JP2002090643A - 輪帯光形成用光学素子とそれを用いた検出装置 - Google Patents
輪帯光形成用光学素子とそれを用いた検出装置Info
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- JP2002090643A JP2002090643A JP2000276447A JP2000276447A JP2002090643A JP 2002090643 A JP2002090643 A JP 2002090643A JP 2000276447 A JP2000276447 A JP 2000276447A JP 2000276447 A JP2000276447 A JP 2000276447A JP 2002090643 A JP2002090643 A JP 2002090643A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光強度分布にムラのない輪帯光を形成するこ
と。 【解決手段】 互いに平行な上面と下面を有し上面は下
面よりも小さい直径を有する円錐台形状の透光部材と、
遮光部材とを備え、透光部材は下面に同軸に形成された
円錐形状の凹部を有し、透明部材の円周面と凹部の円周
面とが互いに平行であり、前記上面から透明部材に同軸
に入射する光束が凹部の円周面と透明部材の円周面とで
反射され前記下面から出射して輪帯光を形成し、遮光部
材は前記上面側に設けられて前記上面から凹部の頂点部
分に入射する光を遮光する。
と。 【解決手段】 互いに平行な上面と下面を有し上面は下
面よりも小さい直径を有する円錐台形状の透光部材と、
遮光部材とを備え、透光部材は下面に同軸に形成された
円錐形状の凹部を有し、透明部材の円周面と凹部の円周
面とが互いに平行であり、前記上面から透明部材に同軸
に入射する光束が凹部の円周面と透明部材の円周面とで
反射され前記下面から出射して輪帯光を形成し、遮光部
材は前記上面側に設けられて前記上面から凹部の頂点部
分に入射する光を遮光する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は輪帯光形成用光学
素子とそれを用いた撮像装置に関し、とくに輪帯光を用
いた限外照明（暗視野照明）による撮像技術に関する。
素子とそれを用いた撮像装置に関し、とくに輪帯光を用
いた限外照明（暗視野照明）による撮像技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこのような撮像装置においては、
入射するレーザビームを垂直に放射状に反射する円錐状
の外面反射体と、放射状に反射されたレーザビームを反
射してリング状のビーム（輪帯光）を形成する円錐状の
内面反射体からなる光学素子を使用し、その光学素子で
形成した輪帯光を対物レンズの外側から対象物に照射
し、対物レンズを介して対象物を撮像するようにしたも
のが知られている。
入射するレーザビームを垂直に放射状に反射する円錐状
の外面反射体と、放射状に反射されたレーザビームを反
射してリング状のビーム（輪帯光）を形成する円錐状の
内面反射体からなる光学素子を使用し、その光学素子で
形成した輪帯光を対物レンズの外側から対象物に照射
し、対物レンズを介して対象物を撮像するようにしたも
のが知られている。
【０００３】そして、このような輪帯光を形成する光学
素子としては、それぞれ独立して製作した外面反射体と
内面反射体とを組合わせたものや、外面反射体と内面反
射体とを一体に有するプリズムなどを使用し、入射ビー
ムを放射状に反射する円錐状の外面反射体の後方にそれ
と同軸に配置した遮光板を設け、それによって輪帯光の
形成時に生じる迷光を除去するようにしている（例え
ば、特開平６−１６０７２３号公報参照）。
素子としては、それぞれ独立して製作した外面反射体と
内面反射体とを組合わせたものや、外面反射体と内面反
射体とを一体に有するプリズムなどを使用し、入射ビー
ムを放射状に反射する円錐状の外面反射体の後方にそれ
と同軸に配置した遮光板を設け、それによって輪帯光の
形成時に生じる迷光を除去するようにしている（例え
ば、特開平６−１６０７２３号公報参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
