JP2002062650A - Photosensitive resin varnish, photosensitive adhesive film and printed wiring board - Google Patents

Photosensitive resin varnish, photosensitive adhesive film and printed wiring board

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JP2002062650A
JP2002062650A JP2000249558A JP2000249558A JP2002062650A JP 2002062650 A JP2002062650 A JP 2002062650A JP 2000249558 A JP2000249558 A JP 2000249558A JP 2000249558 A JP2000249558 A JP 2000249558A JP 2002062650 A JP2002062650 A JP 2002062650A
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JP
Japan
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photosensitive
resin
epoxy resin
component
layer
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Application number
JP2000249558A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Sumi
泰志 墨
Toshifumi Kojima
敏文 小嶋
Kazue Obayashi
和重 大林
Yasuhiko Inui
靖彦 乾
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Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin varnish having high reliability and photosensitivity and developable with little resin residue and to provide a photosensitive adhesive film and a printed wiring board using the film. SOLUTION: The photosensitive resin varnish contains a photo cationic polymerization initiator with tetrakispentafluorophenyl borate as an anionic species and tolylcumenyl iodonium as a cationic species, a bisphenol type epoxy novolak resin which is solid at ordinary temperature, a bisphenol type epoxy novolak resin which is liquid at ordinary temperature and methyl ethyl ketone as a solvent. The photosensitive adhesive film is obtained by volatilizing the solvent from the photosensitive resin varnish. Insulating resin build-up layers 4, 14, 6, 16 and resin soldering resist layers 8, 18 obtained by curing the photosensitive adhesive film are very high reliability layers having high moisture absorption resistance and adhesion.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂ワニス
と、プリント配線基板の層間絶縁材、永久レジスト、ソ
ルダーレジスト等に適用可能な感光性接着フィルムと、
それを用いたプリント配線基板に関する。
The present invention relates to a photosensitive resin varnish, a photosensitive adhesive film applicable to an interlayer insulating material of a printed wiring board, a permanent resist, a solder resist, and the like.
The present invention relates to a printed wiring board using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】多層プリント配線基板は例えばビルドア
ップ法により製造することが可能で、層間膜となる樹脂
組成物をコア基板にコーティングし、その上に導体層を
形成することで多層化される。従来、層間膜には樹脂ワ
ニスが用いられていたが、近年、樹脂ワニスをフィルム
化した樹脂接着フィルム(ドライフィルム)をコア基板
にラミネートし、製造プロセスを簡略化する手法が注目
されている。
2. Description of the Related Art A multilayer printed wiring board can be manufactured by, for example, a build-up method. A multilayer printed wiring board is formed by coating a resin composition to be an interlayer film on a core substrate and forming a conductor layer thereon. . Conventionally, a resin varnish has been used for an interlayer film. In recent years, a method of laminating a resin adhesive film (dry film) formed of a resin varnish on a core substrate to simplify a manufacturing process has attracted attention.

【0003】樹脂ワニスのフィルム化は、揮発性溶剤に
溶かした固形樹脂をキャスティングし、揮発性溶剤を揮
発させることで行われる。フィルム化については、製造
されるフィルムが過度に流動を起こさないように、高分
子成分を添加すること(例えば特開平1−25178
0)が知られている。また、ラミネートしたとき基板の
凹部に樹脂が回り込むようにしたり、フィルムのカッテ
ィング性を向上させるために、低分子量の樹脂を混合し
たりすること(例えば特開平6−37448)が知られ
ている。
A resin varnish is formed into a film by casting a solid resin dissolved in a volatile solvent and volatilizing the volatile solvent. For film formation, a polymer component is added so that the produced film does not excessively flow (for example, see JP-A-1-25178).
0) is known. It is also known to mix the resin with a resin having a low molecular weight so that the resin flows around the concave portion of the substrate when laminating, or to improve the cutting property of the film (for example, JP-A-6-37448).

【0004】一方、ビルドアップ多層プリント配線基板
をフォトビアプロセスで製造するには、感光性樹脂組成
物を層間絶縁膜及びソルダーレジストとして用い、露
光、現像によってビア及びパッド、ランドを形成する。
ここで用いられる感光性樹脂組成物には、ビア形成に必
要な感光性の他、多層プリント配線基板に必要な信頼性
(ここでは特に、耐吸湿性、高密着性)が要求される。
一般に、この感光性と信頼性を両立させるために、感光
性であるアクリル成分と高信頼性であるエポキシ成分を
ブレンドする手法(例えば、特公昭51−40451)
が用いられる。以上のことより、高い信頼性を持つ、感
光性の樹脂接着フィルムが求められている。
On the other hand, to manufacture a build-up multilayer printed wiring board by a photo via process, a photosensitive resin composition is used as an interlayer insulating film and a solder resist, and vias, pads, and lands are formed by exposure and development.
The photosensitive resin composition used here is required to have not only the photosensitivity required for forming a via but also the reliability (in particular, moisture absorption resistance and high adhesion) required for a multilayer printed wiring board.
In general, a method of blending a photosensitive acrylic component and a highly reliable epoxy component in order to achieve both photosensitivity and reliability (for example, Japanese Patent Publication No. 51-40451).
Is used. From the above, a photosensitive resin adhesive film having high reliability is required.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、高い信頼性を
持つ、感光性の樹脂接着フィルムの製造には以下のよう
な問題がある。感光性と信頼性を両立するフィルム化の
手法として、感光性のアクリル成分と高信頼性のエポキ
シ成分をブレンドする手法を用いることができない。通
常、この手法を用いる場合、2液の状態で供給される
が、フィルム化には1液化が必須である。その場合、フ
ィルムのシェルフライフが極端に低下してしまう問題が
ある。この理由は定かではないが、エポキシ樹脂を硬化
させるための硬化剤が、アクリル樹脂の反応を促進して
しまうためと考えられる。
However, the production of a highly reliable photosensitive resin adhesive film has the following problems. As a method of forming a film that achieves both photosensitivity and reliability, a method of blending a photosensitive acrylic component and a highly reliable epoxy component cannot be used. Usually, when this method is used, two liquids are supplied, but one liquid is indispensable for film formation. In this case, there is a problem that the shelf life of the film is extremely reduced. The reason for this is not clear, but it is considered that a curing agent for curing the epoxy resin accelerates the reaction of the acrylic resin.

【0006】また、フィルム化のために高分子成分を添
加すると、現像性が低下し、現像によって除去されるべ
きビアの底に樹脂の現像残り(樹脂残り)が発生し易く
なる。この樹脂残りはビア径が小さくなるほど顕著にな
り、プリント配線基板の小型化に伴うビア径の小径化に
おいて問題となる。
Further, when a polymer component is added to form a film, the developability is reduced, and the development residue (resin residue) of the resin tends to occur at the bottom of the via to be removed by development. This resin residue becomes more conspicuous as the via diameter becomes smaller, and poses a problem in reducing the via diameter as the printed wiring board becomes smaller.

【0007】本発明の課題は、高い信頼性と感光性とを
備え、現像による樹脂残りが発生しにくい感光性樹脂ワ
ニス、感光性接着フィルム、及びそれを用いたプリント
配線基板を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a photosensitive resin varnish, a photosensitive adhesive film, and a printed wiring board using the same, which have high reliability and photosensitivity and are less likely to cause resin residue during development. is there.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段及び作用・効果】上記課題
を解決するために、本発明の感光性樹脂ワニスは、分子
量1万以上の高分子成分と、分子量1万未満であって常
温で固形の多官能エポキシ樹脂成分(以下、固形エポキ
シ樹脂成分ともいう)と、常温で液状のエポキシ樹脂成
分(以下、液状エポキシ樹脂成分ともいう)と、光硬化
剤と、溶剤成分とを含むことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a photosensitive resin varnish of the present invention comprises a polymer component having a molecular weight of 10,000 or more, a polymer component having a molecular weight of less than 10,000, and a solid at room temperature. A multifunctional epoxy resin component (hereinafter, also referred to as a solid epoxy resin component), an epoxy resin component that is liquid at room temperature (hereinafter, also referred to as a liquid epoxy resin component), a photocuring agent, and a solvent component. And

【0009】一方、本発明の感光性接着フィルムは、分
子量1万以上の高分子成分と、分子量1万未満であって
常温で固形の多官能エポキシ樹脂成分と、常温で液状の
エポキシ樹脂成分と、光硬化剤とを含むことを特徴と
し、例えば上記感光性樹脂ワニスを、支持ベースフィル
ムにキャスティングした後、溶剤成分を揮発させて製造
することができる。
On the other hand, the photosensitive adhesive film of the present invention comprises a polymer component having a molecular weight of 10,000 or more, a polyfunctional epoxy resin component having a molecular weight of less than 10,000 and solid at ordinary temperature, and an epoxy resin component which is liquid at ordinary temperature. For example, the photosensitive resin varnish can be produced by casting the photosensitive resin varnish on a supporting base film and then evaporating a solvent component.

