JP2002189010A - Electrode for resistivity meter - Google Patents

Electrode for resistivity meter

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JP2002189010A
JP2002189010A JP2000389192A JP2000389192A JP2002189010A JP 2002189010 A JP2002189010 A JP 2002189010A JP 2000389192 A JP2000389192 A JP 2000389192A JP 2000389192 A JP2000389192 A JP 2000389192A JP 2002189010 A JP2002189010 A JP 2002189010A
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精二 亀坂
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俊夫 小澤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrode for a resistivity meter, capable of suppressing cost increase by suppressing time and labor necessary for assembling. SOLUTION: The electrode 1 of the resistivity meter is provided with an internal electrode, an external electrode, and a temperature-detecting part 5. The internal electrode is formed into cylindrical form and provided with a temperature-detecting part insertion hole. The external electrode is formed into a cylindrical form. The temperature-detecting part 5 is provided with a temperature sensor element 21, a lead wire 23, a printed wiring board 24, an internal electrode cable 6, an external electrode cable 7, a shield wire 28, and a cable 27. One end of the lead wire 23 is connected to a temperature-sensing part 21a of a temperature sensor element 21, and the other end is connected to the printed wiring board 24. The external electrode cable 7 is connected to the external electrode and the printed wiring board 24. The internal electrode cable 6 is connected to the printed wiring board 24. The cable 27 is connected to the printed wiring board 24. In the temperature-detecting part 5, at least the temperature sensor element 21 is inserted in the temperature-detecting part insertion hole.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体の洗浄装
置などの各種の製造装置、産業機械、農業、食品、医療
関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷
却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などに用いられ
る抵抗率計の電極に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to various types of manufacturing equipment such as semiconductor cleaning equipment, water quality management in various fields such as industrial machinery, agriculture, food, and medical care, insulation of nuclear power plant cooling water, and various other applications. The present invention relates to an electrode of a resistivity meter used for controlling the concentration of a chemical solution.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体の洗浄装置などの各種の製造装
置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野にお
ける水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種
の薬液の濃度管理などにおいて、純水の純度や電解質液
の濃度を測定するために、前記純水や電解質液の抵抗率
を測定する抵抗率計が用いられる。前記抵抗率計は、例
えば図7に示す電極101を備えている。
2. Description of the Related Art Various types of manufacturing equipment such as semiconductor cleaning equipment, water quality management in various fields such as industrial machinery, agriculture, food and medical care, insulation of cooling water in nuclear power plants, and concentration management of various chemicals. In the above, in order to measure the purity of pure water and the concentration of the electrolyte solution, a resistivity meter for measuring the resistivity of the pure water and the electrolyte solution is used. The resistivity meter includes, for example, an electrode 101 shown in FIG.

【0003】図7に例示された抵抗率計の電極101
は、前記電極部材としての内電極102と、電極部材と
しての外電極103と、前記内電極102及び外電極1
03を支持する支持部104と、前記内電極102と電
気的に接続した内電極ケーブル106と、前記外電極1
03と電気的に接続した外電極ケーブル107と、図示
しない温度検出部と、を備えている。
The electrode 101 of the resistivity meter illustrated in FIG.
Are the inner electrode 102 as the electrode member, the outer electrode 103 as the electrode member, the inner electrode 102 and the outer electrode 1
03, the inner electrode cable 106 electrically connected to the inner electrode 102, and the outer electrode 1
An external electrode cable 107 electrically connected to the external electrode 03 and a temperature detection unit (not shown) are provided.

【0004】内電極102は、円柱状に形成されてい
る。内電極102は、基端部102a側に位置する端面
から先端部102b側に向かって凹の温度検出部挿入孔
102dを備えている。
[0004] The inner electrode 102 is formed in a columnar shape. The inner electrode 102 has a temperature detecting portion insertion hole 102d that is concave from the end face located on the base end portion 102a side toward the tip end portion 102b side.

【0005】外電極103は、導電性を有し、かつその
内径が前記内電極102の外径より大きい円管状に形成
されている。内電極102と外電極103とは、互いに
同軸的でかつ前記外電極103内に内電極102が挿入
された状態で配されている。内電極102と外電極10
3は、共に導電性を有する金属やカーボンなどから構成
されている。
The outer electrode 103 is formed in a tubular shape having conductivity and having an inner diameter larger than the outer diameter of the inner electrode 102. The inner electrode 102 and the outer electrode 103 are arranged coaxially with each other and in a state where the inner electrode 102 is inserted into the outer electrode 103. Inner electrode 102 and outer electrode 10
Numeral 3 is made of metal or carbon having conductivity.

【0006】前記支持部104は、前記内電極102及
び外電極103それぞれの基端部102a,103aを
支持している。
The supporting portion 104 supports the base portions 102a and 103a of the inner electrode 102 and the outer electrode 103, respectively.

【0007】内電極ケーブル106は、一端が前記内電
極102の基端部102aに電気的に接続している。内
電極ケーブル106は、他端が図示しない演算装置など
に電気的に接続している。
[0007] One end of the inner electrode cable 106 is electrically connected to the base 102a of the inner electrode 102. The other end of the inner electrode cable 106 is electrically connected to an arithmetic unit (not shown) or the like.

【0008】外電極ケーブル107は、一端が前記外電
極103に電気的に接続している。外電極ケーブル10
7は、他端が図示しない演算装置などに電気的に接続し
ている。
[0008] One end of the outer electrode cable 107 is electrically connected to the outer electrode 103. Outer electrode cable 10
The other end of 7 is electrically connected to an arithmetic unit (not shown).

【0009】図示しない温度検出部は、温度補償用の一
対の温度センサ素子と、これらの温度センサ素子と電気
的に接続したリード線などを備えている。温度センサ素
子は、温度検出部挿入孔102d内でかつ前記内電極1
02の先端部102bに配されている。温度センサ素子
は、温度を測定する感温部を備えている。
The temperature detecting section (not shown) includes a pair of temperature sensor elements for temperature compensation, and lead wires electrically connected to these temperature sensor elements. The temperature sensor element is located in the temperature detection portion insertion hole 102d and the inner electrode 1
02 is disposed at the tip 102b. The temperature sensor element has a temperature sensing part for measuring a temperature.

【0010】前記リード線には、内電極102の先端部
102bから基端部102aに向かって延びたケーブル
が接続される。前記ケーブルは、前記演算装置などに接
続している。前記ケーブルは、前記演算装置に、温度セ
ンサ素子が検出した内電極102の先端部102bの温
度に応じた情報を、伝える。
A cable extending from the distal end 102b of the inner electrode 102 to the proximal end 102a is connected to the lead wire. The cable is connected to the arithmetic device and the like. The cable transmits information corresponding to the temperature of the distal end portion 102b of the inner electrode 102 detected by the temperature sensor element to the arithmetic device.

【0011】前記抵抗率計の電極101の支持部104
内には、空間116が、形成されている。この空間11
6内には、エポキシ樹脂132が充填されている。この
エポキシ樹脂132は、前記空間116内に前述した電
解質液や、低温で使用した場合、支持部104の表面に
結露によって生じる水分の侵入を防止する。
A support 104 for the electrode 101 of the resistivity meter
Inside, a space 116 is formed. This space 11
6 is filled with an epoxy resin 132. The epoxy resin 132 prevents the above-mentioned electrolyte solution in the space 116 and the intrusion of moisture generated by dew condensation on the surface of the support portion 104 when used at a low temperature.

【0012】前述した構成によって、抵抗率計の電極1
01は、前記内電極102及び外電極103それぞれの
少なくとも先端部102b,103bを、計測対象の電
解質液の流路中に配置し、これらの電極102,103
間の電気抵抗を測定することより前記電解質液の抵抗率
を測定する。
According to the above-described configuration, the electrode 1 of the resistivity meter is used.
01, at least the tip portions 102b, 103b of the inner electrode 102 and the outer electrode 103 are arranged in the flow path of the electrolyte solution to be measured, and these electrodes 102, 103
The resistivity of the electrolyte solution is measured by measuring the electrical resistance between them.

【0013】このとき、前記温度センサ素子の感温部か
ら、前記ケーブルを介して前記電解質液の温度に応じた
情報が、前記演算装置に伝えられる。そして、この演算
装置などが前記電解質液の温度の補償を行い、この電解
質液の予め定められた一定温度における抵抗率を算出す
る。
At this time, information corresponding to the temperature of the electrolyte solution is transmitted from the temperature sensing portion of the temperature sensor element to the arithmetic unit via the cable. Then, the arithmetic device compensates the temperature of the electrolyte solution, and calculates the resistivity of the electrolyte solution at a predetermined constant temperature.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た抵抗率計の電極101では、前記温度検出部の温度セ
ンサ素子とリード線とを接続したり、前記リード線と前
記ケーブルとを接続する必要があった。これらの接続
は、例えば、前記温度検出部挿入孔102d内などの、
非常に狭いスペースで行わなければならず、作業に熟練
を要するとともに、作業にかかる所要時間が長時間化す
る傾向であった。
However, in the electrode 101 of the resistivity meter described above, it is necessary to connect the temperature sensor element of the temperature detecting section to a lead wire or to connect the lead wire to the cable. there were. These connections are made, for example, in the temperature detection unit insertion hole 102d.
It has to be performed in a very narrow space, which requires skill and requires a long time.

【0015】このため、特に、前記温度検出部の組立を
容易とするために、前記リード線を長くして、電極10
1外で前記リード線とケーブルとを接続することも考え
られる。この場合、接続後に、前記リード線とケーブル
とを、温度検出部挿入孔102d内に挿入する。
In order to facilitate the assembly of the temperature detecting section, the length of the lead wire is increased and the length of the electrode 10 is increased.
It is also conceivable to connect the lead wire and the cable outside the cable. In this case, after the connection, the lead wire and the cable are inserted into the temperature detection unit insertion hole 102d.

【0016】すると、前記リード線とケーブルとを、温
度検出部挿入孔102d内に挿入する際や、前記エポキ
シ樹脂132を充填する際に、前記リード線と前記ケー
ブルとが断線する恐れが生じる。このため、前記電解質
液の温度に応じた情報を、確実に取り出すことが困難と
なる。
Then, when the lead wire and the cable are inserted into the temperature detecting portion insertion hole 102d or when the epoxy resin 132 is filled, the lead wire and the cable may be disconnected. For this reason, it is difficult to reliably extract information corresponding to the temperature of the electrolyte solution.

【0017】このように、前記従来の電極101の温度
検出部では、組立に手間及び時間がかかるとともに、前
記電解質液の温度に応じた情報を取り出すことが困難と
なることも考えられる。
As described above, in the conventional temperature detecting section of the electrode 101, it takes time and effort to assemble, and it may be difficult to extract information corresponding to the temperature of the electrolyte solution.

【0018】前述した課題を解決するために、本発明の
出願人は、特願平11−330956号に記載された温
度検出部205(図8ないし図10に示す)を提案して
いる。図8に例示された温度検出部205は、温度セン
サ素子221と、複数のケーブル228と、管状スプリ
ング225と、止め輪220と、複数の絶縁チューブ2
06などを備えている。
In order to solve the above-mentioned problem, the applicant of the present invention has proposed a temperature detecting section 205 (shown in FIGS. 8 to 10) described in Japanese Patent Application No. 11-309596. The temperature detecting unit 205 illustrated in FIG. 8 includes a temperature sensor element 221, a plurality of cables 228, a tubular spring 225, a retaining ring 220, and a plurality of insulating tubes 2.
06 and the like.

【0019】温度センサ素子221は、前述したサーミ
スタなどからなり、前記内電極102の先端部102b
に配される。温度センサ素子221には、一対のサーミ
スタリード線が接続している。ケーブル228は、サー
ミスタリード線227より大径に形成されている。ケー
ブル228は、サーミスタリード線227それぞれと、
管状スプリング225と、止め輪220とに接続してい
る。ケーブル228とサーミスタリード線227とは、
図10に示すように、半田223などを用いたろう付け
によって、互いに固定される。
The temperature sensor element 221 is composed of the above-mentioned thermistor or the like.
Distributed to. A pair of thermistor lead wires is connected to the temperature sensor element 221. The cable 228 has a larger diameter than the thermistor lead 227. The cable 228 is connected to each of the thermistor lead wires 227,
It is connected to the tubular spring 225 and the retaining ring 220. The cable 228 and the thermistor lead 227
As shown in FIG. 10, they are fixed to each other by brazing using solder 223 or the like.

【0020】管状スプリング225は、内電極102の
温度検出部挿入孔102d内に挿入され、内電極102
と電気的に接続する。管状スプリング225には、ケー
ブル228が接続している。止め輪220は、支持部1
04の内周に嵌合して外電極103と電気的に接続す
る。止め輪220には、ケーブル228が接続してい
る。
The tubular spring 225 is inserted into the temperature detecting portion insertion hole 102d of the inner electrode 102,
Electrically connected to A cable 228 is connected to the tubular spring 225. The retaining ring 220 is supported by the support 1
04 and is electrically connected to the outer electrode 103. A cable 228 is connected to the retaining ring 220.

