JP2002118200A - Semiconductor package - Google Patents

Semiconductor package

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JP2002118200A
JP2002118200A JP2000306176A JP2000306176A JP2002118200A JP 2002118200 A JP2002118200 A JP 2002118200A JP 2000306176 A JP2000306176 A JP 2000306176A JP 2000306176 A JP2000306176 A JP 2000306176A JP 2002118200 A JP2002118200 A JP 2002118200A
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test
package
substrate
semiconductor
terminal
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JP2000306176A
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Takaaki Ido
隆明 井戸
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor package capable of executing a test by easily connecting the package to a test pin even after mounting on a board while preventing an increase in size. SOLUTION: The semiconductor package comprises a plurality of first external pads 16 arranged in an array-like state to supply signals to a silicon chip 13. The package further comprises a second external pad 24 to be supplied with a test signal to test the chip 13, and formed on the surface in the same direction as that of the pads 16 and in a height capable of inserting a probe pin for a test different from the pads 16.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は基板実装前・実装後
に動作テストが可能な表面実装型の半導体パッケージに
関するものである。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a surface mount type semiconductor package capable of performing an operation test before and after mounting on a substrate.

【0002】近年、パソコン、携帯電話、携帯情報端末
等の電子機器は薄型および小型化が進められている。そ
れに伴い、これら電子機器に用いられる半導体装置は、
パッケージの小型化、高密度実装化が進められ、BGA
(Ball Grid Array )やLGA(Land Grid Array )などの
ように、半導体チップと略同一サイズの表面実装型パッ
ケージが用いられるようになってきている。
In recent years, electronic devices such as personal computers, mobile phones, and portable information terminals have been reduced in thickness and size. Accordingly, semiconductor devices used in these electronic devices are:
BGA has been reduced in size and packaging density has been increased.
Surface-mounted packages of substantially the same size as semiconductor chips, such as (Ball Grid Array) and LGA (Land Grid Array), have been used.

【0003】一般に、半導体装置においては、製品出荷
前に各種のテストが行われ、そのテストに合格したもの
が製品として出荷される。また、近年の高機能化にとも
ない、半導体装置は、基板実装後にもテストが必要にな
ってきている。このため、表面実装型のパッケージにお
いても、基板実装後にテストを容易に行うことが要求さ
れている。
In general, various tests are performed on a semiconductor device before the product is shipped, and those that pass the test are shipped as a product. In addition, with the advancement of functions in recent years, a test of a semiconductor device is required even after mounting on a substrate. For this reason, even in a surface mount type package, it is required to easily perform a test after mounting on a substrate.

【0004】[0004]

【従来の技術】従来、製品出荷前のテストのためにパッ
ケージにテスト用ピンを設けた半導体装置が各種提案さ
れている。
2. Description of the Related Art Conventionally, various semiconductor devices have been proposed in which test pins are provided on a package for testing before product shipment.

【0005】例えば、特開平9−22929号公報に
は、半導体チップの各端子と1対1に電気的に接続され
た電気特性検査のためのテストパッドを、半導体チップ
がマウントされる基板上に設けたBGAパッケージ半導
体素子が開示されている。このテストパッドは、半田ボ
ール形成面又はその反対側の面に設けられ、半田ボール
に傷・へこみ・欠損などの外観不良を発生させることな
く電気的特性検査の実施を可能にしている。
For example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 9-22929 discloses that a test pad electrically connected to each terminal of a semiconductor chip in a one-to-one manner is provided on a substrate on which the semiconductor chip is mounted. A provided BGA package semiconductor device is disclosed. The test pad is provided on the surface on which the solder ball is formed or on the surface opposite to the surface, and enables an electrical characteristic test to be performed without causing appearance defects such as scratches, dents, and defects in the solder ball.

【0006】しかし、テストパッドを半田ボール形成面
に設けたパッケージは、パッケージを基板に実装した後
にテストパッドにテスト用プローブピンを接触させるこ
とができないため、基板実装後にテストを行うことがで
きない。一方、テストパッドを半田ポール形成面の反対
面に設けたパッケージは、基板実装後のテストを実施す
ることができる。しかし、半導体装置の内部回路の規模
が大きくなると、それに伴い半田ボールの数も多くな
る。このため、半田ボールと1対1にテストパッドを形
成することは、半導体チップの面積を大きくし、それの
小型化を図ることができない。
However, in a package in which test pads are provided on a surface on which solder balls are formed, a test probe pin cannot be brought into contact with the test pads after the package is mounted on the board, so that a test cannot be performed after the board is mounted. On the other hand, a package in which test pads are provided on the surface opposite to the surface on which the solder poles are formed can be subjected to a test after mounting on the board. However, as the size of the internal circuit of the semiconductor device increases, the number of solder balls increases accordingly. For this reason, forming the test pads one-to-one with the solder balls increases the area of the semiconductor chip and cannot reduce its size.

