JP2002131588A - High output pulse laser irradiator - Google Patents

High output pulse laser irradiator

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JP2002131588A
JP2002131588A JP2000324168A JP2000324168A JP2002131588A JP 2002131588 A JP2002131588 A JP 2002131588A JP 2000324168 A JP2000324168 A JP 2000324168A JP 2000324168 A JP2000324168 A JP 2000324168A JP 2002131588 A JP2002131588 A JP 2002131588A
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JP
Japan
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pulse laser
optical fiber
laser
power pulse
fiber
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JP2000324168A
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Japanese (ja)
Inventor
Yukio Iwasaki
行雄 岩崎
Shozaburo Toyoda
正三郎 豊田
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Res & Dev Bureau Ministry Of E
Research & Development Bureau Ministry Of Education Culture Sports Sicence & Technology
Original Assignee
Res & Dev Bureau Ministry Of E
Research & Development Bureau Ministry Of Education Culture Sports Sicence & Technology
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high output pulse laser irradiator which easily and surely transmits high output pulse laser beams to an arbitray position and in which the handling is superior. SOLUTION: The irradiator irradiates high output pulse laser light beams to an object to be irradiated. The irradiator is provided with a high output pulse laser oscillator 1, a laser adjusting device 3 which adjusts high output pulse laser light beams 2 from the oscillator 1, a handle type fiber 8 in which the beams 2 from the device 3 are made incident on an incident end 8a and is transmitted to a laser irradiating head 5 connected to an emitting end 8b located at the other end of the fiber 8 and a fiber cooling device 24 which at least cools the end 8a of the fiber 8.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は高出力パルスレーザ
照射装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-power pulsed laser irradiation apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、レーザ発振器から出射されるレー
ザ光などの伝送手段には、光ファイバが用いられてい
る。光ファイバは一般に、一様な屈折率をもつ石英など
のコアの外周に、低屈折率のクラッドを皮膜した構成を
有しており、レーザ発振器からのレーザ光は光ファイバ
の入射端からコアに入射され、全反射を繰り返しながら
コア内を伝搬されて出射端から出射される。
2. Description of the Related Art Conventionally, an optical fiber has been used as a means for transmitting laser light or the like emitted from a laser oscillator. Generally, an optical fiber has a configuration in which a low-refractive-index cladding is coated on the outer periphery of a core made of quartz or the like having a uniform refractive index, and laser light from a laser oscillator is applied from the incident end of the optical fiber to the core. The light is incident, propagates inside the core while repeating total reflection, and is emitted from the emission end.

【0003】一方近年、原子力設備において、人が近付
けないような高放射性雰囲気の容器や機器の除染などを
行うために、高出力パルスレーザを用いることが検討さ
れている。
On the other hand, in recent years, use of a high-power pulse laser has been studied in nuclear facilities in order to decontaminate containers and equipment in a highly radioactive atmosphere that is inaccessible to humans.

【0004】このような高出力パルスレーザを用いた照
射装置としては、図3に示すように、高出力パルスレー
ザ発振器1と、該高出力パルスレーザ発振器1からの高
出力パルスレーザ2の口径や入射角などを調整する各種
レンズなどからなるレーザ調整装置3とを備えており、
更に該レーザ調整装置3からの高出力パルスレーザ2
を、調整ミラー4により反射させてレーザ照射ヘッド5
に送り、レーザ照射ヘッド5から照射対象6向けて出射
するようにしている。
As an irradiation apparatus using such a high-output pulse laser, as shown in FIG. 3, a high-output pulse laser oscillator 1 and a caliber of a high-output pulse laser 2 from the high-output pulse laser oscillator 1 are used. And a laser adjusting device 3 including various lenses for adjusting an incident angle and the like.
Further, the high-power pulse laser 2 from the laser adjusting device 3
Is reflected by the adjustment mirror 4 so that the laser irradiation head 5
To emit light from the laser irradiation head 5 toward the irradiation target 6.