【0021】絶縁チューブ206は、複数のケーブル2
28を束ねているものと、図9に示すサーミスタリード
線227を覆い、かつ図10に示す前記サーミスタリー
ド線227とケーブル228の接合箇所を覆うものと、
が用いられている。さらに、サーミスタリード線227
が接続した温度センサ素子221などは、合成樹脂22
9などによって覆われている。
The insulating tube 206 includes a plurality of cables 2
28 and a cover that covers the thermistor lead 227 shown in FIG. 9 and covers a joint between the thermistor lead 227 and the cable 228 shown in FIG.
Is used. Further, the thermistor lead 227
Are connected to the synthetic resin 22
9 and the like.

【0022】前述した温度検出部205は、温度センサ
素子221のサーミスタリード線227とケーブル22
8が接続されるなどして組み立てられた後、前記温度検
出挿入孔102d内に挿入される。こうして、温度検出
部205は、電極101を組み立てる際の、作業員に対
する熟練度及び所要時間を抑制している。
The above-mentioned temperature detecting section 205 is connected to the thermistor lead 227 of the temperature sensor element 221 and the cable 22.
8 are connected and assembled, and then inserted into the temperature detection insertion hole 102d. Thus, the temperature detection unit 205 suppresses the skill level and the required time for the worker when assembling the electrode 101.

【0023】しかしながら、前記温度検出部205を組
み立てる際にも、サーミスタリード線227とケーブル
228との接続などの、互いに異なる外径の電線同士を
接続する必要がある。このため、組立作業に熟練を要す
る。また、前記絶縁チューブ206などで、サーミスタ
リード線227の芯線及び半田223などを覆う必要が
あって、作業にかかる所要時間が長時間化する傾向とな
るとともに、部品点数が増加する。
However, when assembling the temperature detecting section 205, it is necessary to connect wires having different outer diameters, such as a connection between the thermistor lead wire 227 and the cable 228. For this reason, skill is required for the assembly work. Further, it is necessary to cover the core wire of the thermistor lead wire 227 and the solder 223 with the insulating tube 206 and the like, so that the time required for the work tends to be longer and the number of components increases.

【0024】このように、前記温度検出部205では、
電極101に取り付ける際にかかる、手間及び所要時間
を抑制できるが、前記温度検出部205自体を組み立て
る際にかかる手間及び所要時間が増大する傾向となって
いた。このため、前記温度検出部205を用いても、電
極101の組立にかかる手間及び所要時間をかならずし
も、抑制できるとは言えない。したがって、前記温度検
出部205を用いても、電極101は、コストが高騰す
る傾向となる。
As described above, in the temperature detecting section 205,
Although the labor and required time required for attaching to the electrode 101 can be reduced, the labor and required time required for assembling the temperature detection unit 205 itself tend to increase. For this reason, even if the temperature detecting unit 205 is used, the labor and time required for assembling the electrode 101 cannot always be suppressed. Therefore, even if the temperature detection unit 205 is used, the cost of the electrode 101 tends to increase.

【0025】したがって、本発明の目的は、組立にかか
る手間及び所要時間を抑制して、コストの高騰を抑制で
きる抵抗率計の電極を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an electrode of a resistivity meter which can suppress labor and time required for assembling and suppress an increase in cost.

【0026】[0026]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決し目的を
達成するために、請求項1に記載の本発明の抵抗率計の
電極は、複数の電極部材が計測対象の電解質液の流路中
に所定間隔をおいて配置され、該電極部材間の電気抵抗
に基いて前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電
極において、前記電極部材のうち少なくとも一つの電極
部材が柱状に形成されかつ基端部から先端部に向かう方
向に沿った孔を備え、前記孔内に挿入されかつ前記電解
質液の温度に応じた情報を取り出す温度検出部を備えて
おり、前記温度検出部は、前記電解質液の温度に応じた
情報を検知する温度センサ素子と、前記温度センサ素子
に一端が接続した電線と、前記電線の他端が接続された
硬質な印刷配線板と、前記印刷配線板に一端が接続した
第2電線と、を備え、前記温度センサ素子と前記電線と
前記印刷配線板と前記第2電線とが前記先端部から前記
基端部に向かって順に位置した状態で、少なくとも前記
温度センサ素子が前記孔内に挿入されていることを特徴
としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an electrode of a resistivity meter according to the first aspect of the present invention, wherein a plurality of electrode members include a flow path of an electrolyte solution to be measured. In the electrode of the resistivity meter which is arranged at a predetermined interval and measures the resistivity of the electrolyte solution based on the electric resistance between the electrode members, at least one of the electrode members is formed in a columnar shape. Provided with a hole along the direction from the base end toward the distal end, a temperature detection unit is inserted into the hole and takes out information according to the temperature of the electrolyte solution, the temperature detection unit, A temperature sensor element that detects information according to the temperature of the electrolyte solution, an electric wire having one end connected to the temperature sensor element, a rigid printed wiring board connected to the other end of the electric wire, and the printed wiring board. A second electric wire having one end connected thereto. In a state where the temperature sensor element, the electric wire, the printed wiring board, and the second electric wire are sequentially positioned from the distal end toward the base end, at least the temperature sensor element is inserted into the hole. It is characterized by having.

【0027】請求項2に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項1記載の抵抗率計の電極において、前記第2
電線は前記電線より大径であり、前記印刷配線板は、前
記孔内に挿入される孔内挿入部と、前記孔の外に露出す
る孔外露出部と、を備えており、前記孔内挿入部の幅が
前記孔の内径より小さくかつ、前記孔外露出部の幅が前
記孔の内径より大きいとともに、前記第2電線が前記孔
外露出部に接続していることを特徴としている。
The electrode of the resistivity meter according to the present invention according to claim 2 is the electrode of the resistivity meter according to claim 1, wherein
The electric wire is larger in diameter than the electric wire, and the printed wiring board includes an insertion portion in the hole inserted into the hole, and an exposed portion outside the hole exposed outside the hole, The width of the insertion portion is smaller than the inner diameter of the hole, the width of the exposed portion outside the hole is larger than the inner diameter of the hole, and the second electric wire is connected to the exposed portion outside the hole.

【0028】請求項3に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項1または請求項2記載の抵抗率計の電極にお
いて、前記温度センサ素子と、前記電線と、前記印刷配
線板の前記電線が接続した箇所と、が合成樹脂によって
覆われていることを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, the electrode of the resistivity meter according to the first or second aspect is the electrode of the resistivity meter according to the first or second aspect, wherein the temperature sensor element, the electric wire, and the printed wiring board are connected to each other. It is characterized in that a portion to which the electric wire is connected is covered with a synthetic resin.

【0029】請求項4に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項2または請求項3に記載の抵抗率計の電極に
おいて、前記温度検出部は、円管状で、かつ前記印刷配
線板を内側に挿入可能であるとともに、前記孔内に挿入
されると前記孔の内周面と接して前記一つの電極部材と
電気的に接続する接続部材を備えたことを特徴としてい
る。
According to a fourth aspect of the present invention, the electrode of the resistivity meter according to the present invention is the electrode of the second or third aspect of the invention, wherein the temperature detecting section has a tubular shape and the printed wiring is provided. A plate is insertable inside, and a connection member is provided which, when inserted into the hole, comes into contact with the inner peripheral surface of the hole to electrically connect to the one electrode member.

【0030】請求項5に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項4に記載の抵抗率計の電極において、前記印
刷配線板は、内側に孔内挿入部を挿入した接続部材の縁
部が嵌合可能な凹溝を前記孔外露出部に設け、かつ該凹
溝の縁に配線パターンを設けているとともに、前記接続
部材は、前記縁部が前記凹溝に嵌合すると、前記印刷配
線板の配線パターンと電気的に接続することを特徴とし
ている。
According to a fifth aspect of the present invention, the electrode of the resistivity meter according to the present invention is the electrode of the resistivity meter according to the fourth aspect, wherein the printed wiring board is formed of a connecting member having a hole insertion portion inserted inside. A concave groove in which an edge can be fitted is provided in the exposed portion outside the hole, and a wiring pattern is provided on an edge of the concave groove, and the connection member, when the edge is fitted in the concave groove, It is characterized by being electrically connected to the wiring pattern of the printed wiring board.

【0031】請求項6に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項5に記載の抵抗率計の電極において、前記凹
溝は、前記印刷配線板の幅方向に沿って、互いに間隔を
存して一対設けられており、前記接続部材は、外径が伸
縮可能に弾性変形自在となっているとともに、初期状態
での外径が前記孔の内径より大きくかつ内径が前記一対
の凹溝間の間隔より大きいことを特徴としている。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an electrode of the resistivity meter according to the fifth aspect, wherein the concave grooves are spaced from each other along a width direction of the printed wiring board. The connecting member has an outer diameter that is elastically deformable so that the outer diameter can expand and contract, and the outer diameter in the initial state is larger than the inner diameter of the hole and the inner diameter is the pair of concave portions. It is characterized in that it is larger than the interval between the grooves.

【0032】請求項1に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、印刷配線板に温度センサ素子が接続された
電線を接続し、前記印刷配線板に第2電線を接続して、
温度検出手段を組み立てることができる。このように、
温度検出部を組み立てる際に、電線同士を接続する必要
がない。
According to the electrode of the resistivity meter according to the first aspect of the present invention, an electric wire to which a temperature sensor element is connected is connected to the printed wiring board, and a second electric wire is connected to the printed wiring board.
The temperature detecting means can be assembled. in this way,
When assembling the temperature detecting unit, there is no need to connect wires.

【0033】請求項2に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、第2電線を、孔内に挿入される孔内挿入部
より幅が大きな孔外露出部に接続する。このように、電
線より大径な第2電線を、幅が比較的大きな孔外露出部
に接続する。
According to the electrode of the resistivity meter according to the second aspect of the present invention, the second electric wire is connected to the exposed portion outside the hole, which is wider than the insertion portion in the hole inserted into the hole. In this way, the second electric wire larger in diameter than the electric wire is connected to the exposed portion outside the hole having a relatively large width.

【0034】請求項3に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、合成樹脂が、温度センサ素子と電線と印刷
配線板の電線が接続した箇所とを、覆っている。このた
め、絶縁体からなる絶縁チューブ内にこれらの接続箇所
を、挿入する必要が生じない。
According to the electrode of the resistivity meter according to the third aspect of the present invention, the synthetic resin covers the temperature sensor element, the electric wire, and the portion where the electric wire of the printed wiring board is connected. Therefore, there is no need to insert these connection points into the insulating tube made of an insulator.

【0035】請求項4に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、孔内に接続部材を挿入すると、この接続部
材が前記孔を備えた一つの電極部材と電気的に接続す
る。このため、前記一つの電極部材から電解質液の抵抗
率に基づいた情報を取り出すために、前記一つの電極部
材などに直接電線などを接続する必要がない。
According to the electrode of the resistivity meter according to the present invention, when a connection member is inserted into the hole, the connection member is electrically connected to one electrode member having the hole. Therefore, it is not necessary to directly connect an electric wire or the like to the one electrode member or the like in order to extract information based on the resistivity of the electrolyte solution from the one electrode member.

【0036】請求項5に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、接続部材を孔内に挿入し、該接続部材の縁
部を印刷配線板の凹溝に嵌合させると、前記孔を備えた
一つの電極と第2電線とが電気的に接続する。このた
め。前記一つの電極部材から電解質液の抵抗率に基づい
た情報を取り出すために、前記一つの電極部材などに直
接電線などを接続する必要がないとともに、電線同士を
接続する必要がない。
According to the electrode of the resistivity meter according to the present invention, when the connecting member is inserted into the hole and the edge of the connecting member is fitted into the concave groove of the printed wiring board, One electrode having a hole is electrically connected to the second electric wire. For this reason. In order to extract information based on the resistivity of the electrolyte solution from the one electrode member, it is not necessary to directly connect wires or the like to the one electrode member or the like, and it is not necessary to connect wires.

【0037】請求項6に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、接続部材の初期状態での外径が前記孔の内
径より大きく、かつ内径が前記一対の凹溝間の間隔より
大きい。このため、接続部材を孔内に挿入すると、接続
部材が孔の内周面と確実に接触して、前記孔を備えた一
つの電極部材と確実に電気的に接続する。また、凹溝に
嵌合させると、凹溝の縁に接続部材が確実に接触する。
このため、接続部材を凹溝に嵌合させると、印刷配線板
の配線パターンと接続部材とが、確実に電気的に接続す
る。
According to the electrode of the resistivity meter according to the present invention, the outer diameter of the connecting member in the initial state is larger than the inner diameter of the hole, and the inner diameter is larger than the distance between the pair of concave grooves. large. For this reason, when the connection member is inserted into the hole, the connection member surely comes into contact with the inner peripheral surface of the hole and is reliably electrically connected to one electrode member having the hole. Further, when the connection member is fitted into the concave groove, the connecting member surely contacts the edge of the concave groove.
For this reason, when the connection member is fitted into the concave groove, the wiring pattern of the printed wiring board and the connection member are reliably electrically connected.

