JP2002057397A - Semiconductor laser array package, semiconductor laser array light source unit, multi-beam scanner and image forming apparatus - Google Patents
Semiconductor laser array package, semiconductor laser array light source unit, multi-beam scanner and image forming apparatusInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体レーザア
レイパッケージ・半導体レーザアレイ光源ユニット・マ
ルチビーム走査装置および画像形成装置に関する。The present invention relates to a semiconductor laser array package, a semiconductor laser array light source unit, a multi-beam scanner, and an image forming apparatus.
【0002】[0002]
【従来の技術】光走査装置による光走査の効率化を目し
て、被走査面上の複数走査線を同時に光走査するマルチ
ビーム走査方式が提案され、実用化されつつある。マル
チビーム走査方式では、2以上の光束を同時に放射する
光源が必要となるが、このようなマルチビーム走査用の
光源として「複数のレーザ発光部をモノリシックにアレ
イ配列してなる半導体レーザアレイチップを内蔵した半
導体レーザアレイパッケージ」が実用化されている。半
導体レーザアレイパッケージとしては現在、パッケージ
サイズが5.6mmでレーザ発光部の数が2であるもの
と、パッケージサイズが9mmでレーザ発光部の数が4
であるものとが知られている。このような半導体レーザ
アレイパッケージを用いると、2本もしくは4本の走査
線を同時に光走査できるが、マルチビーム走査方式で
は、同時に光走査できる走査線数のさらなる増大が意図
されており、レーザ発光部数の大きい半導体レーザアレ
イパッケージが求められている。パッケージサイズを大
きくすれば、半導体レーザ発光部数を増大させることは
容易であるが、マルチビーム走査装置の光源として許容
されるパッケージサイズには自ずから限界がある。2. Description of the Related Art In order to improve the efficiency of optical scanning by an optical scanning device, a multi-beam scanning method for simultaneously optically scanning a plurality of scanning lines on a surface to be scanned has been proposed and is being put into practical use. In the multi-beam scanning method, a light source that simultaneously emits two or more light beams is required. As such a light source for multi-beam scanning, a semiconductor laser array chip in which a plurality of laser light emitting units are monolithically arrayed is used. The “built-in semiconductor laser array package” has been put to practical use. Currently, a semiconductor laser array package has a package size of 5.6 mm and two laser light emitting parts, and a package size of 9 mm and four laser light emitting parts.
Is known. When such a semiconductor laser array package is used, two or four scanning lines can be optically scanned at the same time. However, the multi-beam scanning method is intended to further increase the number of scanning lines that can be optically scanned at the same time. There is a demand for a large number of semiconductor laser array packages. If the package size is increased, it is easy to increase the number of semiconductor laser light emitting units, but there is naturally a limit on the package size allowed as the light source of the multi-beam scanning device.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この発明は、パッケー
ジサイズを徒に増大させることなくレーザ発光部数を有
効に増大した半導体レーザアレイパッケージの実現を課
題とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to realize a semiconductor laser array package in which the number of laser light emitting portions is effectively increased without unnecessarily increasing the package size.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】この発明の半導体レーザ
アレイパッケージは、半導体レーザアレイチップと、支
持基板と、キャップとを有する。「半導体レーザアレイ
チップ」は、複数のレーザ発光部をモノリシックにアレ
イ配列したものである。「支持基板」は、半導体レーザ
アレイチップ及びその付属物(配線やバックライト検出
用の受光素子等)を支持し、複数の貫通穴の個々に接続
用のピン(外部との電気的な接続に用いられる)を貫通
される。「キャップ」は、レーザ光射出用の窓を有し、
支持基板に支持された半導体レーザアレイ及びその付属
物に被せられ、支持基板に基部を固定される。A semiconductor laser array package according to the present invention has a semiconductor laser array chip, a support substrate, and a cap. The “semiconductor laser array chip” is a monolithic array of a plurality of laser light emitting units. The "support substrate" supports the semiconductor laser array chip and its accessories (such as wiring and light-receiving elements for backlight detection), and has a plurality of through-holes for individually connecting pins (for electrical connection to the outside). Used) is penetrated. The “cap” has a window for emitting laser light,
The semiconductor laser array is supported by the support substrate and is attached to the accessory, and the base is fixed to the support substrate.
【0005】請求項1記載の半導体レーザアレイパッケ
ージは、以下の如き特徴を有する。即ち、支持基板は
「外周縁部に位置決め用突起が形成」されている。 支持基板の外径:D(単位:mm)、半導体レーザアレ
イチップにおけるレーザ発光部の数:Nが、条件: N≧3、且つ、1≦D−N≦4、且つ、 (D―2)/(N+2)≧0.64 を満足する。なお上記「支持基板の外径」は、上の説明
で「パッケージサイズ」と呼んだものであり、この外径
には、上記「位置決め用突起」の大きさは含まれない。The semiconductor laser array package according to the first aspect has the following features. That is, the support substrate has "a positioning projection formed on the outer peripheral edge portion". The outer diameter of the support substrate: D (unit: mm), the number of laser light emitting portions in the semiconductor laser array chip: N is the condition: N ≧ 3, 1 ≦ DN ≦ 4, and (D-2) /(N+2)≧0.64 is satisfied. The “outer diameter of the support substrate” is called “package size” in the above description, and the outer diameter does not include the size of the “positioning projection”.
【0006】請求項2記載の半導体レーザアレイパッケ
ージは、以下の如き特徴を有する。即ち、支持基板は
「外周縁部に位置決め用切り欠きが形成」されている。 支持基板の外径:D(単位:mm)、半導体レーザアレ
イチップにおけるレーザ発光部の数:Nが、条件: N≧3、且つ、1≦D−N≦4、且つ、 (D―2.8)/(N+2)≧0.64 を満足する。この請求項2記載の半導体レーザアレイパ
ッケージでも「支持基板の外径」は、前記「パッケージ
サイズ」であり、上記「位置決め用切り欠き」を無視し
た大きさである。The semiconductor laser array package according to the second aspect has the following features. That is, the support substrate has "a positioning notch formed in the outer peripheral edge portion". The outer diameter of the support substrate: D (unit: mm), the number of laser light-emitting portions in the semiconductor laser array chip: N, but the condition: N ≧ 3, 1 ≦ DN ≦ 4, and (D-2. 8) / (N + 2) ≧ 0.64 is satisfied. Also in the semiconductor laser array package according to the second aspect, the “outer diameter of the support substrate” is the “package size” and is a size ignoring the “notch for positioning”.
【0007】この発明の半導体レーザアレイ光源ユニッ
トは、半導体レーザアレイを用いる光源ユニットであっ
て、半導体レーザアレイパッケージとカップリングレン
ズとをユニット化してなる(請求項3)。「半導体レー
ザアレイパッケージ」は、上記請求項1または2に記載
のものである。「カップリングレンズ」は、半導体レー
ザアレイパッケージから射出する複数のレーザ光束に共
通に設けられ、各レーザ光束の発散性の光束形態を所望
の光束形態に変換するレンズである。この請求項3記載
の半導体レーザアレイ光源ユニットにおいては、カップ
リングレンズと半導体レーザアレイパッケージとを、共
通のホルダにより保持して一体化することができる(請
求項4)。A semiconductor laser array light source unit according to the present invention is a light source unit using a semiconductor laser array, wherein a semiconductor laser array package and a coupling lens are unitized. The "semiconductor laser array package" is the one described in claim 1 or 2. The “coupling lens” is a lens that is provided in common to a plurality of laser beams emitted from the semiconductor laser array package and converts the divergent beam form of each laser beam into a desired beam form. In the semiconductor laser array light source unit according to the third aspect, the coupling lens and the semiconductor laser array package can be held and integrated by a common holder.
