JP2002122704A - High refractive index thin film and antireflection film - Google Patents

High refractive index thin film and antireflection film

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JP2002122704A
JP2002122704A JP2001215070A JP2001215070A JP2002122704A JP 2002122704 A JP2002122704 A JP 2002122704A JP 2001215070 A JP2001215070 A JP 2001215070A JP 2001215070 A JP2001215070 A JP 2001215070A JP 2002122704 A JP2002122704 A JP 2002122704A
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polysilane
high refractive
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thin film formable by a wet method such as coating, having a refractive index higher than that of a conventional resin-base thin film and also having good water repellency. SOLUTION: The high refractive index thin film comprises a polysilane of formula (1) [where R is H, hydroxyl, alkyl, alkenyl, arylalkyl, aryl, alkoxyl or silyl, all of plural symbols R are the same, or two or more of these are different from each other, (x), (y) and (z) are each a number >=0 and x+y+z=5 to 400].

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光学フィルター、
レンズ、導波路等の各種光学物品に用いるための高屈折
率薄膜であり、特に塗布などの湿式法により形成される
樹脂系の高屈折率薄膜に関する。また本発明は、液晶デ
ィスプレイ(LCD)、ブラウン管方式のディスプレイ
(CRT)、プラズマディスプレイ(PDP)、その他
の表示画面等の前面に形成される反射防止膜に関する。
[0001] The present invention relates to an optical filter,
The present invention relates to a high refractive index thin film for use in various optical articles such as lenses and waveguides, and more particularly to a resin-based high refractive index thin film formed by a wet method such as coating. Further, the present invention relates to an antireflection film formed on a front surface of a liquid crystal display (LCD), a cathode ray tube display (CRT), a plasma display (PDP), and other display screens.

【0002】[0002]

【従来の技術】各種光学物品に使用される高屈折率薄膜
の形成材料としては、酸化チタン、酸化ジルコニウム、
酸化タンタル、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化ハフニ
ウム、酸化セリウム、酸化錫、酸化ニオブ、酸化イット
リウム、酸化イッテリビウム、インジウム・錫酸化物等
の金属酸化物が通常用いられる。しかしながら、これら
の金属酸化物を薄膜状に形成するためには、真空蒸着
法、反応性蒸着法、イオンビームアシスト蒸着法、スパ
ッタリング法、イオンプレーティング法、プラズマCV
D法等の真空成膜プロセスが必要となるため、薄膜の大
面積化が困難であり、また生産性に劣る。
2. Description of the Related Art As a material for forming a high refractive index thin film used for various optical articles, titanium oxide, zirconium oxide,
Metal oxides such as tantalum oxide, zinc oxide, indium oxide, hafnium oxide, cerium oxide, tin oxide, niobium oxide, yttrium oxide, ytterbium oxide, and indium tin oxide are usually used. However, in order to form these metal oxides into a thin film, a vacuum evaporation method, a reactive evaporation method, an ion beam assisted evaporation method, a sputtering method, an ion plating method, a plasma CV
Since a vacuum film forming process such as method D is required, it is difficult to increase the area of the thin film, and the productivity is poor.

【0003】一方、真空成膜プロセスの不要な高屈折率
薄膜の形成材料としては、湿式法で薄膜を形成可能なポ
リカーボネート樹脂や芳香族ポリエステル樹脂等の有機
樹脂材料が挙げられるが、これらの屈折率は十分高い値
であるとは言えない。さらに、これら樹脂系の薄膜は撥
水性に乏しいため、汚れやすいという欠点がある。
On the other hand, as a material for forming a high refractive index thin film that does not require a vacuum film forming process, organic resin materials such as polycarbonate resin and aromatic polyester resin capable of forming a thin film by a wet method are exemplified. The rates are not high enough. Further, these resin-based thin films have poor water repellency, and thus have a drawback that they are easily stained.

【0004】このため、塗布法等の湿式法で形成可能な
樹脂系で、高い屈折率を示しつつ、撥水性にも優れた高
屈折率薄膜が求められている。
[0004] Therefore, a high refractive index thin film which has a high refractive index and is excellent in water repellency, which is a resin system which can be formed by a wet method such as a coating method, is required.

【0005】また、高屈折率薄膜の応用の一つとして、
液晶ディスプレイやテレビ・コンピューターのブラウン
管、プラズマディスプレイ等の表示画面等の前面に形成
される反射防止膜が挙げられる。この反射防止膜は、低
屈折率薄膜と高屈折率薄膜とを順次積層することにより
得られる。
[0005] One of the applications of the high refractive index thin film is as follows.
Examples include an antireflection film formed on the front surface of a display screen such as a liquid crystal display, a cathode ray tube of a television or computer, and a plasma display. This antireflection film is obtained by sequentially laminating a low refractive index thin film and a high refractive index thin film.

【0006】この高屈折率薄膜は、通常、金属酸化物の
真空成膜プロセスにより形成されている。しかしなが
ら、近年の表示画面の拡大に伴ない、大面積化が容易な
湿式法で形成可能な樹脂系材料を用いて得られ、且つ防
汚性を有する反射防止膜が求められている。
This high-refractive-index thin film is usually formed by a metal oxide vacuum film forming process. However, with the recent expansion of display screens, there is a need for an antireflection film that is obtained by using a resin-based material that can be easily formed into a large area by a wet method and has antifouling properties.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術の
問題点に鑑み成されたものであって、塗布などの湿式法
により形成可能であり、且つ従来の樹脂系の薄膜よりも
高屈折率でしかも良好な撥水性を有する薄膜を提供する
ことを目的とする。さらに、大面積化が容易な湿式法で
形成され、しかも防汚性を有する反射防止膜を提供する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems of the prior art, and can be formed by a wet method such as coating, and has a higher refractive index than conventional resin-based thin films. It is an object of the present invention to provide a thin film having high water repellency at a high efficiency. Further, it is another object of the present invention to provide an antireflection film which is formed by a wet method that can be easily enlarged and has antifouling properties.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意研究を
重ねた結果、ポリシラン薄膜およびポリシラン系硬化膜
を用いることにより、上記目的を達成できることを見出
し、本発明を完成するに至った。
As a result of intensive studies, the present inventors have found that the above object can be achieved by using a polysilane thin film and a polysilane-based cured film, and have completed the present invention.

【0009】すなわち、本発明は、下記に示す高屈折率
薄膜および反射防止膜を提供するものである。 項1. 一般式(1)
That is, the present invention provides a high refractive index thin film and an antireflection film described below. Item 1. General formula (1)

【0010】[0010]

【化4】 Embedded image

【0011】[式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキ
ル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール
基、アルコキシル基またはシリル基を示す。Rは、全て
が同一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。x、
y、zは、それぞれ0以上の数を示し、x、yおよびz
の和は5〜400である。]で表されるポリシランから
なる高屈折率薄膜。 項2. 一般式(1)
[In the formula, R represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkenyl group, an arylalkyl group, an aryl group, an alkoxyl group or a silyl group. All of R may be the same or two or more may be different. x,
y and z each represent a number of 0 or more, and x, y and z
Is 5 to 400. ] The high refractive index thin film which consists of polysilane represented by these. Item 2. General formula (1)

【0012】[0012]

【化5】 Embedded image

【0013】[式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキ
ル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール
基、アルコキシル基またはシリル基を示す。Rは、全て
が同一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。x、
y、zは、それぞれ0以上の数を示し、x、yおよびz
の和は5〜400である。]で表され、且つ末端に水酸
基を有するポリシランと、熱硬化性樹脂原料との混合物
を加熱処理することにより得られる高屈折率薄膜。 項3. 熱硬化性樹脂原料がエポキシ化合物である項2
に記載の高屈折率薄膜。 項4. 一般式(1)
Wherein R represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkenyl group, an arylalkyl group, an aryl group, an alkoxyl group or a silyl group. All of R may be the same or two or more may be different. x,
y and z each represent a number of 0 or more, and x, y and z
Is 5 to 400. And a high-refractive-index thin film obtained by heat-treating a mixture of a polysilane having a hydroxyl group at a terminal and a thermosetting resin raw material. Item 3. Item 2 wherein the thermosetting resin material is an epoxy compound
2. The high refractive index thin film according to 1. Item 4. General formula (1)

