JP2002158287A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

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JP2002158287A
JP2002158287A JP2001244847A JP2001244847A JP2002158287A JP 2002158287 A JP2002158287 A JP 2002158287A JP 2001244847 A JP2001244847 A JP 2001244847A JP 2001244847 A JP2001244847 A JP 2001244847A JP 2002158287 A JP2002158287 A JP 2002158287A
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well
power supply
transistor
supply potential
channel transistor
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Tooru Hosaka
透 甫仮
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor integrated circuit in which the cell size is smaller than before by omitting a wasteful region within a standard cell. SOLUTION: The semiconductor integrated circuit comprises an N well 1 and P well 2 formed in a semiconductor substrate, a power supply potential wiring 50 formed on the N well 1, a power supply potential wiring 60 formed on the P well 2, P channel transistors QP1 and QP2 formed in the N well 1, N channel transistors QN1 and QN2 formed in the P well 2, an NAND cell 10 comprising a tap 109 formed in the P well 2, and an NOR cell comprising a tap formed in the N well 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、一般的に半導体集
積回路に関し、特に、スタンダードセルによって構成さ
れる半導体集積回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention generally relates to a semiconductor integrated circuit, and more particularly, to a semiconductor integrated circuit constituted by standard cells.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の半導体集積回路において用いられ
ているスタンダードセルについて、NANDセル及びN
ORセルを例にとり説明する。
2. Description of the Related Art Standard cells used in conventional semiconductor integrated circuits include NAND cells and N cells.
This will be described using an OR cell as an example.

【0003】図6は、一般的な2入力NAND回路の回
路図である。また、図7は、従来の半導体集積回路にお
けるNANDセルのレイアウト図である。図7のNAN
Dセルは、図6に示すNAND回路を構成している。な
お、図7においては、絶縁膜が省略されている。図7に
示すように、NANDセル110は、Nウエル1内に形
成されたPチャネルトランジスタQP1及びQP2と、
Pウエル2内に形成されたNチャネルトランジスタQN
1及びQN2と、Nウエル1上に絶縁膜を介して形成さ
れ、第1の電源電位VDDを供給するためのアルミニウム
等の電源電位供給配線50と、Pウエル2上に絶縁膜を
介して形成され、第1の電源電位VSS(ここでは接地電
位とする)を供給するためのアルミニウム等の電源電位
供給配線60と、2つの入力線307及び308とを含
んでいる。ここで、入力線307が図6示すNAND回
路の入力IN1に相当し、入力線308が図6示すNA
ND回路の入力IN2に相当する。
FIG. 6 is a circuit diagram of a general two-input NAND circuit. FIG. 7 is a layout diagram of a NAND cell in a conventional semiconductor integrated circuit. NAN of FIG.
The D cells constitute the NAND circuit shown in FIG. Note that the insulating film is omitted in FIG. As shown in FIG. 7, the NAND cell 110 includes P-channel transistors QP1 and QP2 formed in the N well 1,
N-channel transistor QN formed in P well 2
1 and QN2, a power supply potential supply line 50 made of aluminum or the like for supplying a first power supply potential V DD formed on the N well 1 via an insulation film, and an insulation film on the P well 2 via an insulation film. It includes a power supply potential supply line 60 made of aluminum or the like for supplying a first power supply potential V SS (here, a ground potential), and two input lines 307 and 308. Here, the input line 307 corresponds to the input IN1 of the NAND circuit shown in FIG. 6, and the input line 308 is the NA shown in FIG.
This corresponds to the input IN2 of the ND circuit.

【0004】トランジスタQP1及びQP2は、ドレイ
ンが共通となるように並列接続されている。トランジス
タQP1及びQP2の共通ドレインは、コンタクト30
3によってアルミニウム等の配線304に接続されてい
る。また、トランジスタQP1のソースは、コンタクト
301によって電源電位供給配線50に接続されてい
る。同様に、トランジスタQP2のソースは、コンタク
ト302によって電源電位供給配線50に接続されてい
る。
The transistors QP1 and QP2 are connected in parallel so that the drains are common. The common drain of the transistors QP1 and QP2
3 is connected to a wiring 304 made of aluminum or the like. The source of the transistor QP <b> 1 is connected to the power supply line 50 by a contact 301. Similarly, the source of the transistor QP2 is connected to the power supply potential supply line 50 by a contact 302.

【0005】一方、トランジスタQN1及びQN2は、
トランジスタQN1のソースとトランジスタQN2のド
レインが共通となるように直列接続されている。トラン
ジスタQN1のドレインは、コンタクト305によって
配線304に接続されている。また、トランジスタQN
2のソースは、コンタクト306によって電源電位供給
配線60に接続されている。NANDセル110の出力
信号は、配線304に供給される。
On the other hand, transistors QN1 and QN2 are
The source of the transistor QN1 and the drain of the transistor QN2 are connected in series so as to be common. The drain of the transistor QN1 is connected to the wiring 304 by a contact 305. Also, the transistor QN
The source 2 is connected to the power supply line 60 by a contact 306. The output signal of the NAND cell 110 is supplied to the wiring 304.

【0006】トランジスタQP1のゲート電極とトラン
ジスタQN1のゲート電極は、互いに接続されて入力線
307を形成している。また、トランジスタQP2のゲ
ート電極とトランジスタQN2のゲート電極は、互いに
接続されて入力線308を形成している。
The gate electrode of transistor QP1 and the gate electrode of transistor QN1 are connected to each other to form input line 307. The gate electrode of the transistor QP2 and the gate electrode of the transistor QN2 are connected to each other to form an input line 308.

【0007】トランジスタQP1に隣接するようにNウ
エル1内に形成されたタップ309が、電源電位供給配
線50に接続されている。これによって、Nウエル1に
は、電源電位供給配線50から第1の電源電位VDDが供
給される。また、トランジスタQN1に隣接するように
Pウエル2内に形成されたタップ310が、電源電位供
給配線60に接続されている。これによって、Pウエル
2には、電源電位供給配線60から第2の電源電位VSS
が供給される。
A tap 309 formed in the N well 1 so as to be adjacent to the transistor QP 1 is connected to the power supply potential supply line 50. As a result, the first power supply potential VDD is supplied to the N-well 1 from the power supply potential supply wiring 50. Further, a tap 310 formed in the P well 2 so as to be adjacent to the transistor QN1 is connected to the power supply potential supply line 60. As a result, the P-well 2 receives the second power supply potential V SS from the power supply potential supply line 60.
Is supplied.

【0008】ここで、並列接続されたトランジスタQP
1及びQP2は、直列接続されたトランジスタQN1及
びQN2と比較して、コンタクト303の分だけX軸方
向の長さが長くなっている。従って、NANDセル11
0のサイズは、トランジスタQP1及びQP2と、タッ
プ309とによって定まっていた。
Here, the transistors QP connected in parallel
1 and QP2 are longer in the X-axis direction by the amount of the contact 303 than the transistors QN1 and QN2 connected in series. Therefore, the NAND cell 11
The size of 0 was determined by the transistors QP1 and QP2 and the tap 309.

【0009】図8は、一般的な2入力NOR回路の回路
図である。また、図9は、従来の半導体集積回路におけ
るNORセルのレイアウト図である。図9のNORセル
は、図8に示すNOR回路を構成している。なお、図9
においては、絶縁膜が省略されている。図9に示すよう
に、NORセル120は、Nウエル1内に形成されたP
チャネルトランジスタQP3及びQP4と、Pウエル2
内に形成されたNチャネルトランジスタQN3及びQN
4と、Nウエル上に絶縁膜を介して形成され、第1の電
源電位VDDを供給するための電源電位供給配線50と、
Pウエル上に絶縁膜を介して形成され、第2の電源電位
SS(ここでは接地電位とする)を供給するための電源
電位供給配線60と、2つの入力線407及び408と
を含んでいる。ここで、入力線407が図8示すNOR
回路の入力IN3に相当し、入力線408が図8示すN
OR回路の入力IN4に相当する。
FIG. 8 is a circuit diagram of a general two-input NOR circuit. FIG. 9 is a layout diagram of a NOR cell in a conventional semiconductor integrated circuit. The NOR cell of FIG. 9 forms the NOR circuit shown in FIG. Note that FIG.
, The insulating film is omitted. As shown in FIG. 9, the NOR cell 120 includes a P cell formed in the N well 1.
Channel transistors QP3 and QP4 and P-well 2
N-channel transistors QN3 and QN formed in
4, a power supply potential supply line 50 formed on the N-well with an insulating film interposed therebetween to supply a first power supply potential V DD ,
A power supply potential supply line 60 formed on the P-well with an insulating film interposed therebetween to supply a second power supply potential V SS (here, a ground potential) and two input lines 407 and 408 are included. I have. Here, the input line 407 is the NOR shown in FIG.
The input line 408 corresponds to the input IN3 of the circuit shown in FIG.
This corresponds to the input IN4 of the OR circuit.

