JP2002167607A - Electric pressure sintering apparatus - Google Patents

Electric pressure sintering apparatus

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JP2002167607A
JP2002167607A JP2000365284A JP2000365284A JP2002167607A JP 2002167607 A JP2002167607 A JP 2002167607A JP 2000365284 A JP2000365284 A JP 2000365284A JP 2000365284 A JP2000365284 A JP 2000365284A JP 2002167607 A JP2002167607 A JP 2002167607A
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JP
Japan
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sintering
chamber
mold
gate valve
unit
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Application number
JP2000365284A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeharu Ochi
重治 越智
Tatsuro Araki
達朗 荒木
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Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Heavy Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electric pressure sintering apparatus which can be automated, improve the efficiency in the case of manufacturing sintered stocks, and realize mass production. SOLUTION: This electric pressure sintering apparatus 1 having a pair of sintering shafts for performing the electric pressure sintering of a sintering die 80 with the powder m to be sintered in the vertical direction and a vacuum chamber 2 for sealing the sintering die 80 comprises a spare chamber 202 provided adjacent to the vacuum chamber 2, an evacuating means for evacuating the spare chamber 202, an inner gate valve 205 provided in an opening/closing manner between the spare chamber 202 and the vacuum chamber 2, a between- chamber moving means for taking in/taking out the sintering die 80 between the vacuum chamber 2 and the spare chamber 202 when the inner gate valve 205 is opened, an outer gate valve 208 provided in an opening/closing manner at an appropriate location of the spare chamber 202, and a carrying-in/carrying- out means 219 for carrying the sintering die 80 in/out of the spare chamber 202 when the outer gate valve 208 is opened.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、通電加圧焼結装置
に関する。さらに詳しくは、内部に金属やセラミックス
等の被焼結粉末が入れられた焼結型を加圧しながら通電
し、通電により焼結型を発熱させ被焼結粉末を焼結させ
る通電加圧焼結装置に関する。
[0001] The present invention relates to an electric pressure sintering apparatus. More specifically, energization is performed while applying pressure to a sintering mold in which powder to be sintered such as metal or ceramics is placed, and the energization causes the sintering mold to generate heat and sinter the powder to be sintered. Related to the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】図8は従来の通電加圧焼結装置の概略説
明図である。同図に示すように、従来の通電加圧焼結装
置101 は、トンネル状の構造であって、その入口と出口
に開閉自在に設けられた型搬入ゲート201 および型搬出
ゲート204 によって通電加圧焼結装置101 の内部が外部
から気密に密閉されている。また、型搬入ゲート201、2
04 間の空間は、焼結室搬入ゲート202 および冷却室搬
入ゲート203 によって3つの空間に仕切られている。各
空間は、型搬入ゲート201 から順に、予熱室130、焼結
室120 、冷却室140 となっている。
2. Description of the Related Art FIG. 8 is a schematic explanatory view of a conventional electric pressure sintering apparatus. As shown in the figure, the conventional electric pressure sintering apparatus 101 has a tunnel-like structure, and is electrically pressurized by a mold loading gate 201 and a mold unloading gate 204 provided at the entrance and the exit thereof so as to be openable and closable. The inside of the sintering apparatus 101 is hermetically sealed from the outside. Also, the mold loading gates 201 and 2
The space between 04 is divided into three spaces by a sintering chamber entrance gate 202 and a cooling chamber entrance gate 203. Each space includes a preheating chamber 130, a sintering chamber 120, and a cooling chamber 140 in order from the mold loading gate 201.

【0003】予熱室130 は、被焼結粉末mを予熱するた
めの空間である。焼結室120 は、予熱された被焼結粉末
mを焼結するための空間である。冷却室140 は、焼結さ
れた被焼結粉末mを冷却するための空間である。
A preheating chamber 130 is a space for preheating the powder m to be sintered. The sintering chamber 120 is a space for sintering the preheated powder m to be sintered. The cooling chamber 140 is a space for cooling the sintered powder m to be sintered.

【0004】予熱室130 、焼結室120 および冷却室140
には、焼結型80を載せて搬送するためのローラテーブ
ル210 〜213 がそれぞれ設けられている。ローラテーブ
ル210 〜213 には、複数本の円筒状のローラが水平に並
べられている。このため、焼結型80をローラテーブル
210 〜213 のローラ上に載せて、ローラを転動させれ
ば、焼結型80はローラ上を移動する。よって、ローラ
テーブル210 〜213 によって焼結型80を、予熱室130
→焼結室120 →冷却室140 の順に搬送することができ
る。
A preheating chamber 130, a sintering chamber 120 and a cooling chamber 140
Are provided with roller tables 210 to 213 for carrying the sintering die 80 thereon. On the roller tables 210 to 213, a plurality of cylindrical rollers are horizontally arranged. For this reason, the sintering mold 80 is
If the rollers are rolled while placed on rollers 210 to 213, the sintering mold 80 moves on the rollers. Therefore, the sintering mold 80 is moved by the roller tables 210 to 213 to the preheating chamber 130.
→ Sintering chamber 120 → Cooling chamber 140

【0005】つぎに、従来の通電加圧焼結装置によっ
て、複数の被焼結粉末mを連続して焼結する作業を説明
する。図8に示すように、連続して被焼結粉末mを焼結
する場合には、焼結のサイクルタイムを短くするため
に、予熱室130 、焼結室120 および冷却室140 に、焼結
型80をそれぞれ収容して、予熱、焼結、冷却の作業を
同時に行う。このとき、各室は真空に保たれている。
Next, an operation of continuously sintering a plurality of powders m to be sintered by a conventional electric pressure sintering apparatus will be described. As shown in FIG. 8, in the case of continuously sintering the powder m to be sintered, in order to shorten the cycle time of sintering, the preheating chamber 130, the sintering chamber 120 and the cooling chamber 140 are sintered. Each of the molds 80 is housed, and preheating, sintering, and cooling operations are performed simultaneously. At this time, each chamber is kept in a vacuum.

【0006】各作業が全て終了すると、まず、冷却室14
0 内を大気圧に戻し、型搬出ゲート204 を開いて冷却室
140 から焼結型80を、手によって搬出する。
When all the operations are completed, first, the cooling chamber 14
0 to the atmospheric pressure, open the mold discharge gate 204 and open the cooling chamber
From 140, the sintering mold 80 is unloaded by hand.

【0007】ついで、型搬出ゲート204 を閉じて冷却室
140 を真空(1回目)にして、冷却室搬入ゲート203 を
開いてローラテーブル212 、213 によって、焼結室120
から冷却室140 に焼結型80を搬送し、冷却室搬入ゲー
ト203 を閉める。
Next, the mold discharge gate 204 is closed and the cooling chamber is closed.
140 is evacuated (first time), the cooling chamber entrance gate 203 is opened, and the sintering chamber 120 is opened by the roller tables 212 and 213.
Then, the sintering mold 80 is transferred to the cooling chamber 140, and the cooling chamber entrance gate 203 is closed.

【0008】ついで、焼結室搬入ゲート202 を開き、ロ
ーラテーブル211 によって予熱室130 から焼結室120 ま
で焼結型80を搬送し、焼結室搬入ゲート202 を閉め
る。
Next, the sintering chamber entrance gate 202 is opened, the sintering mold 80 is transported from the preheating chamber 130 to the sintering chamber 120 by the roller table 211, and the sintering chamber entrance gate 202 is closed.

【0009】ついで、予熱室130 内部を大気圧にし、型
搬入ゲート201 を開けて予熱室130内に焼結型80を、
手によって搬入し、型搬入ゲート201 を閉める。最後
に、予熱室130 内を真空(2回目)にすれば、新しい焼
結型80の搬入が終了する。
Next, the interior of the preheating chamber 130 is set to the atmospheric pressure, the mold loading gate 201 is opened, and the sintered mold 80 is placed in the preheating chamber 130.
The mold is loaded by hand, and the mold loading gate 201 is closed. Finally, if the inside of the preheating chamber 130 is evacuated (second time), the loading of the new sintering mold 80 is completed.

【0010】新しい焼結型80の搬入が終了すると、予
熱室130 、冷却室140 および焼結室120 において予熱、
焼結、冷却の作業を同時に行う。
When the loading of the new sintering mold 80 is completed, the preheating chamber 130, the cooling chamber 140, and the sintering chamber 120 perform preheating,
Sintering and cooling work are performed simultaneously.

【0011】上記の作業を繰り返すことによって、連続
して焼結品を製造することができる。
By repeating the above operation, a sintered product can be manufactured continuously.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかるに、焼結型80
は、予熱室130 から冷却室140 までは、ローラテーブル
210 〜213 によって自動的に搬送されるが、外部から予
熱室130 への焼結型80の搬入、および冷却室140 から
外部への焼結型80の搬出は、人の手によって行われて
おり、手間と時間がかかるという問題がある。また、焼
結型80の冷却時間は、通常焼結時間の5〜6倍の時間
を要するため、焼結や余熱の作業が終了しても、冷却の
作業が終了するまで、新しい焼結型80を搬入すること
ができない。焼結品を製造する効率が悪いという問題が
ある。
However, the sintering mold 80
Is a roller table from the preheating chamber 130 to the cooling chamber 140
The sintering die 80 is automatically transferred from the outside to the preheating chamber 130, and the sintering die 80 is transferred from the cooling chamber 140 to the outside by manual operation. However, there is a problem that it takes time and effort. Also, since the cooling time of the sintering mold 80 usually requires 5 to 6 times the sintering time, even if the work of sintering and residual heat is completed, a new sintering mold is required until the cooling work is completed. 80 cannot be carried in. There is a problem that the efficiency of manufacturing a sintered product is low.

