JP2002170230A - Magnetic transfer method - Google Patents

Magnetic transfer method

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JP2002170230A
JP2002170230A JP2000360464A JP2000360464A JP2002170230A JP 2002170230 A JP2002170230 A JP 2002170230A JP 2000360464 A JP2000360464 A JP 2000360464A JP 2000360464 A JP2000360464 A JP 2000360464A JP 2002170230 A JP2002170230 A JP 2002170230A
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JP
Japan
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magnetic
slave medium
master carrier
transfer
magnetic transfer
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JP2000360464A
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Japanese (ja)
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Shoichi Nishikawa
正一 西川
Makoto Nagao
信 長尾
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Fujifilm Holdings Corp
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Fuji Photo Film Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it easy to separate a slave medium from a master carrier after magnetic transfer is performed and to prevent the adsorption of dust to the slave medium, in a magnetic transfer method by which the magnetic transfer of an information signal like a servo signal from the master carrier to the slave medium is performed. SOLUTION: When the master carrier 3 carrying the information signal and the slave medium 2 having a lubricating layer formed on its recording surface in the practical use condition are brought into contact with each other and an electric field for transfer is applied to them to perform the magnetic transfer, the slave medium 2 before the lubricating layer is formed and the master carrier 3 are brought into contact with each other to perform the magnetic transfer and thereby an increase in adhesion due to the existence of the lubricating layer and the adsorption of the dust are prevented.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、情報が担持された
マスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写
方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic transfer method for magnetically transferring information from a master carrier carrying information to a slave medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気転写方法は、マスター担体とスレー
ブ媒体を密着させた状態で、転写用磁界を印加してマス
ター担体に担持した情報(例えばサーボ信号)に対応す
る磁気パターンの転写を行うものである。この磁気転写
方法としては、例えば特開昭63−183623号公
報、特開平10−40544号公報、特開平10−26
9566号公報等に開示されている。
2. Description of the Related Art A magnetic transfer method transfers a magnetic pattern corresponding to information (for example, a servo signal) carried on a master carrier by applying a transfer magnetic field while the master carrier and the slave medium are in close contact with each other. It is. Examples of the magnetic transfer method include JP-A-63-183623, JP-A-10-40544, and JP-A-10-26.
No. 9566, and the like.

【0003】また、スレーブ媒体としてのハードディス
ク、高記録密度フレキシブルディスクなどにおいては、
その磁気記録層の表面には、使用状態における磁気ヘッ
ドとの接触に対する摩擦低減の点から、潤滑層が形成さ
れている。
Further, in a hard disk, a high recording density flexible disk, etc. as a slave medium,
A lubricating layer is formed on the surface of the magnetic recording layer from the viewpoint of reducing friction against contact with the magnetic head in use.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記磁気転
写方法による磁気転写時に、スレーブ媒体の記録面に前
述のように潤滑層が形成されていると、マスター担体と
密着して磁気転写を行った後に、このスレーブ媒体をマ
スター担体から引き剥がすことが困難となる場合があ
る。また、マスター担体に付着していた塵埃が、密着後
にスレーブ媒体に付着し、実際の使用状態における記録
再生時のエラーレートの増加原因となる恐れがある。
By the way, at the time of magnetic transfer by the above magnetic transfer method, if the lubricating layer is formed on the recording surface of the slave medium as described above, the magnetic transfer is performed in close contact with the master carrier. Later, it may be difficult to peel off the slave medium from the master carrier. Further, dust adhering to the master carrier may adhere to the slave medium after the adhesion, and may cause an increase in an error rate during recording and reproduction in an actual use state.

【0005】磁気転写後のスレーブ媒体を解析した結
果、その記録面表面に塗設されている潤滑層のメニスカ
スにより、スレーブ媒体とマスター担体との密着力が大
きくなっていることが判明した。また、この潤滑層がマ
スター担体に付着している塵埃を吸着していることが分
かった。このような現象は特に金属薄膜型磁気記録層を
有するスレーブ媒体において顕著に発生していた。
As a result of analysis of the slave medium after the magnetic transfer, it was found that the meniscus of the lubricating layer coated on the recording surface increased the adhesion between the slave medium and the master carrier. It was also found that the lubricating layer was adsorbing dust adhering to the master carrier. Such a phenomenon has been particularly noticeable in a slave medium having a metal thin-film type magnetic recording layer.

