JP2002181625A - 分光測定装置 - Google Patents
分光測定装置Info
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- JP2002181625A JP2002181625A JP2000377846A JP2000377846A JP2002181625A JP 2002181625 A JP2002181625 A JP 2002181625A JP 2000377846 A JP2000377846 A JP 2000377846A JP 2000377846 A JP2000377846 A JP 2000377846A JP 2002181625 A JP2002181625 A JP 2002181625A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検物体の２次元被測定領域の各位置に関す
る分光情報を得、それを迅速に加工して２次的分光測定
情報を得る分光測定装置を提供する。 【解決手段】 被検物体２の被測定領域２ａのＹ方向線
状領域２ｂからの光をＸ方向に波長分散させて２次元断
面の測定光となす分光器４と、測定光を受光する２次元
ＣＣＤ６と、ＣＣＤ６から得られる分光情報に基づく演
算処理を行うＣＰＵ８とを備える。ＣＣＤ６はＸＹ方向
に配列されたエレメントＥを有する。ＣＣＤ６は、エレ
メントＥの２次元配列からなり測定光を受光する受光領
域６ａと、受光領域６ａに連続してＹ方向に隣接配置さ
れた読み出しレジスタ領域６ｂとを備える。レジスタ領
域２ｂは、それぞれがエレメントＥの２次元配列からな
り受光領域６ａに隣接するＹ方向に連続配置されたレジ
スタ部からなる。ＣＰＵ８はレジスタ部から出力される
分光情報の信号を用いて演算処理を行う。
る分光情報を得、それを迅速に加工して２次的分光測定
情報を得る分光測定装置を提供する。 【解決手段】 被検物体２の被測定領域２ａのＹ方向線
状領域２ｂからの光をＸ方向に波長分散させて２次元断
面の測定光となす分光器４と、測定光を受光する２次元
ＣＣＤ６と、ＣＣＤ６から得られる分光情報に基づく演
算処理を行うＣＰＵ８とを備える。ＣＣＤ６はＸＹ方向
に配列されたエレメントＥを有する。ＣＣＤ６は、エレ
メントＥの２次元配列からなり測定光を受光する受光領
域６ａと、受光領域６ａに連続してＹ方向に隣接配置さ
れた読み出しレジスタ領域６ｂとを備える。レジスタ領
域２ｂは、それぞれがエレメントＥの２次元配列からな
り受光領域６ａに隣接するＹ方向に連続配置されたレジ
スタ部からなる。ＣＰＵ８はレジスタ部から出力される
分光情報の信号を用いて演算処理を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、分光測定の技術分
野に属するものであり、特に被検物体の２次元被測定領
域の各位置の分光情報を得、該分光情報を加工して２次
的な分光測定情報を迅速に得ることを企図した分光測定
装置に関する。
野に属するものであり、特に被検物体の２次元被測定領
域の各位置の分光情報を得、該分光情報を加工して２次
的な分光測定情報を迅速に得ることを企図した分光測定
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
分光測定は、被検物体の目的とする点状の被測定領域か
ら到来する測定光を波長分散して一方向に展開し、この
展開光を１次元光検出器例えば１次元ＣＣＤの線状配列
の複数の受光要素により検出し、上記被検物体の被測定
領域の分光情報を得ていた。また、そのような被検物体
の分光情報を多数の点状被測定領域について得ようとす
る場合には、被検物体を測定装置に対して相対的に移動
させ、適時、測定を行っていた。
分光測定は、被検物体の目的とする点状の被測定領域か
ら到来する測定光を波長分散して一方向に展開し、この
展開光を１次元光検出器例えば１次元ＣＣＤの線状配列
の複数の受光要素により検出し、上記被検物体の被測定
