JP2002050195A - Memory evaluating system - Google Patents

Memory evaluating system

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JP2002050195A
JP2002050195A JP2000235126A JP2000235126A JP2002050195A JP 2002050195 A JP2002050195 A JP 2002050195A JP 2000235126 A JP2000235126 A JP 2000235126A JP 2000235126 A JP2000235126 A JP 2000235126A JP 2002050195 A JP2002050195 A JP 2002050195A
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JP
Japan
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fbm
memory
under test
fail
acquisition
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2000235126A
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Japanese (ja)
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Seishi Miyata
誠史 宮田
Hideyuki Aoki
英之 青木
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Hitachi Ltd
Hitachi Solutions Technology Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi ULSI Systems Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a memory evaluating system which can obtain FBM required for defect analyzing and write-in data in a memory mat at the time of fail. SOLUTION: This system is a memory evaluating system in which selection is performed by a test being equivalent to a test of a memory module loaded in a PC, which can analyze a defective device, the system is constituted of a mother board 1 in which a reference device or the like is loaded, an evaluating board 2 in which ASIC or the like is loaded, a memory tester 3, or the like, test devices to be tested DUT1-DUT3 are inserted into sockets 7-9 for the device to be tested, devices DUTA, DUTB for obtaining FBM (for holding write-in data at the time of fail) being a normal product and the same product as a device to be tested are inserted into sockets 10, 11 for obtaining FBM (for holding write-in data at the time of fail), two pieces out of three pieces are selected, the FBM is simultaneously obtained for the DUTA, DUTB, also, write-in data at the time of fail of one piece out of three pieces is held in either of the DUTA, DUTB.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、メモリ評価技術に
関し、たとえばパソコン(パーソナルコンピュータ:P
C)に実装されたメモリモジュールと等価な試験で選別
を行うPC実装選別装置の使用過程における解析機能と
して好適なメモリ評価システムに適用して有効な技術に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a memory evaluation technology, for example, a personal computer (Personal Computer: P).
The present invention relates to a technique that is effective when applied to a memory evaluation system suitable as an analysis function in a use process of a PC-mounted sorting device that performs sorting by a test equivalent to a memory module mounted in C).

【0002】[0002]

【従来の技術】たとえば、PCに実装されたメモリモジ
ュールと等価な試験で選別を行うPC実装選別装置とし
て、本発明者らが以前に出願した技術(特願平11−3
58305号)がある。この特願平11−358305
号の技術においては、PCなどに実装されたメモリモジ
ュールから信号を引き出し、その引き出した先に多数の
被検査デバイスを接続することで、実装メモリ製品と等
価な動作で多数の被検査デバイスをテストするメモリテ
ストシステムである。また、パス/フェイル判定は実装
メモリ製品の出力を基準とし、被検査デバイスの出力と
をASIC(Application Specifi
c Integrated Circuit)で比較判
定するものである。
2. Description of the Related Art For example, as a PC-mounted sorting apparatus that performs sorting by a test equivalent to a memory module mounted on a PC, a technique previously filed by the present inventors (Japanese Patent Application No. 11-3).
No. 58305). This Japanese Patent Application No. 11-358305
In the technology of No. 1, a signal is extracted from a memory module mounted on a PC or the like, and a large number of devices to be inspected are connected to the point from which the signal is extracted. Memory test system. The pass / fail judgment is based on the output of the mounted memory product, and the output of the device under test is compared with the ASIC (Application Specification).
c Integrated Circuit).

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
なメモリテストシステムの技術について、本発明者が検
討した結果、以下のようなことが明らかとなった。たと
えば、前記メモリテストシステムは、被検査デバイスの
パス/フェイル判定は可能であるが、被検査デバイスが
不良品と判定された場合に、その不良デバイスの解析に
おいて必要となる情報、たとえばFBM(Fail B
it Map)やフェイル時の書き込みデータなどを取
得することまでは考えられていない。
The inventors of the present invention have studied the technology of the memory test system as described above, and as a result, have found the following. For example, the memory test system can perform pass / fail determination of a device under test, but when the device under test is determined to be defective, information required for analyzing the defective device, for example, FBM (Fail) B
It is not considered to obtain it map) or write data at the time of a failure.

【0004】そこで、本発明の目的は、PC実装選別装
置の基準デバイスと被検査デバイスの出力を比較判定す
る方式を活用して、この判定結果からFBMおよびフェ
イル時のメモリマット内書き込みデータを取得できる仕
組みを構築し、不良解析に必要なFBMおよびフェイル
時のメモリマット内書き込みデータを取得することがで
きるメモリ評価システムを提供するものである。
Accordingly, an object of the present invention is to utilize a method of comparing and judging the output of a device to be inspected and a reference device of a PC mounting and sorting apparatus, and to obtain FBM and write data in a memory mat at the time of a failure from this judgment result. An object of the present invention is to provide a memory evaluation system capable of constructing a mechanism capable of acquiring the FBM required for failure analysis and writing data in a memory mat at the time of a failure.