【0014】[0014]

【化6】 Embedded image

【0015】[式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキ
ル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール
基、アルコキシル基またはシリル基を示す。Rは、全て
が同一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。x、
y、zは、それぞれ0以上の数を示し、x、yおよびz
の和は5〜400である。]で表されるポリシランと、
光硬化性樹脂原料との混合物を露光処理することにより
得られる高屈折率薄膜。項5. 項1〜4のいずれかに
記載の高屈折率薄膜を用いてなる反射防止膜。
[Wherein, R represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkenyl group, an arylalkyl group, an aryl group, an alkoxyl group or a silyl group. All of R may be the same or two or more may be different. x,
y and z each represent a number of 0 or more, and x, y and z
Is 5 to 400. A polysilane represented by the formula:
A high-refractive-index thin film obtained by subjecting a mixture with a photocurable resin raw material to an exposure treatment. Item 5. Item 5. An antireflection film using the high refractive index thin film according to any one of items 1 to 4.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】[ポリシラン]本発明において使
用するポリシランは、下記一般式(1)で表される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [Polysilane] The polysilane used in the present invention is represented by the following general formula (1).

【0017】[0017]

【化7】 Embedded image

【0018】式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキル
基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、
アルコキシル基またはシリル基を示す。Rは、全てが同
一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。x、y、
zは、それぞれ0以上の数を示し、x、yおよびzの和
は5〜400である。
In the formula, R represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkenyl group, an arylalkyl group, an aryl group,
It represents an alkoxyl group or a silyl group. All of R may be the same or two or more may be different. x, y,
z represents a number of 0 or more, respectively, and the sum of x, y, and z is 5 to 400.

【0019】上記一般式(1)で表されるポリシランに
おいて、アルキル基、アリールアルキル基のアルキル部
分およびアルコキシル基のアルキル部分としては、直鎖
状、環状または分岐状の炭素数1〜14、好ましくは炭
素数1〜10、より好ましくは炭素数1〜6の脂肪族炭
化水素基が挙げられる。
In the polysilane represented by the above general formula (1), the alkyl group, the alkyl part of the arylalkyl group and the alkyl part of the alkoxyl group are preferably linear, cyclic or branched, having 1 to 14 carbon atoms. Is an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms.

【0020】アルケニル基としては、少なくとも1つの
炭素−炭素二重結合を有する1価の直鎖状、環状または
分岐状の炭素数1〜14、好ましくは炭素数1〜10、
より好ましくは炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基が挙げ
られる。
As the alkenyl group, a monovalent linear, cyclic or branched C1-C14 having at least one carbon-carbon double bond, preferably C1-C10,
More preferably, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms is used.

【0021】アリール基およびアリールアルキル基のア
リール部分としては、少なくとも1つの置換基を有して
いてもよい芳香族炭化水素基が挙げられ、好ましくは少
なくとも1つの置換基を有していてもよいフェニル基ま
たはナフチル基が挙げられる。アリール基およびアリー
ルアルキル基のアリール部分の置換基は、特には制限さ
れないが、アルキル基、アルコキシル基、アミノ基およ
びシリル基からなる群より選ばれる少なくとも1種が好
ましい。
Examples of the aryl group and the aryl moiety of the arylalkyl group include an aromatic hydrocarbon group which may have at least one substituent, and preferably has at least one substituent. Examples include a phenyl group or a naphthyl group. The substituent of the aryl part of the aryl group and the arylalkyl group is not particularly limited, but is preferably at least one selected from the group consisting of an alkyl group, an alkoxyl group, an amino group and a silyl group.

【0022】上記一般式(1)で表されるポリシランに
おいて、一般に、Rとしてフェニル基を有するものを用
いると、薄膜の屈折率が向上するので好ましい。
In the polysilane represented by the above general formula (1), it is generally preferable to use R having a phenyl group because the refractive index of the thin film is improved.

【0023】なお、本発明に用いるポリシランとして、
特に熱硬化性樹脂原料との混合物を加熱処理して熱硬化
樹脂とする場合には、末端のSi原子に少なくとも1つの
水酸基が直接結合したポリシラン(すなわち、末端に少
なくとも1つのシラノール基を有するポリシラン)を使
用する。Si原子に直接結合した水酸基は、熱硬化性樹脂
原料の官能基、例えばエポキシ基、との良好な反応性を
示し、加熱処理によりポリシランと熱硬化性樹脂原料と
の間に架橋構造が形成される。
As the polysilane used in the present invention,
In particular, when a mixture with a thermosetting resin material is heat-treated to form a thermosetting resin, a polysilane having at least one hydroxyl group directly bonded to a terminal Si atom (ie, a polysilane having at least one silanol group at a terminal) ). The hydroxyl group directly bonded to the Si atom shows good reactivity with the functional group of the thermosetting resin material, for example, an epoxy group, and a heat treatment forms a crosslinked structure between the polysilane and the thermosetting resin material. You.

【0024】この様な水酸基の含有割合は、Si1原子当
たり、通常平均0.01〜3程度であり、好ましくは平
均0.1〜2.5程度、より好ましくは平均0.2〜2程
度、特に好ましくは平均0.3〜1.5程度である。
The content ratio of such a hydroxyl group is usually about 0.01 to 3, preferably about 0.1 to 2.5, more preferably about 0.2 to 2 on average per 1 atom of Si. Particularly preferably, the average is about 0.3 to 1.5.

【0025】また、この様な水酸基を有するポリシラン
としては、上記一般式(1)において、y>0および/
またはz>0である、分岐構造および/または網目構造
を含むポリシランがより好ましい。この様なポリシラン
は、熱硬化性樹脂原料との相溶性が良好であり、また硬
化膜とした場合に、硬度、耐熱性、耐薬品性などが向上
する。
The polysilane having a hydroxyl group as described above includes, in the above general formula (1), y> 0 and / or
Or a polysilane having a branched structure and / or a network structure in which z> 0 is more preferable. Such a polysilane has good compatibility with the thermosetting resin raw material, and when it is formed into a cured film, the hardness, heat resistance, chemical resistance, and the like are improved.

【0026】[ポリシランの製造方法]本発明に用いる
ポリシランは、公知の方法を用いて製造することができ
る。例えば、それぞれの構造単位を有するモノマーを原
料として、以下の方法により重合させることができる。
すなわち、アルカリ金属の存在下でハロシラン類を脱ハ
ロゲン縮重合させる方法(「キッピング法」J.Am.Chem.
Soc.,110,124(1988)、Macromolecules,23,3423(199
0))、電極還元によりハロシラン類を脱ハロゲン縮重合
させる方法(J.Chem.Soc.,Chem.Commun.,1161(1990)、
J.Chem.Soc.,Chem.Commun.,897(1992))、マグネシウム
を還元剤としてハロシラン類を脱ハロゲン縮重合させる
方法(国際公開番号WO98/29476)、金属触媒
の存在下にヒドロシラン類を脱水素縮重合させる方法
(特開平4−334551号公報)、ビフェニルなどで
架橋されたジシレンのアニオン重合による方法(Macrom
olecules,23,4494(1990))、環状シラン類の開環重合に
よる方法などにより製造することができる。
[Production Method of Polysilane] The polysilane used in the present invention can be produced by a known method. For example, a monomer having each structural unit can be used as a raw material and polymerized by the following method.
That is, a method of dehalogenating polycondensation of halosilanes in the presence of an alkali metal ("Kipping method" J. Am. Chem.
Soc., 110, 124 (1988), Macromolecules, 23, 3423 (199
0)), a method of dehalogenating polycondensation of halosilanes by electrode reduction (J. Chem. Soc., Chem. Commun., 1161 (1990),
J. Chem. Soc., Chem. Commun., 897 (1992)), a method of dehalogenating polycondensation of halosilanes using magnesium as a reducing agent (International Publication No. WO98 / 29476), hydrosilanes in the presence of a metal catalyst. A method of dehydrocondensation polymerization (JP-A-4-334551), a method of anionic polymerization of disilene cross-linked with biphenyl or the like (Macrom
olecules, 23, 4494 (1990)) and a method by ring-opening polymerization of cyclic silanes.