【0010】トランジスタQP3及びQP4は、トラン
ジスタQP3のドレインとトランジスタQP4のソース
とが共通となるように直列接続されている。トランジス
タQP3のソースは、コンタクト401によって電源電
位供給配線50に接続されている。また、トランジスタ
QP4のドレインは、コンタクト402によってアルミ
ニウム等の配線403に接続されている。
The transistors QP3 and QP4 are connected in series such that the drain of the transistor QP3 and the source of the transistor QP4 are common. The source of the transistor QP3 is connected to the power supply potential supply line 50 by a contact 401. The drain of the transistor QP4 is connected to a wiring 403 of aluminum or the like by a contact 402.

【0011】トランジスタQN3及びQN4は、ドレイ
ンが共通となるように並列接続されている。トランジス
タQN3及びQN4の共通ドレインは、コンタクト40
4によって配線403に接続されている。また、トラン
ジスタQN3のソースは、コンタクト406によって電
源電位供給配線60に接続されている。同様に、トラン
ジスタQN4のソースは、コンタクト405によって電
源電位供給配線60に接続されている。NORセル12
0の出力信号は、配線403に供給される。
The transistors QN3 and QN4 are connected in parallel so that the drains are common. The common drain of the transistors QN3 and QN4
4 are connected to the wiring 403. Further, the source of the transistor QN3 is connected to the power supply potential supply line 60 by a contact 406. Similarly, the source of the transistor QN4 is connected to the power supply line 60 by a contact 405. NOR cell 12
The output signal of 0 is supplied to the wiring 403.

【0012】トランジスタQP3のゲート電極とトラン
ジスタQN3のゲート電極は、互いに接続されて入力線
407を形成している。また、トランジスタQP4のゲ
ート電極とトランジスタQN4のゲート電極は、互いに
接続されて入力線408を形成している。
The gate electrode of transistor QP3 and the gate electrode of transistor QN3 are connected to each other to form input line 407. The gate electrode of transistor QP4 and the gate electrode of transistor QN4 are connected to each other to form input line 408.

【0013】トランジスタQP4に隣接するようにNウ
エル1内に形成されたタップ409が、電源電位供給配
線50に接続されている。これによって、Nウエル1に
は、電源電位供給配線50から第1の電源電位VDDが供
給される。また、トランジスタQN4に隣接するように
Pウエル2内に形成されたタップ410が、電源電位供
給配線60に接続されている。これによって、Pウエル
2には、電源電位供給配線60から第2の電源電位VSS
が供給される。
A tap 409 formed in the N well 1 so as to be adjacent to the transistor QP4 is connected to the power supply line 50. As a result, the first power supply potential VDD is supplied to the N-well 1 from the power supply potential supply wiring 50. Further, a tap 410 formed in the P well 2 so as to be adjacent to the transistor QN4 is connected to the power supply potential supply line 60. As a result, the P-well 2 receives the second power supply potential V SS from the power supply potential supply line 60.
Is supplied.

【0014】ここで、並列接続されたトランジスタQN
3及びQN4は、直列接続されたトランジスタQP3及
びQP4と比較して、コンタクト404の分だけX軸方
向の長さが長くなっている。従って、NORセル120
のサイズは、トランジスタQN3及びQN4と、タップ
410とによって定まっていた。
Here, the transistor QN connected in parallel
3 and QN4 are longer in the X-axis direction by the amount of the contact 404 than the transistors QP3 and QP4 connected in series. Therefore, NOR cell 120
Is determined by the transistors QN3 and QN4 and the tap 410.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
スタンダードセルには、Nウエルに第1の電源電位VDD
を供給するためのタップと、Pウエルに第2の接地電位
SSを供給するためのタップとの両方が設けられてい
る。また、Nウエルに形成される素子の面積とPウエル
に形成される素子の面積は、トランジスタが並列接続で
あるか直列接続であるか等の接続状態の違いや、Pチャ
ネルトランジスタとNチャネルトランジスタとの間のサ
イズの違いや、配線の引き回しの違い等によって差が生
じる。従って、形成される素子の面積が大きい方のウエ
ルにタップ領域を加算してセルサイズを決定すると、ス
タンダードセル内に無駄な領域が生じてセルサイズが不
必要に大きくなってしまうという問題があった。
As described above, in the conventional standard cell, the N-well has the first power supply potential V DD.
, And a tap for supplying the second ground potential V SS to the P-well. In addition, the area of the element formed in the N well and the area of the element formed in the P well are determined by the difference in connection state, such as whether the transistors are connected in parallel or in series, or the P-channel transistor and the N-channel transistor. Differences occur due to differences in size between the two, and differences in wiring layout. Therefore, if the cell size is determined by adding the tap region to the well in which the area of the element to be formed is large, there is a problem that a useless region occurs in the standard cell and the cell size becomes unnecessarily large. Was.

【0016】そこで、上記の点に鑑み、本発明は、スタ
ンダードセル内の無駄な領域を省いてセルサイズを従来
よりも小さくした半導体集積回路を提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, an object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit having a smaller cell size than conventional ones by eliminating useless areas in a standard cell.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
め、本発明に係る半導体集積回路は、半導体基板と、半
導体基板内に形成されたNウエルと、Nウエル上に絶縁
膜を介してNウエルの長手方向に形成された第1の電源
電位供給配線と、半導体基板又は半導体基板内に形成さ
れたPウエル上に絶縁膜を介して第1の電源電位供給配
線と平行に形成された第2の電源電位供給配線と、Nウ
エル内に形成されたPチャネルトランジスタと半導体基
板又はPウエル内に形成されたNチャネルトランジスタ
とを含む第1群のセルであって、Nウエルを第1の電源
電位供給配線に接続する第1のタップを有し、半導体基
板又はPウエルを第2の電源電位供給配線に接続する第
2のタップを有さない第1群のセルと、Nウエル内に形
成されたPチャネルトランジスタと半導体基板又はPウ
エル内に形成されたNチャネルトランジスタとを含む第
2群のセルであって、第2のタップを有し、第1のタッ
プを有さない第2群のセルとを具備する。
In order to solve the above problems, a semiconductor integrated circuit according to the present invention comprises a semiconductor substrate, an N well formed in the semiconductor substrate, and an insulating film formed on the N well via an insulating film. A first power supply potential supply line formed in the longitudinal direction of the N well and a semiconductor substrate or a P well formed in the semiconductor substrate are formed in parallel with the first power supply potential supply line via an insulating film. A first group of cells including a second power supply potential supply line, a P-channel transistor formed in an N-well, and an N-channel transistor formed in a semiconductor substrate or a P-well, wherein the N-well is a first cell. A first group of cells having a first tap connected to the second power supply potential supply line, and not having a second tap connecting the semiconductor substrate or the P-well to the second power supply potential supply line; P channel formed on A second group of cells including a transistor and an N-channel transistor formed in a semiconductor substrate or a P well, the second group of cells having a second tap and not having a first tap. Have.

【0018】さらに、本発明に係る半導体集積回路は、
Nウエル内に形成されたPチャネルトランジスタと半導
体基板又はPウエル内に形成されたNチャネルトランジ
スタとを含む第3群のセルであって、第1のタップも第
2のタップも有さない第3群のセルを具備しても良い。
Further, the semiconductor integrated circuit according to the present invention comprises:
A third group of cells including a P-channel transistor formed in an N-well and an N-channel transistor formed in a semiconductor substrate or a P-well, wherein the third group of cells has neither a first tap nor a second tap. It may include three groups of cells.

