JP2002096473A

JP2002096473A - 液滴吐出ヘッド

Info

Publication number: JP2002096473A
Application number: JP2000289818A
Authority: JP
Inventors: Hideyuki Makita; 秀行牧田
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2000-09-25
Filing date: 2000-09-25
Publication date: 2002-04-02

Abstract

(57)【要約】【課題】位置決め精度が得られない。【解決手段】ノズル板３にアライメント穴４１を形成
し、流路基板１にアライメント穴４２をエッチングで形
成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液滴吐出ヘッドに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写
装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置を含
む。）に用いられるインクジェット記録装置における液
滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドは、インク滴
を吐出するノズルを有するノズル板と、ノズルが連通す
る吐出室（インク流路、インク室、圧力室、加圧室、加
圧液室などとも称される。）を有する流路基板と、この
吐出室内のインクを加圧する圧力発生手段とを備えて、
圧力発生手段を駆動することで吐出室内インクを加圧し
てノズルから液滴を吐出させる。

【０００３】従来のインクジェットヘッドとしては、圧
電素子を用いて吐出室の壁面を形成している振動板を変
形変位させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のも
の、吐出室内に配設した発熱抵抗体を用いてインクの膜
沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出させるバブル
型のもの、吐出室の壁面を形成する振動板（又はこれと
一体の電極）と電極を用いて静電力で振動板を変形変位
させることでインク滴を吐出させる静電型のものなどが
ある。

【０００４】このようなインクジェットヘッドにおいて
は、ヘッドを構成する各部品を高精度に製作し、この各
部品を高精度に組立てなければならない。例えば、ノズ
ル板に形成したノズルと流路基板に形成した吐出室との
位置精度にずれが生じると、インク滴吐出特性にバラツ
キが生じる。

【０００５】そこで、従来のインクジェットヘッドとし
て、例えば特開平８−１７４８２５号公報に記載されて
いるように、ノズルを形成したノズル板と、ノズルに連
通する吐出室を形成した流路基板にそれぞれ位置決め用
穴を形成し、この両部材の位置決め用穴を治具のピンに
挿入して位置決めし接合することによって、両部材の位
置合わせを行うようにしたものが知られている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のインクジェットヘッドのように、位置決め用穴
を形成したノズル板と流路基板とを治具のピンに挿入し
て位置決めするのでは、位置決め精度に限界がある。

【０００７】すなわち、従来のインクジェットヘッドの
ように吐出密度が２００ｄｐｉ程度以下のヘッドであれ
ば、上述した冶具のピンを用いた位置決め精度でも十分
に対応することができたが、吐出密度が３００ｄｐｉ以
上のヘッドを製作する場合、ノズルを二列千鳥状に配置
したとしても隣り合うチャンネル間（ビット間）のピッ
チは８５μｍ程度の高密度配置になるため、冶具のピン
を用いた位置決め精度では対応できなくなり、ノズル板
に形成されたノズルと流路基板に形成された液室との位
置ずれによるヘッド製作上の歩留まりが悪くなり、イン
ク滴吐出特性にバラツキが生じるという問題がある。

【０００８】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、インク滴吐出特性のバラツキを低減した液滴吐出
ヘッドを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、ノズル板に位置決
め用穴を形成し、流路基板に位置決め用穴をエッチング
で形成した構成としたものである。

【００１０】また、この流路基板の位置決め用穴は結晶
面方位（１１０）面に形成することが好ましい。さら
に、ノズル板にはノズルを２列形成し、位置決め用穴を
チャンネル方向の両端部でノズル列間の中心にそれぞれ
設けることが好ましい。

【００１１】ここで、流路基板の位置決め用穴の内周面
には段差部を設けることが好ましい。また、流路基板の
位置決め用穴の外周側に溝部を設けることが好ましい。

【００１２】これらの液滴吐出ヘッドにおいて、圧力発
生手段が吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板
に対向する電極とを有し、振動板を静電力で変形変位さ
せることで吐出室内液体を加圧してノズルから液滴を吐
出させる静電型ヘッドとすることが好ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明の第１実施形態
に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの分
解斜視説明図、図２は同ヘッドの振動板長手方向の断面
説明図、図３は図２の要部拡大説明図、図４は同ヘッド
の振動板短手方向の要部拡大断面図である。