【0010】本発明の感光性樹脂ワニスにより、常温で
固形の多官能エポキシ樹脂と光硬化剤との系により感光
性を発現させることで、フィルム化しても高いシェルフ
ライフが得られ、かつ、常温で液状のエポキシ樹脂成分
を添加することで、現像後の樹脂残りが防止ないし抑制
されるようになった。したがって、この感光性樹脂ワニ
スを支持ベースフィルム等にキャスティングし、溶媒成
分を揮発させることにより得られる感光性接着フィルム
は、良好なフィルム特性が得られ、高い感光性と高い信
頼性とを兼備するものとなる。また、これら感光性樹脂
ワニス又は感光性接着フィルムをコア基板上にコーティ
ングないしラミネートし、光(例えば紫外線)照射によ
り現像した場合に、現像によって除去されるべきビアの
底に樹脂残りが殆ど発生しなくなり、信頼性の高いプリ
ント配線基板を提供することが可能となった。
By using the photosensitive resin varnish of the present invention to exhibit photosensitivity by a system of a polyfunctional epoxy resin and a photo-curing agent which are solid at room temperature, a high shelf life can be obtained even when a film is formed, and Thus, by adding a liquid epoxy resin component, resin residue after development has been prevented or suppressed. Therefore, the photosensitive adhesive film obtained by casting the photosensitive resin varnish on a supporting base film or the like and evaporating the solvent component has excellent film characteristics, and has both high photosensitivity and high reliability. It will be. Further, when these photosensitive resin varnishes or photosensitive adhesive films are coated or laminated on a core substrate and developed by irradiation with light (for example, ultraviolet rays), almost all of the resin remains at the bottom of the via to be removed by development. This has made it possible to provide a highly reliable printed wiring board.

【0011】なお、感光性樹脂ワニスをキャスティング
する際の上記支持ベースフィルムには、例えばPE,P
VC,PET,PC等や、離型紙、銅箔などを用いるこ
とができる。これら支持ベースフィルムには、離型剤塗
布等の離型処理を施しても良い。支持ベースフィルム状
に形成した感光性接着フィルムの上には、更に保護フィ
ルムを積層してもよい。こうすることでロール上に巻き
取って保管することができる。該保護フィルムには、P
E,PVC,PET,PC等や、離型紙などを用いるこ
とができる。
The support base film used for casting a photosensitive resin varnish may be made of, for example, PE or P.
VC, PET, PC, etc., release paper, copper foil, etc. can be used. These support base films may be subjected to release treatment such as application of a release agent. A protective film may be further laminated on the photosensitive adhesive film formed in a supporting base film shape. By doing so, it can be wound up on a roll and stored. The protective film includes P
E, PVC, PET, PC, release paper, and the like can be used.

【0012】上記高分子成分とは、いわゆる熱可塑性高
分子成分であり、分子量が1万以上のもので溶剤に溶解
できるものが使用され、当該樹脂ワニスをフィルム化し
た場合に、該フィルムが過度に流動するのを抑制するも
のである。具体的には、エポキシ樹脂との相溶性が高い
もの、例えばフェノキシ樹脂系、ポリスルホン系等が望
ましい。なかでもフェノキシ樹脂は、エポキシ樹脂との
相溶性が高く、MEK等の揮発性溶剤にも容易に溶解さ
れるので、分離の起こりにくい安定したワニスが得られ
る。エポキシ樹脂と相溶する熱可塑性高分子として、ポ
リアミド系樹脂が知られているが、これらは分子中のN
がカチオン重合反応を阻害する場合があるため望ましく
ない。なお、高分子成分の分子量は1万〜100万程
度、好ましくは1万〜10万程度が良い。分子量1万未
満では効果的に流動性を抑えることができなくなる場合
があり、100万を超えると溶媒への溶解性が低下する
とともに、粘度が上昇して流動性に乏しくなりフィルム
化が困難になる場合がある。なお、本発明でいう分子量
は、例えばGPC(Gel PermeationCh
romatography)法により算出される数平均
分子量である。
The above-mentioned polymer component is a so-called thermoplastic polymer component which has a molecular weight of 10,000 or more and can be dissolved in a solvent. When the resin varnish is formed into a film, the film becomes excessively high. This prevents the fluid from flowing to the outside. Specifically, those having high compatibility with the epoxy resin, for example, phenoxy resin type, polysulfone type and the like are desirable. Above all, the phenoxy resin has high compatibility with the epoxy resin and is easily dissolved in a volatile solvent such as MEK, so that a stable varnish in which separation hardly occurs can be obtained. Polyamide resins are known as thermoplastic polymers compatible with epoxy resins.
Is not desirable because it may inhibit the cationic polymerization reaction. The molecular weight of the polymer component is preferably about 10,000 to 1,000,000, and more preferably about 10,000 to 100,000. If the molecular weight is less than 10,000, it may not be possible to effectively suppress the fluidity. If the molecular weight exceeds 1,000,000, the solubility in a solvent may be reduced, and the viscosity may be increased to decrease the fluidity, making it difficult to form a film. May be. The molecular weight referred to in the present invention is, for example, GPC (Gel PermeationCh).
It is a number average molecular weight calculated by a chromatographic method.

【0013】常温で固形の多官能エポキシ樹脂として、
分子量が1万未満のグリシジルエーテル型、グリシジル
エステル型、脂環式等の未硬化エポキシ樹脂を主体とし
て使用することができる。その他のエポキシ樹脂として
アミン型エポキシ樹脂が知られているが、これらは分子
中のNがカチオン重合反応を阻害するため望ましくな
い。なかでも特にグリシジルエーテル型エポキシ樹脂が
望ましく、具体的には、ポリフェノールグリシジルエー
テルからなるエポキシ樹脂を主体とすることができる。
このエポキシ樹脂は、他のエポキシ樹脂(グリシジルエ
ステル型、アミン型、脂環型等)より耐吸湿性が高く、
例えばプリント配線基板の樹脂層を形成するために、該
エポキシ樹脂を含む感光性樹脂ワニス又は感光性接着フ
ィルムを用いた場合には一層高い信頼性が得られる。
As a polyfunctional epoxy resin which is solid at room temperature,
A glycidyl ether type, glycidyl ester type, alicyclic or other uncured epoxy resin having a molecular weight of less than 10,000 can be mainly used. Amine type epoxy resins are known as other epoxy resins, but these are not desirable because N in the molecule inhibits the cationic polymerization reaction. Of these, a glycidyl ether type epoxy resin is particularly desirable, and specifically, an epoxy resin composed of polyphenol glycidyl ether can be mainly used.
This epoxy resin has higher moisture absorption resistance than other epoxy resins (glycidyl ester type, amine type, alicyclic type, etc.),
For example, when a photosensitive resin varnish or a photosensitive adhesive film containing the epoxy resin is used to form a resin layer of a printed wiring board, higher reliability can be obtained.

