JP2002090631A - Method and device for adjusting magnification of scanning optical microscope, and computer-readable recording medium - Google Patents
Method and device for adjusting magnification of scanning optical microscope, and computer-readable recording mediumInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、標本の表面情報を
測定するために使用される走査型光学顕微鏡の倍率調整
方法及びその装置、並びに倍率調整プログラムを記憶し
たコンピュータにより読み取り可能な記録媒体に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for adjusting magnification of a scanning optical microscope used for measuring surface information of a specimen, and a computer-readable recording medium storing a magnification adjustment program. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】走査型光学顕微鏡は、点状光源によって
観察標本の表面を点状に照明し、この照明された標本表
面からの透過光又は反射光を再び点状に集光して光検出
器に結像させ、この光検出器に結像した光の濃度情報を
得るものである。2. Description of the Related Art A scanning optical microscope illuminates the surface of an observation sample in a point-like manner with a point-like light source, and condenses the transmitted light or reflected light from the illuminated sample surface again into a point-like light to detect light. An image is formed on a photodetector, and density information of the light formed on the photodetector is obtained.
【０００３】図１６は一般的な走査型光学顕微鏡の構成
図である。顕微鏡本体１には、点光源２が設けられてい
る。この点光源２から出射されたレーザ光（点状光源）
は、ミラー３で反射し、ハーフミラー４を透過して二次
元走査手段５に入射する。この二次元走査手段５は、ガ
ルバノミラーからなる主スキャナ６及び副スキャナ７
（以下、主スキャナ６及び副スキャナ７の全体をスキャ
ナ６、７と称する）を備え、入射したレーザ光を主走査
方向及び副走査方向に走査する。この走査されたレーザ
光は、レボルバ８に取り付けられた対物レンズ９により
ステージ１０上の標本１１の表面に点状結像される。FIG. 16 is a configuration diagram of a general scanning optical microscope. The microscope main body 1 is provided with a point light source 2. Laser light emitted from this point light source 2 (point light source)
Is reflected by the mirror 3, transmitted through the half mirror 4, and enters the two-dimensional scanning means 5. The two-dimensional scanning means 5 includes a main scanner 6 and a sub-scanner 7 each comprising a galvanometer mirror.
(Hereinafter, the entirety of the main scanner 6 and the sub-scanner 7 is referred to as scanners 6 and 7), and scans the incident laser light in the main scanning direction and the sub-scanning direction. The scanned laser light is formed into a point image on the surface of the sample 11 on the stage 10 by the objective lens 9 attached to the revolver 8.
【０００４】この点状照明された標本１１からの反射光
は、再び対物レンズ９及び二次元走査手段５を通ってハ
ーフミラー４に入射し、ここで反射されて集光レンズ１
２により集光されて光検出器１３に入射する。従って、
この光検出器１３は、標本１１の表面の測定領域全体に
亘って光を走査したときの反射光を入射し、そのアナロ
グ画像信号を出力する。The reflected light from the sample 11 which has been illuminated in a point-like manner enters the half mirror 4 again through the objective lens 9 and the two-dimensional scanning means 5 and is reflected there, and is reflected therefrom.
The light is condensed by 2 and enters the photodetector 13. Therefore,
The light detector 13 receives reflected light when scanning light over the entire measurement area on the surface of the sample 11 and outputs an analog image signal thereof.
【０００５】一方、制御処理装置１４は、顕微鏡本体１
の二次元走査手段５を制御し、かつ光検出器１３からの
検出信号を入力して標本１１の画像データを得るもの
で、二次元走査制御ユニット１５、画像制御ユニット１
６及び顕微鏡制御ユニット１７の各機能を有している。[0005] On the other hand, the control processing device 14 includes the microscope main body 1.
The two-dimensional scanning control unit 15, the image control unit 1, and the detection signal from the photodetector 13 are input to obtain the image data of the sample 11.
6 and the microscope control unit 17.
【０００６】二次元走査制御ユニット１５は、スキャナ
６、７とをそれぞれ駆動するためのスキャナ６、７の各
駆動電圧値が記憶された駆動電圧格納メモリ１８と、こ
の駆動電圧格納メモリ１８から読み取ったスキャナ６、
７の各駆動電圧値によりスキャナ６、７とをそれぞれ駆
動する二次元走査駆動回路１９とを有している。The two-dimensional scanning control unit 15 drives the scanners 6 and 7, respectively. The driving voltage storage memory 18 stores the driving voltage values of the scanners 6 and 7, and reads from the driving voltage storage memory 18. Scanner 6,
And a two-dimensional scanning drive circuit 19 that drives the scanners 6 and 7 with the respective drive voltage values of 7.
【０００７】画像制御ユニット１６は、光検出器１３か
らのアナログ画像信号をデジタル化するＡ／Ｄ変換器２
０と、このＡ／Ｄ変換器２０からのデジタル画像信号
を、例えば５１２画素×５１２画素×８ビット（２５６
階調）の画像データとして記憶する画像メモリ２１と、
この画像メモリ２１に記憶された画像データ、すなわち
標本１１の表面の二次元画像を表示する表示部２２とを
有している。[0007] The image control unit 16 is an A / D converter 2 for digitizing an analog image signal from the photodetector 13.
0 and the digital image signal from the A / D converter 20 are, for example, 512 pixels × 512 pixels × 8 bits (256 bits).
An image memory 21 for storing image data of (gradation),
It has a display unit 22 for displaying image data stored in the image memory 21, that is, a two-dimensional image of the surface of the specimen 11.
【０００８】顕微鏡制御ユニット１７は、二次元走査制
御ユニット１５と画像制御ユニット１６とを協調動作さ
せるもので、例えばキーボードからなる入力部２３と、
モニタ等からなる出力部２４と、制御回路２５とからな
っている。The microscope control unit 17 operates the two-dimensional scanning control unit 15 and the image control unit 16 in cooperation with each other.
It comprises an output section 24 composed of a monitor and the like, and a control circuit 25.
【０００９】従って、二次元走査制御ユニット１５は、
駆動電圧格納メモリ１８から読み取った各駆動電圧値に
よりスキャナ６、７をそれぞれ駆動する。そして、これ
らスキャナ６、７によりレーザ光を標本１１の表面の測
定領域全体に亘って走査し、これによる標本１１からの
反射光を光検出器１３に導く。この光検出器１３は、標
本１１の表面からの反射光を入射し、そのアナログ画像
信号を出力する。Therefore, the two-dimensional scanning control unit 15
The scanners 6 and 7 are driven by the respective drive voltage values read from the drive voltage storage memory 18. The scanners 6 and 7 scan the laser beam over the entire measurement area on the surface of the sample 11, and guide the light reflected from the sample 11 to the photodetector 13. The photodetector 13 receives reflected light from the surface of the sample 11 and outputs an analog image signal thereof.
【００１０】画像制御ユニット１６は、光検出器１３か
らのアナログ画像信号をＡ／Ｄ変換器２０によりデジタ
ル画像信号に変換し、これを画像データとして画像メモ
リ２１に記憶し、かつこの画像データを読み出してその
標本１１の表面の二次元画像を表示部２２に表示する。The image control unit 16 converts an analog image signal from the photodetector 13 into a digital image signal by an A / D converter 20, stores the digital image signal as image data in an image memory 21, and converts this image data. The two-dimensional image of the surface of the specimen 11 is read out and displayed on the display unit 22.
【００１１】ところで、上記スキャナ６、７に用いられ
るガルバノミラーの位置制御では、二次元走査駆動回路
１９からの駆動信号により示すガルバノミラーの位置と
実際のガルバノミラーの位置との間に偏差がある。この
偏差を補正し、スキャナ６、７を安定して走査する方法
としては、例えばＰＩＤ制御により一定量に収束させる
ようにしたり（特開平７−１４１８４号公報）、スキャ
ナの駆動波形データを補正する方法（特開平１０−１０
４４９号公報）がある。In the position control of the galvanometer mirrors used in the scanners 6 and 7, there is a deviation between the position of the galvanometer mirror indicated by the drive signal from the two-dimensional scanning drive circuit 19 and the actual position of the galvanometer mirror. . As a method of correcting this deviation and stably scanning the scanners 6 and 7, for example, the scanner is made to converge to a fixed amount by PID control (Japanese Patent Laid-Open No. 7-14184), or the drive waveform data of the scanner is corrected. Method (JP-A-10-10)
449).
【００１２】一方、画像の拡大、縮小を光学的に行う方
法としては、スキャナ６、７の走査幅を変更するものが
ある。この方法は、スキャナ６、７の駆動電圧値を増減
させて走査幅を伸縮するもので、画像データのサンプリ
ング数が常に同じになるように画像データのサンプリン
グレートを駆動電圧に反比例させるように調整する。こ
の方法により取得される走査画像は、その画像サイズが
一定のまま拡大、縮小表示することができる。On the other hand, as a method of optically enlarging or reducing an image, there is a method of changing the scanning width of the scanners 6 and 7. This method expands and contracts the scanning width by increasing and decreasing the drive voltage values of the scanners 6 and 7, and adjusts the sampling rate of the image data so as to be inversely proportional to the drive voltage so that the number of image data samples is always the same. I do. A scanned image obtained by this method can be enlarged or reduced while the image size remains constant.
【００１３】上記以外の方法としては、例えば特開平１
０−１３６７１号公報に記載されているようにスキャナ
６、７の走査幅と駆動電圧値との関係がリニアであるこ
とを前提として走査倍率を可変制御することにより画像
の拡大倍率を変更している。As a method other than the above, for example, Japanese Patent Application Laid-Open
As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 0-13671, the magnification of the image is changed by variably controlling the scanning magnification on the assumption that the relationship between the scanning width of the scanners 6 and 7 and the driving voltage value is linear. I have.
【００１４】しかし、実際には、走査幅と駆動電圧との
関係はスキャナ６、７を構成する物理的な個体差や駆動
波形の非直線性により厳密にはリニアでなく、このため
特に試料１１ａの微細な表面情報の測定においての倍率
誤差を一定の許容範囲内に収めることはできない。However, in practice, the relationship between the scanning width and the driving voltage is not strictly linear due to the physical difference between the scanners 6 and 7 and the non-linearity of the driving waveform. The magnification error in the measurement of the fine surface information cannot be kept within a certain allowable range.
【００１５】この倍率誤差を許容範囲内に収めるため
に、設定可能な倍率ごとに駆動電圧値の格納メモリを用
意し、予めその駆動電圧値を各倍率での走査幅が測定精
度を保証できるように調整している。すなわち、二次元
走査制御ユニット１５は、駆動電圧格納メモリ１８内か
ら現在の拡大設定倍率に対応した走査駆動電圧値（以
下、駆動電圧値と省略する）を読み取って二次元走査駆
動回路１９に与えることで可変制御している。例えば、
走査倍率が１．０〜６．０の０．１刻みで可変制御が可
能とすると、駆動電圧格納メモリ１８の構成は、図１７
に示すようにスキャナ６、７のそれぞれ設定可能な全て
の倍率に対する各駆動電圧値が格納可能となっている。In order to keep this magnification error within an allowable range, a drive voltage value storage memory is prepared for each settable magnification, and the drive voltage value is set in advance so that the scanning width at each magnification can guarantee the measurement accuracy. Has been adjusted. That is, the two-dimensional scanning control unit 15 reads a scanning drive voltage value (hereinafter, abbreviated as a drive voltage value) corresponding to the current enlargement setting magnification from the drive voltage storage memory 18 and provides the same to the two-dimensional scan drive circuit 19. Variable control. For example,
Assuming that the scanning magnification can be variably controlled in steps of 0.1 from 1.0 to 6.0, the configuration of the drive voltage storage memory 18 is as shown in FIG.
As shown in the figure, the drive voltage values for all the magnifications that can be set for the scanners 6 and 7 can be stored.
【００１６】ここで、このようなスキャナ６、７の各拡
大倍率に対する各駆動電圧値の調整方法について説明す
る。図１８はスキャナ６、７の全体の調整手順を示し、
図１９は主スキャナ６の調整手順を示す。Here, a method of adjusting each drive voltage value for each of the magnifications of the scanners 6 and 7 will be described. FIG. 18 shows the overall adjustment procedure of the scanners 6 and 7,
FIG. 19 shows the procedure for adjusting the main scanner 6.
