JP2002079161A - Dispenser - Google Patents

Dispenser

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JP2002079161A
JP2002079161A JP2000270686A JP2000270686A JP2002079161A JP 2002079161 A JP2002079161 A JP 2002079161A JP 2000270686 A JP2000270686 A JP 2000270686A JP 2000270686 A JP2000270686 A JP 2000270686A JP 2002079161 A JP2002079161 A JP 2002079161A
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JP
Japan
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piston
syringe
paste
dispenser
motor
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Pending
Application number
JP2000270686A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshiyuki Komiya
利行 小宮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Semiconductors Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Semiconductors Kyushu Ltd
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Publication date
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    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/741Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To miniaturize the constitution of a syringe part for discharging a paste, to enlarge the range of fine control by performing control taking account of the revolution speed of a motor and to monitor the remaining quantity of the paste in the syringe. SOLUTION: The syringe 1 and a piston driving part 3 are formed into separated bodies, the piston driving part 3 and a piston 2 are connected with a power transmission part 4 and the movement of the piston 2 is controlled by controlling the revolution quantity and the revolution speed of the motor 5 of the piston driving part 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、シリンジに充填さ
れたペーストを前記シリンジからピストンで吐出・供給
するディスペンサーに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dispenser which discharges and supplies a paste filled in a syringe from the syringe with a piston.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば半導体装置の製造工程では、セラ
ミック基板にリードフレーム等の部材に半導体素子ペレ
ットを接着するペレットボンディング工程が存在し、こ
の接着材料としてAg(銀)ペレットが用いられてい
る。
2. Description of the Related Art For example, in a manufacturing process of a semiconductor device, there is a pellet bonding step of bonding a semiconductor element pellet to a member such as a lead frame on a ceramic substrate, and an Ag (silver) pellet is used as an adhesive material.

【0003】特開昭58−127335号公報に開示さ
れたディスペンサーの一例を図2(a),(b)に示
す。
FIGS. 2A and 2B show an example of a dispenser disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-127335.

【0004】図2(a)に示されるディスペンサーは、
シリンダ20内のAgペーストPが恒温器21の作用に
より所定の温度に保持され、外気の温度変化による粘度
や体積変化が抑制されるようになっている。
[0004] The dispenser shown in FIG.
The Ag paste P in the cylinder 20 is maintained at a predetermined temperature by the action of the thermostat 21, so that a change in viscosity or volume due to a change in temperature of the outside air is suppressed.

【0005】またモータ22によりウォーム23が所定
角度だけ回転して可動アーム24が下方に降下される
と、これと一体のピストン25が所定ストロークだけ降
下される。このピストン25の降下により、シリンダ2
0内のAgペーストPがシリンダ20の吐出口20aか
ら押し出されるようになっている。
When the worm 23 is rotated by a predetermined angle by the motor 22 and the movable arm 24 is lowered, the piston 25 integrated therewith is lowered by a predetermined stroke. This lowering of the piston 25 causes the cylinder 2
The Ag paste P in the cylinder 0 is pushed out from the discharge port 20a of the cylinder 20.

【0006】図2(a)に示されるディスペンサーでは
上述したように、ピストン25の降下量がウォーム23
の回転角と密接な関係を有しているため、ウォーム23
の回転角、つまりモータ22の回転角を制御してAgペ
ーストPの供給量をコントロールしている。
[0006] In the dispenser shown in FIG.
Has a close relationship with the rotation angle of the worm 23
, That is, the rotation angle of the motor 22 is controlled to control the supply amount of the Ag paste P.

【0007】また図2(b)に示されるディスペンサー
は、シリンダ20の外周一部に温度センサ26を付設し
てシリンダ20の温度を検出し、その検出値に応じて制
御部27でモータ22の回転角をコントロールするよう
になっている。
In the dispenser shown in FIG. 2B, a temperature sensor 26 is attached to a part of the outer periphery of the cylinder 20 to detect the temperature of the cylinder 20, and the controller 27 controls the motor 22 according to the detected value. It controls the rotation angle.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら図2に示
される特開昭58−127335号に開示されたディス
ペンサーは、シリンダ20内のピストン25を駆動制御
するモータ22及びモータ22の制御に付随する構成要
素がシリンダ20と一体に組込まれているため、シリン
ダ部分の構成が大型化され、汎用性をもって他機種に組
み付けることが困難になるという問題がある。
However, the dispenser disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-127335 shown in FIG. 2 has a motor 22 for driving and controlling the piston 25 in the cylinder 20 and a structure accompanying the control of the motor 22. Since the components are integrated with the cylinder 20, the configuration of the cylinder portion is increased in size, and there is a problem that it is difficult to assemble it with other models with versatility.