【0007】また、特開平11−354674号公報に
は、基板実装後に半田ボールに対してもプロービングが
可能なパッケージが開示されている。このパッケージ
は、半導体チップ(LSI)が基板上面に実装され、下
面に複数の半田ボールがマトリックス状に配設され、各
半田ボールは基板内部に備えられた複数の通電部を介し
て半導体チップと通電している。そして、基板の少なく
とも一の側面に開口するとともに、基板内部の複数の各
通電部まで連通したホールを備え、このホールに検査用
の接触棒を挿入してその先端を各通電部に接触させる。
これにより、パッケージを基板に実装した後において
も、半田ボールに対し自由にプロービングを行うことが
できる。
Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 11-354677 discloses a package that allows probing of solder balls after mounting on a substrate. In this package, a semiconductor chip (LSI) is mounted on an upper surface of a substrate, a plurality of solder balls are arranged in a matrix on a lower surface, and each solder ball is connected to the semiconductor chip through a plurality of current-carrying portions provided inside the substrate. The power is on. A hole is formed on at least one side of the substrate and communicates with a plurality of current-carrying portions inside the substrate. A contact rod for inspection is inserted into this hole, and the tip thereof is brought into contact with each current-carrying portion.
Thereby, even after the package is mounted on the substrate, the probing can be freely performed on the solder balls.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、基板に接触棒
の挿入可能なホールを形成しなければならないため、多
ピン化に伴ってパッケージが大型化するという問題があ
る。また、ホールに接触棒を挿入して各電通部に接触さ
せるため、目的とする端子への確実な接触が難しいとい
う問題がある。
However, since a hole into which the contact rod can be inserted must be formed in the substrate, there is a problem that the package becomes large with the increase in the number of pins. In addition, since a contact rod is inserted into the hole to make contact with each of the conductive portions, there is a problem that it is difficult to make a reliable contact with a target terminal.

【0009】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は大型化を防ぎながら基板
実装後にも容易にテストピンに接続してテストを実施す
ることができる半導体パッケージを提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor package which can be connected to a test pin even after mounting on a substrate and can be easily tested, while preventing an increase in size. Is to provide.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、半導体基板に信号を供給
するためにアレイ状に配列された複数の第1の端子を備
え、前記第1の端子がパッケージを実装する基板の面に
対向する面に形成された表面実装型の半導体パッケージ
において、前記半導体基板をテストするためのテスト信
号が供給される第2の端子を前記第1の端子と同一方向
の面に、かつ該第1の端子と異なる高さに形成した。従
って、基板実装前のテストにおいて、第1の端子と第2
の端子に同一方向から信号用プローブピンとテスト用プ
ローブピンを接触させることができる。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device having a plurality of first terminals arranged in an array to supply signals to a semiconductor substrate. In a surface-mount type semiconductor package in which a first terminal is formed on a surface facing a surface of a substrate on which the package is mounted, a second terminal to which a test signal for testing the semiconductor substrate is supplied is connected to the first terminal. And a height different from that of the first terminal. Therefore, in the test before mounting on the substrate, the first terminal and the second terminal
The signal probe pins and the test probe pins can be brought into contact with the terminals from the same direction.

【0011】請求項2に記載の発明のように、前記パッ
ケージの周縁部下面とそれより内側の部分の下面とに段
差を設け、前記第1の端子を前記内側部分下面に形成
し、前記第2の端子を前記周縁部下面に形成した。従っ
て、第1及び第2の端子の高さ(段差)を容易に設定で
きる。
According to a second aspect of the present invention, a step is provided between a lower surface of a peripheral portion of the package and a lower surface of a portion inside the package, and the first terminal is formed on a lower surface of the inner portion. Two terminals were formed on the lower surface of the peripheral portion. Therefore, the height (step) of the first and second terminals can be easily set.

【0012】請求項3に記載の発明のように、前記第2
の端子の高さは、基板実装後に前記テスト信号を供給す
るテスト用プローブピンが挿入可能な高さである。従っ
て、基板実装後にテスト用プローブピンを第2の端子に
垂直に容易に接触させることができる。
According to a third aspect of the present invention, the second
The height of the terminal is a height at which a test probe pin for supplying the test signal after mounting on the board can be inserted. Therefore, the test probe pins can be easily brought into vertical contact with the second terminals after the board is mounted.

