JP2002110074A - Electron beam exciting phosphor display device - Google Patents

Electron beam exciting phosphor display device

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JP2002110074A
JP2002110074A JP2000300434A JP2000300434A JP2002110074A JP 2002110074 A JP2002110074 A JP 2002110074A JP 2000300434 A JP2000300434 A JP 2000300434A JP 2000300434 A JP2000300434 A JP 2000300434A JP 2002110074 A JP2002110074 A JP 2002110074A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent an electron source from being destroyed by electrostatics and reduce factors for causing defective pixels. SOLUTION: In an electron beam exciting phosphor display comprising a rear plate 11 provided with multiple scanning line wiring 16 and multiple modulation line wiring 17, which are so arranged that the former and the latter cross each other at right angles, and electron emission elements 12 for display arranged on each intersection of the wiring 16, 17, and a face plate which is so arranged that it faces the rear plate 11 with a certain distance therebetween and is provided with a phosphor layer and an anode electrode on the side facing the rear plate 11, common wiring 15 is provided outside the display area on the rear plate 11, and electron emission elements 13, 14 for electric discharge are provided among the common wiring 15, the scanning line wiring 16 and the modulation line wiring 17.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子の電界放出に
よる電子線励起蛍光体表示装置に係わり、特に静電破壊
防止機能を設けた電子線励起蛍光体表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electron-beam-excited phosphor display device using electron-field emission, and more particularly, to an electron-beam-excited phosphor display device having a function of preventing electrostatic breakdown.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、電子線で蛍光体を励起する表
示方式は、応答速度が速く広い視角特性を有し、かつ発
光型表示装置であるため、高画質の映像装置としてブラ
ウン管によるテレビジョン装置として広く用いられてき
た。しかし、ブラウン管は画面サイズ大きくなるに従
い、重量,奥行が大きくなりこれまでに40インチサイ
ズが限界であり、家庭用としては30インチサイズ以下
が一般的であった。一方、映像信号はNTSCからハイ
ビジョンヘと移行しつつあり、高画質化に伴い大画面の
表示装置が望まれている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a display system in which a phosphor is excited by an electron beam has a high response speed, has a wide viewing angle characteristic, and is a light-emitting display device. It has been widely used as a device. However, as the screen size of the cathode ray tube increases, the weight and the depth increase, and the size of the cathode ray tube has been limited to 40 inches so far, and the size of 30 inches or less has been generally used for home use. On the other hand, video signals are transitioning from NTSC to Hi-Vision, and a display device with a large screen is desired with an increase in image quality.

【0003】高画質映像を大画面で提供できる表示装置
として、薄型のプラズマディスプレイパネル(PDP)
が実用化されてきた。このPDPは、印刷方式で配線や
画素を形成できるためローコストで大画面パネルが実現
できるものの、発光効率が低く消費電力が大きい、高耐
圧の駆動ICが必要でドライバICのコストが高くなる
等の欠点を有する。
A thin plasma display panel (PDP) has been proposed as a display device capable of providing high-quality images on a large screen.
Has been put to practical use. The PDP can form a large screen panel at low cost because wiring and pixels can be formed by a printing method, but it has low luminous efficiency, large power consumption, requires a driving IC with a high withstand voltage, and increases the cost of a driver IC. Has disadvantages.

【0004】そこで最近、大画面薄型ディスプレイとし
て、平面型電子源を用いた電子線励起蛍光体表示装置が
注目されている(E.Yamaguchi,et.al.,“A 1O-in. SCE-
emitter display”,Journal of SID, Vol.5, p345,199
7)。この電子線励起蛍光体表示装置は、平面型電子源
としての電子放出素子アレイが印刷技術を用いて形成で
きること、電子による蛍光体励起発光のためブラウン管
と同じ発光原理を用いていること、さらに平面型電子源
は十数Vの電圧で駆動できるため耐圧の低い駆動ICを
用いることができる、などのメリットを有する。
[0004] Recently, an electron-beam-excited phosphor display device using a flat-type electron source has attracted attention as a large-screen thin display (E. Yamaguchi, et.al., “A1O-in. SCE-
emitter display ”, Journal of SID, Vol. 5, p345, 199
7). This electron-beam-excited phosphor display device is based on the fact that an electron-emitting device array as a flat-type electron source can be formed using printing technology, and that the same emission principle as a cathode ray tube is used for phosphor-excited emission by electrons. Since the type electron source can be driven at a voltage of more than ten volts, there are advantages such as the use of a driving IC having a low withstand voltage.

【0005】図10に、従来の平面型電子源を用いた電
子線励起蛍光体表示装置の要部構成を示す。リアプレー
トとなるガラス基板11上に、平面型電子源12がマト
リックス状に配列されている。電子源12は、電極2
1,22間に微粒子膜23を配置して形成され、電極2
1,22間に印加された電圧により駆動される。リアプ
レート11と対向してフェースプレートと呼ばれるガラ
ス基板31上に、画素毎にR,G,Bの発光を行う蛍光
体膜32が塗布されており、その上にはアルミニウムか
らなるアノード電極33が形成されている。両プレート
11,31間は真空状態に保持されており、電子源12
から放出された電子108はアノード電圧により加速さ
れて蛍光体膜32に照射される。そして、この加速電子
のエネルギーにより蛍光体膜32を励起発光させる。
FIG. 10 shows a main structure of a conventional electron beam excited phosphor display device using a flat electron source. On a glass substrate 11 serving as a rear plate, planar electron sources 12 are arranged in a matrix. The electron source 12 includes the electrode 2
An electrode 2 is formed by disposing a fine particle film 23 between
It is driven by the voltage applied between 1 and 22. A phosphor film 32 for emitting R, G, B light is applied to each pixel on a glass substrate 31 called a face plate facing the rear plate 11, and an anode electrode 33 made of aluminum is coated thereon. Is formed. A vacuum is maintained between the plates 11 and 31 and the electron source 12
The electrons 108 emitted from the phosphor film 32 are accelerated by the anode voltage and irradiated on the phosphor film 32. Then, the phosphor film 32 is excited to emit light by the energy of the accelerated electrons.

【0006】発光そのものの原理はブラウン管と同じで
あるが、ブラウン管が電子銃から放出された電子ビーム
を偏向コイルなどによりスキャンさせて画面内を走査さ
せるのに対して、平面型電子源を用いた蛍光体表示装置
では、各画素毎に設けた電子源から放出された電子によ
りそれぞれの画素の蛍光体層を励起発光させる。また、
リア及びフェースプレート間は数mm程度の間隔であ
り、薄型の表示装置であることにブラウン管と大きな違
いがある。
The principle of light emission itself is the same as that of a cathode-ray tube, but a cathode-ray tube scans an electron beam emitted from an electron gun with a deflecting coil or the like to scan the screen, whereas a flat-type electron source is used. In the phosphor display device, the phosphor layer of each pixel is excited and emits light by electrons emitted from an electron source provided for each pixel. Also,
The distance between the rear and the face plate is about several millimeters, and there is a great difference from a cathode ray tube in a thin display device.

【0007】図11は、上記の電子線励起蛍光体表示装
置のリアプレートの構成を平面的に示す図である。ガラ
ス基板11上に、走査線配線16(161,162,16
3,〜)が水平方向に、また変調線配線17(171,1
2,173,〜)が垂直方向に形成されている。走査線
配線16と変調線配線17の各交点に画素が定義され、
電子放出素子となる平面型電子源12が設けられてい
る。なお、図中の破線18で示される位置がリアプレー
トとフェースプレートとを接着する封止領域である。
FIG. 11 is a plan view showing a configuration of a rear plate of the above-mentioned electron beam excited phosphor display device. On the glass substrate 11, the scanning line wiring 16 (16 1 , 16 2 , 16
3, ~) in the horizontal direction, also the modulation line wiring 17 (17 1, 1
7 2 , 17 3 ,...) Are formed in the vertical direction. A pixel is defined at each intersection of the scanning line wiring 16 and the modulation line wiring 17,
A planar electron source 12 serving as an electron-emitting device is provided. A position indicated by a broken line 18 in the figure is a sealing region where the rear plate and the face plate are bonded.

【0008】走査線配線16に順次選択パルスを印加す
ると、選択された走査線配線16に接続された電子源1
2は同時に印加された変調線電圧パルスの電圧に応じて
それぞれ所望の電圧が印加される。変調線電圧パルスの
印加電圧に応じて電子源12から放出される電子の量を
制御できるため、必要な電子量を蛍光体に照射して映像
を表示することができる。
[0008] Upon application of sequential selection pulses to the scanning lines 16, the electron source was connected to the scanning lines 16 which are selected 1
2, a desired voltage is applied according to the voltage of the modulation line voltage pulse applied simultaneously. Since the amount of electrons emitted from the electron source 12 can be controlled in accordance with the applied voltage of the modulation line voltage pulse, an image can be displayed by irradiating the required amount of electrons to the phosphor.