【0008】この場合、半導体レーザアレイパッケージ
を「ホルダに設けられた嵌合穴に、支持基板を圧入」し
てホルダに保持させてもよいし(請求項5)、半導体レ
ーザアレイパッケージを「ホルダに設けられた嵌合孔に
キャップを嵌合させた状態で、固定部材によりホルダに
固定」してホルダに保持させてもよい(請求項6)。半
導体レーザアレイパッケージから放射される各光束は発
散性であり、カップリングレンズはこれらの光束を、以
後の光学系に適した所望の光束形態とする。従って、カ
ップリングレンズにより変換された後の光束形態は、
「当初の発散傾向を弱められた弱い発散性の光束」でも
よいし、あるいは逆に「集束性の光束」でも良いが、
(実質的な)平行光束とすることもできる。即ち、上記
請求項3〜6の任意の1に記載の半導体レーザアレイ光
源ユニットにおいて、カップリングレンズをコリメート
レンズとすることができる(請求項7)。カップリング
レンズにより、光源からの光束を平行光束とすると、以
後の光学系の「配置位置の自由度」が大きくなるので都
合がよい。In this case, the semiconductor laser array package may be "press-fitted into the fitting hole provided in the holder" and held by the holder (claim 5). In a state where the cap is fitted in the fitting hole provided in the holder, the cap may be fixed to the holder by a fixing member and held by the holder. Each light beam emitted from the semiconductor laser array package is divergent, and the coupling lens converts these light beams into a desired light beam form suitable for the subsequent optical system. Therefore, the light beam form after being converted by the coupling lens is
"Weak divergent light flux whose initial divergence tendency is weakened" or conversely "convergent light flux" may be used,
It can also be a (substantially) parallel light beam. That is, in the semiconductor laser array light source unit according to any one of claims 3 to 6, the coupling lens may be a collimating lens (claim 7). When the light beam from the light source is converted into a parallel light beam by the coupling lens, the “degree of freedom of the arrangement position” of the subsequent optical system increases, which is convenient.
【0009】この発明のマルチビーム走査装置は「光源
側からの複数の光束を、共通の光偏向手段により偏向さ
せ、複数の偏向光束を共通の走査結像光学系により被走
査面に向かって集光させて、被走査面上に、互いに副走
査方向に分離した複数の光スポットを形成して、被走査
面の複数走査線を同時に光走査するマルチビーム走査装
置」である。「走査線」は、被走査面上における光スポ
ットの走査軌跡を言う。請求項8記載のマルチビーム走
査装置は、光源として請求項1または2記載の半導体レ
ーザアレイパッケージを用いたことを特徴とする。請求
項9記載のマルチビーム走査装置は、請求項8記載のマ
ルチビーム走査装置において「光源である半導体レーザ
アレイパッケージからの各発散性の光束を以後の光学系
に適した光束形態とするカップリングレンズと半導体レ
ーザアレイパッケージとをユニット化した半導体レーザ
アレイ光源ユニット」を用い、この半導体レーザアレイ
光源ユニットとして、請求項3〜7の任意の1に記載の
ものを用いたことを特徴とする。A multi-beam scanning apparatus according to the present invention is arranged such that a plurality of light beams from a light source side are deflected by a common light deflecting means, and the plurality of deflected light beams are collected toward a surface to be scanned by a common scanning and imaging optical system. A multi-beam scanning apparatus that forms a plurality of light spots on the surface to be scanned, separated from each other in the sub-scanning direction, and simultaneously optically scans a plurality of scanning lines on the surface to be scanned. “Scanning line” refers to the scanning trajectory of the light spot on the surface to be scanned. According to another aspect of the present invention, there is provided a multi-beam scanning device, wherein the semiconductor laser array package according to the first or second aspect is used as a light source. According to a ninth aspect of the present invention, there is provided the multi-beam scanning apparatus according to the eighth aspect, wherein "coupling of each divergent light beam from the semiconductor laser array package as a light source into a light beam form suitable for an optical system thereafter." A semiconductor laser array light source unit in which a lens and a semiconductor laser array package are unitized "is used, and the semiconductor laser array light source unit according to any one of claims 3 to 7 is used.
【0010】この発明の画像形成装置は「感光媒体の感
光面に対してマルチビーム走査による画像書込みを行っ
て潜像を形成し、この潜像を可視化して所望の画像を得
る画像形成装置」であり、マルチビーム走査による画像
書込みを行うマルチビーム走査装置として、請求項8ま
たは9記載のマルチビーム走査装置を用いることを特徴
とする。感光媒体としては例えば「銀塩フィルム」を用
いることもできる。この場合、マルチビーム走査により
書込まれた潜像は、通常の銀塩写真プロセスの現像・定
着手法で可視化することができる。このように、感光媒
体として銀塩フィルムを用いる場合、この発明の画像形
成装置は光製版装置や光描画装置(例えば、CTスキャ
ンのデータを画像化する装置)として実施できる。The image forming apparatus of the present invention is "an image forming apparatus which forms a latent image by writing an image on a photosensitive surface of a photosensitive medium by multi-beam scanning, and visualizes the latent image to obtain a desired image". Wherein the multi-beam scanning device according to claim 8 or 9 is used as a multi-beam scanning device for writing an image by multi-beam scanning. As the photosensitive medium, for example, a “silver salt film” can be used. In this case, the latent image written by the multi-beam scanning can be visualized by a developing / fixing method of a normal silver halide photographic process. As described above, when a silver halide film is used as the photosensitive medium, the image forming apparatus of the present invention can be implemented as an optical plate making apparatus or an optical drawing apparatus (for example, an apparatus for imaging CT scan data).
【0011】感光媒体としてはまた「光導電性の感光
体」を用いることができる。この場合、潜像は、感光体
の均一帯電とマルチビーム走査による画像書込みとによ
り静電潜像として形成され、電子写真プロセスの現像手
法でトナー画像として可視化される(請求項11)。光
導電性の感光体としては周知の適宜のものを用いること
ができる。トナー画像は、感光体上から直接、あるいは
中間転写ベルト等の中間転写媒体を介して転写シートや
OPCシート(オーバヘッドプロジェクタ用のプラスチ
ックシート)等のシート状の記録媒体に転写され、この
記録媒体上に定着される。光導電性の感光体にはまた、
酸化亜鉛紙のようにシート状のものもあり、この場合に
はトナー画像を感光体上に直接定着することができる。
請求項11記載の画像形成装置は、デジタル複写装置や
光プリンタ、光プロッタ、ファクシミリ等として実施で
きる。As the photosensitive medium, a "photoconductive photosensitive member" can be used. In this case, the latent image is formed as an electrostatic latent image by uniform charging of the photoconductor and image writing by multi-beam scanning, and is visualized as a toner image by a developing method of an electrophotographic process. As the photoconductive photoreceptor, a known appropriate one can be used. The toner image is transferred onto a sheet-like recording medium such as a transfer sheet or an OPC sheet (a plastic sheet for an overhead projector) directly from the photoreceptor or via an intermediate transfer medium such as an intermediate transfer belt. Is established. Photoconductive photoreceptors also
There is also a sheet-like material such as zinc oxide paper, in which case the toner image can be fixed directly on the photoreceptor.
The image forming apparatus according to the present invention can be implemented as a digital copying machine, an optical printer, an optical plotter, a facsimile, or the like.
