JP2002093179A - Non-volatile semiconductor memory - Google Patents

Non-volatile semiconductor memory

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JP2002093179A
JP2002093179A JP2001285119A JP2001285119A JP2002093179A JP 2002093179 A JP2002093179 A JP 2002093179A JP 2001285119 A JP2001285119 A JP 2001285119A JP 2001285119 A JP2001285119 A JP 2001285119A JP 2002093179 A JP2002093179 A JP 2002093179A
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Masamichi Asano
野 正 通 浅
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重 芳 徳
Toshio Yamamura
村 俊 雄 山
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system in which an apparent access time is shortened. SOLUTION: This non-volatile semiconductor memory provided with plural non-volatile memory cells and plural data registers storing temporarily data of the memory cell, transfers data of selected one page out of the memory cells to the corresponding data register, outputs data of one page transferred to the corresponding data register to the outside, and outputs a busy signal indicating that access cannot be performed to the outside while data of one page is transferred to the corresponding data register. The device has a latch circuit connected to the data register and a buffer circuit connected to this latch circuit, and the busy signal is switched to a ready state after data of the head column address of read-out out of the data of one page is transferred to the latch circuit.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、不揮発性半導体メ
モリに関し、特にページ単位での読み出し、書き込み可
能な不揮発性半導体メモリに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-volatile semiconductor memory, and more particularly to a non-volatile semiconductor memory which can be read and written in page units.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近のEEPROM(Electrically Era
sable & Programable Read Only Memory)、特にNA
NDタイプのEEPROMでは、書き込み・消去時にメ
モリセルに流れる電流が少ない点を考慮し、ページ単位
(256ビット〜数Kビット)での読み出し、書き込み
が行なえるよう構成されている。このNANDタイプの
不揮発性半導体メモリとして、現在、4Mビットの記憶
容量を持つものがすでに実用化されている(1989 - ISS
CC An Experimental 4Mb EEROM with a NANDStructured
Cell)。
2. Description of the Related Art Recent EEPROM (Electrically Era)
sable & Programmable Read Only Memory), especially NA
The ND type EEPROM is configured so that reading and writing can be performed in a page unit (256 bits to several K bits) in consideration of a small amount of current flowing to a memory cell at the time of writing / erasing. As the nonvolatile semiconductor memory of the NAND type, a memory having a storage capacity of 4 Mbits has already been put to practical use (1989-ISS).
CC An Experimental 4Mb EEROM with a NANDStructured
Cell).

【0003】図22(a)は8個の浮游ゲート構造を有
するメモリセルMCがビット線とソース間に接続されて
構成されるNAND束2個の構成を示したもので、読み
出し時には選択されたメモリセルの選択ゲートは低レベ
ルに設定され、NAND束中残りの7個のメモリセルの
選択ゲートは高レベルに設定される。またビット線とN
AND束間の選択トランジスタT1のゲート(セレクト
線SL(1))と、GNDとNAND束間の選択トラン
ジスタT2のゲート(セレクト線SL(2))とは、高
レベルに設定される。NAND構造の不揮発性半導体メ
モリでは、図22(b)に示すように書き込まれたメモ
リセルのしきい値は正に分布するが、NAND束中の非
選択トランジスタのゲート電圧(Hレベル)より書き込
み後のしきい値が低い値となるようメモリセルへの電子
の注入量は制御される。このため選択メモリセルのしき
い値電圧が正であれば、ビット線BLとGND間に電流
は流れずビット線は高レベルとなる。逆に選択メモリセ
ルのしきい値電圧が負であればビット線とGND間に電
流が流れビット線は低レベルとなる。このビット線の電
位をセンスすることにより、メモリセルデータの読み出
しを行なう。
FIG. 22A shows a configuration of two NAND bundles each formed by connecting eight memory cells MC each having a floating gate structure between a bit line and a source. The select gates of the memory cells are set to low level, and the select gates of the remaining seven memory cells in the NAND bundle are set to high level. The bit line and N
The gate of the select transistor T1 between the AND bundles (select line SL (1)) and the gate of the select transistor T2 between the GND bundle and the NAND bundle (select line SL (2)) are set to a high level. In the nonvolatile semiconductor memory having the NAND structure, although the threshold value of the written memory cell is positively distributed as shown in FIG. 22B, the writing is performed based on the gate voltage (H level) of the non-selected transistors in the NAND bundle. The amount of electrons injected into the memory cell is controlled so that the later threshold value becomes low. Therefore, if the threshold voltage of the selected memory cell is positive, no current flows between the bit line BL and GND, and the bit line goes high. Conversely, if the threshold voltage of the selected memory cell is negative, a current flows between the bit line and GND, and the bit line goes low. The memory cell data is read by sensing the potential of the bit line.

【0004】次に書き込み動作について説明する。図2
3(a)に示すように選択されたメモリセルの選択ゲー
トには20V程度の高電圧(Vpp)がロウデコーダより
供給され、同じNAND束の他の7個のメモリセルの選
択ゲートには10V程度の中間電圧(VPI)が供給さ
れる。また他のNAND束の全ての選択ゲートには0V
が供給される。この時選択されたメモリセルを含むNA
ND束とビット線間の選択トランジスタのゲート電圧は
12V、NAND束とソース線間の選択トランジスタの
ゲート電圧は0Vに設定される。この状態で、ビット線
を0Vにすると、選択トランジスタにより選択されたN
AND束中のすべてのメモリセルのドレイン、ソース、
及びチャンネルの電位は0Vとなるため、選択されたメ
モリセルの選択ゲートとチャンネル間に20Vの電位差
が生じ、基板から電子が浮游ゲートに注入される。この
とき同じNAND束中の他の7個のメモリセルの選択ゲ
ートとチャンネル間には10Vの電位差が生じるが、1
0Vの電位差では電子の注入がほとんど生じないように
浮遊ゲートとチャンネル間の酸化膜厚を設定しているた
め、他の7個のメモリセルには“0”データが書き込ま
れない。また、ビット線を10V程度の書き込み禁止ド
レイン電圧(VDPI)にすると選択されたメモリセル
の選択ゲートとチャンネル間の電位差は10Vとなり、
書き込みが行なわれない。この時同じNAND束中の他
の7個のメモリセルの選択ゲートとチャンネル間には電
位差が生じないため書き込みが行なわれない。このよう
にして選択されたメモリセルに“0”データを書く場合
はビット線に0Vを、また“1”データを書く場合はビ
ット線にVDPIの電圧を供給することにより、データ
の書き込みを行なう。
Next, a write operation will be described. FIG.
As shown in FIG. 3A, a high voltage (V pp ) of about 20 V is supplied from the row decoder to the selection gate of the selected memory cell, and the selection gates of the other seven memory cells of the same NAND bundle are supplied to the selection gate. An intermediate voltage (VPI) of about 10 V is supplied. 0V is applied to all select gates of other NAND bundles.
Is supplied. At this time, the NA including the selected memory cell
The gate voltage of the selection transistor between the ND bundle and the bit line is set to 12V, and the gate voltage of the selection transistor between the NAND bundle and the source line is set to 0V. In this state, when the bit line is set to 0 V, the N
Drain, source, and drain of all memory cells in the AND bundle
And the potential of the channel becomes 0 V, so that a potential difference of 20 V occurs between the selection gate and the channel of the selected memory cell, and electrons are injected from the substrate into the floating gate. At this time, a potential difference of 10 V is generated between the selection gates and the channels of the other seven memory cells in the same NAND bundle.
Since the oxide film thickness between the floating gate and the channel is set so that injection of electrons hardly occurs at a potential difference of 0 V, "0" data is not written in the other seven memory cells. When the bit line is set to a write-protected drain voltage (VDPI) of about 10 V, the potential difference between the select gate and the channel of the selected memory cell becomes 10 V,
No writing is performed. At this time, writing is not performed because there is no potential difference between the selection gates and the channels of the other seven memory cells in the same NAND bundle. Data is written by supplying 0V to the bit line when writing "0" data to the selected memory cell and supplying VDPI to the bit line when writing "1" data to the selected memory cell. .

【0005】最後に消去動作について説明する。図24
に示すように消去は基板を20V(Vpp)、選択ゲート
を0Vに設定することにより、浮游ゲート中の電子を基
板に引き抜いて消去が行なわれる。このとき選択トラン
ジスタのゲートストレスを緩和するためセレクト線は2
0V(Vpp)に設定される。さらに、メモリアレイ内の
P−N接合部がフォワードバイアス状態とならないよ
う、ビット線、ソース線はOPENにされ、ほぼVpp
電位となる。
Finally, the erasing operation will be described. FIG.
As shown in (1), by setting the substrate at 20 V (V pp ) and the selection gate at 0 V, the electrons in the floating gate are drawn out to the substrate to perform erasing. At this time, the select line is set at 2 to reduce the gate stress of the select transistor.
It is set to 0 V (V pp ). Further, the bit line and the source line are set to OPEN so that the PN junction in the memory array does not enter the forward bias state, and has a potential of approximately Vpp .

【0006】このようにトンネル電流で書き込みが行な
われるNAND構造半導体メモリでは書き込み時にビッ
ト線に流れる電流は小さいため、数1000個のメモリ
セルに同時に書き込みを行なう事が可能である。
As described above, in a NAND-structure semiconductor memory in which writing is performed by a tunnel current, the current flowing through a bit line at the time of writing is small, so that writing can be simultaneously performed to several thousand memory cells.

【0007】図25は、現在実用化されている4M N
AND構造半導体メモリの動作モードを説明した図面で
あり、図25(a)に示すようにカラム方向に512ビ
ット×8(I/O)=4096本のビット線が配置さ
れ、ロウ方向に128NAND束×8ビット=1024
本のワード線が配置されている。このメモリに書き込む
場合、各ビット線に接続された各データレジスタに、I
/Oバッファ回路から512回データを入力した後(図
25(b))、4096ビットに一括して書き込みが行
なわれる(図25(c))。また読み出し時は、メモリ
セルのデータをデータレジスタに転送した後に特定カラ
ムアドレスデータを読み出すランダム読み出しモード
(図25(d))とデータレジスタの内容だけを読み出
すページ内読み出しモード(図25(e))に分けられ
る。ロウ・アドレス(ページアドレス)が切り換わる場
合はランダム読み出し状態となり、メモリセルのデータ
読み出しに10μsec の時間を要するが、カラムアドレ
ス(ページ内アドレス)が切り換わる場合はページ読み
出しが可能となり、70nsecの高速読み出しが行なえ
る。図26は、このように構成された半導体メモリのブ
ロック系統図で、各ビット線には、ビット線の電位を判
定してメモリセルのデータを読み出すセンスアンプ回路
と、読み出し、書き込み時のデータをラッチしておくデ
ータレジスタが接続される。またこのデータレジスタ
は、カラムアドレスに対応して選択されたカラムデコー
ダ出力により選択的にデータの出力、入力が行なえるよ
う構成される。またロウ・アドレスバッファにより駆動
されるロウ・デコーダ回路は、選択されたワード線と、
選択されたメモリセルを含むNAND束の他の7本のワ
ード線と、他のNAND束のワード線に、読み出し、書
き込み、消去各モードでそれぞれ前述の異なる電圧を供
給するよう構成される。また読み出し、書き込み、消去
の各モードは、I/Oバッファ回路より入力されるコマ
ンドコードにより制御される。コマンドデータは図27
に示すように外部制御信号NWEのクロックによりコマ
ンドレジスタに取り込まれ、取り込まれたコマンドコー
ドに対応するコマンドデコーダ出力により、チップ動作
が決定される。図28は、図27の動作モードにおける
ランダム読み出し(ページ読み出し)とページ内読み出
しのタイミングを示す図で、ロウアドレスが切り換った
場合のアクセスタイム(tacc )は10μsec と遅い
が、カラムアドレスが切り換った場合のアクセスタイム
(tpac)は70nsecと高速なため、1ページ連続読み
出しの場合の平均アクセスタイムは(10μsec +70
nsec×511)/512=89.3nsecと高速読み出し
が可能となっている。図29はシリアルデータ入力後に
一括書き込みを行なう場合の入力波形タイミングを示す
もので、まずI/Oバッファから〔40〕のコマンドコ
ードが入力されると、制御回路により、チップは512
バイトのシリアルデータ入力モードとなり、外部制御信
号NWEのクロックにより、ロウアドレス及び512バ
イトのデータ入力を行なう。第512バイト目のデータ
が入力されると自動的に4096ビットのデータ書き込
みが行なわれる。その後データが正しく書き込まれたか
をチェックするため、ユーザーは、〔CO〕のコマンド
を入力し、書き込み時にワード線及びビット線に供給さ
れた高電圧を放電するリカバリー動作とカラムアドレス
をインクリメントしながら全カラムアドレスのデータを
読み出すベリファイ動作を行なう。読み出されたデータ
が、書き込もうとしたデータと異なる場合、再度ユーザ
ーは〔40〕のコマンドを入力して書き込みを行なう必
要がある。このように構成された従来のメモリにおい
て、任意番地から任意長のデータを読み書きする場合、
メモリを制御する外部チップは、このメモリのカラム番
地とロウ番地を識別して、ページアドレスが切り換ると
きは10μsec 後にデータ読み出しを行ない、ページ内
アドレスが切り換るときは、70nsec後にデータ読み出
しを行なうようにEEPROMにアクセスしなければな
らない。図30(a)は3カラムアドレス(A0〜A
2)、7ロウアドレス(A3〜A8)で構成された半導
体メモリの2番地から1F番地までの連続データを読み
出す場合の、メモリ制御チップのプログラムのシーケン
スを示したものである。同図(b)はその概念を示す。
最初の読み出し時は、メモリセルデータをデータレジス
タに転送する必要があるため、アクセスタイムは10μ
sec となる。次に2番地から7番地まではカラムアドレ
スのみ切り換るので、カラムアドレスをインクリメント
しながら70nsecで読み出し動作を行なう。次に8番地
になるとロウ・アドレスが切り換るため、再度メモリセ
ルデータをデータレジスタに転送する必要があり、アク
セスタイムは10μsec となる。さらに8番地からF番
地までは、また70nsecの連続読み出しとなる。
FIG. 25 shows a 4M N which is currently in practical use.
FIG. 25 is a diagram for explaining the operation mode of the AND structure semiconductor memory. As shown in FIG. 25A, 512 bits × 8 (I / O) = 4096 bit lines are arranged in the column direction, and 128 NAND bundles are arranged in the row direction. × 8 bits = 1024
Book word lines are arranged. When writing to this memory, each data register connected to each bit line stores I
After data is input 512 times from the / O buffer circuit (FIG. 25 (b)), writing to 4096 bits is performed collectively (FIG. 25 (c)). At the time of reading, a random read mode (FIG. 25D) for reading specific column address data after transferring data of a memory cell to a data register and an in-page read mode for reading only data register contents (FIG. 25E) ). When the row address (page address) is switched, a random read state is set, and it takes 10 μsec to read data from the memory cell. However, when the column address (intra-page address) is switched, page read becomes possible, and 70 nsec. High-speed reading is possible. FIG. 26 is a block diagram of a semiconductor memory configured in this manner. Each bit line has a sense amplifier circuit that determines the potential of the bit line and reads data of the memory cell, and a data that is read and written. A data register to be latched is connected. The data register is configured so that data can be selectively output and input by a column decoder output selected corresponding to a column address. A row decoder circuit driven by a row address buffer includes a selected word line,
The different voltages described above are supplied to the other seven word lines of the NAND bundle including the selected memory cell and the word lines of the other NAND bundle in the read, write, and erase modes. The read, write, and erase modes are controlled by command codes input from the I / O buffer circuit. Command data is shown in FIG.
As shown in (1), the chip is fetched into the command register by the clock of the external control signal NWE, and the chip operation is determined by the command decoder output corresponding to the fetched command code. FIG. 28 is a diagram showing timings of random read (page read) and intra-page read in the operation mode of FIG. 27. The access time (t acc ) when the row address switches is as slow as 10 μsec, but the column address is low. Since the access time (t pac ) in the case where is switched is as fast as 70 nsec, the average access time in the case of continuous reading of one page is (10 μsec + 70).
(nsec × 511) /512=89.3 nsec, which enables high-speed reading. FIG. 29 shows the input waveform timing when batch writing is performed after serial data input. First, when a command code of [40] is input from the I / O buffer, the chip is controlled by the control circuit to 512 bits.
In the byte serial data input mode, a row address and 512-byte data are input by the clock of the external control signal NWE. When the 512th byte of data is input, data of 4096 bits is automatically written. Thereafter, in order to check whether the data has been written correctly, the user inputs a [CO] command, and performs a recovery operation for discharging the high voltage supplied to the word line and the bit line at the time of writing, and a total operation while incrementing the column address. A verify operation for reading data at a column address is performed. If the read data is different from the data to be written, the user needs to input the command of [40] and write again. In the conventional memory configured as described above, when reading and writing data of an arbitrary length from an arbitrary address,
The external chip that controls the memory identifies the column address and the row address of the memory, and performs data reading after 10 μsec when the page address is switched, and reads data after 70 nsec when the intra-page address is switched. Must be accessed to perform the following. FIG. 30A shows three column addresses (A0 to A).
2) shows a program sequence of the memory control chip when reading continuous data from address 2 to address 1F of the semiconductor memory composed of 7 row addresses (A3 to A8). FIG. 2B shows the concept.
At the time of the first reading, since the memory cell data needs to be transferred to the data register, the access time is 10 μm.
sec. Next, since only the column address is switched from address 2 to address 7, the read operation is performed in 70 nsec while incrementing the column address. Next, at the address 8, since the row address is switched, it is necessary to transfer the memory cell data to the data register again, and the access time becomes 10 μsec. Further, from address 8 to address F, continuous reading of 70 nsec is performed again.

