JP2002130501A - ダイアフラム式背圧弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長期間に亘り安定した機能を保持することが
できるとともに、ダイアフラムが破損しても十分な安全
性を確保することのできるダイアフラム式背圧弁を提供
すること。 【解決手段】 ダイアフラム４が破損した際に、ダイア
フラム４の破損部から流出する流体を受けるチャンバ２
４を上蓋３に形成するとともに、このチャンバ２４に流
体を排出口２６を介して外部に導く排出路２７を形成
し、上蓋３に間隔をおいてスプリングケース３０を配設
し、このスプリングケース３０に装着されたバルブスプ
リング３３の付勢力をプランジャロッド７を介してバル
ブステム６に伝達可能に形成し、かつ、ダイアフラム４
が破損した場合を含む流体との接触部に位置する金属部
位をニッケル・クロム系の耐食合金により形成したこと
を特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイアフラム式背
圧弁に係り、特に、フッ酸と硝酸との混合物などの腐食
性を有する高圧流体を所定の圧力に制御して出力するの
に好適なダイアフラム式背圧弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ダイアフラムを用いて加圧さ
れた多種多様の流体を一定の圧力に制御して出力するこ
とのできるダイアフラム式背圧弁が知られている。

【０００３】このようなダイアフラム式背圧弁として
は、水、塗料などの腐食性を有する流体に用いる場合に
は、流体との接触部に用いる金属部位をステンレス鋼に
より形成したものが一般的に用いられている。また、化
学薬品などの高腐食性を有する流体の減圧に用いる場合
には、流体との接触部に用いる金属部位をハステロイ
（三菱マテリアル社製商品名）などのニッケル・クロム
・モリブデン系の耐食合金により形成し、ダイアフラム
をふっ素樹脂により形成したものが一般的に用いられて
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来の流体との接触部に用いる金属部位をステンレス
鋼により形成したダイアフラム式背圧弁においては、流
体をフッ酸と硝酸との混合物などの高腐食性流体とした
場合、短期間に腐食が進行し、使用することができない
という問題点があった。

【０００５】また、従来の流体との接触部に用いる金属
部位をニッケル・クロム・モリブデン系の耐食合金によ
り形成したダイアフラム式背圧弁においては、流体をニ
ッケル・クロム・モリブデン系の耐食合金をも腐食する
高圧のフッ酸と硝酸との混合物などの強酸性の高腐食性
流体とした場合、耐久性が不十分であり、しかも、一端
的な空気圧機器に用いられるダイアフラム式背圧弁は、
許容圧力が最大１ＭＰａ程度であり、１ＭＰａ以上の高
圧に耐える構成のものがないという問題点があった。

【０００６】さらに、ニッケル・クロム・モリブデン系
の耐食合金を用いたダイアフラム式背圧弁の構成とし
て、塗料などに用いる高圧液体減圧弁の構成を適用した
場合には、ダイアフラムが破損して流体が洩れた場合、
流体が飛散してしまい、十分な安全性を確保することが
できないという問題点があった。

【０００７】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、流体として高圧のフッ酸と硝酸との混合物など
の高腐食性流体を用いた場合においても、長期間に亘り
安定した機能を保持することができるとともに、ダイア
フラムが破損しても十分な安全性を確保することのでき
るダイアフラム式背圧弁を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため特許請求の範囲の請求項１に係る本発明のダイアフ
ラム式背圧弁の特徴は、ダイアフラムが破損した際に、
ダイアフラムの破損部から流出する流体を受けるチャン
バを上蓋のダイアフラム側に形成するとともに、このチ
ャンバのダイアフラムと対向する端面を除く部位にチャ
ンバの内部に位置する流体を排出口を介して外部に導く
排出路を形成し、上蓋のダイアフラム側と反対側の端面
に間隔をおいてスプリングケースを配設し、このスプリ
ングケースに装着されたバルブスプリングの付勢力をプ
ランジャロッドを介してバルブステムに伝達可能に形成
し、かつ、ダイアフラムが破損した場合を含む流体との
接触部に位置する金属部位をニッケル・クロム系の耐食
合金により形成した点にある。