【0012】若干、説明を補足すると、請求項1および
2において、レーザ発光部の数:Nは「N≧3」であ
る。即ち、この発明の半導体レーザアレイパッケージは
「3以上のレーザ発光部」を持つ。Nが2以下では、発
明の課題である「レーザ発光部数の増大」に繋がらな
い。条件:1≦D−N≦4において、下限を超えると、
パッケージサイズに比してレーザ発光部の数が大きすぎ
てパッケージとしての実装が困難となる。また、上限を
超えると、レーザ発光部数に比してパッケージサイズが
大きく、課題の達成条件である「パッケージサイズを徒
に増大させることなく」が満足されない。請求項1記載
の半導体レーザアレイパッケージにおける条件: (D―2)/(N+2)≧0.64 および、請求項2記載の半導体レーザアレイパッケージ
における条件: (D―2.8)/(N+2)≧0.64 は、レーザ発光部数:Nを持った半導体レーザアレイチ
ップを内蔵できるパッケージサイズ(支持基板の外径)
の最小値を規定する条件である。Supplementing the description slightly, in claims 1 and 2, the number of laser light emitting portions: N is “N ≧ 3”. That is, the semiconductor laser array package of the present invention has "three or more laser light emitting parts". When N is 2 or less, it does not lead to the object of the invention, "increase in the number of laser light emitting units". Condition: In 1 ≦ DN ≦ 4, if the lower limit is exceeded,
Since the number of laser light emitting units is too large compared to the package size, mounting as a package becomes difficult. If the upper limit is exceeded, the package size will be larger than the number of laser light emitting units, and the condition for achieving the object, "without increasing the package size" will not be satisfied. Conditions in the semiconductor laser array package according to the first aspect: (D−2) / (N + 2) ≧ 0.64, and conditions in the semiconductor laser array package according to the second aspect: (D−2.8) / (N + 2) ≧ 0.64 is the package size (outer diameter of the support substrate) that can incorporate the semiconductor laser array chip having the number of laser emitting parts: N
Is a condition that defines the minimum value of.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態を説明す
る。図1は、請求項1記載の半導体レーザアレイパッケ
ージの実施の1形態を説明するための図である。(a)
は正面から見た状態を仮想的な断面で切断した状態を示
し、(b)は上面図、(c)は底面図である。図1に示
すように、請求項1記載の半導体レーザアレイパッケー
ジ10は、複数のレーザ発光部をモノリシックにアレイ
配列してなる半導体レーザアレイチップ11と、外周縁
部に位置決め用突起15Aが形成され、半導体レーザア
レイチップ11及びその付属物(配線やバックライト検
出用の受光素子等)13を支持し、複数の貫通穴H1、
H2、..Hi、..の個々に、接続用のピンP1、P
2、..Pi、..を貫通される支持基板15と、レー
ザ光射出用の窓17Aを有し、支持基板15に支持され
た半導体レーザアレイ11及びその付属物13に被せら
れ、支持基板15に基部17Bを固定されるキャップ1
7とを有する。Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a view for explaining an embodiment of a semiconductor laser array package according to the present invention. (A)
FIG. 3B shows a state cut along a virtual cross section as viewed from the front, FIG. 4B is a top view, and FIG. 3C is a bottom view. As shown in FIG. 1, a semiconductor laser array package 10 according to a first aspect includes a semiconductor laser array chip 11 in which a plurality of laser light emitting units are monolithically arranged in an array, and positioning projections 15A formed on an outer peripheral edge. , A semiconductor laser array chip 11 and its accessories (such as wiring and a light receiving element for detecting a backlight) 13 are supported, and a plurality of through holes H 1,
H2,. . Hi,. . Respectively, the connecting pins P1, P
2,. . Pi,. . Has a window 17A for emitting laser light, and is covered by the semiconductor laser array 11 and its accessories 13 supported by the support substrate 15, and the base 17B is fixed to the support substrate 15. Cap 1
And 7.
【0014】図の如く、支持基板15の外径をD(単
位:mm)、半導体レーザアレイチップ11におけるレ
ーザ発光部の数をNとすると、これらは「N≧3、且
つ、1≦D−N≦4、且つ、(D―2)/(N+2)≧
0.64」を満足する。図1に示すように、請求項1記
載の半導体レーザアレイパッケージ10では、支持基板
15の有する位置決め用突起15Aが、支持基板15の
外周面から突出している。このため、キャップ17の基
部17Bはその外周部を支持基板15の「外周縁ぎりぎ
り」に設定できる。キャップ17は、基部17Bにより
支持基板15に接着固定されるのであるが、この接着に
用いられる基部15Bの幅:dとして0.5mmは必要
である。接続用のピンPiは一般に、太さ:0.2〜
0.4mm程度であるが、これらのピンPiを貫通させ
るために支持基板15に穿設される貫通孔Hiは、直径
として1mmは必要である。なお、図1(c)に示す貫
通孔H1を貫通しているピンP1はグランド用で、この
ピンP1のみは支持基板15と導通されている。As shown in the drawing, when the outer diameter of the support substrate 15 is D (unit: mm) and the number of laser light emitting portions in the semiconductor laser array chip 11 is N, these are “N ≧ 3 and 1 ≦ D− N ≦ 4 and (D−2) / (N + 2) ≧
0.64 "is satisfied. As shown in FIG. 1, in the semiconductor laser array package 10 according to the first aspect, the positioning projection 15 </ b> A of the support substrate 15 protrudes from the outer peripheral surface of the support substrate 15. For this reason, the outer peripheral portion of the base 17B of the cap 17 can be set to be "close to the outer peripheral edge" of the support substrate 15. The cap 17 is adhered and fixed to the support substrate 15 by the base 17B. The width d of the base 15B used for this adhesion must be 0.5 mm. The connection pins Pi generally have a thickness of 0.2 to
Although it is about 0.4 mm, the diameter of the through hole Hi formed in the support substrate 15 to penetrate these pins Pi needs to be 1 mm. The pin P1 passing through the through hole H1 shown in FIG. 1C is used for grounding, and only this pin P1 is electrically connected to the support substrate 15.
【0015】接続用のピンは、半導体レーザアレイチッ
プにおける各レーザ発光部ごとに1本、グランド用に1
本、バックライト検出用の受光素子用に1本が必要であ
る。従って、半導体レーザアレイチップ11におけるレ
ーザ発光部数がNであれば、必要なピン数はN+2本に
なる。支持基板15の中央部には付属物13が支持され
るので、ピンPiの貫通孔Hiは「キャップ17内にお
ける支持基板15の外周側で、キャップ15内壁ぎりぎ
りのところ」に設けられる。従って、貫通孔Hiの中心
部は支持基板15の外周部から1mm(基部17Aの
幅:0.5mm+貫通孔の半径:0.5mm)のところ
に位置する。そうすると、貫通孔Hiの中心部は「直
径:D−2mmの円周上」に位置することになり、上記
円周は(D−2)πの長さを有する。支持基板15の強
度や、貫通孔形成の精度を考慮すると「隣接する貫通孔
Hiの間隔」は、ある程度の大きさが必要である。発明
者の研究によると、円周:(D−2)π(mm)上に、
直径:1mmの貫通孔Hiを細密に配置する場合、支持
基板の機械強度や精度の面から、配置できる貫通孔の数
nは「(D−2)π/2を越えない自然数」であること
が分かった。貫通孔の数がこれよりも大きくなると、支
持基板の強度が著しく弱まる。One connection pin is provided for each laser light emitting portion of the semiconductor laser array chip, and one connection pin is provided for ground.
One is required for the light receiving element for detecting the backlight and the backlight. Therefore, if the number of laser light emitting units in the semiconductor laser array chip 11 is N, the required number of pins is N + 2. Since the accessory 13 is supported at the center of the support substrate 15, the through-hole Hi of the pin Pi is provided “at the outer peripheral side of the support substrate 15 in the cap 17, almost at the inner wall of the cap 15”. Therefore, the center of the through hole Hi is located 1 mm (width of the base 17A: 0.5 mm + radius of the through hole: 0.5 mm) from the outer peripheral portion of the support substrate 15. Then, the center of the through hole Hi is located on “the circumference of the diameter: D-2 mm”, and the circumference has a length of (D-2) π. In consideration of the strength of the support substrate 15 and the precision of the formation of the through-holes, the “space between the adjacent through-holes Hi” needs to have a certain size. According to the research of the inventor, on the circumference: (D-2) π (mm),
When the through-holes Hi having a diameter of 1 mm are minutely arranged, the number n of the through-holes that can be arranged should be a “natural number not exceeding (D−2) π / 2” in terms of mechanical strength and accuracy of the support substrate. I understood. If the number of through holes is larger than this, the strength of the support substrate is significantly reduced.
【0016】半導体レーザアレイチップにおけるレーザ
発光部数をNとすると、必要なピン数はN+2本であ
り、このN+2本のピンを、図1(c)の如くに配置で
きるのに必要な支持基板15の外径:D(パッケージサ
イズ)は、「(D−2)π/2≧N+2」となり、これ
を書きなおすと「(D−2)/(N+2)≧2/π=0.
64」となる。Assuming that the number of laser light emitting portions in the semiconductor laser array chip is N, the number of necessary pins is N + 2, and the supporting substrate 15 necessary for disposing these N + 2 pins as shown in FIG. Outside diameter: D (package size) becomes “(D−2) π / 2 ≧ N + 2”. When rewritten, “(D−2) / (N + 2) ≧ 2 / π = 0.
64 ".