【0008】このように、従来の半導体メモリでは、使
用する半導体メモリの1ページ内のビット数を考慮して
読み出し速度を変化させたプログラムを使用する必要が
あった。このため、使用する半導体メモリの1ページ内
のビット数が変わると、再度メモリ制御チップのプログ
ラムを作成し直す必要があった。
As described above, in the conventional semiconductor memory, it is necessary to use a program whose read speed is changed in consideration of the number of bits in one page of the semiconductor memory to be used. Therefore, when the number of bits in one page of the semiconductor memory to be used changes, it is necessary to re-create the memory control chip program.

【0009】図31(a)は、図30と同じ、カラムア
ドレス、ロウアドレス構成の半導体メモリにおいて、書
き込みを行なう場合の、メモリ制御チップのプログラム
のシーケンスを示したものである。図29の入力波形タ
イミングにも示されるように、従来の半導体メモリは1
ページ分のデータを入力した後、書き込み動作に入る。
このため、図31(a)に示すように、2番地から7番
地までデータを書き込みたい場合でも、0番地、1番地
にダミーの不要なデータを入力する必要があった。例え
ば1ページが512ビットで構成されており、そのうち
の1ビットのみを書き込む場合、511ビットの不要な
データ入力を行なう必要がある。また従来の半導体メモ
リではプログラム後に正常に書き込みが行なわれたかを
判断するためプログラムベリファイモードで読み出しを
行ない、プログラムデータと比較して再度書き込みを行
なうか判断する必要があった。このように従来の半導体
メモリにデータ書き込みを行なう場合、メモリ制御チッ
プのプログラムは複雑となり、半導体メモリへのデータ
書き込み時間が長くなっていた。
FIG. 31A shows a program sequence of a memory control chip when writing is performed in a semiconductor memory having the same column address and row address configuration as FIG. As shown in the input waveform timing of FIG.
After inputting data for a page, a write operation is started.
For this reason, as shown in FIG. 31A, even when it is desired to write data from address 2 to address 7, it is necessary to input unnecessary dummy data to addresses 0 and 1. For example, one page is composed of 512 bits, and when only one bit is written, it is necessary to input unnecessary data of 511 bits. Further, in a conventional semiconductor memory, it is necessary to perform reading in a program verify mode in order to determine whether or not writing has been normally performed after programming, and to compare with program data to determine whether or not to perform writing again. As described above, when data is written to the conventional semiconductor memory, the program of the memory control chip becomes complicated, and the time for writing data to the semiconductor memory is increased.

【0010】このように、従来のページ単位での読み・
書き可能な半導体メモリは以上のように構成されている
ので、連続データ読み出し時、前のアドレスと同じペー
ジアドレス内の読み出しか、そうでないかをメモリ制御
チップが判断するため、1ページのビット数の異なる半
導体メモリを使用する場合、メモリ制御チップのプログ
ラムを変更する必要があった。また1ページのビット数
の異なる半導体メモリを多数個使用する場合、メモリ制
御チップはそれぞれの半導体メモリの1ページのアドレ
ス長を個別に管理する必要があった。さらに書き込み時
には、1ページ以下のデータ長の書き込みでも、1ペー
ジ分のデータを入力する必要があり、書き込みに要する
時間が長くなっていた。
As described above, the conventional reading / reading in page units is performed.
Since the writable semiconductor memory is configured as described above, at the time of continuous data reading, the memory control chip determines whether the reading is within the same page address as the previous address or not, so that the number of bits per page is When using different semiconductor memories, it is necessary to change the program of the memory control chip. When a large number of semiconductor memories having different numbers of bits per page are used, the memory control chip needs to individually manage the address length of one page of each semiconductor memory. Further, at the time of writing, it is necessary to input data for one page even when writing with a data length of one page or less, and the time required for writing has been long.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
メモリシステムにおいて、見かけ上のアクセスタイムを
短縮したシステムを提供することを目的とするものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a system in which the apparent access time is shortened in such a memory system.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の不揮発性半導体
メモリは、複数の不揮発性メモリセルと、前記メモリセ
ルのデータを一時記憶する複数のデータレジスタとを備
え、前記メモリセルのうち選択された1ページ分のデー
タを対応する前記データレジスタに転送し、前記データ
レジスタに転送された1ページ分のデータを外部に出力
し、少なくとも前記1ページ分のデータを対応する前記
データレジスタに転送する間、アクセス不可を示すビジ
ー信号を外部へ出力する不揮発性半導体メモリであっ
て、前記データレジスタに接続されたラッチ回路とこの
ラッチ回路に接続された出力バッファ回路とを有し、前
記1ページ分のデータのうち読み出し先頭カラム番地の
データを前記ラッチ回路に転送した後に前記ビジー信号
をレディ状態に切り替えるものとして構成される。
A non-volatile semiconductor memory according to the present invention includes a plurality of non-volatile memory cells and a plurality of data registers for temporarily storing data of the memory cells. The data for one page is transferred to the corresponding data register, the data for one page transferred to the data register is output to the outside, and at least the data for one page is transferred to the corresponding data register. A non-volatile semiconductor memory for outputting a busy signal indicating that access is impossible to the outside, comprising: a latch circuit connected to the data register; and an output buffer circuit connected to the latch circuit. The busy signal is switched to the ready state after the data of the read start column address of the data Configured as obtain things.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図について説明す
る。図1は本発明を適用した不揮発性半導体の一実施例
を示すブロック系統図で、簡単のためにカラムアドレス
(ページ内アドレス)はA0〜A2、ロウアドレス(ペ
ージアドレス)はA3〜A8の1536ビット半導体メ
モリ(512ビット×3 I/O)について示してある。メ
モリセルは図26の従来回路と同様8NAND構成で、
メモリセルの読み出し書き込み時のビット線電位、ワー
ド線電位、選択トランジスタのゲート電位の関係は従来
例と同じである。読み出し時及び書き込み時に外部アド
レスはI/Oバッファ回路を介して入力され、A0〜A
2のカラムアドレスはカラムアドレスバッファ回路に、
またA3〜A8のロウアドレスはロウアドレスバッファ
回路にラッチされる。コマンド回路及び内部動作制御回
路には外部制御信号CLE,ALE,NWP,NCE,
NWE,NREがそれぞれの入力ピンから入力されチッ
プの動作モードが決定される。また、制御回路からはチ
ップがアクセス可能か、不可能かを示す信号が、Ready
/Busyピンを介して外部に出力される。図2に、上記制
御信号によって決定されるチップの動作モードを示して
ある。外部制御信号CLEはコマンド入力モードを決定
し、外部制御信号ALEはアドレス入力モードを決定す
る。さらに外部制御信号NCEはチップセレクト信号で
あり、外部制御信号NWEはコマンド入力モード、アド
レス入力モード及びデータ入力モードでそれぞれの入力
データを取り込むクロック信号の働きをする。また外部
制御信号NREは、データ読み出し時入力されたアドレ
スから連続したアドレスを読み出す際のアドレスインク
リメントと出力バッファのイネーブル機能を持つクロッ
ク信号である。このように構成された半導体メモリで
は、入力データ信号にグリッチが発生し誤まったコマン
ドが入力されると、書き込み又は消去状態となり記憶デ
ータが破壊される可能性がある。このため、本実施例の
半導体メモリでは、外部制御信号NWPが“L”状態で
は、チップが書き込み動作及び消去動作を行なわないよ
う規定する、プログラム/消去のプロテクト機能を有し
ている。Ready /Busy出力端子には、前述したように、
チップがアクセス不可の場合は“L”レベルのBusy
信号が出力され、チップがアクセス可能の場合は“H”
レベルのRead信号が出力される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a nonvolatile semiconductor device to which the present invention is applied. For simplicity, column addresses (addresses within a page) are A0 to A2, and row addresses (page addresses) are 1536 of A3 to A8. The figure shows a bit semiconductor memory (512 bits × 3 I / O). The memory cell has an 8 NAND configuration as in the conventional circuit of FIG.
The relationship among the bit line potential, the word line potential, and the gate potential of the selection transistor at the time of reading / writing of the memory cell is the same as in the conventional example. At the time of reading and writing, an external address is input via an I / O buffer circuit, and A0 to A
The column address of 2 is sent to the column address buffer circuit,
The row addresses A3 to A8 are latched in the row address buffer circuit. The command circuit and the internal operation control circuit include external control signals CLE, ALE, NWP, NCE,
NWE and NRE are input from the respective input pins to determine the operation mode of the chip. A signal indicating whether the chip can be accessed or not is sent from the control circuit.
Output to the outside via the / Busy pin. FIG. 2 shows an operation mode of the chip determined by the control signal. The external control signal CLE determines a command input mode, and the external control signal ALE determines an address input mode. Further, the external control signal NCE is a chip select signal, and the external control signal NWE functions as a clock signal for taking in respective input data in the command input mode, the address input mode, and the data input mode. The external control signal NRE is a clock signal having an address increment when reading a continuous address from an input address at the time of reading data and an output buffer enable function. In the semiconductor memory configured as described above, if a glitch occurs in an input data signal and an erroneous command is input, the semiconductor memory may be in a write or erase state and the stored data may be destroyed. For this reason, the semiconductor memory of the present embodiment has a program / erase protection function for defining that the chip does not perform the write operation and the erase operation when the external control signal NWP is in the “L” state. As described above, the Ready / Busy output terminal
If the chip is inaccessible, "L" level Busy
"H" when a signal is output and the chip is accessible
A level Read signal is output.

【0014】次に、本実施例の不揮発性半導体メモリの
読み出し動作について説明する。図3はカラムアドレス
N番地、ページアドレスM番地から連続読み出しを行な
う場合の制御信号の入力波形とデータ出力タイミングを
示す図面である。
Next, a read operation of the nonvolatile semiconductor memory of this embodiment will be described. FIG. 3 is a diagram showing an input waveform of a control signal and a data output timing when continuous reading is performed from a column address N and a page address M.

【0015】最初に、第2図のアドレス入力モードで、
カラムアドレス番地、ページアドレス番地をアドレスバ
ッファ内に取り込むと同時に、Busy状態を示す
“L”レベルのアクセス不可信号を外部に出力する。こ
のとき図3−(b)に示すように選択されたワード線に
接続されたメモリセル情報がビット線に出力されデータ
レジスタ回路にラッチされる。このラッチ動作が終了す
るとRead状態を示す“H”レベルのアクセス可能信
号を外部に出力し記憶データ読み出し可能であることを
チップ制御コントローラに知らせる。次に外部制御信号
NREのクロックにより入力されたページ内アドレス
(カラムアドレス)をインクリメントしながらデータを
アクセスタイム70nsecで外部に出力する(図3−
(c))。次にページ内アドレス最終番地の読み出しが
終了すると、ページアドレスをインクリメントすると同
時に、Busy状態を示す“L”レベルのアクセス不可
信号を外部に出力し、新しいページアドレスで選択され
たワード線に接続されたメモリセル情報をデータレジス
タ回路にラッチする(図3−(d))。このラッチ動作
終了とともにReady状態を示す“H”レベルのアク
セス可能信号を外部に出力し、外部制御信号REのクロ
ックに応答してページ内アドレス0番地(カラムアドレ
ス0番地)から、ページアドレスをインクリメントしな
がらデータを出力する(図3−(e))。この連続動作
は、読み出したい連続データのデータ長分くり返され、
最終データ読み出し終了後、外部制御信号NCEを
“H”レベルにすることにより一連の読み出し動作が終
了する。
First, in the address input mode shown in FIG.
The column address and the page address are fetched into the address buffer, and at the same time, an “L” level access disable signal indicating a busy state is output to the outside. At this time, as shown in FIG. 3B, the memory cell information connected to the selected word line is output to the bit line and latched by the data register circuit. When this latch operation is completed, an "H" level access enable signal indicating a read state is output to the outside to notify the chip controller that the stored data can be read. Next, data is output to the outside with an access time of 70 nsec while incrementing the in-page address (column address) input by the clock of the external control signal NRE (FIG. 3).
(C)). Next, when the reading of the last address in the page is completed, the page address is incremented, and at the same time, an “L” level access disable signal indicating the busy state is output to the outside, and the read address is connected to the word line selected by the new page address. The latched memory cell information is latched in the data register circuit (FIG. 3D). At the end of the latch operation, an “H” level access enable signal indicating the Ready state is output to the outside, and the page address is incremented from address 0 in the page (column address 0) in response to the clock of the external control signal RE. While outputting data (FIG. 3- (e)). This continuous operation is repeated by the data length of the continuous data to be read,
After the final data reading is completed, the external control signal NCE is set to “H” level, thereby completing a series of reading operations.