【0009】このような平面型電子源を用いた電子線励
起蛍光体表示装置は、発光効率の高い電子線による蛍光
体励起発光を用いるため、大画面であっても消費電力が
少ない。また、蛍光体の発光は走査線配線が選択された
極短い時間だけであり、液晶表示装置(LCD)やPD
Pのようなホールド型の表示とならないため、動画像表
示においてもごく自然な映像を表示できる。また、LC
Dのように画面輝度の視角依存性はなく、広い視角特性
を有する。さらに、平面型電子源は十数Vで動作するた
め、耐圧の低いドライバICで駆動することができる、
などの特徴がある。
An electron-beam-excited phosphor display device using such a flat-type electron source uses phosphor-excited light emission by an electron beam with high luminous efficiency, and therefore consumes little power even on a large screen. In addition, the phosphor emits light only for a very short period of time when the scanning line wiring is selected.
Since the display is not a hold type display like P, a very natural image can be displayed even in the moving image display. Also, LC
Unlike D, there is no viewing angle dependency of the screen luminance, and it has a wide viewing angle characteristic. Further, since the flat-type electron source operates at more than ten volts, it can be driven by a driver IC having a low withstand voltage.
There are such features.

【0010】電子線励起蛍光体表示装置の電子放出素子
としては上述の平面型電子源の他、図12に示す突起型
電子源がある。ガラス基板11上の電極73上に円錐型
の電子放出エミッタ72が設けられ、これらを覆う層間
絶縁膜75上にゲート電極74が設けられている。ゲー
ト電極74及び層間絶縁膜75にはエミッタ72の頂点
を中心に1μm程度以下の微小な穴があいている。
As the electron emitting element of the electron beam excited phosphor display device, there is a projection type electron source shown in FIG. 12 in addition to the above-mentioned flat type electron source. A conical electron emission emitter 72 is provided on an electrode 73 on the glass substrate 11, and a gate electrode 74 is provided on an interlayer insulating film 75 covering them. The gate electrode 74 and the interlayer insulating film 75 have minute holes of about 1 μm or less centered on the apex of the emitter 72.

【0011】図12の構成において、ゲート電極とエミ
ッタ電極間に電圧を印加すると、エミッタ先端部に電界
集中により極めて大きな電界が誘起され電子が放出され
る。一般的に、電子が放出される電圧はエミッタ先端の
先鋭度(曲率半径)とゲート電極の開口径の微細さに依
存するが、数十Vのゲート電圧で電子を放出させること
ができる。また、この突起型エミッタは薄膜プロセスで
形成されるため、大面積の表示装置には適さないが、電
子線励起蛍光体表示装置であるため、高い画質が実現で
きる。
In the configuration shown in FIG. 12, when a voltage is applied between the gate electrode and the emitter electrode, an extremely large electric field is induced at the tip of the emitter due to electric field concentration, and electrons are emitted. Generally, the voltage at which electrons are emitted depends on the sharpness (curvature radius) of the tip of the emitter and the fineness of the opening diameter of the gate electrode, but electrons can be emitted with a gate voltage of several tens of volts. Further, since the projection type emitter is formed by a thin film process, it is not suitable for a display device having a large area. However, since it is an electron beam excited phosphor display device, high image quality can be realized.

【0012】しかしながら、この種の電子線励起蛍光体
表示装置にあっては、次のような問題があった。即ち、
電子放出素子(電子源)がマトリックス状に設けられた
電子源アレイでは、電子源が形成された工程以降で装置
の製造工程中或いは動作中に発生する静電気の影響で電
子源が破壊し、欠陥画素となる問題があった。電子源が
形成された後の工程としては、電子源アレイの検査工
程、フェースプレートと組み合わせる組立工程、真空排
気する真空セル排気工程、組立後の電気的検査工程、エ
ージング工程、そして駆動ICなどを接続する実装工
程、筐体に組み込む組立工程、表示検査工程などがあ
る。これらいずれの工程でも基板がプラスからなる絶縁
体のため静電気が発生する可能性があり、電子源素子破
壊の問題があった。
However, this kind of electron-beam-excited phosphor display device has the following problems. That is,
In an electron source array in which electron-emitting devices (electron sources) are provided in a matrix, the electron source is destroyed by the influence of static electricity generated during the manufacturing process or operation of the device after the process in which the electron source is formed, resulting in a defect. There was a problem of becoming a pixel. The processes after the electron source is formed include an electron source array inspection process, an assembly process combined with a face plate, a vacuum cell exhaust process for evacuating, an electrical inspection process after assembly, an aging process, and a drive IC. There are a mounting process for connection, an assembly process for assembling into a housing, a display inspection process, and the like. In any of these steps, there is a possibility that static electricity may be generated because the substrate is an insulator made of plus, and there is a problem of destruction of the electron source element.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】このように従来の電子
線励起蛍光体表示装置においては、電子源が形成された
工程以降で装置の製造工程中或いは動作中に発生する静
電気の影響で電子源が破壊し、欠陥画素となる問題があ
った。
As described above, in the conventional electron beam excited phosphor display device, the electron source is affected by the static electricity generated during the manufacturing process or operation of the device after the process of forming the electron source. Was destroyed, resulting in a defective pixel.

【0014】本発明は、上記事情を考慮して成されたも
ので、その目的とするところは、静電気による電子源の
破壊を防止することができ、欠陥画素発生要因を少なく
した電子線励起蛍光体表示装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to prevent electron source destruction due to static electricity, and to reduce the generation of defective pixels by electron beam-excited fluorescence. An object of the present invention is to provide a body display device.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】(構成)上記課題を解決
するために本発明は次のような構成を採用している。
(Structure) In order to solve the above problem, the present invention employs the following structure.

【0016】即ち本発明は、一定の間隔をおいて対向配
置された第1及び第2の基板と、第2の基板との対向面
側の第1の基板上に形成された互いに平行な複数の走査
線配線と、第2の基板との対向面側の第1の基板上に、
前記走査線配線と交差する方向に形成された互いに平行
な複数の変調線配線と、前記走査線配線と前記変調線配
線の各交点で定義される画素部内にそれぞれ形成され、
一方の電極が前記走査線配線に、他方の電極が前記変調
線配線に接続された表示用電子放出素子と、第1の基板
との対向面側の第2の基板上に設けられた蛍光体層及び
アノード電極とを備えた電子線励起蛍光体表示装置にお
いて、前記画素部の集合からなる表示領域の外側に共通
配線を設け、該共通配線と前記走査線配線及び変調線配
線のそれぞれとの間に放電用電子放出素子を接続してな
ることを特徴とする。
That is, according to the present invention, there are provided a first substrate and a second substrate which are opposed to each other at a fixed interval, and a plurality of parallel substrates which are formed on the first substrate on the side opposite to the second substrate. Scanning line wiring and the first substrate on the side facing the second substrate,
A plurality of modulation line wirings parallel to each other formed in a direction intersecting with the scanning line wiring, and formed in a pixel portion defined at each intersection of the scanning line wiring and the modulation line wiring,
A display electron-emitting device in which one electrode is connected to the scanning line wiring and the other electrode is connected to the modulation line wiring; and a phosphor provided on a second substrate on the side facing the first substrate. In the electron-beam-excited phosphor display device including a layer and an anode electrode, a common line is provided outside a display region formed of the pixel unit, and the common line is connected to each of the scanning line line and the modulation line line. A discharge electron-emitting device is connected therebetween.

【0017】ここで、本発明の望ましい実施態様として
は、次のものが挙げられる。 (1) 共通配線は並列に設置され、放電用電子放出素子が
これら並列に配置された共通配線に選択的に接続されて
いること。
Here, preferred embodiments of the present invention include the following. (1) The common wires are installed in parallel, and the discharge electron-emitting devices are selectively connected to the common wires arranged in parallel.

【0018】(2) 表示用及び放電用の各電子放出素子
は、導電性薄膜及びこの薄膜中に形成された電子放出部
から形成されていること。 (3) 表示用電子放出素子は、突起型エミッタ電極とこの
エミッタ電極の突起先端部を中心とした円形状の開口部
を有するゲート電極から構成された基本素子を複数配置
したものであり、放電用電子放出素子は、基本素子を互
いに逆方向に並列接続した2つの基本素子からなる基本
単位の素子を複数配置したものであること。
(2) Each of the display and discharge electron-emitting devices is formed of a conductive thin film and an electron-emitting portion formed in the thin film. (3) The display electron-emitting device is a device in which a plurality of basic devices each including a projecting emitter electrode and a gate electrode having a circular opening centered on the projecting tip of the emitter electrode are arranged. The electron-emitting device for use is a device in which a plurality of elements in a basic unit including two basic elements in which the basic elements are connected in parallel in opposite directions are arranged.

