JP2002066421A - Coating apparatus - Google Patents

Coating apparatus

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JP2002066421A
JP2002066421A JP2000264594A JP2000264594A JP2002066421A JP 2002066421 A JP2002066421 A JP 2002066421A JP 2000264594 A JP2000264594 A JP 2000264594A JP 2000264594 A JP2000264594 A JP 2000264594A JP 2002066421 A JP2002066421 A JP 2002066421A
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JP
Japan
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coating liquid
coating
slot
groove surface
doctor
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Application number
JP2000264594A
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Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Fukuda
努 福田
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Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating apparatus having a friction resistance against a coating solution and capable of stably and uniformly coating a flexible strip- like support with the coating solution. SOLUTION: The groove surfaces 11a, 11b and 12a, 12b, which form first and second slots 11 and 12, and pockets 20 and 21 are subjected to grinding processing so as to have desired surface roughness suitable for reducing the coefficient of friction against the coating solution. At this time, the grove surfaces 11a, 11b and 12a, 12b are subjected to grinding processing along the outflow direction of the coating solution.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、走行する可撓性帯
状支持体に薄層を塗布する塗布装置に係り、特に、塗布
液を吐出する塗布ヘッドに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coating apparatus for applying a thin layer to a traveling flexible belt-like support, and more particularly to a coating head for discharging a coating liquid.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、薄層を形成するための塗布装置
の従来技術として、例えば特公平6−77712号公報
(以下、第1の従来技術という)に示されるものがあ
る。
2. Description of the Related Art Generally, as a prior art of a coating apparatus for forming a thin layer, there is one disclosed in Japanese Patent Publication No. Hei 6-77712 (hereinafter referred to as a first prior art).

【0003】第1の従来技術に示される塗布装置は、図
4に示すように塗布ヘッドを有し、この塗布ヘッドが第
1スロット1を形成するバックエッジ2及び第1ドクタ
ーエッジ3と、この第1ドクターエッジ3と共に第2ス
ロット4を形成する第2ドクターエッジ5とを備えた構
成とされている。
[0003] The coating apparatus shown in the first prior art has a coating head as shown in FIG. 4, the coating head comprising a back edge 2 and a first doctor edge 3 forming a first slot 1, A second doctor edge 5 forming a second slot 4 together with the first doctor edge 3 is provided.

【0004】塗布ヘッドの内部には、第1スロット1,
第2スロット4に連通する断面略円形状をなすポケット
6a,6bが形成されている。そして、図示しない給液
手段から配管7a,7bを介して矢印方向B1,B2に
塗布液がそれぞれ送液され、ポケット6a,6bに液溜
めされ、該ポケット6a,6bから第1スロット1,第
2スロット4の各流出口に押し出され、矢印方向C1,
C2に吐出されるように構成されている。
A first slot 1 and a first slot 1 are provided inside the coating head.
Pockets 6a and 6b each having a substantially circular cross section communicating with the second slot 4 are formed. Then, the coating liquid is sent from the liquid supply means (not shown) in the directions of arrows B1 and B2 via the pipes 7a and 7b, respectively, and is stored in the pockets 6a and 6b. It is pushed out to each outlet of the two slots 4, and the direction of the arrow C1,
It is configured to be discharged to C2.

【0005】可撓性帯状支持体8は、図示されぬ可撓性
帯状支持体8の送り手段によって、バックエッジ2側か
ら該バックエッジ2,第1ドクターエッジ3,第2ドク
ターエッジ5に向う矢印方向Aに走行するようになって
いる。
[0005] The flexible belt-shaped support 8 is fed from the back edge 2 side to the back edge 2, the first doctor edge 3, and the second doctor edge 5 by a feeding means of the flexible belt-shaped support 8 not shown. The vehicle travels in the arrow direction A.

