JP2002156301A - 差圧／圧力伝送器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイアフラムを二重構造にすると共に互いの
ダイアフラムに電気回路を形成して、検出電流によりダ
イアフラムの破損を早期に検出するようにしたダイアフ
ラム構造を提供する。 【解決手段】 プロセスからの圧力がダイアフラムを介
した圧力伝達液体に伝達することができる圧力伝達部
と、この伝達液体の圧力を電気信号に変換してプロセス
からの圧力を検出する圧力検出手段とを有する差圧／圧
力伝送器であって、圧力伝達部は、プロセス側に臨むプ
ロセス側ダイアフラムと、圧力伝達液体に臨む接液側ダ
イアフラムとを接触させた状態で対向配置すると共に、
互いに対向配置している部位に電気接点を設けたプロセ
ス圧力検出手段と、プロセス側ダイアフラムと接液側ダ
イアフラムとの電気接点の接触状態を検出するダイアフ
ラム破損検出手段とから構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、差圧／圧力伝送器
に関し、特に工業計測に用いられる差圧/圧力伝送器の
ダイアフラム構造に関し、プロセス側ダイヤフラムに接
液側ダイアフラムを追加した二重構造のダイアフラムに
おいて、例えば、プロセスの測定流体に水素が含まれて
いる場合など、水素がプロセス側及び接液側ダイアフラ
ムを透過し圧力伝達媒体として封入されているオイル
（圧力伝達液体）に侵入することにより発生する測定誤
差を電気的に早期検出して安定した圧力検出を可能にし
た差圧／圧力伝送器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術における差圧／圧力伝送器にお
ける接液ダイアフラム構造は、図１５に示すように、プ
ロセス側を開口し且つ陥没させた圧力伝達部２を備えた
本体部１と、圧力伝達部２を覆うようにし、且つ内部に
シリコンオイル等の圧力伝達液体３を封入した状態でリ
ング４を係合して配設したダイアフラム５とから構成さ
れている。

【０００３】このような構造の接液ダイアフラム構造に
おいて、プロセス側からの押圧力（矢印Ｓ）がダイアフ
ラム５を介して圧力伝達液体３に圧力が伝達され、図示
しない検出器によって検出され、電気的な信号に変換さ
れる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術で説明した接液ダイアフラムの構造は、ダイアフラム
が侵食されると、差圧／圧力伝送器の封入液（圧力伝達
液体）がプロセス側に漏れ出してしまうという問題があ
る。

【０００５】このように、差圧／圧力伝送器のダイアフ
ラムについては、侵食による破損が主であり、この問題
を解決するために、耐侵食性を向上させた高侵食性の材
料をダイアフラムに使用し対応してきた。又、ダイアフ
ラムが破損した際に、差圧／圧力伝送器の内部に封入さ
れている液体（シリコンオイル等の圧力伝達液体）のプ
ロセスへの流出はあまり気にされることはなかった。し
かし、今日のプロセスを見てみると、製品品質の均一
化、不純物を嫌う高純度プロセスが増えており、今後、
差圧／圧力伝送器の内部に封入されている液体（シリコ
ンオイル等の圧力伝達液体）のプロセスへの流出を無視
できなくなってきているプロセスも多数でてきている。
更に、以前から食品プロセスでは、シリコンオイルを嫌
うプロセスがあり、そのような場合は、エチレングリコ
ール等の特殊な圧力伝達液体を差圧／圧力伝送器に使用
してきた。しかし、このようなケースであると、一般の
シリコンオイルを使用した差圧／圧力伝送器に比べ台数
が極端に少ないこともあり、コスト面で割高となる。更
に、食品プロセス用圧力伝達液体（エチレングリコール
等）はシリコンオイルと比較すると性能の面で劣る。以
上のことから、エチレングリコール等の特殊な液体を圧
力伝達液体として差圧／圧力伝送器に使用するには問題
があった。

【０００６】従って、ダイアフラムが何らかの理由で破
損しても、差圧／圧力伝送器に封入されている圧力伝達
液体がプロセス側に流出せず、且つダイアフラムの破損
を検出可能な構造とし、ダイアフラム破損検出が認めら
れたならば、直ちにプロセスで製造されている製品の品
質に影響を与える前にダイアフラム等を交換することが
できる差圧／圧力伝送器に解決しなければならない課題
を有する。