【0019】以上において、第1群のセルの内の1つの
セルが、Nウエル内に第1の電源電位供給配線と平行に
並んで形成され、一方のソースと他方のドレインとが共
通となるように直列接続された複数のPチャネルトラン
ジスタと、半導体基板又はPウエル内に第2の電源電位
供給配線と平行に並んで形成され、ドレインが共通とな
るように並列接続された複数のNチャネルトランジスタ
と、複数のPチャネルトランジスタの内の一方に隣接し
てNウエル内に形成され、第1の電源電位供給配線に接
続されたタップとを含むようにしても良い。
In the above, one of the cells of the first group is formed in the N-well in parallel with the first power supply line, and one source and the other drain are common. P-channel transistors connected in series as described above, and a plurality of N-channel transistors formed in the semiconductor substrate or P-well in parallel with the second power supply line and connected in parallel so that the drain is common It may include a transistor and a tap formed in the N well adjacent to one of the plurality of P-channel transistors and connected to the first power supply potential supply line.

【0020】ここで、第1群のセルの内の1つのセル
が、ドレインが相互に接続されソースが第2の電源電位
供給配線に接続されたK個のNチャネルトランジスタと
(Kは2以上の整数)、第1の電源電位供給配線とK個
のNチャネルトランジスタのドレインとの間に直列に接
続されたK個のPチャネルトランジスタと、各々が1つ
のNチャネルトランジスタのゲート電極と1つのPチャ
ネルトランジスタのゲート電極とを構成するK個の入力
とを含むNORセルであっても良い。
Here, one of the cells in the first group is composed of K N-channel transistors whose drains are connected to each other and whose source is connected to the second power supply line (where K is 2 or more). ), K P-channel transistors connected in series between the first power supply potential supply line and the drains of the K N-channel transistors, each having a gate electrode of one N-channel transistor and one It may be a NOR cell including K inputs forming a gate electrode of a P-channel transistor.

【0021】また、第2群のセルの内の1つのセルが、
Nウエル内に第1の電源電位供給配線と平行に並んで形
成され、ドレインが共通となるように並列接続された複
数のPチャネルトランジスタと、半導体基板又はPウエ
ル内に第2の電源電位供給配線と平行に並んで形成さ
れ、一方のソースと他方のドレインとが共通となるよう
に直列接続された複数のNチャネルトランジスタと、複
数のNチャネルトランジスタの内の一方に隣接して半導
体基板又はPウエル内に形成され、第2の電源電位供給
配線に接続されたタップとを含むようにしても良い。
Also, one of the cells of the second group is
A plurality of P-channel transistors formed in the N-well in parallel with the first power supply potential supply line and connected in parallel with a common drain, and a second power supply potential supply in the semiconductor substrate or the P-well; A plurality of N-channel transistors formed in parallel with the wiring and connected in series so that one source and the other drain are common; and a semiconductor substrate or one adjacent to one of the plurality of N-channel transistors. And a tap formed in the P-well and connected to the second power supply potential supply line.

【0022】ここで、第2群のセルの内の1つのセル
が、ソースが第1の電源電位供給配線に接続されドレイ
ンが相互に接続されたL個のPチャネルトランジスタと
(Lは2以上の整数)、L個のPチャネルトランジスタ
のドレインと第2の電源電位供給配線との間に直列に接
続されたL個のNチャネルトランジスタと、各々が1つ
のPチャネルトランジスタのゲート電極と1つのNチャ
ネルトランジスタのゲート電極とに接続されたL個の入
力とを含むNANDセルであっても良い。
Here, one of the cells of the second group is composed of L P-channel transistors whose sources are connected to the first power supply potential supply line and whose drains are connected to each other (where L is 2 or more). ), L N-channel transistors connected in series between the drains of the L P-channel transistors and the second power supply potential supply line, each having a gate electrode of one P-channel transistor and one It may be a NAND cell including L inputs connected to the gate electrode of an N-channel transistor.

【0023】あるいは、第1群のセルの内の1つのセル
が、Nウエル内に形成された不純物拡散領域を有する少
なくとも1つのPチャネルトランジスタと、半導体基板
又はPウエル内に形成された不純物拡散領域を有する少
なくとも1つのNチャネルトランジスタとを含み、少な
くとも1つのPチャネルトランジスタの不純物拡散領域
が、少なくとも1つのNチャネルトランジスタの不純物
拡散領域よりも大きくなるようにしても良い。
Alternatively, one of the cells of the first group includes at least one P-channel transistor having an impurity diffusion region formed in an N well and an impurity diffusion region formed in a semiconductor substrate or a P well. And at least one N-channel transistor having a region, wherein the impurity diffusion region of the at least one P-channel transistor is larger than the impurity diffusion region of the at least one N-channel transistor.

【0024】また、第1群のセルの内の1つのセルが、
Nウエル内に形成された不純物拡散領域を有する少なく
とも1つのPチャネルトランジスタと、半導体基板又は
Pウエル内に形成された不純物拡散領域を有する少なく
とも1つのNチャネルトランジスタとを含み、少なくと
も1つのNチャネルトランジスタに接続された配線の領
域が、少なくとも1つのPチャネルトランジスタに接続
された配線の領域よりも大きくなるようにしても良い。
Also, one of the cells of the first group is
At least one n-channel transistor including at least one p-channel transistor having an impurity diffusion region formed in an n-well and at least one n-channel transistor having an impurity diffusion region formed in a semiconductor substrate or a p-well; The area of the wiring connected to the transistor may be larger than the area of the wiring connected to at least one P-channel transistor.

【0025】以上のように構成した本発明に係る半導体
集積回路によれば、第1群のセルにはNウエルのタップ
のみを形成し、第2群のセルにはPウエルのタップのみ
を形成することにより、セルスタンダードセル内の無駄
な領域を省いて、セルサイズを従来よりも小さくするこ
とができる。
According to the semiconductor integrated circuit of the present invention configured as described above, only the N-well tap is formed in the first group of cells, and only the P-well tap is formed in the second group of cells. By doing so, the useless area in the cell standard cell can be omitted, and the cell size can be made smaller than before.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態について説明する。同一の構成要素には同一の
参照番号を付して、説明を省略する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0027】まず、本発明の第1の実施形態について説
明する。本発明の第1の実施形態に係る半導体集積回路
は、同一のNウエル内に形成された複数のPチャネルト
ランジスタと同一のPウエル内に形成された複数のNチ
ャネルトランジスタとを用いて構成されたNANDセル
及びNORセルを含む。あるいは、Pウエルを省略し
て、Nチャネルトランジスタを半導体基板内に直接形成
するようにしても良い。
First, a first embodiment of the present invention will be described. The semiconductor integrated circuit according to the first embodiment of the present invention is configured using a plurality of P-channel transistors formed in the same N-well and a plurality of N-channel transistors formed in the same P-well. Including NAND cells and NOR cells. Alternatively, the P-well may be omitted and the N-channel transistor may be formed directly in the semiconductor substrate.