光学素子では、入射するビームから効率よく輪帯光を形
成するために、円錐状の外面反射体の頂点部分が面積を
持たない完全な一点であることが求められるが、実際に
は、外面反射体は機械加工又は成形加工によって製作さ
れるため、その頂点部分は不完全な半球状又は多面体状
となる。従って、このような不完全な半球状又は多面体
状の頂点部分は入射したビームをその入射方向に垂直
に、かつ、３６０度にわたって均一に分散して反射でき
ないため、形成する輪帯光の強度分布にムラが生じる。
そして、この強度分布のムラの発生は、外面反射体の後
方に配置した遮光板では防止できないという問題点があ
る。
光学素子では、入射するビームから効率よく輪帯光を形
成するために、円錐状の外面反射体の頂点部分が面積を
持たない完全な一点であることが求められるが、実際に
は、外面反射体は機械加工又は成形加工によって製作さ
れるため、その頂点部分は不完全な半球状又は多面体状
となる。従って、このような不完全な半球状又は多面体
状の頂点部分は入射したビームをその入射方向に垂直
に、かつ、３６０度にわたって均一に分散して反射でき
ないため、形成する輪帯光の強度分布にムラが生じる。
そして、この強度分布のムラの発生は、外面反射体の後
方に配置した遮光板では防止できないという問題点があ
る。
【０００５】この発明はこのような事情を考慮してなさ
れたもので、外面反射体の頂点部分に入射するビーム
を、入射する前に遮光することにより、ムラのない輪帯
光を形成することが可能な輪帯光形成用光学素子と、そ
れを用いた撮像装置を提供するものである。
れたもので、外面反射体の頂点部分に入射するビーム
を、入射する前に遮光することにより、ムラのない輪帯
光を形成することが可能な輪帯光形成用光学素子と、そ
れを用いた撮像装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、互いに平行
な上面と下面を有し上面は下面よりも小さい直径を有す
る円錐台形状の透光部材と、遮光部材とを備え、透光部
材は下面に同軸に形成された円錐形状の凹部を有し、透
明部材の円周面と凹部の円周面とが互いに平行であり、
前記上面から透明部材に同軸に入射する光束が凹部の円
周面と透明部材の円周面とで反射され前記下面から出射
して輪帯光を形成し、遮光部材は前記上面側に設けられ
て前記上面から凹部の頂点部分に入射する光を遮光する
輪帯光形成用光学素子を提供するものである。
な上面と下面を有し上面は下面よりも小さい直径を有す
る円錐台形状の透光部材と、遮光部材とを備え、透光部
材は下面に同軸に形成された円錐形状の凹部を有し、透
明部材の円周面と凹部の円周面とが互いに平行であり、
前記上面から透明部材に同軸に入射する光束が凹部の円
周面と透明部材の円周面とで反射され前記下面から出射
して輪帯光を形成し、遮光部材は前記上面側に設けられ
て前記上面から凹部の頂点部分に入射する光を遮光する
輪帯光形成用光学素子を提供するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】この発明の透光部材の材料として
は、例えばアクリル樹脂が挙げられる。これは透明性と
光学的性質に優れるためである。特に、ＰＭＭＡ樹脂は
光学特性以外に成形加工性にも優れ、射出成形、押出成
形、注型成形などが可能であるため、その材料として好
ましい。透光部材は、円錐台形で、かつ、その下面に同
軸に円錐形状の凹部を有するように加工されるが、その
加工には、例えば射出成形を用いることができる。
は、例えばアクリル樹脂が挙げられる。これは透明性と
光学的性質に優れるためである。特に、ＰＭＭＡ樹脂は
光学特性以外に成形加工性にも優れ、射出成形、押出成
形、注型成形などが可能であるため、その材料として好
ましい。透光部材は、円錐台形で、かつ、その下面に同
軸に円錐形状の凹部を有するように加工されるが、その
加工には、例えば射出成形を用いることができる。
【０００８】また、透光部材は凹部の周面から光軸に直
角に３６０度わたって放射するビームを下面方向へ反射
する円周面を少なくとも備えることが必要であるが、そ
の形状は、必ずしも完全な円錐台形状である必要はな
い。従って、その仕上がり形状は加工性やその設置治具
などを考慮して部分的に変形したものであってもよい。