【００１４】このインクジェットヘッドは、単結晶シリ
コン基板、多結晶シリコン基板、ＳＯＩ基板などのシリ
コン基板等を用いた第一基板である流路基板１と、この
流路基板１の下側に設けたシリコン基板又はパイレック
スガラス基板或いはセラミックス基板等を用いた第二基
板である電極基板２と、流路基板１の上側に設けた第三
基板であるノズル板３とを備え、インク滴を吐出する複
数のノズル４、各ノズル４が連通するインク流路である
吐出室６、各吐出室６にインク供給路を兼ねた流体抵抗
部７を介して連通する共通液室８などを形成している。

【００１５】流路基板１にはノズル４が連通する複数の
吐出室６及びこの吐出室６の壁面である底部をなす振動
板１０（電極を兼ねている）を形成する凹部を形成し、
ノズル板３にはノズル４となる孔及び流体抵抗部７を形
成する溝を形成し、また流路基板１と電極基板２には共
通液室８を形成する貫通部を形成している。

【００１６】ここで、流路基板１は、例えば単結晶シリ
コン基板を用いた場合、予め振動板厚さにボロンを注入
してエッチングストップ層となる高濃度ボロン層を形成
し、電極基板２と接合した後、吐出室６となる凹部をＫ
ＯＨ水溶液などのエッチング液を用いて異方性エッチン
グすることにより、このとき高濃度ボロン層がエッチン
グストップ層となって振動板１０が高精度に形成され
る。

【００１７】なお、振動板１０に別途第一電極となる電
極膜を形成してもよいが、上述したように不純物の拡散
などによって振動板が電極を兼ねるようにしている。ま
た、振動板１０の電極基板２側の面に絶縁膜を形成する
こともできる。この絶縁膜としてはＳiＯ₂等の酸化膜系
絶縁膜、Ｓi₃Ｎ₄等の窒化膜系絶縁膜などを用いること
ができる。絶縁膜の成膜は、振動板表面を熱酸化して酸
化膜を形成したり、成膜手法を用いたりすることができ
る。

【００１８】また、電極基板２にはｐ型或いはｎ型の単
結晶シリコン基板を用いて、熱酸化法などで酸化層２ａ
を形成し、この酸化層２ａに凹部１４を形成して、この
凹部１４底面に振動板１０に対向する電極１５を設け、
振動板１０と電極１５との間にギャップ１６を形成し、
これらの振動板１０と電極１５とによってアクチュエー
タ部（圧力発生手段）を構成している。このとき、凹部
１４の深さはギャップ１６の長さを規定することにな
る。また、電極基板２にはパイレックス（登録商標）ガ
ラス（硼珪酸ガラス）を用いることができ、この場合に
は絶縁性を有しているので、そのまま凹部１４を形成す
る。さらに、電極基板２にはセラミック基板を用いるこ
ともできる。

【００１９】ここで、電極基板２の凹部１４は図４にも
示すように振動板短手方向で断面形状が傾斜面を有する
形状とし、この凹部１４の底面に電極１５を形成するこ
とにより、振動板１０と電極１５とを振動板短手方向で
非平行状態で対向させている。なお、このように非平行
な振動板１０と電極１５で形成されるギャップ１６を非
平行ギャップと称する。もちろん、振動板１０と電極１
５とを平行な状態で対向させることもできるし、振動板
長手方向で非平行ギャップとすることもできる。

【００２０】電極１５表面にはＳiＯ₂膜などの酸化膜系
絶縁膜、Ｓi₃Ｎ₄膜などの窒化膜系絶縁膜からなる誘電
絶縁膜１７を成膜している。なお、上述したように電極
１５表面に絶縁膜１７を形成しないで、振動板１０側に
絶縁膜を形成することもできる。また、電極基板２の電
極１５としては、金、或いは、通常半導体素子の形成プ
ロセスで一般的に用いられるＡｌ、Ｃｒ、Ｎｉ等の金属
材料や、Ｔｉ、ＴｉＮ、Ｗ等の高融点金属、または不純
物により低抵抗化した多結晶シリコン材料などを用いる
ことができる。