【0013】本発明はかかる事情に鑑み、自動化が可能
であり、焼結品を製造する効率を良くすることができ、
量産化が可能である通電加圧焼結装置を提供することを
目的とする。
In view of such circumstances, the present invention can be automated, and can improve the efficiency of producing a sintered product.
It is an object of the present invention to provide an electric pressure sintering apparatus that can be mass-produced.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の通電加圧焼結
装置は、被焼結粉末を入れた焼結型を上下方向に加圧焼
結するための一対の焼結軸と、前記焼結型を密閉し真空
に保たれる真空チャンバとを備えた通電加圧焼結装置で
あって、前記真空チャンバに隣接して設けられた予備チ
ャンバと、該予備チャンバ内を真空にするための真空引
き手段と、前記予備チャンバと前記真空チャンバとの間
に開閉自在に設けられた内側ゲート弁と、該内側ゲート
弁の開弁時に、前記真空チャンバと前記予備チャンバと
の間で前記焼結型を出し入れさせるチャンバ間移動手段
と、前記予備チャンバの適所に開閉自在に設けられた外
側ゲート弁と、該外側ゲート弁の開弁時に、前記予備チ
ャンバ内に焼結型を搬入・搬出させる搬入出手段とから
なることを特徴とする。請求項2の通電加圧焼結装置
は、請求項1記載の発明において、前記真空チャンバ内
において、水平面内で回転自在に設けられ、前記一対の
焼結軸の間を周縁部が通過するロータリテーブルと、該
ロータリテーブルの周縁部に沿って複数箇所設けられ、
前記一対の焼結軸間に挟まれる焼結型を保持するための
型保持部とからなり、前記予備チャンバが、前記焼結軸
よりも前記ロータリテーブルの回転方向の後方に設けら
れたことを特徴とする。請求項3の通電加圧焼結装置
は、請求項1または2記載の発明において、前記焼結型
がトレイに載せられて焼結型ユニットを構成しており、
前記トレイには引掛部が形成されており、底部に焼結軸
が挿入しうる焼結用孔が形成され、前記チャンバ間移動
手段が、伸縮自在なシリンダであり、該シリンダのロッ
ドの先端に前記トレイの引掛部を着脱しうる着脱部を備
えたことを特徴とする。請求項4の通電加圧焼結装置
は、請求項1、2または3記載の発明において、前記焼
結型がトレイに載せられて焼結型ユニットを構成してお
り、前記搬入出手段が、前記焼結型ユニットを搬入する
ための搬入コンベアと、該搬入コンベア上の焼結型を前
記外側ゲート弁から予備チャンバ内に押入する搬入シリ
ンダと、前記焼結型ユニットを次工程へ搬出するための
搬出コンベアと、前記予備チャンバ内の焼結型ユニット
を、前記外側ゲート弁から搬出コンベア上へ押出す搬出
シリンダとからなることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an electric current pressure sintering apparatus comprising: a pair of sintering shafts for vertically sintering a sintering mold containing powder to be sintered; What is claimed is: 1. A current-pressing and sintering apparatus comprising a vacuum chamber in which a sintering mold is sealed and kept in a vacuum, comprising: a preliminary chamber provided adjacent to said vacuum chamber; and a vacuum in said preliminary chamber. A vacuum evacuation means, an inner gate valve provided to be openable and closable between the preliminary chamber and the vacuum chamber, and the firing between the vacuum chamber and the preliminary chamber when the inner gate valve is opened. Inter-chamber moving means for taking the mold in and out, an outer gate valve provided to be openable and closable at an appropriate position in the spare chamber, and a sintering mold carried into and out of the spare chamber when the outer gate valve is opened. It is characterized by comprising a loading and unloading means That. According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the rotary sintering apparatus is provided so as to be rotatable in a horizontal plane in the vacuum chamber, and a peripheral portion passes between the pair of sintering shafts. A table, provided at a plurality of locations along the periphery of the rotary table,
And a mold holding portion for holding a sintering mold sandwiched between the pair of sintering shafts, wherein the preliminary chamber is provided behind the sintering shaft in the rotation direction of the rotary table. Features. According to a third aspect of the present invention, the sintering mold is placed on a tray to constitute a sintering mold unit.
A catch portion is formed on the tray, a sintering hole into which a sintering shaft can be inserted is formed at the bottom, and the inter-chamber moving means is a telescopic cylinder. It is characterized by comprising a detachable portion capable of attaching and detaching the hook portion of the tray. According to a fourth aspect of the present invention, the sintering die is placed on a tray to form a sintering die unit. A carry-in conveyor for carrying in the sintering mold unit, a carry-in cylinder for pushing the sintering mold on the carry-in conveyor from the outer gate valve into the preliminary chamber, and carrying out the sintering mold unit to the next step. And a discharge cylinder for extruding the sintering unit in the preliminary chamber from the outer gate valve onto the discharge conveyor.

【0015】請求項1の発明によれば、真空チャンバ内
を真空に保ち、かつ、外側ゲート弁と内側ゲート弁がい
ずれも閉弁した状態で、真空引き手段によって予備チャ
ンバ内を真空にした後、内側ゲート弁のみ開弁させる。
すると、真空チャンバ内を真空に保ったまま、真空チャ
ンバと予備チャンバ間を連通させることができ、チャン
バ間移動手段によって、真空チャンバ内と予備チャンバ
内との間で、焼結型を双方向に移動できる。また、真空
チャンバと予備チャンバをいずれも真空に保った状態
で、内側ゲート弁を閉弁してから外側ゲート弁を開弁さ
せる。すると、真空チャンバ内を真空に保った状態で予
備チャンバのみを外部に開放することができ、搬入出手
段によって、焼結型を予備チャンバ内に搬入、搬出させ
ることができる。したがって、焼結型の搬入から焼結、
搬出までの作業を自動化できる。請求項2の発明によれ
ば、型保持部に焼結型を保持させて、ロータリテーブル
を回転させれば、各焼結型を順次一対の焼結軸間に位置
させることができる。このため、一対の焼結軸によっ
て、焼結型を順次焼結できる。しかも、焼結処理された
後の焼結型は、当該焼結型に後続の焼結型が順次焼結さ
れる間に、ロータリテーブルの回転により内側ゲートの
位置まで移動し、型保持部に保持されたまま次第に冷却
していく。したがって、1つの焼結型を冷却している間
に、他の焼結型を焼結することができるので、焼結品を
製造する効率が良くすることができ、生産性が向上し、
量産化が可能である。請求項3の発明によれば、チャン
バ間移動用のシリンダのロッドの先端に設けられた着脱
部を、トレイの引掛部に装着して、シリンダを伸縮させ
るだけで、焼結型ユニットを真空チャンバと予備チャン
バの間で双方向に移動させることができる。よって、焼
結型ユニットを真空チャンバ内に出し入れする機構を簡
単に構成させることができる。また、トレイの底部には
焼結軸が挿入しうる焼結用孔が形成されているので、ト
レイに載せたまま焼結型をロータリテーブルの型保持部
に載せても、焼結軸によって焼結型を加圧焼結すること
ができる。請求項4の発明によれば、搬入シリンダを伸
長するだけで、焼結型ユニットを搬入コンベアから予備
チャンバ内に押し入れることができる。また、搬出シリ
ンダを伸長するだけで、焼結型ユニットを予備チャンバ
から搬出コンベアに押し出すことができる。さらに、搬
入コンベアおよび搬出コンベアは、ともに一方向にのみ
駆動させれば焼結型ユニットの搬入と搬出を行うことが
できる。したがって、予備チャンバに焼結型ユニットを
搬入、搬出する機構を簡単に構成させることができ、予
備チャンバに焼結型ユニットを搬入、搬出するタイミン
グは、搬入・搬出シリンダの伸縮と、搬入コンベアの駆
動のみを制御すればよく、制御が簡単である。
According to the first aspect of the present invention, after the inside of the preparatory chamber is evacuated by the evacuation means in a state where the inside of the vacuum chamber is kept at a vacuum and the outer gate valve and the inner gate valve are both closed. Open only the inside gate valve.
Then, communication between the vacuum chamber and the preliminary chamber can be made while maintaining the vacuum in the vacuum chamber, and the sintering mold is bidirectionally moved between the vacuum chamber and the preliminary chamber by the inter-chamber moving means. You can move. Further, with both the vacuum chamber and the spare chamber kept in vacuum, the inner gate valve is closed and then the outer gate valve is opened. Then, only the preliminary chamber can be opened to the outside while the vacuum chamber is kept in a vacuum, and the sintering mold can be carried into and out of the preliminary chamber by the carrying-in / out means. Therefore, sintering from delivery of the sintering mold,
The work up to carrying out can be automated. According to the second aspect of the present invention, by rotating the rotary table while holding the sintering mold on the mold holding unit, each sintering mold can be sequentially positioned between the pair of sintering shafts. Therefore, the sintering mold can be sequentially sintered by the pair of sintering shafts. In addition, the sintering mold after the sintering process is moved to the position of the inner gate by rotation of the rotary table while the subsequent sintering dies are sequentially sintered to the sintering mold, and is moved to the mold holding portion. It is gradually cooled while being held. Therefore, while one sintering mold is being cooled, another sintering mold can be sintered, so that the efficiency of manufacturing a sintered product can be improved, and the productivity can be improved.
Mass production is possible. According to the third aspect of the present invention, the sintering unit can be mounted in the vacuum chamber simply by attaching and detaching the attachment / detachment portion provided at the tip of the rod of the cylinder for moving between chambers to the hook of the tray and extending and contracting the cylinder. It can be moved bidirectionally between and the reserve chamber. Therefore, the mechanism for taking the sintered mold unit in and out of the vacuum chamber can be simply configured. Further, since a sintering hole into which the sintering shaft can be inserted is formed at the bottom of the tray, even if the sintering die is placed on the mold holding portion of the rotary table while being placed on the tray, the sintering shaft is used for sintering. The mold can be pressure sintered. According to the fourth aspect of the present invention, the sintering unit can be pushed into the spare chamber from the carry-in conveyor simply by extending the carry-in cylinder. Further, the sintering unit can be pushed out of the preliminary chamber to the carry-out conveyor simply by extending the carry-out cylinder. Furthermore, when both the carry-in conveyor and the carry-out conveyor are driven in only one direction, the carry-in and carry-out of the sintering unit can be performed. Therefore, the mechanism for loading and unloading the sintering unit into and from the preliminary chamber can be easily configured. Only the drive needs to be controlled, and the control is simple.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施形態を図面
に基づき説明する。図1は本実施形態の通電加圧焼結装
置1の横断面概略説明図である。図2は図1のA-0-A 線
断面図である。図1および図2に示すように、本実施形
態の通電加圧焼結装置1は、被焼結粉末mを入れた焼結
型80を加圧焼結して冷却する焼結冷却部10と、焼結
型80を焼結冷却部10に搬入・搬出させる焼結型ユニ
ット搬入出部200 とから構成されている。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional explanatory view of an electric pressure sintering apparatus 1 of the present embodiment. FIG. 2 is a sectional view taken along line A-0-A of FIG. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the current-pressure sintering apparatus 1 of the present embodiment includes a And a sintering unit loading / unloading unit 200 for loading / unloading the sintering die 80 to / from the sintering cooling unit 10.