【0009】またAgペーストPの吐出量は、モータ2
2の回転量のみの制御により調整されるものであって、
モータ22の回転速度を考慮した調整でないため、微調
整の調整範囲が狭くなってしまうという問題がある。
The discharge amount of the Ag paste P is
It is adjusted by controlling only the rotation amount of 2,
Since the adjustment is not performed in consideration of the rotation speed of the motor 22, there is a problem that the adjustment range of the fine adjustment is narrowed.

【0010】またシリンダ20を交換する際に、ピスト
ン25を含めた駆動部がシリンダ20と一体に組込まれ
ているため、シリンダ20の交換作業性に劣るという問
題がある。
Further, when the cylinder 20 is replaced, since the drive unit including the piston 25 is integrated with the cylinder 20, there is a problem that the replacement work of the cylinder 20 is inferior.

【0011】またピストン25を用いてAgペーストP
を吐出するため、ペーストPの供給は安定するが、シリ
ンダ20内に残留するペーストPの残量を考慮していな
いため、シリンダ20内に使用期限を過ぎたペーストP
が残留することが予想され、品質が劣化したペーストP
が供給されてしまうということが予想される。
An Ag paste P using a piston 25
, The supply of the paste P is stabilized, but since the remaining amount of the paste P remaining in the cylinder 20 is not taken into consideration, the paste P which has expired in the cylinder 20 is not used.
Is expected to remain, and the quality of the paste P deteriorates.
Is expected to be supplied.

【0012】本発明の目的は、ペーストを吐出させるシ
リンジ部分の構成を小型化し、またモータの回転速度を
考慮した調整とすることにより微調整の調整範囲を拡大
し、またシリンジ内でのペースト残量の監視を行うよう
にしたディスペンサーを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to reduce the size of a syringe portion for discharging a paste, expand a fine adjustment range by adjusting the rotation speed of a motor in consideration of the rotation speed of a motor, and maintain a paste remaining in a syringe. It is to provide a dispenser adapted to monitor the amount.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るディスペンサーは、シリンジに充填さ
れたペーストを前記シリンジからピストンで吐出・供給
するディスペンサーであって、シリンジとピストン駆動
部を別体に構成し、前記ピストン駆動部と前記ピストン
との間を動力伝達部で連結し、前記ピストン駆動部のモ
ータの回転量及び回転速度を調整して前記ピストンの移
動を制御するものである。
In order to achieve the above object, a dispenser according to the present invention is a dispenser that discharges and supplies a paste filled in a syringe from the syringe with a piston, wherein the syringe and the piston driving unit are connected to each other. The piston drive unit and the piston are connected separately by a power transmission unit, and a rotation amount and a rotation speed of a motor of the piston drive unit are adjusted to control movement of the piston. .

【0014】また前記動力伝達部は、フレキシブルワイ
ヤーとボールネジシャフトとスライドシャフトとを含む
ものであり、前記フレキシブルワイヤーは、前記ピスト
ン駆動部の回転駆動力を前記ボールネジシャフトに伝達
するものであり、前記ボールネジシャフトは、前記フレ
キシブルワイヤーからの回転駆動力を受けて前記スライ
ドシャフトに送りを与えるものであり、前記スライドシ
ャフトは、前記ボールネジシャフトからの送りを受けて
前記ピストンをシリンジ内に摺動させるものである。ま
た前記動力伝達部は、前記ピストン駆動部のモータによ
る回転運動を前記ピストンの直線運動に変換して動力伝
達するものである。
The power transmission unit includes a flexible wire, a ball screw shaft, and a slide shaft. The flexible wire transmits a rotational driving force of the piston driving unit to the ball screw shaft. The ball screw shaft receives the rotational driving force from the flexible wire and feeds the slide shaft, and the slide shaft receives the feed from the ball screw shaft and slides the piston into the syringe. It is. The power transmission unit converts the rotational motion of the piston drive unit by a motor into a linear motion of the piston and transmits the power.