【００２１】これらの流路基板１と電極基板２との接合
は、流路基板１及び電極基板２をいずれもシリコン基板
で形成したときには直接接合で接合することができる。
この直接接合は１０００℃程度の高温化で実施する。ま
た、電極基板２をシリコンで形成して、陽極接合を行う
こともでき、この場合には、電極基板２と流路基板１と
の間にパイレックスガラスを成膜し、この膜を介して陽
極接合を行うこともできる。さらに、流路基板１と電極
基板２にシリコン基板を使用して金等のバインダーを接
合面に介在させた共晶接合で接合することもできる。

【００２２】また、流路基板１と電極基板２との接合
は、流路基板１をシリコン基板、電極基板２をパイレッ
クスガラスでそれぞれ形成した場合には、陽極接合で行
うことができる。陽極接合は、基板間に電圧（−３００
Ｖ〜−５００Ｖ程度）を印加することで比較的低温（３
００℃〜４００℃）で精密な接合を行うことができる。

【００２３】なお、このような陽極接合を確実に行うに
は、基板の接合界面で基板同士の共有結合が生じるよう
に流路基板（第１基板）１、或いは電極基板（第２基
板）２のどちらかがアルカリイオンを多く含む基板であ
ることが必要があり、また、接合する際、熱応力による
基板同士の歪みが少なくなるように基板同士の熱膨張係
数が比較的一致している材料を選択することが好まし
い。したがって、流路基板１に単結晶のシリコン基板を
使用し、電極基板２にＮａ等のアルカリイオンを多く含
み、シリコン基板と比較的熱膨張係数が一致するパイレ
ックスガラス（硼珪酸系ガラス）基板を使用すること
で、基板同士の熱歪みの少ない確実な接合が得られる。

【００２４】ノズル板３には、多数のノズル４を形成す
るとともに、共通液室８と吐出室６を連通するための流
体抵抗部７を形成する溝部を形成している。ここでは、
インク吐出面（ノズル４表面側）には撥水性皮膜を成膜
している。このノズル板３にはステンレス基板（ＳＵ
Ｓ）を用いているが、この他、エレクトロフォーミング
（電鋳）工法によるニッケルメッキ膜、ポリイミド等の
樹脂にエキシマレーザー加工をしたもの、金属プレート
にプレス加工で穴加工をしたもの等でも用いることがで
きる。

【００２５】また、撥水性皮膜は、フッ素系樹脂微粒子
であるポリテトラフルオロエチレン微粒子を分散させた
電解又は無電解ニッケル共析メッキ（ＰＴＦＥ−Ｎi共
析メッキ）によるメッキ皮膜で形成することができる。

【００２６】このインクジェットヘッドは、ノズル４を
二列配置し、この各ノズル４に対応して吐出室６、振動
板１０、電極１５なども二列配置し、各ノズル列の中央
部（ヘッド中央部）に共通液室８を配置して、共通液室
８から左右の吐出室６にインクを振り分けて供給する構
成を採用している。これにより、各吐出室６へのインク
供給を均等に配分することができ、各吐出室の駆動状態
の緩衝をほとんど受けることなく、均一なインク滴吐出
特性を確保することができて、簡単なヘッド構成で多数
のノズル４を有するマルチノズルヘッドを構成すること
ができる。このノズル４の配列密度で規定されるこのヘ
ッドの吐出密度は３００ｄｐｉとしている。

【００２７】そして、電極１５は外部に延設して接続部
（電極パッド部）１５ａとし、これにヘッド駆動回路で
あるドライバＩＣ２０をワイヤボンドによって搭載した
ＦＰＣケーブル２１を異方性導電膜などを介して接続し
ている。このとき、電極基板２とノズル板３との間（ギ
ャップ１６入口）はエポキシ樹脂等の接着剤を用いたギ
ャップ封止剤２２にて気密封止し、ギャップ１６内に湿
気が侵入して振動板１０が変位しなくなるのを防止して
いる。

【００２８】さらに、インクジェットヘッド全体をフレ
ーム部材２５上に接着剤で接合している。このフレーム
部材２５にはインクジェットヘッドの共通液室８に外部
からインクを供給するためのインク供給穴２６を形成し
ており、またＦＰＣケーブル２１等はフレーム部材２５
に形成した穴部２７に収納される。

【００２９】このフレーム部材２５とノズル板３との間
はエポキシ樹脂等の接着剤を用いたギャップ封止剤２８
にて封止し、撥水性を有するノズル板３表面のインクが
電極基板２やＦＰＣケーブル２１等に回り込むことを防
止している。