領域の分光情報を得ていた。また、そのような被検物体
の分光情報を多数の点状被測定領域について得ようとす
る場合には、被検物体を測定装置に対して相対的に移動
させ、適時、測定を行っていた。
【０００３】一方、被検物体の線状の被測定領域の分光
情報を一時に得るための測定装置として、特開昭６１−
２１３９７４号公報には、２次元ＣＣＤを用いたものが
開示されている。この公報に開示されている技術によれ
ば、被検物体を測定装置に対して相対移動させ、適時、
測定を行うことで被検物体の２次元被測定領域の分光情
報を得ている。
情報を一時に得るための測定装置として、特開昭６１−
２１３９７４号公報には、２次元ＣＣＤを用いたものが
開示されている。この公報に開示されている技術によれ
ば、被検物体を測定装置に対して相対移動させ、適時、
測定を行うことで被検物体の２次元被測定領域の分光情
報を得ている。
【０００４】しかしながら、この公報の技術では、２次
元ＣＣＤにより得られる分光情報をその都度フレームメ
モリに一旦格納し、必要に応じて該フレームメモリから
分光情報を呼び出してディスプレイに表示するようにし
ている。従って、異なるフレームの分光情報を用いて情
報の加工を行って２次的な分光測定情報を得る際には、
一旦所要の全てのフレームの分光情報をフレームメモリ
に格納した後に所要の演算を行わねばならず、２次的な
分光測定情報を得るための迅速性の点では更なる改良の
余地がある。
元ＣＣＤにより得られる分光情報をその都度フレームメ
モリに一旦格納し、必要に応じて該フレームメモリから
分光情報を呼び出してディスプレイに表示するようにし
ている。従って、異なるフレームの分光情報を用いて情
報の加工を行って２次的な分光測定情報を得る際には、
一旦所要の全てのフレームの分光情報をフレームメモリ
に格納した後に所要の演算を行わねばならず、２次的な
分光測定情報を得るための迅速性の点では更なる改良の
余地がある。
【０００５】そこで、本発明は、被検物体の２次元被測
定領域の各位置に関する分光情報を得、該分光情報を加
工して２次的な分光測定情報を得る際の迅速性の改良さ
れた分光測定装置を提供することを目的とするものであ
る。
定領域の各位置に関する分光情報を得、該分光情報を加
工して２次的な分光測定情報を得る際の迅速性の改良さ
れた分光測定装置を提供することを目的とするものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、以上の
如き目的を達成するものとして、被検物体の２次元被測
定領域の各位置の分光情報を得、該分光情報に基づく演
算処理により２次的な分光測定情報を得る分光測定装置
であって、前記被検物体の２次元被測定領域の第１方向
の線状領域から到来する光を前記第１方向を横切る第２
方向に波長分散させて２次元断面の測定光となす分光器
と、前記測定光を受光する２次元ＣＣＤと、該２次元Ｃ
ＣＤから得られる分光情報に基づく演算処理を行う演算
処理部とを備えており、前記２次元ＣＣＤは前記第１方
向及び前記第２方向に２次元に配列された複数のエレメ
ントを有しており、また前記２次元ＣＣＤは、前記エレ
メントの２次元配列からなり前記測定光を受光する２次
元受光領域と、該２次元受光領域に連続して前記第１方
向または前記第２方向に隣接して配置された読み出しレ
ジスタ領域とを備えており、該読み出しレジスタ領域
は、前記エレメントの２次元配列からなる１つのレジス
タ部からなるか、或はそれぞれが前記エレメントの２次
元配列からなり前記２次元受光領域に隣接する前記第１
方向または前記第２方向に連続して配置された複数のレ
ジスタ部からなることを特徴とする分光測定装置、が提
供される。
如き目的を達成するものとして、被検物体の２次元被測
定領域の各位置の分光情報を得、該分光情報に基づく演
算処理により２次的な分光測定情報を得る分光測定装置
であって、前記被検物体の２次元被測定領域の第１方向
の線状領域から到来する光を前記第１方向を横切る第２
方向に波長分散させて２次元断面の測定光となす分光器