【0014】ここで、ポリフェノールグリシジルエーテ
ルは、公知の多官能フェノール化合物をエピハロヒドリ
ンでエポキシ化したもので、例えば、ビスフェノール型
エポキシノボラック樹脂を用いることができる。多官能
フェノール化合物としては、具体的には、ビスフェノー
ルA,F,S,AD等のビスフェノール類、フェノール
ノボラック、クレゾールノボラック、ビスフェノールノ
ボラック等のノボラック類等を用いることができる。ポ
リフェノールグリシジルエーテルは1種又は2種以上の
混合物でもよい。
The polyphenol glycidyl ether is obtained by epoxidizing a known polyfunctional phenol compound with epihalohydrin. For example, a bisphenol-type epoxy novolak resin can be used. Specific examples of the polyfunctional phenol compound include bisphenols such as bisphenol A, F, S, and AD, and novolaks such as phenol novolak, cresol novolak, and bisphenol novolak. The polyphenol glycidyl ether may be one kind or a mixture of two or more kinds.

【0015】ビスフェノール型エポキシノボラックは、
具体的には、下記の化学式(1)で表される構造のエポ
キシ樹脂を、ホルムアルデヒドと付加縮合して得られる
ものがよい。この場合、高い耐熱性と高い感光性を兼備
した感光性樹脂ワニス又は感光性接着フィルムとなる。
なお、式中R1は、−CH−、−C(CH−、
−CH(CH)−、−SO−のいずれかである。
The bisphenol type epoxy novolak is
Specifically, a resin obtained by addition-condensing an epoxy resin having a structure represented by the following chemical formula (1) with formaldehyde is preferable. In this case, a photosensitive resin varnish or a photosensitive adhesive film having both high heat resistance and high photosensitivity is obtained.
In the formula, R1 represents —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —,
—CH (CH 3 ) — or —SO 2 —.

【0016】[0016]

【化1】 Embedded image

【0017】ポリフェノールグリシジルエーテルからな
るエポキシ樹脂のエポキシ基の平均官能基数は、2〜5
がよい。平均官能基数が2より小さいと硬化体の耐熱性
が低下する場合があり、平均官能基数が5より大きいと
例えば露光部と未露光部とのコントラスト(解像度)が
低下して、微細なビアやパッドが形成し難くなる場合が
ある。特に好ましくは2.5〜5、更には2.5〜4.
5の範囲がよい。
The average number of epoxy groups in the epoxy resin of polyphenol glycidyl ether is 2-5.
Is good. If the average number of functional groups is less than 2, the heat resistance of the cured product may be reduced. If the average number of functional groups is more than 5, for example, the contrast (resolution) between the exposed portion and the unexposed portion is reduced, and fine vias and Pads may be difficult to form. Particularly preferably, it is 2.5 to 5, more preferably 2.5 to 4.
A range of 5 is good.

【0018】ここで、平均官能基数は、式:平均官能基
数=数平均分子量/エポキシ当量、によって求めること
ができる。数平均分子量は、GPC(Gel Perm
eation Chromatography)法によ
り求めることができ、エポキシ樹脂が2種以上の混合物
の場合、その平均官能基数は、混合物全体の数平均分子
量と、混合物全体のエポキシ当量から求める。
Here, the average number of functional groups can be determined by the formula: average number of functional groups = number average molecular weight / epoxy equivalent. The number average molecular weight is determined by GPC (Gel Perm
In the case where the epoxy resin is a mixture of two or more, the average number of functional groups is determined from the number average molecular weight of the entire mixture and the epoxy equivalent of the entire mixture.

【0019】次に、常温で液状のエポキシ樹脂成分とし
て、グリシジルエーテル型、グリシジルエステル型、脂
環式等のエポキシ樹脂を主体として使用することができ
る。その他のエポキシ樹脂としてアミン型エポキシ樹脂
が知られているが、これらは分子中のNがカチオン重合
反応を阻害するため望ましくない。特にグリシジルエー
テル型エポキシ樹脂(例えばビスフェノールA型、ビス
フェノールF型、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂)が望ましい。該樹脂は他のエポキシ樹脂より耐吸湿
性が高く、プリント配線基板の樹脂層に用いた場合に高
い信頼性が得られるからである。液状樹脂の添加によ
り、例えばフィルムをプリント配線基板にラミネートし
たとき、基板の凹部への樹脂の回り込み性が向上される
という一般的な効果の他に、現像後の樹脂残りが低減さ
れるという、感光性接着フィルムにおいて極めて重要な
効果が発現される。
Next, as the epoxy resin component which is liquid at room temperature, glycidyl ether type, glycidyl ester type, alicyclic epoxy resin and the like can be mainly used. Amine type epoxy resins are known as other epoxy resins, but these are not desirable because N in the molecule inhibits the cationic polymerization reaction. Particularly, glycidyl ether type epoxy resins (for example, bisphenol A type, bisphenol F type, phenol novolak type epoxy resin) are desirable. This is because the resin has higher moisture absorption resistance than other epoxy resins, and high reliability can be obtained when used for a resin layer of a printed wiring board. By the addition of the liquid resin, for example, when a film is laminated on a printed wiring board, in addition to the general effect of improving the wrapping property of the resin into the recesses of the board, the resin residue after development is reduced. An extremely important effect is exhibited in the photosensitive adhesive film.

【0020】また、常温で液状のエポキシ樹脂成分は、
分子量が400以下のエポキシ樹脂成分を主体として構
成することができる。このような低分子量のエポキシ樹
脂は、上述した高分子成分に対しても、固形の多官能エ
ポキシ樹脂成分に対しても、非常に相溶性の高い成分で
ある。よって、該低分子量エポキシ樹脂成分の添加によ
り、高分子成分と固形エポキシ樹脂成分との相溶性を向
上させることが可能となる。
The epoxy resin component which is liquid at normal temperature is
It can be composed mainly of an epoxy resin component having a molecular weight of 400 or less. Such a low-molecular-weight epoxy resin is a component having extremely high compatibility with the above-mentioned polymer component and with the solid multifunctional epoxy resin component. Therefore, by adding the low molecular weight epoxy resin component, the compatibility between the high molecular component and the solid epoxy resin component can be improved.

【0021】本発明に用いる溶剤成分は、高分子成分と
樹脂成分を溶解でき、かつ、そのワニスをキャスティン
グしてフィルム化する際に、揮発しやすいものが良い。
例えば、ケトン類、芳香族炭化水素系、エステル系、エ
ーテル系、及びそれらの混合物を用いることができる。
特に、MEK(メチルエチルケトン)及びMEKと他の
溶剤との混合物が、揮発性、及び毒性の観点から望まし
い。溶剤として、他にN含有系溶剤(DMF(ジメチル
ホルムアミド)、NMP(N−メチルピロリドン))が
知られているが、これらはNがカチオン重合反応を阻害
するため望ましくない。
The solvent component used in the present invention is preferably one that can dissolve the polymer component and the resin component, and is easily volatilized when the varnish is cast to form a film.
For example, ketones, aromatic hydrocarbons, esters, ethers, and mixtures thereof can be used.
In particular, MEK (methyl ethyl ketone) and a mixture of MEK and another solvent are desirable from the viewpoint of volatility and toxicity. Other N-containing solvents (DMF (dimethylformamide) and NMP (N-methylpyrrolidone)) are known as solvents, but these are not desirable because N inhibits the cationic polymerization reaction.