【0005】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
[0005] The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
次のとおりである。
SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.

【0007】本発明のメモリ評価システムは、前述のよ
うなメモリテストシステムのASIC部分に、FBM取
得回路およびフェイル時書き込みデータ保持回路を追加
し、また1DUT(Device Under Tes
t)分のFBMの取得が可能なメモリテスタ(高速テス
タである必要はない)を用いて構成するものである。
A memory evaluation system according to the present invention further includes an FBM acquisition circuit and a write data holding circuit at the time of a failure added to the ASIC portion of the memory test system as described above, and a 1DUT (Device Under Test).
It is configured using a memory tester (not necessary to be a high-speed tester) capable of acquiring FBM for t).

【0008】すなわち、本発明によるメモリ評価システ
ムの全体構成としては、基準デバイスとなる良品のメモ
リを実装し、基準デバイスをリード/ライト動作させる
制御回路を含む基準機(たとえばメモリモジュールを搭
載したマザーボードなど)と評価ボード、メモリテスタ
から構成され、評価ボード上にはASICと被検査デバ
イス用およびFBM取得用のソケットを搭載する。ソケ
ットの1つに被検査デバイスのメモリ、他のソケットに
被検査デバイスと同一製品の良品のメモリをFBM取得
用またはフェイル時書き込みデータ保持用デバイスとし
て挿入する。ASICの中身は、前記メモリテストシス
テムのパス/フェイル判定回路に加え、FBM取得回
路、フェイル時書き込みデータ保持回路を追加するもの
である。
That is, as an overall configuration of the memory evaluation system according to the present invention, a reference device (for example, a motherboard on which a memory module is mounted) including a control circuit for mounting a non-defective memory serving as a reference device and performing a read / write operation of the reference device. ASIC), an evaluation board, and a memory tester. On the evaluation board, an ASIC, a socket for a device under test, and an FBM acquisition socket are mounted. The memory of the device to be inspected is inserted into one of the sockets, and the memory of a good product of the same product as the device to be inspected is inserted into the other socket as a device for acquiring an FBM or holding write data at the time of a failure. The contents of the ASIC include an FBM acquisition circuit and a write data holding circuit at the time of a failure in addition to the pass / fail determination circuit of the memory test system.

【0009】前記メモリ評価システムにおいて、FBM
およびフェイル時被検査デバイス内の書き込みデータを
取得する仕組みは、以下のとおりである。
In the above-mentioned memory evaluation system, the FBM
The mechanism for acquiring the write data in the device to be inspected at the time of a failure and the failure is as follows.

【0010】 (A)FBM取得の仕組み(FBM取得回路の機能) 被検査デバイスのリード時、随時、基準デバイスの出力
(期待値)と被検査デバイスの出力をEXOR判定す
る。EXORの判定値は、パス時は“L”、フェイル時
は“H”となる。そして、被検査デバイスに入力される
リードコマンドをライトコマンドに変換し、ライトデー
タをEXORの判定値としてFBM取得用デバイスを動
作させる。この機能により、FBM取得用デバイスには
被検査デバイスのフェイルアドレスと同一のアドレスに
“H”データが書き込まれる。以降は、メモリテスタに
て、期待値“L”でFBM取得用デバイスを単純スキャ
ンかつ低速でリードすれば、被検査デバイスのフェイル
アドレスが得られる(性能が低いメモリテスタで可
能)。
(A) FBM Acquisition Mechanism (Function of FBM Acquisition Circuit) When reading a device under test, the output (expected value) of the reference device and the output of the device under test are EXOR-determined at any time. The EXOR determination value is “L” when passing, and “H” when failing. Then, the read command input to the device under test is converted into a write command, and the FBM acquisition device is operated with the write data as the EXOR determination value. With this function, “H” data is written to the FBM acquisition device at the same address as the fail address of the device under test. Thereafter, if the memory tester reads the FBM acquisition device at the expected value “L” at a simple scan and at a low speed, the fail address of the device to be inspected can be obtained (a memory tester with low performance is possible).