角に３６０度わたって放射するビームを下面方向へ反射
する円周面を少なくとも備えることが必要であるが、そ
の形状は、必ずしも完全な円錐台形状である必要はな
い。従って、その仕上がり形状は加工性やその設置治具
などを考慮して部分的に変形したものであってもよい。
【０００９】透光部材の円錐形凹部の加工に際しては、
精密な機械加工又は成形加工を用いても、その頂点部分
を完全に面積を持たない尖頭に加工することは困難であ
るため、この発明ではその頂点部分が半球形状、多面体
形状平面状又はその他の形状となる加工方法を採用す
る。この不完全に加工された頂点部分に入射する光ビー
ムは輪帯光の強度分布にばらつき生じさせるので、この
発明では入射ビームを予め遮光する遮光部材を備えるよ
うにしている。
精密な機械加工又は成形加工を用いても、その頂点部分
を完全に面積を持たない尖頭に加工することは困難であ
るため、この発明ではその頂点部分が半球形状、多面体
形状平面状又はその他の形状となる加工方法を採用す
る。この不完全に加工された頂点部分に入射する光ビー
ムは輪帯光の強度分布にばらつき生じさせるので、この
発明では入射ビームを予め遮光する遮光部材を備えるよ
うにしている。
【００１０】従って、不完全に加工された頂点部分の光
ビーム入射側（透光部材の上面側）から見た面積が小さ
いほど、遮光部材の面積を小さく設定でき、入射ビーム
エネルギーの利用効率を高くすることができる。つま
り、頂点部分に入射するビームは遮光部材により遮光さ
れるので、その形状はどのようなものであってもよく、
要はビーム入射側から見た頂点部分（不完全加工部分）
の面積が最小となるような形状に加工されることが好ま
しい。
ビーム入射側（透光部材の上面側）から見た面積が小さ
いほど、遮光部材の面積を小さく設定でき、入射ビーム
エネルギーの利用効率を高くすることができる。つま
り、頂点部分に入射するビームは遮光部材により遮光さ
れるので、その形状はどのようなものであってもよく、
要はビーム入射側から見た頂点部分（不完全加工部分）
の面積が最小となるような形状に加工されることが好ま
しい。
【００１１】この発明では、頂点部分が半球状の形状を
有する場合には、遮光部材は円形で、頂点部分の直径に
等しいかそれより大きい直径を有するようにしている。
また、遮光部材は金属や、樹脂など不透明な材料を用い
て形成される。遮光部材は、円錐台形の上面に直接形成
又は接着されてもよく、他の透明板の一部に形成又は設
置されてもよい。遮光部材が形成又は接着された透明板
は、円錐台形の上面に密着又は離して設置される。
有する場合には、遮光部材は円形で、頂点部分の直径に
等しいかそれより大きい直径を有するようにしている。
また、遮光部材は金属や、樹脂など不透明な材料を用い
て形成される。遮光部材は、円錐台形の上面に直接形成
又は接着されてもよく、他の透明板の一部に形成又は設
置されてもよい。遮光部材が形成又は接着された透明板
は、円錐台形の上面に密着又は離して設置される。
【００１２】そこで、遮光部材は、中心に孔を有するマ
スクで円錐台の上面又は他の透明板を覆い、遮光性材料
を塗布又は蒸着することにより形成することができる。
円錐形状の凹部はその中心角が９０度であり、その透明
部材の凹部と円錐台形部分の円周面とが互いに平行な状
態であることが好ましいが、必ずしもそれに限定される
ものではなく、相互の反射面の関係が全反射条件を満た
していればよい。また、円錐形状の凹部の中心角が全反
射条件を満たせない場合は、その透明部材の凹部と円錐
台形部分の円周面とが互いに平行な状態であってもその
面に透明部材外部よりアルミ蒸着などの反射膜が必要と
なる。
スクで円錐台の上面又は他の透明板を覆い、遮光性材料
を塗布又は蒸着することにより形成することができる。
円錐形状の凹部はその中心角が９０度であり、その透明
部材の凹部と円錐台形部分の円周面とが互いに平行な状
態であることが好ましいが、必ずしもそれに限定される
ものではなく、相互の反射面の関係が全反射条件を満た
していればよい。また、円錐形状の凹部の中心角が全反
射条件を満たせない場合は、その透明部材の凹部と円錐
台形部分の円周面とが互いに平行な状態であってもその
面に透明部材外部よりアルミ蒸着などの反射膜が必要と
なる。
【００１３】また、この発明は、上記輪帯光形成用光学