【０００９】そして、このような構成を採用したことに
より、高圧の流体を所定の圧力に制御することが容易に
できる。さらに、ダイアフラムが破損した場合、ダイア
フラムの破損部から流出する流体をチャンバで受け止め
ることができるので、流体の飛散を防止することができ
る。また、チャンバで受けた流体は、排出路を介して排
出口に導くことができるので、排出口に配管を接続する
と、ダイアフラムの破損部から流出する流体を所定位置
に誘導することができる。さらに、ニッケル・クロム系
の耐食合金は、流体としてフッ酸と硝酸との混合物など
の高腐食性流体を用いた場合においても、良好な耐食性
を有している。したがって、流体として高圧のフッ酸と
硝酸との混合物などの高腐食性流体を用いた場合におい
ても、長期間に亘り安定した機能を保持することができ
るとともに、ダイアフラムが破損した際の安全性を十分
に確保することができる。

【００１０】また、請求項２に係る本発明のダイアフラ
ム式背圧弁の特徴は、請求項１において、ダイアフラム
がニッケル・クロム系の耐食合金あるいはふっ素樹脂に
より形成されている点にある。

【００１１】そして、このような構成を採用したことに
より、ダイアフラムをニッケル・クロム系の耐食合金に
より形成した場合には、使用に供する流体の圧力および
温度の適用範囲を広くすることができる。また、ダイア
フラムをふっ素樹脂により形成した場合には、多種多様
の腐食性流体に対する良好な耐食性を容易に得ることが
できる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施形
態により説明する。

【００１３】図１は本発明に係るダイアフラム式背圧弁
の実施形態の要部を示す縦断面図である。

【００１４】本実施形態のダイアフラム式背圧弁は、流
体として最大５ＭＰａ程度の高圧のフッ酸と硝酸との混
合物などの高腐食性流体に用いるものを例示している。

【００１５】図１に示すように、本実施形態のダイアフ
ラム式背圧弁１は、平面ほぼ円形状に形成された筐体２
と上蓋３との間に、ほぼ円環状に形成されたダイアフラ
ム４を挟持するようにして形成されている。

【００１６】本実施形態のダイアフラム４は、ふっ素樹
脂により形成された主ダイアフラム４ａと、超高密度ポ
リエチレンにより形成された副ダイアフラム４ｂとによ
り２個１組とされている。そして、主ダイアフラム４ａ
は、流体の受圧側である筐体側に配設されており、副ダ
イアフラム４ｂは、上蓋側に配設されている。このよう
にダイアフラム４（符号４は、主ダイアフラム４ａおよ
び副ダイアフラム４ｂを総称する）として、異なる素材
の２個１組とする構成により、繰り返し動作によって主
ダイアフラム４ａにクリープが生じるのを副ダイアフラ
ム４ｂによって防止している。すなわち、ふっ素樹脂に
より形成された主ダイアフラム４ａの耐久性を向上させ
ることができるようになっている。

【００１７】なお、ダイアフラム４としては、ふっ素樹
脂により形成されたものを単独で用いる構成を否定する
ものではない。また、ダイアフラム４として、流体の圧
力がより高圧となる場合には、ニッケル・クロム系の耐
食合金により形成された金属ダイアフラムを用いるとよ
い。つまり、減圧に供する流体の圧力が、例えば５ＭＰ
ａ程度以下の場合には、ふっ素樹脂により形成されたダ
イアフラム４を用い、流体の圧力が、例えば５ＭＰａを
越える場合には、ニッケル・クロム系の耐食合金により
形成された金属ダイアフラムを用いることが長期間に亘
り安定した機能を保持するうえで好ましい。さらに、ダ
イアフラム４の素材としては、減圧に供する流体の種類
に応じたものを用いることができる。

