JP2002181772A - Method of adjusting characteristic of oxygen sensor - Google Patents

Method of adjusting characteristic of oxygen sensor

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JP2002181772A
JP2002181772A JP2000385377A JP2000385377A JP2002181772A JP 2002181772 A JP2002181772 A JP 2002181772A JP 2000385377 A JP2000385377 A JP 2000385377A JP 2000385377 A JP2000385377 A JP 2000385377A JP 2002181772 A JP2002181772 A JP 2002181772A
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voltage
oxygen
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oxygen sensor
impedance
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JP2000385377A
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Rentaro Mori
連太郎 森
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Toyota Motor Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of adjusting the characteristics of an oxygen sensor by which the characteristic variation of the sensor resulting from the use of the sensor can be suppressed. SOLUTION: The element 11 of the oxygen sensor is provided with a detecting plate 15 composed of a solid electrolyte and an exhaust chamber 26 formed in the element 11. The detecting plate 15 is provided with an outer electrode 20 which comes into contact with an exhaust gas and in inner electrode 21 positioned in the chamber 26. The inner electrode 21 is reduced by applying a first DC voltage across the outer and inner electrodes 20 and 21 by respectively using the electrodes 20 and 21 as an anode and a cathode. Thereafter, the impedance of the element 11 (detecting plate 15) is increased by applying a second DC voltage which is opposite in direction to the first DC voltage and is lower than the first voltage across the electrodes 20 and 21. The second DC voltage is set to such a value that does not cause any oxygen defect in the vicinity of the outer electrode 20 of the detecting plate 15.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、内燃機関の空燃比
フィードバック制御等に用いられる酸素センサの特性調
整方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for adjusting the characteristics of an oxygen sensor used for air-fuel ratio feedback control of an internal combustion engine.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種の酸素センサとしては、いわゆる
濃淡電池型や、限界電流型、あるいは酸化物半導体型の
ものなどが知られている。
2. Description of the Related Art As this type of oxygen sensor, there are known a so-called concentration cell type, a limiting current type, and an oxide semiconductor type.

【0003】図5はこれら酸素センサのうち限界電流型
のものについてその構成を概略的に示している。同図5
に示されるように、酸素センサは、ジルコニア等の固体
電解質からなる素子101を備えており、この素子10
1の内部には空間102が形成されている。素子101
には、排気に接触する外側電極104と、上記内部空間
102内に位置する内側電極103とが同素子101の
一部を挟むようにして設けられている。また、素子10
1の内部には、同素子101を加熱してこれを活性化さ
せるためのヒータ105が埋設されている。
FIG. 5 schematically shows the structure of a limiting current type oxygen sensor. FIG. 5
As shown in FIG. 1, the oxygen sensor includes an element 101 made of a solid electrolyte such as zirconia.
A space 102 is formed inside 1. Element 101
Is provided with an outer electrode 104 in contact with the exhaust and an inner electrode 103 located in the inner space 102 so as to sandwich a part of the same element 101. The element 10
A heater 105 for heating the element 101 and activating the element 101 is embedded in the inside of the element 1.

【0004】こうした酸素センサでは、ヒータ105に
より素子101がその活性化温度にまで加熱された後、
各電極103,104間に所定の電圧が印加される。そ
して、その際に各電極103,104間に流れる電流値
(限界電流値)の大きさに基づいて排気の酸素濃度が検
出される。
In such an oxygen sensor, after the element 101 is heated to its activation temperature by the heater 105,
A predetermined voltage is applied between the electrodes 103 and 104. Then, the oxygen concentration of the exhaust gas is detected based on the magnitude of the current value (limit current value) flowing between the electrodes 103 and 104 at that time.

【0005】ところで、こうした酸素センサは、素子1
01となるグリーンシート上に上記電極103,104
となる白金ペースト等を塗布し、その後このグリーンシ
ートを焼成して形成されるが、この焼成の際に各電極1
03,104が酸化してその触媒電極としての機能が低
下する。このため、従来にあっては、酸素センサを水素
ガスやプロパンガス等、還元ガス雰囲気下におき、所定
の温度にまで再度加熱することにより、酸化した各電極
103,104を還元する処理を行うようにしている。
[0005] By the way, such an oxygen sensor is an element 1
01 on the green sheet which is to
Is formed by applying a platinum paste or the like, and then firing the green sheet.
03, 104 is oxidized and its function as a catalyst electrode is reduced. Therefore, conventionally, the oxygen sensor is placed in a reducing gas atmosphere such as hydrogen gas or propane gas, and is heated again to a predetermined temperature to reduce the oxidized electrodes 103 and 104. Like that.