【０００７】又、ダイアフラムが破損しても、差圧／圧
力伝送器に封入されている圧力伝達液体がプロセス側に
流出しないで、ユーザのプロセス条件に影響を与えるこ
となく、封入する圧力伝達液体を一般的に使用している
液体を使用することができる差圧／圧力伝送器に解決し
なければならない課題を有する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る差圧／圧力伝送器は、次に示す構成に
することである。

【０００９】（１）プロセスからの圧力がダイアフラム
を介した圧力伝達液体に伝達することができる圧力伝達
部と、前記圧力伝達液体の圧力を電気信号に変換してプ
ロセスからの圧力を検出する圧力検出手段とを有する差
圧／圧力伝送器であって、前記圧力伝達部は、プロセス
側に臨むプロセス側ダイアフラムと、前記圧力伝達液体
側に臨む接液側ダイアフラムとを接触させた状態で対向
配置すると共に、互いに対向配置している部位に電気接
点を設けたプロセス圧力検出手段と、前記プロセス側ダ
イアフラムと接液側ダイアフラムとの電気接点の接触状
態によりダイアフラムの破損を検出するダイアフラム破
損検出手段とを備えたことを特徴とする差圧／圧力伝送
器。 （２）前記電気接点を備えているところの対向配置した
部位は、ダイアフラムの中央位置であることを特徴とす
る（１）に記載の差圧／圧力伝送器。 （３）前記プロセス側ダイアフラムと接液側ダイアフラ
ムとが対向する面のうち、少なくとも前記電気接点を除
く面に絶縁被膜を施したことを特徴とする（１）に記載
の差圧／圧力伝送器。 （４）前記ダイアフラム破損検出手段は、前記プロセス
側ダイアフラムと前記接液側ダイアフラムとの電気接点
が導通状態であることを一定の電流流れによって検出す
ることを特徴とする（１）に記載の差圧／圧力伝送器。 （５）前記ダイアフラム破損検出手段の電流流れの検出
は、間欠的に行うことを特徴とする（４）に記載の差圧
／圧力伝送器。 （６）前記ダイアフラム破損検出手段は、前記電流流れ
の異常検出を再確認した後にダイアフラムの破損と判断
するようにしたことを特徴とする（４）に記載の差圧／
圧力伝送器。 （７）前記ダイアフラム破損検出手段は、予め設定した
プロセスの圧力の範囲内で発生する検出信号によりダイ
アフラムの破損を検出するようにしたことを特徴とする
（４）に記載の差圧／圧力伝送器。 （８）前記ダイアフラム破損検出手段は、ダイアフラム
が破損したときのインピーダンスをトレンドデータとし
て蓄積しておき、該蓄積してあるトレンドデータにより
破損値を設定し、該設定した破損値以上になったとき
に、ダイアフラム破損異常信号を生成するようにしたこ
とを特徴とする（４）に記載の差圧／圧力伝送器。

【００１０】このように、二重のダイアフラム構造にす
ると共に、互いに電気接点を有する電気回路を形成し、
正常時はそれぞれの中央位置において電気接点を接触さ
せて閉回路を形成するようにして、どちらかのダイアフ
ラムにプロセス側の押圧以外の変化が生じた時に、開回
路にしてダイアフラムの破損を検出するようにしたこと
により、プロセス側からの変化の一番激しい位置でダイ
アフラムの状態を検出することが可能になる。

【００１１】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係る差圧／圧力伝
送器の実施形態について、図面を参照して説明する。

【００１２】本願発明に係る第１の実施形態の差圧／圧
力伝送器であるダイアフラムシール付差圧伝送器は、図
１に示すように、プロセスの圧力を受ける二重構造ダイ
アフラムが備えられているフランジアッセンブリ１０
と、フランジアッセンブリ１０の液体圧力を検出する側
に伝導するキャピラリパイプ１２と、このキャピラリパ
イプ１２により伝導された液体の圧力を検出するセンサ
が組み込まれている受圧部１３と、センサで検出した信
号を電気信号に変換する増幅部１４と、フランジアッセ
ンブリ１１における二重構造ダイアフラムの破損の検出
状態を伝達するための破損検出ケーブル１５と、破損検
出ケーブル１５からの破損検出信号を受信してダイアフ
ラムの破損状態を検出する破損検出回路部１６とから構
成されている。