【0017】まず、焼結冷却部10および焼結型ユニッ
ト搬入出部200 を説明する前に、両者の間を移動される
焼結型80について説明する。焼結型80は、モールド
81および上下一対のダイス82、83から構成された
ものである。モールド81は、中空部分を備えた円筒状
に形成されたものである。各ダイス82、83は、モー
ルド81の中空部分と同一径の円柱状に形成されたもの
である。このため、モールド81の中空部分に上下一対
のダイス82、83で銅(Cu)やニッケル(Ni)、
アルミナ(Al2O3)等の被焼結粉末mを気密に収容する
ことができる。
First, before explaining the sintering cooling section 10 and the sintering mold unit loading / unloading section 200, the sintering mold 80 moved between them will be described. The sintering mold 80 includes a mold 81 and a pair of upper and lower dies 82 and 83. The mold 81 is formed in a cylindrical shape having a hollow portion. Each of the dies 82 and 83 is formed in a columnar shape having the same diameter as the hollow portion of the mold 81. Therefore, copper (Cu), nickel (Ni),
The powder m to be sintered such as alumina (Al 2 O 3 ) can be stored in an airtight manner.

【0018】この焼結型80はトレイ85に載せられて
いる。このトレイ85は、焼結型80を載せるための水
平な底部86と、底部86の一端に突起状に形成された
引掛部89を備えており、側面視L字状をしている。底
部86には、その上面と下面を貫通する焼結用孔87が
形成されている。この焼結用孔87は、その内径が、焼
結型80のダイス83および下加圧電極軸27の外形よ
り大きく、かつモールド81の外形より小さくなるよう
に形成されている。また、焼結用孔87の上端部には、
底部86の上面より円形に凹んだ保持座88が設けられ
ている。このため、トレイ85の焼結用孔87に焼結型
80のダイス83を挿入し、保持座88にモールド81
を載せれば、トレイ85によって焼結型80が保持され
る。このように、焼結型80がトレイ85に載せられて
焼結型ユニット75を構成している。前記引掛部89に
ついての詳細は後述する。
The sintering mold 80 is placed on a tray 85. The tray 85 has a horizontal bottom portion 86 on which the sintering die 80 is placed, and a hook portion 89 formed in a protruding shape at one end of the bottom portion 86, and has an L-shape in side view. The bottom portion 86 is formed with a sintering hole 87 penetrating the upper surface and the lower surface. The sintering hole 87 is formed such that its inner diameter is larger than the outer shape of the die 83 and the lower pressurizing electrode shaft 27 of the sintering die 80 and smaller than the outer shape of the mold 81. Also, at the upper end of the sintering hole 87,
A holding seat 88 that is circularly recessed from the upper surface of the bottom 86 is provided. Therefore, the die 83 of the sintering die 80 is inserted into the sintering hole 87 of the tray 85, and the mold 81 is inserted into the holding seat 88.
Is placed on the tray 85, the sintering mold 80 is held by the tray 85. Thus, the sintering mold 80 is placed on the tray 85 to constitute the sintering mold unit 75. Details of the hook 89 will be described later.

【0019】さて、焼結冷却部10を説明する。焼結冷
却部10は、真空チャンバ2、焼結部20およびロータ
リテーブル5から基本構成されている。
Now, the sintering cooling section 10 will be described. The sintering cooling unit 10 basically includes a vacuum chamber 2, a sintering unit 20, and a rotary table 5.

【0020】まず、焼結部20を説明する。図1にに示
すように、焼結部20は、側面視略コの字状をしてお
り、上下一対の上下ベース21a、21bを備えている。下ベ
ース21bの上面には、油圧シリンダ29が、そのピス
トンロッドが垂直上向きに設けられている。
First, the sintering section 20 will be described. As shown in FIG. 1, the sintered portion 20 has a substantially U-shape in side view, and includes a pair of upper and lower bases 21a and 21b. On the upper surface of the lower base 21b, a hydraulic cylinder 29 is provided with its piston rod vertically upward.

【0021】上ベース21aの下面には、垂直下向きに
上加圧電極軸26の上端が固定されている。この上加圧
電極軸26の下方には、その軸中心が一致するように、
下加圧電極軸27が垂直上向きに設けられている。この
下加圧電極軸27の下端は、前記油圧シリンダ29のピ
ストンロッドに取り付けられている。このため、油圧シ
リンダ29によって、下加圧電極軸27を、下ベース2
1bに対して、昇降自在に移動することができる。した
がって、前記油圧シリンダ29によって下加圧電極軸2
7を上昇させれば、一対の上下加圧電極軸26、27の
間に焼結型80を挟んで、加圧することができる。
On the lower surface of the upper base 21a, the upper end of an upper pressure electrode shaft 26 is fixed vertically downward. Below the upper pressurizing electrode shaft 26, the center of the shaft is aligned,
The lower pressure electrode shaft 27 is provided vertically upward. The lower end of the lower pressure electrode shaft 27 is attached to a piston rod of the hydraulic cylinder 29. For this reason, the lower pressure electrode shaft 27 is moved by the hydraulic cylinder 29 to the lower base 2.
1b, it can move up and down freely. Therefore, the lower pressure electrode shaft 2 is
If 7 is raised, it is possible to press the sintering mold 80 between the pair of upper and lower pressing electrode shafts 26 and 27 and pressurize the shaft.

【0022】前記一対の上下加圧電極軸26、27の素
材はいずれも電気伝導性があり、かつ強度が高い素材で
あればよく、例えば黒鉛やタングステンカーバイト等が
好適である。このため、一対の上下加圧電極軸26、2
7に、図示しない直流電源の正極および負極をそれぞれ
接続すれば、一対の上下加圧電極軸26、27の間に通
電することができる。前記一対の上加圧電極軸26およ
び下加圧電極軸27が、特許請求の範囲にいう上下一対
の焼結軸である。
The material of the pair of upper and lower pressurizing electrode shafts 26 and 27 may be any material having electric conductivity and high strength, such as graphite and tungsten carbide. Therefore, a pair of upper and lower pressing electrode shafts 26, 2
If a positive electrode and a negative electrode of a DC power supply (not shown) are connected to the power supply 7, current can flow between the pair of upper and lower pressure electrode shafts 26 and 27. The pair of upper pressure electrode shafts 26 and lower pressure electrode shafts 27 are a pair of upper and lower sintered shafts described in the claims.

【0023】したがって、焼結部20によれば、一対の
上下加圧電極軸26、27によって、焼結型80を加圧
通電することができる。
Therefore, according to the sintering section 20, the sintering mold 80 can be energized by the pair of upper and lower pressing electrode shafts 26 and 27.

【0024】つぎに、真空チャンバ2を説明する。図1
および図2に示すように、前記焼結部20の一対の上下
ベース21a、21bの間には、真空チャンバ2が設けられて
いる。この真空チャンバ2は、円筒状をした気密な密閉
容器である。この真空チャンバ2の上板2bおよび下板
2cには、前記一対の上下加圧電極軸26、27がそれ
ぞれ貫通している。この上板2bおよび下板2cは、一
対の上下加圧電極軸26、27の外周に気密かつ摺動自
在にそれぞれ取り付けられている。また、下板2cに
は、後述する回転軸6が貫通しており、気密かつ回転自
在に取り付けられている。この真空チャンバ2の側壁2
aには、焼結型80を搬入、搬出するための搬入口2p
が形成されており、この搬入口2pによって、後述する
予備チャンバ202と連通されている。
Next, the vacuum chamber 2 will be described. FIG.
As shown in FIG. 2, a vacuum chamber 2 is provided between the pair of upper and lower bases 21a and 21b of the sintering section 20. The vacuum chamber 2 is an airtight closed container having a cylindrical shape. The pair of upper and lower pressure electrode shafts 26 and 27 penetrate the upper plate 2b and the lower plate 2c of the vacuum chamber 2, respectively. The upper plate 2b and the lower plate 2c are air-tightly and slidably attached to the outer periphery of a pair of upper and lower pressure electrode shafts 26 and 27, respectively. A rotating shaft 6, which will be described later, penetrates through the lower plate 2c, and is attached in an airtight and rotatable manner. Side wall 2 of this vacuum chamber 2
a has a loading port 2p for loading and unloading the sintered mold 80;
Is formed, and is communicated with the preliminary chamber 202 described later by the carry-in port 2p.