【００１７】スキャナ６、７の各拡大倍率に対する各駆
動電圧値の調整は、図１８に示すようにステップ＃１に
おいて主スキャナ６の調整が行われ、ステップ＃２にお
いて副スキャナ７の調整が行われる。As shown in FIG. 18, the main scanner 6 is adjusted in step # 1 and the sub-scanner 7 is adjusted in step # 2, as shown in FIG. Will be
【００１８】主スキャナ６の調整手順について図１９を
参照して説明する。スキャナ６、７を調整するための試
料１１ａとしては、図２０に示すようなサンプルが使用
される。この試料１１ａには、一定間隔のスケールが形
成されたものである。この試料１１ａは、ステップ＃１
１において、図２１に示すような画像が得られるよう
に、スキャナ６、７（ここでは主スキャナ６）の走査方
向に合わせてステージ１０上に載置される。The procedure for adjusting the main scanner 6 will be described with reference to FIG. As the sample 11a for adjusting the scanners 6, 7, a sample as shown in FIG. 20 is used. This sample 11a has scales formed at regular intervals. This sample 11a is obtained in step # 1
In FIG. 1, the scanner 6 is placed on the stage 10 in the scanning direction of the scanners 6 and 7 (here, the main scanner 6) so that an image as shown in FIG. 21 is obtained.
【００１９】次に、ステップ＃１２において、試料１１
ａの表面のスケールが表示部２２に表示される画像で確
認できるようにステージ１０を図示しない昇降機構によ
り上下動させて合焦（ピントを合わせる）させる。Next, in step # 12, the sample 11
The stage 10 is moved up and down by an elevating mechanism (not shown) so that the scale on the surface of “a” can be confirmed on the image displayed on the display unit 22 to focus (focus).
【００２０】次に、ステップ＃１３において、主スキャ
ナ６の駆動電圧値を主スキャナ６による走査幅が最大と
なる基準電圧に設定しズーム倍率を最小倍率に設定す
る。Next, at step # 13, the drive voltage value of the main scanner 6 is set to the reference voltage at which the scanning width of the main scanner 6 is maximized, and the zoom magnification is set to the minimum magnification.
【００２１】次に、ステップ＃１４において、顕微鏡制
御ユニット１７により二次元走査制御ユニット１５と画
像制御ユニット１６とを協調させ、試料１１ａ上に光を
走査してこの試料１１ａからの反射光を光検出器１３で
検出し、この光検出器１３から出力されるアナログ画像
信号を画像制御ユニット１６に送る。この画像制御ユニ
ット１６において、光検出器１３からのアナログ画像信
号をデジタル化してその画像データを画像メモリ２１に
記憶し、この画像メモリ２１に記憶された画像データ、
すなわち図２１に示すようなスケールの画像を表示部２
２に表示する。Next, in step # 14, the two-dimensional scanning control unit 15 and the image control unit 16 are coordinated by the microscope control unit 17, and light is scanned on the sample 11a to reflect reflected light from the sample 11a. An analog image signal detected by the detector 13 and output from the photodetector 13 is sent to the image control unit 16. In the image control unit 16, the analog image signal from the photodetector 13 is digitized, the image data is stored in the image memory 21, and the image data stored in the image memory 21 is
That is, an image of a scale as shown in FIG.
2 is displayed.
【００２２】次に、ステップ＃１５において、表示部２
２に表示されている図２１に示すようなスケールの画像
を作業者により目視し、この画像からスケール数（スケ
ールの測定値）が調整目標値と一致しているか否かを判
断する。このスケール数が調整目標値と一致しているか
否かを判断の結果、例えば、拡大倍率１倍での調整目標
値が２０．０であるとすれば、画像の表示結果が図２１
に示すようにスケールの数が２０であれば、この拡大倍
率１倍での調整は終了する。Next, at step # 15, the display unit 2
The operator visually checks the scale image shown in FIG. 21 shown in FIG. 21 and determines whether or not the number of scales (measured value of the scale) matches the adjustment target value from this image. As a result of determining whether or not this scale number matches the adjustment target value, for example, assuming that the adjustment target value at a magnification of 1 is 20.0, the image display result is as shown in FIG.
If the number of scales is 20, as shown in (1), the adjustment at the magnification of 1 is completed.
【００２３】スケールの数が調整目標値と一致している
か否かの判断の結果、一致していなければ、ステップ＃
１６に移り、調整目標値に対してスケール数が多けれ
ば、駆動電圧値を下げ、少なければ駆動電圧値を上げる
方向でそれぞれ調整を行う。そして、この駆動電圧値の
調整を繰り返して（ステップ＃１４〜＃１６）、スケー
ル数を調整目標値に一致させる。If the result of the determination as to whether or not the number of scales matches the adjustment target value does not match, the step #
When the number of scales is larger than the adjustment target value, the adjustment is performed in such a manner that the drive voltage value is decreased, and if the scale number is small, the drive voltage value is increased. Then, the adjustment of the drive voltage value is repeated (steps # 14 to # 16) to make the number of scales coincide with the adjustment target value.
【００２４】次に、スケール数が調整目標値と一致した
ら、そのときの駆動電圧値を二次元走査制御ユニット１
５の駆動電圧格納メモリ１８に格納する。例えば、現在
調整中の拡大倍率が１．１であれば、図１７に示す駆動
電圧格納メモリ１８の主スキャナ駆動電圧値の１．１倍
の領域１８ａにその駆動電圧値を格納する。Next, when the scale number coincides with the adjustment target value, the drive voltage value at that time is changed to the two-dimensional scanning control unit 1.
5 is stored in the drive voltage storage memory 18. For example, if the magnification currently being adjusted is 1.1, the drive voltage value is stored in an area 18a of the drive voltage storage memory 18 shown in FIG. 17 which is 1.1 times the main scanner drive voltage value.
【００２５】次に、ステップ＃１７において、全ての拡
大倍率の調整が終了したか否かを判断し、終了していな
ければ、ステップ＃１８において次に調整すべき拡大倍
率を設定し、再びステップ＃１４に戻り、その拡大倍率
での駆動電圧値を調整する。Next, in step # 17, it is determined whether or not adjustment of all magnifications has been completed. If not, a magnification to be adjusted next is set in step # 18. Returning to step # 14, the drive voltage value at that magnification is adjusted.
【００２６】全ての倍率の調整が終了すれば、調整作業
を終了する。When the adjustment of all magnifications is completed, the adjustment operation is completed.
【００２７】一方、副スキャナ７の調整手順は、主スキ
ャナ６と同じであり、異なるところは、表示部２２で表
示される画像が図２２に示すように副スキャナ７の走査
方向に合うように試料１１ａがステージ１０上に載置さ
れ、かつ例えば拡大倍率１倍での調整目標値がスケール
数で１３．０であるところである。On the other hand, the adjustment procedure of the sub-scanner 7 is the same as that of the main scanner 6, except that the image displayed on the display unit 22 is aligned with the scanning direction of the sub-scanner 7 as shown in FIG. The sample 11a is placed on the stage 10, and the adjustment target value at, for example, a magnification of 1 is the scale number of 13.0.
【００２８】[0028]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような駆動電圧値の調整作業を全て行うには、拡大倍率
の設定が例えば１．０〜６．０の０．１刻みに行うため
に、主スキャナ６と副スキャナ７とについて共に５１回
も上記ステップ＃１２〜＃１５、＃１６の作業を繰り返
さなければならず、非常に時間がかかり、作業者に大き
な負担となる。However, in order to perform all of the above-described operations of adjusting the drive voltage value, it is necessary to set the enlargement magnification in, for example, 1.0 to 6.0 in increments of 0.1. The operations of steps # 12 to # 15 and # 16 must be repeated 51 times for both the main scanner 6 and the sub-scanner 7, which is very time consuming and places a heavy burden on the operator.
【００２９】又、各拡大倍率ごとの調整が終了したか否
かの判断を作業者が行うために、調整結果に作業者によ
るばらつきが生じてしまい、高い精度を出すためには、
作業者に調整作業に対するある程度の熟練度が必要であ
る。In addition, since the operator determines whether or not the adjustment for each magnification has been completed, the adjustment results may vary depending on the operator.
The operator needs a certain level of skill in the adjustment work.
【００３０】そこで本発明は、作業者に対する負担を軽
減し、拡大倍率に対する駆動電圧値の調整結果を作業者
によらず一定で、かつ精度高く行うことができる走査型
光学顕微鏡の倍率調整方法及びその装置を提供すること
を目的とする。Accordingly, the present invention provides a method of adjusting the magnification of a scanning optical microscope, which can reduce the burden on the operator and can make the adjustment result of the drive voltage value with respect to the enlargement magnification constant and accurate regardless of the operator. It is intended to provide the device.
【００３１】又、本発明は、作業者に対する負担を軽減
し、拡大倍率に対する駆動電圧値の調整結果を作業者に
よらず一定で、かつ精度高く行わさせることができる走
査型光学顕微鏡の倍率調整方法のプログラムを記録した
コンピュータにより読み取り可能な記録媒体を提供する
ことを目的とする。Further, the present invention reduces the burden on the operator and makes it possible to adjust the drive voltage value with respect to the enlargement magnification with a constant and high accuracy independently of the operator. It is an object of the present invention to provide a computer-readable recording medium on which a method program is recorded.
【００３２】[0032]
【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、光で標本上を走査し、当該標本からの光を受光し
て前記標本の画像データを取得し、かつ前記標本に対す
る光の走査幅を調整して前記標本の拡大倍率を調整する
走査型光学顕微鏡において、一定間隔のスケールが形成
された試料を用い、当該試料に対して前記光で走査して
取得された前記画像データにおける前記スケールの測定
値に基づいて複数の前記拡大倍率に対応する各走査駆動
電圧を調整することを特徴とする走査型光学顕微鏡の倍
率調整方法である。According to a first aspect of the present invention, a sample is scanned with light, light from the sample is received, image data of the sample is acquired, and light is applied to the sample. In a scanning optical microscope that adjusts a scanning width to adjust the magnification of the sample, using a sample on which a scale at a fixed interval is formed, and scanning the sample with the light for the image data, A magnification adjusting method for a scanning optical microscope, wherein each scanning drive voltage corresponding to a plurality of the magnifications is adjusted based on the measured value of the scale.
【００３３】請求項２記載による本発明は、請求項１記
載の走査型光学顕微鏡の倍率調整方法において、前記光
の主走査方向に対する複数の前記拡大倍率に対応する前
記各走査駆動電圧の調整と、前記光の副走査方向に対す
る複数の前記拡大倍率に対応する前記各走査駆動電圧の
調整とを行うことを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of adjusting a magnification of a scanning optical microscope according to the first aspect, further comprising adjusting each of the scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications in the main scanning direction of the light. And adjusting the respective scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications in the sub-scanning direction of the light.
【００３４】請求項３記載による本発明は、請求項１記
載の走査型光学顕微鏡の倍率調整方法において、前記拡
大倍率に対応する前記走査駆動電圧は、前記スケールの
測定値と調整目標値との大小関係から前記調整目標値に
対応する走査駆動電圧が含まれる範囲を２分の１ごとに
狭めることを繰り返すバイナリサーチ方法を用いること
を特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the method of adjusting the magnification of the scanning optical microscope according to the first aspect, the scanning drive voltage corresponding to the magnification is defined by a difference between a measured value of the scale and an adjustment target value. It is characterized in that a binary search method is used in which the range in which the scanning drive voltage corresponding to the adjustment target value is included is narrowed every half from the magnitude relation.
【００３５】請求項４記載による本発明は、請求項１記
載の走査型光学顕微鏡の倍率調整方法において、前記光
の主走査方向と副走査方向とにそれぞれ平行な各スケー
ルが形成された前記試料を用いて、前記主走査方向に対
する複数の前記拡大倍率に対応する前記各走査駆動電圧
の調整と、前記副走査方向に対する複数の前記拡大倍率
に対応する前記各走査駆動電圧の調整とを行うことを特
徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the method for adjusting the magnification of the scanning optical microscope according to the first aspect, the sample in which each scale parallel to the main scanning direction and the sub-scanning direction of the light is formed. And adjusting the respective scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications in the main scanning direction and adjusting the respective scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications in the sub-scanning direction. It is characterized by.
