JP2002062402A - Light absorbing antireflection body and display - Google Patents

Light absorbing antireflection body and display

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JP2002062402A
JP2002062402A JP2000245823A JP2000245823A JP2002062402A JP 2002062402 A JP2002062402 A JP 2002062402A JP 2000245823 A JP2000245823 A JP 2000245823A JP 2000245823 A JP2000245823 A JP 2000245823A JP 2002062402 A JP2002062402 A JP 2002062402A
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light
film
fine particles
absorbing
antireflection
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Kosei Sumida
孝生 隅田
Yoko Funahashi
容子 舟橋
Muneya Araki
宗也 荒木
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light absorbing antireflection body capable of achieving high contrast and an electrically conductive antireflection film in a low-cost production process and to provide a display using the light absorbing antireflection body. SOLUTION: The light absorbing antireflection body 10 comprises a light absorbing film 12 formed on a substrate 11 and containing fine pigment particles and fine particles having a high refractive index and an antireflection multilayer film 13 formed on the light absorbing film 12 as a multilayer structure 14, 15 including an electrically conductive thin film as at least the layer 14. and having function to attenuate reflected light to incident light by interference. The display is obtained by forming the antireflection body 10 on the outer surface of a panel as an antireflection film.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光吸収性反射防止
体及びこれを用いた表示装置に関し、特にフラットパネ
ルガラスを使用した陰極線管等の表示装置に対応したコ
ントラスト増強のための光吸収性反射防止体及びこれを
パネル、例えばフラットパネルガラスの外表面に反射防
止膜として形成した表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light-absorptive antireflection body and a display device using the same, and more particularly, to a light-absorptive antireflection body for enhancing contrast corresponding to a display device such as a cathode ray tube using flat panel glass. The present invention relates to an antireflection body and a display device in which the antireflection body is formed as an antireflection film on an outer surface of a panel, for example, flat panel glass.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、表示装置、例えば陰極線管のフェ
ースパネル外装面の形状のフラット化が進められてい
る。陰極線管において、そのフェースパネル外表面の形
状がフラット化されることにより、外気圧に対抗するた
めに中央部とコーナー部のパネルガラスの肉厚の差が大
きくならざるを得ない。
2. Description of the Related Art In recent years, flattening of the outer surface of a face panel of a display device, for example, a cathode ray tube has been promoted. In the cathode ray tube, since the shape of the outer surface of the face panel is flattened, the difference between the thickness of the panel glass at the center portion and the thickness of the panel glass at the corner portion must be increased in order to oppose the external pressure.

【0003】ところで、陰極線管のコントラストは、従
来、パネルガラスの光吸収と蛍光面反射率の低減効果に
よって決定されていた。しかし、フェースパネル外表面
のフラット化に伴ってパネルガラスの肉厚の差の分だけ
透過率に差が生じると、これに由来して、輝度の均一さ
が悪化し、パネルの中央部とコーナー部で共に最適なコ
ントラストを得ることが困難となる。
[0003] The contrast of a cathode ray tube has conventionally been determined by the light absorption of the panel glass and the effect of reducing the reflectance of the phosphor screen. However, if the difference in transmittance is caused by the difference in wall thickness of the panel glass due to the flattening of the outer surface of the face panel, the uniformity of luminance is deteriorated due to this difference, and the center and corner of the panel are It is difficult to obtain an optimum contrast in both portions.

【0004】従って、ガラス透過率を高くし、かつパネ
ルガラス表面に形成される反射防止体に光吸収性を付与
することにより、総合透過率を等価とし、良好なコント
ラストを得るようにしている。
Therefore, by increasing the glass transmittance and imparting light absorption to the antireflection member formed on the surface of the panel glass, the total transmittance is made equivalent and a good contrast is obtained.

【0005】この種の反射防止体として、従来、2層構
造で、反射防止・光吸収性・導電性の各機能を合わせ持
つ光吸収性反射防止体(特開平9−156964号公報
参照)や、ガラス/SnO2 (酸化スズ)/TiN(窒
化チタン)/SnO2 /Tin/SiO2 (二酸化珪
素)構造を持つ導電性光減衰型反射防止被膜(特表平6
−510382号公報参照)等が知られている。
[0005] As this kind of antireflective body, a light-absorbing antireflective body having a two-layer structure and having the functions of antireflection, light absorption and conductivity (see JP-A-9-156964) is known. , Glass / SnO 2 (tin oxide) / TiN (titanium nitride) / SnO 2 / Tin / SiO 2 (silicon dioxide) conductive light attenuating type anti-reflective coating (Tokuheihei 6)
-510382).

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】この特開平9−156
964号公報に開示された光吸収性反射防止体では、パ
ネルガラスの透過率を50%から80%と高くして、膜
の透過率を80%から50%と低くすることにより、等
価なコントラストを得ることは可能である。
The problem to be solved by the invention is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-156.
In the light-absorbing anti-reflective body disclosed in Japanese Patent No. 964, equivalent transmittance is increased by increasing the transmittance of the panel glass from 50% to 80% and decreasing the transmittance of the film from 80% to 50%. It is possible to get

【0007】しかしながら、等価なコントラストを得る
ためには、光吸収膜の膜厚を厚くしなければならず、パ
ネルガラスと膜の屈折率の差が大きな場合は、ガラス側
から入射する光(陰極線管では蛍光面からの発光)がガ
ラス・光吸収膜界面で反射し、反射光が再び蛍光体に当
たって発光させるため、陰極線管では像が2重に見えて
しまうという不具合が生じていた。
However, in order to obtain an equivalent contrast, the thickness of the light absorbing film must be increased, and when the difference in the refractive index between the panel glass and the film is large, the light (cathode ray) Since the light emitted from the fluorescent screen in the tube is reflected at the interface between the glass and the light absorbing film, and the reflected light hits the phosphor again to emit light, a problem has arisen in that the image appears double in the cathode ray tube.

【0008】一方、特表平6−510382号公報に開
示の導電性光減衰型反射防止被膜では、ガラス側から第
1層目の透明膜の屈折率・膜厚を最適化することによ
り、ガラス面側からの入射光を減衰させることは可能で
あるが、膜構成が増えることによるデメリットが多い。
また、光吸収性を有する薄膜材料として、光学定数の波
長分散を考慮して最適なものを得るのは非常に困難であ
る、例えば、陰極線管のR(赤)G(緑)B(青)の発
光スペクトル比を考慮した材料設計をするには不向きで
ある。
On the other hand, in the conductive light attenuating type anti-reflection coating disclosed in Japanese Patent Publication No. 6-510382, the refractive index and the film thickness of the first transparent film from the glass side are optimized. Although it is possible to attenuate the incident light from the surface side, there are many disadvantages due to the increase in the film configuration.
Further, it is very difficult to obtain an optimal thin film material having light absorption in consideration of the wavelength dispersion of the optical constant. For example, R (red) G (green) B (blue) of a cathode ray tube It is not suitable for designing materials in consideration of the emission spectrum ratio.

【0009】その他にも、陰極線管の表示品質を向上す
るために、パネルガラス表面に形成される構造物には、
光反射防止、光透過率調整、透過する光の波長分布を調
整することによりコントラストの向上、不要輻射を防ぐ
表面抵抗値の機能を有する構成がいろいろ提案されてい
る。しかしながら、いずれの機能をも同時に高いレベル
で満足できるものではなかった。
In addition, in order to improve the display quality of the cathode ray tube, structures formed on the surface of the panel glass include:
Various configurations have been proposed which have functions of preventing light reflection, adjusting light transmittance, and adjusting the wavelength distribution of transmitted light to improve contrast and prevent unnecessary radiation. However, none of these functions was simultaneously satisfactory at a high level.

