JP2002092906A - Optical recording and/or reproducing device and optical recording and/or reproducing method - Google Patents

Optical recording and/or reproducing device and optical recording and/or reproducing method

Info

Publication number
JP2002092906A
JP2002092906A JP2000274201A JP2000274201A JP2002092906A JP 2002092906 A JP2002092906 A JP 2002092906A JP 2000274201 A JP2000274201 A JP 2000274201A JP 2000274201 A JP2000274201 A JP 2000274201A JP 2002092906 A JP2002092906 A JP 2002092906A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
optical recording
recording medium
light
reproducing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000274201A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2002092906A5 (en
Inventor
Tsutomu Ishimoto
努 石本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2000274201A priority Critical patent/JP2002092906A/en
Publication of JP2002092906A publication Critical patent/JP2002092906A/en
Publication of JP2002092906A5 publication Critical patent/JP2002092906A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To avoid the collision of an objective lens with a defective projecting part on an optical recording medium when making the objective lens having a high numerical aperture approach a medium surface to record an information signal in high density. SOLUTION: A laser element 4 emits a laser beam for recording the information signal on a glass master disk 16. The aspherical lens in an optical head 15 condenses the laser beam from the laser element 4 onto the glass master disk 16. A SIL(Solid Immersion Lens) in the optical head 15 realizes a larger numerical aperture than the numerical aperture of the aspherical lens. A laser element 21 emits a laser beam for disturbance detection onto the glass master disk 16. A focus controller 33 holds the distance between the end surface 45 of the SIL 44 and the glass master disk 16 constant. The optical head protecting device 35 protects the SIL 44 and the glass master disk 16 on the basis of a light beam returning from the glass master disk 16 originating from the laser beam emitted from the laser element 21 and condensed on a position preceding a position on which the SIL 44 condenses the laser beam.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体への光
の照射により情報の記録及び/又は再生が可能である光
記録及び/又は再生装置、並びに光記録及び/又は再生
方法に関し、特に、高開口数の対物レンズを媒体面に近
接させて情報信号を高密度に記録及び/又は再生する光
記録及び/又は再生装置、並びに光記録及び/又は再生
方法に関する。
The present invention relates to an optical recording and / or reproducing apparatus and an optical recording and / or reproducing method capable of recording and / or reproducing information by irradiating an optical recording medium with light, and more particularly to an optical recording and / or reproducing method. The present invention relates to an optical recording and / or reproducing apparatus and an optical recording and / or reproducing method for recording and / or reproducing information signals at a high density by bringing an objective lens having a high numerical aperture close to a medium surface.

【0002】[0002]

【従来の技術】近接場光を利用した記録及び/又は再生
を行うためには、固体浸レンズ(ソリッド・イマージョ
ン・レンズ、SIL)及びこのSILにレーザー光を入
射するための集光レンズとの、計二つのレンズ(以下、
二群レンズと呼ぶ)を、組み合わせて使う。これは、光
ディスクの高密度化のニーズに対応してスポット径を一
層微小化させるために考えられた。SILを集光レンズ
と光ディスクとの間に介在させることにより、集光レン
ズ自体の開口数よりも大きな開口数を実現できるからで
ある。SILは、球形レンズの一部を切り取った形状を
した高屈折率のレンズであり、球面を集光レンズ側に、
その反対側の面を光記録媒体側に向けて配置される。
2. Description of the Related Art In order to perform recording and / or reproduction using near-field light, a solid immersion lens (solid immersion lens, SIL) and a condensing lens for injecting a laser beam into the SIL are required. , A total of two lenses (hereinafter,
Two groups) are used in combination. This was conceived to further reduce the spot diameter in response to the need for higher density optical disks. This is because a numerical aperture larger than the numerical aperture of the condenser lens itself can be realized by interposing the SIL between the condenser lens and the optical disk. The SIL is a high-refractive-index lens having a shape obtained by cutting off a part of a spherical lens.
It is arranged with its opposite surface facing the optical recording medium.

【0003】上記SILによる近接場信号を用いて光情
報記録、並びに光情報再生を行うには、記録レーザーを
SIL端面に集光させ、さらにSIL端面と光記録媒体
の距離を近接場光が生じる距離(光の波長の1/2以下、
代表的には200nm程度以下)まで接近させ、かつその距
離を一定にし、光記録媒体における集光スポットを一定
にするフォーカス制御が必要となる。
In order to perform optical information recording and optical information reproduction using the near-field signal by the SIL, a recording laser is focused on the end surface of the SIL, and the near-field light is generated at a distance between the SIL end surface and the optical recording medium. Distance (less than half of light wavelength,
(Typically about 200 nm or less), and focus control is required to keep the distance constant and to keep the converging spot on the optical recording medium constant.

【0004】しかしながら、SIL端面と光記録媒体の
距離を近接場光が生じる距離まで接近させた場合、光記
録媒体上に上記距離以上の高さのゴミ(凸部欠陥)があ
ると、SIL端面が凸部に衝突し、上記フォーカス制御
自体が不可能となる。また、光記録媒体上に上記距離以
下の高さのゴミ(凸部欠陥)がある場合や、光記録媒体
の表面にキズや凹み(凹部欠陥)があると、上記フォー
カスサーボに対する外乱要因となりフォーカスサーボが
不安定となり、SIL端面が光記録媒体に衝突する危険
性がある。また、光記録媒体上の凸部欠陥や凹部欠陥
を、光記録媒体から完全に除去することは非常に困難で
ある。
However, when the distance between the SIL end face and the optical recording medium is reduced to a distance at which near-field light is generated, if dust (projection defect) having a height higher than the above-mentioned distance is present on the optical recording medium, the SIL end face will be lost. Collide with the convex portion, and the focus control itself becomes impossible. Also, if there is dust (convex defect) having a height equal to or less than the above-described distance on the optical recording medium, or if there is a scratch or dent (concave defect) on the surface of the optical recording medium, it becomes a factor of disturbance to the focus servo and causes a focus. The servo becomes unstable, and there is a risk that the SIL end face collides with the optical recording medium. Further, it is very difficult to completely remove a convex defect or a concave defect on the optical recording medium from the optical recording medium.

【0005】このため、上記SILによる近接場信号を
用いて光情報記録及び/又は再生を行うためには、光記
録媒体上の凸部欠陥や凹部欠陥などが原因でSIL端面
と光記録媒体とが衝突することを回避する手段が必要と
なる。
[0005] Therefore, in order to perform optical information recording and / or reproduction using the near-field signal by the SIL, the SIL end face and the optical recording medium must be connected to each other due to a convex defect or a concave defect on the optical recording medium. It is necessary to provide a means for avoiding collision.

【0006】この種の光記録及び/又は再生装置の代表
的な技術において、上記SILによる近接場信号を用い
て光情報記録及び/又は再生を行う前に、SIL端面と
光記録媒体間との間隙制御距離以上の高さの凸部欠陥を
予め削り落とすというものがある。これは、前記距離以
下に固定された硬質のヘッドで光記録媒体全体を走査す
ることにより行われる。前記方法はバニッシングと呼ば
れ、磁気記録における磁気ヘッドと光記録媒体との衝突
を回避する手段として使われている。この方法により、
光記録媒体上の凸部欠陥に対して対処することが可能と
なる。
In a typical technology of this type of optical recording and / or reproducing apparatus, before performing optical information recording and / or reproduction using the near-field signal by the above-mentioned SIL, the distance between the SIL end face and the optical recording medium is changed. There is a method in which a convex defect having a height equal to or larger than the gap control distance is shaved in advance. This is performed by scanning the entire optical recording medium with a hard head fixed to the distance or less. The above method is called burnishing, and is used as a means for avoiding collision between a magnetic head and an optical recording medium in magnetic recording. With this method,
It is possible to deal with a convex defect on the optical recording medium.

【0007】また、SIL端面と光記録媒体との距離を
一定にする方法として空気ベアリングスライダによる方
法がある。この方法は、二群レンズをスライダに乗せ、
光記録媒体を回転させることにより、光記録媒体とスラ
イダに設置された二群レンズとの間に空気膜を生じさ
せ、前記空気膜圧力により二群レンズを浮上させること
で、SIL端面と光記録媒体との距離を一定にするもの
であり、サーボを必要としない。サーボを行わないこと
で、光記録媒体上の凸部及び凹部欠陥(以下、デフェク
トと呼ぶ)にサーボが応答することが原因によるSIL
の光記録媒体への衝突を回避できる。このため、光記録
媒体にデフェクトがあっても、そのデフェクトによる外
乱でサーボが不安定となりSIL端面と光記録媒体が衝
突するということはない。
As a method for keeping the distance between the SIL end face and the optical recording medium constant, there is a method using an air bearing slider. In this method, a two-group lens is mounted on a slider,
By rotating the optical recording medium, an air film is generated between the optical recording medium and the second group lens provided on the slider, and the second group lens is floated by the pressure of the air film, so that the SIL end face and the optical recording medium can be recorded. It keeps the distance to the medium constant and does not require a servo. By not performing the servo, the SIL caused by the servo responding to a convex and concave defect (hereinafter, referred to as a defect) on the optical recording medium is caused.
Collision with the optical recording medium can be avoided. Therefore, even if there is a defect in the optical recording medium, the disturbance due to the defect makes the servo unstable and the SIL end face does not collide with the optical recording medium.

【0008】また、光が入射する側の光記録媒体の最表
面に固体又は液体の潤滑剤を塗布し、潤滑層を設けるこ
とで、焦点深度を増加させ、前記潤滑層を用いなかった
場合と比較して、同一集光スポットを保ちつつSIL端
面と光記録媒体との距離を大きくすることを可能とし、
また、潤滑層に光記録媒体上のゴミや傷やほこりを内包
させる方法もある。これにより、光記録媒体にデフェク
トが存在する場合でも、SIL端面と光記録媒体とが衝
突する危険性を回避することが可能である。
Further, a solid or liquid lubricant is applied to the outermost surface of the optical recording medium on which light is incident, and a lubricating layer is provided to increase the depth of focus. In comparison, it is possible to increase the distance between the SIL end face and the optical recording medium while maintaining the same focused spot,
There is also a method in which dirt, scratches and dust on the optical recording medium are included in the lubricating layer. Thus, even when a defect exists in the optical recording medium, it is possible to avoid the danger that the SIL end face collides with the optical recording medium.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来技術には以下のような問題があった。まず、第一
に上記バニッシングを用いた方法では、バニッシングさ
れる媒体は硬質かつ乾質であることが前提であり、CD
やDVDなどのディスク製造において用いるレジスト膜
を塗布したディスクでは、表面が軟質かつ粘着質である
ため不適当である。つまり、上記ディスク上にSIL端
面と光記録媒体間との間隙制御距離以上の高さの凸部欠
陥があった場合、凸部欠陥とバニッシングに用いる硬質
の固定ヘッドが衝突し、上記凸部欠陥を削り落とす際
に、上記固定ヘッドにレジストが付着し、正常なバニッ
シングが不可能となる。また、削り落とせたとしても、
削り落とされたレジスト片がディスク表面を転がり、デ
ィスク表面を損傷じ、新たなデフェクトになる危険性が
ある。
However, these prior arts have the following problems. First, the method using burnishing is based on the premise that the medium to be burnished is hard and dry,
Discs coated with a resist film used in the manufacture of discs, such as DVDs and DVDs, are unsuitable because their surfaces are soft and sticky. That is, when there is a convex defect having a height equal to or larger than the gap control distance between the SIL end face and the optical recording medium on the disk, the convex defect collides with a hard fixed head used for burnishing, and the convex defect is formed. At the time of grinding, the resist adheres to the fixed head, and normal burnishing becomes impossible. Also, even if you can remove it,
There is a danger that the stripped resist rolls on the disk surface, damaging the disk surface and causing a new defect.

【0010】第二に前記空気ベアリングスライダーを用
いた方法では、光記録媒体を回転させることを前提とし
ており、光記録媒体の回転前は、SIL端面は光記録媒
体に接触している。従って、CDやDVDなどのディス
ク製造において用いるレジスト膜を塗布したディスクで
は、SIL端面とディスクが接触し、ディスクを損傷し
てしまう。さらに、SIL端面と光記録媒体との距離が
所望の値になるまでは、所望の値以下であり、光記録媒
体上のごみ、傷やほこり等の欠陥に衝突し、SIL端面
や光記録媒体の表面を摩耗あるいは損傷する危険があ
る。
Second, the method using the air bearing slider is based on the premise that the optical recording medium is rotated, and the SIL end surface is in contact with the optical recording medium before the rotation of the optical recording medium. Therefore, in a disk coated with a resist film used in manufacturing a disk such as a CD or a DVD, the SIL end surface comes into contact with the disk, and the disk is damaged. Further, the distance between the SIL end face and the optical recording medium is equal to or less than the desired value until the distance between the SIL end face and the optical recording medium reaches a desired value. Risk of wear or damage to the surface of the

【0011】第三に光が入射する側の光記録媒体の最表
面に潤滑剤を塗布する方法では、焦点深度を増大させて
も、焦点深度以上のデフェクトがある場合には、やは
り、SIL端面に光記録媒体が衝突し、SIL端面や光
記録媒体の表面を摩耗あるいは損傷する危険がある。ま
た、この方法では、光が入射する側の光記録媒体の最表
面に潤滑層を設けることを前提としているので、CDや
DVDなどのディスク製造において用いるレジスト膜を
塗布したディスクには適用するのが不適当である。
In the third method, the lubricant is applied to the outermost surface of the optical recording medium on the side where light is incident. Even if the depth of focus is increased, if there is a defect equal to or greater than the depth of focus, the SIL end face is also required. There is a danger that the optical recording medium will collide with and cause wear or damage to the end surface of the SIL or the surface of the optical recording medium. Further, this method is based on the premise that a lubricating layer is provided on the outermost surface of the optical recording medium on the side where light is incident. Therefore, this method is applied to a disk coated with a resist film used in manufacturing disks such as CDs and DVDs. Is inappropriate.

【0012】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、高開口数の対物レンズを媒体面に近接させ
て情報信号を高密度に記録及び/又は再生するときに、
対物レンズが光記録媒体上のデフェクト等に衝突するこ
とを回避して、対物レンズや光記録媒体を摩耗あるいは
損傷から守ることのできる光記録及び/又は再生装置、
並びに光記録及び/又は再生方法の提供を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a situation, and when an information lens is recorded and / or reproduced at a high density by bringing an objective lens having a high numerical aperture close to a medium surface.
An optical recording and / or reproducing apparatus capable of preventing the objective lens from colliding with a defect or the like on the optical recording medium and protecting the objective lens and the optical recording medium from wear or damage;
And an optical recording and / or reproducing method.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明に係る光記録及び
/又は再生装置は、上記課題を解決するために、光記録
媒体に対して情報信号を記録/再生するための記録/再
生光を出射する第1の光源と、上記第1の光源からの記
録/再生光を上記光記録媒体に照射すべく集光する第1
の光学手段と、上記第1の光学手段の開口数よりも大き
な開口数を実現するために上記第1の光学手段と上記光
記録媒体との間に介在させる第2の光学手段と、上記光
記録媒体に対して上記記録/再生光とは異なる光を出射
する第2の光源と、上記第2の光学手段の端面と上記光
記録媒体間のニアフィールド領域における距離を一定に
保持する制御手段と、上記第2の光学手段が上記記録/
再生光を集光する上記光記録媒体上の位置より先行した
位置に集光された上記第2の光源からの光の、上記光記
録媒体の戻り光を基に、上記第2の光学手段及び上記光
記録媒体を保護する保護手段とを備える。
SUMMARY OF THE INVENTION An optical recording and / or reproducing apparatus according to the present invention provides a recording / reproducing light for recording / reproducing an information signal on / from an optical recording medium in order to solve the above-mentioned problems. A first light source that emits light, and a first light source that condenses recording / reproducing light from the first light source to irradiate the optical recording medium.
Optical means, a second optical means interposed between the first optical means and the optical recording medium to realize a numerical aperture larger than the numerical aperture of the first optical means, A second light source for emitting light different from the recording / reproducing light to the recording medium, and control means for maintaining a constant distance in the near-field region between the end face of the second optical means and the optical recording medium And the second optical means performs the recording /
The second optical means, based on the return light of the optical recording medium, of the light from the second light source focused on a position preceding the position on the optical recording medium on which the reproduction light is focused, Protection means for protecting the optical recording medium.

