JP2002091416A - Picture adjusting device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、画像調整装置に関
する。[0001] The present invention relates to an image adjusting apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、画像表示装置において良質な画
像を得るためには、コントラストや明るさ等の画像調整
の他、種々の画像調整を行っている。例えば、走査型電
子顕微鏡が備える画像表示装置では、測定した二次電子
像を画像表示する際に、コントラストや明るさの他、電
子ビームを試料上の照射点で絞るための焦点調節、非点
収差を補正して電子ビームを所定の形状とするための非
点収差補正調節、倍率設定等の種々の画像調整を行って
いる。2. Description of the Related Art Generally, in order to obtain a high-quality image in an image display device, various image adjustments are performed in addition to image adjustment such as contrast and brightness. For example, in an image display device provided in a scanning electron microscope, when displaying a measured secondary electron image as an image, in addition to contrast and brightness, focus adjustment for focusing an electron beam at an irradiation point on a sample, astigmatism, Various image adjustments, such as astigmatism correction adjustment and magnification setting, for correcting aberrations to form an electron beam into a predetermined shape are performed.
【０００３】このような画像調整は、スイッチや回転式
のつまみによる操作の他、近年のコンピュータ技術のＧ
ＵＩ（グラフィカルユーザーインターフェース）機能を
利用して表示画面上で操作するものも知られている。こ
の表示画面上の操作では、マウス等のポインティングデ
バイスによって表示画面上に表示されているボタンやス
ライドバーなどのツールを操作し、その操作を電気信号
に変換し、該電気信号によって種々の装置を作動させる
ことによって行っている。[0003] Such image adjustment can be performed by a switch or a rotary knob, or by computer technology in recent years.
There is also known one that operates on a display screen using a UI (graphical user interface) function. In this operation on the display screen, a tool such as a button or a slide bar displayed on the display screen is operated by a pointing device such as a mouse, the operation is converted into an electric signal, and various devices are operated by the electric signal. It is done by operating.
【０００４】このような表示画面上での操作によって画
像調整を行う場合、スライドバー等のように、ポインテ
ィングデバイスによって移動量と方向とから調整量を指
定するもの一般的であり、コントラスト調整、明るさ調
整、焦点調整等の連続的な調整に適している。[0004] When image adjustment is performed by such an operation on the display screen, an adjustment amount is generally designated from a movement amount and a direction by a pointing device, such as a slide bar. It is suitable for continuous adjustment such as height adjustment and focus adjustment.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】一般に、コントラスト
調整、明るさ調整、焦点調整、倍率調整等の種々の調整
は、必ずしも個々に独立して調整できるとは限らない。
これは、観察者が表示画面を見たときの目視の感覚や、
測定装置の調整特性等によって、一つの調整が他の調整
に影響を与える場合があり、このときには、他の調整対
象に生じた影響を補正するためにこの調整対象について
も調整を行う必要がある。Generally, various adjustments such as contrast adjustment, brightness adjustment, focus adjustment, and magnification adjustment cannot always be performed independently.
This can be a visual sensation when the observer looks at the display screen,
Depending on the adjustment characteristics of the measuring device, one adjustment may affect another adjustment. In this case, it is necessary to perform adjustment on this adjustment target in order to correct the influence on the other adjustment target. .
【０００６】特に、走査型電子顕微鏡や電子線マイクロ
アナライザ等の二次電子像においては、コントラスト調
整と明るさ調整との間には密接不可分な関係があり、コ
ントラスト調整を行った場合には明るさについても調整
を行う必要がある。In particular, in a secondary electron image such as a scanning electron microscope or an electron beam microanalyzer, there is an inseparable relationship between contrast adjustment and brightness adjustment. It is necessary to make adjustments for this.
【０００７】走査型電子顕微鏡の二次電子像表示では、
図７に示すように、電子ビームを試料Ｓ上で走査し、そ
の走査に同期して取り込んだ信号強度を、走査位置に対
応した画素の明るさとして画像を構成し、走査像を形成
している。この二次電子強度を信号とする場合、一般
に、コントラスト調整は検出器１１のゲインを制御し、
明るさ調整は加算器１２において検出器１１の出力に加
算する信号レベルを制御することによって行っている。In the secondary electron image display of the scanning electron microscope,
As shown in FIG. 7, an electron beam is scanned on the sample S, and an image is formed by using the signal intensity captured in synchronization with the scanning as the brightness of a pixel corresponding to the scanning position, and a scanned image is formed. I have. When this secondary electron intensity is used as a signal, generally, the contrast adjustment controls the gain of the detector 11,
The brightness adjustment is performed by controlling the signal level to be added to the output of the detector 11 in the adder 12.
【０００８】図８は従来のコントラスト調整及び明るさ
調整を説明するための図である。この調整において、二
次電子強度（図８（ａ））コントラスト調整によってゲ
インを変化させると、出力信号の平均レベルも変化し
（図８（ｂ））、表示画像の明るさも変化する（図８
（ｃ））。そのため、検出器出力に明るさ調整を施すこ
とによって、出力信号の平均レベルを調整し（図８
（ｄ））、コントラスト調整で変化した表示画像の明る
さを戻す必要がある（図８（ｅ））。FIG. 8 is a diagram for explaining conventional contrast adjustment and brightness adjustment. In this adjustment, when the gain is changed by adjusting the secondary electron intensity (FIG. 8A) contrast, the average level of the output signal also changes (FIG. 8B), and the brightness of the display image also changes (FIG. 8).
(C)). Therefore, by adjusting the brightness of the detector output, the average level of the output signal is adjusted (FIG. 8).