【0013】請求項4に記載の発明のように、前記第1
の端子は前記半導体基板を固定するパッケージ基板下面
に形成し、前記半導体基板を封止するモールド材を前記
パッケージ基板よりも大きく形成し、該モールド材の下
面から前記第2の端子を露出するように形成した。従っ
て、高さの異なる第1及び第2の端子を容易に形成でき
る。
According to a fourth aspect of the present invention, the first
Are formed on a lower surface of a package substrate for fixing the semiconductor substrate, a molding material for sealing the semiconductor substrate is formed larger than the package substrate, and the second terminal is exposed from a lower surface of the molding material. Formed. Therefore, the first and second terminals having different heights can be easily formed.

【0014】請求項5に記載の発明のように、前記半導
体基板には、内部回路と、該内部回路をテストするテス
ト回路とが形成され、前記第1の端子は前記内部回路に
接続され、前記第2の端子は前記テスト回路に接続され
ている。従って、第1の端子に接続されるテスト用端子
を設ける必要が無く、パッケージの大きさが増大するの
を防ぐ。
According to a fifth aspect of the present invention, an internal circuit and a test circuit for testing the internal circuit are formed on the semiconductor substrate, and the first terminal is connected to the internal circuit. The second terminal is connected to the test circuit. Therefore, there is no need to provide a test terminal connected to the first terminal, thereby preventing an increase in the size of the package.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図1〜図5に従って説明する。図1(a)は本
実施形態の半導体パッケージの断面図、(b)はその底
面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1A is a sectional view of a semiconductor package according to the present embodiment, and FIG. 1B is a bottom view thereof.

【0016】半導体パッケージ10は、略正方形の板状
に形成され、周縁部を中央部よりも薄くすることで、中
央部の下面と周辺部の下面とに段差を設けている。尚、
本実施形態では半導体パッケージ10は、上層部分11
と、それよりも水平形状が小さい下層部分12とからな
る。
The semiconductor package 10 is formed in a substantially square plate shape, and a step is provided between the lower surface of the central portion and the lower surface of the peripheral portion by making the peripheral portion thinner than the central portion. still,
In the present embodiment, the semiconductor package 10 includes an upper layer portion 11.
And a lower layer portion 12 having a smaller horizontal shape.

【0017】上層部分11には、シリコンチップ13と
それを封止するモールド材14とを含み、下層部分12
はパッケージ基板15を含む。パッケージ基板15はそ
の平面形状がシリコンチップ13よりもやや大きく形成
され、モールド材14はその平面形状がパッケージ基板
15よりもやや大きく形成されている。
The upper portion 11 includes a silicon chip 13 and a molding material 14 for sealing the same, and the lower portion 12
Includes a package substrate 15. The package substrate 15 has a planar shape slightly larger than the silicon chip 13, and the molding material 14 has a planar shape slightly larger than the package substrate 15.

【0018】パッケージ基板15は絶縁体からなり、そ
の下面には格子配列された信号ピンとしての複数の第1
の外部パッド16が形成されている。複数の第1の外部
パッド16は、パッケージ基板15の上面に形成された
複数の内部パッド17と複数のスルーホール18を介し
てそれぞれ接続されている。
The package substrate 15 is made of an insulator, and has a plurality of first pins as signal pins arranged in a lattice on the lower surface thereof.
External pads 16 are formed. The plurality of first external pads 16 are connected to a plurality of internal pads 17 formed on the upper surface of the package substrate 15 via a plurality of through holes 18, respectively.

【0019】パッケージ基板15の上面中央には絶縁層
19が複数の内部パッド17を覆う(埋設する)ように
形成され、その絶縁層19の上にはシリコンチップ13
がボンディングペースト20によって固着されている。
An insulating layer 19 is formed at the center of the upper surface of the package substrate 15 so as to cover (embed) the plurality of internal pads 17, and a silicon chip 13 is formed on the insulating layer 19.
Are fixed by the bonding paste 20.

【0020】また、パッケージ基板15の上面にはステ
ージ21が設けられている。ステージ21はパッケージ
基板15の周縁に沿って配列され、その数は第1の外部
パッド16の数よりも多い。
A stage 21 is provided on the upper surface of the package substrate 15. The stages 21 are arranged along the periphery of the package substrate 15, and the number thereof is larger than the number of the first external pads 16.

【0021】各ステージ21はそれぞれボンディングワ
イヤ22を介してシリコンチップ13の上面に形成され
たボンディングパッド23に接続されている。ボンディ
ングパッド23はチップ13の周辺部に配列され、チッ
プ13の上側に作り込まれた内部回路31及びテスト回
路32(図3参照)に接続されている。
Each stage 21 is connected to a bonding pad 23 formed on the upper surface of the silicon chip 13 via a bonding wire 22. The bonding pads 23 are arranged on the periphery of the chip 13 and are connected to an internal circuit 31 and a test circuit 32 (see FIG. 3) built on the upper side of the chip 13.