【００３０】そして、このヘッドのフレーム部材２５に
はインクカートリッジとのジョイント部材３０が連結さ
れて、フレーム部材２５に熱融着したフィルタ３１を介
してインクカートリッジからインク供給穴２６を通じて
共通液室８にインクが供給される。

【００３１】このように構成したインクジェットヘッド
においては、振動板１０を共通電極とし電極１５を個別
電極として、振動板１０と電極１５との間に駆動波形を
印加することにより、振動板１０と電極１５との間に静
電力（静電吸引力）が発生して、振動板１０が電極１５
側に変形変位する。これにより、吐出室６の内容積が拡
張されて内圧が下がるため、流体抵抗部７を介して共通
液室８から吐出室６にインクが充填される。

【００３２】次いで、電極１５への電圧印加を断つと、
静電力が作用しなくなり、振動板１０はそれ自身のもつ
弾性によって復元する。この動作に伴い吐出室６の内圧
が上昇し、ノズル４からインク滴が吐出される。再び電
極に電圧を印加すると、再び静電吸引力によって振動板
は電極側に引き込まれる。

【００３３】この場合、振動板１０と電極１５との間の
実効的なギャップ長（保護膜１７の厚みを除く長さ）が
短い部分から変位を開始し、それに伴なって漸次振動板
１０と電極１５とのギャップ長が短くなる。したがっ
て、振動板１０の変位開始位置のバラツキが低減すると
ともに、駆動電圧を低電圧化することができる。

【００３４】次に、このインクジェットヘッドにおける
流路基板１とノズル板３との位置決めに関する構成につ
いて図５乃至図７をも参照して説明する。なお、図５は
同ヘッドのノズル板の平面図、図６は同ヘッドの電極基
板に接合した状態での流路基板の平面図、図７は位置決
め用穴の拡大説明図である。

【００３５】まず、ノズル板３には、図５及び図７に示
すように、チャンネル方向の両端部でノズル列４Ａ、４
Ｂ間の中心にそれぞれ貫通孔からなる位置決め用穴（ア
ライメント穴）４１を形成している。このアライメント
穴４１は、ノズル板３をＳＵＳのプレスで形成するとき
にはノズル４とともにプレスで形成し、ノズル板３をニ
ッケル電鋳で形成するときにはアライメント穴４１に対
応する部分にもレジストパターンを形成するなどしてノ
ズル４とともに電鋳で形成することができる。

【００３６】一方、流路基板１にも、図６及び図７に示
すように、チャンネル方向の両端部で凹部からなる位置
決め用穴（アライメント穴）４２、４２を形成してい
る。これらのアライメント穴４２は、結晶面方位（１１
０）のシリコン基板で形成した流路基板１の（１１０）
面にエッチングによって形成している。したがって、こ
のアライメント穴４２の図７に示す壁面４２ａは垂直面
となる。

【００３７】ここで、ノズル板３と流路基板１との位置
決めはノズル板３上方からＣＣＤカメラ等の撮像手段で
撮像して行うので、図７に示すように、ノズル板３のア
ライメント穴４１を流路基板１のアライメント穴４２よ
りも大きく形成している。ただし、このノズル板３のア
ライメント穴４１が大き過ぎると高精度な位置決めがで
きないので、ノズル板３のアライメント穴４１と流路基
板１のアライメント穴４２との直径差は５０μｍ前後が
好ましい。また、ノズル板３のアライメント穴４１の大
きさは、１００〜３００μｍ程度が好ましい。

【００３８】このようにノズル板３にアライメント穴４
１を形成し、流路基板１にエッチングでアライメント穴
４２を形成したので、ノズル板３の上方からＣＣＤカメ
ラ等の撮像手段を用いて撮像し、この撮像結果を画像処
理装置で画像処理することにより、ノズル板３と流路基
板１との高精度な位置決めを行うことができる。この場
合、ノズル板３に形成した穴と流路基板１に形成した穴
との位置決めには、前述のような治具を使用しないの
で、例えばノズル４の集積密度（吐出密度）が３００ｄ
ｐｉ以上の場合でもノズル板３に形成されたノズル４と
流路基板１に形成された吐出室６（実際には吐出室とな
る凹部）とを高精度に位置決めできて位置ずれによる歩
留まりの低下をきたすことがなく、また、噴射特性のバ
ラツキも低減し、画像品質が向上する。