【0006】しかしながら、こうした還元処理を行うよ
うにしても、内部空間102内に位置している内側電極
103については還元ガスと接触し難いため、その活性
化が十分に行われないことがある。このため、以下のよ
うな内側電極103を更に活性化させるための処理が行
われる。すなわち、この処理では、内側電極103を陰
極に、外側電極104を陽極に設定してこれら各電極1
03,104間に直流電圧が印加される。その結果、内
側電極103から酸素イオンが分離され、同酸素イオン
が外側電極104に流れることにより、内側電極103
が電気的に還元されるようになる。そして、こうした各
処理を通じて内側電極103及び外側電極104の双方
の活性化が図られるようになる。
However, even if such a reduction treatment is performed, the inner electrode 103 located in the internal space 102 is hardly brought into contact with the reducing gas, so that the activation may not be sufficiently performed. Therefore, the following process for further activating the inner electrode 103 is performed. That is, in this process, the inner electrode 103 is set as a cathode, the outer electrode 104 is set as an anode, and
DC voltage is applied between 03 and 104. As a result, oxygen ions are separated from the inner electrode 103, and the oxygen ions flow to the outer electrode 104, so that the inner electrode 103
Is reduced electrically. Then, both of the inner electrode 103 and the outer electrode 104 are activated through these processes.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記限界電
流値は、排気の酸素濃度の他、素子101の温度によっ
ても変化する傾向があるため、同酸素濃度を正確に検出
するためにはヒータ105の加熱によって素子101の
温度を所定の活性化温度に維持する必要がある。このた
め、こうした酸素センサにあっては素子101のインピ
ーダンスに温度依存性があることを利用し、このインピ
ーダンスに基づいてヒータ電流を制御することで、素子
101の温度を所定の活性化温度に維持するようにして
いる。すなわち、上記活性化温度下に置かれたときの素
子101のインピーダンス(目標インピーダンス)を予
め実験等により求める。そして、前記各電極103,1
04間に印加する電圧とこれら各電極103,104間
に流れる電流値との関係に基づいて素子101のインピ
ーダンス(実インピーダンス)を検出するとともに、こ
の実インピーダンスが目標インピーダンスと一致するよ
うにヒータ電流を制御するようにしている。
Since the limit current value tends to change not only with the oxygen concentration of the exhaust gas but also with the temperature of the element 101, the heater 105 is required to accurately detect the oxygen concentration. , It is necessary to maintain the temperature of the element 101 at a predetermined activation temperature. For this reason, in such an oxygen sensor, the fact that the impedance of the element 101 has temperature dependency is used, and the heater current is controlled based on this impedance to maintain the temperature of the element 101 at a predetermined activation temperature. I am trying to do it. That is, the impedance (target impedance) of the element 101 when the element 101 is placed under the activation temperature is obtained in advance by an experiment or the like. Then, each of the electrodes 103, 1
The impedance (actual impedance) of the element 101 is detected based on the relationship between the voltage applied between the electrodes 04 and the current flowing between the electrodes 103 and 104, and the heater current is adjusted so that the actual impedance matches the target impedance. To control.

【0008】こうしたヒータ電流の制御は、所定の温度
下における素子101のインピーダンスが一定であるこ
とを前提に行われている。しかしながら、上述したよう
に内側電極103の活性化を図るべく両電極103,1
04間に直流電圧を印加すると、素子101内の酸素イ
オンが内側電極103側から外側電極104側へと移動
して内側電極103近傍における素子101の酸素欠陥
が増大することにより、素子101の所定の温度に対す
るインピーダンスが低下するようになる。そして、この
状態で酸素センサが使用されると、その使用に伴って徐
々に上記酸素欠陥が酸素イオンによって埋められ、これ
に伴って所定温度下における素子101のインピーダン
スも徐々に増大するようになる。
[0008] Such control of the heater current is performed on the premise that the impedance of the element 101 at a predetermined temperature is constant. However, as described above, in order to activate the inner electrode 103, both electrodes 103, 1
When a DC voltage is applied between the electrodes 104, oxygen ions in the element 101 move from the inner electrode 103 side to the outer electrode 104 side, and oxygen vacancies of the element 101 near the inner electrode 103 increase. , The impedance with respect to the temperature decreases. When the oxygen sensor is used in this state, the oxygen vacancies are gradually filled with oxygen ions as the oxygen sensor is used, and accordingly, the impedance of the element 101 at a predetermined temperature also gradually increases. .

【0009】その結果、このインピーダンスに基づいて
ヒータ電流を制御しても、素子101の温度を活性化温
度に維持することができず、同温度の不必要な上昇を招
くようになる。このため、排気の酸素濃度と限界電流値
との関係を一定に保つことができず、同酸素センサにて
検出される酸素濃度の信頼性が低下し、また素子温度の
過度の上昇により同素子の損傷を招くこととなる。
As a result, even if the heater current is controlled on the basis of the impedance, the temperature of the element 101 cannot be maintained at the activation temperature, causing an unnecessary rise in the temperature. For this reason, the relationship between the oxygen concentration of the exhaust gas and the limit current value cannot be kept constant, the reliability of the oxygen concentration detected by the oxygen sensor decreases, and the element temperature increases due to an excessive rise in the element temperature. Damages.

【0010】なお、こうした酸素センサの特性調整方法
として、例えば、特開平6−265522号公報にみら
れるように、両電極間に交番電圧を印加することでこれ
ら電極の活性化を図るようにしたものもあるが、上述し
たような、素子インピーダンスの経時的変化については
考慮されておらず、この点でなお改良の余地を残すもの
となっている。
As a method for adjusting the characteristics of such an oxygen sensor, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-265522, an alternating voltage is applied between both electrodes to activate these electrodes. Although there are some, there is no consideration of the change over time of the element impedance as described above, and there is still room for improvement in this respect.

【0011】また、こうした素子インピーダンスの経時
的変化によって生じる問題は、例示した限界電流型の酸
素センサに限らず、濃淡電池型、若しくは酸化物半導体
型の酸素センサにあっても、概ね共通したものとなって
いる。
The problem caused by such a change over time in the element impedance is not limited to the limiting current type oxygen sensor exemplified above, but is also common to a concentration cell type or an oxide semiconductor type oxygen sensor. It has become.

【0012】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、使用に伴う素子インピーダンス
の経時的変化を抑制することのできる酸素センサの特性
調整方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method for adjusting the characteristics of an oxygen sensor that can suppress a change over time in element impedance due to use. .