【0019】(4) 放電用電子放出素子を構成する突起型
エミッタ電極の個数は、表示用電子放出素子を構成する
突起型エミッタ電極の個数よりも多いこと。 (5) 放電用電子放出素子の電流駆動能力は、表示用電子
放出素子の電流駆動能力よりも大きいこと。 (6) 放電用電子放出素子の電子放出開始電圧は、表示用
電子放出素子の電子放出開始電圧よりも低いこと。
(4) The number of projection-type emitter electrodes constituting the discharge electron-emitting device should be larger than the number of projection-type emitter electrodes constituting the display electron-emitting device. (5) The current driving capability of the discharge electron-emitting device must be greater than the current driving capability of the display electron-emitting device. (6) The electron emission start voltage of the discharge electron emission element is lower than the electron emission start voltage of the display electron emission element.

【0020】(7) 第1及び第2の基板は、共にガラス基
板であること。 (8) 蛍光体層は画素部と対応して位置合わせされている
こと。 (9) 表示用及び放電用の各電子放出素子は、真空排気さ
れた領域に設けられていること。
(7) Both the first and second substrates are glass substrates. (8) The phosphor layer is aligned with the pixel section. (9) Each of the display and discharge electron-emitting devices must be provided in an evacuated area.

【0021】(作用)本発明者らが静電気破壊の状況を
調査したところ、静電気印加はガラス基板外からの静電
誘導により静電気が走査線配線或いは変調線配線に誘起
されることにより生じ、静電気がこれら配線を伝わって
マトリックス(表示領域)の内部に進行し電気的に弱い
電子放出素子(電子源)が放電破壊することが分かっ
た。平面型電子源及び突起型電子源共に強電界で電子を
放出する動作をする。このときの電流電圧特性は Faw11
er-Nordheim 型の伝導を示し、電流の増加は印加電圧の
増加以上に大きい。このため、電子放出を始めるしきい
値電圧以上の電圧では僅かな電圧の上昇で過大な電流が
流れ、印加電圧が非常に高い場合には発熱により電子源
が破壊することになる。
(Operation) The present inventors have investigated the state of electrostatic destruction, and found that the application of static electricity is caused by the induction of static electricity from the outside of the glass substrate to the scanning line wiring or the modulation line wiring. It has been found that the electron-emitting devices (electron sources) travel through these wirings to the inside of the matrix (display region), and the electrically weak electron-emitting devices (electron sources) are destroyed by discharge. Both the planar electron source and the projection electron source operate to emit electrons in a strong electric field. The current-voltage characteristics at this time are Faw11
It shows er-Nordheim-type conduction, and the increase in current is greater than the increase in applied voltage. For this reason, if the voltage is equal to or higher than the threshold voltage at which electron emission starts, an excessive current flows due to a slight rise in voltage, and when the applied voltage is extremely high, heat is generated to destroy the electron source.

【0022】そこで本発明では、マトリックスの外側に
静電気を放電させるための放電用電子放出素子を設け、
マトリックス配線を伝わって静電気が内部の電子源(表
示用電子放出素子)に印加される前に静電気を放電させ
る構成とし、表示用電子放出素子を静電気から保護す
る。この放電用電子放出素子は表示用電子放出素子と同
じ構成の素子とし、位置的に静電気をいち早く放電させ
る構成とする。
Therefore, in the present invention, a discharge electron-emitting device for discharging static electricity is provided outside the matrix,
The configuration is such that the static electricity is discharged before the static electricity is applied to the internal electron source (display electron-emitting device) through the matrix wiring, thereby protecting the display electron-emitting device from the static electricity. The discharge electron-emitting device has the same configuration as the display electron-emitting device, and is configured to discharge the static electricity as soon as possible.

【0023】また、この放電用電子放出素子のしきい値
電圧を表示用電子放出素子よりも低くすると、静電気に
対する感度が高まるため更に効果的である。さらに、放
電用電子放出素子を表示用電子放出素子と同時に形成す
ることにより、静電気に対する感度を最適にすることが
できる。また、放電用電子放出素子をマトリックス外部
において、全ての走査線配線及び変調線配線に設け、か
つマトリックス外部に設けた共通配線との間に設ける。
さらに、放電用電子放出素子は表示用電子放出素子より
も電子放出部の放出点面積を大きくし、比較的大きな電
荷を流せるようにする。このようにして、表示動作状態
では放電用電子源はしきい値電圧以下の電圧しか印加さ
れないようにし、静電気が印加されたときいち早く放電
を開始できるようにする。
When the threshold voltage of the discharge electron-emitting device is lower than that of the display electron-emitting device, the sensitivity to static electricity is increased, which is more effective. Further, by forming the discharge electron-emitting device at the same time as the display electron-emitting device, the sensitivity to static electricity can be optimized. Further, the discharge electron-emitting devices are provided outside the matrix on all the scanning line wirings and the modulation line wirings, and between the common wiring provided outside the matrix.
Further, the discharge electron-emitting device has a larger emission point area of the electron-emitting portion than the display electron-emitting device, so that a relatively large charge can flow. In this manner, in the display operation state, the discharge electron source is applied with only a voltage lower than the threshold voltage, so that the discharge can be started as soon as static electricity is applied.

【0024】上述した構成によって、電子源の作製工程
中に発生した静電気による破壊を防止することが可能と
なり、高い歩留まりで欠陥画素のない電子線励起型蛍光
体表示装置を実現できる。また、本発明による静電気破
壊防止の構成は工程中のみならず、表示装置としての使
用中においても静電気からの電子源破壊を効果的に防止
することができる。なお、最終的に保護素子が不要な場
合は周辺に設けた放電用電子放出素子のみを選択的に電
気的に開放状態にすることもできる。
With the above-described structure, it is possible to prevent destruction due to static electricity generated during the manufacturing process of the electron source, and to realize an electron-beam-excited phosphor display device with a high yield and no defective pixels. Further, the configuration for preventing electrostatic destruction according to the present invention can effectively prevent electron source destruction from static electricity not only during a process but also during use as a display device. When the protection element is finally unnecessary, only the discharge electron-emitting elements provided in the periphery can be selectively electrically opened.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図示の実施
形態によって説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described below with reference to the illustrated embodiments.

【0026】(第1の実施形態)図1は、本発明の第1
の実施形態に係わる電子線励起蛍光体表示装置のリアプ
レートの構成を平面的に示す図である。
(First Embodiment) FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
It is a figure which shows the structure of the rear plate of the electron beam excitation phosphor display device concerning embodiment 2 in planar view.

【0027】絶縁性基板としてのガラス基板(第1の基
板)11上に、走査線配線16(161,162,1
3,〜)が水平方向に、また変調線配線17(171
172,173,〜)が垂直方向に形成されている。走査
線配線16の本数は1024本、変調線配線17の本数
は1280×3本(×3はR,G,Bに対応)であり、
配線ピッチは636μm及び212μmである。走査線
配線16と変調線配線17の各交点に画素が定義され、
電子放出素子となる平面型電子源12が設けられてい
る。その数は、走査線方向に1024、変調線方向に1
280×3である。画素がマトリックス状に設けられた
表示領域の周辺に放電用配線15が設けられ、この放電
用配線15と各走査線配線16及び変調線配線17との
間に放電用の平面型電子源13及び14が設けられてい
る。
A scanning line wiring 16 (16 1 , 16 2 , 1) is placed on a glass substrate (first substrate) 11 as an insulating substrate.
6 3 ,...) In the horizontal direction and the modulation line wiring 17 (17 1 ,
17 2, 17 3, ...) are formed in the vertical direction. The number of the scanning line wiring 16 is 1024, and the number of the modulation line wiring 17 is 1280 × 3 (× 3 corresponds to R, G, B).
The wiring pitch is 636 μm and 212 μm. A pixel is defined at each intersection of the scanning line wiring 16 and the modulation line wiring 17,
A planar electron source 12 serving as an electron-emitting device is provided. The number is 1024 in the scanning line direction and 1 in the modulation line direction.
It is 280 × 3. Discharge wiring 15 is provided around a display area in which pixels are provided in a matrix, and between the discharge wiring 15 and each of the scanning line wiring 16 and the modulation line wiring 17, the discharge type flat electron source 13 and 14 are provided.