【0014】本発明に係る光記録及び/又は再生方法
は、上記課題を解決するために、光記録媒体に対して情
報信号を記録/再生するための第1の光源からの記録/
再生光を上記光記録媒体に照射すべく集光する第1の光
学手段の開口数よりも大きな開口数を実現するために上
記第1の光学手段と上記光記録媒体との間に介在させる
第2の光学手段の端面と、上記光記録媒体間のニアフィ
ールド領域内における距離を一定に保持する制御工程
と、上記記録/再生光とは異なる光を出射する第2の光
源からの光が上記光記録媒体上の外乱発生物に照射する
ことにより得られた外乱情報から上記第2の光学手段及
び上記光記録媒体を保護する保護工程とを備える。
In order to solve the above problems, the optical recording and / or reproducing method according to the present invention provides a recording / reproducing method for recording / reproducing an information signal on / from an optical recording medium from a first light source.
In order to realize a numerical aperture larger than the numerical aperture of the first optical means for converging the reproduction light to irradiate the optical recording medium, a first optical means interposed between the first optical means and the optical recording medium is realized. A control step of maintaining a constant distance in the near field area between the optical recording medium and the end face of the optical recording medium, and the light from the second light source that emits light different from the recording / reproducing light is emitted from the second light source. And a protection step of protecting the second optical unit and the optical recording medium from disturbance information obtained by irradiating a disturbance generated on the optical recording medium.

【0015】そして、上記光記録及/又は再生装置、並
びに方法では、上記保護手段及び保護工程が出力する保
護制御信号と、上記制御手段及び制御工程が出力するフ
ォーカス制御信号とを上記第2の光学手段からの戻り光
量に基づいて切り換え又は併用する。具体的には、制御
電圧出力手段及び制御電圧出力工程を備えることによ
り、上記記録/再生光の上記第2の光学手段からの戻り
光量に基づいて、上記保護手段及び保護工程が出力する
保護制御信号を、上記制御手段及び制御工程が出力する
フォーカス制御信号と合成して出力するか又は単独で出
力する。
In the optical recording and / or reproducing apparatus and method, the protection control signal output from the protection means and the protection step and the focus control signal output from the control means and the control step are converted to the second control signal. Switching or concurrent use is performed based on the amount of light returned from the optical means. Specifically, by providing the control voltage output means and the control voltage output step, the protection control output by the protection means and the protection step based on the amount of the recording / reproducing light returned from the second optical means. The signal is combined with the focus control signal output by the control means and the control step and output, or is output alone.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下に適宜図面を参照して本発明
の実施の形態を説明する。先ず、本発明の光記録及び/
又は再生装置の内の、光記録装置の具体例について説明
する。この具体例は、本発明の光記録及び/又は再生方
法の内の、光記録方法を適用できるものである。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. First, the optical recording and / or
Alternatively, a specific example of the optical recording device in the reproducing device will be described. In this specific example, the optical recording method of the optical recording and / or reproducing method of the present invention can be applied.

【0017】この光記録装置の具体例は、レジストが塗
布されたガラス原盤の表面に情報に応じて変調されたレ
ーザー光を照射しで情報をカッティング記録するカッテ
ィングマシーンと呼ばれる、図1に示す光記録装置であ
る。
A specific example of this optical recording apparatus is a cutting machine shown in FIG. 1, which is called a cutting machine that cuts and records information by irradiating a laser beam modulated in accordance with information on the surface of a glass master coated with a resist. It is a recording device.

【0018】先ず、この光記録装置の主要部の構成につ
いて説明する。この光記録装置は、レジストが塗布され
たガラス原盤16に対して情報信号を記録するための記
録用レーザー光を出射するレーザー素子4(レーザー
1)と、このレーザー素子4からの記録用レーザー光を
上記ガラス原盤16に照射すべく集光する光ヘッド15
内部の後述の図2に示す非球面レンズ43と、この非球
面レンズ43の開口数よりも大きな開口数を実現するた
めに非球面レンズ43とガラス原盤16との間に介在さ
せる光ヘッド15内部の後述の図2に示す固体浸レンズ
(Solid Imemersion Lens:SIL)44と、上記ガラ
ス原盤16に対して上記記録用レーザ光とは異なる外乱
検出用のレーザー光を出射するレーザー素子(レーザー
2)21と、SIL44の端面45と上記ガラス原盤1
6間のニアフィールド領域における距離を一定に保持す
るフォーカス制御装置33と、SIL44が上記記録用
のレーザー光を集光する位置より先行した位置に集光さ
れたレーザー素子21からのレーザー光による、ガラス
原盤16からの戻り光を基にSIL44及びガラス原盤
16を保護する光ヘッド保護装置35とを主要部として
備える。
First, the configuration of the main part of the optical recording apparatus will be described. This optical recording apparatus has a laser element 4 (laser element 4) for emitting a recording laser beam for recording an information signal on a glass master 16 coated with a resist.
1) and an optical head 15 for condensing the recording laser light from the laser element 4 so as to irradiate the glass master 16.
An aspheric lens 43 shown in FIG. 2 described below and an optical head 15 interposed between the aspheric lens 43 and the glass master 16 in order to realize a numerical aperture larger than the numerical aperture of the aspheric lens 43 A solid immersion lens (SIL) 44 shown in FIG. 2 to be described later, and a laser element (laser 2) for emitting a disturbance detection laser beam different from the recording laser beam to the glass master 16 21, the end face 45 of the SIL 44 and the glass master 1
A focus control device 33 for maintaining a constant distance in the near-field region between 6 and the laser light from the laser element 21 focused at a position preceding the position at which the SIL 44 focuses the laser light for recording. An SIL 44 and an optical head protection device 35 for protecting the glass master 16 based on the return light from the glass master 16 are provided as main parts.

【0019】また、この光記録装置は、上記記録用レー
ザー光のSIL44からの戻り光量に基づいて光ヘッド
保護装置35の後述する光ヘッド保護制御電圧36と、
フォーカス制御装置33の後述するフォーカス制御電圧
34とを合成して出力するか又は単独で出力する制御電
圧合成部37も主要部として備える。
The optical recording apparatus further includes an optical head protection control voltage 36 for the optical head protection device 35, which will be described later, based on the amount of the returning laser light from the SIL 44.
A control voltage synthesizing unit 37 that synthesizes and outputs a later-described focus control voltage 34 of the focus control device 33 or outputs the synthesized voltage alone is also provided as a main part.

【0020】次に、上記主要部とその周辺部との関係を
明らかにしながら図1の光記録装置の全体的な構成を説
明する。レーザー素子4(レーザー1)から出射された
記録用レーザー光LB1は、電気-光変換素子(EO
M)5、偏光板であるアナライザー6及びビームスプリ
ッタ(BS)7を介して音響光学素子(AOM)3に入
射してから、上記AOM3において変調される。AOM
3には情報源1からの情報も記録信号発生器2でディジ
タル化されてから入力されており、上記記録用レーザー
光LB1を記録情報に応じて変調する。
Next, the overall configuration of the optical recording apparatus shown in FIG. 1 will be described while clarifying the relationship between the main part and its peripheral parts. The recording laser beam LB1 emitted from the laser element 4 (laser 1) is converted into an electro-optical conversion element (EO).
M) 5, the light enters the acousto-optic element (AOM) 3 via the analyzer 6 as a polarizing plate and the beam splitter (BS) 7, and is then modulated in the AOM 3. AOM
The information from the information source 1 is also digitized by the recording signal generator 2 and input to the information source 3, and modulates the recording laser beam LB1 according to the recording information.

【0021】AOM3により変調されて出力されたレー
ザー光LB2は、ミラー10aで反射された後、集光レ
ンズ55を通り、コリメーターレンズ11により平行ビ
ームとされ、偏光ビームスプリッタ(PBS)12を通
過し、λ/4板13に入射する。
The laser beam LB2 modulated and output by the AOM 3 is reflected by the mirror 10a, passes through the condenser lens 55, is converted into a parallel beam by the collimator lens 11, and passes through the polarizing beam splitter (PBS) 12. Then, the light enters the λ / 4 plate 13.

【0022】λ/4板13を通過した変調光LB3は、
円偏光となり、ダイクロックミラー14に入力される。
ダイクロックミラー14は、LB3の波長に対しては、
透過させる性質がある。
The modulated light LB3 that has passed through the λ / 4 plate 13 is
The light becomes circularly polarized light and is input to the dichroic mirror 14.
The dichroic mirror 14 has a wavelength of LB3.
It has the property of transmitting light.

【0023】ダイクロックミラー14を透過した変調光
LB4は、ミラー10bで反射された後、光ヘッド15
に入射される。この光ヘッド15は、レジストが塗布さ
れたガラス原盤16に上記円偏光とされたレーザー光を
スポット状に照射する。この際のガラス原盤16に対す
る光ヘッド15のフォーカスは、フォーカス制御装置3
3により制御され、ガラス原盤16との間隙が一定に保
持される。
The modulated light LB4 transmitted through the dichroic mirror 14 is reflected by the mirror 10b, and then reflected by the optical head 15
Is incident on. The optical head 15 irradiates the circularly polarized laser light onto the glass master 16 coated with the resist in a spot shape. At this time, the focus of the optical head 15 on the glass master 16 is controlled by the focus control device 3.
3 and the gap with the glass master 16 is kept constant.

【0024】光ヘッド15に入射したレーザー光LB4
は、フォーカス制御装置33により大きさが一定に制御
されて光スポットをレジストが塗布されたガラス原盤1
6上に形成する。この光スポットにより記録情報に応じ
てガラス原盤16上に塗布されたレジストがカッティン
グされる。
The laser beam LB4 incident on the optical head 15
Is a glass master 1 on which a light spot is coated with a resist while the size is controlled to be constant by the focus control device 33.
6 is formed. The resist applied to the glass master 16 is cut by the light spot according to the recorded information.

【0025】レーザー素子4からの記録用レーザー光の
一部LB8は、EOM5及びアナライザ6を通り、BS
7を透過してフォトディテクタ(PD1)8にて検出さ
れる。PD(1)8に入射したレーザー光LB8は電気
信号に変換され、自動パワー制御装置(APC)9に入
力され、その値がEOM5にフィードバックされ、レー
ザー素子4のパワーが一定に制御される。従って、AP
C後の光量は一定量であり、最大光量19となる。
A part LB8 of the recording laser beam from the laser element 4 passes through the EOM 5 and the analyzer 6 and passes through the BS
7, and is detected by the photodetector (PD1) 8. The laser beam LB8 incident on the PD (1) 8 is converted into an electric signal, input to an automatic power controller (APC) 9, and the value is fed back to the EOM 5, whereby the power of the laser element 4 is controlled to be constant. Therefore, AP
The light amount after C is a constant amount, and becomes the maximum light amount 19.

【0026】一方、ダイクロックミラー14を透過した
レーザー光LB4に対する光ヘッド15から戻り光は、
ダイクロックミラー14を再度透過し、λ/4板13を
通り直線偏光に変換された後、PBS12及びミラー1
0cでそれぞれ反射されて集光レンズ17に入力され
る。集光レンズ17を通った戻り光LB5は、フォトデ
ィテクタ(PD2)18に入力され、戻り光量20とし
て検出される。
On the other hand, the return light from the optical head 15 for the laser light LB4 transmitted through the dichroic mirror 14 is:
After passing through the dichroic mirror 14 again and being converted into linearly polarized light through the λ / 4 plate 13, the PBS 12 and the mirror 1
The light is reflected at 0 c and input to the condenser lens 17. The return light LB5 that has passed through the condenser lens 17 is input to a photodetector (PD2) 18 and detected as a return light amount 20.

【0027】フォーカス制御装置33には、一定量であ
る最大光量19及び光ヘッド15からの戻り光量20が
入力される。フォーカス制御装置33は、一定量である
最大光量19に基づく基準信号を生成し、光ヘッド15
からの戻り光量20を被制御量として、フォーカス制御
電圧信号34を出力する。そして、フォーカス制御装置
33は、フォーカス制御電圧信号34を使って光ヘッド
15とガラス原盤16との間隙を一定になるように光ヘ
ッド15のフォーカスを制御する。このフォーカス制御
装置33によるフォーカス制御動作は、本件出願人によ
る特許出願である、特願平11−253296号により
詳細が明らかにされている。このフォーカス制御動作の
詳細について後述する。
The focus controller 33 receives a constant maximum light amount 19 and a return light amount 20 from the optical head 15. The focus control device 33 generates a reference signal based on the maximum light amount 19 that is a fixed amount, and
The focus control voltage signal 34 is output using the return light amount 20 from the control unit as the controlled amount. Then, the focus control device 33 controls the focus of the optical head 15 using the focus control voltage signal 34 so that the gap between the optical head 15 and the glass master 16 is constant. The details of the focus control operation by the focus control device 33 are disclosed in Japanese Patent Application No. 11-253296 filed by the present applicant. Details of the focus control operation will be described later.

【0028】なお、フォーカス制御装置33は上記基準
信号を生成するための信号源として上記一定光量である
最大光量19を用いたが、定電圧源により生成したもの
を用いても構わない。
Although the focus controller 33 uses the maximum light amount 19, which is the constant light amount, as the signal source for generating the reference signal, a signal generated by a constant voltage source may be used.

【0029】一方、レーザー素子(レーザー2)21
は、記録レーザー用のレーザー素子(レーザー1)4と
は異なり、ガラス原盤16上にある凸部欠陥による外乱
を検出するために用いられ、ガラス原盤16上に塗布さ
れたレジストを感光しない波長のレーザー光を発生す
る。
On the other hand, a laser element (laser 2) 21
Unlike the laser element (laser 1) 4 for the recording laser, the laser is used to detect disturbance due to a convex defect on the glass master 16 and has a wavelength at which the resist applied on the glass master 16 is not exposed. Generates laser light.

【0030】レーザー素子(レーザー2)21から出射
されたレーザー光は、電気−光変換素子(EOM)22
と、偏光板であるアナライザー23とを通り、ビームス
プリッタ(BS)24で反射されてレーザー光LB6と
なり、ミラー10dで曲げられてから集光レンズ54に
入射する。集光レンズ54はレーザー光LB6を集光し
た後、コリメーターレンズ27に入射する。
The laser light emitted from the laser element (laser 2) 21 is converted into an electric-optical conversion element (EOM) 22
Then, the light passes through an analyzer 23 which is a polarizing plate, is reflected by a beam splitter (BS) 24 to become a laser beam LB6, is bent by a mirror 10d, and then enters a condenser lens 54. The condensing lens 54 condenses the laser beam LB6 and then enters the collimator lens 27.

【0031】コリメーターレンズ27によりレーザー光
LB6は平行光となり、偏光ビームスプリッター(PB
S)28を通り、λ/4板39に入力される。λ/4板
39を通った後の光は円偏光となり、レーザー光LB7
となって、ミラー10eで反射され、ダイクロックミラ
ー14に入射する。
The collimator lens 27 converts the laser beam LB6 into a parallel beam, and forms a parallel beam splitter (PB).
S) passes through 28 and is input to the λ / 4 plate 39. The light after passing through the λ / 4 plate 39 becomes circularly polarized light, and the laser light LB7
Then, the light is reflected by the mirror 10 e and enters the dichroic mirror 14.

【0032】ダイクロックミラー14はレーザー光LB
7の波長に対しては反射する性質を備えており、これに
よりレーザー光LB7は反射され、かつミラー10でも
反射されてレーザー光LB11となり光ヘッド15を介
してガラス原盤16に照射される。レーザー光LB11
によるガラス原盤16上の照射位置は、上記レーザー光
LB4による照射位置と異なる。本照射位置ついては後
述する。
The dichroic mirror 14 has a laser beam LB
The laser beam LB7 is reflected by the mirror 7 and is also reflected by the mirror 10 to become a laser beam LB11. The laser beam LB7 is applied to the glass master 16 via the optical head 15. Laser beam LB11
Of the laser beam LB4 is different from the irradiation position of the laser beam LB4. The actual irradiation position will be described later.

【0033】外乱を検出するためにレーザー素子21か
ら出射されるレーザー光の一部LB10は、EOM22
及びアナライザ23を通り、BS24を透過してフォト
ディテクタ(PD4)25にて検出される。PD(4)
25に入射したレーザー光LB10は電気信号に変換さ
れ、自動パワー制御装置(APC)26に入力され、そ
の値がEOM22にフィードバックされ、レーザー素子
(レーザー2)21のパワーが一定に制御される。従っ
て、APC後のレーザー光の光量は一定量となる。
A part LB10 of the laser beam emitted from the laser element 21 for detecting a disturbance is
Then, the light passes through the analyzer 23, passes through the BS 24, and is detected by the photodetector (PD 4) 25. PD (4)
The laser beam LB10 incident on 25 is converted into an electric signal, input to an automatic power controller (APC) 26, the value of which is fed back to the EOM 22, and the power of the laser element (laser 2) 21 is controlled to be constant. Therefore, the amount of laser light after APC is constant.

【0034】一方、レーザー光LB11に対する光ヘッ
ド15から戻り光は、ミラー10で直角に反射された
後、ダイクロックミラー14で反射され、ミラー10
e、λ/4板39を通り直線偏光に変換された後、PB
S28で垂直に反射され、ミラー10fで再度反射され
た後、集光レンズ29に入力される。集光レンズ29を
通ったレーザー光LB9は、フォトディテクタ(PD
3)30に入力され、先行ビーム戻り光量31として、
光ヘッド保護装置35に入力される。
On the other hand, the return light from the optical head 15 for the laser light LB11 is reflected at a right angle by the mirror 10, then reflected by the dichroic mirror 14, and reflected by the mirror 10
e, after being converted to linearly polarized light through the λ / 4 plate 39,
After being reflected vertically by S28 and reflected again by the mirror 10f, it is input to the condenser lens 29. The laser beam LB9 passing through the condenser lens 29 is converted into a photodetector (PD)
3) input to 30 and as the preceding beam return light quantity 31
It is input to the optical head protection device 35.