【0016】図4は、前述のアドレス入力及びアドレス
インクリメント動作を行なえるよう構成されたアドレス
バッファ回路を示す回路図である。このアドレスバッフ
ァ回路は、CMOSトランスファゲートTG1〜4を使
用したバイナリカウンターとバイナリカウンタの内部を
入力アドレス信号に対応する論理レベルに設定する手段
と、バイナリカウンタの内部を所定の論理にリセットす
る手段とで構成される。Dn はI/O入出力端子に接続
され、外部からのアドレス情報を受け付ける。データラ
ッチ制御信号LPn は、アドレス入力動作モードのとき
外部制御信号NWEの立ち上りに応答して所定の期間だ
け“L”レベルとなる内部制御信号であり、LPn が
“L”レベルのときI/O入力出力端子のアドレス情報
は、ノアゲートNOR1、インバータINV1、ナンド
ゲートNAND1、クロックドインバータCINV1、
クロックドインバータCINV2を介してバイナリカウ
ンタの内部ノードN2,N4に転送される。所定の期間
の後、LPn が“H”レベルとなると、クロックドイン
バータCINV1、CINV2が非動作状態、またクロ
ックドインバータCINV3、CINV4が動作状態と
なるため前述のアドレス情報がバイナリカウンター内に
ラッチされ、アドレスバッファ回路の内部アドレス信号
出力端子AiSにはラッチしたアドレス情報と同相、ま
た内部アドレス信号出力端子AiSBには、ラッチした
アドレス情報と逆相の信号が出力される。このアドレス
バッファ回路の入力端子Ai-1 SとAi-1 SBには、こ
のアドレスバッファ回路の1つ前のアドレスバッファ回
路の内部アドレス信号出力端子が接続され、1つ前のア
ドレスバッファ回路の内部アドレス信号が2周期変化す
ると、このアドレスバッファ回路の内部アドレス信号が
1周期変化するよう構成されている。またそれぞれのア
ドレスバッファ回路の内部アドレス信号は、対応するデ
コーダ回路に入力されており、従来回路と同様に内部ア
ドレス信号に対応したワード線及びビット線が選択され
るよう構成される。リセット信号RSTは、内部アドレ
ス信号AiSを“L”レベル、内部アドレス信号AiS
Bを論理“H”にリセットするために使用される信号
で、リセット信号RSTが“L”→“H”→“L”に変
化すると、内部アドレス信号は前述の所定の論理レベル
に設定される。
FIG. 4 is a circuit diagram showing an address buffer circuit configured to perform the above-described address input and address increment operations. This address buffer circuit includes a binary counter using CMOS transfer gates TG1 to TG4, means for setting the inside of the binary counter to a logic level corresponding to the input address signal, means for resetting the inside of the binary counter to a predetermined logic. It consists of. Dn is connected to an I / O input / output terminal to receive external address information. The data latch control signal LPn is an internal control signal that goes low for a predetermined period in response to the rise of the external control signal NWE in the address input operation mode. The address information of the input / output terminal includes a NOR gate NOR1, an inverter INV1, a NAND gate NAND1, a clocked inverter CINV1,
The data is transferred to the internal nodes N2 and N4 of the binary counter via the clocked inverter CINV2. After a predetermined period, when LPn becomes "H" level, the clocked inverters CINV1 and CINV2 are inactive and the clocked inverters CINV3 and CINV4 are in operation, so that the above-mentioned address information is latched in the binary counter. A signal having the same phase as the latched address information is output to the internal address signal output terminal AiS of the address buffer circuit, and a signal having a phase opposite to that of the latched address information is output to the internal address signal output terminal AiSB. The input terminals Ai-1 S and Ai-1 SB of this address buffer circuit are connected to the internal address signal output terminals of the address buffer circuit immediately before this address buffer circuit, and the internal terminals of the previous address buffer circuit. When the address signal changes by two cycles, the internal address signal of the address buffer circuit changes by one cycle. The internal address signal of each address buffer circuit is input to a corresponding decoder circuit, and a word line and a bit line corresponding to the internal address signal are selected as in the conventional circuit. The reset signal RST sets the internal address signal AiS to the “L” level and the internal address signal AiS
A signal used to reset B to logic "H". When the reset signal RST changes from "L" to "H" to "L", the internal address signal is set to the above-described predetermined logic level. .

【0017】図5にカラムアドレスA0〜A2、ロウア
ドレスA3〜A8で構成される1536ビットの半導体
メモリのアドレスバッファ回路の動作を説明するための
回路図を示す。この回路図のシンボルABUF0〜8の
回路は図4のアドレスバッファ回路と等しくそれぞれア
ドレスA0〜A8に対応するアドレスバッファ回路を示
している。
FIG. 5 is a circuit diagram for explaining the operation of an address buffer circuit of a 1536-bit semiconductor memory composed of column addresses A0 to A2 and row addresses A3 to A8. The circuits of symbols ABUF0 to ABUF8 in this circuit diagram are the same as the address buffer circuits of FIG. 4, and indicate the address buffer circuits corresponding to the addresses A0 to A8, respectively.

【0018】A0〜A2のアドレスバッファ回路ABU
F0〜2には共通にアドレスラッチ制御信号LP1が入
力され、A3〜A5のアドレスバッファ回路ABUF3
〜5に共通にアドレスラッチ制御信号LP2が、さらに
A6〜A8のアドレスバッファ回路ABUF6〜8には
共通にアドレスラッチ制御信号LP3が入力される。ま
たアドレスバッファ回路ABUF0,3,6のデータ入
出力端子Dn は共通にI/O0の入力出力端子に接続さ
れ、アドレスバッファ回路ABUF1,4,7のデータ
入出力端子Dn は共通にI/O1の入力出力端子に接続
される。さらにアドレスバッファ回路ABUF2,5,
8のデータ入出力端子Dn は共通にI/O2の入力出力
端子に接続される。またA0〜A2のアドレスバッファ
回路のリセット信号入力端子には、電源投入時チップ内
部をリセットするため“H”レベルとなる信号RSTと
後述するデータレジスタ読み出しモードの際、アドレス
レジスタの内容をクリアするために“H”レベルとなる
信号DATARPULのOR論理の信号が入力される。
A0 to A2 address buffer circuit ABU
Address latch control signal LP1 is commonly input to F0 to F2, and address buffer circuits ABUF3 of A3 to A5 are input.
5, an address latch control signal LP2 is commonly input to the address buffer circuits ABUF6 to ABUF8 of A6 to A8. The data input / output terminals Dn of the address buffer circuits ABUF0, 3, 6 are commonly connected to the input / output terminals of the I / O0, and the data input / output terminals Dn of the address buffer circuits ABUF1, 4, 7 are commonly connected to the I / O1. Connected to input and output terminals. Further, address buffer circuits ABUF2, 5,
Eight data input / output terminals Dn are commonly connected to input / output terminals of I / O2. A reset signal input terminal of the address buffer circuit of A0 to A2 has a signal RST which becomes "H" level for resetting the inside of the chip at power-on, and clears the contents of the address register in a data register read mode described later. Therefore, the signal of the OR logic of the signal DATAPUL which becomes "H" level is input.

【0019】図3の読み出しモード動作の場合について
以下に図5の回路動作を説明する。アドレスデータをデ
ータ入力端子より入力するため外部制御信号NWEを
“H”→“L”→“H”レベルに変化すると、“H”→
“L”→“H”レベルに変化するパルスのアドレスラッ
チ制御信号LP1が発生する。このとき他のアドレスラ
ッチ制御信号LP2,LP3は論理“H”に保持され
る。この結果前述したようにデータ入出力端子I/O
0,1,2に供給されているアドレス情報がそれぞれの
A0〜A2のアドレスバッファ回路にラッチされ、内部
アドレス信号は、入力されたアドレス情報に対応した論
理レベルに設定される。次にA3からA5までのアドレ
スデータを入力するため各I/O0からI/O2にA3
からA5までのアドレスデータを入力し、外部制御信号
NWEを“H”→“L”→“H”レベルに変化すると、
“H”→“L”→“H”レベルに変化するパルスのアド
レスラッチ制御信号LP2が発生する。このとき他のア
ドレスラッチ制御信号LP1,LP3は論理“H”に保
持される。
The operation of the circuit of FIG. 5 will be described below for the case of the read mode operation of FIG. When the external control signal NWE changes from “H” → “L” → “H” level to input address data from the data input terminal, “H” →
An address latch control signal LP1 of a pulse that changes from “L” to “H” level is generated. At this time, the other address latch control signals LP2 and LP3 are held at logic "H". As a result, as described above, the data input / output terminal I / O
The address information supplied to 0, 1, and 2 is latched by the address buffer circuits A0 to A2, and the internal address signal is set to a logical level corresponding to the input address information. Next, in order to input address data from A3 to A5, A3 is input from I / O0 to I / O2.
When the external control signal NWE changes from “H” → “L” → “H” level when the address data from
An address latch control signal LP2 of a pulse that changes from “H” → “L” → “H” level is generated. At this time, the other address latch control signals LP1 and LP3 are held at logic "H".

【0020】この結果、データ入出力端子I/O0,
1,2に供給されているA3からA5までのアドレス情
報がそれぞれアドレスバッファ回路ABUF3からAB
UF5にラッチされ、内部アドレス信号が入力されたア
ドレス情報に対応した論理レベルに設定される。最後
に、A6からA8までのアドレスデータをI/O0から
I/O2に入力し、外部制御信号NWEを“H”→
“L”→“H”レベルに変化させると、“H”→“L”
→“H”レベルに変化するパルスのアドレスラッチ制御
信号LP3が発生し、A6からA8までのアドレスデー
タはアドレスバッファ回路ABUF6からABUF8に
ラッチされる。このようにNWEパルスの3ステップで
I/O入出力端子に供給されるA0〜A8までのアドレ
ス情報が各アドレスバッファに入力される。
As a result, the data input / output terminals I / O0,
Address information from A3 to A5 supplied to the address buffer circuits A1 and A2 is stored in the address buffer circuits ABUF3 to ABUF3, respectively.
The internal address signal is latched by the UF 5 and set to a logic level corresponding to the input address information. Finally, the address data from A6 to A8 is input from I / O0 to I / O2, and the external control signal NWE is changed from "H" to "H".
When changing from “L” to “H” level, “H” → “L”
→ The address latch control signal LP3 of the pulse which changes to "H" level is generated, and the address data from A6 to A8 is latched by the address buffer circuits ABUF6 to ABUF8. As described above, the address information of A0 to A8 supplied to the I / O input / output terminal is input to each address buffer in three steps of the NWE pulse.

【0021】図6は前述のアドレスラッチ制御信号LP
1〜LP3を発生する回路を示す回路図である。ここで
シンボル表記してあるシフトレジスタはそれぞれ図7、
図8に示されるシフトレジスタ回路を表わしている。こ
の回路はアドレスデータ入力時、外部制御信号NWEの
立ち上りに対応して所定の期間“H”レベルとなるLA
TPULA信号を受けて負論理のデータラッタパルス信
号LP1,LP2,LP3を形成する。電源投入時及び
外部制御信号ALEが“H”→“L”レベルに変化した
時、リセット信号ARSTが所定の期間“H”レベルと
なるため第1のシフトレジスタの出力は“H”レベル、
また第2から第4のシフトレジスタの出力は“L”レベ
ルにイニシャライズされる。次に、アドレスデータ入力
時、第1ステップのNWEクロックに対応して正論理の
LATPULA信号が出力されると、第1のシフトレジ
スタの出力信号が“H”レベルのため、ナンドゲートN
AND2を介して負論理のアドレスラッチ制御信号LP
1が出力される。またパルス信号LATPULAの立ち
下がりに対応してシフトレジスタが1段進んで、第2の
シフトレジスタの出力は“H”レベル、また第1、第
3、第4のシフトレジスタの出力は“L”レベルとな
る。次に第2ステップのNWEクロックに対応して再度
LATPULA信号が出力されると、第2のシフトレジ
スタ回路の出力信号が“H”レベルのため、ナンドゲー
トNAND3を介して負論理のアドレスラッチ制御信号
LP2が出力される。またパルス信号LATPULAの
立ち下がりに対応してシフトレジスタがさらに1段進
み、第3のシフトレジスタの出力信号が“H”レベル、
第1、第2、第4のシフトレジスタの出力信号が“L”
レベルとなる。同じように第3ステップNWEクロック
に対応して、ナンドゲートNAND4を介してアドレス
ラッチ制御信号LP3が出力される。第3ステップのN
WEクロックでアドレス入力が終了すると、第4のシフ
トレジスタの出力信号が“H”レベルとなり、ノアーゲ
ートNOR2の出力信号である各シフトレジスタのCL
OCK入力信号は、“L”レベルに保持される。またこ
のとき各シフトレジスタのCLOKB入力信号はナンド
ゲートNAND5により“H”レベルに保持される。こ
のため第4、第5ステップのNWEクロック信号が入力
され、パルス信号LATPULAが発生しても第1、第
2、第3のシフトレジスタの出力信号は“L”レベルを
保持し、アドレスラッチ制御信号は出力されないよう構
成されている。
FIG. 6 shows the aforementioned address latch control signal LP.
FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a circuit that generates 1 to LP3. The shift registers represented by symbols are shown in FIG.
9 illustrates a shift register circuit illustrated in FIG. When the address data is input, this circuit LA goes high for a predetermined period in response to the rise of the external control signal NWE.
Receiving the TPULA signal, it forms negative data latching pulse signals LP1, LP2 and LP3. When the power is turned on and when the external control signal ALE changes from “H” to “L” level, the output of the first shift register is “H” level because the reset signal ARST is at “H” level for a predetermined period.
The outputs of the second to fourth shift registers are initialized to "L" level. Next, when address data is input, when a positive logic LATPULA signal is output in response to the NWE clock of the first step, the output signal of the first shift register is at "H" level, so that the NAND gate N
Negative logic address latch control signal LP via AND2
1 is output. The shift register advances one stage in response to the fall of the pulse signal LATPULA, the output of the second shift register is at "H" level, and the outputs of the first, third, and fourth shift registers are at "L". Level. Next, when the LATPULA signal is output again in response to the NWE clock of the second step, since the output signal of the second shift register circuit is at "H" level, the address latch control signal of negative logic is output via the NAND gate NAND3. LP2 is output. The shift register further advances by one stage in response to the falling edge of the pulse signal LATPULA, and the output signal of the third shift register goes high.
The output signals of the first, second, and fourth shift registers are “L”
Level. Similarly, the address latch control signal LP3 is output via the NAND gate NAND4 in response to the third step NWE clock. N of the third step
When the address input is completed by the WE clock, the output signal of the fourth shift register becomes "H" level, and the CL of each shift register, which is the output signal of the NOR gate NOR2, is output.
The OCK input signal is held at the “L” level. At this time, the CLOKB input signal of each shift register is held at "H" level by the NAND gate NAND5. Therefore, even if the NWE clock signal of the fourth and fifth steps is input and the pulse signal LATPULA is generated, the output signals of the first, second and third shift registers hold the "L" level, and the address latch control is performed. The signal is not output.

【0022】このようにして、3ステップのNWEクロ
ック信号でアドレス入力が終了すると、第3のラッチデ
ータ制御信号LP3のレベル変化を受けて、Busy信号が
出力され、ロウ・アドレスに対応したアドレスバッファ
回路の内部アドレス信号に対応したワード線が選択され
る。さらに所定の(10μsec )ディレイ時間の後、選
択されたワード線にコントロールゲートが接続された1
ページ分のメモリセルデータがビット線を介して読み出
され、データレジスタにラッチされる。
When the address input is completed by the three-step NWE clock signal in this manner, the Busy signal is output in response to the level change of the third latch data control signal LP3, and the address buffer corresponding to the row address is output. The word line corresponding to the internal address signal of the circuit is selected. After a predetermined (10 μsec) delay time, the control gate is connected to the selected word line.
Memory cell data for a page is read out via a bit line and latched in a data register.