【００３６】請求項５記載による本発明は、請求項１記
載の走査型光学顕微鏡の倍率調整方法において、前記試
料に対して前記光を走査して取得される前記試料の像を
光学的な像回転手段を用いて回転させて主走査方向又は
副走査方向に補正し合わせ、この後に、前記主走査方向
に対する複数の前記拡大倍率に対応する前記各走査駆動
電圧の調整と、前記副走査方向に対する複数の前記拡大
倍率に対応する前記各走査駆動電圧の調整とを行うこと
を特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, in the magnification adjusting method for a scanning optical microscope according to the first aspect, an image of the sample obtained by scanning the sample with the light is an optical image. It is rotated using a rotating unit and corrected in the main scanning direction or the sub-scanning direction, and thereafter, the adjustment of each scanning drive voltage corresponding to the plurality of magnifications in the main scanning direction and the adjustment in the sub-scanning direction are performed. And adjusting each of the scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications.
【００３７】請求項６記載による本発明は、請求項１記
載の走査型光学顕微鏡の倍率調整方法において、前記各
拡大倍率を得るための各対物レンズに対して前記各走査
駆動電圧の調整とを行うことを特徴とする。According to a sixth aspect of the present invention, in the method for adjusting the magnification of the scanning optical microscope according to the first aspect, the adjustment of each scanning drive voltage for each objective lens for obtaining each of the magnifications is performed. It is characterized by performing.
【００３８】請求項７記載による本発明は、光で標本上
を走査し、当該標本からの光を受光して前記標本の画像
データを取得し、かつ前記標本に対する光の走査幅を調
整して前記標本の拡大倍率を調整する走査型光学顕微鏡
において、一定間隔のスケールが形成された試料と、こ
の試料に対して前記光で走査してその画像データを取得
する手段と、前記画像データにおける前記スケールの数
をカウントする手段と、このスケールの数に基づいて複
数の前記拡大倍率に対応する各走査駆動電圧を調整し、
その調整後の前記走査駆動電圧を駆動電圧格納メモリに
格納する手段とを具備したことを特徴とする走査型光学
顕微鏡の倍率調整装置である。According to a seventh aspect of the present invention, a sample is scanned with light, light from the sample is received, image data of the sample is obtained, and a scanning width of the light with respect to the sample is adjusted. In a scanning optical microscope that adjusts the magnification of the specimen, a sample on which a scale at a fixed interval is formed, means for scanning the specimen with the light to obtain image data thereof, and Means for counting the number of scales, and adjusting each scanning drive voltage corresponding to the plurality of magnifications based on the number of scales,
Means for storing the scanning drive voltage after the adjustment in a drive voltage storage memory.
【００３９】請求項８記載による本発明は、請求項７記
載の走査型光学顕微鏡の倍率調整装置において、前記光
の主走査方向に対する複数の前記拡大倍率に対応する前
記各走査駆動電圧の調整と、前記光の副走査方向に対す
る複数の前記拡大倍率に対応する前記各走査駆動電圧の
調整とを行うことを特徴とする。According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a magnification adjusting device for a scanning optical microscope according to the seventh aspect, wherein each of the scanning drive voltages corresponding to a plurality of the magnifications in the main scanning direction of the light is adjusted. And adjusting the respective scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications in the sub-scanning direction of the light.
【００４０】請求項９記載による本発明は、一定間隔の
スケールが形成された試料を光で走査するステップと、
前記試料からの光を受光させて前記試料の画像データを
取得するステップと、前記画像データにおける前記スケ
ールの測定値に基づいて複数の前記拡大倍率に対応する
各走査駆動電圧を調整させるステップとを有する走査型
光学顕微鏡の倍率調整プログラムを記録したことを特徴
とするコンピュータにより読み取り可能な記録媒体であ
る。The present invention according to claim 9 is a step of scanning a sample on which scales are formed at regular intervals with light,
Receiving light from the sample to obtain image data of the sample, and adjusting each scanning drive voltage corresponding to a plurality of the magnification factors based on a measurement value of the scale in the image data. A computer-readable recording medium on which a magnification adjustment program for a scanning optical microscope is recorded.
【００４１】[0041]
【発明の実施の形態】（１）以下、本発明の第１の実施
の形態について図面を参照して説明する。なお、図１６
と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略
する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (1) Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that FIG.
The same parts as those described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【００４２】図１は走査型光学顕微鏡の構成図である。
顕微鏡制御ユニット１７の制御回路３０は、上記図２０
に示す一定間隔のスケールが形成された試料１１ａを用
い、この試料１１ａに対してレーザ光を走査して取得さ
れた画像データにおけるスケール数（スケールの測定
値）に基づいて二次元走査制御ユニット１５の駆動電圧
格納メモリ１８に格納する複数の拡大倍率に対応する各
駆動電圧値を調整するための機能を有している。FIG. 1 is a configuration diagram of a scanning optical microscope.
The control circuit 30 of the microscope control unit 17
And a two-dimensional scanning control unit 15 based on the number of scales (measured values of scales) in image data obtained by scanning the sample 11a with a laser beam using scales 11a formed at regular intervals. Has a function for adjusting each drive voltage value corresponding to a plurality of magnifications stored in the drive voltage storage memory 18.
【００４３】この調整方法では、試料１１ａに対するレ
ーザ光の主走査方向に対する複数の拡大倍率に対応する
各駆動電圧値の調整と、レーザ光の副走査方向に対する
複数の拡大倍率に対応する各駆動電圧値の調整とを行
う。そして、各拡大倍率に対応する駆動電圧値は、スケ
ール数と調整目標値との大小関係から調整目標値に対応
する駆動電圧値が含まれる範囲を２分の１ごとに狭める
ことを繰り返すバイナリサーチ方法を用いている。According to this adjustment method, each drive voltage value corresponding to a plurality of magnifications in the main scanning direction of the laser beam with respect to the sample 11a is adjusted, and each drive voltage value corresponding to the plurality of magnifications in the sub-scanning direction of the laser beam is adjusted. Adjust the value. The drive voltage value corresponding to each enlargement magnification is a binary search that repeatedly narrows the range including the drive voltage value corresponding to the adjustment target value by half, based on the magnitude relationship between the number of scales and the adjustment target value. Method.
【００４４】又、制御回路３０には、メモリ３１が備え
られている。このメモリ３１には、図２に示す走査型光
学顕微鏡のスキャナ６、７の全体の調整手順、及び図３
に示す主スキャナ６の調整手順に従い、一定間隔のスケ
ールが形成された試料１１ａに対してレーザ光を走査さ
せるステップと、試料１１ａからの反射光を受光して試
料１１ａの画像データを取得させるステップと、取得し
た画像データにおけるスケール数に基づいて複数の拡大
倍率に対応する各駆動電圧値を調整させるステップとを
有する走査型光学顕微鏡の倍率調整プログラムが記録さ
れている。The control circuit 30 has a memory 31. The memory 31 stores the entire adjustment procedure of the scanners 6 and 7 of the scanning optical microscope shown in FIG.
Scanning a laser beam on the sample 11a on which scales are formed at regular intervals, and receiving image light of the sample 11a by receiving reflected light from the sample 11a in accordance with the adjustment procedure of the main scanner 6 shown in FIG. And a step of adjusting each drive voltage value corresponding to a plurality of magnifications based on the number of scales in the acquired image data.
【００４５】次に、上記走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法について図２に示す走査型光学顕微鏡のスキャナ６、
７の全体の調整手順に従って説明する。Next, a method of adjusting the magnification of the scanning optical microscope will be described with reference to FIG.
7 will be described according to the overall adjustment procedure.
【００４６】スキャナ６、７を調整するための試料１１
ａとしては、上記図２０に示すように一定間隔のスケー
ルが形成された試料１１ａが使用される。Sample 11 for adjusting scanners 6 and 7
As a, a sample 11a having scales formed at regular intervals as shown in FIG. 20 is used.
【００４７】次に、ステップ＃２０において、試料１１
ａの表面のスケールが表示部２２に表示される画像で確
認できるようにステージ１０を図示しない昇降機構によ
り上下動させて合焦（ピントを合わせる）させる。Next, in step # 20, the sample 11
The stage 10 is moved up and down by an elevating mechanism (not shown) so that the scale on the surface of “a” can be confirmed on the image displayed on the display unit 22 to focus (focus).
【００４８】次に、ステップ＃２１において、試料１１
ａは、上記図２１に示すような画像が得られるように、
スキャナ６の主走査方向に合わせる。Next, in step # 21, the sample 11
a is such that an image as shown in FIG.
It is adjusted to the main scanning direction of the scanner 6.
【００４９】次に、ステップ＃２２において、主スキャ
ナ６の調整が行われる。この主スキャナ６の調整は、図
３に示す主スキャナの調整手順に従って行われる。Next, in step # 22, adjustment of the main scanner 6 is performed. The adjustment of the main scanner 6 is performed according to the adjustment procedure of the main scanner shown in FIG.
【００５０】先ず、作業者が顕微鏡制御ユニット１７の
入力部２３を操作して工程開始の指示をすると、顕微鏡
制御ユニット１７は、二次元走査制御ユニット１５と画
像制御ユニット１６とを協調させ、試料１１ａ上にレー
ザ光を走査してこの試料１１ａからの反射光を光検出器
１３で検出し、この光検出器１３から出力されるアナロ
グ画像信号を画像制御ユニット１６に送る。この画像制
御ユニット１６において、光検出器１３からのアナログ
画像信号をデジタル化してその画像データを画像メモリ
２１に記憶し、この画像メモリ２１に記憶された画像デ
ータ、すなわち図２１に示すようなスケールの画像を表
示部２２に表示する。First, when an operator operates the input unit 23 of the microscope control unit 17 to give an instruction to start a process, the microscope control unit 17 causes the two-dimensional scanning control unit 15 and the image control unit 16 to cooperate, and The laser beam is scanned on the sample 11a, the reflected light from the sample 11a is detected by the photodetector 13, and an analog image signal output from the photodetector 13 is sent to the image control unit 16. In the image control unit 16, the analog image signal from the photodetector 13 is digitized, and the image data is stored in the image memory 21. The image data stored in the image memory 21, that is, the scale as shown in FIG. Is displayed on the display unit 22.
【００５１】次に、ステップ＃３０において、駆動電圧
格納メモリ１８に格納されている駆動電圧値を初期化す
る。この初期化は、拡大倍率の最小倍率の値を駆動電圧
値の設定可能な最大値とする。それ以外の拡大倍率の駆
動電圧値は、概ね拡大倍率に反比例し、最低の拡大倍率
が１．０なので、下記の式（１）を用いて求める。Next, in step # 30, the drive voltage value stored in the drive voltage storage memory 18 is initialized. In this initialization, the value of the minimum magnification of the enlargement magnification is set as the maximum settable value of the drive voltage value. Driving voltage values of other magnifications are generally inversely proportional to the magnification, and the lowest magnification is 1.0, so that it is obtained using the following equation (1).
【００５２】 ある拡大倍率での駆動電圧値＝最小倍率での駆動電圧値／拡大倍率 …（１） この式（１）によって求めた駆動電圧値を最小倍率以外
の全てを上記図１７に示す駆動電圧格納メモリ１８の各
拡大倍率ごとに格納する。Driving voltage value at a certain magnification ratio = driving voltage value at the minimum magnification ratio / magnification ratio (1) The driving voltage values obtained by the equation (1) are all shown in FIG. It is stored for each magnification in the voltage storage memory 18.
【００５３】次に、ステップ＃３１において、現在駆動
電圧格納メモリ１８に格納されている各拡大倍率に対応
する各駆動電圧値を読み出す。Next, in step # 31, each drive voltage value corresponding to each enlargement factor currently stored in the drive voltage storage memory 18 is read.
【００５４】次に、ステップ＃３２において、調整目標
値（スケールの測定値に対する調整目標値）を検出する
範囲の上限をスキャナ６、７への印加電圧値で設定す
る。この上限値を探索上限値する。この探索上限値を二
次元走査駆動回路１９に設定可能な最大の駆動電圧値で
初期化する。制御回路３０は、この駆動電圧値を駆動電
圧格納メモリ１８に格納する。Next, in step # 32, the upper limit of the range for detecting the adjustment target value (the adjustment target value for the measured value of the scale) is set by the voltage applied to the scanners 6 and 7. This upper limit is set as the search upper limit. This search upper limit value is initialized with the maximum drive voltage value that can be set in the two-dimensional scanning drive circuit 19. The control circuit 30 stores the drive voltage value in the drive voltage storage memory 18.