【0035】光ヘッド保護装置35には、先行ビーム戻
り光量31の他に、1回転あたり固定数個のパルス列で
ある回転同期のFG信号32が入力される。このFG信
号32により、先行ビーム戻り光量31のガラス原盤1
6上における検出位置が特定され、先行ビーム戻り光量
31による外乱検出結果とその位置信号が、記録に先行
して光ヘッド保護装置35内のメモリに記憶される。
In addition to the preceding beam return light amount 31, a rotation-synchronized FG signal 32, which is a fixed number of pulse trains per rotation, is input to the optical head protection device 35. By the FG signal 32, the glass master 1 having the preceding beam returning light amount 31
The detection position on 6 is specified, and the disturbance detection result based on the preceding beam return light amount 31 and its position signal are stored in the memory in the optical head protection device 35 prior to recording.

【0036】制御電圧合成部37では、光ヘッド保護装
置35内のメモリに記憶された外乱検出結果を記録位置
より先行して読み出し、その読み出し値に基づいて外乱
の影響を除去するように、フォーカス制御電圧34を修
正し、最終フォーカス制御電圧38を出力する。この最
終フォーカス制御電圧38を受け取った光ヘッド15
は、ガラス原盤16上に凸部欠陥があったとしても、ガ
ラス原盤16に外乱の影響で衝突することなく安定して
長時間にわたり上記レジストをカッティングすることが
可能となる。本動作の詳細については後述する。
The control voltage synthesizing section 37 reads out the disturbance detection result stored in the memory in the optical head protection device 35 prior to the recording position, and focuses so as to eliminate the influence of the disturbance based on the read value. The control voltage 34 is corrected, and the final focus control voltage 38 is output. The optical head 15 receiving the final focus control voltage 38
According to the method, even if there is a convex defect on the glass master 16, the resist can be stably cut for a long time without colliding with the glass master 16 due to disturbance. Details of this operation will be described later.

【0037】図2は、本実施例で用いた光ヘッド15を
拡大したものである。光ヘッド15は、第1の光学手段
である非球面レンズ43と第2の光学手段である固体浸
レンズ(SIL)44の二つの部分(二群レンズ)から
なる。この二群レンズは、ピエゾ素子42に取り付けら
れている。また、二群レンズ上方には、集光レンズ40
とコリメーションレンズ41が設置されている。
FIG. 2 is an enlarged view of the optical head 15 used in this embodiment. The optical head 15 is composed of two parts (two-group lens): an aspheric lens 43 as first optical means and a solid immersion lens (SIL) 44 as second optical means. This two-group lens is attached to the piezo element 42. A condenser lens 40 is provided above the second lens group.
And a collimation lens 41 are provided.

【0038】SIL44は、レンズの一部を切り取った
形状をした高屈折率のレンズであり、球面44aを非球
面レンズ43側に、その反対側の面44bをガラス原盤
16に向けて配置される。上記面44bの中央部は凸部
となっており、その凸部には平坦な端面45が形成され
ている。この端面45がガラス原盤16に最接近する。
SIL44を非球面レンズ43とガラス原盤16との間
に介在させることにより、非球面レンズ43自体の開口
数よりも大きな開口数を実現できる。これにより高密度
化の二ーズに対応してスポット径をより一層微小化でき
る。
The SIL 44 is a high-refractive-index lens having a shape in which a part of the lens is cut out. The SIL 44 is arranged with the spherical surface 44a facing the aspherical lens 43 and the opposite surface 44b facing the glass master disk 16. . A central portion of the surface 44b is a convex portion, and a flat end surface 45 is formed on the convex portion. This end face 45 comes closest to the glass master 16.
By interposing the SIL 44 between the aspheric lens 43 and the glass master 16, a numerical aperture larger than the numerical aperture of the aspheric lens 43 itself can be realized. Thereby, the spot diameter can be further miniaturized corresponding to the need for high density.

【0039】二群レンズに入射した光LB4は、非球面
レンズ43により集光されてSIL44に入る。SIL
44に入射したレーザー光LB4の内、全反射を起こす
角度以上の角度に入射した光は、SIL44内で全反射
し、SIL44以外には出ない。しかし、近接場光が生
じる距離(一般に光の波長の半分程度以下の距離)にS
IL44の上記端面45がガラス原盤16に接近すると
エバネセント結合が生じ、全反射していた光の一部が、
近接場光としてガラス原盤16に浸み出し、SIL44
内からガラス原盤16に入射される。ガラス原盤16に
入射した近接場光の一部は、ガラス原盤16の表面で反
射し、再びSIL44に戻ってくる。このSIL44か
らの反射光を被制御量として、フォーカス制御装置33
にてSIL44の端面45とガラス原盤16との間隙を
一定に制御する。そして、近接場光としてガラス原盤1
6に浸み出したレーザー光LB4により情報をガラス原
盤16に記録する。このSIL44の端面45とガラス
原盤16との間隙を一定に制御する制御方法について
は、上述したように特願平11−253296号に開示
されている。
The light LB4 incident on the second group lens is condensed by the aspheric lens 43 and enters the SIL 44. SIL
Of the laser light LB4 incident on the light 44, the light incident at an angle equal to or greater than the angle at which total reflection occurs is totally reflected within the SIL 44, and does not exit outside the SIL 44. However, the distance at which near-field light is generated (generally, a distance of about half or less of the wavelength of light) is S
When the end surface 45 of the IL 44 approaches the glass master 16, evanescent coupling occurs, and a part of the light that has been totally reflected becomes
As a near-field light, it oozes out into the glass master 16 and becomes SIL 44
The light enters the glass master 16 from inside. Part of the near-field light that has entered the glass master 16 is reflected on the surface of the glass master 16 and returns to the SIL 44 again. The reflected light from the SIL 44 is used as a controlled amount and the focus control device 33
The gap between the end face 45 of the SIL 44 and the glass master 16 is controlled to be constant. The glass master 1 is used as near-field light.
The information is recorded on the glass master 16 by the laser beam LB 4 leached into the glass master 6. A control method for controlling the gap between the end surface 45 of the SIL 44 and the glass master 16 to be constant is disclosed in Japanese Patent Application No. 11-253296 as described above.

【0040】一方、二群レンズに入射する、外乱を検出
するためのレーザー光LB11は、記録用のレーザー光
LB4と違い、入射方向と出射方向を異ならせる。入射
光LB11−1は、まず二群レンズ上方に設置された低
NA(例えば、NA=0.1)の集光レンズ40によ
り、集光傾向で非球面レンズ43に入射し、屈折された
後、SIL41に入射される。そしてSIL44にてさ
らに屈折されたあと、ガラス原盤16に集光される。こ
の集光点は、上記記録用のレーザー光LB4による集光
点とは異なる位置である。ガラス原盤16に集光された
光の一部は、ガラス原盤16の表面で反射し、SIL4
4及び非球面レンズ43を通り、入射光とは別経路で戻
ってくる。この戻り光をコリメーションレンズ41によ
り平行ビームLB11−2としてから、上述したように
ダイクロックミラー14、λ/4板39、PBS28、
及び集光レンズ29を介してフォトディテクタ(PD
3)30に導き、検出する。
On the other hand, unlike the recording laser beam LB4, the laser beam LB11 incident on the second group lens for detecting a disturbance is different in the incident direction and the emission direction. First, the incident light LB11-1 is incident on the aspherical lens 43 in a condensing tendency by the condensing lens 40 having a low NA (for example, NA = 0.1) installed above the second lens group, and is refracted. , SIL41. After being further refracted by the SIL 44, it is condensed on the glass master 16. This focal point is a position different from the focal point of the recording laser beam LB4. A part of the light condensed on the glass master 16 is reflected on the surface of the glass master 16 and SIL4
The light passes through the fourth lens 4 and the aspherical lens 43 and returns through a different path from the incident light. The return light is converted into a parallel beam LB11-2 by the collimation lens 41, and then the dichroic mirror 14, the λ / 4 plate 39, the PBS 28,
And a photodetector (PD) via the condenser lens 29
3) Lead to 30 and detect.

【0041】レーザー光LB11は、ガラス原盤16上
にある凸部欠陥による外乱を記録に先行して検出するた
めのレーザ光であり、波長は情報を記録するためのレー
ザー光LB4より長く、ガラス原盤16上に塗布された
レジストを感光しない。また、レーザー光LB11は低
NAの集光レンズ40によりガラス原盤16に集光され
るため、焦点深度が大きく、フォーカス制御も不要であ
る。また、光ヘッド保護動作にて光ヘッド15自体が動
いても安定してガラス原盤16上にある凸部欠陥による
外乱を検出することが可能である。
The laser beam LB11 is a laser beam for detecting disturbance due to a convex defect on the glass master 16 prior to recording, and has a longer wavelength than the laser beam LB4 for recording information. The resist applied on the substrate 16 is not exposed. In addition, since the laser beam LB11 is condensed on the glass master 16 by the condensing lens 40 having a low NA, the depth of focus is large and no focus control is required. Further, even if the optical head 15 itself moves by the optical head protection operation, it is possible to stably detect the disturbance due to the defect on the glass master 16.

【0042】次に、フォーカス制御装置33によるフォ
ーカス制御動作について詳細に説明する。このフォーカ
ス制御動作は、本件出願人による特許出願である、特願
平11−253296号にて以下に記すように明らかに
されている。
Next, the focus control operation by the focus control device 33 will be described in detail. This focus control operation is clarified as described below in Japanese Patent Application No. 11-253296 filed by the present applicant.

【0043】図3は、SIL44からの戻り光LB11
−2をPD(2)18で検出したきの光強度(戻り光量
(V)20)と、SIL44とガラス原盤16間の距離と
の関係を示した一例である。この一例では、SIL44
とガラス原板16が200nm以上では、近接場光が生じ
ず、全反射するためSIL44からの戻り光LB11−
2の強度は一定となっている。しかし、200nm以下で
は、SIL44に入射した光の一部が近接場光としてガ
ラス原盤16に透過するため、SIL44からの戻り光
の強度は小さくなる。そして、SIL44がガラス原盤
16に接触すると、SIL44に入射した光が全てガラ
ス原盤16に透過するため、SIL44からの戻り光の
強度はゼロ(0.0)となる。
FIG. 3 shows the return light LB11 from the SIL 44.
-2 when the PD (2) 18 detects the light intensity (return light amount)
(V) 20) and an example showing the relationship between the SIL 44 and the distance between the glass master 16. In this example, SIL44
When the glass plate 16 is 200 nm or more, the near-field light is not generated and is totally reflected, so that the return light LB11−
The strength of No. 2 is constant. However, at a wavelength of 200 nm or less, a part of the light incident on the SIL 44 is transmitted as near-field light to the glass master 16, so that the intensity of the return light from the SIL 44 decreases. When the SIL 44 comes into contact with the glass master 16, all the light incident on the SIL 44 passes through the glass master 16, and the intensity of the return light from the SIL 44 becomes zero (0.0).

【0044】この図3よりSIL44とガラス原盤16
との距離とSILの戻り光量とは一対一の関係にあるこ
とがわかる。そして、この関係の中で、特に線形領域を
使えば、上記距離を制御目標値に制御しやすくなる。
FIG. 3 shows that the SIL 44 and the glass master 16
It can be seen that there is a one-to-one relationship between the distance between the SIL and the SIL return light amount. In this relationship, if the linear region is used, the distance can be easily controlled to the control target value.

【0045】このように本発明では、SIL44とガラ
ス原盤16との距離を一定に制御するための制御量とし
て、SIL44の戻り光の光量(V)20を用いる。ま
た、SIL44とガラス原盤16の距離を変化させる駆
動手段としては、電気信号をナノオーダーで位置変位に
変換しうるピエゾ素子42を用い、図2に示すように前
記ピエゾ素子42に2群レンズ(非球面レンズ43とS
IL44)を取り付け、前記戻り光量20に応じて2群
レンズを移動させることによりSIL端面45とガラス
原盤16の距離を一定となるように、ピエゾ素子42に
フォーカス制御電圧38を印可する。本実施例では、1
50Vにて12nm変位するピエゾ素子42を用い、ピ
エゾ素子42に電圧を印加することにより、ガラス原盤
16にSIL44を接近させる。
As described above, in the present invention, the light quantity (V) 20 of the return light of the SIL 44 is used as a control amount for controlling the distance between the SIL 44 and the glass master 16 to be constant. As a driving means for changing the distance between the SIL 44 and the glass master 16, a piezo element 42 capable of converting an electric signal into a positional displacement on the nano order is used. As shown in FIG. Aspherical lens 43 and S
The focus control voltage 38 is applied to the piezo element 42 so that the distance between the SIL end face 45 and the glass master 16 is constant by moving the second group lens according to the return light amount 20. In this embodiment, 1
The SIL 44 is made to approach the glass master 16 by applying a voltage to the piezo element 42 using the piezo element 42 which is displaced by 12 nm at 50 V.

【0046】次に、記録用のレーザー光LB4と外乱を
検出するためのレーザー光LB11のガラス原盤16上
でのそれぞれの集光スポットの位置について説明する。
図4は、記録用のレーザー光LB4による集光スポット
46(以下、記録スポット)が形成される位置と外乱を
検出するためのレーザー光LB11による集光スポット
47(以下、先行ビームスポット)が形成される位置を
示した図であり、光ヘッド15を上面から見た図であ
る。記録スポット46は、SIL端面45の中心に集光
される。一方の先行ビームスポット47は、記録スポッ
ト46の進行方向(記録方向(接線方向)48)より前
方に形成される。
Next, the positions of the condensed spots of the recording laser beam LB4 and the laser beam LB11 for detecting disturbance on the glass master 16 will be described.
FIG. 4 shows a position where a condensed spot 46 (hereinafter referred to as a recording spot) formed by a recording laser beam LB4 and a condensed spot 47 (hereinafter referred to as a preceding beam spot) formed by a laser beam LB11 for detecting disturbance. FIG. 5 is a diagram showing a position where the optical head 15 is positioned, and is a diagram when the optical head 15 is viewed from above. The recording spot 46 is focused on the center of the SIL end face 45. One preceding beam spot 47 is formed ahead of the traveling direction of the recording spot 46 (recording direction (tangential direction) 48).

【0047】レーザー光LB11の先行ビームスポット
47は、記録スポット46より先行して、記録する箇所
の凸部欠陥による外乱を予め検出し、凸部欠陥が光ヘッ
ドの一部分であるSIL端面45に直接衝突すること
や、凸部欠陥による外乱によりフォーカス制御が不安定
になることが原因でSIL端面45がディスクに衝突す
ることを防止することを目的に用いられる。
The preceding beam spot 47 of the laser beam LB11 precedes the recording spot 46 and detects in advance the disturbance due to the convex defect at the recording location, and the convex defect is directly directed to the SIL end face 45 which is a part of the optical head. It is used for the purpose of preventing the SIL end face 45 from colliding with the disk due to collision or unstable focus control due to disturbance due to a convex defect.

【0048】近接場光記録の場合、ガラス原盤16上の
記録スポット46とSIL端面45との距離は、SIL
端面45全面で一定となっている。従って、ガラス原盤
16において記録スポット46以外でもSIL端面45
が覆う部分に凸部欠陥があると、凸部欠陥がSIL端面
45に直接衝突することや、凸部欠陥による外乱により
フォーカス制御が不安定になりSIL端面45がディス
クに衝突する恐れがある。
In the case of near-field optical recording, the distance between the recording spot 46 on the glass master 16 and the SIL end face 45 is SIL
It is constant over the entire end face 45. Therefore, even on the glass master 16 other than the recording spot 46, the SIL end face 45
If there is a convex defect in the portion covered by the defect, the convex defect may directly collide with the SIL end face 45, or the focus control may become unstable due to disturbance due to the convex defect, and the SIL end face 45 may collide with the disk.

【0049】従って、記録方向(接線方向)48の前方
で、かつ記録方向(半径方向)49に少なくともSIL
端面45の直径幅で、ガラス原盤16上の凸部欠陥によ
る外乱を検出する必要がある。そのためには、先行ビー
ムスポット47は少なくとも記録スポット46よりSI
L端面45の半径以上前方の距離(先行ビームスポット
配置の境界線50より右面)に少なくとも1点配置して
ある必要がある。
Therefore, at least the SIL is located in front of the recording direction (tangential direction) 48 and in the recording direction (radial direction) 49.
It is necessary to detect a disturbance due to a convex defect on the glass master 16 based on the diameter width of the end face 45. For this purpose, the preceding beam spot 47 is at least SI
At least one point needs to be arranged at a distance in front of the L end face 45 by a radius or more (on the right side of the boundary 50 of the preceding beam spot arrangement).