【0006】そして、スレーブ媒体とマスター担体の密
着力が高いと、磁気転写後、スレーブ媒体をマスター担
体から分離する作業が困難となると共に、無理に引き剥
がそうとすると、スレーブ媒体またはマスター担体を損
傷する可能性がある。スレーブ媒体の潤滑層に磁気転写
時の塵埃が吸着されていると、その付着力が強くて後処
理で除去するのが困難であり、スレーブ媒体の高速回転
に伴って塵埃が磁気ヘッドに衝突しヘッドクラッシュの
原因となったり、ドロップアウトの原因となってエラー
発生率が増大する要因となる。
[0006] If the adhesion between the slave medium and the master carrier is high, it is difficult to separate the slave medium from the master carrier after the magnetic transfer. May be damaged. If dust from the magnetic transfer is adsorbed on the lubricating layer of the slave medium, its adhesion is so strong that it is difficult to remove it by post-processing.Dust collides with the magnetic head as the slave medium rotates at high speed. This causes a head crash or a dropout, which causes an increase in the error occurrence rate.

【0007】本発明はこのような問題に鑑みなされたも
ので、磁気転写後のスレーブ媒体とマスター担体との分
離を容易とすると共にスレーブ媒体への塵埃の吸着を防
止するようにした磁気転写方法を提供することを目的と
するものである。
The present invention has been made in view of such a problem, and a magnetic transfer method for facilitating separation of a slave medium from a master carrier after magnetic transfer and preventing dust from being attracted to the slave medium. The purpose is to provide.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気転写方法
は、情報信号が担持されたマスター担体と、使用状態に
おいては記録面の表面に潤滑層が形成されているスレー
ブ媒体とを密着させ転写用磁界を印加して磁気転写を行
う磁気転写方法において、前記潤滑層が形成される前の
スレーブ媒体とマスター担体とを密着させて磁気転写を
行うことを特徴とするものである。
According to the magnetic transfer method of the present invention, a master carrier carrying an information signal is brought into close contact with a slave medium having a lubricating layer formed on the surface of a recording surface in use. In the magnetic transfer method for performing magnetic transfer by applying a magnetic field for use, the magnetic transfer is performed by bringing the slave medium and the master carrier in close contact with each other before the lubricant layer is formed.

【0009】スレーブ媒体の記録面には、磁気転写後に
潤滑層を形成し、使用状態における磁気ヘッドとの摩擦
を低減する。
A lubricating layer is formed on the recording surface of the slave medium after the magnetic transfer to reduce friction with the magnetic head in use.

【0010】前記スレーブ媒体は、マスター担体に密着
させる以前に表面の微小突起または付着塵埃を除去する
クリーニング処理が必要に応じて施される。一方、マス
ター担体は、スレーブ媒体と密着させる以前に、付着し
た塵埃を除去するクリーニング処理が必要に応じて施さ
れる。
Before the slave medium is brought into close contact with the master carrier, a cleaning process for removing minute projections or attached dust on the surface is performed as necessary. On the other hand, before the master carrier is brought into close contact with the slave medium, a cleaning process for removing attached dust is performed as necessary.

【0011】前記スレーブ媒体の片面にマスター担体を
密着させて片面逐次転写を行う場合と、スレーブ媒体の
両面にそれぞれマスター担体を密着させて両面同時転写
を行う場合とがある。スレーブ媒体はハードディスクが
好ましく、フレキシブルディスクに対しても適用可能で
ある。転写用磁界を印加する磁界生成手段としては、電
磁石装置または永久磁石装置が採用され、相対的に回転
させながらマスター担体とスレーブ媒体との密着部分の
片側または両側からトラック方向に転写用磁界を印加す
る。
There is a case where the master carrier is brought into close contact with one side of the slave medium to perform the one-sided sequential transfer, and a case where the master carrier is brought into close contact with both sides of the slave medium to perform the simultaneous double-sided transfer. The slave medium is preferably a hard disk, and is also applicable to a flexible disk. As the magnetic field generating means for applying the transfer magnetic field, an electromagnet device or a permanent magnet device is adopted, and the transfer magnetic field is applied in the track direction from one or both sides of the contact portion between the master carrier and the slave medium while relatively rotating. I do.