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】以下、上記目的を達成す
るための手段及びその作用効果について記載する。先
ず、請求項1に記載の発明は、少なくとも一部が固体電
解質からなりその内部に空間が形成される酸素濃度検出
用の素子と、該素子の前記固体電解質部において前記内
部空間側に位置する面に配設される内側電極と、前記固
体電解質部において同固体電解質部を挟んで前記内側電
極と反対側に位置する面に配設される外側電極とを備え
る酸素センサの特性調整方法であって、前記両電極間に
第1の直流電圧を印加する第1の工程と、前記第1の直
流電圧を印加した後に前記固体電解質部のインピーダン
スを増大させる第2の工程とを少なくとも含むことをそ
の要旨とする。
The means for achieving the above object and the effects thereof will be described below. First, according to the first aspect of the present invention, an element for detecting oxygen concentration in which at least a part is made of a solid electrolyte and a space is formed therein, and the element is located on the side of the internal space in the solid electrolyte portion of the element. A method for adjusting characteristics of an oxygen sensor, comprising: an inner electrode provided on a surface; and an outer electrode provided on a surface of the solid electrolyte portion opposite to the inner electrode with the solid electrolyte portion interposed therebetween. A first step of applying a first DC voltage between the two electrodes, and a second step of increasing the impedance of the solid electrolyte portion after applying the first DC voltage. This is the gist.

【0014】第1の工程において、両電極間に第1の直
流電圧を印加すると、陰極側の電極が還元される反面、
固体電解質部の陰極近傍における酸素欠陥が増大して同
固体電解質部のインピーダンスが低下するようになる。
しかしながら、次の第2の工程においてこのように低下
した固体電解質部のインピーダンスを予め増大させる処
理が行われる。従って、その後、酸素センサがその使用
に供されても、その使用に伴う素子インピーダンスの経
時的変化を抑制することができるようになる。
In the first step, when a first DC voltage is applied between both electrodes, the electrode on the cathode side is reduced, while
Oxygen vacancies near the cathode of the solid electrolyte portion increase, and the impedance of the solid electrolyte portion decreases.
However, in the next second step, a process of previously increasing the impedance of the solid electrolyte portion which has been reduced as described above is performed. Therefore, even if the oxygen sensor is subsequently used, it is possible to suppress a temporal change in element impedance due to the use.

【0015】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の酸素センサの特性調整方法において、前記第1の工
程での前記第1の直流電圧は、前記内側電極を陰極、前
記外側電極を陽極として両電極間に印加されることをそ
の要旨とする。
According to a second aspect of the present invention, in the method of adjusting a characteristic of the oxygen sensor according to the first aspect, the first DC voltage in the first step is such that the inner electrode is a cathode, and the outer electrode is a cathode. Is applied between the two electrodes as an anode.

【0016】上記特性調整方法によれば、両電極のうち
少なくとも内側電極についてその活性化を図ることがで
きるようになる。また、請求項3記載の発明は、請求項
1又は2記載の酸素センサの特性調整方法において、前
記第1の直流電圧と逆向きでその大きさが同第1の直流
電圧よりも小さい第2の直流電圧が、前記第2の工程に
おいて前記両電極間に印加されることをその要旨とす
る。
According to the characteristic adjusting method, at least the inner electrode of the two electrodes can be activated. According to a third aspect of the present invention, there is provided the oxygen sensor characteristic adjusting method according to the first or second aspect, wherein the second DC voltage has a magnitude opposite to the first DC voltage and smaller than the first DC voltage. The gist is that the DC voltage is applied between the two electrodes in the second step.

【0017】上記特性調整方法によれば、両電極間に、
第1の直流電圧とは逆向きの第2の直流電圧が印加され
る。このように第1の直流電圧と逆向きの直流電圧を印
加することにより、上記第1の直流電圧を印加する際に
増大した電極近傍の固体電解質部の酸素欠陥に酸素イオ
ンを供給して、同酸素欠陥を減少させることができるよ
うになる。加えて、こうした第2の直流電圧の大きさを
上記第1の直流電圧よりも小さく設定するようにしたた
めに、第2の直流電圧を印加する際に陰極に設定される
電極の近傍における固定電解質部の酸素欠陥の増大を極
力抑制することができる。従って、固体電解質部のイン
ピーダンスを好適に増大させることができるようにな
る。
According to the above-described characteristic adjusting method, between the two electrodes,
A second DC voltage opposite to the first DC voltage is applied. By applying a DC voltage in the opposite direction to the first DC voltage in this manner, oxygen ions are supplied to oxygen vacancies in the solid electrolyte portion near the electrodes that have increased when the first DC voltage is applied, The oxygen vacancies can be reduced. In addition, since the magnitude of the second DC voltage is set smaller than the first DC voltage, the fixed electrolyte in the vicinity of the electrode set as the cathode when the second DC voltage is applied is set. An increase in oxygen vacancies in the portion can be suppressed as much as possible. Therefore, the impedance of the solid electrolyte part can be suitably increased.

【0018】また、請求項4記載の発明は、請求項3記
載の酸素センサの特性調整方法において、前記第2の工
程での前記第2の直流電圧は前記両電極のうち陰極側に
設定される電極の近傍に位置する前記固体電解質部に酸
素欠陥を生じさせない大きさに設定されることをその要
旨とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the method for adjusting characteristics of an oxygen sensor according to the third aspect, the second DC voltage in the second step is set to a cathode side of the two electrodes. The gist is that the size is set so as not to cause oxygen deficiency in the solid electrolyte portion located near the electrode.

【0019】上記特性調整方法によれば、両電極間に第
2の直流電圧が印加される際に、陰極近傍の固定電解質
部に酸素欠陥を生じさせることなく、同固体電解質部の
インピーダンスを増大させることができるようになる。
従って、固体電解質部のインピーダンスをより好適に増
大させることができるようになる。
According to the characteristic adjusting method, when the second DC voltage is applied between the two electrodes, the impedance of the solid electrolyte portion is increased without causing oxygen defects in the fixed electrolyte portion near the cathode. Will be able to do that.
Therefore, the impedance of the solid electrolyte part can be more suitably increased.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる酸素センサ
の特性調整方法の一実施の形態について説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the method for adjusting the characteristics of an oxygen sensor according to the present invention will be described below.