と、前記測定光を受光する２次元ＣＣＤと、該２次元Ｃ
ＣＤから得られる分光情報に基づく演算処理を行う演算
処理部とを備えており、前記２次元ＣＣＤは前記第１方
向及び前記第２方向に２次元に配列された複数のエレメ
ントを有しており、また前記２次元ＣＣＤは、前記エレ
メントの２次元配列からなり前記測定光を受光する２次
元受光領域と、該２次元受光領域に連続して前記第１方
向または前記第２方向に隣接して配置された読み出しレ
ジスタ領域とを備えており、該読み出しレジスタ領域
は、前記エレメントの２次元配列からなる１つのレジス
タ部からなるか、或はそれぞれが前記エレメントの２次
元配列からなり前記２次元受光領域に隣接する前記第１
方向または前記第２方向に連続して配置された複数のレ
ジスタ部からなることを特徴とする分光測定装置、が提
供される。
【０００７】本発明の一態様においては、前記演算処理
部は前記レジスタ部から出力される前記分光情報の信号
を用いて演算処理を行う。
部は前記レジスタ部から出力される前記分光情報の信号
を用いて演算処理を行う。
【０００８】本発明の一態様においては、前記複数のレ
ジスタ部は前記エレメントの互いに異なる数を情報単位
として前記分光情報の信号を出力する。
ジスタ部は前記エレメントの互いに異なる数を情報単位
として前記分光情報の信号を出力する。
【０００９】本発明の一態様においては、前記レジスタ
部から出力される分光情報を格納するメモリを備えてい
る。
部から出力される分光情報を格納するメモリを備えてい
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
【００１１】図１は本発明による分光測定装置の一実施
形態の全体構成を示す図である。図１において、被検物
体２はＸＹ方向の２次元の被測定領域２ａを有する。該
２次元被測定領域２ａの一部として、Ｙ方向に延在する
線状領域２ｂが存在する。被検物体２は、不図示の移動
手段により矢印Ａの方向（Ｘ方向）に移動せしめられ
る。
形態の全体構成を示す図である。図１において、被検物
体２はＸＹ方向の２次元の被測定領域２ａを有する。該
２次元被測定領域２ａの一部として、Ｙ方向に延在する
線状領域２ｂが存在する。被検物体２は、不図示の移動
手段により矢印Ａの方向（Ｘ方向）に移動せしめられ
る。
【００１２】本実施形態の装置は、分光器４、２次元Ｃ
ＣＤ６、ＣＰＵ（演算処理部）８、メモリ１０、及び表
示部１２を備えている。分光器４は、Ｙ方向に延在する
スリットを持つスリット部材４ａと、第１凹面鏡４ｂ
と、Ｙ方向の格子配列を持つ回折格子４ｃと、第２凹面
鏡４ｄとを備えている。２次元ＣＣＤ６は、ＸＹ方向の
２次元に配列された多数のエレメントＥを有しており、
該エレメントのうちのいくつかの２次元配列からなり測
定光を受光する２次元受光領域６ａと、該２次元受光領
域６ａに連続してＹ方向に隣接配置された読み出しレジ
スタ領域６ｂとを備えている。
ＣＤ６、ＣＰＵ（演算処理部）８、メモリ１０、及び表
示部１２を備えている。分光器４は、Ｙ方向に延在する
スリットを持つスリット部材４ａと、第１凹面鏡４ｂ
と、Ｙ方向の格子配列を持つ回折格子４ｃと、第２凹面
鏡４ｄとを備えている。２次元ＣＣＤ６は、ＸＹ方向の
２次元に配列された多数のエレメントＥを有しており、
該エレメントのうちのいくつかの２次元配列からなり測
定光を受光する２次元受光領域６ａと、該２次元受光領
域６ａに連続してＹ方向に隣接配置された読み出しレジ
スタ領域６ｂとを備えている。
【００１３】不図示の光源（例えばレーザ）から発せら
れる照明光（例えば波長３５０〜１０００ｎｍの範囲内
のもの）の照射を受けた被検物体２から分光器４に到来
する光のうち、被検物体２の線状領域２ｂから発せられ
たもののみがスリット部材４ａのスリットを通過して第
１凹面鏡４ｂに入射する。そして、該第１凹面鏡４ｂで
の反射で平行光束とされ、回折格子４ｃに到来し、該回
折格子４ｃにより光の波長に応じて異なる方向へと回折
され（Ｘ方向に波長分散され）、Ｘ方向にも広がりをも
つ２次元断面の測定光として第２反射鏡４ｄに到来し、