(D)) It is necessary to restore the brightness of the display image changed by the contrast adjustment (FIG. 8E).
【０００９】したがって、走査型電子顕微鏡の二次電子
像表示では、ゲイン制御によってコントラストを調整す
ると、ゲイン制御の特性によって信号レベルも変化し、
そのため明るさも変化する。そのため、従来において
は、図７に示すように、コントラスト調整つまみ１４で
ゲイン調整を行うと共に、明るさ調整つまみ１５で明る
さ調整を行っている。Therefore, in the secondary electron image display of the scanning electron microscope, when the contrast is adjusted by the gain control, the signal level also changes due to the characteristics of the gain control.
Therefore, the brightness also changes. Therefore, in the related art, as shown in FIG. 7, the gain is adjusted by the contrast adjustment knob 14 and the brightness is adjusted by the brightness adjustment knob 15.
【００１０】したがって、従来、関連性がある２つの調
整間において、一方の調整について該調整の操作のみで
済まず、他方の調整についても操作が必要となり、操作
が増えるという問題がある。特に、コントラスト調整は
一操作で行うことができず、明るさ調整の操作も要する
という問題がある。そこで、本発明は前記した従来の問
題点を解決し、コントラスト調整と明るさ調整の両画像
調整を一操作によって同時に可能とすることを目的とす
る。Therefore, conventionally, between two related adjustments, there is a problem that one adjustment only requires the operation of the adjustment, and the other adjustment also requires an operation, thus increasing the number of operations. In particular, there is a problem that the contrast adjustment cannot be performed by one operation, and the brightness adjustment operation is also required. Accordingly, it is an object of the present invention to solve the above-mentioned conventional problems and to enable both image adjustment of contrast adjustment and image adjustment of brightness simultaneously by one operation.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は、一操作で２つ
のパラメータを入力し、この２パラメータに基づいてコ
ントラスト調整信号及び明るさ調整信号を形成すること
によって、一操作でコントラストと明るさの画像調整を
行う。According to the present invention, two parameters are input in one operation, and a contrast adjustment signal and a brightness adjustment signal are formed based on the two parameters. Image adjustment.
【００１２】本発明の画像調整装置は、一操作で少なく
とも２つのパラメータを入力する入力手段と、入力した
２つのパラメータに基づいてコントラスト調整信号及び
明るさ調整信号を形成する画像調整信号形成手段とを備
えた構成とする。An image adjusting apparatus according to the present invention comprises: input means for inputting at least two parameters in one operation; and image adjusting signal forming means for forming a contrast adjustment signal and a brightness adjustment signal based on the two input parameters. The configuration is provided with.
【００１３】入力手段は、例えば、マウス等のポインテ
ィングデバイス等のＧＵＩ機能によって画面上において
ポインタを指定し、表示画面上に表示マーク（ポインタ
やマウスポインタ）を表示して、該表示マークが表示さ
れる位置によってパラメータを入力する手段を用いるこ
とができる他、ジョイスティックやトラックボール等の
ように、画面上にポインタを表示することなく少なくと
も２つのパラメータを入力する手段や、音声を利用した
入力手段を用いることができる。音声を利用した入力手
段の場合には、例えば、音声の高さや強さをパラメータ
とすることができる。The input means designates a pointer on the screen by a GUI function such as a pointing device such as a mouse, and displays a display mark (pointer or mouse pointer) on the display screen, and the display mark is displayed. Means for inputting at least two parameters without displaying a pointer on the screen, such as a joystick or a trackball, or input means using voice, such as a joystick or a trackball. Can be used. In the case of the input means using voice, for example, the pitch or strength of voice can be used as a parameter.
【００１４】画像調整信号形成手段は、入力手段で入力
した２つのパラメータに基づいてコントラスト調整信号
及び明るさ調整信号を形成する。したがって、画像調整
信号形成手段によれば、一操作で入力される２つのパラ
メータから、コントラスト調整信号と明るさ調整信号を
形成し、コントラスト調整と明るさ調整の２つの画像調
整を同時に行うことができる。The image adjustment signal forming means forms a contrast adjustment signal and a brightness adjustment signal based on the two parameters input by the input means. Therefore, according to the image adjustment signal forming means, a contrast adjustment signal and a brightness adjustment signal are formed from two parameters input by one operation, and two image adjustments of the contrast adjustment and the brightness adjustment can be performed simultaneously. it can.
【００１５】入力手段として、マウス等のポインティン
グデバイスを用いる場合には、２つのパラメータは位置
データから得ることができる。ここで、位置データと
は、例えば、直交座標表示によるｘ座標及びｙ座標や、
極座標表示による基準点からの距離ｒと基準線からの角
度θを用いることができる。直交座標表示による場合に
は、例えば、ｘ座標の座標データを第１の画像調整に関
するパラメータとし、ｙ座標の座標データを第２の画像
調整に関するパラメータとして、それぞれの画像調整信
号を形成することができる。また、極座標表示による場
合には、例えば、距離ｒを第１の画像調整に関するパラ
メータとし、角度θを第２の画像調整に関するパラメー
タとして、それぞれの画像調整信号を形成することがで
きる。When a pointing device such as a mouse is used as the input means, two parameters can be obtained from position data. Here, the position data is, for example, an x-coordinate and a y-coordinate in a rectangular coordinate display,
The distance r from the reference point in polar coordinates and the angle θ from the reference line can be used. In the case of the rectangular coordinate display, for example, it is possible to form each image adjustment signal using the coordinate data of the x coordinate as a parameter relating to the first image adjustment and the coordinate data of the y coordinate as a parameter relating to the second image adjustment. it can. In the case of polar coordinate display, each image adjustment signal can be formed using, for example, the distance r as a parameter relating to the first image adjustment and the angle θ as a parameter relating to the second image adjustment.