【0021】はじめに、本実施の形態にかかる特性調整
方法が適用される酸素センサの構成について説明する。
この酸素センサは、その素子が内燃機関の排気管(何れ
も図示略)内部に位置するようにして同排気管に取り付
けられている。
First, the configuration of an oxygen sensor to which the characteristic adjusting method according to the present embodiment is applied will be described.
The oxygen sensor is mounted on the exhaust pipe such that its elements are located inside the exhaust pipe (both not shown) of the internal combustion engine.

【0022】図1に示すように、この素子11は、板状
をなす検出部12と、同じく板状のヒータ13とを備
え、これらが積層された構造を有している。検出部12
は、ヒータ13上に積層される介装板14と、同介装板
14に積層された検出板15とを備えている。この検出
板15上には、拡散律速層16、及び同拡散律速層16
の上面を覆う緻密層18が順に積層されている。更に、
これら検出部12、ヒータ13、拡散律速層16、及び
緻密層18の外周面全体を覆うようにトラップ層19が
形成されている。検出板15は、固体電解質材料、例え
ば酸素イオン導電性のジルコニアによって形成されてい
る。また、介装板14は例えばアルミナ(Al2O3)に
より形成されている。
As shown in FIG. 1, the element 11 includes a plate-shaped detection unit 12 and a plate-shaped heater 13 and has a structure in which these are stacked. Detector 12
Has an interposed plate 14 stacked on the heater 13 and a detection plate 15 stacked on the interposed plate 14. On the detection plate 15, a diffusion-controlling layer 16 and the diffusion-controlling layer 16
Dense layers 18 covering the upper surfaces of the layers are sequentially laminated. Furthermore,
A trap layer 19 is formed so as to cover the entire outer peripheral surfaces of the detection unit 12, the heater 13, the diffusion-controlling layer 16, and the dense layer 18. The detection plate 15 is formed of a solid electrolyte material, for example, oxygen ion conductive zirconia. The interposition plate 14 is formed of, for example, alumina (Al2O3).

【0023】一方、拡散律速層16は、排気に対する耐
腐食性及び耐目詰まり性に優れた多孔質金属酸化物(例
えば、アルミナ(Al2O3))により形成されており、
複数の気孔(図示略)を有している。拡散律速層16に
接触した排気は、この気孔を通じて同拡散律速層16の
内部をその幅方向(図1の左右方向)に通過することが
できる。
On the other hand, the diffusion-controlling layer 16 is formed of a porous metal oxide (for example, alumina (Al 2 O 3)) having excellent corrosion resistance and clogging resistance to exhaust gas.
It has a plurality of pores (not shown). The exhaust gas in contact with the diffusion-controlling layer 16 can pass through the pores inside the diffusion-controlling layer 16 in the width direction (the left-right direction in FIG. 1).

【0024】また、上記トラップ層19は、排気に含ま
れる煤等を捕捉することで同煤等が電極や検出板15等
に付着することを抑制する機能を有するものであり、多
孔質材料(例えば、アルミナ(Al2O3))によって形
成されている。
The trap layer 19 has a function of trapping soot and the like contained in the exhaust gas and thereby preventing the soot and the like from adhering to the electrodes, the detection plate 15 and the like. For example, it is formed of alumina (Al2O3).

【0025】介装板14には、その長手方向において一
方面から他方面近くにまで延びる凹部24が形成されて
おり、この凹部24の内周面と検出板15の下面とによ
って囲まれた内部空間により排出室26が区画形成され
ている。この排出室26と外部とは連通されている。
The interposition plate 14 is formed with a concave portion 24 extending from one surface to near the other surface in the longitudinal direction, and an inner portion surrounded by an inner peripheral surface of the concave portion 24 and a lower surface of the detection plate 15. The discharge chamber 26 is defined by the space. The discharge chamber 26 is communicated with the outside.

【0026】図2に示すように、検出板15の下面に
は、排出室26内に位置するようにして内側電極21が
設けられ、また、検出板15の上面には、内側電極21
との間に同検出板15を挟むようにして外側電極20が
設けられている。これら各電極20,21は何れも白金
(Pt)によって形成され、同じく白金からなるリード
部を介して出力端子(図示略)にそれぞれ電気的に接続
されている。これら出力端子、リード部等を介して両電
極20,21間には所定の電圧(例えば、0.5V)が
印加されるようになっている。
As shown in FIG. 2, an inner electrode 21 is provided on the lower surface of the detection plate 15 so as to be located in the discharge chamber 26, and an inner electrode 21 is provided on the upper surface of the detection plate 15.
The outer electrode 20 is provided so as to sandwich the same detection plate 15 between them. Each of these electrodes 20, 21 is formed of platinum (Pt), and is electrically connected to an output terminal (not shown) via a lead portion also made of platinum. A predetermined voltage (for example, 0.5 V) is applied between the electrodes 20 and 21 via these output terminals, leads and the like.

【0027】ヒータ13は、絶縁体(例えば、アルミナ
(Al2O3))によって形成されており、同ヒータ13
の上面には白金製の発熱部30が形成されている。次
に、この酸素センサの動作について説明する。
The heater 13 is formed of an insulator (for example, alumina (Al 2 O 3)).
A heating section 30 made of platinum is formed on the upper surface of the. Next, the operation of the oxygen sensor will be described.