【0012】なお、上記磁気転写方法としては、最初に
スレーブ媒体をトラック方向に直流磁化する初期磁化を
施し、このスレーブ媒体と転写する情報に対応する微細
凹凸パターンに磁性層が形成されたマスター担体とを密
着させてスレーブ媒体面の初期直流磁化方向と略逆向き
の方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行うものが好
ましい。前記情報としてはサーボ信号が好適である。
In the magnetic transfer method, a master medium is first provided with initial magnetization in which a slave medium is DC-magnetized in the track direction, and a magnetic layer is formed on the slave medium and a fine uneven pattern corresponding to information to be transferred. And magnetic transfer by applying a transfer magnetic field in a direction substantially opposite to the initial DC magnetization direction of the slave medium surface. The information is preferably a servo signal.

【0013】[0013]

【発明の効果】上記のような本発明によれば、表面に潤
滑層が形成される前のスレーブ媒体とマスター担体とを
密着させて磁気転写を行うことにより、潤滑層のメニス
カスによって密着力が増大するのが防止でき、磁気転写
後のスレーブ媒体の引き剥がしが容易に行え、作業性が
向上すると共に、スレーブ媒体の損傷防止およびマスタ
ー担体の高寿命化が図れる。
According to the present invention as described above, the slave medium and the master carrier before the lubricating layer is formed on the surface are brought into close contact with each other to perform magnetic transfer, so that the adhesive force is increased by the meniscus of the lubricating layer. Thus, the slave medium can be easily peeled off after the magnetic transfer, the workability can be improved, the slave medium can be prevented from being damaged, and the life of the master carrier can be extended.

【0014】また、密着時にマスター担体に付着してい
る塵埃を、スレーブ媒体の潤滑層に吸着することがな
く、エラーレートの増加を抑制して信頼性を高めること
ができる。
Further, dust adhering to the master carrier at the time of close contact is not adsorbed to the lubricating layer of the slave medium, so that an increase in error rate can be suppressed and reliability can be improved.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図1は本発明の一つの実施の形態にかかる
磁気転写方法の転写状態を示す図である。また、図2は
磁気転写の基本工程を示す図である。なお、各図は模式
図でありその厚み等は実際の寸法とは異なる比率で示し
ている。
Embodiments of the present invention will be described below in detail. FIG. 1 is a diagram showing a transfer state of a magnetic transfer method according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a basic process of magnetic transfer. Each drawing is a schematic diagram, and the thickness and the like are shown in proportions different from actual dimensions.

【0016】図1において、磁気転写時には、表面に潤
滑層が形成されていない状態のスレーブ媒体2の磁気記
録面を、マスター担体3の情報担持面に接触させ、所定
の押圧力で密着させる。このマスター担体3とスレーブ
媒体2との密着状態で、磁界生成手段5により転写用磁
界を印加してサーボ信号等の情報を磁気的に転写記録す
る。
In FIG. 1, at the time of magnetic transfer, the magnetic recording surface of the slave medium 2 in a state where no lubricating layer is formed on the surface is brought into contact with the information carrying surface of the master carrier 3 and is brought into close contact with a predetermined pressing force. In a state where the master carrier 3 and the slave medium 2 are in close contact with each other, a magnetic field for transfer is applied by the magnetic field generating means 5 to magnetically transfer and record information such as servo signals.

【0017】スレーブ媒体2は、両面に磁気記録層が形
成されたハードディスクが好ましく、マスター担体3に
密着させる以前に、グライドヘッド、研磨体などにより
表面の微小突起または付着塵埃を除去するクリーニング
処理が必要に応じて施される。なお、フレキシブルディ
スク特に金属薄膜型磁気記録層を有するものに対する磁
気転写においても本発明を適用するのが好ましい。
The slave medium 2 is preferably a hard disk having a magnetic recording layer formed on both surfaces. Before the slave medium 2 is brought into close contact with the master carrier 3, a cleaning process for removing minute projections or attached dust on the surface with a glide head, a polishing body or the like is performed. Applied as needed. The present invention is preferably applied to magnetic transfer to a flexible disk, particularly to a disk having a metal thin film type magnetic recording layer.

【0018】マスター担体3はディスク状に形成され、
その片面に微細凹凸パターン(図2により後述する)に
よる転写情報担持面を有し、これと反対側の面が不図示
の密着手段に保持され、搬送されたスレーブ媒体2と密
着される。スレーブ媒体2の片面にマスター担体3を密
着させて片面逐次転写を行う場合と、スレーブ媒体2の
両面にそれぞれマスター担体3を密着させて両面同時転
写を行う場合とがある。マスター担体3は、スレーブ媒
体2と密着させる以前に、付着した塵埃を除去するクリ
ーニング処理が必要に応じて施される。
The master carrier 3 is formed in a disk shape,
One surface thereof has a transfer information carrying surface formed by a fine uneven pattern (to be described later with reference to FIG. 2). There is a case where the master carrier 3 is brought into close contact with one surface of the slave medium 2 to perform one-side sequential transfer, and a case where the master carrier 3 is brought into close contact with both surfaces of the slave medium 2 to perform simultaneous double-side transfer. Before the master carrier 3 is brought into close contact with the slave medium 2, a cleaning process for removing attached dust is performed as necessary.

