JP2002090200A - ガス計量装置 - Google Patents

ガス計量装置

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JP2002090200A
JP2002090200A JP2000285861A JP2000285861A JP2002090200A JP 2002090200 A JP2002090200 A JP 2002090200A JP 2000285861 A JP2000285861 A JP 2000285861A JP 2000285861 A JP2000285861 A JP 2000285861A JP 2002090200 A JP2002090200 A JP 2002090200A
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gas
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flow
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JP2000285861A
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Hiroyuki Takaoka
浩幸 高岡
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Yazaki Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来より高精度な合計流量遮断機能を有する
ガス計量装置を提供すること。 【解決手段】 ガス計量装置1は、ガス計量手段Aと、
ガス計量手段Aにおいて求めたガス使用量を監視し予め
定めた遮断設定値を越えたガス流量となったときガス供
給を遮断する合計流量遮断機能手段Bとを有する。ガス
計量手段Aは、ガス供給路に流れるガス流の質量流量を
計測し、該計測した質量流量に基づいてガス流量値を求
め、求めたガス流量値を積算してガス使用量を計量する
質量流量式ガス計量手段A1である。合計流量遮断機能
手段Bは、予め決められた強制学習期間の間に、上記質
量流量式ガス計量手段によりサンプリング計測したガス
流量の最大値を求める強制学習手段15a11と、強制
学習手段によって求めた最大値に所定の安全率を掛けて
遮断設定値を設定する設定手段15a12とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス使用量を計量
するガス計量装置に係り、特に、ガス供給に当たって使
用される合計流量遮断機能を内蔵したガス計量装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】この種のガス計量装置は、一般にマイコ
ンガスメータと称され、ガス供給に当たって使用される
各種の機能として、保安上重要な機能の他に、消費者の
利便性のための機能やLPガス販売業者の合理化のため
の機能などが内蔵されている。
【0003】たとえば、このマイコンガスメータには、
安全管理機能として、燃焼器具のガス消費量に異常が生
じたとき、これを検出して遮断弁にてガス供給路を遮断
する合計流量遮断機能が備えられている。合計流量遮断
機能は、ガスメータの設置先の燃焼器具の合計ガス消費
量が、自動設定された遮断設定値を越えた場合、元栓の
誤開放やゴムホースの抜けなどによる大量のガス漏れと
判断して、ガスを遮断するものである。
【0004】遮断設定値の自動設定は、マイコンガスメ
ータを設置した後の一定期間(たとえば、前期3日間お
よび後期11日間の合計14日間)を初期学習期間と
し、前期3日間サンプリング計測して学習したガス流量
の最大値に第1の安全率、たとえば2.6を掛けて仮設
定値とし、次に、前後期14日間サンプリング計測して
学習したガス流量の最大値に第2の安全率、たとえば
2.2を掛けて本設定値として設定され、登録される。
【0005】一方、マイコンガスメータとしては、一般
に、膜式ガスメータと呼ばれるものが使用されている。
この膜式ガスメータは、ガス流入口に流入しガス流出口
から流出するガスを計量する膜式計量部を有し、一定流
量が流れる毎に切替弁が切り替わって隔膜で仕切られた
部屋へ交互にガスを流入させ、既にガスが満たされてい
る部屋のガスを排出させることによって隔膜を往復運動
させ、この隔膜の往復動に連動してカウンタからなる計
量表示部を駆動させ、ガス使用量を積算し表示する構成
となっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この膜
式ガスメータは、上述の構成によりガスの「体積」流量
を計測することによりガス使用量を計量しているもので
あり、「体積」は、周囲温度や圧力により変化するた
め、正確にガス使用量を計測しているとは言えなかっ
た。
【0007】すなわち、合計流量遮断機能を有する保安
ブロックを使用した膜式ガスメータは、季節によって気
温が変化し、したがってガスの体積が変化するので、同
一の膜式ガスメータであっても、各季節に常に同じレベ
ルで保安しているとは言えない。また、異なる地域、た
とえば北海道と沖縄では気温差があるため、異なる地域
に設置されている同一構造の膜式ガスメータでも、互い
に同じレベルで保安しているとは言えない。同様に、標
高が高い地域と低い地域とでは、圧力差があるため、同
じレベルで保安しているとは言えない。
【0008】また、保安に関しては、安全な使い方をし
ているにもかかわらず、誤遮断が多かったりすると、一
般ユーザーは、いちいち弁開しなくてはならず面倒であ
る。また、逆に本当に危険な状態にあるのに、遮断しな
かったり、遮断が遅れたりすると、爆発、中毒等の事故
に繋がるため、危険である。
【0009】たとえば、温度が高いと、ガスは膨張し、
密度が薄くなるため、同じ体積が漏洩しても、室内が爆
発限界濃度に達しないこともある。逆に、温度が低い
と、ガスは圧縮し、密度が濃くなるため、同じ体積を漏
洩しても、室内が爆発限界濃度を超えていることもあ
り、危険である。
【0010】このように、高精度で合計流量遮断を行う
ためには、膜式ガスメータのような「体積流量」に基づ
くマイコンガスメータでは限度があった。また、膜式ガ
スメータのような「体積流量」に基づくマイコンガスメ
ータでは、精度上の観点から安全率を大きめに設定しな
ければならないという問題もあった。
【0011】そこで、本発明の目的は、上述の課題に鑑
み、従来より高精度な合計流量遮断機能を有するガス計
量装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記した目的に鑑みて、