【００１８】前記ダイアフラム４の中心部には、ほぼ円
環状に形成された上下１対の固定プレート５がダイアフ
ラム４を介して相互に対向するようにして配設されてい
る。そして、上下１対の固定プレート５のうち図１にお
いてダイアフラム４の下方に示す一方は、筐体側に位置
する下プレート５ａとされ、図１においてダイアフラム
４の上方に示す他方は、上蓋側に位置する上プレート５
ｂとされている。そして、下プレート５ａおよび上プレ
ート５ｂは、ダイアフラム４の外径より小径のほぼ円環
状に形成されている。

【００１９】前記ダイアフラム４および上下１対の固定
プレート５の中心部には、バルブステム６の軸方向の図
１上方に示すステム６ａの先端部側が挿通されている。
このバルブステム６のステム６ａは、図１上下方向に示
す軸方向のほぼ下半分が大径に形成されており、この大
径部の上端面に下プレート５ｂの下端面が当接されてい
る。さらに、バルブステム６のステム６ａの図１上方に
示す先端部側の外周面には、雄ねじが形成されており、
この雄ねじをプランジャロッド７の下端面に螺合するこ
とで、下プレート５ａと上プレート５ｂとがダイアフラ
ム４の中心部近傍の周囲を挟持するようにして固定され
ているとともに、バルブステム６をダイアフラム４に固
定することができるように形成されている。また、バル
ブステム６の図１下方に示す下端部には、弁体６ｂが形
成されている。

【００２０】前記筐体２は、ほぼ円環状に形成されたダ
イアフラム４の外周縁の下端を下方から支持するもので
ある。この筐体２は、その外径がダイアフラム４の外径
とほぼ同一もしくは若干大きく形成されており、全体と
してほぼ円柱状に形成されている。そして、筐体２のダ
イアフラム側に位置するダイアフラム４と対向する端面
である図１上方に示す上端面は、ダイアフラム４の外周
縁の下端を下方から支持可能な筐体側支持面８とされて
いる。この筐体側支持面８とダイアフラム４の下端面と
の間には、密封装置としてのふっ素樹脂により形成され
たＯリング９が配設されており、筐体側支持面８とダイ
アフラム４の下端面との間から流体が外部に漏洩するの
を防止することができるように構成されている。

【００２１】前記筐体２の上端面の中心には、ダイアフ
ラム４と対向する上部が開口とされた平面ほぼ円形の大
有底穴１０が形成されており、この大有底穴１０の内部
には、リテーナ１１が配設されている。さらに、大有底
穴１０の底部の中心には、大有底穴１０の内径より小径
の中有底穴１２が同軸上に形成されており、その内部に
は、円環状に形成されたシートリング１３が配設されて
いる。そして、中有底穴１２の底部の中心には、中有底
穴１２の内径より小径の小有底穴１４が同軸上に形成さ
れている。さらにまた、小有底穴１４の底部の中心に
は、図１下方に示す筐体２の下端面の中心に連通する小
有底穴１４の内径より小径とされ、流体の出力用流路と
して機能する出力用貫通孔１５が形成されており、出力
用貫通孔１５の図１下方に示す外部に開口した部位が出
力口１６とされている。そして、出力口１６には、図示
しない流体出力管が接続されるようになっている。ま
た、筐体２には、外周面から大有底穴１０の内周面に向
かって筐体２の軸方向に対して直交する図１において左
右方向に示す水平方向に貫通する流体の供給用流路とし
て機能する供給用貫通孔１７が形成されており、供給用
貫通孔１７の図１右方に示す外部に開口した部位が供給
口１８とされている。そして、供給口１８には、図示し
ない流体供給管が接続されるようになっている。