【0005】上記した高出力パルスレーザ照射装置にお
いては、調整ミラー4の角度調整を行うと同時に、レー
ザ照射ヘッド5の移動を連動して行うことにより、高出
力パルスレーザ2を照射対象6の面に沿って移動させて
面の照射を行うことができる。
In the above-described high-power pulse laser irradiation device, the high-power pulse laser 2 is irradiated onto the surface of the irradiation target 6 by adjusting the angle of the adjustment mirror 4 and simultaneously moving the laser irradiation head 5. To irradiate the surface.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、図3に示した
高出力パルスレーザ照射装置では、照射対象6に対して
照射する高出力パルスレーザ2の移動調整を、調整ミラ
ー4の角度調整とレーザ照射ヘッド5の移動とを連動し
て行う必要があるために、照射のための移動調整が繁雑
で微調整が難しいという問題がある。また、調整ミラー
4の角度を変えて所定範囲の照射を行うために、照射対
象6に対する高出力パルスレーザ2の照射角度が変化し
てしまうと共に、レーザ照射ヘッド5と照射対象6との
間の距離が変化する問題があり、このために均一な照射
が難しい。また、例えば曲面形状を有する照射対象6を
均一に照射することは、非常に難しいという問題があ
る。
However, in the high-power pulse laser irradiation apparatus shown in FIG. 3, the movement adjustment of the high-power pulse laser 2 for irradiating the irradiation target 6 is performed by adjusting the angle of the adjustment mirror 4 and the laser. Since the movement of the irradiation head 5 needs to be performed in conjunction with the movement, there is a problem that the movement adjustment for the irradiation is complicated and the fine adjustment is difficult. In addition, since the irradiation of the predetermined range is performed by changing the angle of the adjustment mirror 4, the irradiation angle of the high-power pulse laser 2 to the irradiation target 6 changes, and the distance between the laser irradiation head 5 and the irradiation target 6 changes. There is a problem in that the distance changes, which makes uniform irradiation difficult. Further, for example, there is a problem that it is extremely difficult to uniformly irradiate the irradiation target 6 having a curved surface shape.

【0007】従って、原子力設備における高放射性雰囲
気で除染作業を行うような場合には、ロボットアームな
どを用いて遠隔で調整を行う必要があるために、こうし
た作業が非常に困難であるという問題がある。
Therefore, in the case of performing decontamination work in a highly radioactive atmosphere in nuclear facilities, it is necessary to perform remote adjustment using a robot arm or the like, which makes such work extremely difficult. There is.

【0008】一方、上記問題に対処するために、レーザ
調整装置に入射端を接続し、他端の出射端をレーザ照射
ヘッドに接続するようにした単線構造の光ファイバを用
いて、高出力パルスレーザをレーザ照射ヘッドに伝送す
ることが考えられる。このように、光ファイバを用いて
高出力パルスレーザを伝送することができれば、レーザ
照射ヘッドの自由な動きが可能になることによって、照
射作業の容易、高能率化を図ることができる。
On the other hand, in order to cope with the above problem, a high-power pulse is used by using an optical fiber having a single-line structure in which an incident end is connected to a laser adjusting device and the other end is connected to a laser irradiation head. It is conceivable to transmit the laser to a laser irradiation head. As described above, if a high-output pulse laser can be transmitted using an optical fiber, the laser irradiation head can freely move, thereby facilitating the irradiation operation and increasing the efficiency.

【0009】しかし、上記したような単線構造の光ファ
イバにて、前記高出力パルスレーザを伝送しようとした
場合には、光ファイバの入射端或いは光ファイバの曲り
部などにおいて、光ファイバが加熱されて200〜30
0℃前後の高温となり、この高温のために長時間使用す
ると石英からなる光ファイバが破壊されて断線したり、
また光ファイバの入射端における接着面が汚れる(黒色
に変色する)ことにより、レーザ伝送効率が大幅に低下
してしまうといった問題がある。
However, when transmitting the high-power pulse laser through the optical fiber having the single-line structure as described above, the optical fiber is heated at the incident end of the optical fiber or at the bent portion of the optical fiber. 200 to 30
The temperature will be around 0 ° C, and if used for a long time due to this high temperature, the optical fiber made of quartz will be broken and broken,
Further, there is a problem that the adhesive surface at the incident end of the optical fiber is stained (discolored to black), so that the laser transmission efficiency is greatly reduced.