【００１３】フランジアッセンブリ１１は、図２に示す
ように、接液側ダイアフラム１７が配置される大きさの
曲面凹状の液体収納凹部１８を有する円筒形状の本体部
１９と、本体部１９の上部にプロセス側ダイアフラム２
０を備えたリング２１からなる係合部２２とから構成さ
れている。この中で接液側ダイアフラム１７とプロセス
側ダイアフラム２０とで圧力伝達部２８Ａを形成する。

【００１４】本体部１９は、図２及び図３に示すよう
に、その円周端部に接液側ダイアフラム１７の周端部を
嵌めこむリング２１を係合係止するリング係合部２３
と、中央位置にキャピラリパイプ１２の媒体伝達管２４
の径の寸法と同じくした液体伝導孔２５と、二重構造ダ
イアフラムの破損を検出する第１の破損検出部２６と、
この第１の破損検出部２６に接続され破損検出信号を伝
達する破損検出ケーブル２７とから構成されている。こ
の液体伝導孔２５は、キャピラリパイプ１２の液体伝達
管２４に連結され、圧力伝達液２８が充満した状態にな
っている。

【００１５】接液側ダイアフラム１７は、図４及び図５
に示すように、円盤形状のダイアフラムであって、接液
である圧力伝達液体２８の反対側に電気回路部２９を設
けた構造となっている。電気回路部２９の構造は、ダイ
アフラム３０の上部に第１の破損検出部２６側と中心位
置Ｑ１との間に帯状の絶縁被膜用樹脂３１をコーテイン
グする。このコーテイングした絶縁被膜用樹脂３１の上
部にその樹脂の幅によりも狭い帯状又は線状の導電性樹
脂３２をコーテイングする。そして、この絶縁被膜用樹
脂３１及び導電性樹脂３２の上部から、導電性樹脂３２
の中心位置Ｑ１である第１の電気接点３３部分、第１の
破損検出部２６の第１の逃げ穴３４の部分、第２の破損
検出部３５の第２の逃げ穴３６の部分を除いた図４にお
けるＷの範囲に絶縁樹脂３７をコーテイングする。この
ようにしてコーテイングされた樹脂の厚みは数ミクロン
であり、ダイアフラム３０の厚みが数十ミクロンである
のに対し十分に薄いため、ダイアフラム３０の特性、機
能には影響を及ぼさない（尚、図５においては理解しや
すいように樹脂の厚みがダイアフラムよりも厚く表示し
ている。）。この絶縁性樹脂３７を除いた導電性樹脂３
２の中心位置Ｑ１が第１の電気接点３３となり、後述す
るプロセス側ダイアフラム２０の第２の電気接点５４
（図７参照）と接触して電気的な接続を行う。尚、この
第１及び第２の電気接点３３、５４の実施例は、一箇所
に設けたが、一箇所に限定されることなく複数箇所に設
けて更なる信頼性を高める構造にしてもよい。

【００１６】第１の破損検出部２６は、図５に示すよう
に、リング係合部２３の一部に設けたものであり、円形
状に陥没した第１の逃げ穴３４を備え、その第１の逃げ
穴３４に導電性樹脂３２と電気的に接続する圧着端子３
８を係止する絶縁性のネジからなる係止部３９と、外部
の破損検出ケーブルＡに接続するためのガラス部材から
なる絶縁支持部４０で支持された金属性ピン４１とから
信号伝導部４２を構成する。この金属性ピン４１及び絶
縁支持部４０からなる信号伝導部４２は、ブロック４３
に設けた孔４４に嵌合する、いわゆるハーメチックシー
ル構造となっている。又、圧着端子３８と金属性ピン４
１とはケーブル４８で接続されている。

【００１７】第２の破損検出部３５は、第１の破損検出
部２６と同一径上に設けらたリング係合部２３の一部に
設けたものであり、後述するプロセス側ダイアフラム２
０の電気回路部４９（図７及び図８参照）と電気的に接
続する構造となっている。その構造は、円形状に陥没し
た第２の逃げ穴３６を備え、その第２の逃げ穴３６に外
部の破損検出ケーブルＢに接続するためのガラス部材か
らなる絶縁支持部４５で支持された金属性ピン４６とか
らなる。この金属性ピン４６及び絶縁支持部４５は、ブ
ロック４３に設けた孔４７に嵌合する、いわゆるハーメ
チックシール構造となっている。