【0017】図2は、請求項2記載の半導体レーザアレ
イパッケージの、実施の1形態を説明するための図であ
る。(a)は正面から見た状態を仮想的な断面で切断し
た状態を示し、(b)は上面図、(c)は底面図であ
る。繁雑を避けるため、混同の虞がないと思われるもの
については図1におけると同一の符号を用いた。図2に
示すように、請求項2記載の半導体レーザアレイパッケ
ージ20は、複数のレーザ発光部をモノリシックにアレ
イ配列してなる半導体レーザアレイチップ11と、外周
縁部に位置決め用切り欠25Aきが形成され、半導体レ
ーザアレイチップ11及びその付属物13を支持し、複
数の貫通穴H1、H2、..Hi、..の個々に接続用
のピンP1、P2、..Pi、..を貫通される支持基
板25と、レーザ光射出用の窓27Aを有し、支持基板
25に支持された半導体レーザアレイチップ11及びそ
の付属物13に被せられ、支持基板25に基部27Bを
固定されるキャップ27とを有する。FIG. 2 is a view for explaining an embodiment of the semiconductor laser array package according to the second aspect. (A) shows a state cut from a virtual cross section when viewed from the front, (b) is a top view, and (c) is a bottom view. In order to avoid complication, the same reference numerals as those in FIG. As shown in FIG. 2, the semiconductor laser array package 20 according to the second aspect has a semiconductor laser array chip 11 in which a plurality of laser light emitting units are monolithically arranged in an array, and a positioning notch 25A at an outer peripheral edge. The semiconductor laser array chip 11 is formed to support the semiconductor laser array chip 11 and its appendix 13, and is provided with a plurality of through holes H1, H2,. . Hi,. . Individually connected pins P1, P2,. . Pi,. . Has a window 27A for emitting laser light, and is covered with the semiconductor laser array chip 11 and its attachment 13 supported by the support substrate 25, and the base 27B is fixed to the support substrate 25. And a cap 27.
【0018】図の如く、支持基板25の外径をD(単
位:mm)、半導体レーザアレイチップ11におけるレ
ーザ発光部の数をNとすると、これらは「N≧3、且
つ、1≦D−N≦4、且つ、(D―2.8)/(N+
2)≧0.64」を満足する。図2に示すように、請求
項2記載の半導体レーザアレイパッケージ20では、支
持基板15が、位置決め用切り欠き25Aを有してい
る。このため、キャップ27の基部27Bはその外周部
を、支持基板15の「外周部に設けられた位置決め用切
り欠きの内側ぎりぎり」に設定することになる。位置決
め用きり欠き25Aの深さ:eは0.4mmが必要であ
る。キャップ27は、その基部27Bにより支持基板2
5に接着固定され、接着に用いられる基部15の幅:d
として0.5mmは必要である。As shown in the figure, when the outer diameter of the support substrate 25 is D (unit: mm) and the number of laser light emitting portions in the semiconductor laser array chip 11 is N, these are “N ≧ 3 and 1 ≦ D− N ≦ 4 and (D−2.8) / (N +
2) ≧ 0.64 ”is satisfied. As shown in FIG. 2, in the semiconductor laser array package 20 according to the second aspect, the support substrate 15 has a positioning notch 25A. Therefore, the outer periphery of the base 27B of the cap 27 is set to be "close to the inside of the positioning notch provided on the outer periphery" of the support substrate 15. Depth of positioning notch 25A: e needs to be 0.4 mm. The cap 27 is attached to the support substrate 2 by its base 27B.
5, the width of the base 15 used for bonding, which is used for bonding: d
Is required to be 0.5 mm.
【0019】前述の請求項1記載の実施形態と同様、ピ
ンPiを貫通させるために支持基板15に穿設される貫
通孔Hiは、直径として1mmは必要である。この場
合、図2(c)のように配置された貫通孔Hiの中心部
は、支持基板25の外周部から1.4mm(位置決め用
切り欠き25Aの深さ:0.4mm基部17Aの幅:
0.5mm+貫通孔の半径:0.5mm)のところに位
置する。そうすると、貫通孔Hiの中心部は直径:D−
2.8mmの円周上に位置することになり、円周は(D
−2.8)πの長さを有する。支持基板15の強度や、
貫通孔形成の精度を考慮すると、円周:(D−2.8)
π(mm)上に、直径:1mmの貫通孔Hiを細密に配
置する場合、強度や精度の面から、配置できる貫通孔の
数nは「(D−2.8)π/2を越えない自然数」であ
る。As in the first embodiment, the diameter of the through hole Hi formed in the support substrate 15 for allowing the pin Pi to penetrate must be 1 mm. In this case, the center of the through-hole Hi arranged as shown in FIG. 2C is 1.4 mm from the outer periphery of the support substrate 25 (depth of the positioning notch 25A: 0.4 mm, width of the base 17A:
0.5 mm + radius of through hole: 0.5 mm). Then, the center of the through hole Hi has a diameter of D-
Will be located on the circumference of 2.8 mm, and the circumference will be (D
-2.8) It has a length of π. Strength of the support substrate 15,
In consideration of the accuracy of the formation of the through hole, the circumference: (D-2.8)
When the through holes Hi having a diameter of 1 mm are minutely arranged on π (mm), the number n of the through holes that can be arranged does not exceed “(D-2.8) π / 2 from the viewpoint of strength and accuracy. Is a natural number.
【0020】半導体レーザアレイチップにおけるレーザ
発光部数をNに応じて必要なピン数はN+2本を、図2
(c)の如くに配置できるのに必要な支持基板25の外
径:D(パッケージサイズ)は、「(D−2.8)π/
2≧N+2」であり、書きなおすと「(D−2.8)/
(N+2)≧2/π=0.64」となる。The number of pins required for the number of laser light emitting portions in the semiconductor laser array chip is N + 2, and FIG.
The outer diameter D (package size) of the support substrate 25 necessary to be able to be arranged as shown in (c) is “(D-2.8) π /
2 ≧ N + 2 ”and rewritten as“ (D−2.8) /
(N + 2) ≧ 2 / π = 0.64 ”.
【0021】半導体レーザアレイパッケージのパッケー
ジサイズ:Dとして、例えば、D=3mm、4mm、5
mm、5.6mm、6mm、7mm、8mm、9mmを
考えてみる。この場合、N≧3として、条件:1≦D−
N≦4を考えると、D=3は、N=3に対して条件:1
≦D−N≦4の下限を満足しない。従って、上記パッケ
ージサイズのうちで、請求項1または2記載の半導体レ
ーザアレイパッケージとなり得る可能性のあるものは、
D=4mm、5mm、5.6mm、6mm、7mm、8
mm、9mmとなる。N=4とすると、条件:1≦D−
N≦4の下限を満足するのはD=5mm、5.6mm、
7mm、8mm、9mmとなる。N=5ではD=6m
m、7mm、8mm、9mmに対して条件:1≦D−N
≦4の下限が満足され、N=6ではD=7mm、8m
m、9mmに対して条件:1≦D−N≦4の下限が満足
され、N=7ではD=8mm、9mmに対して条件:1
≦D−N≦4の下限が満足される。Package size of the semiconductor laser array package: D is, for example, D = 3 mm, 4 mm, 5
mm, 5.6 mm, 6 mm, 7 mm, 8 mm, and 9 mm. In this case, assuming that N ≧ 3, the condition: 1 ≦ D−
Considering N ≦ 4, D = 3 is a condition for N = 3:
It does not satisfy the lower limit of ≦ DN ≦ 4. Therefore, among the package sizes, the one that can be a semiconductor laser array package according to claim 1 or 2 is:
D = 4 mm, 5 mm, 5.6 mm, 6 mm, 7 mm, 8
mm and 9 mm. If N = 4, condition: 1 ≦ D−
D = 5 mm, 5.6 mm satisfying the lower limit of N ≦ 4
7 mm, 8 mm, and 9 mm. D = 6m when N = 5
Conditions for m, 7 mm, 8 mm, and 9 mm: 1 ≦ D−N
The lower limit of ≦ 4 is satisfied, and when N = 6, D = 7 mm and 8 m
Conditions for m and 9 mm: the lower limit of 1 ≦ DN ≦ 4 is satisfied, and when N = 7, conditions for D = 8 mm and 9 mm: 1
The lower limit of ≦ DN ≦ 4 is satisfied.