【0010】上述した問題の解決のために、本発明にお
いては、高いコントラストと導電性反射防止膜を安価な
製造プロセスで実現可能な光吸収性反射防止体及びこれ
を用いた表示装置を提供するものである。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a light-absorptive antireflection body capable of realizing a high contrast and a conductive antireflection film by an inexpensive manufacturing process, and a display device using the same. Things.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明の光吸収性反射防
止体は、基材上に形成された、顔料微粒子及び高屈折率
の微粒子を含む光吸収膜と、この光吸収膜上に多層構造
で形成され、かつその少なくとも1つの層が導電性薄膜
から成り、光干渉によって入射光に対する反射光を減衰
させる反射防止多層膜とから成るものである。
The light-absorbing anti-reflective body of the present invention comprises a light-absorbing film formed on a substrate and containing pigment fine particles and high-refractive-index fine particles, and a multilayer film formed on the light-absorbing film. And at least one layer thereof is formed of a conductive thin film, and is formed of an antireflection multilayer film which attenuates reflected light with respect to incident light by light interference.

【0012】上述の本発明の光吸収性反射防止体の構成
によれば、光吸収膜が顔料微粒子を含むことにより、顔
料を選択することによってより自由な透過率分布をする
ことが可能になる。さらに、光吸収膜が高屈折率の微粒
子を含むことにより、光吸収膜の屈折率を調整すること
が可能になる。また、反射防止多層膜は、光干渉によっ
て入射光に対する反射光を減衰させると共に、その少な
くとも1つの層が導電性薄膜からなることにより不要輻
射の漏洩を防止することができる。
According to the structure of the light-absorbing anti-reflective body of the present invention, since the light-absorbing film contains fine pigment particles, it is possible to obtain a more flexible transmittance distribution by selecting a pigment. . Further, when the light absorbing film contains fine particles having a high refractive index, the refractive index of the light absorbing film can be adjusted. In addition, the antireflection multilayer film attenuates reflected light with respect to incident light due to light interference, and can prevent unnecessary radiation from leaking because at least one of the layers is made of a conductive thin film.

【0013】本発明の光吸収性反射防止体は、高屈折率
の微粒子と酸化珪素のみを含む厚さ5nm以上の第1の
層と、顔料微粒子及び高屈折率の微粒子、並びに酸化珪
素からなる第2の層との2層構造からなる光吸収膜と、
この光吸収膜上に多層構造で形成され、かつその少なく
とも1つの層が導電性薄膜からなり、光干渉によって入
射光に対する反射光を減衰させる反射防止多層膜とから
成るものである。
The light-absorptive antireflection body of the present invention comprises high-refractive-index fine particles, a first layer having a thickness of 5 nm or more containing only silicon oxide, pigment fine particles, high-refractive-index fine particles, and silicon oxide. A light absorbing film having a two-layer structure with the second layer;
On the light absorption film, a multilayer structure is formed, and at least one of the layers is made of a conductive thin film, and is made of an antireflection multilayer film that attenuates reflected light with respect to incident light by light interference.

【0014】上述の本発明の光吸収性反射防止体の構成
によれば、光吸収膜が顔料微粒子及び高屈折率の微粒子
を含むため、光吸収膜の透過率や屈折率を調整すること
が可能になる。さらに、光吸収膜が、顔料を含まない第
1の層と顔料を含む第2の層とを有することにより、第
1の層には顔料がないため下の基材との接着強度を強く
することができ、第2の層には顔料を含むため透過率を
調整することができる。
According to the structure of the light-absorbing antireflection body of the present invention described above, since the light-absorbing film contains fine pigment particles and fine particles having a high refractive index, the transmittance and the refractive index of the light-absorbing film can be adjusted. Will be possible. Further, since the light absorbing film has the first layer containing no pigment and the second layer containing pigment, the first layer has no pigment, so that the adhesive strength to the base material below is increased. Since the second layer contains a pigment, the transmittance can be adjusted.

【0015】本発明の表示装置は、パネルの外表面に反
射防止膜が形成され、この反射防止膜が、基材上に形成
された顔料微粒子及び高屈折率の微粒子を含む光吸収膜
と、この光吸収膜上に多層構造で形成され、かつその少
なくとも1つの層が導電性薄膜から成り、光干渉によっ
て入射光に対する反射光を減衰させる反射防止多層膜と
から成るものである。
In the display device of the present invention, an antireflection film is formed on the outer surface of the panel, and the antireflection film includes a light absorbing film containing pigment fine particles and high refractive index fine particles formed on a base material; On the light absorbing film, a multilayer structure is formed, and at least one of the layers is made of a conductive thin film, and is made of an antireflection multilayer film that attenuates reflected light with respect to incident light by light interference.

【0016】上述の本発明の表示装置の構成によれば、
パネルの外表面に、前述の光吸収性反射防止体と同様の
構成の反射防止膜が設けられたことにより、光吸収膜に
より選択吸収フィルタを構成することができる。また、
光吸収膜が高屈折率の微粒子を含むため、光吸収膜の屈
折率を調整して例えば基材の屈折率と同等とすることが
可能である。従って、この光吸収膜と反射防止多層膜を
有することにより、裏側入射による光(外光)の反射が
抑制されると共に、その導電性薄膜により不要輻射の漏
洩が防止される。
According to the configuration of the display device of the present invention described above,
Since the antireflection film having the same configuration as that of the above-described light-absorbing antireflection body is provided on the outer surface of the panel, the light-absorbing film can constitute a selective absorption filter. Also,
Since the light absorbing film contains fine particles having a high refractive index, the refractive index of the light absorbing film can be adjusted to, for example, be equal to the refractive index of the base material. Therefore, by having the light absorbing film and the antireflection multilayer film, reflection of light (external light) due to backside incidence is suppressed, and leakage of unnecessary radiation is prevented by the conductive thin film.

【0017】本発明の表示装置は、パネルの外表面に反
射防止膜が形成され、反射防止膜が、高屈折率の微粒子
及び酸化珪素のみを含む第1の層と、顔料微粒子及び高
屈折率の微粒子、並びに酸化珪素からなる第2の層との
2層構造からなる光吸収膜と、この光吸収膜上に多層構
造で形成されかつその少なくとも1つの層が導電性薄膜
から成り光干渉によって入射光に対する反射光を減衰さ
せる反射防止多層膜とから成るものである。
In the display device according to the present invention, an antireflection film is formed on the outer surface of the panel, and the antireflection film includes a first layer containing only fine particles having a high refractive index and silicon oxide; A light-absorbing film having a two-layer structure of fine particles and a second layer made of silicon oxide, and a multilayer structure formed on the light-absorbing film, wherein at least one of the layers is formed of a conductive thin film and is formed by light interference. And an antireflection multilayer film for attenuating reflected light with respect to incident light.