【0028】本実施の形態にかかる酸素センサにあって
も、前述のように、実インピーダンスと予め求めた目標
インピーダンスとが一致するようにヒータ電流を制御し
て素子11を活性化温度(例えば750℃)に維持し、
排気の酸素濃度を検出するようにしている。なお、この
実インピーダンスは、次のように検出される。すなわち
先ず、上記両電極20,21間に印加されている所定電
圧がごく短時間(例えば、100ms)電圧ΔV(例え
ば、0.1V)だけ昇圧されるとともに同昇圧に伴う検
出電流の変化量ΔIが検出される。そして、これら昇圧
電圧ΔVと検出電流の変化量ΔIとの関係に基づいて上
記実インピーダンスが算出される。
In the oxygen sensor according to the present embodiment, as described above, the heater current is controlled such that the actual impedance matches the previously determined target impedance, and the element 11 is activated at an activation temperature (for example, 750). ℃)
The oxygen concentration of the exhaust is detected. This actual impedance is detected as follows. That is, first, the predetermined voltage applied between the electrodes 20 and 21 is boosted for a very short time (for example, 100 ms) by the voltage ΔV (for example, 0.1 V), and the change amount ΔI of the detection current accompanying the boosting is raised. Is detected. Then, the actual impedance is calculated based on the relationship between the boosted voltage ΔV and the amount of change ΔI of the detected current.

【0029】こうしたヒータ電流の制御を通じて活性化
された酸素センサにより、以下のようにして排気の酸素
濃度が検出される。トラップ層19を通過した排気は、
更に拡散律速層16の気孔を通過し、拡散律速された状
態で外側電極20にまで達する。そして、排気に含まれ
る酸素が白金の触媒能によりイオン化されるとともに、
この酸素イオンが外側電極20から検出板15の内部を
通過して内側電極21へと移動することで、各電極2
0,21間に電流(限界電流)が流れる。この限界電流
の大きさ(単位時間当たりにおける酸素イオンの移動
量)は、各電極20,21間の印加電圧が上記所定電圧
一定であることから、排気の酸素濃度に応じて変化す
る。従って、この限界電流値の大きさに基づいて排気の
酸素濃度を検出することができる。また、検出板15の
内部を通過した酸素イオンは排出室26内に導入され、
同室26から外部に排出される。
The oxygen concentration of the exhaust gas is detected by the oxygen sensor activated through the control of the heater current as described below. The exhaust gas that has passed through the trap layer 19 is
Further, it passes through the pores of the diffusion-controlling layer 16 and reaches the outer electrode 20 in a diffusion-controlled state. And oxygen contained in the exhaust is ionized by the catalytic ability of platinum,
The oxygen ions move from the outer electrode 20 through the inside of the detection plate 15 to the inner electrode 21 so that each electrode 2
A current (limit current) flows between 0 and 21. The magnitude of this limit current (the amount of movement of oxygen ions per unit time) changes according to the oxygen concentration of the exhaust gas, since the applied voltage between the electrodes 20 and 21 is constant at the predetermined voltage. Therefore, the oxygen concentration of the exhaust gas can be detected based on the magnitude of the limit current value. The oxygen ions that have passed through the inside of the detection plate 15 are introduced into the discharge chamber 26,
It is discharged from the same room 26 to the outside.

【0030】次に、上記素子11の製造手順について説
明する。先ず、検出板15となる板状素材(グリーンシ
ート)の両面に白金ペーストをそれぞれ塗布して、各電
極20,21となるパターンを形成する。その後、検出
板15、介装板14、及びヒータ13を構成する複数の
板状素材を順に積層して圧着し、これら各素材を焼成す
ることにより、一体に形成する。その後、検出板15の
上面に拡散律速層16及び緻密層18を順に形成する。
更にその後、これら各素材の外周面全体を覆うようにト
ラップ層19を形成する。
Next, the procedure for manufacturing the element 11 will be described. First, a platinum paste is applied to both surfaces of a plate-like material (green sheet) serving as the detection plate 15 to form a pattern serving as each of the electrodes 20 and 21. Thereafter, a plurality of plate-like materials constituting the detection plate 15, the interposition plate 14, and the heater 13 are sequentially laminated and pressed, and these materials are fired to be integrally formed. Thereafter, a diffusion-controlling layer 16 and a dense layer 18 are sequentially formed on the upper surface of the detection plate 15.
Thereafter, a trap layer 19 is formed so as to cover the entire outer peripheral surface of each of these materials.

【0031】こうして製造された素子11はその後、以
下に説明する工程[1]〜[3]を通じてその特性が調
整される(図3参照)。 [1]先ず、素子11を、水素ガスやプロパンガス等、
還元ガス雰囲気下におき、ごく高温になるまで加熱す
る。この工程では、還元ガスと両電極20,21中の酸
素とが結合して燃焼することで、酸化している両電極2
0,21が還元されるようになる。
The characteristics of the element 11 thus manufactured are then adjusted through the following steps [1] to [3] (see FIG. 3). [1] First, the element 11 is replaced with hydrogen gas, propane gas, or the like.
Place in a reducing gas atmosphere and heat to very high temperatures. In this step, the reducing gas and the oxygen in both electrodes 20 and 21 are combined and burned, so that the oxidizing two electrodes 2
0, 21 will be reduced.

【0032】[2]次に、高温(例えば、750℃)下
において、外側電極20を陽極、内側電極21を陰極と
して、両電極20,21間に第1の直流電圧(例えば、
1.8V)を印加する。その結果、内側電極21に結合
していた酸素がイオン化し、この酸素イオンが内側電極
21から移動するようになり、内側電極21が電気的に
還元されるようになる。なおこの際、検出板15におい
て内側電極21近傍の酸素も酸素イオンとなり外側電極
22に向けて移動するため、検出板15の内側電極21
近傍には酸素欠陥が生じるようになる。そして、このよ
うに酸素欠陥が生じることにより、素子11(検出板1
5)のインピーダンスは一時的に低下するようになる。
[2] Next, at a high temperature (for example, 750 ° C.), a first DC voltage (for example,
1.8V). As a result, the oxygen bonded to the inner electrode 21 is ionized, and the oxygen ions move from the inner electrode 21 so that the inner electrode 21 is electrically reduced. At this time, oxygen in the vicinity of the inner electrode 21 on the detection plate 15 also becomes oxygen ions and moves toward the outer electrode 22.
Oxygen vacancies are generated in the vicinity. The generation of oxygen vacancies in this manner causes the element 11 (detection plate 1
The impedance of 5) temporarily decreases.