【００１６】なお、第１の画像調整と第２の画像調整の
いずれをコントラスト調整とするか明るさ調整とするか
は任意とすることができる。例えば、直交座標表示によ
る場合には、ｘ座標の座標データをコントラスト調整
（あるいは明るさ調整）を行うパラメータとし、ｙ座標
の座標データを明るさ調整（あるいはコントラスト調
整）を行うパラメータとして、画像調整信号を形成す
る。また、極座標表示による場合には、距離ｒのデータ
をコントラスト調整（あるいは明るさ調整）を行うパラ
メータとし、角度θデータを明るさ調整（あるいはコン
トラスト調整）を行うパラメータとして、画像調整信号
を形成する。It should be noted that any one of the first image adjustment and the second image adjustment can be used as the contrast adjustment or the brightness adjustment. For example, in the case of rectangular coordinate display, image adjustment is performed by using coordinate data of the x coordinate as a parameter for performing contrast adjustment (or brightness adjustment) and coordinate data of the y coordinate as a parameter for performing brightness adjustment (or contrast adjustment). Form a signal. In the case of polar coordinate display, an image adjustment signal is formed using the data of the distance r as a parameter for performing contrast adjustment (or brightness adjustment) and the angle θ data as a parameter for performing brightness adjustment (or contrast adjustment). .
【００１７】さらに、位置データは、上記直交座標表示
や極座標表示の他に他の表示形態とすることができる。
例えば、指定した位置が２つの基準位置に対して成す２
つの角度（θ1，θ2）によって位置を特定することがで
き、この場合には２つの角度を第１の画像調整及び第２
の画像調整を定めるパラメータとすることができる。ま
た、指定した位置と２つの基準位置との間の距離
（ｒ1，ｒ2）によって位置を特定することができ、この
場合には例えば、距離の比（ｒ1／ｒ2）及び距離の和
（ｒ1＋ｒ2）を第１の画像調整及び第２の画像調整を定
めるパラメータとすることができる。Further, the position data may be displayed in another form other than the rectangular coordinate display and the polar coordinate display.
For example, the specified position is formed with respect to two reference positions.
The position can be specified by two angles (θ 1 , θ 2 ), in which case the two angles are determined by the first image adjustment and the second image adjustment.
Can be used as parameters for determining the image adjustment. Further, the position can be specified by the distance (r 1 , r 2 ) between the designated position and the two reference positions. In this case, for example, the distance ratio (r 1 / r 2 ) and the distance The sum (r 1 + r 2 ) can be used as a parameter for determining the first image adjustment and the second image adjustment.
【００１８】本発明によれば、コントラスト調整と明る
さ調整の両画像調整を一操作によって同時に可能とする
ことができる。また、本発明によれば、調整機能が関連
する場合に、一つの調整により連動する他の調整機能の
変動を抑制することができる。例えば、コントラスト調
整を明るさ調整を同時に行うことによって、コントラス
ト調整により変動する明るさの変動を抑え、明るさを変
えずにコントラストのみを調整することができる。According to the present invention, both image adjustment of contrast adjustment and brightness adjustment can be simultaneously performed by one operation. Further, according to the present invention, when an adjustment function is involved, a change in another adjustment function that is linked by one adjustment can be suppressed. For example, by performing the contrast adjustment and the brightness adjustment at the same time, it is possible to suppress the fluctuation of the brightness that fluctuates due to the contrast adjustment and adjust only the contrast without changing the brightness.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の画像調
整装置を説明するための概略図である。本発明の画像調
整装置１は、例えば、走査型電子顕微鏡等の装置や該装
置から得られる信号の処理手段を含む信号源１０に画像
調整信号を出力して、画像調整した画像信号を形成し、
表示制御手段８の制御によって表示手段９の表示画面上
に画像表示する。また、画像調整装置１は、表示手段９
の表示画面上に表示される画像と重ねて、表示画面上の
位置を指定するマークＭを表示する。なお、ここで、表
示画面は、表示手段が表示する画面全体を示している。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram for explaining the image adjustment device of the present invention. The image adjustment apparatus 1 of the present invention outputs an image adjustment signal to a signal source 10 including a device such as a scanning electron microscope or a processing unit for a signal obtained from the device, and forms an image signal after image adjustment. ,
An image is displayed on the display screen of the display means 9 under the control of the display control means 8. Further, the image adjustment device 1 includes a display unit 9.
A mark M for specifying a position on the display screen is displayed so as to overlap the image displayed on the display screen. Here, the display screen indicates the entire screen displayed by the display means.
【００２０】画像調整装置１は、前記した画像調整信号
の形成、及び表示画面上のマークＭの位置を指定するた
めに、位置指定手段２と、位置検出手段３と、位置−第
１画像調整変換手段４及び位置−第２画像調整変換手段
５と、第１画像調整信号形成手段６及び第２画像調整信
号形成手段７とを備える。The image adjustment device 1 includes a position designation unit 2, a position detection unit 3, and a position-first image adjustment unit for forming the image adjustment signal and designating the position of the mark M on the display screen. It comprises a conversion unit 4 and a position-second image adjustment conversion unit 5, a first image adjustment signal forming unit 6 and a second image adjustment signal forming unit 7.