【0018】上述の本発明の表示装置の構成によれば、
パネルの外表面に、前述の光吸収性反射防止体と同様の
構成の反射防止膜が設けられたことにより、光吸収膜に
よって選択吸収フィルタを構成することができる。また
光吸収膜の第1の層により反射防止膜のパネルへの接着
強度も強くなる。また、光吸収膜が高屈折率の微粒子を
含むため、光吸収膜の屈折率を調整して例えば基材の屈
折率と同等とすることが可能である。従って、この光吸
収膜と反射防止多層膜を有することにより、裏側入射に
よる光(外光)の反射が抑制されると共に、その導電性
薄膜により不要輻射の漏洩が防止される。
According to the configuration of the display device of the present invention described above,
Since the anti-reflection film having the same configuration as that of the above-described light-absorbing anti-reflective member is provided on the outer surface of the panel, the light-absorbing film can form a selective absorption filter. Further, the adhesive strength of the antireflection film to the panel is increased by the first layer of the light absorbing film. Further, since the light absorbing film contains fine particles having a high refractive index, it is possible to adjust the refractive index of the light absorbing film to be equal to, for example, the refractive index of the base material. Therefore, by having the light absorbing film and the antireflection multilayer film, reflection of light (external light) due to backside incidence is suppressed, and leakage of unnecessary radiation is prevented by the conductive thin film.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】本発明は、基材上に形成された、
顔料微粒子及び高屈折率の微粒子を含む光吸収膜と、光
吸収膜上に多層構造で形成され、かつその少なくとも1
つの層が導電性薄膜から成り、光干渉によって入射光に
対する反射光を減衰させる反射防止多層膜とから成る光
吸収性反射防止体である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention relates to a method for forming on a substrate,
A light-absorbing film containing pigment fine particles and high-refractive-index fine particles;
An anti-reflection anti-reflective body comprising one layer made of a conductive thin film and an anti-reflection multilayer film that attenuates reflected light with respect to incident light by light interference.

【0020】また本発明は、上記光吸収性反射防止体に
おいて、光吸収膜の物理膜厚が、10nm以上1000
nm以下である構成とする。
Further, according to the present invention, in the above-mentioned light-absorbing antireflection body, the physical thickness of the light-absorbing film is 10 nm or more and
nm or less.

【0021】また本発明は、上記光吸収性反射防止体に
おいて、光吸収膜が、有機溶剤に固形分比にして1.5
wt%以上4.5wt%以下の酸化珪素を分散させたゾ
ルゲル膜の塗布によって形成されて成る構成とする。
The present invention also provides the above-mentioned light-absorbing antireflection body, wherein the light-absorbing film has a solid content ratio of 1.5 to the organic solvent.
It is configured to be formed by applying a sol-gel film in which silicon oxide of not less than wt% and not more than 4.5 wt% is dispersed.

【0022】また本発明は、上記光吸収性反射防止体に
おいて、光吸収膜は、高屈折率の微粒子を主材料である
酸化珪素の20wt%以上40wt%以下の重量比で含
有し、屈折率が1.40以上1.65以下とされた構成
とする。
According to the present invention, in the above-described light-absorbing antireflection body, the light-absorbing film contains fine particles having a high refractive index in a weight ratio of 20 wt% to 40 wt% of silicon oxide as a main material, and Is set to 1.40 or more and 1.65 or less.

【0023】また本発明は、上記光吸収性反射防止体に
おいて、光吸収膜は、酸化珪素に対する顔料微粒子の割
合が5wt%以下である構成とする。
According to the present invention, in the above-mentioned light-absorbing antireflection body, the light-absorbing film has a structure in which the ratio of pigment fine particles to silicon oxide is 5 wt% or less.

【0024】本発明は、高屈折率の微粒子と酸化珪素の
みを含む厚さ5nm以上の第1の層と、顔料微粒子及び
高屈折率の微粒子、並びに酸化珪素からなる第2の層と
の2層構造からなる光吸収膜と、光吸収膜上に多層構造
で形成され、かつその少なくとも1つの層が導電性薄膜
からなり、光干渉によって入射光に対する反射光を減衰
させる反射防止多層膜とから成る光吸収性反射防止体で
ある。
According to the present invention, there is provided a first layer having a thickness of 5 nm or more containing only high-refractive-index fine particles and silicon oxide, and a second layer comprising pigment fine particles, high-refractive-index fine particles, and silicon oxide. A light-absorbing film having a layer structure, and an antireflection multilayer film formed on the light-absorbing film in a multilayer structure, wherein at least one of the layers is formed of a conductive thin film and attenuates reflected light with respect to incident light by light interference. The light-absorbing anti-reflective body comprises:

【0025】本発明は、パネルの外表面に反射防止膜が
形成された表示装置であって、反射防止膜が、基材上に
形成された顔料微粒子及び高屈折率の微粒子を含む光吸
収膜と、光吸収膜上に多層構造で形成され、かつその少
なくとも1つの層が導電性薄膜から成り、光干渉によっ
て入射光に対する反射光を減衰させる反射防止多層膜と
から成る表示装置である。
The present invention relates to a display device in which an antireflection film is formed on the outer surface of a panel, wherein the antireflection film contains a pigment fine particle and a high refractive index fine particle formed on a substrate. And a multi-layer structure formed on the light absorbing film, at least one layer of which is made of a conductive thin film, and an anti-reflection multilayer film that attenuates reflected light with respect to incident light by light interference.

【0026】本発明は、パネルの外表面に反射防止膜が
形成された表示装置であって、反射防止膜が、高屈折率
の微粒子及び酸化珪素のみを含む第1の層と、顔料微粒
子及び高屈折率の微粒子、並びに酸化珪素からなる第2
の層との2層構造からなる光吸収膜と、光吸収膜上に多
層構造で形成されかつその少なくとも1つの層が導電性
薄膜から成り光干渉によって入射光に対する反射光を減
衰させる反射防止多層膜とから成る表示装置である。
According to the present invention, there is provided a display device having an antireflection film formed on an outer surface of a panel, wherein the antireflection film includes a first layer containing only high-refractive-index fine particles and silicon oxide; High refractive index fine particles, and a second made of silicon oxide
A light-absorbing film having a two-layer structure of a light-absorbing film and an anti-reflection multilayer formed on the light-absorbing film in a multilayer structure, wherein at least one of the layers is made of a conductive thin film and attenuating reflected light with respect to incident light by light interference This is a display device comprising a film.

【0027】図1は本発明の一実施の形態に係る光吸収
性反射防止体の構造を示す断面図を示す。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a light-absorbing anti-reflection body according to one embodiment of the present invention.

【0028】この光吸収性反射防止膜10は、ガラス基
材11上に形成された顔料微粒子を含む10nm以上1
000nm以下、好ましくは100nm以上800nm
以下の物理膜厚を有する光吸収膜12と、この光吸収膜
12上に形成され、光干渉によって入射光に対する反射
光を減衰させる反射防止多層膜13とを有する構成とな
っている。
The light-absorbing anti-reflection film 10 has a thickness of 10 nm or more containing fine pigment particles formed on the glass substrate 11.
000 nm or less, preferably 100 nm or more and 800 nm
The light absorbing film 12 has the following physical film thickness, and an antireflection multilayer film 13 formed on the light absorbing film 12 and attenuating reflected light with respect to incident light by light interference.

【0029】図1の光吸収性反射防止膜10の光吸収膜
12の構造を図2に示す。この光吸収膜12は、酸化珪
素(SiO2 )を主成分とし、この酸化珪素の微粒子が
バインダー1となって、膜が形成されている。そして、
光吸収膜12の内部には、所望の屈折率分布が得られる
ように、顔料微粒子2と、高屈折率の微粒子3とを含有
している。
FIG. 2 shows the structure of the light absorbing film 12 of the light absorbing anti-reflection film 10 of FIG. The light absorbing film 12 is composed mainly of silicon oxide (SiO 2 ), and fine particles of the silicon oxide serve as the binder 1 to form a film. And
The light absorbing film 12 contains pigment fine particles 2 and high refractive index fine particles 3 so as to obtain a desired refractive index distribution.