該第２反射鏡４ｄによる収束作用を受けて、２次元ＣＣ
Ｄ６の２次元受光領域６ａ上に結像される。
れる照明光（例えば波長３５０〜１０００ｎｍの範囲内
のもの）の照射を受けた被検物体２から分光器４に到来
する光のうち、被検物体２の線状領域２ｂから発せられ
たもののみがスリット部材４ａのスリットを通過して第
１凹面鏡４ｂに入射する。そして、該第１凹面鏡４ｂで
の反射で平行光束とされ、回折格子４ｃに到来し、該回
折格子４ｃにより光の波長に応じて異なる方向へと回折
され（Ｘ方向に波長分散され）、Ｘ方向にも広がりをも
つ２次元断面の測定光として第２反射鏡４ｄに到来し、
該第２反射鏡４ｄによる収束作用を受けて、２次元ＣＣ
Ｄ６の２次元受光領域６ａ上に結像される。
【００１４】２次元ＣＣＤ６では、２次元受光領域６ａ
の各エレメントＥで蓄積された電荷がそれぞれ読み出し
レジスタ領域６ｂの所定のエレメントＥへと転送され、
該読み出しレジスタ領域６ｂから分光情報の信号がＣＰ
Ｕ８へと出力される。ＣＰＵ８は、必要に応じて分光情
報をメモリ１０に格納し、また読み出しレジスタ領域６
ｂの出力分光情報信号を用い更に必要に応じてメモリ１
０の格納分光情報を用いて所望の演算処理を行って２次
的な分光測定情報を得る。この２次的分光測定情報は、
必要に応じてメモリ１０に記憶され及び／または表示部
１２に表示される。
の各エレメントＥで蓄積された電荷がそれぞれ読み出し
レジスタ領域６ｂの所定のエレメントＥへと転送され、
該読み出しレジスタ領域６ｂから分光情報の信号がＣＰ
Ｕ８へと出力される。ＣＰＵ８は、必要に応じて分光情
報をメモリ１０に格納し、また読み出しレジスタ領域６
ｂの出力分光情報信号を用い更に必要に応じてメモリ１
０の格納分光情報を用いて所望の演算処理を行って２次
的な分光測定情報を得る。この２次的分光測定情報は、
必要に応じてメモリ１０に記憶され及び／または表示部
１２に表示される。
【００１５】以上の説明における各部についてのＸ及び
Ｙの方向は、方向に関する対応関係を示すものであり、
必ずしも空間的に同一の方向を意味するものではない。
Ｙの方向は、方向に関する対応関係を示すものであり、
必ずしも空間的に同一の方向を意味するものではない。
【００１６】図２は２次元ＣＣＤ６の構成を示す模式図
である。読み出しレジスタ領域６ｂは、分光器４から到
来する測定光が入射しないように遮光されており、それ
ぞれがエレメントＥの２次元配列からなりＹ方向に連続
して配置されたｎ個のレジスタ部６ｂ１〜６ｂｎからな
る。ｎは１であってもよい。各レジスタ部６ｂ１〜６ｂ
ｎは、２次元受光領域６ａと同等のエレメントＥ及びそ
の配列を有しており、それぞれ分光情報信号Ｉ１〜Ｉｎ
を出力する。
である。読み出しレジスタ領域６ｂは、分光器４から到
来する測定光が入射しないように遮光されており、それ
ぞれがエレメントＥの２次元配列からなりＹ方向に連続
して配置されたｎ個のレジスタ部６ｂ１〜６ｂｎからな
る。ｎは１であってもよい。各レジスタ部６ｂ１〜６ｂ
ｎは、２次元受光領域６ａと同等のエレメントＥ及びそ
の配列を有しており、それぞれ分光情報信号Ｉ１〜Ｉｎ
を出力する。
【００１７】従って、被検物体２を矢印Ａの方向に移動
しながら、適切なタイミングで２次元ＣＣＤの受光領域
６ａの蓄積電荷を６ｂ１→６ｂ２→６ｂ３→・・・・→
６ｂｎへと順次転送することができる。然る後に、一括
して分光情報信号Ｉ１〜Ｉｎを出力することにより、被
検物体２の２次元被測定領域の分光情報を高速に得るこ
とができる。図３は、以上のようにして得られる分光強
度情報Ｉ１〜Ｉ５の一例を示す図である。
しながら、適切なタイミングで２次元ＣＣＤの受光領域
６ａの蓄積電荷を６ｂ１→６ｂ２→６ｂ３→・・・・→
６ｂｎへと順次転送することができる。然る後に、一括
して分光情報信号Ｉ１〜Ｉｎを出力することにより、被
検物体２の２次元被測定領域の分光情報を高速に得るこ
とができる。図３は、以上のようにして得られる分光強
度情報Ｉ１〜Ｉ５の一例を示す図である。