【0050】または、上記の先行ビームスポット形成方
法とは別に、図5に示すように、レーザー光LB11に
よる集光スポットを記録方向(半径方向)49に複数個
配置し、かつ本ビーム列を記録スポット46が形成され
る位置より進行方向(記録方向(接線方向)48)より
前方に配置してレーザー光LB11による集光スポット
列(以下、先行ビームスポット列)52を形成してもよ
い。
Alternatively, apart from the preceding beam spot forming method, as shown in FIG. 5, a plurality of condensed spots by the laser beam LB11 are arranged in the recording direction (radial direction) 49 and the main beam train is recorded. A convergent spot array (hereinafter, referred to as a preceding beam spot array) 52 by the laser beam LB11 may be formed by being disposed ahead of the traveling direction (recording direction (tangential direction) 48) from the position where the spot 46 is formed.

【0051】この方法の場合、先行ビームスポット列5
2は、図6に示すようにして形成できる。すなわち、レ
ーザー素子(レーザー2)21からの出射光LB6が通
過する集光レンズ54とコリメータレンズ27との間の
焦点位置にグレーティング51を配置し、LB6を複数
個のビーム列に分割する。そして、コリメータレンズ2
7を通った複数本のビーム列は、PBS28、λ/4板
39を通過し円偏光になった後、ダイクロックミラー1
4を通り、光ヘッド15に入射され、ガラス原盤16上
に図5に示した先行ビームスポット列52となって形成
される。
In the case of this method, the preceding beam spot train 5
2 can be formed as shown in FIG. That is, the grating 51 is arranged at a focal position between the condenser lens 54 and the collimator lens 27 through which the light LB6 emitted from the laser element (laser 2) 21 passes, and LB6 is divided into a plurality of beam arrays. And the collimator lens 2
7 pass through the PBS 28 and the λ / 4 plate 39 and become circularly polarized light.
4 and is incident on the optical head 15 and is formed on the glass master 16 as the preceding beam spot row 52 shown in FIG.

【0052】また、この場合においては、先行ビームス
ポット列52は、少なくとも記録スポット46よりSI
L端面45の半径以上前方の距離(先行ビームスポット
列配置の境界線53より上面)に少なくとも1点配置し
てある必要がある。
In this case, the preceding beam spot row 52 is at least SI
It is necessary that at least one point is disposed at a distance in front of the L end face 45 by a radius or more (above the boundary line 53 of the preceding beam spot row arrangement).

【0053】以上に説明したとおり、図4又は図5のよ
うに先行スポット47又は先行ビームスポット列52を
配置し、その戻り光を検出することで、ガラス原盤16
に情報を記録する前にSIL端面45に衝突する恐れの
ある凸部欠陥による外乱を検出することが可能となる。
そして、検出された外乱情報に基づき、SIL端面45
のガラス原盤16への衝突を防止することが可能とな
る。
As described above, the preceding spot 47 or the preceding beam spot row 52 is arranged as shown in FIG. 4 or FIG.
It is possible to detect a disturbance due to a convex defect that may collide with the SIL end surface 45 before recording information on the SIL.
Then, based on the detected disturbance information, the SIL end face 45 is
Can be prevented from colliding with the glass master 16.

【0054】以下、上記図4のように先行ビームスポッ
ト47を形成した場合を例にしてSIL端面45のガラ
ス原盤16への衝突の防止、すなわちSIL端面45と
ガラス原盤16の保護動作について詳細に説明する。
Hereinafter, taking the case where the preceding beam spot 47 is formed as shown in FIG. 4 as an example, the prevention of the collision of the SIL end face 45 with the glass master 16, that is, the protection operation of the SIL end face 45 and the glass master 16 will be described in detail. explain.

【0055】図7は、図1に示した光ヘッド保護装置3
5の内部構造を示す図である。この光ヘッド保護装置3
5は、上記先行ビーム戻り光量31を校正する信号校正
部55と、信号校正部55で校正された上記先行ビーム
戻り光量31の低帯域成分を通過させるローパスフィル
タ(LPF)57と、上記先行ビーム戻り光量31から
外乱の有無を判定する外乱判定部A56と、LPF57
のフィルタリング出力から外乱の種類を判定する外乱判
定部B58と、外乱判定部A56及び外乱判定部B58
の判定出力から外乱判定データを生成する外乱判定デー
タ生成部59と、この外乱判定データ生成部59で生成
された外乱判定データを記憶するメモリ63と、このメ
モリ63に対する上記外乱判定データの書き込みタイミ
ングを制御するメモリ書き込みタイミング制御部60
と、メモリ63から上記外乱判定データを読み出すタイ
ミングを制御するメモリ読み込みタイミング制御部61
と、メモリ63から読み出された上記外乱判定データの
ゲインを調整する光ヘッド保護制御部62とを備えてい
る。この光ヘッド保護装置35では、先行ビーム戻り光
量31、FG信号32を入力信号として、光ヘッド保護
動作を行う。先行ビーム戻り光量31は、図4に示した
レーザー光LB11によるスポット47、又は図5に示
したLB11によるスポット列52(以下、先行ビー
ム)による戻り光量である。FG信号32は、回転同期
した1回転あたり固定数個のパルス列である。
FIG. 7 shows the optical head protection device 3 shown in FIG.
FIG. 5 is a diagram showing an internal structure of a fifth embodiment. This optical head protection device 3
Reference numeral 5 denotes a signal calibrating unit 55 for calibrating the preceding beam returning light amount 31, a low-pass filter (LPF) 57 for passing a low band component of the preceding beam returning light amount 31 calibrated by the signal calibrating unit 55, and the preceding beam A disturbance determination unit A56 that determines the presence or absence of a disturbance from the return light amount 31;
A disturbance determining unit B58 for determining the type of disturbance from the filtering output of the above, a disturbance determining unit A56 and a disturbance determining unit B58
A disturbance determination data generation unit 59 for generating disturbance determination data from the determination output of the above, a memory 63 for storing the disturbance determination data generated by the disturbance determination data generation unit 59, and a write timing of the disturbance determination data to the memory 63 Write timing control unit 60 for controlling
A memory read timing control unit 61 for controlling the timing of reading the disturbance determination data from the memory 63
And an optical head protection controller 62 for adjusting the gain of the disturbance determination data read from the memory 63. The optical head protection device 35 performs an optical head protection operation using the preceding beam return light amount 31 and the FG signal 32 as input signals. The preceding beam returning light amount 31 is the returning light amount by the spot 47 by the laser beam LB11 shown in FIG. 4 or the spot train 52 (hereinafter, the preceding beam) by the LB11 shown in FIG. The FG signal 32 is a fixed number of pulse trains per rotation synchronized with the rotation.

【0056】信号校正部55により校正された先行ビー
ム戻り光31は、外乱判定部A56に入力されると共
に、LPF57でフィルタリングされた後に外乱判定部
B58に入力される。外乱判定部A56及び外乱判定部
B58の結果により外乱判定データ生成部59にて外乱
データが生成される。
The preceding beam return light 31 calibrated by the signal calibrator 55 is input to the disturbance determiner A56, and is also filtered by the LPF 57 and then input to the disturbance determiner B58. The disturbance determination data generator 59 generates disturbance data based on the results of the disturbance determiner A56 and the disturbance determiner B58.

【0057】生成された外乱判定データは、FG信号3
2により生成した位置データ(アドレスデータ)と共に
メモリ書き込みタイミング制御部60によるタイミング
制御に従ってメモリ63に書き込まれる。この記憶され
た外乱判定データは、記録位置に先行して、メモリ63
からメモリ読み込みタイミング制御部61によるタイミ
ング制御に従って読み出され、光ヘッド保護制御部62
でゲイン調整された後、光ヘッド保護電圧36として出
力される。
The generated disturbance determination data is the FG signal 3
2 together with the position data (address data) generated according to the timing control by the memory write timing control unit 60. The stored disturbance determination data is stored in the memory 63 before the recording position.
From the memory according to the timing control by the memory read timing controller 61, and the optical head protection controller 62
After the gain has been adjusted in step (1), the signal is output as an optical head protection voltage 36.

【0058】図8は、図1に示した制御電圧合成部37
の内部構造を示す図である。本制御電圧合成部37は、
上記光ヘッド保護電圧36と上記フォーカス制御電圧3
4とを加算する加算器66と、上記フォーカス制御電圧
34を上記全反射戻り光量20に基づいてホールドする
ホールド処理部67とから構成される。このように、制
御電圧合成部37では、光ヘッド保護制御電圧36と、
フォーカス制御電圧34を入力として最終フォーカス制
御電圧38を出力する。この際、上記全反射戻り光量2
0により、フォーカス制御電圧34をホールドするか否
かが決定され、その結果と光ヘッド保護用制御電圧36
を加算器66で加算したものが、最終フォーカス制御電
圧38となり光ヘッド15に印加される。
FIG. 8 shows the control voltage synthesizer 37 shown in FIG.
FIG. 3 is a diagram showing an internal structure of the device. The control voltage synthesis unit 37 includes:
The optical head protection voltage 36 and the focus control voltage 3
4 and an hold unit 67 for holding the focus control voltage 34 based on the total reflection return light amount 20. As described above, in the control voltage synthesizing unit 37, the optical head protection control voltage 36,
The focus control voltage 34 is input and the final focus control voltage 38 is output. At this time, the total reflection return light amount 2
0, it is determined whether or not the focus control voltage 34 is to be held, and the result and the optical head protection control voltage 36 are determined.
Is added by the adder 66 to become the final focus control voltage 38, which is applied to the optical head 15.

【0059】以下、上記図1に示した光記録装置におけ
る、SILヘッド保護動作を図9〜図15を参照して説
明する。先ず、光ヘッド保護装置35内部での外乱デー
タの生成手順について図9を参照して説明する。先ず、
ステップS11において、先行ビーム戻り光量(以下、
外乱検出信号)31をPD(3)30によって測定す
る。次に、ステップS12で信号校正部55にて外乱検
出信号31を規格化し、規格化された外乱検出信号64
を得る。ここでは、図10に示すように外乱検出信号3
1を、外乱が存在しないときに1Vppとなるように校
正した外乱検出信号64としている。
Hereinafter, the operation of protecting the SIL head in the optical recording apparatus shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS. First, a procedure for generating disturbance data inside the optical head protection device 35 will be described with reference to FIG. First,
In step S11, the preceding beam return light amount (hereinafter, referred to as
The disturbance detection signal) 31 is measured by the PD (3) 30. Next, in step S12, the disturbance detection signal 31 is standardized by the signal calibrating unit 55, and the standardized disturbance detection signal 64 is standardized.
Get. Here, as shown in FIG.
1 is a disturbance detection signal 64 calibrated to be 1 Vpp when no disturbance exists.

【0060】次のステップS13は、図7の外乱判定部
A56の動作に相当するもので、規格化された外乱検出
信号64を予め設定した閾値T1と比較する。この閾値
T1は、外乱の有無を判定するために用いられる。ガラ
ス原盤16にゴミなどの凸部欠陥があると、その凸部欠
陥に照射された上記先行ビームのスポット47は散乱さ
れ、外乱検出信号31は、凸部欠陥がない場合と比較し
て小さくなる。図10に示した具体例では、閾値T1を
0.3Vに設定している。
The next step S13 corresponds to the operation of the disturbance determination section A56 in FIG. 7, and compares the standardized disturbance detection signal 64 with a preset threshold T1. This threshold T1 is used to determine the presence or absence of a disturbance. If there is a convex defect such as dust on the glass master 16, the spot 47 of the preceding beam applied to the convex defect is scattered, and the disturbance detection signal 31 becomes smaller as compared with a case where there is no convex defect. . In the specific example shown in FIG. 10, the threshold value T1 is set to 0.3V.

【0061】もし、外乱検出信号64が閾値T1より大
きいならば、外乱判定部A56は「外乱なし」と判定す
る(ステップS14)。また、外乱検出信号64が閾値
T1より小さいならば、外乱判定部B58は「外乱があ
り」と判定する(ステップS15)。
If the disturbance detection signal 64 is larger than the threshold value T1, the disturbance determination unit A56 determines that "no disturbance exists" (step S14). If the disturbance detection signal 64 is smaller than the threshold value T1, the disturbance determination unit B58 determines that "there is a disturbance" (step S15).

【0062】ステップS14で外乱判定部A56が「外
乱なし」と判定した場合は、先行ビームにより、凸部欠
陥による外乱がない、又は凸部欠陥が存在してもその高
さが光ヘッド15とガラス原盤16との間隙と比較して
十分低く、フォーカスサーボに対して不安定にさせる外
乱ではないことを示している。つまり、光ヘッド15が
ガラス原盤16に衝突する可能性がないことを示してい
る。この場合、光ヘッド保護装置35は、光ヘッド保護
動作を行わず、フォーカス制御装置33によるフォーカ
ス制御のみを行うため、外乱判定データ生成部59に外
乱判定データとして、光ヘッド保護動作を行わないこと
を示す「00」を生成させる(ステップS16)。
If the disturbance judging section A56 judges "no disturbance" in step S14, no disturbance due to the convex defect is caused by the preceding beam, or even if the convex defect is present, the height of the disturbance is equal to that of the optical head 15. This is sufficiently lower than the gap with the glass master 16 and indicates that the disturbance is not a disturbance that makes the focus servo unstable. That is, this indicates that there is no possibility that the optical head 15 collides with the glass master 16. In this case, the optical head protection device 35 does not perform the optical head protection operation and performs only the focus control by the focus control device 33. Therefore, the disturbance determination data generation unit 59 does not perform the optical head protection operation as the disturbance determination data. Is generated (step S16).

【0063】これに対して、ステップS15で外乱判定
部A56が「外乱あり」と判定した場合は、次に凸部欠
陥によるフォーカスサーボエラーヘの外乱がフォーカス
サーボ帯域内外か否かを判定した(ステップS17)
後、凸部欠陥の大きさ(種類)を判定するためにステッ
プS18及びステップS20の処理に進む。これらステ
ップS17、S18、S20の処理は以下に説明するよ
うに上記図7のLPF57、外乱判定部B58及び外乱
判定データ生成部59の系で行われる処理である。
On the other hand, when the disturbance determination unit A56 determines in step S15 that "disturbance exists", it is next determined whether or not the disturbance to the focus servo error due to the convex defect is within or outside the focus servo band ( Step S17)
Thereafter, the process proceeds to Steps S18 and S20 to determine the size (type) of the convex defect. The processes in steps S17, S18, and S20 are processes performed by the system of the LPF 57, the disturbance determination unit B58, and the disturbance determination data generation unit 59 in FIG. 7 as described below.

【0064】まずステップS17にて外乱検出信号64
をLPF57に通し、サーボ帯域外の周波数成分を除去
する。このため、LPF57のカットオフ周波数は、サ
ーボ帯域と同程度に設定されている。次にステップ18
及び20にてLPF57を通した後の外乱検出信号65
を図11に示す閾値T2及び閾値T3と比較する。図1
1に示した具体例では、T2は0.3、T3は0.1に
設定されており、T3<T2と成るように設定する。ま
た、閾値T2及び閾値T3は閾値T1とは独立に設定で
きる。
First, at step S17, the disturbance detection signal 64
Through the LPF 57 to remove frequency components outside the servo band. For this reason, the cutoff frequency of the LPF 57 is set to be substantially the same as the servo band. Then step 18
And 20, the disturbance detection signal 65 after passing through the LPF 57
Is compared with the threshold values T2 and T3 shown in FIG. FIG.
In the specific example shown in FIG. 1, T2 is set to 0.3 and T3 is set to 0.1, so that T3 <T2. Further, the threshold T2 and the threshold T3 can be set independently of the threshold T1.

【0065】ステップS18にて外乱検出信号65が闇
値T2より大きい場合は、LPF57の帯域内、つまり
フォーカスサーボの帯域内であると判断する。この場
合、外乱判定部A56により「外乱あり」と判定(ステ
ップS15)しても、フォーカスサーボ帯域内なのでフ
ォーカス制御装置33により、外乱の影響を軽減するよ
うに制御が機能し、光ヘッド15がガラス原盤16に衝
突する可能性はない。この場合は、光ヘッド保護装置3
5による光ヘッド保護動作は行わず、フォーカス制御装
置33によるフォーカス制御のみを行う。そして外乱判
定データ生成部59が、光ヘッド保護動作を行わないこ
とを示す外乱判定データ「00」を生成する(ステップ
S19)。
If the disturbance detection signal 65 is larger than the dark value T2 in step S18, it is determined that the disturbance detection signal 65 is within the band of the LPF 57, that is, within the band of the focus servo. In this case, even if the disturbance determination unit A56 determines that there is "disturbance" (step S15), control is performed by the focus control device 33 so as to reduce the influence of the disturbance, since the optical head 15 is within the focus servo band. There is no possibility of collision with the glass master 16. In this case, the optical head protection device 3
5 does not perform the optical head protection operation, but performs only the focus control by the focus control device 33. Then, the disturbance determination data generator 59 generates disturbance determination data “00” indicating that the optical head protection operation is not performed (Step S19).