【0006】この可撓性帯状支持体8の走行時、ポケッ
ト6a内の第1の塗布液が第1スロット1から吐出さ
れ、可撓性帯状支持体8の片面に塗布される。その後、
可撓性帯状支持体8の走行方向の下流側に位置し、かつ
ポケット6b内から第2スロット4の流出口に押し出さ
れた第2の塗布液が、第1の塗布液の上に重ね塗りされ
る。このように、可撓性帯状支持体8の走行時、各塗布
液が前後して吐出され、可撓性帯状支持体8に二層の塗
布液が塗布される。
When the flexible belt-like support 8 runs, the first coating liquid in the pocket 6a is discharged from the first slot 1 and applied to one surface of the flexible belt-like support 8. afterwards,
The second coating liquid, which is located on the downstream side in the traveling direction of the flexible belt-shaped support member 8 and is pushed out of the pocket 6b to the outlet of the second slot 4, is applied over the first coating liquid. Is done. As described above, when the flexible belt-shaped support 8 travels, each coating liquid is discharged before and after, and the flexible belt-shaped support 8 is coated with two layers of coating liquid.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、可撓性帯状
支持体8に塗布される塗布液の厚さは、数〜数十ミクロ
ン相当のものであって、これを流通させるスロット1,
4は必然的に隘路となる形状であるので、スロット1,
4に塗布液が流通する際、塗布液とスロット1,4内面
との間に少なからぬ摩擦が生じる。このため、塗布液が
流通しにくくなり、スロット1,4の経路が500mm
を越えるように長くなると、塗布液の吐出圧にばらつき
が発生して塗布液の膜厚を均一に制御しにくくなるとい
う問題が存在していた。また、塗布液が溝面上で固化し
てしまい、清掃に手間取るという問題も有していた。
The thickness of the coating liquid applied to the flexible belt-like support 8 is equivalent to several to several tens of microns, and the thickness of the slots 1 and
Since slot 4 is necessarily a bottleneck, slot 1
When the coating liquid flows through the slot 4, considerable friction occurs between the coating liquid and the inner surfaces of the slots 1 and 4. For this reason, it becomes difficult for the coating liquid to flow, and the path of the slots 1 and 4 is 500 mm.
When the length of the coating liquid is longer than the above, there is a problem that the discharge pressure of the coating liquid varies, making it difficult to uniformly control the thickness of the coating liquid. In addition, there is also a problem that the coating liquid is solidified on the groove surface and it takes time to clean.

【0008】本発明は、上記事情に鑑み、塗布液に対す
る摩擦抵抗が少なく、塗布液を安定して均一に可撓性帯
状支持体に塗布することのできる塗布装置を提供するこ
とを課題とする。
In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a coating apparatus capable of applying a coating liquid stably and uniformly to a flexible belt-like support with low frictional resistance to the coating liquid. .

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明においては、以下の手段を採用した。本発明で
は、一の方向に走行する可撓性帯状支持体の上に塗布液
を塗布する塗布ヘッドを備え、前記塗布ヘッドが、前記
可撓性帯状支持体の走行方向に順次配置された少なくと
も二つの部材を有し、前記部材同士の間に前記塗布液が
前記可撓性帯状支持体に向かって流通するスロットが形
成された塗布装置であって、前記部材の前記スロットを
形成する溝面が、前記塗布液に対する摩擦を低減するよ
う、所望の面粗度に研磨加工されている。
Means for Solving the Problems To solve the above problems, the present invention employs the following means. In the present invention, a coating head for applying a coating liquid on a flexible belt-shaped support running in one direction is provided, and the coating head is arranged at least sequentially in a running direction of the flexible strip-shaped support. A coating device having two members, wherein a slot through which the coating liquid flows toward the flexible belt-shaped support member is formed between the members; a groove surface forming the slot of the member; However, it is polished to a desired surface roughness so as to reduce friction with the coating solution.