【0022】また、本発明に用いる光硬化剤は、例えば
露光によって酸が発生し、その酸によってエポキシ樹脂
成分の重合反応を引き起こすものを用いることができ
る。具体的には、ジアゾニウム塩、ヨードニウム塩、ス
ルホニウム塩等の公知のものを使用することができる。
そのような光硬化剤として、Cl又はFから選ばれる少
なくとも一個のハロゲンで置換されたフェニル基をΦ1
とし、F、CN、NO、CFから選ばれる少なくと
も一個の置換基で置換されたフェニル基をΦ2として、 一般式(1):[B(Φ1)m(Φ2)n](mは0
〜3の整数で、nは1〜4の整数であり、m+n=4を
満たす)、で表されるアニオン種を有するものを用いる
のが良い。
As the photo-curing agent used in the present invention, for example, a photo-curing agent that generates an acid upon exposure and causes a polymerization reaction of the epoxy resin component by the acid can be used. Specifically, known compounds such as diazonium salts, iodonium salts and sulfonium salts can be used.
As such a photo-curing agent, a phenyl group substituted with at least one halogen selected from Cl or F is Φ1
And a general formula (1): [B (φ1) m (φ2) n] (m is a phenyl group substituted with at least one substituent selected from F, CN, NO 2 and CF 3 ) 0
And n is an integer of 1 to 4 and satisfies m + n = 4).

【0023】本発明において光硬化剤は、光照射により
カチオン重合を開始させるための光カチオン重合開始剤
とすることができ、なかでも、上記のようなアニオン種
を有する光硬化剤は、エポキシ樹脂を少量で重合させる
ことが可能で、その感光性は極めて高いものとなる。ま
た、少量使用のため、余剰の開始剤成分や発生した酸が
硬化後の樹脂(硬化体)中に残存することも少なく、得
られる硬化体の信頼性を高めることが可能で、残存成分
による信頼性の低下を防止ないし抑制することが可能で
ある。
In the present invention, the photo-curing agent can be used as a photo-cationic polymerization initiator for initiating cationic polymerization by light irradiation. Among them, the photo-curing agent having the above-mentioned anionic species is an epoxy resin. Can be polymerized in a small amount, and its photosensitivity becomes extremely high. In addition, since a small amount is used, surplus initiator components and generated acid hardly remain in the cured resin (cured product), and the reliability of the obtained cured product can be increased. It is possible to prevent or suppress a decrease in reliability.

【0024】また、上記一般式(1)で表されるアニオ
ン種は、求核性が低いため重合停止反応が起こり難く、
どのようなエポキシ樹脂に対しても、高い反応性(光カ
チオン重合開始性)を付与することが可能である。さら
に、アニオン種としてSbのような重金属を含まないた
め、毒性が低く、廃液、廃棄物処理等に際しても環境を
侵す等の問題も生じ難くなる。なお、このようなアニオ
ン種としては、[B(C、[B(C
CF、[(CBF 、[C
BF、[B(C等を用
いることができ、特に好ましいのは、[B(C
である。
Further, the anio represented by the above general formula (1)
The nucleophiles have low nucleophilicity, so that the polymerization termination reaction hardly occurs,
High reactivity (optical power) with any epoxy resin
(Thione polymerization initiation property). Further
Does not contain heavy metals such as Sb as anionic species.
Low toxicity and environmental protection for waste liquid and waste treatment.
Problems such as invasion hardly occur. In addition, such Anio
[B (C6F5)4], [B (C6H
4CF3)4], [(C6F5)2BF2] , [C
6F5BF3], [B (C6H3F2)4]Use
And particularly preferred are [B (C6F5)
4]It is.

【0025】上記光硬化剤のカチオン種は、例えばジア
リールヨードニウムとすることができる。ジアリールヨ
ードニウムは、芳香環を備えているため、イオン性化合
物であるにもかかわらず上記エポキシ樹脂との溶解性に
優れる。したがって、その開始効率は一層高いものとな
る。特には、アルキル基等の炭化水素系基を有するベン
ゼン環骨格を備えたものが感光性に優れる。アルキル基
としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロ
ピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル
基等がよい。なお、上記炭化水素系基において、その炭
素数が4以下であるものが好ましく、炭素数の多い炭化
水素基を用いた場合は、その立体障害により開始効率が
低下する場合がある。
The cationic species of the photocuring agent can be, for example, diaryliodonium. Since diaryliodonium has an aromatic ring, it is excellent in solubility with the above epoxy resin despite being an ionic compound. Therefore, its starting efficiency is higher. In particular, those having a benzene ring skeleton having a hydrocarbon group such as an alkyl group are excellent in photosensitivity. Examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, and a tert-butyl group. The hydrocarbon group preferably has 4 or less carbon atoms. When a hydrocarbon group having a large number of carbon atoms is used, the steric hindrance may lower the initiation efficiency.

【0026】上記ジアリールヨードニウムは、感光性を
向上させるために、その2つのアリール基に互いに異な
る炭化水素系基が結合された非対称型ジアリールヨード
ニウムとすることができる。ジアリールヨードニウムの
対称性を崩すことで、光に対する活性が増すものと推察
される。アルキル基の組合せとして好ましいのは、メチ
ル基と他のアルキル基との組合せである。例えば、メチ
ル基とエチル基、メチル基とプロピル基、メチル基とイ
ソプロピル基、メチル基とイソブチル基、メチル基とse
c−ブチル基、メチル基とtert−ブチル基の組合せであ
る。特に好ましいのは、メチル基とイソプロピル基を用
いた組合せである。
The diaryliodonium may be an asymmetric diaryliodonium in which different hydrocarbon groups are bonded to the two aryl groups in order to improve the photosensitivity. It is presumed that by breaking the symmetry of diaryliodonium, the activity against light is increased. A preferred combination of alkyl groups is a combination of a methyl group and another alkyl group. For example, methyl and ethyl, methyl and propyl, methyl and isopropyl, methyl and isobutyl, methyl and se
It is a combination of a c-butyl group, a methyl group and a tert-butyl group. Particularly preferred is a combination using a methyl group and an isopropyl group.

【0027】ジアリールヨードニウムの対称性を崩した
光硬化剤としては、下記の化学式(2)で表わされるジ
アリールヨードニウムホウ酸塩(トリルクメニルヨード
ニウムホウ酸塩)が特に好ましい。これは、一つのアリ
ール基がメチル基を有するベンゼン環骨格(トリル基)
で、他方のアリール基がイソプロピル基を有するベンゼ
ン環骨格(クメニル基)の組合せを有するものである。
この光硬化剤は、高い重合開始効率を有すると共に、多
くの増感剤(チオキサントン類、フェノチアジン類、ア
ントラセン類、ケトクマリン等の増感色素)によって容
易に増感できるため、当該感光性接着フィルムを厚膜と
して用いる場合においても優れた光硬化性を発現するこ
とが可能である。
As the photo-curing agent which has lost the symmetry of diaryliodonium, a diaryliodonium borate (trilcumenyliodonium borate) represented by the following chemical formula (2) is particularly preferable. This is a benzene ring skeleton in which one aryl group has a methyl group (tolyl group)
Wherein the other aryl group has a combination of a benzene ring skeleton (cumenyl group) having an isopropyl group.
This photocuring agent has a high polymerization initiation efficiency and can be easily sensitized by many sensitizers (sensitizing dyes such as thioxanthones, phenothiazines, anthracenes, and ketocoumarin). Even when used as a thick film, excellent photocurability can be exhibited.

【0028】[0028]

【化2】 Embedded image

【0029】上記のようなジアリールヨードニウムにお
いては、少なくとも1つのアリール基のヨウ素結合部位
において電子が局在化しているものと考えられる。その
電子の局在化により、カチオン重合の開始効率が向上す
るものと推察され、本発明においては上記のように電子
供与性のジアリールを備えたヨードニウム(電供与性基
含有ヨードニウム)を採用したことにより、電子の局在
化が一層生じやすくなり、高い感光性が得られるものと
思われる。
In the above diaryliodonium, it is considered that electrons are localized at the iodine binding site of at least one aryl group. It is presumed that the electron localization improves the initiation efficiency of cationic polymerization. In the present invention, iodonium having an electron donating diaryl (iodonium containing an electron donating group) was employed in the present invention. It is thought that electron localization is more likely to occur, and high photosensitivity is obtained.