【0033】[3]次に、高温(例えば、750℃)下
において、両電極20,21間に、上記工程[2]にお
ける第1の直流電圧と逆向きでその大きさが第1の直流
電圧よりも小さい第2の直流電圧を印加する。なお、こ
の第2の直流電圧の大きさは、陰極側の電極(外側電極
20)近傍に酸素欠陥を生じさせない大きさ(例えば、
0.5V)に設定される。この工程では、外気中の酸素
が外側電極20の触媒能によりイオン化され、この酸素
イオンが内側電極21に向けて移動するようになる。こ
のため、素子11において増大した内側電極21近傍の
酸素欠陥には酸素イオンが供給され、同酸素欠陥は減少
するようになる。その結果、こうした酸素欠陥の減少に
伴って素子11のインピーダンスが増大するようにな
る。
[3] Next, at a high temperature (for example, 750 ° C.), the magnitude of the first DC voltage is opposite to that of the first DC voltage in the above step [2] between both electrodes 20 and 21. A second DC voltage smaller than the voltage is applied. Note that the magnitude of the second DC voltage is a magnitude that does not cause oxygen defects near the cathode side electrode (outer electrode 20) (for example,
0.5V). In this step, oxygen in the outside air is ionized by the catalytic ability of the outer electrode 20, and the oxygen ions move toward the inner electrode 21. Therefore, oxygen ions are supplied to the increased oxygen vacancies near the inner electrode 21 in the element 11, and the oxygen vacancies are reduced. As a result, the impedance of the element 11 increases as the oxygen vacancy decreases.

【0034】図4の実線は、上記特性調整処理がなされ
た酸素センサについてその使用に伴う素子インピーダン
スの変化を示している。また、同図4の一点鎖線は、上
記特性調整処理のうち工程[3]が省略された場合の酸
素センサの素子インピーダンス変化を比較例として示し
ている。
The solid line in FIG. 4 shows the change in the element impedance of the oxygen sensor subjected to the above-described characteristic adjustment processing due to its use. The dashed line in FIG. 4 shows, as a comparative example, a change in the element impedance of the oxygen sensor when step [3] in the characteristic adjustment processing is omitted.

【0035】同図4に示されるように、上記特性調整処
理がなされた酸素センサでは、その使用に先立ち、素子
インピーダンスが上記工程[3]を通じて予め増大させ
られているため、使用に伴う素子インピーダンスの変化
量(Rt−R1)が比較例の変化量(Rt−R2)と比
較して小さく抑えられるようになる。そして、このよう
に素子インピーダンスの経時的変化が抑えられることに
より、ヒータ電流制御に際しての素子温度の不必要な上
昇が抑制され、ひいてはこうした素子温度の過度の上昇
に起因する検出精度の低下や、素子11の損傷の発生が
抑制されるようになる。
As shown in FIG. 4, in the oxygen sensor which has been subjected to the characteristic adjustment processing, the element impedance is increased in advance through the step [3] prior to its use. (Rt-R1) can be suppressed to be smaller than the variation (Rt-R2) of the comparative example. And, by suppressing the temporal change of the element impedance in this way, unnecessary rise of the element temperature during the heater current control is suppressed, and the detection accuracy is lowered due to the excessive rise of the element temperature, and The occurrence of damage to the element 11 is suppressed.

【0036】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、以下に記載する効果が得られるようになる。 (1)酸素センサの使用に伴う素子インピーダンスの経
時的変化を抑制することができ、それに伴う検出精度の
低下や素子11の損傷の発生を抑制することができるよ
うになる。
As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained. (1) The temporal change of the element impedance due to the use of the oxygen sensor can be suppressed, and the accompanying reduction in detection accuracy and the occurrence of damage to the element 11 can be suppressed.

【0037】(2)第2の直流電圧の大きさを第1の直
流電圧の大きさよりも小さく設定したために、第2の直
流電圧を印加した際に陰極に設定される外側電極20近
傍における素子11の酸素欠陥の増大を極力抑制するこ
とができるようになる。従って、素子11のインピーダ
ンスを好適に増大させることができる。
(2) Since the magnitude of the second DC voltage is set smaller than the magnitude of the first DC voltage, the element near the outer electrode 20 which is set to the cathode when the second DC voltage is applied 11 can be suppressed as much as possible. Therefore, the impedance of the element 11 can be suitably increased.

【0038】(3)第2の直流電圧の大きさを、陰極側
に設定される外側電極20近傍における素子板15に酸
素欠陥を生じさせない大きさに設定するようにしたため
に、検出板15に酸素欠陥を生じさせることなく、素子
11のインピーダンスを増大させることができる。
(3) The magnitude of the second DC voltage is set so as not to cause oxygen deficiency in the element plate 15 near the outer electrode 20 set on the cathode side. The impedance of the element 11 can be increased without causing oxygen vacancies.

【0039】なお、上記実施の形態は、以下のように変
更して実施してもよい。 ・上記実施の形態では、上記工程[2],[3]を通じ
て内側電極21の還元処理を行うとともに、それにより
低下した素子インピーダンスを増大させるようにした
が、外側電極20についても同様にその還元処理を行う
ことができる。この場合には、工程[2]において内側
電極21を陽極、外側電極20を陰極にそれぞれ設定す
るとともに、工程[3]においては、これとは逆に、外
側電極20を陽極、内側電極21を陰極にそれぞれ設定
するようにする。
The above embodiment may be modified and implemented as follows. In the above embodiment, the reduction process of the inner electrode 21 is performed through the above steps [2] and [3], and the reduced device impedance is increased. However, the reduction of the outer electrode 20 is similarly performed. Processing can be performed. In this case, in step [2], the inner electrode 21 is set as an anode and the outer electrode 20 is set as a cathode. In step [3], conversely, the outer electrode 20 is set as an anode and the inner electrode 21 is set as a cathode. Make settings for each cathode.