【0010】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、高出力パルスレーザを任意の位置に容易且つ確実に
伝送することができ、よって、取り扱い性に優れ能率的
な照射作業が可能な高出力パルスレーザ照射装置を提供
することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and enables a high-output pulse laser to be easily and reliably transmitted to an arbitrary position. It is an object of the present invention to provide a high-power pulse laser irradiation device.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、高出力パルス
レーザを照射対象に照射するための高出力パルスレーザ
照射装置であって、高出力パルスレーザ発振器と、該高
出力パルスレーザ発振器からの高出力パルスレーザを調
整するレーザ調整装置と、該レーザ調整装置からの高出
力パルスレーザを入射端から入射して他端の出射端に接
続したレーザ照射ヘッドに伝送するバンドル型光ファイ
バと、該バンドル型光ファイバの少なくとも入射端を冷
却するファイバ冷却装置と、を備えたことを特徴とする
高出力パルスレーザ照射装置、に係るものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a high-power pulse laser irradiation apparatus for irradiating a high-power pulse laser to an object to be irradiated, comprising: a high-power pulse laser oscillator; A laser adjusting device that adjusts the high-power pulse laser; a bundled optical fiber that receives the high-power pulse laser from the laser adjusting device from an incident end and transmits the laser to a laser irradiation head connected to the other end of the laser; And a fiber cooling device for cooling at least the input end of the bundle type optical fiber.

【0012】上記手段において、ファイバ冷却装置は、
バンドル型光ファイバの外周に備えた冷却ジャケットで
あってもよい。
In the above means, the fiber cooling device comprises:
A cooling jacket provided on the outer periphery of the bundle type optical fiber may be used.

【0013】本発明によれば、高出力パルスレーザ発振
器から発せられてレーザ調整装置により調整された高出
力パルスレーザを、バンドル型光ファイバを介してレー
ザ照射ヘッドに伝送するようにしたので、バンドル型光
ファイバの各素線に入射される高出力パルスレーザの出
力を分散させて各素線あたりの負荷を小さくでき、これ
によって各素線が破壊されて断線するような問題が低減
できる。更に、バンドル型光ファイバの少なくとも入射
端を冷却するファイバ冷却装置を備えているので、バン
ドル型光ファイバが高温によって破壊されるような問題
が確実に防止できる。
According to the present invention, the high-power pulse laser emitted from the high-power pulse laser oscillator and adjusted by the laser adjusting device is transmitted to the laser irradiation head via the bundle type optical fiber. By dispersing the output of the high-power pulse laser incident on each strand of the optical fiber, the load per strand can be reduced, thereby reducing the problem that each strand is broken and disconnected. Furthermore, since a fiber cooling device for cooling at least the incident end of the bundle type optical fiber is provided, a problem that the bundle type optical fiber is broken by high temperature can be surely prevented.

【0014】従って、高出力パルスレーザを、バンドル
型光ファイバにより任意の位置に容易且つ確実に伝送す
ることができ、よって照射対象に対し任意の方向から照
射することができるので、取り扱い性が向上し能率的な
照射作業が可能となる。
Therefore, the high-power pulse laser can be easily and reliably transmitted to an arbitrary position by the bundle type optical fiber, and the irradiation target can be irradiated from an arbitrary direction. An efficient irradiation operation can be performed.

【0015】また、ファイバ冷却装置を、バンドル型光
ファイバの外周に備えた冷却ジャケットにて構成するこ
とにより、小型のファイバ冷却装置によりバンドル型光
ファイバを効果的に冷却できる。
Further, by configuring the fiber cooling device with a cooling jacket provided on the outer periphery of the bundle type optical fiber, the bundle type optical fiber can be effectively cooled by a small fiber cooling device.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0017】図1は本発明の高出力パルスレーザ照射装
置の実施の形態の一例を示すもので、この高出力パルス
レーザ照射装置では、高出力パルスレーザ発振器1から
の高出力パルスレーザ2が、レーザ調整装置3によって
高出力パルスレーザ2の口径や入射角などが調整された
後、入射装置7に導かれる。
FIG. 1 shows an embodiment of a high-output pulse laser irradiation apparatus according to the present invention. In this high-output pulse laser irradiation apparatus, a high-output pulse laser 2 from a high-output pulse laser oscillator 1 is used. After the aperture and incident angle of the high-power pulse laser 2 are adjusted by the laser adjusting device 3, the laser beam is guided to the incident device 7.

【0018】入射装置7には、前記レーザ調整装置3か
らの高出力パルスレーザ2を入射端8aから入射し、他
端の出射端8bに接続されたレーザ照射ヘッド5に伝送
するバンドル型光ファイバ8が接続されている。
A bundle-type optical fiber for inputting the high-power pulse laser 2 from the laser adjusting device 3 from the input end 8a to the input device 7 and transmitting the pulsed laser 2 to the laser irradiation head 5 connected to the output end 8b at the other end. 8 are connected.