【0015】また残量検出部を有しており、前記残量検
出部は、前記シリンジ内に残留するペーストの残留量を
検出するものであり、前記ピストン駆動部は、前記残量
検出部からの検出データに基いて前記動力伝達部を介し
て前記ピストンの動きを制御するものである。
Further, the apparatus further includes a remaining amount detecting section for detecting a remaining amount of the paste remaining in the syringe, and the piston driving section detects the remaining amount of the paste from the remaining amount detecting section. The movement of the piston is controlled via the power transmission unit on the basis of the detected data.

【0016】また前記残量検出部は、前記シリンジ内の
上限液量を検出する上限センサーと、前記シリンジ内の
下限液量を検出する下限センサーと、前記シリンジ内の
液量に応じて前記ピストンと一体に移動する液面センサ
ーとを含み、前記液面センサーと前記上限センサー及び
前記下限センサーとの位置関係に基いて前記ピストンが
接触している前記シリンジ内のペーストの液面位置を検
出してペーストの残量を算出するものである。
The remaining amount detecting section includes an upper limit sensor for detecting an upper limit liquid amount in the syringe, a lower limit sensor for detecting a lower limit liquid amount in the syringe, and the piston in accordance with the liquid amount in the syringe. And a liquid level sensor that moves integrally with the piston, based on a positional relationship between the liquid level sensor and the upper limit sensor and the lower limit sensor, detects a liquid level position of the paste in the syringe with which the piston is in contact. To calculate the remaining amount of paste.

【0017】また前記ピストン駆動部のモータとしてパ
ルスモータを用い、前記パルスモータをパルス制御する
ものである。
Further, a pulse motor is used as the motor of the piston drive unit, and the pulse motor is pulse-controlled.

【0018】また前記パルスモータに印加する1ショッ
トのパルス数と回転速度を変更することにより前記シリ
ンジからのペーストの吐出量を制御するものである。
Further, the amount of paste discharged from the syringe is controlled by changing the number of pulses of one shot applied to the pulse motor and the rotation speed.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
より説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0020】図1は、本発明に係るディスペンサーを示
す構成図である。図1に示す本発明に係るディスペンサ
ーは、シリンジ1に充填されたペーストPを前記シリン
ジ1からピストン2で吐出・供給するようになってい
る。
FIG. 1 is a block diagram showing a dispenser according to the present invention. The dispenser according to the present invention shown in FIG. 1 discharges and supplies the paste P filled in the syringe 1 from the syringe 1 with the piston 2.

【0021】本発明は、シリンジ1とピストン駆動部3
を別体に構成し、ピストン駆動部3とピストン2との間
を動力伝達部4で連結し、ピストン駆動部3のモータ5
の回転量及び回転速度を調整してピストン2の移動を制
御するようになっている。
According to the present invention, the syringe 1 and the piston drive 3
And a power transmission unit 4 connects the piston drive unit 3 and the piston 2 to each other, and a motor 5 of the piston drive unit 3
The movement of the piston 2 is controlled by adjusting the rotation amount and the rotation speed of the piston 2.

【0022】したがって本発明によれば、シリンジ1と
ピストン駆動部3を別体に構成して、ピストン駆動部3
とピストン2との間を動力伝達部4で連結しているた
め、ペーストPを吐出させるシリンジ部分の構成を小型
化することができ、その取付け面積を可及的に縮小さ
せ、取付け相手方の機器を変更することなく、汎用性を
もって他機種に組み付けることが容易に行うことができ
る。
Therefore, according to the present invention, the syringe 1 and the piston drive unit 3 are formed separately,
And the piston 2 are connected by the power transmission unit 4, so that the configuration of the syringe part for discharging the paste P can be reduced in size, the mounting area can be reduced as much as possible, Can be easily assembled to other models with versatility without changing.

【0023】またシリンジ1を交換する際に、シリンジ
1とピストン駆動部3を別体に構成しているため、従来
とは相違してピストン駆動部3を取り外すことなく、シ
リンジ1のみを取り外すだけでシリンジ1の交換を行う
ことができ、その交換作業を容易に行うことができる。
When the syringe 1 is replaced, since the syringe 1 and the piston drive unit 3 are formed separately, unlike the conventional case, only the syringe 1 is removed without removing the piston drive unit 3. The replacement of the syringe 1 can be performed, and the replacement operation can be easily performed.

【0024】次に本発明の具体例を図1に基いて詳細に
説明する。
Next, a specific example of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

【0025】図1において、ピストン駆動部3とピスト
ン1との間を連結する動力伝達部4は、フレキシブルワ
イヤー6とボールネジシャフト7とスライドシャフト8
とを含んで構成されている。
In FIG. 1, a power transmission section 4 connecting the piston drive section 3 and the piston 1 includes a flexible wire 6, a ball screw shaft 7, and a slide shaft 8.
It is comprised including.