【0027】ポリシランに水酸基を導入する方法は、公
知の方法を用いることができる。例えば、ハロシラン類
を脱ハロゲン縮重合させる方法などにおいて、縮重合反
応終了時に水を添加することにより容易に行うことがで
きる。
A known method can be used for introducing a hydroxyl group into the polysilane. For example, in a method of dehalogenating polycondensation of halosilanes, the reaction can be easily performed by adding water at the end of the polycondensation reaction.

【0028】[熱硬化性樹脂原料]本発明の高屈折率薄
膜は、末端のSi原子に少なくとも1つの水酸基が直接結
合したポリシラン(すなわち、末端に少なくとも1つの
シラノール基を有するポリシラン)と熱硬化性樹脂原料
との混合物を、加熱処理して熱硬化樹脂とすることによ
り得られる。これにより、薄膜の機械的強度が向上し、
より耐久性が優れた薄膜となる。このような熱硬化性樹
脂原料としては、硬化後の薄膜が透明性を有するもので
あれば特に限定はされないが、エポキシ化合物、イソシ
アネート化合物、シアネート化合物、アクリレート化合
物、ビニル化合物、ビスマレイミド樹脂、フェノール樹
脂等が挙げられる。
[Thermosetting Resin Raw Material] The high refractive index thin film of the present invention comprises a polysilane having at least one hydroxyl group directly bonded to a terminal Si atom (that is, a polysilane having at least one silanol group at a terminal) and a thermosetting resin. It can be obtained by heat-treating a mixture with a conductive resin raw material to form a thermosetting resin. This improves the mechanical strength of the thin film,
It becomes a thin film having more excellent durability. Such a thermosetting resin raw material is not particularly limited as long as the thin film after curing has transparency, but is preferably an epoxy compound, an isocyanate compound, a cyanate compound, an acrylate compound, a vinyl compound, a bismaleimide resin, or a phenol. Resins.

【0029】ポリシランと熱硬化性樹脂原料との混合割
合は、熱硬化性樹脂原料1重量部に対して、ポリシラン
0.01〜100重量部程度であり、好ましくは0.05
〜20重量部程度、より好ましくは0.1〜10重量部
程度、特に好ましくは0.2〜3重量部程度である。
The mixing ratio of the polysilane and the thermosetting resin material is about 0.01 to 100 parts by weight, preferably 0.05 part by weight, per 1 part by weight of the thermosetting resin material.
About 20 parts by weight, more preferably about 0.1 to 10 parts by weight, particularly preferably about 0.2 to 3 parts by weight.

【0030】上記熱硬化性樹脂原料の中でも、エポキシ
化合物が好適に使用できる。エポキシ化合物は、化合物
中に少なくとも1つのエポキシ基を有する化合物であ
る。エポキシ化合物の構造は特に制限されず、直鎖状、
環状、分岐状などが挙げられる。
Among the above thermosetting resin raw materials, epoxy compounds can be suitably used. The epoxy compound is a compound having at least one epoxy group in the compound. The structure of the epoxy compound is not particularly limited, and may be linear,
Examples thereof include a cyclic shape and a branched shape.

【0031】このようなエポキシ化合物としては、エピ
・ビス型グリシジルエーテル、フェノールノボラック型
グリシジルエーテル、クレゾールノボラック型グリシジ
ルエーテル、臭素化グリシジルエーテル、含窒素型エポ
キシ化合物、グリシジルエステル、過酢酸酸化型エポキ
シ化合物、グリコール型グリシジルエーテル、含ケイ素
型エポキシ化合物、含フルオレン型エポキシ化合物、こ
れらの化合物のアクリルまたはメタクリル変性エポキシ
化合物などが挙げられる。これらの化合物については、
その代表的な化合物の構造を以下に例示する(化8〜1
2)。更に、ビスフェノキシエタノールフルオレンジグ
リシジルエーテル、ビスフェノールフルオレンジグリシ
ジルエーテル、1,2,3,4−ジエポキシブタン、
1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエー
テル、N,N−ジグリシジル−4−グリシジルオキシア
ニリン、1,2,5,6−ジエポキシシクロオクタンな
どを挙げることができる。これらのエポキシ化合物は、
1種または2種以上を混合して用いることができる。こ
れらの化合物は、目的、用途などに応じて適宜選択する
ことができる。
Examples of such epoxy compounds include epi-bis glycidyl ether, phenol novolak glycidyl ether, cresol novolac glycidyl ether, brominated glycidyl ether, nitrogen-containing epoxy compound, glycidyl ester, and peracetic acid oxidation epoxy compound. Glycidyl ether, silicon-containing epoxy compounds, fluorene-containing epoxy compounds, and acryl or methacryl-modified epoxy compounds of these compounds. For these compounds,
The structures of typical compounds are shown below (Chemical Formulas 8 to 1).
2). Furthermore, bisphenoxyethanol full orange glycidyl ether, bisphenol full orange glycidyl ether, 1,2,3,4-diepoxybutane,
Examples include 1,4-cyclohexanedimethanol diglycidyl ether, N, N-diglycidyl-4-glycidyloxyaniline, 1,2,5,6-diepoxycyclooctane, and the like. These epoxy compounds are
One type or a mixture of two or more types can be used. These compounds can be appropriately selected depending on the purpose, application, and the like.

【0032】[0032]

【化8】 Embedded image

【0033】[0033]

【化9】 Embedded image

【0034】[0034]

【化10】 Embedded image

【0035】[0035]

【化11】 Embedded image

【0036】[0036]

【化12】 Embedded image

【0037】[光硬化性樹脂原料]また本発明において
は、ポリシランと光硬化性樹脂原料との混合物を露光処
理して光硬化樹脂とすることができる。このような光硬
化性樹脂原料としては、硬化後の薄膜が透明性を有する
ものであれば特に限定はされないが、ビニル化合物やア
クリレート化合物等が好適に使用できる。
[Photocurable Resin Raw Material] In the present invention, a mixture of polysilane and photocurable resin raw material can be exposed to light to obtain a photocurable resin. Such a photocurable resin raw material is not particularly limited as long as the thin film after curing has transparency, but a vinyl compound or an acrylate compound can be suitably used.

【0038】なお、この場合のポリシランとしては、末
端のSi原子に少なくとも1つの水酸基が直接結合したポ
リシランでもよいし、そのような水酸基を有さないポリ
シランでもよい。
The polysilane in this case may be a polysilane in which at least one hydroxyl group is directly bonded to a terminal Si atom, or a polysilane having no such hydroxyl group.

【0039】ポリシランと光硬化性樹脂原料との混合割
合は、光硬化性樹脂原料1重量部に対して、ポリシラン
0.01〜100重量部程度であり、好ましくは0.05
〜20重量部程度、より好ましくは0.1〜10重量部
程度、特に好ましくは0.2〜3重量部程度である。
The mixing ratio of the polysilane and the photocurable resin material is about 0.01 to 100 parts by weight, preferably 0.05 part by weight, per 1 part by weight of the photocurable resin material.
About 20 parts by weight, more preferably about 0.1 to 10 parts by weight, particularly preferably about 0.2 to 3 parts by weight.