【0010】このように、部材のスロットを形成する溝
面が研磨加工され、塗布液に対する摩擦係数が低減され
るように所望の面粗度に形成されていると、塗布液の流
通するスロットの経路が長くなっても、塗布液の供給
時、該塗布液を円滑に供給することができるため、スロ
ットから吐出される塗布液の吐出圧を部材の延在する方
向で一様にし、かつ、それぞれの位置で時間的にも安定
させることができる。こうして、塗布液の均一な膜厚の
制御を良好に実現することが可能となる。また、溝面上
での塗布液の液離れが良好となるので、溝面上で塗布液
が付着して固化したりするのを防止でき、溝面の清掃を
容易に行うことができる
As described above, if the groove surface forming the slot of the member is polished and formed to have a desired surface roughness so that the coefficient of friction with the coating liquid is reduced, the slot of the slot through which the coating liquid flows can be formed. Even when the path is long, when supplying the coating liquid, the coating liquid can be supplied smoothly, so that the discharge pressure of the coating liquid discharged from the slot is made uniform in the direction in which the member extends, and Time can be stabilized at each position. Thus, it is possible to satisfactorily control the uniform thickness of the coating liquid. In addition, since the separation of the coating liquid on the groove surface is improved, the coating liquid can be prevented from adhering and solidifying on the groove surface, and the groove surface can be easily cleaned.

【0011】また本発明では、前記溝面は、前記塗布液
の流通する方向に沿って研磨加工されている。あるい
は、前記溝面に、前記塗布液に対する摩擦を低減する被
覆膜が形成されている。このように、部材の溝面が,塗
布液の流通方向に沿って研磨加工されたり、摩擦係数を
低減する被覆膜を有していたりすると、塗布液の流通が
いっそう円滑となり、吐出圧の安定化をいっそう図るこ
とができる。
Further, in the present invention, the groove surface is polished along a direction in which the coating liquid flows. Alternatively, a coating film for reducing friction with the coating liquid is formed on the groove surface. As described above, when the groove surface of the member is polished along the flow direction of the coating liquid or has a coating film that reduces the coefficient of friction, the flow of the coating liquid becomes smoother, and the discharge pressure is reduced. Stabilization can be further achieved.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて説明する。塗布装置は、塗布ヘッド10を
有し、この塗布ヘッド10が第1スロット11を形成す
るバックエッジ13及び第1ドクターエッジ14と、第
1ドクターエッジ14と共に第2スロット12を形成す
る第2ドクターエッジ15とを備えて構成されている。
これらバックエッジ13,第1,第2ドクターエッジ1
4,15は、可撓性帯状支持体19の走行方向Aに沿い
順次配置され、しかも先端部には超硬合金からなるバッ
クエッジ先端16,第1,第2ドクターエッジ先端1
7,18がそれぞれ装着されている。ここで、バックエ
ッジ先端16,第1,第2ドクターエッジ先端17,1
8は超硬合金で構成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The coating apparatus has a coating head 10, the coating head 10 forming a first slot 11, a back edge 13 and a first doctor edge 14, and a second doctor 12 forming a second slot 12 together with the first doctor edge 14. An edge 15 is provided.
These back edge 13, first and second doctor edges 1
Reference numerals 4 and 15 are sequentially arranged along the traveling direction A of the flexible band-shaped support 19, and furthermore, the front ends thereof include a back edge tip 16 made of cemented carbide and first and second doctor edge tips 1
7, 18 are mounted respectively. Here, the back edge tip 16, the first and second doctor edge tips 17, 1
Reference numeral 8 is made of a cemented carbide.

【0013】可撓性帯状支持体19は、図示されぬ可撓
性帯状支持体19の送り手段によって、バックエッジ1
3側から該バックエッジ13,第1ドクターエッジ1
4,第2ドクターエッジ15に向う矢印方向Aに走行す
るようになっている。そして、この可撓性帯状支持体1
9の走行時、図示しない給液手段によって塗布液が供給
され、該塗布液がポケット20,21及び第1スロット
11,第2スロット12を流通することにより、可撓性
帯状支持体19の片面に塗布液が重ねて塗布されるよう
に構成されている。この場合の塗布液としては、本例で
は、積層セラミックスコンデンサのグリーンシートに用
いられる母材シートを形成するためのものであり、例え
ば、誘電体セラミックス粉の含有液、及びその組成を若
干変えた誘電体含有液等の二種類からなっている。
The flexible band-shaped support 19 is moved by the feeding means of the flexible band-shaped support 19 (not shown) to form the back edge 1.
3 from the back edge 13, the first doctor edge 1
4, the vehicle travels in the arrow direction A toward the second doctor edge 15. Then, the flexible belt-shaped support 1
9, the coating liquid is supplied by a liquid supply means (not shown), and the coating liquid flows through the pockets 20 and 21 and the first slot 11 and the second slot 12, so that one surface of the flexible band-shaped support 19 is formed. It is configured such that the application liquid is applied in a superimposed manner. In this example, the coating liquid in this case is for forming a base material sheet used for the green sheet of the multilayer ceramic capacitor. For example, the liquid containing the dielectric ceramic powder, and the composition thereof were slightly changed. It consists of two types, such as a dielectric-containing liquid.