【0026】シリンジ1は、ペースト吐出口1aを下に
向けてシリンジ支持枠9に縦置き姿勢に保持され、シリ
ンジ1内にはピストン2が上下方向に摺動可能にセット
されている。ピストン2はシリンジ1内で回転を規制さ
れている。
The syringe 1 is held in a vertical position on a syringe support frame 9 with the paste discharge port 1a facing downward, and a piston 2 is set in the syringe 1 so as to be slidable in the vertical direction. The rotation of the piston 2 is restricted in the syringe 1.

【0027】シリンジ支持枠9の上座9aと下座9bの
間にはボールネジシャフト7が縦軸を回転軸として回転
可能に保持されており、フレキシブルワイヤー6は一端
6aがボールネジシャフト7に連結され、他端6bが変
速機11を介してピストン駆動部3のモータ5に連結さ
れている。
A ball screw shaft 7 is rotatably held about the vertical axis as a rotation axis between the upper seat 9a and the lower seat 9b of the syringe support frame 9. One end 6a of the flexible wire 6 is connected to the ball screw shaft 7, The other end 6b is connected to the motor 5 of the piston drive unit 3 via the transmission 11.

【0028】図1に示す例では、ピストン駆動部3のモ
ータ5としてパルスモータを用い、パルスモータ5をパ
ルス制御する、具体的にはパルスモータ5に印加する1
ショットのパルス数と回転速度を変更することによりシ
リンジ1からのペーストPの吐出量を制御するようにな
っている。
In the example shown in FIG. 1, a pulse motor is used as the motor 5 of the piston drive unit 3 and the pulse motor 5 is pulse-controlled.
The discharge amount of the paste P from the syringe 1 is controlled by changing the number of shot pulses and the rotation speed.

【0029】ピストン駆動部3は、モータ5のほかに、
電源部3b,モータ5の回転速度を変更する回転速度制
御部3c,電源スイッチ3d,コントロール部3aを含
んでおり、コントロール部3aは、回転速度制御部3c
及び電源スイッチ3dからの操作信号と、後述する残量
検出部12からの残量検出データ等とを入力として、モ
ータ5の回転量及び回転速度をコントロールするように
なっている。
The piston drive unit 3 includes, in addition to the motor 5,
It includes a power supply unit 3b, a rotation speed control unit 3c for changing the rotation speed of the motor 5, a power switch 3d, and a control unit 3a. The control unit 3a includes a rotation speed control unit 3c.
The rotation amount and the rotation speed of the motor 5 are controlled by inputting an operation signal from the power switch 3d and remaining amount detection data from the remaining amount detection unit 12, which will be described later.

【0030】シリンジ支持枠9には座9cが上下方向に
摺動可能に支持され、座9cに取付けたナット10がボ
ールネジシャフト7のネジ部に螺合されており、ボール
ネジシャフト7の回転駆動力をナット10が受けてナッ
ト10が座9cを上下に移動させるようになっている。
A seat 9c is supported on the syringe support frame 9 so as to be slidable in the vertical direction, and a nut 10 mounted on the seat 9c is screwed into a screw portion of the ball screw shaft 7, and the rotational driving force of the ball screw shaft 7 Is received by the nut 10, and the nut 10 moves the seat 9c up and down.

【0031】スライドシャフト8は上端8aが座9cに
固定され、下端8bがピストン2に連結されている。
The slide shaft 8 has an upper end 8a fixed to a seat 9c and a lower end 8b connected to the piston 2.

【0032】したがってフレキシブルワイヤー6はピス
トン駆動部3の回転駆動力をボールネジシャフト7に伝
達し、ボールネジシャフト7はフレキシブルワイヤー6
からの回転駆動力を受けてスライドシャフト8に送りを
与え、スライドシャフト8はボールネジシャフト7から
の送りを受けてピストン2をシリンジ1内に摺動させる
ようになっている。
Accordingly, the flexible wire 6 transmits the rotational driving force of the piston drive unit 3 to the ball screw shaft 7, and the ball screw shaft 7
The slide shaft 8 receives the rotation driving force from the ball screw shaft 7 to feed the slide shaft 8, and slides the piston 2 into the syringe 1 by receiving the feed from the ball screw shaft 7.