【0025】また、真空チャンバ2は、図示しない真空
ポンプに接続されている。このため、真空ポンプによっ
て真空チャンバ2内を真空引きすれば、真空チャンバ2
の内部を真空に保つことができる。
The vacuum chamber 2 is connected to a vacuum pump (not shown). Therefore, if the inside of the vacuum chamber 2 is evacuated by the vacuum pump,
Can be kept in a vacuum.

【0026】つぎに、ロータリテーブル5の支持構造を
説明する。図1に示すように、図示しない機枠には、軸
受7が固定されている。この軸受7には、回転軸6が立
てた状態で回転自在に取り付けられている。この回転軸
6は、前述したように、真空チャンバ2の下板2cに貫
通しており、気密かつ回転自在に取り付けられている。
この回転軸6の下端には、歯車が取り付けられており、
この歯車がモータMの主軸に取り付けられた歯車と噛み
合っている。
Next, the support structure of the rotary table 5 will be described. As shown in FIG. 1, a bearing 7 is fixed to a machine frame (not shown). The rotating shaft 6 is rotatably attached to the bearing 7 with the rotating shaft 6 standing upright. As described above, the rotating shaft 6 penetrates through the lower plate 2c of the vacuum chamber 2 and is airtightly and rotatably mounted.
A gear is attached to the lower end of the rotating shaft 6,
This gear meshes with a gear attached to the main shaft of the motor M.

【0027】前記回転軸6の上端には、円板上のロータ
リテーブル5が、その下面中心を取り付けられている。
このロータリテーブル5は、水平に設けられており、そ
の周縁部が、前記一対の上下加圧電極軸26、27間に
位置するように設けられている。このロータリテーブル
5の周縁部には、焼結型ユニット75を保持するための
型保持部60が複数箇所設けられているが、詳細は後述
する。
A rotary table 5 on a disk is attached to the upper end of the rotary shaft 6 at the center of the lower surface.
The rotary table 5 is provided horizontally, and its peripheral portion is provided between the pair of upper and lower pressing electrode shafts 26 and 27. A plurality of mold holding portions 60 for holding the sintering mold unit 75 are provided at a plurality of positions on the peripheral portion of the rotary table 5, which will be described later in detail.

【0028】このため、ロータリテーブル5の周縁部の
型保持部60に、複数の焼結型ユニット75を保持させ
て、ロータリテーブル5を回転させれば、各焼結型ユニ
ット75を、順次焼結型ユニット75を一対の上下加圧
電極軸26、27の間に位置させることができる。
For this reason, if a plurality of sintering die units 75 are held by the die holding part 60 at the periphery of the rotary table 5 and the rotary table 5 is rotated, the sintering die units 75 are sequentially fired. The forming unit 75 can be located between the pair of upper and lower pressing electrode shafts 26 and 27.

【0029】上記のごとく、焼結冷却部10によれば、
真空に保たれた真空チャンバ2内において、ロータリテ
ーブル5よって一対の上下加圧電極軸26、27の間に
焼結型ユニット75を順次位置させることができ、一対
の上下加圧電極軸26、27によって焼結型80を順次
加圧焼結することができる。
As described above, according to the sintering cooling unit 10,
In the vacuum chamber 2 maintained in a vacuum, the rotary mold 5 can sequentially position the sintering mold unit 75 between the pair of upper and lower pressing electrode shafts 26 and 27 by the rotary table 5. 27 allows the sintering mold 80 to be sequentially sintered under pressure.

【0030】本実施形態の通電加圧焼結装置1は、真空
チャンバ2に焼結型ユニット75を搬入出する焼結型ユ
ニット搬入出部200 を設けたことが特徴である。そこ
で、焼結型ユニット搬入出部200 を説明する。焼結型ユ
ニット搬入出部200 は、予備チャンバ202 、内側ゲート
弁205 、外側ゲート弁208 、チャンバ間移動用シリンダ
211 、搬入出手段219 から基本構成されている。
The electric pressure sintering apparatus 1 of this embodiment is characterized in that a sintering unit loading / unloading section 200 for loading / unloading the sintering unit 75 into / from the vacuum chamber 2 is provided. Therefore, the sintering unit loading / unloading section 200 will be described. The sintering unit loading / unloading section 200 includes a preliminary chamber 202, an inner gate valve 205, an outer gate valve 208, and a cylinder for moving between chambers.
And a loading / unloading means 219.

【0031】まず、予備チャンバ202 を説明する。前記
真空チャンバ2には、前記上下加圧電極軸26、27よ
りも前記ロータリテーブル5の回転方向後方において、
その真空チャンバ2の外面に隣接するように、予備チャ
ンバ202 が設けられている。この予備チャンバ202 は、
箱型の部材である。この予備チャンバ202 と真空チャン
バ2との間には、両者を連通する搬入口2pが形成され
ている。前記予備チャンバ202 は、図示しない例えば真
空ポンプ等の真空引きを行う真空引き手段に接続されて
いるが、真空引きを行う真空引き手段は真空ポンプに限
定されない。
First, the spare chamber 202 will be described. In the vacuum chamber 2, the rotation direction of the rotary table 5 behind the upper and lower pressure electrode shafts 26 and 27 is provided.
A spare chamber 202 is provided adjacent to the outer surface of the vacuum chamber 2. This spare chamber 202
It is a box-shaped member. A carry-in port 2p is formed between the preliminary chamber 202 and the vacuum chamber 2 to communicate the two. The preliminary chamber 202 is connected to a vacuum pumping means (not shown) for vacuuming, such as a vacuum pump, but the vacuuming means for vacuuming is not limited to a vacuum pump.

【0032】つぎに、内側ゲート弁205 を説明する。前
記搬入口2pには、内側ゲート弁205 が開閉自在に設け
られている。この内側ゲート弁205 を開閉させれば、真
空チャンバ2と予備チャンバ202 の間を連通させたり、
気密に遮断したりすることができる。
Next, the inner gate valve 205 will be described. An inner gate valve 205 is provided at the entrance 2p so as to be freely opened and closed. Opening and closing the inner gate valve 205 allows communication between the vacuum chamber 2 and the spare chamber 202,
It can be shut off airtight.

【0033】つぎに、チャンバ間移動用シリンダ211 を
説明する。前記予備チャンバ202 において、内側ゲート
弁205 と対向する側面には、チャンバ間移動用シリンダ
211 が、そのロッドの先端を内側ゲート弁205 に向けて
水平に取り付けられている。このチャンバ間移動用シリ
ンダ211 が特許請求の範囲にいうチャンバ間移動手段で
ある。チャンバ間移動用シリンダ211 は、公知の油圧シ
リンダでよい。このチャンバ間移動用シリンダ211 は、
そのロッドの先端部が予備チャンバ202 の内部挿入され
ており、そのシリンダボディが予備チャンバ202 の側面
に気密に固定されている。
Next, the cylinder 211 for moving between chambers will be described. In the spare chamber 202, an inter-chamber moving cylinder is provided on a side surface facing the inner gate valve 205.
211 is mounted horizontally with the end of the rod facing the inner gate valve 205. The cylinder 211 for moving between chambers is a means for moving between chambers described in the claims. The cylinder for movement between chambers 211 may be a known hydraulic cylinder. This cylinder 211 for moving between chambers
The tip of the rod is inserted into the spare chamber 202, and its cylinder body is airtightly fixed to the side of the spare chamber 202.

【0034】チャンバ間移動用シリンダ211 のロッドの
先端には、前記トレイ85の引掛部89を着脱しうる着
脱部215 が設けられている。この着脱部215 は、前後一
対の長四角形の板であって、前方の板が回転自在に設け
られており、この前方の板が縦になると前後の板の間に
引掛部89を掛合することができ、前方の板が横になる
と引掛部89を離脱させることができるものである。な
お、着脱部215 の構造は、引掛部89を着脱することが
できれば、上記の構造に限定されない。
At the tip of the rod of the cylinder 211 for moving between chambers, there is provided an attaching / detaching portion 215 to which the hook 89 of the tray 85 can be attached / detached. The attachment / detachment portion 215 is a pair of front and rear long rectangular plates, and the front plate is rotatably provided. When the front plate becomes vertical, the hook 89 can be engaged between the front and rear plates. The hook 89 can be detached when the front plate is turned sideways. The structure of the detachable portion 215 is not limited to the above structure as long as the hook portion 89 can be detached.

【0035】このため、前記内側ゲート弁205 を開けた
状態で、トレイ85の引掛部89に着脱部215 を装着し
てチャンバ間移動用シリンダ211 を伸長・収縮させれ
ば、内側ゲート弁205 を通して、焼結型ユニット75を
予備チャンバ202 と真空チャンバ2のロータリテーブル
5との間を双方向に移動させることができる。
For this reason, if the attaching / detaching portion 215 is attached to the hook portion 89 of the tray 85 and the cylinder 211 for inter-chamber movement is extended and contracted with the inner gate valve 205 opened, the inner gate valve 205 The sintering unit 75 can be moved in both directions between the preliminary chamber 202 and the rotary table 5 in the vacuum chamber 2.