【００２１】位置指定手段２は、本発明の一操作で少な
くとも２つのパラメータを入力する入力手段の一例であ
り、ＧＵＩ機能によって表示手段９の表示画面上におけ
るマークＭの位置を指定する手段を適用したものであ
り、例えばマウス等のポインティングデバイスで構成す
ることができる。位置検出手段３は、位置指定手段２が
表示画面上で指定したマークＭの位置を検出し、位置信
号を出力する。The position specifying means 2 is an example of an input means for inputting at least two parameters by one operation of the present invention, and means for specifying a position of the mark M on the display screen of the display means 9 by a GUI function is applied. For example, it can be configured by a pointing device such as a mouse. The position detecting means 3 detects the position of the mark M specified on the display screen by the position specifying means 2, and outputs a position signal.
【００２２】本発明の入力手段は、この位置指定手段２
に限らず、ＧＵＩ機能が接続されていないジョイスティ
ックやトラックボール、あるいは音声入力装置を用いる
ことができる。この入力手段で入力した２つの信号（ジ
ョイスティックやトラックボールによる位置信号、及び
音声入力装置による音の高さと強度）は、位置指定手段
２の位置信号と同様にして扱うことができる。以下で
は、本発明の入力手段として位置指定手段２の場合につ
いて説明する。The input means of the present invention comprises the position specifying means 2
Not limited to this, a joystick, trackball, or voice input device to which no GUI function is connected can be used. The two signals (the position signal from the joystick or the trackball and the pitch and intensity of the sound from the voice input device) input by the input unit can be handled in the same manner as the position signal of the position specifying unit 2. Hereinafter, the case of the position specifying means 2 as the input means of the present invention will be described.
【００２３】この位置信号は、表示画面上のマークＭの
位置を表すと共に、画像調整を行う調整量を表してい
る。位置信号は、直交座標系や極座標系あるいは他の座
標形態で表すことができ、直交座標系によればｘ座標及
びｙ座標の２つの座標データで、また、極座標系によれ
ば距離ｒ及び角度θ等の２つの座標データによって、マ
ークＭの位置を表すと共に画像調整を行う２つの調整量
を表す。This position signal indicates the position of the mark M on the display screen and the amount of adjustment for performing image adjustment. The position signal can be expressed in a rectangular coordinate system, a polar coordinate system, or another coordinate form. According to the rectangular coordinate system, two coordinate data of x coordinate and y coordinate are used. Two coordinate data such as θ indicate the position of the mark M and two adjustment amounts for performing image adjustment.
【００２４】マークＭの位置を表す位置信号は、表示制
御手段８によって、表示手段９の表示画面上の指定され
た位置にマークＭを表示する。一方、画像調整を行う２
つの調整量を表す位置信号は、位置−第１画像調整変換
手段４及び位置−第２画像調整変換手段５によって位置
に対応した画像調整量信号に変換され、さらに、該画像
調整量信号は、第１画像調整形成手段６及び第２画像調
整形成手段７によって各画像調整に対応した画像調整信
号となり、信号源１０において画像調整が行われる。The position signal indicating the position of the mark M is displayed by the display control means 8 at the designated position on the display screen of the display means 9. On the other hand, image adjustment 2
The position signals representing the two adjustment amounts are converted into an image adjustment amount signal corresponding to the position by the position-first image adjustment conversion unit 4 and the position-second image adjustment conversion unit 5, and the image adjustment amount signal is An image adjustment signal corresponding to each image adjustment is generated by the first image adjustment forming unit 6 and the second image adjustment forming unit 7, and the image adjustment is performed in the signal source 10.
【００２５】位置−第１画像調整変換手段４及び位置−
第２画像調整変換手段５は、位置と画像調整量信号との
関係を内部メモリ等に予め備えておき、位置検出手段３
からの位置信号に対応して読み出すことによって画像調
整量信号を出力する。Position—First Image Adjustment and Conversion Means 4 and Position—
The second image adjustment conversion means 5 is provided with a relationship between the position and the image adjustment amount signal in an internal memory or the like in advance, and the position detection means 3
An image adjustment amount signal is output by reading in accordance with the position signal from the CPU.
【００２６】したがって、位置指定手段２で入力した位
置信号を、表示手段９の表示画面上においてマークＭの
表示に用いると共に、２つの画像調整信号の形成に用い
ることによって、画像の観察と画像調整とを同時に行う
ことができる。また、一つの位置から２つの画像調整信
号の形成することによって、異なる画像調整が一操作で
同時に可能となる。以下、本発明の画像調整装置を二次
電子像表示に適用した例について、図２の概略図、及び
コントラストと明るさを説明するための概略図を用いて
説明する。Therefore, the position signal input by the position specifying means 2 is used for displaying the mark M on the display screen of the display means 9 and is used for forming two image adjustment signals, thereby observing the image and adjusting the image. And can be performed simultaneously. Further, by forming two image adjustment signals from one position, different image adjustments can be simultaneously performed by one operation. Hereinafter, an example in which the image adjustment device of the present invention is applied to secondary electron image display will be described with reference to the schematic diagram of FIG. 2 and the schematic diagram for explaining contrast and brightness.
【００２７】この例では、本発明の画像調整装置を二次
電子像表示に適用し、画像調整としてコントラスト調整
及び明るさ調整を行う場合について説明する。この場合
には、図２に示すように、画像調整装置１は、位置指定
手段２ａと、位置検出手段３ａと、位置−コントラスト
変換手段４ａ及び位置−明るさ変換手段５ａと、ゲイン
調整信号形成手段６ａ及び明るさ調整信号形成手段７ａ
とを備える。したがって、この構成例では、図１に示す
構成において、第１画像調整及び第２画像調整はそれぞ
れコントラスト調整及び明るさ調整に対応し、検出器１
１のゲインを調整することによってコントラスト調整を
行い、加算器１２に明るさ調整信号を加えることによっ
て明るさ調整を行っている。In this example, a case will be described in which the image adjustment apparatus of the present invention is applied to the display of a secondary electron image, and the contrast adjustment and the brightness adjustment are performed as the image adjustment. In this case, as shown in FIG. 2, the image adjustment apparatus 1 includes a position designation unit 2a, a position detection unit 3a, a position-contrast conversion unit 4a and a position-brightness conversion unit 5a, and a gain adjustment signal forming unit. Means 6a and brightness adjustment signal forming means 7a
And Therefore, in this configuration example, in the configuration shown in FIG. 1, the first image adjustment and the second image adjustment correspond to the contrast adjustment and the brightness adjustment, respectively, and the detector 1
The contrast is adjusted by adjusting the gain of 1, and the brightness is adjusted by adding a brightness adjustment signal to the adder 12.