【0019】転写用磁界を印加する磁界生成手段5は、
密着手段に保持されたマスター担体3の半径方向に延び
るギャップ51を有するコア52にコイル53が巻き付
けられトラック方向(円周トラックの接線方向)と平行
に磁力線を発生する電磁石装置、または同様の磁力線を
発生する永久磁石装置が、片側または両側に配設されて
なる。磁界印加時には、スレーブ媒体2およびマスター
担体3を一体に回転させつつ磁界生成手段5によって転
写用磁界を印加し、マスター担体3の転写情報をスレー
ブ媒体2の記録面に磁気的に転写記録する。磁界生成手
段5を回転移動させるように設けてもよい。
The magnetic field generating means 5 for applying a transfer magnetic field includes:
An electromagnet device that generates a magnetic field line parallel to the track direction (tangential direction of the circumferential track) by winding a coil 53 around a core 52 having a gap 51 extending in the radial direction of the master carrier 3 held by the close contact means, or a similar magnetic field line The permanent magnet device that generates the above is disposed on one side or both sides. When a magnetic field is applied, a transfer magnetic field is applied by the magnetic field generating means 5 while rotating the slave medium 2 and the master carrier 3 integrally, and the transfer information of the master carrier 3 is magnetically transferred and recorded on the recording surface of the slave medium 2. The magnetic field generating means 5 may be provided so as to rotate.

【0020】磁気転写が終了した後には、スレーブ媒体
2とマスター担体3との密着を解放し、スレーブ媒体2
をマスター担体3から分離して排出する。この磁気転写
後のスレーブ媒体2の記録面の表面には、潤滑剤を含む
溶液(例えば、シリコンオイルなど)をディップコー
ト、スピンコート、バーコートなどにより均等に塗布
し、乾燥して潤滑層を形成してなる。
After the magnetic transfer is completed, the close contact between the slave medium 2 and the master carrier 3 is released, and the slave medium 2
Is separated from the master carrier 3 and discharged. On the surface of the recording surface of the slave medium 2 after the magnetic transfer, a solution containing a lubricant (for example, silicon oil) is evenly applied by dip coating, spin coating, bar coating or the like, and dried to form a lubricating layer. Formed.

【0021】上記のような実施の形態によれば、磁気転
写時にはスレーブ媒体2の表面には潤滑層が形成されて
いないために、マスター担体3との密着力の増加がな
く、これにより、軽い力でスレーブ媒体2とマスター担
体3とを分離することができ、作業性が向上すると共
に、スレーブ媒体2の損傷防止およびマスター担体3の
高寿命化が図れる。また、密着時にマスター担体3に付
着している塵埃の吸着も発生せず、磁気転写後のスレー
ブ媒体に付着している塵埃も低減すると共に後処理で除
去可能であり、エラーレートの増大要因とならず、信頼
性を高めることができる。
According to the above-described embodiment, since the lubricating layer is not formed on the surface of the slave medium 2 during magnetic transfer, there is no increase in the adhesive force with the master carrier 3, so that the weight is light. The slave medium 2 and the master carrier 3 can be separated by force, so that the workability is improved, the slave medium 2 is prevented from being damaged, and the life of the master carrier 3 is extended. In addition, the dust adhering to the master carrier 3 is not attracted during the close contact, and the dust adhering to the slave medium after the magnetic transfer is reduced and can be removed by post-processing. In addition, reliability can be improved.

【0022】次に、図2は磁気転写の基本態様を示す図
である。(a)は磁場を一方向に印加してスレーブ媒体2
を初期直流磁化する工程、(b)はマスター担体3とスレ
ーブ媒体2とを密着して反対方向に磁界を印加する工
程、(c)は磁気転写後の状態をそれぞれ示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a basic mode of magnetic transfer. (a) shows a case where a magnetic field is applied in one direction and the slave medium 2 is applied.
Is a step of applying a magnetic field in the opposite direction by bringing the master carrier 3 and the slave medium 2 into close contact with each other, and (c) is a view showing a state after magnetic transfer.