【0040】・上記実施の形態では、電極を還元すべく
印加する第1の直流電圧の大きさを1.8Vに設定した
が、これに限られない。ただし、印加電圧が1.5Vよ
りも小さい場合には、電極の還元が不十分になる傾向が
あり、また2.0Vよりも大きい場合には、検出板15
の固体電解質としての特性が変化するおそれがある。従
って、第1の直流電圧の大きさは、1.5V〜2.0V
の範囲に設定するのが望ましい。
In the above embodiment, the magnitude of the first DC voltage applied to reduce the electrodes is set to 1.8 V, but the invention is not limited to this. However, when the applied voltage is lower than 1.5 V, the reduction of the electrode tends to be insufficient, and when the applied voltage is higher than 2.0 V, the detection plate 15
May change its characteristics as a solid electrolyte. Therefore, the magnitude of the first DC voltage is 1.5 V to 2.0 V
It is desirable to set in the range.

【0041】・上記実施の形態では、検出板15のイン
ピーダンスを増大させるべく印加する第2の直流電圧の
大きさを0.5Vに設定したが、これに限られない。第
2の直流電圧を第1の直流電圧よりも小さい電圧に設定
することで、少なくとも検出板15の陰極近傍における
酸素欠陥の増大を抑制することはできる。しかしなが
ら、この第2の直流電圧の大きさを0.1Vより小さく
設定すると、検出板15における酸素イオンの流れが殆
どなくなる。従って、第2の直流電圧の大きさは0.1
V〜0.5Vの範囲に設定するのが望ましい。
In the above embodiment, the magnitude of the second DC voltage applied to increase the impedance of the detection plate 15 is set to 0.5 V. However, the present invention is not limited to this. By setting the second DC voltage to a voltage lower than the first DC voltage, it is possible to suppress an increase in oxygen defects at least in the vicinity of the cathode of the detection plate 15. However, when the magnitude of the second DC voltage is set to be smaller than 0.1 V, the flow of oxygen ions in the detection plate 15 hardly occurs. Therefore, the magnitude of the second DC voltage is 0.1
It is desirable to set in the range of V to 0.5V.

【0042】・上記実施の形態では、焼成する処理を経
て製造された素子11の特性を調整するために、同素子
11を還元ガスの雰囲気下にて加熱したり(工程
[1])、両電極20,21間に直流電圧を印加したり
するようにした(工程[2],[3])。これら工程に
加えて、素子11の焼成に際し、両電極20,21の表
面に不活性ガスを供給するようにしてもよい。こうした
特性調整方法によれば、両電極20,21の酸化を極力
抑制することができ、ひいては上記工程[2],[3]
の処理時間を短縮することができるようになる。
In the above embodiment, in order to adjust the characteristics of the element 11 manufactured through the baking process, the element 11 is heated in an atmosphere of a reducing gas (step [1]), A DC voltage was applied between the electrodes 20 and 21 (steps [2] and [3]). In addition to these steps, an inert gas may be supplied to the surfaces of the electrodes 20 and 21 when the element 11 is fired. According to such a characteristic adjusting method, the oxidation of both electrodes 20 and 21 can be suppressed as much as possible, and as a result, the above-mentioned steps [2] and [3]
Processing time can be shortened.

【0043】・上記実施の形態では、インピーダンスを
増大させる処理(工程[3])として、両電極20,2
1間に直流電圧を印加するようにしたが、これに代え
て、素子11を酸素イオンを含む水酸化物水溶液に浸す
ようにしてもよい。こうした特性調整方法によっても、
工程[2]において増大した酸素欠陥が水酸化物水溶液
中の酸素イオンによって減少させられるようになって、
素子11のインピーダンスを好適に増大させることがで
きるようになる。
In the above embodiment, as the process for increasing the impedance (step [3]), the two electrodes 20 and 2 are used.
Although a DC voltage is applied between the two, the element 11 may be immersed in a hydroxide aqueous solution containing oxygen ions instead. By such a characteristic adjustment method,
The oxygen deficiency increased in the step [2] is reduced by oxygen ions in the aqueous hydroxide solution,
The impedance of the element 11 can be suitably increased.

【0044】・また、任意の手段により酸素イオン以外
の元素を酸素欠陥に供給して酸素欠陥を埋め同酸素欠陥
を実質的に減少させるようにしてもよい。 ・上記実施の形態では、本発明にかかる特性調整方法を
限界電流型の酸素センサに適用するようにしたが、濃淡
電池型の酸素センサに適用するようにしてもよい。
Further, an element other than oxygen ions may be supplied to oxygen vacancies by any means to fill the oxygen vacancies and substantially reduce the oxygen vacancies. In the above embodiment, the characteristic adjustment method according to the present invention is applied to the limiting current type oxygen sensor, but may be applied to the concentration cell type oxygen sensor.

【0045】・また、本発明にかかる特性調整方法を、
酸化物半導体型の酸素センサに適用するようにしてもよ
い。酸化物半導体型の酸素センサにあっては、排気の酸
素濃度に応じて素子インピーダンス自体が変化し、この
素子インピーダンスの変化に基づいて排気の酸素濃度が
検出される。従って、こうした酸化物半導体型の酸素セ
ンサに本発明にかかる特性調整方法を適用することで、
その使用に伴う素子インピーダンスの経時的変化を抑制
することができ、同経時的変化に起因して、素子インピ
ーダンスと酸素濃度との相関が低下することを抑制する
ことができるようになる。
Also, the method for adjusting characteristics according to the present invention comprises:
The present invention may be applied to an oxide semiconductor type oxygen sensor. In an oxide semiconductor type oxygen sensor, the element impedance itself changes according to the oxygen concentration of the exhaust gas, and the oxygen concentration of the exhaust gas is detected based on the change in the element impedance. Therefore, by applying the characteristic adjustment method according to the present invention to such an oxide semiconductor type oxygen sensor,
It is possible to suppress a change with time of the element impedance due to its use, and it is possible to suppress a decrease in the correlation between the element impedance and the oxygen concentration due to the change with time.