【0028】図1は、本実施形態に係る半導体集積回路
に含まれるNANDセルのレイアウト図である。図1の
NANDセルは、図6に示すNAND回路を構成してい
る。なお、図1においては、絶縁膜が省略されている。
図1に示すように、半導体基板内には、Nウエル1とP
ウエル2とが形成されている。NANDセル10は、N
ウエル1内に形成されたPチャネルトランジスタQP1
及びQP2と、Pウエル2内に形成されたNチャネルト
ランジスタQN1及びQN2と、Nウエル1上に絶縁膜
を介して形成され、第1の電源電位VDDを供給するため
のアルミニウム等の電源電位供給配線50と、Pウエル
2上に絶縁膜を介して形成され、第2の電源電位V
SS(ここでは接地電位とする)を供給するためのアルミ
ニウム等の電源電位供給配線60と、2つの入力線10
7及び108とを含んでいる。ここで、入力線107が
図6示すNAND回路入力IN1に相当し、入力線10
8が図6示すNAND回路入力IN2に相当する。
FIG. 1 is a layout diagram of a NAND cell included in the semiconductor integrated circuit according to the present embodiment. 1 constitutes the NAND circuit shown in FIG. In FIG. 1, the insulating film is omitted.
As shown in FIG. 1, an N well 1 and a P well are provided in a semiconductor substrate.
Well 2 is formed. The NAND cell 10 has N
P-channel transistor QP1 formed in well 1
And QP2, N-channel transistors QN1 and QN2 formed in the P well 2, and a power supply potential such as aluminum formed on the N well 1 through an insulating film to supply a first power supply potential V DD. A second power supply potential V is formed on the supply wiring 50 and the P well 2 via an insulating film.
A power supply potential supply line 60 made of aluminum or the like for supplying SS (here, ground potential) and two input lines 10
7 and 108. Here, the input line 107 corresponds to the NAND circuit input IN1 shown in FIG.
8 corresponds to the NAND circuit input IN2 shown in FIG.

【0029】トランジスタQP1及びQP2は、ドレイ
ンが共通となるように並列接続されている。トランジス
タQP1及びQP2の共通ドレインは、コンタクト10
3によってアルミニウム等の配線104に接続されてい
る。また、トランジスタQP1のソースは、コンタクト
101によって電源電位供給配線50に接続されてい
る。同様に、トランジスタQP2のソースは、コンタク
ト102によって電源電位供給配線50に接続されてい
る。
The transistors QP1 and QP2 are connected in parallel so that the drains are common. The common drain of the transistors QP1 and QP2
3 is connected to a wiring 104 made of aluminum or the like. Further, the source of the transistor QP1 is connected to the power supply potential supply line 50 by a contact 101. Similarly, the source of the transistor QP2 is connected to the power supply line 50 by a contact 102.

【0030】トランジスタQN1及びQN2は、トラン
ジスタQN1のソースとトランジスタQN2のドレイン
とが共通となるように直列接続されている。また、トラ
ンジスタQN1のドレインは、コンタクト105によっ
て配線104に接続されている。さらに、トランジスタ
QN2のソースは、コンタクト106によって電源電位
供給配線60に接続されている。NANDセル10の出
力信号は、配線104に供給される。
The transistors QN1 and QN2 are connected in series such that the source of the transistor QN1 and the drain of the transistor QN2 are common. The drain of the transistor QN1 is connected to the wiring 104 by a contact 105. Further, the source of the transistor QN2 is connected to the power supply line 60 by a contact 106. The output signal of the NAND cell 10 is supplied to the wiring 104.

【0031】トランジスタQP1のゲート電極とトラン
ジスタQN1のゲート電極は、互いに接続されて入力線
107を形成している。また、トランジスタQP2のゲ
ート電極とトランジスタQN2のゲート電極は、互いに
接続されて入力線108を形成している。
The gate electrode of transistor QP1 and the gate electrode of transistor QN1 are connected to each other to form input line 107. The gate electrode of the transistor QP2 and the gate electrode of the transistor QN2 are connected to each other to form the input line 108.

【0032】トランジスタQN1に隣接するようにPウ
エル2内に形成されたタップ109が、電源電位供給配
線60に接続されている。これによって、Pウエル2に
は、NANDセルのタップ109を介して、電源電位供
給配線60から第2の電源電位VSSが供給される。
A tap 109 formed in the P well 2 so as to be adjacent to the transistor QN1 is connected to the power supply potential supply line 60. As a result, the second power supply potential VSS is supplied to the P well 2 from the power supply line 60 via the tap 109 of the NAND cell.

【0033】ここで、本実施形態におけるNANDセル
10を従来のNANDセル110(図7)と比較する
と、従来のNANDセル110のタップ309に相当す
るタップが、本実施形態におけるNANDセル10には
設けられていない。そのため、NANDセル10のX軸
方向の長さは、直列接続されたトランジスタQN1及び
QN2とタップ109とによって定まることとなる。従
って、本実施形態に係る半導体装置に含まれるNAND
セル10においては、従来のNANDセル110よりも
コンタクト303の分だけX軸方向の長さを短縮するこ
とができ、セルサイズを小さくすることができる。
Here, when the NAND cell 10 in the present embodiment is compared with the conventional NAND cell 110 (FIG. 7), a tap corresponding to the tap 309 of the conventional NAND cell 110 is included in the NAND cell 10 in the present embodiment. Not provided. Therefore, the length of the NAND cell 10 in the X-axis direction is determined by the transistors 109 and QN2 and the tap 109 connected in series. Therefore, the NAND included in the semiconductor device according to the present embodiment
In the cell 10, the length in the X-axis direction can be reduced by the amount of the contact 303 as compared with the conventional NAND cell 110, and the cell size can be reduced.

【0034】図2は、本実施形態に係る半導体集積回路
に含まれるNORセルのレイアウト図である。図2のN
ORセルは、図8に示すNOR回路を構成している。な
お、図2においては、絶縁膜が省略されている。図2に
示すように、半導体基板内には、Nウエル1とPウエル
2とが形成されている。NORセル20は、Nウエル1
内に形成されたPチャネルトランジスタQP3及びQP
4と、Pウエル2内に形成されたNチャネルトランジス
タQN3及びQN4と、Nウエル1上に絶縁膜を介して
形成され、第1の電源電位VDDを供給するためのアルミ
ニウム等の電源電位供給配線50と、Pウエル2上に絶
縁膜を介して形成され、第2の電源電位VSS(ここでは
接地電位とする)を供給するためのアルミニウム等の電
源電位供給配線60と、2つの入力線207及び208
とを含んでいる。ここで、入力線207が図8に示すN
OR回路の入力IN3に相当し、入力線208が図8に
示すNOR回路の入力IN4に相当する。
FIG. 2 is a layout diagram of a NOR cell included in the semiconductor integrated circuit according to the present embodiment. N in FIG.
The OR cells constitute the NOR circuit shown in FIG. In FIG. 2, the insulating film is omitted. As shown in FIG. 2, an N well 1 and a P well 2 are formed in a semiconductor substrate. NOR cell 20 has N well 1
P-channel transistors QP3 and QP formed in
4, N-channel transistors QN3 and QN4 formed in the P well 2, and a power supply potential such as aluminum formed on the N well 1 via an insulating film to supply a first power supply potential V DD. A power supply potential supply line 60 made of aluminum or the like for forming a wiring 50, a second power supply potential V SS (here, a ground potential) formed on the P well 2 via an insulating film, and two inputs; Lines 207 and 208
And Here, the input line 207 is N
The input line 208 corresponds to the input IN4 of the NOR circuit shown in FIG.

【0035】トランジスタQP3及びQP4は、トラン
ジスタQP3のドレインとトランジスタQP4のソース
とが共通となるように直列接続されている。また、トラ
ンジスタQP3のソースは、コンタクト201によって
電源電位供給配線50に接続されている。さらに、トラ
ンジスタQP4のドレインは、コンタクト202によっ
てアルミニウム等の配線203に接続されている。
The transistors QP3 and QP4 are connected in series such that the drain of the transistor QP3 and the source of the transistor QP4 are common. In addition, the source of the transistor QP3 is connected to the power supply potential supply line 50 by a contact 201. Further, the drain of the transistor QP4 is connected to a wiring 203 of aluminum or the like by a contact 202.

【0036】トランジスタQN3及びQN4は、ドレイ
ンが共通となるように並列接続されている。トランジス
タQN3及びQN4の共通ドレインは、コンタクト20
4によって配線203に接続されている。また、トラン
ジスタQN3のソースは、コンタクト206によって電
源電位供給配線60に接続されている。同様に、トラン
ジスタQN4のソースは、コンタクト205によって電
源電位供給配線60に接続されている。NORセル20
の出力信号は、配線203に供給される。
The transistors QN3 and QN4 are connected in parallel so that the drains are common. The common drain of transistors QN3 and QN4 is connected to contact 20
4 are connected to the wiring 203. In addition, the source of the transistor QN3 is connected to the power supply potential supply line 60 by a contact 206. Similarly, the source of the transistor QN4 is connected to the power supply line 60 by a contact 205. NOR cell 20
Is supplied to the wiring 203.