【0019】バンドル型光ファイバ8は、図2に示すよ
うに、図示しないコアの外周をクラッドで被覆した例え
ば230μm前後の素線9を例えば320本前後束ね
て、その外周を被覆体10で被覆した構成を有してい
る。また、バンドル型光ファイバ8の入射端8aの外周
には、固定チューブ11が一体に固定されている。
As shown in FIG. 2, the bundle type optical fiber 8 is formed by bundling, for example, around 320 strands 9 of, for example, about 230 μm, each of which is formed by covering the outer periphery of a core (not shown) with a clad, and covering the outer periphery with a coating 10. It has the following configuration. A fixed tube 11 is integrally fixed to the outer periphery of the incident end 8a of the bundle type optical fiber 8.

【0020】前記バンドル型光ファイバ8は、固定チュ
ーブ11の部分を入射装置7の固定部材12に形成した
取付開口13に挿入し、固定ボルト14により固定して
いる。更に、入射装置7に備えた集光レンズ15にて所
要の入射角度に集光された高出力パルスレーザ2が、バ
ンドル型光ファイバ8の入射端8aの端面16に入射さ
れるようになっている。バンドル型光ファイバ8の入射
端8a及び出射端8bの夫々の端面16には、無反射コ
ーティングが施されている。
The bundle type optical fiber 8 has a fixed tube 11 inserted into a mounting opening 13 formed in a fixing member 12 of the incident device 7 and fixed with a fixing bolt 14. Further, the high-power pulse laser 2 condensed at a required incident angle by the condenser lens 15 provided in the incident device 7 is incident on the end face 16 of the incident end 8a of the bundle type optical fiber 8. I have. The end face 16 of each of the input end 8a and the output end 8b of the bundle type optical fiber 8 is provided with an anti-reflection coating.

【0021】更に、図2において、前記入射装置7の固
定部材12には、前記固定チューブ11の外周を取り囲
むように冷却ジャケット17が形成されており、該冷却
ジャケット17に、冷却流体供給口18から冷却水など
の液体或いは冷却空気などの気体からなる冷却流体を供
給して排出口19から排出させることにより、バンドル
型光ファイバ8の入射端8aを冷却するようにしたファ
イバ冷却装置20が構成されている。
Further, in FIG. 2, a cooling jacket 17 is formed on the fixing member 12 of the incident device 7 so as to surround the outer periphery of the fixed tube 11, and a cooling fluid supply port 18 is provided in the cooling jacket 17. A fiber cooling device 20 configured to cool the incident end 8a of the bundle-type optical fiber 8 by supplying a cooling fluid such as a liquid such as cooling water or a gas such as cooling air from the outlet and discharging the cooling fluid from the outlet 19 is provided. Have been.

【0022】上記図2においては、バンドル型光ファイ
バ8の入射端8a外周のみにファイバ冷却装置20を構
成する場合について例示したが、図1に二点鎖線で示す
ように、バンドル型光ファイバ8の全長に亘ってその外
側に冷却チューブ21を設け、該冷却チューブ21の一
端の冷却流体供給口22から冷却流体を供給して他端の
排出口23から排出させるようにして、バンドル型光フ
ァイバ8の全長を冷却するようにしたファイバ冷却装置
24を構成するようにしてもよい。
FIG. 2 shows an example in which the fiber cooling device 20 is formed only on the outer periphery of the incident end 8a of the bundle type optical fiber 8, but as shown by a two-dot chain line in FIG. A cooling tube 21 is provided over the entire length of the cooling tube 21, and a cooling fluid is supplied from a cooling fluid supply port 22 at one end of the cooling tube 21 and discharged from a discharge port 23 at the other end of the bundle type optical fiber. A fiber cooling device 24 configured to cool the entire length of the fiber 8 may be configured.

【0023】次に、上記形態例の作用を説明する。Next, the operation of the above embodiment will be described.

【0024】図1の高出力パルスレーザ発振器1から発
せられる高出力パルスレーザ2は、レーザ調整装置3に
より高出力パルスレーザ2の口径や入射角などが調整さ
れた後、入射装置7に導かれ、図2に示す集光レンズ1
5からバンドル型光ファイバ8の入射端8aの端面16
に入射される。
The high-power pulse laser 2 emitted from the high-power pulse laser oscillator 1 shown in FIG. 1 is guided to the injection device 7 after the laser adjusting device 3 adjusts the aperture and the incident angle of the high-power pulse laser 2. Condensing lens 1 shown in FIG.
5 to the end face 16 of the incident end 8a of the bundle type optical fiber 8
Is incident on.