素子と、前記光学素子に光束を入射する光源と、前記光
学素子により形成された輪帯光を検出対象に導いて検出
対象を限外照明する環状ミラーと、限外照明された検出
対象を検出する検出素子とを備える検出装置を提供する
ものである。ここで、検出素子には撮像素子や散乱光検
出素子が使用できる。
素子と、前記光学素子に光束を入射する光源と、前記光
学素子により形成された輪帯光を検出対象に導いて検出
対象を限外照明する環状ミラーと、限外照明された検出
対象を検出する検出素子とを備える検出装置を提供する
ものである。ここで、検出素子には撮像素子や散乱光検
出素子が使用できる。
【００１４】実施例 以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳述す
る。これによってこの発明が限定されるものではない。
る。これによってこの発明が限定されるものではない。
【００１５】図１はこの発明の輪帯光形成用光学素子の
実施例を示す断面図である。同図において、光学素子１
は、互いに平行な上面２と下面３を有し上面２は下面よ
りも小さい直径を有する円錐台形状の透光部材４と、遮
光部材５とを備える。透光部材４は下面３に同軸に形成
された円錐形状の凹部６を有する。透明部材４の円周面
７と凹部６の円周面８とが互いに平行である。光学素子
１はＰＭＭＡ樹脂を材料として射出成形によって加工さ
れる。
実施例を示す断面図である。同図において、光学素子１
は、互いに平行な上面２と下面３を有し上面２は下面よ
りも小さい直径を有する円錐台形状の透光部材４と、遮
光部材５とを備える。透光部材４は下面３に同軸に形成
された円錐形状の凹部６を有する。透明部材４の円周面
７と凹部６の円周面８とが互いに平行である。光学素子
１はＰＭＭＡ樹脂を材料として射出成形によって加工さ
れる。
【００１６】光学素子１の寸法は次の通りである。 上面２の直径Ａ＝３０ｍｍ 下面３の直径Ｂ＝５０ｍｍ 厚さＴ＝１５ｍｍ 凹部６の最大直径Ｃ＝２０ｍｍ 凹部６の中心角θ＝９０°
【００１７】また、凹部６の頂点部分９は、図２に示す
ようにほぼ半球状であり矢印Ｋ方向（ビーム入射方向）
から見た半球状部分の直径Ｄは６０μｍである。図１の
遮光部材５は、上面２の中心に蒸着された直径Ｅ＝１０
０μｍ、厚さ１μｍのアルミニウム箔であり、上面２の
表面をマスクで覆い上面２の外周を基準としてその中心
に直径１００μｍの孔を形成しその孔を介してアルミニ
ウムを蒸着することによって得られる。
ようにほぼ半球状であり矢印Ｋ方向（ビーム入射方向）
から見た半球状部分の直径Ｄは６０μｍである。図１の
遮光部材５は、上面２の中心に蒸着された直径Ｅ＝１０
０μｍ、厚さ１μｍのアルミニウム箔であり、上面２の
表面をマスクで覆い上面２の外周を基準としてその中心
に直径１００μｍの孔を形成しその孔を介してアルミニ
ウムを蒸着することによって得られる。
【００１８】図３に示すように、光学素子１の上面の中
心２へ矢印Ｌ方向からビーム径Ｆ＝８ｍｍの光ビームが
入射されると、その光ビームは円周面８によって反射さ
れ入射ビームの光軸に直交して３６０度方向に一様に分
散される。分散されたビームは円周面７で反射され輪帯
光に変換されて下面３から出射される。この場合、入射
ビームの中心において直径１００μｍの光束は遮光部材
５によって遮光され、凹部６の頂点部分９（直径６０μ
ｍ）に入射する光は存在しないので、頂点部分９で不規
則に光が反射して輪帯光中に混じることがない。従っ
て、強度分布の一様な輪帯光が得られる。なお、上面２
の表面には反射防止膜としてＭｇＦ2膜が成膜されてい
る。
心２へ矢印Ｌ方向からビーム径Ｆ＝８ｍｍの光ビームが
入射されると、その光ビームは円周面８によって反射さ
れ入射ビームの光軸に直交して３６０度方向に一様に分
散される。分散されたビームは円周面７で反射され輪帯
光に変換されて下面３から出射される。この場合、入射
ビームの中心において直径１００μｍの光束は遮光部材
５によって遮光され、凹部６の頂点部分９（直径６０μ
ｍ）に入射する光は存在しないので、頂点部分９で不規
則に光が反射して輪帯光中に混じることがない。従っ
て、強度分布の一様な輪帯光が得られる。なお、上面２
の表面には反射防止膜としてＭｇＦ2膜が成膜されてい
る。
【００１９】なお、図２に示す頂点部分９の直径Ｄは６