【００５５】次に、ステップ＃３３において、調整目標
値を検出する範囲の下限をスキャナ６、７への駆動電圧
値で設定する。この下限値を探索下限値する。この探索
下限値を二次元走査駆動回路１９に設定可能な最小の駆
動電圧値で初期化する。制御回路３０は、この駆動電圧
値を駆動電圧格納メモリ１８に格納する。Next, in step # 33, the lower limit of the range for detecting the adjustment target value is set by the drive voltage value to the scanners 6 and 7. This lower limit is used as the search lower limit. This search lower limit is initialized with the minimum drive voltage value that can be set in the two-dimensional scanning drive circuit 19. The control circuit 30 stores the drive voltage value in the drive voltage storage memory 18.
【００５６】次に、ステップ＃３４において、現在、表
示部２２に表示されている画像を基に試料１１ａのスケ
ール数を求める（線幅測定工程）。この線幅測定工程
は、図４に示す手順に従って次の通りに行われる。Next, in step # 34, the scale number of the sample 11a is obtained based on the image currently displayed on the display unit 22 (line width measuring step). This line width measuring step is performed as follows according to the procedure shown in FIG.
【００５７】この線幅測定工程において、現在、表示部
２２には、上記図２１に示すような試料１１ａのスケー
ルの画像が表示されると共に、この画像の中央の走査方
向に平行なラインの画像情報に対して図５に示すような
画素の位置を横軸、各画素の輝度値を横軸にとったライ
ンプロファイルが表示されている。In the line width measuring step, an image of the scale of the sample 11a as shown in FIG. 21 is displayed on the display unit 22 and an image of a line parallel to the scanning direction at the center of the image is displayed. For information, a line profile is shown in which the horizontal axis indicates the pixel position as shown in FIG. 5 and the horizontal axis indicates the luminance value of each pixel.
【００５８】一般的に線幅の測定を自動的に行う場合に
は、図６に示すようなしきい値とラインプロファイルと
の交点を求め、この交点でのラインプロファイルの傾き
が増加している交点同士の距離を求めることで測定を行
う。In general, when the line width is automatically measured, an intersection between the threshold value and the line profile as shown in FIG. 6 is obtained, and the intersection of the line profile at which the inclination of the line profile is increasing is increased. The measurement is performed by determining the distance between the two.
【００５９】今回のスキャナ６、７の駆動電圧値の調整
（換言すれば振り幅調整）では、測定する試料１１ａの
スケールの間隔（エッジ間隔）が既知（今回のスケール
では１μｍピッチ）なので、ラインプロファイルの傾き
が増加している交点の個数によって測定が可能となる。In the current adjustment of the drive voltage values of the scanners 6 and 7 (in other words, the adjustment of the swing width), the scale interval (edge interval) of the sample 11a to be measured is known (1 μm pitch in the current scale). Measurement becomes possible by the number of intersections where the inclination of the profile is increasing.
【００６０】そこで、実際の線幅測定工程に先立ち、作
業者は、入力部２３から初期設定の変更指示によって出
力部２４に図７に示すような測定の初期設定画面を表示
し、調整するスキャナ６、７のタイプごとに以下の測定
条件の設定を行う。Therefore, prior to the actual line width measurement process, the operator displays an initial setting screen for measurement as shown in FIG. The following measurement conditions are set for each of the types 6 and 7.
【００６１】この初期設定画面に表示されているライン
位置は、画像から線幅測定工程で使用するラインデータ
を指定する。実際には、画像データの左上の座標（０，
０）とした画素単位の座標系で、スキャナ６、７の走査
方向に対して垂直な軸の座標の値を表わす。例えば、主
スキャナ６のライン位置を２５６とすれば、（０，２５
６）〜（５１１，２５６）のラインデータを線幅測定工
程で使用する。The line position displayed on the initial setting screen designates line data to be used in the line width measuring step from the image. Actually, the upper left coordinates (0,
0) represents a coordinate value of an axis perpendicular to the scanning direction of the scanners 6 and 7 on a pixel-by-pixel coordinate system. For example, if the line position of the main scanner 6 is 256, (0, 25
6) The line data of (511, 256) is used in the line width measuring step.
【００６２】ライン平均は、Ａ／Ｄ変換回路などで発生
するノイズ成分などの影響を減らすために、スキャナ
６、７の走査方向に対して平行な複数のラインデータの
平均値を使用するときのラインデータ数を指定する。例
えば、主スキャナ６のライン位置を２５６、ライン平均
数が１０とすれば、（０，２５１）〜（５１１，２５
１）のラインデータから（０，２６０）〜（５１１，２
６０）のラインデータまでの合計１０本のラインデータ
の各画素の平均値を線幅測定工程で使用する。In order to reduce the influence of noise components and the like generated in the A / D conversion circuit and the like, the line average is obtained when an average value of a plurality of line data parallel to the scanning directions of the scanners 6 and 7 is used. Specify the number of line data. For example, if the line position of the main scanner 6 is 256 and the average number of lines is 10, (0,251) to (511,25)
From the line data of (1), (0,260) to (511,2)
The average value of each pixel of a total of 10 line data up to the line data of 60) is used in the line width measuring step.
【００６３】しきい値は、ラインデータの最大値と最小
値とを正規化したときの最小値を０とした百分率の値と
する。例えば、しきい値を３０％とすると、図６に示す
しきい値３０％となる。The threshold value is a percentage value where the minimum value obtained by normalizing the maximum value and the minimum value of the line data is 0. For example, assuming that the threshold is 30%, the threshold is 30% shown in FIG.
【００６４】調整対象範囲は、スキャナ６、７の走査方
向に平行な画像のサイズに対する範囲を百分率で示した
値である。例えば、調整対象範囲を８０％とすると、図
６に示す調整対象範囲８０％となる。The range to be adjusted is a value indicating the range with respect to the size of the image parallel to the scanning direction of the scanners 6 and 7 as a percentage. For example, if the adjustment target range is 80%, the adjustment target range shown in FIG. 6 is 80%.
【００６５】以上のような測定条件の設定を行った後、
線幅測定を行う。図４に示す線幅測定手順に従って説明
する。After setting the measurement conditions as described above,
Perform line width measurement. The description will be given according to the line width measurement procedure shown in FIG.
【００６６】先ず、ステップ＃５０において、エッジの
検出位置をラインプロファイルの元となるラインデータ
の左端にし、エッジカウンタを０に初期化し、前回の検
出位置をラインデータの左端にする。First, in step # 50, the edge detection position is set to the left end of the line data as the source of the line profile, the edge counter is initialized to 0, and the previous detection position is set to the left end of the line data.
【００６７】次に、ステップ＃５１において、現在の検
出位置から右側に一番近いしきい値との交点、すなわち
エッジ位置を検索する。Next, in step # 51, an intersection with the threshold value closest to the right from the current detection position, that is, an edge position is searched.
【００６８】次に、ステップ＃５２において、検索した
エッジが上向きか、すなわちラインプロファイルの傾き
が増加しているか否かを判断する。Next, in step # 52, it is determined whether the searched edge is upward, that is, whether the inclination of the line profile is increasing.
【００６９】この判断の結果、検出したエッジが上向き
であれば、ステップ＃５３に移り、その検出位置が図６
に示す調整対象範囲内にあるか否かを判断する。If the result of this determination is that the detected edge is upward, the flow moves to step # 53, and the detected position is
It is determined whether it is within the adjustment target range shown in FIG.
【００７０】この判断の結果、検出位置が調整対象範囲
内にあれば、ステップ＃５４に移り、前回の検出位置が
調整対象範囲にあるか否かを判断する。この判断の結
果、前回の検出位置が調整対象範囲にあれば、ステップ
＃５５に移り、エッジカウンタを１つ増加する。If the result of this determination is that the detected position is within the range to be adjusted, the process proceeds to step # 54, where it is determined whether the previous detected position is within the range to be adjusted. If the result of this determination is that the previous detection position is within the adjustment target range, the flow proceeds to step # 55, and the edge counter is incremented by one.
【００７１】次に、ステップ＃５７において、次回の検
出開始位置をエッジ検出位置にする。そして、次回の検
出開始位置をエッジの検出位置とする。Next, in step # 57, the next detection start position is set as the edge detection position. Then, the next detection start position is set as the edge detection position.
【００７２】上記ステップ＃５２での判断の結果、検出
したエッジが上向きでなければ、ステップ＃５７に移っ
て次回の検出開始位置をエッジ検出位置とする。If the result of determination in step # 52 is that the detected edge is not upward, the flow moves to step # 57 and the next detection start position is set as the edge detection position.
【００７３】又、上記ステップ＃５３での判断の結果、
検出位置が調整対象範囲内になければ、ステップ＃５８
に移り、前回の検出位置が調整対象範囲にあるか否かを
判断する。この判断の結果、前回の検出位置が調整対象
範囲にあれば、ステップ＃５９に移り、調整対象範囲の
右端を下記の式（２）により算出し、上記ステップ＃５
７に移って次回の検出開始位置をエッジ検出位置とす
る。Also, as a result of the determination in step # 53,
If the detected position is not within the range to be adjusted, step # 58
Then, it is determined whether or not the previous detection position is within the adjustment target range. If the result of this determination is that the previous detection position is within the adjustment target range, the process proceeds to step # 59, where the right end of the adjustment target range is calculated by the following equation (2), and the above-described step # 5 is performed.
7 and the next detection start position is set as the edge detection position.
【００７４】 右端の端数＝（前回の検出位置−調整対象範囲の右端位置） ÷（今回の検出位置−前回の検出位置） …（２） このステップ＃５８での判断の結果、前回の検出位置が
調整対象範囲になければ、上記ステップ＃５７に移って
次回の検出開始位置をエッジ検出位置とする。Right end fraction = (previous detection position−right end position of adjustment target range) ÷ (current detection position−previous detection position) (2) As a result of the determination in step # 58, the previous detection position If is not within the adjustment target range, the process proceeds to step # 57 and the next detection start position is set as the edge detection position.
【００７５】又、上記ステップ＃５４での判断の結果、
前回の検出位置が調整対象範囲になければ、ステップ＃
５６に移り、調整対象範囲の左端を下記の式（３）によ
り算出し、上記ステップ＃５７に移って次回の検出開始
位置をエッジ検出位置とする。Also, as a result of the determination in step # 54,
If the previous detection position is not within the adjustment target range, step #
The process proceeds to 56, where the left end of the adjustment target range is calculated by the following equation (3), and the process proceeds to step # 57 to set the next detection start position as the edge detection position.
【００７６】 左端の端数＝（調整対象範囲の左端位置−前回の検出位置） ÷（今回の検出位置−前回の検出位置） …（３） 次に、ステップ＃６０において、検出開始位置がライン
データの右端であるか否かを判断し、この判断の結果、
ラインデータの右端であれば、ステップ＃６１に移って
エッジカウンタと右端の端数と左端の端数との合計を算
出する。The fraction of the left end = (the left end position of the adjustment target range−the previous detection position) ÷ (the current detection position−the previous detection position) (3) Next, in step # 60, the detection start position is set to the line data. Is determined to be the right end of the
If it is the right end of the line data, the process proceeds to step # 61 to calculate the sum of the edge counter, the right end fraction, and the left end fraction.
【００７７】次に、ステップ＃６１において、調整対象
範囲と画像サイズとの関係から測定値（スケール数）を
算出する。Next, in step # 61, a measured value (scale number) is calculated from the relationship between the adjustment target range and the image size.
【００７８】上記ステップ＃６０での判断の結果、検出
開始位置がラインデータの右端でなければ、再びステッ
プ＃５１に戻る。If the result of determination in step # 60 is that the detection start position is not the right end of the line data, the flow returns to step # 51.
【００７９】次に、図３に示す主スキャナの調整手順に
戻る。Next, the procedure returns to the procedure for adjusting the main scanner shown in FIG.
【００８０】制御回路３０は、ステップ＃３５におい
て、上記測定値（スケール数）が許容誤差を含んだ調整
目標値になったか否かを判断する。例えば、最低拡大倍
率の測定目標値が２００で、許容誤差が画像全体に対し
て５％とすると、各拡大倍率の調整目標値と許容誤差の
範囲は、図８に示す関係となる。例えば、拡大倍率１．
０では、許容誤差を含んだ測定目標値は、２４０．０±
１２．０となる。In step # 35, the control circuit 30 determines whether or not the measured value (scale number) has reached an adjustment target value including an allowable error. For example, if the measurement target value of the minimum magnification is 200 and the permissible error is 5% of the entire image, the adjustment target value of each magnification and the range of the permissible error have the relationship shown in FIG. For example, 1.times.