請求1記載の発明のガス計量装置は、図1の基本構成図
に示すように、ガス供給路に流れるガス流の流量を計測
し、該計測したガス流量を積算して燃焼器具のガス使用
量を計量するガス計量手段Aと、上記ガス計量手段Aに
おいて求めたガス使用量を監視し、予め定めた遮断設定
値を越えたガス流量となったときガス供給を遮断する合
計流量遮断機能手段Bとを有するガス計量装置であっ
て、上記ガス計量手段Aは、ガス供給路に流れるガス流
の質量流量を計測し、該計測した質量流量に基づいてガ
ス流量値を求め、求めたガス流量値を積算してガス使用
量を計量する質量流量式ガス計量手段A1であり、上記
合計流量遮断機能手段Bは、予め決められた強制学習期
間の間に、上記質量流量式ガス計量手段A1によりサン
プリング計測したガス流量の最大値を求める強制学習手
段15a11と、上記強制学習手段15a11によって
求めた上記最大値に所定の安全率を掛けて遮断設定値を
設定する設定手段15a12とを含む、ことを特徴とす
る。
【0013】請求項1記載の発明においては、ガス計量
装置は、ガス供給路に流れるガス流の流量を計測し、該
計測したガス流量を積算して燃焼器具のガス使用量を計
量するガス計量手段Aと、ガス計量手段Aにおいて求め
たガス使用量を監視し、予め定めた遮断設定値を越えた
ガス流量となったときガス供給を遮断する合計流量遮断
機能手段Bとを有する。ガス計量手段Aは、ガス供給路
に流れるガス流の質量流量を計測し、該計測した質量流
量に基づいてガス流量値を求め、求めたガス流量値を積
算してガス使用量を計量する質量流量式ガス計量手段A
1である。合計流量遮断機能手段Bは、予め決められた
強制学習期間の間に、質量流量式ガス計量手段A1によ
りサンプリング計測したガス流量の最大値を求める強制
学習手段15a11と、強制学習手段によって求めた最
大値に所定の安全率を掛けて遮断設定値を設定する設定
手段15a12とを含む。
【0014】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の発明のガス計量装置において、前記強制学習手段
は、サンプリング計測で求めた各ガス流量値のうち、前
記燃焼器具の使用開始過渡期の立ち上がりによるガス流
量値をキャンセルし、キャンセルしたガス流量値以外の
ガス流量値の中から最大値を求めることを特徴とする。
【0015】請求項2記載の発明においては、強制学習
手段は、サンプリング計測で求めた各ガス流量値のう
ち、燃焼器具の使用開始過渡期の立ち上がりによるガス
流量値をキャンセルし、キャンセルしたガス流量値以外
のガス流量値の中から最大値を求める。
【0016】また、請求項3記載の発明のガス計量装置
は、ガス供給路に流れるガス流の流量を計測し、該計測
したガス流量を積算して燃焼器具のガス使用量を計量す
るガス計量手段と、上記ガス計量手段において求めたガ
ス使用量を監視し、予め定めた遮断設定値を越えたガス
流量となったときガス供給を遮断する合計流量遮断機能
手段とを有するガス計量装置であって、上記ガス計量手
段は、ガス供給路に流れるガス流の質量流量を計測し、
該計測した質量流量に基づいてガス流量値を求め、求め
たガス流量値を積算してガス使用量を計量する質量流量
式ガス計量手段であり、上記合計流量遮断機能手段は、
予め決められた強制学習期間の間に、上記質量流量式ガ
ス計量手段によりサンプリング計測した各ガス流量値の
うち、前記燃焼器具の使用開始過渡期の立ち上がりによ
るガス流量値をキャンセルし、最大流量使用状態の全燃
焼器具についてサンプリング計測されたガス流量値の全
データの平均値を求める強制学習手段と、上記強制学習
手段によって求めた上記平均値に所定の安全率を掛けて
遮断設定値を設定する設定手段とを含む、ことを特徴と
する。
【0017】請求項3記載の発明においては、ガス計量
装置は、ガス供給路に流れるガス流の流量を計測し、該
計測したガス流量を積算して燃焼器具のガス使用量を計
量するガス計量手段と、ガス計量手段において求めたガ
ス使用量を監視し、予め定めた遮断設定値を越えたガス
流量となったときガス供給を遮断する合計流量遮断機能
手段とを有する。ガス計量手段は、ガス供給路に流れる
ガス流の質量流量を計測し、該計測した質量流量に基づ
いてガス流量値を求め、求めたガス流量値を積算してガ
ス使用量を計量する質量流量式ガス計量手段である。合
計流量遮断機能手段は、予め決められた強制学習期間の
間に、質量流量式ガス計量手段によりサンプリング計測
した各ガス流量値のうち、燃焼器具の使用開始過渡期の
立ち上がりによるガス流量値をキャンセルし、最大流量
使用状態の全燃焼器具についてサンプリング計測された
ガス流量値の全データの平均値を求める強制学習手段
と、強制学習手段によって求めた平均値に所定の安全率
を掛けて遮断設定値を設定する設定手段とを含む。
【0018】また、請求項4記載の発明は、請求項1乃
至3のいずれか1項記載の発明のガス計量装置におい
て、前記所定の安全率は、1.2であることを特徴とす
る。
【0019】請求項4記載の発明においては、所定の安
全率は、1.2である。
【0020】また、請求項5記載の発明は、請求項1乃
至4のいずれか1項記載の発明のガス計量装置におい
て、前記質量流量式ガス計量手段は、フローセンサを含
むことを特徴とする。
【0021】請求項5記載の発明においては、質量流量
式ガス計量手段は、フローセンサを含む。
【0022】また、請求項6記載の発明は、請求項5項
記載の発明のガス計量装置において、前記フローセンサ
は、前記ガス供給路を流れるガスを加熱するヒータと、
上記ヒータに対してガスの上流側に配置され、ガスの温
度を検出して第1温度検出信号を出力する上流側温度セ
ンサと、上記ヒータに対してガスの下流側に配置され、
ガスの温度を検出して第2温度検出信号を出力する下流
側温度センサと、上記ヒータ、上記上流側温度センサお
よび上記下流側温度センサを支持する支持基板と、から
なることを特徴とする。
【0023】請求項6記載の発明においては、フローセ
ンサは、ガス供給路を流れるガスを加熱するヒータと、
ヒータに対してガスの上流側に配置され、ガスの温度を
検出して第1温度検出信号を出力する上流側温度センサ
と、ヒータに対してガスの下流側に配置され、ガスの温
度を検出して第2温度検出信号を出力する下流側温度セ
ンサと、ヒータ、上記上流側温度センサおよび下流側温
度センサを支持する支持基板とからなる。
【0024】また、請求項7記載の発明は、請求項5記
載の発明のガス計量装置において、前記フローセンサ
は、前記ガス供給路を流れるガスを加熱するヒータと、
上記ヒータに対してガスの上流側に配置され、ガスの温