【0022】逆に、条件:1≦D−N≦4の上限を考え
て見ると、N≧3に対して、上限を満足しないのはD>
7mm、N=4に対して上限を満足しないのはD>8m
mである。即ち、上記パッケージサイズ:Dとして、条
件:1≦D−N≦4が満足される場合を一覧にすると、
以下の如くになる。Conversely, considering the upper limit of the condition: 1 ≦ DN ≦ 4, the condition that the upper limit is not satisfied for N ≧ 3 is D>
7 mm, N = 4 not satisfying the upper limit is D> 8 m
m. That is, a list of cases where the condition: 1 ≦ DN ≦ 4 is satisfied as the package size: D,
It is as follows.
【0023】D=4 N=3 D=5 N=3、N=4 D=5.6 N=3、N=4 D=6 N=3、N=4、N=5 D=7 N=3、N=4、N=5、N=6 D=8 N=4、N=5、N=6、N=7 D=9 N=5、N=6、N=7、N=8 次ぎに、上記の各パッケージサイズ:Dに許容されたレ
ーザ発光部数:Nの各値について、請求項1、2の各条
件: (D―2)/(N+2)≧0.63 (D―2.8)/(N+2)≧0.63 の左辺を計算してみると以下のようになる。D = 4 N = 3 D = 5 N = 3, N = 4 D = 5.6 N = 3, N = 4 D = 6 N = 3, N = 4, N = 5 D = 7 N = 3, N = 4, N = 5, N = 6 D = 8 N = 4, N = 5, N = 6, N = 7 D = 9 N = 5, N = 6, N = 7, N = 8 Next In addition, for each value of the number of laser light emitting parts: N allowed for each of the above package sizes: D, each condition of claims 1 and 2: (D-2) / (N + 2) ≧ 0.63 (D-2. 8) / (N + 2) ≧ 0.63 When calculating the left side, the following is obtained.
【0024】 D N (D―2)/(N+2) (D―2.8)/(N+2) 4 3 0.4 0.24 5 3 0.6 0.44 5 4 0.5 0.37 5.6 3 0.72 0.56 5.6 4 0.6 0.47 6 3 0.8 0.64 6 4 0.67 0.53 6 5 0.57 0.46 7 3 1.0 0.84 7 4 0.83 0.7 7 5 0.71 0.6 7 6 0.63 0.53 8 4 1.0 0.87 8 5 0.85 0.74 8 6 0.75 0.65 8 7 0.67 0.57 9 5 1.0 0.88 9 6 0.88 0.78 9 7 0.77 0.68 9 8 0.7 0.62 。DN (D−2) / (N + 2) (D−2.8) / (N + 2) 43 0.4 0.245 53 0.6 0.445 54 0.5 0.375 6.6 3 0.72 0.56 5.6 4 0.6 0.47 63 3 0.8 0.64 64 4 0.67 0.53 65 5 0.57 0.46 73 3 1.0 0. 84 7 4 0.83 0.7 7 5 0.71 0.6 7 6 0.63 0.53 8 4 1.0 0.87 8 5 0.85 0.74 8 6 0.75 0.65 8 7 0.67 0.57 95 5 1.0 0.88 96 6 0.88 0.78 97 7 0.77 0.68 9 0.7 0.7 0.62.
【0025】結局、上に例示したパッケージサイズ:D
のうち、請求項1記載の半導体レーザアレイパッケージ
として許容されるのは、D=5.6mm、6mm、7m
m、8mm、9mmであり、これらパッケージサイズに
対して許容されるレーザ発光部数の最大値は、D=5.
6mmに対してN=3、D=6mmに対してN=4、D
=7に対してN=5、D=8mmに対してN=7、D=
9に対してN=8である。図1の実施の形態は、D=8
mmに対して、N=6を実施した例である。After all, the package size exemplified above: D
Among them, D = 5.6 mm, 6 mm, and 7 m are acceptable as the semiconductor laser array package according to claim 1.
m, 8 mm, and 9 mm, and the maximum value of the number of laser light emitting parts allowed for these package sizes is D = 5.
N = 3 for 6 mm, N = 4 for D = 6 mm, D
= 7 for N = 5, N = 7 for D = 8 mm, D =
N = 8 for 9. In the embodiment of FIG. 1, D = 8
This is an example in which N = 6 for mm.
【0026】また、上に例示したパッケージサイズ:D
のうちで、請求項2記載の半導体レーザアレイパッケー
ジとして許容されるのは、D=6mm、7mm、8m
m、9mmであり、これらパッケージサイズに対して許
容されるレーザ発光部数の最大値は、D=6mmに対し
てN=3、D=7mmに対してN=4、D=8に対して
N=6、D=9に対してN=7である。図2の実施の形
態は、D=7mmに対してN=4を実施した例である。
従来知られている半導体レーザアレイパッケージでは
「D=5.6mmでN=2、D=9mmでN=4」であ
ることに鑑みれば、請求項1、2記載の各半導体レーザ
アレイパッケージとも「パッケージサイズを徒に増大さ
せることなくレーザ発光部数を有効に増大」させている
ことが理解されるであろう。Further, the above-exemplified package size: D
Among them, D = 6 mm, 7 mm, and 8 m are acceptable as the semiconductor laser array package according to claim 2.
m and 9 mm, and the maximum value of the number of laser emitting parts allowed for these package sizes is N = 3 for D = 6 mm, N = 4 for D = 7 mm, and N for D = 8. = 6, N = 7 for D = 9. The embodiment of FIG. 2 is an example in which N = 4 for D = 7 mm.
In view of the fact that "D = 5.6 mm and N = 2 and D = 9 mm and N = 4" in the conventionally known semiconductor laser array packages, both of the semiconductor laser array packages according to claims 1 and 2 have a " It will be understood that the number of laser emitting parts is effectively increased without unnecessarily increasing the package size.
【0027】図3は、この発明の半導体レーザアレイ光
源ユニットの、実施の1形態を説明するための図であ
る。半導体レーザアレイ光源ユニット30は、半導体レ
ーザアレイパッケージ10(または20)と、この半導
体レーザアレイパッケージから射出する複数のレーザ光
束に共通に設けられ、各レーザ光束の発散性の光束形態
を所望の光束形態に変換するカップリングレンズ31と
をユニット化してなり、半導体レーザアレイパッケージ
10(または20)は、上に説明した請求項1または2
に記載のものである(請求項3)。図3の実施の形態で
は、カップリングレンズ31と、半導体レーザアレイパ
ッケージ10(または20)は、共通のホルダ33によ
り保持されて一体化されている(請求項4)。また、半
導体レーザアレイパッケージ10(または20)は、ホ
ルダ33に設けられた嵌合穴33Aに、支持基板15
(または25)を圧入されてホルダ33に保持される
(請求項4)。FIG. 3 is a view for explaining one embodiment of the semiconductor laser array light source unit of the present invention. The semiconductor laser array light source unit 30 is provided commonly to the semiconductor laser array package 10 (or 20) and a plurality of laser light beams emitted from the semiconductor laser array package, and converts the divergent light beam form of each laser light beam to a desired light beam. The coupling lens 31 for converting into a form is unitized, and the semiconductor laser array package 10 (or 20) is formed as described above.
(Claim 3). In the embodiment of FIG. 3, the coupling lens 31 and the semiconductor laser array package 10 (or 20) are held and integrated by a common holder 33 (claim 4). The semiconductor laser array package 10 (or 20) is provided with a support substrate 15 in a fitting hole 33A provided in the holder 33.
(Or 25) is press-fitted and held by the holder 33 (claim 4).
【0028】ホルダ33はその基部(半導体レーザアレ
イパッケージ10(または20)を保持する部分)に直
交するように、棹状の支持部33Bを形成され、カップ
リングレズ31はこの部分に支持される。ホルダ33
は、半導体レーザアレイパッケージ10(または20)
とカップリングレンズ31を保持一体化した状態で、図
3(b)に示す長孔33cの部分で、図示されないケー
シングに取りつけられる。図4は、半導体レーザアレイ
光源ユニットの、実施の別の形態を説明するための図で
ある。この実施の形態では、半導体レーザアレイパッケ
ージ10(または20)は、ホルダ33’に設けられた
嵌合孔33A’に、キャップ15(または25)を嵌合
された状態で、固定部材35によりホルダ33’に固定
される(請求項6)。固定は、ねじ37、38による
「ねじ止め」である。The holder 33 is formed with a rod-shaped support portion 33B so as to be orthogonal to the base portion (the portion holding the semiconductor laser array package 10 (or 20)), and the coupling lens 31 is supported by this portion. . Holder 33
Is the semiconductor laser array package 10 (or 20)
In a state where the and the coupling lens 31 are held and integrated, they are attached to a casing (not shown) at the portion of the elongated hole 33c shown in FIG. FIG. 4 is a view for explaining another embodiment of the semiconductor laser array light source unit. In this embodiment, the semiconductor laser array package 10 (or 20) is held by the fixing member 35 with the cap 15 (or 25) fitted in the fitting hole 33A 'provided in the holder 33'. 33 '(claim 6). The fixing is “screwed” by screws 37, 38.
