26 BA36 CA24 CA29 DA01 FA17 FA31 FA33 FA40 4G075 AA22 AA42 BA02 BD14 CA16 CA18 CA25 CA26 CA47 CA65 DA01 DA02 EB21 EB41 EC03 EC21 FB06 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) B01J 20/20 B01J 20/20 D 20/24 20/24 A 20/26 20/26 A C01B 31/10 C01B 31/10 (72) Inventor Kazuo Sugiyama 5-8-2 Oizumi-cho, Nerima-ku, Tokyo (72) Inventor Nobuyuki 2-28-8 Honkomagome, Bunkyo-ku, Tokyo Clariant Japan Co., Ltd. F-term (Reference) 4G046 HA00 HC08 HC10 HC11 HC12 4G066 AA05B AA12A AA12B AA20B AA22B AA61B BA23 BA25 BA26 BA36 CA24 CA29 DA01 FA17 FA31 FA33 FA40 4G075 AA22 AA42 BA02 BD14 CA16 CA18 CA25 CA26 CA47 CA65 DA01EB02 EC21

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】プラズマ化されたガス状物質の存在下で処
理された吸着剤。
An adsorbent treated in the presence of a gasified gaseous substance.
【請求項2】前記ガス状物質が酸性ガス、塩基性ガスお
よび中性ガスから選ばれた少なくとも一種であることを
特徴とする請求項1記載の吸着剤。
2. The adsorbent according to claim 1, wherein the gaseous substance is at least one selected from an acidic gas, a basic gas, and a neutral gas.
【請求項3】前記ガス状物質が酸化硫黄を含むガス状物
質であることを特徴とする請求項1記載の吸着剤。
3. The adsorbent according to claim 1, wherein said gaseous substance is a gaseous substance containing sulfur oxide.
【請求項4】前記ガス状物質が水素および窒素を含むガ
ス状物質であることを特徴とする請求項1記載の吸着
剤。
4. The adsorbent according to claim 1, wherein said gaseous substance is a gaseous substance containing hydrogen and nitrogen.
【請求項5】前記吸着剤が活性炭であることを特徴とす
る吸着剤。
5. An adsorbent, wherein the adsorbent is activated carbon.
【請求項6】前記吸着剤がゼオライト、アルミナまたは
シリカであることを特徴とする吸着剤。
6. An adsorbent, wherein the adsorbent is zeolite, alumina or silica.
【請求項7】前記吸着剤が吸着性を有する合成樹脂また
は天然物質のうちから選択したものである吸着剤。
7. An adsorbent, wherein the adsorbent is selected from synthetic resins having adsorption properties or natural substances.
【請求項8】吸着剤をプラズマ化したガス状物質と接触
させることを特徴とする吸着性能が改善された吸着剤の
製造方法。
8. A method for producing an adsorbent having improved adsorption performance, which comprises contacting the adsorbent with a gaseous substance that has been turned into plasma.
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