度を検出して第1温度検出信号を出力する上流側温度セ
ンサと、上記ヒータに対してガスの下流側に配置され、
ガスの温度を検出して第2温度検出信号を出力する下流
側温度センサと、上記ヒータに対してガスの流れ方向と
略直交方向に配置され、ガスの温度を検出して第3温度
検出信号を出力する横側温度センサと、上記ヒータ、上
記上流側温度センサ、上記下流側温度センサおよび上記
横側温度センサを支持する支持基板と、からなることを
特徴とする。
【0025】請求項7記載の発明においては、フローセ
ンサは、ガス供給路を流れるガスを加熱するヒータと、
ヒータに対してガスの上流側に配置され、ガスの温度を
検出して第1温度検出信号を出力する上流側温度センサ
と、ヒータに対してガスの下流側に配置され、ガスの温
度を検出して第2温度検出信号を出力する下流側温度セ
ンサと、ヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に
配置され、ガスの温度を検出して第3温度検出信号を出
力する横側温度センサと、ヒータ、上流側温度センサ、
下流側温度センサおよび横側温度センサを支持する支持
基板とからなる。
【0026】また、請求項8記載の発明は、請求項7記
載の発明のガス計量装置において、前記質量流量式ガス
計量手段は、前記フローセンサ内の前記上流側温度セン
サからの前記第1温度検出信号と前記下流側温度センサ
からの前記第2温度検出信号との差信号に基づきガスの
流量を算出する流量算出手段と、前記フローセンサ内の
前記横側温度センサからの前記第3温度検出信号に基づ
きガスの物性値を算出する流体物性値算出手段と、前記
流体物性値算出手段で算出されたガスの物性値に基づき
前記流量算出手段で算出されたガスの流量を補正する流
量補正手段と、を備えることを特徴とする。
【0027】請求項8記載の発明においては、質量流量
式ガス計量手段は、フローセンサ内の上流側温度センサ
からの第1温度検出信号と下流側温度センサからの第2
温度検出信号との差信号に基づきガスの流量を算出する
流量算出手段と、フローセンサ内の横側温度センサから
の第3温度検出信号に基づきガスの物性値を算出する流
体物性値算出手段と、流体物性値算出手段で算出された
ガスの物性値に基づき流量算出手段で算出されたガスの
流量を補正する流量補正手段とを備える。
【0028】
【発明の実施の形態】本発明は、要約すると、ガス計量
手段として、「体積」ではなく「質量」を計測する質量
流量式ガス計量手段を用いると共に、質量流量式ガス計
量手段でサンプリング計測されるガス流量を強制学習し
て遮断設定値を設定することにより、高精度な合計流量
遮断機能の保安ロジックを確立するものである。
【0029】質量流量式ガス計量手段に用いられる「質
量」を計測できるセンサとしては、たとえばフローセン
サがある。フローセンサを用いて計測したガスの流量
は、「体積」流量ではなく「質量」流量である。後述す
るフローセンサの計測原理からわかるように、熱の伝わ
り方というのは、ガスの密度に依存する。フローセンサ
を用いれば、「体積」を基準とした計測でなく、「質
量」を計測する精度の高い、信頼性の高い、合計流量遮
断機能を実行することができる。すなわち、現在ガス流
量が、使用環境(温度、圧力等)により変動せず、実質
的な質量で計測することができるため、正確である。
【0030】このように、質量流量式ガス計量手段を用
いると、使用環境(温度、圧力等)にかかわらずガス流
量を正確に計測できるので、合計流量遮断機能の遮断設
定値は、上述の従来の膜式ガスメータの論理におけるよ
うに余裕をたくさん取る必要がなく、従来より低い値に
設定することができ、高精度な合計流量遮断を行なうこ
とができる。
【0031】以下、本発明に係るガス計量装置の実施の
形態について、図面に基づいて説明する。本実施形態に
おけるガス計量装置である電子ガスメータは、図2に示
すようなLPガス供給設備に適用されるように構成され
ている。図2において、電子ガスメータ1は、LPガス
容器2に収容されている高圧のLPガスを圧力調整器3
により供給圧力に減圧調整してガス風呂釜4やコンロ5
などの燃焼器具に供給するガス供給路中の配管6に設置
されており、燃焼器具において消費されるガスの使用量
を計量する。なお、ガスコンロ5などに至る配管には、
閉止弁7が設けられている。
【0032】電子ガスメータ1は、図3に示すように、
図示しないガス供給路の配管に連通された図示しないガ
ス路に設けられ弁閉によってガス供給を遮断する遮断弁
11と、所定値以上の震度を感知する感震器12と、ガ
ス路内の圧力を感知する圧力センサ13と、ガス路を通
じて流れるガス流の流速に応じて変化する信号を得るた
めのフローセンサ14と、制御部としてのコントローラ
15とを内蔵している。
【0033】コントローラ15は、予め定められたプロ
グラムに従って動作するマイクロコンピュータ(μCO
M)15aを有する。マイクロコンピュータ15aは、
周知のように、予め定めたプログラムに従って各種の処
理や制御などを行う中央処理ユニット(CPU)15a
1、CPUのためのプログラム等を格納した読み出し専
用のメモリであるROM15a2、各種のデータを格納
するとともにCPUの処理作業に必要なエリアを有する
読み出し書き込み自在のメモリであるRAM15a3等
を内蔵している。
【0034】また、コントローラ15は、遮断弁11、
感震器12、圧力センサ13、フローセンサ14が接続
されるコネクタ15bと、μCOM15aが出力する開
閉信号に応じて遮断弁11を開閉駆動するための駆動信
号をコネクタ15bを介して出力する遮断弁駆動回路1
5cと、コネクタ15bを介して入力した感震器12、
圧力センサ13からの信号をμCOM15aに入力する
ためのインタフェース回路15dと、インタフェース回
路15dおよびコネクタ15bをそれぞれ介してμCO
M15aおよびフローセンサ14に接続されフローセン
サ14の検出出力を増幅するセンサ回路15eとを有す
る。
【0035】コントローラ15は、さらに、電子ガスメ
ータ1の外部にある種々の外部機器が接続される端子台
15fと、この端子台15fを介してμCOM15aと
外部機器との間で信号の授受を行うためのインタフェー
ス回路15gとを有する。具体的には、コントローラ1
5には、端子台15fを介して、たとえば、宅内に設け
られてガスメータに関する種々の表示を行うための宅内
表示盤21、ガスメータに対する種々の遠隔操作を行う
ための宅内操作器22、家屋内において警報レベル以上
のガスを検知して警報を発するガス警報器23、ガス警
報器23と同様の機能の他に警報レベル以上のCOガス
を検知して警報を発するCO第2ガス警報器・CO警報
器24、複数のLPガス容器を自動的に切り替える自動