【0030】なお、光硬化剤(光酸発生剤)は、上記固
形及び液状のエポキシ樹脂100重量部に対し0.1〜
10重量部含有させることができる。0.1重量部より
小さいと、十分な感光性が得られず、10重量部より大
きいと、余剰の光酸発生剤が硬化後にも残り、硬化物の
信頼性を低下させる懸念があるからである。光酸発生剤
の好ましい含有量は0.1〜5.0重量部、さらに好ま
しくは0.1〜2.0重量部である。本発明において
は、光硬化剤として上記構造のアニオン種及びカチオン
種を有するものを採用したため、このような少量の開始
剤含有率の場合にも、高い感光性を具備したワニス又は
フィルムとなり、少量が故に得られたプリント配線基板
において余剰の開始剤が残存することを防止ないし抑制
することが可能となった。そのような観点から開始剤の
含有量は、0.2〜1.5重量部、特には、0.5〜
1.0重量部とすることも可能である。
The photocuring agent (photoacid generator) is used in an amount of 0.1 to 100 parts by weight of the solid and liquid epoxy resin.
10 parts by weight can be contained. If the amount is less than 0.1 part by weight, sufficient photosensitivity cannot be obtained, and if the amount is more than 10 parts by weight, an excess photoacid generator remains after curing, and there is a concern that the reliability of the cured product may be reduced. is there. The preferred content of the photoacid generator is 0.1 to 5.0 parts by weight, more preferably 0.1 to 2.0 parts by weight. In the present invention, since a photocuring agent having an anionic species and a cationic species having the above structure is employed, even in the case of such a small initiator content, a varnish or a film having high photosensitivity is obtained. Therefore, it is possible to prevent or suppress the surplus initiator from remaining in the obtained printed wiring board. From such a viewpoint, the content of the initiator is 0.2 to 1.5 parts by weight, in particular, 0.5 to 1.5 parts by weight.
It is also possible to use 1.0 part by weight.

【0031】次に本発明のプリント配線基板は、分子量
1万以上の高分子成分と、分子量1万未満であって常温
で固形の多官能エポキシ樹脂成分と、常温で液状のエポ
キシ樹脂成分と、光硬化剤とを含む未硬化層を形成し、
それを硬化させることにより得る樹脂層を具備すること
を特徴とする。この未硬化層には、例えば上述の感光性
樹脂ワニス及び/又は感光性接着フィルムを使用するこ
とができる。
Next, the printed wiring board of the present invention comprises a polymer component having a molecular weight of 10,000 or more, a polyfunctional epoxy resin component having a molecular weight of less than 10,000 and solid at room temperature, and an epoxy resin component which is liquid at room temperature. Forming an uncured layer containing a photocuring agent,
It is characterized by having a resin layer obtained by curing it. For the uncured layer, for example, the above-described photosensitive resin varnish and / or photosensitive adhesive film can be used.

【0032】具体的には、フォトビアプロセスを用いた
ビルドアップ法により製造される多層プリント配線基板
に上記樹脂層を適用することが可能である。この場合、
本発明の感光性樹脂ワニス及び/又は感光性接着フィル
ムを層間絶縁膜及び/又はソルダーレジストに適用し、
フォトリソグラフィ技術により、露光、現像によって樹
脂層を形成することが可能であり、得られたプリント配
線基板の絶縁層及び/ソルダーレジスト層は信頼性の高
いものとなる。
Specifically, the resin layer can be applied to a multilayer printed wiring board manufactured by a build-up method using a photo via process. in this case,
Applying the photosensitive resin varnish and / or the photosensitive adhesive film of the present invention to an interlayer insulating film and / or a solder resist,
The resin layer can be formed by exposure and development by photolithography technology, and the obtained insulating layer and / or solder resist layer of the printed wiring board have high reliability.

【0033】なお、本発明の感光性樹脂ワニスには必要
に応じて、シリカフィラー等の充填剤、顔料、粘度調製
剤、消泡剤、増感剤等の微量添加剤などを添加すること
ができる。
The photosensitive resin varnish of the present invention may contain a filler such as a silica filler, a pigment, a viscosity adjuster, a defoamer, a sensitizer, and other trace additives as required. it can.

【0034】本発明において、常温で液状のエポキシ樹
脂成分を添加することで、現像後の樹脂残りが低減され
る理由は定かではないが、以下のごとく推定される。高
分子成分は、常温固形のエポキシ樹脂成分よりも分子量
が高いが故に現像液への溶解性に劣る。高分子成分が固
形エポキシ樹脂成分と十分に相溶している場合には、固
形エポキシ樹脂成分の溶解とともに、高分子成分も溶出
していく。しかし、高分子成分とエポキシ樹脂成分が相
分離を起こしてしまうと高分子リッチの領域が現像され
にくいが為に、樹脂残りが発生すると思われる。この場
合、通常の接着フィルムでは問題とならないような1μ
m程度のミクロな相分離であっても、樹脂残りを引き起
こしてしまうものと思われる。
In the present invention, the reason why the addition of a liquid epoxy resin component at room temperature reduces the resin residue after development is not clear, but is presumed as follows. Since the polymer component has a higher molecular weight than the epoxy resin component which is solid at room temperature, it has poor solubility in a developer. When the polymer component is sufficiently compatible with the solid epoxy resin component, the polymer component elutes as the solid epoxy resin component dissolves. However, if the polymer component and the epoxy resin component undergo phase separation, the polymer-rich region is difficult to be developed, and it is considered that resin residue is generated. In this case, 1 μm which is not a problem with a normal adhesive film
Even micro phase separation of about m is considered to cause resin residue.

【0035】この相分離は、その分子量が大きくなるほ
ど、また互いの極性に違いがあるほど起こりやすくな
る。フィルム化のため高分子成分を添加し、耐熱性を上
げるために高耐熱性エポキシ樹脂(化学式(1)など)
を用いると、相分離し易くなってしまう。そこで、相分
離低減のために、溶剤を選択する手法が一般に用いられ
るが、フィルム化に使用できる溶剤はMEK等の揮発性
の高い溶剤に限られるため、この手法を用いるのは難し
い。
This phase separation is more likely to occur as the molecular weight increases and the polarities differ from each other. High heat resistant epoxy resin (Chemical formula (1) etc.) to increase heat resistance by adding a polymer component for film formation
When using, it becomes easy to separate phases. Therefore, a method of selecting a solvent is generally used to reduce phase separation, but it is difficult to use this method because solvents that can be used for forming a film are limited to highly volatile solvents such as MEK.

【0036】常温で液状のエポキシ樹脂は、その分子量
が低く(一般に400以下)、高分子成分とも、高耐熱
性エポキシ樹脂とも、非常に相溶性の高い成分である。
よって、該成分の添加が、適切な溶剤を選択したのと同
様の働き(液状のエポキシ樹脂が相溶化溶剤の働きをす
る)をし、高分子成分と高耐熱性エポキシ樹脂との相分
離を抑制するものと考えられる。
The epoxy resin which is liquid at normal temperature has a low molecular weight (generally 400 or less), and is a component having extremely high compatibility with both the polymer component and the highly heat-resistant epoxy resin.
Therefore, the addition of this component acts in the same way as selecting an appropriate solvent (the liquid epoxy resin acts as a compatibilizing solvent), and separates the polymer component from the high heat resistant epoxy resin. It is thought to suppress.