At 0, the measurement target value including the tolerance is 240.0 ±
12.0.
【００８１】次に、この判断の結果、上記測定値（スケ
ール数）が許容誤差を含んだ調整目標値になっていれ
ば、ステップ＃３６に移って現在の駆動電圧値を駆動電
圧格納メモリ１８に格納する。Next, as a result of this judgment, if the measured value (the number of scales) has reached the adjustment target value including the allowable error, the flow proceeds to step # 36 to store the current drive voltage value in the drive voltage storage memory 18. To be stored.
【００８２】次に、ステップ＃３７において、現在の拡
大倍率が設定可能な最高倍率であるか否かを判断し、最
高倍率であれば、作業を終了する。最高倍率でなけれ
ば、ステップ＃３８に移って拡大倍率の変更可能な最小
単位だけ拡大倍率を大きくして再びステップ＃３１に戻
る。Next, in step # 37, it is determined whether or not the current enlargement magnification is the maximum settable magnification. If it is the maximum magnification, the operation is terminated. If the magnification is not the highest, the process proceeds to step # 38, where the magnification is increased by the minimum unit in which the magnification can be changed, and the process returns to step # 31.
【００８３】上記ステップ＃３５での判断の結果、上記
測定値（スケール数）が許容誤差を含んだ調整目標値で
なければ、ステップ＃３９に移って許容誤差を含んだ測
定目標値と測定値との大小関係を判断し、この判断の結
果、測定値が許容誤差を含んだ測定目標値よりも大きけ
れば、ステップ＃４０に移って駆動電圧値の検索下限値
を現在の電圧値に変更する。又、測定値が許容誤差を含
んだ測定目標値よりも小さければ、ステップ＃４１に移
って駆動電圧値の検索上限値を現在の電圧値に変更す
る。If the result of determination in step # 35 is that the measured value (scale number) is not an adjustment target value including an allowable error, the process proceeds to step # 39, where the measured target value including the allowable error and the measured value are compared. If the measured value is larger than the measurement target value including the allowable error, the process proceeds to step # 40 to change the lower limit of the search for the driving voltage value to the current voltage value. . On the other hand, if the measured value is smaller than the measurement target value including the allowable error, the process proceeds to step # 41, and the search upper limit value of the drive voltage value is changed to the current voltage value.
【００８４】次に、ステップ＃４２において、駆動する
電圧値を現在の探索上限値と探索下限値との中間の値を
駆動電圧格納メモリ１８に格納し、再びステップ＃３４
に戻る。Next, in step # 42, the drive voltage value is stored in the drive voltage storage memory 18 at an intermediate value between the current search upper limit value and the current search lower limit value.
Return to
【００８５】そして、試料１１ａ上にレーザ光を走査し
てこの試料１１ａからの反射光を光検出器１３で検出
し、この光検出器１３から出力されるアナログ画像信号
を画像制御ユニット１６に送る。この画像制御ユニット
１６において、光検出器１３からのアナログ画像信号を
デジタル化してその画像データを画像メモリ２１に記憶
し、この画像メモリ２１に記憶された画像データ、すな
わち図２１に示すようなスケールの画像を表示部２２に
表示する。Then, a laser beam is scanned over the sample 11a, the reflected light from the sample 11a is detected by the photodetector 13, and an analog image signal output from the photodetector 13 is sent to the image control unit 16. . In the image control unit 16, the analog image signal from the photodetector 13 is digitized, and the image data is stored in the image memory 21. The image data stored in the image memory 21, that is, the scale as shown in FIG. Is displayed on the display unit 22.
【００８６】以上で主スキャナ６の調整を終了する。Thus, the adjustment of the main scanner 6 is completed.
【００８７】次に、上記図２に示す走査型光学顕微鏡の
スキャナの全体の調整手順に戻る。Next, the procedure returns to the overall adjustment procedure of the scanner of the scanning optical microscope shown in FIG.
【００８８】先ず、ステップ＃２３において、試料１１
ａの表面のスケールが表示部２２に表示される画像で確
認できるようにステージ１０を図示しない昇降機構によ
り上下動させて合焦（ピントを合わせる）させる。First, in step # 23, the sample 11
The stage 10 is moved up and down by an elevating mechanism (not shown) so that the scale on the surface of “a” can be confirmed on the image displayed on the display unit 22 to focus (focus).
【００８９】次に、ステップ＃２４において、試料１１
ａは、上記図２２に示すような画像が得られるように、
スキャナ７の副走査方向に合わせる。Next, in step # 24, the sample 11
a is such that an image as shown in FIG.
It is adjusted to the sub-scanning direction of the scanner 7.
【００９０】次に、ステップ＃２５において、副スキャ
ナ７の調整が行われる。この副スキャナ７の調整は、主
スキャナの調整手順と同様に行われる。但し、表示部２
２には、上記図２２に示すような試料１１ａのスケール
の画像が表示されると共に、この画像の中央の走査方向
に平行なラインの画像情報に対して図９に示すようなラ
インプロファイルが表示されるところが相違する。Next, in step # 25, the sub-scanner 7 is adjusted. The adjustment of the sub-scanner 7 is performed in the same manner as the adjustment procedure of the main scanner. However, the display unit 2
2, a scale image of the sample 11a as shown in FIG. 22 is displayed, and a line profile as shown in FIG. 9 is displayed for image information of a line parallel to the scanning direction at the center of the image. What is done is different.
【００９１】このように上記第１の実施の形態において
は、一定間隔のスケールが形成された試料１１ａを用
い、この試料１１ａに対してレーザ光を走査して取得さ
れた画像データにおけるスケール数（スケールの測定
値）に基づいて二次元走査制御ユニット１５の駆動電圧
格納メモリ１８に格納する複数の拡大倍率に対応する各
走査駆動電圧の調整、すなわち試料１１ａに対するレー
ザ光の主走査方向に対する複数の拡大倍率に対応する各
走査駆動電圧の調整と、レーザ光の副走査方向に対する
複数の拡大倍率に対応する各走査駆動電圧の調整とを顕
微鏡制御ユニット１７の制御回路３０により自動的に行
うので、各スキャナ６、７の各駆動電圧値の調整（振り
幅調整）を行うに当たって、その作業者が行っていた殆
どの作業を自動的に行うことができ、作業を簡易化して
作業者に対する負担を軽減でき、調整結果を作業者によ
らず一定で、かつ調整による精度についても作業者の熟
練度によらず常に高い精度の調整を容易に行うことがで
きる。As described above, in the first embodiment, the sample 11a having scales formed at regular intervals is used, and the number of scales in image data obtained by scanning the sample 11a with laser light ( Adjustment of each scan drive voltage corresponding to a plurality of magnifications stored in the drive voltage storage memory 18 of the two-dimensional scan control unit 15 based on the measured value of the scale), that is, a plurality of scan drive voltages in the main scanning direction of the laser beam on the sample 11a Since the adjustment of each scanning drive voltage corresponding to the magnification and the adjustment of each scanning drive voltage corresponding to a plurality of magnifications in the sub-scanning direction of the laser beam are automatically performed by the control circuit 30 of the microscope control unit 17, In adjusting each drive voltage value of each of the scanners 6 and 7 (adjustment of the swing width), most of the operations performed by the operator are automatically performed. The work can be simplified and the burden on the operator can be reduced, the adjustment result is constant regardless of the operator, and the accuracy of the adjustment can be easily adjusted regardless of the skill of the operator. It can be carried out.
【００９２】なお、上記第１の実施の形態は、次の通り
変形してもよい。The first embodiment may be modified as follows.
【００９３】例えば、主及び副スキャナ６、７の駆動電
圧値の自動調整工程において、調整目標値の検出方法と
してバイナリサーチを例として説明したが、その他に、
線形サーチや２回以上の線幅の測定結果から調整目標値
を推定する方法など、測定値を調整目標値に一致させる
方法であればよい。For example, in the automatic adjustment process of the drive voltage values of the main and sub-scanners 6 and 7, a binary search has been described as an example of a method of detecting an adjustment target value.
Any method may be used as long as the measured value matches the adjustment target value, such as a linear search or a method of estimating the adjustment target value from the measurement results of two or more line widths.
【００９４】又、線幅測定工程においても、例えばエッ
ジのカウント方法が下エッジをカウントしたり、上エッ
ジと下エッジとがペアになったものをカウントするな
ど、画像上のラインパターンを自動的に測定する公知な
方法でもよい。Also, in the line width measuring step, a line pattern on an image is automatically determined by, for example, counting the lower edge or counting a pair of an upper edge and a lower edge. A well-known method for measurement may be used.
【００９５】（２）次に、本発明の第２の実施の形態に
ついて説明する。(2) Next, a second embodiment of the present invention will be described.
【００９６】本発明の第２の実施の形態は、上記第１の
実施の形態における副スキャナ７の調整作業に先立て行
われる上記図２に示すステップ＃２３及び＃２４を省略
するものである。In the second embodiment of the present invention, steps # 23 and # 24 shown in FIG. 2 and performed prior to the adjustment work of the sub-scanner 7 in the first embodiment are omitted. .
【００９７】これらステップ＃２３及び＃２４を省略す
るために、試料１１ａとしては、図１０に示すようにそ
の表面にレーザ光の主走査方向と副走査方向とにそれぞ
れ平行な各スケールが形成されている。これらスケール
は、例えば１μｍピッチに形成されている。In order to omit these steps # 23 and # 24, the sample 11a has scales formed on the surface thereof in parallel with the main scanning direction and the sub-scanning direction of the laser beam as shown in FIG. ing. These scales are formed, for example, at a pitch of 1 μm.
【００９８】このような試料１１ａを用いれば、上記図
２に示すステップ＃２０において、当該試料１１ａの表
面の各スケールが表示部２２に表示される画像で確認で
きるようにステージ１０を図示しない昇降機構により上
下動させて合焦（ピントを合わせる）させ、次のステッ
プ＃２１において、試料１１ａを上記図２１に示すよう
な画像が得られるようにスキャナ６の主走査方向に合わ
せることにより、副スキャナ７の調整では、副スキャナ
７の調整作業に先立て行われる上記図２に示すステップ
＃２３及び＃２４を省略できる。When such a sample 11a is used, in step # 20 shown in FIG. 2, the stage 10 is moved up and down (not shown) so that each scale on the surface of the sample 11a can be confirmed on an image displayed on the display unit 22. In the next step # 21, the sample 11a is moved in the main scanning direction of the scanner 6 so as to obtain an image as shown in FIG. In the adjustment of the scanner 7, the steps # 23 and # 24 shown in FIG. 2, which are performed prior to the adjustment work of the sub-scanner 7, can be omitted.
【００９９】なお、走査型光学顕微鏡の構成、スキャナ
６、７の調整手順については上記第１の実施の形態と同
様であるのでその説明は省略する。Since the configuration of the scanning optical microscope and the procedure for adjusting the scanners 6 and 7 are the same as those in the first embodiment, their description will be omitted.
【０１００】（３）次に、本発明の第３の実施の形態に
ついて説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。本発明の第３の実施
の形態は、上記第１の実施の形態における主スキャナ６
及び副スキャナ７の調整作業に先立て作業者が行う図２
に示すステップ＃２０とステップ＃２３との各作業を自
動的に処理するようにしたものである。(3) Next, a third embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. The third embodiment of the present invention relates to the main scanner 6 according to the first embodiment.
FIG. 2 performed by a worker prior to the adjustment work of the sub-scanner 7
Are automatically processed in steps # 20 and # 23.
【０１０１】図１１は走査型光学顕微鏡の構成図であ
る。ハーフミラー４と集光レンズ１２との間の光路上に
は、像回転機構４０が設けられている。この像回転機構
４０は、試料１１ａに対してレーザ光を走査して取得さ
れる試料１１ａの像を光学的に回転させて主走査方向又
は副走査方向に補正し合わせる機能を有している。FIG. 11 is a configuration diagram of a scanning optical microscope. An image rotation mechanism 40 is provided on an optical path between the half mirror 4 and the condenser lens 12. The image rotating mechanism 40 has a function of optically rotating an image of the sample 11a obtained by scanning the sample 11a with a laser beam and correcting the image in the main scanning direction or the sub-scanning direction.