【００１８】本実施形態では、ＣＰＵ８において、以上
のような分光強度情報Ｉ１〜Ｉｎを用いた演算処理によ
り、所望波長における各位置での分光強度の分布情報を
得るなどの２次的分光測定情報の獲得が可能であり、そ
の際に分光強度情報Ｉ１〜Ｉｎをメモリ１０に格納する
ことなく、直接リアルタイムで迅速に２次的分光測定情
報を得ることができる。尚、ＣＰＵ８での分光強度情報
Ｉ１〜Ｉｎを用いた演算処理で、既にメモリに格納され
ている情報をも使用することができる。
のような分光強度情報Ｉ１〜Ｉｎを用いた演算処理によ
り、所望波長における各位置での分光強度の分布情報を
得るなどの２次的分光測定情報の獲得が可能であり、そ
の際に分光強度情報Ｉ１〜Ｉｎをメモリ１０に格納する
ことなく、直接リアルタイムで迅速に２次的分光測定情
報を得ることができる。尚、ＣＰＵ８での分光強度情報
Ｉ１〜Ｉｎを用いた演算処理で、既にメモリに格納され
ている情報をも使用することができる。
【００１９】図４は２次元ＣＣＤ６の構成の変形例を示
す図である。この例では、レジスタ部６ｂ１〜６ｂ３か
ら、Ｘ方向に関しエレメントＥの互いに異なる数を情報
単位として分光情報信号Ｉ１〜Ｉ３を出力する。例え
ば、レジスタ部６ｂ１からはエレメントＥの１個を情報
単位とする信号Ｉ１が出力され、レジスタ部６ｂ２から
はエレメントＥの２個を情報単位とする信号Ｉ２が出力
され、レジスタ部６ｂ３からはエレメントＥの４個を情
報単位とする信号Ｉ３が出力される。この場合、分光情
報信号Ｉ１〜Ｉ３は、この順に感度が向上し解像度が低
下することになる。目的に応じて、スイッチ部６ｃによ
り好適な信号Ｉ１〜Ｉ３のいずれかを分光情報信号Ｉと
して選択して出力することができる。
す図である。この例では、レジスタ部６ｂ１〜６ｂ３か
ら、Ｘ方向に関しエレメントＥの互いに異なる数を情報
単位として分光情報信号Ｉ１〜Ｉ３を出力する。例え
ば、レジスタ部６ｂ１からはエレメントＥの１個を情報
単位とする信号Ｉ１が出力され、レジスタ部６ｂ２から
はエレメントＥの２個を情報単位とする信号Ｉ２が出力
され、レジスタ部６ｂ３からはエレメントＥの４個を情
報単位とする信号Ｉ３が出力される。この場合、分光情
報信号Ｉ１〜Ｉ３は、この順に感度が向上し解像度が低
下することになる。目的に応じて、スイッチ部６ｃによ
り好適な信号Ｉ１〜Ｉ３のいずれかを分光情報信号Ｉと
して選択して出力することができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
２次元ＣＣＤとして測定光を受光する２次元受光領域と
読み出しレジスタ領域とを備え、該読み出しレジスタ領
域として２次元受光領域に隣接する１つ以上のレジスタ
部からなるものを用いることで、被検物体の２次元被測
定領域の各位置に関する分光情報を加工して２次的分光
測定情報を迅速に得ることの可能な分光測定装置が提供
される。
２次元ＣＣＤとして測定光を受光する２次元受光領域と
読み出しレジスタ領域とを備え、該読み出しレジスタ領
域として２次元受光領域に隣接する１つ以上のレジスタ
部からなるものを用いることで、被検物体の２次元被測
定領域の各位置に関する分光情報を加工して２次的分光
測定情報を迅速に得ることの可能な分光測定装置が提供
される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による分光測定装置の一実施形態の全体
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図２】２次元ＣＣＤの構成を示す模式図である。
【図３】分光強度情報の一例を示す図である。
【図４】２次元ＣＣＤの構成を示す図である。
２ 被検物体 ２ａ ２次元被測定領域 ２ｂ 線状領域 ４ 分光器 ４ａ スリット部材 ４ｂ 第１凹面鏡 ４ｃ 回折格子 ４ｄ 第２凹面鏡 ６ ２次元ＣＣＤ ６ａ ２次元受光領域 ６ｂ 読み出しレジスタ領域 ６ｂ１〜６ｂｎ レジスタ部 ６ｃ スイッチ部 ８ ＣＰＵ １０ メモリ １２ 表示部 Ｅ ＣＣＤエレメント Ｉ，Ｉ１〜Ｉｎ 分光情報信号