【0066】ステップS18にて外乱判定部BがLPF
後の外乱検出信号65を閾値T2以下と判定した場合
は、検出された外乱はフォーカスサーボ帯域外と判断さ
れる。この場合、凸部欠陥があり、かつフォーカスサー
ボ帯域外なので、本外乱に対してはフォーカス制御装置
33では対処できないと判断する。このままでは、光ヘ
ッド15が凸部欠陥に衝突するか、凸部欠陥による外乱
のためにフォーカス制御が不安定になり、光ヘッド15
がガラス原盤16に衝突し、光ヘッド15を損傷し、記
録が不可能となる恐れがある。このため、この場合、光
ヘッド15の損傷を防ぎ保護するために、光ヘッド保護
装置35による光ヘッド保護動作を行う。光ヘッド保護
動作として、例えば光ヘッドを凸部欠陥箇所でジャンプ
動作させることにより、光ヘッド15の損傷を防ぎ保護
することができる。この光ヘッド保護動作となるジャン
プ動作を外乱の種類に応じて、分けるためにステップS
20を行う。
In step S18, the disturbance determination section B sets the LPF
If the subsequent disturbance detection signal 65 is determined to be equal to or smaller than the threshold value T2, the detected disturbance is determined to be outside the focus servo band. In this case, it is determined that the focus control device 33 cannot cope with the disturbance because the projection defect exists and is outside the focus servo band. In this state, the optical head 15 collides with the convex defect or the focus control becomes unstable due to disturbance due to the convex defect.
May collide with the glass master 16, damaging the optical head 15 and making recording impossible. Therefore, in this case, in order to prevent and protect the optical head 15 from being damaged, an optical head protecting operation by the optical head protecting device 35 is performed. As the optical head protection operation, for example, the optical head is caused to perform a jump operation at a convex defective portion, thereby preventing and protecting the optical head 15 from being damaged. Step S is performed to separate the jump operation, which is the optical head protection operation, according to the type of disturbance.
Perform 20.

【0067】つまり、ステップS20では、フォーカス
サーボ帯域外と判定された凸部欠陥に関して外乱判定部
B58でさらに大きさ(種類)を分類する。この分類結
果に応じて外乱判定データ生成部59以降で、上記光ヘ
ッド保護動作となるジャンプ動作を切り替えるために、
光ヘッド15の保護制御電圧の大きさを決定する。図1
1の実施例では、外乱判定部B58が外乱検出信号65
と閾値T3を比較することで、凸部欠陥の大きさを2種
類に分類している。外乱検出信号65が閾値T3より大
きい場合は、閾値T3以下の場合よりも凸部欠陥そのも
のが小さいときであるので、上記ジャンプ動作の大きさ
を短くした保護動作Aを行うものとし、外乱判定データ
生成部59は外乱判定データとして保護動作Aを行うこ
とを示す「10」を生成する(ステップS21)。
That is, in step S20, the size (type) of the convex defect determined to be outside the focus servo band is further classified by the disturbance determining unit B58. In order to switch the jump operation as the optical head protection operation after the disturbance determination data generation unit 59 according to the classification result,
The magnitude of the protection control voltage of the optical head 15 is determined. FIG.
In the first embodiment, the disturbance determination unit B58 outputs the disturbance detection signal 65
By comparing the threshold value T3 with the threshold value T3, the size of the convex defect is classified into two types. When the disturbance detection signal 65 is larger than the threshold value T3, the convex defect itself is smaller than when the disturbance detection signal 65 is equal to or smaller than the threshold value T3. Therefore, the protection operation A in which the magnitude of the jump operation is shortened is performed. The generation unit 59 generates “10” indicating that the protection operation A is performed as the disturbance determination data (step S21).

【0068】一方、外乱検出信号65が閾値T3より小
さい場合は、閾値T3より外乱検出信号65が大きい場
合の凸部欠陥よりも、大きい凸部欠陥であると判定し、
上記ジャンプ動作の大きさを長くした保護動作Bを行う
ものとする。この場合、外乱判定データ生成部59は、
外乱判定データとして保護動作Bを行うことを示す「0
1」を生成する(ステップS22)。
On the other hand, if the disturbance detection signal 65 is smaller than the threshold T3, it is determined that the projection defect is larger than the projection defect when the disturbance detection signal 65 is larger than the threshold T3.
It is assumed that the protection operation B in which the size of the jump operation is lengthened is performed. In this case, the disturbance determination data generation unit 59
“0” indicating that the protection operation B is performed as the disturbance determination data
1 "is generated (step S22).

【0069】以上により、外乱判定データ生成部59に
より、凸部欠陥の有無や、凸部欠陥の大きさ(種類)に
応じて保護動作を切り替える外乱判定データが生成され
る。外乱が検出された位置は、回転あたり固定数のパル
スによるFG信号32により円周上の位置が確定され
る。また、FG信号32をカウントすることで、半径方
向の位置も特定される。
As described above, the disturbance determination data generation section 59 generates disturbance determination data for switching the protection operation according to the presence or absence of a convex defect and the size (type) of the convex defect. The position on the circumference where the disturbance is detected is determined by the FG signal 32 with a fixed number of pulses per rotation. Further, by counting the FG signal 32, the position in the radial direction is also specified.

【0070】以上のように特定された外乱の検出位置情
報と、生成された外乱判定データは、メモリ書き込みタ
イミング制御部60にて同期がとられ、メモリ63に記
憶される。
The disturbance detection position information specified as described above and the generated disturbance determination data are synchronized by the memory write timing control unit 60 and stored in the memory 63.

【0071】図12は、記録開始動作手順を示してい
る。メモリ63に記憶された外乱判定データは、外乱判
定データの書き込みタイミングとは独立に動作するメモ
リ読み込みタイミング制御部61により読み出される。
ステップS25において、記録する箇所に先行して少な
くともSIL直径幅の長さ区間の外乱判定データが読み
出しデータセルに読み込まれる。
FIG. 12 shows a recording start operation procedure. The disturbance determination data stored in the memory 63 is read by the memory read timing control unit 61 that operates independently of the write timing of the disturbance determination data.
In step S25, the disturbance determination data of at least the length section of the SIL diameter width is read into the read data cell prior to the recording location.

【0072】図13に外乱判定データが読み込まれるガ
ラス原盤16上の位置及び読み出しデータセルの具体例
を示す。図13において、図1に示したフォーカス制御
装置33により、ガラス原盤16上に記録スポット46
が形成される。この集光スポット46は、SIL端面4
5の中心位置に形成される。外乱判定データは、記録ス
ポット位置に先行した位置(先行読み出し位置)67
で、少なくともSIL直径幅の長さ区間だけ読み出され
る。この外乱判定データの読み出しには、FG信号32
を用いて、書き込みのときとは独立で動作する別カウン
タを用いることで実現できる。また、読み込まれた外乱
判定データは読み出しデータセルに一時保存させる。こ
の読み出しデータセルとしては、例えば、D−フリップ
・フロップにより実現できる。図13に示した具体例で
は、読み出しセルとしてn個用意している。
FIG. 13 shows a specific example of the position on the glass master 16 where the disturbance determination data is read and the read data cells. 13, a recording spot 46 is formed on the glass master 16 by the focus control device 33 shown in FIG.
Is formed. This condensing spot 46 is located on the SIL end face 4
5 is formed at the center position. The disturbance determination data includes a position (preceding read position) 67 preceding the recording spot position.
, At least the length section of the SIL diameter width is read. To read the disturbance determination data, the FG signal 32
And using a separate counter that operates independently of the write operation. The read disturbance determination data is temporarily stored in a read data cell. This read data cell can be realized by, for example, a D-flip flop. In the specific example shown in FIG. 13, n read cells are prepared.

【0073】図12に戻り、ステップS26では、n個
の読み出しデータセルが全て外乱判定データであるかを
調べる。図4における先行ビームスポット47では、外
乱検出を1点で行う。従って、検出された外乱判定デー
タを読み出すときには、n個の読み出しデータセル全て
に外乱判定データが反映されるまでに時間がかかる。n
個の読み出しデータセル全てに外乱判定データが反映さ
れない前に、フォーカス制御を行い、記録を開始する
と、記録箇所の外乱判定データの読み出しが不十分なた
めに予期せぬ外乱によりSIL端面45とガラス原盤1
6が衝突する危険性がある。
Returning to FIG. 12, in step S26, it is checked whether or not all the n read data cells are disturbance determination data. At the preceding beam spot 47 in FIG. 4, disturbance detection is performed at one point. Therefore, when reading the detected disturbance determination data, it takes time until the disturbance determination data is reflected on all of the n read data cells. n
If the focus control is performed and the recording is started before the disturbance determination data is not reflected on all of the read data cells, the SIL end face 45 and the glass are caused by an unexpected disturbance due to insufficient reading of the disturbance determination data at the recording location. Master 1
There is a danger that 6 will collide.

【0074】この危険性を回避するために、上記ステッ
プS26でn個の読み出しデータセルが全て外乱判定デ
ータでない場合は、ステップS25に戻り、フォーカス
制御を開始せず、先行ビームスポット47による外乱デ
ータ収集のみを行う。このとき、先行ビームスポット4
7は低NAの集光レンズ40にて実現されているので、
ガラス原盤16上の凸部欠陥に光ヘッドが衝突しない距
離に離して保持し、フォーカス制御とは独立して外乱デ
ータ収集をすることが可能である。
In order to avoid this danger, if all of the n read data cells are not the disturbance determination data in step S26, the process returns to step S25, and focus control is not started. Only collect. At this time, the preceding beam spot 4
7 is realized by the low NA condenser lens 40,
It is possible to hold the optical head at a distance such that the optical head does not collide with the convex defect on the glass master 16 and collect disturbance data independently of the focus control.

【0075】一方、ステップS26にて、n個の読み出
しデータセルが全て外乱判定データであると判定された
ら、ステップS27てフォーカス制御を開始する。これ
以降、先行ビームスボット47による外乱検出とフォー
カス制御が並列して行われることになる。
On the other hand, if it is determined in step S26 that all of the n read data cells are disturbance determination data, focus control is started in step S27. Thereafter, the disturbance detection and the focus control by the preceding beam sbot 47 are performed in parallel.

【0076】なお、図5による先行ビームスポット列5
2による外乱検出では、記録スポット46に先行して、
実時間でn個の外乱判定データが得られる。従って、こ
の方法では、外乱判定データをメモリ63に記憶させる
ことは不要でまた、図12による記録開始処理も不要と
なる。また、図4、図5による外乱検出方法では、記録
スポット46に先行した位置にある、少なくともSIL
直径幅の長さ区間の外乱データが得られれば良く、ガラ
ス原盤16全体の外乱判定データは不要である。
The preceding beam spot array 5 shown in FIG.
In the disturbance detection by No. 2, prior to the recording spot 46,
N disturbance determination data is obtained in real time. Therefore, in this method, it is not necessary to store the disturbance determination data in the memory 63, and the recording start processing shown in FIG. In the disturbance detection methods shown in FIGS. 4 and 5, at least the SIL at the position preceding the recording spot 46 is used.
It is only necessary to obtain the disturbance data of the length section of the diameter width, and the disturbance determination data of the entire glass master 16 is unnecessary.

【0077】図14は、外乱判定データに基づく保護動
作処理を示している。読み出しデータセルに記憶されて
いる外乱判定データは、記録によりガラス原盤16上を
覆うことになるSIL直径幅以上の区間の外乱判定デー
タを示している。この読み出しデータセルに記憶された
外乱判定データにより、光ヘッド保護装置35による光
ヘッド保護処理を決定する。
FIG. 14 shows a protection operation process based on disturbance determination data. The disturbance determination data stored in the read data cell indicates the disturbance determination data in a section of the SIL diameter width or more that covers the glass master 16 by recording. The optical head protection processing by the optical head protection device 35 is determined based on the disturbance determination data stored in the read data cell.

【0078】図14のステップS30では、読み出しデ
ータセルに記憶されたn個の外乱判定データが全て「0
0」であるか否かを調べる。もし、全て「00」である
ならば、記録によりガラス原盤16上を覆うことになる
SILの幅以上の区間において、凸部状の異物がSIL
端面に衝突、又は外乱によりフォーカス制御が不安定に
なりSILが衝突する可能性はないことを示している。
この場合、特に光ヘッド保護装置35において光ヘッド
保護処理は行わず(ステップS31)、光ヘッド保護制
御電圧36はゼロ出力とする。
In step S30 of FIG. 14, all of the n pieces of disturbance determination data stored in the read data cell are set to "0".
It is checked whether it is "0". If all are “00”, the foreign matter having a convex shape is formed in the section exceeding the width of the SIL that covers the glass master 16 by recording.
This indicates that there is no possibility that the focus control becomes unstable due to a collision with the end face or a disturbance and the SIL collides.
In this case, the optical head protection device 35 does not perform the optical head protection process (step S31), and the optical head protection control voltage 36 is set to zero output.

【0079】また、ステップS30において、読み出し
データセルに記憶されたn個の外乱判定データが全て
「00」でない場合は、次にステップS32にて、読み
出しデータセルに記憶されたn個の外乱判定データに
「01」が含まれているか否かを調べる。もし「01」
が含まれているならば、記録によりガラス原盤16上を
覆うことになるSIL直径幅以上の区間において、少な
くとも1ヵ所に保護動作Bが必要となる大きさの外乱が
存在することになる。従って、この場合、光ヘッド保護
装置35は光ヘッド保護処理として保護動作Bを行う必
要があり、光ヘッド保護制御電圧35として保護動作B
を行うための電圧が出力される(ステップS33)。な
お、上記の場合、読み出しデータセルに記憶された外乱
判定データに「10」が含まれている、つまり保護動作
Aを行う必要がある外乱が存在する場合でも、保護動作
Bにより対処可能であるので問題なく光ヘッドを保護す
ることが可能である。
If it is determined in step S30 that the n pieces of disturbance determination data stored in the read data cell are not all "00", then in step S32, the n pieces of disturbance determination data stored in the read data cell are determined. It is checked whether "01" is included in the data. If "01"
Is included, a disturbance having a size that requires the protection operation B exists in at least one section in a section that is equal to or larger than the SIL diameter width that covers the glass master 16 by recording. Therefore, in this case, the optical head protection device 35 needs to perform the protection operation B as the optical head protection processing.
Is output (step S33). In the above case, even when the disturbance determination data stored in the read data cell includes “10”, that is, when there is a disturbance for which the protection operation A needs to be performed, the protection operation B can cope with the disturbance. Therefore, it is possible to protect the optical head without any problem.

【0080】また、ステップS31にて、読み出しデー
タセルに記憶されたn個の外乱判定データに「01」が
含まれていない場合は、検出された外乱は、全て保護動
作Aにて対処可能な大きさの外乱であることになる。従
って、この場合、光ヘッド保護装置35は光ヘッド保護
処理として保護動作Aを行い、光ヘッド保護制御電圧3
6として保護動作Aを行うための電圧が出力される(ス
テップS34)。
If it is determined in step S 31 that “01” is not included in the n pieces of disturbance determination data stored in the read data cell, all of the detected disturbances can be dealt with by the protection operation A. It is a disturbance of magnitude. Therefore, in this case, the optical head protection device 35 performs the protection operation A as the optical head protection processing, and the optical head protection control voltage 3
As 6, the voltage for performing the protection operation A is output (step S34).

【0081】次に、図15及び図16を用いて、上記図
1における制御電圧合成部37の動作について説明す
る。図15は制御電圧合成部37の処理手順を示すフロ
ーチャートである。図16はフォーカス制御装置33に
おいて制御されている校正後の全反射戻り光量20の時
間変化特性図である。なお、ここからは、上記凸部欠陥
のようなデフェクトの他に、キズなどの凹部欠陥のよう
なデフェクトも考慮する。
Next, the operation of the control voltage synthesizer 37 in FIG. 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 15 is a flowchart illustrating a processing procedure of the control voltage synthesis unit 37. FIG. 16 is a time change characteristic diagram of the total reflection return light amount 20 after calibration controlled by the focus control device 33. Note that, in addition to the defect such as the above-described convex defect, a defect such as a concave defect such as a scratch is also considered.

【0082】ステップS40において、全反射戻り光量
20と図16に示す閾値T4とを比較する。図16の具
体例では、フォーカス制御目標値69が0.6、閾値T
4が0.8に設定されている。なお、閾値T4は、図1
0に示された閾値T1、及び図11に示された閾値T2
及びT3とは独立に設定される。
In step S40, the total reflection returning light amount 20 is compared with a threshold value T4 shown in FIG. In the specific example of FIG. 16, the focus control target value 69 is 0.6,
4 is set to 0.8. Note that the threshold value T4 is the same as that in FIG.
The threshold value T1 shown in FIG. 11 and the threshold value T2 shown in FIG.
And T3 are set independently.