【０１０２】この像回転機構４０は、顕微鏡制御ユニッ
ト１７の制御回路３０から回転駆動回路４１に対して指
示を与えることにより所望の角度だけ試料１１ａの像を
回転制御するものとなっている。すなわち、制御回路３
０は、回転駆動回路４１を介して像回転光学系４４を制
御し、ラインパターンなどの測定対象パターンに対して
角度補正する機能を有している。The image rotation mechanism 40 controls the rotation of the image of the sample 11a by a desired angle by giving an instruction from the control circuit 30 of the microscope control unit 17 to the rotation drive circuit 41. That is, the control circuit 3
Numeral 0 has a function of controlling the image rotation optical system 44 via the rotation drive circuit 41 and correcting the angle of a measurement target pattern such as a line pattern.
【０１０３】図１２は像回転機構４０の構成図である。
この像回転機構４０は、リレーレンズ４２、コリレーシ
ョンレンズ４３、像回転光学系４４及び補正リレーレン
ズ４５を配列した構成となっている。FIG. 12 is a configuration diagram of the image rotation mechanism 40.
The image rotation mechanism 40 has a configuration in which a relay lens 42, a correlation lens 43, an image rotation optical system 44, and a correction relay lens 45 are arranged.
【０１０４】従って、この像回転機構４０は、リレーレ
ンズ４２から出射した試料１１ａからの反射光をコリレ
ーションレンズ４３によりコリレートして像回転光学系
４４に入射する。この像回転光学系４４は、当該光学系
４４を透過する透過光束像を点対称に１回転させるプリ
ズムを含んでおり、そのプリズムと共に光軸を中心とし
て回転できるようになっている。そして、この像回転光
学系４４の透過光束像を補正リレーレンズ４５により投
影レンズ１２に対する焦点補正を行って当該投影レンズ
１２に導く。Therefore, the image rotation mechanism 40 correlates the reflected light from the sample 11 a emitted from the relay lens 42 by the correlation lens 43 and enters the image rotation optical system 44. The image rotation optical system 44 includes a prism for rotating the transmitted light flux image passing through the optical system 44 once symmetrically with respect to a point, and can rotate about the optical axis together with the prism. Then, the transmitted light flux image of the image rotation optical system 44 is subjected to focus correction for the projection lens 12 by the correction relay lens 45 and is guided to the projection lens 12.
【０１０５】ここで、測定対象パターンの像回転前後の
幅測定値と像回転量とから走査線方向と平行線との交差
角すなわち測定対象パターンＰの傾きを検出する原理に
ついて図１３を参照して説明する。Here, the principle of detecting the crossing angle between the scanning line direction and the parallel line, that is, the inclination of the pattern P to be measured, from the width measurement value before and after image rotation of the pattern to be measured and the amount of image rotation will be described with reference to FIG. Will be explained.
【０１０６】同図１３に示すように垂直方向の走査線に
対して所定の角度θ（θが測定対象となる）で傾いてい
る測定対象パターンＰに対して水平方向の走査線と交差
する両端のエッジの間隔を幅Ｗ１、測定対象パターンＰ
のある角度Ｔで像回転した後の測定対象パターンＰ’に
ついて水平方向の走査線と交差する両端のエッジの間隔
を幅Ｗ２とし、像回転前の測定対象パターンＰについて
傾き角度θを求める。なお、測定対象パターンＰと直交
するラインと交差する両端のエッジの間隔をＷとする。
最終的には、当該間隔Ｗを測定値として出力する。As shown in FIG. 13, both ends crossing the horizontal scanning line with respect to the pattern P to be measured inclined at a predetermined angle θ (θ is the measurement target) with respect to the vertical scanning line. Is set to the width W 1 and the pattern P to be measured.
Of an angle T intervals across the edges that intersect with the horizontal scanning lines for measured pattern P 'after the image rotation and the width W 2, the determining the angle θ tilt measurement object pattern P before image rotation. In addition, let W be the interval between the edges at both ends that intersect the line orthogonal to the pattern P to be measured.
Finally, the interval W is output as a measured value.
【０１０７】幅Ｗ１とＷ２とは、 Ｗ１＝Ｗ／ｃｏｓθ …（４） Ｗ２＝Ｗ／ｃｏｓ（θ＋Ｔ） …（５） により表わされる。The widths W 1 and W 2 are represented by W 1 = W / cos θ (4) W 2 = W / cos (θ + T) (5)
【０１０８】これら式（４）及び（５）を幅Ｗの形の式
に変形して等式をまとめ、ｃｏｓ（θ＋Ｔ）を加法定理
によって分解すると、 Ｗ１×ｃｏｓθ＝Ｗ２×（ｃｏｓθ×ｃｏｓＴ−ｓｉｎθ×ｓｉｎＴ） …（６） となる。ｃｏｓθ、ｓｉｎθを左式にまとめると、
Ｗ２、ｓｉｎＴは０でないことから、 ｓｉｎθ／ｃｏｓθ＝（Ｗ２×ｃｏｓＴ−Ｗ１）／（Ｗ２×ｓｉｎＴ） …（７） 故に ｔａｎθ＝（Ｗ２×ｃｏｓＴ−Ｗ１）／（Ｗ２×ｓｉｎＴ） …（８） となる。上記式（８）の右辺より明らかなように幅
Ｗ１、Ｗ２、角度Ｔから像回転前の測定対象パターンＰ
について傾き角度θが求められる。By transforming these equations (4) and (5) into equations of the form of width W to summarize equations and decomposing cos (θ + T) by the addition theorem, W 1 × cos θ = W 2 × (cos θ × cosT−sin θ × sinT) (6) When cos θ and sin θ are summarized in the left formula,
W 2, Sint from not a 0, sinθ / cosθ = (W 2 × cosT-W 1) / (W 2 × sinT) ... (7) thus tanθ = (W 2 × cosT- W 1) / (W 2 × sinT) (8) As is clear from the right side of the above equation (8), the pattern P to be measured before the image rotation is obtained from the widths W 1 , W 2 and the angle T.
Is obtained for the inclination angle θ.
【０１０９】又、一般的に任意の２直線の交差点θａ
は、−９０°＜θａ＜＋９０°で求めることができるの
で、これら２直線を測定対象パターンＰのエッジと走査
線とにすれば、ｔａｎθは、−９０°＜θａ＜＋９０°
で１つの解を持つことにより一つの傾き角度θを求める
ことができる。Also, generally, the intersection θa of any two straight lines
Can be obtained by -90 ° <θa <+ 90 °. If these two straight lines are defined as the edge of the pattern P to be measured and the scanning line, tan θ becomes −90 ° <θa <+ 90 °.
By having one solution, one inclination angle θ can be obtained.
【０１１０】しかるに、制御回路３０は、以上の手順を
実行する機能を有するものとなる。この制御回路３０
は、上記図２に示すステップ＃２１において、回転駆動
回路４１に対して試料１１ａへのレーザ光の走査方向を
主走査方向に制御する指示を与える。この指示により像
回転機構４０は、試料１１ａに対してレーザ光を走査し
て取得される試料１１ａの像を光学的に回転させ、レー
ザ光の走査方向を主走査方向に補正し合わせる。However, the control circuit 30 has a function of executing the above procedure. This control circuit 30
Gives an instruction to the rotation drive circuit 41 to control the scanning direction of the laser beam on the sample 11a in the main scanning direction in step # 21 shown in FIG. In response to this instruction, the image rotation mechanism 40 optically rotates the image of the sample 11a obtained by scanning the sample 11a with laser light, and corrects the scanning direction of the laser light in the main scanning direction.
【０１１１】又、制御回路３０は、上記図２に示すステ
ップ＃２４において、回転駆動回路４１に対して試料１
１ａへのレーザ光の走査方向を副走査方向に制御する指
示を与える。この指示により像回転機構４０は、試料１
１ａに対してレーザ光を走査して取得される試料１１ａ
の像を光学的に回転させ、レーザ光の走査方向を副走査
方向に補正し合わせる。The control circuit 30 sends the sample 1 to the rotation drive circuit 41 in step # 24 shown in FIG.
An instruction to control the scanning direction of the laser beam to 1a in the sub-scanning direction is given. By this instruction, the image rotating mechanism 40 moves the sample 1
Sample 11a obtained by scanning laser beam with respect to 1a
Is optically rotated to correct the scanning direction of the laser beam in the sub-scanning direction.
【０１１２】なお、走査型光学顕微鏡の構成、スキャナ
６、７の調整手順については上記第１の実施の形態と同
様であるのでその説明は省略する。Since the configuration of the scanning optical microscope and the procedure for adjusting the scanners 6 and 7 are the same as those in the first embodiment, the description thereof will be omitted.
【０１１３】このように上記第３の実施の形態によれ
ば、主スキャナ６又は副スキャナ７の各調整作業に先立
て作業者がそれぞれ行う試料１１ａの向きを主走査方向
又は副走査方向へ補正し合わせる作業を省略し自動的に
主スキャナ又は副スキャナの調整作業ができる。As described above, according to the third embodiment, the orientation of the sample 11a, which is performed by the operator prior to each adjustment operation of the main scanner 6 or the sub-scanner 7, is corrected in the main scanning direction or the sub-scanning direction. The adjustment work of the main scanner or the sub-scanner can be automatically performed by omitting the joining operation.
【０１１４】（４）次に、本発明の第４の実施の形態に
ついて説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。本発明の第４の実施
の形態は、上記第１の実施の形態における主スキャナ６
及び副スキャナ７の調整作業に先立て作業者が行う図２
に示すステップ＃２０、＃２１とステップ＃２３、＃２
４との各作業を自動的に処理するようにしたものであ
る。(4) Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. The fourth embodiment of the present invention relates to the main scanner 6 according to the first embodiment.
FIG. 2 performed by a worker prior to the adjustment work of the sub-scanner 7
Steps # 20 and # 21 and steps # 23 and # 2 shown in
4 is automatically processed.
【０１１５】すなわち、本発明の第４の実施の形態は、
上記第３の実施の形態において表面にレーザ光の主走査
方向と副走査方向とにそれぞれ平行な例えば１μｍピッ
チの各スケールが形成された図１０に示す試料１１ａを
用いることである。That is, the fourth embodiment of the present invention provides:
In the third embodiment, a sample 11a shown in FIG. 10 having scales of, for example, 1 μm pitch parallel to the main scanning direction and the sub-scanning direction of the laser beam is formed on the surface.
【０１１６】この試料１１ａを用いれば、上記図２に示
すステップ＃２１において、試料１１ａを上記図２１に
示すような画像が得られるようにスキャナ６の主走査方
向に合わせることにより、副スキャナ７の調整では、副
スキャナ７の調整作業に先立て行われる上記図２に示す
ステップ＃２３及び＃２４を省略できる。When this sample 11a is used, in step # 21 shown in FIG. 2, the sample 11a is aligned with the main scanning direction of the scanner 6 so that an image as shown in FIG. In the adjustment of (1), steps # 23 and # 24 shown in FIG. 2 and performed before the adjustment operation of the sub-scanner 7 can be omitted.
【０１１７】なお、走査型光学顕微鏡の構成、スキャナ
６、７の調整手順については上記第１の実施の形態と同
様であるのでその説明は省略する。Since the configuration of the scanning optical microscope and the procedure for adjusting the scanners 6 and 7 are the same as those in the first embodiment, the description thereof will be omitted.
【０１１８】（５）次に、本発明の第５の実施の形態に
ついて説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。(5) Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【０１１９】本発明の第５の実施の形態は、上記第１の
実施の形態に対して駆動電圧格納メモリ１８が図１４に
示すように各拡大倍率に対する各駆動電圧値が全ての対
物レンズ（例えば対物１、対物２、…、対物Ｎ）９ごと
に全て持つこと、統制工程を全ての対物レンズ９に対し
て行うことで、対物レンズ９間の拡大倍率誤差を含めて
調整を行うものである。The fifth embodiment of the present invention is different from the first embodiment in that the drive voltage storage memory 18 is different from the first embodiment in that each drive voltage value for each magnification is equal to that of all objective lenses (FIG. 14). For example, the objective 1, the objective 2,..., The objective N) are all provided, and the control process is performed on all the objective lenses 9, so that the adjustment including the magnification error between the objective lenses 9 is performed. is there.