【0036】つぎに、外側ゲート弁208 を説明する。予
備チャンバ202 において、図1の右側の側面には、外側
ゲート弁208 が開閉自在に設けられている。この外側ゲ
ート弁208 を開閉すれば、予備チャンバ202の内部を外
部に開放したり、外部から気密に遮断したりすることが
できる。
Next, the outer gate valve 208 will be described. In the spare chamber 202, an outer gate valve 208 is provided on the right side surface in FIG. By opening and closing the outer gate valve 208, the inside of the preparatory chamber 202 can be opened to the outside or hermetically shut off from the outside.

【0037】つぎに、搬入出手段219 を説明する。この
搬入出手段219 は、搬出シリンダ230 、搬出コンベア24
5 、搬入コンベア240 および搬出シリンダ230 から構成
されている。この搬入シリンダ220 および搬出シリンダ
230 は公知のシリンダであり、搬出コンベア245 および
搬入コンベア240 は公知のコンベアであるが、予備チャ
ンバ202 内に焼結型ユニット75を自動で搬入・搬出で
きるように配設したことが特徴である。
Next, the loading / unloading means 219 will be described. The carry-in / out means 219 includes a carry-out cylinder 230 and a carry-out conveyor 24.
5. It is composed of a carry-in conveyor 240 and a carry-out cylinder 230. This loading cylinder 220 and unloading cylinder
230 is a known cylinder, and the carry-out conveyor 245 and the carry-in conveyor 240 are well-known conveyors, and is characterized in that the sintering unit 75 is automatically loaded and unloaded in the spare chamber 202. .

【0038】まず、搬出シリンダ230 を説明する。予備
チャンバ202 において、外側ゲート弁208 と対向する側
面には、搬出シリンダ230 がそのロッドの先端を外側ゲ
ート弁208 に向けて水平に取り付けられている。この搬
出シリンダ230 は、そのロッドの先端が予備チャンバ20
2 の内部に挿入されており、そのシリンダボディが予備
チャンバ202 の側面に気密に固定されている。この搬出
シリンダ230 のロッドの先端には、平板である押出板23
1 が取り付けられている。このため、外側ゲート弁208
を開けて、搬出シリンダ230 を伸長させると、押出板23
1 によって焼結型ユニット75を押すことができるの
で、焼結型ユニット75を外側ゲート弁208 を通して搬
出コンベア245 上に移動させることができる。
First, the unloading cylinder 230 will be described. In the preparatory chamber 202, a discharge cylinder 230 is mounted horizontally on the side opposite to the outer gate valve 208 with the end of the rod facing the outer gate valve 208. In the unloading cylinder 230, the tip of the rod is
2, the cylinder body of which is hermetically fixed to the side surface of the spare chamber 202. At the end of the rod of the unloading cylinder 230, an extruded plate 23
1 is installed. Therefore, the outer gate valve 208
Is opened and the carry-out cylinder 230 is extended,
Since the sintering mold unit 75 can be pushed by 1, the sintering mold unit 75 can be moved onto the unloading conveyor 245 through the outer gate valve 208.

【0039】つぎに、搬出コンベア245 を説明する。前
記外側ゲート弁208 の側方には、チャンバ間移動用シリ
ンダ211 と平行に搬出コンベア245 が配設されている。
この搬出コンベア245 は、真空チャンバ2から押し出さ
れた焼結型ユニット75を次工程へ搬出するためのもの
である。この搬出コンベア245 は、予備チャンバ202 側
から次工程に向けて一方向にのみ駆動されるものであ
る。
Next, the unloading conveyor 245 will be described. On the side of the outer gate valve 208, a carry-out conveyor 245 is arranged in parallel with the cylinder 211 for moving between chambers.
The unloading conveyor 245 is for unloading the sintered mold unit 75 extruded from the vacuum chamber 2 to the next step. The unloading conveyor 245 is driven only in one direction from the spare chamber 202 side toward the next process.

【0040】つぎに、搬入コンベア240 を説明する。搬
出コンベア245 の側方には、搬出コンベア245 と平行に
搬入コンベア240 が設けられている。この搬入コンベア
240 は、例えばステッピングモータ等によって間欠運転
可能なものである。このため、搬入コンベア240 に焼結
型ユニット75を載せれば、所望の位置で焼結型ユニッ
ト75を停止させることができる。また、この搬入コン
ベア240 は、前工程から予備チャンバ202 の方向に向け
て一方向にのみ駆動されるものである。
Next, the carry-in conveyor 240 will be described. On the side of the carry-out conveyor 245, a carry-in conveyor 240 is provided in parallel with the carry-out conveyor 245. This loading conveyor
240 can be operated intermittently by, for example, a stepping motor. Therefore, if the sintering unit 75 is placed on the carry-in conveyor 240, the sintering unit 75 can be stopped at a desired position. Further, the carry-in conveyor 240 is driven only in one direction from the previous process toward the preparatory chamber 202.

【0041】つぎに、搬入シリンダ220 を説明する。搬
入コンベア240 の側方において、搬入コンベア240 に対
して予備チャンバ202 と反対側には、搬入シリンダ220
が設けられている。この搬入シリンダ220 は、そのロッ
ドの先端が外側ゲート弁208 に向けて水平に配設されて
いる。この搬入シリンダ220 のロッドの先端には、平板
である押入板221 が取り付けられている。このため、外
側ゲート弁208 を開けて搬入シリンダ220 を伸長させる
と、押入板221 によって搬入コンベア240 上の焼結型ユ
ニット75を押すことができるので、焼結型ユニット7
5を内側ゲート弁205 を通して、予備チャンバ202 内に
移動させることができる。
Next, the carry-in cylinder 220 will be described. On the side of the carry-in conveyor 240, on the side opposite to the spare chamber 202 with respect to the carry-in conveyor 240, a carry-in cylinder 220 is provided.
Is provided. The carry-in cylinder 220 has its rod end disposed horizontally toward the outer gate valve 208. A push plate 221 which is a flat plate is attached to the tip of the rod of the carry-in cylinder 220. Therefore, when the outer gate valve 208 is opened and the carry-in cylinder 220 is extended, the sintering unit 75 on the carry-in conveyor 240 can be pushed by the pushing plate 221.
5 can be moved into the pre-chamber 202 through the inner gate valve 205.

【0042】よって、搬入出手段219 によれば、搬入シ
リンダ220 を伸長させるだけで、焼結型ユニット75を
搬入コンベア240 から予備チャンバ202 内に移動させる
ことができる。また、搬出シリンダ230 を伸長させるだ
けで、焼結型ユニット75を予備チャンバ202 から搬出
コンベア245 に移動させることができる。さらに、搬入
コンベア240 および搬出コンベア245 は、ともに一方向
にのみ駆動させれば焼結型ユニット75の搬入と搬出を
それぞれ行うことができる。したがって、予備チャンバ
202 に焼結型ユニット75を搬入・搬出する機構を簡単
にでき、搬入・搬出するタイミングは、搬入・搬出シリ
ンダ220、230の伸縮と、搬入コンベア240 の駆動のみを
制御すればよく、制御が簡単である。
Therefore, according to the carrying-in / out means 219, the sintering mold unit 75 can be moved from the carrying-in conveyor 240 into the spare chamber 202 only by extending the carrying-in cylinder 220. Further, the sintering unit 75 can be moved from the preliminary chamber 202 to the unloading conveyor 245 only by extending the unloading cylinder 230. Furthermore, when the carry-in conveyor 240 and the carry-out conveyor 245 are both driven in only one direction, the carry-in and carry-out of the sintering unit 75 can be performed. Therefore, the spare chamber
The mechanism for loading and unloading the sintering unit 75 in 202 can be simplified, and the timing for loading and unloading can be controlled by controlling only the expansion and contraction of the loading and unloading cylinders 220 and 230 and the drive of the loading conveyor 240. Easy.

【0043】上記のごとく、焼結型ユニット搬入出部20
0 によれば、真空チャンバ内2を真空に保ち、かつ、外
側ゲート弁208 と内側ゲート弁205 がいずれも閉弁した
状態で、真空ポンプ等の真空引き手段によって予備チャ
ンバ202 内を真空にした後、内側ゲート弁205 のみ開弁
させる。すると、真空チャンバ内2を真空に保ったま
ま、真空チャンバ2と予備チャンバ202 間を連通させる
ことができ、チャンバ間移動用シリンダ211 によって、
真空チャンバ2内と予備チャンバ202 内との間で、焼結
型ユニット75を双方向に移動できる。また、真空チャ
ンバ2と予備チャンバ202 をいずれも真空に保った状態
で、内側ゲート弁205 を閉弁してから外側ゲート弁208
を開弁させる。すると、真空チャンバ2内を真空に保っ
た状態で予備チャンバ202 のみを外部に開放することが
でき、搬入出手段219 によって、焼結型ユニット75を
予備チャンバ202 内に搬入、搬出させることができる。
したがって、焼結型ユニット75の搬入から焼結、搬出
までの作業を自動化できる。
As described above, the sintering unit loading / unloading section 20
According to 0, the inside of the preliminary chamber 202 was evacuated by vacuuming means such as a vacuum pump in a state where the inside of the vacuum chamber 2 was kept at a vacuum and both the outer gate valve 208 and the inner gate valve 205 were closed. Thereafter, only the inner gate valve 205 is opened. Then, the vacuum chamber 2 and the spare chamber 202 can be communicated with each other while the vacuum chamber 2 is kept in a vacuum.
The sintered mold unit 75 can be moved in both directions between the vacuum chamber 2 and the preparatory chamber 202. Further, with both the vacuum chamber 2 and the spare chamber 202 kept in vacuum, the inner gate valve 205 is closed and then the outer gate valve 208 is closed.
Is opened. Then, only the preparatory chamber 202 can be opened to the outside while the vacuum chamber 2 is kept in a vacuum, and the sintering unit 75 can be carried in and out of the preparatory chamber 202 by the carrying in / out means 219. .
Therefore, the operations from loading of the sintering unit 75 to sintering and unloading can be automated.