【0025】この時、高出力パルスレーザ2は、バンド
ル型光ファイバ8の各素線9に分散して入射され、各素
線9に入射した高出力パルスレーザ2は、各素線9を伝
送されてレーザ照射ヘッド5から出射されて照射対象6
に照射される。
At this time, the high-power pulse laser 2 is dispersedly incident on each strand 9 of the bundle type optical fiber 8, and the high-output pulse laser 2 incident on each strand 9 transmits each strand 9. Is irradiated from the laser irradiation head 5 and irradiated.
Is irradiated.

【0026】この時、高出力パルスレーザ2を、バンド
ル型光ファイバ8を介してレーザ照射ヘッド5に伝送さ
せるようにしているので、バンドル型光ファイバ8の各
素線9に入射される高出力パルスレーザ2の出力が分散
されることにより各素線9あたりの負荷が小さくなり、
これによって各素線9が破壊されて断線するような問題
を低減することができる。
At this time, since the high-power pulse laser 2 is transmitted to the laser irradiation head 5 via the bundle-type optical fiber 8, the high-power pulse laser 2 incident on each strand 9 of the bundle-type optical fiber 8 is transmitted. By dispersing the output of the pulse laser 2, the load per each wire 9 is reduced,
This can reduce the problem that each element wire 9 is broken and disconnected.

【0027】更に、図2に示すように、バンドル型光フ
ァイバ8の入射端8aを冷却するファイバ冷却装置2
0、或いは、図1に示すようにバンドル型光ファイバ8
の全長を冷却するファイバ冷却装置24を備えることに
より、バンドル型光ファイバ8が高温によって破壊され
るような問題を確実に防止することができる。
Further, as shown in FIG. 2, a fiber cooling device 2 for cooling the input end 8a of the bundle type optical fiber 8 is provided.
0, or as shown in FIG.
By providing the fiber cooling device 24 for cooling the entire length of the optical fiber, it is possible to reliably prevent a problem that the bundle type optical fiber 8 is broken by high temperature.

【0028】またこの時、ファイバ冷却装置20,24
を、バンドル型光ファイバ8の外周に備えるようにした
冷却ジャケット17で構成することにより、小型のファ
イバ冷却装置20,24にてバンドル型光ファイバ8を
効果的に冷却することができる。
At this time, the fiber cooling devices 20 and 24
Is constituted by the cooling jacket 17 provided on the outer periphery of the bundle type optical fiber 8, the bundle type optical fiber 8 can be effectively cooled by the small fiber cooling devices 20 and 24.

【0029】上記したように、高出力パルスレーザ2を
バンドル型光ファイバ8により伝送可能としたことによ
り、任意の位置に容易且つ確実に高出力パルスレーザ2
を伝送することができ、よって、照射対象6に対して任
意の方向から照射することができるので、取り扱い性が
向上し能率的な照射が可能となる。
As described above, since the high-power pulse laser 2 can be transmitted through the bundle-type optical fiber 8, the high-power pulse laser 2 can be easily and reliably placed at an arbitrary position.
Can be transmitted, so that the irradiation target 6 can be irradiated from any direction, so that the handleability is improved and efficient irradiation is possible.

【0030】なお、本発明の高出力パルスレーザ照射装
置は、上述した実施の形態のみに限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更
を加え得ることは勿論である。
The high-output pulsed laser irradiation apparatus of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. .

【0031】[0031]

【発明の効果】以上述べたように、本発明の高出力パル
スレーザ照射装置によれば、高出力パルスレーザ発振器
から発せられてレーザ調整装置により調整された高出力
パルスレーザを、バンドル型光ファイバを介してレーザ
照射ヘッドに伝送するようにしたので、バンドル型光フ
ァイバの各素線に入射される高出力パルスレーザの出力
を分散させて各素線あたりの負荷を小さくでき、これに
よって各素線が破壊されて断線するような問題が低減で
きる効果がある。更に、バンドル型光ファイバの少なく
とも入射端を冷却するファイバ冷却装置を備えているの
で、バンドル型光ファイバが高温によって破壊されるよ
うな問題が確実に防止できる効果がある。
As described above, according to the high-power pulse laser irradiation apparatus of the present invention, the high-power pulse laser emitted from the high-power pulse laser oscillator and adjusted by the laser adjusting device is supplied to the bundle type optical fiber. The laser beam is transmitted to the laser irradiation head through the optical fiber, so that the output of the high-power pulse laser incident on each strand of the bundle-type optical fiber can be dispersed to reduce the load per strand, thereby reducing each element. This has the effect of reducing the problem that the wire is broken and disconnected. Further, since a fiber cooling device for cooling at least the incident end of the bundle type optical fiber is provided, there is an effect that the problem that the bundle type optical fiber is broken by high temperature can be surely prevented.