【0038】[0038]

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図1から図
6を参照して説明する。図1などに示す本発明の一実施
形態にかかる抵抗率計の電極1は、半導体の洗浄装置な
どの各種の工程で用いられる製造装置、産業機械、農
業、食品、医療関係などの各分野における純度などの水
質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び電解質液と
しての各種の薬液の濃度管理などに用いられる。前記電
極1を用いた抵抗率計は、計測対象物としての前述した
電解質液の純度を測定するために、前記電解質液の抵抗
率を測定する装置である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The electrode 1 of the resistivity meter according to one embodiment of the present invention shown in FIG. 1 and the like is used in various fields such as a manufacturing apparatus used in various processes such as a semiconductor cleaning apparatus, an industrial machine, agriculture, food, and a medical field. It is used for water quality control such as purity, insulation of cooling water for nuclear power plants, and concentration control of various chemicals as electrolytes. The resistivity meter using the electrode 1 is a device that measures the resistivity of the electrolyte solution in order to measure the purity of the electrolyte solution described above as an object to be measured.

【0039】抵抗率計の電極1は、図1に示すように、
電極部材としての内電極2と、電極部材としての外電極
3と、前記内電極2及び外電極3を支持する支持部4
と、電解質液の温度に応じた情報を取り出す温度検出部
5と、を備えている。
The electrode 1 of the resistivity meter is, as shown in FIG.
An inner electrode 2 as an electrode member, an outer electrode 3 as an electrode member, and a support 4 for supporting the inner electrode 2 and the outer electrode 3
And a temperature detector 5 for extracting information corresponding to the temperature of the electrolyte solution.

【0040】内電極2は、円柱状に形成されている。内
電極2は、外径が比較的小さい小径部2aと、外径が比
較的大きい大径部2bと、を一体に備えている。これら
の小径部2a及び大径部2bは、互いに同軸的でかつ直
列に連結している。
The inner electrode 2 is formed in a column shape. The inner electrode 2 integrally includes a small diameter portion 2a having a relatively small outer diameter and a large diameter portion 2b having a relatively large outer diameter. The small diameter portion 2a and the large diameter portion 2b are coaxially connected to each other in series.

【0041】内電極2は、前記大径部2bが抵抗率計の
電極1の先端側に位置しかつ小径部2aが基端側に位置
した状態で配される。前記内電極2は、前記小径部2a
側に位置する端面2cから前記大径部2bに向かって凹
の本明細書に記した孔としての温度検出部挿入孔2dを
備えている。
The inner electrode 2 is arranged in such a state that the large diameter portion 2b is located on the distal end side of the electrode 1 of the resistivity meter and the small diameter portion 2a is located on the proximal end side. The inner electrode 2 is connected to the small-diameter portion 2a.
A temperature detecting portion insertion hole 2d as a hole described in the present specification, which is concave from the end face 2c located on the side toward the large diameter portion 2b, is provided.

【0042】前記温度検出部挿入孔2dは、前記小径部
2a及び大径部2bそれぞれと互いに同軸的に配されて
いる。温度検出部挿入孔2dは、前記端面2cから前記
内電極2の先端部2gに向かって延在している。温度検
出部挿入孔2dは、内電極2の基端部2f側に位置する
端面2cと前記内電極2の先端部2gとに亘って形成さ
れている。なお、温度検出部挿入孔2dは、前記端面2
cには開口しているが、前記内電極2の先端部2g側に
位置する端面2eには開口していない。
The temperature detecting portion insertion hole 2d is coaxially arranged with each of the small diameter portion 2a and the large diameter portion 2b. The temperature detection section insertion hole 2d extends from the end face 2c toward the tip 2g of the inner electrode 2. The temperature detecting portion insertion hole 2d is formed over an end face 2c located on the base end portion 2f side of the inner electrode 2 and a distal end portion 2g of the inner electrode 2. Note that the temperature detection section insertion hole 2d is
Although it is open at c, it is not open at the end face 2e located on the tip 2g side of the inner electrode 2.

【0043】外電極3は、その内径が前記内電極2の大
径部2bの外径より大きい円管状に形成されている。内
電極2と外電極3とは、互いに同軸的でかつ前記外電極
3内に内電極2が挿入された状態で配されている。内電
極2は、前記大径部2bの端面2eが、前記外電極3の
先端部3c側に位置する端面3aより若干外電極3の奥
側に位置した状態で配されている。内電極2と外電極3
は、共に導電性を有する金属やカーボンなどから構成さ
れている。
The outer electrode 3 is formed in a tubular shape whose inner diameter is larger than the outer diameter of the large diameter portion 2b of the inner electrode 2. The inner electrode 2 and the outer electrode 3 are arranged coaxially with each other and with the inner electrode 2 inserted into the outer electrode 3. The inner electrode 2 is arranged such that the end face 2 e of the large diameter portion 2 b is located slightly behind the outer face 3 a than the end face 3 a located on the tip 3 c side of the outer electrode 3. Inner electrode 2 and outer electrode 3
Are made of conductive metal or carbon.

【0044】前記支持部4は、前記内電極2及び外電極
3それぞれの基端部2f,3bを支持している。支持部
4は、内電極ホルダ10と、外電極ホルダ11と、基端
キャップ12と、Oリング30などを備えている。
The support section 4 supports the base ends 2f and 3b of the inner electrode 2 and the outer electrode 3, respectively. The support portion 4 includes an inner electrode holder 10, an outer electrode holder 11, a base end cap 12, an O-ring 30, and the like.

【0045】内電極ホルダ10は、円管状に形成されて
いる。内電極ホルダ10は、外径が比較的小さい小径部
10aと、外径が比較的大きい大径部10bと、を一体
に備えている。小径部10aと大径部10bとは互いに
同軸的でかつ互いに直列に連結されている。
The inner electrode holder 10 is formed in a circular tube shape. The inner electrode holder 10 integrally includes a small diameter portion 10a having a relatively small outer diameter and a large diameter portion 10b having a relatively large outer diameter. The small diameter portion 10a and the large diameter portion 10b are coaxial with each other and connected to each other in series.

【0046】前記小径部10aの内径は、前記内電極2
の小径部2aの外径と略等しく形成されている。小径部
10aの外径は、前記内電極2の大径部2bの外径と略
等しく形成されている。
The inner diameter of the small-diameter portion 10a is
Is formed substantially equal to the outer diameter of the small diameter portion 2a. The outer diameter of the small diameter portion 10a is formed substantially equal to the outer diameter of the large diameter portion 2b of the inner electrode 2.

【0047】前記大径部10bの内径は、前記小径部1
0aの外径と略等しく形成されている。すなわち大径部
10bの内径は、前記小径部10aの内径より大径に形
成されている。大径部10bの外径は、外電極3の外径
と略等しく形成されている。このため、内電極ホルダ1
0の内周において、前記小径部10aと大径部10bと
の間には、段差面10cが形成されている。
The inner diameter of the large diameter portion 10b is the same as that of the small diameter portion 1b.
0a is formed substantially equal to the outer diameter. That is, the inner diameter of the large diameter portion 10b is formed to be larger than the inner diameter of the small diameter portion 10a. The outer diameter of the large diameter portion 10b is formed substantially equal to the outer diameter of the outer electrode 3. For this reason, the inner electrode holder 1
On the inner circumference of 0, a step surface 10c is formed between the small diameter portion 10a and the large diameter portion 10b.

【0048】段差面10cは、前記内電極ホルダ10の
両端部に位置する両端面10d,10eに沿って形成さ
れている。内電極ホルダ10は、絶縁性を有する樹脂ま
たはセラミックなどから形成されている。
The step surface 10c is formed along both end surfaces 10d and 10e located at both end portions of the inner electrode holder 10. The inner electrode holder 10 is formed from an insulating resin or ceramic.

【0049】内電極ホルダ10は、前記小径部10aが
前記内電極2の近傍に位置しかつ前記大径部10bが前
記内電極2から離れた側に位置した状態で、前記内電極
2の小径部2aの外周に嵌合して配される。
The inner electrode holder 10 is configured such that the small-diameter portion 10a is located near the inner electrode 2 and the large-diameter portion 10b is It is arranged by fitting to the outer periphery of the portion 2a.

【0050】外電極ホルダ11は、円管状に形成されて
いる。外電極ホルダ11は、外径が比較的小さい小径部
11aと、外径が比較的大きい大径部11bと、を一体
に備えている。小径部11aと大径部11bとは互いに
同軸的でかつ互いに直列に連結されている。
The outer electrode holder 11 is formed in a tubular shape. The outer electrode holder 11 integrally includes a small diameter portion 11a having a relatively small outer diameter and a large diameter portion 11b having a relatively large outer diameter. The small diameter portion 11a and the large diameter portion 11b are coaxial with each other and connected in series with each other.

【0051】前記小径部11a及び大径部11bそれぞ
れの内径即ち、外電極ホルダ11の内径は、外電極3の
外径と略等しく形成されている。外電極ホルダ11は、
導電性を有する金属などから構成されている。
The inner diameter of each of the small-diameter portion 11a and the large-diameter portion 11b, that is, the inner diameter of the outer electrode holder 11 is substantially equal to the outer diameter of the outer electrode 3. The outer electrode holder 11
It is made of a conductive metal or the like.

【0052】外電極ホルダ11は、前記大径部11bが
前記内電極2の近傍に位置しかつ前記小径部11aが前
記内電極2から離れた側に位置した状態で、前記外電極
3の基端部3bの外周に嵌合するとともに、前記内電極
ホルダ10の大径部10bの外周に嵌合して配される。
The outer electrode holder 11 holds the outer electrode 3 in a state where the large-diameter portion 11b is located near the inner electrode 2 and the small-diameter portion 11a is located away from the inner electrode 2. The inner electrode holder 10 is fitted to the outer periphery of the large-diameter portion 10b while being fitted to the outer periphery of the end portion 3b.

【0053】また、前記外電極ホルダ11と内電極ホル
ダ10との間には、互いの間を液密に保つOリング13
が設けられている。内電極2と内電極ホルダ10との間
には、互いの間を液密に保つOリング14が設けられて
いる。これらのOリング13,14は、ゴムなどの弾性
体から構成されている。
An O-ring 13 is provided between the outer electrode holder 11 and the inner electrode holder 10 to maintain a liquid-tight space therebetween.
Is provided. An O-ring 14 is provided between the inner electrode 2 and the inner electrode holder 10 to keep the space between the inner electrode 2 and the inner electrode holder 10 liquid-tight. These O-rings 13 and 14 are made of an elastic material such as rubber.

【0054】さらに、前記内電極2及び内電極ホルダ1
0の長手方向に沿って、前記内電極ホルダ10と外電極
3との間には、中間部材15が設けられている。中間部
材15は、円環状に形成されている。中間部材15は、
内径が前記小径部10aの外径と略等しく形成されてい
るとともに、外径が前記外電極ホルダ11の内径と略等
しく形成されている。
Further, the inner electrode 2 and the inner electrode holder 1
An intermediate member 15 is provided between the inner electrode holder 10 and the outer electrode 3 along the longitudinal direction of the zero. The intermediate member 15 is formed in an annular shape. The intermediate member 15
The inner diameter is formed substantially equal to the outer diameter of the small diameter portion 10a, and the outer diameter is formed substantially equal to the inner diameter of the outer electrode holder 11.

【0055】中間部材15は、小径部10aの外周に嵌
合しかつ外電極ホルダ11の内周に嵌合している。中間
部材15は、絶縁性を有する樹脂又はセラミックなどか
ら構成されている。また、この中間部材15が小径部1
0aの外周に嵌合しかつ外電極ホルダ11の内周に嵌合
することによって、前記内電極2と外電極3とは、これ
らの電極2,3の径方向に沿った間隔が所定間隔t(図
1に示す)に保たれている。
The intermediate member 15 is fitted on the outer periphery of the small diameter portion 10a and is fitted on the inner periphery of the outer electrode holder 11. The intermediate member 15 is made of an insulating resin or ceramic. In addition, the intermediate member 15 is
0a and the inner electrode 2 and the outer electrode holder 11, the inner electrode 2 and the outer electrode 3 are spaced apart from each other by a predetermined distance t along the radial direction of the electrodes 2 and 3. (Shown in FIG. 1).

【0056】基端キャップ12は、円板部12aと筒部
12bとを有する有底筒状に形成されている。円板部1
2aは、円板状に形成されている。筒部12bは、筒状
に形成されかつ円板部12aの周縁に連なっている。
The base end cap 12 is formed in a bottomed cylindrical shape having a disk portion 12a and a cylindrical portion 12b. Disk part 1
2a is formed in a disk shape. The cylindrical portion 12b is formed in a cylindrical shape and is continuous with the periphery of the disk portion 12a.

【0057】基端キャップ12は、周知のポリアミド樹
脂(ナイロン)などの合成樹脂から形成されている。基
端キャップ12は、前記筒部12aが前記外電極ホルダ
11の小径部11aの外周に嵌合して配されている、基
端キャップ12は、前記筒部12bが前記小径部11a
に、周知のエポキシ系接着剤によって接着されて固定さ
れている。
The base cap 12 is formed of a known synthetic resin such as polyamide resin (nylon). The proximal end cap 12 is arranged such that the cylindrical portion 12a is fitted on the outer periphery of the small diameter portion 11a of the outer electrode holder 11. The proximal end cap 12 is configured such that the cylindrical portion 12b is formed of the small diameter portion 11a.
Are fixed by bonding with a well-known epoxy adhesive.