【0014】また本実施形態では、スロット11を形成
するバックエッジ13の溝面11a及び第1ドクターエ
ッジ14の溝面11b、さらに、スロット14を形成す
る第1ドクターエッジ14の溝面12a,第2ドクター
エッジの溝面12bが、塗布液に対する摩擦係数が低減
されるように所望の面粗度に研磨加工されている。例え
ば、図2は、所望の面粗度に研磨加工される溝面11b
を示すものである。図2に示すように、溝面11bは、
第1ドクターエッジ14の溝面14aと、第1ドクター
エッジ先端17の溝面17aとを有しており、これらの
いずれもが研磨加工されている。同様に、溝面11a
は、バックエッジ13の溝面13aと、バックエッジ先
端16の溝面16aとを、溝面12aは、第1ドクター
エッジ14の溝面14bと、第1ドクターエッジ先端1
7の溝面17bとを、溝面12bは、第2ドクターエッ
ジ15の溝面15aと、第2ドクターエッジ先端18の
溝面18aとを、それぞれ有し、これらの溝面のいすれ
もが所望の面粗度に研磨加工されている。加えて、ポケ
ット20,21も、これらの溝面と同様の面粗度にて研
磨されている。研磨加工する際の面粗度は、スロット1
1,12内を前記塗布液の種類によって適宜選択すれば
よいが、例えば、グリーンシートに用いられる母材シー
トを形成するためのものを塗布液に選ぶと、何れも面粗
度が1S以下の粗さ、好ましくは0.8S以下の粗さに
研磨されるのが望ましい。なお、図2において、符号2
2は組立用のボルト穴である。
In this embodiment, the groove surface 11a of the back edge 13 forming the slot 11 and the groove surface 11b of the first doctor edge 14, and the groove surface 12a of the first doctor edge 14 forming the slot 14 The groove surface 12b of the 2-doctor edge is polished to a desired surface roughness so that the coefficient of friction with the coating liquid is reduced. For example, FIG. 2 shows a groove surface 11b polished to a desired surface roughness.
It shows. As shown in FIG. 2, the groove surface 11b
It has a groove surface 14a of the first doctor edge 14 and a groove surface 17a of the first doctor edge tip 17, all of which are polished. Similarly, the groove surface 11a
Is a groove surface 13a of the back edge 13 and a groove surface 16a of the back edge tip 16. A groove surface 12a is a groove surface 14b of the first doctor edge 14 and a first doctor edge tip 1
7 has a groove surface 17b, and the groove surface 12b has a groove surface 15a of the second doctor edge 15 and a groove surface 18a of the second doctor edge tip 18, respectively. It is polished to a desired surface roughness. In addition, the pockets 20, 21 are polished with the same surface roughness as those of the groove surfaces. The surface roughness at the time of polishing is slot 1
What is necessary is just to select suitably inside 1 and 12 according to the kind of the said coating liquid, For example, when the thing for forming the base material sheet used for a green sheet is selected as a coating liquid, the surface roughness of all is 1S or less. It is desirable that the surface be polished to a roughness, preferably a roughness of 0.8 S or less. Note that in FIG.
2 is a bolt hole for assembly.

【0015】さらに、上記研磨加工時には、溝面11
a,11b,12a,12bのそれぞれが、塗布液の流
通する方向に沿って研磨加工されている。
Further, at the time of the above-mentioned polishing, the groove surface 11 is formed.
Each of a, 11b, 12a, and 12b is polished along the direction in which the coating liquid flows.