【０１２０】次に、倍率調整方法について図１５に示す
走査型光学顕微鏡のスキャナ６、７の全体の調整手順に
従って説明する。Next, the magnification adjustment method will be described in accordance with the overall adjustment procedure of the scanners 6 and 7 of the scanning optical microscope shown in FIG.
【０１２１】先ず、ステップ＃７０において、レボルバ
８に取り付けられている各対物レンズ９のうち例えば対
物レンズ（対物１）９が光軸上にセットされる。First, in step # 70, for example, the objective lens (object 1) 9 among the objective lenses 9 attached to the revolver 8 is set on the optical axis.
【０１２２】次に、ステップ＃２０において、試料１１
ａの表面のスケールが表示部２２に表示される画像で確
認できるようにステージ１０を図示しない昇降機構によ
り上下動させて合焦（ピントを合わせる）させる。Next, in step # 20, the sample 11
The stage 10 is moved up and down by an elevating mechanism (not shown) so that the scale on the surface of “a” can be confirmed on the image displayed on the display unit 22 to focus (focus).
【０１２３】次に、ステップ＃２１において、試料１１
ａは、上記図２１に示すような画像が得られるように、
スキャナ６の主走査方向に合わせる。Next, in step # 21, the sample 11
a is such that an image as shown in FIG.
It is adjusted to the main scanning direction of the scanner 6.
【０１２４】次に、ステップ＃２２において、主スキャ
ナ６の調整が行われる。この主スキャナ６の調整は、上
記図３に示す主スキャナの調整手順に従って行われる。
この主スキャナの調整手順により対物レンズ（対物１）
９をセットしたときの各拡大倍率（１．０〜６．０倍）
に対する主スキャナ６の各駆動電圧値が駆動電圧格納メ
モリ１８に格納される。Next, in step # 22, adjustment of the main scanner 6 is performed. The adjustment of the main scanner 6 is performed according to the adjustment procedure of the main scanner shown in FIG.
Objective lens (Object 1)
Each magnification when 9 is set (1.0 to 6.0 times)
Are stored in the drive voltage storage memory 18.
【０１２５】主スキャナ６の調整が終了すると、ステッ
プ＃２３において、試料１１ａの表面のスケールが表示
部２２に表示される画像で確認できるようにステージ１
０を図示しない昇降機構により上下動させて合焦（ピン
トを合わせる）させる。When the adjustment of the main scanner 6 is completed, at step # 23, the stage 1 is moved so that the scale of the surface of the sample 11a can be confirmed on the image displayed on the display unit 22.
0 is moved up and down by an elevating mechanism (not shown) to focus (focus).
【０１２６】次に、ステップ＃２１において、試料１１
ａは、上記図２１に示すような画像が得られるように、
副スキャナ７の副走査方向に合わせる。Next, in step # 21, the sample 11
a is such that an image as shown in FIG.
It is adjusted in the sub-scanning direction of the sub-scanner 7.
【０１２７】次に、ステップ＃２２において、副スキャ
ナ７の調整が行われる。この副スキャナ７の調整により
対物レンズ（対物１）９をセットしたときの各拡大倍率
（１．０〜６．０倍）に対する副スキャナ７の各駆動電
圧値が駆動電圧格納メモリ１８に格納される。Next, in step # 22, the adjustment of the sub-scanner 7 is performed. Each drive voltage value of the sub-scanner 7 with respect to each magnification (1.0 to 6.0 times) when the objective lens (object 1) 9 is set by the adjustment of the sub-scanner 7 is stored in the drive voltage storage memory 18. You.
【０１２８】以上のように対物レンズ（対物１）９に対
する主スキャナ６及び副スキャナ７の各調整が終了する
と、ステップ＃７１において全ての対物レンズ（例えば
対物１、対物２、…、対物Ｎ）９に対する調整が終了し
たか否かの判断が行われ、この判断の結果、全ての対物
レンズ（例えば対物１、対物２、…、対物Ｎ）９に対す
る調整が終了していなければ、再びステップ＃７０に戻
り、レボルバ８に取り付けられている各対物レンズ９の
うち例えば対物レンズ（対物２）９が光軸上にセットさ
れる。When the adjustment of the main scanner 6 and the sub-scanner 7 with respect to the objective lens (object 1) 9 is completed as described above, all the objective lenses (for example, objective 1, objective 2,..., Objective N) are set in step # 71. It is determined whether or not the adjustment for the objective lens 9 has been completed. If the result of this determination is that adjustment for all the objective lenses (for example, the objective 1, the objective 2,..., The objective N) 9 has not been completed, step # is performed again. Returning to 70, of the objective lenses 9 attached to the revolver 8, for example, the objective lens (object 2) 9 is set on the optical axis.
【０１２９】そして、上記同様に対物レンズ（対物２）
９に対する主スキャナ６と副スキャナ７との各調整が行
われ、これら主スキャナ６と副スキャナ７との調整によ
り対物レンズ（対物２）９をセットしたときの各拡大倍
率（１．０〜６．０倍）に対する主スキャナ６と副スキ
ャナ７との各駆動電圧値がそれぞれ駆動電圧格納メモリ
１８に格納される。Then, similarly to the above, the objective lens (object 2)
The adjustment of the main scanner 6 and the sub-scanner 7 is performed on the main lens 9 and the respective magnifications (1.0 to 6) when the objective lens (object 2) 9 is set by the adjustment of the main scanner 6 and the sub-scanner 7. The drive voltage values of the main scanner 6 and the sub-scanner 7 are stored in the drive voltage storage memory 18, respectively.
【０１３０】以下同様に、対物レンズ（対物３、…、対
物Ｎ）９に対する主スキャナ６と副スキャナ７との各調
整が行われ、これら主スキャナ６と副スキャナ７との調
整により対物レンズ（対物３、…、対物Ｎ）９をセット
したときの各拡大倍率（１．０〜６．０倍）に対する主
スキャナ６と副スキャナ７との各駆動電圧値がそれぞれ
駆動電圧格納メモリ１８に格納される。Similarly, adjustments of the main scanner 6 and the sub-scanner 7 with respect to the objective lens (object 3,..., The objective N) 9 are performed. The driving voltage values of the main scanner 6 and the sub-scanner 7 for each magnification (1.0 to 6.0 times) when the objective 3,..., The objective N) 9 are set are stored in the driving voltage storage memory 18, respectively. Is done.
【０１３１】このように上記第５の実施の形態によれ
ば、全ての対物レンズ（対物１、対物２、…、対物Ｎ）
９ごとに各スキャナ６、７の各駆動電圧値の調整を作業
者によらず一定で、かつ調整による精度についても作業
者の熟練度によらず常に高い精度の調整を容易に行うこ
とができる。As described above, according to the fifth embodiment, all the objective lenses (the objective 1, the objective 2,..., The objective N)
The adjustment of the drive voltage values of the scanners 6 and 7 for each of the scanners 9 is constant regardless of the operator, and the accuracy of the adjustment can always be easily adjusted regardless of the skill of the operator. .
【０１３２】なお、上記第５の実施の形態は、上記第１
の実施の形態に対して駆動電圧格納メモリ１８に上記図
１４に示すような各拡大倍率に対する各駆動電圧値を全
ての対物レンズ（例えば対物１、対物２、…、対物Ｎ）
９ごとに持ち、統制工程を全ての対物レンズ９に対して
行うことで、対物レンズ９間の拡大倍率誤差を含めて調
整を行うものとしたが、上記第２乃至４の実施の形態に
対しても同様に、駆動電圧格納メモリ１８に上記図１４
に示すような各拡大倍率に対する各駆動電圧値を全ての
対物レンズ（例えば対物１、対物２、…、対物Ｎ）９ご
とに持ち、統制工程を全ての対物レンズ９に対して行う
ようにしてもよい。The fifth embodiment is similar to the first embodiment.
In the embodiment, the drive voltage storage memory 18 stores each drive voltage value for each magnification as shown in FIG. 14 above for all objective lenses (for example, objective 1, objective 2,..., Objective N).
9 and the control process is performed on all the objective lenses 9 so that the adjustment including the magnification error between the objective lenses 9 is performed. Similarly, the drive voltage storage memory 18 stores
Each driving voltage value for each magnification as shown in (1) is provided for every objective lens (for example, objective 1, objective 2,..., Objective N) 9, and the control process is performed for all objective lenses 9. Is also good.
【０１３３】なお、本発明は、上記第１乃至第５の実施
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。The present invention is not limited to the above-described first to fifth embodiments, and can be variously modified in the implementation stage without departing from the gist of the invention.
【０１３４】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。Furthermore, the above embodiments include inventions at various stages, and various inventions can be extracted by appropriately combining a plurality of disclosed constituent features. For example, even if some components are deleted from all the components shown in the embodiment, the problem described in the column of the problem to be solved by the invention can be solved, and the problem described in the column of the effect of the invention can be solved. In the case where a certain effect can be obtained, a configuration from which this configuration requirement is deleted can be extracted as an invention.
【０１３５】例えば、上記第１乃至第５の実施の形態
は、次の通り変形してもよい。For example, the first to fifth embodiments may be modified as follows.
【０１３６】上記第１乃至第５の実施の形態に適用した
走査型光学顕微鏡において、試料１１ａの表面に自動的
に合焦するＡＦ（オートフォーカス）ユニットを備え、
このＡＦユニットの制御を制御回路３０により行うよう
にすれば、作業者が行っていた上記図２に示すステップ
＃２０と＃２３を自動的に行うことができる。In the scanning optical microscope applied to the first to fifth embodiments, an AF (autofocus) unit for automatically focusing on the surface of the sample 11a is provided.
If this control of the AF unit is performed by the control circuit 30, the steps # 20 and # 23 shown in FIG. 2, which were performed by the operator, can be automatically performed.
【０１３７】又、上記第１乃至第５の実施の形態に適用
した走査型光学顕微鏡において、二次元走査手段の一つ
がスキャナ６、７以外の走査手段、例えば対物光学系を
移動させる手段でもよい。この場合、調整工程は、１つ
のスキャナに対して調整を行うだけとなる。In the scanning optical microscope applied to the first to fifth embodiments, one of the two-dimensional scanning means may be scanning means other than the scanners 6 and 7, for example, means for moving an objective optical system. . In this case, the adjustment process only needs to perform adjustment for one scanner.
【０１３８】[0138]
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、作
業者に対する負担を軽減し、拡大倍率に対する駆動電圧
の調整結果を作業者によらず一定で、かつ精度高く行う
ことができる走査型光学顕微鏡の倍率調整方法及びその
装置を提供できる。As described in detail above, according to the present invention, the burden on the operator can be reduced, and the adjustment of the drive voltage with respect to the magnification can be performed with a constant and high accuracy regardless of the operator. A method and an apparatus for adjusting the magnification of a scanning optical microscope can be provided.
【０１３９】又、本発明によれば、作業者に対する負担
を軽減し、拡大倍率に対する駆動電圧の調整結果を作業
者によらず一定で、かつ精度高く行わさせることができ
る走査型光学顕微鏡の倍率調整方法のプログラムを記録
したコンピュータにより読み取り可能な記録媒体を提供
できる。Further, according to the present invention, the burden on the operator can be reduced, and the adjustment result of the drive voltage with respect to the magnification can be made constant and highly accurate regardless of the operator. It is possible to provide a computer-readable recording medium on which the adjustment method program is recorded.
【図１】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法を適用した第１の実施の形態を示す構成図。FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment to which a magnification adjusting method for a scanning optical microscope according to the present invention is applied.
【図２】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法の第１の実施の形態におけるスキャナの全体の調整手
順を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an overall adjustment procedure of the scanner in the first embodiment of the magnification adjusting method for the scanning optical microscope according to the present invention.
【図３】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法の第１の実施の形態における主スキャナの調整手順を
示す図。FIG. 3 is a diagram showing an adjustment procedure of a main scanner in the first embodiment of the magnification adjusting method for the scanning optical microscope according to the present invention.
【図４】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法の第１の実施の形態における線幅測定手順を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a line width measurement procedure in the first embodiment of the method of adjusting the magnification of the scanning optical microscope according to the present invention.
【図５】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法の第１の実施の形態における試料のスケールの画像の
ラインプロファイルを示す図。FIG. 5 is a diagram showing a line profile of a scale image of a sample in the first embodiment of the magnification adjusting method for the scanning optical microscope according to the present invention.