【００２８】ここで、位置指定手段２ａは、指定する位
置データによってコントラストの調整量と明るさの調整
量の２つの異なる画像調整量を設定し、また、表示手段
９の表示画面上のマークＭの位置を設定する。Here, the position designating means 2a sets two different image adjustment amounts, a contrast adjustment amount and a brightness adjustment amount, according to the designated position data, and sets the mark M on the display screen of the display means 9. Set the position of.
【００２９】コントラスト調整と明るさ調整との間に
は、コントラスト調整を検出器１１のゲイン調整によっ
て行っているために両調整間に関連性が生じ、コントラ
スト調整を行うことによって明るさが変動する。本発明
の画像調整装置では、表示画面上のマークＭの位置で設
定することによって、このコントラスト調整と明るさ調
整を関連付けて調整することができ、両調整を個々に行
うことなく一操作で同時に行うことができる。Since the contrast adjustment is performed by the gain adjustment of the detector 11 between the contrast adjustment and the brightness adjustment, there is a relationship between the two adjustments, and the brightness is changed by performing the contrast adjustment. . In the image adjustment device of the present invention, by setting the position of the mark M on the display screen, the contrast adjustment and the brightness adjustment can be performed in association with each other, and can be performed simultaneously by one operation without performing both adjustments individually. It can be carried out.
【００３０】図３において、コントラスト調整は二次電
子の強度（図３（ａ））を検出器のゲインを調整するこ
とによって行う（図３（ｂ））と共に、この検出器出力
に明るさ調整信号を加えることによって表示信号のレベ
ルを所定レベルに調整して明るさ調整を行う。これによ
って、コントラスト調整で変動したレベル（例えば、図
３（ｂ）に示す高ゲインのレベル及び低ゲインのレベ
ル）は、所定レベルに調整される（例えば、図３（ｃ）
に示す高ゲイン及び低ゲインのレベル）。この表示信号
を表示手段で表示することによって所望のコントラスト
及び明るさの画像を表示することができる（図３
（ｄ））。さらに、このコントラスト調整と明るさ調整
は、位置指定手段による一操作によって、画像を観察し
ながら同時に行うことができる。In FIG. 3, the contrast is adjusted by adjusting the gain of the detector (FIG. 3 (a)) and the intensity of the secondary electrons (FIG. 3 (b)), and the brightness of the output of the detector is adjusted. The brightness is adjusted by adding the signal to adjust the level of the display signal to a predetermined level. As a result, the levels (for example, the high gain level and the low gain level shown in FIG. 3B) changed by the contrast adjustment are adjusted to a predetermined level (for example, FIG. 3C).
High and low gain levels shown in Figure 3). By displaying this display signal on the display means, an image with desired contrast and brightness can be displayed (FIG. 3).
(D)). Further, the contrast adjustment and the brightness adjustment can be performed simultaneously while observing an image by one operation using the position specifying means.
【００３１】次に、本発明の画像調整装置における表示
画面上の動作について図４，５を用いて説明する。画像
調整装置によれば、表示画面上においてマークＭの位置
を定めるすることによって２つの異なる画像調整の調整
量を設定する。なお、図４，５の例は、マークＭの位置
を直交座標系で表す場合を示している。Next, the operation on the display screen of the image adjusting apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. According to the image adjustment device, two different adjustment amounts of the image adjustment are set by determining the position of the mark M on the display screen. 4 and 5 show the case where the position of the mark M is represented by a rectangular coordinate system.
【００３２】図４（ａ）において、表示手段９の表示画
面上において、例えば、ｘ座標をコントラスト調整に対
応させて、ｘ座標の＋方向を高コントラスト（高ゲイ
ン）、ｘ座標の−方向を低コントラスト（低ゲイン）と
し、他方、ｙ座標を明るさ調整に対応させ、ｙ座標の＋
方向を明るい（高明度、高ブライトネス）、ｙ座標の−
方向を暗い（低明度、低ブライトネス）とすることがで
きる。In FIG. 4A, for example, on the display screen of the display means 9, the x-coordinate corresponds to the contrast adjustment, the + direction of the x-coordinate is set to high contrast (high gain), and the-direction of the x coordinate is set to the high direction. Low contrast (low gain), while the y coordinate corresponds to brightness adjustment,
Bright direction (high brightness, high brightness),-
The direction can be dark (low brightness, low brightness).
【００３３】この設定によれば、図４（ｂ）に示すよう
に、位置指定手段２ａをｘ座標上で移動させることによ
ってコントラスト調整を行うことができ、ｙ座標上で移
動させることによって明るさ調整を行うことができ、ま
た、ｘ座標及びｙ座標の両座標上で移動させることによ
ってコントラスト調整及び明るさ調整を行うことができ
る。なお、図４（ｂ）の位置指定手段２ａで設定したマ
ークＭは、図４（ａ）の表示画面上で設定した位置に表
示される。According to this setting, as shown in FIG. 4B, the contrast can be adjusted by moving the position specifying means 2a on the x coordinate, and the brightness can be adjusted by moving the position specifying means 2a on the y coordinate. Adjustment can be performed, and contrast adjustment and brightness adjustment can be performed by moving on both the x coordinate and the y coordinate. The mark M set by the position specifying means 2a in FIG. 4B is displayed at the position set on the display screen in FIG.