【0083】フォーカス被制御電圧68は、フォーカス
制御装置33によりフォーカス制御目標値69により
0.6一定となっている。しかし、ガラス原盤16上に
キズ等の凹部欠陥がある場合や、上述したような光ヘッ
ド保護動作が機能すると、フォーカス被制御電圧68は
0.6より上方に変動する。この場合、もし全反射戻り
光量20が閾値T4より大きくなる場合は、全反射戻り
光量20が閾値T4を越えた時点で、図15のステップ
S41でフォーカス制御装置33によるフォーカス制御
電圧34のみをホールド処理部67によりホールドす
る。
The focus controlled voltage 68 is constant at 0.6 by the focus control target value 69 by the focus control device 33. However, when there is a concave defect such as a scratch on the glass master 16 or when the optical head protection operation described above functions, the focus controlled voltage 68 fluctuates above 0.6. In this case, if the total reflection return light amount 20 becomes larger than the threshold value T4, only the focus control voltage 34 by the focus control device 33 is held in step S41 of FIG. 15 when the total reflection return light amount 20 exceeds the threshold value T4. It is held by the processing unit 67.

【0084】次に、ステップS42にて、フォーカス制
御電圧34と光ヘッド保護制御電圧36を加算器66に
より互いに加算し、最終フォーカス制御電圧38を得
る。この最終フォーカス制御電圧38を光ヘッド15に
フィードバックする。このように、ガラス原盤16上に
デフェクトがあり外乱が生じる場合でも、常にフォーカ
ス制御装置33によるフォーカスサーボループを動作さ
せておくことで、デフェクトによる外乱印加時のフォー
カス引き込み特性が早くなる。また、キズのような凹部
欠陥による外乱に対してフォーカス制御が追従しすぎる
ことによるSIL端面45とガラス原盤16が衝突する
危険性を回避することも可能となる。
Next, in step S42, the focus control voltage 34 and the optical head protection control voltage 36 are added to each other by the adder 66 to obtain a final focus control voltage 38. The final focus control voltage 38 is fed back to the optical head 15. As described above, even when there is a defect on the glass master 16 and disturbance occurs, by always operating the focus servo loop by the focus control device 33, the focus pull-in characteristic when disturbance is applied due to the defect becomes faster. In addition, it is possible to avoid the risk that the SIL end face 45 and the glass master 16 collide with each other due to the focus control excessively following disturbance caused by a concave defect such as a scratch.

【0085】以上の動作により、ガラス原盤16の表面
に、ゴミなどの凸部欠陥や、キズなどの凹部欠陥によ
る、デフェクトによる外乱がフォーカスサーボに印可さ
れてもフォーカスサーボは追従せず、また光ヘッド15
の凹部欠陥よる衝突及び、それに伴い生じるレジスト付
きガラス原盤16の損傷を回避し、安定して長時間のカ
ッティングが可能となる。
With the above operation, even when disturbance due to a defect due to a convex defect such as dust or a concave defect such as a scratch is applied to the surface of the glass master 16 to the focus servo, the focus servo does not follow the light. Head 15
Collision due to the concave defect of the above and the damage of the glass master 16 with resist caused thereby can be avoided, and cutting for a long time can be stably performed.

【0086】以上ここまでは、図1に示した光記録装置
について説明した。次に、本発明の光記録及び/又は再
生装置の内の、光再生装置の具体例について説明する。
この具体例は、本発明の光記録及び/又は再生方法の内
の、光再生方法を適用できるものである。
The optical recording apparatus shown in FIG. 1 has been described above. Next, a specific example of the optical reproducing apparatus of the optical recording and / or reproducing apparatus of the present invention will be described.
In this specific example, the optical reproducing method among the optical recording and / or reproducing methods of the present invention can be applied.

【0087】この光再生装置の具体例は、光ディスクに
記録された情報を、レーザー光を照射して再生する図1
7に示す光再生装置である。
A specific example of the optical reproducing apparatus is shown in FIG. 1 for reproducing information recorded on an optical disk by irradiating a laser beam.
7 is an optical reproducing apparatus shown in FIG.

【0088】この光再生装置の主要部の構成について説
明する。この光再生装置は、光ディスク70から情報信
号を再生するための再生用レーザー光を出射するレーザ
ー素子4(レーザー1)と、このレーザー素子4からの
再生用レーザー光を上記光ディスク70に照射すべく集
光する光ヘッド15内部の上記非球面レンズ43と、こ
の非球面レンズ43の開口数よりも大きな開口数を実現
するために非球面レンズ43と光ディスク70との間に
介在させる光ヘッド15内部の上記SIL44と、上記
光ディスク70に対して上記再生用レーザ光とは異なる
外乱検出用のレーザー光を出射するレーザー素子(レー
ザー2)21と、SIL44の端面45と上記光ディス
ク70間のニアフィールド領域における距離を一定に保
持するフォーカス制御装置33と、SIL44が上記再
生用のレーザー光を集光する位置より先行した位置に集
光されたレーザー素子21からのレーザー光による、光
ディスク70からの戻り光を基にSIL44及びガラス
原盤16を保護する光ヘッド保護装置35とを主要部と
して備える。
The configuration of the main part of the optical reproducing apparatus will be described. This optical reproducing apparatus includes a laser element 4 (laser 1) for emitting a reproducing laser beam for reproducing an information signal from an optical disk 70, and a laser beam for reproducing from the laser element 4 for irradiating the optical disk 70 with the reproducing laser beam. The aspheric lens 43 inside the optical head 15 for condensing light, and the inside of the optical head 15 interposed between the aspheric lens 43 and the optical disc 70 in order to realize a numerical aperture larger than the numerical aperture of the aspheric lens 43. A laser element (laser 2) 21 for emitting a laser beam for disturbance detection different from the reproduction laser beam to the optical disk 70, and a near-field area between the end surface 45 of the SIL 44 and the optical disk 70. And the SIL 44 for focusing the laser beam for reproduction by the focus control device 33 for maintaining the distance at An optical head protection device 35 that protects the SIL 44 and the glass master 16 based on the return light from the optical disk 70 by the laser light from the laser element 21 focused on the position preceding the position is provided as a main part.

【0089】また、この光再生装置は、上記再生用レー
ザー光のSIL44からの戻り光量に基づいて光ヘッド
保護装置35の光ヘッド保護制御電圧36と、フォーカ
ス制御装置33のフォーカス制御電圧34とを合成して
出力するか又は単独で出力する制御電圧合成部37も主
要部として備える。
Further, this optical reproducing apparatus sets the optical head protection control voltage 36 of the optical head protection device 35 and the focus control voltage 34 of the focus control device 33 on the basis of the amount of the laser beam for reproduction returned from the SIL 44. A control voltage synthesizing unit 37 for synthesizing the output or outputting it alone is also provided as a main part.

【0090】次に、上記主要部とその周辺部との関係を
明らかにしながら図17の光再生装置の全体的な構成を
説明する。レーザー素子4(レーザー1)から出射され
た再生用レーザー光LB1は、電気-光変換素子(EO
M)5、偏光板であるアナライザー6及びビームスプリ
ッタ(BS)7を介してミラー10で反射されてから、
集光レンズ55を通った後、コリメーターレンズ11に
より平行ビームとされ、偏光ビームスプリッタ(PB
S)12を通過し、λ/4板13に入射される。
Next, the overall configuration of the optical reproducing apparatus shown in FIG. 17 will be described while clarifying the relationship between the main part and its peripheral parts. The reproduction laser beam LB1 emitted from the laser element 4 (laser 1) is converted into an electro-optical conversion element (EO).
M) 5, after being reflected by the mirror 10 via the analyzer 6 as a polarizing plate and the beam splitter (BS) 7,
After passing through the condenser lens 55, the beam is converted into a parallel beam by the collimator lens 11, and the polarized beam splitter (PB)
S) passes through 12 and is incident on the λ / 4 plate 13.

【0091】λ/4板13を通過した変調光LB3は、
円偏光となり、ダイクロックミラー14に入力される。
ダイクロックミラー14は、LB3の波長に対しては、
透過させる性質がある。
The modulated light LB3 that has passed through the λ / 4 plate 13 is
The light becomes circularly polarized light and is input to the dichroic mirror 14.
The dichroic mirror 14 has a wavelength of LB3.
It has the property of transmitting light.

【0092】ダイクロックミラー14を透過したレーザ
ー光LB4は、ミラー10で反射された後、光ヘッド1
5に入射される。この光ヘッド15は、光ディスク70
に上記円偏光とされたレーザー光をスポット状に照射す
る。この際の光ディスク70に対する光ヘッド15のフ
ォーカスは、フォーカス制御装置33により制御され、
ガラス原盤16との間隙が一定に保持される。
The laser beam LB 4 transmitted through the dichroic mirror 14 is reflected by the mirror 10 and then reflected by the optical head 1.
5 is incident. This optical head 15 is
Irradiate the circularly polarized laser light in the form of a spot. At this time, the focus of the optical head 15 on the optical disk 70 is controlled by the focus control device 33,
The gap with the glass master 16 is kept constant.

【0093】光ヘッド15に入射したレーザー光LB4
は、フォーカス制御装置33により大きさが一定に制御
されて光スポットを光ディスク70上に形成する。この
光スポットにより光ディスク70から情報信号が読み出
され、再生される。
The laser beam LB4 incident on the optical head 15
The light spot is formed on the optical disk 70 with the size being controlled to be constant by the focus control device 33. An information signal is read from the optical disk 70 by the light spot and reproduced.

【0094】レーザー素子4からの再生用レーザー光の
一部LB8は、EOM5及びアナライザ6を通り、BS
7を透過してフォトディテクタ(PD1)8にて検出さ
れる。PD(1)8に入射したレーザー光LB8は電気
信号に変換され、自動パワー制御装置(APC)9に入
力され、その値がEOM5にフィードバックされ、レー
ザー素子4のパワーが一定に制御される。従って、AP
C後の光量は一定量であり、最大光量19となる。
A part LB8 of the reproducing laser beam from the laser element 4 passes through the EOM 5 and the analyzer 6 and passes through the BS
7, and is detected by the photodetector (PD1) 8. The laser beam LB8 incident on the PD (1) 8 is converted into an electric signal, input to an automatic power controller (APC) 9, and the value is fed back to the EOM 5, whereby the power of the laser element 4 is controlled to be constant. Therefore, AP
The light amount after C is a constant amount, and becomes the maximum light amount 19.

【0095】一方、ダイクロックミラー14を透過した
レーザー光LB4に対する光ヘッド15から戻り光は、
ダイクロックミラー14を再度透過し、λ/4板13を
通り直線偏光に変換された後、PBS12で反射され、
さらに一部がビームスプリッタ(BS)71、ミラー1
0gで反射されてから集光レンズ72で集光され、フォ
トディテクタ(PD5)73に入力される。フォトディ
テクタ(PD5)73で検出された検出信号は、再生部
74に供給されて再生信号処理が施され、出力端子75
から再生信号が得られる。
On the other hand, the return light from the optical head 15 for the laser light LB4 transmitted through the dichroic mirror 14 is:
After passing through the dichroic mirror 14 again and being converted into linearly polarized light through the λ / 4 plate 13, it is reflected by the PBS 12,
Further, a part is a beam splitter (BS) 71, a mirror 1
After being reflected at 0 g, the light is condensed by a condenser lens 72 and input to a photodetector (PD5) 73. The detection signal detected by the photodetector (PD5) 73 is supplied to a reproducing unit 74, where the signal is subjected to reproduction signal processing, and an output terminal 75
A reproduction signal can be obtained from.

【0096】また、BS71を透過し、集光レンズ17
で集光された戻り光LB5は、フォトディテクタ(PD
2)18に入力され、戻り光量20として検出される。
Further, the light is transmitted through the BS 71 and
Return light LB5 collected by the photo detector (PD)
2) Input to 18 and detected as return light quantity 20.

【0097】レーザー素子(レーザー2)21から出射
された外乱検出用のレーザー光は、上記光記録装置の系
と同様の経路を通り、ビームスプリッタ(BS)24で
反射されてレーザー光LB6となり、ミラー10dで曲
げられてから集光レンズ54に入射する。集光レンズ5
4はレーザー光LB6を集光した後、コリメーターレン
ズ27に入射する。
The disturbance detecting laser light emitted from the laser element (laser 2) 21 passes through the same path as that of the optical recording system, is reflected by the beam splitter (BS) 24, and becomes a laser light LB6. After being bent by the mirror 10d, the light enters the condenser lens 54. Condensing lens 5
4 focuses the laser beam LB6 and then enters the collimator lens 27.

【0098】コリメーターレンズ27により平行光とさ
れたレーザー光LB6がレーザー光LB11となり光デ
ィスク70上に光ヘッド15を介して照射される経路に
ついては上記光記録装置の動作と略同様であるのでここ
では説明を省略する。もちろん、レーザー光LB11に
よる光ディスク70上の照射位置は、上記レーザー光L
B4による照射位置と異なる。
Since the laser beam LB6, which has been converted into parallel light by the collimator lens 27, becomes a laser beam LB11 and is irradiated onto the optical disk 70 via the optical head 15, the operation is substantially the same as the operation of the above-described optical recording apparatus. Then, the description is omitted. Of course, the irradiation position on the optical disk 70 by the laser beam LB11 is the same as the laser beam L
It is different from the irradiation position by B4.

【0099】また、レーザー光LB11に対する光ヘッ
ド15からの戻り光についても上記光記録装置の場合と
同様の経路を通り、フォトディテクタ(PD3)30に
入力され、先行ビーム戻り光量31として、光ヘッド保
護装置35に入力される。
The return light from the optical head 15 to the laser light LB11 is also input to the photodetector (PD3) 30 along the same path as that of the above-described optical recording apparatus, and is set as the leading beam return light amount 31 to protect the optical head. Input to the device 35.

【0100】光ヘッド保護装置35には、上記光記録装
置の場合と同様に、先行ビーム戻り光量31の他に、1
回転あたり固定数個のパルス列である回転同期のFG信
号32が入力される。このFG信号32により、先行ビ
ーム戻り光量31のガラス原盤16上における検出位置
が特定され、先行ビーム戻り光量31による外乱検出結
果とその位置信号が、記録に先行して光ヘッド保護装置
35内のメモリに記憶される。
As in the case of the above-described optical recording apparatus, the optical head protection device 35 includes, in addition to the preceding beam return light amount 31,
A rotation-synchronized FG signal 32, which is a fixed number of pulse trains per rotation, is input. The FG signal 32 specifies the detection position of the preceding beam return light amount 31 on the glass master 16. The disturbance detection result based on the preceding beam return light amount 31 and its position signal are stored in the optical head protection device 35 prior to recording. Stored in memory.

【0101】制御電圧合成部37では、光ヘッド保護装
置35内のメモリに記憶された外乱検出結果を記録位置
より先行して読み出し、その読み出し値に基づいて外乱
の影響を除去するように、フォーカス制御電圧34を修
正し、最終フォーカス制御電圧38を出力する。この最
終フォーカス制御電圧38を受け取った光ヘッド15
は、光ディスク70上にデフェクトがあったとしても、
光ディスク70に外乱の影響で衝突することなく安定し
て長時間にわたり再生が可能となる。
The control voltage synthesizing section 37 reads out the disturbance detection result stored in the memory in the optical head protection device 35 prior to the recording position, and focuses on the basis of the read value so as to eliminate the influence of the disturbance. The control voltage 34 is corrected, and the final focus control voltage 38 is output. The optical head 15 receiving the final focus control voltage 38
Means that even if there is a defect on the optical disc 70,
Reproduction can be performed stably for a long time without colliding with the optical disk 70 due to disturbance.

【0102】以下、光ヘッド15の詳細な構成を初め、
各部の動作、処理については上記光記録装置と同様であ
るので説明を省略する。
Hereinafter, the detailed structure of the optical head 15 will be described first.
The operation and processing of each unit are the same as those of the above-described optical recording apparatus, and thus the description is omitted.

【0103】この光再生装置においても、光ディスク7
0の表面に、ゴミなどの凸部欠陥や、キズなどの凹部欠
陥による、デフェクトによる外乱がフォーカスサーボに
印可されてもフォーカスサーボは追従せず、また光ヘッ
ド15の凹部欠陥よる衝突及び、それに伴い生じる光デ
ィスク70の損傷を回避し、安定して長時間の再生が可
能となる。
In this optical reproducing apparatus, the optical disk 7
The focus servo does not follow even if disturbance due to a defect due to a convex defect such as dust or a concave defect such as a scratch is applied to the surface of the optical head 15, and the collision due to the concave defect of the optical head 15. The accompanying damage of the optical disk 70 can be avoided, and stable long-time reproduction can be performed.