【0040】[硬化剤、硬化促進剤など]本発明の高屈
折率薄膜において、ポリシランと熱硬化性樹脂原料およ
び/または光硬化性樹脂原料とから、熱硬化樹脂および
/または光硬化樹脂とする場合は、必要に応じて硬化剤
または硬化促進剤を使用しても良い。硬化剤または硬化
促進剤は、当該分野で通常用いられる硬化促進剤等であ
れば特に制限されない。例えば、1,2−ジシリルエタ
ン、エチルシリケート、メチルシリケートなどのポリア
ルコキシシラン類などのケイ素化合物;テトラアルコキ
シチタンなどのチタン化合物;フェニルジクロロボラン
などのホウ素化合物;ベンゾイルパーオキサイド、te
rt−ブチルパーオキサイド、アゾイソブチロニトリル
などのラジカルを発生する化合物;トリスメトキシアル
ミニウム、トリスフェノキシアルミニウムなどの有機ア
ルミニウム化合物;トリエチルアミン、ピリジン、ジエ
チレントリアミン、トリエチレンテトラミン、メタキシ
レンジアミン、ジアミノジフェニルメタン、トリス(ジ
メチルアミノメチル)フェノール、2−エチル−4−メ
チルイミダゾールなどのアミン化合物;ダイマー酸ポリ
アミドなどのアミド化合物;無水フタル酸、テトラヒド
ロメチル無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無
水トリメリット酸、無水メチルナジック酸などの酸無水
物;フェノールノボラックなどのフェノール類;ポリサ
ルファイドなどのメルカプタン化合物;3フッ化ホウ素
・エチルアミン錯体などのルイス酸錯体化合物;クロロ
ホルム、ジクロロメタン、トリクロロメタンなどのハロ
ゲン化物;ナトリウムエトキシドなどの塩基性化合物な
どを挙げることができる。露光処理する場合は、芳香族
ジアゾニウム塩、ジアリルヨードニウム塩、トリアリル
スルホニウム塩、トリアリルセレニウム塩などの光分解
型硬化剤を用いることができ、ベンゾフェノンおよびそ
の誘導体、o−ベンゾイル安息香酸エステルおよびその
誘導体、アセトフェノンおよびその誘導体、ベンゾイ
ン、ベンゾインエーテルおよびその誘導体、キサントン
およびその誘導体、チオキサントンおよびその誘導体、
ジスルフィド化合物、キノン系化合物、ハロゲン化炭化
水素基含有化合物、アミン類並びに色素などの光増感剤
などが挙げられる。これらの硬化剤または硬化促進剤
は、単独または2種以上を混合して用いることができ
る。
[Curing Agent, Curing Accelerator, etc.] In the high refractive index thin film of the present invention, a thermosetting resin and / or a photocurable resin is formed from polysilane and a thermosetting resin material and / or a photocurable resin material. In this case, a curing agent or a curing accelerator may be used as necessary. The curing agent or curing accelerator is not particularly limited as long as it is a curing accelerator or the like usually used in the art. For example, silicon compounds such as polyalkoxysilanes such as 1,2-disilylethane, ethylsilicate and methylsilicate; titanium compounds such as tetraalkoxytitanium; boron compounds such as phenyldichloroborane; benzoyl peroxide;
compounds generating radicals such as rt-butyl peroxide and azoisobutyronitrile; organic aluminum compounds such as trismethoxyaluminum and trisphenoxyaluminum; triethylamine, pyridine, diethylenetriamine, triethylenetetramine, metaxylenediamine, diaminodiphenylmethane, tris Amine compounds such as (dimethylaminomethyl) phenol and 2-ethyl-4-methylimidazole; amide compounds such as dimer acid polyamide; phthalic anhydride, tetrahydromethyl phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, and methyl anhydride Acid anhydrides such as nadic acid; phenols such as phenol novolak; mercaptan compounds such as polysulfide; boron trifluoride / ethylamine complex Lewis acid complex compounds, such as can be exemplified basic compounds such as sodium ethoxide and the like; chloroform, dichloromethane, halides such as trichloromethane. When performing the exposure treatment, an aromatic diazonium salt, a diallyliodonium salt, a triallylsulfonium salt, a photodegradable curing agent such as a triallylselenium salt can be used, benzophenone and its derivatives, o-benzoyl benzoate and its derivatives. Derivatives, acetophenone and its derivatives, benzoin, benzoin ether and its derivatives, xanthone and its derivatives, thioxanthone and its derivatives,
Examples include disulfide compounds, quinone compounds, compounds containing halogenated hydrocarbon groups, amines, and photosensitizers such as dyes. These curing agents or curing accelerators can be used alone or in combination of two or more.

【0041】硬化剤または硬化促進剤の添加量は、本発
明の効果を損なわない範囲において、使用するポリシラ
ンの種類、割合などにより適宜設定すればよい。これら
の添加量は、熱硬化性樹脂原料または光硬化性樹脂原料
100重量部に対して、通常150重量部程度以下、好
ましくは100重量部程度以下である。
The amount of the curing agent or the curing accelerator may be appropriately set depending on the kind and ratio of the polysilane to be used, as long as the effect of the present invention is not impaired. The amount of these additives is usually about 150 parts by weight or less, preferably about 100 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the thermosetting resin material or the photocurable resin material.

【0042】また、本発明の高屈折率薄膜は、必要に応
じて当該分野で通常用いられる種々の充填剤や添加剤を
含んでいてもよく、これらの混合量は本発明の効果を損
なわない範囲で適宜設定すれば良い。
Further, the high refractive index thin film of the present invention may contain various fillers and additives usually used in the art, if necessary, and the mixing amount thereof does not impair the effects of the present invention. What is necessary is just to set suitably in a range.

【0043】[高屈折率薄膜の製造方法]以下に、本発
明の高屈折率薄膜を製造する方法の一例を説明する。
[Manufacturing Method of High Refractive Index Thin Film] An example of a method of manufacturing the high refractive index thin film of the present invention will be described below.

【0044】まず、塗布液の調製を行う。ポリシラン
と、必要に応じて熱硬化性樹脂原料、光硬化性樹脂原
料、充填剤や添加剤を、溶媒に溶解または均一分散させ
る。溶媒は、それぞれの化合物が有する置換基などによ
り異なるが、一例として、トルエン、キシレン、メチル
エチルケトン、テトラヒドロフラン、エチルセロソルブ
アセテート、乳酸エチル、乳酸ブチル、プロピレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート、またはこれらの
混合溶媒などを挙げることができる。
First, a coating solution is prepared. Polysilane and, if necessary, a thermosetting resin material, a photocurable resin material, a filler and an additive are dissolved or uniformly dispersed in a solvent. The solvent varies depending on the substituents of each compound, and examples include toluene, xylene, methyl ethyl ketone, tetrahydrofuran, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, butyl lactate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and a mixed solvent thereof. be able to.

【0045】しかしながら、ポリシラン、または樹脂原
料が液状であり、上記の各成分を溶解または均一分散で
きる場合は、溶媒を使用せずに塗布液を調製しても良
い。
However, if the polysilane or resin material is liquid and the above components can be dissolved or uniformly dispersed, a coating solution may be prepared without using a solvent.

【0046】この塗布液を、スピンコート法、スプレー
コート法、スクリーン印刷法、キャスト法、バーコート
法、カーテンコート法、ロールコート法、グラビアコー
ト法などにより各種の基板上に塗布する。
This coating solution is applied onto various substrates by spin coating, spray coating, screen printing, casting, bar coating, curtain coating, roll coating, gravure coating, or the like.