【0058】基端キャップ12は、前記円板部12aを
貫通する丸孔12cを備えている。丸孔12cは、平面
形状が略円形に形成されている。丸孔12cは、前記円
板部12aと同軸的に配されている。丸孔12cは、内
側に、温度検出部5の後述する電線ケーブル26が通
る。
The base end cap 12 has a round hole 12c penetrating the disk portion 12a. The round hole 12c has a substantially circular planar shape. The round hole 12c is arranged coaxially with the disk portion 12a. An electric wire cable 26 of the temperature detection unit 5 described later passes through the round hole 12c.

【0059】Oリング30は、シリコーンゴムなどの弾
性体などから円環状に形成されている。Oリング30
は、軸線に沿った断面形が円形に形成されている。Oリ
ング30は、弾性変形していない初期状態において、内
径が前記電線ケーブル26の外径より小さくかつ外径が
外電極ホルダ11の小径部11aの内径より小さく形成
されている。
The O-ring 30 is formed in an annular shape from an elastic body such as silicone rubber. O-ring 30
Has a circular cross section along the axis. The O-ring 30 is formed to have an inner diameter smaller than the outer diameter of the electric cable 26 and an outer diameter smaller than the inner diameter of the small-diameter portion 11 a of the outer electrode holder 11 in an initial state in which the O-ring 30 is not elastically deformed.

【0060】Oリング30は、円形に形成されたその断
面形の直径が3mm以上でかつ前記電線ケーブル26の
外径の50%以上に形成されている。このように、Oリ
ング30は、円形に形成された断面形状が比較的太く形
成されている。
The O-ring 30 is formed to have a circular cross section having a diameter of 3 mm or more and 50% or more of the outer diameter of the electric cable 26. As described above, the O-ring 30 has a relatively large circular cross-sectional shape.

【0061】Oリング30は、内側に電線ケーブル26
を通しかつ前記外電極ホルダ11の小径部11aの内側
即ち基端キャップ12の筒部12bの内側に配される。
Oリング30は、前記基端キャップ12内に設けられる
と、前記電線ケーブル26と、外電極ホルダ11の小径
部11aの内周面と、の間を液密に保ち、後述する空間
16内に電解質液が侵入することを防止する。
The O-ring 30 has an electric cable 26 inside.
And is arranged inside the small diameter portion 11 a of the outer electrode holder 11, that is, inside the cylindrical portion 12 b of the base end cap 12.
When the O-ring 30 is provided in the base cap 12, the space between the electric cable 26 and the inner peripheral surface of the small diameter portion 11a of the outer electrode holder 11 is kept liquid-tight, Prevents electrolyte solution from entering.

【0062】また、前記支持部4は、前記内電極ホルダ
10の大径部10bの内周面10fと、外電極ホルダ1
1の内周面11dと、基端キャップ12の円板部12a
等で囲まれた空間16を、その内部に形成している。こ
の空間16には、前記温度検出部挿入孔2dが開口して
いる。
Further, the supporting portion 4 is provided between the inner peripheral surface 10 f of the large diameter portion 10 b of the inner electrode holder 10 and the outer electrode holder 1.
1 and the disk portion 12a of the proximal end cap 12
A space 16 surrounded by the like is formed therein. In the space 16, the temperature detection unit insertion hole 2d is opened.

【0063】前記空間16は、その内側に、第1の止め
環19を収容している。第1の止め環19は、ステンレ
ス鋼などの周知の鋼などからなりかつ円環状に形成され
ている。第1の止め環19は、その内側に内電極2の小
径部2aを通して、前記内電極ホルダ10の大径部10
b内に収容されている。第1の止め環19は、その内縁
が、前記内電極2の小径部2aの外周に嵌合して、前記
内電極2などに固定されている。
The space 16 houses a first retaining ring 19 inside. The first retaining ring 19 is made of a well-known steel such as stainless steel and is formed in an annular shape. The first retaining ring 19 passes through the small-diameter portion 2a of the inner electrode 2 inside the
b. The inner edge of the first retaining ring 19 is fitted to the outer periphery of the small diameter portion 2a of the inner electrode 2, and is fixed to the inner electrode 2 and the like.

【0064】また、前記抵抗率計は、図1に示すよう
に、温度センサ素子21と、印刷配線板24と、円管ば
ね部材25と、各ケーブル6,7,27と、シールド線
28などの主要部品で構成された、本発明にかかる電気
信号取り出し部を備えている。
As shown in FIG. 1, the resistivity meter includes a temperature sensor element 21, a printed wiring board 24, a tubular spring member 25, cables 6, 7, 27, a shield wire 28, and the like. And an electrical signal extracting unit according to the present invention, which is constituted by the main components of the present invention.

【0065】前記温度検出部5は、図1及び図2に示す
ように、温度補償用の温度センサ素子21と、硬質な印
刷配線板24と、接続部材としての円管ばね部材25
と、第2の止め輪20と、前記内電極2と電気的に接続
した内電極ケーブル6と、前記外電極3と電気的に接続
した外電極ケーブル7と、複数のケーブル27と、シー
ルド線28と、を備えている。なお、内電極ケーブル6
とケーブル27とシールド線28は、本明細書に記した
第2電線をなしている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the temperature detecting section 5 includes a temperature sensor element 21 for temperature compensation, a hard printed wiring board 24, and a tubular spring member 25 as a connecting member.
A second retaining ring 20; an inner electrode cable 6 electrically connected to the inner electrode 2; an outer electrode cable 7 electrically connected to the outer electrode 3; a plurality of cables 27; 28. The inner electrode cable 6
, The cable 27 and the shielded wire 28 constitute the second electric wire described in this specification.

【0066】温度検出部5は、温度センサ素子21と、
後述のリード線23と、印刷配線板24の後述する孔内
挿入部35と、ケーブル6,27及びシールド線28
と、が、先端部2gから基端部2fに向かって順に位置
した状態で、前記温度検出部挿入孔2d内に配されてい
る。こうして、温度検出部5は、少なくとも温度センサ
素子21が前記温度検出部挿入孔2d内に挿入されてい
る。
The temperature detector 5 includes a temperature sensor element 21 and
Lead wires 23 described later, insertion portions 35 in holes of the printed wiring board 24 described later, cables 6, 27, and shield wires 28
And are arranged in the temperature detection unit insertion hole 2d in a state of being sequentially positioned from the distal end 2g to the proximal end 2f. Thus, in the temperature detecting section 5, at least the temperature sensor element 21 is inserted into the temperature detecting section insertion hole 2d.

【0067】温度センサ素子21は、温度検出部挿入孔
2d内でかつ前記内電極2の先端部2gに配されてい
る。温度センサ素子21は、温度を測定する感温部21
aと、本明細書に記した電線としてのリード線23と、
を備えている。
The temperature sensor element 21 is arranged in the insertion hole 2d of the temperature detecting portion and at the tip 2g of the inner electrode 2. The temperature sensor element 21 includes a temperature sensing unit 21 for measuring a temperature.
a, a lead wire 23 as an electric wire described in this specification,
It has.

【0068】温度センサ素子21は、感温部21aがデ
ィスク形、ペレット形、ビード形あるいはそれに類似し
た面部を有する形状のサーミスタや巻線、薄膜技術など
により形成された金属測温抵抗体などにより構成されて
いる。温度センサ素子21は、感温部21aの面部が、
前記温度検出部挿入孔2d内において、前記電解質液の
流路に平行に配置されている。温度センサ素子21は、
電解質液の温度に応じた情報を検知する。
The temperature sensor element 21 is formed by a thermistor or a winding having a temperature-sensitive portion 21a having a disk shape, a pellet shape, a bead shape, or a shape having a surface similar thereto, a metal temperature measuring resistor formed by thin film technology, or the like. It is configured. The temperature sensor element 21 has a surface portion of the temperature sensing portion 21a,
In the temperature detecting section insertion hole 2d, it is arranged parallel to the flow path of the electrolyte solution. The temperature sensor element 21
Information corresponding to the temperature of the electrolyte solution is detected.

【0069】リード線23は、ジュメット線、銅、ニッ
ケル、白金線などからなる芯線が剥き出しのいわゆる裸
電線となっている。リード線23は、一対設けられてい
る。リード線23は、それぞれ、一端が感温部21aに
電気的に接続している。リード線23は、前記内電極2
の先端部2gから内電極2の基端部2fに向かって延び
て、前記温度検出部挿入孔2d内に配されている。
The lead wire 23 is a so-called bare electric wire whose core wire made of a dumet wire, copper, nickel, platinum wire or the like is exposed. The lead wire 23 is provided as a pair. One end of each of the lead wires 23 is electrically connected to the temperature sensing portion 21a. The lead wire 23 is connected to the inner electrode 2
Extending from the distal end portion 2g toward the proximal end portion 2f of the inner electrode 2 and disposed in the temperature detecting portion insertion hole 2d.

【0070】印刷配線板24は、ガラスエポキシ樹脂な
どの絶縁性を有する基板と、この基板上に設けられた薄
膜の銅などからなる配線パターンなどを備えている。配
線パターンは、後述する各リード線取付孔37の内縁に
形成された部分と、後述する各ケーブル取付孔40の内
縁に形成された部分と、を電気的に接続している。配線
パターンは、後述する外電極ケーブル取付孔39の内縁
に形成された部分と、複数のケーブル取付孔40のうち
一つのケーブル取付孔40の内縁に形成された部分と、
を電気的に接続している。配線パターンは、後述する凹
溝41の縁に形成された部分と、後述する内電極ケーブ
ル取付孔38の内縁に形成された部分と、を電気的に接
続している。
The printed wiring board 24 includes a substrate having an insulating property such as a glass epoxy resin, and a wiring pattern made of a thin film of copper or the like provided on the substrate. The wiring pattern electrically connects a portion formed at an inner edge of each lead wire mounting hole 37 described later and a portion formed at an inner edge of each cable mounting hole 40 described later. The wiring pattern includes a portion formed at an inner edge of an outer electrode cable mounting hole 39 described later, a portion formed at an inner edge of one of the plurality of cable mounting holes 40, and
Are electrically connected. The wiring pattern electrically connects a portion formed at an edge of a concave groove 41 described later and a portion formed at an inner edge of an inner electrode cable attachment hole 38 described later.

【0071】こうして、配線パターンは、リード線取付
孔37の内縁に形成された部分と、内電極ケーブル取付
孔38の内縁に形成された部分と、外電極ケーブル取付
孔39の内縁に形成された部分と、ケーブル取付孔40
の内縁に形成された部分と、凹溝41の縁に形成された
部分と、を予め定められるパターンにしたがって接続し
ている。
Thus, the wiring pattern was formed at the inner edge of the lead wire mounting hole 37, at the inner edge of the inner electrode cable mounting hole 38, and at the inner edge of the outer electrode cable mounting hole 39. Part and cable mounting hole 40
And a portion formed at the edge of the concave groove 41 are connected in accordance with a predetermined pattern.

【0072】印刷配線板24は、図3などに示すよう
に、平面形状が矩形状の孔内挿入部35と、平面形状が
矩形状の孔外露出部36と、を備えている。孔内挿入部
35は、その幅方向に沿った幅H1が、温度検出部挿入
孔2dの内径D1(図1に示す)より小さく形成されて
いる。孔内挿入部35は、その長手方向が、温度検出部
挿入孔2dの長手方向に沿って、該温度検出部挿入孔2
d内に挿入される。
As shown in FIG. 3 and the like, the printed wiring board 24 includes a rectangular insertion portion 35 having a rectangular planar shape and an exposed portion 36 having a rectangular planar shape. The in-hole insertion portion 35 is formed such that the width H1 along the width direction is smaller than the inner diameter D1 (shown in FIG. 1) of the temperature detection portion insertion hole 2d. The longitudinal direction of the in-hole insertion section 35 extends along the longitudinal direction of the temperature detection section insertion hole 2d.
Inserted in d.

【0073】孔外露出部36は、孔内挿入部35と連な
っている。孔外露出部36は、孔内挿入部35の幅方向
に沿った幅H2が、温度検出部挿入孔2dの内径D1よ
り大きく形成されている。このため、孔外露出部36
は、孔内挿入部35が温度検出部挿入孔2d内に挿入さ
れた際に、温度検出部挿入孔2d内に侵入せずに、前記
空間16内に露出する。このように、孔内挿入部35の
幅H1より、孔外露出部36の幅H2が大きい。
The outside exposure portion 36 is connected to the inside insertion portion 35. The outer exposed portion 36 is formed such that the width H2 along the width direction of the inner insertion portion 35 is larger than the inner diameter D1 of the temperature detection portion insertion hole 2d. For this reason, the outside exposed portion 36
When the insertion part 35 in a hole is inserted into the insertion hole 2d of the temperature detection part, it is exposed in the space 16 without entering into the insertion hole 2d of the temperature detection part. Thus, the width H2 of the exposed portion 36 outside the hole is larger than the width H1 of the insertion portion 35 inside the hole.