【0037】トランジスタQP3のゲート電極とトラン
ジスタQN3のゲート電極は、互いに接続されて入力線
207を形成している。また、トランジスタQP4とト
ランジスタQN4のゲート電極は、互いに接続されて入
力線208を形成している。
The gate electrode of transistor QP3 and the gate electrode of transistor QN3 are connected to each other to form input line 207. The gate electrodes of the transistor QP4 and the transistor QN4 are connected to each other to form an input line 208.

【0038】トランジスタQP4に隣接するようにNウ
エル1内に形成されたタップ209が、電源電位供給配
線50に接続されている。これによって、Nウエル1に
は、NORセルのタップ209を介して、電源電位供給
配線50から第1の電源電位VDDが供給される。
A tap 209 formed in the N well 1 so as to be adjacent to the transistor QP4 is connected to the power supply line 50. As a result, the first power supply potential VDD is supplied to the N well 1 from the power supply wiring 50 via the tap 209 of the NOR cell.

【0039】ここで、本実施形態におけるNORセル2
0を従来のNORセル120(図9)と比較すると、従
来のNORセル120のタップ410に相当するタップ
が、本実施形態におけるNORセル20には設けられて
いない。そのため、NORセル20のX軸方向の長さ
は、直列接続されたトランジスタQP3及びQP4とタ
ップ209とによって定まることとなる。従って、本実
施形態に係るNORセル20においては、従来のNOR
セル120よりもコンタクト404の分だけX軸方向の
長さを短縮することができ、セルサイズを小さくするこ
とができる。
Here, the NOR cell 2 in the present embodiment
When 0 is compared with the conventional NOR cell 120 (FIG. 9), a tap corresponding to the tap 410 of the conventional NOR cell 120 is not provided in the NOR cell 20 in the present embodiment. Therefore, the length of the NOR cell 20 in the X-axis direction is determined by the transistors QP3 and QP4 connected in series and the tap 209. Therefore, in the NOR cell 20 according to the present embodiment, the conventional NOR cell
The length in the X-axis direction can be shorter than the cell 120 by the contact 404, and the cell size can be reduced.

【0040】なお、図1に示すNANDセル10単独で
はNウエルに第1の電源電位を供給することができず、
また図2に示すNORセル20単独ではPウエルに第2
の電源電位を供給することができない。しかし、同一の
Nウエル及び同一のPウエル内に、本実施形態に係るN
ANDセルとNORセルを少なくとも1つずつ形成する
ことにより、各ウエルには第1及び第2の電源電位が供
給される。
The NAND cell 10 alone shown in FIG. 1 cannot supply the first power supply potential to the N well,
In the case of the NOR cell 20 alone shown in FIG.
Power supply potential cannot be supplied. However, in the same N well and the same P well, the N
By forming at least one AND cell and one NOR cell, the first and second power supply potentials are supplied to each well.

【0041】さらに、同一のNウエル及び同一のPウエ
ル内に、図1に示すタップ109も図2に示すタップ2
09も有しないスタンダードセルを形成することも可能
である。これら3種類のスタンダードセルを組み合わせ
ることにより、各ウエルの所定面積当りに少なくとも1
つのタップを配置し、タップの中心から所定の半径(例
えば15μm)を有する円で表されるタップ有効領域に
よって各ウエルを覆い尽くすことが望ましい。
Further, in the same N well and the same P well, the tap 109 shown in FIG.
It is also possible to form a standard cell having no 09. By combining these three types of standard cells, at least one cell per predetermined area of each well is obtained.
It is desirable to dispose one tap and cover each well with a tap effective area represented by a circle having a predetermined radius (for example, 15 μm) from the center of the tap.

【0042】次に、本発明の第2の実施形態について説
明する。本発明の第2の実施形態に係る半導体集積回路
は、同一のNウエル内に形成された複数のPチャネルト
ランジスタと同一のPウエル内に形成された複数のNチ
ャネルトランジスタとを用いて構成された複数のスタン
ダードセルを含む。あるいは、Pウエルを省略して、N
チャネルトランジスタを半導体基板内に直接形成するよ
うにしても良い。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The semiconductor integrated circuit according to the second embodiment of the present invention is configured using a plurality of P-channel transistors formed in the same N-well and a plurality of N-channel transistors formed in the same P-well. Including a plurality of standard cells. Alternatively, omit the P-well and
The channel transistor may be formed directly in the semiconductor substrate.

【0043】図3は、本発明の第2の実施形態に係る半
導体集積回路に含まれる2つのインバータ回路を示す回
路図である。図3に示すように、本実施形態に係る半導
体集積回路は、PチャネルトランジスタQP5及びNチ
ャネルトランジスタQN5によって構成される第1のイ
ンバータ回路と、PチャネルトランジスタQP6及びN
チャネルトランジスタQN6によって構成される第2の
インバータ回路とを含んでいる。
FIG. 3 is a circuit diagram showing two inverter circuits included in a semiconductor integrated circuit according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the semiconductor integrated circuit according to the present embodiment includes a first inverter circuit including a P-channel transistor QP5 and an N-channel transistor QN5, and a P-channel transistor QP6 and a N-channel transistor NP.
A second inverter circuit constituted by a channel transistor QN6.

【0044】ここで、PチャネルMOSトランジスタの
ドレイン電流IPとNチャネルMOSトランジスタのド
レイン電流INとの間には、次のような関係がある。 IP = IN ・・・ (1) また、Pチャネルトランジスタのドレイン電流IPは次
式で表される。
[0044] Here, between the drain current I N of the drain current I P and N-channel MOS transistor of P-channel MOS transistor, the following relationship. I P = I N (1) The drain current I P of the P-channel transistor is represented by the following equation.

【数1】 一方、Nチャネルトランジスタのドレイン電流INは次
式で表される。
(Equation 1) On the other hand, the drain current I N of the N-channel transistor is expressed by the following equation.

【数2】 以上において、βPはPチャネルトランジスタの利得係
数、βNはNチャネルトランジスタの利得係数、VLはイ
ンバータ回路の入力しきい電位(ロジックレベル)、V
TPはPチャネルトランジスタのしきい電圧、VTNはNチ
ャネルトランジスタのしきい電圧を表す。
(Equation 2) In the above, β P is the gain coefficient of the P-channel transistor, β N is the gain coefficient of the N-channel transistor, VL is the input threshold potential (logic level) of the inverter circuit, and V
TP represents a threshold voltage of a P-channel transistor, and V TN represents a threshold voltage of an N-channel transistor.

【0045】Pチャネルトランジスタの利得係数βP
次式で表される。
The gain coefficient β P of the P-channel transistor is expressed by the following equation.

【数3】 一方、Nチャネルトランジスタの利得係数βNは次式で
表される。
(Equation 3) On the other hand, the gain coefficient β N of the N-channel transistor is expressed by the following equation.