【0047】次に、必要に応じて塗布物の乾燥処理を行
う。乾燥処理は、常圧下、加圧下、または減圧下におい
て、常温下または加温して行う。
Next, a drying treatment of the coated material is performed as required. The drying treatment is performed under normal pressure, under pressure, or under reduced pressure, at normal temperature or by heating.

【0048】本発明では、必要に応じて熱硬化のための
加熱処理を行う。乾燥処理と加熱処理は、順次行っても
良いし、乾燥処理と加熱処理の工程を兼ねて一括して行
っても良い。本発明の高屈折率薄膜の製造における加熱
処理の加熱温度範囲としては、50〜500℃、好まし
くは80〜450℃、より好ましくは100〜400℃
である。上記温度に保持する時間は、1分間〜48時
間、好ましくは3分間〜24時間、より好ましくは5分
間〜18時間である。
In the present invention, a heat treatment for heat curing is performed as required. The drying treatment and the heat treatment may be performed sequentially, or may be performed collectively for both the drying treatment and the heating treatment. The heating temperature range of the heat treatment in the production of the high refractive index thin film of the present invention is 50 to 500 ° C, preferably 80 to 450 ° C, more preferably 100 to 400 ° C.
It is. The time for maintaining the above temperature is 1 minute to 48 hours, preferably 3 minutes to 24 hours, more preferably 5 minutes to 18 hours.

【0049】加熱処理は複数の工程に分割して行っても
良く、昇温工程、一定温度に保持する工程、および降温
工程を任意に組み合わせて行っても良い。昇温および降
温の速度は特に限定されないが、0.1℃/分〜50℃
/秒が好ましい。
The heat treatment may be performed by dividing into a plurality of steps, or may be performed by arbitrarily combining a temperature raising step, a step of maintaining a constant temperature, and a temperature lowering step. The rate of temperature increase and decrease is not particularly limited, but is 0.1 ° C./min to 50 ° C.
/ Sec is preferred.

【0050】また本発明では、必要に応じて光硬化のた
めの露光処理を行う。光源としては特に制限されない
が、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ラン
プ、重水素ランプ、ハロゲンランプ、ヘリウム−カドミ
ウムレーザー、エキシマレーザー等が用いられる。露光
エネルギーは、通常1mJ/cm2〜100J/cm2
好ましくは10mJ/cm2〜10J/cm2程度であ
る。
In the present invention, an exposure process for photo-curing is performed as necessary. Although the light source is not particularly limited, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a deuterium lamp, a halogen lamp, a helium-cadmium laser, an excimer laser, or the like is used. Exposure energy is usually 1 mJ / cm 2 to 100 J / cm 2 ,
Preferably, it is about 10 mJ / cm 2 to 10 J / cm 2 .

【0051】露光処理と加熱処理とを併用してもよい。
この場合、露光処理と加熱処理の順番については特に制
限されないが、通常、露光処理の後に加熱処理を行う。
The exposure treatment and the heat treatment may be used in combination.
In this case, the order of the exposure treatment and the heat treatment is not particularly limited, but usually, the heat treatment is performed after the exposure treatment.

【0052】[反射防止膜の製造方法]次に、本発明の
高屈折率薄膜を用いて反射防止膜を製造する方法の一例
を説明する。
[Method of Manufacturing Antireflection Film] Next, an example of a method of manufacturing an antireflection film using the high refractive index thin film of the present invention will be described.

【0053】一般的な多層反射防止膜の原理とその成膜
方法についてはすでに公知であり、種々の目的に応じて
多種多様の方法と実施例が紹介されているが、基本的に
は、基体であるガラス基板や樹脂フィルムの屈折率より
小さい屈折率を有する透明な薄膜と、基体の屈折率より
大きい屈折率を有する透明な薄膜を、全体の反射率が極
小に近い値になるように設計された光学的膜厚み(屈折
率nと絶対厚みdの積)で構成することからなる。
The principle of a general multilayer antireflection film and its film forming method are already known, and various methods and examples have been introduced according to various purposes. A transparent thin film with a refractive index smaller than the refractive index of a glass substrate or a resin film, and a transparent thin film with a refractive index larger than the refractive index of a substrate are designed so that the overall reflectance is close to a minimum. Optical film thickness (product of refractive index n and absolute thickness d).

【0054】この際、高屈折率薄膜については前述の方
法により形成される。
At this time, the high refractive index thin film is formed by the above-described method.

【0055】一方、低屈折率薄膜の形成材料としては、
酸化ケイ素、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、
弗化バリウム等の無機化合物を使用することができる。
また、フッ素系、アクリル系、ウレタン系、ポリエステ
ル系、メラミン系等の有機樹脂が使用できる。
On the other hand, as a material for forming the low refractive index thin film,
Silicon oxide, magnesium fluoride, calcium fluoride,
An inorganic compound such as barium fluoride can be used.
In addition, organic resins such as fluorine-based, acrylic-based, urethane-based, polyester-based, and melamine-based resins can be used.

【0056】低屈折率薄膜の形成方法としては、無機化
合物を使用する場合には、真空蒸着法、反応性蒸着法、
イオンビームアシスト蒸着法、スパッタリング法、イオ
ンプレーティング法、プラズマCVD法等の真空成膜プ
ロセスによることができる。また、有機樹脂を使用する
場合には、スピンコート法、スプレーコート法、スクリ
ーン印刷法、キャスト法、バーコート法、カーテンコー
ト法、ロールコート法、グラビアコート法等の湿式法を
行った後、乾燥処理・加熱処理・露光処理等を行うこと
により形成でき、各々の有機樹脂の塗布性や硬化性等の
特性に最適な方法が適宜選択される。
As a method for forming the low refractive index thin film, when an inorganic compound is used, a vacuum evaporation method, a reactive evaporation method,
A vacuum film forming process such as an ion beam assisted vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, and a plasma CVD method can be used. Also, when using an organic resin, after performing a wet method such as spin coating, spray coating, screen printing, casting, bar coating, curtain coating, roll coating, gravure coating, etc. The organic resin can be formed by performing a drying treatment, a heating treatment, an exposure treatment, and the like, and a method optimal for the properties such as coatability and curability of each organic resin is appropriately selected.

【0057】[高屈折率成形体]なお、以上において
は、高屈折率薄膜およびそれを用いてなる反射防止膜に
ついて説明したが、本発明では薄膜の形態によらず、下
記の方法により高屈折率成形体とすることもできる。
[High-refractive-index molded body] In the above, the high-refractive-index thin film and the antireflection film using the same have been described. It can also be a rate molded article.

【0058】ポリシランと、必要に応じて熱硬化性樹脂
原料、光硬化性樹脂原料、充填剤や添加剤を、加熱装置
付き混合槽、ニーダー、押し出し機、ロール等を使用し
て分散・混合させることにより樹脂組成物とする。その
後、圧縮成形、注型成形、トランスファー成形、シート
成形、射出成形などの公知の方法を用いることにより高
屈折率成形体を得ることができる。
The polysilane and, if necessary, the thermosetting resin material, the photocurable resin material, fillers and additives are dispersed and mixed using a mixing tank equipped with a heating device, a kneader, an extruder, a roll, or the like. Thereby, a resin composition is obtained. Thereafter, a high refractive index molded article can be obtained by using a known method such as compression molding, casting molding, transfer molding, sheet molding, or injection molding.

【0059】このような高屈折率成形体は、レンズ、プ
リズム、光ファイバーのコア部、回折格子等に好適に使
用することができる。
Such a molded article having a high refractive index can be suitably used for a lens, a prism, a core portion of an optical fiber, a diffraction grating and the like.