【0037】[0037]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に示す実施例を参照して説明する。図1は、本発明の
一実施例たるプリント配線基板1の一例を示しており、
図2はその断面構造を示している。プリント配線基板1
は、例えば約25mm角、板厚約1mmであり、以下の
ような構造をなす。すなわち、耐熱性樹脂板(例えばビ
スマレイミド−トリアジン樹脂板)や、繊維強化樹脂板
(例えばガラス繊維強化エポキシ樹脂)等で構成された
板状のコア材2の両表面に、所定のパターンにコア配線
パターン層3,13がそれぞれ形成される。これらコア
配線パターン層3,13はコア材2の表面の大部分を被
覆するように形成され、電源層又は接地層として用いら
れるものである。他方、コア材2には、ドリル等により
穿設されたスルーホール12が形成され、その内壁面に
はコア配線パターン層3,13を互いに導通させるスル
ーホール導体30が形成されている。また、スルーホー
ル12は、エポキシ樹脂等の樹脂製穴埋め材31により
充填されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the embodiments shown in the drawings. FIG. 1 shows an example of a printed wiring board 1 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 shows the cross-sectional structure. Printed wiring board 1
Is about 25 mm square and about 1 mm thick, for example, and has the following structure. That is, cores are formed in a predetermined pattern on both surfaces of a plate-shaped core material 2 made of a heat-resistant resin plate (for example, a bismaleimide-triazine resin plate) or a fiber-reinforced resin plate (for example, a glass fiber-reinforced epoxy resin). Wiring pattern layers 3 and 13 are respectively formed. These core wiring pattern layers 3 and 13 are formed so as to cover most of the surface of the core material 2 and are used as power supply layers or ground layers. On the other hand, a through-hole 12 formed by a drill or the like is formed in the core material 2, and a through-hole conductor 30 that connects the core wiring pattern layers 3 and 13 to each other is formed on the inner wall surface. The through-hole 12 is filled with a resin filling material 31 such as an epoxy resin.

【0038】また、コア配線パターン層3,13の上層
には、感光性エポキシ樹脂等の樹脂により第一樹脂ビル
ドアップ層4,14がそれぞれ形成されている。さら
に、その表面にはそれぞれ第一配線パターン層5,15
がCuメッキにより形成されている。なお、コア配線パ
ターン層3,13と第一配線パターン層5,15とは、
それぞれビア導体32,33により層間接続がなされて
いる。同様に、第一配線パターン層5,15の上層に
は、感光性エポキシ樹脂等の樹脂により第二樹脂ビルド
アップ層6,16がそれぞれ形成されている。その表面
にはそれぞれ第二配線パターン層7,17がCuメッキ
により形成されている。これら第一配線パターン層5,
15と第二配線パターン層7,17とも、それぞれビア
導体34,35により層間接続がなされている。なお、
コア配線パターン3,13、第一配線パターン層5,1
5及び第二配線パターン層7,17の各表面は、上層の
樹脂層との密着強度を上げるために表面粗化処理(例え
ば黒化処理やキレートエッチング処理等の化学的な処理
に基づくもの)が施されている。
On the upper layers of the core wiring pattern layers 3 and 13, first resin buildup layers 4 and 14 are respectively formed by a resin such as a photosensitive epoxy resin. Further, the first wiring pattern layers 5, 15
Are formed by Cu plating. The core wiring pattern layers 3 and 13 and the first wiring pattern layers 5 and 15
The interlayer connection is made by the via conductors 32 and 33, respectively. Similarly, second resin buildup layers 6 and 16 are formed on the first wiring pattern layers 5 and 15 by a resin such as a photosensitive epoxy resin, respectively. The second wiring pattern layers 7, 17 are formed on the surface by Cu plating, respectively. These first wiring pattern layers 5,
15 and the second wiring pattern layers 7 and 17 are interconnected by via conductors 34 and 35, respectively. In addition,
Core wiring patterns 3 and 13, first wiring pattern layers 5 and 1
The surface of each of the fifth and second wiring pattern layers 7, 17 is subjected to a surface roughening treatment (for example, based on a chemical treatment such as a blackening treatment or a chelate etching treatment) in order to increase the adhesion strength to the upper resin layer. Is given.

【0039】次に、第二樹脂ビルドアップ層6上には、
金属目印層9が形成されている。金属目印層9は、例え
ば最表面部が金メッキ層(例えば厚さ0.04μm)と
して形成され、例えば、図1に示すように、チップ実装
時の基板へのチップ位置合わせ用に使用されるアライメ
ントマーク9aや、基板位置決め用に使用されるフィデ
ィシャルマーク9b等を含むものである。これらはいず
れも表面が平滑で、比較的強い金属光沢外観を示すもの
となっている。さらに、第二樹脂ビルドアップ層6上に
は、第二配線パターン層7と導通する下地導電性パッド
10が多数設けられている。これら下地導電性パッド1
0は、無電解Ni−PメッキおよびAuメッキにより基
板のほぼ中央部分に正方形状に配列し、各々その上に形
成された半田バンプ11とともにチップ搭載部40を形
成している。
Next, on the second resin buildup layer 6,
A metal mark layer 9 is formed. The metal mark layer 9 has, for example, a gold plating layer (for example, a thickness of 0.04 μm) formed on the outermost surface, and for example, as shown in FIG. It includes a mark 9a, a fiducial mark 9b used for positioning the substrate, and the like. All of these have a smooth surface and a relatively strong metallic luster appearance. Further, on the second resin build-up layer 6, a large number of underlying conductive pads 10 that are electrically connected to the second wiring pattern layer 7 are provided. These underlying conductive pads 1
No. 0 is arranged in a square shape at substantially the center of the substrate by electroless Ni-P plating and Au plating, and forms a chip mounting portion 40 together with the solder bumps 11 formed thereon.

【0040】他方、第二配線パターン層7が形成されて
いる側、及び第二配線パターン層17が形成されている
側には、それら配線パターン層7,17を覆う樹脂ソル
ダーレジスト層8,18がそれぞれ形成されている。な
お、配線パターン層7側においては、金属目印層9は樹
脂ソルダーレジスト層8から露出している。このような
構造は、例えば金属目印層を一旦全て覆う形で樹脂ソル
ダーレジスト層を形成し、その後、その樹脂ソルダーレ
ジスト層の、金属目印層に対する被覆部分を除去すれば
得ることができる。
On the other hand, on the side where the second wiring pattern layer 7 is formed and on the side where the second wiring pattern layer 17 is formed, resin solder resist layers 8 and 18 covering the wiring pattern layers 7 and 17 are provided. Are formed respectively. On the wiring pattern layer 7 side, the metal mark layer 9 is exposed from the resin solder resist layer 8. Such a structure can be obtained, for example, by forming a resin solder resist layer so as to temporarily cover the entire metal mark layer, and then removing the portion of the resin solder resist layer that covers the metal mark layer.

【0041】ここで、絶縁樹脂ビルドアップ層4,1
4,6,16、及び樹脂ソルダーレジスト層8,18
は、層の主体となる樹脂材料が、本発明の感光性接着フ
ィルムを硬化させた硬化体からなる絶縁性プラスチック
材料で構成されている。具体的には、本発明の感光性樹
脂ワニスをフィルム化した感光性接着フィルムを、所定
のパターンでラミネート(貼り合わせ)し、露光により
硬化させることで各樹脂層4,14,6,16,8,1
8を得ている。この場合、感光性樹脂を使用しており、
同時に多数のビアホールを形成できることから生産性向
上を図ることが可能である。
Here, the insulating resin build-up layers 4, 1
4, 6, 16 and resin solder resist layers 8, 18
The resin material as the main component of the layer is composed of an insulating plastic material made of a cured product obtained by curing the photosensitive adhesive film of the present invention. Specifically, a photosensitive adhesive film obtained by forming the photosensitive resin varnish of the present invention into a film is laminated (laminated) in a predetermined pattern, and cured by exposure to thereby cure each of the resin layers 4, 14, 6, 16, and 8,1
8 have been obtained. In this case, a photosensitive resin is used,
Since a large number of via holes can be formed at the same time, productivity can be improved.