【0022】ステージ21のうちの複数は、パッケージ
基板15の上面に形成された図示しないパターンを介し
て内部パッド17に接続されている。このようにして、
シリコンチップ13に作り込まれた内部回路は、ボンデ
ィングワイヤ22、ステージ21、内部パッド17、ス
ルーホール18を介して第1の外部パッド16に電気的
に接続される。
A plurality of stages 21 are connected to internal pads 17 via a pattern (not shown) formed on the upper surface of package substrate 15. In this way,
The internal circuit formed in the silicon chip 13 is electrically connected to the first external pad 16 via the bonding wire 22, the stage 21, the internal pad 17, and the through hole 18.

【0023】内部パッド17に接続されていないステー
ジ21のうちのいくつか(本実施形態では8個であり、
テスト回路に接続されたステージ)には、テスト用ピン
としての第2の外部パッド24が接続されている。各第
2の外部パッド24は、所定位置に先端部分下面が露出
するようにモールド材14に埋設されている。
Some of the stages 21 not connected to the internal pads 17 (eight in this embodiment,
A second external pad 24 as a test pin is connected to the stage connected to the test circuit). Each of the second external pads 24 is embedded in the molding material 14 such that the lower surface of the tip portion is exposed at a predetermined position.

【0024】従って、半導体パッケージ10は、シリコ
ンチップ13の内部回路31に接続された第1の外部パ
ッド16と、同チップ13のテスト回路32に接続され
た第2の外部パッド24を持ち、それら第1及び第2の
外部パッド16,24の高さは異なっている。
Therefore, the semiconductor package 10 has the first external pad 16 connected to the internal circuit 31 of the silicon chip 13 and the second external pad 24 connected to the test circuit 32 of the chip 13. The heights of the first and second external pads 16 and 24 are different.

【0025】次に、上記のように構成された半導体パッ
ケージ10の実装を説明する。図2に示すように、基板
41の実装面には複数の第1の外部パッド16と対応す
る図示しない複数のランドが形成され、そのランド上に
は所定量の半田ペースト42が供給される。そして、半
導体パッケージ10を基板41上に載置した後、リフロ
ーすることで半田ペースト42を溶融してランドに第1
の外部パッド16半田付けする。
Next, mounting of the semiconductor package 10 configured as described above will be described. As shown in FIG. 2, a plurality of lands (not shown) corresponding to the plurality of first external pads 16 are formed on the mounting surface of the substrate 41, and a predetermined amount of the solder paste 42 is supplied on the lands. Then, after mounting the semiconductor package 10 on the substrate 41, the solder paste 42 is melted by reflow, and the first land is formed on the land.
The external pads 16 are soldered.

【0026】次に、半導体パッケージ10の動作試験、
図3〜図5に従って説明する。図3は、半導体パッケー
ジ10のテスト時における接続を示すブロック図であ
る。
Next, an operation test of the semiconductor package 10 will be described.
This will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a block diagram showing connections at the time of testing the semiconductor package 10.

【0027】出荷前などの基板実装前のテストにおい
て、図3(a)に示すように、半導体パッケージ10の
第1及び第2の外部パッド16,24は、第1の検査装
置51に接続される。
In a test before board mounting such as before shipping, as shown in FIG. 3A, the first and second external pads 16 and 24 of the semiconductor package 10 are connected to a first inspection device 51. You.

【0028】第1の検査装置51は、図4に示すテスト
ヘッド(測定用ソケット)52を備える。テストヘッド
52は、ソケット53と、それに立設された複数の信号
ピン用の第1のプローブピン54及びテストピン用の第
2のプローブピン55から構成される。第1のプローブ
ピン54は、アレイ状に配列され、第1の外部パッド1
6に接触する。第2のプローブピン55は第1のプロー
ブピン54に比べて半導体パッケージ10の第1及び第
2の外部パッド16,24の段差の分だけ長く形成さ
れ、第2の外部パッド24に接触する。即ち、第1及び
第2のプローブピン54,55の長さを変えることで、
それらが第1及び第2の外部パッド16,24と同時に
接触するようにしている。
The first inspection device 51 has a test head (measurement socket) 52 shown in FIG. The test head 52 includes a socket 53, a first probe pin 54 for a plurality of signal pins, and a second probe pin 55 for a test pin. The first probe pins 54 are arranged in an array, and the first external pads 1
Touch 6. The second probe pins 55 are formed longer than the first probe pins 54 by the steps of the first and second external pads 16 and 24 of the semiconductor package 10, and come into contact with the second external pads 24. That is, by changing the length of the first and second probe pins 54 and 55,
They are in contact with the first and second external pads 16 and 24 at the same time.