【００３４】図５（ａ）は、位置指定手段２ａをｘ座標
上で移動させてコントラスト調整を行う場合を示してい
る。位置指定手段２ａをｘ座標上でのみ移動させて、表
示画面上でマークＭを高コントラスト側に移動させると
（図５（ａ−１）、高コントラストとなると共に（図５
（ａ−２））、明るさも変動する（図５（ａ−３））。FIG. 5A shows the case where the position adjustment means 2a is moved on the x coordinate to adjust the contrast. When the position specifying means 2a is moved only on the x-coordinate and the mark M is moved to the high contrast side on the display screen (FIG. 5 (a-1), high contrast is obtained).
(A-2)), the brightness also varies (FIG. 5 (a-3)).
【００３５】また、図５（ｂ）は、位置指定手段２ａを
ｙ座標上で移動させて明るさ調整を行う場合を示してい
る。位置指定手段２ａをｙ座標上でのみ移動させて、表
示画面上でマークＭを暗い側に移動させると（図５（ｂ
−１））、コントラストは変化せず（図５（ｂ−
２））、明るさのみが暗くなる（図５（ｂ−３））。FIG. 5B shows a case where the brightness is adjusted by moving the position specifying means 2a on the y coordinate. When the position M is moved only on the y-coordinate and the mark M is moved to the dark side on the display screen (FIG. 5 (b)
-1)) and the contrast does not change (FIG. 5 (b-
2)), only the brightness becomes dark (FIG. 5 (b-3)).
【００３６】また、図５（ｃ）は、位置指定手段２ａを
ｘ座標上及びｙ座標上で移動させてコントラスト調整と
明るさ調整を行う場合を示している。位置指定手段２ａ
をｘ座標上及びｙ座標上で移動させて、表示画面上でマ
ークＭを高コントラスト側でかつ暗い側に移動させると
（図５（ｃ−１））、コントラストのみが変化し（図５
（ｃ−２））、明るさは一定とすることができる（図５
（ｃ−３））。FIG. 5C shows a case where the position specifying means 2a is moved on the x coordinate and the y coordinate to perform contrast adjustment and brightness adjustment. Position designation means 2a
Is moved on the x coordinate and the y coordinate, and the mark M is moved on the display screen to the high contrast side and the dark side (FIG. 5 (c-1)), only the contrast changes (FIG. 5 (c-1)).
(C-2)), the brightness can be constant (FIG. 5)
(C-3)).
【００３７】ｘ座標及びｙ座標の両座標上での移動にお
いて、図４（ｃ）及び図５（ｃ−３）に示すように、ｘ
座標方向のコントラスト調整による明るさ変動を相殺す
るように、ｙ座標方向の明るさ調整を行うことによっ
て、一定の明るさを保持しながらコントラストを調整す
ることができる。なお、コントラスト調整に対して、明
るさ調整をどの程度行えば一定の明るさを保持すること
ができるかは、検出器の特性など、コントラスト調整に
対する明るさ変動の特性に依存する。In the movement on both the x coordinate and the y coordinate, as shown in FIG. 4C and FIG.
By performing the brightness adjustment in the y-coordinate direction so as to offset the brightness fluctuation due to the contrast adjustment in the coordinate direction, the contrast can be adjusted while maintaining a constant brightness. It should be noted that the extent to which the brightness adjustment is performed to maintain a constant brightness with respect to the contrast adjustment depends on the characteristics of the brightness fluctuation with respect to the contrast adjustment, such as the characteristics of the detector.
【００３８】したがって、図４（ｃ）中に示す一点鎖線
は、明るさが一定となるコントラスト調整と明るさ調整
の移動軌跡を示しているが、この移動軌跡は必ずしも直
線となるわけではなく、コントラスト調整によって生じ
る明るさ変動の特性に基づいて所定の特性曲線で表され
ることになる。Therefore, the dashed line shown in FIG. 4 (c) shows the movement trajectory of the contrast adjustment and the brightness adjustment at which the brightness is constant, but this movement trajectory is not always a straight line, It is represented by a predetermined characteristic curve based on the characteristics of the brightness fluctuation caused by the contrast adjustment.
【００３９】なお、表示画面上において、画像調整を表
すマークＭは、マークＭのみを表示することも、マーク
Ｍの座標を軸（ｘ軸やｙ軸）を合わせて表示することも
でき、画像調整量の目安とすることができる。また、マ
ークＭの初期位置は、標準的なコントラスト値及び明る
さ値を表示画面の中央位置とすることも、また、任意の
位置に設定することもできる。It is to be noted that, on the display screen, the mark M representing the image adjustment can be displayed by displaying only the mark M or by displaying the coordinates of the mark M along the axis (x-axis or y-axis). It can be a measure of the amount of adjustment. The initial position of the mark M can be a standard contrast value and a brightness value at the center position of the display screen, or can be set at an arbitrary position.
【００４０】前記説明では、マークＭの位置及びこれに
よる画像調整量を直交座標系で表す場合について示して
いるが、他の座標系を用い表すこともできる。図６
（ａ）は極座標系で表した例であり、図６（ｂ）は２つ
の基準位置に対する２つ距離によって表す例であり、図
６（ｃ）は２つの基準位置に対して成す２つの角度によ
って表す例である。In the above description, the case where the position of the mark M and the amount of image adjustment by the mark M are represented in a rectangular coordinate system is shown, but other coordinate systems may be used. FIG.