【0042】具体的に感光性樹脂ワニスとしては、テト
ラキスペンタフルオロフェニルボレートをアニオン種と
し、トリルクメニルヨードニウムをカチオン種とする光
カチオン重合開始剤と、常温で固形のビスフェノール型
エポキシノボラック樹脂と、常温で液状のビスフェノー
ル型エポキシノボラック樹脂と、溶媒としてのメチルエ
チルケトンとを含有するものが採用され、この感光性樹
脂ワニスから溶媒を揮発させて感光性接着フィルムを得
る。このような感光性接着フィルムを硬化させて得た、
絶縁樹脂ビルドアップ層4,14,6,16、及び樹脂
ソルダーレジスト層8,18は、高い耐吸湿性と密着性
を備えた非常に信頼性の高いものとなっている。
Specifically, the photosensitive resin varnish includes a photocationic polymerization initiator using tetrakispentafluorophenyl borate as an anionic species and trilcumenyliodonium as a cationic species, a bisphenol-type epoxy novolak resin solid at room temperature, and A resin containing a bisphenol-type epoxy novolak resin which is liquid at room temperature and methyl ethyl ketone as a solvent is employed, and the solvent is volatilized from the photosensitive resin varnish to obtain a photosensitive adhesive film. Obtained by curing such a photosensitive adhesive film,
The insulating resin build-up layers 4, 14, 6, 16 and the resin solder resist layers 8, 18 are extremely reliable with high moisture absorption resistance and adhesion.

【0043】[0043]

【実施例】表1に示す各成分の固形分換算100重量部
に対し、硬化剤0.5重量部、増感剤0.2重量部を添
加し、MEKに希釈して感光性樹脂ワニスを調整した。
EXAMPLES 0.5 parts by weight of a curing agent and 0.2 parts by weight of a sensitizer were added to 100 parts by weight of the solid components of each component shown in Table 1, and diluted with MEK to prepare a photosensitive resin varnish. It was adjusted.

【0044】高分子成分、固形及び液状エポキシ樹脂成
分としては以下のものを採用した: ・E828:液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シ
ェル(株)) ・E5051:臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油
化シェル(株)) ・E157S70:ビスフェノールA型エポキシノボラック樹
脂(油化シェル(株)) ・E1256:重量平均分子量5万のフェノキシ樹脂(油化
シェル(株)) ・E1010:エポキシ当量4000の固形ビスフェノール
A型エポキシ樹脂(油化シェル(株)) ・E1255HX30:重量平均分子量10万のフェノキシ樹脂
(溶剤カット品、固形分30%、油化シェル(株))。
The following were used as the polymer component, solid and liquid epoxy resin components: E828: liquid bisphenol A type epoxy resin (Yuka Kasaku Co., Ltd.) E5051: brominated bisphenol A type epoxy resin ( Yuka Shell Co., Ltd. ・ E157S70: Bisphenol A type epoxy novolak resin (Yukaka Shell Co., Ltd.) ・ E1256: Phenoxy resin with a weight average molecular weight of 50,000 (Yukaka Shell Co., Ltd.) ・ E1010: Epoxy equivalent of 4000 Solid bisphenol A type epoxy resin (Yuka Shell Co., Ltd.) E1255HX30: Phenoxy resin with a weight average molecular weight of 100,000 (solvent cut product, solid content 30%, Yuka Shell Co., Ltd.).

【0045】また、光酸発生剤として(トリルクメニ
ル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニ
ル)ボレート(ローヌプーラン社)を、増感剤として
2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株))を
採用した。
(Trillcumenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate (Rhone Poulin) was used as a photoacid generator, and 2,4-diethylthioxanthone (Nippon Kayaku Co., Ltd.) was used as a sensitizer.

【0046】[0046]

【表1】 [Table 1]

【0047】これらのワニスについて次の評価を行っ
た。 1.感光性試験 表1に示した各感光性樹脂ワニス(実施例1〜4、比較
例1〜3)をコア基板上に厚み50μmになるように塗
布し、70℃×30分の条件で乾燥した。次いで、直径
100μmの開口パターンを有するフォトマスクを用い
て、高圧水銀灯で露光量1000mJ/cmの紫外線
を照射した。露光後のコア基板を、80℃×30分の条
件でポストベイクした後、トリエチレングリコールジメ
チルエーテルで現像し、170℃×2時間キュアをし
た。得られた試料のビア底に、樹脂残りがあるかどうか
をSEMで観察した。
The following evaluation was performed on these varnishes. 1. Photosensitive test Each of the photosensitive resin varnishes shown in Table 1 (Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3) was applied on a core substrate so as to have a thickness of 50 μm, and dried at 70 ° C. for 30 minutes. . Then, using a photomask having an opening pattern with a diameter of 100 μm, irradiation with ultraviolet light having an exposure amount of 1000 mJ / cm 2 was performed using a high-pressure mercury lamp. The exposed core substrate was post-baked at 80 ° C. for 30 minutes, developed with triethylene glycol dimethyl ether, and cured at 170 ° C. for 2 hours. The bottom of the via of the obtained sample was observed with a SEM to determine whether there was any resin residue.

【0048】2.フィルム成形性 各感光性樹脂ワニスをPETフィルム上に塗布し、70
℃×30分の条件で乾燥させて感光性接着フィルムを作
製した。得られたフィルムの状態を目視にて観察した。
2. Film moldability Each photosensitive resin varnish is applied on PET film,
The photosensitive adhesive film was prepared by drying at 30 ° C. for 30 minutes. The state of the obtained film was visually observed.

【0049】3.凹部回り込み性 各感光性樹脂ワニスから得られた感光性接着フィルム
を、凹部のある基板にラミネーターで接着させ、フィル
ムの凹部への回り込み性を目視にて観察した。凹部のあ
る基板として、先幅50μm、深さ30μmの溝が入っ
ている基板を用いた。
3. Concave wraparound property A photosensitive adhesive film obtained from each photosensitive resin varnish was adhered to a substrate having a concave section with a laminator, and the wraparound property of the film into the concave section was visually observed. A substrate having a groove having a width of 50 μm and a depth of 30 μm was used as a substrate having a concave portion.

【0050】以上の結果を表2に示す。Table 2 shows the above results.

【0051】[0051]

【表2】 [Table 2]

【0052】ビア底樹脂残りについては、液状エポキシ
樹脂が添加されていない比較例2,3で多くみられた。
また、フェノキシ樹脂の分子量が大きい実施例4は、実
施例1より若干樹脂残りが多くみられた。これは、高分
子成分の分子量が大きすぎるために、感光性樹脂ワニス
の流動性が過度に低下してしまったためであると推察さ
れる。
Residual resin at the bottom of the vial was found in Comparative Examples 2 and 3 where no liquid epoxy resin was added.
In Example 4 in which the molecular weight of the phenoxy resin was large, the amount of resin residue was slightly larger than in Example 1. This is presumably because the molecular weight of the polymer component was too large, and the fluidity of the photosensitive resin varnish was excessively reduced.

【0053】フィルム成形性については、高分子成分が
添加されている系では良好であった。比較例1は、高分
子成分の代わりに、エポキシ当量が大きいエポキシ樹脂
を用いたものであるが、これはフィルムにうねりが発生
してしまい、平滑な接着フィルムが成形できなかった。
The film formability was good in the system to which the polymer component was added. In Comparative Example 1, an epoxy resin having a large epoxy equivalent was used in place of the polymer component, but this caused undulation in the film, and a smooth adhesive film could not be formed.

【0054】凹部回り込み性は、実施例1〜4において
特に良好であった。なお、液状エポキシ樹脂が添加され
ていない比較例2,3でも、ラミネート条件を最適化す
ることで、良好な結果が得られた。
The wraparound property of the recess was particularly good in Examples 1 to 4. In Comparative Examples 2 and 3 where no liquid epoxy resin was added, good results were obtained by optimizing the lamination conditions.

【0055】以上より、本発明の感光性樹脂ワニスは良
好なフィルム成形性があり、それから得られる感光性接
着フィルムは、高い感光性、信頼性を有し、MPU用I
Cパッケージをはじめ、各種の情報通信用プリント配線
基板の層間絶縁材料、永久レジスト、及びソルダーレジ
ストとして広く用いられている。
As described above, the photosensitive resin varnish of the present invention has good film formability, and the photosensitive adhesive film obtained therefrom has high photosensitivity and reliability.
It is widely used as an interlayer insulating material, a permanent resist, and a solder resist for various types of information communication printed wiring boards, including the C package.