【0060】さらに本発明では、薄膜、成形体以外に、
光路接続用接着剤にも使用することができる。光路接続
用接着剤には透明性および光路との屈折率の整合性が要
求されるが、本発明の必須成分であるポリシランは高い
屈折率を示すため、低屈折率材料と組み合わせることに
より、光ファイバーや光導波路のコア材料の屈折率に整
合させるのが容易である。このような低屈折率材料とし
ては、フッ素系エポキシ樹脂等が例示される。光路接続
用接着剤の用途としては、光ファイバー同士の接着や、
光導波路・光変調器と光ファイバーとの接着、光フィル
ター等の光素子の固定等が挙げられる。接着には、接着
強度を向上させるために、熱硬化または光硬化処理を行
うのが好ましい。
Further, in the present invention, in addition to the thin film and the molded product,
It can also be used as an optical path connection adhesive. The adhesive for optical path connection requires transparency and the matching of the refractive index with the optical path, but polysilane, which is an essential component of the present invention, has a high refractive index. Or the refractive index of the core material of the optical waveguide. Examples of such a low refractive index material include a fluorine-based epoxy resin. Applications of the optical path connection adhesive include bonding between optical fibers,
Adhesion between an optical waveguide / optical modulator and an optical fiber, fixing of an optical element such as an optical filter, and the like are included. In order to improve the bonding strength, it is preferable to perform heat curing or light curing treatment.

【0061】本発明の高屈折率薄膜は、上述した反射防
止膜のほか、光導波路、マイクロレンズアレイ、光散乱
膜、光学フィルター、回折素子等の用途に好適に使用で
きる。これらの用途の中でも、光導波路およびマイクロ
レンズアレイについては、本発明の高屈折率薄膜の形成
に必須なポリシランが感度を有する光を照射すると屈折
率が大きく低下する現象を利用して作製することができ
る。
The high refractive index thin film of the present invention can be suitably used for applications such as an optical waveguide, a microlens array, a light scattering film, an optical filter, and a diffraction element, in addition to the above-described antireflection film. Among these applications, the optical waveguide and the microlens array should be manufactured by utilizing the phenomenon that the refractive index of the polysilane, which is essential for forming the high-refractive-index thin film of the present invention, is significantly reduced when irradiated with sensitive light. Can be.

【0062】光導波路は、以下の工程で作製できる。す
なわち、本発明の高屈折率薄膜よりも屈折率の小さい基
材の上に、本発明の高屈折率薄膜を形成するための樹脂
組成物を塗布した後、コアに相当する箇所にフォトマス
クを施し、クラッドに相当する箇所のみに、ポリシラン
が感光性を有する波長帯の光を照射するようにする。こ
れにより照射部のみポリシランの屈折率が低下し、クラ
ッドが形成される。このような光の波長帯は、ポリシラ
ンの構造によって異なるが、通常は紫外域である。屈折
率を変えるための光照射は、熱硬化または光硬化の処理
の前または後に行うことができるが、感度の点から、硬
化処理の前に行う方が好ましい。また、光硬化の場合
は、硬化処理のための露光波長をポリシランが感度を有
する波長よりも長波長とする方が、光硬化処理時に屈折
率の変化を抑制できるため好ましい。
The optical waveguide can be manufactured by the following steps. That is, after applying a resin composition for forming a high refractive index thin film of the present invention on a substrate having a smaller refractive index than the high refractive index thin film of the present invention, a photomask is applied to a portion corresponding to a core. Then, only the portion corresponding to the clad is irradiated with light in a wavelength band in which the polysilane has photosensitivity. As a result, the refractive index of the polysilane is reduced only in the irradiated portion, and a clad is formed. The wavelength band of such light varies depending on the structure of the polysilane, but is usually in the ultraviolet region. The light irradiation for changing the refractive index can be performed before or after the heat-curing or light-curing treatment, but is preferably performed before the curing treatment in terms of sensitivity. In the case of photocuring, it is preferable that the exposure wavelength for the curing treatment is longer than the wavelength at which the polysilane has sensitivity, because the change in the refractive index during the photocuring treatment can be suppressed.

【0063】マイクロレンズアレイについても、光導波
路と同様に、以下の工程で作製できる。すなわち、基材
上に本発明の高屈折率薄膜を形成するための樹脂組成物
を塗布した後、マスク等を用いて膜の面方向に強度分布
を持たせた光を照射することにより、屈折率の分布を形
成し、屈折率分布型のレンズ、あるいはレンズアレイを
形成することができる。本マイクロレンズアレイをデジ
タルカメラやビデオカメラの固体撮像素子の画素上に形
成することにより、感度を向上させることができる。ま
た、本レンズアレイは、液晶表示装置にも好適に使用で
きる。
The microlens array can be manufactured by the following steps, similarly to the optical waveguide. That is, after applying the resin composition for forming the high refractive index thin film of the present invention on a base material, the film is irradiated with light having an intensity distribution in the plane direction of the film using a mask or the like, so that it is refracted. By forming a refractive index distribution, a gradient index lens or a lens array can be formed. The sensitivity can be improved by forming the microlens array on a pixel of a solid-state imaging device of a digital camera or a video camera. Further, the present lens array can be suitably used for a liquid crystal display device.

【0064】光散乱膜についても、マイクロレンズアレ
イと同様にして微細な屈折率パターンを形成して作製で
きる。このような光散乱膜は、液晶ディスプレイのバッ
クライトの拡散膜として使用することができる。
The light scattering film can be manufactured by forming a fine refractive index pattern in the same manner as the micro lens array. Such a light scattering film can be used as a diffusion film of a backlight of a liquid crystal display.

【0065】また、光学フィルターは、本発明の高屈折
率薄膜とは屈折率の異なる別の複数の薄膜との積層体と
することにより形成できる。この際、各層の屈折率、膜
厚は、必要とする光学フィルターの波長分散特性により
適宜選択すれば良い。本光学フィルターは、フィルムや
シート等の基材上に形成しても良いし、レンズやプリズ
ム等の光学部品の表層に直接形成することもできる。
The optical filter can be formed by forming a laminate with a plurality of thin films having different refractive indexes from the high refractive index thin film of the present invention. At this time, the refractive index and the film thickness of each layer may be appropriately selected according to the required wavelength dispersion characteristics of the optical filter. The present optical filter may be formed on a substrate such as a film or a sheet, or may be formed directly on a surface layer of an optical component such as a lens or a prism.

【0066】[0066]

【実施例】以下、本発明を更に詳しく説明するために種
々の実施例を示す。本発明はこれら実施例に限定される
ものではない。
EXAMPLES Hereinafter, various examples will be described in order to explain the present invention in more detail. The present invention is not limited to these examples.

【0067】実施例1 ポリ(メチルフェニルシラン)(重量平均分子量180
00)1重量部をトルエン9重量部に溶解させて塗布液
を調製した。この塗布液を無アルカリガラス基板(N
o.1737;コーニング製)上にスピンコートし、空
気中100℃で1時間乾燥させて膜厚300nmの透明
な薄膜を得た。
Example 1 Poly (methylphenylsilane) (weight average molecular weight: 180
00) 1 part by weight was dissolved in 9 parts by weight of toluene to prepare a coating solution. This coating solution is applied to a non-alkali glass substrate (N
o. 1737; manufactured by Corning) and dried in air at 100 ° C. for 1 hour to obtain a transparent thin film having a thickness of 300 nm.

【0068】得られた薄膜について、光干渉式膜厚計に
て屈折率を測定した。また、水の接触角を測定すること
により、撥水性の評価を行った。結果を表1に示す。
The refractive index of the obtained thin film was measured by a light interference type film thickness meter. The water repellency was evaluated by measuring the contact angle of water. Table 1 shows the results.