【００１８】係合部２２のプロセス側ダイアフラム２０
は、図７及び図８に示すように、接液側ダイアフラム１
７と同様に円盤形状のダイアフラムであって、被測定対
象のプロセスの反対側に電気回路部４９を設け、外周端
に本体部１９と係止するリング係止部５７を設けた構造
となっている。電気回路部４９の構造は、ダイアフラム
５０の上部であってリング２１上に設けた端子部５１と
中心位置Ｑ２との間に帯状の絶縁被膜用樹脂５２をコー
テイングする。このコーテイングした絶縁被膜用樹脂５
２の上部にその樹脂の幅よりも狭い帯状又は線状の導電
性樹脂５３をコーテイングする。導電性樹脂５３は、そ
の中心位置Ｑ２が円形状の第２の電気接点５４を形成
し、接液側ダイアフラム１７に組合わせたときに第１及
び第２の電気接点３３、５４部分同士が接触する構造と
なっている。このようにしてコーテイングされた樹脂の
厚みは、数ミクロンであり、ダイアフラム５０の厚みが
数十ミクロンであるのに対し十分に薄いため、ダイアフ
ラム５０の特性、機能には影響を及ぼさない（尚、図８
においては理解しやすいように樹脂の厚みがダイアフラ
ムよりも厚く表示している。）。

【００１９】端子部５１は、図８に示すように、リング
２１の一部に設けたものであり、絶縁被膜用樹脂５２及
び導電性樹脂５３を係合係止する絶縁性のネジからなる
係止部５５と、この係止部５５に係止した圧着端子５６
とからなる。この圧着端子５６にはワイヤが取り付けら
れ、第２の破損検出部３５（図６参照）の金属性ピン４
６と接続する。

【００２０】このような構造のプロセス側ダイアフラム
２０は、図２及び図６に示すよに、接液ダイアフラム１
７の上部からプロセス側ダイアフラム２０の端子部５１
を第２の破損検出部３５に設けた第２の逃げ穴３６に入
れ、リング係止部５７をブロック４３に接続することに
より電気回路を備えた二重構造ののダイアフラムは完成
する。

【００２１】二重構造のダイアフラムにおいては、ダイ
アフラム３０、５０が正常状態であれば、ダイアフラム
３０、５０同士が密着しており、それぞれのダイアフラ
ム３０、５０にコーテイングした導電性樹脂３２、５３
で形成された中心位置Ｑ１、Ｑ２の第１及び第２の電気
接点３３、５４が接触しているため、第１及び第２の破
損検出部２６、３５に閉回路が形成される。

【００２２】破損検出回路部１６は、図１及び図９に示
すように、フランジアッセンブリ１１を構成する接液側
ダイアフラム１７の第１の破損検出部２６並びにプロセ
ス側ダイアフラム２０の第２の破損検出部３５の電気回
路に電流を流してダイアフラムの破損を検出するもので
あり、センサ６２の信号並びにフランジアッセンブリ１
１からの検出電流を検出して出力及び表示するために演
算するＣＰＵ５８と、ダイアフラムの破損を検出するた
めの電気回路を流れるインピーダンス等のデータを記録
するＥＥＰＲＯＭ５９と、演算された信号による現在の
圧力値や設定されている値に対するパーセンテージ等を
表示するＬＣＤ６０と、演算信号をアナログ信号に変換
して上位機種へ伝送するＤ／Ａ変換機６１と、ダイアフ
ラムに係る圧力を検出する受圧部１３に備えてあるセン
サ６２とから構成されている。

【００２３】このような構成において、ＣＰＵ５８から
検出電流をフランジアッセンブリ１１に設けた電気回路
に流すことができる。従って、両者のダイアフラム３
０、５０が正常であればダイアフラム３０、５０同士が
密着して、両者のダイアフラム３０、５０の第１及び第
２の電気接点３３、５４（図４及び図７参照）が接触し
ており、閉回路を形成して検出電流が流れる。しかし、
ダイアフラム（３０または５０）が破損、又はプロセス
側のガスがダイアフラム５０を透過してダイアフラム３
０、５０間に滞留した状態になるとダイアフラム３０，
５０間に空隙、或いは接液側ダイアフラム３０から液体
が侵入しダイアフラム３０、５０同士の密着した状態が
崩れ第１及び第２の電気接点３３、５４の接触状態が離
れる。この結果、電気回路として閉回路から開回路にな
り電流は流れなくなり、異常と判断することができるの
である。