【0023】まず図2(a)に示すように、スレーブ媒体
2に初期磁界Hinをトラック方向の一方向に印加して予
め初期磁化(直流消磁)を行う。その後、図2(b)に示す
ように、このスレーブ媒体2の磁気転写面とマスター担
体3の基板31の微細凹凸パターンに磁性層32が被覆
されてなる情報担持面とを密着させ、スレーブ媒体2の
トラック方向に前記初期磁界Hinとは逆方向に転写用磁
界Hduを印加して磁気転写を行う。その結果、図2(c)
に示すように、スレーブ媒体2の磁気記録面(トラッ
ク)にはマスター担体3の情報担持面の磁性層32の密
着突部と凹部空間との形成パターンに応じた情報が磁気
的に転写記録される。
First, as shown in FIG. 2A, an initial magnetic field Hin is applied to the slave medium 2 in one direction in the track direction to perform initial magnetization (DC demagnetization) in advance. Thereafter, as shown in FIG. 2 (b), the magnetic transfer surface of the slave medium 2 is brought into close contact with the information carrying surface of the master carrier 3 in which the magnetic layer 32 is coated on the fine uneven pattern of the substrate 31. The magnetic transfer is performed by applying a transfer magnetic field Hdu in the track direction 2 in a direction opposite to the initial magnetic field Hin. As a result, FIG.
As shown in (1), information according to the pattern of the formation of the contact projections and recesses of the magnetic layer 32 on the information carrying surface of the master carrier 3 is magnetically transferred and recorded on the magnetic recording surface (track) of the slave medium 2. You.

【0024】なお、上記マスター担体3の基板31の凹
凸パターンが図2のポジパターンと逆の凹凸形状のネガ
パターンの場合であっても、初期磁界Hinの方向および
転写用磁界Hduの方向を上記と逆方向にすることによっ
て同様の情報が磁気的に転写記録できる。
It should be noted that even if the concave / convex pattern of the substrate 31 of the master carrier 3 is a negative pattern having a concave / convex shape reverse to the positive pattern of FIG. 2, the direction of the initial magnetic field Hin and the direction of the transfer magnetic field Hdu are set to By reversing the direction, similar information can be magnetically transferred and recorded.

【0025】前記基板31がNiなどによる強磁性体の
場合はこの基板31のみで磁気転写は可能で、前記磁性
層32(軟磁性層)は被覆しなくてもよいが、転写特性
の良い磁性層32を設けることでより良好な磁気転写が
行える。基板31が非磁性体の場合は磁性層32を設け
ることが必要である。
When the substrate 31 is made of a ferromagnetic material such as Ni, magnetic transfer can be performed only with the substrate 31 and the magnetic layer 32 (soft magnetic layer) does not need to be covered. By providing the layer 32, better magnetic transfer can be performed. When the substrate 31 is a non-magnetic material, it is necessary to provide the magnetic layer 32.

【0026】強磁性金属による基板31に磁性層32を
被覆した場合に、基板31の磁性の影響を断つために、
基板31と磁性層32との間に非磁性層を設けることが
好ましい。さらに最上層にダイヤモンドライクカーボン
(DLC)等の保護膜を被覆し、この保護膜により接触
耐久性が向上し多数回の磁気転写が可能となる。DLC
保護膜の下層にSi膜をスパッタリング等で形成するよ
うにしてもよい。
When the magnetic layer 32 is coated on the substrate 31 made of a ferromagnetic metal, the influence of the magnetism of the substrate 31 is cut off.
It is preferable to provide a non-magnetic layer between the substrate 31 and the magnetic layer 32. Further, the uppermost layer is coated with a protective film such as diamond-like carbon (DLC), and this protective film improves contact durability and enables magnetic transfer many times. DLC
An Si film may be formed below the protective film by sputtering or the like.

【0027】マスター担体3について説明する。マスタ
ー担体3の基板31としては、ニッケル、シリコン、石
英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合
成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパ
ー法、フォトファブリケーション法等によって行われ
る。
The master carrier 3 will be described. As the substrate 31 of the master carrier 3, nickel, silicon, quartz plate, glass, aluminum, alloy, ceramics, synthetic resin, or the like is used. The formation of the concavo-convex pattern is performed by a stamper method, a photofabrication method, or the like.