０μｍであり、この値が小さいほど入射ビームの輪帯光
への変換効率が向上することは、すでに述べた通りであ
るが、この発明において直径Ｄは頂点部分９に対応する
射出成形用の型の形状を工夫することにより、さらに小
さくできることが確認されている。例えば、図６に示す
ように頂点部分９が円筒形になる型を用いるとＤ＝１７
μｍ、図７に示すように頂点部分が平坦面になる型を用
いると、Ｄ＝２０μｍとなる。直径Ｄが小さくなると、
当然遮光部材５のサイズも小さくすることができる。
０μｍであり、この値が小さいほど入射ビームの輪帯光
への変換効率が向上することは、すでに述べた通りであ
るが、この発明において直径Ｄは頂点部分９に対応する
射出成形用の型の形状を工夫することにより、さらに小
さくできることが確認されている。例えば、図６に示す
ように頂点部分９が円筒形になる型を用いるとＤ＝１７
μｍ、図７に示すように頂点部分が平坦面になる型を用
いると、Ｄ＝２０μｍとなる。直径Ｄが小さくなると、
当然遮光部材５のサイズも小さくすることができる。
【００２０】図４は、図３に示す遮光部材５を透明板
（例えばアクリル樹脂板）１０の上に設けた場合を示す
が、この場合も図３の場合と同様の遮光効果を得ること
ができる。なお、図４において透明板１０を上面２に密
着させてもよい。
（例えばアクリル樹脂板）１０の上に設けた場合を示す
が、この場合も図３の場合と同様の遮光効果を得ること
ができる。なお、図４において透明板１０を上面２に密
着させてもよい。
【００２１】図５は光学素子１を用いた検出装置を示す
構成説明図である。筺体３０には、側面に光源（レーザ
光源）２１と散乱光検出部２９とが取付けられ、内部に
平面ミラー２２、輪帯光形成用光学素子１、リング状平
面ミラー２３、ハーフミラー２７，平面ミラー２８が設
けられている。筺体３０から突出した鏡筒３１には、内
部に対物レンズ２６、先端に収束用ミラー２４が設置さ
れている。同図において、光源２１から出射された光ビ
ーム（ビーム径８ｍｍ）Ｌ１はミラー２２で直角に反射
され輪帯光形成用光学素子１に入射される。光学素子１
は入射された光ビームＬ１から輪帯光Ｌ２を形成する。
輪帯光Ｌ２はリング状平面ミラー２３で直角に反射され
収束用ミラー２４へ導かれる。
構成説明図である。筺体３０には、側面に光源（レーザ
光源）２１と散乱光検出部２９とが取付けられ、内部に
平面ミラー２２、輪帯光形成用光学素子１、リング状平
面ミラー２３、ハーフミラー２７，平面ミラー２８が設
けられている。筺体３０から突出した鏡筒３１には、内
部に対物レンズ２６、先端に収束用ミラー２４が設置さ
れている。同図において、光源２１から出射された光ビ
ーム（ビーム径８ｍｍ）Ｌ１はミラー２２で直角に反射
され輪帯光形成用光学素子１に入射される。光学素子１
は入射された光ビームＬ１から輪帯光Ｌ２を形成する。
輪帯光Ｌ２はリング状平面ミラー２３で直角に反射され
収束用ミラー２４へ導かれる。
【００２２】収束用ミラー２４は輪帯光Ｌ２を対物レン
ズ２６の外側から対象物２５上に収束させ対象物２５を
限外照明する。照明された対象物２５からの散乱光は対
物レンズ２６、ハーフミラー２７，平面ミラー２８を介
して散乱光検出部２９へ導かれ、対象物２５の散乱光が
検出される。また、照明された対象物２５からの画像光
は対物レンズ２６、ハーフミラー２７を介してＣＣＤカ
メラ３１へ導かれ、対象物２５の画像がＣＣＤカメラ３
１によって撮像される。輪帯光形成用光学素子１によっ
て形成される輪帯光Ｌ２には輝度分布にムラがないの
で、対象物２５が好適に照明され品質の高い画像が得ら
れる。
ズ２６の外側から対象物２５上に収束させ対象物２５を
限外照明する。照明された対象物２５からの散乱光は対
物レンズ２６、ハーフミラー２７，平面ミラー２８を介
して散乱光検出部２９へ導かれ、対象物２５の散乱光が
検出される。また、照明された対象物２５からの画像光
は対物レンズ２６、ハーフミラー２７を介してＣＣＤカ
メラ３１へ導かれ、対象物２５の画像がＣＣＤカメラ３
１によって撮像される。輪帯光形成用光学素子１によっ
て形成される輪帯光Ｌ２には輝度分布にムラがないの
で、対象物２５が好適に照明され品質の高い画像が得ら
れる。
【００２３】
【発明の効果】この発明によれば、入射ビームを反射し
て光軸に直角に３６０度に分散する円錐状の反射面にお