【0033】また残量検出部12を有しており、この残
量検出部12を用いて、シリンジ1内に残留するペース
トPの残留量を検出するようになっており、ピストン駆
動部3は残量検出部12からの検出データに基いて動力
伝達部4を介してピストン2の動きを制御するようにな
っている。
Further, the syringe 1 has a remaining amount detecting section 12 for detecting the remaining amount of the paste P remaining in the syringe 1 by using the remaining amount detecting section 12. The movement of the piston 2 is controlled via the power transmission unit 4 based on the detection data from the remaining amount detection unit 12.

【0034】前記残量検出部12は、シリンジ1内の上
限液量を検出する上限センサー12aと、シリンジ1内
の下限液量を検出する下限センサー12bと、シリンジ
1内の液量に応じてピストン2と一体に移動する液面セ
ンサー12cとを含み、液面センサー12cと上限セン
サー12a及び下限センサー12bとの位置関係に基い
てピストン2が接触しているシリンジ1内のペーストP
の液面位置を検出してペーストPの残量を検出するよう
になっており、残量検出データをピストン駆動部3のコ
ントール部3aに出力するようになっている。
The remaining amount detector 12 includes an upper limit sensor 12a for detecting an upper limit liquid amount in the syringe 1, a lower limit sensor 12b for detecting a lower limit liquid amount in the syringe 1, and a sensor according to the liquid amount in the syringe 1. The paste P in the syringe 1 includes a liquid level sensor 12c that moves integrally with the piston 2 and is in contact with the piston 2 based on the positional relationship between the liquid level sensor 12c and the upper limit sensor 12a and the lower limit sensor 12b.
Is detected to detect the remaining amount of the paste P, and the remaining amount detection data is output to the control unit 3 a of the piston driving unit 3.

【0035】また下限センサー12aは、シリンジ1内
でのペーストの残量が零となる液面の位置に対応して設
置されるが、必ずしもこの液面高さ位置に限定されるも
のではない。またピストン2の下端面は、シリンジ1の
ペースト吐出口1aの内法の形状に一致させて成形さ
れ、シリンジ1内のペーストPを残すことなく完全に吐
出させるようになっている。
The lower limit sensor 12a is installed at a liquid level where the remaining amount of the paste in the syringe 1 becomes zero. However, the lower limit sensor 12a is not necessarily limited to this liquid level. The lower end surface of the piston 2 is formed so as to conform to the inner shape of the paste discharge port 1a of the syringe 1 so that the paste P in the syringe 1 can be completely discharged without being left.

【0036】次に本発明の動作について説明する。図1
に示すように、AgペーストPが充填されたシリンジ1
をシリンジ支持枠9を利用して例えばペレットボンディ
ング装置13のペレットボンディングを行う箇所にセッ
トし、このペレットボンディング装置13のペレットボ
ンディング部から離れた位置にピストン駆動部3をセッ
トし、その間を動力伝達部4で連結する。また残量検出
部12をリセットしてピストン2が接触しているシリン
ジ1内のペーストPの液面位置を液面センサー12cで
検出して、その液面の高さ位置を基準の液面高さ位置に
セットする。
Next, the operation of the present invention will be described. FIG.
As shown in the figure, the syringe 1 filled with the Ag paste P
Is set using the syringe support frame 9 at a place where pellet bonding is performed by the pellet bonding apparatus 13, for example, and the piston driving section 3 is set at a position away from the pellet bonding section of the pellet bonding apparatus 13 and power is transmitted therebetween. The connection is made at the part 4. In addition, the remaining amount detecting unit 12 is reset, the liquid level of the paste P in the syringe 1 in contact with the piston 2 is detected by the liquid level sensor 12c, and the height position of the liquid level is used as a reference liquid level. Position.

【0037】また前記基準の液面高さ位置がセットされ
たときのシリンジ1内の上限の液面高さ位置を上限セン
サー12aで検出する。またシリンジ1内でのペースト
の残量が零となる液面の位置は、シリンジ1にペースト
Pを充填する前段階として検出しておく。
The upper limit liquid level position in the syringe 1 when the reference liquid level position is set is detected by the upper limit sensor 12a. Further, the position of the liquid level where the remaining amount of the paste in the syringe 1 becomes zero is detected as a stage before filling the syringe 1 with the paste P.