切替式圧力調整器の切替動作に応じた信号を発する自動
切替調整器等25、電話回線などの公衆回線を介してガ
ス販売業者の管理センタとの通信を制御するための網制
御ユニット(NCU)26が接続される。
【0036】コントローラ15は、さらにまた、μCO
M15aに接続されガス使用量の積算値や警報などの各
種の情報を表示する液晶表示器(LCD)15hと、コ
ントローラ15内の各部に動作電源を供給するリチウム
電池15iとを有するとともに、インタフェース回路1
5dを介してμCOM15aに接続された、LPガス容
器の交換時に操作される容器交換スイッチ15jと、閉
弁した遮断弁11を開放する際にオン操作される遮断弁
開スイッチ15k、および、電池15iの電圧低下をμ
COM15aにおいて監視するためその電圧を検出する
電池電圧検出回路15mを有する。
【0037】μCOM15aのCPU15a1は、所定
のプログラムに従って処理を行い、上記フローセンサ1
4およびセンサ回路15eとともにガス計量手段を構成
するとともに、合計流量遮断機能を実行する合計流量遮
断機能手段を構成している。
【0038】μCOM15aのCPU15a1はまた、
所定のプログラムに従って処理を行うことによって、上
記機能以外に、増加流量遮断、使用時間遮断、復帰安全
確認中漏洩遮断、ガス漏れ警報器連動遮断、感震器作動
遮断、流量式微少漏洩警告、圧力式微少漏洩警告、調整
圧力異常警告、閉塞圧力異常警告、圧力低下遮断、口火
登録、テスト遮断、自動検針、残量管理など多数の機能
を実行する機能手段として働いている。
【0039】まず、ガス計量手段について説明すると、
フローセンサ14は、具体的にはマイクロフローセンサ
であり、たとえば図4に示すように、ガスメータ1内の
ガス路16の内壁に配設される。
【0040】マイクロフローセンサ14は、Si基板1
02上に形成された、マイクロヒータ104と、マイク
ロヒータ104の下流側に形成された下流側サーモパイ
ル105と、マイクロヒータ104の上流側に形成され
た上流側サーモパイル108と、マイクロヒータ104
の両側にガスの流れ方向(X方向)と略直交方向に配置
され、ガスの物性値を検出して温度検出信号を出力する
右側および左側サーモパイル111,113とを備えて
いる。
【0041】そして、下文で詳述するように、下流側サ
ーモパイル105および上流側サーモパイル108は、
ガス流量の検知に役立ち、右側サーモパイル111およ
び左側サーモパイル113は、ガス種の検知に役立つ。
【0042】図5および図6は、図4のマイクロフロー
センサの構成図および断面図である。図5において、マ
イクロフローセンサ14は、Si基板102、ダイアフ
ラム103、ダイアフラム103上に形成された白金等
からなるマイクロヒータ104、マイクロヒータ104
の下流側でダイアフラム103上に形成された下流側サ
ーモパイル105、マイクロヒータ104に図示しない
電源から駆動電流を供給する電源端子106A,106
B、マイクロヒータ104の上流側でダイアフラム10
3上に形成された上流側サーモパイル108、上流側サ
ーモパイル108から出力される第1温度検出信号を出
力する第1出力端子109A,109B、下流側サーモ
パイル105から出力される第2温度検出信号を出力す
る第2出力端子107A,107B、を備える。下流側
サーモパイル105と上流側サーモパイル108は、温
度センサを構成する。
【0043】また、マイクロフローセンサ14は、マイ
クロヒータ104に対してガスの流れ方向(図5におけ
る矢印Pから矢印Qへの方向)と略直交方向に配置さ
れ、ガスの物性値を検出し、右側温度検出信号(第3温
度検出信号に対応)を出力する右側サーモパイル111
と、この右側サーモパイル111から出力される右側温
度検出信号を出力する第3出力端子12A,12Bと、
マイクロヒータ104に対してガスの流れ方向と略直交
方向に配置され、ガスの物性値を検出し、左側温度検出
信号(第3温度検出信号に対応)を出力する左側サーモ
パイル113と、この左側サーモパイル113から出力
される左側温度検出信号を出力する第4出力端子14
A,14Bと、ガス温度を得るための抵抗15,16
と、この抵抗15,16からのガス温度信号を出力する
出力端子17A,17Bとを備える。右側サーモパイル
111および左側サーモパイル113は、温度センサを
構成する。
【0044】上流側サーモパイル108、下流側サーモ
パイル105、右側サーモパイル111および左側サー
モパイル113は、熱電対から構成されている。この熱
電対は、p++−SiおよびAlにより構成され、冷接点
と温接点とを有し、熱を検出し、冷接点と温接点との温
度差から熱起電力が発生することにより、温度検出信号
を出力するようになっている。
【0045】また、図6に示すように、Si基板102
には、ダイアフラム103が形成されており、このダイ
アフラム103には、マイクロヒータ104、上流側サ
ーモパイル108、下流側サーモパイル105、右側サ
ーモパイル111および左側サーモパイル113のそれ
ぞれの温接点が形成されている。
【0046】このように構成されたマイクロフローセン
サ14によれば、マイクロヒータ104が、外部からの
駆動電流により加熱を開始すると、マイクロヒータ10
4から発生した熱は、ガスを媒体として、下流側サーモ
パイル105と上流側サーモパイル108のそれぞれの
温接点に伝達される。それぞれのサーモパイルの冷接点
は、Si基体(Si基板)102上にあるので、基体温
度になっており、それぞれの温接点は、ダイアフラム1
05上にあるので、伝達された熱により加熱され、Si
基体温度より温度が上昇する。そして、それぞれのサー
モパイルは、温接点と冷接点の温度差より熱起電カを発
生し、温度検出信号を出力する。
【0047】ガスを媒体として伝達される熱は、ガスの
熱拡散効果とPからQに向かって流れるガスの流速との
相乗効果によって、それぞれのサーモパイルに伝達され
る。すなわち、流速がない場合には、熱拡散によって上
流側サーモパイル108と下流側サーモパイル105に
均等に伝達され、上流側サーモパイル108からの第1
温度検出信号と下流側サーモパイル105からの第2温
度検出信号の差信号は、零になる。
【0048】一方、ガスに流速が発生すると、流速によ
って上流側サーモパイル108の温接点に伝達される熱
量が多くなり、前記第2温度検出信号と前記第1温度検
出信号との差信号は流速に応じた正値になる。
【0049】一方、マイクロヒータ104が外部からの
駆動電流により加熱を開始すると、マイクロヒータ10
4から発生した熱は、ガスの流速の影響を受けずにガス
の熱拡散効果のみによって、マイクロヒータ104に対