【0029】検査装置51は、第1及び第2の外部パッ
ド16,24を介して内部回路31及びテスト回路32
にテスト信号を供給し、内部回路31及びテスト回路3
2から受ける信号に基づいて半導体パッケージ10の良
否を判断する。
The inspection device 51 includes an internal circuit 31 and a test circuit 32 through the first and second external pads 16 and 24.
To the internal circuit 31 and the test circuit 3
The quality of the semiconductor package 10 is determined based on the signal received from the semiconductor package 10.

【0030】このように、信号を供給する第1及び第2
の外部パッド16,24を半導体パッケージ10の同一
方向に設けたので、第1の外部パッド16に接続する第
1のプローブピン54と、第2の外部パッド24に接続
する第2のプローブピン55を、同一方向から接触させ
ることができ、1つのテストヘッド52を設ければよ
く、検査装置51の構成を単純にし、検査コストを低減
することができる。これは、テスト信号を供給する第2
の外部パッド24がパッケージ10の側面又は上面に形
成されていると、それらに第2のプローブピンを接続す
るために第1のプローブピン54を備えたテストヘッド
とは別にテストヘッドが必要となる、又は複雑な形状の
テストヘッド(測定用ソケット)が必要となり、これら
は検査コストを上昇させるからである。
As described above, the first and second signals for supplying signals are provided.
Since the external pads 16 and 24 are provided in the same direction of the semiconductor package 10, the first probe pins 54 connected to the first external pads 16 and the second probe pins 55 connected to the second external pads 24 are provided. Can be contacted from the same direction, and only one test head 52 needs to be provided, so that the configuration of the inspection device 51 can be simplified and the inspection cost can be reduced. This is the second
When the external pads 24 are formed on the side surface or the upper surface of the package 10, a test head is required separately from the test head having the first probe pins 54 to connect the second probe pins to them. Or, a test head (measurement socket) having a complicated shape is required, which increases the inspection cost.

【0031】尚、テスト用ピンとしての第2の外部パッ
ド24が省略された通常の半導体パッケージに対して、
図4のテストソケットを用いて内部回路31のテストを
行うことができる。これは、第1の外部パッド16の配
列が変化しないためであり、検査コストを低減する。従
来の通常のパッケージの場合、テスト用パッドを省略す
ると内部回路に信号を供給するための信号ピンの配列が
変更されたり、パッケージの外形寸法が変更されて(小
さくなって)信号ピンの配置配列が変更される。このこ
とは、テスト用ピンを備えたパッケージのテストを行う
ためのテストヘッド(測定用ソケット)とは形状の異な
るテストヘッド(測定用ソケット)を必要とし、検査コ
ストを上昇させる。
Incidentally, with respect to a normal semiconductor package in which the second external pad 24 as a test pin is omitted,
The test of the internal circuit 31 can be performed using the test socket of FIG. This is because the arrangement of the first external pads 16 does not change, and the inspection cost is reduced. In the case of a conventional normal package, if the test pads are omitted, the arrangement of signal pins for supplying signals to the internal circuit is changed, or the outer dimensions of the package are changed (reduced), and the arrangement of signal pins is reduced. Is changed. This requires a test head (measurement socket) having a different shape from that of a test head (measurement socket) for testing a package having test pins, and increases the inspection cost.

【0032】基板実装後のテストにおいて、図3(b)
に示すように、半導体パッケージ10の第1及び第2の
外部パッド16,24は、第2の検査装置56に接続さ
れる。第2の検査装置56は、図5に示すテストヘッド
57を備える。テストヘッド57は、ソケット58と、
それに垂設された複数のテストピン用のプローブピン5
9から構成される。プローブピン59は略釣り針状に形
成され、その先端が半導体パッケージ10の上層部分1
1と基板41との間の隙間に挿入可能に形成されてい
る。そして、複数のプローブピン59は、第2の外部パ
ッド24に接触されるように配列されている。このテス
トヘッド57は、例えばバネ等によって垂直上方向に付
勢され、プローブピン59が第2の外部パッド24に所
定の圧力にて接触するように構成されている。これによ
り、第2の外部パッド24に対してプローブピン59が
確実に接触される。
In the test after mounting on the board, FIG.
1, the first and second external pads 16 and 24 of the semiconductor package 10 are connected to a second inspection device 56. The second inspection device 56 includes a test head 57 shown in FIG. The test head 57 includes a socket 58,
Probe pins 5 for a plurality of test pins suspended therefrom
9 is comprised. The probe pin 59 is formed in a substantially fishhook shape, and the tip of the probe pin 59 is in the upper layer portion 1 of the semiconductor package 10.
It is formed so as to be able to be inserted into the gap between 1 and the substrate 41. The plurality of probe pins 59 are arranged so as to be in contact with the second external pad 24. The test head 57 is configured to be urged vertically upward by, for example, a spring or the like, so that the probe pin 59 contacts the second external pad 24 with a predetermined pressure. As a result, the probe pins 59 are reliably brought into contact with the second external pads 24.