【００２４】以下、検出電流のオン/オフによるダイア
フラム破損検出について、図９の回路図を参照して、図
１０のフローチャートに基いて説明する。

【００２５】先ず、センサ６２によりダイアフラムにか
かっている圧力を検出して得られた圧力信号が設定範囲
以内か否かを検出する(ステップＳＴ１)。ここで圧力信
号が設定範囲以内の場合には、異常回数検出回数ｎをゼ
ロにリセットする(ステップＳＴ２)。

【００２６】次に、ダイアフラム３０、５０間同士が密
着して第１及び第２の電気接点３３、５４が接触して検
出電流が流れているかどうかを検出し、流れている場合
には異常なしと判断して、異常検出回数ｎをゼロにリセ
ットし、一連のダイアフラム破損検出は終了する（ステ
ップＳＴ３、ＳＴ４、ＳＴ５）。

【００２７】ステップＳＴ３において、検出電流が流れ
ていない場合には、検出異常回数ｎにプラス１をすると
共に、異常検出回数ｎが２以上の場合には異常信号を発
生させる（ステップＳＴ６、ＳＴ７）。ｎが２以下の場
合には、再度検出信号が流れているか否かを検出して再
確認する(ステップＳＴ７、ＳＴ３)。このようにして、
複数回、実施例において２回以上の検出電流の流れが遮
断されていることを検出して異常であると判断するよう
にして、電流検出時における瞬断は回避する構成となっ
ている。

【００２８】次に、検出電流のオン／オフのみでなく、
その検出電流のインピーダンスに基づいてもダイアフラ
ム破損状態を検出することができる。この場合は、ダイ
アフラムが破損したときのインピーダンスをトレンドデ
ータとしてＥＥＰＲＯＭ５９に蓄積しておき、この蓄積
してあるトレンドデータにより破損値を設定し、この破
損値以上になったときにダイアフラム異常信号を生成す
るようにする。図１１はインピーダンスによるダイアフ
ラム破損状態を検出するフローチャートであり、図９の
回路図を参照して、以下説明する。

【００２９】先ず、圧力信号が設定範囲以内か否かを検
出する(ステップＳＴ１０)。ここで圧力信号が設定範囲
以内の場合には、異常回数検出回数ｎをゼロにリセット
する(ステップＳＴ１１)。

【００３０】次に、ダイアフラム３０、５０間同士が密
着して第１及び第２の電気接点３３、５４が接触して検
出電流が流れているかどうかを検出し、流れている場合
にはインピーダンスを測定する(ステップＳＴ１２、Ｓ
Ｔ１３)。

【００３１】インピーダンス測定の結果はＥＥＰＲＯＭ
５９に書き込まれ、ＣＰＵ５８により、この書き込まれ
たインピーダンスが、一方向ドリフトで設定値を超えて
いないか否かを判定する(ステップＳＴ１４、ＳＴ１
５)。

【００３２】次に、設定値を超えていない場合には、異
常なしと判断して異常検出回数ｎをゼロにリセットして
一連の測定は終了する(ステップＳＴ１６、ＳＴ１７)。

【００３３】ステップＳＴ１５において、設定値を超え
ている場合には、異常信号を発生させ、検出回数ｎをゼ
ロにして一連の測定は終了する（ステップＳＴ１８）。

【００３４】ステップＳＴ１２において、検出電流が流
れていない場合には、異常検出回数ｎにプラス１をし
て、ｎが２以下の時には再度検出電流の流れを検出する
（ステップＳＴ１９、ＳＴ２０）。

【００３５】ステップ２０において、以上検出回数ｎが
２以上のときには、検出電流が流れていないと判断して
異常信号を発生させ、異常検出回数ｎをゼロにリセット
して一連の測定は終了する(ステップＳＴ２１)。

【００３６】このようにして、検出電流が全く流れてい
ない時には、破損と判断すると共に、検出電流が流れて
いるが、そのインピーダンスが設定値以上に高い場合に
は、破損と同程度と判断して異常検出信号が発生させる
ことができるのである。

【００３７】次に、第２の実施形態の差圧／圧力伝送器
について、図面を参照して説明する。

【００３８】第２の実施形態の差圧／圧力伝送器は、図
１２に示すように、第１の破損検出部２６の構造が第１
の実施形態と異なる構造となっており、その他の構造及
び構成は同じであるため、その説明は省略する。