【0016】このように、溝面11a,11b,12
a,12b及びポケット20,21が研磨加工され、塗
布液に対する摩擦係数が低減されるように所望の面粗度
に形成されていると、塗布液の供給時、該塗布液を円滑
に供給することができるため、スロット11,12から
吐出される塗布液の吐出圧をバックエッジ12、第1,
第2ドクターエッジ14,15の延在する方向で一様に
し、かつ、それぞれの位置で時間的にも安定させること
ができる。こうして、塗布液の均一な膜厚の制御を良好
に実現することが可能となる。また、溝面11a,11
b,12a,12b上での塗布液の液離れが良好となる
ので、溝面11a,11b,12a,12b上で塗布液
が付着して固化したりするのを防止でき、溝面11a,
11b,12a,12bの清掃を容易に行うことができ
る。
As described above, the groove surfaces 11a, 11b, 12
If the a and 12b and the pockets 20 and 21 are polished and formed to have a desired surface roughness so as to reduce the friction coefficient with respect to the coating liquid, the coating liquid is supplied smoothly when the coating liquid is supplied. Therefore, the discharge pressure of the application liquid discharged from the slots 11 and 12 can be reduced by the back edge 12, the first
The second doctor edges 14 and 15 can be made uniform in the direction in which they extend, and can be stabilized temporally at each position. Thus, it is possible to satisfactorily control the uniform thickness of the coating liquid. Also, the groove surfaces 11a, 11
Since the separation of the coating liquid on the b, 12a, and 12b is improved, it is possible to prevent the coating liquid from adhering and solidifying on the groove surfaces 11a, 11b, 12a, and 12b.
11b, 12a, and 12b can be easily cleaned.

【0017】さらに、各溝面11a,11b,12a,
12bが、塗布液の流出方向に沿って研磨加工されてい
るので、塗布液の流通がいっそう円滑となり、吐出圧の
安定化をいっそう図ることもできる。
Further, each of the groove surfaces 11a, 11b, 12a,
Since 12b is polished along the flowing direction of the coating liquid, the flow of the coating liquid becomes smoother, and the discharge pressure can be further stabilized.

【0018】図3は他の実施形態を示している。この実
施形態では、バックエッジ13,第1,第2ドクターエ
ッジ14,15において第1,第2スロット11,12
を形成する溝面11a,11b,12a,12b、及び
ポケット20,21に被覆膜23が形成されている。こ
の被覆膜23としては、塗布液の流通を円滑にさせるた
めのものであって、本例ではダイヤモンドライクカーボ
ン(DLC)がコーティングされているが、それ以外の
ものでもよく、要は、アブレーション摩耗や、脂肪酸あ
るいは硫黄含有有機物などによる腐食摩耗等により損傷
しにくい材質で構成されることが好ましい。
FIG. 3 shows another embodiment. In this embodiment, the first and second slots 11 and 12 are formed at the back edge 13 and the first and second doctor edges 14 and 15.
Are formed on the groove surfaces 11 a, 11 b, 12 a, 12 b and the pockets 20, 21. The coating film 23 is for smoothing the flow of the coating liquid, and is coated with diamond-like carbon (DLC) in this example. However, other coatings may be used. It is preferable to use a material that is not easily damaged by abrasion, corrosive abrasion by fatty acids or sulfur-containing organic substances, and the like.

【0019】このように、バックエッジ13,第1,第
2ドクターエッジ14,15の、第1,第2スロット1
1,12を形成する溝面11a,11b,12a,12
bに被覆膜23がそれぞれ形成されると、塗布液の流通
が円滑になり、吐出圧を一様に安定させることができる
ので、前述した実施形態と略同様の効果を得ることがで
きる。
As described above, the first and second slots 1 of the back edge 13, the first and second doctor edges 14 and 15,
Grooves 11a, 11b, 12a, 12 forming grooves 1, 12
When the coating films 23 are respectively formed on b, the flow of the coating liquid becomes smooth and the discharge pressure can be uniformly stabilized, so that substantially the same effects as in the above-described embodiment can be obtained.