【００３９】また、流路基板１に結晶面方位（１１０）
のシリコン基板を用いて（１１０）面にエッチングによ
りアライメント穴４２を形成することで、壁面４２ａを
垂直面とすることができ、ＣＣＤカメラ等の撮像手段で
撮像したときのコントラストが高くなり、画像処理時に
おける画像認識精度が向上して、更に位置決め精度が向
上する。また、アライメント穴４２は凹部とすることが
できて、エッチング時間も短く、プロセス上の不都合も
生じない。

【００４０】これに対して、図８に示すように、シリコ
ン基板の（１００）面にアライメント穴４２´を形成し
た場合、アライメント穴４２´の壁面４２ａ´は傾斜面
となるため、所要のコントラストを得るためにはアライ
メント穴４２´を貫通穴としなければならないので、エ
ッチングに時間がかかり、コストが高くなるとともに、
流路基板１の下方に接合する電極基板２にも穴を明けな
くてはならなくなる。なお、電極基板２に穴を明けるの
を避けるためには、流路基板１単独でエッチングによっ
て振動板１０を形成すればよいのであるが、このように
流路基板１単独でエッチングによって振動板１０を形成
すると、薄い振動板１０の破損が生じ易くなる。

【００４１】さらに、ノズル板３にはアライメント穴４
１、４１をチャンネル方向の両端部にそれぞれ形成して
いるので、ノズル列間方向よりも高精度が要求されるチ
ャンネル間方向での位置決め精度を向上することができ
る。すなわち、前述した特開平８−１７４８２５号公報
に記載されているように、ノズル列方向に位置決め穴を
それぞれ設けると、チャンネル間の位置精度に偏りが生
じて、位置精度が悪くなり、ノズル列間方向よりも精度
が要求されるチャンネル間方向の位置精度が得られなく
なる。

【００４２】また、ノズル列４Ａ、４Ｂ間の中心にアラ
イメント穴４１、４１を形成しているので、ノズル列間
の中心の位置精度が均等になり、ヘッドの各部品交差の
積み上げがノズル列間で対称になり、２つのノズル列４
Ａ、４Ｂの位置ずれ量が均等になって、２列のノズル４
の噴射特性のバラツキを低減することができる。

【００４３】次に、本発明の第２実施形態について図９
を参照して説明する。なお、同図はノズル板と流路基板
とを接着剤接合した状態の要部拡大断面説明図である。
この実施形態では、流路基板１のアライメント穴４２の
内周面には段差部４３を形成して、アライメント穴４２
のノズル板３側の開口をノズル板３のアライメント穴４
１よりも大きく形成している。

【００４４】これにより、ノズル板３と流路基板１とを
接着剤４４で接合したときに、接着剤４４のはみ出し部
分４４ａがアライメント穴４２内周面の段差部４３で阻
止されて位置決めのためのアライメント穴４２内に侵入
することが防止され、画像認識精度が向上し、高精度な
位置決めを行うことができる。

【００４５】すなわち、流路基板１のアライメント穴４
２をストレート穴とした場合、ノズル板３と流路基板１
とを接着剤接合するために流路基板１上に転写法などに
より接着剤４４を塗布した際、接着剤４４の塗布量が多
いと、図１０に示すように、接着剤４４がはみ出して流
路基板１のアライメント穴４２内に付着してしまい（或
いはアライメント穴４２を埋めてしまい）、画像処理で
接着剤４４がノイズとなって画像認識精度が低下し、位
置決め精度が低下する。これに対して、この実施形態の
ように接着剤４４のアライメント穴４２内への侵入を防
止することで、位置決め精度が低下することを防止でき
る。

【００４６】また、本発明の更に他の実施形態として
は、図１１に示すように、流路基板１のアライメント穴
４２の外周側に溝部４５を設けて、ノズル板３と流路基
板１とを接着剤接合するときに、接着剤４４のはみ出し
部分４４ａを溝部４５で阻止することによっても、画像
認識精度が向上し、高精度な位置決めを行うことができ
る。