【0030】顔料微粒子2としては、カーボン微粒子
(カーボンブラック)や、鉄、コバルト、マンガン、ス
ズ、ルテニウム等の化合物による無機顔料微粒子や、有
機物質からなる有機顔料微粒子を用いることができる。
このような顔料微粒子2を含有することにより、光吸収
膜12の透過率を調整することができる。
As the pigment fine particles 2, carbon fine particles (carbon black), inorganic pigment fine particles of a compound such as iron, cobalt, manganese, tin, ruthenium and the like, and organic pigment fine particles of an organic substance can be used.
By containing such pigment fine particles 2, the transmittance of the light absorbing film 12 can be adjusted.

【0031】高屈折率の微粒子3としては、酸化スズ
(屈折率:約2.0)や酸化チタン(屈折率:約2.
6)等の高屈折材料の微粒子を用いることができる。こ
のような高屈折率の微粒子3を含有することにより、光
吸収膜12の屈折率を調整することができる。
The fine particles 3 having a high refractive index include tin oxide (refractive index: about 2.0) and titanium oxide (refractive index: about 2.
Fine particles of a high refractive material such as 6) can be used. By including such fine particles 3 having a high refractive index, the refractive index of the light absorbing film 12 can be adjusted.

【0032】上述の構成の光吸収膜12は、バインダー
1となる酸化珪素と、顔料微粒子2と、高屈折率の微粒
子3とを、エタノールなどの有機溶媒中に調合して、均
一に分散させたシリコンアルコキシド溶剤を作製し、こ
のシリコンアルコキシド溶剤をガラス基材11の表面に
塗布した後、所定の温度で焼成することによって形成さ
れる。
The light-absorbing film 12 having the above structure is prepared by mixing silicon oxide as the binder 1, pigment fine particles 2, and high-refractive-index fine particles 3 in an organic solvent such as ethanol and dispersing them uniformly. The silicon alkoxide solvent is prepared, the silicon alkoxide solvent is applied to the surface of the glass substrate 11, and then baked at a predetermined temperature.

【0033】尚、顔料微粒子2の有機溶媒中での粒径は
最小でも10nmとなるため、均一な光吸収膜12を形
成するためには10nm以上の膜厚D1が必要である。
また、顔料として有機顔料を使用する場合は、二次粒径
が50nm以上になる場合もあるため、より安定な光吸
収膜12の形成には100nm以上の膜厚D1が必要で
ある。一方、光吸収膜12の膜厚D1を1000nm以
上とすると、成膜や乾燥後に表面にひび割れが発生する
可能性があるため、好ましくない。光吸収膜12の膜厚
D1が800nm以下であれば、その上の反射防止多層
膜の構造、成膜方法、保存方法に係わらず、長期の安定
性が確認されている。
Since the particle size of the pigment fine particles 2 in the organic solvent is at least 10 nm, a film thickness D1 of 10 nm or more is required to form a uniform light absorbing film 12.
When an organic pigment is used as the pigment, the secondary particle size may be 50 nm or more in some cases. Therefore, a film thickness D1 of 100 nm or more is required to form a more stable light absorbing film 12. On the other hand, if the thickness D1 of the light absorbing film 12 is 1000 nm or more, it is not preferable because cracks may occur on the surface after film formation and drying. When the thickness D1 of the light absorbing film 12 is 800 nm or less, long-term stability has been confirmed regardless of the structure, film forming method, and storage method of the antireflection multilayer film thereon.

【0034】また、ガラス基材11との充分な接着強度
を持つ、均質な光吸収膜12をガラス基材11上に形成
するためには、バインダー1の酸化珪素に対する顔料微
粒子2の重量比率が低い方が望ましい。具体的には、酸
化珪素に対する顔料微粒子2の重量割合を3wt%以下
にする必要がある。顔料微粒子2の重量割合が3wt%
を超えると、膜のガラス基材11に対する接着強度が不
十分になり、長期の信頼性が劣る場合がある。
In order to form a uniform light absorbing film 12 having a sufficient adhesive strength with the glass substrate 11 on the glass substrate 11, the weight ratio of the pigment fine particles 2 to the silicon oxide of the binder 1 is required. Lower is desirable. Specifically, the weight ratio of the pigment fine particles 2 to silicon oxide needs to be 3 wt% or less. The weight ratio of the pigment fine particles 2 is 3 wt%
If it exceeds, the adhesive strength of the film to the glass substrate 11 may be insufficient, and the long-term reliability may be poor.

【0035】尚、透過率の調整のために顔料微粒子2を
3%以上使用したい場合には、後述するように2層構造
の光吸収膜12(図4参照)を形成し、ガラス基材11
側の第1層には顔料微粒子を含まないようにすることも
可能である。
When it is desired to use 3% or more of the pigment fine particles 2 for adjusting the transmittance, a light absorbing film 12 (see FIG. 4) having a two-layer structure is formed as described later, and the glass substrate 11 is formed.
The first layer on the side may not contain pigment fine particles.

【0036】また、光吸収膜12の屈折率は、ガラス基
材11の屈折率に近い1.40以上1.65以下、望ま
しくは、1.45〜1.55の屈折率となるように、酸
化スズ、酸化チタン等の高屈折率の微粒子3を含有させ
る。この高屈折率の微粒子3のバインダー1の酸化珪素
に対する固形分比を20wt%から40wt%まで変化
させることにより、容易に屈折率を調整することができ
る。
Further, the refractive index of the light absorbing film 12 is set to be 1.40 or more and 1.65 or less, which is close to the refractive index of the glass substrate 11, and preferably 1.45 to 1.55. High refractive index fine particles 3 such as tin oxide and titanium oxide are contained. The refractive index can be easily adjusted by changing the solid content ratio of the high refractive index fine particles 3 to the silicon oxide of the binder 1 from 20 wt% to 40 wt%.

【0037】そして、光吸収膜12の屈折率が1.40
以上1.65以下であれば、ガラス基材11の屈折率を
最適化することで、像が2重に見える現象を回避するこ
とができる。近年のフラットガラスパネルに用いられる
高透過率のガラスは、その屈折率が1.45以上1.5
5以下であるため、本実施の形態の光吸収性反射防止体
10をフラットガラスパネルに適用する場合の光吸収膜
12の屈折率は1.45以上1.55以下であることが
好ましい。
The refractive index of the light absorbing film 12 is 1.40.
When the value is 1.65 or less, the phenomenon in which an image appears to be double can be avoided by optimizing the refractive index of the glass substrate 11. High transmittance glass used for recent flat glass panels has a refractive index of 1.45 to 1.5.
Since it is 5 or less, the refractive index of the light absorbing film 12 when the light absorbing antireflection body 10 of the present embodiment is applied to a flat glass panel is preferably 1.45 or more and 1.55 or less.

【0038】上述の高屈折率の微粒子3は、その粒径が
無機顔料の一次粒径とほぼ同じとなる。このため、高屈
折率の微粒子3を含有することによっても、光吸収膜1
2の最適な膜厚に影響することはない。また、高屈折率
の微粒子3により、光吸収膜12の上層の反射防止多層
膜13の反射防止機能を劣化させることはない。
The fine particles 3 having a high refractive index have a particle diameter substantially equal to the primary particle diameter of the inorganic pigment. For this reason, the inclusion of the fine particles 3 having a high refractive index allows the light absorbing film 1
The optimum film thickness of No. 2 is not affected. Further, the antireflection function of the antireflection multilayer film 13 on the light absorption film 12 is not deteriorated by the high refractive index fine particles 3.