【0069】実施例2 ポリ(メチルフェニルシラン)に代えて末端に水酸基を
有するポリ(フェニルシリン)(重量平均分子量170
0)を用いる以外は実施例1と同様にして薄膜を作製、
評価した。結果を表1に示す。
Example 2 Instead of poly (methylphenylsilane), a hydroxyl-terminated poly (phenylsilin) (weight average molecular weight 170
A thin film was prepared in the same manner as in Example 1 except that 0) was used.
evaluated. Table 1 shows the results.

【0070】実施例3 末端に水酸基を有するポリ(フェニルシリン)(重量平
均分子量1700)1重量部およびクレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂(ECN1299;旭チバ製)1重量
部をエチルセロソルブアセテート(エチレングリコール
モノエチルエーテルアセテート)12重量部中に溶解さ
せ、塗布液Aを調製した。この塗布液を無アルカリガラ
ス基板(No.1737;コーニング製)上にスピンコ
ートし、空気中80℃で1時間加熱し、次いで45分間
で200℃まで昇温(昇温速度約2.7℃/分)した
後、200℃でさらに1時間加熱処理することにより、
膜厚400nmの透明な薄膜を得た。
Example 3 1 part by weight of a poly (phenylsiline) having a terminal hydroxyl group (weight average molecular weight: 1700) and 1 part by weight of a cresol novolak type epoxy resin (ECN1299; manufactured by Asahi Ciba) were mixed with ethyl cellosolve acetate (ethylene glycol monoethyl). The solution was dissolved in 12 parts by weight of ether acetate to prepare a coating solution A. This coating solution is spin-coated on a non-alkali glass substrate (No. 1737; manufactured by Corning), heated in air at 80 ° C. for 1 hour, and then heated to 200 ° C. in 45 minutes (heating rate about 2.7 ° C.). / Min), and then heat-treated at 200 ° C. for another 1 hour.
A transparent thin film having a thickness of 400 nm was obtained.

【0071】得られた薄膜について、光干渉式膜厚計に
て屈折率を測定した。また、水の接触角を測定すること
により、撥水性の評価を行った。結果を表1に示す。
The refractive index of the obtained thin film was measured by a light interference type film thickness meter. The water repellency was evaluated by measuring the contact angle of water. Table 1 shows the results.

【0072】実施例4 末端に水酸基を有するポリ(フェニルシリン)(重量平
均分子量1700)1重量部、紫外線硬化型エポキシア
クリレート系塗料(ユニディックV−5502;大日本
インキ化学工業(株)製)1重量部および光重合開始剤
(イルガキュア907;チバ・スペシャルティ・ケミカ
ルズ(株)製)0.1重量部を、エチルセロソルブ(エチ
レングリコールモノエチルエーテル)12重量部中に溶
解させ、塗布液を調製した。この塗布液を無アルカリガ
ラス基板(No.1737;コーニング製)上にスピン
コートし、室温で30分乾燥させた後、超高圧水銀ラン
プにより1J/cm2の光を照射して硬化させることに
より、膜厚400nmの透明な薄膜を得た。
Example 4 1 part by weight of hydroxyl-terminated poly (phenylsilin) (weight average molecular weight 1700), an ultraviolet-curable epoxy acrylate paint (Unidick V-5502; manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) One part by weight and 0.1 part by weight of a photopolymerization initiator (Irgacure 907; manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) are dissolved in 12 parts by weight of ethyl cellosolve (ethylene glycol monoethyl ether) to prepare a coating solution. did. This coating solution was spin-coated on an alkali-free glass substrate (No. 1737; manufactured by Corning), dried at room temperature for 30 minutes, and then cured by irradiating light of 1 J / cm 2 with an ultra-high pressure mercury lamp. Thus, a transparent thin film having a thickness of 400 nm was obtained.

【0073】得られた薄膜について、光干渉式膜厚計に
て屈折率を測定した。また、水の接触角を測定すること
により、撥水性の評価を行った。結果を表1に示す。
The refractive index of the obtained thin film was measured by a light interference type film thickness meter. The water repellency was evaluated by measuring the contact angle of water. Table 1 shows the results.

【0074】実施例5 末端に水酸基を有するポリ(フェニルシリン)(重量平
均分子量1700)1重量部およびビスフェノキシエタ
ノールフルオレンジグリシジルエーテル
Example 5 1 part by weight of poly (phenylsilin) having a hydroxyl group at a terminal (weight average molecular weight 1700) and bisphenoxyethanol full orange glycidyl ether

【0075】[0075]

【化13】 Embedded image

【0076】1重量部(エポキシ当量293)をエチル
セロソルブアセテート(エチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート)12重量部中に溶解させ、塗布液
を調製した。この塗布液を無アルカリガラス基板(N
o.1737;コーニング製)上にスピンコートし、空
気中80℃で1時間加熱し、次いで45分間で200℃
まで昇温(昇温速度約2.7℃/分)した後、200℃
でさらに1時間加熱処理することにより、膜厚400n
mの透明な薄膜を得た。
One part by weight (epoxy equivalent: 293) was dissolved in 12 parts by weight of ethyl cellosolve acetate (ethylene glycol monoethyl ether acetate) to prepare a coating solution. This coating solution is applied to a non-alkali glass substrate (N
o. 1737; Corning) and heated in air at 80 ° C. for 1 hour, then at 200 ° C. for 45 minutes
To 200 ° C after heating up to about 2.7 ° C / min.
And further heat treatment for 1 hour to obtain a film thickness of 400 n
m transparent thin film was obtained.

【0077】得られた薄膜について、光干渉式膜厚計に
て屈折率を測定した。また、水の接触角を測定すること
により、撥水性の評価を行った。結果を表1に示す。
The refractive index of the obtained thin film was measured by a light interference type film thickness meter. The water repellency was evaluated by measuring the contact angle of water. Table 1 shows the results.

【0078】実施例6 ビスフェノキシエタノールフルオレンジグリシジルエー
テル1重量部に代えてビスフェノキシエタノールフルオ
レンジアクリレート
Example 6 Bisphenoxyethanol full orange acrylate was used in place of 1 part by weight of bisphenoxyethanol full orange glycidyl ether.

【0079】[0079]

【化14】 Embedded image

【0080】1重量部を用いる以外は実施例5と同様に
して薄膜を作製、評価した。結果を表1に示す。
A thin film was prepared and evaluated in the same manner as in Example 5 except that 1 part by weight was used. Table 1 shows the results.

【0081】実施例7 ビスフェノキシエタノールフルオレンジグリシジルエー
テル1重量部に代えてビスフェノールフルオレンジグリ
シジルエーテル
Example 7 Bisphenoxyethanol Full Orange Glycidyl Ether Instead of 1 part by weight of bisphenoxyethanol full orange glycidyl ether

【0082】[0082]

【化15】 Embedded image

【0083】1重量部(エポキシ当量243)を用いる
以外は実施例5と同様にして薄膜を作製、評価した。結
果を表1に示す。
A thin film was prepared and evaluated in the same manner as in Example 5 except that 1 part by weight (epoxy equivalent: 243) was used. Table 1 shows the results.

【0084】実施例8 末端に水酸基を有するポリ(フェニルシリン)(重量平
均分子量1700)1重量部に代えて末端に水酸基を有
するフェニルシリン(0.7)メチルフェニルシラン
(0.3)共重合体(重量平均分子量2000)1重量
部を用いる以外は実施例5と同様にして薄膜を作製、評
価した。結果を表1に示す。
Example 8 Hydroxy-terminated phenylsiline (0.7) methylphenylsilane (0.3) copolymer instead of 1 part by weight of poly (phenylsilin) having a hydroxyl group at the terminal (weight average molecular weight 1700) A thin film was prepared and evaluated in the same manner as in Example 5, except that 1 part by weight of the coalesced substance (weight average molecular weight 2000) was used. Table 1 shows the results.