【0044】つぎに、型保持部60を説明する。前記ロ
ータリテーブル5の周縁部には、型保持部60が設けら
れている。型保持部60は、前記ロータリテーブル5の
周縁部に沿って、例えば等角度間隔で、複数箇所設けら
れている。このため、モータMを駆動させると、回転軸
6が回転し、ロータリテーブル5が水平面内で回転する
から、ロータリテーブル5の各型保持部60が、前記一
対の上下加圧電極軸26、 27間を通過するのであ
る。なお、型保持部60は、等角度間隔に設けなくても
よいが、等角度間隔に設けるとロータリテーブル5の回
転の制御が容易である。
Next, the mold holding section 60 will be described. A mold holding unit 60 is provided at a peripheral portion of the rotary table 5. A plurality of mold holding portions 60 are provided along the peripheral edge of the rotary table 5 at, for example, equal angular intervals. For this reason, when the motor M is driven, the rotary shaft 6 rotates and the rotary table 5 rotates in a horizontal plane, so that each mold holding portion 60 of the rotary table 5 is moved by the pair of upper and lower pressing electrode shafts 26 and 27. It passes between the two. Note that the mold holding units 60 need not be provided at equal angular intervals, but if they are provided at equal angular intervals, the rotation of the rotary table 5 can be easily controlled.

【0045】この型保持部60は、ロータリテーブル5
の上面において、ロータリテーブル5の中心に対して放
射状に形成された溝状のトレイ取付溝63を備えてい
る。このトレイ取付溝63は、その幅が前記焼結型ユニ
ット75のトレイ85の幅よりわずかに広く形成されて
いる。よって、型保持部60のトレイ取付溝63に焼結
型ユニット75のトレイ85を挿入すると、型保持部6
0によって焼結型ユニット75が保持されるのである。
The mold holding section 60 is provided with the rotary table 5.
On the upper surface of the rotary table 5, a groove-shaped tray mounting groove 63 formed radially with respect to the center of the rotary table 5 is provided. The width of the tray mounting groove 63 is formed slightly wider than the width of the tray 85 of the sintered mold unit 75. Therefore, when the tray 85 of the sintered mold unit 75 is inserted into the tray mounting groove 63 of the mold holding section 60, the mold holding section 6
0 holds the sintered mold unit 75.

【0046】また、トレイ取付溝63の底面とロータリ
テーブル5の下面の間には、両者を貫通する貫通孔61
が形成されている。この貫通孔61は、その内径が前記
焼結部20の下加圧電極軸27の外径より大きく形成さ
れている。よって、下加圧電極軸27を上昇させて貫通
孔61に進入させると、下加圧電極軸27の上端を焼結
型ユニット75の焼結型80に接触させることができ
る。
A through hole 61 penetrating between the bottom surface of the tray mounting groove 63 and the lower surface of the rotary table 5 is provided.
Are formed. The inner diameter of the through hole 61 is larger than the outer diameter of the lower pressure electrode shaft 27 of the sintered portion 20. Therefore, when the lower pressure electrode shaft 27 is raised and enters the through hole 61, the upper end of the lower pressure electrode shaft 27 can be brought into contact with the sintering mold 80 of the sintering mold unit 75.

【0047】つぎに、本実施形態の通電加圧焼結装置1
の作用と効果を説明する。図3は本実施形態の通電加圧
焼結装置1の作業工程のフローチャートである。同図に
示すように、本実施形態の通電加圧焼結装置1は、焼結
型ユニット75を真空チャンバ2に搬入する第1工程、
焼結型80の焼結冷却を行う第2工程、および焼結型ユ
ニット75を真空チャンバ2から搬出する第3工程を順
次繰返し行うことによって、焼結品を連続して製造して
いる。以下に各工程を説明する。
Next, the current-pressure sintering apparatus 1 of this embodiment
The function and effect of will be described. FIG. 3 is a flowchart of the working process of the current-pressure sintering apparatus 1 of the present embodiment. As shown in the figure, the current-pressure sintering apparatus 1 of the present embodiment includes a first step of loading the sintering mold unit 75 into the vacuum chamber 2,
The second step of cooling the sintering mold 80 and the third step of unloading the sintering mold unit 75 from the vacuum chamber 2 are sequentially repeated, thereby continuously producing sintered products. The respective steps will be described below.

【0048】まず、ロータリテーブル5の型保持部60
には、複数の焼結型ユニット75が載せられている。た
だし、予備チャンバ202 の位置の型保持部60には焼結
型ユニット75が載せられていない。焼結型ユニット搬
入出部200 の内側ゲート弁205 および外側ゲート弁208
は、ともに閉弁されている。真空チャンバ2内は、図示
しない真空ポンプによって真空引きされて真空に保たれ
ている。また、予備チャンバ202 内は大気圧の状態であ
る。
First, the mold holding section 60 of the rotary table 5
, A plurality of sintering mold units 75 are mounted. However, the sintered mold unit 75 is not mounted on the mold holding unit 60 at the position of the preliminary chamber 202. Inner gate valve 205 and outer gate valve 208 of sintering unit loading / unloading section 200
Are both closed. The inside of the vacuum chamber 2 is evacuated by a vacuum pump (not shown) and kept at a vacuum. The inside of the preliminary chamber 202 is at atmospheric pressure.

【0049】さて、第1工程を説明する。図4は焼結型
ユニット75を真空チャンバ2に搬入する第1工程のフ
ローチャートである。図5は第1工程における真空チャ
ンバ2内部および予備チャンバ202 内部の状態遷移図で
ある。図1、図2、図4および図5に示すように、ま
ず、搬入コンベア240 を間欠駆動させると、搬入コンベ
ア240 上に載せられた焼結型ユニット75が予備チャン
バ202 側に送られて、搬入シリンダ220 の前で停止す
る。
Now, the first step will be described. FIG. 4 is a flowchart of a first step of loading the sintering unit 75 into the vacuum chamber 2. FIG. 5 is a state transition diagram inside the vacuum chamber 2 and inside the preliminary chamber 202 in the first step. As shown in FIGS. 1, 2, 4 and 5, when the carry-in conveyor 240 is intermittently driven, the sintering mold unit 75 placed on the carry-in conveyor 240 is sent to the preliminary chamber 202 side. It stops before the loading cylinder 220.

【0050】つぎに、外側ゲート弁208 を開弁させる
(E1)。このとき、内側ゲート弁205 は閉じたままで
あるので、真空チャンバ2内は真空に保たれたままであ
る。ついで、搬入シリンダ220 を伸長させ、搬入シリン
ダ220 の押入板221 によって焼結型ユニット75を予備
チャンバ202 内に移動させる。
Next, the outer gate valve 208 is opened (E1). At this time, since the inner gate valve 205 is kept closed, the inside of the vacuum chamber 2 is kept at a vacuum. Next, the carry-in cylinder 220 is extended, and the sintering unit 75 is moved into the preliminary chamber 202 by the press-in plate 221 of the carry-in cylinder 220.

【0051】焼結型ユニット75が予備チャンバ202 内
に入ると、外側ゲート弁208 を閉弁させる(E2)。つ
いで、予備チャンバ202 内を真空ポンプによって真空引
きさせる(E3)。予備チャンバ202 内が真空になる
と、次に内側ゲート弁205 のみを開弁させる(E4)。
すると、真空チャンバ2内を真空に保ったまま、真空チ
ャンバ2と予備チャンバ202 間を連通させることができ
る。
When the sintering unit 75 enters the preliminary chamber 202, the outer gate valve 208 is closed (E2). Next, the inside of the preliminary chamber 202 is evacuated by a vacuum pump (E3). When the inside of the preliminary chamber 202 becomes vacuum, only the inner gate valve 205 is opened (E4).
Then, communication between the vacuum chamber 2 and the spare chamber 202 can be made while maintaining the vacuum inside the vacuum chamber 2.

【0052】内側ゲート弁205 を開弁させた状態で、予
備チャンバ202 内の焼結型ユニット75のトレイ85の
引掛部89に着脱部215 を装着して、チャンバ間移動用
シリンダ211 を伸長させる。すると、内側ゲート弁205
を通して、焼結型ユニット75を予備チャンバ202 から
真空チャンバ2のロータリテーブル5の型保持部60へ
移動させることができる。最後に、内側ゲート弁205 を
閉弁させれば(E5)、真空チャンバ2と予備チャンバ
202 の間が気密に遮断され、真空チャンバ2内への焼結
型ユニット75の搬入が終了する。
With the inner gate valve 205 opened, the attachment / detachment portion 215 is attached to the hook 89 of the tray 85 of the sintering unit 75 in the preliminary chamber 202, and the inter-chamber transfer cylinder 211 is extended. . Then, the inside gate valve 205
Through this, the sintered mold unit 75 can be moved from the preliminary chamber 202 to the mold holding section 60 of the rotary table 5 in the vacuum chamber 2. Finally, if the inner gate valve 205 is closed (E5), the vacuum chamber 2 and the spare chamber
202 is airtightly shut off, and the transfer of the sintering unit 75 into the vacuum chamber 2 is completed.