してガスの流れ方向と略直交方向に配置された右側サー
モパイル111に伝達される。また、マイクロヒータ1
04に対してガスの流れ方向と略直交方向に配置された
左側サーモパイル113にも、同様な熱が伝達される。
このため、右側サーモパイル111の起電力により第3
出力端子112A,112Bから出力される右側温度検
出信号、および/または左側サーモパイル113の起電
力により第4出力端子114A,114Bから出力され
る左側温度検出信号に基づき、熱伝導と熱拡散、比熱等
によって決定される熱拡散定数等のガスの物性値を算出
することができるようになる。
【0050】さらに、マイクロフローセンサ14によれ
ば、ダイアフラム103上に、マイクロヒータ104、
上流側サーモパイル108、下流側サーモパイル10
5、右側サーモパイル111および左側サーモパイル1
13を形成したので、これらの熱容量を小さくして、消
費電力を低減することができる。また、マイクロフロー
センサ14の構成が簡単であるので、安価に作製するこ
とができるという効果がある。
【0051】次に、前述したマイクロフローセンサ14
を用い、ガスの種類や組成が変化した場合であっても、
これに関係なく常にガスの流量を精度良く計測すること
ができるガス計量手段について説明する。
【0052】図7は、図4、5および6のマイクロフロ
ーセンサ14を用いたガス計量手段の構成ブロック図で
ある。図5において、センサ回路15eは差動アンプ3
3と、アンプ35a,35bを有する。差動アンプ33
は、マイクロフローセンサ14内の下流側サーモパイル
105からの第2温度検出信号と、マイクロフローセン
サ14内の上流側サーモパイル108からの第1温度検
出信号との差信号を増幅し、アンプ35aは、マイクロ
フローセンサ14内の右側サーモパイル111からの右
側温度検出信号を増幅し、アンプ35bは、マイクロフ
ローセンサ14内の左側サーモパイル113からの左側
温度検出信号を増幅する。
【0053】μCOM15aのCPU15a1は、アン
プ35aからの右側温度検出信号とアンプ35bからの
左側温度検出信号とを加算する加算部15a1−1と、
差動アンプ33で得られた第2温度検出信号と第1温度
検出信号との差信号を加算部15a1−1の出力する加
算信号により除する除算15a1−2と、この除算15
a1−2の出力する除算信号に基づきガスの流量を算出
する流量算出部15a1−3と、加算部15a1−1の
出力する加算信号に基づきガスの熱伝導率や比熱、粘
性、密度等の物性値を算出する流体物性値算出部15a
1−4とを含む。
【0054】次に、図8に示すフローチャートを参照し
て、図7のガス計量手段により実現される流量計測方法
を説明する。
【0055】まず、外部からのパルス信号による駆動電
流によりマイクロヒータ104を加熱すると(ステップ
S11)、下流側サーモパイル105から第2温度検出
信号が出力され、上流側サーモパイル108から第1温
度検出信号が出力される(ステップS13)。第2温度
検出信号は差動アンプ33に出力され、第1温度検出信
号は差動アンプ33に出力される。なお、図9に第1温
度検出信号および第2温度検出信号のパルス信号に対す
る応答を示した。
【0056】次に、差動アンプ33は、下流側サーモパ
イル105からの第2温度検出信号と上流側サーモパイ
ル108からの第1温度検出信号との差信号を増幅する
(ステップS15)。
【0057】そして、加算部15a1−1は、アンプ3
5aからの右側温度検出信号とアンプ35bからの左側
温度検出信号とを加算して加算信号を得る(ステップS
17)。図10に右側温度検出信号、左側温度検出信号
および加算信号のタイミングチャートを示した。次に、
除算15a1−2は、ステップS15で得られた増幅後
の差信号をステップS17で得られた加算信号で除して
除算信号を得る(ステップS19)。
【0058】続いて、流量算出部15a1−3は、ステ
ップS19で得られた除算信号に基づきガスの正確な流
量を算出する(ステップS21)。さらに、流体物性値
算出部15a1−4は、ステップS17で得られた加算
信号とステップS21で算出したガスの正確な流量に基
づき、ガスの熱伝導率や比熱、粘性、密度等のガスの物
性値を算出する(ステップS23)。
【0059】このように、ガスの流れ方向に対して直交
する方向に配置された右側サーモパイル111および左
側サーモパイル113が、ガスの物性値を検出すること
により、ガスの熱伝導性を計測することになる。ガスの
流速が零であるときには、ガスにより熱の伝わる速度
は、熱伝導率と熱拡散、比熱等によって決定される熱拡
散定数(ガスの物性値の一つ)による。流速が零である
ときには、右側サーモパイル111、左側サーモパイル
113とマイクロヒータ104との温度差によって熱拡
散定数が求められる。この温度差が大きいほど熱拡散定
数が小さい。
【0060】この熱拡散定数の大小は、上流側サーモパ
イル108が出力する第1温度検出信号と下流側サーモ
パイル105が出力する第2温度検出信号にも影響し、
これらの値が熱拡散定数の大小に応じて変化する。した
がって、原理的には、第1温度検出信号や第2温度検出
信号を、あるいは、これらの差を、熱拡散定数によって
除することで、熱拡散定数の異なるガスであっても、即
ち、いかなる種類のガスであっても、正確な流量を算出
することができることになる。
【0061】これに対して流量が零でないときには、ガ
スの流れによって熱は下流に運ばれて、右側サーモパイ
ル111および左側サーモパイル113に到達する熱量
は、それに伴って減少する。即ち、右側サーモパイル1
11および左側サーモパイル113の回りの熱拡散が、
ガスの流れによって大きくなる。ここで、その熱拡散の
増加率はガスの流速の平方根に比例することが一般に知
られているため、原理的には、ガスの熱拡散定数は、そ
のガスの流量が何らかの方法で解りさえすれば、いかな
る流量のときでも見積もることができることになる。
【0062】一方で、上流側サーモパイル108および
下流側サーモパイル105の回りでも、ガスの流れによ
って右側サーモパイル111および左側サーモパイル1
13の回りと同様な熱拡散の増加(マイクロヒータ10
4から移動する熱量の減少)が発生するので、ガスの流
量が大きくなると、それに伴う熱拡散の増加のために、
下流側サーモパイル105の回りのガスの温度と上流側
サーモパイル108の回りのガスの温度との差が小さく
なる。
【0063】このため、本来ならば、ガスの流速の増加
に比例して大きくなるはずの、下流側サーモパイル10
5からの第2温度検出信号と上流側サーモパイル108
からの第1温度検出信号との差信号が、熱拡散の増加の
影響で小さくなり、ガスの流量があまりに大きくなる