【0028】スタンパー法は、表面が平滑なガラス板
(または石英板)の上にスピンコート等でフォトレジス
トを形成し、このガラス板を回転させながらサーボ信号
に対応して変調したレーザー光(または電子ビーム)を
照射し、フォトレジスト全面に所定のパターン、例えば
各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサー
ボ信号に相当するパターンを円周上の各フレームに対応
する部分に露光する。その後、フォトレジストを現像処
理し、露光部分を除去しフォトレジストによる凹凸形状
を有する原盤を得る。次に、原盤の表面の凹凸パターン
をもとに、この表面にメッキ(電鋳)を施し、ポジ状凹
凸パターンを有するNi基板を作成し、原盤から剥離す
る。この基板をそのままマスター担体とするか、または
凹凸パターン上に必要に応じて非磁性層、軟磁性層、保
護膜を被覆してマスター担体とする。
In the stamper method, a photoresist is formed on a glass plate (or quartz plate) having a smooth surface by spin coating or the like, and a laser beam (or a laser beam) modulated according to a servo signal while rotating the glass plate is formed. An electron beam (electron beam) is applied to expose a predetermined pattern on the entire surface of the photoresist, for example, a pattern corresponding to a servo signal extending linearly in the radial direction from the center of rotation to each track on a portion corresponding to each frame on the circumference. Thereafter, the photoresist is developed and the exposed portions are removed to obtain a master having an uneven shape due to the photoresist. Next, based on the concave / convex pattern on the surface of the master, plating (electroforming) is performed on the surface to form a Ni substrate having a positive concave / convex pattern, and the Ni substrate is separated from the master. This substrate is used as a master carrier as it is, or a non-magnetic layer, a soft magnetic layer, and a protective film are coated on the concavo-convex pattern as needed to obtain a master carrier.

【0029】また、前記原盤にメッキを施して第2の原
盤を作成し、この第2の原盤を使用してメッキを行い、
ネガ状凹凸パターンを有する基板を作成してもよい。さ
らに、第2の原盤にメッキを行うか樹脂液を押し付けて
硬化を行って第3の原盤を作成し、第3の原盤にメッキ
を行い、ポジ状凹凸パターンを有する基板を作成しても
よい。
Further, a plating is performed on the master to form a second master, and plating is performed using the second master.
A substrate having a negative concavo-convex pattern may be produced. Further, a second master may be plated or pressed with a resin solution and cured to form a third master, and the third master may be plated to form a substrate having a positive concavo-convex pattern. .

【0030】一方、前記ガラス板にフォトレジストによ
るパターンを形成した後、エッチングしてガラス板に穴
を形成し、フォトレジストを除去した原盤を得て、以下
前記と同様に基板を形成するようにしてもよい。
On the other hand, after forming a pattern with a photoresist on the glass plate, etching is performed to form a hole in the glass plate, and a master from which the photoresist has been removed is obtained. Thereafter, a substrate is formed in the same manner as described above. You may.

【0031】金属による基板の材料としては、Niもし
くはNi合金を使用することができ、この基板を作成す
る前記メッキは、無電解メッキ、電鋳、スパッタリン
グ、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法が適
用できる。基板の凹凸パターンの深さ(突起の高さ)
は、80nm〜800nmの範囲が好ましく、より好ま
しくは150nm〜600nmである。この凹凸パター
ンはサーボ信号の場合は、半径方向に長く形成される。
例えば、半径方向の長さは0.3〜20μm、円周方向
は0.2〜5μmが好ましく、この範囲で半径方向の方
が長いパターンを選ぶことがサーボ信号の情報を担持す
るパターンとして好ましい。
As the material of the substrate made of metal, Ni or Ni alloy can be used. The plating for forming this substrate is performed by various kinds of metal film formation including electroless plating, electroforming, sputtering, and ion plating. Law is applicable. Depth of uneven pattern on substrate (height of protrusion)
Is preferably in the range of 80 nm to 800 nm, more preferably 150 nm to 600 nm. This concavo-convex pattern is formed long in the radial direction in the case of a servo signal.
For example, the length in the radial direction is preferably from 0.3 to 20 μm, and the length in the circumferential direction is preferably from 0.2 to 5 μm. It is preferable to select a pattern that is longer in the radial direction in this range as a pattern carrying servo signal information. .