6A is an example expressed in a polar coordinate system, FIG. 6B is an example expressed by two distances to two reference positions, and FIG. 6C is two angles formed with respect to two reference positions. It is an example represented by.
【００４１】図６（ａ）に示すように極座標系で表わし
た場合には、表示画面上に定めた基準位置に対してマー
クＭの位置を距離ｒと角度θで表し、この距離ｒ及び角
度θをコントラストあるいは明るさ等の画像調整の調整
量を表すパラメータとする。例えば、距離ｒをコントラ
スト調整量を表すパラメータとし、角度θを明るさ調整
量を表すパラメータとした場合、位置指定手段２ａでｒ
とθを設定すると（図６（ａ−２））、表示画面上にお
ける基準点Ｐに対するマークＭの位置が定まると共に、
距離ｒによってコントラスト調整量が設定され、角度θ
によって明るさ調整量が設定される（図６（ａ−
１））。この座標形態によれば、距離ｒを一定とした状
態で一定ゲインとしたまま角度θのみ変化させることに
よって、明るさを調整することができる（図６（ａ−
３））。As shown in FIG. 6 (a), when represented in a polar coordinate system, the position of the mark M is represented by a distance r and an angle θ with respect to a reference position defined on the display screen. θ is a parameter representing an adjustment amount of image adjustment such as contrast or brightness. For example, when the distance r is a parameter indicating the contrast adjustment amount and the angle θ is a parameter indicating the brightness adjustment amount, the position specifying unit 2a uses r
(FIG. 6A-2), the position of the mark M with respect to the reference point P on the display screen is determined, and
The contrast adjustment amount is set by the distance r, and the angle θ
The brightness adjustment amount is set according to FIG.
1)). According to this coordinate form, the brightness can be adjusted by changing only the angle θ while keeping the gain constant with the distance r constant (see FIG. 6 (a-
3)).
【００４２】図６（ｂ）に示すように、２つの基準位置
に対する２つの距離によって表わした場合には、表示画
面上に定めた基準位置（Ｐ１，Ｐ２）に対してマークＭ
の位置を第１の距離ｒ１と第２の距離ｒ２で表し、この
距離ｒ１，ｒ２で表される比（ｒ１／ｒ２）及び和（ｒ
１＋ｒ２）をコントラストあるいは明るさ等の画像調整
の調整量を表すパラメータとする。例えば、距離の比
（ｒ１／ｒ２）をコントラスト調整量を表すパラメータ
とし、距離の和（ｒ１＋ｒ２）を明るさ調整量を表すパ
ラメータとした場合、位置指定手段２ａで距離ｒ１、ｒ
２を設定すると（図６（ｂ−２））、表示画面上におけ
る基準点Ｐ１，Ｐ２に対するマークＭの位置が定まると
共に、距離の比（ｒ１／ｒ２）によってコントラスト調
整量が設定され、距離の和（ｒ１＋ｒ２）によって明る
さ調整量が設定される（図６（ｂ−１））。この極座標
形態によれば、距離の比（ｒ１／ｒ２）を一定とした状
態で図６（ｂ−２）の一点鎖線上（図面の上下方向）を
移動させることによって、一定ゲインに設定したまま明
るさを調整することができる（図６（ｂ−３））。As shown in FIG. 6B, when represented by two distances with respect to two reference positions, the mark M is located at the reference position (P1, P2) defined on the display screen.
Is represented by a first distance r1 and a second distance r2, and the ratio (r1 / r2) and the sum (r
1 + r2) is a parameter representing an adjustment amount of image adjustment such as contrast or brightness. For example, if the distance ratio (r1 / r2) is a parameter representing the contrast adjustment amount and the sum of the distances (r1 + r2) is a parameter representing the brightness adjustment amount, the position specifying means 2a uses the distances r1, r
When 2 is set (FIG. 6B-2), the position of the mark M with respect to the reference points P1 and P2 on the display screen is determined, and the contrast adjustment amount is set by the ratio of distances (r1 / r2). The brightness adjustment amount is set by the sum (r1 + r2) (FIG. 6 (b-1)). According to the polar coordinate form, the constant gain is maintained by moving the dashed line (vertical direction in the drawing) of FIG. 6B-2 with the distance ratio (r1 / r2) kept constant. The brightness can be adjusted (FIG. 6B-3).
【００４３】また、図６（ｃ）に示すように、２つの基
準位置に対する２つの角度によって表わした場合には、
表示画面上に定めた基準位置（Ｐ１，Ｐ２）に対してマ
ークＭの位置を第１の角度θ１と第２の角度θ２で表
し、この角度θ１，θ２をコントラストあるいは明るさ
等の画像調整の調整量を表すパラメータとする。例え
ば、角度θ１をコントラスト調整量を表すパラメータと
し、角度θ２を明るさ調整量を表すパラメータとした場
合、位置指定手段２ａで角度θ１、θ２を設定すると
（図６（ｃ−２））、表示画面上における基準点Ｐ１，
Ｐ２に対するマークＭの位置が定まると共に、角度θ１
によってコントラスト調整量が設定され、角度θ２によ
って明るさ調整量が設定される（図６（ｃ−１））。こ
の座標形態によれば、角度θ１を一定とした状態で図６
（ｃ−３）の一点鎖線上を移動させることによって、一
定ゲインに設定したまま明るさを調整することができる
（図６（ｃ−３））。Also, as shown in FIG. 6 (c), when represented by two angles with respect to two reference positions,
The position of the mark M with respect to the reference position (P1, P2) defined on the display screen is represented by a first angle θ1 and a second angle θ2, and the angles θ1 and θ2 are used for image adjustment such as contrast or brightness. It is a parameter representing the adjustment amount. For example, when the angle θ1 is a parameter representing the contrast adjustment amount and the angle θ2 is a parameter representing the brightness adjustment amount, if the angles θ1 and θ2 are set by the position specifying means 2a (FIG. 6C-2), the display is performed. Reference point P1, on the screen
The position of the mark M with respect to P2 is determined, and the angle θ1
Sets the contrast adjustment amount, and sets the brightness adjustment amount by the angle θ2 (FIG. 6 (c-1)). According to this coordinate form, FIG.