と、流速の増加による増加分を熱拡散の増加による減少
分が上回って、流量が増加しているにも拘わらず第2温
度検出信号と第1温度検出信号との差信号が減少してし
まうこともある。
【0064】そこで、流量が零であるときの、右側サー
モパイル111が出力する右側温度検出信号と左側サー
モパイル113が出力する左側温度検出信号との加算値
を「1」と考えて、これに対する、流量がある場合の右
側温度検出信号と左側温度検出信号との加算値の比を、
移動する熱量の変化率を表す係数と見倣し、この係数
を、下流側サーモパイル105からの第2温度検出信号
と上流側サーモパイル108からの第1温度検出信号と
の差信号に乗じる操作をする。
【0065】つまり、第2温度検出信号と第1温度検出
信号との差信号を右側温度検出信号と左側温度検出信号
との加算値で除することで、熱拡散の変化の影響を排除
した流量算出が可能となり、正確で分解能の高い流量を
求めることができるようになる。
【0066】なお、上述した実施形態では、差動アンプ
33から得られる下流側サーモパイル105からの第2
温度検出信号と上流側サーモパイル108からの第1温
度検出信号との増幅後の差信号を、除算15a1−2に
おいて、アンプ35aからの右側温度検出信号とアンプ
35bからの左側温度検出信号とを加算部15a1−1
で加算して得られる加算信号により除することで、熱拡
散の変化の影響を排除した流量算出を可能としている。
【0067】そして、上述した実施形態では、除算15
a1−2における除算信号の取得を流量算出部15a1
−3による流量の算出よりも先に行っているが、これ
は、第2温度検出信号と第1温度検出信号との増幅後の
差信号に現れる熱拡散の変化の影響を排除するために
は、ガスの物性値を熱伝導率や比熱、粘性、密度といっ
た厳密な精度の値として把握する必要がないためであ
る。
【0068】即ち、上述した実施形態では、熱拡散の状
態を高精度で把握しないと特定できないガスの熱伝導率
や比熱、粘性、密度を、物性値として流体物性値算出部
15a1−4で算出するために、熱拡散の変化の影響を
排除したガスの正確な流量を流量算出部15a1−3に
より事前に算出しておいて、これを、流体物性値算出部
15a1−4による物性値の算出に反映させている。
【0069】しかし、物性値として流体物性値算出部1
5a1−4で算出するファクタの種類によっては、流体
物性値算出部15a1−4による物性値の算出を事前に
行っておいて、これと、差動アンプ33からの、下流側
サーモパイル105からの第2温度検出信号と上流側サ
ーモパイル108からの第1温度検出信号との増幅され
た差信号とに基づいて、熱拡散の変化の影響を排除した
ガスの正確な流量を後から算出するようにしてもよい。
【0070】このように、上述のガス計量手段によれ
ば、マイクロヒータ104に対してガスの流れ方向と略
直交方向に右側サーモパイル111および左側サーモパ
イル113を配置し、右側温度検出信号および左側温度
検出信号を出力するように構成したので、ガスの流れ方
向の影響を受けずに、右側温度検出信号および左側温度
検出信号に基づき熱拡散定数等のガスの物性値を正確に
算出することができ、したがってガスの種類を特定する
ことができる。
【0071】そして、算出されたガスの物性値に基づ
き、流量算出部15a1−3で算出されたガスの流量を
補正するようにしたので、特別な工夫をせずに、ガスの
種類や組成が変化した場合であっても、正確に流量を計
測することができる。
【0072】次に、合計流量遮断機能を実行する合計流
量遮断機能手段について説明する。合計流量遮断機能手
段は、μCOM15aのCPU15a1と、フローセン
サ14と、センサ回路15eと、遮断弁駆動回路15c
と、遮断弁11とで構成される。μCOM15aのCP
U15a1は、フローセンサ14およびセンサ回路15
eで計測される電子ガスメータ1の設置先の燃焼器具の
合計ガス使用量が、以下に説明する強制学習により設定
された遮断設定値を超えた場合、元栓の誤開放やゴムホ
ースの抜けなどによる大量のガス漏れと判断して、遮断
弁駆動回路15cを制御し、遮断弁11を弁閉してガス
を遮断する。
【0073】次に、遮断設定値の設定方法について説明
する。CPU15a1は、電子ガスメータ1を設置した
直後、強制学習モードにされる。強制学習モードにする
方法は、たとえば、網制御ユニット(NCU)26によ
り電話回線を介してガス販売業者管理センタからの通信
で強制学習を設定すると開始される。
【0074】μCOM15aのCPU15a1は、強制
学習モードになると、ガスの流量有りと判断される21
リットル/時間(L/h)以上の流量を検知すると強制
学習をスタートし、予め決められた強制学習期間の間、
たとえば60秒間、ガス流量をフローセンサ14および
センサ回路15eでサンプリング計測し、求めたガス流
量のデータを監視し、期間内のガス流量の最大値を求
め、求めた最大値に所定の安全率、たとえば1.2を掛
けた値を遮断設定値としてRAM15a3内の所定のデ
ータエリアに格納する。
【0075】図11は、遮断設定値の設定方法を示す説
明図である。図11において、強制学習時、図2に示す
ガス風呂釜4やコンロ5などの燃焼器具が全て最大流量
使用状態にされる。たとえば、電子ガスメータ1でガス
使用量を監視すべき燃焼器具が、器具1、器具2、器具
3、器具4の4台あると仮定すれば、器具1を最大流量
使用状態にすると、21リットル/時間(L/h)以上
の流量を検知した時間t0 で強制学習期間Tがスタート
する。以下、器具2を時間t1 で、器具3を時間t
2 で、器具4を時間t3 でという具合に順次最大流量使
用状態にすると、ガス流量が段階的に次第に多くなる
が、強制学習期間Tのスタートt0 (0秒)からエンド
4 (60秒)まで、ガス流量のサンプリング計測、た
とえば1回/秒程度の小刻みな頻度の計測が行われる。
そして、強制学習期間内のガス流量の最大値を求め、求
めた最大値に所定の安全率、たとえば1.2を掛けた値
が遮断設定値として設定されるのである。
【0076】以上概略説明したμCOM15aのCPU
15a1の動作の詳細を、CPU15a1が行う処理を
示す図12のフローチャートを参照して、以下に説明す
る。CPU15a1は、ガス流量が21(L/h)以上
か否かを判定し(ステップS1)、21(L/h)以上
の流量を検知したら、予め決められた強制学習期間(た
とえば、60秒すなわち1分)Tをカウントするタイマ
ーをスタートする(ステップS2)。次に、フローセン
サ14の検出出力に基づき、所定の間隔、たとえば1回
/秒の間隔でガス流量をサンプリング計測する(ステッ
プS3)。
【0077】次に、タイマーのカウントが1分(60