【0039】塗膜である光吸収膜12の形成方法として
は、ゾルゲル法を採用する。このゾルゲル法では、スピ
ンコート法が均一な膜厚を得るためには最も適してい
る。このスピンコート法の他にも、ロールコート法、デ
ィップコート法、スプレー法等を用いることができる。
ただし、本発明は、これらの形成方法に限定されるもの
ではない。
As a method for forming the light absorbing film 12, which is a coating film, a sol-gel method is employed. In this sol-gel method, spin coating is most suitable for obtaining a uniform film thickness. In addition to the spin coating method, a roll coating method, a dip coating method, a spray method, or the like can be used.
However, the present invention is not limited to these forming methods.

【0040】しかし、いずれの方法を採る場合でも、好
ましい粘度が得られる固形分比率は、有機溶剤に対する
固形分比にして1.5wt%以上4.5wt%以下、好
ましくは2.5wt%〜3.5wt%である。この固形
分比となるように、酸化珪素を分散させたシリコンアル
コキシド溶剤を調整する。固形分比が1.5wt%より
少ない場合には、液の粘度が低くなり、既に述べた好ま
しい膜厚(100nm以上)で塗布された場合でも、有
機顔料の粒が露出してしまうため、光吸収膜12の硬度
が低下する。また、固形分比が4.5wt%を超える
と、粘性が上がりすぎて、ガラス基材11の広い面積に
塗布した場合に膜厚が均一でなくなる。
However, regardless of which method is employed, the solid content ratio at which a preferable viscosity is obtained is from 1.5 wt% to 4.5 wt%, preferably from 2.5 wt% to 3 wt%, in terms of the solid content ratio to the organic solvent. 0.5 wt%. A silicon alkoxide solvent in which silicon oxide is dispersed is adjusted to have this solid content ratio. When the solid content ratio is less than 1.5 wt%, the viscosity of the liquid becomes low, and even when the liquid is applied with the above-mentioned preferable film thickness (100 nm or more), the particles of the organic pigment are exposed. The hardness of the absorbing film 12 decreases. On the other hand, if the solid content ratio exceeds 4.5 wt%, the viscosity becomes too high, and the film thickness becomes non-uniform when applied to a large area of the glass substrate 11.

【0041】光吸収膜12を形成する具体的な例として
は、例えば以下のようにすることができる。バインダー
1となる酸化珪素の液中の固形分比を3.0wt%と
し、顔料微粒子2として有機顔料を酸化珪素に対する重
量比で3.0wt%混合し、高屈折率の微粒子3として
酸化スズの微粒子を酸化珪素に対する重量比で35.0
wt%混合し、アルコキシド溶剤を調整する。そして、
このアルコキシド溶剤を、ガラス基材11上にスピンコ
ート法にて200nmの厚さに塗布する。これを所定の
温度で焼成することによって光吸収膜12が形成され
る。
A specific example of forming the light absorbing film 12 can be, for example, as follows. The solid content ratio in the liquid of silicon oxide as the binder 1 was set to 3.0 wt%, the organic pigment as the pigment fine particles 2 was mixed in a weight ratio to silicon oxide of 3.0 wt%, and the tin oxide as the high refractive index fine particles 3 was tin oxide. The fine particles were 35.0 in weight ratio to silicon oxide.
wt% and adjust the alkoxide solvent. And
This alkoxide solvent is applied on the glass substrate 11 to a thickness of 200 nm by spin coating. The light absorbing film 12 is formed by firing this at a predetermined temperature.

【0042】光吸収膜12の上には、多層構造の反射防
止膜(反射防止多層膜)13が形成される。尚、図1で
は反射防止多層膜13が最も単純な2層である構造を有
している。反射防止多層膜13の少なくとも1つの層
は、表面抵抗が10Ω/□以上1000Ω/□以下の導
電性薄膜14によって構成されている。この導電性薄膜
14の材料としては、透明なITO(インジウムスズ酸
化物)、SnO2 (酸化スズ)、ZnOX (酸化亜
鉛)、または光吸収性を有するTiN(窒化チタン)
膜、NbN(窒化ニオブ)膜に代表される窒化遷移金属
膜、さらにはAg(銀)膜やNi−Fe(ニッケル・鉄
合金)のような金属薄膜が用いられる。
On the light absorbing film 12, an antireflection film (antireflection multilayer film) 13 having a multilayer structure is formed. In FIG. 1, the antireflection multilayer film 13 has the simplest two-layer structure. At least one layer of the antireflection multilayer film 13 is formed of a conductive thin film 14 having a surface resistance of 10 Ω / □ to 1000 Ω / □. Examples of the material of the conductive thin film 14 include transparent ITO (indium tin oxide), SnO 2 (tin oxide), ZnO x (zinc oxide), or light absorbing TiN (titanium nitride).
Films, transition metal nitride films typified by NbN (niobium nitride) films, and metal thin films such as Ag (silver) films and Ni-Fe (nickel-iron alloy) are used.

【0043】反射防止多層膜13に導電性のない層を設
ける場合には、例えばSiO2 膜15を形成することが
できる。
When a non-conductive layer is provided in the antireflection multilayer film 13, for example, an SiO 2 film 15 can be formed.

【0044】この反射防止多層膜13の形成方法として
は、例えばDCアクティブスパッタリング法を採用す
る。例えばTiN膜14とSiO2 膜15から成る反射
防止多層膜13を形成する場合には、スパッタリング装
置は以下の構成とする。金属チタンターゲットを配置し
て窒素・アルゴンの混合ガスを反応ガスに用いる第1成
膜室と、ガス置換機能を持つ隔離室と、金属シリコンタ
ーゲットを配置して酸素・アルゴンの混合ガスを反応ガ
スに用いる第2成膜室からスパッタリング装置を構成す
る。この構成のスパッタリング装置により、第1成膜室
でTiN膜14が成膜され、第2成膜室でTiN膜14
上にSiO2 膜15が成膜される。
As a method for forming the antireflection multilayer film 13, for example, a DC active sputtering method is employed. For example, when the antireflection multilayer film 13 composed of the TiN film 14 and the SiO 2 film 15 is formed, the sputtering apparatus has the following configuration. A first film formation chamber in which a mixed gas of nitrogen and argon is used as a reaction gas by disposing a metal titanium target, an isolation chamber having a gas replacement function, and a mixed gas of oxygen and argon by disposing a metal silicon target in a reaction gas A sputtering apparatus is composed of the second film forming chamber used for the above. With the sputtering apparatus having this configuration, the TiN film 14 is formed in the first film forming chamber, and the TiN film 14 is formed in the second film forming chamber.
An SiO 2 film 15 is formed thereon.

【0045】ここで、本実施の形態の光吸収反射防止体
10の製造工程のフローチャートを図3に示す。まず、
ガラス基材11の表面を洗浄する(工程1)。続いて、
ガラス基材11上に光吸収膜12をロールコート等によ
って塗布する(工程2)。次に、所定の温度t(120
℃<t<200℃)でベーキング処理を行う(工程
3)。そして、スパッタリング法により、まず第2層目
のTiN膜14を成膜し(工程4)、次に第3層目のS
iO2 膜15を成膜する(工程5)。これにより、2層
構造の反射防止多層膜13が形成される。
Here, FIG. 3 shows a flow chart of the manufacturing process of the light-absorbing / reflecting body 10 of the present embodiment. First,
The surface of the glass substrate 11 is washed (Step 1). continue,
The light absorbing film 12 is applied on the glass substrate 11 by roll coating or the like (Step 2). Next, a predetermined temperature t (120
A baking treatment is performed at a temperature of <200 ° C. (Step 3). Then, a second-layer TiN film 14 is first formed by a sputtering method (Step 4), and then a third-layer TiN film 14 is formed.
An iO 2 film 15 is formed (Step 5). Thereby, the antireflection multilayer film 13 having a two-layer structure is formed.