【００２２】前記リテーナ１１は、ダイアフラム４と対
向する上部が大径の大径部１１ａとされ、大有底穴１０
の底部側が小径の小径部１１ｂとされた段付き円筒形状
に形成されており、全体としての高さである図１上下方
向に示す軸方向の長さは、前記大有底穴１０の深さとほ
ぼ同一に形成されている。そして、小径部１１ｂの外径
は、中有底穴１２の内径より大きく形成されており、中
有底穴１２に装着されたシートリング１３の外周縁をリ
テーナ１１の下端面と中有底穴１２の底面との間に挟持
することができるように形成されている。また、中有底
穴１２の底面とシートリング１３との間には、密封装置
としてのふっ素樹脂により形成されたＯリング１９が配
設されており、シートリング１３にバルブステム６の弁
体６ｂが当接した状態（図２）において、出力口１６か
ら供給される流体が中有底穴１２とシートリング１３と
の間の隙間から大有底穴１０に向かって漏洩するのを防
止することができるように構成されている。

【００２３】前記リテーナ１１の内部には、リテーナ１
１を軸方向に貫通する貫通孔１１ｃが形成されており、
この貫通孔１１ｃのダイアフラム側に位置する上端部に
は、前記下プレート５ａが軸方向に往復移動可能に装着
される大径の下プレート装着穴１１ｄが形成されてい
る。さらに、リテーナ１１の小径部１１ｂには、貫通孔
１１ｃに連通するようにして外周面を貫通する水平貫通
孔１１ｅが形成されており、出力口１６を介して貫通孔
１１ｃの下端に導かれた流体を下プレート５ａの下端面
および大有底穴１０とリテーナ１１の小径部１１ｂの外
周面との間の空間に導くことができるように構成されて
いる。そして、大有底穴１０とリテーナ１１の小径部１
１ｂの外周面との間の空間に導かれた流体は、供給口１
８を介して流体出力管に出力できるように構成されてい
る。

【００２４】前記上蓋３は、ほぼ円環状に形成されたダ
イアフラム４の外周縁の上端を上方から支持するもので
ある。この上蓋３は、筐体２と同様に、その外径がダイ
アフラム４の外径とほぼ同一もしくは若干大きく形成さ
れており、全体としてほぼ円柱状に形成されている。そ
して、上蓋３のダイアフラム側に位置するダイアフラム
４と対向する端面である図１下方に示す下端面は、ダイ
アフラム４の外周縁の上端を上方から支持可能な上蓋側
支持面２０とされている。また、上蓋３の外周縁近傍に
は、上蓋３を厚さ方向に貫通する複数のボルト挿通孔
（一部のみ図示）２１が形成されており、これらのボル
ト挿通孔２１に上蓋３の上面から挿通されるスタッドボ
ルト２２をダイアフラム４を板厚方向に貫通させて筐体
２の上端面に螺入させることで、筐体２と上蓋３との間
にダイアフラム４を挟持させるとともに、それぞれを一
体に固定することができるようになっている。

【００２５】前記上蓋３の下端面の中心には、ダイアフ
ラム４と対向する下部が開口とされた平面ほぼ円形の上
プレート装着穴２３が形成されており、この上プレート
装着穴２３の内部には、前記上プレート５ｂが軸方向に
往復移動可能に装着されている。また、上プレート装着
穴２３は、ダイアフラム４が破損した際に、ダイアフラ
ム４の破損部から流出する流体を受けるチャンバ２４と
しての機能を兼ね備えている。この上プレート装着穴２
３には、上蓋３の外周面から上プレート装着穴２３の内
周面に向かって上蓋３の軸方向に対して直交する図１に
おいて左右方向に示す水平方向に貫通する排出用貫通孔
２５が接続されており、この排出用貫通孔２５の図１右
方に示す外部に開口した部位が排出口２６とされてい
る。この排出口２６には、外部の大気に連通する図示し
ない流体排出管が接続されるように構成されており、前
記ダイアフラム４が破損した際に、チャンバ２４の内部
に位置する流体を所定位置に導くことができるように構
成されている。

