JP2002150993A - Mass spectrometer - Google Patents

Mass spectrometer

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JP2002150993A
JP2002150993A JP2001282047A JP2001282047A JP2002150993A JP 2002150993 A JP2002150993 A JP 2002150993A JP 2001282047 A JP2001282047 A JP 2001282047A JP 2001282047 A JP2001282047 A JP 2001282047A JP 2002150993 A JP2002150993 A JP 2002150993A
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mass spectrometer
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成自 神村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable facilitating of cleaning, dismantling works for exchange or the like, and an assembling work performed afterwards, with respect to members constituting an interface mechanism of a mass spectrometer. SOLUTION: When the present invention is applied to ESI interface mechanism, this is constituted to be shaped, this is engaged with a groove part 14 of a board part 11 installed at a planar plate 16 of a body part case 1, wherein the lower end part is formed rectangular in shape and a shape, so that each micropore electrode constituting an ionized electrode 3 engages with the groove part 14. Each of the micropore electrode is made to be slidable, being guided by the groove part 14 installed at the board part 11, and positioning of a central pore is made possible, while each of the micropore electrode is engaged with and mounted on the groove part 14. In a using condition, the whole device is fixed to a surface of a vacuum drawing duct 5 with a fixing screw 4 and is pushed against the surface of the vacuum drawing duct 5 with a stopper 12, having a stopper lever 13 engaged with the groove part 14 from an end part of the board part 11, so that each of the micropore electrode is fixed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、質量分析装置に係
り、特に、試料をイオン化して分析部に導入するインタ
フェース機構の分解、清掃、部品交換等を容易に行うこ
とを可能にした質量分析装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mass spectrometer, and more particularly to a mass spectrometer capable of easily disassembling, cleaning, and replacing parts of an interface mechanism for ionizing a sample and introducing it into an analysis unit. Related to the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、従来技術による質量分析装置
は、液体クロマトグラフ式とガスクロマトグラフとがあ
り、ガスクロマトグラフ式の場合、分析すべき試料を気
化、イオン化するインタフェース機構と、このイオン化
された粒子を静電レンズ、イオンガイドを介して高周波
電界により制御されるイオントラップ部に導き、イオン
トラップ部から出力される粒子を検出することにより試
料粒子の質量の分析を行う分析部とにより構成されてい
る。そして、ガスクロマトグラフ式の質量分析装置は、
前述の分析部を高真空の空間に配置し、インタフェース
機構を構成するイオン化部を低真空中に、気化部を大気
中に配置して構成されるのが一般的である。
2. Description of the Related Art Generally, a mass spectrometer according to the prior art includes a liquid chromatograph type and a gas chromatograph. In the case of the gas chromatograph type, an interface mechanism for vaporizing and ionizing a sample to be analyzed, and an ionizing particle An electrostatic lens, an analysis unit for conducting mass analysis of sample particles by guiding particles to an ion trap unit controlled by a high-frequency electric field via an ion guide, and detecting particles output from the ion trap unit. I have. And the gas chromatograph type mass spectrometer is
In general, the analysis section is arranged in a high vacuum space, the ionization section constituting the interface mechanism is arranged in a low vacuum, and the vaporization section is arranged in the atmosphere.

【0003】前述のインタフェース機構としては、エレ
クトロスプレーイオナイザ(ESI)と呼ばれるもの
と、大気圧化学イオナイザ(APCI)と呼ばれるもの
とが知られている。ESIは、高電圧を印加した二重パ
イプに不活性ガスと液体状の試料を吹き込むことにより
試料を気化させる気化器と、中心部に細孔を有するイオ
ン化電極とにより構成され、APCIは、中心部に細孔
を有して150度から200度程度に加熱された部材に
よる霧化器と、中心部に小孔を有して400度程度に加
熱された部材による気化器と、中心部に細孔を有するイ
オン化電極とにより構成される。
As the above-mentioned interface mechanism, a so-called electrospray ionizer (ESI) and a so-called atmospheric pressure chemical ionizer (APCI) are known. The ESI is composed of a vaporizer that vaporizes a sample by blowing an inert gas and a liquid sample into a double pipe to which a high voltage is applied, and an ionization electrode having a pore at the center. Atomizer with a member heated to about 200 degrees from 150 degrees with fine pores, and a vaporizer with a member heated to about 400 degrees with small holes in the center, And an ionization electrode having pores.

【0004】図16は従来技術による質量分析装置のE
SIインタフェース機構の構成を示す斜視図であり、以
下、図16を参照して、従来技術によるインタフェース
機構について説明する。図16において、1は本体部筐
体、2は気化器、3はイオン化電極、4、4’は固定ネ
ジ、5は真空引き抜きダクト、6は霧化器、7はチュー
ブ、17は天板である。
FIG. 16 shows an E of a conventional mass spectrometer.
FIG. 17 is a perspective view illustrating a configuration of an SI interface mechanism. Hereinafter, an interface mechanism according to the related art will be described with reference to FIG. In FIG. 16, 1 is a main body housing, 2 is a vaporizer, 3 is an ionization electrode, 4 and 4 'are fixing screws, 5 is a vacuum extraction duct, 6 is an atomizer, 7 is a tube, and 17 is a top plate. is there.

【0005】従来技術による質量分析装置は、図示しな
い、静電レンズ、イオンガイド、イオントラップ、粒子
検出部により構成される質量分析部、真空ポンプ、電
源、制御回路等が天板17を有する本体部筐体1内に収
納され、ESIインタフェース機構を構成するイオン化
電極3及び気化器2が、図16に示すように、本体部筐
体1の内部とは仕切られた部分に取り付けられて構成さ
れている。
A mass spectrometer according to the prior art has a main body having a top plate 17 in which a mass spectrometer (not shown) including an electrostatic lens, an ion guide, an ion trap, and a particle detector, a vacuum pump, a power supply, a control circuit, and the like are provided. As shown in FIG. 16, the ionization electrode 3 and the vaporizer 2 which are housed in the housing 1 and constitute the ESI interface mechanism are attached to a part separated from the inside of the housing 1 as shown in FIG. ing.

【0006】ESIインタフェース機構が取り付けられ
ている部分の天板17の部分は、図16では切り欠いた
状態に示されているが、この部分は、天板17と同一平
面となる取り外し可能な蓋または開閉可能な扉として構
成されている。また、図16では、本体部筐体1の側面
板を切り欠いた状態に示しているが、側面板は、実際に
は切り欠かれておらず、天板17の直下まで伸びてES
Iインタフェース機構を取り囲んでいる。そして、ES
Iインタフェース機構の保守は、前述した天板17の一
部に設けられている蓋を取り外しあるいは扉を開いて上
側から行われるようにされている。
[0006] A part of the top plate 17 to which the ESI interface mechanism is attached is shown in a cut-out state in FIG. 16, but this portion is a removable lid which is flush with the top plate 17. Or it is configured as a door that can be opened and closed. Also, in FIG. 16, the side plate of the main body housing 1 is shown in a cut-out state, but the side plate is not actually cut out, but extends to just below the top plate 17 and the ES
Surrounds the I-interface mechanism. And ES
The maintenance of the I interface mechanism is performed from above by removing a lid provided on a part of the top plate 17 or opening a door.

【0007】また、ESIインタフェース機構は、その
細孔部を中程度の真空に引く真空引き抜きダクト5を介
して取り付けられ、中心部に細孔を有する複数の円板状
に形成された細孔電極により構成されるイオン化電極3
と、チューブ7を介して送られる溶媒等に溶かされた試
料を気化する気化器2とにより構成されている。真空引
き抜きダクト5は、固定ネジ4’により本体部筐体1に
取り付けられ、内部の真空ポンプに連結されている。
[0007] The ESI interface mechanism is attached via a vacuum extraction duct 5 for drawing the pores to a medium vacuum, and has a plurality of disc-shaped pore electrodes having pores in the center. Electrode 3 composed of
And a vaporizer 2 for vaporizing a sample dissolved in a solvent or the like sent through a tube 7. The vacuum extraction duct 5 is attached to the main body housing 1 by a fixing screw 4 ′, and is connected to an internal vacuum pump.

【0008】ESIインタフェース機構と図示しない真
空ポンプとは、通常2つの真空室を介して結合されてい
る。図16には示していないが、1つは、分析部を配置
する高真空の真空室であり、他の1つは、インタフェー
ス機構を構成するイオン化部を低真空とする真空室であ
る。そして、これらの真空室は、3つの真空ポンプによ
り内部の気体が吸引されている。すなわち、インタフェ
ース機構のイオン化部を低真空とする真空室に1つの真
空ポンプが割り当てられ、分析部を配置する高真空の真
空室にターボ分子真空ポンプが割り当てられ、さらに、
ターボ分子真空ポンプの排圧の排気のためにもう1つの
真空ポンプが配置されている。
[0008] The ESI interface mechanism and a vacuum pump (not shown) are usually connected via two vacuum chambers. Although not shown in FIG. 16, one is a high-vacuum vacuum chamber in which the analysis unit is arranged, and the other is a vacuum chamber in which the ionization unit constituting the interface mechanism has a low vacuum. The gas inside these vacuum chambers is sucked by three vacuum pumps. That is, one vacuum pump is assigned to a vacuum chamber that sets the ionization unit of the interface mechanism to a low vacuum, and a turbo molecular vacuum pump is assigned to a high vacuum vacuum chamber that places the analysis unit.
Another vacuum pump is arranged for exhausting the exhaust pressure of the turbo-molecular vacuum pump.