By moving on the dashed line (c-3), the brightness can be adjusted while the gain is kept constant (FIG. 6 (c-3)).
【００４４】なお、上記説明では、走査型電子顕微鏡等
の二次電子像表示を例として示しているが、その他の画
像表示装置についても同様に適用することができる。In the above description, a secondary electron image display such as a scanning electron microscope is shown as an example, but the present invention can be similarly applied to other image display devices.
【００４５】[0045]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の画像調整
装置によれば、コントラスト調整と明るさ調整の両画像
調整を一操作によって同時に可能とすることができる。As described above, according to the image adjustment apparatus of the present invention, both image adjustment of contrast adjustment and brightness adjustment can be simultaneously performed by one operation.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明の画像調整装置を説明するための概略図
である。FIG. 1 is a schematic diagram for explaining an image adjustment device of the present invention.
【図２】本発明の画像調整装置を二次電子像表示に適用
した例を説明するための概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram for explaining an example in which the image adjustment device of the present invention is applied to secondary electron image display.
【図３】本発明の画像調整装置を二次電子像表示に適用
した場合の、コントラストと明るさを説明するための概
略図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining contrast and brightness when the image adjustment device of the present invention is applied to secondary electron image display.
【図４】本発明の画像調整装置における表示画面上の動
作を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining an operation on a display screen in the image adjustment device of the present invention.
【図５】本発明の画像調整装置における表示画面上の動
作を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining an operation on a display screen in the image adjustment device of the present invention.
【図６】本発明の画像調整装置に適用することができる
座標形態を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a coordinate form applicable to the image adjustment apparatus of the present invention.
【図７】従来の画像調整装置を二次電子像表示に適用し
た例を説明するための概略図である。FIG. 7 is a schematic diagram for explaining an example in which a conventional image adjustment device is applied to secondary electron image display.
【図８】従来のコントラスト調整及び明るさ調整を説明
するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining conventional contrast adjustment and brightness adjustment.
１…画像調整装置、２，２ａ…位置指定手段、３，３ａ
…位置検出手段、４…位置−第１画像調整変換手段、４
ａ…位置−コントラスト変換手段、５…位置−第２画像
調整変換手段、５ａ…位置−明るさ変換手段、６…第１
画像調整信号形成手段、６ａ…ゲイン調整信号形成手
段、７…第２画像調整信号形成手段、７ａ…明るさ調整
信号形成手段、８…表示制御手段、９…表示手段、１０
…信号源、１１…検出器、１２…加算器、１４…コント
ラスト調整つまみ、１５…明るさ調整つまみ、Ｍ…マー
ク、Ｐ，Ｐ１，Ｐ２…基準点、Ｓ…試料。1 image adjustment device, 2, 2a position designation means, 3, 3a
... Position detecting means, 4 ... Position-first image adjustment converting means, 4
a ... position-contrast conversion means, 5 ... position-second image adjustment conversion means, 5a ... position-brightness conversion means, 6 ... first
Image adjustment signal forming means, 6a Gain adjustment signal forming means, 7 Second image adjustment signal forming means, 7a Brightness adjustment signal forming means, 8 Display control means, 9 Display means, 10
... Signal source, 11 ... Detector, 12 ... Adder, 14 ... Contrast adjustment knob, 15 ... Brightness adjustment knob, M ... Mark, P, P1, P2 ... Reference point, S ... Sample.
Claims (3)
入力する入力手段と、前記２つのパラメータに基づいて
コントラスト調整信号及び明るさ調整信号を形成する画
像調整信号形成手段とを備え、前記入力手段の一操作に
よって表示画像のコントラスト調整及び明るさ調整を同
時に行うことを特徴とする画像調整装置。1. An input means for inputting at least two parameters in one operation, and an image adjustment signal forming means for forming a contrast adjustment signal and a brightness adjustment signal based on the two parameters, wherein: An image adjustment apparatus, wherein a contrast adjustment and a brightness adjustment of a display image are simultaneously performed by one operation.
定するポインティングデバイスであり、指定した位置に
基づいて２つのパラメータを入力することを特徴とす
る、請求項１記載の画像調整装置。2. The image adjustment apparatus according to claim 1, wherein said input means is a pointing device that specifies a position on a display screen, and inputs two parameters based on the specified position.
二次電子像であることを特徴とする、請求項１、または
２記載の画像調整装置。3. The image adjustment device according to claim 1, wherein the display image is a secondary electron image of a scanning electron microscope or the like.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000283511A JP2002091416A (en) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | Picture adjusting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002091416A true JP2002091416A (en) | 2002-03-27 |
| JP2002091416A5 JP2002091416A5 (en) | 2007-02-08 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP (1) | JP2002091416A (en) |
Cited By (2)
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| KR100705109B1 (en) | 2005-04-22 | 2007-04-06 | 엘지전자 주식회사 | Method for controlling picture element of image display device |
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