【0046】上述の本実施の形態の光吸収性反射防止体
10によれば、光吸収膜12が高屈折率の微粒子3を含
有することにより、光吸収膜12の屈折率を調整するこ
とが可能になる。これにより、例えばガラス基材11の
屈折率と同等になるように、光吸収膜12の屈折率を調
整することができる。
According to the above-described light-absorbing anti-reflection body 10 of the present embodiment, the refractive index of the light-absorbing film 12 can be adjusted by containing the fine particles 3 having a high refractive index. Will be possible. Thereby, for example, the refractive index of the light absorbing film 12 can be adjusted to be equal to the refractive index of the glass substrate 11.

【0047】また、光吸収膜12が顔料を含有すること
により、顔料の選択により光吸収膜12の光透過性を調
整することが可能になる。これにより、例えば表示装置
のフェースパネルの反射防止膜として光吸収性反射防止
体10を用いた場合に、RGB輝度を考慮した選択吸収
フィルタを実現することができる。
When the light absorbing film 12 contains a pigment, the light transmittance of the light absorbing film 12 can be adjusted by selecting the pigment. Thus, for example, when the light-absorbing anti-reflection body 10 is used as an anti-reflection film of a face panel of a display device, a selective absorption filter in consideration of RGB luminance can be realized.

【0048】また、反射防止多層膜13が導電性薄膜1
4を有するため、不要輻射の漏洩が防止される。
The antireflection multilayer film 13 is formed of the conductive thin film 1.
4, the leakage of unnecessary radiation is prevented.

【0049】そして、本実施の形態の光吸収性反射防止
体10によれば、第1層目の光吸収膜12、第2層目の
TiN膜(導電性薄膜)14及び第3層目のSiO2
15からなる3層構造の膜構成としたことにより、いず
れの屈折率も1.45〜1.55の範囲内とすることが
できる。これにより、裏側入射による光の反射を抑える
ことができる。
According to the light-absorbing anti-reflection body 10 of the present embodiment, the first-layer light-absorbing film 12, the second-layer TiN film (conductive thin film) 14, and the third-layer With the three-layer structure composed of the SiO 2 film 15, any refractive index can be set within a range of 1.45 to 1.55. Thereby, reflection of light due to backside incidence can be suppressed.

【0050】次に、本発明の他の実施の形態の光吸収性
反射防止体概略断面図を図4に示す。この光吸収性反射
防止体20は、光吸収膜12の構成が2層構造となって
いて、顔料を含まない第1の光吸収膜16と、顔料を含
む第2の光吸収膜17とから成る。即ちガラス基材11
側の第1の光吸収膜16はバインダー1となる酸化珪素
と高屈折率の微粒子3とを含有し、その上の第2の光吸
収膜17はバインダー1となる酸化珪素と顔料微粒子2
及び高屈折率の微粒子3とを含有する。その他の構成
は、図1の光吸収性反射防止体10と同様であるため、
重複説明を省略する。
Next, FIG. 4 shows a schematic sectional view of a light-absorbing antireflection body according to another embodiment of the present invention. This light-absorbing anti-reflective body 20 has a two-layer structure of the light-absorbing film 12, and includes a first light-absorbing film 16 containing no pigment and a second light-absorbing film 17 containing pigment. Become. That is, the glass substrate 11
The first light absorbing film 16 on the side contains silicon oxide serving as binder 1 and fine particles 3 having a high refractive index, and the second light absorbing film 17 thereon has silicon oxide serving as binder 1 and pigment fine particles 2.
And fine particles 3 having a high refractive index. Other configurations are the same as those of the light-absorbing anti-reflection body 10 of FIG.
A duplicate description is omitted.

【0051】本実施の形態の光吸収性反射防止体20で
は、ガラス基材11側の第1の光吸収膜16が顔料を含
まないので、この第1の光吸収膜16とガラス基材11
との接着強度が強くなる。尚、第1の光吸収膜16の膜
厚D2は、接着強度を充分確保するためにも5nm以上
とすることが望ましい。
In the light-absorbing anti-reflection body 20 of the present embodiment, the first light-absorbing film 16 on the glass substrate 11 side does not contain a pigment.
And the adhesive strength with the adhesive increases. The thickness D2 of the first light absorbing film 16 is desirably 5 nm or more in order to secure sufficient adhesive strength.

【0052】そして、透過率の調整のために顔料微粒子
2を3%以上使用したい場合には、顔料微粒子2を含む
第2の光吸収膜12における顔料微粒子2の重量比を図
1の場合の1層の光吸収膜12よりやや多め、例えば5
%以下の重量比になるように混合する。
When it is desired to use 3% or more of the pigment fine particles 2 for adjusting the transmittance, the weight ratio of the pigment fine particles 2 in the second light absorbing film 12 including the pigment fine particles 2 is set to the value shown in FIG. Slightly larger than one light absorbing film 12, for example, 5
% Or less by weight.

【0053】図4の光吸収性反射防止体20は、例えば
次のようにして形成することができる。まず、ガラス基
材11上に顔料を含まない第1の光吸収膜16用のゾル
ゲル液を塗布する。即ち、バインダー1となる酸化珪素
のゾルゲル液中の固形分比を例えば3.0wt%とし、
高屈折率の微粒子3として酸化スズの微粒子を酸化珪素
に対する重量比で例えば35.0wt%混合して、アル
コキシド溶剤を調整する。続いて、このアルコキシド溶
剤を、スピンコート法にて例えば5nmの厚さD2に塗
布する。
The light-absorbing anti-reflective member 20 shown in FIG. 4 can be formed, for example, as follows. First, a sol-gel liquid for the first light absorbing film 16 containing no pigment is applied on the glass substrate 11. That is, the solid content ratio in the sol-gel liquid of silicon oxide serving as the binder 1 is set to, for example, 3.0 wt%,
The alkoxide solvent is adjusted by mixing, for example, 35.0 wt% of tin oxide fine particles as the high refractive index fine particles 3 with respect to silicon oxide in a weight ratio to silicon oxide. Subsequently, the alkoxide solvent is applied to a thickness D2 of, for example, 5 nm by spin coating.

【0054】次に、顔料微粒子2を含む第2の光吸収膜
17用のゾルゲル液を塗布する。即ち、バインダー1と
なる酸化珪素のゾルゲル液中の固形分比を例えば3.0
wt%とし、高屈折率の微粒子3として酸化スズの微粒
子を酸化珪素に対する重量比で例えば35.0wt%混
合し、顔料微粒子2として有機顔料を酸化珪素に対する
重量比で例えば3.5wt%混合して、アルコキシド溶
剤を調整する。続いて、このアルコキシド溶剤を、スピ
ンコート法にて例えば200nmの厚さD3に塗布す
る。
Next, a sol-gel liquid containing the pigment fine particles 2 for the second light absorbing film 17 is applied. That is, the solid content ratio of the silicon oxide as the binder 1 in the sol-gel liquid is, for example, 3.0.
wt%, tin oxide fine particles as the high refractive index fine particles 3 are mixed at a weight ratio to silicon oxide, for example, 35.0 wt%, and organic pigments as pigment fine particles 2 are mixed at a weight ratio to silicon oxide, for example, 3.5 wt%. To adjust the alkoxide solvent. Subsequently, this alkoxide solvent is applied to a thickness D3 of, for example, 200 nm by a spin coating method.