【0009】気化器2は、図には示していないが、二重
パイプ状に形成されており、内側の中心パイプにチュー
ブ7からの試料が送り込まれ、内側パイプと外側パイプ
との間に不活性ガスが吹き込まれて試料を噴霧、気化
し、気化された試料をイオン化電極3の中心の細孔に向
けて吹き込む。なお、この気化器2の外側パイプには、
3kV程度の高電圧が、図示しないケーブルを介して本
体部筐体1の内部から印加されている。
Although not shown in the drawing, the vaporizer 2 is formed in a double pipe shape, and a sample from the tube 7 is fed into an inner central pipe, and an imperfect between the inner pipe and the outer pipe. An active gas is blown to spray and vaporize the sample, and the vaporized sample is blown toward the central pore of the ionization electrode 3. The outer pipe of the vaporizer 2 includes:
A high voltage of about 3 kV is applied from inside the main body housing 1 via a cable (not shown).

【0010】イオン化電極3は、複数の細孔電極の細孔
の位置合わせをして固定ネジ4により真空引き抜きダク
ト5に固定されて取り付けられている。図には示してい
ないが、イオン化電極3を構成する複数の細孔電極のそ
れぞれには、吹き込まれた試料の粒子をイオン化するた
めに異なる電位の電圧が、図示しないケーブルを介して
本体部筐体1の内部から印加されている。
The ionization electrode 3 is fixedly attached to a vacuum extraction duct 5 by a fixing screw 4 after positioning the pores of a plurality of pore electrodes. Although not shown in the drawing, voltages of different potentials for ionizing the injected sample particles are applied to each of the plurality of pore electrodes constituting the ionization electrode 3 via a cable (not shown). It is applied from inside the body 1.

【0011】前述において、チューブ7を介して送りこ
まれた試料は、気化器2により気化されて、その粒子が
イオン化電極3の細孔を通る間にイオン化され、本体部
筐体1の内部に収納される質量分析部に送りこまれるこ
とになる。なお、気化された後の試料は、真空引き抜き
ダクト5の内部が真空に引き抜かれていることにより、
自動的にイオン化電極3を通って本体部筐体1の内部に
導かれる。
In the above description, the sample sent through the tube 7 is vaporized by the vaporizer 2, ionized while its particles pass through the pores of the ionization electrode 3, and stored in the main body housing 1. Is sent to the mass spectrometry section. It should be noted that the sample after being vaporized is obtained by the fact that the inside of the vacuum extraction duct 5 is extracted to a vacuum.
It is automatically guided through the ionization electrode 3 into the body housing 1.

【0012】前述では、従来技術による質量分析装置の
ESIインタフェース機構について説明したが、APC
Iインタフェース機構も、図16の場合と同様に構成さ
れている。すなわち、APCIインタフェースを持つ質
量分析装置は、静電レンズ、イオンガイド、イオントラ
ップ粒子検出により構成される質量分析部、真空ポン
プ、電源、制御回路等が本体部筐体1内に収納され、A
PCIインタフェース機構が、イオン化電極、気化器及
びESIインタフェース機構にはない霧化器により構成
されて、前述の場合と同様に、本体部筐体1の内部とは
仕切られた部分に取り付けられて構成されている。そし
て、APCIインタフェース機構は、ESIインタフェ
ース機構とほぼ同様に、その細孔部を中程度の真空に引
く真空引き抜きダクト5介して取り付けられ、中心部に
細孔を有する複数の円板状に形成された細孔電極により
構成されるイオン化電極と、チューブを介して送られる
溶媒等に溶かされた試料を霧化する霧化器と、霧化され
た試料を気化する気化器とにより構成されている。真空
引き抜きダクトは、固定ネジにより本体部筐体に取り付
けられ、内部の真空ポンプに連結されている。
In the above, the ESI interface mechanism of the mass spectrometer according to the prior art has been described.
The I-interface mechanism is configured similarly to the case of FIG. That is, in the mass spectrometer having the APCI interface, the mass spectrometer including the electrostatic lens, the ion guide, and the ion trap particle detection, the vacuum pump, the power supply, the control circuit, and the like are housed in the main body housing 1.
The PCI interface mechanism is constituted by an ionization electrode, a vaporizer, and an atomizer not provided in the ESI interface mechanism, and attached to a part separated from the inside of the main body housing 1 in the same manner as described above. Have been. The APCI interface mechanism is attached through a vacuum extraction duct 5 that evacuates the pores to a moderate vacuum, and is formed into a plurality of discs having pores at the center in a manner similar to the ESI interface mechanism. An ionization electrode constituted by a fine pore electrode, an atomizer for atomizing a sample dissolved in a solvent or the like sent through a tube, and a vaporizer for vaporizing the atomized sample. . The vacuum extraction duct is attached to the main unit housing by a fixing screw and connected to an internal vacuum pump.

【0013】霧化器は、150度〜200度程度に加熱
されており、チューブを介して送り込まれてくる試料を
中心部に設けられた細孔内で霧化して気化器に送り込
む。気化器は、霧化器より高い400度程度に加熱され
ており、霧化器より送られてくる霧化された試料を気化
し、気化された試料をイオン化電極の中心の細孔に向け
て吹き込む。そして、霧化器、気化器には、加熱のため
のヒータ、温度測定のためのセンサが組み込まれてお
り、これらに対する配線がケーブルを介して本体部筐体
の内部に引き込まれている。
The atomizer is heated to about 150 to 200 degrees, and atomizes a sample sent through a tube into a fine hole provided in the center and sends the sample to a vaporizer. The vaporizer is heated to about 400 degrees higher than the atomizer, vaporizes the atomized sample sent from the atomizer, and directs the vaporized sample toward the center pore of the ionization electrode. Inhale. A heater for heating and a sensor for temperature measurement are incorporated in the atomizer and the vaporizer, and the wiring for these is drawn into the body housing via a cable.

【0014】イオン化電極の構成は、前述したESIイ
ンタフェース機構を持つ質量分析装置の場合と同様であ
り、また、APCIインタフェース機構が本体部筐体に
取り付けられる構造、本体部筐体の側面板のAPCIイ
ンタフェース機構周辺の構造、天板の構成も、前述した
ESIインタフェース機構を持つ質量分析装置の場合と
同様である。
The structure of the ionization electrode is the same as that of the above-described mass spectrometer having the ESI interface mechanism. Also, the structure in which the APCI interface mechanism is attached to the main body housing, the APCI on the side plate of the main body housing. The structure around the interface mechanism and the configuration of the top plate are the same as those of the above-described mass spectrometer having the ESI interface mechanism.

【0015】前述において、チューブを介して送りこま
れた試料は、霧化器、気化器を経て気化され、その粒子
がイオン化電極の細孔を通る間にイオン化され、本体部
筐体の内部に収納される質量分析部に送りこまれること
になる。
In the above description, the sample sent through the tube is vaporized through an atomizer and a vaporizer, and the particles are ionized while passing through the pores of the ionization electrode, and stored inside the main body housing. Is sent to the mass spectrometry section.

【0016】[0016]

【発明が解決しようとする課題】前述した従来技術によ
る質量分析装置は、インタフェース機構を構成するイオ
ン化電極、気化器が、あるいは、これらと霧化器とを位
置合わせして取り付けネジにより取り付けられている。
そして、これらの部材は、一定時間使用した後には清掃
等のために取り外す必要があり、また、分析すべき試料
によっては部材を交換する必要がある。そして、インタ
フェース機構を構成する前述の各部材は相当な重量を有
し、また、使用直後にはかなりの熱を持っている。
In the above-described mass spectrometer according to the prior art, the ionization electrode and the vaporizer constituting the interface mechanism, or the nebulizer and the ionization electrode are aligned with each other and mounted with mounting screws. I have.
These members need to be removed for cleaning or the like after being used for a certain period of time, and the members need to be replaced depending on the sample to be analyzed. Each of the above-mentioned members constituting the interface mechanism has a considerable weight, and has a considerable amount of heat immediately after use.

【0017】このため、前述した従来技術による質量分
析装置のインタフェース機構は、清掃等のために分解し
た後に組み立てる際の位置合わせを、部材を手に持った
状態で行わなければならず、その作業が困難であり、ま
た、APCIインタフェース機構は、使用中加熱されて
いるため、使用直後に作業を行うことができないという
問題点を有している。
For this reason, in the interface mechanism of the above-described conventional mass spectrometer, the alignment at the time of assembling after disassembly for cleaning or the like has to be performed while holding the member in hand, and the work is performed. In addition, since the APCI interface mechanism is heated during use, there is a problem that work cannot be performed immediately after use.

【0018】また、前述した従来技術による質量分析装
置のインタフェース機構は、前述した作業を、天板に設
けられたインタフェース機構の上の蓋を外し、あるい
は、扉を開いて上側から行わなければならず、極めて作
業性が悪いという問題点を生じさせている。また、通
常、天板の上には、液体クロマトグラフ等の機器が乗せ
られて使用されており、これらの機器が、天板上の蓋、
扉の上に乗せられていた場合、これらの機器を移動させ
なければ、前述したような清掃のための作業を行うこと
ができないという問題点を生じている。
In the interface mechanism of the above-described conventional mass spectrometer, the above-described operation must be performed from above by removing a lid on the interface mechanism provided on the top plate or opening a door. However, there is a problem that workability is extremely poor. In addition, usually, instruments such as a liquid chromatograph are put on the top plate and used, and these devices are used for the lid on the top plate,
When placed on the door, there is a problem that the above-described cleaning operation cannot be performed unless these devices are moved.

【0019】また、前述した従来技術による質量分析装
置は、3つもの真空ポンプを使用しているため、装置全
体を大型のものにしてしまい、また、重量も大きくなる
ので、搬入、設置を行う場合に、搬送可能な重量となる
ように解体し、現地での組み立てを行わなければなら
ず、それらの作業に要する作業量が多くなり、時間と費
用が大きくなるという問題点を有している。
Further, the mass spectrometer according to the prior art described above uses as many as three vacuum pumps, so that the entire apparatus becomes large and the weight increases, so that the mass spectrometer is carried in and installed. In such a case, it must be disassembled to a weight that can be transported, and must be assembled on site, and the amount of work required for those operations increases, and there is a problem that time and cost increase. .