【0032】前記磁性層32(軟磁性層)の形成は、磁
性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレー
ティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜
する。磁性層の磁性材料としては、Co、Co合金(C
oNi、CoNiZr、CoNbTaZr等)、Fe、
Fe合金(FeCo、FeCoNi、FeNiMo、F
eAlSi、FeAl、FeTaN)、Ni、Ni合金
(NiFe)が用いることができる。特に好ましくはF
eCo、FeCoNiである。磁性層の厚みは、50n
m〜500nmの範囲が好ましく、さらに好ましくは1
50nm〜400nmである。また磁性層の下層に下地
層として設ける非磁性層の材料としては、Cr、CrT
i、CoCr、CrTa、CrMo、NiAl、Ru、
C、Ti、Al、Mo、W、Ta、Nb等を用いる。こ
の非磁性層は基板が強磁性体の場合における信号品位の
劣化を抑制できる。
The magnetic layer 32 (soft magnetic layer) is formed by depositing a magnetic material by vacuum deposition such as vacuum deposition, sputtering, or ion plating, or by plating. As the magnetic material of the magnetic layer, Co, a Co alloy (C
oNi, CoNiZr, CoNbTaZr, etc.), Fe,
Fe alloys (FeCo, FeCoNi, FeNiMo, F
eAlSi, FeAl, FeTaN), Ni, and Ni alloy (NiFe) can be used. Particularly preferably, F
eCo and FeCoNi. The thickness of the magnetic layer is 50n
m to 500 nm, more preferably 1 to 500 nm.
It is 50 nm to 400 nm. The material of the nonmagnetic layer provided as an underlayer below the magnetic layer may be Cr, CrT
i, CoCr, CrTa, CrMo, NiAl, Ru,
C, Ti, Al, Mo, W, Ta, Nb and the like are used. This nonmagnetic layer can suppress deterioration of signal quality when the substrate is a ferromagnetic material.

【0033】なお、磁性層の上にDLC等の保護膜を設
けることが好ましく、潤滑剤層を設けても良い。また保
護膜として5〜30nmのDLC膜と潤滑剤層が存在す
ることがさらに好ましい。また、磁性層と保護膜の間
に、Si等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤は、ス
レーブ媒体との接触過程で生じるずれを補正する際の、
摩擦による傷の発生などの耐久性の劣化を改善する。
Preferably, a protective film such as DLC is provided on the magnetic layer, and a lubricant layer may be provided. More preferably, a DLC film of 5 to 30 nm and a lubricant layer are present as a protective film. Further, an adhesion strengthening layer such as Si may be provided between the magnetic layer and the protective film. The lubricant is used to compensate for the displacement that occurs during the contact process with the slave medium.
Improves durability deterioration such as generation of scratches due to friction.

【0034】前記原盤を用いて樹脂基板を作製し、その
表面に磁性層を設けてマスター担体としてもよい。樹脂
基板の樹脂材料としては、ポリカーボネート・ポリメチ
ルメタクリレートなどのアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル
・塩化ビニル共重合体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ
樹脂、アモルファスポリオレフィンおよびポリエステル
などが使用可能である。耐湿性、寸法安定性および価格
などの点からポリカーボネートが好ましい。成形品にバ
リがある場合は、バーニシュまたはポリッシュにより除
去する。また、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂などを
使用して、原盤にスピンコート、バーコート塗布で形成
してもよい。樹脂基板のパターン突起の高さは、50〜
1000nmの範囲が好ましく、さらに好ましくは20
0〜500nmの範囲である。
A master substrate may be prepared by preparing a resin substrate using the master and providing a magnetic layer on the surface of the resin substrate. As a resin material for the resin substrate, an acrylic resin such as polycarbonate / polymethyl methacrylate, a vinyl chloride resin such as polyvinyl chloride / vinyl chloride copolymer, an epoxy resin, an amorphous polyolefin, and a polyester can be used. Polycarbonate is preferred in terms of moisture resistance, dimensional stability, cost, and the like. If there are burrs on the molded product, they are removed by varnish or polish. Alternatively, the master may be formed by spin coating or bar coating using an ultraviolet curable resin, an electron beam curable resin, or the like. The height of the pattern protrusion of the resin substrate is 50 to
The range of 1000 nm is preferred, more preferably 20 nm.
The range is from 0 to 500 nm.

【0035】前記樹脂基板の表面の微細パターンの上に
磁性層を被覆しマスター担体を得る。磁性層の形成は、
磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ
ーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成
膜する。
A master layer is obtained by coating a magnetic layer on the fine pattern on the surface of the resin substrate. The formation of the magnetic layer
The magnetic material is formed by a vacuum film forming method such as a vacuum evaporation method, a sputtering method, or an ion plating method, or a plating method.