【0029】ホルダ33’は、その基部(半導体レーザ
アレイパッケージ10(または20)を保持する部分)
に直交するように、棹状の支持部33B’を形成され、
カップリングレズ31はこの部分に支持される。ホルダ
33’は、半導体レーザアレイパッケージ10(または
20)とカップリングレンズ31を保持一体化した状態
で、図示されないケーシングに取りつけられる。なお、
図3、図4に示した実施の形態において、カップリング
レンズ31は、コリメートレンズである(請求項7)。The holder 33 'has a base portion (a portion for holding the semiconductor laser array package 10 (or 20)).
A rod-shaped support portion 33B 'is formed so as to be orthogonal to
The coupling lesbian 31 is supported by this portion. The holder 33 'is attached to a casing (not shown) in a state where the semiconductor laser array package 10 (or 20) and the coupling lens 31 are held and integrated. In addition,
In the embodiment shown in FIGS. 3 and 4, the coupling lens 31 is a collimating lens (claim 7).
【0030】図5は、この発明のマルチビーム走査装置
の、実施の1形態を示す図である。即ち、このマルチビ
ーム走査装置は、光源側からの複数の光束を、共通の光
偏向手段である回転多面鏡3により偏向させ、複数の偏
向光束を共通の走査結像光学系(fθレンズ4と光路折
り曲げミラー5と長尺トロイダルレンズ6により構成さ
れる)により、被走査面の実体をなす光導電性の感光体
9に向かって集光させて、被走査面上に「互いに副走査
方向に分離した複数の光スポット」を形成し、被走査面
の複数走査線を同時に光走査するマルチビーム走査装置
であり、光源として、請求項1または2記載の半導体レ
ーザアレイパッケージ(上に説明した半導体レーザアレ
イパッケージ10または20)を用いたマルチビーム走
査装置(請求項8)である。符号1で示す光源部は、光
源である半導体レーザアレイパッケージ(前述の実施の
形態における半導体レーザアレイパッケージ10または
20)からの各発散性の光束を、以後の光学系に適した
光束形態とするカップリングレンズ(前述の実施の形態
におけるカップリングレンズ31)と、半導体レーザア
レイパッケージとをユニット化した半導体レーザアレイ
光源ユニット(図3または図4に即して説明したもの)
をケーシングに収納したものである(請求項9)。FIG. 5 is a diagram showing an embodiment of the multi-beam scanning device according to the present invention. That is, in this multi-beam scanning device, a plurality of light beams from the light source side are deflected by the rotating polygon mirror 3, which is a common light deflecting unit, and the plurality of deflected light beams are shared by a common scanning and imaging optical system (fθ lens 4 and The optical path bending mirror 5 and the long toroidal lens 6) converge light toward the photoconductive photoreceptor 9, which is the actual surface of the surface to be scanned. 3. A semiconductor laser array package according to claim 1, which is a multi-beam scanning device that forms a plurality of "separated light spots" and simultaneously optically scans a plurality of scanning lines on a surface to be scanned. This is a multi-beam scanning device using the laser array package 10 or 20). The light source unit denoted by reference numeral 1 converts each divergent light beam from the semiconductor laser array package (the semiconductor laser array package 10 or 20 in the above-described embodiment) as a light source into a light beam form suitable for an optical system thereafter. A semiconductor laser array light source unit in which a coupling lens (the coupling lens 31 in the above embodiment) and a semiconductor laser array package are unitized (described with reference to FIG. 3 or FIG. 4).
Is stored in a casing (claim 9).
【0031】光源部1から射出する複数の光束は、カッ
プリングレンズの作用で平行光束化され、且つ、光源部
1の内蔵する「ビーム整形用のアパーチュア」によりビ
ーム整形されている。光源部1から射出した複数の光束
は、シリンドリカルレンズ2により副走査方向へ各々集
光され、回転多面鏡3の偏向反射面の位置に、副走査方
向に互いに分離した「主走査方向に長い線像」として結
像する。回転多面鏡3が矢印方向へ等速化移転すると、
反射された各光束は等角速度的に偏向し、fθレンズ4
を透過し、先ず反射鏡7に入射して反射され、受光部8
により受光される。受光部8で発生する受光信号に基づ
き、各偏向光束による光走査の開始タイミングが決定さ
れる。偏向光束は、偏向に共ない、光路折り曲げミラー
5により光路を折り曲げられて長尺トロイダルレンズ6
を透過し、感光体9の感光面上にそれぞれが副走査方向
に分離した光スポットを形成し、複数走査線を同時に光
走査する。なお、半導体レーザアレイ光源ユニットを、
カップリングレンズの光軸の回りに回転させることによ
り、被走査面上における各光スポットの副走査方向の間
隔を調整することができる。A plurality of light beams emitted from the light source unit 1 are converted into parallel light beams by the action of a coupling lens, and are beam-shaped by a “beam shaping aperture” built in the light source unit 1. A plurality of light beams emitted from the light source unit 1 are respectively condensed in the sub-scanning direction by the cylindrical lens 2, and are separated from each other in the sub-scanning direction by a “long line in the main scanning direction” at the position of the deflecting reflection surface of the rotary polygon mirror 3. An image is formed. When the rotating polygon mirror 3 moves at a uniform speed in the direction of the arrow,
Each reflected light beam is deflected at a uniform angular velocity, and the fθ lens 4
And firstly enters the reflecting mirror 7 and is reflected there.
Is received by the The start timing of optical scanning by each deflected light beam is determined based on the light receiving signal generated by the light receiving unit 8. The deflected light beam is bent along the optical path by the optical path bending mirror 5 irrespective of the deflection to form a long toroidal lens 6.
Are formed on the photosensitive surface of the photosensitive member 9 to form light spots separated in the sub-scanning direction, and a plurality of scanning lines are simultaneously optically scanned. In addition, the semiconductor laser array light source unit is
By rotating the coupling lens about the optical axis, the interval of each light spot on the surface to be scanned in the sub-scanning direction can be adjusted.