【0033】第2の検査装置56は、第2の外部パッド
16,24を介してテスト回路32にテスト信号を供給
し、テスト回路32から受ける信号に基づいて内部回路
31の良否を判断する。
The second inspection device 56 supplies a test signal to the test circuit 32 via the second external pads 16 and 24, and judges the quality of the internal circuit 31 based on the signal received from the test circuit 32.

【0034】尚、図1のシリコンチップ13に搭載する
テスト回路32を、第1及び第2の検査装置51,56
から受けるテストモード信号に応答して内部回路31を
自己診断する信号を生成する、所謂ビルトインセルフテ
ストを実施する回路としてもよい。
The test circuit 32 mounted on the silicon chip 13 of FIG. 1 is connected to the first and second inspection devices 51 and 56.
A circuit for performing a so-called built-in self-test that generates a signal for performing a self-diagnosis of the internal circuit 31 in response to a test mode signal received from the controller may be used.

【0035】以上記述したように、本実施の形態によれ
ば、以下の効果を奏する。 (1)シリコンチップ13に信号を供給するためにアレ
イ状に配列された複数の第1の外部パッド16を備え、
シリコンチップ13をテストするためのテスト信号が供
給される第2の外部パッド24を第1の外部パッド16
と同一方向の面に、かつ該第1の外部パッド16と異な
る高さに形成した。その結果、基板実装前のテストにお
いて、第1の外部パッド16と第2の外部パッド24に
同一方向から信号用プローブピンとテスト用プローブピ
ンを接触させることができる。従って、テスト用ヘッド
52の構成が簡単になり、検査コストを低減することが
できる。
As described above, the present embodiment has the following advantages. (1) a plurality of first external pads 16 arranged in an array to supply signals to the silicon chip 13;
The second external pad 24 to which a test signal for testing the silicon chip 13 is supplied is connected to the first external pad 16
And at a height different from that of the first external pad 16. As a result, in the test before mounting on the board, the signal probe pin and the test probe pin can be brought into contact with the first external pad 16 and the second external pad 24 from the same direction. Therefore, the configuration of the test head 52 is simplified, and the inspection cost can be reduced.

【0036】(2)半導体パッケージ10の周縁部下面
とそれより内側の部分の下面とに段差を設け、第1の外
部パッド16を内側部分下面に形成し、第2の外部パッ
ド24を周縁部下面に形成した。その結果、段差によっ
て第1及び第2の外部パッド16,24の高さ(段差)
を容易に設定することができる。
(2) A step is provided between the lower surface of the peripheral portion of the semiconductor package 10 and the lower surface of a portion inside the semiconductor package 10, the first external pad 16 is formed on the lower surface of the inner portion, and the second external pad 24 is connected to the peripheral portion. Formed on the lower surface. As a result, the height (step) of the first and second external pads 16 and 24 due to the step
Can be easily set.

【0037】(3)第2の外部パッド24の高さは、基
板実装後にテスト信号を供給するテスト用プローブピン
59が挿入可能な高さである。その結果、基板実装後に
テスト用プローブピン59を第2の外部パッド24に垂
直に容易に接触させることができる。
(3) The height of the second external pad 24 is such that a test probe pin 59 for supplying a test signal after mounting on the board can be inserted. As a result, the test probe pins 59 can be easily vertically and easily contacted with the second external pads 24 after the board is mounted.

【0038】(4)第1の外部パッド16はシリコンチ
ップ13を固定するパッケージ基板15下面に形成し、
シリコンチップ13を封止するモールド材14をパッケ
ージ基板15よりも大きく形成し、モールド材14の下
面から第2の外部パッド24を露出するように形成し
た。その結果、高さの異なる第1及び第2の外部パッド
16,24を容易に形成できる。
(4) The first external pads 16 are formed on the lower surface of the package substrate 15 on which the silicon chip 13 is fixed.
The molding material 14 for sealing the silicon chip 13 was formed larger than the package substrate 15, and was formed such that the second external pad 24 was exposed from the lower surface of the molding material 14. As a result, the first and second external pads 16 and 24 having different heights can be easily formed.