【0020】本発明の目的は、前記従来技術の問題点を
解決し、インタフェース機構の分解、清掃、部品交換等
を容易に行うことを可能にし、組立てを行う際の位置合
わせも容易に行うことを可能にした分析すべき試料を気
化、イオン化するインタフェース機構を有する質量分析
装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, to make it easy to disassemble, clean, replace parts, etc. of the interface mechanism, and to easily perform positioning when assembling. An object of the present invention is to provide a mass spectrometer having an interface mechanism for vaporizing and ionizing a sample to be analyzed, which enables the analysis.

【0021】また、本発明の目的は、装置全体を小型に
することができ、また、重量を小さくし、搬入、設置を
行う場合にね、搬送可能な重量とするための分解数を少
なくして、現地での組み立て作業が容易な質量分析装置
を提供することにある。
Another object of the present invention is to reduce the size of the entire apparatus, to reduce the weight, and to reduce the number of disassembly to make the weight capable of being conveyed when carrying in and installing the apparatus. Another object of the present invention is to provide a mass spectrometer that can be easily assembled on site.

【0022】[0022]

【課題を解決するための手段】また、前記目的は、分析
すべき試料を気化させる気化器、及び、中心部に細孔を
有するイオン化電極とにより構成されるインタフェース
機構と、前記インタフェース機構からのイオン化された
試料粒子の質量分析を行う質量分析部とにより構成され
る質量分析装置において、前記インタフェース機構を、
本体部筐体に結合し、インタフェース機構に対する電圧
の印加、加熱のための電源を供給するケーブルをコネク
タを介して本体部筐体内部に引き込み、前記コネクタの
コネクタピンの2本をジャンパ線により短絡しておき、
短絡されるコネクタピンの位置により、制御装置にイン
タフェース機構の種別を判別させるようにし、前記制御
装置をパソコンにより構成し、判別したインタフェース
機構の種別と、機器構成の概略とをディスプレイ上に表
示することにより、また、前記ディスプレイ上に表示さ
れるインタフェース機構の機器構成の各部に印加されて
いる電圧と、計測された温度及び設定温度の少なくとも
計測された温度とを対応して表示することにより達成さ
れる。
According to another aspect of the present invention, there is provided an interface mechanism comprising a vaporizer for vaporizing a sample to be analyzed, and an ionization electrode having a pore at a central portion thereof. In a mass spectrometer configured by a mass spectrometer that performs mass spectrometry of ionized sample particles, the interface mechanism,
A cable that is connected to the main unit housing and supplies power for applying voltage and heating to the interface mechanism is pulled into the main unit housing via the connector, and two of the connector pins of the connector are short-circuited by jumper wires. Aside
The control device is configured to determine the type of the interface mechanism based on the position of the connector pin to be short-circuited. The control device is configured by a personal computer, and the determined type of the interface mechanism and the outline of the device configuration are displayed on a display. This is achieved by displaying the voltage applied to each part of the device configuration of the interface mechanism displayed on the display and at least the measured temperature of the measured temperature and the set temperature in a corresponding manner. Is done.

【0023】さらに、前記目的は、質量分析部が収納さ
れる真空室を真空に引く第1の真空ポンプと、該第1の
真空ポンプからの排気及び前記イオン化電極により構成
される真空室からの排気を行う第2の真空ポンプとを備
えることにより、また、前記第1の真空ポンプを、本体
部筐体の内部に、その正面の手前側で、かつ、側面側
に、取り外し可能に配置することにより達成される。
Further, the object is to provide a first vacuum pump for evacuating a vacuum chamber in which a mass spectrometry unit is housed, and an exhaust from the first vacuum pump and a vacuum chamber formed by the ionization electrode. By providing a second vacuum pump for evacuating, the first vacuum pump is detachably disposed inside the main body housing, on the near side of the front and on the side. This is achieved by:

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明による質量分析装置
の実施形態を図面により詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the mass spectrometer according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0025】図1は本発明による質量分析装置の全体の
構成を示す斜視図、図2は本発明の第1の実施形態によ
る質量分析装置のインタフェース機構の構成を示す斜視
図、図3は図2のインタフェース機構を分解して示す図
である。図1〜図3において、8はケーブル、9はコネ
クタ、10、10’は扉、11は台部、12はストッ
パ、13ストッパ・レバー、14は溝部、15は表示
器、16は平面板、17は天板、17’は天板の窪み
部、18は透明窓、19はマイクロスイッチ、20は前
蓋、20’はカバー、31は液体クロマトグラフ、32
はパソコン(PC)、33はディスプレイ、34はキー
ボード、35はマウス、36は机であり、他の符号は図
16の場合と同一である。
FIG. 1 is a perspective view showing the entire configuration of a mass spectrometer according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of an interface mechanism of the mass spectrometer according to the first embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4 is an exploded view showing an interface mechanism of No. 2; 1 to 3, 8 is a cable, 9 is a connector, 10 is a door, 11 is a base, 12 is a stopper, 13 is a stopper lever, 14 is a groove, 15 is a display, 16 is a flat plate, 17 is a top plate, 17 'is a recess of the top plate, 18 is a transparent window, 19 is a micro switch, 20 is a front cover, 20' is a cover, 31 is a liquid chromatograph, 32
Is a personal computer (PC), 33 is a display, 34 is a keyboard, 35 is a mouse, 36 is a desk, and the other symbols are the same as those in FIG.

【0026】本発明の質量分析装置は、図1にその全体
を示すように、質量分析装置を構成する各種機器が収納
される本体部筐体1と、本体部筐体1上に設けられてい
る天板17上に載置される液体クロマトグラフ31と、
本体部筐体1に並べて配置された机36の上に備えられ
る質量分析装置、液体クロマトグラフ31を制御し、こ
れらからのデータを処理するパソコン32と、制御の状
況、データ処理の状況を表示するディスプレイ33と、
パソコン32に対する指示等を入力するキーボード34
及びマウス36とにより構成されている。
As shown in FIG. 1, the mass spectrometer of the present invention has a main body housing 1 in which various devices constituting the mass spectrometer are stored, and is provided on the main body housing 1. A liquid chromatograph 31 placed on the top plate 17,
A mass spectrometer provided on a desk 36 arranged side by side in the main body housing 1, a personal computer 32 for controlling the liquid chromatograph 31 and processing data from the mass spectrometer, and a control status and a data processing status are displayed. Display 33,
Keyboard 34 for inputting instructions and the like to personal computer 32
And a mouse 36.

【0027】本体部筐体1の側面及び前面には扉10、
10’及び透明窓18が設けられている。側面に設けら
れている扉10は、本体部筐体1の内部に配置されてい
る真空排気用のターボ分子ポンプの作動油の給油口とし
て使用され、前面側の透明窓18は、ターボ分子ポンプ
の作動油の量が外部から見ることがてきるように設けら
れている。また、前面側の扉10’は、この扉10’を
開けることにより、電源スイッチ等の操作が可能に設け
られている。
A door 10 is provided on the side and the front of the main body housing 1.
10 'and a transparent window 18 are provided. The door 10 provided on the side surface is used as an oil supply port for hydraulic oil of a turbo-molecular pump for vacuum evacuation arranged inside the main body housing 1, and the transparent window 18 on the front side is used as a turbo-molecular pump. Is provided so that the amount of hydraulic oil can be seen from the outside. The door 10 'on the front side is provided such that the power switch and the like can be operated by opening the door 10'.

【0028】さらに、本体部筐体1の前面の上部には、
前方に突出した取り外し可能な前蓋20及び表示器15
が設けられたカバー20’が設けられている。前蓋20
の内側には、後述するようにインタフェース機構が本体
部筐体1に結合されて配置されており、前蓋20を図の
右側側方に引いて前蓋20を取り外すと、本体部筐体1
の上部、前部、図示例では右側側部の一部が解放され
て、インタフェース機構が露出する。これにより、イン
タフェース機構は、3方からの保守点検を行うことが可
能となり、極めて作業性よくインタフェース機構の分
解、組み立て等を行うことができる。なお、前蓋20
は、インタフェース機構の3方を解放するものでなくて
も、何れか2方を解放できるように形成されていてもよ
い。
Further, on the upper part of the front surface of the main body housing 1,
Removable front lid 20 and indicator 15 projecting forward
Is provided. Front lid 20
Inside, the interface mechanism is connected to and disposed on the main body housing 1 as described later. When the front cover 20 is removed by pulling the front cover 20 to the right side in the figure, the main body housing 1 is detached.
The upper part, the front part, and a part of the right side part in the illustrated example are released to expose the interface mechanism. As a result, the interface mechanism can be maintained and inspected from three directions, and the interface mechanism can be disassembled and assembled with extremely high workability. The front cover 20
May be formed so as not to release the three sides of the interface mechanism, but to release any two sides.

【0029】また、本発明の質量分析装置は、後述する
ように、前述の取り外し可能な前蓋20が、本体部筐体
1に確実に取り付けられているいるときのみ、動作可能
に構成されている。これにより、高電圧が印加されてい
るインタフェース機構の保守党の作業時の、作業者に対
する安全を確保することができる。
As will be described later, the mass spectrometer of the present invention is operable only when the detachable front lid 20 is securely attached to the main body housing 1. I have. This makes it possible to ensure the safety of the worker when the Conservative Party of the interface mechanism to which the high voltage is applied is working.