【0032】最後に、図6を参照して画像形成装置の実
施の1形態を説明する。この画像形成装置は「レーザプ
リンタ」である。レーザプリンタ100は、感光媒体1
11として「円筒状に形成された光導電性の感光体」を
有している。感光媒体111の周囲には、帯電手段とし
ての帯電ローラ112、現像装置113、転写ローラ1
14、クリーニング装置115が配備されている。帯電
手段としては周知の「コロナチャージャ」を用いること
もできる。感光体としては「ベルト状のもの」を用いる
こともできる。また、レーザ光束LBによるマルチビー
ム走査装置117が設けられ、帯電ローラ112と現像
装置113との間で「マルチブーム走査による露光」
で、画像書き込みを行うようになっている。マルチビー
ム走査装置117は、図5に即して説明した如きもので
ある。図6において、符号116は定着装置、符号11
8はカセット、符号119はレジストローラ対、符号1
20は給紙コロ、符号121は搬送路、符号122は排
紙ローラ対、符号123はトレイ、符号Pは「シート状
の記録媒体」としての転写紙を示している。画像形成を
行うときは、光導電性の感光体である感光媒体111が
時計回りに等速回転され、その表面が帯電ローラ112
により均一帯電され、マルチビーム走査装置117のレ
ーザ光束LBの光書き込による露光を受けて静電潜像が
形成される。形成された静電潜像は所謂「ネガ潜像」で
あって画像部が露光されている。なお、マルチビーム走
査装置117によるマルチビーム走査は「隣接走査」で
もよいし「飛び越し走査」でもよい。この静電潜像は、
現像装置113により反転現像され、像担持体111上
にトナー画像が形成される。転写紙Pを収納したカセッ
ト118は、画像形成装置100本体に着脱可能であ
り、図のごとく装着された状態において、収納された転
写紙Pの最上位の1枚が給紙コロ120により給紙され
る。給紙された転写紙Pは、先端部をレジストローラ対
119に銜えられる。レジストローラ対119は、像担
持体111上のトナー画像が転写位置へ移動するのにタ
イミングをあわせて、転写紙Pを転写部へ送りこむ。送
りこまれた転写紙Pは、転写部においてトナー画像と重
ね合わせられ、転写ローラ114の作用によりトナー画
像を静電転写される。トナー画像を転写された転写紙P
は定着装置116へ送られ、定着装置116においてト
ナー画像を定着され、搬送路121を通り、排紙ローラ
対122によりトレイ123上に排出される。トナー画
像が転写された後の像担持体111の表面は、クリーニ
ング装置115によりクリーニングされ、残留トナーや
紙粉等が除去される。なお、転写紙に代えて前述のOH
Pシート等を用いることもでき、トナー画像の転写は、
中間転写ベルト等の「中間転写媒体」を介して行うよう
にすることもできる。マルチビーム走査装置117とし
て、図5に示す如きものを用いることにより良好な画像
形成を実行することができる。Finally, an embodiment of the image forming apparatus will be described with reference to FIG. This image forming apparatus is a “laser printer”. The laser printer 100 uses the photosensitive medium 1
Reference numeral 11 denotes a “photoconductive photoconductor formed in a cylindrical shape”. Around the photosensitive medium 111, a charging roller 112 as a charging unit, a developing device 113, a transfer roller 1
14. A cleaning device 115 is provided. A well-known "corona charger" can be used as the charging means. As the photoreceptor, a “belt-shaped one” can be used. Further, a multi-beam scanning device 117 using a laser beam LB is provided, and “exposure by multi-boom scanning” is performed between the charging roller 112 and the developing device 113.
Then, image writing is performed. The multi-beam scanning device 117 is as described with reference to FIG. In FIG. 6, reference numeral 116 denotes a fixing device, and reference numeral 11 denotes a fixing device.
8 is a cassette, 119 is a pair of registration rollers, 1
Reference numeral 20 denotes a paper feed roller, reference numeral 121 denotes a conveyance path, reference numeral 122 denotes a pair of paper discharge rollers, reference numeral 123 denotes a tray, and reference numeral P denotes a transfer sheet as a “sheet-shaped recording medium”. When an image is formed, a photosensitive medium 111, which is a photoconductive photosensitive member, is rotated clockwise at a constant speed, and the surface thereof is charged with a charging roller 112.
, And is exposed to the laser beam LB of the multi-beam scanning device 117 by optical writing to form an electrostatic latent image. The formed electrostatic latent image is a so-called “negative latent image”, and the image portion is exposed. The multi-beam scanning by the multi-beam scanning device 117 may be “adjacent scanning” or “interlaced scanning”. This electrostatic latent image is
The toner image is formed on the image carrier 111 by reversal development by the developing device 113. The cassette 118 containing the transfer paper P is detachable from the main body of the image forming apparatus 100. When the cassette 118 is mounted as shown in FIG. Is done. The fed transfer paper P has its leading end held by a pair of registration rollers 119. The registration roller pair 119 sends the transfer paper P to the transfer section at the same timing as the toner image on the image carrier 111 moves to the transfer position. The transferred transfer paper P is superimposed on the toner image at the transfer section, and the toner image is electrostatically transferred by the action of the transfer roller 114. Transfer paper P on which toner image has been transferred
Is sent to a fixing device 116, where the toner image is fixed by the fixing device 116, and is discharged onto a tray 123 by a pair of paper discharge rollers 122 through a conveyance path 121. The surface of the image carrier 111 after the transfer of the toner image is cleaned by the cleaning device 115 to remove residual toner, paper dust, and the like. The above-mentioned OH is used instead of the transfer paper.
A P sheet or the like can also be used.
It may be performed via an “intermediate transfer medium” such as an intermediate transfer belt. By using the multi-beam scanning device 117 as shown in FIG. 5, good image formation can be performed.
【0033】従って、この画像形成装置は、感光媒体1
11の感光面に光走査装置117による光走査を行って
潜像を形成し、潜像を可視化して画像を得る画像形成装
置であって、感光媒体の感光面の光走査を行う光走査装
置117として、請求項8または9に記載のマルチビー
ム走査装置を用いるものであり(請求項10)、感光媒
体111が光導電性の感光体であり、感光面の均一帯電
とマルチビーム走査とにより形成される静電潜像が、ト
ナー画像として可視化される(請求項11)。Accordingly, the image forming apparatus is provided with the photosensitive medium 1
11. An image forming apparatus for forming a latent image by performing optical scanning on a photosensitive surface of an optical scanning device 117 and visualizing the latent image to obtain an image, wherein the optical scanning device performs optical scanning of a photosensitive surface of a photosensitive medium. As the 117, the multi-beam scanning device according to the eighth or ninth aspect is used (claim 10), wherein the photosensitive medium 111 is a photoconductive photoreceptor, and the photosensitive medium 111 is uniformly charged and multi-beam scanned. The formed electrostatic latent image is visualized as a toner image (claim 11).
【0034】[0034]
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば、新規な半導体レーザアレイパッケージ・半導体レー
ザアレイ光源ユニット・マルチビーム走査装置および画
像形成装置を実現できる。この発明の半導体レーザアレ
イパッケージは、上に説明したように、パッケージサイ
ズを徒に増大させることなく、レーザ発光部数を有効に
増大できる。従って、この発明のマルチビーム走査装置
は、このような半導体レーザアレイパッケージを用いる
ことにより、光源部を大型化することなく同時走査する
走査線数を増大でき、効率のよい画像書き込みを実現で
きる。この発明の画像形成装置は、上記マルチビーム走
査装置を用いることにより、高速画像形成を実現するこ
とができる。As described above, according to the present invention, a novel semiconductor laser array package, a semiconductor laser array light source unit, a multi-beam scanning device, and an image forming apparatus can be realized. As described above, the semiconductor laser array package of the present invention can effectively increase the number of laser light emitting units without unnecessarily increasing the package size. Therefore, in the multi-beam scanning device of the present invention, by using such a semiconductor laser array package, the number of scanning lines to be simultaneously scanned can be increased without increasing the size of the light source unit, and efficient image writing can be realized. The image forming apparatus according to the present invention can realize high-speed image formation by using the multi-beam scanning device.
【図1】請求項1記載の半導体レーザアレイパッケージ
の、実施の1形態を説明するための図である。FIG. 1 is a view for explaining one embodiment of a semiconductor laser array package according to claim 1;
【図2】請求項2記載の半導体レーザアレイパッケージ
の、実施の1形態を説明するための図である。FIG. 2 is a view for explaining one embodiment of the semiconductor laser array package according to the second embodiment;
【図3】この発明の半導体レーザアレイ光源ユニットの
実施の1形態を説明するための図である。FIG. 3 is a view for explaining one embodiment of a semiconductor laser array light source unit of the present invention.
【図4】この発明の半導体レーザアレイ光源ユニットの
実施の別形態を説明するための図である。FIG. 4 is a view for explaining another embodiment of the semiconductor laser array light source unit of the present invention.
【図5】この発明のマルチビーム走査装置の実施の1形
態を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining an embodiment of the multi-beam scanning device according to the present invention.
【図6】この発明の画像形成装置の実施の1形態を説明
するための図である。FIG. 6 is a view for explaining an embodiment of the image forming apparatus of the present invention.