【0039】(5)シリコンチップ13には内部回路3
1と、その内部回路31をテストするテスト回路32と
が作り込まれていて、第1の外部パッド16が内部回路
31に接続され、第2の外部パッド24がテスト回路3
2に接続されている。その結果、第1の外部パッド16
に接続されるテスト用外部パッドを設ける必要が無く、
半導体パッケージ10の大きさが増大するのを防ぐこと
ができる。
(5) The silicon chip 13 has an internal circuit 3
1 and a test circuit 32 for testing the internal circuit 31 thereof, the first external pad 16 is connected to the internal circuit 31, and the second external pad 24 is connected to the test circuit 3
2 are connected. As a result, the first external pad 16
There is no need to provide external test pads connected to
An increase in the size of the semiconductor package 10 can be prevented.

【0040】(6)半導体パッケージ10の下面にテス
ト用の第2の外部パッド24を設けたので、基板実装後
に第2の外部パッド24に異物などが付着するのを防止
することができる。
(6) Since the second external pads 24 for testing are provided on the lower surface of the semiconductor package 10, foreign substances and the like can be prevented from adhering to the second external pads 24 after mounting on the substrate.

【0041】尚、前記実施形態は、以下の態様に変更し
てもよい。 ・上記実施形態では、シリコンチップ13を半導体集積
回路が形成されている面を上にした所謂フェースアップ
にて搭載したが、半導体集積回路が形成されている面を
パッケージ基板15側にした所謂フェースダウンにて搭
載した半導体装置に具体化しても良い。この場合、パッ
ド23がステージ21にバンプ等を介して接続されるた
め、パッケージ基板15のサイズ、ひいては半導体パッ
ケージ10のサイズをより小さくすることができる。
The above embodiment may be modified as follows. In the above embodiment, the silicon chip 13 is mounted face-up with the surface on which the semiconductor integrated circuit is formed facing up, but the so-called face-up where the surface on which the semiconductor integrated circuit is formed is positioned on the package substrate 15 side. The present invention may be embodied in a semiconductor device mounted down. In this case, since the pad 23 is connected to the stage 21 via a bump or the like, the size of the package substrate 15 and thus the size of the semiconductor package 10 can be further reduced.

【0042】・上記実施形態では、半導体パッケージ1
0をLGAパッケージに具体化したが、図6に示すよう
に、基板と接続するボール61をアレイ状に配列したB
GAのパッケージ60などように、他の表面実装パッケ
ージに具体化して実施してもよい。
In the above embodiment, the semiconductor package 1
0 is embodied in an LGA package, but as shown in FIG. 6, B in which balls 61 connected to the substrate are arranged in an array.
The present invention may be embodied in another surface mount package such as a GA package 60 and the like.

【0043】・上記実施形態において、パッケージ基板
15にプリント配線板やビルドアップ配線板などの高密
度配線板などを用いて実施してもよく、より多ピンの半
導体パッケージに対応することができる。
In the above embodiment, a high-density wiring board such as a printed wiring board or a build-up wiring board may be used for the package substrate 15, so that a semiconductor package having more pins can be handled.

【0044】・上記実施形態において、上層部分11の
平面形状はテスト用の第2の外部パッド24を設けた場
所に応じて変更しても良く、例えば第2の外部パッド2
4を設けていない辺をパッケージ基板15の辺と略同一
に形成しても良い。また、上層部分11の形状を例えば
断面台形形状などのように適宜変更して実施してもよ
い。
In the above embodiment, the planar shape of the upper layer portion 11 may be changed according to the place where the second external pad 24 for testing is provided.
The side where no 4 is provided may be formed substantially the same as the side of the package substrate 15. Further, the shape of the upper layer portion 11 may be changed as appropriate, for example, to a trapezoidal cross section, or the like.

【0045】・上記実施形態において、テスト用の信号
を供給する第2の外部パッド24の数を、少なくとも1
つの任意の数に設定しても良い。 ・上記実施形態において、信号ピンとしての第1の外部
パッド16の配列を、千鳥格子などの任意の配列に変更
して実施してもよい。また、図1(b)において第1の
外部パッド16の形状を四角形にて示したが、円形、8
角形などの任意の形状に変更して実施してもよい。同様
に、第2の外部パッド24の形状を任意に変更して実施
してもよい。
In the above embodiment, the number of the second external pads 24 for supplying a test signal is set to at least one.
Any number may be set. In the above embodiment, the arrangement of the first external pads 16 as signal pins may be changed to an arbitrary arrangement such as a houndstooth check. Also, in FIG. 1B, the shape of the first external pad 16 is shown as a square,
The shape may be changed to an arbitrary shape such as a square shape. Similarly, the shape of the second external pad 24 may be arbitrarily changed.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
大型化を防ぎながら基板実装後にも容易にテストピンに
接続してテストを実施することが可能な半導体パッケー
ジを提供することができる。
As described in detail above, according to the present invention,
It is possible to provide a semiconductor package that can be easily connected to a test pin and tested after mounting on a substrate while preventing an increase in size.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 一実施形態の半導体パッケージを示す概略図
である。
FIG. 1 is a schematic view illustrating a semiconductor package according to an embodiment.