【0028】なお、図1中の破線18で示される位置が
リアプレートとフェースプレートとを接着する封止領域
であり、リアプレート及びフェースプレートが完成後フ
リットガラスなどで接着される。このとき、リアプレー
トとフェースプレート間は数mm程度の間隔を持って封
止される。また、フェースプレートはガラス基板(第2
の基板)からなり、その内面には前記図10に示すよう
に、発光ピークがR,G,Bとなる蛍光体材料が塗布さ
れており、そのパターンはリアプレート上の各画素に対
応したピッチで形成されている。即ち、R,G,Bの各
蛍光体はピッチ636μmで走査線方向に1024、変
調線方向に1280×3設けてある。蛍光体層の上には
薄膜のアルミニウム層が形成されており、表示動作時に
は電子を加速するアノード電圧(通常数kV)が印加さ
れる。
A position indicated by a broken line 18 in FIG. 1 is a sealing region where the rear plate and the face plate are bonded, and the rear plate and the face plate are bonded with frit glass or the like after completion. At this time, the rear plate and the face plate are sealed with an interval of about several mm. The face plate is a glass substrate (second
As shown in FIG. 10, a phosphor material having emission peaks of R, G, and B is applied to the inner surface of the substrate, and the pattern is formed at a pitch corresponding to each pixel on the rear plate. It is formed with. That is, the phosphors of R, G, and B are provided at a pitch of 636 μm at 1024 in the scanning line direction and at 1280 × 3 in the modulation line direction. A thin aluminum layer is formed on the phosphor layer, and an anode voltage (usually several kV) for accelerating electrons is applied during a display operation.

【0029】両プレートを封止後、排気管を表示領域外
に設け、排気管を通して表示セル内部が真空排気され
る。このとき、放電用平面電子源は真空領域内部に位置
するように形成する。しかる後、各配線に駆動用ICを
接続することにより表示装置が完成する。なお、放電用
配線15は電極端子15’を介して外部から電圧を印加
することができる。ここでは、GND電位とした。ま
た、走査線配線16は電極端子16’を介して、変調線
配線17は電極端子17’を介して外部から電圧を印加
できるようになっている。
After sealing both plates, an exhaust pipe is provided outside the display area, and the inside of the display cell is evacuated through the exhaust pipe. At this time, the planar electron source for discharge is formed so as to be located inside the vacuum region. Thereafter, a display IC is completed by connecting a driving IC to each wiring. Note that a voltage can be externally applied to the discharge wiring 15 via the electrode terminal 15 '. Here, the potential was set to GND. Also, a voltage can be applied from the outside to the scanning line wiring 16 via an electrode terminal 16 ', and from the modulation line wiring 17 via an electrode terminal 17'.

【0030】この表示装置においては、走査線配線16
に順次負の選択パルス電圧を印加していく。これと同期
して変調線配線17には各画素の表示信号に対応した正
極のパルス電圧を印加する。いま、査線161 に負極パ
ルス電圧−Vsが印加されたとする。このとき、変調線
配線171 に印加された正極パルス電圧Vhとすると、
平面電子源には(Vh+Vs)の電圧が印加される。こ
のバイアス電圧(Vh+Vs)に応じて平面電子源12
から電子が放出されてアノード電極であるフェースプレ
ートのアルミニウム電極に向かって電子が加速される。
In this display device, the scanning line wiring 16
, A negative selection pulse voltage is sequentially applied. In synchronization with this, a positive pulse voltage corresponding to the display signal of each pixel is applied to the modulation line 17. Now, the negative pulse voltage -Vs is applied to the査線16 1. At this time, when the applied positive pulse voltage Vh to the modulation line wiring 17 1,
A voltage of (Vh + Vs) is applied to the plane electron source. The plane electron source 12 according to the bias voltage (Vh + Vs)
Electrons are accelerated toward the aluminum electrode of the face plate, which is the anode electrode.

【0031】高加速された電子はアルミニウム薄膜を通
過して蛍光体層に照射され蛍光体を励起発光する。放出
電流量はバイアス電圧(Vh+Vs)で制御できる。な
お、走査線配線161 に接続される全ての画素の電子源
12は−Vsが共通に印加されるので、表示状態は変調
線配線17に印加する電圧Vhで制御する。Vhが小さ
い場合は放出電流も小さくなり発光輝度も小さくなる。
逆に、Vhが大きい場合は放出電流量が増大して高い輝
度を出すことができる。
The highly accelerated electrons pass through the aluminum thin film and irradiate the phosphor layer to excite the phosphor to emit light. The emission current can be controlled by the bias voltage (Vh + Vs). The electron source 12 of all the pixels connected to the scanning lines 16 1 since -Vs is commonly applied, the display state is controlled by the voltage Vh is applied to the modulation line wiring 17. When Vh is small, the emission current is small and the light emission luminance is small.
Conversely, when Vh is large, the amount of emission current increases and high luminance can be obtained.

【0032】選択パルスは次に走査線配線162 に印加
され、これに接続される全ての画素が選択状態となり、
この行の表示に対応した表示信号を変調線配線17に印
加することで目的の輝度を発光することができる。順次
走査線配線16を選択していき全ての走査線配線16が
選択パルスを印加し終わると全画面の表示が終了し、同
様なシーケンスで次のフレームの表示動作に移る。
The selection pulse is applied next scanning lines 16 2, all the pixels connected thereto becomes the selected state,
By applying a display signal corresponding to the display of this row to the modulation line 17, it is possible to emit a target luminance. The scanning lines 16 are sequentially selected, and when the application of the selection pulse to all the scanning lines 16 is completed, the display of the entire screen ends, and the display operation of the next frame is performed in a similar sequence.

【0033】なお、ここでは表示信号の変調手段として
変調線配線17の電圧値Vhで制御したが、Vhを一定
としてパルス幅で放出電子量を制御してもよい。本実施
形態では、最大輝度時の印加電圧として、走査線配線1
6に7.5V、変調線配線17に7.5Vを印加した。
即ち、最大輝度時の電子源のバイアス電圧は15Vであ
る。
Here, as the display signal modulating means, the voltage value Vh of the modulation line 17 is controlled, but the amount of emitted electrons may be controlled with a pulse width while Vh is kept constant. In the present embodiment, the scanning line 1
6, 7.5 V was applied to the modulation line 17.
That is, the bias voltage of the electron source at the maximum luminance is 15V.

【0034】このように平面電子源では15V程度の印
加電圧で十分な輝度を得るのに必要な放出電子電流が得
られる。このため、リアプレートの製造工程或いはフェ
ースプレートとの組立工程など、電子源が形成された後
の工程で発生する静電気に対して極めて弱い。例えば、
100V程度の静電気が誘起されても、電子源12には
膨大な電子放出に対応する電圧であり、電子源12は熱
的に破壊してしまう。
As described above, in the plane electron source, an emission electron current necessary for obtaining sufficient luminance can be obtained with an applied voltage of about 15 V. For this reason, it is extremely vulnerable to static electricity generated in a process after the electron source is formed, such as a process for manufacturing the rear plate or a process for assembling the face plate. For example,
Even if static electricity of about 100 V is induced, the electron source 12 has a voltage corresponding to enormous electron emission, and the electron source 12 is thermally destroyed.

【0035】本実施形態では、このような外部から誘起
された静電気を効果的に防止するため、放電用電子源1
3,14はマトリックス領域(表示領域)外部に設け静
電気の進入を最初に受ける位置とする。静電気のうち最
も問題となるのは瞬時に加わる大きな波高値の電流であ
る。マトリックス領域の外部に誘起された瞬時の大電流
は配線抵抗の影響で大きな電圧降下を生ずる。このた
め、マトリックス領域内部の電子源12に大きな電圧が
加わる前に放電用電子源13,14に静電気電圧が印加
され放電を開始する。これは、電子源の応答が著しく高
速であるため瞬時に放電を開始できるためである。
In this embodiment, in order to effectively prevent such static electricity induced from the outside, the discharge electron source 1 is used.
Reference numerals 3 and 14 are provided outside the matrix area (display area), and are positions where the ingress of static electricity is first received. The most problematic of the static electricity is the instantaneous large peak current. The instantaneous large current induced outside the matrix region causes a large voltage drop due to the effect of the wiring resistance. Therefore, before a large voltage is applied to the electron source 12 inside the matrix region, an electrostatic voltage is applied to the discharge electron sources 13 and 14 to start discharging. This is because the response of the electron source is remarkably fast and discharge can be started instantaneously.

【0036】また本実施形態では、放電用電子源13,
14のインピーダンスを画素部の電子源12よりも小さ
くした。図2は、本電子源の平面図を示すもので、Pt
などの薄膜電極21,22の間に、インクジェット印刷
などでPdOの微粒子膜23が形成されている。電極2
1,22の間に適当な通電処理を施すことで、PdOパ
ターン内部に亀裂部24を形成することができる。この
亀裂部24の幅はサブミクロン以下の大きさである。こ
のため、亀裂形成後は電極21,22間に電圧を印加し
たとき亀裂部24に電子を電界放出するのに十分な1×
107(V/cm)といった強電界を印加することがで
きる。
In this embodiment, the discharge electron sources 13 and
The impedance of 14 was smaller than the electron source 12 in the pixel section. FIG. 2 shows a plan view of the present electron source.
The fine particle film 23 of PdO is formed between the thin film electrodes 21 and 22 by inkjet printing or the like. Electrode 2
By performing an appropriate energization process between the first and second portions, the crack portion 24 can be formed inside the PdO pattern. The width of the crack 24 is submicron or less. Therefore, after the crack is formed, when a voltage is applied between the electrodes 21 and 22, 1 × which is sufficient to cause the field emission of electrons to the crack portion 24.
A strong electric field such as 10 7 (V / cm) can be applied.