秒)経過したか否かを判定し(ステップS4)、経過し
ていなければステップS3に戻ってサンプリング計測を
継続し、経過していればステップS5に進む。
【0078】ステップS5で、1秒毎にサンプリング計
測したガス流量のデータを、各変数Q(1),Q
(2),...Q(60)に代入し、各変数をRAM1
5a3内の所定のエリアに格納する。次に、変数Q(M
AX)に流量データとして0(ゼロ)(L/h)を代入
し、RAM15a3内の所定のエリアに格納する(ステ
ップS6)。
【0079】次に、Q(MAX)とQ(n)を比較し、
Q(n)の方が大きい場合、Q(MAX)にQ(n)を
代入し(ステップS7)、次にnを1だけインクリメン
トし(ステップS8)し、次に、n=60か否かを判定
し(ステップS9)、その答がノーならばステップS7
に戻り、その答がイエスならば作業を終了する。
【0080】すなわち、ステップS7乃至S9の作業に
より、Q(MAX)とQ(1)を比較し、もし、Q(M
AX)>Q(1)なら、Q(1)の値をQ(MAX)に
代入して行く。次に、Q(1)の値が代入されたQ(M
AX)とQ(2)を比較し、もし、Q(MAX)>Q
(2)なら、Q(2)の値をQ(MAX)に代入して行
き、以下、同様の作業をQ(60)まで行えば、Q(M
AX)の中には、強制学習期間中のガス流量の最大値が
設定される。
【0081】次に、算出した最大値Q(MAX)に所定
の安全率を掛けた値を、遮断設定値としてRAM15a
3内の所定のエリアに格納し(ステップS10)、次
に、処理を終了する。ここで、上述の所定の安全率は、
従来のような×2.2ではなく、たとえば×1.2のよ
うに安全率を小さく設定する。
【0082】質量流量式ガス計量手段においては、季節
・地域ではバラツキが小さいため、安全率をギリギリま
で小さく設定しても誤遮断することはない。これによ
り、高精度な合計流量遮断を行うことができるようにな
る。
【0083】以上の通り、本発明の実施の形態について
説明したが、本発明はこれに限らず、種々の変形、応用
が可能である。
【0084】たとえば、強制学習期間Tは、上述の実施
の形態では60秒間としたが、他の適宜な期間としても
良い。
【0085】また、サンプリングの間隔は、上述の実施
の形態では1回/秒としているが、これに限らず他の適
宜な間隔とすることができる。
【0086】また、質量流量式ガス計量手段に用いられ
る、質量を計測できるセンサとして、上述の実施の形態
におけるフローセンサに代えて、熱線式センサ、熱伝対
センサ等の他のセンサを用いても良い。これらのいずれ
のセンサを用いても、高精度な合計流量遮断を行うこと
ができる。
【0087】また、上述の実施の形態におけるフローセ
ンサ14において、温度センサを構成する右側サーモパ
イル111および左側サーモパイル113を削除した構
造としても良い。
【0088】また、他の実施例として、強制学習期間中
のガス流量の最大値を求める際、燃焼器具の使用開始過
渡期の立ち上がりに生じるピーク値をキャンセルし、こ
のピーク値以外の流量データのうちの最大値を求めるよ
うにしても良い。
【0089】すなわち、図13に示すように、器具1、
器具2、器具3および器具4の使用開始過渡期の立ち上
がり時には、それぞれ、非常に大量のガスが流れピーク
値となるが、このピーク値は異常値であり、このピーク
値を強制学習期間中のガス流量の最大値として採用する
と、高精度な合計流量遮断は実現できない。
【0090】したがって、このピーク値をキャンセル
し、ピーク値以外のサンプリング計測値の中から最大値
を決定することにより、さらに高精度な合計流量遮断を
実現することができる。
【0091】さらに他の実施例として、予め決められた
強制学習期間の間に、質量流量式ガス計量手段によりサ
ンプリング計測した各ガス流量値のうち、燃焼器具の使
用開始過渡期の立ち上がりによるガス流量値をキャンセ
ルし、最大流量使用状態の全燃焼器具についてサンプリ
ング計測されたガス流量値の全データの平均値を求め、
求めた平均値に所定の安全率を掛けて遮断設定値を設定
しても良い。
【0092】すなわち、図14に示すように、器具1、
器具2、器具3および器具4の使用開始過渡期の立ち上
がり時には、それぞれ、非常に大量のガスが流れピーク
値となるが、このピーク値は異常値であり、このピーク
値を強制学習期間中のガス流量の最大値として採用する
と、高精度な合計流量遮断は実現できない。
【0093】したがって、このピーク値をキャンセル
し、全燃焼器具が最大流量使用状態にある平均値算出期
間T1 の間にサンプリング計測されたガス流量値の全デ
ータの平均値を求め、この平均値に所定の安全率、たと
えば1.2を掛けて遮断設定値とすることにより、さら
に高精度な合計流量遮断を実現することができる。
【0094】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、ガスの質
量流量を計測するので、使用環境(温度、圧力等)にか
かわらず正確に計測でき、したがって、安全率を小さく
設定でき、ガスの体積流量を計測する従来方式よりも高
精度な合計流量遮断が可能となる。
【0095】請求項2記載の発明によれば、燃焼器具の
使用開始過渡期の立ち上がりによるガス流量値をキャン
セルしているので、さらに高精度な合計流量遮断が可能
となる。
【0096】請求項3記載の発明によれば、燃焼器具の
使用開始過渡期の立ち上がりによるガス流量値をキャン
セルし、最大流量使用状態の全燃焼器具についてサンプ
リング計測されたガス流量値の全データの平均値を求
め、求めた平均値に所定の安全率を掛けて遮断設定値を
設定しているので、さらに高精度な合計流量遮断が可能
となる。
【0097】請求項4記載の発明によれば、安全率を従
来よりも小さく設定できる。
【0098】請求項5記載の発明によれば、質量流量式
ガス計量手段がフローセンサを用いて実現できる。
【0099】請求項6記載の発明によれば、精度良くガ
スの質量流量を計測することができる。
【0100】請求項7記載の発明によれば、精度良くガ
スの質量流量を計測することができ、ガスの種類や組成
が変化した場合でも、精度の良い流量計測が行える。
【0101】請求項8記載の発明によれば、精度良くガ
スの質量流量を計測することができ、ガスの種類や組成
が変化した場合でも、精度の良い流量計測が行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるガス計量装置の基本構成を示すブ
ロック図である。
【図2】本発明によるガス計量装置が適用されるガス供
給設備を示す図である。
【図3】本発明によるガス計量装置の一実施の形態を示
す回路構成図である。