【００３９】第１の破損検出部２６は、リング係合部２
３の一部に設けたものであり、円形状に陥没した第１の
逃げ穴３４を備え、その第１の逃げ穴３４に導電性樹脂
３２と電気的に接続する圧着端子３８を係止する絶縁性
のネジからなる係止部３９と、外部の破損検出ケーブル
Ａに接続するために螺合して係合係止する信号伝導部４
２Ａとから構成されている。

【００４０】信号伝導部４２Ａは、図１３に示すよう
に、ＳＵＳ又は黄銅等の金属性部材で形成され、その外
側にネジ山の螺合部６３を備えたボデイ部６４と、この
ボデイ部６４の中心位置に導線６５を支持するセラミッ
クス等で生成された導線支持部６６と、ボデイ部６４と
導線６５との間にシリコン等を充填した樹脂部６７ａ、
６７ｂとから構成されている。

【００４１】このような構造の信号伝導部４２Ａは、図
１２に示すように、ブロック４３の第１の逃げ穴３４に
設けてある孔４４に螺合して取り付ける。又、導線６５
と圧着端子３８とはケーブル４８で接続することによ
り、破損検出ケーブルＡとの電気的な接続は完了する。
この信号伝導部４２Ａは、いわゆる市販されている貫通
型コンデンサを使用することができ、その場合には製造
コストを安価にすることができる。

【００４２】次に、第３の実施形態の差圧／圧力伝送器
について、図１４を参照して説明する。

【００４３】第３の実施形態の差圧／圧力伝送器は、本
体部１９のブロック４３に対して係合部２２のリング２
１Ａが着脱可能な構造にして、ダイアフラムが破損して
もリング２１Ａを取り外して交換すれば良い構造となっ
ている。

【００４４】即ち、フランジアッセンブリは、図１４に
示すように、接液側ダイアフラム１７が配置される大き
さの曲面凹状の液体収納凹部１８を有する円筒形状の本
体部１９と、本体部１９の上部にプロセス側ダイアフラ
ム２０を備えたリング２１Ａからなる係合部２２とから
構成されている。本体部１９に係合係止するためのリン
グ２１Ａは、Ｏリング６８を介在させてボルト６９によ
り本体部１９のリング係合部２３に取り付ける構造とな
っており、接液側ダイアフラム１７又はプロセス側ダイ
アフラム２０が破損したときには、このボルト６９を外
すことにより破損したダイアフラムを交換して再度リン
グ２１Ａを取り付け、ボルト６９を締め付けるようにし
て交換すればよい。その他の構造は第１の実施形態と同
様であるので、その説明は省略する。

【００４５】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係る差
圧／圧力伝送器は、二重のダイアフラム構造にして電気
回路を設けたことにより、接液側ダイアフラムが腐食等
により破損しても、破損したことが検出でき、且つ差圧
／圧力伝送器内部に封入されている圧力伝達液体がプロ
セスへ混入することを防止することが可能になり、更に
接液側ダイアフラムの破損予測が可能になり、ダイアフ
ラムが破損する前に交換することができるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の差圧／伝達伝送器の全体構成図であ
る。