【数4】 ここで、WPはPチャネルトランジスタのチャネル幅、
PはPチャネルトランジスタのチャネル長、WNはNチ
ャネルトランジスタのチャネル幅、LNはNチャネルト
ランジスタのチャネル長を表す。また、μPは正孔易動
度、μNは電子易動度、CPはPチャネルトランジスタの
単位面積当たりのゲート絶縁膜の容量、CNはNチャネ
ルトランジスタの単位面積当たりのゲート絶縁膜の容量
を表す。
(Equation 4) Where W P is the channel width of the P-channel transistor,
L P represents the channel length of the P-channel transistor, W N represents the channel width of the N-channel transistor, and L N represents the channel length of the N-channel transistor. Μ P is the hole mobility, μ N is the electron mobility, C P is the capacitance of the gate insulating film per unit area of the P-channel transistor, and C N is the gate insulating film per unit area of the N-channel transistor. Represents the capacity of

【0046】一般的に、電子易動度μNは、正孔易動度
μPの3〜4倍の値である。このため、Pチャネルトラ
ンジスタとNチャネルトランジスタとにおいて、単位面
積当たりのゲート絶縁膜の容量、チャネル幅、チャネル
長が等しい場合には、(4)式と(5)式から、Nチャ
ネルトランジスタの利得係数βNが、Pチャネルトラン
ジスタの利得係数βPよりも大きくなる。従って、
(2)式と(3)式から、インバータ回路のロジックレ
ベルVLが2つの電源電位の中点電位(VDD+VSS)/
2にある場合には、Nチャネルトランジスタのドレイン
電流INが、Pチャネルトランジスタのドレイン電流IP
よりも大きい値となることが分る。
In general, the electron mobility μ N is 3 to 4 times the hole mobility μ P. Therefore, when the capacitance, channel width, and channel length of the gate insulating film per unit area of the P-channel transistor and the N-channel transistor are equal, the gain of the N-channel transistor is obtained from the expressions (4) and (5). The coefficient β N becomes larger than the gain coefficient β P of the P-channel transistor. Therefore,
From the equations (2) and (3), the logic level VL of the inverter circuit is determined as the midpoint potential (V DD + V SS ) / two power supply potentials.
2, the drain current I N of the N-channel transistor is equal to the drain current I P of the P-channel transistor.
It can be seen that the value is larger than.

【0047】しかし、(1)式が成り立つので、Pチャ
ネルトランジスタのドレイン電流I PとNチャネルトラ
ンジスタのドレイン電流INとは、等しくなる必要があ
る。そのときのインバータ回路のロジックレベルV
Lは、次式で表される。
However, since equation (1) holds, P channel
Drain current I PAnd N-channel tiger
Transistor drain current INMust be equal
You. The logic level V of the inverter circuit at that time
LIs represented by the following equation.

【数5】 (6)式によれば、インバータ回路のロジックレベルV
Lは、2つの電源電位の中点電位(VDD+VSS)/2よ
りもVSS側に寄ってしまう。
(Equation 5) According to equation (6), the logic level V of the inverter circuit
L is closer to the V SS side than the midpoint potential (V DD + V SS ) / 2 of the two power supply potentials.

【0048】これを解消するため、本実施形態に係る半
導体集積回路に含まれているインバータ回路において
は、PチャネルトランジスタとNチャネルトランジスタ
との間で、チャネル幅Wとチャネル長Lとの比W/Lを
異ならせることにより、インバータ回路のロジックレベ
ルVLを2つの電源電位の中点電位に近付けている。
To solve this problem, in the inverter circuit included in the semiconductor integrated circuit according to the present embodiment, the ratio W between the channel width W and the channel length L between the P-channel transistor and the N-channel transistor is set. By making / L different, the logic level VL of the inverter circuit approaches the midpoint between the two power supply potentials.

【0049】図4は、本実施形態に係る半導体集積回路
に含まれるスタンダードセルのレイアウト図である。図
4のスタンダードセルは、図3に示す2つのインバータ
回路を構成している。なお、図4においては、絶縁膜が
省略されている。図4に示すように、半導体基板内に、
Nウエル11とPウエル12とが形成されている。セル
30は、Nウエル11内に形成されたPチャネルトラン
ジスタQP5及びQP6と、Pウエル12内に形成され
たNチャネルトランジスタQN5及びQN6と、Nウエ
ル11上に絶縁膜を介して形成され、第1の電源電位V
DDを供給するためのアルミニウム等の電源電位供給配線
51と、Pウエル11上に絶縁膜を介して形成され、第
2の電源電位VSSを供給するためのアルミニウム等の電
源電位供給配線61と、2つの入力線151及び152
と、2つの出力線153及び154とを含んでいる。
FIG. 4 is a layout diagram of a standard cell included in the semiconductor integrated circuit according to the present embodiment. 4 constitutes the two inverter circuits shown in FIG. Note that the insulating film is omitted in FIG. As shown in FIG. 4, in the semiconductor substrate,
An N well 11 and a P well 12 are formed. The cell 30 includes P-channel transistors QP5 and QP6 formed in the N-well 11, N-channel transistors QN5 and QN6 formed in the P-well 12, and an insulating film formed on the N-well 11, 1 power supply potential V
A power potential supply line 51 of aluminum or the like for supplying DD, is formed through an insulating film on the P-well 11, a power supply potential supply line 61 of aluminum or the like for supplying a second power supply potential V SS Two input lines 151 and 152
And two output lines 153 and 154.

【0050】トランジスタQP5及びQP6の共通ソー
スは、コンタクトによって電源電位供給配線51に接続
されている。トランジスタQP5のドレインは、コンタ
クトによって、出力線153に接続されている。また、
トランジスタQP6のドレインは、コンタクトによっ
て、出力線154に接続されている。
The common source of the transistors QP5 and QP6 is connected to the power supply line 51 by a contact. The drain of the transistor QP5 is connected to the output line 153 by a contact. Also,
The drain of the transistor QP6 is connected to the output line 154 by a contact.

【0051】トランジスタQN5及びQN6の共通ソー
スは、コンタクトによって電源電位供給配線61に接続
されている。トランジスタQN5のドレインはコンタク
トによって、出力線153に接続されている。また、ト
ランジスタQN6のドレインは、コンタクトによって、
出力線154に接続されている。
The common source of the transistors QN5 and QN6 is connected to the power supply potential supply line 61 by a contact. The drain of the transistor QN5 is connected to the output line 153 by a contact. The drain of the transistor QN6 is
It is connected to the output line 154.

【0052】トランジスタQP5のゲート電極とトラン
ジスタQN5のゲート電極は、互いに接続されて第1の
インバータ回路の入力線151を形成している。また、
トランジスタQP6のゲート電極とトランジスタQN6
のゲート電極は、互いに接続されて第2のインバータ回
路の入力線152を形成している。第1のインバータ回
路の出力信号は、出力線153に供給される。また、第
2のインバータ回路の出力信号は、出力線154に供給
される。
The gate electrode of transistor QP5 and the gate electrode of transistor QN5 are connected to each other to form input line 151 of the first inverter circuit. Also,
The gate electrode of the transistor QP6 and the transistor QN6
Are connected to each other to form an input line 152 of the second inverter circuit. An output signal of the first inverter circuit is supplied to an output line 153. The output signal of the second inverter circuit is supplied to an output line 154.

【0053】ここで、Pウエル12内に形成されたNチ
ャネルトランジスタQN5及びQN6のチャネル幅は、
Nウエル11内に形成されたPチャネルトランジスタQ
P5及びQP6のチャネル幅よりも狭くなっている。こ
のため、Pウエル12内の余分なスペースに、タップ1
55を形成することが可能となる。トランジスタQN5
及びQN6に隣接するようにPウエル12内に形成され
たタップ155は、電源電位供給配線61に接続されて
いる。Pウエル12には、このタップ155を介して、
電源電位供給配線61から第2の電源電位VSSが供給さ
れる。
Here, the channel width of the N-channel transistors QN5 and QN6 formed in the P-well 12 is
P-channel transistor Q formed in N well 11
It is smaller than the channel width of P5 and QP6. For this reason, the extra space in the P well 12
55 can be formed. Transistor QN5
And a tap 155 formed in the P well 12 so as to be adjacent to the power supply potential supply wiring 61. Through the tap 155, the P well 12
A second power supply potential V SS is supplied from the power supply potential supply wiring 61.

【0054】次に、本発明の第3の実施形態について説
明する。図5は、本実施形態に係る半導体集積回路に含
まれるスタンダードセルのレイアウト図である。図5に
示すスタンダードセルも、図4に示すスタンダードセル
と同様に、図3に示す2つのインバータ回路を構成した
ものである。但し、本実施形態においては、Pウエル上
に多くの配線を形成するため、Pウエル内にはタップを
形成せず、逆に、Nウエル内にタップを形成している。
なお、図5においては、絶縁膜が省略されている。
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 5 is a layout diagram of a standard cell included in the semiconductor integrated circuit according to the present embodiment. The standard cell shown in FIG. 5 also has two inverter circuits shown in FIG. 3, similarly to the standard cell shown in FIG. However, in the present embodiment, since many wirings are formed on the P well, taps are not formed in the P well, and conversely, taps are formed in the N well.
Note that the insulating film is omitted in FIG.