【図６】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法の第１の実施の形態における線幅の測定を説明するた
めの図。FIG. 6 is a view for explaining measurement of a line width in the first embodiment of the method of adjusting the magnification of the scanning optical microscope according to the present invention.
【図７】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法の第１の実施の形態における測定の初期設定画面を示
す図。FIG. 7 is a diagram showing a measurement initial setting screen in the first embodiment of the method for adjusting the magnification of the scanning optical microscope according to the present invention.
【図８】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法の第１の実施の形態における拡大倍率の調整目標値と
許容誤差の範囲の関係を示す図。FIG. 8 is a diagram illustrating a relationship between an adjustment target value of an enlargement magnification and a range of an allowable error in the first embodiment of the magnification adjustment method for the scanning optical microscope according to the present invention.
【図９】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法の第１の実施の形態における試料のスケールの副走査
における画像のラインプロファイルを示す図。FIG. 9 is a view showing a line profile of an image in a sub-scan of a sample scale in the first embodiment of the magnification adjusting method for the scanning optical microscope according to the present invention.
【図１０】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整
方法の第２の実施の形態におけるスキャナを調整するた
めに使用される他の試料の構成図。FIG. 10 is a configuration diagram of another sample used for adjusting the scanner in the second embodiment of the method for adjusting the magnification of the scanning optical microscope according to the present invention.
【図１１】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整
方法を適用した第３の実施の形態を示す構成図。FIG. 11 is a configuration diagram showing a third embodiment to which the magnification adjusting method of the scanning optical microscope according to the present invention is applied.
【図１２】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整
方法を適用した第３の実施の形態における像回転機構の
構成図。FIG. 12 is a configuration diagram of an image rotation mechanism according to a third embodiment to which a magnification adjustment method for a scanning optical microscope according to the present invention is applied.
【図１３】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整
方法を適用した第３の実施の形態における測定対象パタ
ーンの像回転前後の幅測定値と像回転量とから走査線方
向と平行線との交差角を検出する原理を説明するための
図。FIG. 13 shows a scanning line direction and a parallel line based on a width measurement value before and after image rotation and an image rotation amount of a pattern to be measured in a third embodiment to which a magnification adjusting method of a scanning optical microscope according to the present invention is applied. FIG. 3 is a diagram for explaining the principle of detecting the intersection angle of the.
【図１４】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整
方法を適用した第５の実施の形態における駆動電圧格納
メモリの構成図。FIG. 14 is a configuration diagram of a drive voltage storage memory according to a fifth embodiment to which a magnification adjustment method for a scanning optical microscope according to the present invention is applied.
【図１５】本発明に係わる走査型光学顕微鏡の倍率調整
方法を適用した第５の実施の形態におけるスキャナの全
体の調整手順を示す図。FIG. 15 is a diagram showing an overall adjustment procedure of a scanner according to a fifth embodiment to which a magnification adjustment method for a scanning optical microscope according to the present invention is applied.
【図１６】従来の一般的な走査型光学顕微鏡の構成図。FIG. 16 is a configuration diagram of a conventional general scanning optical microscope.
【図１７】従来の走査型光学顕微鏡における駆動電圧格
納メモリの構成図。FIG. 17 is a configuration diagram of a drive voltage storage memory in a conventional scanning optical microscope.
【図１８】従来の走査型光学顕微鏡におけるスキャナ
（二次元走査手段）の全体の調整手順を示す図。FIG. 18 is a diagram showing the overall adjustment procedure of a scanner (two-dimensional scanning means) in a conventional scanning optical microscope.
【図１９】従来の走査型光学顕微鏡における主スキャナ
の調整手順を示す図。FIG. 19 is a diagram showing a procedure for adjusting a main scanner in a conventional scanning optical microscope.
【図２０】走査型光学顕微鏡のスキャナを調整するため
に使用される試料の構成図。FIG. 20 is a configuration diagram of a sample used for adjusting a scanner of a scanning optical microscope.
【図２１】従来の走査型光学顕微鏡における主スキャナ
を調整するための試料の表示画像を示す図。FIG. 21 is a diagram showing a display image of a sample for adjusting a main scanner in a conventional scanning optical microscope.
【図２２】従来の走査型光学顕微鏡における副スキャナ
を調整するための試料の表示画像を示す図。FIG. 22 is a view showing a display image of a sample for adjusting a sub-scanner in a conventional scanning optical microscope.
１：顕微鏡本体 ２：点光源 ３：ミラー ４：ハーフミラー ５：二次元走査手段 ６：主スキャナ ７：副スキャナ ８：レボルバ ９：対物レンズ １０：ステージ １１：標本 １１ａ：試料 １２：集光レンズ １３：光検出器 １４：制御処理装置 １５：二次元走査制御ユニット １６：画像制御ユニット １７：顕微鏡制御ユニット １８：駆動電圧格納メモリ １９：二次元走査駆動回路 ２０：Ａ／Ｄ変換器 ２１：画像メモリ ２２：表示部 ２３：入力部 ２４：出力部 ３０：制御回路 ３１：メモリ ４０：像回転機構 ４１：回転駆動回路 ４２：リレーレンズ ４３：コリレーションレンズ ４４：像回転光学系 ４５：補正リレーレンズ 1: microscope main body 2: point light source 3: mirror 4: half mirror 5: two-dimensional scanning means 6: main scanner 7: sub-scanner 8: revolver 9: objective lens 10: stage 11: sample 11a: sample 12: condensing lens 13: Photodetector 14: Control processing unit 15: Two-dimensional scanning control unit 16: Image control unit 17: Microscope control unit 18: Drive voltage storage memory 19: Two-dimensional scanning drive circuit 20: A / D converter 21: Image Memory 22: Display unit 23: Input unit 24: Output unit 30: Control circuit 31: Memory 40: Image rotation mechanism 41: Rotation drive circuit 42: Relay lens 43: Correlation lens 44: Image rotation optical system 45: Correction relay lens
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 伸吾 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H052 AA07 AB05 AC15 AC34 AD32 AF24 AF25 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Shingo Suzuki 2-43-2 Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo Olympus Optical Co., Ltd. F-term (reference) 2H052 AA07 AB05 AC15 AC34 AD32 AF24 AF25
Claims (9)
を受光して前記標本の画像データを取得し、かつ前記標
本に対する光の走査幅を調整して前記標本の拡大倍率を
調整する走査型光学顕微鏡において、 一定間隔のスケールが形成された試料を用い、当該試料
に対して前記光で走査して取得された前記画像データに
おける前記スケールの測定値に基づいて複数の前記拡大
倍率に対応する各走査駆動電圧を調整することを特徴と
する走査型光学顕微鏡の倍率調整方法。1. A sample is scanned with light, light from the sample is received to acquire image data of the sample, and a scanning width of the sample is adjusted to adjust a magnification of the sample. In a scanning optical microscope, a plurality of magnifications are used based on measured values of the scale in the image data obtained by scanning the sample with the light using a sample on which scales are formed at regular intervals. A method for adjusting the magnification of a scanning optical microscope, wherein each scanning drive voltage corresponding to (1) is adjusted.
拡大倍率に対応する前記各走査駆動電圧の調整と、前記
光の副走査方向に対する複数の前記拡大倍率に対応する
前記各走査駆動電圧の調整とを行うことを特徴とする請
求項１記載の走査型光学顕微鏡の倍率調整方法。2. An adjustment of each of the scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications in the main scanning direction of the light, and an adjustment of the respective scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications in the sub-scanning direction of the light. 2. The method for adjusting the magnification of a scanning optical microscope according to claim 1, wherein the adjustment is performed.
圧は、前記スケールの測定値と調整目標値との大小関係
から前記調整目標値に対応する走査駆動電圧が含まれる
範囲を２分の１ごとに狭めることを繰り返すバイナリサ
ーチ方法を用いることを特徴とする請求項１記載の走査
型光学顕微鏡の倍率調整方法。3. The scanning drive voltage corresponding to the enlargement magnification is set to a half of a range including the scan drive voltage corresponding to the adjustment target value based on a magnitude relationship between the measured value of the scale and the adjustment target value. 2. The method for adjusting the magnification of a scanning optical microscope according to claim 1, wherein a binary search method that repeats narrowing every time is used.
れぞれ平行な各スケールが形成された前記試料を用い
て、前記主走査方向に対する複数の前記拡大倍率に対応
する前記各走査駆動電圧の調整と、前記副走査方向に対
する複数の前記拡大倍率に対応する前記各走査駆動電圧
の調整とを行うことを特徴とする請求項１記載の走査型
光学顕微鏡の倍率調整方法。4. The scanning drive voltage corresponding to a plurality of the magnifications in the main scanning direction by using the sample on which each scale is formed in parallel with the main scanning direction and the sub-scanning direction of the light. 2. The magnification adjusting method for a scanning optical microscope according to claim 1, further comprising: adjusting the scan driving voltages corresponding to the plurality of magnifications in the sub-scanning direction.
される前記試料の像を光学的な像回転手段を用いて回転
させて主走査方向又は副走査方向に補正し合わせ、この
後に、前記主走査方向に対する複数の前記拡大倍率に対
応する前記各走査駆動電圧の調整と、前記副走査方向に
対する複数の前記拡大倍率に対応する前記各走査駆動電
圧の調整とを行うことを特徴とする請求項１記載の走査
型光学顕微鏡の倍率調整方法。5. An image of the sample, which is obtained by scanning the sample with the light, is rotated using an optical image rotating means, and is corrected in a main scanning direction or a sub-scanning direction. Adjusting the respective scan driving voltages corresponding to the plurality of magnifications in the main scanning direction and adjusting the respective scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications in the sub-scanning direction. The method for adjusting the magnification of a scanning optical microscope according to claim 1.
ズに対して前記各走査駆動電圧の調整とを行うことを特
徴とする請求項１記載の走査型光学顕微鏡の倍率調整方
法。6. The magnification adjusting method for a scanning optical microscope according to claim 1, wherein the respective scanning drive voltages are adjusted for each objective lens for obtaining the respective magnifications.
を受光して前記標本の画像データを取得し、かつ前記標
本に対する光の走査幅を調整して前記標本の拡大倍率を
調整する走査型光学顕微鏡において、 一定間隔のスケールが形成された試料と、 この試料に対して前記光で走査してその画像データを取
得する手段と、 前記画像データにおける前記スケールの数をカウントす
る手段と、 このスケールの数に基づいて複数の前記拡大倍率に対応
する各走査駆動電圧を調整し、その調整後の前記走査駆
動電圧を駆動電圧格納メモリに格納する手段と、を具備
したことを特徴とする走査型光学顕微鏡の倍率調整装
置。7. A sample is scanned with light, light from the sample is received to acquire image data of the sample, and a scanning width of the sample is adjusted to adjust a magnification of the sample. In a scanning optical microscope, a sample on which scales at regular intervals are formed, means for scanning the sample with the light to obtain image data thereof, and means for counting the number of scales in the image data Means for adjusting each scanning drive voltage corresponding to the plurality of magnifications based on the number of scales, and storing the adjusted scanning drive voltage in a drive voltage storage memory. A magnification adjusting device for a scanning optical microscope.
拡大倍率に対応する前記各走査駆動電圧の調整と、前記
光の副走査方向に対する複数の前記拡大倍率に対応する
前記各走査駆動電圧の調整とを行うことを特徴とする請
求項７記載の走査型光学顕微鏡の倍率調整装置。8. An adjustment of each scanning drive voltage corresponding to the plurality of magnifications in the main scanning direction of the light, and an adjustment of each scanning drive voltage corresponding to the plurality of magnifications in the sub-scanning direction of the light. 8. The magnification adjusting device for a scanning optical microscope according to claim 7, wherein the adjustment is performed.
光で走査するステップと、 前記試料からの光を受光させて前記試料の画像データを
取得するステップと、前記画像データにおける前記スケ
ールの測定値に基づいて複数の前記拡大倍率に対応する
各走査駆動電圧を調整させるステップと、を有する走査
型光学顕微鏡の倍率調整プログラムを記録したことを特
徴とするコンピュータにより読み取り可能な記録媒体。9. A step of scanning a sample having scales formed at regular intervals with light, a step of receiving light from the sample to obtain image data of the sample, and measuring the scale in the image data. Adjusting the respective scanning drive voltages corresponding to the plurality of magnifications based on the values. A computer-readable recording medium having recorded thereon a magnification adjustment program for a scanning optical microscope.
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