【0037】電子源の電子放出能力は亀裂部24の長さ
25に比例する。本実施形態では、画素部の電子源12
の亀裂長さを70μm、放電用電子源13,14の亀裂
長さを700μmとした。このため、瞬時に誘起された
静電気の電荷をインピーダンスの低い放電用電子源1
3,14で放電でき、マトリックス領域内部の電子源1
2への損傷を防止することができた。なお、放電用電子
源13,14も画素部電子源12と全く同じ通電条件で
形成した。具体的には、電圧値10V、パルス幅1m
s、周期10msのパルス電圧である。なお、電子源特
性をより均一にするため、上記亀裂を形成後に有機ガス
雰囲気中や真空状態で同様な通電処理を施してもよい。
また、放電用電子源13,14のインピーダンスは低い
ほど望ましいが、実質的には画素部電子源12の1/1
0程度以下であれば十分効果がある。
The electron emission capability of the electron source is proportional to the length 25 of the crack 24. In the present embodiment, the electron source 12 of the pixel portion
Was 70 μm, and the crack length of the discharge electron sources 13 and 14 was 700 μm. For this reason, the instantaneously induced electrostatic charges are transferred to the discharge electron source 1 having a low impedance.
The electron source 1 inside the matrix area can be discharged at 3, 14
2 could be prevented. Note that the discharge electron sources 13 and 14 were formed under exactly the same energizing conditions as the pixel portion electron source 12. Specifically, a voltage value of 10 V and a pulse width of 1 m
s, a pulse voltage having a period of 10 ms. In order to make the electron source characteristics more uniform, a similar energization treatment may be performed in an organic gas atmosphere or in a vacuum after forming the crack.
Further, it is desirable that the impedance of the discharge electron sources 13 and 14 is as low as possible.
If it is about 0 or less, there is a sufficient effect.

【0038】図3は、上記の電子源12を配置したリア
プレートの表示領域の構成を拡大して示す図である。ガ
ラス基板11上に平面型電子源12がマトリックス状に
配列されている。電子源12は、電極21,22間に微
粒子膜(導電薄膜)23を配置して形成され、電極2
1,22間に印加された電圧により駆動される。電極2
1は走査線配線16に接続され、電極22は変調線配線
17に接続されている。図3に示す平面型電子源アレイ
は、電子源12となる導電薄膜23、電極21,22、
配線16,17など全てを印刷により形成することがで
きる。なお、図示していないが、走査線配線16及び変
調線配線17を絶縁するための絶縁層が両配線間にやは
り印刷により形成されている。このため、大面積基板で
の素子アレイ形成が可能であり、大画面の平面型表示装
置として極めて有望である。
FIG. 3 is an enlarged view showing the configuration of the display area of the rear plate on which the electron source 12 is arranged. On a glass substrate 11, planar electron sources 12 are arranged in a matrix. The electron source 12 is formed by disposing a fine particle film (conductive thin film) 23 between the electrodes 21 and 22.
It is driven by the voltage applied between 1 and 22. Electrode 2
1 is connected to the scanning line wiring 16, and the electrode 22 is connected to the modulation line wiring 17. The flat-type electron source array shown in FIG. 3 includes a conductive thin film 23 serving as the electron source 12, electrodes 21 and 22,
All of the wirings 16 and 17 can be formed by printing. Although not shown, an insulating layer for insulating the scanning line wiring 16 and the modulation line wiring 17 is also formed between both wirings by printing. For this reason, an element array can be formed on a large-area substrate, and it is extremely promising as a large-screen flat display device.

【0039】図3において、走査線配線16に順次選択
パルスを印加することにより、選択された走査線配線1
7に接続された電子源12は同時に印加された変調線電
圧パルスの電圧に応じてそれぞれ所望の電圧が印加され
る。印加電圧に応じて電子源12から放出される電子の
量が制御できるため、必要な電子量を蛍光体に照射する
ことができ、映像を表示することができる。
In FIG. 3, by sequentially applying a selection pulse to the scanning line wiring 16, the selected scanning line wiring 1 is applied.
A desired voltage is applied to each of the electron sources 12 connected to 7 according to the voltage of the modulation line voltage pulse applied at the same time. Since the amount of electrons emitted from the electron source 12 can be controlled in accordance with the applied voltage, the required amount of electrons can be applied to the phosphor, and an image can be displayed.

【0040】さて、前記図1における放電用配線15は
放電用電子源13,14の片方の電位を与えるもので、
製造工程中は特に特定の電位を与えておく必要はなく電
気的に開放状態にしておけばよい。このときの電位は通
常他の走査線配線16や変調線配線17と同じくGND
レベルである。一旦静電気が走査線配線16或いは変調
線配線17に誘起された場合は、このGNDレベルの放
電用配線15との間に静電気が誘起され電子源13,1
4に電圧が印加される。また、製造工程終了後もこの放
電用電子源13,14をそのまま残し実使用状態での静
電気保護も行う場合は、前記駆動信号シーケンス、即ち
−VsとVhの間の電位、例えば0V(GND)電位を
端子15’に接続しておけば安定な動作が可能となる。
即ち、放電用電子源13,14が電子放出可能なバイア
ス状態とならないように設定すればよい。
The discharge wiring 15 in FIG. 1 gives one of the potentials of the discharge electron sources 13 and 14.
It is not necessary to apply a specific potential during the manufacturing process, and it is sufficient to keep the device electrically open. The potential at this time is normally GND like other scanning line wirings 16 and modulation line wirings 17.
Level. Once static electricity is induced in the scanning line wiring 16 or the modulation line wiring 17, static electricity is induced between the scanning line wiring 16 and the modulation line wiring 17, and the electron sources 13, 1 are generated.
4 is applied with a voltage. Further, when the discharge electron sources 13 and 14 are left as they are even after the end of the manufacturing process to protect the static electricity in the actual use state, the drive signal sequence, that is, the potential between -Vs and Vh, for example, 0 V (GND) If the potential is connected to the terminal 15 ', a stable operation can be performed.
That is, the discharge electron sources 13 and 14 may be set so as not to be in a bias state in which electrons can be emitted.

【0041】このように本実施形態によれば、表示領域
の外側に放電用配線15を設け、この配線15と走査線
配線16及び変調線配線17との間に放電用電子源1
3,14をそれぞれ接続し、走査線配線16や変調線配
線17を伝わって静電気が画素部電子源12に印加され
る前に放電用電子源13,14により静電気を放電させ
る構成としているので、静電気による画素部電子源12
の破壊を未然に防止することができる。このため、欠陥
画素発生要因を少なくすることができ、欠陥画素のない
表示品位の高い電子線蛍光体表示装置を実現することが
可能となる。
As described above, according to the present embodiment, the discharge wiring 15 is provided outside the display area, and the discharge electron source 1 is disposed between the wiring 15 and the scanning line wiring 16 and the modulation line wiring 17.
3 and 14 are connected to each other, and the static electricity is discharged by the discharge electron sources 13 and 14 before the static electricity is applied to the pixel portion electron source 12 through the scanning line wiring 16 and the modulation line wiring 17. Pixel electron source 12 due to static electricity
Can be prevented beforehand. For this reason, it is possible to reduce the causes of defective pixels and to realize a high-definition electron beam phosphor display device having no defective pixels.

【0042】また本実施形態では、放電用電子源13,
14を画素部電子源12と同時に形成することができる
ので、放電用電子源13,14の追加のために製造工程
の複雑化を招くこともない。さらに、放電用電子源1
3,14の電流駆動能力を画素部電子源12よりも大き
くしているので、放電用電子源13,14に比較的大き
な電荷を流すことができ、これにより画素部電子源12
の保護をより確実に行うことが可能となる。
In this embodiment, the discharge electron sources 13 and
Since the electron source 14 can be formed at the same time as the pixel electron source 12, the manufacturing process does not become complicated due to the addition of the discharge electron sources 13 and 14. Further, a discharge electron source 1
Since the current driving capabilities of the pixel portions 3 and 14 are made larger than those of the pixel portion electron sources 12, a relatively large amount of charge can flow through the discharge electron sources 13 and 14.
Can be more reliably protected.