【0055】このようにして形成した光吸収性反射防止
体20の膜の接着強度は、顔料が先の実施の形態の具体
例(3.0wt%)より多いにも係わらず同じであっ
た。
The adhesive strength of the film of the light-absorbing anti-reflective member 20 formed in this way was the same despite the fact that the pigment was greater than the specific example (3.0 wt%) of the previous embodiment.

【0056】そして、上述の各実施の形態の光吸収性反
射防止体10,20をパネルガラスの外表面に形成する
ことにより、パネルガラスに反射防止膜が形成された表
示装置を構成することができる。
By forming the light-absorbing anti-reflection members 10 and 20 of the above embodiments on the outer surface of the panel glass, it is possible to form a display device having an anti-reflection film formed on the panel glass. it can.

【0057】図5は、この本発明の表示装置の実施の形
態として、陰極線管の概略断面図を示す。この陰極線管
30は、パネル部21aとファンネル部21bとネック
部21cとを有するガラス製の陰極線管体21により形
成される。そして、陰極線管体21のパネル部21aと
して、外表面がフラット形状のパネルガラス22が、封
止部21dによりファンネル部21bのガラスと接合さ
れている。このパネルガラス22は、外気圧に対抗する
ために中央部より周辺部(特にコーナー部)が厚くなっ
ている。
FIG. 5 is a schematic sectional view of a cathode ray tube as an embodiment of the display device of the present invention. The cathode ray tube 30 is formed by a glass cathode ray tube 21 having a panel portion 21a, a funnel portion 21b, and a neck portion 21c. As the panel portion 21a of the cathode ray tube 21, a panel glass 22 having a flat outer surface is joined to the glass of the funnel portion 21b by a sealing portion 21d. The panel glass 22 has a thicker peripheral portion (particularly, a corner portion) than a central portion in order to oppose the outside air pressure.

【0058】陰極線管体21のネック部21cには、電
子ビームを出射する電子銃23が封入されている。ま
た、ネック部21cからファンネル部21bにかけて、
電子銃23から出射された電子ビームを偏向する偏向ヨ
ーク24が取り付けられている。
An electron gun 23 for emitting an electron beam is sealed in the neck 21c of the cathode ray tube 21. Also, from the neck 21c to the funnel 21b,
A deflection yoke 24 for deflecting the electron beam emitted from the electron gun 23 is attached.

【0059】そして、パネルガラス22の外表面には、
コントラストの増強を目的として、反射防止膜25が形
成されている。この反射防止膜25として、前述の実施
の形態の光吸収性反射防止体10または20を用いるこ
とができる。
Then, on the outer surface of the panel glass 22,
An antireflection film 25 is formed for the purpose of enhancing contrast. As the antireflection film 25, the light-absorbing antireflection body 10 or 20 of the above-described embodiment can be used.

【0060】パネルガラス22の外表面に反射防止膜2
5を形成するには、前述した光吸収性反射防止体10の
形成方法と同様の方法を用いることができる。
The antireflection film 2 is formed on the outer surface of the panel glass 22.
5 can be formed by the same method as the method for forming the light-absorbing anti-reflective member 10 described above.

【0061】上述の本実施の形態の陰極線管30によれ
ば、フラット形状のパネルガラス22を使用した陰極線
管30において、コントラスト増強のための反射防止膜
25として、光吸収膜12及び反射防止多層膜13から
なる光吸収性反射防止体10または20を用いたことに
より、光吸収膜12の光吸収性作用により陰極線管20
のパネルガラス22のフラット化に伴うパネルガラス2
2の肉厚の影響を排除することができる。
According to the above-described cathode ray tube 30 of the present embodiment, in the cathode ray tube 30 using the flat panel glass 22, the light absorption film 12 and the antireflection multilayer are used as the antireflection film 25 for enhancing the contrast. The use of the light-absorbing anti-reflective body 10 or 20 made of the film 13 allows the cathode ray tube 20
Glass 2 accompanying flattening of panel glass 22
2 can be eliminated.

【0062】また、反射防止多層膜13の光干渉による
反射防止によって、従来にない高いコントラストが得ら
れると共に、反射防止多層膜13に設けられた導電性薄
膜14によって不要輻射の漏洩を防止することができ
る。
Further, by preventing reflection of the anti-reflection multilayer film 13 by light interference, an unprecedented high contrast can be obtained, and leakage of unnecessary radiation can be prevented by the conductive thin film 14 provided on the anti-reflection multilayer film 13. Can be.

【0063】また、光吸収性反射防止体10または20
の光吸収膜12の顔料の選択により、より自由な透過率
分布を得ることができるため、カラー陰極線管の3色
(赤、緑、青)の輝度の比率に応じた反射防止膜25の
設計が可能であり、3色の電子ビームの電流量の比を最
適化することによって、フォーカス性能の向上を図るこ
とができる。
The light absorbing anti-reflection member 10 or 20
By selecting a pigment for the light absorbing film 12, a more free transmittance distribution can be obtained, so that the antireflection film 25 is designed in accordance with the luminance ratio of three colors (red, green, and blue) of the color cathode ray tube. The focus performance can be improved by optimizing the ratio of the current amounts of the three color electron beams.

【0064】尚、本発明を適用することが可能な表示装
置としては、上述の陰極線管に限られるものではなく、
液晶ディスプレイや、FED(Field Emission Displa
y)等の表示装置にも同様に適用することができる。そ
して、これら表示装置のパネルの外表面に、反射防止膜
として本発明の光吸収性反射防止体を形成することによ
り、高いコントラストと、導電性反射防止とを実現する
ことができる。
The display device to which the present invention can be applied is not limited to the above-described cathode ray tube.
Liquid crystal display, FED (Field Emission Displa
The same can be applied to a display device such as y). By forming the light-absorbing antireflection body of the present invention as an antireflection film on the outer surface of the panel of these display devices, high contrast and conductive antireflection can be realized.

【0065】本発明は、上述の実施の形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他
様々な構成が取り得る。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and may take various other configurations without departing from the gist of the present invention.

【0066】[0066]

【発明の効果】上述の本発明によれば、光吸収性反射防
止体及びこれをフラットパネルガラスの反射防止膜とし
て用いた表示装置において、光吸収性反射防止体の光吸
収膜に顔料と高屈折率素材を添加した構成としたことに
より、表示装置のRGB輝度を考慮した選択吸収フィル
タを実現することができる。従って、従来にない高コン
トラストと導電性反射防止を安価な製造プロセスで実現
することができる。
According to the present invention described above, in a light-absorbing anti-reflection body and a display device using the same as an anti-reflection film for flat panel glass, the light-absorbing anti-reflection body has a light absorbing film with a pigment. With the configuration in which the refractive index material is added, it is possible to realize a selective absorption filter in consideration of the RGB luminance of the display device. Therefore, unprecedented high contrast and conductive reflection prevention can be realized by an inexpensive manufacturing process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態の光吸収性反射防止体の
構造を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a structure of a light-absorbing antireflection body according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の光吸収性反射防止体の光吸収膜の構成を
示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a light absorbing film of the light absorbing anti-reflection body of FIG.

【図3】図1の光吸収性反射防止体の製造工程の流れを
示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing a flow of a manufacturing process of the light-absorbing anti-reflection member of FIG.