【0055】図5に示すように、半導体基板内に、Nウ
エル11とPウエル12とが形成されている。セル40
は、Nウエル11内に形成されたPチャネルトランジス
タQP5及びQP6と、Pウエル12内に形成されたN
チャネルトランジスタQN5及びQN6と、Nウエル1
1上に絶縁膜を介して形成され、第1の電源電位VDD
供給するためのアルミニウム等の電源電位供給配線51
と、Pウエル11上に絶縁膜を介して形成され、第2の
電源電位VSSを供給するためのアルミニウム等の電源電
位供給配線61と、2つの入力線151及び152と、
2つの出力線153及び154とを含んでいる。
As shown in FIG. 5, an N well 11 and a P well 12 are formed in a semiconductor substrate. Cell 40
Are the P-channel transistors QP5 and QP6 formed in the N-well 11 and the N-channel transistors QP5 and QP6 formed in the P-well 12.
Channel transistors QN5 and QN6 and N well 1
And a power supply potential supply line 51 made of aluminum or the like for supplying a first power supply potential VDD.
A power supply potential supply line 61 made of aluminum or the like for forming a second power supply potential V SS on the P well 11 with an insulating film interposed therebetween, and two input lines 151 and 152;
And two output lines 153 and 154.

【0056】トランジスタQP5及びQP6の共通ソー
スは、コンタクトによって電源電位供給配線51に接続
されている。トランジスタQP5のドレインは、コンタ
クトによって、出力線153に接続されている。また、
トランジスタQP6のドレインは、コンタクトによっ
て、出力線154に接続されている。
The common source of the transistors QP5 and QP6 is connected to the power supply line 51 by a contact. The drain of the transistor QP5 is connected to the output line 153 by a contact. Also,
The drain of the transistor QP6 is connected to the output line 154 by a contact.

【0057】トランジスタQN5及びQN6の共通ソー
スは、コンタクトによって電源電位供給配線61に接続
されている。トランジスタQN5のドレインはコンタク
トによって、出力線153に接続されている。また、ト
ランジスタQN6のドレインは、コンタクトによって、
出力線154に接続されている。
The common source of the transistors QN5 and QN6 is connected to the power supply potential supply line 61 by a contact. The drain of the transistor QN5 is connected to the output line 153 by a contact. The drain of the transistor QN6 is
It is connected to the output line 154.

【0058】トランジスタQP5のゲート電極とトラン
ジスタQN5のゲート電極は、互いに接続されて第1の
インバータ回路の入力線151を形成している。また、
トランジスタQP6のゲート電極とトランジスタQN6
のゲート電極は、互いに接続されて第2のインバータ回
路の入力線152を形成している。第1のインバータ回
路の出力信号は、出力線153に供給される。また、第
2のインバータ回路の出力信号は、出力線154に供給
される。
The gate electrode of transistor QP5 and the gate electrode of transistor QN5 are connected to each other to form input line 151 of the first inverter circuit. Also,
The gate electrode of the transistor QP6 and the transistor QN6
Are connected to each other to form an input line 152 of the second inverter circuit. An output signal of the first inverter circuit is supplied to an output line 153. The output signal of the second inverter circuit is supplied to an output line 154.

【0059】ここで、入力線152には、第1の配線層
における配線156が接続されており、さらに、配線1
56には、第2の配線層における配線157が接続され
ている。Pウエル12上にこれらの配線が形成されるこ
とにより、Nウエル11内に余分なスペースが生じ、こ
こにタップ158を形成することが可能となる。トラン
ジスタQP6に隣接するようにNウエル11内に形成さ
れたタップ158は、電源電位供給配線51に接続され
ている。Nウエル11には、このタップ158を介し
て、電源電位供給配線51から第1の電源電位VDDが供
給される。
Here, the input line 152 is connected to the wiring 156 in the first wiring layer.
The wiring 157 in the second wiring layer is connected to 56. By forming these wirings on the P well 12, an extra space is created in the N well 11, and a tap 158 can be formed there. A tap 158 formed in the N well 11 so as to be adjacent to the transistor QP6 is connected to the power supply potential supply line 51. The first power supply potential V DD is supplied to the N-well 11 from the power supply potential supply wiring 51 via the tap 158.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば、スタ
ンダードセル内の無駄な領域を省いて、セルサイズを従
来よりも小さくした半導体集積回路を提供することがで
きる。半導体集積回路に用いられるスタンダードセルの
数は非常に多いため、スタンダードセル1つ当りのセル
サイズを小さくすることにより、半導体集積回路のチッ
プサイズを小さくすることが可能である。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a semiconductor integrated circuit having a smaller cell size than the conventional one by eliminating useless regions in the standard cell. Since the number of standard cells used in a semiconductor integrated circuit is very large, it is possible to reduce the chip size of a semiconductor integrated circuit by reducing the cell size per standard cell.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態に係る半導体集積回路
に含まれるNANDセルのレイアウト図である。
FIG. 1 is a layout diagram of a NAND cell included in a semiconductor integrated circuit according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施形態に係る半導体集積回路
に含まれるNORセルのレイアウト図である。
FIG. 2 is a layout diagram of a NOR cell included in the semiconductor integrated circuit according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2の実施形態に係る半導体集積回路
に含まれる2つのインバータ回路を示す回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram illustrating two inverter circuits included in a semiconductor integrated circuit according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施形態に係る半導体集積回路
に含まれるスタンダードセルのレイアウト図である。
FIG. 4 is a layout diagram of a standard cell included in a semiconductor integrated circuit according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施形態に係る半導体集積回路
に含まれるスタンダードセルのレイアウト図である。
FIG. 5 is a layout diagram of a standard cell included in a semiconductor integrated circuit according to a third embodiment of the present invention.

【図6】一般的な2入力NAND回路の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of a general two-input NAND circuit.

【図7】従来の半導体集積回路におけるNANDセルの
レイアウト図である。
FIG. 7 is a layout diagram of a NAND cell in a conventional semiconductor integrated circuit.

【図8】一般的な2入力NOR回路の回路図である。FIG. 8 is a circuit diagram of a general two-input NOR circuit.

【図9】従来の半導体集積回路におけるNORセルのレ
イアウト図である。
FIG. 9 is a layout diagram of a NOR cell in a conventional semiconductor integrated circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、11 Nウエル 2、12 Pウエル 10 NANDセル 20 NORセル 30、40 セル 50、51、60、61 電源電位供給配線 101、・・・、201、・・・ コンタクト 104、203 配線 107、108、207、208 入力線 109、209 タップ 151、152 入力線 153、154 出力線 155、158 タップ 156、157 配線 QP1〜QP6 Pチャネルトランジスタ QN1〜QN6 Nチャネルトランジスタ 1, 11 N well 2, 12 P well 10 NAND cell 20 NOR cell 30, 40 cell 50, 51, 60, 61 Power supply potential supply wiring 101, ..., 201, ... Contact 104, 203 Wiring 107, 108 , 207, 208 Input lines 109, 209 Taps 151, 152 Input lines 153, 154 Output lines 155, 158 Taps 156, 157 Wiring QP1-QP6 P-channel transistors QN1-QN6 N-channel transistors