【0056】なお、本明細書において「主成分」あるい
は「主体とする成分」とは、特に断りがないかぎり、最
も重量含有率の高くなる成分を意味するものとして用い
た。
In the present specification, the term "main component" or "main component" means a component having the highest weight content unless otherwise specified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプリント配線基板の一実施例を示す平
面図。
FIG. 1 is a plan view showing one embodiment of a printed wiring board of the present invention.

【図2】その断面構造を模式的に示す図。FIG. 2 is a diagram schematically showing the cross-sectional structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プリント配線基板 4,14 第一絶縁樹脂ビルドアップ層 6,16 第二絶縁樹脂ビルドアップ層 8,18 樹脂ソルダーレジスト層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Printed wiring board 4,14 First insulating resin buildup layer 6,16 Second insulating resin buildup layer 8,18 Resin solder resist layer

フロントページの続き (72)発明者 大林 和重 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日 本特殊陶業株式会社内 (72)発明者 乾 靖彦 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日 本特殊陶業株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA04 AB15 AB17 AC01 AD01 BD03 BD23 BD53 BE00 BE07 BJ04 CC03 Continuing on the front page (72) Inventor Kazushige Obayashi 14-18 Takatsuji-cho, Mizuho-ku, Nagoya, Aichi Prefecture Inside Japan Specialty Ceramics Co., Ltd. (72) Inventor Yasuhiko Inui 14-18 Takatsuji-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi F-term in Japan Special Ceramics Co., Ltd. (reference) 2H025 AA04 AB15 AB17 AC01 AD01 BD03 BD23 BD53 BE00 BE07 BJ04 CC03

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 分子量1万以上の高分子成分と、分子量
1万未満であって常温で固形の多官能エポキシ樹脂成分
と、常温で液状のエポキシ樹脂成分と、光硬化剤と、溶
剤成分とを含むことを特徴とする感光性樹脂ワニス。
1. A polymer component having a molecular weight of 10,000 or more, a polyfunctional epoxy resin component having a molecular weight of less than 10,000 and solid at ordinary temperature, an epoxy resin component being liquid at ordinary temperature, a photocuring agent, and a solvent component. A photosensitive resin varnish comprising:
【請求項2】 前記高分子成分が、フェノキシ樹脂成分
を主体とするものである請求項1記載の感光性樹脂ワニ
ス。
2. The photosensitive resin varnish according to claim 1, wherein the polymer component is mainly composed of a phenoxy resin component.
【請求項3】 前記常温で固形の多官能エポキシ樹脂成
分が、ポリフェノールグリシジルエーテルからなるエポ
キシ樹脂成分を主体とするものである請求項1又は2に
記載の感光性樹脂ワニス。
3. The photosensitive resin varnish according to claim 1, wherein the polyfunctional epoxy resin component solid at room temperature is mainly composed of an epoxy resin component composed of polyphenol glycidyl ether.
【請求項4】 前記常温で固形の多官能エポキシ樹脂成
分が、ビスフェノール型エポキシノボラック樹脂成分を
主体とするものである請求項1ないし3のいずれかに記
載の感光性樹脂ワニス。
4. The photosensitive resin varnish according to claim 1, wherein the polyfunctional epoxy resin component which is solid at room temperature is mainly composed of a bisphenol-type epoxy novolak resin component.
【請求項5】 前記常温で固形の多官能エポキシ樹脂成
分に含まれるエポキシ基の平均官能基数が2〜5である
請求項1ないし4のいずれかに記載の感光性樹脂ワニ
ス。
5. The photosensitive resin varnish according to claim 1, wherein an average number of epoxy groups contained in the polyfunctional epoxy resin component solid at room temperature is 2 to 5.
【請求項6】 前記常温で液状のエポキシ樹脂成分は、
分子量が400以下のエポキシ樹脂成分を主体とするも
のである請求項1ないし5のいずれかに記載の感光性樹
脂ワニス。
6. The epoxy resin component which is liquid at normal temperature,
The photosensitive resin varnish according to any one of claims 1 to 5, wherein the varnish mainly comprises an epoxy resin component having a molecular weight of 400 or less.
【請求項7】 前記光硬化剤が、 Cl又はFから選ばれる少なくとも一個のハロゲンで置
換されたフェニル基をΦ1とし、F、CN、NO、C
から選ばれる少なくとも一個の置換基で置換された
フェニル基をΦ2として、 一般式:[B(Φ1)m(Φ2)n](mは0〜3の
整数で、nは1〜4の整数であり、m+n=4を満た
す)、 で表されるアニオン種を有するものである請求項1ない
し6のいずれかに記載の感光性樹脂ワニス。
7. The photo-curing agent, wherein a phenyl group substituted with at least one halogen selected from Cl or F is Φ1, and F, CN, NO 2 , C
A phenyl group substituted with at least one substituent selected from F 3 is defined as Φ2, and a general formula: [B (Φ1) m (Φ2) n] (m is an integer of 0 to 3 and n is 1 to 4 The photosensitive resin varnish according to any one of claims 1 to 6, wherein the varnish has an anionic species represented by the following formula:
【請求項8】 前記光硬化剤のカチオン種が、ジアリー
ルヨードニウムである請求項1ないし7のいずれかに記
載の感光性樹脂ワニス。
8. The photosensitive resin varnish according to claim 1, wherein the cationic species of the photocuring agent is diaryliodonium.
【請求項9】 分子量1万以上の高分子成分と、分子量
1万未満であって常温で固形の多官能エポキシ樹脂成分
と、常温で液状のエポキシ樹脂成分と、光硬化剤とを含
むことを特徴とする感光性接着フィルム。
9. A composition comprising a polymer component having a molecular weight of 10,000 or more, a polyfunctional epoxy resin component having a molecular weight of less than 10,000 and solid at room temperature, an epoxy resin component liquid at room temperature, and a photo-curing agent. Characteristic photosensitive adhesive film.
【請求項10】 請求項1ないし8のいずれかに記載の
感光性樹脂ワニスを、支持ベースフィルムにキャスティ
ングした後、溶剤成分を揮発させて製造されることを特
徴とする感光性接着フィルム。
10. A photosensitive adhesive film produced by casting the photosensitive resin varnish according to claim 1 on a supporting base film and then evaporating a solvent component.
【請求項11】 分子量1万以上の高分子成分と、分子
量1万未満であって常温で固形の多官能エポキシ樹脂成
分と、常温で液状のエポキシ樹脂成分と、光硬化剤とを
含む未硬化層を形成し、それを硬化させることにより樹
脂層を形成したことを特徴とするプリント配線基板。
11. An uncured material containing a polymer component having a molecular weight of 10,000 or more, a polyfunctional epoxy resin component having a molecular weight of less than 10,000 and solid at room temperature, an epoxy resin component liquid at room temperature, and a photo-curing agent. A printed wiring board, wherein a resin layer is formed by forming a layer and curing the layer.
【請求項12】 前記未硬化層は、請求項1ないし8の
いずれかに記載の感光性樹脂ワニスからなる請求項11
記載のプリント配線基板。
12. The varnish according to claim 1, wherein the uncured layer is made of the photosensitive resin varnish according to claim 1. Description:
The printed wiring board as described.
【請求項13】 前記未硬化層は、請求項9又は10に
記載の感光性接着フィルムからなる請求項11記載のプ
リント配線基板。
13. The printed wiring board according to claim 11, wherein the uncured layer is made of the photosensitive adhesive film according to claim 9.
【請求項14】 前記樹脂層が、絶縁層及び/又はソル
ダーレジスト層とされている請求項11ないし13のい
ずれかに記載のプリント配線基板。
14. The printed wiring board according to claim 11, wherein the resin layer is an insulating layer and / or a solder resist layer.
【請求項15】 前記樹脂層は、フォトリソグラフィ技
術によりパターニングされたものである請求項11ない
し14のいずれかに記載のプリント配線基板。
15. The printed wiring board according to claim 11, wherein said resin layer is patterned by a photolithography technique.
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