【図２】同フランジアッセンブリの全体構成図である。

【図３】同本体部のＡ―Ａ線断面図である。

【図４】接液側ダイアフラムを有する本体部の平面図で
ある。

【図５】図４におけるＡ―Ａ線断面の要部拡大図であ
る。

【図６】図４におけるＢ−Ｂ線断面の要部拡大図であ
る。

【図７】プロセス側ダイアフラムを有する係合部の平面
図である。

【図８】図７におけるＣ−Ｃ線断面図の要部拡大図であ
る。

【図９】破損検出回路部の略示的な全体構成図である。

【図１０】同破損検出回路部における検出電流を検出す
るための、フローチャートである。

【図１１】同破損検出回路部における検出電流を検出す
るためのインピーダンス測定によるフローチャートであ
る。

【図１２】第２の実施形態の第１の破損検出部の断面図
である。

【図１３】図１２における信号伝導部を構成する貫通形
コンデンサを示した側面図である。

【図１４】第３の実施形態の本体部と係合部を示したフ
ランジアッセンブリの略示的断面図である。

【図１５】従来技術におけるダイアフラム構造を示した
要部断面図である。

【符号の説明】

１１ フランジアッセンブリ １２ キャピラリパイプ １３ 受圧部 １４ 増幅部 １５ 破損検出ケーブル １６ 破損検出回路部 １７ 接液側ダイアフラム １８ 液体収納凹部 １９ 本体部 ２０ プロセス側ダイアフラム ２１ リング ２２ 係合部 ２３ リング係合部 ２４ 液体伝達管 ２５ 液体伝導孔 ２６ 第１の破損検出部 ２７ 破損検出ケーブル ２８ 圧力伝達液体 ２８Ａ 圧力伝達部 ２９ 電気回路部 ３０ 接液側ダイアフラム ３１ 絶縁被膜用樹脂 ３２ 導電性樹脂 ３３ 第１の電気接点 ３４ 第１のにげ穴 ３５ 第２の破損検出部 ３６ 第２のにげ穴 ３７ 絶縁性樹脂 ３８ 圧着端子 ３９ 係止部 ４０ 絶縁支持部 ４１ 金属性ピン ４２ 信号伝導部 ４２Ａ 信号伝導部 ４３ ブロック ４４ 孔 ４５ 絶縁支持部 ４６ 金属性ピン ４７ 孔 ４９ 電気回路部 ５０ ダイアフラム ５１ 端子部 ５２ 絶縁性被膜用樹脂 ５３ 導電性樹脂 ５４ 第２の電気接点 ５５ 係止部 ５６ 圧着端子 ５９ ＥＥＰＲＯＭ ６０ ＬＣＤ ６１ Ｄ／Ａ変換機 ６２ センサ ６３ 螺合部 ６４ ボデイ部 ６５ 導線 ６６ 導線支持部 ６７ａ 樹脂部 ６７ｂ 樹脂部 ６８ Ｏリング ６９ ボルト

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プロセスからの圧力がダイアフラムを介し
   た圧力伝達液体に伝達することができる圧力伝達部と、
   前記圧力伝達液体の圧力を電気信号に変換してプロセス
   からの圧力を検出する圧力検出手段とを有する差圧／圧
   力伝送器であって、前記圧力伝達部は、プロセス側に臨
   むプロセス側ダイアフラムと、前記圧力伝達液体側に臨
   む接液側ダイアフラムとを接触させた状態で対向配置す
   ると共に、互いに対向配置している部位に電気接点を設
   けたプロセス圧力検出手段と、前記プロセス側ダイアフ
   ラムと接液側ダイアフラムとの電気接点の接触状態によ
   りダイアフラムの破損を検出するダイアフラム破損検出
   手段とを備えたことを特徴とする差圧／圧力伝送器。
2. 【請求項２】前記電気接点を備えているところの対向配
   置した部位は、ダイアフラムの中央位置であることを特
   徴とする請求項１に記載の差圧／圧力伝送器。
3. 【請求項３】前記プロセス側ダイアフラムと接液側ダイ
   アフラムとが対向する面のうち、少なくとも前記電気接
   点を除く面に絶縁被膜を施したことを特徴とする請求項
   １に記載の差圧／圧力伝送器。
4. 【請求項４】前記ダイアフラム破損検出手段は、前記プ
   ロセス側ダイアフラムと前記接液側ダイアフラムとの電
   気接点が導通状態であることを一定の電流流れによって
   検出することを特徴とする請求項１に記載の差圧／圧力
   伝送器。
5. 【請求項５】前記ダイアフラム破損検出手段の電流流れ
   の検出は、間欠的に行うことを特徴とする請求項４に記
   載の差圧／圧力伝送器。
6. 【請求項６】前記ダイアフラム破損検出手段は、前記電
   流流れの異常検出を再確認した後にダイアフラムの破損
   と判断するようにしたことを特徴とする請求項４に記載
   の差圧／圧力伝送器。
7. 【請求項７】前記ダイアフラム破損検出手段は、予め設
   定したプロセスの圧力の範囲内で発生する検出信号によ
   りダイアフラムの破損を検出するようにしたことを特徴
   とする請求項４に記載の差圧／圧力伝送器。
8. 【請求項８】前記ダイアフラム破損検出手段は、ダイア
   フラムが破損したときのインピーダンスをトレンドデー
   タとして蓄積しておき、該蓄積してあるトレンドデータ
   により破損値を設定し、該設定した破損値以上になった
   ときに、ダイアフラム破損異常信号を生成するようにし
   たことを特徴とする請求項４に記載の差圧／圧力伝送
   器。