【0053】つぎに、第2工程を説明する。まず、モー
タMを作動させると、ロータリテーブル5が回転し、型
保持部60の焼結型ユニット75が焼結部20の一対の
上下加圧電極軸26、27の間に移動される。
Next, the second step will be described. First, when the motor M is operated, the rotary table 5 rotates, and the sintering mold unit 75 of the mold holding unit 60 is moved between the pair of upper and lower pressing electrode shafts 26 and 27 of the sintering unit 20.

【0054】ついで、下加圧電極軸27を上昇させる
と、下加圧電極軸27の上端が、型保持部60の貫通孔
61を通って、焼結型ユニット75のトレイ85の焼結
用孔86に進入する。すると、下加圧電極軸27の上端
が、焼結型80のダイス83の下端に当たって、焼結型
80を押し上げる。焼結型80は、下加圧電極軸27の
上端に載せられた状態で上昇し、やがてダイス82の上
端が上加圧電極軸26の下端に当たり、焼結型80が上
加圧電極軸26と下加圧電極軸27との間に挟まれる。
この状態で、さらに下加圧電極軸27によって焼結型8
0のダイス83を上方へ加圧し、一対の上下加圧電極軸
26、27間に通電すれば、焼結型80を加圧焼結する
ことができる。
Then, when the lower pressurizing electrode shaft 27 is raised, the upper end of the lower pressurizing electrode shaft 27 passes through the through hole 61 of the mold holding unit 60 and is used for sintering the tray 85 of the sintering mold unit 75. The hole 86 enters. Then, the upper end of the lower pressure electrode shaft 27 hits the lower end of the die 83 of the sintering die 80, and pushes up the sintering die 80. The sintering die 80 rises while being placed on the upper end of the lower pressing electrode shaft 27, and the upper end of the die 82 hits the lower end of the upper pressing electrode shaft 26, and the sintering die 80 moves to the upper pressing electrode shaft 26. And the lower pressure electrode shaft 27.
In this state, the sintering mold 8 is further moved by the lower pressure electrode shaft 27.
The sintering die 80 can be pressure-sintered by pressing the zero die 83 upward and supplying a current between the pair of upper and lower pressure electrode shafts 26 and 27.

【0055】焼結が終了すると、下加圧電極軸27を下
降させて、下加圧電極軸27の上端を、トレイ85の焼
結用孔86および型保持部60の貫通孔61から抜く。
ついで、再びモータMを作動させれば、焼結が終了した
焼結型ユニット75を一対の上下加圧電極軸26、27
から移動させると同時に、新しい焼結型ユニット75を
一対の上下加圧電極軸26、27に供給することができ
る。
When the sintering is completed, the lower pressure electrode shaft 27 is lowered, and the upper end of the lower pressure electrode shaft 27 is pulled out from the sintering hole 86 of the tray 85 and the through hole 61 of the mold holding unit 60.
Then, when the motor M is operated again, the sintered mold unit 75 having completed the sintering is moved to the pair of upper and lower pressure electrode shafts 26 and 27.
At the same time, a new sintered mold unit 75 can be supplied to the pair of upper and lower pressure electrode shafts 26 and 27.

【0056】焼結処理された焼結型ユニット75は、こ
の焼結型ユニット75に後続の焼結型ユニット75が順
次焼結される間に、ロータリテーブル5の回転により内
側ゲート弁205 の位置まで移動し、型保持部60に保持
されたまま次第に冷却していく。したがって、1つの焼
結型ユニット75を冷却している間に、他の焼結型ユニ
ット75を焼結することができるので、焼結品を製造す
る効率が良くなり、生産性が向上し、量産化が可能であ
る。
The sintered mold unit 75 subjected to the sintering process is moved to the position of the inner gate valve 205 by the rotation of the rotary table 5 while the subsequent sintered mold units 75 are sequentially sintered. And gradually cooled while being held by the mold holding unit 60. Therefore, while one sintering mold unit 75 is being cooled, another sintering mold unit 75 can be sintered, so that the efficiency of manufacturing a sintered product is improved, and the productivity is improved. Mass production is possible.

【0057】さらに、型保持部60はロータリテーブル
5の周縁部に等角度間隔で設けられているので、新しい
焼結型ユニット75が焼結部20の一対の上下加熱電極
軸26、27間に移動されると、内側ゲート弁205 の位
置にも、冷却された焼結型ユニット75を供給すること
ができる。
Further, since the mold holding portions 60 are provided at equal angular intervals on the periphery of the rotary table 5, a new sintering mold unit 75 is provided between the pair of upper and lower heating electrode shafts 26 and 27 of the sintering portion 20. When moved, the position of the inner gate valve 205 can also be supplied with the cooled sintered mold unit 75.

【0058】つぎに、第3工程を説明する。図6は焼結
型ユニット75を真空チャンバ2から搬出する第3工程
のフローチャートである。図7焼結型ユニット75を真
空チャンバ2から搬出する工程における真空チャンバ2
内部および予備チャンバ202 内部の状態遷移図である。
図1、図2、図6および図7に示すように、まず、内側
ゲート弁205 と外側ゲート弁208 が閉じられており、真
空チャンバ2内部および予備チャンバ202 内部は真空に
保たれている(D1)。その状態から、内側ゲート弁20
5 を開弁させると真空チャンバ2と予備チャンバ202 と
の間が連通される(D2)。内側ゲート弁205 を開弁さ
せた状態で、チャンバ間移動用シリンダ211 を伸長させ
て、ロータリテーブル5上の焼結型ユニット75のトレ
イ85の引掛部89に着脱部215 を装着し、チャンバ間
移動用シリンダ211 を収縮させる。すると、チャンバ間
移動用シリンダ211 によって、内側ゲート弁205 を通し
て、真空チャンバ2のロータリテーブル5から予備チャ
ンバ202 内へ焼結型ユニット75を移動させることがで
きる。
Next, the third step will be described. FIG. 6 is a flowchart of the third step of unloading the sintering unit 75 from the vacuum chamber 2. FIG. 7 Vacuum chamber 2 in the step of unloading sintered mold unit 75 from vacuum chamber 2
FIG. 6 is a state transition diagram of the inside and the inside of a spare chamber 202.
As shown in FIG. 1, FIG. 2, FIG. 6, and FIG. 7, first, the inner gate valve 205 and the outer gate valve 208 are closed, and the inside of the vacuum chamber 2 and the spare chamber 202 are kept in vacuum ( D1). From that state, the inner gate valve 20
When the valve 5 is opened, communication between the vacuum chamber 2 and the spare chamber 202 is established (D2). With the inner gate valve 205 opened, the inter-chamber transfer cylinder 211 is extended, and the attachment / detachment portion 215 is attached to the hook 89 of the tray 85 of the sintered mold unit 75 on the rotary table 5. The moving cylinder 211 is contracted. Then, the sintered mold unit 75 can be moved from the rotary table 5 of the vacuum chamber 2 into the spare chamber 202 through the inner gate valve 205 by the inter-chamber moving cylinder 211.

【0059】つぎに、内側ゲート弁205 を閉弁させる
(D3)。そして、着脱部215 を焼結型ユニット75の
トレイ85の引掛部89から外して、予備チャンバ202
内を大気圧に戻す(D4)。このとき、内側ゲート弁20
5 は閉弁しており、この内側ゲート弁205 によって、真
空チャンバ2と予備チャンバ202 の間は気密に遮断され
ているので、真空チャンバ2内は真空に保たれたままで
ある。
Next, the inner gate valve 205 is closed (D3). Then, the detachable portion 215 is removed from the hook portion 89 of the tray 85 of the sintering unit 75, and the spare chamber 202 is removed.
The inside is returned to the atmospheric pressure (D4). At this time, the inner gate valve 20
5 is closed, and the inside of the vacuum chamber 2 is kept at a vacuum because the inside of the vacuum chamber 2 and the spare chamber 202 are airtightly shut off by the inner gate valve 205.

【0060】つぎに、外側ゲート弁208 を開弁させる
(D5)。そして、搬出シリンダ230を伸長させると、
押出板231 によって、予備チャンバ202 内の焼結型ユニ
ット75を、外側ゲート弁208 を通して予備チャンバ20
2 に隣接して設けられた搬出コンベア245 上に移動させ
ることができる。すると、搬出コンベア245 によって、
真空チャンバ245 上に載せられた焼結型ユニット75を
次工程に搬出することができる。
Next, the outer gate valve 208 is opened (D5). Then, when the carry-out cylinder 230 is extended,
The extruded plate 231 allows the sintered mold unit 75 in the preliminary chamber 202 to pass through the outer gate valve 208 through the preliminary chamber 20.
2 can be moved onto a carry-out conveyor 245 provided adjacent to the conveyor 2. Then, by the unloading conveyor 245,
The sintered mold unit 75 placed on the vacuum chamber 245 can be carried out to the next step.

【0061】上記の1〜3工程を繰り返すことによっ
て、焼結型80を連続して焼結することができる。
The sintering mold 80 can be continuously sintered by repeating the above steps 1 to 3.

【0062】上記のごとく、本実施形態の通電加圧焼結
装置によれば、焼結型ユニット75の搬入から焼結し、
搬出するまでの作業を自動化でき、焼結品を製造する効
率を良くすることができ、量産化が可能であるという効
果を奏する。
As described above, according to the current-pressure sintering apparatus of the present embodiment, sintering is performed after the sintering mold unit 75 is loaded,
The operation up to carrying out can be automated, the efficiency of manufacturing a sintered product can be improved, and mass production is possible.