【0023】次にこのデータレジスタの内容を読み出す
ため外部制御信号NREを“H”→“L”→“H”に変
化させた場合の読み出し動作について図5及び図9を使
用して説明する。パルス信号PULはシリアル読み出し
動作モードで外部制御信号REを“H”→“L”レベル
に変化させた時出力される信号で、この信号PUL及び
その反転信号PULBはそれぞれアドレスバッファ回路
A0の入力端子Ai-1SとAi-1 SBに供給される。た
だしアドレス入力後の最初のカラム番地の読み出し時及
びページアドレスが切り換ってデータレジスタ内容が書
き換えられた後の最初のカラム番地の読み出し時は、Re
ad/Busy信号の“L”→“H”レベルへの変化に対応し
てパルス信号PULは出力されないよう構成されてい
る。このように構成された半導体メモリでアドレス入力
(図9はカラムアドレス=4番地を入力した場合)後に
外部制御信号NREを“H”→“L”レベルに変化させ
ると、4番地のデータレジスタの内容がI/O入出力端
子に出力されI/O入出力端子は高インピーダンス状態
から所定のレベルに変化する。このとき前述したように
パルス信号PULは発生しないため、アドレスバッファ
回路のバイナリ出力信号(=内部アドレス信号)は変化
しない。次に外部制御信号NREが“L”→“H”レベ
ルに変化するとI/O入出力端子は高インピーダンス状
態となる。再度外部制御信号NREを“H”→“L”レ
ベルに変化すると、今度はパルス信号PULが発生する
ため、アドレスバッファ回路ABUF0の内部アドレス
信号A0Sは“L”→“H”レベルに変化する。その後
この内部アドレス信号で選択されるデータレジスタの内
容(カラムアドレス=5番地)がI/O入出力端子に出
力される。その後外部制御信号NREを“L”→“H”
レベルに変化するとI/O入出力端子に高インピーダン
ス状態となる。次に外部制御信号NREが“H”→
“L”レベルに変化すると、パルス信号PULにより内
部アドレスA0Sは“H”→“L”レベルへと変化する
とともに、このA0Sの変化に応答してアドレスバッフ
ァ回路ABUF1の出力信号である内部アドレス信号A
1Sも“L”→“H”レベルへと変化する。このように
内部アドレス信号A0S,A1S,A2Sで決定される
内部アドレスは信号PULによりインクリメントされ
る。4ステップ目に外部制御信号NREが“H”→
“L”レベルに変化すると内部カラムアドレス信号はす
べて“H”レベルとなるため、信号COLENDが
“L”→“H”レベルに変化する。この信号COLEN
Dが“H”レベルのときに、外部制御信号REが“L”
→“H”レベルに変化すると(4ステップ目)パルス信
号PULが出力され内部アドレスはインクリメントされ
るとともにReady /Busy信号が“H”→“L”レベルに
変化する。このように外部制御信号NREのクロックに
より、入力されたアドレスで指定される番地から、カラ
ムの最終番地まで連続読み出しが行なわれた後の内部カ
ラムアドレスは0番地を示しており、ロウ・アドレス
(ページアドレス)はインクリメントされる。またBU
SY信号の出力に応答して、新しく選択されたワード線
にゲートが接続されたメモリセルデータが所定の読み出
し時間後(10μsec )にデータレジスタに転送され、
チップがアクセス可能である事を示すREADY信号が
Ready /Busy出力端子に出力される。チップがRead
y状態に変化した後クロック外部制御信号NREを入力
して読み出し動作を行なうと(5ステップ目)、Ready
/Busy信号が“L”→“H”アドレスに変化した後の最
初の読み出し動作であるため信号PULは出力されず、
カラムアドレス0番地のデータレジスタの内容が、I/
O入出力端子に出力される。
Next, a read operation when the external control signal NRE is changed from "H" to "L" to "H" to read the contents of the data register will be described with reference to FIGS. The pulse signal PUL is a signal output when the external control signal RE is changed from "H" to "L" level in the serial read operation mode. The signal PUL and its inverted signal PULB are input terminals of the address buffer circuit A0, respectively. Ai-1S and Ai-1SB. However, when reading the first column address after inputting the address and when reading the first column address after switching the page address and rewriting the data register contents, Re
The pulse signal PUL is configured not to be output in response to the change of the ad / Busy signal from “L” to “H” level. When the external control signal NRE is changed from “H” to “L” level after the address input (FIG. 9 shows the case where the column address = 4 is input) in the semiconductor memory configured as described above, the data register of address 4 The contents are output to the I / O input / output terminal, and the I / O input / output terminal changes from the high impedance state to a predetermined level. At this time, since the pulse signal PUL is not generated as described above, the binary output signal (= internal address signal) of the address buffer circuit does not change. Next, when the external control signal NRE changes from “L” to “H” level, the I / O input / output terminal enters a high impedance state. When the external control signal NRE changes from “H” to “L” level again, a pulse signal PUL is generated this time, so that the internal address signal A0S of the address buffer circuit ABUF0 changes from “L” to “H” level. Thereafter, the contents of the data register (column address = 5) selected by the internal address signal are output to the I / O input / output terminal. After that, the external control signal NRE is changed from “L” to “H”.
When the level changes to a high level, the I / O input / output terminal enters a high impedance state. Next, the external control signal NRE becomes “H” →
When the internal address A0S changes to "L" level, the internal address A0S changes from "H" to "L" level by the pulse signal PUL, and in response to the change of A0S, the internal address signal which is an output signal of the address buffer circuit ABUF1. A
1S also changes from “L” to “H” level. As described above, the internal address determined by the internal address signals A0S, A1S, A2S is incremented by the signal PUL. In the fourth step, the external control signal NRE is changed from “H” →
When the internal column address signal changes to "L" level, all the internal column address signals change to "H" level, so that the signal COLEND changes from "L" to "H" level. This signal COLEN
When D is at “H” level, external control signal RE is at “L” level.
When the signal changes to "H" level (the fourth step), the pulse signal PUL is output, the internal address is incremented, and the Ready / Busy signal changes from "H" to "L" level. As described above, the internal column address after the continuous reading from the address specified by the input address to the last address of the column indicates the address 0 by the clock of the external control signal NRE, and the row address ( Page address) is incremented. Also BU
In response to the output of the SY signal, the memory cell data whose gate is connected to the newly selected word line is transferred to the data register after a predetermined read time (10 μsec),
READY signal indicating that the chip is accessible
Output to Ready / Busy output terminal. Chip is Read
When the read operation is performed by inputting the clock external control signal NRE after changing to the y state (fifth step), the Ready
Since this is the first read operation after the / Busy signal changes from “L” to “H” address, the signal PUL is not output, and
The contents of the data register at column address 0 are I / O
Output to O input / output terminal.

【0024】この後カラムの最終番地まで外部制御信号
NREのクロックにより読み出しを行なうと、前述した
ようにReady /Busy出力端子には再度Busy信号が出
力されるとともに、次のページアドレスのメモリセルデ
ータがデータレジスタに転送される。内部アドレスが最
終番地の読み出し時は、信号COLENDが“L”→
“H”レベルに変化するとともに、信号AENDも
“L”→“H”レベルに変化する。最終番地読み出し後
は次の外部制御信号NREで読み出し動作を行なわない
ように設定される。このため、最終番地読み出し後信号
AENDが“H”レベルに変化すると、Ready /Busy出
力端子にはREADY信号が保持されたままになり、外
部制御信号NREが“L”→“H”レベルに変化しても
パルス信号PULは出力されないよう構成される。また
BUSY信号が出力されないため、メモリセルデータの
データレジスタへの転送も行なわれない。このように、
1チップの最終アドレスまで読み出しが行なわれた場合
に、アドレスがインクリメントされてアドレス0番地の
メモリセルデータが読み出されないように信号AEND
が制御している。
Thereafter, when reading is performed by the clock of the external control signal NRE up to the last address of the column, the Busy signal is output again to the Ready / Busy output terminal as described above, and the memory cell data of the next page address is output. Is transferred to the data register. When reading the last address of the internal address, the signal COLEND becomes “L” →
The signal AEND also changes from “L” to “H” level while changing to “H” level. After the last address is read, the next external control signal NRE is set so that the read operation is not performed. Therefore, when the signal AEND changes to "H" level after the last address read, the READY signal is held at the Ready / Busy output terminal, and the external control signal NRE changes from "L" to "H" level. However, the pulse signal PUL is not output. Since the BUSY signal is not output, the transfer of the memory cell data to the data register is not performed. in this way,
When reading is performed up to the last address of one chip, the signal AEND is incremented so that the memory cell data at address 0 is not read out.
Is controlling.

【0025】このように構成された半導体メモリにおい
て連続データ読み出しを行なう場合のメモリ制御チップ
のプログラムのシーケンスを図10に示す。本実施例の
半導体メモリチップでは、チップがアクセス可能状態で
あれば常に同じアクセイタイム(70nsec)で読み出し
が可能であり、かつカラムアドレス(ページ内アドレ
ス)が最終番地かどうか判定するプログラムを必要とし
ない。このため任意のページ内アドレス長のチップを使
用してもメモリ制御チッププログラムを変更する必要が
なく、多数個のメモリを使用した場合でも簡単なメモリ
制御チッププログラムで多数個のメモリを管理できる利
点がある。図11は、このように構成された半導体メモ
リを多数個使用する場合の連続例を示したもので、外部
制御信号NCEを最上位アドレスとして使用することに
より、このシステムを1つの半導体メモリのビット容量
以上のメモリ容量を持つ1つの半導体メモリのように管
理することが可能となる。
FIG. 10 shows a program sequence of the memory control chip when continuous data reading is performed in the semiconductor memory thus configured. In the semiconductor memory chip of this embodiment, if the chip is accessible, reading is always possible with the same access time (70 nsec), and a program for determining whether the column address (in-page address) is the last address is required. And not. Therefore, there is no need to change the memory control chip program even when a chip having an arbitrary address length within a page is used. Even when a large number of memories are used, a large number of memories can be managed with a simple memory control chip program. There is. FIG. 11 shows a continuous example in the case of using a large number of semiconductor memories configured as described above. By using the external control signal NCE as the most significant address, this system can be used in one semiconductor memory. It is possible to manage as a single semiconductor memory having a memory capacity equal to or larger than the capacity.

【0026】図12は、前述した半導体メモリに書き込
みを行なう場合の外部制御信号の入力波形と、データ入
力タイミングを示す図面である。まずコマンドデータ入
力モードでシリアルデータ入力コマンド80Hが入力さ
れると、チップはプログラムスタート番地を入力するア
ドレス入力モードとなる。アドレス入力モードでは、前
述の読み出しモードと同様に外部制御信号NWEの3ス
テップのクロックでカラムアドレス及びページアドレス
をそれぞれのアドレスバッファ回路に取り込み、各内部
アドレス信号を入力アドレスデータに対応した所定の論
理レベルに設定する。前述の読み出しモードでは、3ス
テップ目のアドレス情報入力後、Ready/Busy出力端子
にはBusy信号が出力され、メモリセルデータがデー
タレジスタに転送されるが、シリアルデータ入力モード
ではReady /Busy出力端子にReady信号が保持され
るよう構成されており、メモリセルデータがデータレジ
スタに転送される読み出し動作は行なわれない。またシ
リアルデータ入力コマンド80Hが入力されるとデータ
レジスタ内のデータがすべて“H”レベルにイニシャラ
イズされる。
FIG. 12 is a diagram showing an input waveform of an external control signal and data input timing when writing to the above-described semiconductor memory. First, when the serial data input command 80H is input in the command data input mode, the chip enters an address input mode for inputting a program start address. In the address input mode, the column address and the page address are fetched into the respective address buffer circuits by the three-step clock of the external control signal NWE as in the above-described read mode, and each internal address signal is converted into a predetermined logic corresponding to the input address data. Set to level. In the above-described read mode, after inputting the address information in the third step, a Busy signal is output to the Ready / Busy output terminal and the memory cell data is transferred to the data register. In the serial data input mode, the Ready / Busy output terminal is used. The read operation of transferring the memory cell data to the data register is not performed. When serial data input command 80H is input, all data in the data register is initialized to "H" level.

【0027】この動作を図13のデータレジスタ回路及
び図14のタイミングチャートを使用して説明する。図
13は各ビット線に1つづつ設けられたデータレジスタ
回路で、クロックドインバータCINV5及びCINV
6はデータラッチの働きをし、かつクロックドインバー
タCINV5はデータ読み出し時センスアンプの役目を
行なう。またゲートに信号PREが供給されたNチャネ
ルトランジスタはデータラッチ部をプリチャージする時
に使用され、この時ビット線とデータラッチ部はゲート
に信号BLCDが供給されたNチャネルトランジスタに
より電気的に切り離される。さらにこのデータレジスタ
回路はゲートにカラムデコーダ出力信号CSLjが入力
されたカラムゲートトランジスタを介して各I/O毎に
1本づつ設けられた共通バスラインIOi/IOiBに
接続されている。まずシリアルデータ入力コマンド80
HがI/O入力出力端子より入力されると、すべてのカ
ラムゲートトランジスタが非導通状態で信号SENB,
RLCHBが“H”レベルに、また信号SEN,RLC
Hが“L”レベルに変化するため、クロックドインバー
タCINV5及びCINV6は非活性となる。それと同
時にプリチャージ信号PREが“H”レベルに変化する
ため、全データレジスタ内のノードBLjは“H”レベ
ルにプリチャージされる。このプリチャージ動作後信号
SENが“L”→“H”レベルへ、また信号RLCHB
が“H”→“L”レベルへ変化しノードNBLjは
“L”レベルに設定される。このようにしてノードBL
j,NBLjの設定が終了した後、信号SENBが
“H”→“L”、また信号RLCHが“L”→“H”レ
ベルに変化して、前述の設定データがデータレジスタ回
路にラッチされる。このイニシャライズ動作によりすべ
てのデータレジスタのノードBLjは“H”レベルとな
り、すべてのデータレジスタのデータは“1”に設定さ
れる。その後アドレス入力動作が終了すると、信号SD
ICが“L”→“H”レベルに変化するため、共通バス
ラインIOi/IOiBに、書き込みデータ及びその反
転データがI/O入出力端子より転送される。次に外部
制御信号NWEが“L”レベルとなっている間入力され
たカラムアドレス(5番地)に対応するカラムデコーダ
出力信号CSL6が“H”レベルとなる。共通バスライ
ンを駆動するバッファインバータBUF1及びBUF2
の電流駆動能力はクロックドインバータCINV5及び
CINV6より充分大きく設定されるため、カラムデコ
ーダ出力信号CSL6によって選択されるデータレジス
タのラッチ内容は、共通バスライン上の書き込みデータ
に書き換えられる。このようにして5番地より7番地ま
で外部制御信号NWEのクロックによりデータ入力が行
なわれる結果、カラムアドレス0番地から4番地までの
データレジスタの内容はイニシャライズされたときのデ
ータ“1”がラッチされており、カラムアドレス5番地
から7番地まではI/O入出力端子から入力されたデー
タがラッチされている。このデータ入力モード後コマン
ド入力モードでプログラムコマンド10Hを入力する
と、チップはメモリセルへのデータ書き込みを行なう。
This operation will be described with reference to the data register circuit of FIG. 13 and the timing chart of FIG. FIG. 13 shows a data register circuit provided for each bit line, and includes clocked inverters CINV5 and CINV.
Reference numeral 6 functions as a data latch, and clocked inverter CINV5 functions as a sense amplifier when reading data. The N-channel transistor whose gate is supplied with the signal PRE is used for precharging the data latch unit. At this time, the bit line and the data latch unit are electrically separated by the N-channel transistor whose gate is supplied with the signal BLCD. . Further, the data register circuit is connected to a common bus line IOi / IOiB provided for each I / O via a column gate transistor whose gate receives a column decoder output signal CSLj. First, the serial data input command 80
When H is input from the I / O input / output terminal, signals SENB, SENB,
RLCHB goes to “H” level, and signals SEN and RLC
Since H changes to “L” level, the clocked inverters CINV5 and CINV6 become inactive. At the same time, the precharge signal PRE changes to “H” level, so that the nodes BLj in all data registers are precharged to “H” level. After the precharge operation, the signal SEN changes from “L” to “H” level, and the signal RLCB
Changes from “H” to “L” level, and node NBLj is set to “L” level. Thus, the node BL
After the setting of j and NBLj is completed, the signal SENB changes from “H” to “L” and the signal RLCH changes from “L” to “H” level, and the setting data is latched in the data register circuit. . By this initialization operation, the nodes BLj of all the data registers are set to the “H” level, and the data of all the data registers are set to “1”. After that, when the address input operation is completed, the signal SD
Since the IC changes from “L” to “H” level, write data and its inverted data are transferred from the I / O input / output terminal to the common bus line IOi / IOiB. Next, while the external control signal NWE is at the "L" level, the column decoder output signal CSL6 corresponding to the input column address (address 5) is at the "H" level. Buffer inverters BUF1 and BUF2 for driving a common bus line
Is set to be sufficiently larger than the clocked inverters CINV5 and CINV6, the latch content of the data register selected by the column decoder output signal CSL6 is rewritten with the write data on the common bus line. As a result, data is input from the address 5 to the address 7 by the clock of the external control signal NWE. As a result, the contents of the data registers from the address 0 to the address 4 of the column are latched with the data "1" at the time of initialization. The data input from the I / O input / output terminal is latched at column addresses 5 to 7. When a program command 10H is input in the command input mode after the data input mode, the chip writes data to a memory cell.