いて、その頂点部分に入るビームを遮光するようにした
ので、頂点部分で不規則に反射して輪帯光に混入する光
成分が除去され、強度分布が均一な輪帯光を形成するこ
とができる。
て光軸に直角に３６０度に分散する円錐状の反射面にお
いて、その頂点部分に入るビームを遮光するようにした
ので、頂点部分で不規則に反射して輪帯光に混入する光
成分が除去され、強度分布が均一な輪帯光を形成するこ
とができる。
【図１】この発明の実施例の輪帯光形成用光学素子の断
面図である。
面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】実施例の作用を示す説明図である。
【図４】この発明の変形例の構成と作用を示す説明図で
ある。
ある。
【図５】この発明の輪帯光形成用光学素子を用いた撮像
装置の構成説明図である。
装置の構成説明図である。
【図６】図１の輪帯光形成用光学素子の凹部の頂点部分
の他の例を示す断面図である。
の他の例を示す断面図である。
【図７】図１の輪帯光形成用光学素子の凹部の頂点部分
のさらに他の例を示す断面図である。
のさらに他の例を示す断面図である。
１ 輪帯光形成用光学素子 ２ 上面 ３ 下面 ４ 透光部材 ５ 遮光部材 ６ 凹部 ７ 円周面 ８ 円周面 ９ 頂点部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井邨 泰之 神戸市中央区脇浜海岸通１丁目５番１号 シスメックス株式会社内 (72)発明者 石坂 正樹 神戸市中央区脇浜海岸通１丁目５番１号 シスメックス株式会社内 Ｆターム(参考） 2H052 AC06 AC17 AC27 AC34 AF14
Claims (8)
- 【請求項１】 互いに平行な上面と下面を有し上面は下
面よりも小さい直径を有する円錐台形状の透光部材と、
遮光部材とを備え、透光部材は下面に同軸に形成された
円錐形状の凹部を有し、透明部材の円周面と凹部の円周
面とが互いに平行であり、前記上面から透明部材に同軸
に入射する光束が凹部の円周面と透明部材の円周面とで
反射され前記下面から出射して輪帯光を形成し、遮光部
材は前記上面側に設けられて前記上面から凹部の頂点部
分に入射する光を遮光する輪帯光形成用光学素子。 - 【請求項２】 透光部材は上面に反射防止膜が形成され
てなる請求項１記載の輪帯光形成用光学素子。 - 【請求項３】 円錐形状の凹部は、その中心角が９０度
である請求項１記載の輪帯光形成用光学素子。 - 【請求項４】 遮光部材は前記上面の中心に設けられて
なる請求項１記載の輪帯光形成用光学素子。 - 【請求項５】 遮光部材は、中心に孔を有するマスクで
円錐台形の上面を覆い、遮光性材料をマスクの孔を介し
て上面に塗布することにより形成される請求項１記載の
輪帯光形成用光学素子。 - 【請求項６】 遮光部材は、中心に遮光部を有し前記上
面を覆う円盤状の透明板である請求項１記載の輪帯光形
成用光学素子。 - 【請求項７】 円錐形状の凹部の頂点部分が半球状の形
状を有し、遮光部材は円形で直径が頂点部分の直径に等
しいかそれよりも大きい請求項１記載の輪帯光形成用光
学素子。 - 【請求項８】 請求項１記載の輪帯光形成用光学素子
と、前記光学素子に光束を入射する光源と、前記光学素
子により形成された輪帯光を検出対象に導いて検出対象
を限外照明する環状ミラーと、限外照明された検出対象
を検出する検出素子とを備える検出装置。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107238603A (zh) * | 2017-07-14 | 2017-10-10 | 深圳市恒工科技有限公司 | 一种内孔壁光学检测装置及其导光棒 |
| CN107953040A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-04-24 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种高精度激光加工装置与系统 |
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-
2000
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