【0074】孔内挿入部35の孔外露出部36から離れ
た端部35aには、リード線取付孔37が複数設けられ
ている。なお、この端部35aは、本明細書に記した印
刷配線板24のリード線23が接続する箇所をなしてい
る。リード線取付孔37は、孔内挿入部35即ち印刷配
線板24を貫通している。リード線取付孔37の内縁に
は、前記配線パターンが設けられている。これらのリー
ド線取付孔37には、リード線23の他端が取付られ
る。
A plurality of lead wire mounting holes 37 are provided at an end 35a of the in-hole insertion portion 35 remote from the outside exposure portion 36. The end 35a forms a portion to which the lead wire 23 of the printed wiring board 24 described in this specification is connected. The lead wire mounting hole 37 penetrates the insertion portion 35 in the hole, that is, the printed wiring board 24. The wiring pattern is provided on the inner edge of the lead wire mounting hole 37. The other ends of the lead wires 23 are attached to these lead wire attachment holes 37.

【0075】前記リード線23の他端は、リード線取付
孔37内に通されて、半田などを用いたろう付けによっ
て、前記リード線取付孔37に固定される。こうして、
リード線23は、前記リード線取付孔37の内縁に形成
された配線パターンの一部と電気的に接続される。
The other end of the lead wire 23 is passed through the lead wire attachment hole 37 and is fixed to the lead wire attachment hole 37 by brazing using solder or the like. Thus,
The lead wire 23 is electrically connected to a part of a wiring pattern formed on the inner edge of the lead wire mounting hole 37.

【0076】孔外露出部36には、一対の凹溝41と、
内電極ケーブル取付孔38と、外電極ケーブル取付孔3
9と、複数のケーブル取付孔40と、が設けられてい
る。一対の凹溝41は、孔外露出部36の孔内挿入部3
5寄りの端部36aに設けられている。凹溝41は、孔
内挿入部35の幅方向に沿って、孔内挿入部35の外側
に設けられている。一対の凹溝41は、孔内挿入部35
即ち印刷配線板24の幅方向に沿って、互いに間隔を存
して設けられている。
The outer exposed portion 36 has a pair of concave grooves 41,
Inner electrode cable mounting hole 38 and outer electrode cable mounting hole 3
9 and a plurality of cable mounting holes 40 are provided. The pair of concave grooves 41 are formed in the hole insertion portion 3 of the hole outside exposure portion 36.
It is provided at the end 36a closer to the fifth. The concave groove 41 is provided outside the hole insertion portion 35 along the width direction of the hole insertion portion 35. The pair of concave grooves 41 are formed in
That is, they are provided at intervals from one another along the width direction of the printed wiring board 24.

【0077】凹溝41は、帯状に形成され、かつ孔外露
出部36即ち印刷配線板24を貫通している。凹溝41
は、前記端部36aから、前記孔外露出部36の孔内挿
入部35から離れた端部36bに向かって、延在してい
る。凹溝41は、孔内挿入部35即ち印刷配線板24の
幅方向に沿って、間隔を存して設けられている。凹溝4
1は、互いの間に、前記孔内挿入部35を挟む位置に設
けられている。凹溝41には、内側に孔内挿入部35を
通した円管ばね部材25の縁部が嵌合可能である。
The concave groove 41 is formed in a belt shape and penetrates the exposed portion 36 outside the hole, that is, the printed wiring board 24. Groove 41
Extends from the end portion 36a toward an end portion 36b of the outer exposed portion 36 which is separated from the insertion portion 35 in the hole. The concave grooves 41 are provided at intervals along the width direction of the in-hole insertion portion 35, that is, the printed wiring board 24. Groove 4
Numerals 1 are provided at positions interposing the in-hole insertion portion 35 therebetween. The edge of the tubular spring member 25 that passes through the in-hole insertion portion 35 can be fitted into the concave groove 41.

【0078】内電極ケーブル取付孔38と外電極ケーブ
ル取付孔39とは、孔内挿入部35の長手方向に沿った
孔外露出部36の中央に設けられている。内電極ケーブ
ル取付孔38と外電極ケーブル取付孔39とは、孔内挿
入部35即ち印刷配線板24の幅方向に沿って、並設さ
れている。内電極ケーブル取付孔38と外電極ケーブル
取付孔39とは、それぞれ、孔外露出部36即ち印刷配
線板24を貫通している。内電極ケーブル取付孔38と
外電極ケーブル取付孔39とのそれぞれの内縁には、前
記配線パターンが設けられている。内電極ケーブル取付
孔38には、内電極ケーブル6の一端が取り付けられ、
外電極ケーブル取付孔39には、外電極ケーブル7の一
端が取り付けられる。
The inner electrode cable mounting hole 38 and the outer electrode cable mounting hole 39 are provided at the center of the outer hole exposed portion 36 along the longitudinal direction of the inner insertion portion 35. The inner electrode cable mounting hole 38 and the outer electrode cable mounting hole 39 are juxtaposed along the width direction of the insertion portion 35 in the hole, that is, the printed wiring board 24. The inner electrode cable mounting hole 38 and the outer electrode cable mounting hole 39 respectively penetrate the hole exposed portion 36, that is, the printed wiring board 24. The wiring pattern is provided at the inner edge of each of the inner electrode cable mounting hole 38 and the outer electrode cable mounting hole 39. One end of the inner electrode cable 6 is attached to the inner electrode cable attachment hole 38,
One end of the external electrode cable 7 is attached to the external electrode cable attachment hole 39.

【0079】内電極ケーブル6の一端に位置する芯線
は、内電極ケーブル取付孔38内に通されて、半田など
を用いたろう付けによって、前記内電極ケーブル取付孔
38に固定される。こうして、内電極ケーブル6は、前
記内電極ケーブル取付孔38の内縁に形成された配線パ
ターンの一部と電気的に接続される。
The core wire located at one end of the inner electrode cable 6 is passed through the inner electrode cable mounting hole 38 and is fixed to the inner electrode cable mounting hole 38 by brazing using solder or the like. Thus, the inner electrode cable 6 is electrically connected to a part of the wiring pattern formed on the inner edge of the inner electrode cable mounting hole 38.

【0080】外電極ケーブル7の一端に位置する芯線
は、外電極ケーブル取付孔39内に通されて、半田など
を用いたろう付けによって、前記外電極ケーブル取付孔
39に固定される。こうして、外電極ケーブル7は、前
記外電極ケーブル取付孔39の内縁に形成された配線パ
ターンの一部と電気的に接続される。
The core wire located at one end of the outer electrode cable 7 is passed through the outer electrode cable mounting hole 39 and is fixed to the outer electrode cable mounting hole 39 by brazing using solder or the like. Thus, the outer electrode cable 7 is electrically connected to a part of the wiring pattern formed on the inner edge of the outer electrode cable mounting hole 39.

【0081】複数のケーブル取付孔40は、孔内挿入部
35即ち印刷配線板24の幅方向に沿って、前記孔外露
出部36の端部36bに並設されている。複数のケーブ
ル取付孔40は、それぞれ、孔外露出部36即ち印刷配
線板24を貫通している。複数のケーブル取付孔40そ
れぞれの内縁には、前記配線パターンが設けられてい
る。複数のケーブル取付孔40には、それぞれケーブル
27とシールド線28の一端が取り付けられる。
The plurality of cable mounting holes 40 are arranged in parallel with the end 36b of the exposed portion 36 along the width direction of the insertion portion 35 in the hole, that is, the printed wiring board 24. Each of the plurality of cable attachment holes 40 penetrates the exposed portion 36 outside the hole, that is, the printed wiring board 24. The wiring pattern is provided on the inner edge of each of the plurality of cable mounting holes 40. One end of the cable 27 and one end of the shield wire 28 are attached to the plurality of cable attachment holes 40, respectively.

【0082】ケーブル27とシールド線28の一端に位
置する芯線は、ケーブル取付孔40内に通されて、半田
などを用いたろう付けによって、前記ケーブル取付孔4
0に固定される。こうして、ケーブル27とシールド線
28は、前記ケーブル取付孔40の内縁に形成された配
線パターンの一部と電気的に接続される。
The core wire located at one end of the cable 27 and the shield wire 28 is passed through a cable mounting hole 40, and is brazed using solder or the like.
Fixed to 0. Thus, the cable 27 and the shield wire 28 are electrically connected to a part of the wiring pattern formed on the inner edge of the cable attachment hole 40.

【0083】内電極ケーブル6と複数のケーブル27と
シールド線28は互いに、絶縁性を有する絶縁チューブ
26aによって束ねられて電線ケーブル26に連なって
いる。電線ケーブル26は、外部に導かれ、図示しない
演算装置などに電気的に接続している。
The inner electrode cable 6, the plurality of cables 27, and the shield wire 28 are bundled with each other by an insulating tube 26a having an insulating property and connected to the electric wire cable 26. The electric wire cable 26 is guided to the outside and is electrically connected to an arithmetic unit (not shown).

【0084】円管ばね部材25は、導電性を有する周知
の鋼、ステンレス鋼、黄銅、りん青銅などから構成され
ている。円管ばね部材25は、図4及び図5(C)に示
すように、円管状に形成されている。円管ばね部材25
は、図4に示すように、切欠部42を備えている。
The tubular spring member 25 is made of a known conductive steel, stainless steel, brass, phosphor bronze, or the like. The tubular spring member 25 is formed in a tubular shape as shown in FIGS. 4 and 5C. Pipe spring member 25
Has a notch 42 as shown in FIG.

【0085】切欠部42は、図5(B)に示すように、
円管ばね部材25の母材の一部が切りかかれて形成され
ている。切欠部42は、円管ばね部材25の長手方向に
沿って形成されている。切欠部42は、図5(A)に示
すように、前記円環ばね部材25の一端から他端に向か
うにしたがって、ジグザグ状に形成されている。
The notch 42 is formed as shown in FIG.
A part of the base material of the tubular spring member 25 is cut and formed. The notch 42 is formed along the longitudinal direction of the tubular spring member 25. As shown in FIG. 5A, the notch 42 is formed in a zigzag shape from one end of the annular spring member 25 to the other end.

【0086】即ち、切欠部42は、円管ばね部材25の
外周方向から見て波状に形成されている。このため、円
管ばね部材25は、図5(B)に示すように、長手方向
に対し交差する断面の断面形状がC状に形成されてい
る。
That is, the notch 42 is formed in a wave shape when viewed from the outer peripheral direction of the tubular spring member 25. For this reason, as shown in FIG. 5B, the cross-sectional shape of the cross-section that intersects the longitudinal direction of the tubular spring member 25 is formed in a C shape.

【0087】円管ばね部材25は、前記切欠部42を挟
み込みかつ互いに相対向する母材の縁部45a,45b
の相互間の間隔hを増減可能に弾性変形自在となってい
る。即ち、円管ばね部材25は、その外径Da及び内径
Dbが伸縮可能となるように弾性変形自在となってい
る。
The tubular spring member 25 is provided with the edges 45a, 45b of the base material sandwiching the notch 42 and facing each other.
Are elastically deformable so that the distance h between them can be increased or decreased. That is, the circular tube spring member 25 is elastically deformable so that its outer diameter Da and inner diameter Db can expand and contract.

【0088】円管ばね部材25は、弾性変形していない
初期状態において、その外径Daが、前記内電極2の小
径部2aの内径即ち温度検出部挿入孔2dの内径D1よ
り大きい。円管ばね部材25は、弾性変形していない初
期状態において、その内径Dbが、前記一対の凹溝41
間の間隔D2(図3に示す)より大きい
In the initial state in which the tubular spring member 25 is not elastically deformed, the outer diameter Da is larger than the inner diameter of the small diameter portion 2a of the inner electrode 2, that is, the inner diameter D1 of the temperature detecting portion insertion hole 2d. In the initial state in which the tubular spring member 25 is not elastically deformed, the inner diameter Db of the tubular spring member 25 is equal to the pair of concave grooves 41.
Greater than the spacing D2 (shown in FIG. 3)

【0089】円管ばね部材25は、内側に孔内挿入部3
5を通して、弾性復元力に抗して縮径されて、孔外露出
部36寄りの縁部が、凹溝41内に嵌合する。すると、
円管ばね部材25は、弾性復元力を生じて、凹溝41の
縁に形成された配線パターンの一部と接触する。円管ば
ね部材25は、半田46などを用いたろう付けによっ
て、凹溝41の縁に固定される。こうして、円管ばね部
材25は、凹溝41の縁に形成された配線パターンの一
部と電気的に接続される。
The tubular spring member 25 has an inner insertion portion 3 inside.
Through 5, the diameter is reduced against the elastic restoring force, and the edge near the exposed portion 36 fits into the groove 41. Then
The tubular spring member 25 generates an elastic restoring force and comes into contact with a part of the wiring pattern formed on the edge of the concave groove 41. The tubular spring member 25 is fixed to the edge of the concave groove 41 by brazing using solder 46 or the like. Thus, the tubular spring member 25 is electrically connected to a part of the wiring pattern formed on the edge of the concave groove 41.

【0090】また、円管ばね部材25は、前記電線ケー
ブル26の温度センサ素子21寄りに配されている。円
管ばね部材25は、その弾性復元力に抗して、前記小径
部2a即ち温度検出部挿入孔2d内に挿入される。
The tubular spring member 25 is disposed near the temperature sensor element 21 of the electric cable 26. The circular tube spring member 25 is inserted into the small diameter portion 2a, that is, the temperature detecting portion insertion hole 2d, against its elastic restoring force.