【0038】これら残量検出部12からの残量検出デー
タはピストン駆動部3のコントロール部3aに出力され
る。
The remaining amount detection data from the remaining amount detecting section 12 is output to the control section 3a of the piston driving section 3.

【0039】ピストン駆動部3のコントロール部3a
は、残量検出部12及び回転速度制御部3c等からの入
力信号に基いてシリンジ1からのペーストPの吐出条件
の時間・スピードを設定してペーストの吐出を開始させ
る。
Control section 3a of piston drive section 3
Sets the time and speed of the discharge condition of the paste P from the syringe 1 based on the input signals from the remaining amount detection unit 12 and the rotation speed control unit 3c, and starts the discharge of the paste.

【0040】ピストン駆動部3のモータ5は、コントロ
ール部3aからの制御信号に基いてコントロール部3a
が設定した回転量(時間)及び回転速度の設定値に従っ
て回転駆動し、その回転駆動力をフレキシブルワイヤー
6に伝達する。
The motor 5 of the piston drive unit 3 controls the control unit 3a based on a control signal from the control unit 3a.
Is driven in accordance with the set values of the rotation amount (time) and the rotation speed set by the user, and transmits the rotation driving force to the flexible wire 6.

【0041】フレキシブルワイヤー6はピストン駆動部
3の回転駆動力をボールネジシャフト7に伝達し、ボー
ルネジシャフト7はフレキシブルワイヤー6からの回転
駆動力を受けてスライドシャフト8に送りを与え、スラ
イドシャフト8はボールネジシャフト7からの送りを受
けてピストン2をシリンジ1内に摺動させる。
The flexible wire 6 transmits the rotational driving force of the piston drive unit 3 to the ball screw shaft 7, and the ball screw shaft 7 receives the rotational driving force from the flexible wire 6 to feed the slide shaft 8, and the slide shaft 8 The piston 2 is slid into the syringe 1 in response to the feed from the ball screw shaft 7.

【0042】これら一連の動きに基いてシリンジ1から
吐出されたペーストPの吐出量が適量であるか否かを確
認し、その吐出量が適量になるまでにモータ5の回転量
及び回転速度を変更し、ペーストPの吐出量が適量にな
った時点でピストン駆動部3のコントロール部3aは、
ペレットボンディング装置13からのペースト供給指令
を受けてペーストの吐出指令を発する。
Based on these series of movements, it is confirmed whether or not the discharge amount of the paste P discharged from the syringe 1 is an appropriate amount, and the rotation amount and the rotation speed of the motor 5 are adjusted until the discharge amount becomes an appropriate amount. The control unit 3a of the piston driving unit 3 changes the discharge amount of the paste P to an appropriate amount.
In response to a paste supply command from the pellet bonding apparatus 13, a paste discharge command is issued.

【0043】なお、上述した一連の動作で一定量回転し
たフレキシブルワイヤー6は、ボールネジ駆動負荷のた
め、捻じれが発生し、僅かなタイムラグが発生する。し
かしながらシリンジ1を基板等のペースト塗布位置まで
降下させる時間内にタイムラグが解消されるため、吐出
量に変動はない。
The flexible wire 6 rotated by a predetermined amount in the above-described series of operations is twisted due to a ball screw driving load, and a slight time lag occurs. However, since the time lag is eliminated within the time for lowering the syringe 1 to the paste application position on the substrate or the like, the discharge amount does not change.

【0044】またペーストPの吐出が進み、ピストン1
がシリンジ1内を下降してシリンジ1内のペーストPの
残量が零になると、下限センサー12cが検知し、その
検出データに基いて、ピストン駆動部3はモータ5を停
止させてペーストPの吐出を停止させる。
The discharge of the paste P proceeds, and the piston 1
Lowers in the syringe 1 and the remaining amount of the paste P in the syringe 1 becomes zero, the lower limit sensor 12c detects the lower limit sensor 12c, and based on the detection data, the piston driving unit 3 stops the motor 5 and Stop the discharge.

【0045】以上のように本発明によれば、シリンジ1
内でのペーストの残量監視を行うため、シリンダ20内
に使用期限を過ぎたペーストPが残留すること等を回避
することができ、品質が劣化したペーストPが供給され
てしまうという事態を回避することができ、さらにはシ
リンジ1内が空になった状態でピストン1を無理に摺動
させることがなく、シール性を低下させる事故を防止す
ることができる。
As described above, according to the present invention, the syringe 1
Since the remaining amount of the paste P is monitored in the inside, it is possible to prevent the paste P whose expiration date has passed from remaining in the cylinder 20 and the like, and to avoid a situation in which the paste P with deteriorated quality is supplied. Further, the piston 1 is not slid forcibly in a state where the inside of the syringe 1 is empty, so that an accident that lowers the sealing performance can be prevented.