【0104】[0104]

【発明の効果】本発明によれば、高開口数の対物レンズ
を光記録媒体面に近接させて情報信号を高密度に記録及
び/又は再生する光記録及び/又は再生装置において、
対物レンズが光記録媒体上のデフェクト等に衝突するこ
とを回避できるようにして、対物レンズ、光記録媒体を
摩耗あるいは損傷させることなく、情報を記録及び/又
は再生することが可能となる。
According to the present invention, there is provided an optical recording and / or reproducing apparatus for recording and / or reproducing information signals at a high density by bringing an objective lens having a high numerical aperture close to an optical recording medium surface.
By making it possible to prevent the objective lens from colliding with a defect or the like on the optical recording medium, it becomes possible to record and / or reproduce information without wearing or damaging the objective lens and the optical recording medium.

【0105】また、CDやDVDの製造で用いられてい
るカッティングマシーンにおいて、長時間の安定した近
接場光を用いた情報の記録を可能とし、高密度光ディス
クの製造が可能となる。
Further, in a cutting machine used for manufacturing CDs and DVDs, information can be recorded stably for a long time using near-field light, and a high-density optical disk can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態となる光記録装置の構成を示
すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of an optical recording apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記光記録装置を構成する光ヘッドの構成を示
す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of an optical head constituting the optical recording apparatus.

【図3】光記録媒体とSIL端面との距離と戻り光量と
の関係を示す特性図である。
FIG. 3 is a characteristic diagram illustrating a relationship between a distance between an optical recording medium and an SIL end surface and a return light amount.

【図4】上記光ヘッド内の先行ビームの光記録媒体にお
ける位置を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a position of a preceding beam in an optical recording medium in the optical head.

【図5】上記光ヘッド内の先行ビームスポット列の光記
録媒体における位置を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a position of a preceding beam spot train in the optical head on an optical recording medium.

【図6】上記図5に示した先行ビームスポット列を実現
するための光学系を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing an optical system for realizing the preceding beam spot array shown in FIG. 5;

【図7】上記図5に示した先行ビームによる光ヘッド保
護装置の構成を示すブロック図である。
FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of an optical head protection device using the preceding beam shown in FIG. 5;

【図8】上記光ヘッド保護装置による制御電圧とフォー
カス制御電圧を合成する制御電圧合成部のブロック図で
ある。
FIG. 8 is a block diagram of a control voltage synthesis unit that synthesizes a control voltage and a focus control voltage by the optical head protection device.

【図9】上記光ヘッド保護装置における外乱データ生成
手順を示すフローチャートである。
FIG. 9 is a flowchart showing a procedure for generating disturbance data in the optical head protection device.

【図10】凸部欠陥がガラス原盤に存在するときの校正
後の外乱検出信号を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a disturbance detection signal after calibration when a convex defect exists in a glass master.

【図11】凸部欠陥がガラス原盤に存在するときのロー
パスフィルター後の外乱検出信号を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a disturbance detection signal after a low-pass filter when a convex defect exists in a glass master.

【図12】上記光ヘッド保護装置における記録開始処理
を示すフローチャートである。
FIG. 12 is a flowchart showing a recording start process in the optical head protection device.

【図13】上記光ヘッド保護動作処理における外乱デー
タを読み出す位置を示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing a position where disturbance data is read in the optical head protection operation processing.

【図14】上記光ヘッド保護装置における光ヘッド保護
動作処理の手順を示すフローチャートである。
FIG. 14 is a flowchart showing a procedure of an optical head protection operation process in the optical head protection device.

【図15】上記ヘッド保護装置による制御電圧とフォー
カス制御電圧を合成する手順を示すフローチャートであ
る。
FIG. 15 is a flowchart showing a procedure for synthesizing a control voltage and a focus control voltage by the head protection device.

【図16】凸部欠陥がガラス原盤に存在するときの全反
射戻り光量の様子を示す図である。
FIG. 16 is a diagram illustrating a state of total reflection returning light amount when a convex defect exists in a glass master.

【図17】本発明の他の実施の形態となる光再生装置の
ブロック図である。
FIG. 17 is a block diagram of an optical reproducing apparatus according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4 レーザー素子、15 光ヘッド、16 ガラス原
盤、19 最大記録光量、20 全反射戻り光量、33
フォーカス制御装置、32 FG信号、34フォーカ
ス制御電圧、35 光ヘッド保護装置、36 光ヘッド
保護制御電圧、37 制御電圧合成部、38 最終フォ
ーカス制御電圧、42 ピエゾ素子、43 非球面レン
ズ、44 固体浸レンズ、56 外乱判定部A、58
外乱判定部B、59 外乱判定データ生成部、60 メ
モリ書き込みタイミング制御部、61 メモリ読み込み
タイミング部、63 メモリ
4 laser element, 15 optical head, 16 glass master, 19 maximum recording light quantity, 20 total reflection return light quantity, 33
Focus control device, 32 FG signal, 34 focus control voltage, 35 optical head protection device, 36 optical head protection control voltage, 37 control voltage synthesizer, 38 final focus control voltage, 42 piezo element, 43 aspheric lens, 44 solid immersion Lens, 56 disturbance determination unit A, 58
Disturbance judgment unit B, 59 disturbance judgment data generation unit, 60 memory write timing control unit, 61 memory read timing unit, 63 memory