【0030】また、本体部筐体1の上面を構成する天板
17は、その周辺部を除いた部分が周辺部から窪ませた
窪み部17’として形成されて構成されている。そし
て、この窪み部17’の面上に液体クロマトグラフ31
が載置される。これにより、何らかの原因により、本体
部筐体1が振動したり移動した場合にも、その上に載置
されている機器である液体クロマトグラフ31が天板1
7が滑り落ちる等の不具合をなくすことができ、地震等
の際にも安全である。
The top plate 17 constituting the upper surface of the main body casing 1 is configured such that a portion excluding the peripheral portion is formed as a concave portion 17 ′ depressed from the peripheral portion. Then, the liquid chromatograph 31 is placed on the surface of the recess 17 '.
Is placed. Accordingly, even when the main body housing 1 vibrates or moves for some reason, the liquid chromatograph 31 which is a device mounted thereon is mounted on the top plate 1.
Problems such as slipping down of 7 can be eliminated, and it is safe even in the event of an earthquake or the like.

【0031】図2、図3に示す本発明の第1の実施形態
による質量分析装置のインタフェース機構は、本発明を
ESIインタフェース機構に適用した例であり、イオン
化電極3を円板状ではなく下端部が方形状に、かつ、本
体部筐体1の平面板16上に設けられる台部11の溝部
14に係合する形状としたものである。また、インタフ
ェース機構が配置される本体部筐体1の壁面には、図1
により説明した前蓋20と係合するマイクロスイッチ1
9が設けられており、前蓋20が取り外されたとき、こ
のマイクロスイッチ19が、本体部筐体1内の機器の等
差を停止させて、インタフェース機構に印加される高電
圧の供給を停止させている。
The interface mechanism of the mass spectrometer according to the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 2 and 3 is an example in which the present invention is applied to an ESI interface mechanism. The portion has a rectangular shape and is shaped to engage with the groove 14 of the base 11 provided on the flat plate 16 of the main body housing 1. In addition, the wall surface of the main body housing 1 on which the interface mechanism is arranged is provided with the structure shown in FIG.
Switch 1 engaging with front cover 20 described in FIG.
9 is provided, and when the front lid 20 is removed, the microswitch 19 stops the equal difference of the devices in the main body housing 1 and stops the supply of the high voltage applied to the interface mechanism. Let me.

【0032】この本発明の第1の実施形態による質量分
析装置のインタフェース機構は、イオン化電極3を構成
する各細孔電極が、表示器15を有する本体部筐体1の
平面板16上に設けられる台部11の溝部14に係合す
るように下端部が方形状に、かつ、溝部14に係合する
形状とされて構成される。そして、イオン化電極3を構
成する各細孔電極は、図3に示すように、台部11に設
けた溝部14に案内されてスライド可能とされると共
に、各細孔電極が溝部14内に係合載置されることによ
り、中心の細孔の位置合わせが可能にされている。
In the interface mechanism of the mass spectrometer according to the first embodiment of the present invention, each pore electrode constituting the ionization electrode 3 is provided on the flat plate 16 of the main body housing 1 having the display 15. The lower end has a rectangular shape so as to engage with the groove 14 of the base 11 to be formed, and has a shape engaging with the groove 14. As shown in FIG. 3, each of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3 is slidable while being guided by a groove 14 provided on the base 11, and each pore electrode is engaged in the groove 14. By being stacked, alignment of the central pore is enabled.

【0033】そして、使用状態において、イオン化電極
3を構成する各細孔電極は、固定ネジ4により装置の全
体が真空引き抜きダクト5の面に固定され、また、台部
11の端部から溝部14に係合するストッパレバー13
を有するストッパ12により真空引き抜きダクト5の面
に押しつけられて固定される。
In use, each of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3 is fixed to the surface of the vacuum extraction duct 5 by a fixing screw 4 as a whole, and the groove portion 14 extends from the end of the base 11 to the groove 14. Stopper lever 13 that engages with
Is pressed against the surface of the vacuum extraction duct 5 and fixed.

【0034】なお、イオン化電極3を構成する各細孔電
極及び気化器2には、チューブ7を介して図1に示した
液体クロマトグラフ31から試料が送りこまれ、また、
ケーブル8、コネクタ9を介して本体部筐体1内部の電
源から所定の電圧が印加される。また、気化器2内に備
えられる図示しないヒータに対する電源、その温度を測
定するためのセンサの配線が、ケーブル8内に設けられ
て、コネクタ9を介して本体部筐体1の内部に接続され
る。また、台部11に設けられる溝部14は、略台形に
形成され各細孔電極が溝部14に係合している状態では
上方に抜けないようにされている。
A sample is sent from the liquid chromatograph 31 shown in FIG. 1 to each pore electrode and the vaporizer 2 constituting the ionization electrode 3 via a tube 7.
A predetermined voltage is applied from a power source inside the main body housing 1 via the cable 8 and the connector 9. A power supply for a heater (not shown) provided in the vaporizer 2 and a wiring for a sensor for measuring the temperature are provided in the cable 8 and connected to the inside of the main body housing 1 via the connector 9. You. Further, the groove 14 provided in the base 11 is formed in a substantially trapezoidal shape so that it does not come out upward when each of the pore electrodes is engaged with the groove 14.

【0035】前述した本発明の第1の実施形態によれ
ば、インタフェース機構を構成するイオン化電極3、気
化器2の清掃、交換等のための分解作業を、固定ネジ4
を外し、ストッパ12を外すことにより、イオン化電極
3を構成する複数の細孔電極を個々に溝部14内をスラ
イドさせることにより容易に行うことができる。また、
その後の組み立て作業も、各部材を溝部14内をスライ
ドさせていくことにより、位置合わせに気を使うことな
く、確実に位置合わせして行うことができる。
According to the first embodiment of the present invention, the disassembling operation for cleaning and replacing the ionization electrode 3 and the vaporizer 2 constituting the interface mechanism is performed by the fixing screw 4.
By removing the stopper 12 and removing the stopper 12, the plurality of pore electrodes constituting the ionization electrode 3 can be easily slid by individually sliding in the groove 14. Also,
The subsequent assembling work can also be performed with reliable positioning without having to pay attention to positioning by sliding each member in the groove portion 14.

【0036】図4は本発明の第2の実施形態による質量
分析装置のインタフェース機構の構成を示す斜視図、図
5は図4のインタフェース機構を分解して示す図であ
る。図4、図5において、21は溝部、22は台座部、
23は支持棒であり、他の符号は図2、図3の場合と同
一である。
FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of the interface mechanism of the mass spectrometer according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an exploded view showing the interface mechanism of FIG. 4 and 5, 21 is a groove, 22 is a pedestal,
Reference numeral 23 denotes a support bar, and other reference numerals are the same as those in FIGS.

【0037】図4、図5に示す本発明の第2の実施形態
による質量分析装置のインタフェース機構は、本発明を
ESIインタフェース機構に適用した他の例であり、イ
オン化電極3を構成する各細孔電極を略四角柱状の台座
部22上支持棒23により取り付けた構造として、本体
部筐体1の平面板16上に設けられる溝部21上に台座
部22を載置して構成される。
The interface mechanism of the mass spectrometer according to the second embodiment of the present invention shown in FIGS. 4 and 5 is another example in which the present invention is applied to an ESI interface mechanism. As a structure in which the hole electrode is attached by a support rod 23 on a pedestal portion 22 having a substantially quadrangular prism shape, the pedestal portion 22 is placed on a groove 21 provided on the flat plate 16 of the main body housing 1.

【0038】すなわち、この本発明の第2の実施形態に
よる質量分析装置のインタフェース機構のイオン化電極
3は、各細孔電極が、略四角柱状の台座部22上支持棒
23により取り付けられて構成され、台座部22が本体
部筐体1の平面板16上に設けられる溝部21に載置さ
れる。そして、イオン化電極3を構成する各細孔電極
は、図5に示すように、本体部筐体1の平面板16に設
けた溝部21内をスライド可能に、また、上方に取外し
可能にされると共に、各細孔電極が溝部21内に載置さ
れることにより、中心の細孔の位置合わせが可能にされ
ている。また、使用状態において、イオン化電極3を構
成する各細孔電極は、固定ネジ4により装置の全体が真
空引き抜きダクト5の面に固定され、また、溝部21に
係合するストッパ12により真空引き抜きダクト5の面
に押しつけられて固定される。
That is, the ionization electrode 3 of the interface mechanism of the mass spectrometer according to the second embodiment of the present invention is configured such that each pore electrode is attached by a support rod 23 on a pedestal portion 22 having a substantially quadrangular prism shape. The pedestal portion 22 is placed in the groove portion 21 provided on the flat plate 16 of the main body housing 1. As shown in FIG. 5, each of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3 is slidable in a groove 21 provided in the flat plate 16 of the main body housing 1 and is detachable upward. At the same time, the positioning of the central pore is enabled by placing each pore electrode in the groove 21. In use, each of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3 is fixed to the entire surface of the vacuum extraction duct 5 by a fixing screw 4 and the vacuum extraction duct is fixed by a stopper 12 engaging with the groove 21. It is pressed against the surface of No. 5 and fixed.