【0032】従って、高出力パルスレーザを、バンドル
型光ファイバにより任意の位置に容易且つ確実に伝送す
ることができ、よって照射対象に対し任意の方向から照
射することができるので、取り扱い性が向上し能率的な
照射作業が可能となる効果がある。
Therefore, the high-power pulse laser can be easily and reliably transmitted to an arbitrary position by the bundle type optical fiber, and the irradiation target can be irradiated from an arbitrary direction, so that the handling property is improved. This has the effect of enabling efficient irradiation work.

【0033】また、ファイバ冷却装置を、バンドル型光
ファイバの外周に備えた冷却ジャケットにて構成するこ
とにより、小型のファイバ冷却装置によりバンドル型光
ファイバを効果的に冷却できる効果がある。
In addition, since the fiber cooling device is constituted by a cooling jacket provided on the outer periphery of the bundle type optical fiber, there is an effect that the bundle type optical fiber can be effectively cooled by a small fiber cooling device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の高出力パルスレーザ照射装置の実施の
形態の一例を示す概念図である。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of an embodiment of a high-output pulsed laser irradiation apparatus according to the present invention.

【図2】図1におけるII部分の詳細断面図である。FIG. 2 is a detailed sectional view of a portion II in FIG.

【図3】従来の高出力パルスレーザ照射装置の一例を示
す概念図である。
FIG. 3 is a conceptual diagram showing an example of a conventional high-output pulsed laser irradiation device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 高出力パルスレーザ発振器 2 高出力パルスレーザ 3 レーザ調整装置 5 レーザ照射ヘッド 6 照射対象 8 バンドル型光ファイバ 8a 入射端 8b 出射端 17 冷却ジャケット 20 ファイバ冷却装置 24 ファイバ冷却装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 High output pulse laser oscillator 2 High output pulse laser 3 Laser adjustment device 5 Laser irradiation head 6 Irradiation object 8 Bundle type optical fiber 8a Incident end 8b Emitting end 17 Cooling jacket 20 Fiber cooling device 24 Fiber cooling device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H037 AA04 BA06 CA02 DA38 2H046 AA03 AA42 AD00 5F072 KK30 MM08 SS06 YY20  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H037 AA04 BA06 CA02 DA38 2H046 AA03 AA42 AD00 5F072 KK30 MM08 SS06 YY20

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 高出力パルスレーザを照射対象に照射す
るための高出力パルスレーザ照射装置であって、高出力
パルスレーザ発振器と、該高出力パルスレーザ発振器か
らの高出力パルスレーザを調整するレーザ調整装置と、
該レーザ調整装置からの高出力パルスレーザを入射端か
ら入射して他端の出射端に接続したレーザ照射ヘッドに
伝送するバンドル型光ファイバと、該バンドル型光ファ
イバの少なくとも入射端を冷却するファイバ冷却装置
と、を備えたことを特徴とする高出力パルスレーザ照射
装置。
1. A high-power pulse laser irradiation device for irradiating a high-power pulse laser to an irradiation target, comprising: a high-power pulse laser oscillator; and a laser for adjusting the high-power pulse laser from the high-power pulse laser oscillator. An adjusting device;
A bundle-type optical fiber that emits a high-power pulse laser from the laser adjusting device from an incident end and transmits it to a laser irradiation head connected to the other end of the optical fiber; and a fiber that cools at least the incident end of the bundle-type optical fiber A high-power pulsed laser irradiation device comprising: a cooling device.
【請求項2】 ファイバ冷却装置が、バンドル型光ファ
イバの外周に備えた冷却ジャケットであることを特徴と
する請求項1記載の高出力パルスレーザ照射装置。
2. The high-power pulsed laser irradiation apparatus according to claim 1, wherein the fiber cooling device is a cooling jacket provided on the outer periphery of the bundle type optical fiber.
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