Claims (4)
- 【請求項１】 被検物体の２次元被測定領域の各位置の
分光情報を得、該分光情報に基づく演算処理により２次
的な分光測定情報を得る分光測定装置であって、 前記被検物体の２次元被測定領域の第１方向の線状領域
から到来する光を前記第１方向を横切る第２方向に波長
分散させて２次元断面の測定光となす分光器と、前記測
定光を受光する２次元ＣＣＤと、該２次元ＣＣＤから得
られる分光情報に基づく演算処理を行う演算処理部とを
備えており、 前記２次元ＣＣＤは前記第１方向及び前記第２方向に２
次元に配列された複数のエレメントを有しており、 また前記２次元ＣＣＤは、前記エレメントの２次元配列
からなり前記測定光を受光する２次元受光領域と、該２
次元受光領域に連続して前記第１方向または前記第２方
向に隣接して配置された読み出しレジスタ領域とを備え
ており、 該読み出しレジスタ領域は、前記エレメントの２次元配
列からなる１つのレジスタ部からなるか、或はそれぞれ
が前記エレメントの２次元配列からなり前記２次元受光
領域に隣接する前記第１方向または前記第２方向に連続
して配置された複数のレジスタ部からなることを特徴と
する分光測定装置。 - 【請求項２】 前記演算処理部は前記レジスタ部から出
力される前記分光情報の信号を用いて演算処理を行うこ
とを特徴とする、請求項１に記載の分光測定装置。 - 【請求項３】 前記複数のレジスタ部は前記エレメント
の互いに異なる数を情報単位として前記分光情報の信号
を出力することを特徴とする、請求項１〜２のいずれか
に記載の分光測定装置。 - 【請求項４】 前記レジスタ部から出力される分光情報
を格納するメモリを備えていることを特徴とする、請求
項１〜３のいずれかに記載の分光測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000377846A JP2002181625A (ja) | 2000-12-12 | 2000-12-12 | 分光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000377846A JP2002181625A (ja) | 2000-12-12 | 2000-12-12 | 分光測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002181625A true JP2002181625A (ja) | 2002-06-26 |
Family
ID=18846513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000377846A Pending JP2002181625A (ja) | 2000-12-12 | 2000-12-12 | 分光測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002181625A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009288150A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 |
| JP2010526313A (ja) * | 2007-05-03 | 2010-07-29 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 分光装置および分光方法 |
| JP2014235415A (ja) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | 株式会社島津製作所 | 光学測定装置、並びに、測定結果表示方法及び測定結果表示プログラム |
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2000
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