【0039】なお、第1の実施形態の場合と同様に、イ
オン化電極3を構成する各細孔電極及び気化器2には、
ケーブル8、コネクタ9を介して本体部筐体1内部の電
源から所定の電圧が印加され、ヒータへの電源が供給さ
れ、また、温度測定用センサの信号もこのケーブルを介
して送られる。さらに、図4、図5に示す例において
も、前蓋20と係合するマイクロスイッチ19が設けら
れており、マイクロスイッチ19が図2、図3により説
明した実施形態と同様に作用する。また、図4、図5に
示す例では、イオン化電極3を構成する各細孔電極の真
空引き抜きダクト5側に設けられる細孔電極が、真空引
き抜きダクト5に直接取り付けられているが、この細孔
電極も、他の細孔電極と同様に支持棒により台座部に取
り付けるようにして、取り外し可能としてもよい。
As in the case of the first embodiment, each pore electrode and the vaporizer 2 constituting the ionization electrode 3 are provided with:
A predetermined voltage is applied from a power source inside the main body housing 1 via the cable 8 and the connector 9, power is supplied to the heater, and a signal from the temperature measurement sensor is also transmitted via the cable. Further, in the examples shown in FIGS. 4 and 5, a microswitch 19 that engages with the front lid 20 is provided, and the microswitch 19 operates in the same manner as the embodiment described with reference to FIGS. In the examples shown in FIGS. 4 and 5, the pore electrodes provided on the vacuum extraction duct 5 side of each of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3 are directly attached to the vacuum extraction duct 5. The perforated electrode may be detachable by attaching it to the pedestal with a support bar, like the other perforated electrodes.

【0040】前述した本発明の第2の実施形態によって
も、第1の実施形態の場合と同様な効果を得ることがで
きる。
According to the above-described second embodiment of the present invention, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

【0041】図6は本発明の第3の実施形態による質量
分析装置のインタフェース機構の構成を示す斜視図、図
7は図6のインタフェース機構を分解して示す図であ
る。図6、図7における図の符号は図2の場合と同一で
ある。
FIG. 6 is a perspective view showing the configuration of the interface mechanism of the mass spectrometer according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an exploded view showing the interface mechanism of FIG. 6 and 7 are the same as those in FIG.

【0042】図6、図7に示す本発明の第3の実施形態
による質量分析装置のインタフェース機構は、本発明を
APCIインタフェース機構に適用した例であり、前述
した本発明の第1の実施形態の場合と同様に、イオン化
電極3を円板状ではなく下端部が方形状に、かつ、本体
部筐体1の平面板16上に設けられる台部11の溝部1
4に係合する形状とし、また、気化器2、霧化器6も円
柱状ではなく下端部が方形状に、かつ、本体部筐体1の
平面板16上に設けられる台部11の溝部14に係合す
る形状としたものである。
The interface mechanism of the mass spectrometer according to the third embodiment of the present invention shown in FIGS. 6 and 7 is an example in which the present invention is applied to the APCI interface mechanism, and the first embodiment of the present invention described above. As in the case of (1), the ionization electrode 3 is not disc-shaped but has a rectangular lower end, and the groove 1 of the base 11 provided on the flat plate 16 of the main body housing 1.
4, and the vaporizer 2 and the atomizer 6 are not cylindrical but have a rectangular lower end, and the groove of the base 11 provided on the flat plate 16 of the main body housing 1. 14.

【0043】すなわち、この本発明の第3の実施形態に
よる質量分析装置のインタフェース機構は、イオン化電
極3を構成する各細孔電極が、表示器15を有する本体
部筐体1の平面板16上に設けられる台部11の溝部1
4に係合するように下端部が方形状に、かつ、溝部14
に係合する形状とされて構成される。そして、イオン化
電極3を構成する各細孔電極は、図7に示すように、台
部11に設けた溝部14に案内されてスライド可能とさ
れると共に、各細孔電極が溝部14内に係合載置される
ことにより、中心の細孔の位置合わせが可能にされてい
る。
That is, in the interface mechanism of the mass spectrometer according to the third embodiment of the present invention, each pore electrode constituting the ionization electrode 3 is provided on the flat plate 16 of the main body housing 1 having the display 15. Groove 1 of base 11 provided in
4 to engage with the lower end, and the groove 14
And is configured to be engaged with. As shown in FIG. 7, each of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3 is slidable while being guided by a groove 14 provided on the base 11, and each of the pore electrodes is engaged in the groove 14. By being stacked, alignment of the central pore is enabled.

【0044】また、気化器2、霧化器6も、本体部筐体
1の平面板16上に設けられる台部11の溝部14に係
合するように下端部が方形状に、かつ、溝部14に係合
する形状とされて構成され、台部11に設けた溝部14
に案内されてスライド可能とされると共に、気化器2、
霧化器6が溝部14内に係合載置されることにより、中
心の孔の位置を相互に位置合わせすることが可能であ
り、かつ、イオン化電極3を構成する細孔電極の細孔と
の位置合わせも可能とされている。
Further, the vaporizer 2 and the atomizer 6 also have a rectangular lower end so as to engage with the groove 14 of the base 11 provided on the flat plate 16 of the main body casing 1, and have the groove formed therein. And a groove 14 provided in the base 11.
Is slidable and guided by the vaporizer 2,
Since the atomizer 6 is engaged and mounted in the groove portion 14, the positions of the center holes can be aligned with each other, and the positions of the center holes can be aligned with the pores of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3. Is also possible.

【0045】そして、使用状態において、イオン化電極
3を構成する各細孔電極は、固定ネジ4によりイオン化
電極3の全体が真空引き抜きダクト5の面に固定され、
また、気化器2、霧化器6は、台部11の端部から溝部
14に係合するストッパレバー13を有するストッパ1
2によりイオン化電極3に押しつけられて固定される。
In use, each of the microelectrodes constituting the ionization electrode 3 is fixed to the surface of the vacuum extraction duct 5 by a fixing screw 4 so that the whole of the ionization electrode 3 is fixed.
Further, the vaporizer 2 and the atomizer 6 are provided with a stopper 1 having a stopper lever 13 that engages with the groove 14 from the end of the base 11.
2 presses against the ionization electrode 3 and is fixed.

【0046】なお、イオン化電極3を構成する各細孔電
極には、ケーブル8、コネクタ9を介して本体部筐体1
内部の電源から所定の電圧が印加され、気化器2、霧化
器6は、ケーブル8を介して本体部筐体1内部の電源か
らこれらを所定の温度に加熱するための電力が供給され
るが、これらは、前述した第1、第2の実施形態の場合
と同様であり、また、マイクロスイッチ19も同様に機
能している。また、台部11に設けられる溝部14は、
略台形に形成されており、各細孔電極、気化器2、霧化
器6が溝部14に係合している状態では上方に抜けない
ようにされている。
Each of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3 is connected to the main body casing 1 via a cable 8 and a connector 9.
A predetermined voltage is applied from an internal power supply, and power for heating the vaporizer 2 and the atomizer 6 to a predetermined temperature is supplied from a power supply inside the main body housing 1 via a cable 8. However, these are the same as those in the first and second embodiments described above, and the microswitch 19 also functions similarly. The groove 14 provided on the base 11 is
It is formed in a substantially trapezoidal shape, and is prevented from coming out upward in a state where each of the pore electrodes, the vaporizer 2 and the atomizer 6 are engaged with the groove portion 14.

【0047】前述した本発明の第3の実施形態によれ
ば、インタフェース機構を構成するイオン化電極3、気
化器2、霧化器6の清掃、交換等のための分解作業を、
固定ネジ4を外し、ストッパ12を外すことにより、イ
オン化電極3を構成する複数の細孔電極、気化器2、霧
化器6を個々に溝部14内をスライドさせることにより
容易に行うことができる。また、その後の組み立て作業
も、各部材を溝部14内をスライドさせていくことによ
り、位置合わせに気を使うことなく、確実に位置合わせ
して行うことができる。
According to the above-described third embodiment of the present invention, the disassembly work for cleaning and replacing the ionizing electrode 3, the vaporizer 2, and the atomizer 6 constituting the interface mechanism is performed.
By removing the fixing screw 4 and removing the stopper 12, the plurality of pore electrodes, the vaporizer 2, and the atomizer 6 constituting the ionization electrode 3 can be easily performed by individually sliding in the groove 14. . In addition, the subsequent assembling operation can be performed with reliable positioning without paying attention to the positioning by sliding each member in the groove portion 14.

【0048】図8は本発明の第4の実施形態による質量
分析装置のインタフェース機構の構成を示す斜視図、図
9は図8のインタフェース機構を分解して示す図であ
る。図8、図9における符号は、図4の場合と同一であ
る。
FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of the interface mechanism of the mass spectrometer according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 9 is an exploded view showing the interface mechanism of FIG. 8 and 9 are the same as those in FIG.

【0049】図8、図9に示す本発明の第4の実施形態
による質量分析装置のインタフェース機構は、本発明を
APCIインタフェース機構に適用した他の例であり、
イオン化電極3を構成する各細孔電極を略四角柱状の台
座部22上支持棒23により取り付けた構造とし、か
つ、気化器2、霧化器6も、略四角柱状の台座部22上
支持棒23により取り付けた構造として、これらを本体
部筐体1の平面板16上に設けられる溝部21上に台座
部22を載置して構成される。
The interface mechanism of the mass spectrometer according to the fourth embodiment of the present invention shown in FIGS. 8 and 9 is another example in which the present invention is applied to the APCI interface mechanism.
Each of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3 has a structure in which it is attached by a support rod 23 on a pedestal portion 22 having a substantially quadrangular prism shape. The vaporizer 2 and the atomizer 6 also have a support rod on the pedestal portion 22 having a substantially quadratic prism shape. As a structure attached by 23, these are configured by mounting a pedestal portion 22 on a groove portion 21 provided on the flat plate 16 of the main body housing 1.

【0050】すなわち、この本発明の第2の実施形態に
よる質量分析装置のインタフェース機構のイオン化電極
3は、各細孔電極が、略四角柱状の台座部22上支持棒
23により取り付けられて構成され、台座部22が本体
部筐体1の平面板16上に設けられる溝部21に載置さ
れる。また、気化器2、霧化器6も、略四角柱状の台座
部22上支持棒23により取り付けられて構成され、台
座部22が本体部筐体1の平面板16上に設けられる溝
部21に載置される。
That is, the ionization electrode 3 of the interface mechanism of the mass spectrometer according to the second embodiment of the present invention is configured such that each pore electrode is attached by a support rod 23 on a pedestal portion 22 having a substantially quadrangular prism shape. The pedestal portion 22 is placed in the groove portion 21 provided on the flat plate 16 of the main body housing 1. In addition, the vaporizer 2 and the atomizer 6 are also attached by a support rod 23 on a pedestal portion 22 having a substantially quadrangular prism shape, and the pedestal portion 22 is provided in a groove 21 provided on the flat plate 16 of the main body housing 1. Is placed.