【0046】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明の実施の形態には、次のような各種の形態
を含むものであることを付記しておく。 ・ 少なくとも一部が固体電解質からなりその内部に空
間が形成される酸素濃度検出用の素子と、該素子の前記
固体電解質部において前記内部空間側に位置する面に配
設される内側電極と、前記固体電解質部において同固体
電解質部を挟んで前記内側電極の反対側に位置する面に
配設される外側電極とを備え、これら固体電解質部、内
側電極及び外側電極を焼成して一体形成される酸素セン
サの特性調整方法であって、前記焼成処理に際し、前記
内側電極及び外側電極のうち少なくとも内側電極の表面
に不活性ガスを供給する工程を少なくとも含むことを特
徴とする酸素センサの特性調整方法。
Although the embodiments of the present invention have been described above, it should be added that the embodiments of the present invention include the following various embodiments. An element for oxygen concentration detection in which at least a part is formed of a solid electrolyte and a space is formed therein, and an inner electrode disposed on a surface located on the inner space side in the solid electrolyte portion of the element; An outer electrode provided on a surface of the solid electrolyte portion opposite to the inner electrode with the solid electrolyte portion interposed therebetween, wherein the solid electrolyte portion, the inner electrode, and the outer electrode are integrally formed by firing. A method for adjusting the characteristics of an oxygen sensor, the method comprising adjusting at least a step of supplying an inert gas to at least a surface of the inner electrode among the inner electrode and the outer electrode during the baking treatment. Method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる特性調整方法が適用される酸素
センサの素子構造を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing an element structure of an oxygen sensor to which a characteristic adjustment method according to the present invention is applied.

【図2】同酸素センサの断面構造を示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing a sectional structure of the oxygen sensor.

【図3】本発明にかかる酸素センサの特性調整方法につ
いてその一実施の形態を示す工程図。
FIG. 3 is a process diagram showing one embodiment of a method for adjusting the characteristics of an oxygen sensor according to the present invention.

【図4】素子インピーダンスと酸素センサの使用継続時
間との関係を示すグラフ。
FIG. 4 is a graph showing a relationship between element impedance and duration of use of an oxygen sensor.

【図5】酸素センサの断面構造を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a sectional structure of the oxygen sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…素子、12…検出部、13…ヒータ、14…介装
板、15…検出板、16…拡散律速層、18…緻密層、
19…トラップ層、20…外側電極、21…内側電極、
24…凹部、26…排出室、30…発熱部。
11 element, 12 detection unit, 13 heater, 14 interposition plate, 15 detection plate, 16 diffusion-controlling layer, 18 dense layer,
19: trap layer, 20: outer electrode, 21: inner electrode,
24: recess, 26: discharge chamber, 30: heating section.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくとも一部が固体電解質からなりその
内部に空間が形成される酸素濃度検出用の素子と、該素
子の前記固体電解質部において前記内部空間側に位置す
る面に配設される内側電極と、前記固体電解質部におい
て同固体電解質部を挟んで前記内側電極と反対側に位置
する面に配設される外側電極とを備える酸素センサの特
性調整方法であって、 前記両電極間に第1の直流電圧を印加する第1の工程
と、 前記第1の直流電圧を印加した後に前記固体電解質部の
インピーダンスを増大させる第2の工程とを少なくとも
含むことを特徴とする酸素センサの特性調整方法。
1. An element for detecting oxygen concentration in which at least a part is made of a solid electrolyte and a space is formed therein, and is disposed on a surface of the element which is located on the side of the internal space in the solid electrolyte portion. A method for adjusting characteristics of an oxygen sensor, comprising: an inner electrode; and an outer electrode disposed on a surface of the solid electrolyte portion opposite to the inner electrode with the solid electrolyte portion interposed therebetween. A first step of applying a first direct-current voltage to the first electrode; and a second step of increasing the impedance of the solid electrolyte portion after applying the first direct-current voltage. Characteristics adjustment method.
【請求項2】前記第1の工程において、前記第1の直流
電圧は、前記内側電極を陰極、前記外側電極を陽極とし
て両電極間に印加される請求項1記載の酸素センサの特
性調整方法。
2. The method according to claim 1, wherein, in the first step, the first DC voltage is applied between the two electrodes using the inner electrode as a cathode and the outer electrode as an anode. .
【請求項3】前記第2の工程において、前記第1の直流
電圧と逆向きでその大きさが同第1の直流電圧よりも小
さい第2の直流電圧が前記両電極間に印加される請求項
1又は2記載の酸素センサの特性調整方法。
3. In the second step, a second DC voltage having a direction opposite to the first DC voltage and smaller in magnitude than the first DC voltage is applied between the two electrodes. Item 3. The method for adjusting characteristics of an oxygen sensor according to Item 1 or 2.
【請求項4】前記第2の工程において、前記第2の直流
電圧は前記両電極のうち陰極側に設定される電極の近傍
に位置する前記固体電解質部に酸素欠陥を生じさせない
大きさに設定される請求項3記載の酸素センサの特性調
整方法。
4. In the second step, the second DC voltage is set to a value that does not cause oxygen deficiency in the solid electrolyte portion located in the vicinity of the electrode set on the cathode side of the two electrodes. The method for adjusting characteristics of an oxygen sensor according to claim 3, wherein
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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