10 半導体レーザアレイパッケージ 11 半導体レーザアレイチップ 13 半導体レーザアレイチップ装備のための付属
物 15 支持基板 17 キャップ 15A 位置合せ用突起 Pi ピンDESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Semiconductor laser array package 11 Semiconductor laser array chip 13 Accessories for mounting semiconductor laser array chip 15 Support substrate 17 Cap 15A Alignment projection Pi pin
フロントページの続き Fターム(参考) 2C362 AA03 AA14 AA15 AA43 AA45 DA08 2H045 AA01 BA23 BA33 CB65 DA02 DA24 DA26 5C051 AA02 CA03 CA07 DB02 DB22 DB24 DB30 DC02 DC05 DC07 FA01 5F073 AB05 AB21 AB25 AB27 AB29 BA07 FA03 FA28 FA30 Continued on the front page F term (reference) 2C362 AA03 AA14 AA15 AA43 AA45 DA08 2H045 AA01 BA23 BA33 CB65 DA02 DA24 DA26 5C051 AA02 CA03 CA07 DB02 DB22 DB24 DB30 DC02 DC05 DC07 FA01 5F073 AB05 AB21 AB25 AB27 AB29 FA07 FA03 FA
Claims (11)
イ配列してなる半導体レーザアレイチップと、 外周縁部に位置決め用突起が形成され、上記半導体レー
ザアレイチップ及びその付属物を支持し、複数の貫通穴
の個々に、接続用のピンを貫通される支持基板と、 レーザ光射出用の窓を有し、上記支持基板に支持された
上記半導体レーザアレイチップ及びその付属物に被せら
れ、上記支持基板に基部を固定されるキャップとを有
し、 上記支持基板の外径:D(単位:mm)、半導体レーザ
アレイチップにおけるレーザ発光部の数:Nが、条件: N≧3、且つ、1≦D−N≦4、且つ、 (D―2)/(N+2)≧0.64 を満足することを特徴とする半導体レーザアレイパッケ
ージ。1. A semiconductor laser array chip in which a plurality of laser light emitting portions are monolithically arranged in an array, and a positioning projection is formed on an outer peripheral portion to support the semiconductor laser array chip and its accessories. Each of the through holes has a supporting substrate through which a connection pin is penetrated, and a window for emitting laser light. The supporting substrate is covered with the semiconductor laser array chip supported by the supporting substrate and an accessory thereof. An outer diameter of the support substrate: D (unit: mm), the number of laser emitting portions in the semiconductor laser array chip: N, and a condition: N ≧ 3 and 1 ≦ DN ≦ 4 and (D−2) / (N + 2) ≧ 0.64.
イ配列してなる半導体レーザアレイチップと、 外周縁部に位置決め用切り欠きが形成され、上記半導体
レーザアレイチップ及びその付属物を支持し、複数の貫
通穴の個々に、接続用のピンを貫通される支持基板と、 レーザ光射出用の窓を有し、上記支持基板に支持された
上記半導体レーザアレイチップ及びその付属物に被せら
れ、上記支持基板に基部を固定されるキャップとを有
し、 上記支持基板の外径:D(単位:mm)、半導体レーザ
アレイチップにおけるレーザ発光部の数:Nが、条件: N≧3、且つ、1≦D−N≦4、且つ、 (D―2.8)/(N+2)≧0.64 を満足することを特徴とする半導体レーザアレイパッケ
ージ。2. A semiconductor laser array chip in which a plurality of laser light emitting portions are monolithically arranged in an array, and a positioning notch is formed in an outer peripheral portion to support the semiconductor laser array chip and its accessories. Each of the through holes has a support substrate through which a connection pin is penetrated, and has a window for emitting laser light, and is covered by the semiconductor laser array chip supported by the support substrate and its accessory, An outer diameter of the support substrate: D (unit: mm), the number of laser light emitting portions in the semiconductor laser array chip: N, and a condition: N ≧ 3, and A semiconductor laser array package, wherein 1 ≦ D−N ≦ 4 and (D−2.8) / (N + 2) ≧ 0.64.
であって、 半導体レーザアレイパッケージと、 この半導体レーザアレイパッケージから射出する複数の
レーザ光束に共通に設けられ、各レーザ光束の発散性の
光束形態を所望の光束形態に変換するカップリングレン
ズとをユニット化してなり、 上記半導体レーザアレイパッケージが請求項1または2
に記載のものであることを特徴とする半導体レーザアレ
イ光源ユニット。3. A light source unit using a semiconductor laser array, wherein the light source unit is provided in common for a semiconductor laser array package and a plurality of laser beams emitted from the semiconductor laser array package, and forms a divergent beam form of each laser beam. 3. The semiconductor laser array package according to claim 1, wherein a coupling lens for converting into a desired light beam form is unitized.
9. A semiconductor laser array light source unit according to claim 1.
ニットにおいて、 カップリングレンズと、半導体レーザアレイパッケージ
が、共通のホルダにより保持されて一体化されているこ
とを特徴とする半導体レーザアレイ光源ユニット。4. The semiconductor laser array light source unit according to claim 3, wherein the coupling lens and the semiconductor laser array package are integrated by being held by a common holder. .
ニットにおいて、 半導体レーザアレイパッケージが、ホルダに設けられた
嵌合穴に、支持基板を圧入されて上記ホルダに保持され
ていることを特徴とする半導体レーザアレイ光源ユニッ
ト。5. The semiconductor laser array light source unit according to claim 4, wherein said semiconductor laser array package is held by said holder by press-fitting a support substrate into a fitting hole provided in said holder. Semiconductor laser array light source unit.
ニットにおいて、 半導体レーザアレイパッケージが、ホルダに設けられた
嵌合孔にキャップを嵌合された状態で、固定部材により
ホルダに固定されたことを特徴とする半導体レーザアレ
イ光源ユニット。6. The semiconductor laser array light source unit according to claim 4, wherein the semiconductor laser array package is fixed to the holder by a fixing member in a state in which a cap is fitted in a fitting hole provided in the holder. A semiconductor laser array light source unit characterized by the above-mentioned.
ーザアレイ光源ユニットにおいて、 カップリングレンズがコリメートレンズであることを特
徴とする半導体レーザアレイ光源ユニット。7. The semiconductor laser array light source unit according to claim 3, wherein the coupling lens is a collimating lens.
手段により偏向させ、複数の偏向光束を共通の走査結像
光学系により被走査面に向かって集光させて、上記被走
査面上に、互いに副走査方向に分離した複数の光スポッ
トを形成して上記被走査面の複数走査線を同時に光走査
するマルチビーム走査装置において、 光源として、請求項1または2記載の半導体レーザアレ
イパッケージを用いたことを特徴とするマルチビーム走
査装置。8. A light beam from a light source is deflected by a common light deflecting means, and a plurality of deflected light beams are converged toward a surface to be scanned by a common scanning and imaging optical system. 3. The semiconductor laser according to claim 1, wherein a plurality of light spots separated from each other in the sub-scanning direction are formed on the surface, and the plurality of scanning lines on the surface to be scanned are optically scanned at the same time. A multi-beam scanning device using an array package.
いて、 光源である半導体レーザアレイパッケージからの各発散
性の光束を以後の光学系に適した光束形態とするカップ
リングレンズと、半導体レーザアレイパッケージとをユ
ニット化した半導体レーザアレイ光源ユニットを用い、 この半導体レーザアレイ光源ユニットとして、請求項3
〜7の任意の1に記載のものを用いたことを特徴とする
マルチビーム走査装置。9. The coupling lens according to claim 8, wherein each divergent light beam from the semiconductor laser array package as a light source is formed into a light beam form suitable for an optical system thereafter, and a semiconductor laser array. 4. A semiconductor laser array light source unit comprising a package and a unit, wherein the semiconductor laser array light source unit is used.
7. A multi-beam scanning apparatus using any one of items 1 to 7.
走査による画像書込みを行って潜像を形成し、この潜像
を可視化して所望の画像を得る画像形成装置において、 マルチビーム走査による画像書込みを行うマルチビーム
走査装置として、請求項8または9記載のマルチビーム
走査装置を用いることを特徴とする画像形成装置。10. An image forming apparatus for writing an image on a photosensitive surface of a photosensitive medium by multi-beam scanning to form a latent image and visualizing the latent image to obtain a desired image. An image forming apparatus using the multi-beam scanning device according to claim 8 as a multi-beam scanning device for performing writing.
て、 感光媒体が光導電性の感光体であり、形成される静電潜
像がトナー画像として可視化されることを特徴とする画
像形成装置。11. The image forming apparatus according to claim 10, wherein the photosensitive medium is a photoconductive photoreceptor, and the formed electrostatic latent image is visualized as a toner image.
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WO2017010026A1 (en) * | 2015-07-16 | 2017-01-19 | 三菱電機株式会社 | Laser light source module |
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