【0091】円管ばね部材25は、前記小径部2a内に
挿入されると、弾性復元力を生じて、前記小径部2aの
内周面即ち温度検出部挿入孔2dの内周面2hと密接す
る。こうして、円管ばね部材25は、内電極2と、印刷
配線板24の内電極ケーブル取付孔38の内縁に形成さ
れた配線パターンの一部と電気的に接続する。
When inserted into the small-diameter portion 2a, the tubular spring member 25 generates an elastic restoring force, and comes into close contact with the inner peripheral surface of the small-diameter portion 2a, that is, the inner peripheral surface 2h of the temperature detecting portion insertion hole 2d. I do. Thus, the tubular spring member 25 is electrically connected to the inner electrode 2 and a part of the wiring pattern formed on the inner edge of the inner electrode cable attachment hole 38 of the printed wiring board 24.

【0092】第2の止め環20は、ステンレス鋼などの
周知の鋼などからなりかつ円環状に形成されている。第
2の止め環20は、その内側に、温度検出部5の電線ケ
ーブル26を通して前記空間16内に収容されている。
第2の止め環20は、内電極ホルダ10の基端側に止め
られている。第2の止め環20は、その外縁が、前記外
電極ホルダ11の内周面11dに嵌合して、前記外電極
ホルダ11などに固定されている。
The second retaining ring 20 is made of a known steel such as stainless steel or the like, and is formed in an annular shape. The second retaining ring 20 is housed inside the space 16 through the electric wire cable 26 of the temperature detecting unit 5 inside.
The second retaining ring 20 is stopped on the base end side of the inner electrode holder 10. The outer edge of the second retaining ring 20 is fitted to the inner peripheral surface 11d of the outer electrode holder 11, and is fixed to the outer electrode holder 11 or the like.

【0093】内電極ケーブル6、外電極ケーブル7、複
数のケーブル27は、リード線23より大径に形成さ
れ、導体からなる芯線と、この芯線を被覆する絶縁性を
有する被覆部と、を備えたいわゆる被覆電線となってい
る。シールド線28は、導体からなる芯線のみで形成さ
れている。
Each of the inner electrode cable 6, the outer electrode cable 7, and the plurality of cables 27 is formed to have a diameter larger than that of the lead wire 23, and includes a conductor made of a conductor, and an insulating portion covering the core. It is a so-called covered electric wire. The shield wire 28 is formed only of a core wire made of a conductor.

【0094】内電極ケーブル6は、前記構成により電解
質液の電気信号を、内電極2、円管ばね部材25、印刷
配線板24の凹溝41部の半田、印刷配線板24の配線
パターン、印刷配線板24の取付孔38部の半田、を順
に経由して、外電極ホルダ11外部の図示しない演算装
置などに送っている。
The inner electrode cable 6 transmits the electric signal of the electrolyte solution to the inner electrode 2, the circular tube spring member 25, the solder in the concave groove 41 of the printed wiring board 24, the wiring pattern of the printed wiring board 24, and the printed circuit. The solder is supplied to a mounting device (not shown) outside the outer electrode holder 11 via the solder in the mounting hole 38 of the wiring board 24 in order.

【0095】外電極ケーブル7は、前記構成により電解
質液の電気信号を、外電極3、外電極ホルダ11、第2
の止め輪20、第2の止め輪20の半田、外電極ケーブ
ル7、印刷配線板24の取付孔39部の半田、印刷配線
板24の配線パターン、印刷配線板24の取付孔40部
の半田、シールド線28を順に経由して、外電極ホルダ
11外部の図示しない演算装置などに送っている。
The external electrode cable 7 transmits the electric signal of the electrolyte solution to the external electrode 3, the external electrode holder 11, the second
Of the retaining ring 20, the second retaining ring 20, the external electrode cable 7, the solder of the mounting hole 39 of the printed wiring board 24, the wiring pattern of the printed wiring board 24, and the solder of the mounting hole 40 of the printed wiring board 24. , Via a shield wire 28 in order, to an arithmetic unit (not shown) outside the outer electrode holder 11.

【0096】また、残りの複数のケーブル27は、前記
構成により温度の電気信号を、温度センサ素子21、リ
ード線23、印刷配線板24の取付孔37部の半田、印
刷配線板24の配線パターン、印刷配線板24の取付孔
40部の半田、を順に経由して、外電極ホルダ11外部
の図示しない演算装置などに送っている。
The remaining plurality of cables 27 transmit the temperature electric signal according to the above-described configuration to the temperature sensor element 21, the lead wires 23, the solder in the mounting holes 37 of the printed wiring board 24, and the wiring pattern of the printed wiring board 24. , Through the solder of the mounting holes 40 of the printed wiring board 24, and then to an arithmetic unit (not shown) outside the outer electrode holder 11.

【0097】また、印刷配線板24の孔内挿入部35の
リード線取付孔37にリード線23が取り付けられた状
態で、前記温度センサ素子21とリード線23と端部3
5aとは、図6に示すように、合成樹脂47によって覆
われる。
In the state where the lead wire 23 is attached to the lead wire attaching hole 37 of the insertion portion 35 in the hole of the printed wiring board 24, the temperature sensor element 21, the lead wire 23 and the end 3
5a is covered with a synthetic resin 47 as shown in FIG.

【0098】前述した構成の温度検出部5は、以下のよ
うに組立られる。円管ばね部材25内に孔内挿入部35
を通して、円管ばね部材25の縁部を凹溝41内に嵌合
して、半田46を用いたろう付けによって、印刷配線板
24と円管ばね部材25とを固定する。温度センサ素子
21のリード線23の一端を印刷配線板24のリード線
取付孔37に半田などを用いたろう付けにより固定し、
合成樹脂47で覆う。
The temperature detecting section 5 having the above-described structure is assembled as follows. The insertion portion 35 in the hole is provided in the tubular spring member 25.
Then, the edge of the tubular spring member 25 is fitted into the concave groove 41, and the printed wiring board 24 and the tubular spring member 25 are fixed by brazing using solder 46. One end of the lead wire 23 of the temperature sensor element 21 is fixed to the lead wire mounting hole 37 of the printed wiring board 24 by brazing using solder or the like,
Cover with synthetic resin 47.

【0099】各ケーブル6,7,27及びシールド線2
8の一端を所定の取付孔38,39,40に固定する。
ケーブル6,27及びシールド線28を束ねて、絶縁チ
ューブ26a内に通して電線を整理した束とするととも
に、電線ケーブル26の端末処理を兼用して行うことと
する。こうして、温度検出部5が組立られる。
Each cable 6, 7, 27 and shield wire 2
8 is fixed to predetermined mounting holes 38, 39, 40.
The cables 6, 27 and the shielded wire 28 are bundled and passed through the insulating tube 26a to form an organized bundle, and the terminal treatment of the wire cable 26 is also performed. Thus, the temperature detector 5 is assembled.

【0100】また、予めエポキシ樹脂等の絶縁樹脂が適
量充填されている前記温度検出部挿入孔2d内に前記温
度検出部5の温度センサ素子21とリード線23と孔内
挿入部35とが挿入され、かつさらに前記空間16内
に、止め環19,20などが収容された状態で、エポキ
シ樹脂31が充填される。
Further, the temperature sensor element 21, the lead wire 23, and the hole insertion portion 35 of the temperature detection portion 5 are inserted into the temperature detection portion insertion hole 2d, which is previously filled with an appropriate amount of insulating resin such as epoxy resin. The space 16 is filled with an epoxy resin 31 in a state where the retaining rings 19 and 20 are housed.

【0101】このエポキシ樹脂31は、前記外電極ホル
ダ11の内周面11d、前記内電極ホルダ10の端面1
0eとの間を液密に保ち、前記空間16内に前述した電
解質液や、低温で使用した場合外電極ホルダ11の表面
に結露によって生じた水分の侵入を防止する。
The epoxy resin 31 is applied to the inner peripheral surface 11 d of the outer electrode holder 11 and the end surface 1 of the inner electrode holder 10.
0e is kept liquid-tight, and the above-mentioned electrolyte solution in the space 16 and the intrusion of moisture generated by condensation on the surface of the outer electrode holder 11 when used at a low temperature are prevented.

【0102】前述した構成によれば、抵抗率計の電極1
は、前記内電極2及び外電極3それぞれの少なくとも先
端部2g,3cを、計測対象の電解質液の流路中に配置
する。抵抗率計の電極1は、内電極ケーブル6と、複数
のケーブル27のうち一つのケーブル27などを介して
演算装置などに伝えられる電極2,3間の電気抵抗を測
定することにより前記電解質液の抵抗率を測定する。
According to the above configuration, the electrode 1 of the resistivity meter is used.
Arranges at least the tips 2g and 3c of the inner electrode 2 and the outer electrode 3 in the flow path of the electrolyte liquid to be measured. The electrode 1 of the resistivity meter measures the electric resistance between the inner electrode cable 6 and the electrodes 2 and 3 transmitted to a computing device or the like via one of the plurality of cables 27 and the like. Is measured.

【0103】このとき、前記温度センサ素子21の感温
部21aから、前記リード線23及び他のケーブル27
などを介して前記電解質液の温度に応じた情報が、前記
演算装置に伝えられる。そして、この演算装置などが電
解質液の温度の補償を行い、この電解質液のあらかじめ
決められた一定温度における抵抗率を算出する。
At this time, the lead wire 23 and the other cable 27 are connected from the temperature sensing portion 21a of the temperature sensor element 21.
The information corresponding to the temperature of the electrolyte solution is transmitted to the arithmetic unit via the like. Then, the arithmetic unit compensates the temperature of the electrolyte solution, and calculates the resistivity of the electrolyte solution at a predetermined constant temperature.

【0104】本実施形態の抵抗率計の電極1によれば、
印刷配線板24に温度センサ素子21の感温部21aが
接続されたリード線23を接続し、前記印刷配線板24
に内外電極ケーブル6,7及びケーブル27、シールド
線28を接続して、温度検出手段5を組み立てることが
できる。このように、温度検出部5を組み立てる際に、
リード線23と、ケーブル6,27及びケーブル7とシ
ールド線28を直接接続する必要がない。このため、容
易に組み立てることができる。
According to the electrode 1 of the resistivity meter of the present embodiment,
The printed wiring board 24 is connected to the lead wire 23 to which the temperature sensing part 21a of the temperature sensor element 21 is connected, and the printed wiring board 24
, The temperature detection means 5 can be assembled. Thus, when assembling the temperature detection unit 5,
There is no need to directly connect the lead wire 23 to the cables 6 and 27 and the cable 7 and the shield wire 28. Therefore, it can be easily assembled.

【0105】また、リード線23とケーブル6,27及
びケーブル7とシールド線28とを直接接続した接続箇
所がないので、該接続箇所などを絶縁体からなる絶縁チ
ューブなどで覆う必要もなくなり、部品点数を抑制で
き、組立にかかる工数を抑制できる。さらに、印刷配線
板24が硬質であるので、印刷配線板24を温度検出部
挿入孔2d内に挿入することで、温度センサ素子21を
温度検出部挿入孔2d内の所定の位置に容易に位置させ
ることができる。このため、より一層容易に組み立てる
ことができる。
Further, since there is no connection point where the lead wire 23 and the cables 6 and 27 and the cable 7 and the shield wire 28 are directly connected, there is no need to cover the connection point with an insulating tube made of an insulator. The number of points can be suppressed, and the number of steps required for assembly can be suppressed. Further, since the printed wiring board 24 is rigid, the temperature sensor element 21 can be easily positioned at a predetermined position in the temperature detection unit insertion hole 2d by inserting the printed wiring board 24 into the temperature detection unit insertion hole 2d. Can be done. For this reason, it can be more easily assembled.

【0106】したがって、組立にかかる手間及び所要時
間を抑制して、コストの高騰を抑制できる。また、リー
ド線23とケーブル6,27及びケーブル7とシールド
線28とを直接接続した接続箇所を覆う絶縁チューブを
用いる必要がないため、リード線23及びケーブル6,
27及びケーブル7とシールド線28と前記絶縁チュー
ブの内面との隙間が生じない。したがって、温度検出部
挿入孔2d内に余分な隙間などが生じることを防止で
き、温度検出部挿入孔2d内に電解質液などが侵入する
ことを、確実に防止できる。
Therefore, the labor and time required for assembling can be reduced, and a rise in cost can be suppressed. In addition, since it is not necessary to use an insulating tube that covers a connection point where the lead wire 23 and the cables 6 and 27 and the cable 7 and the shield wire 28 are directly connected, it is not necessary to use an insulating tube.
There is no gap between the cable 27, the cable 7, the shield wire 28, and the inner surface of the insulating tube. Therefore, it is possible to prevent an extra gap or the like from being generated in the temperature detection unit insertion hole 2d, and it is possible to reliably prevent an electrolyte solution or the like from entering the temperature detection unit insertion hole 2d.