【0028】このデータ書き込み時、ラッチ回路の電源
VBITHはVcc電位から10VのVDPI電位に変化
する。また同時に信号BLCDの電位は0Vから12V
程度の高電位となり、ビット線とラッチ回路が電気的に
接続される結果、データレジスタのデータが“1”であ
るビット線はVDPI電位に設定され、データレジスタ
のデータが“0”であるビット線は0Vに設定される。
このためデータレジスタのデータが“0”であるビット
線に接続されており、ワード線により選択されたメモリ
セルの浮游ゲートに電子が注入され、“0”データがメ
モリセルに書き込まれる。上記書き込み動作中はReady
/Busy出力端子よりBusy信号が出力され、所定の書
き込み時間が経過すると、自動的にREADY信号が出
力されるように設定されている。この書き込み動作が正
常に終了したかどうかは、コマンド入力モードで70H
のフラグリードコマンドを入力することにより、内部レ
ジスタに記憶された自動ベリファイの結果をI/O入出
力端子より読み出すことが可能である。このようなフラ
グリード機能は、従来の半導体メモリでも実用化されて
いる機能であるので、説明は省略する。
[0028] During the data writing, the power VBITH latch circuit is changed to VDPI potential of 10V from V cc potential. At the same time, the potential of the signal BLCD changes from 0V to 12V.
And the bit line and the latch circuit are electrically connected. As a result, the bit line whose data in the data register is "1" is set to the VDPI potential and the bit in which the data in the data register is "0" is set. Line is set to 0V.
For this reason, the data of the data register is connected to the bit line of "0", electrons are injected into the floating gate of the memory cell selected by the word line, and "0" data is written to the memory cell. Ready during the above write operation
The Busy signal is output from the / Busy output terminal, and after a predetermined writing time has elapsed, the READY signal is automatically output. Whether this write operation has been completed normally depends on whether 70H
, The result of the automatic verification stored in the internal register can be read from the I / O input / output terminal. Such a flag read function is a function that has been put to practical use in a conventional semiconductor memory, and a description thereof will be omitted.

【0029】このように構成された半導体メモリの2番
地から7番地までデータを書き込む場合の、メモリ制御
チッププログラムシーケンスを図15に示す。本発明の
実施例の半導体メモリを使用することにより、1ページ
内の途中のアドレスからデータを入力し、スタートカラ
ムアドレス以前のデータを自動的に所定のデータにイニ
シャライズすることが可能となるため、図31の従来例
で示すダミーデータ入力命令を行なう必要がなく、プロ
グラム時間を短縮することが可能となる。
FIG. 15 shows a memory control chip program sequence when data is written from addresses 2 to 7 of the semiconductor memory configured as described above. By using the semiconductor memory according to the embodiment of the present invention, data can be input from an intermediate address in one page, and data before the start column address can be automatically initialized to predetermined data. There is no need to execute the dummy data input instruction shown in the conventional example of FIG. 31, and the program time can be reduced.

【0030】次に本実施例の半導体メモリのアドレスレ
ジスタリード機能について説明する。この機能は、デー
タ読み出し時及びデータ書き込み時にアドレス入力した
後に内部アドレスが正常にラッチされているか、又は外
部制御信号NWEクロックで内部アドレスがインクリメ
ントされている途中で、アドレスレジスタ内にラッチさ
れている内部アドレス情報を読み出したい時に使用され
る。
Next, the address register read function of the semiconductor memory of this embodiment will be described. In this function, the internal address is normally latched after the address is input at the time of data reading and data writing, or is latched in the address register while the internal address is being incremented by the external control signal NWE clock. Used to read internal address information.

【0031】図16は本実施例回路でアドレスレジスタ
の内容を読み出す場合の外部制御信号の入力タイミング
を示す図面である。図17は、本実施例の不揮発性半導
体装置の出力バッファ回路の回路図を示しており、図1
8は図17の信号AREG1〜3及びNAREG1〜3
の信号を作成するアドレスレジスタリード制御回路の回
路図を示している。図18中のシンボル第1のシフトレ
ジスタ及び第2〜4のシフトレジスタはそれぞれ図7及
び図8のシフトレジスタ回路を表わしている。まずコマ
ンド入力モードでE0Hを入力すると、チップは、レジ
スタ読み出しモードになり、図18の信号ADDRが
“L”→“H”レベルに変化するとともに、所定の期間
の正論理のパルス信号ARRSTにより、図18の各シ
フトレジスタの出力ノードAS1,AS2,AS3,A
S4はそれぞれ“H”,“L”“L”,“L”レベルに
リセットされる。レジスタ読み出しモード以前にチップ
が読み出しモードになっていると、図17のクロックド
インバータCINV7の制御信号READ/NREAD
はそれぞれ“H”/“L”レベルとなっているため、ノ
ードOUTにはカレントミラー回路CMで検出された共
通バスラインIOo Bのデータが転送されている。次に
レジスタ読み出しモードになると、信号READは
“H”→“L”レベルに変化するためクロックドインバ
ータCINV7は非活性状態となるが、ノードOUTに
は電流駆動能力がクロックドインバータCINV7〜1
0より小さく設定されたインバータで形成されるラッチ
回路LATが接続されているため、ノードOUTのレベ
ルはレジスタ読み出しモード以前のレベルに保持され
る。次にアドレスレジスタの内容を読み出すため、外部
制御信号NREを“L”レベルに変化させると図18の
ノードADRのレベルが“L”→“H”レベルに変化
し、信号AREG1はノードAS1の“H”レベルに応
答して“H”レベル変化する。このため図17のクロッ
クドインバータCINV8は活性状態となり、ノードO
UTには内部アドレス信号A0Sの論理レベルに対応し
たデータがラッチされる。図17の信号BUSはReady
/Busy入出力端子に出力される信号と逆位相の内部BU
SY信号でありレジスタ読み出しモードのときチップは
アクセス可能状態であるから、信号BUSは“L”レベ
ルとなっている。このため外部制御信号NREが“L”
レベルに変化すると、ノードOEは“L”→“H”レベ
ルに変化し、ノードOUTにラッチされている内部アド
レス信号A0Sと同位相の信号が入出力端子I/O0に
出力される。このとき入出力端子I/O0,1,2には
それぞれ内部アドレス信号A0S,A1S,A2Sと同
位相の信号が出力されるよう構成することにより、1ス
テップ目の外部制御信号NREクロックにより、内部ア
ドレスA0〜A2を同時に読み出すことが可能である。
次に外部制御信号NREを“L”→“H”レベルに変化
させると、ノードADRが“L”レベルとなりクロック
ドインバータCINV8が非活性状態となる。さらにこ
の外部制御信号NREの変化に応答して図19に示すよ
うに負論理のパルス信号AREGPULが形成され図1
8のシフトレジスタの出力ノードAS1が“H”→
“L”レベルへ、また出力ノードAS2が“L”→
“H”レベルへと変化する。このため2ステップ目の外
部制御信号NREの“H”→“L”レベルへの変化で信
号AREG2が“H”レベルとなり、クロックドインバ
ータCINV9を介して内部アドレス信号A3Sの論理
レベルに対応したデータがノードOUTにラッチされ
る。またこのとき、ノードOEのレベルも“L”→
“H”に変化するため、入出力端子I/O0には、内部
アドレス信号A3Sと同位相の信号が出力される。それ
と同時にI/O1,I/O2にはそれぞれ内部アドレス
A4Sと、A5Sと同位相の信号が出力されるよう構成
されている。2ステップ目で外部制御信号NREが
“L”→“H”レベルに変化するとパルス信号AREG
PULにより、図18シフトレジスタ回路の出力ノード
AS2は“H”→“L”レベルへ、また出力ノードAS
3は“L”→“H”レベルへ変化する。3ステップ目で
外部制御信号NREが“H”→“L”レベルに変化する
と、信号AREG3に応答して内部アドレス信号A6S
と同位相の信号が入出力端子I/O0に出力される。こ
のとき、入出力端子I/O1,I/O2にはそれぞれ内
部アドレス信号A7S,A8Sと同位相の信号が出力さ
れるように構成される。3ステップ目で外部制御信号R
Eが“L”→“H”レベルに変化すると、シフトレジス
タの出力ノードAS4が“H”レベルに変化するため、
信号AREGPULに応答してシフトレジスタの出力レ
ベルが変化しなくなる。このため第4ステップ目の外部
制御信号NREクロックを入力しても信号AREG1〜
3は“H”レベルとならず、最後にノードOUTにラッ
チされている内部アドレスA0Sと同位相の信号が入出
力端子I/O0に出力されることになる。再度レジスタ
リードコマンドEOHを入力すれば、パルス信号ARR
STによりシフトレジスタの内容がリセットされ、内部
アドレスA0〜A8を再度読み出すことができる。
FIG. 16 is a diagram showing the input timing of the external control signal when the contents of the address register are read out in the circuit of this embodiment. FIG. 17 is a circuit diagram of an output buffer circuit of the nonvolatile semiconductor device according to the present embodiment.
8 is the signals AREG1 to 3 and NAREG1 to 3 of FIG.
FIG. 3 is a circuit diagram of an address register read control circuit for generating the signal of FIG. The first shift register and the second to fourth shift registers in FIG. 18 represent the shift register circuits of FIGS. 7 and 8, respectively. First, when E0H is input in the command input mode, the chip enters the register read mode, the signal ADDR in FIG. 18 changes from “L” to “H” level, and the positive logic pulse signal ARRST for a predetermined period causes Output nodes AS1, AS2, AS3, A of each shift register in FIG.
S4 is reset to "H", "L", "L", and "L" levels, respectively. If the chip is in the read mode before the register read mode, the control signal READ / NREAD of the clocked inverter CINV7 in FIG.
Are at the “H” / “L” level, respectively, so that the data of the common bus line IOoB detected by the current mirror circuit CM is transferred to the node OUT. Next, in the register read mode, the signal READ changes from “H” to “L” level, so that the clocked inverter CINV7 is in an inactive state.
Since the latch circuit LAT formed by the inverter set to be smaller than 0 is connected, the level of the node OUT is maintained at the level before the register read mode. Next, in order to read the contents of the address register, when the external control signal NRE is changed to "L" level, the level of the node ADR in FIG. 18 changes from "L" to "H" level, and the signal AREG1 is changed to "L" of the node AS1. "H" level changes in response to the "H" level. Therefore, clocked inverter CINV8 shown in FIG.
Data corresponding to the logic level of the internal address signal AOS is latched in the UT. The signal BUS in FIG. 17 is Ready
/ Busy internal BU of opposite phase to the signal output to the input / output terminal
Since the signal is an SY signal and the chip is accessible in the register read mode, the signal BUS is at the “L” level. Therefore, the external control signal NRE becomes "L".
When the level changes to the level, the node OE changes from “L” to “H” level, and a signal having the same phase as the internal address signal A0S latched at the node OUT is output to the input / output terminal I / O0. At this time, the input / output terminals I / O0, 1, 2 are configured to output signals having the same phase as the internal address signals A0S, A1S, A2S, respectively. Addresses A0 to A2 can be read simultaneously.
Next, when the external control signal NRE is changed from “L” to “H” level, the node ADR becomes “L” level, and the clocked inverter CINV8 is deactivated. Further, in response to the change of the external control signal NRE, a negative logic pulse signal AREGPUL is formed as shown in FIG.
8 shift register output node AS1 goes from “H” →
Go to “L” level and output node AS2 goes “L” →
It changes to “H” level. Therefore, the signal AREG2 changes to "H" level when the external control signal NRE changes from "H" to "L" level in the second step, and the data corresponding to the logic level of the internal address signal A3S via the clocked inverter CINV9. Is latched at the node OUT. At this time, the level of the node OE also changes from “L” to →
Since it changes to “H”, a signal having the same phase as the internal address signal A3S is output to the input / output terminal I / O0. At the same time, the I / O1 and I / O2 are configured to output signals having the same phase as the internal addresses A4S and A5S, respectively. In the second step, when the external control signal NRE changes from “L” to “H” level, the pulse signal AREG
Due to PUL, the output node AS2 of the shift register circuit of FIG. 18 goes from “H” to “L” level, and the output node AS
3 changes from "L" to "H" level. When the external control signal NRE changes from “H” to “L” level in the third step, the internal address signal A6S is responded to the signal AREG3.
Is output to the input / output terminal I / O0. At this time, the input / output terminals I / O1 and I / O2 are configured to output signals having the same phase as the internal address signals A7S and A8S, respectively. External control signal R at the third step
When E changes from “L” to “H” level, the output node AS4 of the shift register changes to “H” level.
The output level of the shift register does not change in response to the signal AREGPUL. Therefore, even if the external control signal NRE clock of the fourth step is input, the signals AREG1 to AREG1 are output.
3 is not at the "H" level, and a signal having the same phase as the internal address AOS latched at the node OUT is output to the input / output terminal I / O0. When the register read command EOH is input again, the pulse signal ARR
The contents of the shift register are reset by ST, and the internal addresses A0 to A8 can be read again.