【0043】(第2の実施形態)図4は、本発明の第2
の実施形態に係わる電子線励起蛍光体表示装置のリアプ
レートの構成を平面的に示す図である。なお、図1と同
一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略す
る。
(Second Embodiment) FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention.
It is a figure which shows the structure of the rear plate of the electron beam excitation phosphor display device concerning embodiment 2 in planar view. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0044】本実施形態が先に説明した第1の実施形態
と異なる点は、放電用共通配線15を複数本設けたこと
にある。即ち、第1の実施形態と同様に、マトリックス
領域の外部に放電用電子源13,14を設けたが、本実
施形態では水平方向の放電用共通配線15を5本(15
1,152,〜)設け、放電用電子源14も変調線配線1
7の1本毎に5本の放電用共通配線15を順次選択して
接続する。なお、図では151,152 の2本のみを示
し、放電用電子源14の接続は共通配線が2本の例とし
て示してある。
This embodiment differs from the first embodiment described above in that a plurality of discharge common wirings 15 are provided. That is, similarly to the first embodiment, the discharge electron sources 13 and 14 are provided outside the matrix region, but in this embodiment, five horizontal discharge common wires 15 (15
1, 15 2, ...) provided, discharge electron source 14 is also modulated line wiring 1
7, five common lines 15 for discharge are sequentially selected and connected. In the drawing, only two lines 15 1 and 15 2 are shown, and the connection of the discharge electron source 14 is shown as an example of two common lines.

【0045】このように放電用共通配線15を複数本設
けたのは、前述の電子源の亀裂部を形成する際に亀裂長
700μmの電子源1個当たり1mAの電流が流れるた
め同時に全電子源の亀裂を形成する際に大電流が必要と
なり、配線の電圧降下により電子源特性に不均一性が出
るためである。
The reason why a plurality of the discharge common wirings 15 are provided is that a current of 1 mA flows for each electron source having a crack length of 700 μm when the above-mentioned crack portion of the electron source is formed. When a crack is formed, a large current is required, and the voltage drop of the wiring causes non-uniformity in the electron source characteristics.

【0046】本実施形態では、水平方向に1280×3
=3840個の電子源14が並ぶ。このため、放電用共
通配線15が1本の場合は3.84Aの電流を流すこと
になるが、5本の共通配線15に分割した本実施形態で
は、1本当たり0.77Aとなり、電圧降下による電子
源14の不均一性を除くことができた。なお、画素部は
亀裂長が70μmであり、走査線当たりのパルス電流も
0.38Aと小さく均一な電子源12が形成できる。
In this embodiment, 1280 × 3 in the horizontal direction
= 3840 electron sources 14 are arranged. For this reason, a current of 3.84 A flows when the number of the common wirings 15 for discharge is one. However, in this embodiment divided into five common wirings 15, the current becomes 0.77 A per one, and a voltage drop occurs. The non-uniformity of the electron source 14 due to the above can be eliminated. The pixel portion has a crack length of 70 μm, and the pulse current per scanning line is as small as 0.38 A, so that a uniform electron source 12 can be formed.

【0047】放電用共通配線15の分割数は表示装置の
設計仕様から決めればよく、またその位置も表示部の上
下に分割してもよく、或いは共通配線15の左右から同
時に通電処理をして電圧降下を低減してもよい。
The number of divisions of the discharge common wiring 15 may be determined based on the design specification of the display device, and the position may be divided into upper and lower portions of the display section, or the energization process may be performed simultaneously from the left and right sides of the common wiring 15. The voltage drop may be reduced.

【0048】(第3の実施形態)次に、本発明の第3の
実施形態に係わる電子線励起蛍光体表示装置について説
明する。
(Third Embodiment) Next, an electron beam excited phosphor display device according to a third embodiment of the present invention will be described.

【0049】本実施形態の基本構成は図4と同じであ
り、その図面は省略する。ここで、表示領域の電子源1
2の特性と放電用電子源14の特性は、図5に示すよう
に異なる。図5は、電子源の電流−電圧特性を示してお
り、本実施形態の表示領域の電子源12の特性は素子
1、放電用電子源14の特性は素子2に示す。即ち、放
電用電子源14の電子放出特性は低電圧側にシフトして
おり、同じ電圧に対してより電流を流せる特性としてい
る。これは、電子源の亀裂部を形成する工程、即ちPd
O膜に亀裂を形成する通電条件、有機ガス雰囲気中での
通電条件或いは真空中でのエージング条件を変えること
により調整した。
The basic configuration of this embodiment is the same as that of FIG. 4, and the drawing is omitted. Here, the electron source 1 in the display area
2 and the characteristics of the discharge electron source 14 are different as shown in FIG. FIG. 5 shows the current-voltage characteristics of the electron source. In the present embodiment, the characteristics of the electron source 12 in the display area are shown in the element 1, and the characteristics of the discharge electron source 14 are shown in the element 2. In other words, the electron emission characteristics of the discharge electron source 14 are shifted to a lower voltage side, so that a current can flow more at the same voltage. This is a step of forming a crack in the electron source, that is, Pd.
The adjustment was made by changing the conditions for energization for forming a crack in the O film, the conditions for energization in an organic gas atmosphere, or the conditions for aging in vacuum.

【0050】本実施形態の放電用電子源13,14はよ
り低い電圧印加で静電気電荷を放電できるため、亀裂の
長さは第1の実施形態よりも短くすることができる。本
実施形態では、画素部の電子源12の亀裂長70μmに
対し、放電用電子源13,14の亀裂長は200μmで
ある。また、電子源の電流が流れ始めるしきい値電圧
は、画素部の電子源12が10Vであるのに対して、放
電用電子源13,14は8Vに調整してある。同じ電圧
が印加された状態で流し得る電流値は画素用に比べ放電
用電子源13,14は約20倍である。このため、放電
用電子源13,14は第1の実施形態のそれよりも亀裂
の長さが短いが約2倍の能力があり、静電気に対する保
護能力が高い。
Since the discharge electron sources 13 and 14 of this embodiment can discharge electrostatic charges by applying a lower voltage, the length of the crack can be made shorter than that of the first embodiment. In the present embodiment, the crack length of the discharge electron sources 13 and 14 is 200 μm, while the crack length of the electron source 12 in the pixel portion is 70 μm. The threshold voltage at which the current of the electron source starts flowing is adjusted to 10 V for the electron source 12 in the pixel portion and to 8 V for the electron sources for discharge 13 and 14. The current value that can flow when the same voltage is applied is about 20 times that of the discharge electron sources 13 and 14 compared to the pixel. For this reason, the discharge electron sources 13 and 14 have a shorter crack length than that of the first embodiment, but have about twice the capacity, and have a high ability to protect against static electricity.

【0051】なお、製造工程終了後において放電用電子
源13,14は表示動作に影響を与えることはないが、
リーク電流パスとして存在する。消費電力を低減するた
めにこれらの放電用電子源13,14を製造工程終了後
に回路的に分離したい場合は、以下の手順で実現でき
る。特に、本実施形態のように画素部に比して放電用電
子源13,14でしきい値電圧が低い場合は放電用電子
源13,14の消費電力が無視できない場合がある。
Although the discharge electron sources 13 and 14 do not affect the display operation after the end of the manufacturing process,
Present as a leakage current path. When it is desired to separate these discharge electron sources 13 and 14 in a circuit after the end of the manufacturing process in order to reduce power consumption, the following procedure can be used. In particular, when the threshold voltage of the discharge electron sources 13 and 14 is lower than that of the pixel portion as in the present embodiment, the power consumption of the discharge electron sources 13 and 14 may not be ignored.

【0052】回路的に分離する方法として、図6に示す
ように放電用電子源13,14に調整電圧Vaを印加す
る。Vaを上げていくと素子電流も増大していき、ある
ところで熱的に素子が破壊する。この場合の破壊は亀裂
幅が増大して電流が大幅に低下する特性劣化となる。即
ち、電気的には開放状態に近づき動作上悪影響を及ぼす
ことはない。これが電子放出電子源の特徴で、最も問題
となる電気的短絡不良は発生しない。この特徴は、静電
気の放電時にもあり、大量の静電気電荷を放電する場
合、時には放電用電子源が破壊する場合があるが、これ
はいずれも電気的に開放状態となる破壊であり、表示装
置の欠陥を誘起することはない。
As a method for circuit separation, an adjustment voltage Va is applied to the discharge electron sources 13 and 14 as shown in FIG. As Va is increased, the element current also increases, and the element is thermally destroyed at a certain point. Breakage in this case results in characteristic deterioration in which the crack width increases and the current greatly decreases. In other words, it does not have an adverse effect on the operation by approaching the open state electrically. This is the feature of the electron emission electron source, and the most problematic electrical short circuit does not occur. This feature is also at the time of discharging static electricity, and when discharging a large amount of electrostatic charge, sometimes the discharge electron source may be destroyed. No defects are induced.