【0051】そして、イオン化電極3を構成する各細孔
電極、気化器2、霧化器6は、図9に示すように、本体
部筐体1の平面板16に設けた溝部21内をスライド可
能に、また、上方に取外し可能にされると共に、各細孔
電極、気化器2、霧化器6が溝部21内に載置されるこ
とにより、それぞれの部材の中心に設けられる細孔の位
置合わせが可能にされている。また、使用状態におい
て、イオン化電極3を構成する各細孔電極は、固定ネジ
4により真空引き抜きダクト5の面に固定される。さら
に、気化器2、霧化器6も、図示しない固定ネジにより
イオン化電極3に取り付けられればよい。また、気化器
2、霧化器6は、溝部21内に霧化器6の台座部22と
溝部21のエッジとの間に締め具等を設置して、イオン
化電極3の側に押し付けるように固定してもよい。
Then, each of the pore electrodes, the vaporizer 2 and the atomizer 6 constituting the ionization electrode 3 slide in a groove 21 provided in the flat plate 16 of the main body housing 1 as shown in FIG. It can be detached upward, and each pore electrode, vaporizer 2 and atomizer 6 are placed in the groove 21 so that the pores provided in the center of each member can be removed. Alignment is enabled. In use, each pore electrode constituting the ionization electrode 3 is fixed to the surface of the vacuum extraction duct 5 by a fixing screw 4. Further, the vaporizer 2 and the atomizer 6 may also be attached to the ionization electrode 3 by fixing screws (not shown). Further, the vaporizer 2 and the atomizer 6 are arranged such that a fastener or the like is installed between the pedestal portion 22 of the atomizer 6 and the edge of the groove 21 in the groove 21 and pressed against the ionization electrode 3. It may be fixed.

【0052】なお、第3の実施形態の場合と同様に、イ
オン化電極3を構成する各細孔電極には、ケーブル8、
コネクタ9を介して本体部筐体1内部の電源から所定の
電圧が印加され、気化器2、霧化器6は、ケーブル8、
コネクタ9を介して本体部筐体1内部の電源からこれら
を所定の温度に加熱するための電力が供給される。ま
た、また、マイクロスイッチ19もたの実施形態の場合
と同様に機能している。また、図8、図9に示す例で
は、イオン化電極3を構成する各細孔電極の真空引き抜
きダクト5側に設けられる細孔電極が、真空引き抜きダ
クト5に直接取り付けられているが、この細孔電極も、
他の細孔電極と同様に支持棒により台座部に取り付ける
ようにして、取り外し可能としてもよい。
As in the case of the third embodiment, cables 8 and
A predetermined voltage is applied from a power supply inside the main body housing 1 through the connector 9, and the vaporizer 2 and the atomizer 6
Power for heating these to a predetermined temperature is supplied from a power supply inside the main body housing 1 via the connector 9. Also, the microswitch 19 functions in the same manner as in the other embodiments. In the examples shown in FIGS. 8 and 9, the pore electrodes provided on the vacuum extraction duct 5 side of each of the pore electrodes constituting the ionization electrode 3 are directly attached to the vacuum extraction duct 5. The hole electrode,
It may be detachable by attaching it to the pedestal part by a support rod like other pore electrodes.

【0053】前述した本発明の第4の実施形態によって
も、第3の実施形態の場合と同様な効果を得ることがで
きる。
According to the above-described fourth embodiment of the present invention, the same effect as that of the third embodiment can be obtained.

【0054】図10は前述で説明したインタフェース機
構と本体部筐体1の内部機器とを接続するコネクタの構
成を説明する図である。図10において、91はロック
爪、92はコネクタピン、93はジャンパ線、94、9
5はヒータ、96はセンサである。
FIG. 10 is a view for explaining the configuration of a connector for connecting the interface mechanism described above and the internal device of the main body housing 1. 10, reference numeral 91 denotes a lock claw, 92 denotes a connector pin, 93 denotes a jumper wire, and 94 and 9.
5 is a heater and 96 is a sensor.

【0055】前述したようにインタフェース機構8の分
解、組立て等の保守時には、インタフェース機構が本体
部筐体1から取り外されるが、このとき、インタフェー
ス機構内に備えられるヒータ、センサ、及び、これらに
接続されるケーブルは、コネクタ9を本体部筐体1に設
けられる受側から外される。すなわち、インタフェース
機構とケーブル8及びコネクタ9とは1対1に対応させ
られている。図10(a)に示すように、コネクタ9に
は、2本のヒータ94、95が撚り線を介して接続さ
れ、また、熱伝対、サーミスタ等による温度センサ96
が接続されている。なお、図10には示されていない
が、イオン化電極に対する高電圧印加用の配線が接続さ
れていてもよい。
As described above, at the time of maintenance such as disassembly and assembly of the interface mechanism 8, the interface mechanism is detached from the main body housing 1. At this time, the heater, the sensor provided in the interface mechanism, and the connection to them are provided. The connected cable is detached from the receiving side provided with the connector 9 in the main body housing 1. That is, the interface mechanism is associated with the cable 8 and the connector 9 on a one-to-one basis. As shown in FIG. 10A, two heaters 94 and 95 are connected to the connector 9 via stranded wires, and a temperature sensor 96 such as a thermocouple, a thermistor, or the like.
Is connected. Although not shown in FIG. 10, a wiring for applying a high voltage to the ionization electrode may be connected.

【0056】コネクタ9は、図10(b)に示すよう
に、複数、図示例では15本のコネクタピン92を、3
×5のマトリクス状配置して備えており、2本のヒータ
94、95及び温度センサ96、図示しない高電圧配線
のそれぞれに1対のコネクタピン92が割り当てられ
る。そして、残りのコネクタピン92の1対がジャンパ
せんにより短絡されている。また、コネクタ9は、図1
0(c)に示すコネクタ9の側面図から判るように、ロ
ック爪91が設けられ、本体部筐体1に設けられている
受側に接続されたとき外れないように構成されている。
As shown in FIG. 10B, a plurality of, in the illustrated example, fifteen connector pins 92
A pair of connector pins 92 are assigned to each of the two heaters 94 and 95, the temperature sensor 96, and the high-voltage wiring (not shown). A pair of the remaining connector pins 92 is short-circuited by a jumper. Also, the connector 9 is shown in FIG.
As can be seen from the side view of the connector 9 shown in FIG. 0 (c), a lock claw 91 is provided so that it does not come off when connected to the receiving side provided in the main body housing 1.

【0057】さて、前述したように、質量分析装置のイ
ンタフェース機構には、種々の方式のものがあり、それ
らのインタフェース機構は、同一の本体部筐体1に付け
変えて、本体部筐体1の内部に構成される質量分析装置
の主要な構成部分を共通に使用することができる。そし
て、インタフェース機構に接続されるケーブル8及びコ
ネクタ9は、前述したようにインタフェース機構と対応
付けられているが、コネクタ9の形状は各種の方式イン
タフェース機構と共通化されており、ヒータ94、9
5、温度センサ等が接続されるコネクタピンの位置も同
一とされている。
As described above, there are various types of interface mechanisms of the mass spectrometer, and these interface mechanisms are replaced with the same main body casing 1 and are replaced with the same main body casing 1. The main constituent parts of the mass spectrometer configured inside can be commonly used. The cable 8 and the connector 9 connected to the interface mechanism are associated with the interface mechanism as described above. However, the shape of the connector 9 is common to various system interface mechanisms, and the heaters 94 and 9 are used.
5. The positions of the connector pins to which the temperature sensors and the like are connected are also the same.

【0058】一方、ジャンパ線93により短絡されるコ
ネクタピン92の位置は、インタフェース機構の方式毎
に異なる位置とされている。これにより、本体部筐体1
の内部に構成される質量分析装置の主要な構成部分は、
取り付けられているインタフェース機構の方式を知るこ
とができ、それに対応したヒータへの電力の供給、内部
機器の制御、パソコン32のディスプレイ33への表示
制御を行うことができる。
On the other hand, the position of the connector pin 92 short-circuited by the jumper wire 93 is different depending on the type of the interface mechanism. Thereby, the main body casing 1
The main components of the mass spectrometer configured inside the
The user can know the type of the installed interface mechanism, and can supply power to the heater, control internal devices, and control display on the display 33 of the personal computer 32 in accordance with the method of the installed interface mechanism.

【0059】図11〜図13はインタフェース機構が取
り付けられたとき、前述したジャンパ線の作用によりイ
ンタフェース機構の種別を判定し、ディスプレイ33に
そのインタフェース機構の動作状態が表示された例を示
す図である。
FIGS. 11 to 13 show examples in which, when the interface mechanism is attached, the type of the interface mechanism is determined by the action of the jumper described above, and the operation state of the interface mechanism is displayed on the display 33. is there.