【0107】また、比較的大径なケーブル27を、孔内
挿入部35より幅が大きな孔外露出部36に接続する。
このように、リード線23より大径な第2電線を、幅が
比較的大きな孔外露出部36に接続する。このため、ケ
ーブル27、シールド線28を容易に印刷配線板24に
接続できる。したがって、温度検出部5をより一層容易
に組み立てることができ、抵抗率計の電極1の組立にか
かる手間及び所要時間を抑制して、コストの高騰を抑制
できる。
Further, the cable 27 having a relatively large diameter is connected to the exposed portion 36 having a larger width than the insertion portion 35 in the hole.
As described above, the second electric wire having a diameter larger than that of the lead wire 23 is connected to the exposed portion 36 having a relatively large width. Therefore, the cable 27 and the shield wire 28 can be easily connected to the printed wiring board 24. Therefore, the temperature detection unit 5 can be more easily assembled, and the labor and time required for assembling the electrode 1 of the resistivity meter can be suppressed, and a rise in cost can be suppressed.

【0108】合成樹脂47が、温度センサ素子21とリ
ード線23と該リード線23が接続した印刷配線板24
の端部35aとを、覆っている。温度センサ素子21と
リード線23と印刷配線板24の端部35aとの相互の
接続箇所を、絶縁チューブで覆う必要がない。
The synthetic resin 47 is connected to the temperature sensor element 21, the lead wire 23, and the printed wiring board 24 to which the lead wire 23 is connected.
End 35a. It is not necessary to cover the connection location between the temperature sensor element 21, the lead wire 23, and the end 35a of the printed wiring board 24 with an insulating tube.

【0109】このため、部品点数と組立にかかる工数と
を抑制できるとともに、温度検出部挿入孔2d内に余分
な隙間が生じない。したがって、抵抗率計の電極1の組
立にかかる手間及び所要時間を抑制して、コストの高騰
を抑制できるとともに、前記温度検出部挿入孔2d内へ
の電解質液の侵入を確実に防止できる。
Therefore, the number of parts and the number of steps required for assembling can be suppressed, and no extra gap is formed in the temperature detecting portion insertion hole 2d. Therefore, the labor and time required for assembling the electrode 1 of the resistivity meter can be suppressed, so that a rise in cost can be suppressed, and intrusion of the electrolyte solution into the temperature detection portion insertion hole 2d can be reliably prevented.

【0110】温度検出部挿入孔2d内に円管ばね部材2
5を挿入すると、この円管ばね部材25を内電極2と電
気的に接続する。このため、前記内電極2から電解質液
の抵抗率に基づいた情報を取り出すために、前記内電極
2などに直接電線などを接続する必要がない。
The circular tube spring member 2 is inserted into the temperature detecting portion insertion hole 2d.
When the plug 5 is inserted, the tubular spring member 25 is electrically connected to the inner electrode 2. Therefore, it is not necessary to directly connect an electric wire or the like to the inner electrode 2 or the like in order to extract information based on the resistivity of the electrolyte solution from the inner electrode 2.

【0111】したがって、容易に組み立てることが可能
となって、組立にかかる手間及び所要時間を抑制して、
コストの高騰を抑制できる。また、前記内電極2などに
直接電線などを接続する必要がないので、該接続箇所を
覆うために絶縁チューブなどを用いる必要がない。この
ため、温度検出部挿入孔2d内への電解質液の侵入を確
実に防止でき、かつ部品点数の増加を抑制できる。
Therefore, it is possible to easily assemble, and to reduce the labor and time required for assembling.
High cost can be suppressed. Further, since it is not necessary to directly connect an electric wire or the like to the inner electrode 2 or the like, it is not necessary to use an insulating tube or the like to cover the connection portion. For this reason, it is possible to reliably prevent the electrolyte solution from entering the temperature detection unit insertion hole 2d, and to suppress an increase in the number of parts.

【0112】円管ばね部材25の縁部を印刷配線板24
の凹溝41に嵌合させ、該円管ばね部材25を温度検出
部挿入孔2d内に挿入すると、内電極2と内電極リード
線6とが電気的に接続する。このため。内電極2から電
解質液の抵抗率に基づいた情報を取り出すために、前記
内電極2などに直接電線などを接続する必要がないとと
もに、電線同士を接続する必要がより一層生じない。
The edge of the tubular spring member 25 is connected to the printed wiring board 24.
When the circular tube spring member 25 is inserted into the temperature detecting portion insertion hole 2d, the inner electrode 2 and the inner electrode lead wire 6 are electrically connected. For this reason. In order to extract information based on the resistivity of the electrolyte solution from the inner electrode 2, it is not necessary to directly connect wires or the like to the inner electrode 2 or the like, and it is not necessary to connect wires.

【0113】したがって、容易に組み立てることが可能
となって、組立にかかる手間及び所要時間を抑制して、
コストの高騰をより一層抑制できる。また、前記内電極
2などに直接電線などを接続する必要がないとともに、
電線同士を接続する必要がないので、これらの接続箇所
を覆うために絶縁チューブなどを用いる必要がない。こ
のため、温度検出部挿入孔2d内への電解質液の侵入を
確実に防止でき、かつ部品点数の増加を抑制できる。
Therefore, it is possible to easily assemble, and to reduce the labor and time required for assembling.
Higher costs can be further suppressed. Further, it is not necessary to directly connect an electric wire or the like to the inner electrode 2 or the like, and
Since there is no need to connect the wires, there is no need to use an insulating tube or the like to cover these connection points. For this reason, the intrusion of the electrolyte solution into the temperature detection section insertion hole 2d can be reliably prevented, and an increase in the number of parts can be suppressed.

【0114】円管ばね部材25の弾性変形していない初
期状態での外径Daが温度検出部挿入孔2dの内径D1
より大きく、かつ、前記初期状態での内径Dbが一対の
凹溝41間の間隔D2より大きい。このため、円管ばね
部材25の縁部を凹溝41内に嵌合させると、円管ばね
部材25と凹溝41の縁に位置する配線パターンの一部
とが確実に電気的に接続する。
The outer diameter Da of the cylindrical spring member 25 in the initial state where it is not elastically deformed is equal to the inner diameter D1 of the temperature detecting portion insertion hole 2d.
Further, the inner diameter Db in the initial state is larger than the distance D2 between the pair of concave grooves 41. Therefore, when the edge of the tubular spring member 25 is fitted into the concave groove 41, the tubular spring member 25 and a part of the wiring pattern located at the edge of the concave groove 41 are reliably electrically connected. .

【0115】また、円管ばね部材25を、温度検出部挿
入孔2d内に挿入すると、円管ばね部材25が、温度検
出部挿入孔2aの内周面2hと確実に接触して、内電極
2と確実に電気的に接続する。したがって、より一層容
易に組み立てることができ、組立にかかる手間及び所要
時間を一層抑制して、コストの高騰を一層抑制できる。
When the tubular spring member 25 is inserted into the temperature detecting portion insertion hole 2d, the tubular spring member 25 is securely brought into contact with the inner peripheral surface 2h of the temperature detecting portion insertion hole 2a, and the inner electrode 2 is securely connected electrically. Therefore, assembling can be performed more easily, labor and time required for assembling can be further suppressed, and a rise in cost can be further suppressed.

【0116】前述した実施形態では、凹溝41に円管ば
ね部材25を嵌合させた後、半田などを用いたろう付け
によって、印刷配線板24と円管ばね部材25とを固定
している。しかしながら、本発明では、凹溝41に円管
ばね部材25を嵌合させて、印刷配線板24の配線パタ
ーンと円管ばね部材25とを電気的に接続しても良く、
半田などを用いたろう付けによって、印刷配線板24の
配線パターンと円管ばね部材25とを電気的に接続して
も良い。さらに、本発明の電極1は、電解質液の導電率
を測定する導電率計にも用いることができるのは勿論で
ある。
In the above-described embodiment, after the tubular spring member 25 is fitted in the concave groove 41, the printed wiring board 24 and the tubular spring member 25 are fixed by brazing using solder or the like. However, in the present invention, the tubular spring member 25 may be fitted into the concave groove 41 to electrically connect the wiring pattern of the printed wiring board 24 and the tubular spring member 25,
The wiring pattern of the printed wiring board 24 and the tubular spring member 25 may be electrically connected by brazing using solder or the like. Further, the electrode 1 of the present invention can of course be used for a conductivity meter for measuring the conductivity of the electrolyte solution.

【0117】[0117]

【発明の効果】以上説明したように請求項1に記載の本
発明は、印刷配線板に温度センサ素子が接続した電線を
接続し、前記印刷配線板に第2電線を接続して、温度検
出手段を組み立てることができる。このように、温度検
出部を組み立てる際に、電線同士を接続する必要がな
い。このため、容易に組み立てることができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, a temperature detecting element is connected to a printed wiring board by connecting a wire to which a temperature sensor element is connected, and a second wire is connected to the printed wiring board. The means can be assembled. Thus, when assembling the temperature detecting unit, it is not necessary to connect the electric wires. Therefore, it can be easily assembled.

【0118】また、電線同士を接続した接続箇所などを
絶縁体からなる絶縁チューブなどで覆う必要もないの
で、部品点数を抑制でき、組立にかかる工数を抑制でき
る。さらに、印刷配線板が硬質であるので、印刷配線板
を孔内に挿入することで、温度センサ素子が孔内の所定
の位置に容易に位置させることができる。このため、よ
り一層容易に組み立てることができる。
Further, since it is not necessary to cover a connection portion or the like where the electric wires are connected with an insulating tube or the like made of an insulator, the number of components can be reduced, and the number of steps required for assembly can be reduced. Furthermore, since the printed wiring board is hard, the temperature sensor element can be easily positioned at a predetermined position in the hole by inserting the printed wiring board into the hole. For this reason, it can be more easily assembled.

【0119】したがって、組立にかかる手間及び所要時
間を抑制して、コストの高騰を抑制できる。また、前記
絶縁チューブなどで、前記電線同士の接続箇所などを覆
う必要がないので、電線と前記絶縁チューブの内面との
隙間や、第2電線と前記絶縁チューブの内面との隙間
が、孔内に生じない。このため、孔内に余分な隙間など
が生じることを防止できるので、孔内に電解質液などが
侵入することを、確実に防止できる。
Therefore, the labor and time required for assembling can be reduced, and a rise in cost can be suppressed. Further, since it is not necessary to cover the connection points between the electric wires with the insulating tube or the like, a gap between the electric wire and the inner surface of the insulating tube or a gap between the second electric wire and the inner surface of the insulating tube is formed in the hole. Does not occur. Therefore, it is possible to prevent an extra gap or the like from being generated in the hole, and it is possible to reliably prevent the electrolyte solution or the like from entering the hole.

【0120】請求項2に記載の本発明は、比較的大径な
第2電線を、比較的幅の大きな孔外露出部に接続する。
このため、第2電線を容易に印刷配線板に接続できる。
したがって、温度検出部をより一層容易に組み立てるこ
とができ、抵抗率計の電極の組立にかかる手間及び所要
時間を抑制して、コストの高騰を抑制できる。
According to the present invention, the second electric wire having a relatively large diameter is connected to the exposed portion having a relatively large width.
Therefore, the second electric wire can be easily connected to the printed wiring board.
Therefore, the temperature detecting section can be more easily assembled, and the labor and time required for assembling the electrodes of the resistivity meter can be suppressed, and a rise in cost can be suppressed.

【0121】請求項3に記載の本発明は、合成樹脂が、
温度センサ素子と電線とこの電線が接続した印刷配線板
の箇所とを覆っているため、絶縁体からなる絶縁チュー
ブ内にこれらの接続箇所を、挿入する必要が生じない。
このため、部品点数と組立にかかる工数とを抑制できる
とともに、孔内に余分な隙間が生じない。したがって、
抵抗率計の電極の組立にかかる手間及び所要時間を抑制
して、コストの高騰を抑制できるとともに、感温部空間
へ充填されたエポキシ樹脂などの絶縁樹脂との効果で前
記孔内への電解質液の侵入を確実に防止できる。
The present invention according to claim 3 is characterized in that the synthetic resin comprises
Since the temperature sensor element, the electric wire, and the portion of the printed wiring board to which the electric wire is connected are covered, there is no need to insert these connection portions into an insulating tube made of an insulator.
For this reason, the number of parts and the number of steps required for assembling can be suppressed, and no extra gap is formed in the hole. Therefore,
The time and effort required for assembling the electrodes of the resistivity meter can be suppressed, and the cost can be prevented from rising. Liquid intrusion can be reliably prevented.

【0122】請求項4に記載の本発明は、孔内に接続部
材を挿入すると、この接続部材が前記孔を備えた一つの
電極部材と電気的に接続する。このため、前記一つの電
極部材から電解質液の抵抗率に基づいた情報を取り出す
ために、前記一つの電極部材などに直接電線などを接続
する必要がない。
According to the fourth aspect of the present invention, when a connecting member is inserted into the hole, the connecting member is electrically connected to one electrode member having the hole. Therefore, it is not necessary to directly connect an electric wire or the like to the one electrode member or the like in order to extract information based on the resistivity of the electrolyte solution from the one electrode member.