【0053】(第4の実施形態)第1〜第3の実施形態
までは電子放出素子として、薄膜導電体層に設けた亀裂
部を利用した平面電子源であったが、本実施形態では電
子放出素子として突起型エミッタ電極を用いた突起型電
子源を用いた。突起型電子源の断面構造図を、図7に示
す。絶縁性基板11上に形成された配線電極73と、こ
の上に形成された円錐形状の導電性エミッタ72と、そ
の上に絶縁層75を介して形成されたゲート電極層74
からなる。ゲート電極層74には、エミッタ72の先端
部76を中心とした円形の開口部77が設けてある。
(Fourth Embodiment) In the first to third embodiments, a planar electron source using a crack provided in a thin-film conductor layer was used as an electron-emitting device. A projecting electron source using a projecting emitter electrode was used as an emission element. FIG. 7 shows a sectional structural view of the projection type electron source. A wiring electrode 73 formed on an insulating substrate 11, a conical conductive emitter 72 formed thereon, and a gate electrode layer 74 formed thereon with an insulating layer 75 interposed therebetween
Consists of The gate electrode layer 74 has a circular opening 77 centered on the tip 76 of the emitter 72.

【0054】突起型エミッタの動作は、ゲート電極74
にエミッタ電極73に対して正の電圧を印加すると、エ
ミッタ先端部76に電界が集中し、エミッタ先端部76
とゲート電極開口部の距離以上の強電界がエミッタ先端
部76に誘起される。エミッタ先端部76の先鋭度とゲ
ート電極74の開口部の大きさで電界集中の大きさが変
わるが、一般的に先鋭度として曲率半径が50nm、ゲ
ート開口部の直径が1μm程度の場合、ゲート電圧が数
十〜100V程度でエミッタ先端部86から電子を放出
することができる。
The operation of the projection type emitter is determined by the operation of the gate electrode 74.
When a positive voltage is applied to the emitter electrode 73, the electric field concentrates on the emitter tip 76, and the emitter tip 76
A strong electric field greater than the distance between the gate electrode opening and the gate electrode opening is induced in the emitter tip 76. The magnitude of the electric field concentration changes depending on the sharpness of the emitter tip 76 and the size of the opening of the gate electrode 74. In general, when the radius of curvature is 50 nm and the diameter of the gate opening is about 1 μm, Electrons can be emitted from the emitter tip 86 when the voltage is about several tens to 100V.

【0055】この電界放出開始電圧Vthは先鋭度を高
める、ゲート開口部の大きさを小さくする、或いはエミ
ッタ材料の仕事関数を小さくするなどにより低減するこ
とができる。しかし、一般的には前述の平面電子源より
はVthは高い。このため、突起型電子源アレイは静電
気に対して平面型よりは破壊しにくい特性といえるが、
それでも静電気による破壊を皆無にすることはできなか
った。
The field emission start voltage Vth can be reduced by increasing the sharpness, reducing the size of the gate opening, or reducing the work function of the emitter material. However, Vth is generally higher than that of the above-mentioned flat electron source. For this reason, it can be said that the projection type electron source array is less susceptible to static electricity than the flat type, but
Nevertheless, the destruction by static electricity could not be completely eliminated.

【0056】図8は、本発明の第4の実施形態に係わる
突起型電子源を用いた電子線励起蛍光対表示装置のリア
プレートの構成を平面的に示す図である。なお、図1と
同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略す
る。
FIG. 8 is a plan view showing a configuration of a rear plate of an electron beam excited fluorescent display device using a projection type electron source according to a fourth embodiment of the present invention. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0057】第1の実施形態と同様に、絶縁性基板11
上に、走査線配線16と変調線配線17が配置され、こ
れらの各交点で定義される画素部に突起型電子源82を
設けた。走査線配線16の本数は480本、変調線配線
17の本数は640×3、画素ピッチは縦方向630μ
m、横方向は210×3μmである。電子源82は各画
素625個の突起型エミッタで構成され、ゲート開口部
の平均直径は0.7μm、エミッタ先端部の平均曲率半
径は20nm、突起形状の形成方法はモリブデンの回転
蒸着法による。電子源のVthは約70Vであった。
As in the first embodiment, the insulating substrate 11
The scanning line wiring 16 and the modulation line wiring 17 are arranged thereon, and the projection type electron source 82 is provided at a pixel portion defined at each intersection thereof. The number of the scanning line wiring 16 is 480, the number of the modulation line wiring 17 is 640 × 3, and the pixel pitch is 630 μ in the vertical direction.
m, 210 × 3 μm in the horizontal direction. The electron source 82 is composed of 625 projection-type emitters for each pixel, the average diameter of the gate opening is 0.7 μm, the average radius of curvature of the tip of the emitter is 20 nm, and the projection is formed by molybdenum rotary evaporation. Vth of the electron source was about 70V.

【0058】放電用電子源83,84は画素部電子源8
2がマトリックス状に配置された外側の領域に図8中の
等価回路で示される構成で形成した。即ち、各走査線配
線16及び変調線配線17と共通放電用配線15との間
に、突起型電子源のゲート・エミッタ電極が互いに逆方
向となる構成の電子源を並列接続してある。突起型電子
源では、電子放出がエミッタ先端部から行われるため、
素子の極性依存性がある。一方、外部から誘起される静
電気の極性は正と負の極性があるため、いずれの極性の
静電気に対しても効果的に電荷を放電するためにはこの
ような放電用電子源の構成が最適である。なお、平面型
電子源では素子の電子放出特性に極性依存性が基本的に
はないので、前記図1のような構成で放電回路が実現で
きるのである。
The discharge electron sources 83 and 84 are provided in the pixel section electron source 8.
2 was formed in an outer region arranged in a matrix with a configuration shown by an equivalent circuit in FIG. That is, an electron source having a configuration in which the gate / emitter electrodes of the projection type electron sources are opposite to each other is connected in parallel between each scanning line wiring 16 and modulation line wiring 17 and the common discharge wiring 15. In the projection type electron source, since the electron emission is performed from the tip of the emitter,
There is polarity dependence of the device. On the other hand, since the polarity of the static electricity induced from the outside has positive and negative polarities, such a configuration of the discharge electron source is optimal to effectively discharge the charge with respect to both types of static electricity. It is. In a flat-type electron source, since the electron emission characteristics of the element do not basically have polarity dependency, a discharge circuit can be realized with the configuration as shown in FIG.

【0059】図8の放電用電子源はそれぞれ6250個
の突起型エミッタで構成した。また、ゲート開口の平均
直径は0.6μmとしVthが65Vとなるように設定
した。このときの画素部電子源特性と放電用電子源の特
性を、図9に示す。図中素子1は画素部電子源82の特
性であり、素子2は放電用電子源83,84の特性であ
る。放電用電子源83,84では正負両極特性になって
いるほか、電子放出開始電圧が低くまた電流駆動能力は
画素部よりも大きい。このため、外部から誘起された静
電気電荷をより効果的に放電して画素部電子源82の破
壊を防止することができる。
Each of the discharge electron sources shown in FIG. 8 was composed of 6,250 projection-type emitters. The average diameter of the gate opening was set to 0.6 μm, and Vth was set to 65 V. FIG. 9 shows the characteristics of the pixel portion electron source and the characteristics of the discharge electron source at this time. In the figure, element 1 is the characteristic of the pixel section electron source 82, and element 2 is the characteristic of the discharge electron sources 83 and 84. The discharge electron sources 83 and 84 have both positive and negative characteristics, a low electron emission start voltage, and a higher current driving capability than the pixel portion. Therefore, the electrostatic charge induced from the outside can be more effectively discharged to prevent the pixel unit electron source 82 from being broken.

【0060】なお、本発明は上述した各実施形態に限定
されるものではない。実施形態では、平面型電子源及び
突起型電子源についてそれぞれ説明したが、電子源はこ
れらに限定されるものではなく、仕様に応じて適宜変更
可能である。また、リアプレートを構成する第1の基板
は必ずしもガラス基板に限るものではなく、絶縁性の基
板であればよい。さらに、フェースプレートを構成する
第2の基板はガラス基板に限るものではなく、蛍光体で
発生した蛍光を十分に透過する透明基板であればよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形し
て実施できる。
The present invention is not limited to the above embodiments. In the embodiment, each of the planar electron source and the projection electron source has been described. However, the electron source is not limited to these, and can be appropriately changed according to specifications. Further, the first substrate constituting the rear plate is not necessarily limited to a glass substrate, but may be an insulating substrate. Further, the second substrate constituting the face plate is not limited to a glass substrate, but may be any transparent substrate that sufficiently transmits the fluorescence generated by the phosphor.
In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

【0061】[0061]

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、走
査線配線,変調線配線,及び表示用電子放出素子が形成
された第1の基板上に、画素部の集合からなる表示領域
の外側に共通配線を設け、該共通配線と走査線配線及び
変調線配線のそれぞれとの間に放電用電子放出素子を接
続しているので、電子放出素子の製造工程中に発生する
静電気による破壊を効果的に防止できる。従って、静電
気による電子源の破壊を防止することができ、欠陥画素
のない表示品位の高い電子線蛍光体表示装置を実現する
ことが可能となる。
As described above in detail, according to the present invention, a display region comprising a set of pixel portions is formed on a first substrate on which scanning line wiring, modulation line wiring, and display electron-emitting devices are formed. Is provided outside, and the discharge electron-emitting device is connected between the common line and each of the scanning line wiring and the modulation line wiring. Can be effectively prevented. Therefore, destruction of the electron source due to static electricity can be prevented, and a high-definition electron beam phosphor display device having no defective pixels can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施形態に係わる平面型電子源を用いた
電子線励起蛍光体表示装置のリアプレートの構成を示す
平面図。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a rear plate of an electron beam excited phosphor display device using a planar electron source according to a first embodiment.