【図4】本発明の他の実施の形態の光吸収性反射防止体
の構造を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a structure of a light-absorbing anti-reflection body according to another embodiment of the present invention.

【図5】本発明の表示装置の実施の形態の陰極線管の概
略断面図である。
FIG. 5 is a schematic sectional view of a cathode ray tube according to an embodiment of the display device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 バインダー、2 顔料微粒子、3 高屈折率の微粒
子、10,20 光吸収性反射防止体、11 ガラス基
材、12 光吸収膜、13 反射防止多層膜、14 導
電性薄膜(TiN膜)、15 SiO2 膜、16 第1
の光吸収膜、17第2の光吸収膜、21 陰極線管体、
22 パネルガラス、23 電子銃、24 偏向ヨー
ク、25 反射防止膜、30 陰極線管
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Binder, 2 pigment fine particles, 3 high refractive index fine particles, 10, 20 light absorbing antireflective body, 11 glass base material, 12 light absorbing film, 13 antireflection multilayer film, 14 conductive thin film (TiN film), 15 SiO 2 film, 16 1st
Light absorbing film, 17 second light absorbing film, 21 cathode ray tube,
22 panel glass, 23 electron gun, 24 deflection yoke, 25 anti-reflection film, 30 cathode ray tube

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 荒木 宗也 愛知県稲沢市大矢町茨島30番地 ソニー稲 沢株式会社内 Fターム(参考) 2K009 AA05 BB02 CC02 CC03 CC09 CC14 DD04 EE01 EE03 4F100 AA20B AG00A AT00A BA04 BA07 BA10A CA13B CA13H DE01B DE01H EG00D GB41 JD06 JD06B JG01C JN06 JN06D JN18B JN18H 4G059 AA07 AB11 AC04 AC11 GA02 GA04 GA12 5C032 AA02 DD02 DE01 DE03 DF01 DF03 DG01 DG02  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Muneya Araki 30 Ibaraki, Oyacho, Inazawa, Aichi Prefecture Sony Inazawa Co., Ltd. F-term (reference) 2K009 AA05 BB02 CC02 CC03 CC09 CC14 DD04 EE01 EE03 4F100 AA20B AG00A AT00A BA04 BA07 BA10A CA13B CA13H DE01B DE01H EG00D GB41 JD06 JD06B JG01C JN06 JN06D JN18B JN18H 4G059 AA07 AB11 AC04 AC11 GA02 GA04 GA12 5C032 AA02 DD02 DE01 DE03 DF01 DF03 DG01 DG02

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基材上に形成された、顔料微粒子及び高
屈折率の微粒子を含む光吸収膜と、 上記光吸収膜上に多層構造で形成され、かつその少なく
とも1つの層が導電性薄膜から成り、光干渉によって入
射光に対する反射光を減衰させる反射防止多層膜とから
成ることを特徴とする光吸収性反射防止体。
1. A light absorbing film containing pigment fine particles and high refractive index fine particles formed on a base material, and a multilayer structure formed on the light absorbing film, and at least one of the layers is a conductive thin film. And an anti-reflection multilayer film for attenuating reflected light with respect to incident light by light interference.
【請求項2】 上記光吸収膜の物理膜厚が、10nm以
上1000nm以下であることを特徴とする請求項1に
記載の光吸収性反射防止体。
2. The light-absorbing anti-reflective body according to claim 1, wherein the physical thickness of the light-absorbing film is 10 nm or more and 1000 nm or less.
【請求項3】 上記光吸収膜が、有機溶剤に固形分比に
して1.5wt%以上4.5wt%以下の酸化珪素を分
散させたゾルゲル膜の塗布によって形成されて成ること
を特徴とする請求項1に記載の光吸収性反射防止体。
3. The light-absorbing film is formed by applying a sol-gel film in which silicon oxide having a solid content ratio of 1.5 wt% or more and 4.5 wt% or less is dispersed in an organic solvent. The light-absorbing anti-reflective body according to claim 1.
【請求項4】 上記光吸収膜は、上記高屈折率の微粒子
を、主材料である酸化珪素の20wt%以上40wt%
以下の重量比で含有し、屈折率が1.40以上1.65
以下とされたことを特徴とする請求項1に記載の光吸収
性反射防止体。
4. The light absorbing film according to claim 1, wherein said high-refractive-index fine particles comprise at least 20 wt% and not more than 40 wt% of silicon oxide as a main material.
It is contained in the following weight ratio, and has a refractive index of 1.40 or more and 1.65.
The light-absorbing anti-reflective body according to claim 1, wherein:
【請求項5】 上記光吸収膜は、上記酸化珪素に対する
上記顔料微粒子の割合が5wt%以下であることを特徴
とする請求項1に記載の光吸収性反射防止体。
5. The light-absorbing anti-reflective body according to claim 1, wherein the light-absorbing film has a ratio of the pigment fine particles to the silicon oxide of 5 wt% or less.
【請求項6】 高屈折率の微粒子と酸化珪素のみを含む
厚さ5nm以上の第1の層と、顔料微粒子及び高屈折率
の微粒子、並びに酸化珪素からなる第2の層との2層構
造からなる光吸収膜と、 上記光吸収膜上に多層構造で形成され、かつその少なく
とも1つの層が導電性薄膜からなり、光干渉によって入
射光に対する反射光を減衰させる反射防止多層膜とから
成ることを特徴とする光吸収性反射防止体。
6. A two-layer structure of a first layer having a thickness of 5 nm or more containing only high-refractive-index fine particles and silicon oxide, and a second layer made of pigment fine particles, high-refractive-index fine particles, and silicon oxide. A light-absorbing film comprising: a light-absorbing film comprising: a light-absorbing film; a light-absorbing film formed of a conductive thin film; A light-absorptive antireflective body, characterized in that:
【請求項7】 パネルの外表面に反射防止膜が形成され
た表示装置であって、 上記反射防止膜が、 基材上に形成された顔料微粒子及び高屈折率の微粒子を
含む光吸収膜と、 上記光吸収膜上に多層構造で形成され、かつその少なく
とも1つの層が導電性薄膜から成り、光干渉によって入
射光に対する反射光を減衰させる反射防止多層膜とから
成ることを特徴とする表示装置。
7. A display device in which an antireflection film is formed on an outer surface of a panel, wherein the antireflection film comprises: a light absorption film containing pigment fine particles and high refractive index fine particles formed on a substrate. A display formed on the light-absorbing film in a multilayer structure, wherein at least one of the layers is formed of a conductive thin film and an anti-reflection multilayer film for attenuating reflected light with respect to incident light by light interference. apparatus.
【請求項8】 パネルの外表面に反射防止膜が形成され
た表示装置であって、 上記反射防止膜が、 高屈折率の微粒子及び酸化珪素のみを含む第1の層と、
顔料微粒子及び高屈折率の微粒子、並びに酸化珪素から
なる第2の層との2層構造からなる光吸収膜と、 上記光吸収膜上に多層構造で形成され、かつその少なく
とも1つの層が導電性薄膜から成り、光干渉によって入
射光に対する反射光を減衰させる反射防止多層膜とから
成ることを特徴とする表示装置。
8. A display device having an antireflection film formed on an outer surface of a panel, wherein the antireflection film includes a first layer containing only fine particles having a high refractive index and silicon oxide;
A light-absorbing film having a two-layer structure of pigment fine particles, high-refractive-index fine particles, and a second layer made of silicon oxide; a multilayer structure formed on the light-absorbing film; A display device comprising: an anti-reflection multilayer film made of a conductive thin film and attenuating reflected light with respect to incident light by light interference.
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