【００４７】なお、上記各実施形態においては、本発明
を振動板変位方向とインク滴吐出方向が同じになるサイ
ドシュータ方式のインクジェットヘッドに適用したが、
振動板変位方向とインク滴吐出方向と直交するエッジシ
ュータ方式のインクジェットヘッドにも同様に適用する
ことができる。さらに、インクジェットヘッドだけでな
く液体レジスト等を吐出させる液滴吐出ヘッドなどにも
適用できる。また、振動板と液室基板とを同一基板から
形成したが、振動板と液室基板とを別体にして接合する
こともできる。さらにまた、圧力発生手段として、圧電
素子などの電気機械変換素子を用いるもの、或いは、発
熱抵抗体を用いるものなどにも適用することができる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る液滴
吐出ヘッドによれば、ノズル板に位置決め用穴を形成
し、流路基板に位置決め用穴又は凹部をエッチングで形
成したので、ノズルと吐出室とを高精度に位置決めする
ことができ、製造上の歩留まりが向上し、また、噴射特
性のバラツキが低減して画像品質を向上することができ
る。

【００４９】ここで、流路基板の位置決め用穴は結晶面
方位（１１０）面に形成することにより、画像認識精度
が向上し、高精度な位置決めを行うことができる。ま
た、ノズル板にはノズルを２列形成し、位置決め用穴を
チャンネル方向の両端部でノズル列間の中心にそれぞれ
設けることにより、ノズル列間の部品精度のバラツキを
均等にし、２列のノズルの噴射特性のバラツキを低減す
ることができる。

【００５０】また、流路基板の位置決め用穴の内周面に
は段差部を設けることにより、位置決め用穴に接着剤が
侵入するのを防止することができて、画像認識精度が向
上し、高精度な位置決めを行うことができる。さらに、
流路基板の位置決め用穴の外周側に溝部を設けることに
より、画像認識精度が向上し、高精度な位置決めを行う
ことができる。

【００５１】さらに、圧力発生手段が吐出室の壁面を形
成する振動板と、この振動板に対向する電極とを有し、
振動板を静電力で変形変位させることで吐出室内液体を
加圧してノズルから液滴を吐出させる静電型ヘッドとす
ることで、噴射特性のバラツキを低減し、画像品質及び
信頼性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘ
ッドの分解斜視説明図

【図２】同ヘッドの振動板長手方向の断面説明図

【図３】図２の要部拡大説明図

【図４】同ヘッドの振動板短手方向の要部拡大断面図

【図５】同ヘッドのノズル板の平面図

【図６】同ヘッドの流路基板の平面図

【図７】同ヘッドのアライメント穴の拡大説明図

【図８】流路基板のアライメント穴をシリコン基板の
（１００）面に形成したときのアライメント穴の拡大説
明図

【図９】本発明の他の実施形態の説明に供する要部拡大
断面説明図

【図１０】同実施形態の作用説明に供する要部拡大断面
説明図

【図１１】本発明の更に他の実施形態の説明に供する要
部拡大断面説明図

【符号の説明】

１…流路基板、２…電極基板、３…ノズル板、４…ノズ
ル、６…吐出室、７…流体抵抗部、８…共通液室、１０
…振動板、１４…凹部、４１…アライメント穴、４２…
アライメント穴、４３…段差部、４５…溝部。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液滴を吐出するノズルを有するノズル板
と、前記ノズルが連通する吐出室を形成したシリコン基
板からなる流路基板と、前記液滴を吐出させる圧力を発
生する圧力発生手段を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ノズル板に位置決め用穴を形成し、前記流路基板に
位置決め用穴をエッチングで形成したことを特徴とする
液滴吐出ヘッド。
【請求項２】請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおい
て、前記流路基板の位置決め用穴は結晶面方位（１１
０）面に形成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド
において、前記ノズル板には前記ノズルを２列形成し、
前記位置決め用穴をチャンネル方向の両端部でノズル列
間の中心にそれぞれ設けたことを特徴とする液滴吐出ヘ
ッド。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載の液滴
吐出ヘッドにおいて、前記流路基板の位置決め用穴の内
周面には段差部を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッ
ド。
【請求項５】請求項１乃至３のいずれかに記載の液滴
吐出ヘッドにおいて、前記流路基板の位置決め用穴の外
周側に溝部を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載の液滴
吐出ヘッドにおいて、前記圧力発生手段が前記吐出室の
壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極と
を有し、前記振動板を静電力で変形変位させることで吐
出室内液体を加圧して前記ノズルから液滴を吐出させる
ことを特徴とする液滴吐出ヘッド。