【0060】いま、本体部筐体1にインタフェース機構
として、ESIインタフェース機構が取り付けられたも
のとする。すると、前述したジャンパ線92が短絡して
いるコネクタピン92の位置により、取り付けられたイ
ンタフェース機構がESIインタフェース機構であるこ
とが識別され、図11に示すように、ESIインタフェ
ース機構を持つ質量分析装置の概略構成が表示されると
共に、各部の電圧値が表示され、また、各部の温度が表
示される。温度の表示は、1つの部材に対して、設定温
度と、実際に動作している状態での部材の測定温度とが
表示される。
Now, it is assumed that an ESI interface mechanism is attached to the main body casing 1 as an interface mechanism. Then, based on the position of the connector pin 92 where the jumper wire 92 is short-circuited, the attached interface mechanism is identified as the ESI interface mechanism, and as shown in FIG. 11, the mass spectrometer having the ESI interface mechanism Is displayed, the voltage value of each unit is displayed, and the temperature of each unit is displayed. In the display of the temperature, a set temperature and a measured temperature of the member in an actual operating state are displayed for one member.

【0061】取り付けられたインタフェース機構が、A
PCIインタフェース機構であれば、図11の場合と同
様に、図12に示すような表示が行われる。また、実施
形態として説明していないが、SSIインタフェース機
構が取り付けられた場合には、図13に示すような表示
が行われる。
If the installed interface mechanism is A
In the case of the PCI interface mechanism, the display as shown in FIG. 12 is performed as in the case of FIG. Although not described as an embodiment, when an SSI interface mechanism is attached, a display as shown in FIG. 13 is performed.

【0062】前述において、1つの部材に対して表示さ
れる設定温度と測定温度とが一致した場合、例えば、何
れか一方の表示を点滅させる、色彩を変える、白黒を反
転させる、あるいは、色彩を変え白黒を反転させて点滅
させる等により識別し易い表示とすることができ、これ
により、装置の使用の開始等を促すことができる。ま
た、設定温度と測定温度とが掛け離れている場合に、例
えば、両方の表示を同時に前述したような表示に変化さ
せて、装置が使用可能な状態になっていないことを示す
こともできる。
In the above description, when the set temperature displayed for one member matches the measured temperature, for example, one of the displays is blinked, the color is changed, the black and white is reversed, or the color is changed. The display can be easily identified by, for example, inverting the change in black and white and blinking, thereby prompting the start of use of the apparatus. If the set temperature and the measured temperature are far apart from each other, for example, both displays can be simultaneously changed to the above-mentioned displays to indicate that the device is not in a usable state.

【0063】図14は本発明による質量分析装置におけ
る真空ポンプの使用例を説明する図、図15は2つの真
空ポンプの本体部筐体1の内部での配置を説明する図で
ある。図14、図15において、24、25は真空室、
26はターボ分子真空ポンプ、27はスクロール真空ポ
ンプ、28は操作部、29はインジケータである。
FIG. 14 is a view for explaining an example of use of a vacuum pump in the mass spectrometer according to the present invention, and FIG. 15 is a view for explaining the arrangement of two vacuum pumps in the main body housing 1. 14 and 15, 24 and 25 are vacuum chambers,
26 is a turbo molecular vacuum pump, 27 is a scroll vacuum pump, 28 is an operation unit, and 29 is an indicator.

【0064】図14は、本体部筐体1内に収納される質
量分析部を配置する真空室25とイオン化電極3内に形
成される真空室24とを簡略に描いたものである。そし
て、本発明において、図14に示すように、質量分析部
を構成する真空室25は、ターボ分子真空ポンプ26に
よりその内部が真空に引かれており、また、イオン化電
極3内に形成される真空室24は、スクロール真空ポン
プ27によりその内部が真空に引かれている。さらに、
スクロール真空ポンプ27は、ターボ分子真空ポンプ2
6の排圧の排気を行うことが可能にターボ分子真空ポン
プ26の排気側にも連結されている。
FIG. 14 schematically illustrates a vacuum chamber 25 in which a mass spectrometric unit accommodated in the main body housing 1 is arranged and a vacuum chamber 24 formed in the ionization electrode 3. In the present invention, as shown in FIG. 14, the inside of the vacuum chamber 25 constituting the mass spectrometer is evacuated by a turbo molecular vacuum pump 26 and is formed in the ionization electrode 3. The inside of the vacuum chamber 24 is evacuated by a scroll vacuum pump 27. further,
The scroll vacuum pump 27 is a turbo molecular vacuum pump 2
6 is also connected to the exhaust side of the turbo molecular vacuum pump 26 so as to be able to exhaust the exhaust pressure.

【0065】一般に、ターボ分子真空ポンプの排圧の排
気のために、もう1つの真空ポンプが必要であり、質量
分析装置は、従来、3つの真空ポンプを必要としていた
が、本発明では、前述したように、イオン化電極3内に
形成される真空室24に対して設けられるスクロール真
空ポンプ27をターボ分子真空ポンプの排圧の排気のた
めにも使用するように構成したことにより、質量分析装
置に必要な真空ポンプを2台とすることができ、装置全
体の部品点数の減少によるコストの低減、装置の小型
化、軽量化を図ることができる。
In general, another vacuum pump is required for exhausting the exhaust pressure of the turbo-molecular vacuum pump, and the mass spectrometer conventionally required three vacuum pumps. As described above, since the scroll vacuum pump 27 provided for the vacuum chamber 24 formed in the ionization electrode 3 is also used for exhausting the exhaust pressure of the turbo molecular vacuum pump, the mass spectrometer can be used. The number of vacuum pumps required for the apparatus can be reduced to two, so that the cost can be reduced by reducing the number of parts of the entire apparatus, and the apparatus can be reduced in size and weight.

【0066】前述した2台の真空ポンプ26、27は、
図15に示すように、本体部筐体1の内部に収納されて
いる。すなわち、ターボ分子真空ポンプ26は、本体部
筐体1の正面の手前側に、かつ、図示の例では右側の筐
体底面に配置される。そして、作動油量のインジケータ
29の本体部筐体1の前面位置に、図1により説明した
透明窓18が設けられ、また、ターボ分子真空ポンプ2
6の図示しない給油口が、本体部筐体1の側面に設けた
扉10の位置となるようにされている。このターボ分子
真空ポンプ26は、取り外し可能に、本体部筐体1に取
り付けられている。また、スクロールポンプ27は、本
体部筐体1の正面の手前側のほぼ中央に、イオン化電極
3内に形成される真空室に直接結合するように、本体部
筐体1の天井部に取り付けられている。
The two vacuum pumps 26 and 27 described above are:
As shown in FIG. 15, it is housed inside the main body housing 1. That is, the turbo-molecular vacuum pump 26 is disposed on the front side of the front of the main body housing 1 and, in the illustrated example, on the bottom surface of the right housing. The transparent window 18 described with reference to FIG. 1 is provided at the front position of the main body housing 1 of the indicator 29 of the hydraulic oil amount.
An oil supply port 6 (not shown) is located at a position of a door 10 provided on a side surface of the main body housing 1. The turbo molecular vacuum pump 26 is detachably attached to the main body housing 1. The scroll pump 27 is attached to the ceiling of the main body 1 so as to be directly coupled to a vacuum chamber formed in the ionization electrode 3 at substantially the center on the front side of the front of the main body 1. ing.

【0067】なお、前述では、2台の真空ポンプをター
ボ分子真空ポンプ、スクロール真空ポンプであるとして
説明したが、真空ポンプとしてどのような形式の真空ポ
ンプを使用してもよい。また、図15に示す操作部28
は、電源スイッチ等が配置されたものであり、図1によ
り説明したように、本体部筐体1の前面側に設けられた
扉10’を開けることにより操作が可能とされている。
In the above description, the two vacuum pumps are described as a turbo molecular vacuum pump and a scroll vacuum pump, but any type of vacuum pump may be used as the vacuum pump. The operation unit 28 shown in FIG.
Is provided with a power switch and the like, and can be operated by opening a door 10 ′ provided on the front side of the main body housing 1 as described with reference to FIG. 1.

【0068】前述したように、本発明では、2台の真空
ポンプを本体部筐体1の内部に収納しているので、装置
から発生する騒音を低減することができる。また、大型
となるターボ分子真空ポンプ26を取り外し可能に構成
しているので、装置を納品する際に、ターボ分子真空ポ
ンプ26を取り外すだけで、容易に搬送することがで
き、また、現地での組み立ても容易に行うことが可能と
なる。
As described above, in the present invention, since two vacuum pumps are housed inside the main body casing 1, noise generated from the apparatus can be reduced. In addition, since the turbo molecular vacuum pump 26, which is large in size, is configured to be removable, when the device is delivered, it can be easily transported simply by removing the turbo molecular vacuum pump 26. Assembly can also be performed easily.

【0069】[0069]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、イ
ンタフェース機構に対する加熱電源供給用等のケーブル
と筐体内部を接続するコネクタのコネクタピンを短絡す
るジャンパ線を設け、インタフェース機構の種類に応じ
て、ジャンパ線により短絡されるコネクタピンの位置を
異ならせているので、これにより、取り付けられている
インタフェース機構の方式を知ることができ、それに対
応したヒータへの電力の供給、内部機器の制御、パソコ
ン32のディスプレイ33への表示制御を行うことがで
きる。
As described above, according to the present invention, a jumper wire for short-circuiting a connector pin of a connector for connecting a cable for supplying heating power to the interface mechanism and the inside of the housing is provided. Accordingly, the positions of the connector pins that are short-circuited by the jumper wires are different, so that it is possible to know the type of the installed interface mechanism, to supply power to the corresponding heater, and to control the internal equipment. Control and display control of the personal computer 32 on the display 33 can be performed.

【0070】また、本発明によれば、イオン化電極内に
形成される真空室に対して設けられるスクロール真空ポ
ンプを質量分析部が配置される真空室に対して設けられ
ているターボ分子真空ポンプの排圧の排気のためにも使
用するように構成したことにより、質量分析装置に必要
な真空ポンプを2台とすることができ、装置全体の部品
点数の減少によるコストの低減、装置の小型化、軽量化
を図ることができる。
Further, according to the present invention, the scroll vacuum pump provided for the vacuum chamber formed in the ionization electrode is replaced with the turbo molecular vacuum pump provided for the vacuum chamber in which the mass spectrometer is provided. Since it is configured to be used also for exhausting exhaust pressure, the number of vacuum pumps required for the mass spectrometer can be reduced to two, thereby reducing the number of parts of the entire apparatus, thereby reducing costs and miniaturizing the apparatus. Thus, the weight can be reduced.