【0046】さらにはピストン駆動部3に残量検知部1
2からの残量検出データが逐次入力するため、ピストン
2の位置関係が容易で正確に認識でき、これにより正確
な残量検知を行うことができ、品質向上を図ることがで
きる。
Further, the remaining amount detecting unit 1 is connected to the piston driving unit 3.
Since the remaining amount detection data from the second piston 2 are sequentially input, the positional relationship of the piston 2 can be easily and accurately recognized, thereby enabling accurate remaining amount detection and improving quality.

【0047】さらにシリンジ1内でのペースト残量を監
視するため、ペーストの廃棄量を低減することができ
る。
Further, since the remaining amount of the paste in the syringe 1 is monitored, the amount of paste waste can be reduced.

【0048】また前記動力伝達部4は、前記ピストン駆
動部3のモータによる回転運動をフレキシブルワイヤー
6にて伝達してボールシャフト7とスライドシャフト8
により前記ピストンの直線運動に変換して動力伝達した
が、前記ピストン駆動部のモータによる回転運動を前記
ピストンの直線運動に変換して動力伝達するプッシュプ
ル方式の動力伝達部を用いてもよいものである。この場
合、動力伝達部4としては、前記ピストン駆動部のモー
タによる回転運動をピアノ線等のケーブルを使ってプッ
シュプル方式の直線運動に変換し、この直線運動をピス
トンに動力伝達する動力伝達部を用いればよいものであ
る。また前記ピアノ線等のケーブルに代えて油圧シリン
ダを用いてもよいものである。この場合、油圧シリンダ
は、中空のパイプ内に油等を充填し、両端が小型のピス
トンでシールされたものであり、小型のピストンに直線
運動による動力を出力するように構成される。なお、前
記ピストン駆動部のモータによる回転運動を前記ピスト
ンの直線運動に変換して動力伝達することができるもの
であれば、いずれのプッシュプル方式の動力伝達部を用
いてもよいものである。
The power transmission unit 4 transmits the rotational motion of the piston drive unit 3 by the motor through the flexible wire 6 to the ball shaft 7 and the slide shaft 8.
The power is transmitted by converting the linear motion of the piston into the linear motion of the piston, but a push-pull type power transmitting unit that transmits the power by converting the rotational motion of the piston drive unit by the motor into the linear motion of the piston may be used. It is. In this case, the power transmission unit 4 converts the rotational motion of the piston drive unit by the motor into a push-pull linear motion using a cable such as a piano wire, and transmits the linear motion to the piston. Can be used. A hydraulic cylinder may be used instead of the cable such as the piano wire. In this case, the hydraulic cylinder is configured such that a hollow pipe is filled with oil or the like and both ends are sealed with small pistons, and is configured to output power by linear motion to the small piston. Note that any push-pull type power transmission unit may be used as long as the power can be transmitted by converting the rotational motion of the piston drive unit by the motor into the linear motion of the piston.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ペ
ーストを吐出させるシリンジ部分の構成を小型化するこ
とができ、またモータの回転速度を考慮した調整とする
ことにより微調整の調整範囲を拡大することができ、ま
たシリンジ内でのペースト残量の監視を行うことができ
る。
As described above, according to the present invention, the configuration of the syringe portion for discharging the paste can be reduced in size, and the adjustment range of the fine adjustment can be adjusted by taking the rotation speed of the motor into consideration. And the amount of paste remaining in the syringe can be monitored.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るディスペンサーを示す構成図であ
る。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a dispenser according to the present invention.