【0032】次にデータレジスタリード機能について説
明する。この機能は書き込みモードでデータ入力後にデ
ータレジスタの内容を確認するため使用される。図16
に示すように、コマンド入力モードでレジスタリードコ
マンドEOHを入力すると、図5のアドレスバッファ回
路にラッチされている内部カラムアドレスを0番地にク
リアする正論理のパルス信号DATARPULが発生さ
れる。このため、前述の読み出し動作で説明したよう
に、外部制御信号NREをクロックで入力すると内部ア
ドレス0番地から最終カラム番地まで、データ入力モー
ドで入力したデータレジスタの内容を連続して読み出す
ことができる。ただし、前述した読み出しモードの場
合、最終のカラムアドレス番地を読み出すと自動的にRe
ady /Busy出力端子からBusy信号が出力されるが、
レジスタ‐読み出しモードでは、前述の信号ADDRの
レベル変化に応答して、Ready /Busy出力端子にはRe
ady信号が保持され、Busy信号が出力されないよ
う構成されている。さらに、前述した読み出しモードで
最終のカラムアドレス番地を読み出すと自動的にロウ・
アドレスがインクリメントされるが、レジスタ‐読み出
しモードでは、信号ADDRによりロウ・アドレスがイ
ンクリメントされなよう制御される。このため、データ
レジスタ読み出しモードでデータレジスタの内容を確認
した後、書き込み動作を行なっても、データレジスタ読
み出しモード以前に入力された所定のロウ・アドレスの
メモリセルに正常にデータレジスタの内容の書き込みを
行なうことができる。
Next, the data register read function will be described. This function is used to confirm the contents of the data register after data input in the write mode. FIG.
As shown in (1), when the register read command EOH is input in the command input mode, a positive logic pulse signal DATAPULL for clearing the internal column address latched in the address buffer circuit of FIG. 5 to address 0 is generated. Therefore, as described in the above-described read operation, when the external control signal NRE is input by a clock, the contents of the data register input in the data input mode can be continuously read from the internal address 0 to the last column address. . However, in the read mode described above, when the last column address is read, Re
The Busy signal is output from the ady / Busy output terminal,
In the register-read mode, the ready / busy output terminal responds to the level change of the signal ADDR.
The configuration is such that the Ady signal is held and the Busy signal is not output. Further, when the last column address is read in the above-described read mode, the row
Although the address is incremented, in the register-read mode, the signal ADDR is controlled so that the row address is not incremented. Therefore, even if the write operation is performed after confirming the contents of the data register in the data register read mode, the contents of the data register can be normally written to the memory cell at a predetermined row address input before the data register read mode. Can be performed.

【0033】次に本実施例の半導体記憶メモリにおい
て、電源投入時に内部アドレスレジスタ及びデータレジ
スタがリセットされる動作を説明する。本実施例では電
源投入時は外部制御信号NWPを“L”レベルに設定
し、電源投入後に外部制御信号NWPを“H”レベルに
設定することにより、内部アドレスレジスタ及びデータ
レジスタがリセットされよう構成される。外部制御信号
NWPは、他の外部制御信号にノイズが発生し、チップ
が誤まってデータレジスタの内容の書き換え、メモリセ
ルへのデータ書き込み/消去を行なうことを防止するた
め、それらのモードを実行可能か否かを制御するため設
けられた外部制御信号である。図2の動作モード表に示
されるように、外部制御信号NWPが“L”レベルのと
き、データ入力、プログラム/消去、メモリセルからデ
ータレジスタへのデータ転送動作が行なわれないようチ
ップは構成される。データ入力動作を禁止するには外部
制御信号NWPが“L”レベルのとき図5の信号PUL
を“H”レベルに保持し、内部アドレスのインクリメン
ト動作が行なわれないように構成すると、図13のデー
タレジスタ回路のリセット動作を行なうプリチャージ信
号PREの発生と、信号SEN/SENB,RLCH/
RLCH5,CSLjによる共通バスラインからデータ
レジスタのデータ転送及びラッチ動作が禁止されるよう
構成すればよい。
Next, the operation of resetting the internal address register and the data register when the power is turned on in the semiconductor memory of this embodiment will be described. In this embodiment, the internal address register and the data register are reset by setting the external control signal NWP to "L" level at power-on and setting the external control signal NWP to "H" level after power-on. Is done. The external control signal NWP is executed in order to prevent noise from occurring in other external control signals and prevent the chip from erroneously rewriting the contents of the data register and writing / erasing data to / from the memory cells. This is an external control signal provided to control whether or not it is possible. As shown in the operation mode table of FIG. 2, when external control signal NWP is at "L" level, the chip is configured such that data input, program / erase, and data transfer from a memory cell to a data register are not performed. You. To inhibit the data input operation, when the external control signal NWP is at "L" level, the signal PUL of FIG.
Is held at the "H" level so that the increment operation of the internal address is not performed, the generation of a precharge signal PRE for resetting the data register circuit of FIG. 13 and the generation of signals SEN / SENB, RLCH /
The data transfer and the latch operation of the data register from the common bus line by RLCH5 and CSLj may be prohibited.

【0034】図21(a)、(b)、(c)はプログラ
ム/消去のコマンド入力回路の回路図であり、信号CM
DWESは、コマンド入力モードのとき外部制御信号N
WEに応答して“H”→“L”レベルに変化する。また
CMDWESBはCMDWESの逆相の信号である。こ
のため、コマンドモードでI/O入出力端子に所定のコ
マンドコードが入力されると、対応するコマンド入力回
路の制御信号が“H”レベルになる。プログラム/消去
の内部動作は、図21に示すそれぞれのコマンド回路の
出力信号RROG/ERASEにより制御されているた
め、外部制御信号NWPと同相の内部信号WPSBで信
号RROG/ERASEが“H”レベルになるのを禁止
することにより、外部制御信号NWPが“L”レベルの
ときプログラム/消去動作が行なわれないように構成さ
れている。さらにメモリセルからデータレジスタへのデ
ータ転送動作は、Ready /Busy出力端子に出力される信
号と逆相の内部信号が“L”→“H”レベルへと変化す
ることを検知して行なわれるため、前述の内部信号WP
SBでこの信号を“L”レベルに保持することで外部制
御信号NWPがLレベルのときデータ転送動作が禁止さ
れる。このように外部制御信号NWPは、データレジス
タの内容の書き換え、メモリセルへのデータ書き込み/
消去動作を禁止するため使用されるとともに、電源投入
時に、内部アドレスレジスタ及びデータレジスタの内容
をイニシャライズするためにも使用される。図21
(c)は、リセットパルス発生回路を示しており、外部
制御信号NWPが“L”→“H”レベルに変化すると
き、正論理のリセットパルスRSTが発生される。この
リセット信号RSTは図4のアドレスバッファ回路に入
力されるており、すべてのアドレスバッファ回路の出力
信号AiSは正論理のリセット信号RSTにより“L”
レベルにリセットされ、内部アドレスは0番地にリセッ
トされる。また図6に示すデータラッチ制御信号発生回
路に入力されるリセット信号ARSTも、リセット信号
RSTに対応して正論理で出力されるため、データラッ
チ制御信号発生回路のシフトレジスタの出力ノードのレ
ベルも前述したように所定のレベルに設定される。また
図18に示すアドレスレジスタリード制御回路に入力さ
れるリセット信号ARRSTもリセット信号RSTに対
応して出力されるため、各シフトレジスタ回路の各出力
ノードは前述した所定のレベルにリセットされる。また
各データレジスタのラッチデータは、リセット信号RS
Tにより“1”データにリセットされる。この信号RS
Tによるリセット動作は、データ入力モードでデータ入
力コマンド80Hを入力した後のデータレジスタ初期設
定動作と同じてあり、カラムゲートトランジスタCSL
jが非導通状態で信号PREによるプリチャージ動作
と、信号SEN/SENB及び信号RLCH/RLCH
Bによるラッチ動作を行なう。このように構成された不
揮発性半導体装置では電源投入時、外部制御信号NC
E,CLE,ALEが不定状態でも外部制御信号NWP
を“L”レベルに固定することにより書き込み/消去の
誤動作を禁止することができ、電源電圧が所定のレベル
になった後外部制御信号NWPを“L”→“H”レベル
に変化させることにより確実にチップ内部のラッチ回路
をリセットすることが可能である。
FIGS. 21 (a), 21 (b) and 21 (c) are circuit diagrams of a program / erase command input circuit.
DWES is an external control signal N in command input mode.
The signal changes from “H” to “L” level in response to WE. CMDWESB is a signal of the opposite phase to CMDWES. Therefore, when a predetermined command code is input to the I / O input / output terminal in the command mode, the control signal of the corresponding command input circuit goes high. Since the internal operation of the program / erase is controlled by the output signal RROG / ERASE of each command circuit shown in FIG. 21, the signal RROG / ERASE becomes “H” level with the internal signal WPSB in the same phase as the external control signal NWP. , The program / erase operation is not performed when the external control signal NWP is at "L" level. Further, the data transfer operation from the memory cell to the data register is performed by detecting that the internal signal having the opposite phase to the signal output to the Ready / Busy output terminal changes from "L" to "H" level. , The aforementioned internal signal WP
By holding this signal at "L" level at SB, the data transfer operation is prohibited when external control signal NWP is at L level. As described above, the external control signal NWP is used for rewriting the contents of the data register, writing data to the memory cell /
It is used to inhibit the erase operation and to initialize the contents of the internal address register and data register when the power is turned on. FIG.
(C) shows a reset pulse generation circuit. When the external control signal NWP changes from “L” to “H” level, a reset pulse RST of positive logic is generated. This reset signal RST is input to the address buffer circuit of FIG. 4, and the output signals AiS of all the address buffer circuits are set to "L" by the positive logic reset signal RST.
The internal address is reset to address 0. The reset signal ARST input to the data latch control signal generation circuit shown in FIG. 6 is also output in a positive logic corresponding to the reset signal RST, so that the level of the output node of the shift register of the data latch control signal generation circuit is also low. The predetermined level is set as described above. The reset signal ARRST input to the address register read control circuit shown in FIG. 18 is also output in response to the reset signal RST, so that each output node of each shift register circuit is reset to the above-described predetermined level. The latch data of each data register is the reset signal RS
It is reset to "1" data by T. This signal RS
The reset operation by T is the same as the data register initial setting operation after inputting the data input command 80H in the data input mode, and the column gate transistor CSL
j is in a non-conductive state, a precharge operation by the signal PRE, and the signals SEN / SENB and RLCH / RLCH
B performs a latch operation. In the nonvolatile semiconductor device thus configured, when power is turned on, the external control signal NC
External control signal NWP even if E, CLE, ALE are undefined
Is fixed to "L" level, malfunction of writing / erasing can be inhibited. After the power supply voltage reaches a predetermined level, the external control signal NWP is changed from "L" to "H" level. It is possible to reliably reset the latch circuit inside the chip.

【0035】次に、本発明のさらに異なる実施例を説明
する。図32はアドレスバッファ回路を示し、シンボル
表記したアドレスバッファABUFは第1の実施例のも
のと同一のものを示す。本実施例では、カラムアドレス
バッファA0〜A2の出力側にさらにもう一段のラッチ
回路ACLiが接続されている。このシンボル表記の内
容は図33に示す通りである。ラッチ制御信号REP,
REPBは互いに逆相の信号である。REPが“H”に
なると、アドレスバッファABUF0〜2の出力信号A
0〜2をとり込み、REPが“L”の間データを保持す
る。このようにしてラッチ回路に現在のアドレスを保存
しておき、アドレスバッファ回路自体のアドレスデータ
を前もってインクリメントすることにより、アドレスバ
ッファ回路のインクリメントに要する時間を短くするこ
とができる。
Next, still another embodiment of the present invention will be described. FIG. 32 shows an address buffer circuit, and the address buffer ABUF indicated by a symbol is the same as that of the first embodiment. In this embodiment, a further latch circuit ACLi is connected to the output side of the column address buffers A0 to A2. The contents of the symbol notation are as shown in FIG. The latch control signal REP,
REPBs are signals having phases opposite to each other. When REP becomes "H", the output signals A of the address buffers ABUF0 to ABUF2 are output.
0 to 2 are held, and data is held while REP is “L”. By storing the current address in the latch circuit in this way and incrementing the address data of the address buffer circuit itself in advance, the time required for incrementing the address buffer circuit can be shortened.

【0036】図35は、データレジスタにラッチされた
データを、データ出力バッファまで転送する回路であ
る。SDiBは、データレジスタにラッチされたデータ
が、図13のバスラインIOi,IOiBを通じて、カ
レントミラー型のセンスアンプに入力されて増幅された
後の信号である。SDiBは、信号CENAが“H”と
なることによりラッチAに入力され、CENAが“L”
となるとラッチAがデータを保持する。さらにCENB
Bが“H”となるとラッチBにデータが転送され、CE
NBBが“L”となることによりラッチBがデータ保持
する。このような回路を用いることにより、ラッチBの
データをチップ外部に出力しながら、データレジスタか
ら次アドレスのデータをラッチAにとり込むことが可能
となる。
FIG. 35 shows a circuit for transferring the data latched in the data register to the data output buffer. SDiB is a signal after the data latched in the data register is input to the current mirror type sense amplifier through the bus lines IOi and IOiB in FIG. 13 and amplified. SDiB is input to the latch A when the signal CENA becomes “H”, and when CENA becomes “L”.
Then, the latch A holds the data. Further CENB
When B becomes "H", data is transferred to latch B, and CE is latched.
When NBB becomes “L”, the latch B holds data. By using such a circuit, the data of the next address can be taken into the latch A from the data register while outputting the data of the latch B to the outside of the chip.