【図2】第1の実施形態に用いた平面型電子源の構成を
示す平面図。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a flat-type electron source used in the first embodiment.

【図3】図2の平面型電子源をリアプレートに配置した
状態を示す平面図。
FIG. 3 is a plan view showing a state where the flat electron source of FIG. 2 is arranged on a rear plate.

【図4】第2の実施形態に係わる平面型電子源を用いた
電子線励起蛍光体表示装置のリアプレートの構成を示す
平面図。
FIG. 4 is a plan view showing a configuration of a rear plate of an electron beam-excited phosphor display device using a planar electron source according to a second embodiment.

【図5】第3の実施形態における平面型電子源の電流−
電圧特性を示す図。
FIG. 5 shows a current of a planar electron source according to the third embodiment.
The figure which shows a voltage characteristic.

【図6】第3の実施形態における平面型電子源の電流−
電圧特性を示す図。放電用電子元を破壊するための
FIG. 6 shows the current of the planar electron source according to the third embodiment.
The figure which shows a voltage characteristic. To destroy the electron source for discharge

【図7】第4の実施形態に用いた突起型電子源の構成を
示す断面図。
FIG. 7 is a sectional view showing a configuration of a projection type electron source used in a fourth embodiment.

【図8】第4の実施形態に係わる突起型電子源を用いた
電子線励起蛍光対表示装置のリアプレートの構成を示す
平面図。
FIG. 8 is a plan view showing a configuration of a rear plate of an electron beam excited fluorescent display device using a projection type electron source according to a fourth embodiment.

【図9】第4の実施形態における突起型電子源の電流−
電圧特性を示す図。
FIG. 9 shows the current of the projection type electron source according to the fourth embodiment.
The figure which shows a voltage characteristic.

【図10】従来の平面型電子源を用いた電子線励起蛍光
体表示装置の要部構成を示す断面図。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a main configuration of a conventional electron beam excited phosphor display device using a flat electron source.

【図11】従来の平面型電子源を用いた電子線励起蛍光
体表示装置のリアプレートの構成を示す平面図。
FIG. 11 is a plan view showing the configuration of a rear plate of a conventional electron beam excited phosphor display device using a flat electron source.

【図12】従来の突起型電子源を用いた電子線励起蛍光
体表示装置の要部構成を示す断面図。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a main configuration of an electron beam excited phosphor display device using a conventional projection electron source.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…ガラス基板(リアプレート:第1の基板) 12,82…画素部電子源(表示用電子放出素子) 13,14,73,74…放電用電子源(放電用電子放
出素子) 15…放電用共通配線 16(161,162,163,〜)…走査線配線 17(171,172,173,〜)…変調線配線 18…真空シール部 21,22…電極 23…導電性薄膜 24…亀裂部 31…ガラス基板(フェースプレート:第2の基板) 32…蛍光体膜 33…アノード電極 72…エミッタ 73…エミッタ電極 74…ゲート電極 75…層間絶縁膜 76…エミッタ先端部
Reference numeral 11: glass substrate (rear plate: first substrate) 12, 82: pixel portion electron source (electron emission device for display) 13, 14, 73, 74 ... electron source for discharge (electron emission device for discharge) 15: discharge use common interconnection 16 (16 1, 16 2, 16 3, ...) ... scanning lines 17 (17 1, 17 2, 17 3, ...) ... modulation line wiring 18 ... vacuum seal portion 21, 22 ... electrode 23 ... conductive Functional thin film 24 Crack 31 Glass substrate (face plate: second substrate) 32 Phosphor film 33 Anode electrode 72 Emitter 73 Emitter electrode 74 Gate electrode 75 Interlayer insulating film 76 Emitter tip

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5C031 DD17 5C032 AA01 5C036 EE09 EE19 EF01 EF06 EF09 EG12 EH04 EH08  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5C031 DD17 5C032 AA01 5C036 EE09 EE19 EF01 EF06 EF09 EG12 EH04 EH08

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】一定の間隔をおいて対向配置された第1及
び第2の基板と、 第2の基板との対向面側の第1の基板上に形成された互
いに平行な複数の走査線配線と、 第2の基板との対向面側の第1の基板上に、前記走査線
配線と交差する方向に形成された互いに平行な複数の変
調線配線と、 前記走査線配線と前記変調線配線の各交点で定義される
画素部内にそれぞれ形成され、一方の電極が前記走査線
配線に、他方の電極が前記変調線配線に接続された表示
用電子放出素子と、 前記画素部の集合からなる表示領域の外側に形成された
共通配線と、 前記走査線配線及び前記変調線配線のそれぞれと前記共
通配線との間に接続された放電用電子放出素子と、 第1の基板との対向面側の第2の基板上に設けられた蛍
光体層及びアノード電極と、 を具備してなることを特徴とする電子線励起蛍光体表示
装置。
A plurality of scanning lines which are formed on a first substrate on a surface facing a second substrate, the first and second substrates being opposed to each other at a predetermined interval; Wiring, a plurality of parallel modulation line wirings formed on the first substrate on the side facing the second substrate in a direction crossing the scanning line wiring, and the scanning line wiring and the modulation line A display electron-emitting device formed in a pixel portion defined at each intersection of wiring, one electrode being connected to the scanning line wiring, and the other electrode being connected to the modulation line wiring, and A common line formed outside the display area, a discharge electron-emitting device connected between each of the scanning line line and the modulation line line, and the common line, and a surface facing the first substrate. A phosphor layer and an anode electrode provided on the second substrate on the side of An electron beam-excited phosphor display device, comprising:
【請求項2】前記共通配線は並列に設置され、前記放電
用電子放出素子が前記並列に配置された共通配線に選択
的に接続されていることを特徴とする請求項1記載の電
子線励起蛍光体表示装置。
2. The electron beam excitation device according to claim 1, wherein said common lines are arranged in parallel, and said discharge electron-emitting devices are selectively connected to said common lines arranged in parallel. Phosphor display device.
【請求項3】前記表示用及び放電用の各電子放出素子
は、導電性薄膜及びこの薄膜中に形成された電子放出部
から形成されていることを特徴とする請求項1記載の電
子線励起蛍光体表示装置。
3. The electron beam excitation device according to claim 1, wherein each of said display and discharge electron-emitting devices comprises a conductive thin film and an electron-emitting portion formed in said thin film. Phosphor display device.
【請求項4】前記表示用電子放出素子は、突起型エミッ
タ電極とこのエミッタ電極の突起先端部を中心とした円
形状の開口部を有するゲート電極から構成された基本素
子を複数配置したものであり、前記放電用電子放出素子
は、前記基本素子を互いに逆方向に並列接続した2つの
基本素子からなる基本単位の素子を複数配置したもので
あることを特徴とする請求項1記載の電子線励起蛍光体
表示装置。
4. The display electron-emitting device according to claim 1, wherein a plurality of basic devices each comprising a projection-type emitter electrode and a gate electrode having a circular opening centered on a tip of the projection of the emitter electrode are arranged. 2. The electron beam according to claim 1, wherein the discharge electron-emitting device includes a plurality of basic unit elements each including two basic elements in which the basic elements are connected in parallel in opposite directions. Excitation phosphor display.
【請求項5】前記放電用電子放出素子を構成する突起型
エミッタ電極の個数は、前記表示用電子放出素子を構成
する突起型エミッタ電極の個数よりも多いことを特徴と
する請求項4記載の電子線励起蛍光体表示装置。
5. The device according to claim 4, wherein the number of projection-type emitter electrodes constituting the discharge electron-emitting device is larger than the number of projection-type emitter electrodes constituting the display electron-emitting device. Electron beam excited phosphor display.
【請求項6】前記放電用電子放出素子の電流駆動能力
は、前記表示用電子放出素子の電流駆動能力よりも大き
いことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の電子
線励起蛍光体表示装置。
6. The electron beam excited fluorescence according to claim 1, wherein the current driving capability of the discharge electron-emitting device is larger than the current driving capability of the display electron-emitting device. Body display device.
【請求項7】前記放電用電子放出素子の電子放出開始電
圧は、前記表示用電子放出素子の電子放出開始電圧より
も低いことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の
電子線励起蛍光体表示装置。
7. The electron beam according to claim 1, wherein an electron emission start voltage of said discharge electron emission element is lower than an electron emission start voltage of said display electron emission element. Excitation phosphor display.
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