【0123】したがって、容易に組み立てることが可能
となって、組立にかかる手間及び所要時間を抑制して、
コストの高騰を抑制できる。また、前記一つの電極部材
などに直接電線などを接続する必要がないので、該接続
箇所を覆うために絶縁チューブなどを用いる必要がな
い。このため、孔内への電解質液の侵入を確実に防止で
き、かつ部品点数の増加を抑制できる。
Therefore, it is possible to easily assemble, and to reduce the labor and time required for assembling.
High cost can be suppressed. Further, since it is not necessary to directly connect an electric wire or the like to the one electrode member or the like, there is no need to use an insulating tube or the like to cover the connection portion. Therefore, intrusion of the electrolyte solution into the holes can be reliably prevented, and increase in the number of parts can be suppressed.

【0124】請求項5に記載の本発明は、接続部材を孔
内に挿入し、該接続部材の縁部を印刷配線板の凹溝に嵌
合させると、前記孔を備えた一つの電極部材と第2電線
とが電気的に接続する。このため。前記一つの電極部材
から電解質液の抵抗率に基づいた情報を取り出すため
に、前記一つの電極部材などに直接電線などを接続する
必要がないとともに、電線同士を接続する必要がない。
According to a fifth aspect of the present invention, when the connecting member is inserted into the hole and the edge of the connecting member is fitted into the concave groove of the printed wiring board, one electrode member having the hole is provided. And the second electric wire are electrically connected. For this reason. In order to extract information based on the resistivity of the electrolyte solution from the one electrode member, it is not necessary to directly connect wires or the like to the one electrode member or the like, and it is not necessary to connect wires.

【0125】したがって、容易に組み立てることが可能
となって、組立にかかる手間及び所要時間を抑制して、
コストの高騰を抑制できる。また、前記一つの電極部材
などに直接電線などを接続する必要がないとともに、電
線同士を接続する必要がないので、これらの接続箇所を
覆うために絶縁チューブなどを用いる必要がない。この
ため、孔内への電解質液の侵入を確実に防止でき、かつ
部品点数の増加を抑制できる。
Therefore, it is possible to easily assemble, and to reduce the labor and time required for assembling.
High cost can be suppressed. Further, since it is not necessary to directly connect an electric wire or the like to the one electrode member or the like, and it is not necessary to connect the electric wires to each other, it is not necessary to use an insulating tube or the like to cover these connection portions. Therefore, intrusion of the electrolyte solution into the holes can be reliably prevented, and increase in the number of parts can be suppressed.

【0126】請求項6に記載の本発明は、接続部材の初
期状態での外径が、前記孔の内径より大きくかつ前記一
対の凹溝間の間隔より大きい。このため、接続部材を孔
内に挿入すると、接続部材が孔の内周面と確実に接触し
て、前記孔を備えた一つの電極部材と確実に電気的に接
続する。したがって、容易に組み立てることが可能とな
って、組立にかかる手間及び所要時間を一層抑制して、
コストの高騰を一層抑制できる。
According to the present invention, the outer diameter of the connecting member in the initial state is larger than the inner diameter of the hole and larger than the interval between the pair of concave grooves. Therefore, when the connecting member is inserted into the hole, the connecting member surely comes into contact with the inner peripheral surface of the hole, and is reliably electrically connected to one electrode member provided with the hole. Therefore, it is possible to easily assemble, further reducing the labor and time required for assembling,
Higher costs can be further suppressed.

【0127】また、凹溝に嵌合させると、凹溝の縁に接
続部材が確実に接触する。このため、接続部材を凹溝に
嵌合させると、印刷配線板の配線パターンと接続部材と
が、確実に電気的に接続する。したがって、容易に組み
立てることが可能となって、組立にかかる手間及び所要
時間をより一層抑制して、コストの高騰をより一層抑制
できる。
Further, when the connecting member is fitted into the concave groove, the connecting member surely comes into contact with the edge of the concave groove. For this reason, when the connection member is fitted into the concave groove, the wiring pattern of the printed wiring board and the connection member are reliably electrically connected. Therefore, it is possible to easily assemble, and it is possible to further reduce the labor and time required for assembling, thereby further suppressing a rise in cost.

【0128】なお、図と説明では接続部材の外径と凹溝
の外側の縁について記載したが、接続部材の内径と凹溝
の内側の縁との間で行ったり、さらに、半田などのろう
付けなどにより、電気信号の取り出しをより確実に行っ
ても良いことは勿論のことである。
In the drawings and description, the outer diameter of the connecting member and the outer edge of the concave groove are described. However, the connection is performed between the inner diameter of the connecting member and the inner edge of the concave groove. Needless to say, the electrical signal may be more reliably taken out by attaching or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態にかかる抵抗率計の電極の
全体構成を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an overall configuration of an electrode of a resistivity meter according to an embodiment of the present invention.

【図2】同実施形態の電極の温度検出部の構成を示す側
面図である。
FIG. 2 is a side view showing a configuration of a temperature detecting section of the electrode of the embodiment.

【図3】同実施形態の電極の印刷配線板を示す平面図で
ある。
FIG. 3 is a plan view showing a printed wiring board of electrodes of the embodiment.

【図4】同実施形態の電極の円管ばね部材を示す斜視図
である。
FIG. 4 is a perspective view showing a tubular spring member of the electrode according to the embodiment.

【図5】(A)は図4に示された円管ばね部材を示す平
面図である。(B)は図5(A)中のVB−VB線に沿
う断面図である。(C)は図5(B)中のVC−VC線
に沿う断面図である。
FIG. 5A is a plan view showing the tubular spring member shown in FIG. 4; FIG. 5B is a sectional view taken along line VB-VB in FIG. FIG. 5C is a cross-sectional view along the line VC-VC in FIG.

【図6】同実施形態の電極の温度検出部の温度センサ素
子の近傍を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing the vicinity of a temperature sensor element of a temperature detecting section of the electrode according to the same embodiment.

【図7】従来の抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図
である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an overall configuration of an electrode of a conventional resistivity meter.

【図8】図7に示された電極に用いられる温度検出部の
一例を示す側面図である。
FIG. 8 is a side view showing an example of a temperature detector used for the electrode shown in FIG.

【図9】図8に示された温度検出部の温度センサ素子の
近傍を示す断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing the vicinity of a temperature sensor element of the temperature detecting section shown in FIG.

【図10】図8に示された温度検出部のサーミスタリー
ド線とケーブルとの接続箇所を示す断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a connection point between a thermistor lead wire and a cable of the temperature detection unit shown in FIG. 8;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 抵抗率計の電極 2 内電極(電極部材) 2d 温度検出部挿入孔(孔) 2f 基端部 2g 先端部 2h 内周面 3 外電極(電極部材) 5 温度検出部 6 内電極ケーブル(第2電線) 21 温度センサ素子 22 温度センサ素子 23 リード線(電線) 24 印刷配線板 25 円管ばね部材(接続部材) 27 ケーブル(第2電線) 28 シールド線(第2電線) 35 孔内挿入部 35a 端部(印刷配線板の箇所) 36 孔外露出部 41 凹溝 47 合成樹脂 t 所定間隔 D1 温度検出部挿入孔の内径 D2 凹溝間の間隔 Da 円管ばね部材の外径 Db 円管ばね部材の内径 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electrode of resistivity meter 2 Inner electrode (electrode member) 2d Insertion hole (hole) of temperature detection part 2f Base end 2g Tip part 2h Inner peripheral surface 3 Outer electrode (electrode member) 5 Temperature detector 6 Inner electrode cable (No. 2 electric wire) 21 temperature sensor element 22 temperature sensor element 23 lead wire (electric wire) 24 printed wiring board 25 circular spring member (connection member) 27 cable (second electric wire) 28 shield wire (second electric wire) 35 insertion part in hole 35a End (location of printed wiring board) 36 Outer hole exposed portion 41 Groove 47 Synthetic resin t Predetermined interval D1 Inner diameter of temperature detecting portion insertion hole D2 Distance between concave grooves Da Outer diameter of tubular spring member Db Pipe spring Inside diameter of member

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F056 CL06 WF03 WF08 2G028 AA02 AA04 BC04 CG02 GL01 HM05 HN03 HN09 2G060 AA06 AC02 AE17 AF07 AG11 KA06  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2F056 CL06 WF03 WF08 2G028 AA02 AA04 BC04 CG02 GL01 HM05 HN03 HN09 2G060 AA06 AC02 AE17 AF07 AG11 KA06

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の電極部材が計測対象の電解質液の
流路中に所定間隔をおいて配置され、電極部材間の電気
抵抗に基いて前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計
の電極において、 前記電極部材のうち少なくとも一つの電極部材が柱状に
形成されかつ基端部から先端部に向かう孔を備え、 前記孔内に挿入されかつ前記電解質液の温度に応じた情
報を取り出す温度検出部を備えており、 前記温度検出部は、 前記電解質液の温度に応じた情報を検知する温度センサ
素子と、 前記温度センサ素子に一端が接続した電線と、 前記電線の他端が接続された硬質な印刷配線板と、 前記印刷配線板に一端が接続した第2電線と、を備え、 前記温度センサ素子と前記電線と前記印刷配線板と前記
第2電線とが前記先端部から前記基端部に向かって順に
位置した状態で、少なくとも前記温度センサ素子が前記
孔内に挿入されることを特徴とする抵抗率計の電極。
1. A resistivity meter according to claim 1, wherein a plurality of electrode members are arranged at predetermined intervals in a flow path of the electrolyte solution to be measured, and the resistivity of the electrolyte solution is measured based on electric resistance between the electrode members. In the electrode, at least one of the electrode members is formed in a columnar shape and has a hole extending from a base end to a tip end, and is inserted into the hole and takes out information corresponding to the temperature of the electrolyte solution. A temperature sensor element for detecting information corresponding to the temperature of the electrolyte solution, an electric wire having one end connected to the temperature sensor element, and the other end of the electric wire being connected to the temperature sensor. A rigid printed wiring board, and a second electric wire having one end connected to the printed wiring board. Toward the end In location state, the electrode resistivity meter, characterized in that at least the temperature sensor element is inserted into the hole.
【請求項2】 前記第2電線は前記電線より大径であ
り、 前記印刷配線板は、前記孔内に挿入される孔内挿入部
と、前記孔の外に露出する孔外露出部と、を備えてお
り、 前記孔内挿入部の幅が前記孔の内径より小さくかつ、前
記孔外露出部の幅が前記孔の内径より大きいとともに、
前記第2電線が前記孔外露出部に接続していることを特
徴とする請求項1記載の抵抗率計の電極。
2. The second electric wire has a larger diameter than the electric wire, and the printed wiring board has an insertion portion inserted into the hole, an exposed portion exposed outside the hole, The width of the insertion portion in the hole is smaller than the inner diameter of the hole, and the width of the exposed portion outside the hole is larger than the inner diameter of the hole,
The electrode of a resistivity meter according to claim 1, wherein the second electric wire is connected to the exposed portion outside the hole.
【請求項3】 前記温度センサ素子と、前記電線と、前
記印刷配線板の前記電線が接続した箇所と、が合成樹脂
によって覆われていることを特徴とする請求項1または
請求項2記載の抵抗率計の電極。
3. The printed circuit board according to claim 1, wherein the temperature sensor element, the electric wire, and a portion of the printed wiring board to which the electric wire is connected are covered with a synthetic resin. Electrode of resistivity meter.
【請求項4】 前記温度検出部は、円管状で、かつ前記
印刷配線板を内側に挿入可能であるとともに、前記孔内
に挿入されると前記孔の内周面と接して前記一つの電極
部材と電気的に接続する接続部材を備えたことを特徴と
する請求項2または請求項3に記載の抵抗率計の電極。
4. The temperature detecting section is formed in a tubular shape, is capable of inserting the printed wiring board inside, and when inserted into the hole, contacts the inner peripheral surface of the hole to form the one electrode. The electrode of the resistivity meter according to claim 2, further comprising a connection member electrically connected to the member.
【請求項5】 前記印刷配線板は、内側に孔内挿入部を
挿入した接続部材の縁部が嵌合可能な凹溝を前記孔外露
出部に設け、かつ該凹溝の縁に配線パターンを設けてい
るとともに、 前記接続部材は、前記縁部が前記凹溝に嵌合すると、前
記印刷配線板の配線パターンと電気的に接続することを
特徴とする請求項4記載の抵抗率計の電極。
5. The printed wiring board is provided with a concave groove on the outside of the hole, into which the edge of the connecting member having the hole insertion part inserted is fitted, and a wiring pattern is formed on an edge of the concave groove. 5. The resistivity meter according to claim 4, wherein, when the edge is fitted into the concave groove, the connection member is electrically connected to a wiring pattern of the printed wiring board. electrode.
【請求項6】 前記凹溝は、前記印刷配線板の幅方向に
沿って、互いに間隔を存して一対設けられており、 前記接続部材は、外径が伸縮可能に弾性変形自在となっ
ているとともに、初期状態での外径が前記孔の内径より
大きくかつ内径が前記一対の凹溝間の間隔より大きいこ
とを特徴とする請求項5記載の抵抗率計の電極。
6. A pair of said recessed grooves are provided at a distance from each other along a width direction of said printed wiring board, and said connecting member is elastically deformable so that an outer diameter can be expanded and contracted. The electrode of a resistivity meter according to claim 5, wherein an outer diameter in an initial state is larger than an inner diameter of the hole, and an inner diameter is larger than an interval between the pair of concave grooves.
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