【0037】本発明の回路をシリアルリードに適用した
場合について説明する。図34は、ランダムアクセスと
シリアルアクセスの1サイクル分について、主要信号の
動作を示したタイミングチャートである。信号PRE,
BLCD,SEN,SENB,RLCH,RLCHBは
図13に示した信号であり、ランダムアクセス時は図3
4に示したように変化する。アドレス3ステップ入力後
あるいはシリアルアクセスの後、ランダムリードに入
り、Ready状態になった後、前動作で選択されてい
たワード線を非選択にし、アクセスしようとするワード
線を選択する。この後、信号PREが“H”になり、ビ
ット線及びデータレジスタがプリチャージされる。この
とき、BLCDは“H”となっており、ビット線とデー
タレジスタとは接続されている。その後、PREが
“L”となり、次に信号SENが“L”→“H”→
“L”、RLCHBが“H”→“L”→“H”となるこ
とにより、データレジスタ内のノードBLjに“H”レ
ベルがラッチされる。その後、信号RDENBRが
“H”となり、選択した8nandセルのコントロール
ゲートに所定の電圧が設定される。所定時間後、信号S
ENが“L”→“H”、SENBが“H”→“L”に変
化することにより、図15のCINV5が活性化されて
読み出しデータをセンスする。その後、RLCHが
“L”→“H”、RLCHBが“H”→“L”と変化す
ることにより、1ページ分のセンスデータをラッチす
る。この後、所定時間後に、カラム先頭番地のデータ
を、データレジスタから図35の出力ラッチA及びBに
転送する。すなわち、信号CENに応答して先頭アドレ
スに対応したデータレジスタの出力ゲートCSLijが開
き、前記データがカレントミラー型センスアンプに転送
される。同時に、CENABを“H”→“L”→“H”
とすることにより、このデータはラッチAまで転送され
る。このときCENAは“L”→“H”→“L”に変化
する。CENBBは、NREとほぼ同相の波形で動作す
る信号であり、CENABが最初に“H”→“L”→
“H”へ変化するときラッチBの入力ゲートは開いてお
り、データはラッチBまで転送される。これと同時に、
カラムアドレスカウンタABUF0〜2は、PUL1に
よって、1回インクリメントし、その出力は次アドレス
を示す。しかしながら、REPは“L”レベルのままで
あるため内部アドレスは先頭アドレスを示したままとな
る。以上の動作を、ランダムアクセスの時間内に行い、
Ready /Busy信号を“H”として、ランダムリードが終
了したことをチップ外部に知らせる。続いてシリアルア
クセスを行う場合、外部制御信号NREが“L”となる
と、先頭アドレスデータはラッチBから、データ出力バ
ッファを通して、外部に出力される。これと同時に、チ
ップは、次アドレスのデータをラッチAに転送する動作
を行う。すなわち、先頭アドレスのデータを出力するた
めの制御信号NREのクロック入力に応答して、信号R
EPは出力され、ABUF0〜2の次アドレスのデータ
をアドレス出力ラッチACL0〜2にとり込む(このあ
と、信号PUL1によってカラムアドレスバッファをイ
ンクリメントし、ABUF0〜2のデータはさらに次の
番地を示す。)。次アドレスに対応したデータレジスタ
から、信号CEN,CENABによって、ラッチAに次
アドレスのデータが転送される。その後、制御信号NR
Eが“H”となり、先頭アドレスのデータ出力が終了す
ると、CENBBも“H”となり、ラッチAの次アドレ
スのデータがラッチBに移される。このように、制御信
号NREのクロック入力に対してn番地のデータを出力
し、これと同時にn+1番地のデータをデータレジスタ
から転送することにより、チップ外部から見たシリアル
アクセスタイムは、ラッチBからデータ出力バッファを
通して出力する時間となり、データ出力のサイクルタイ
ムを短くすることができる。本実施例では、アドレスバ
ッファABUF0〜2のデータは、そのとき出力してい
るデータに対して2アドレス先を示し、アドレス出力ラ
ッチACL0〜2のデータは1アドレス先を示してい
る。このため、カラム最終番地のデータを出力し終った
後に、ローアドレスA3S〜A8Sをインクリメントす
るための信号が必要となる。図32に示すように、本実
施例では、アドレスバッファABUF3の入力信号とし
て信号PUL2が入力されている。図35には信号PU
L2を出力する回路を示している。NREクロックによ
りシリアルアクセスを行い、カラム最終番地の1つ前の
アドレスのデータを出力するとき、アドレス出力ラッチ
ACL0〜2はカラム最終番地を示す。これに対応し
て、カラム最終番地であることを示す信号COLEND
が出力される。カラム最終番地のデータを出力するため
に制御信号NREのクロックが入ると、図36の回路に
おいて、NREの立ち下がりに対して、ノードNAにパ
ルス信号が出力される。このとき、NAND1のもう一
方のゲートには“H”が入力されており、このためフリ
ップフロップF1はセットされ、ノードNBは“H”レ
ベルとなる。最終番地のデータを出力し終って制御信号
NREが“H”となると、NAND2を通じてPUL2
にHレベルが出力され、遅延回路delay3を通して
フリップフロップF1がリセットされるまで、PUL2
は“H”レベルを保つ。遅延回路delay2の遅延時
間は、カラム最終番地の1つ前でCOLENDが“H”
レベルとなるので、そのときの制御信号NREのクロッ
クによりノードNAに出力されるパルスを拾わないよう
に、設定される。このように、最終番地のデータを出力
したことを検知してPUL2が出力され、アドレスバッ
ファA3〜A8をインクリメントし、次のページに対し
てのランダムアクセスを行う。
A case where the circuit of the present invention is applied to a serial read will be described. FIG. 34 is a timing chart showing the operation of main signals for one cycle of random access and serial access. The signal PRE,
BLCD, SEN, SENB, RLCH, and RLCHB are the signals shown in FIG.
It changes as shown in FIG. After inputting the address for three steps or after serial access, random read is started, and after entering the Ready state, the word line selected in the previous operation is deselected and the word line to be accessed is selected. Thereafter, the signal PRE becomes "H", and the bit line and the data register are precharged. At this time, the BLCD is at "H", and the bit line and the data register are connected. After that, the PRE becomes “L”, and then the signal SEN changes from “L” → “H” →
When “L” and RLCHB change from “H” → “L” → “H”, the “H” level is latched at the node BLj in the data register. Thereafter, the signal RDENBR becomes “H”, and a predetermined voltage is set to the control gate of the selected 8 nd cell. After a predetermined time, the signal S
When EN changes from “L” to “H” and SENB changes from “H” to “L”, CINV5 in FIG. 15 is activated to sense read data. Thereafter, when RLCH changes from “L” to “H” and RLCHB changes from “H” to “L”, sense data for one page is latched. Thereafter, after a predetermined time, the data at the column head address is transferred from the data register to the output latches A and B in FIG. That is, the output gate CSLij of the data register corresponding to the head address opens in response to the signal CEN, and the data is transferred to the current mirror type sense amplifier. At the same time, CENAB is changed from “H” → “L” → “H”
By doing so, this data is transferred to the latch A. At this time, CENA changes from “L” → “H” → “L”. CENBB is a signal that operates with a waveform that is substantially in phase with NRE, and CENAB is initially “H” → “L” →
When the signal changes to “H”, the input gate of the latch B is open, and data is transferred to the latch B. At the same time,
The column address counters ABUF0 to ABUF2 are incremented once by PUL1, and the output indicates the next address. However, since REP remains at the “L” level, the internal address remains at the head address. Perform the above operation within the random access time,
The Ready / Busy signal is set to “H” to notify the outside of the chip that the random read has been completed. Subsequently, when serial access is performed, when the external control signal NRE becomes “L”, the head address data is output from the latch B to the outside through the data output buffer. At the same time, the chip performs an operation of transferring the data of the next address to the latch A. That is, in response to the clock input of the control signal NRE for outputting the data of the head address, the signal R
The EP is output, and the data of the next address of ABUF0 to ABUF2 is taken into the address output latches ACL0 to ACL2 (then, the column address buffer is incremented by the signal PUL1 and the data of ABUF0 to ABUF2 indicates the next address). . The data of the next address is transferred to the latch A from the data register corresponding to the next address by the signals CEN and CENAB. After that, the control signal NR
When E becomes “H” and the data output of the head address is completed, CENBB also becomes “H”, and the data of the next address of the latch A is moved to the latch B. As described above, by outputting the data at address n in response to the clock input of the control signal NRE and simultaneously transferring the data at address n + 1 from the data register, the serial access time seen from the outside of the chip is It is time to output through the data output buffer, and the cycle time of data output can be shortened. In this embodiment, the data in the address buffers ABUF0 to ABUF2 indicates the address two ahead of the data being output at that time, and the data in the address output latches ACL0 to ACL2 indicates the address one ahead. Therefore, a signal for incrementing the row addresses A3S to A8S is required after outputting the data of the last address of the column. As shown in FIG. 32, in this embodiment, a signal PUL2 is input as an input signal of the address buffer ABUF3. FIG. 35 shows the signal PU.
The circuit which outputs L2 is shown. When serial access is performed by the NRE clock to output data at the address immediately before the last address of the column, the address output latches ACL0 to ACL2 indicate the last address of the column. Correspondingly, a signal COLEND indicating the last address of the column
Is output. When the clock of the control signal NRE is input to output the data at the last address of the column, the circuit of FIG. 36 outputs a pulse signal to the node NA in response to the fall of NRE. At this time, "H" is input to the other gate of NAND1, so that flip-flop F1 is set, and node NB attains "H" level. When the control signal NRE becomes "H" after outputting the data of the last address, PUL2 is output through NAND2.
Until the flip-flop F1 is reset through the delay circuit delay3.
Maintain the "H" level. The delay time of the delay circuit delay2 is such that COLEND is “H” immediately before the last address of the column.
The level is set so that a pulse output to the node NA by the clock of the control signal NRE at that time is not picked up. As described above, when the output of the data of the last address is detected, PUL2 is output, the address buffers A3 to A8 are incremented, and random access to the next page is performed.

【0038】次に、不良ビット線が存在するときにおい
ても適正に書き込みを行えるようにした例を説明する。
Next, an example in which writing can be properly performed even when a defective bit line exists will be described.

【0039】図37は上述の本実施例のチップにおいて
データ入力コマンドを入力した後における内部プリセッ
ト動作を説明するためのフローチャートである。このシ
ーケンスで書き込みを行うと、Alで配線されたビット
線がソース線にショートしているような不良ビット線が
存在する場合には、以下に述べるような問題がある。
FIG. 37 is a flow chart for explaining an internal preset operation after a data input command is input in the above-described chip of this embodiment. When writing is performed in this sequence, if there is a defective bit line in which the bit line wired with Al is short-circuited to the source line, there is a problem as described below.

【0040】即ち、通常このような不良ビット線のカラ
ムアドレスは、ヒューズの切断等により、リダンダンシ
ー回路で記憶されている。この不良ビット線のアドレス
が選択された場合、この不良ビット線の代わりに、カラ
ムリダンダンシーのビット線が選択されるように構成さ
れている。しかしながら、図37に示すプリチャージ動
作及びデータレジスタの初期データプリセット動作は、
カラムアドレスに関係なく、全てのビット線に対して行
われる。このため、図13に示すように、リダンダンシ
ー回路により救済される前の不良ビットのデータレジス
タも、ゲートに信号PREが入力されたトランジスタが
導通状態となるため書き込みインヒビットの“1”デー
タにプリセットされる。この場合以下に述べるような問
題が生じる。図13のデータラッチ回路において、デー
タレジスタのラッチ回路の電源VBITHは、外部電源
ccから、チップ内蔵の昇圧回路により供給される電源
VDPI(10V)に、切り替わり、信号BLCDも0
Vから内部電源の12Vに変化する。このとき、前述の
不良ビット線が接続されたデータレジスタのノードBL
jは、前述のプリセット動作によりハイレベルとなって
いるため、クロックドインバータCINV6のPチャネ
ルトランジスタが導通状態となっており、電源VBIT
Hからグランド電位にリーク電流が流れる。電源VDP
Iは昇圧回路の出力であるため、電流供給能力は通常1
mA以下と小さい。このため、不良ビット線を介してリ
ーク電流が流れると、電源VDPIの電位は、12Vよ
り低下する。これに伴って、他の書き込みインヒビット
のビット線電位も12Vより低下することになり、誤書
き込みが生じるという問題が生じる。
That is, the column address of such a defective bit line is usually stored in a redundancy circuit by cutting a fuse or the like. When an address of the defective bit line is selected, a column redundancy bit line is selected instead of the defective bit line. However, the precharge operation and the initial data preset operation of the data register shown in FIG.
This is performed for all bit lines regardless of the column address. Therefore, as shown in FIG. 13, the data register of the defective bit before being remedied by the redundancy circuit is also preset to the write inhibit “1” data because the transistor to which the signal PRE is input to the gate becomes conductive. You. In this case, the following problem occurs. In the data latch circuit of FIG. 13, the power VBITH latch circuit of the data register from the external power supply V cc, the power is supplied by a booster circuit built-in chip VDPI (10V), switches, and signal BLCD 0
V changes to 12 V of the internal power supply. At this time, the node BL of the data register to which the above-mentioned defective bit line is connected is connected.
Since j is at a high level due to the above-described preset operation, the P-channel transistor of the clocked inverter CINV6 is conducting, and the power supply VBIT
A leak current flows from H to the ground potential. Power supply VDP
Since I is the output of the booster circuit, the current supply capability is usually 1
As small as mA or less. Therefore, when a leak current flows through a defective bit line, the potential of the power supply VDPI falls below 12V. Along with this, the bit line potentials of the other write inhibits also fall below 12 V, causing a problem of erroneous writing.

【0041】図38は、この問題を解決した改良された
本発明の他の実施例の書き込み動作を示すフローチャー
トである。また図39は、この実施例のセンスアンプ・
データレジスタの回路図である。本実施例では、データ
入力コマンドが入力されると、各ビット線に接続されて
いるNチャネルトランジスタTrNlを介して、各ビッ
ト線が充電される。ビット線充電後所定の読み出し時間
をおいて信号BLCDをハイレベルにして、ビット線の
データをデータレジスタに転送する。この所定の時間の
間、全てのセレクト線は非選択状態に設定される。この
ため、リークがあるビット線のレベルはロウレベルに低
下し、ビット線リークのない正常なビット線のレベルは
ハイレベルのままとなる。このビット線のレベルがデー
タレジスタにラッチされる。このようなビット線リーク
テストを行い、不良ビット線が接続されるデータレジス
タには、メモリセルのデータに拘わりなく、書き込みデ
ータとしての“0”データをラッチし、データレジスタ
内のノードBLjのレベルをロウレベルにプリセットす
る。また、正常なビット線が接続されるデータレジスタ
には、書き込みデータとしての“1”データをラッチ
し、データレジスタ内のノードBLjのレベルをハイレ
ベルにプリセットする。図38に示すように、このビッ
ト線リークテストモードが終了すると、アドレス入力モ
ードで指定される所定アドレスから書き込みデータがデ
ータレジスタに入力され、その後書き込みが実施され
る。
FIG. 38 is a flow chart showing a write operation of another embodiment of the present invention in which this problem is solved. FIG. 39 shows the sense amplifier of this embodiment.
FIG. 3 is a circuit diagram of a data register. In the present embodiment, when a data input command is input, each bit line is charged via the N-channel transistor TrN1 connected to each bit line. After a predetermined read time after charging the bit line, the signal BLCD is set to the high level, and the data of the bit line is transferred to the data register. During this predetermined time, all select lines are set to a non-selected state. As a result, the level of the bit line having a leak is reduced to a low level, and the level of a normal bit line having no leak is maintained at a high level. The level of this bit line is latched in the data register. Such a bit line leak test is performed, and “0” data as write data is latched in the data register to which the defective bit line is connected, regardless of the data in the memory cell, and the level of the node BLj in the data register is Is preset to a low level. The data register connected to the normal bit line latches "1" data as write data, and presets the level of the node BLj in the data register to a high level. As shown in FIG. 38, when the bit line leak test mode ends, write data is input to the data register from a predetermined address specified in the address input mode, and thereafter, writing is performed.

【0042】このように、本実施例では、書き込み時
に、不良ビット線が接続されるデータレジスタの内容は
“0”データとなっている。このため、このデータレジ
スタ内のクロックドインバータCINV6のPチャネル
トランジスタTrPlは、非導通状態となっている。こ
のため、書き込み動作が開始されてBLCDが12Vと
なっても、電源VBITHからグランドにリーク電流が
流れることはなく、VBITHの電圧は低下しない。
As described above, in this embodiment, at the time of writing, the content of the data register connected to the defective bit line is "0" data. Therefore, the P-channel transistor TrPl of the clocked inverter CINV6 in the data register is in a non-conductive state. Therefore, even when the writing operation is started and the BLCD becomes 12 V, no leak current flows from the power supply VBITH to the ground, and the voltage of VBITH does not decrease.

【0043】このビット線リークテストによるデータレ
ジスタプリセット動作は、たとえば、FF等のリセット
コマンドが入力された際に行うよう構成してもよい。即
ち、この場合には、書き込み開始前、つまり、データ入
力コマンドを入力する前に、FFリセットコマンドを実
行する。これにより、不良ビット線が接続されたデータ
レジスタの内容は“0”データにプリセットされ、正常
なビット線が接続されたデータレジスタの内容は“1”
データにプリセットされる。この後、データ入力コマン
ドを実行し、所定のアドレスからデータを入力した後書
き込み動作を行うようシステムを構成してもよい。
The data register preset operation by the bit line leak test may be configured to be performed, for example, when a reset command such as FF is input. That is, in this case, the FF reset command is executed before the start of writing, that is, before the data input command is input. As a result, the contents of the data register connected to the defective bit line are preset to "0" data, and the contents of the data register connected to the normal bit line are set to "1".
Preset to data. Thereafter, the system may be configured to execute a data input command, input data from a predetermined address, and then perform a write operation.

【0044】以上説明してきたように、本発明の実施例
によれば、入力されたアドレス番地から1ページ分のデ
ータレジスタの内容を連続的に読み出した後、チップが
アクセス不可である事を示すBUSY信号をチップ外部
に出力するとともに、自動的にロウ・アドレスをインク
リメントし、メモリセルのデータをデータレジスタに転
送することができ、チップ外部で1ページ分のアドレス
管理することなく、任意のデータ長のメモリデータを連
続読み出しすることができる。
As described above, according to the embodiment of the present invention, after the contents of the data register for one page are continuously read from the input address, it indicates that the chip cannot be accessed. The BUSY signal is output to the outside of the chip, the row address is automatically incremented, and the data of the memory cell can be transferred to the data register. Long memory data can be read continuously.