【図2】従来例にディスペンサーを示す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing a dispenser according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 シリンジ 2 ピストン 3 ピストン駆動部 4 動力伝達部 5 モータ 6 フレキシブルワイヤー 7 ボールネジシャフト 8 スライドシャフト DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Syringe 2 Piston 3 Piston drive part 4 Power transmission part 5 Motor 6 Flexible wire 7 Ball screw shaft 8 Slide shaft

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 シリンジに充填されたペーストを前記シ
リンジからピストンで吐出・供給するディスペンサーで
あって、 シリンジとピストン駆動部を別体に構成し、前記ピスト
ン駆動部と前記ピストンとの間を動力伝達部で連結し、 前記ピストン駆動部のモータの回転量及び回転速度を調
整して前記ピストンの移動を制御するものであることを
特徴とするディスペンサー。
1. A dispenser which discharges and supplies a paste filled in a syringe from the syringe by a piston, wherein the syringe and the piston drive unit are formed separately, and power is supplied between the piston drive unit and the piston. A dispenser, wherein the dispenser is connected by a transmission unit, and controls movement of the piston by adjusting a rotation amount and a rotation speed of a motor of the piston driving unit.
【請求項2】 前記動力伝達部は、フレキシブルワイヤ
ーとボールネジシャフトとスライドシャフトとを含むも
のであり、 前記フレキシブルワイヤーは、前記ピストン駆動部の回
転駆動力を前記ボールネジシャフトに伝達するものであ
り、 前記ボールネジシャフトは、前記フレキシブルワイヤー
からの回転駆動力を受けて前記スライドシャフトに送り
を与えるものであり、 前記スライドシャフトは、前記ボールネジシャフトから
の送りを受けて前記ピストンをシリンジ内に摺動させる
ものであることを特徴とする請求項1に記載のディスペ
ンサー。
2. The power transmission unit includes a flexible wire, a ball screw shaft, and a slide shaft, and the flexible wire transmits a rotational driving force of the piston driving unit to the ball screw shaft. The ball screw shaft receives the rotational driving force from the flexible wire and feeds the slide shaft. The slide shaft receives the feed from the ball screw shaft and slides the piston into the syringe. The dispenser of claim 1, wherein the dispenser is a dispenser.
【請求項3】 前記動力伝達部は、前記ピストン駆動部
のモータによる回転運動を前記ピストンの直線運動に変
換して動力伝達するものであることを特徴とする請求項
1に記載のディスペンサー。
3. The dispenser according to claim 1, wherein the power transmission unit converts the rotational motion of the piston drive unit by a motor into a linear motion of the piston and transmits the power.
【請求項4】 残量検出部を有しており、 前記残量検出部は、前記シリンジ内に残留するペースト
の残留量を検出するものであり、 前記ピストン駆動部は、前記残量検出部からの検出デー
タに基いて前記動力伝達部を介して前記ピストンの動き
を制御するものであることを特徴とする請求項1に記載
のディスペンサー。
4. A residual amount detecting unit, wherein the residual amount detecting unit detects a residual amount of the paste remaining in the syringe, and the piston driving unit includes a residual amount detecting unit. The dispenser according to claim 1, wherein movement of the piston is controlled via the power transmission unit based on detection data from the dispenser.
【請求項5】 前記残量検出部は、前記シリンジ内の上
限液量を検出する上限センサーと、前記シリンジ内の下
限液量を検出する下限センサーと、前記シリンジ内の液
量に応じて前記ピストンと一体に移動する液面センサー
とを含み、 前記液面センサーと前記上限センサー及び前記下限セン
サーとの位置関係に基いて前記ピストンが接触している
前記シリンジ内のペーストの液面位置を検出してペース
トの残量を算出するものであることを特徴とする請求項
1に記載のディスペンサー。
5. The apparatus according to claim 5, wherein the remaining amount detection unit includes an upper limit sensor for detecting an upper limit liquid amount in the syringe, a lower limit sensor for detecting a lower limit liquid amount in the syringe, and the lower limit sensor according to the liquid amount in the syringe. A liquid level sensor that moves integrally with the piston, and detects a liquid level position of the paste in the syringe in contact with the piston based on a positional relationship between the liquid level sensor and the upper limit sensor and the lower limit sensor. 2. The dispenser according to claim 1, wherein the remaining amount of the paste is calculated.
【請求項6】 前記ピストン駆動部のモータとしてパル
スモータを用い、前記パルスモータをパルス制御するも
のであることを特徴とする請求項1に記載のディスペン
サー。
6. The dispenser according to claim 1, wherein a pulse motor is used as the motor of the piston drive unit, and the pulse motor is pulse-controlled.
【請求項7】 前記パルスモータに印加する1ショット
のパルス数と回転速度を変更することにより前記シリン
ジからのペーストの吐出量を制御するものであることを
特徴とする請求項1に記載のディスペンサー。
7. The dispenser according to claim 1, wherein a discharge amount of the paste from the syringe is controlled by changing a pulse number and a rotation speed of one shot applied to the pulse motor. .
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