【0085】比較例1 ポリ(メチルフェニルシラン)に代えてポリカーボネー
ト(ユーピロンPCZ−300;三菱ガス化学製)を用
いる以外は実施例1と同様にして薄膜を作製、評価し
た。結果を表1に示す。
Comparative Example 1 A thin film was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that polycarbonate (Iupilon PCZ-300; manufactured by Mitsubishi Gas Chemical) was used instead of poly (methylphenylsilane). Table 1 shows the results.

【0086】比較例2 末端に水酸基を有するポリ(フェニルシリン)(重量平
均分子量1700)1重量部に代えてメチルテトラヒド
ロフタル酸無水物(エピキュアYH300;油化シェル
エポキシ製)1重量部を用いる以外は実施例3と同様に
して薄膜を作製、評価した。結果を表1に示す。
Comparative Example 2 [0086] Except that 1 part by weight of methyltetrahydrophthalic anhydride (Epicure YH300; manufactured by Yuka Shell Epoxy) was used in place of 1 part by weight of poly (phenylsilin) having a hydroxyl group at a terminal (weight average molecular weight 1700). Prepared and evaluated a thin film in the same manner as in Example 3. Table 1 shows the results.

【0087】[0087]

【表1】 [Table 1]

【0088】実施例9 フッ素系低屈折率樹脂としてパーフルオロ(2,2−ジ
メチル−1,3−ジオキソール)とパーフルオロ(ブテ
ニルビニルエーテル)のラジカル共重合化合物0.1重
量部を、パーフルオロオクタン10重量部に溶解させ、
塗布液を調製した。この塗布液を無アルカリガラス基板
(No.1737;コーニング製)上にスピンコート
し、空気中100℃で10分間加熱処理することによ
り、屈折率1.32の透明な薄膜を得た。
Example 9 0.1 part by weight of a radical copolymer of perfluoro (2,2-dimethyl-1,3-dioxole) and perfluoro (butenyl vinyl ether) was used as a fluorine-based low refractive index resin. Dissolved in 10 parts by weight of octane,
A coating solution was prepared. This coating liquid was spin-coated on a non-alkali glass substrate (No. 1737; manufactured by Corning) and heat-treated at 100 ° C. for 10 minutes in air to obtain a transparent thin film having a refractive index of 1.32.

【0089】次いで、この薄膜上に実施例3に記載の塗
布液Aをスピンコートし、空気中80℃で1時間加熱
し、次いで45分間で200℃まで昇温(昇温速度約
2.7℃/分)した後、200℃でさらに1時間加熱処
理することにより、反射防止膜を得た。
Next, the coating liquid A described in Example 3 was spin-coated on the thin film, heated in air at 80 ° C. for 1 hour, and then heated to 200 ° C. in 45 minutes (heating rate about 2.7). (° C./min), and then heat-treated at 200 ° C. for 1 hour to obtain an antireflection film.

【0090】反射防止膜形成前後の片面光線反射率を測
定したところ、反射防止膜を形成する前のガラス基板の
片面光線反射率は4.1%であったが、反射防止膜を形
成した後は0.6%となり、良好な反射防止効果が得ら
れた。
When the single-sided light reflectance before and after the formation of the antireflection film was measured, the single-sided light reflectance of the glass substrate before the formation of the antireflection film was 4.1%. Was 0.6%, and a good antireflection effect was obtained.

【0091】[0091]

【発明の効果】本発明の高屈折率薄膜は、湿式法により
形成でき、高い屈折率を示すとともに、良好な撥水性を
有している。加えて、実用に耐える表面硬度、密着性、
耐候性、耐摩耗性、耐クラック性なども兼ね備えてい
る。
The high refractive index thin film of the present invention can be formed by a wet method, has a high refractive index, and has good water repellency. In addition, surface hardness, adhesion,
It also has weather resistance, abrasion resistance and crack resistance.

【0092】さらに、本発明の反射防止膜は、十分な反
射防止機能を有するとともに防汚性を兼ね備え、生産性
にも優れている。
Further, the antireflection film of the present invention has a sufficient antireflection function, has antifouling properties, and is excellent in productivity.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阪本 浩規 大阪府大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 川崎 真一 大阪府大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪瓦斯株式会社内 Fターム(参考) 2K009 AA02 CC03 CC06 CC33 CC42 DD02 DD03 DD04 DD05 EE05 4F100 AG00A AH01B AK01B AK52B AK53B BA02 BA07 EH46 GB41 JB13B JN18 JN30 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (72) Inventor Hiroki Sakamoto 4-1-2, Hirano-cho, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Osaka Gas Co., Ltd. (72) Inventor Shinichi Kawasaki 4-chome, Hirano-cho, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka No. 1-2 F-term in Osaka Gas Co., Ltd. (reference) 2K009 AA02 CC03 CC06 CC33 CC42 DD02 DD03 DD04 DD05 EE05 4F100 AG00A AH01B AK01B AK52B AK53B BA02 BA07 EH46 GB41 JB13B JN18 JN30

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一般式(1) 【化1】 [式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキル基、アルケ
ニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシ
ル基またはシリル基を示す。Rは、全てが同一でも或い
は2つ以上が異なっていてもよい。x、y、zは、それ
ぞれ0以上の数を示し、x、yおよびzの和は5〜40
0である。]で表されるポリシランからなる高屈折率薄
膜。
1. A compound of the general formula (1) [In the formula, R represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkenyl group, an arylalkyl group, an aryl group, an alkoxyl group or a silyl group. All of R may be the same or two or more may be different. x, y, and z each represent a number of 0 or more, and the sum of x, y, and z is 5 to 40.
0. ] The high refractive index thin film which consists of polysilane represented by these.
【請求項2】 一般式(1) 【化2】 [式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキル基、アルケ
ニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシ
ル基またはシリル基を示す。Rは、全てが同一でも或い
は2つ以上が異なっていてもよい。x、y、zは、それ
ぞれ0以上の数を示し、x、yおよびzの和は5〜40
0である。]で表され、且つ末端に水酸基を有するポリ
シランと、熱硬化性樹脂原料との混合物を加熱処理する
ことにより得られる高屈折率薄膜。
2. A compound of the general formula (1) [In the formula, R represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkenyl group, an arylalkyl group, an aryl group, an alkoxyl group or a silyl group. All of R may be the same or two or more may be different. x, y, and z each represent a number of 0 or more, and the sum of x, y, and z is 5 to 40.
0. And a high-refractive-index thin film obtained by heat-treating a mixture of a polysilane having a hydroxyl group at a terminal and a thermosetting resin raw material.
【請求項3】 熱硬化性樹脂原料がエポキシ化合物であ
る請求項2に記載の高屈折率薄膜。
3. The high refractive index thin film according to claim 2, wherein the thermosetting resin material is an epoxy compound.
【請求項4】 一般式(1) 【化3】 [式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキル基、アルケ
ニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシ
ル基またはシリル基を示す。Rは、全てが同一でも或い
は2つ以上が異なっていてもよい。x、y、zは、それ
ぞれ0以上の数を示し、x、yおよびzの和は5〜40
0である。]で表されるポリシランと、光硬化性樹脂原
料との混合物を露光処理することにより得られる高屈折
率薄膜。
4. A compound of the general formula (1) [In the formula, R represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkenyl group, an arylalkyl group, an aryl group, an alkoxyl group or a silyl group. All of R may be the same or two or more may be different. x, y, and z each represent a number of 0 or more, and the sum of x, y, and z is 5 to 40.
0. ], A high-refractive-index thin film obtained by subjecting a mixture of the polysilane represented by the formula (1) and a photocurable resin raw material to an exposure treatment.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の高屈折
率薄膜を用いてなる反射防止膜。
5. An antireflection film comprising the high refractive index thin film according to claim 1.
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