【図4】図3においてガス計量手段を構成するフローセ
ンサの概略構成を説明する略図である。
【図5】図4のフローセンサの構成図である。
【図6】図4のマイクロフローセンサの断面図である。
【図7】図4のマイクロフローセンサを用いたガス計量
手段の構成プロック図である。
【図8】図7のガス計量手段により実現される流量計測
方法を示すフローチャートである。
【図9】第1温度検出信号および第2温度検出信号を示
す図である。
【図10】右側温度検出信号および左側温度検出信号を
示す図である。
【図11】遮断設定値の設定方法を示す説明図である。
【図12】図3のμCOM中のCPUが行う処理を示す
フローチャートである。
【図13】遮断設定値の他の設定方法を示す説明図であ
る。
【図14】遮断設定値のさらに他の設定方法を示す説明
図である。
【符号の説明】
A ガス計量手段 A1 質量流量式ガス計量手段 B 合計流量遮断機能手段 15a11 強制学習手段 15a12 設定手段
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01F 1/692 G01F 15/04 1/696 15/06 15/04 1/68 104A 15/06 104B 201Z

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガス供給路に流れるガス流の流量を計測
    し、該計測したガス流量を積算して燃焼器具のガス使用
    量を計量するガス計量手段と、上記ガス計量手段におい
    て求めたガス使用量を監視し、予め定めた遮断設定値を
    越えたガス流量となったときガス供給を遮断する合計流
    量遮断機能手段とを有するガス計量装置であって、 上記ガス計量手段は、ガス供給路に流れるガス流の質量
    流量を計測し、該計測した質量流量に基づいてガス流量
    値を求め、求めたガス流量値を積算してガス使用量を計
    量する質量流量式ガス計量手段であり、 上記合計流量遮断機能手段は、予め決められた強制学習
    期間の間に、上記質量流量式ガス計量手段によりサンプ
    リング計測したガス流量の最大値を求める強制学習手段
    と、上記強制学習手段によって求めた上記最大値に所定
    の安全率を掛けて遮断設定値を設定する設定手段とを含
    む、 ことを特徴とするガス計量装置。
  2. 【請求項2】 前記強制学習手段は、サンプリング計測
    で求めた各ガス流量値のうち、前記燃焼器具の使用開始
    過渡期の立ち上がりによるガス流量値をキャンセルし、
    キャンセルしたガス流量値以外のガス流量値の中から最
    大値を求めることを特徴とする請求項1記載のガス計量
    装置。
  3. 【請求項3】 ガス供給路に流れるガス流の流量を計測
    し、該計測したガス流量を積算して燃焼器具のガス使用
    量を計量するガス計量手段と、上記ガス計量手段におい
    て求めたガス使用量を監視し、予め定めた遮断設定値を
    越えたガス流量となったときガス供給を遮断する合計流
    量遮断機能手段とを有するガス計量装置であって、 上記ガス計量手段は、ガス供給路に流れるガス流の質量
    流量を計測し、該計測した質量流量に基づいてガス流量
    値を求め、求めたガス流量値を積算してガス使用量を計
    量する質量流量式ガス計量手段であり、 上記合計流量遮断機能手段は、予め決められた強制学習
    期間の間に、上記質量流量式ガス計量手段によりサンプ
    リング計測した各ガス流量値のうち、前記燃焼器具の使
    用開始過渡期の立ち上がりによるガス流量値をキャンセ
    ルし、最大流量使用状態の全燃焼器具についてサンプリ
    ング計測されたガス流量値の全データの平均値を求める
    強制学習手段と、上記強制学習手段によって求めた上記
    平均値に所定の安全率を掛けて遮断設定値を設定する設
    定手段とを含む、 ことを特徴とするガス計量装置。
  4. 【請求項4】 前記所定の安全率は、1.2であること
    を特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のガス
    計量装置。
  5. 【請求項5】 前記質量流量式ガス計量手段は、フロー
    センサを含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれ
    か1項記載のガス計量装置。
  6. 【請求項6】 前記フローセンサは、 前記ガス供給路を流れるガスを加熱するヒータと、 上記ヒータに対してガスの上流側に配置され、ガスの温
    度を検出して第1温度検出信号を出力する上流側温度セ
    ンサと、 上記ヒータに対してガスの下流側に配置され、ガスの温
    度を検出して第2温度検出信号を出力する下流側温度セ
    ンサと、 上記ヒータ、上記上流側温度センサおよび上記下流側温
    度センサを支持する支持基板と、からなることを特徴と
    する請求項5記載のガス計量装置。
  7. 【請求項7】 前記フローセンサは、 前記ガス供給路を流れるガスを加熱するヒータと、 上記ヒータに対してガスの上流側に配置され、ガスの温
    度を検出して第1温度検出信号を出力する上流側温度セ
    ンサと、 上記ヒータに対してガスの下流側に配置され、ガスの温
    度を検出して第2温度検出信号を出力する下流側温度セ
    ンサと、 上記ヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に配置
    され、ガスの温度を検出して第3温度検出信号を出力す
    る横側温度センサと、 上記ヒータ、上記上流側温度センサ、上記下流側温度セ
    ンサおよび上記横側温度センサを支持する支持基板と、 からなることを特徴とする請求項5記載のガス計量装
    置。
  8. 【請求項8】 前記質量流量式ガス計量手段は、 前記フローセンサ内の前記上流側温度センサからの前記
    第1温度検出信号と前記下流側温度センサからの前記第
    2温度検出信号との差信号に基づきガスの流量を算出す
    る流量算出手段と、 前記フローセンサ内の前記横側温度センサからの前記第
    3温度検出信号に基づきガスの物性値を算出する流体物
    性値算出手段と、 前記流体物性値算出手段で算出されたガスの物性値に基
    づき前記流量算出手段で算出されたガスの流量を補正す
    る流量補正手段と、を備えることを特徴とする請求項7
    記載のガス計量装置。
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