【0071】さらに、本発明によれば、2台の真空ポン
プを本体部筐体の内部に収納しているので、装置から発
生する騒音を低減することができ、また、大型となるタ
ーボ分子真空ポンプを取り外し可能に構成しているの
で、装置を納品する際に、ターボ分子真空ポンプを取り
外すだけで、容易に搬送することができ、また、現地で
の組み立ても容易に行うことが可能となる。
Further, according to the present invention, since two vacuum pumps are housed inside the main body casing, noise generated from the apparatus can be reduced, and a large turbo molecular vacuum can be obtained. Since the pump is configured to be removable, when delivering the device, it can be easily transported simply by removing the turbo molecular vacuum pump, and it is also possible to easily perform on-site assembly .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による質量分析装置の全体の構成を示す
斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of a mass spectrometer according to the present invention.

【図2】本発明の第1の実施形態による質量分析装置の
インタフェース機構の構成を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of an interface mechanism of the mass spectrometer according to the first embodiment of the present invention.

【図3】図2のインタフェース機構を分解して示す図で
ある。
FIG. 3 is an exploded view showing the interface mechanism of FIG. 2;

【図4】本発明の第2の実施形態による質量分析装置の
インタフェース機構の構成を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view illustrating a configuration of an interface mechanism of a mass spectrometer according to a second embodiment of the present invention.

【図5】図4のインタフェース機構を分解して示す図で
ある。
FIG. 5 is an exploded view showing the interface mechanism of FIG. 4;

【図6】本発明の第3の実施形態による質量分析装置の
インタフェース機構の構成を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a configuration of an interface mechanism of a mass spectrometer according to a third embodiment of the present invention.

【図7】図6のインタフェース機構を分解して示す図で
ある。
FIG. 7 is an exploded view showing the interface mechanism of FIG. 6;

【図8】本発明の第4の実施形態による質量分析装置の
インタフェース機構の構成を示す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view illustrating a configuration of an interface mechanism of a mass spectrometer according to a fourth embodiment of the present invention.

【図9】図8のインタフェース機構を分解して示す図で
ある。
FIG. 9 is an exploded view showing the interface mechanism of FIG. 8;

【図10】インタフェース機構と本体部筐体の内部機器
とを接続するコネクタの構成を説明する図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration of a connector that connects an interface mechanism and an internal device of a main body housing.

【図11】インタフェース機構が取り付けられたとき、
ディスプレイにそのインタフェース機構の動作状態が表
示された例を示す図である。
FIG. 11 shows the state when the interface mechanism is attached.
FIG. 9 is a diagram illustrating an example in which an operation state of the interface mechanism is displayed on a display.

【図12】インタフェース機構が取り付けられたとき、
ディスプレイにそのインタフェース機構の動作状態が表
示された例を示す図である。
FIG. 12 shows the state when the interface mechanism is attached.
FIG. 9 is a diagram illustrating an example in which an operation state of the interface mechanism is displayed on a display.

【図13】インタフェース機構が取り付けられたとき、
ディスプレイにそのインタフェース機構の動作状態が表
示された例を示す図である。
FIG. 13 shows the state when the interface mechanism is attached.
FIG. 9 is a diagram illustrating an example in which an operation state of the interface mechanism is displayed on a display.

【図14】本発明による質量分析装置における真空ポン
プの使用例を説明する図である。
FIG. 14 is a diagram illustrating an example of use of a vacuum pump in the mass spectrometer according to the present invention.

【図15】2つの真空ポンプの本体部筐体の内部での配
置を説明する図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating an arrangement of two vacuum pumps inside a main body housing.

【図16】従来技術による質量分析装置のESIインタ
フェース機構の構成を示す斜視図である。
FIG. 16 is a perspective view showing a configuration of an ESI interface mechanism of a conventional mass spectrometer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 本体部筐体 2 気化器 3 イオン化電極 4、4’ 固定ネジ 5 真空引き抜きダクト 6 霧化器 7 チューブ 8 ケーブル 9 コネクタ 10、10’ 扉 11 台部 12 ストッパ 13ストッパ・レバー 14 溝部 15 表示器 16 平面板 17 天板 17’ 天板の窪み部 18 透明窓 19 マイクロスイッチ 20 前蓋 20’ カバー 21 溝部 22 台座部 23 支持棒 24、25 真空室 26 ターボ分子真空ポンプ 27 スクロール真空ポンプ 28 操作部 29 インジケータ 31 液体クロマトグラフ 32 パソコン(PC) 33 ディスプレイ 34 キーボード 35 マウス 36 机 91 ロック爪 92 コネクタピン 93 ジャンパ線 94、95 ヒータ 96 センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Body housing 2 Vaporizer 3 Ionization electrode 4, 4 'Fixing screw 5 Vacuum extraction duct 6 Atomizer 7 Tube 8 Cable 9 Connector 10, 10' Door 11 Base 12 Stopper 13 Stopper lever 14 Groove 15 Indicator Reference Signs List 16 plane plate 17 top plate 17 'recess of top plate 18 transparent window 19 micro switch 20 front lid 20' cover 21 groove 22 pedestal portion 23 support rod 24, 25 vacuum chamber 26 turbo molecular vacuum pump 27 scroll vacuum pump 28 operation unit 29 Indicator 31 Liquid Chromatograph 32 Personal Computer (PC) 33 Display 34 Keyboard 35 Mouse 36 Desk 91 Lock Claw 92 Connector Pin 93 Jumper Wire 94,95 Heater 96 Sensor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三村 忠男 茨城県ひたちなか市市毛882番地 株式会 社日立製作所計測器事業部内 Fターム(参考) 5C038 GH11 GH15  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Tadao Mimura 882 Ma, Hitachinaka-shi, Ibaraki F-term in the measuring instrument division of Hitachi, Ltd. 5C038 GH11 GH15

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 分析すべき試料を気化させる気化器、及
び、中心部に細孔を有するイオン化電極とにより構成さ
れるインタフェース機構と、前記インタフェース機構か
らのイオン化された試料粒子の質量分析を行う質量分析
部とにより構成される質量分析装置において、前記イン
タフェース機構は、本体部筐体に結合され、インタフェ
ース機構に対する電圧の印加、加熱のための電源を供給
するケーブルがコネクタを介して本体部筐体内部に引き
込まれ、前記コネクタは、そのコネクタピンの2本がジ
ャンパ線により短絡されており、短絡されるコネクタピ
ンの位置により、パソコンにより構成され、判別したイ
ンタフェース機構の種別と、機器構成の概略とをディス
プレイ上に表示する制御装置にインタフェース機構の種
別を判別させることを特徴とする質量分析装置。
1. An interface mechanism comprising a vaporizer for vaporizing a sample to be analyzed, an ionization electrode having a pore in the center, and mass analysis of ionized sample particles from the interface mechanism. In the mass spectrometer configured by the mass spectrometry unit, the interface mechanism is coupled to the main body housing, and a cable for supplying power for applying voltage to the interface mechanism and for heating is connected via a connector to the main body housing. When the connector is retracted into the body, two of the connector pins are short-circuited by jumper wires, and the position of the short-circuited connector pin is configured by a personal computer, and the type of the determined interface mechanism and the device configuration are determined. A controller for displaying a summary on a display, and determining a type of an interface mechanism. A mass spectrometer characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 前記ディスプレイ上に表示されるインタ
フェース機構の機器構成の各部には、印加されている電
圧と、計測された温度及び設定温度の少なくとも計測さ
れた温度とが対応して表示されることを特徴とする請求
項1記載の質量分析装置。
2. Applied voltage and at least the measured temperature of the measured temperature and the set temperature are displayed in correspondence with the respective components of the device configuration of the interface mechanism displayed on the display. The mass spectrometer according to claim 1, wherein:
【請求項3】 分析すべき試料を気化させる気化器、及
び、中心部に細孔を有するイオン化電極とにより構成さ
れるインタフェース機構と、前記インタフェース機構か
らのイオン化された試料粒子の質量分析を行う質量分析
部とにより構成される質量分析装置において、質量分析
部が収納される真空室を真空に引く第1の真空ポンプ
と、該第1の真空ポンプからの排気及び前記イオン化電
極により構成される真空室からの排気を行う第2の真空
ポンプとを備えることを特徴とする請求項2記載の質量
分析装置。
3. An interface mechanism comprising a vaporizer for vaporizing a sample to be analyzed, an ionization electrode having a pore in the center, and mass analysis of ionized sample particles from the interface mechanism. In a mass spectrometer configured with a mass spectrometer, a first vacuum pump that evacuates a vacuum chamber in which the mass spectrometer is housed, and an exhaust from the first vacuum pump and the ionization electrode 3. The mass spectrometer according to claim 2, further comprising a second vacuum pump that exhausts air from the vacuum chamber.
【請求項4】 前記第1の真空ポンプは、本体部筐体の
内部に、その正面の手前側で、かつ、側面側に配置され
ることを特徴とする請求項3記載の質量分析装置。
4. The mass spectrometer according to claim 3, wherein the first vacuum pump is disposed inside the main body housing, on the near side of the front and on the side.
【請求項5】 前記第1の真空ポンプは、取り外し可能
に本体部筐体の内部に配置されることを特徴とする請求
項3または4記載の質量分析装置。
5. The mass spectrometer according to claim 3, wherein the first vacuum pump is detachably disposed inside the main body housing.
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