【図2】 基板実装の説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of mounting on a substrate.

【図3】 検査時の接続を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing connections at the time of inspection.

【図4】 基板実装前の検査の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of an inspection before mounting on a substrate.

【図5】 基板実装後の検査の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of an inspection after mounting on a substrate.

【図6】 別の半導体パッケージの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of another semiconductor package.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 半導体パッケージ 13 半導体基板 14 モールド材 15 パッケージ基板 16 第1の端子 24 第2の端子 31 内部回路 32 テスト回路 55 テスト用プローブピン Reference Signs List 10 semiconductor package 13 semiconductor substrate 14 molding material 15 package substrate 16 first terminal 24 second terminal 31 internal circuit 32 test circuit 55 test probe pin

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G032 AA00 AK01 AK02 AL00 4M109 AA01 BA04 CA21 DA01 DA03 DA10 DB15 DB16  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G032 AA00 AK01 AK02 AL00 4M109 AA01 BA04 CA21 DA01 DA03 DA10 DB15 DB16

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体基板に信号を供給するためにアレ
イ状に配列された複数の第1の端子を備え、前記第1の
端子がパッケージを実装する基板の面に対向する面に形
成された表面実装型の半導体パッケージにおいて、 前記半導体基板をテストするためのテスト信号が供給さ
れる第2の端子を前記第1の端子と同一方向の面に、か
つ該第1の端子と異なる高さに形成したことを特徴とす
る半導体パッケージ。
1. A semiconductor device comprising: a plurality of first terminals arranged in an array to supply signals to a semiconductor substrate; wherein the first terminals are formed on a surface facing a surface of a substrate on which a package is mounted; In the surface-mount type semiconductor package, a second terminal to which a test signal for testing the semiconductor substrate is supplied may be on a surface in the same direction as the first terminal and at a different height from the first terminal. A semiconductor package characterized by being formed.
【請求項2】 前記パッケージの周縁部下面とそれより
内側の部分の下面とに段差を設け、前記第1の端子を前
記内側部分下面に形成し、前記第2の端子を前記周縁部
下面に形成したことを特徴とする請求項1記載の半導体
パッケージ。
2. A step is provided between a lower surface of a peripheral portion of the package and a lower surface of a portion inside the package, the first terminal is formed on a lower surface of the inner portion, and the second terminal is formed on a lower surface of the peripheral portion. The semiconductor package according to claim 1, wherein the semiconductor package is formed.
【請求項3】 前記第2の端子の高さは、基板実装後に
前記テスト信号を供給するテスト用プローブピンが挿入
可能な高さであることを特徴とする請求項1又は2記載
の半導体パッケージ。
3. The semiconductor package according to claim 1, wherein the height of the second terminal is a height at which a test probe pin for supplying the test signal after mounting on a substrate can be inserted. .
【請求項4】 前記第1の端子は前記半導体基板を固定
するパッケージ基板下面に形成し、前記半導体基板を封
止するモールド材を前記パッケージ基板よりも大きく形
成し、該モールド材の下面から前記第2の端子を露出す
るように形成したことを特徴とする請求項1〜3のうち
の何れか一項記載の半導体パッケージ。
4. The semiconductor device according to claim 1, wherein the first terminal is formed on a lower surface of the package substrate for fixing the semiconductor substrate, and a molding material for sealing the semiconductor substrate is formed larger than the package substrate. The semiconductor package according to claim 1, wherein the second terminal is formed so as to expose the second terminal.
【請求項5】 前記半導体基板には、内部回路と、該内
部回路をテストするテスト回路とが形成され、前記第1
の端子は前記内部回路に接続され、前記第2の端子は前
記テスト回路に接続されていることを特徴とする請求項
1〜4のうちの何れか一項記載の半導体パッケージ。
5. The semiconductor substrate according to claim 1, wherein an internal circuit and a test circuit for testing the internal circuit are formed on the semiconductor substrate.
5. The semiconductor package according to claim 1, wherein the terminal is connected to the internal circuit, and the second terminal is connected to the test circuit. 6.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017510075A (en) * 2014-03-20 2017-04-06 クアルコム,インコーポレイテッド Integration of face-up substrates with solder ball connection in semiconductor packages

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