【００２６】前記排出用貫通孔２５により、本実施形態
のチャンバ２４のダイアフラム４と対向する端面を除く
部位にチャンバ２４の内部に位置する流体を排出口２５
を介して外部に導く排出路２７が構成されている。

【００２７】前記上蓋３の上プレート装着穴２３の底面
（図１上方）の中心には、図１上方に示す上蓋３の上端
面の中心に連通する上蓋貫通孔２８が形成されており、
この上蓋貫通孔２８によって、前記プランジャロッド７
の外周面を摺動可能に支持できるように形成されてい
る。また、上蓋貫通孔２８には、ふっ素樹脂により形成
されたＯリング２９が装着されており、ダイアフラム４
が破損した際に、チャンバ２４の内部に位置する流体が
上蓋貫通孔２８とプランジャロッド７との間の隙間から
外部に漏洩するのを防止することができるようになって
いる。

【００２８】前記上蓋３の上方には、スプリングケース
３０がその開口を上蓋３と対向するようにして配設され
ている。このスプリングケース３０は、下部が開口とさ
れ上部が小径のほぼキャップ状に形成されており、スプ
リングケース３０の下端面に形成されたフランジ部３０
ａの外周近傍には、厚さ方向に貫通する複数のケース用
ボルト挿通孔（一部のみ図示）３１が形成されており、
これらのケース用ボルト挿通孔３１にスプリングケース
３０の図１上方に示す頂部側から挿通されるケース取付
ボルト３２をスタッドボルト２２の円柱状に形成された
頭部２２ａの上端面に螺入させることで、スプリングケ
ース３０を上蓋３のダイアフラム側と反対側の端面に間
隔をおいて配設することができるように形成されてい
る。

【００２９】前記スプリングケース３０の内部には、バ
ルブスプリング３３が配設されており、スプリングケー
ス３０の図１上方に示す頂部の中心には、ダイアフラム
４に対するバルブスプリング３３の付勢力を調整するた
めの作動圧調整ねじ３４がその上端を外部に突出するよ
うにして螺合されている。そして、作動圧調整ねじ３４
の上端側には、作動圧調整ねじ３４を固定するロックナ
ット３５が取着されている。また、バルブスプリング３
３の両端には一対のばね受け３６が装着されており、図
１上方に示す一方のばね受け３６の上面には、作動圧調
整ねじ３４の下端部が嵌合されている。さらに、図１下
方に示す他方のばね受け３６の下面には、前記プランジ
ャロッド７の図１上方に示す先端部が嵌合されている。

【００３０】また、本実施形態のダイアフラム式背圧弁
１は、ダイアフラム４が破損した場合を含む流体との接
触部に位置する金属部位、詳しくは、筐体２、上蓋３、
固定プレート５、バルブステム６、プランジャロッド
７、リテーナ１１およびシートリング１３は、ニッケル
・クロム系の耐食合金であるＭＣアロイ（三菱マテリア
ル社製商品名）により形成されている。

【００３１】なお、スタッドボルト２２をニッケル・ク
ロム系の耐食合金であるＭＣアロイ（三菱マテリアル社
製商品名）により形成することが、ダイアフラム４が破
損した際に、仮に、チャンバ２４の内部に位置する流体
が上蓋貫通孔２８とプランジャロッド７との間の隙間か
ら外部に漏洩した場合のスタッドボルト２２の腐食によ
るダイアフラム式背圧弁１の破損をより確実に防止する
ことができるという意味で好ましい。

【００３２】つぎに、前述した構成からなる本実施形態
の作用について説明する。

【００３３】図１はバルブステムの弁体がシートリング
から離間して供給口から供給される流体が出力口へ流動
する弁開状態を示しており、図２はバルブステムの弁体
がシートリングに当接して供給口から供給される流体が
出力口へ流動するのを遮断した弁閉状態を示す縦断面図
である。