【0020】なお、これまで述べた各実施形態において
は、二層の塗布液を塗布する塗布装置に適用した例を示
したが、無論、一層の塗布液を塗布する装置に適用して
も、同様の作用効果が得られる。
In each of the above-described embodiments, an example in which the present invention is applied to a coating apparatus for applying a two-layer coating liquid is shown. A similar effect can be obtained.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、部
材のスロットを形成する溝面が研磨加工され、塗布液に
対する摩擦係数を低減するよう所望の面粗度に形成され
るので、吐出圧を空間的かつ時間的に安定させることが
できる。塗布液の流通するスロットが長くなっても、塗
布液の均一な膜厚の制御を良好に実現することが可能と
なる。
As described above, according to the present invention, the groove surface forming the slot of the member is polished and formed to a desired surface roughness so as to reduce the friction coefficient with respect to the coating liquid. The discharge pressure can be spatially and temporally stabilized. Even when the length of the slot through which the coating liquid flows becomes longer, it is possible to satisfactorily control the uniform thickness of the coating liquid.

【0022】また本発明によれば、スロットを形成する
溝面が,塗布液の流通方向に沿って研磨加工され、ある
いは、摩擦を低減する被覆膜が設けられるので、塗布液
の流通がいっそう円滑となり、吐出圧の安定化をいっそ
う高めることもできる。
Further, according to the present invention, since the groove surface forming the slot is polished along the flow direction of the coating liquid or provided with a coating film for reducing friction, the flow of the coating liquid is further increased. As a result, the discharge pressure can be further stabilized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明による塗布装置の一実施形態を示す概
略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of a coating apparatus according to the present invention.

【図2】 第1ドクターエッジを示す斜視図であるFIG. 2 is a perspective view showing a first doctor edge.

【図3】 本発明による塗布装置の他の実施形態を示す
要部断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of a main part showing another embodiment of the coating apparatus according to the present invention.

【図4】 従来の塗布装置の一構成例を示す説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing one configuration example of a conventional coating apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…塗布ヘッド 11,12…スロット 13…バックエッジ 14…第1ドクターエッジ 15…第2ドクターエッジ 16…バックエッジ先端 17…第1ドクターエッジ先端 18…第2ドクターエッジ先端 11a,11b,12a,12b…溝面 20,21…ポケット 23…被覆膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Application head 11, 12 ... Slot 13 ... Back edge 14 ... 1st doctor edge 15 ... 2nd doctor edge 16 ... Back edge tip 17 ... 1st doctor edge tip 18 ... 2nd doctor edge tip 11a, 11b, 12a, 12b ... groove surface 20, 21 ... pocket 23 ... coating film

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一の方向に走行する可撓性帯状支持体の
上に塗布液を塗布する塗布ヘッドを備え、前記塗布ヘッ
ドが、前記可撓性帯状支持体の走行方向に順次配置され
た少なくとも二つの部材を有し、前記部材同士の間に前
記塗布液が前記可撓性帯状支持体に向かって流通するス
ロットが形成された塗布装置であって、 前記部材の前記スロットを形成する溝面が、前記塗布液
に対する摩擦を低減するよう、所望の面粗度に研磨加工
されていることを特徴とする塗布装置。
1. A coating head for applying a coating liquid on a flexible belt-like support running in one direction, wherein the coating heads are sequentially arranged in the running direction of the flexible belt-like support. A coating device having at least two members, wherein a slot is formed between the members to allow the coating liquid to flow toward the flexible belt-like support member, wherein a groove forming the slot of the member is provided. A coating apparatus characterized in that a surface is polished to a desired surface roughness so as to reduce friction with the coating liquid.
【請求項2】 前記溝面は、前記塗布液の流通する方向
に沿って研磨加工されていることを特徴とする請求項1
記載の塗布装置。
2. The method according to claim 1, wherein the groove surface is polished along a flowing direction of the coating liquid.
The coating device according to the above.
【請求項3】 前記溝面に、前記塗布液に対する摩擦を
低減する被覆膜が形成されていることを特徴とする請求
項1記載の塗布装置。
3. The coating apparatus according to claim 1, wherein a coating film for reducing friction with the coating liquid is formed on the groove surface.
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