【0063】[0063]

【発明の効果】請求項1の発明によれば、真空チャンバ
内を真空に保ったまま、真空チャンバと予備チャンバ間
を連通させることができ、チャンバ間移動手段によっ
て、真空チャンバ内と予備チャンバ内との間で、焼結型
を双方向に移動できる。また、真空チャンバ内を真空に
保った状態で予備チャンバのみを外部に開放することが
でき、搬入出手段によって、焼結型を予備チャンバ内に
搬入、搬出させることができる。したがって、焼結型の
搬入から焼結、搬出までの作業を自動化できる。請求項
2の発明によれば、1つの焼結型を冷却している間に、
他の焼結型を焼結することができるので、焼結品を製造
する効率が良くすることができ、生産性が向上し、量産
化が可能である。請求項3の発明によれば、焼結型ユニ
ットを真空チャンバ内に出し入れする機構を簡単に構成
させることができる。また、トレイに載せたまま焼結型
をロータリテーブルの型保持部に載せても、焼結軸によ
って焼結型を加圧焼結することができる。請求項4の発
明によれば、予備チャンバに焼結型ユニットを搬入、搬
出する機構を簡単に構成させることができ、予備チャン
バに焼結型ユニットを搬入、搬出するタイミングは、搬
入・搬出シリンダの伸縮と、搬入コンベアの駆動のみを
制御すればよく、制御が簡単である。
According to the first aspect of the present invention, the vacuum chamber and the spare chamber can be communicated with each other while maintaining the vacuum inside the vacuum chamber. And the sintering mold can be moved in both directions. In addition, only the preliminary chamber can be opened to the outside while the vacuum chamber is kept at a vacuum, and the sintering mold can be carried into and out of the preliminary chamber by the carrying-in / out means. Therefore, the operations from the loading of the sintering die to the sintering and unloading can be automated. According to the invention of claim 2, while cooling one sintering mold,
Since other sintering molds can be sintered, the efficiency of manufacturing a sintered product can be improved, productivity can be improved, and mass production is possible. According to the third aspect of the present invention, a mechanism for taking the sintered mold unit into and out of the vacuum chamber can be simply configured. Further, even if the sintering die is placed on the die holding portion of the rotary table while being placed on the tray, the sintering die can be pressure-sintered by the sintering shaft. According to the invention of claim 4, the mechanism for loading and unloading the sintering unit into and from the preliminary chamber can be simply configured, and the timing for loading and unloading the sintering unit into and from the preliminary chamber is determined by the loading and unloading cylinder. Only the expansion and contraction and the driving of the carry-in conveyor need be controlled, and the control is simple.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本実施形態の通電加圧焼結装置1の横断面概略
説明図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional explanatory view of an electric pressure sintering apparatus 1 of the present embodiment.

【図2】図1のA-0-A 線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line A-0-A of FIG.

【図3】本実施形態の通電加圧焼結装置1の作業工程の
フローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart of a working process of the electric pressure sintering apparatus 1 of the present embodiment.

【図4】焼結型ユニット75を真空チャンバ2に搬入す
る第1工程のフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart of a first step of loading a sintering mold unit 75 into a vacuum chamber 2;

【図5】第1工程における真空チャンバ2内部および予
備チャンバ202 内部の状態遷移図である。
FIG. 5 is a state transition diagram of the inside of a vacuum chamber 2 and the inside of a spare chamber 202 in a first step.

【図6】焼結型ユニット75を真空チャンバ2から搬出
する第3工程のフローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart of a third step of unloading the sintered mold unit 75 from the vacuum chamber 2.

【図7】第3工程における真空チャンバ2内部および予
備チャンバ202 内部の状態遷移図である。
FIG. 7 is a state transition diagram inside a vacuum chamber 2 and inside a preliminary chamber 202 in a third step.

【図8】従来の通電加圧焼結装置101 の概略説明図であ
る。
FIG. 8 is a schematic explanatory view of a conventional electric pressure sintering apparatus 101.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 通電加圧焼結装置 2 真空チャンバ 5 ロータリテーブル 60 型保持部 75 焼結型ユニット 80 焼結型 85 トレイ 86 底部 87 焼結用孔 89 引掛部 202 予備チャンバ 205 内側ゲート弁 208 外側ゲート弁 211 チャンバ間移動用シリンダ 215 着脱部 220 搬入シリンダ 230 搬出シリンダ 240 搬入コンベア 245 搬出コンベア m 被焼結粉末 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electric current pressure sintering apparatus 2 Vacuum chamber 5 Rotary table 60 Type holding part 75 Sintering type unit 80 Sintering type 85 Tray 86 Bottom part 87 Sintering hole 89 Hooking part 202 Spare chamber 205 Inner gate valve 208 Outer gate valve 211 Cylinder for transfer between chambers 215 Detachable / removable part 220 Carry-in cylinder 230 Carry-out cylinder 240 Carry-in conveyor 245 Carry-out conveyor m Sintered powder

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F27B 5/13 C04B 35/64 E H05B 3/00 340 N ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) F27B 5/13 C04B 35/64 E H05B 3/00 340 N

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被焼結粉末を入れた焼結型を上下方向に加
圧焼結するための一対の焼結軸と、前記焼結型を密閉し
真空に保たれる真空チャンバとを備えた通電加圧焼結装
置であって、前記真空チャンバに隣接して設けられた予
備チャンバと、該予備チャンバ内を真空にするための真
空引き手段と、前記予備チャンバと前記真空チャンバと
の間に開閉自在に設けられた内側ゲート弁と、該内側ゲ
ート弁の開弁時に、前記真空チャンバと前記予備チャン
バとの間で前記焼結型を出し入れさせるチャンバ間移動
手段と、前記予備チャンバの適所に開閉自在に設けられ
た外側ゲート弁と、該外側ゲート弁の開弁時に、前記予
備チャンバ内に焼結型を搬入・搬出させる搬入出手段と
からなることを特徴とする通電加圧焼結装置。
A sintering shaft for vertically sintering a sintering mold containing a powder to be sintered, and a vacuum chamber for hermetically closing the sintering mold and maintaining a vacuum. An electric pressure sintering apparatus, comprising: a preliminary chamber provided adjacent to the vacuum chamber; vacuum means for evacuating the preliminary chamber; and a vacuum chamber between the preliminary chamber and the vacuum chamber. An inner gate valve provided to be openable and closable, inter-chamber moving means for moving the sintering mold in and out between the vacuum chamber and the spare chamber when the inner gate valve is opened, and a proper position of the spare chamber And a loading / unloading means for loading / unloading the sintering mold into / from the preliminary chamber when the outer gate valve is opened. apparatus.
【請求項2】前記真空チャンバ内において、水平面内で
回転自在に設けられ、前記一対の焼結軸の間を周縁部が
通過するロータリテーブルと、該ロータリテーブルの周
縁部に沿って複数箇所設けられ、前記一対の焼結軸間に
挟まれる焼結型を保持するための型保持部とからなり、
前記予備チャンバが、前記焼結軸よりも前記ロータリテ
ーブルの回転方向の後方に設けられたことを特徴とする
請求項1記載の通電加圧焼結装置。
2. A rotary table provided in the vacuum chamber so as to be rotatable in a horizontal plane and having a peripheral portion passing between the pair of sintering shafts, and a plurality of rotary tables being provided along the peripheral portion of the rotary table. And a mold holding portion for holding a sintering mold sandwiched between the pair of sintering shafts,
The current-pressure sintering apparatus according to claim 1, wherein the preliminary chamber is provided behind the sintering shaft in a rotation direction of the rotary table.
【請求項3】前記焼結型がトレイに載せられて焼結型ユ
ニットを構成しており、前記トレイには引掛部が形成さ
れており、底部に焼結軸が挿入しうる焼結用孔が形成さ
れ、前記チャンバ間移動手段が、伸縮自在なシリンダで
あり、該シリンダのロッドの先端に前記トレイの引掛部
を着脱しうる着脱部を備えたことを特徴とする請求項1
または2記載の通電加圧焼結装置。
3. The sintering die is mounted on a tray to form a sintering die unit, and the tray has a hook portion formed therein, and a sintering hole into which a sintering shaft can be inserted at a bottom portion. 2. The inter-chamber moving means is a telescopic cylinder, and has an attachment / detachment part at a tip end of a rod of the cylinder to which a hook part of the tray can be attached / detached.
Or an electric pressure sintering apparatus according to 2.
【請求項4】前記焼結型がトレイに載せられて焼結型ユ
ニットを構成しており、前記搬入出手段が、前記焼結型
ユニットを搬入するための搬入コンベアと、該搬入コン
ベア上の焼結型を前記外側ゲート弁から予備チャンバ内
に押入する搬入シリンダと、前記焼結型ユニットを次工
程へ搬出するための搬出コンベアと、前記予備チャンバ
内の焼結型ユニットを、前記外側ゲート弁から搬出コン
ベア上へ押出す搬出シリンダとからなることを特徴とす
る請求項1、2または3記載の通電加圧焼結装置。
4. The sintering mold is mounted on a tray to constitute a sintering mold unit, and the carry-in / out means includes a carry-in conveyor for carrying in the sintering mold unit, and a sintering unit on the carry-in conveyor. A carry-in cylinder for pushing the sintering mold from the outer gate valve into the preliminary chamber, an unloading conveyor for carrying out the sintering mold unit to the next process, and a sintering mold unit in the preliminary chamber, 4. An electric pressure sintering apparatus according to claim 1, further comprising a discharge cylinder for extruding from a valve onto a discharge conveyor.
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