【００３４】本実施の形態のダイアフラム式背圧弁１に
よれば、作動圧調整ねじ３４を回してバルブスプリング
３３を圧縮すると、バルブステム６が下方に押し下げら
れて弁体６ｂがシートリング１３に上方から当接し、１
次側である供給口１８から流入している流体の流動が弁
体６ｂとシートリング１３との当接部位で遮断され、出
力口１６からの流体の出力が停止する。

【００３５】そして、２次側の圧力が作動圧調整ねじ３
４により設定した設定圧より低い間は、バルブスプリン
グ３３の付勢力のほうが１次側の流体の圧力より強いの
で、図１に示すように、ダイアフラム４がほぼ水平とな
るとともに、バルブステム６が図１において細矢印にて
示すように下方に移動して弁体６ｂがシートリング１３
に当接した弁閉状態を保持し、その結果、図１において
太矢印にて示すように供給口１８から流入する流体は、
弁体６ｂとシートリング１３との当接部位で流動が遮断
され、出力口１６からの流体の出力が停止することにな
る。

【００３６】また、２次側の圧力が作動圧調整ねじ３４
により設定した設定圧より上昇すると、２次側の圧力が
バルブスプリング３３の付勢力より強くなるので、下プ
レート５ａを上方に押し上げる。この下プレート５ａの
上昇は、ダイアフラム４およびこのダイアフラム４に連
動動作するバルブステム６を図２において細矢印にて示
すように上昇させ、図２に示すように、弁体６ｂがシー
トリング１３の上方に離間して弁開状態となる。その結
果、図２において太矢印にて示すように供給口１８から
流入する流体は、弁体６ｂとシートリング１３との開口
部を通過し、供給口１８からの流体の流入が続き、出力
口１６からの流体の出力が続くことになる。

【００３７】このように、本実施形態のダイアフラム式
背圧弁１によれば、２次側である供給口１８側の圧力に
応じてダイアフラム４が動作して、弁閉状態と弁開状態
とを繰り返す。この時、弁体６ｂとシートリング１３と
の開口部の面積、すなわち、流体の流量を設定圧に応じ
て自動的に制御できるので、圧送される流体を設定圧に
応じた圧力に制御して供給口１８から出力することがで
きるようになっている。

【００３８】また、本実施形態のダイアフラム式背圧弁
１によれば、バルブスプリング３３２のばね荷重を大き
く設定することで、高圧の流体の圧力制御を容易に行う
ことができる。

【００３９】さらに、本実施形態のダイアフラム式背圧
弁１によれば、ダイアフラム４が破損した場合、ダイア
フラム４の破損部から流出する流体をチャンバ２４で受
け止めることができるので、流体の飛散を防止すること
ができる。また、チャンバ２４で受けた流体は、排出路
２７を介して排出口２６に導くことができるので、排出
口２６に配管を接続すると、ダイアフラム４の破損部か
ら流出する流体を所定位置に誘導することができる。な
お、排出口２６を大気に連通することにより、ダイアフ
ラム４が作動した際に、チャンバ２４の内部が減圧ある
いは加圧状態になるのを防止できる。すなわち、排出口
２６は、ブレスと称される息継ぎ口としての機能を合わ
せ持つ。

【００４０】さらにまた、本実施形態のダイアフラム式
背圧弁１によれば、ダイアフラム４が破損した場合を含
む流体との接触部に位置する金属部位がニッケル・クロ
ム系の耐食合金により形成されており、ニッケル・クロ
ム系の耐食合金が有する良好な耐食性によって、流体と
してフッ酸と硝酸との混合物などの高腐食性流体を用い
た場合の耐食性を十分に得ることができる。

【００４１】したがって、本実施形態のダイアフラム式
背圧弁１によれば、流体として高圧のフッ酸と硝酸との
混合物などの高腐食性流体を用いた場合においても、長
期間に亘り安定した機能を保持することができるととも
に、ダイアフラム４が破損した際の安全性を十分に確保
することができる。