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体基板と、 前記半導体基板内に形成されたNウエルと、 前記Nウエル上に絶縁膜を介して前記Nウエルの長手方
向に形成された第1の電源電位供給配線と、 前記半導体基板又は前記半導体基板内に形成されたPウ
エル上に絶縁膜を介して前記第1の電源電位供給配線と
平行に形成された第2の電源電位供給配線と、 前記Nウエル内に形成されたPチャネルトランジスタと
前記半導体基板又は前記Pウエル内に形成されたNチャ
ネルトランジスタとを含む第1群のセルであって、前記
Nウエルを前記第1の電源電位供給配線に接続する第1
のタップを有し、前記半導体基板又は前記Pウエルを前
記第2の電源電位供給配線に接続する第2のタップを有
さない前記第1群のセルと、 前記Nウエル内に形成されたPチャネルトランジスタと
前記半導体基板又は前記Pウエル内に形成されたNチャ
ネルトランジスタとを含む第2群のセルであって、前記
第2のタップを有し、前記第1のタップを有さない前記
第2群のセルと、を具備する半導体集積回路。
A semiconductor substrate; an N-well formed in the semiconductor substrate; a first power supply potential supply line formed on the N-well via an insulating film in a longitudinal direction of the N-well; A second power supply potential line formed in parallel with the first power supply potential line via an insulating film on the semiconductor substrate or a P well formed in the semiconductor substrate; and formed in the N well. A first group of cells including a P-channel transistor and an N-channel transistor formed in the semiconductor substrate or the P-well, the first group connecting the N-well to the first power supply potential supply line.
The first group of cells without the second tap for connecting the semiconductor substrate or the P well to the second power supply potential supply line, and the P formed in the N well. A second group of cells including a channel transistor and an N-channel transistor formed in the semiconductor substrate or the P-well, wherein the second group of cells includes the second tap and does not include the first tap. A semiconductor integrated circuit comprising: two groups of cells.
【請求項2】 前記Nウエル内に形成されたPチャネル
トランジスタと前記半導体基板又は前記Pウエル内に形
成されたNチャネルトランジスタとを含む第3群のセル
であって、前記第1のタップも前記第2のタップも有さ
ない前記第3群のセルをさらに具備する請求項1記載の
半導体集積回路。
2. A third group of cells including a P-channel transistor formed in the N-well and the N-channel transistor formed in the semiconductor substrate or the P-well, wherein the first tap is also provided. 2. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, further comprising the third group of cells that does not have the second tap.
【請求項3】 前記第1群のセルの内の1つのセルが、 前記Nウエル内に前記第1の電源電位供給配線と平行に
並んで形成され、一方のソースと他方のドレインとが共
通となるように直列接続された複数のPチャネルトラン
ジスタと、 前記半導体基板又は前記Pウエル内に前記第2の電源電
位供給配線と平行に並んで形成され、ドレインが共通と
なるように並列接続された複数のNチャネルトランジス
タと、 前記複数のPチャネルトランジスタの内の一方に隣接し
て前記Nウエル内に形成され、前記第1の電源電位供給
配線に接続されたタップと、を含む、請求項1又は2記
載の半導体集積回路。
3. One of the cells of the first group is formed in the N-well in parallel with the first power supply potential supply line, and one source and the other drain are common. And a plurality of P-channel transistors connected in series so as to be formed in the semiconductor substrate or the P-well in parallel with the second power supply potential supply line, and connected in parallel so that the drain is common. A plurality of N-channel transistors, and a tap formed in the N-well adjacent to one of the plurality of P-channel transistors and connected to the first power supply line. 3. The semiconductor integrated circuit according to 1 or 2.
【請求項4】 前記第1群のセルの内の1つのセルが、 ドレインが相互に接続されソースが前記第2の電源電位
供給配線に接続されたK個のNチャネルトランジスタと
(Kは2以上の整数)、 前記第1の電源電位供給配線と前記K個のNチャネルト
ランジスタのドレインとの間に直列に接続されたK個の
Pチャネルトランジスタと、 各々が1つのNチャネルトランジスタのゲート電極と1
つのPチャネルトランジスタのゲート電極とに接続され
たK個の入力と、を含むNORセルである、請求項1〜
3のいずれか1項記載の半導体集積回路。
4. One of the cells of the first group includes K N-channel transistors whose drains are connected to each other and whose sources are connected to the second power supply potential supply line (where K is 2 K number of P-channel transistors connected in series between the first power supply potential supply line and the drains of the K number of N-channel transistors, each having a gate electrode of one N-channel transistor And 1
And a K input connected to the gate electrodes of the two P-channel transistors.
4. The semiconductor integrated circuit according to claim 3.
【請求項5】 前記第2群のセルの内の1つのセルが、 前記Nウエル内に前記第1の電源電位供給配線と平行に
並んで形成され、ドレインが共通となるように並列接続
された複数のPチャネルトランジスタと、 前記半導体基板又は前記Pウエル内に前記第2の電源電
位供給配線と平行に並んで形成され、一方のソースと他
方のドレインとが共通となるように直列接続された複数
のNチャネルトランジスタと、 前記複数のNチャネルトランジスタの内の一方に隣接し
て前記半導体基板又は前記Pウエル内に形成され、前記
第2の電源電位供給配線に接続されたタップと、を含
む、請求項1〜4のいずれか1項記載の半導体集積回
路。
5. One of the cells of the second group is formed in the N-well in parallel with the first power supply line, and connected in parallel so that the drain is common. And a plurality of P-channel transistors formed in the semiconductor substrate or the P-well in parallel with the second power supply potential supply line, and one source and the other drain are connected in series so as to be common. A plurality of N-channel transistors, and a tap formed in the semiconductor substrate or the P-well adjacent to one of the plurality of N-channel transistors and connected to the second power supply potential wiring. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, further comprising:
【請求項6】 前記第2群のセルの内の1つのセルが、 ソースが前記第1の電源電位供給配線に接続されドレイ
ンが相互に接続されたL個のPチャネルトランジスタと
(Lは2以上の整数)、 前記L個のPチャネルトランジスタのドレインと前記第
2の電源電位供給配線との間に直列に接続されたL個の
Nチャネルトランジスタと、 各々が1つのPチャネルトランジスタのゲート電極と1
つのNチャネルトランジスタのゲート電極とに接続され
たL個の入力と、を含むNANDセルである、請求項1
〜5のいずれか1項記載の半導体集積回路。
6. One of the cells in the second group includes L P-channel transistors whose sources are connected to the first power supply potential supply line and whose drains are connected to each other (L is 2 L number of N-channel transistors connected in series between the drains of the L number of P-channel transistors and the second power supply potential supply line, and the gate electrodes of one P-channel transistor each And 1
2. A NAND cell comprising: L inputs connected to the gate electrodes of two N-channel transistors.
6. The semiconductor integrated circuit according to any one of claims 1 to 5.
【請求項7】 前記第2群のセルの内の1つのセルが、 前記Nウエル内に形成された不純物拡散領域を有する少
なくとも1つのPチャネルトランジスタと、 前記半導体基板又は前記Pウエル内に形成された不純物
拡散領域を有する少なくとも1つのNチャネルトランジ
スタと、を含み、前記少なくとも1つのPチャネルトラ
ンジスタの不純物拡散領域が、前記少なくとも1つのN
チャネルトランジスタの不純物拡散領域よりも大きいこ
とを特徴とする請求項1又は2記載の半導体集積回路。
7. One of the cells of the second group includes at least one P-channel transistor having an impurity diffusion region formed in the N-well, and formed in the semiconductor substrate or the P-well. At least one N-channel transistor having a doped impurity diffusion region, wherein the impurity diffusion region of the at least one P-channel transistor has the at least one N-channel transistor.
3. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the semiconductor integrated circuit is larger than an impurity diffusion region of the channel transistor.
【請求項8】 前記第1群のセルの内の1つのセルが、 前記Nウエル内に形成された不純物拡散領域を有する少
なくとも1つのPチャネルトランジスタと、 前記半導体基板又は前記Pウエル内に形成された不純物
拡散領域を有する少なくとも1つのNチャネルトランジ
スタと、を含み、前記少なくとも1つのNチャネルトラ
ンジスタに接続された配線の領域が、前記少なくとも1
つのPチャネルトランジスタに接続された配線の領域よ
りも大きいことを特徴とする請求項1又は2又は7記載
の半導体集積回路。
8. One of the cells of the first group includes at least one P-channel transistor having an impurity diffusion region formed in the N well, and formed in the semiconductor substrate or the P well. And at least one N-channel transistor having a doped impurity diffusion region, wherein a region of a wiring connected to the at least one N-channel transistor has the at least one N-channel transistor.
8. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the size of the semiconductor integrated circuit is larger than a region of a wiring connected to one P-channel transistor.
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CN108807367B (en) * 2017-04-28 2022-10-14 株式会社索思未来 Semiconductor device with a plurality of semiconductor chips

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