【0036】一方、フォトファブリケーション法は、例
えば、平板状の基板の平滑な表面にフォトレジストを塗
布し、サーボ信号のパターンに応じたフォトマスクを用
いた露光、現像処理により、情報に応じたパターンを形
成する。次いで、エッチング工程により、パターンに応
じて基板のエッチングを行い、磁性層の厚さに相当する
深さの穴を形成する。次いで、磁性材料を真空蒸着法、
スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成
膜手段、メッキ法により、形成した穴に対応した厚さで
基板の表面まで磁性材料を成膜する。次いで、フォトレ
ジストをリフトオフ法で除去し、表面を研磨して、ばり
がある場合は取り除くと共に、表面を平滑化する。
On the other hand, in the photofabrication method, for example, a photoresist is applied to a smooth surface of a flat substrate, and exposure and development using a photomask corresponding to a servo signal pattern are performed. Form a pattern. Next, in the etching step, the substrate is etched according to the pattern, and a hole having a depth corresponding to the thickness of the magnetic layer is formed. Next, a vacuum deposition method of a magnetic material,
A magnetic material is formed to a thickness corresponding to the formed holes by a vacuum film forming means such as a sputtering method or an ion plating method or a plating method to the surface of the substrate. Next, the photoresist is removed by a lift-off method, and the surface is polished to remove any burrs and to smooth the surface.

【0037】スレーブ媒体2について述べる。スレーブ
媒体としては塗布型磁気記録媒体、あるいは金属薄膜型
磁気記録媒体を用いる。塗布型磁気記録媒体としては高
密度フレキシブルディスクなどの市販媒体が挙げられ
る。金属薄膜型磁気記録媒体については、まず磁性材料
としてはCo、Co合金(CoPtCr、CoCr、C
oPtCrTa、CoPtCrNbTa、CoCrB、
CoNi等)、Fe、Fe合金(FeCo、FePt、
FeCoNi)を用いることができる。これは磁束密度
が大きいこと、スレーブ媒体と同じ方向(面内記録なら
面内方向、垂直なら垂直方向)の磁気異方性を有してい
ることが、明瞭な転写が行えるため好ましい。そして磁
性材料の下(支持体側)に必要な磁気異方性をつけるた
めに非磁性の下地層を設けることが好ましい。結晶構造
と格子常数を磁性層に合わすことが必要である。そのた
めにはCr、CrTi、CoCr、CrTa、CrM
o、NiAl、Ru等を用いる。
The slave medium 2 will be described. As a slave medium, a coating type magnetic recording medium or a metal thin film type magnetic recording medium is used. Commercially available media such as high-density flexible disks are examples of the coating type magnetic recording media. Regarding the metal thin-film type magnetic recording medium, first, Co, a Co alloy (CoPtCr, CoCr, C
oPtCrTa, CoPtCrNbTa, CoCrB,
CoNi, etc.), Fe, Fe alloys (FeCo, FePt,
FeCoNi) can be used. It is preferable that the magnetic flux density is large and that the magnetic recording medium has magnetic anisotropy in the same direction as the slave medium (in-plane direction for in-plane recording, perpendicular direction for perpendicular) because clear transfer can be performed. It is preferable to provide a non-magnetic underlayer under the magnetic material (on the side of the support) to provide the necessary magnetic anisotropy. It is necessary to match the crystal structure and lattice constant to the magnetic layer. For that purpose, Cr, CrTi, CoCr, CrTa, CrM
o, NiAl, Ru or the like is used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一つの実施の形態に係る磁気転写方法
における要部斜視図
FIG. 1 is a perspective view of a main part of a magnetic transfer method according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態に係る磁気転写方法の基本
工程を示す図
FIG. 2 is a diagram showing basic steps of a magnetic transfer method according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 スレーブ媒体 3 マスター担体 5 磁界生成手段 2 slave medium 3 master carrier 5 magnetic field generating means

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 情報信号が担持されたマスター担体と、
使用状態においては記録面の表面に潤滑層が形成されて
いるスレーブ媒体とを密着させ転写用磁界を印加して磁
気転写を行う磁気転写方法において、 前記潤滑層が形成される前のスレーブ媒体とマスター担
体とを密着させて磁気転写を行うことを特徴とする磁気
転写方法。
1. A master carrier carrying an information signal,
In a use state, in a magnetic transfer method in which a slave medium having a lubricating layer formed on the surface of a recording surface is brought into close contact and a transfer magnetic field is applied to perform magnetic transfer, the slave medium before the lubricating layer is formed A magnetic transfer method, wherein magnetic transfer is performed by closely adhering to a master carrier.
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