Claims (37)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光記録媒体に対して情報信号を記録/再
生するための記録/再生光を出射する第1の光源と、 上記第1の光源からの記録/再生光を上記光記録媒体に
照射すべく集光する第1の光学手段と、 上記第1の光学手段の開口数よりも大きな開口数を実現
するために上記第1の光学手段と上記光記録媒体との間
に介在させる第2の光学手段と、 上記光記録媒体に対して上記記録/再生光とは異なる光
を出射する第2の光源と、 上記第2の光学手段の端面と上記光記録媒体間のニアフ
ィールド領域における距離を一定に保持する制御手段
と、 上記第2の光学手段が上記記録/再生光を集光する上記
光記録媒体上の位置より先行した位置に集光された上記
第2の光源からの光の、上記光記録媒体の戻り光を基
に、上記第2の光学手段及び上記光記録媒体を保護する
保護手段とを備えることを特徴とする光記録及び/又は
再生装置。
A first light source for emitting recording / reproducing light for recording / reproducing an information signal on / from an optical recording medium; and a recording / reproducing light from the first light source being transmitted to the optical recording medium. First optical means for converging light for irradiation, and a second optical means interposed between the first optical means and the optical recording medium for realizing a numerical aperture larger than the numerical aperture of the first optical means. A second light source that emits light different from the recording / reproducing light to the optical recording medium; and a near-field area between the end face of the second optical means and the optical recording medium. Control means for keeping the distance constant; and light from the second light source focused on a position preceding the position on the optical recording medium on which the second optical means condenses the recording / reproducing light. Based on the return light of the optical recording medium, The optical recording and / or reproducing apparatus, characterized in that it comprises a protection means for protecting the climate recording medium.
【請求項2】 上記保護手段が出力する保護制御信号
と、上記制御手段が出力するフォーカス制御信号とを切
り替え又は併用することを特徴とする請求項1記載の光
記録及び/又は再生装置。
2. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 1, wherein a protection control signal output by said protection means and a focus control signal output by said control means are switched or used together.
【請求項3】 上記記録/再生光の上記第2の光学手段
からの戻り光量に基づいて、上記保護手段が出力する保
護制御信号を、上記制御手段が出力するフォーカス制御
信号と合成して出力するか又は単独で出力する制御電圧
出力手段を備えることを特徴とする請求項2記載の光記
録及び/又は再生装置。
3. A protection control signal output by the protection means is synthesized with a focus control signal output by the control means based on a return light amount of the recording / reproducing light from the second optical means and output. 3. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 2, further comprising control voltage output means for outputting the output signal independently or by itself.
【請求項4】 上記保護手段は、上記光記録媒体上に集
光した上記先行光の戻り光量を、第1の所定の閾値と比
較して上記光記録媒体上の外乱の有無を判定する第1の
判定手段と、上記先行光のフォーカス制御帯域における
戻り光量を少なくとも第2の所定の閾値と比較して上記
外乱の種類を判定する第2の判定手段とを備え、両方の
判定結果に基づいた判定データに応じて上記第2の光学
手段及び上記光記録媒体を外乱から保護することを特徴
とする請求項1記載の光記録及び/又は再生装置。
4. The method according to claim 1, wherein the protection unit compares a return light amount of the preceding light condensed on the optical recording medium with a first predetermined threshold value to determine whether there is a disturbance on the optical recording medium. 1 determination means, and second determination means for determining the type of disturbance by comparing the amount of return light of the preceding light in the focus control band with at least a second predetermined threshold value, based on both determination results. 2. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 1, wherein the second optical means and the optical recording medium are protected from disturbance according to the judgment data.
【請求項5】 上記第2の判定手段は、上記先行光のフ
ォーカス制御帯域における戻り光量を第2の所定の閾値
の他、この第2の所定の閾値よりも小さく設定された第
3の所定の閾値と比較して上記外乱の種類を判定するこ
とを特徴とする請求項4記載の光記録及び/又は再生装
置。
5. The method according to claim 1, wherein the second determining unit is configured to set a return light amount of the preceding light in the focus control band to a second predetermined threshold value and a third predetermined threshold value set to be smaller than the second predetermined threshold value. 5. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 4, wherein the type of the disturbance is determined by comparing with a threshold value.
【請求項6】 上記制御電圧出力手段は、上記記録/再
生光の上記第2の光学手段からの戻り光量を第4の所定
の閾値と比較した結果に基づいて上記保護制御信号を上
記フォーカス制御信号と合成するか又は単独で出力する
かを決定することを特徴とする請求項3記載の光記録及
び/又は再生装置。
6. The control voltage output means controls the protection control signal based on a result of comparing a return light amount of the recording / reproducing light from the second optical means with a fourth predetermined threshold value. 4. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 3, wherein it is determined whether to combine with the signal or to output the signal alone.
【請求項7】 上記制御手段が動作中に、上記記録/再
生光の上記第2の光学手段からの戻り光量が上記第4の
所定の閾値よりも大きくなったとき、上記制御電圧出力
手段は上記制御手段の上記フォーカス制御信号をホール
ドし、上記保護手段の上記保護制御信号のみを出力する
ことを特徴とする請求項6記載の光記録及び/又は再生
装置。
7. The control voltage output means, when the return light amount of the recording / reproducing light from the second optical means becomes larger than the fourth predetermined threshold while the control means is operating. 7. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 6, wherein the focus control signal of the control unit is held, and only the protection control signal of the protection unit is output.
【請求項8】 上記第1の光学手段と上記第2の光学手
段を一体化し、この一体化光学手段の上記光記録媒体上
のフォーカス方向の位置を、上記制御手段が出力する上
記フォーカス制御信号と、上記保護手段が出力する保護
制御信号とを切り替え又は併用して制御することを特徴
とする請求項1記載の光記録及び/又は再生装置。
8. The focus control signal, wherein the first optical means and the second optical means are integrated, and the control means outputs the position of the integrated optical means in the focus direction on the optical recording medium. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 1, wherein the optical recording and / or reproducing apparatus is controlled by switching or using a protection control signal output from the protection means.
【請求項9】 上記記録/再生光の上記第2の光学手段
からの戻り光量に基づいて、上記保護手段が出力する保
護制御信号を、上記制御手段が出力するフォーカス制御
信号と合成して出力するか又は単独で出力する制御電圧
出力手段を備えることを特徴とする請求項8記載の光記
録及び/又は再生装置。
9. A protection control signal output by the protection means is synthesized with a focus control signal output by the control means based on a return light amount of the recording / reproducing light from the second optical means and output. 9. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 8, further comprising control voltage output means for outputting the voltage information independently or independently.
【請求項10】 上記制御電圧出力手段の出力に基づい
て上記一体化光学手段は、上記光記録媒体上の外乱発生
部を飛び越すことを特徴とする請求項9記載の光記録及
び/又は再生装置。
10. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 9, wherein said integrated optical means jumps over a disturbance generating section on said optical recording medium based on an output of said control voltage output means. .
【請求項11】 上記第2の光源からの上記先行光は、
上記光記録媒体に情報信号を記録しない波長の光とし、
上記一体化光学手段が上記光記録媒体上の外乱発生部を
飛び越しているときにも上記光記録媒体上で集光してい
ることを特徴とする請求項10記載の光記録及び/又は
再生装置。
11. The preceding light from the second light source,
The light having a wavelength that does not record an information signal on the optical recording medium,
11. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 10, wherein the light is condensed on the optical recording medium even when the integrated optical means jumps over a disturbance generating portion on the optical recording medium. .
【請求項12】 上記保護手段の上記第1の判定手段及
び上記第2の判定手段が上記先行光の上記戻り光量を上
記第1の所定の閾値及び上記第2の所定の閾値と比較す
るのは、上記第2の光学手段が上記記録/再生光を照射
している上記光記録媒体上の箇所に対して前方の未記録
部分とし、かつ少なくとも上記第2の光学手段が上記記
録/再生光を集光している箇所を中心とした上記第2の
光学手段の幅を持つ長さの区間とすることを特徴とする
請求項4記載の光記録及び/又は再生装置。
12. The first determination means and the second determination means of the protection means compare the return light amount of the preceding light with the first predetermined threshold value and the second predetermined threshold value. Is an unrecorded portion in front of a location on the optical recording medium to which the second optical means is irradiating the recording / reproducing light, and at least the second optical means is the recording / reproducing light. 5. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 4, wherein a section having a width having a width of said second optical means with a center of a light condensing point as a center.
【請求項13】 上記情報信号を上記光記録媒体に対し
て記録/再生する位置と、上記保護手段が上記第1の判
定手段及び上記第2の判定手段を用いて上記外乱の有無
及び種類を判定する位置は分離されていることを特徴と
する請求項4記載の光記録及び/又は再生装置。
13. The position at which the information signal is recorded / reproduced on / from the optical recording medium, and the presence / absence and type of the disturbance are determined by the protection means using the first determination means and the second determination means. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 4, wherein the determination positions are separated.
【請求項14】 上記記録媒体に対して情報信号を記録
/再生する前に、上記保護手段は先行して上記記録媒体
上の外乱の有無及び種類を判定することを特徴とする請
求項1記載の光記録及び/又は再生装置。
14. The recording apparatus according to claim 1, wherein before recording / reproducing the information signal on / from the recording medium, the protection means determines in advance whether or not there is disturbance on the recording medium. Optical recording and / or reproducing apparatus.
【請求項15】 上記記録媒体に対して情報信号を記録
/再生する前に、上記保護手段により先行して判定され
た上記外乱の情報を、予め記憶素子に保持し、上記光記
録媒体に対して情報信号を記録/再生する時点で、上記
記憶素子から上記外乱情報を読み出し、この読み出した
外乱情報に基づいて上記保護手段が上記第2の光学手段
の端面と上記光記録媒体を保護することを特徴とする請
求項14記載の光記録及び/又は再生装置。
15. Before recording / reproducing an information signal on / from the recording medium, information on the disturbance determined in advance by the protection means is stored in a storage element in advance, and the information is stored in the optical recording medium. At the time of recording / reproducing an information signal by reading out the disturbance information from the storage element, the protection means protecting the end face of the second optical means and the optical recording medium based on the read disturbance information. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 14, wherein:
【請求項16】 上記光記録媒体に対して情報信号を記
録/再生する初期状態において、上記第2の光学手段の
中心が記録/再生開始半径に達するまでの間は、上記第
2の光学手段の端面と上記光記録媒体の距離をニアフィ
ールド領域にて一定に保持しないことを特徴とする請求
項1記載の光記録及び/又は再生装置。
16. In an initial state in which an information signal is recorded / reproduced on / from the optical recording medium, the second optical means is used until the center of the second optical means reaches a recording / reproduction start radius. 2. The optical recording and / or reproducing apparatus according to claim 1, wherein the distance between the end face of the optical recording medium and the optical recording medium is not kept constant in the near field area.
【請求項17】 上記光記録媒体に対して情報信号を記
録/再生する初期状態において、上記記憶素子に上記外
乱情報がたまるまでは上記制御手段によるフォーカス制
御を行わないことを特徴とする請求項15記載の光記録
及び/又は再生装置。
17. An apparatus according to claim 17, wherein in an initial state of recording / reproducing an information signal on / from said optical recording medium, focus control by said control means is not performed until said disturbance information is accumulated in said storage element. 16. The optical recording and / or reproducing apparatus according to 15.
【請求項18】 上記記録媒体に対して情報信号を記録
/再生する前に、上記保護手段が先行して上記光記録媒
体上の外乱の情報を検出するのは、上記光記録媒体に情
報信号を記録開始する初期状態において、上記第2の光
学手段の中心が記録/再生開始半径に達するまでの間及
びそれ以降、記録を停止するまでであることを特徴とす
る請求項1記載の光記録及び/又は再生装置。
18. The method according to claim 18, wherein before the information signal is recorded / reproduced on / from the recording medium, the protection means detects the disturbance information on the optical recording medium in advance. 2. The optical recording apparatus according to claim 1, wherein in an initial state in which recording is started, the recording is performed until the center of the second optical unit reaches a recording / reproduction start radius and thereafter, the recording is stopped. And / or a playback device.
【請求項19】 光記録媒体に対して情報信号を記録/
再生するための第1の光源からの記録/再生光を上記光
記録媒体に照射すべく集光する第1の光学手段の開口数
よりも大きな開口数を実現するために上記第1の光学手
段と上記光記録媒体との間に介在させる第2の光学手段
の端面と、上記光記録媒体間のニアフィールド領域内に
おける距離を一定に保持する制御工程と、 上記記録/再生光とは異なる光を出射する第2の光源か
らの光が上記光記録媒体上の外乱発生物に照射すること
により得られた外乱情報から上記第2の光学手段及び上
記光記録媒体を保護する保護工程とを備えることを特徴
とする光記録及び/又は再生方法。
19. An information signal is recorded / recorded on an optical recording medium.
The first optical means for realizing a numerical aperture larger than the numerical aperture of the first optical means for converging the recording / reproducing light from the first light source for reproduction onto the optical recording medium so as to irradiate the optical recording medium. An end face of a second optical means interposed between the optical recording medium and the optical recording medium; a control step of maintaining a constant distance in the near field area between the optical recording media; and a light different from the recording / reproducing light. And a protection step of protecting the second optical unit and the optical recording medium from disturbance information obtained by irradiating a disturbance generator on the optical recording medium with light from a second light source that emits light. An optical recording and / or reproducing method characterized by the above-mentioned.
【請求項20】 上記第2の光源からの光は、上記第2
の光学手段が上記記録/再生光を集光する位置より先行
した位置に集光されることを特徴とする請求項19記載
の光記録及び/又は再生方法。
20. The light from the second light source, wherein the light from the second light source is
20. The optical recording and / or reproducing method according to claim 19, wherein the optical means is focused at a position preceding the position at which the recording / reproducing light is focused.
【請求項21】 上記保護工程が出力する保護制御信号
と、上記制御工程が出力するフォーカス制御信号とを切
り替え又は併用することを特徴とする請求項19記載の
光記録及び/又は再生方法。
21. The optical recording and / or reproducing method according to claim 19, wherein a protection control signal output by the protection step and a focus control signal output by the control step are switched or used in combination.
【請求項22】 上記記録/再生光の上記第2の光学手
段からの戻り光量に基づいて、上記保護工程が出力する
保護制御信号を、上記制御工程が出力するフォーカス制
御信号と合成して出力するか又は単独で出力する制御電
圧出力工程を備えることを特徴とする請求項21記載の
光記録及び/又は再生方法。
22. A protection control signal output by the protection step is synthesized with a focus control signal output by the control step based on a return light amount of the recording / reproduction light from the second optical means, and output. 22. The optical recording and / or reproducing method according to claim 21, further comprising a control voltage output step of outputting the control voltage independently or by itself.
【請求項23】 上記保護工程は、上記光記録媒体上に
集光した上記先行光の上記光記録媒体からの戻り光量
を、第1の所定の閾値と比較して上記光記録媒体上の外
乱の有無を判定する第1の判定工程と、上記先行光のフ
ォーカス制御帯域における戻り光量を少なくとも第2の
所定の閾値と比較して上記外乱の種類を判定する第2の
判定工程とを備え、両方の判定結果に基づいた判定デー
タに応じて上記第2の光学手段及び上記光記録媒体を外
乱から保護することを特徴とする請求項19記載の光記
録及び/又は再生方法。
23. The protection step, wherein the amount of return light of the preceding light condensed on the optical recording medium from the optical recording medium is compared with a first predetermined threshold value, and disturbance on the optical recording medium is performed. A first determination step of determining the presence / absence of, and a second determination step of comparing the amount of return light of the preceding light in the focus control band with at least a second predetermined threshold to determine the type of the disturbance, 20. The optical recording and / or reproducing method according to claim 19, wherein the second optical means and the optical recording medium are protected from disturbance according to judgment data based on both judgment results.
【請求項24】 上記第2の判定工程は、上記先行光の
フォーカス制御帯域における戻り光量を第2の所定の閾
値の他、この第2の所定の閾値よりも小さく設定された
第3の所定の閾値と比較して上記外乱の種類を判定する
ことを特徴とする請求項23記載の光記録及び/又は再
生方法。
24. The method according to claim 24, further comprising the step of: setting a return light amount of the preceding light in the focus control band to a second predetermined threshold value and a third predetermined threshold value set to be smaller than the second predetermined threshold value. 24. The optical recording and / or reproducing method according to claim 23, wherein the type of the disturbance is determined by comparing with a threshold value.
【請求項25】 上記制御電圧出力工程は、上記記録/
再生光の上記第2の光学手段からの戻り光量を第4の所
定の閾値と比較した結果に基づいて上記保護制御信号を
上記フォーカス制御信号と合成するか又は単独で出力す
るかを決定することを特徴とする請求項22記載の光記
録及び/又は再生方法。
25. The control voltage outputting step, wherein the recording /
Determining whether to synthesize the protection control signal with the focus control signal or to output the protection control signal alone based on a result of comparing a return light amount of the reproduction light from the second optical unit with a fourth predetermined threshold value. The optical recording and / or reproducing method according to claim 22, characterized in that:
【請求項26】 上記制御工程が動作中に、上記記録/
再生光の上記第2の光学手段からの戻り光量が上記第4
の所定の閾値よりも大きくなったとき、上記制御電圧出
力工程は上記制御工程の上記フォーカス制御信号をホー
ルドし、上記保護工程の上記保護制御信号のみを出力す
ることを特徴とする請求項25記載の光記録及び/又は
再生方法。
26. The recording / recording apparatus according to claim 17, wherein the control step is in operation.
The amount of reproduction light returned from the second optical means is equal to the fourth light amount.
26. The control voltage output step holds the focus control signal of the control step and outputs only the protection control signal of the protection step when the threshold voltage becomes larger than a predetermined threshold value. Optical recording and / or reproducing method.
【請求項27】 上記第1の光学手段と上記第2の光学
手段を一体化し、この一体化光学手段の上記光記録媒体
上のフォーカス方向の位置を、上記制御工程が出力する
上記フォーカス制御信号と、上記保護工程が出力する保
護制御信号とを切り替え又は併用して制御することを特
徴とする請求項19記載の光記録及び/又は再生装方
法。
27. The focus control signal, wherein the first optical means and the second optical means are integrated, and the control step outputs the position of the integrated optical means in the focus direction on the optical recording medium. 20. The optical recording and / or reproducing method according to claim 19, wherein the control is performed by switching or using a protection control signal output from the protection step.
【請求項28】 上記記録/再生光の上記第2の光学手
段からの戻り光量に基づいて、上記保護工程が出力する
保護制御信号を、上記制御工程が出力するフォーカス制
御信号と合成して出力するか又は単独で出力する制御電
圧出力工程を備えることを特徴とする請求項27記載の
光記録及び/又は再生方法。
28. A protection control signal output by the protection step is synthesized with a focus control signal output by the control step based on a return light amount of the recording / reproducing light from the second optical means, and output. 28. The optical recording and / or reproducing method according to claim 27, further comprising a control voltage output step of outputting the control voltage independently or by itself.
【請求項29】 上記制御電圧出力工程の出力に基づい
て上記一体化光学手段は、上記光記録媒体上の外乱発生
部を飛び越すことを特徴とする請求項28記載の光記録
及び/又は再生方法。
29. The optical recording and / or reproducing method according to claim 28, wherein the integrated optical means jumps over a disturbance generating portion on the optical recording medium based on the output of the control voltage output step. .
【請求項30】 上記第2の光源からの上記先行光は、
上記光記録媒体に情報信号を記録しない波長の光とし、
上記一体化光学手段が上記光記録媒体上の外乱発生部を
飛び越しているときにも上記光記録媒体上で集光してい
ることを特徴とする請求項29記載の光記録及び/又は
再生方法。
30. The preceding light from the second light source,
The light having a wavelength that does not record an information signal on the optical recording medium,
30. The optical recording and / or reproducing method according to claim 29, wherein light is condensed on the optical recording medium even when the integrated optical means jumps over a disturbance generating portion on the optical recording medium. .
【請求項31】 上記保護工程の上記第1の判定工程及
び上記第2の判定工程が上記先行光の上記戻り光量を上
記第1の所定の閾値及び上記第2の所定の閾値と比較す
るのは、上記第2の光学手段が上記記録/再生光を照射
している上記光記録媒体上の箇所に対して前方の未記録
部分とし、かつ少なくとも上記第2の光学手段が上記記
録/再生光を集光している箇所を中心とした上記第2の
光学手段の幅を持つ長さの区間とすることを特徴とする
請求項23記載の光記録及び/又は再生方法。
31. The first determination step and the second determination step of the protection step, wherein the returning light amount of the preceding light is compared with the first predetermined threshold value and the second predetermined threshold value. Is an unrecorded portion in front of a location on the optical recording medium to which the second optical means is irradiating the recording / reproducing light, and at least the second optical means is the recording / reproducing light. 24. The optical recording and / or reproducing method according to claim 23, wherein the optical recording and / or reproducing method is a section having a length having a width of the second optical means centering on a portion where light is converged.
【請求項32】 上記情報信号を上記光記録媒体に対し
て記録/再生する位置と、上記保護工程が上記第1の判
定工程及び上記第2の判定工程を用いて上記外乱の有無
及び種類を判定する位置は分離されていることを特徴と
する請求項23記載の光記録及び/又は再生方法。
32. A position at which the information signal is recorded / reproduced on / from the optical recording medium, and the presence / absence and type of the disturbance are determined by the protection step using the first determination step and the second determination step. The optical recording and / or reproducing method according to claim 23, wherein the determination positions are separated.
【請求項33】 上記記録媒体に対して情報信号を記録
/再生する前に、上記保護工程は先行して上記記録媒体
上の外乱の有無及び種類を判定することを特徴とする請
求項19記載の光記録及び/又は再生方法。
33. The recording medium according to claim 19, wherein before recording / reproducing the information signal on / from the recording medium, the protection step first determines the presence / absence and type of disturbance on the recording medium. Optical recording and / or reproducing method.
【請求項34】 上記記録媒体に対して情報信号を記録
/再生する前に、上記保護工程により先行して判定され
た上記外乱の情報を、予め記憶素子に保持し、上記光記
録媒体に対して情報信号を記録/再生する時点で、上記
記憶素子から上記外乱情報を読み出し、この読み出した
外乱情報に基づいて上記保護工程が上記第2の光学手段
の端面と上記光記録媒体を保護することを特徴とする請
求項33記載の光記録及び/又は再生方法。
34. Before recording / reproducing an information signal on / from the recording medium, information on the disturbance determined in advance in the protection step is stored in a storage element in advance, and the information is stored in the optical recording medium. At the time of recording / reproducing an information signal by reading the disturbance information from the storage element, and the protection step protects the end face of the second optical means and the optical recording medium based on the read disturbance information. 34. The optical recording and / or reproducing method according to claim 33, wherein:
【請求項35】 上記光記録媒体に対して情報信号を記
録/再生する初期状態において、上記第2の光学手段の
中心が記録/再生開始半径に達するまでの間は、上記第
2の光学手段の端面と上記光記録媒体の距離をニアフィ
ールド領域にて一定に保持しないことを特徴とする請求
項19記載の光記録及び/又は再生方法。
35. In an initial state in which an information signal is recorded / reproduced on / from the optical recording medium, the second optical means is used until the center of the second optical means reaches a recording / reproduction start radius. 20. The optical recording and / or reproducing method according to claim 19, wherein the distance between the end face of the optical recording medium and the optical recording medium is not kept constant in the near field area.
【請求項36】 上記光記録媒体に対して情報信号を記
録/再生する初期状態において、上記記憶素子に上記外
乱情報がたまるまでは上記制御工程によるフォーカス制
御を行わないことを特徴とする請求項34記載の光記録
及び/又は再生方法。
36. In an initial state in which an information signal is recorded / reproduced on / from the optical recording medium, focus control by the control step is not performed until the disturbance information is accumulated in the storage element. 35. The optical recording and / or reproducing method according to claim 34.
【請求項37】 上記記録媒体に対して情報信号を記録
/再生する前に、上記保護工程が先行して上記光記録媒
体上の外乱の情報を検出するのは、上記光記録媒体に情
報信号を記録開始する初期状態において、上記第2の光
学手段の中心が記録/再生開始半径に達するまでの間及
びそれ以降、記録を停止するまでであることを特徴とす
る請求項19記載の光記録及び/又は再生方法。
37. Before recording / reproducing an information signal on / from the recording medium, the protection step detects the information of disturbance on the optical recording medium in advance by detecting the information signal on the optical recording medium. 20. The optical recording according to claim 19, wherein in an initial state in which recording is started, the recording is performed until the center of the second optical means reaches a recording / reproduction start radius and thereafter, the recording is stopped. And / or playback method.
JP2000274201A 2000-09-08 2000-09-08 Optical recording and/or reproducing device and optical recording and/or reproducing method Pending JP2002092906A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000274201A JP2002092906A (en) 2000-09-08 2000-09-08 Optical recording and/or reproducing device and optical recording and/or reproducing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000274201A JP2002092906A (en) 2000-09-08 2000-09-08 Optical recording and/or reproducing device and optical recording and/or reproducing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002092906A true JP2002092906A (en) 2002-03-29
JP2002092906A5 JP2002092906A5 (en) 2007-09-06

Family

ID=18760000

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000274201A Pending JP2002092906A (en) 2000-09-08 2000-09-08 Optical recording and/or reproducing device and optical recording and/or reproducing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002092906A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004066290A1 (en) * 2003-01-17 2004-08-05 Sony Corporation Information recording or reproducing device and recordinmg or reproducing method
JP2007012126A (en) * 2005-06-29 2007-01-18 Sony Corp Optical disk driving unit, optical disk device, and its driving method
WO2009027918A1 (en) * 2007-08-30 2009-03-05 Koninklijke Philips Electronics N.V. Near field optical recording device and method of operating a near field optical recording device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004066290A1 (en) * 2003-01-17 2004-08-05 Sony Corporation Information recording or reproducing device and recordinmg or reproducing method
JPWO2004066290A1 (en) * 2003-01-17 2006-05-18 ソニー株式会社 Information recording or reproducing apparatus and recording or reproducing control method
CN100524480C (en) * 2003-01-17 2009-08-05 索尼株式会社 Information recording or reproducing device and recordinmg or reproducing method
US7733747B2 (en) 2003-01-17 2010-06-08 Sony Corporation Information recording or reproducing device and recording or reproducing method
JP4513744B2 (en) * 2003-01-17 2010-07-28 ソニー株式会社 Information recording or reproducing apparatus and recording or reproducing control method
JP2007012126A (en) * 2005-06-29 2007-01-18 Sony Corp Optical disk driving unit, optical disk device, and its driving method
JP4525491B2 (en) * 2005-06-29 2010-08-18 ソニー株式会社 Optical disc driving apparatus, optical disc apparatus and driving method thereof
WO2009027918A1 (en) * 2007-08-30 2009-03-05 Koninklijke Philips Electronics N.V. Near field optical recording device and method of operating a near field optical recording device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20060117213A (en) Optical recording and reproducing apparatus, optical head, optical recording and reproducing method, and skew detection method
KR101058859B1 (en) Optical pickup and recording and / or reproducing apparatus using the same
JPH10134400A (en) Optical head
US5784354A (en) Optical pickup device
JP2950500B2 (en) Optical pickup for recording and reproduction for compatibility of discs with different thickness
KR19980064228A (en) Optical disc recording and reproducing apparatus and method
JP3471959B2 (en) Optical pickup device
JPH11149657A (en) Information recording and reproducing device, its method and optical pickup
US20080212418A1 (en) Optical disc device
US6400670B1 (en) Device for the writing and/or reading of optical recording media of various structures
JP2002092906A (en) Optical recording and/or reproducing device and optical recording and/or reproducing method
US6577581B2 (en) Variable recording layer disk image pickup device
JP4176070B2 (en) Optical disc pickup control apparatus and optical disc pickup control method
JP5211816B2 (en) Optical information recording / reproducing apparatus
JPH10134399A (en) Optical head
JP2882383B2 (en) Optical disk recording and playback device
JP3841287B2 (en) Optical pickup and optical information processing apparatus using the same
US20070025204A1 (en) Objective optical system for optical recording media and optical pickup device using it
JPH10134398A (en) Optical head
JP2993391B2 (en) Optical pickup
JP2990067B2 (en) Optical information recording / reproducing device
KR100570858B1 (en) Optical pick-up apparatus for dvd
KR100423853B1 (en) Optical Disc Player
JPH09251661A (en) Recording and reproducing device and method
KR100681613B1 (en) Method and apparatus for controlling track servo by using reference beam servo in holographic rom

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070720

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070720

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090123

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090721

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20091117