【0045】また、入力アドレスで指定された所定のア
ドレスから任意アドレスまでのデータを入力すると、そ
の1ページ内のアドレスのデータレジスタの内容が所定
の値に自動的に認定されるため、1ページより小さいサ
イズの書き込みを実行する際1ページ分のデータを入力
することなく書き込みを実行することができるので、書
き込みに要する時間を短縮することができる。さらに、
プログラム・消去プロテクト信号で電源投入時のチップ
内部リセット動作を行なっているため、パワーオンリセ
ット回路を使用することなく確実にチップ内容をリセッ
トすることができる。
When data from a predetermined address specified by the input address to an arbitrary address is input, the contents of the data register of the address in one page are automatically recognized as a predetermined value. When performing writing of a smaller size, writing can be performed without inputting data for one page, so that the time required for writing can be reduced. further,
Since the chip internal reset operation at power-on is performed by the program / erase protect signal, the chip contents can be reliably reset without using a power-on reset circuit.

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明によれば、データレジスタと出力
回路の間にラッチ回路を設けてパイプライン動作させる
と共に、ラッチ回路にデータを転送してからビジー信号
をレディ状態に切り換えるようにして、見かけ上のアク
セスタイムを短縮可能とすることができる。
According to the present invention, a latch circuit is provided between a data register and an output circuit to perform a pipeline operation, and a busy signal is switched to a ready state after transferring data to the latch circuit. The apparent access time can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の半導体メモリのブロック図であって、
制御回路からReady/Busy出力するようにした、ブロック
図。
FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor memory of the present invention,
FIG. 4 is a block diagram in which Ready / Busy output is performed from a control circuit.

【図2】本発明の半導体メモリの動作モードを説明する
図表であって、「プログラム・イレーズ中」および「リ
ード(セル→レジスタ)」モードにおいてReady/Busyが
“"L”とした図表。
FIG. 2 is a diagram illustrating an operation mode of the semiconductor memory of the present invention, in which “Read / Busy” is “L” in “program erase” and “read (cell → register)” modes.

【図3】本発明の半導体メモリの読み出し動作のタイミ
ング図であって、セルからデータレジスタ転送中(b)
および(d)に“Busy”状態とした、タイミング図。
FIG. 3 is a timing chart of a read operation of the semiconductor memory according to the present invention, and FIG.
FIG. 4 is a timing chart in which the state is set to “Busy” in FIGS.

【図4】本発明のアドレスバッファ回路の回路図であっ
て、図5のブロックABUFの詳細回路を示し、データ入力
端子I/Onから初期値を直接セット可能とした、回路
図。
4 is a circuit diagram of an address buffer circuit according to the present invention, showing a detailed circuit of a block ABUF in FIG. 5, wherein an initial value can be directly set from a data input terminal I / On.

【図5】本発明のアドレス入力手段の回路図であって、
バイナリカウンタを構成する、回路図。
FIG. 5 is a circuit diagram of an address input unit according to the present invention,
FIG. 3 is a circuit diagram illustrating a binary counter.

【図6】本発明のアドレスラッチ制御信号発生回路の回
路図であって、図5のアドレス入力手段としてのバイナ
リカウンタの夫々のグループ(上・中・下)に初期値を
ラッチさせるラッチパルスLP1〜LP3を生成するようにし
た、回路図。
6 is a circuit diagram of an address latch control signal generation circuit according to the present invention, wherein a latch pulse LP1 for latching an initial value in each group (upper, middle, and lower) of a binary counter as the address input means in FIG. 5; ~ Circuit diagram for generating LP3.

【図7】シフトレジスタ回路の回路図であって、図6の
第1のシフレジスタの詳細を示す図。
FIG. 7 is a circuit diagram of a shift register circuit, showing details of a first shift register in FIG. 6;

【図8】シフトレジスタ回路の回路図であって、図6の
第2のシフレジスタの詳細を示す図。
FIG. 8 is a circuit diagram of a shift register circuit, showing details of a second shift register in FIG. 6;

【図9】図5のアドレス入力手段の動作を説明するため
の内部信号タイミングチャート。
FIG. 9 is an internal signal timing chart for explaining the operation of the address input means of FIG. 5;

【図10】本発明の半導体メモリを読み出し制御プログ
ラムシーケンス図。
FIG. 10 is a sequence diagram of a control program for reading the semiconductor memory of the present invention.

【図11】本発明の半導体メモリを多数個接続して使用
する場合の接続例であり、Ready/Busy等の制御信号が共
通接続されている例。
FIG. 11 is a connection example in a case where a large number of semiconductor memories of the present invention are connected and used, in which control signals such as Ready / Busy are commonly connected.

【図12】本発明の半導体メモリの書き込み動作のタイ
ミング図であって、データインプットコマンド80Hに続
いて、カラムアドレス、ロウアドレス、および書き込み
データが取り込まれる、タイミング図。
FIG. 12 is a timing chart of a write operation of the semiconductor memory of the present invention, in which a column address, a row address, and write data are taken in after a data input command 80H;

【図13】データインプット前にレジスタデータを
“1”にイニシャライズするデータレジスタ回路。
FIG. 13 shows a data register circuit for initializing register data to “1” before data input.

【図14】本発明の半導体メモリの書き込み動作のタイ
ミング図。
FIG. 14 is a timing chart of a write operation of the semiconductor memory of the present invention.

【図15】本発明の半導体メモリの書き込み制御プログ
ラムシーケンス図であって、イニシャライズにより図3
1で必要であったダミーデータの入力が不要になってい
る、シーケンス図。
15 is a write control program sequence diagram of the semiconductor memory of the present invention, and FIG.
FIG. 4 is a sequence diagram in which the input of dummy data required in step 1 is unnecessary.

【図16】本発明の半導体メモリのレジスタリード動作
を説明するための動作タイミング図であって、制御信号
の組合せによりコマンドモードとなり、レジスタリード
コマンドE0Hが取り込まれ、アドレスデータおよびレジ
スタデータが出力される、タイミング図。
FIG. 16 is an operation timing chart for explaining a register read operation of the semiconductor memory of the present invention, in which a command mode is set according to a combination of control signals, a register read command E0H is fetched, and address data and register data are output. FIG.

【図17】本発明の半導体メモリの出力回路の回路図。
(出力バッファ。)
FIG. 17 is a circuit diagram of an output circuit of the semiconductor memory of the present invention.
(Output buffer.)

【図18】本発明のアドレスレジスタリード制御回路の
回路図であって、バイナリカウンタからアドレスを出力
バッファに転送する制御信号を発生する、回路図。
FIG. 18 is a circuit diagram of the address register read control circuit of the present invention, which generates a control signal for transferring an address from an binary counter to an output buffer.

【図19】図17の出力回路のアドレスレジスタリード
動作を説明するための内部信号タイミングチャート。
FIG. 19 is an internal signal timing chart for explaining an address register read operation of the output circuit of FIG. 17;

【図20】本発明の半導体メモリの電源投入時のリセッ
ト動作のタイミング図([0038]参照)。
FIG. 20 is a timing chart of a reset operation when the power of the semiconductor memory of the present invention is turned on (see [0038]).

【図21】本発明の半導体メモリの電源投入時のリセッ
ト動作を説明するためのコマンド回路とリセット信号発
生回路([0039]参照)。
FIG. 21 is a diagram illustrating a command circuit and a reset signal generation circuit (see [0039]) for explaining a reset operation at the time of power-on of the semiconductor memory of the present invention.

【図22】NAND接続において、メモリセル動作を説明す
るための図面。
FIG. 22 is a diagram illustrating a memory cell operation in NAND connection.

【図23】メモリセル動作を説明するための図面であっ
て、電荷注入とデータとの対応を示す図。
FIG. 23 is a diagram for explaining the operation of the memory cell, and shows the correspondence between charge injection and data.

【図24】メモリセル動作(消去動作)を説明するため
の図面。
FIG. 24 is a diagram illustrating a memory cell operation (erase operation).

【図25】従来の読み出し動作を説明するための図面。FIG. 25 is a view for explaining a conventional read operation.

【図26】従来のReady/Busy出力なしの、不揮発性半導
体装置のブロック図。
FIG. 26 is a block diagram of a conventional nonvolatile semiconductor device without Ready / Busy output.

【図27】従来の不揮発性半導体装置の動作モードを説
明する表。
FIG. 27 is a table illustrating operation modes of a conventional nonvolatile semiconductor device.

【図28】従来の不揮発性半導体装置の読み出し動作の
タイミング図([0007]参照)。
FIG. 28 is a timing chart of a read operation of a conventional nonvolatile semiconductor device (see [0007]).

【図29】従来の不揮発性半導体装置の書き込み動作の
タイミング図。
FIG. 29 is a timing chart of a write operation of a conventional nonvolatile semiconductor device.

【図30】従来の不揮発性半導体装置の読み出すための
制御プログラムシーケンス図。
FIG. 30 is a control program sequence diagram for reading out a conventional nonvolatile semiconductor device.

【図31】従来の不揮発性半導体装置を書き込むための
制御プログラムシーケンス図であって、ダミーデータの
入力が必要な場合のシーケンス図。
FIG. 31 is a control program sequence diagram for writing a conventional nonvolatile semiconductor device, and is a sequence diagram in a case where input of dummy data is required.

【図32】パイプライン動作可能なアドレスバッファ回
路の他の例。
FIG. 32 shows another example of an address buffer circuit capable of performing a pipeline operation.

【図33】ラッチ回路の詳細図。(図32のALCiブ
ロックの詳細。)
FIG. 33 is a detailed diagram of a latch circuit. (Details of the ALCi block in FIG. 32)

【図34】図32のアドレスバッファ回路におけるラン
ダムアクセスとシリアルアクセスの1サイクル分におけ
る主要信号のタイミングチャート。
FIG. 34 is a timing chart of main signals in one cycle of random access and serial access in the address buffer circuit of FIG. 32;

【図35】データレジスタ中のデータをデータ出力バッ
ファに転送する回路。(パイプライン動作を実現。)
FIG. 35 is a circuit for transferring data in a data register to a data output buffer. (Realizes pipeline operation.)

【図36】パルス信号PUL2を出力する回路([00
42]参照)。
FIG. 36 illustrates a circuit that outputs a pulse signal PUL2 ([00
42]).

【図37】本発明のデータレジスタイニシャライズ動作
を含む、書き込み動作フローチャート。
FIG. 37 is a write operation flowchart including a data register initialization operation of the present invention.

【図38】本発明のビット線リークテストによりデータ
レジスタをイニシャライズする動作を含む、書き込み動
作フローチャート。
FIG. 38 is a write operation flowchart including an operation of initializing a data register by a bit line leak test of the present invention.

【図39】本発明のビット線リークテストを実現するた
めのセンスアンプ/データレジスタの1例としての回路
図。
FIG. 39 is a circuit diagram as an example of a sense amplifier / data register for implementing the bit line leak test of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 ドレイン側セレクト線 103 ソース側セレクト線 105 カラムアドレスバッファ 107 ロウアドレスバッファ 109 コマンドデコーダ 111 I/O端子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Drain side select line 103 Source side select line 105 Column address buffer 107 Row address buffer 109 Command decoder 111 I / O terminal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅 野 正 通 神奈川県川崎市幸区堀川町580番1号 株 式会社東芝半導体システム技術センター内 (72)発明者 徳 重 芳 神奈川県川崎市幸区堀川町580番1号 株 式会社東芝半導体システム技術センター内 (72)発明者 山 村 俊 雄 神奈川県川崎市幸区堀川町580番1号 株 式会社東芝半導体システム技術センター内 Fターム(参考) 5B025 AA03 AB01 AC01 AD00 AD01 AD04 AD05 AE05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Masamichi Asano 580-1 Horikawa-cho, Sachi-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Toshiba Semiconductor System Technology Center Co., Ltd. (72) Inventor Yoshiyoshi Tokushige, Kawasaki-shi, Kanagawa 580-1, Horikawa-cho, Ward Toshiba Semiconductor System Technology Center Co., Ltd. (72) Inventor: Toshio Yamamura 580-1, Horikawa-cho, Saiwai-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture F-term (Toshiba Semiconductor System Technology Center) 5B025 AA03 AB01 AC01 AD00 AD01 AD04 AD05 AE05

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数の不揮発性メモリセルと、前記メモリ
セルのデータを一時記憶する複数のデータレジスタとを
備え、前記メモリセルのうち選択された1ページ分のデ
ータを対応する前記データレジスタに転送し、前記デー
タレジスタに転送された1ページ分のデータを外部に出
力し、少なくとも前記1ページ分のデータを対応する前
記データレジスタに転送する間、アクセス不可を示すビ
ジー信号を外部へ出力する不揮発性半導体メモリであっ
て、 前記データレジスタに接続されたラッチ回路とこのラッ
チ回路に接続された出力バッファ回路とを有し、 前記1ページ分のデータのうち読み出し先頭カラム番地
のデータを前記ラッチ回路に転送した後に前記ビジー信
号をレディ状態に切り替えることを特徴とする不揮発性
半導体メモリ。
A plurality of nonvolatile memory cells; and a plurality of data registers for temporarily storing data of the memory cells, wherein data of one page selected from the memory cells is stored in a corresponding one of the data registers. And transferring one page of data transferred to the data register to the outside, and outputting a busy signal indicating that access is disabled to the outside while transferring at least the one page of data to the corresponding data register. A non-volatile semiconductor memory, comprising: a latch circuit connected to the data register; and an output buffer circuit connected to the latch circuit. A non-volatile semiconductor memory, wherein the busy signal is switched to a ready state after being transferred to a circuit.
【請求項2】外部から入力されたアドレスをインクリメ
ントするアドレス制御手段を備え、インクリメントされ
たアドレスに応答して前記複数のデータレジスタから対
応するデータを読み出すことを特徴とする請求項1記載
の不揮発性半導体メモリ。
2. The nonvolatile memory according to claim 1, further comprising address control means for incrementing an externally input address, and reading corresponding data from said plurality of data registers in response to the incremented address. Semiconductor memory.
【請求項3】前記ラッチ回路は、協同してデータを転送
する直列接続された第1および第2のラッチ回路を有す
ることを特徴とする請求項1又は2記載の不揮発性半導
体メモリ装置。
3. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein said latch circuit has first and second latch circuits connected in series for transferring data in a cooperative manner.
【請求項4】前記ビジー信号を外部へ出力するビジー信
号出力端子を有することを特徴とする請求項1乃至3の
1つに記載の不揮発性半導体メモリ装置。
4. The non-volatile semiconductor memory device according to claim 1, further comprising a busy signal output terminal for outputting the busy signal to the outside.
【請求項5】前記メモリセルはNAND接続されている
ことを特徴とする請求項1乃至4の1つに記載の不揮発
性半導体メモリ。
5. The nonvolatile semiconductor memory according to claim 1, wherein said memory cells are NAND-connected.
【請求項6】前記第1および第2のラッチ回路の夫々
は、相補的な信号で制御されるpチャネルトランジスタ
とnチャネルトランジスタとからなるトランスファー・
ゲートを有することを特徴とする請求項1乃至5の1つ
に記載の不揮発性半導体メモリ装置。
6. A transfer circuit comprising a p-channel transistor and an n-channel transistor controlled by complementary signals, each of said first and second latch circuits.
The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, further comprising a gate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1632950A1 (en) * 2004-09-03 2006-03-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Non-volatile memory device with improved initialization readout speed
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