【００４２】また、本実施形態のダイアフラム式背圧弁
１によれば、ダイアフラム４をニッケル・クロム系の耐
食合金により形成した場合には、使用に供する流体の圧
力および温度の適用範囲を広くすることができる。ま
た、ダイアフラム４をふっ素樹脂により形成した場合に
は、多種多様の腐食性流体に対する良好な耐食性を容易
に得ることができる。

【００４３】なお、本発明は、前記実施形態に限定され
るものではなく、必要に応じて種々変更することができ
る。例えば、本発明を流体を所定の圧力に減圧して出力
するダイアフラム式減圧弁などの各種のダイアフラム式
制御弁に用いることができる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように請求項１に係る本発
明のダイアフラム式背圧弁によれば、流体として高圧の
フッ酸と硝酸との混合物などの高腐食性流体を用いた場
合においても、長期間に亘り安定した機能を保持するこ
とができるとともに、ダイアフラムが破損した際の安全
性を十分に確保することができるなどの極めて優れた効
果を奏する。

【００４５】また、請求項２に係る本発明のダイアフラ
ム式背圧弁によれば、ダイアフラムをニッケル・クロム
系の耐食合金により形成した場合には、使用に供する流
体の圧力および温度の適用範囲を広くすることができ、
ダイアフラムをふっ素樹脂により形成した場合には、多
種多様の腐食性流体に対する良好な耐食性を容易に得る
ことができるなどの極めて優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るダイアフラム式背圧弁の実施形
態のバルブステムの弁体がシートリングから離間して供
給口から供給される流体が出力口へ流動する弁開状態の
要部を示す縦断面図

【図２】 本発明に係るダイアフラム式背圧弁の実施形
態のバルブステムの弁体がシートリングに当接して供給
口から供給される流体が出力口へ流動するのを遮断した
弁閉状態の要部を示す図１と同様の図

【符号の説明】

１ ダイアフラム式背圧弁 ２ 筐体 ３ 上蓋 ４ ダイアフラム ４ａ 主ダイアフラム ４ｂ 副ダイアフラム ５ 固定プレート ５ａ 下プレート ５ｂ 上プレート ６ バルブステム ６ｂ 弁体 ７ プランジャロッド １１ リテーナ １１ｄ 下プレート装着穴 １３ シートリング １６ 出力口 １８ 排出口 ２２ スタッドボルト ２３ 上プレート装着穴 ２４ チャンバ ２６ 排出口 ２７ 排出路 ３０ スプリングケース ３３ バルブスプリング ３４ 作動圧調整ねじ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属により形成された筐体と上蓋との間
   にバルブステムに固定されたダイアフラムを挟持すると
   ともに、前記筐体のダイアフラム側に供給された流体を
   所定の圧力に制御して出力するダイアフラム式背圧弁に
   おいて、 前記ダイアフラムが破損した際に、前記ダイアフラムの
   破損部から流出する流体を受けるチャンバを前記上蓋の
   ダイアフラム側に形成するとともに、このチャンバの前
   記ダイアフラムと対向する端面を除く部位に前記チャン
   バの内部に位置する流体を排出口を介して外部に導く排
   出路を形成し、前記上蓋のダイアフラム側と反対側の端
   面に間隔をおいてスプリングケースを配設し、このスプ
   リングケースに装着されたバルブスプリングの付勢力を
   プランジャロッドを介して前記バルブステムに伝達可能
   に形成し、かつ、前記ダイアフラムが破損した場合を含
   む流体との接触部に位置する金属部位をニッケル・クロ
   ム系の耐食合金により形成したことを特徴とするダイア
   フラム式背圧弁。
2. 【請求項２】 前記ダイアフラムがニッケル・クロム系
   の耐食合金あるいはふっ素樹脂により形成されているこ
   とを特徴とする請求項１に記載のダイアフラム式背圧
   弁。