【0011】 (B)フェイル時被検査デバイス内書き込みデータの取
得 基準デバイスと被検査デバイスの出力判定(EXOR判
定)後のラッチ出力を利用する。被検査デバイスの出力
判定ラッチが“L”(パス)時、フェイル時書き込みデ
ータ保持用デバイス(=FBM取得用デバイス)は基準
デバイス(=被検査デバイス)と同一の動作となり、出
力判定ラッチが“H”(フェイル)と同時にそれ以降、
フェイル時書き込みデータ保持用デバイスに対するライ
トを停止する。このため、フェイル時書き込みデータ保
持用デバイスは被検査デバイスがフェイルしたときの書
き込みデータを保持する。以降は、メモリテスタにて、
このフェイル時書き込みデータ保持用デバイスをリード
し、FBMを取得すれば被検査デバイスのフェイル時の
マット内書き込みデータを取得できる。
(B) Acquisition of write data in the device under test at the time of failure Uses the latch output after the output determination (EXOR determination) of the reference device and the device under test. When the output determination latch of the device under test is “L” (pass), the device for holding write data at the time of failure (= device for acquiring FBM) operates in the same manner as the reference device (= device under test), and the output determination latch changes to “ H ”(fail)
Writing to the write data holding device at the time of failure is stopped. For this reason, the write-time data retention device retains the write data when the device under test fails. After that, with a memory tester,
By reading the write data holding device at the time of fail and acquiring the FBM, the write data in the mat at the time of the fail of the device to be inspected can be acquired.

【0012】また、本発明による他のメモリ評価システ
ムは、評価ボード上に、ASICと被検査デバイス用お
よびFBM取得用のソケットに加えて、基準デバイス用
のソケットを搭載し、ソケットの1つ基準デバイスとな
る良品のメモリ、他の1つに被検査デバイスのメモリ、
他のソケットに被検査デバイスと同一製品の良品のメモ
リをFBM取得用デバイスとして挿入する。ASICの
中身は、パス/フェイル判定回路、FBM取得回路を有
する。また、メモリテスタに、基準デバイスをリード/
ライト動作させる制御回路を含むものである。
In another memory evaluation system according to the present invention, a socket for a reference device is mounted on an evaluation board in addition to a socket for an ASIC and a device to be inspected and for obtaining an FBM. Good memory for the device, memory for the device under test
A good memory of the same product as the device to be inspected is inserted into another socket as an FBM acquisition device. The contents of the ASIC include a pass / fail determination circuit and an FBM acquisition circuit. Also, read the reference device into the memory tester /
It includes a control circuit for performing a write operation.

【0013】よって、前記メモリ評価システムによれ
ば、以下のような効果を得ることができる。
Therefore, according to the memory evaluation system, the following effects can be obtained.

【0014】(1)前記前提のメモリテストシステムに
FBM取得回路、フェイル時書き込みデータ保持回路の
2つの回路と廉価なメモリテスタを追加することで、不
良解析に必要なFBM、フェイル時書き込みデータパタ
ーンの情報を取得することができる。
(1) By adding two circuits of an FBM acquisition circuit and a fail-time write data holding circuit and an inexpensive memory tester to the memory test system on the premise, the FBM and fail-time write data patterns required for failure analysis are added. Information can be obtained.

【0015】(2)FBM取得用またはフェイル時書き
込みデータ保持用デバイスを設けるために以下の効果が
得られる。フェイルビットの蓄積が可能、フェイル
用メモリを安価(対メモリテスタ)で増設でき、1つの
テストパターンにて同時に複数個の被検査デバイスのF
BM、フェイル時書き込みデータの取得を可能とするこ
とができる。
(2) The following effects can be obtained by providing a device for acquiring an FBM or holding write data at the time of a failure. Fail bits can be stored, a fail memory can be added at a low cost (for a memory tester), and a plurality of devices under test can be simultaneously tested with one test pattern.
It is possible to obtain write data at the time of BM or failure.

【0016】(3)他のFBM取得方法(たとえばAS
IC内でアドレスをラッチする方法)に比べて、ASI
Cを簡素化することができる。
(3) Other FBM acquisition methods (for example, AS
A method of latching an address in an IC)
C can be simplified.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明す
るための全図において、同一部材には同一の符号を付
し、その繰り返しの説明は省略する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In all the drawings for describing the embodiments, the same members are denoted by the same reference numerals, and the repeated description thereof will be omitted.

【0018】(実施の形態1)図1は本発明の実施の形
態1のメモリ評価システムを示す構成図、図2は本実施
の形態のメモリ評価システムにおいて、FBM取得用お
よびフェイル時書き込みデータ保持用コマンド変換回路
を示す構成図、図3は被検査デバイスのリードコマンド
変換を示すタイミング図、図4は被検査デバイスのライ
トコマンド変換を示すタイミング図である。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a block diagram showing a memory evaluation system according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is a block diagram showing a memory evaluation system according to this embodiment for FBM acquisition and write data retention at the time of a failure. FIG. 3 is a timing chart showing read command conversion of the device under test, and FIG. 4 is a timing diagram showing write command conversion of the device under test.

【0019】まず、図1により、本実施の形態のメモリ
評価システムの一例の構成を説明する。本実施の形態の
メモリ評価システムは、たとえばPCに実装されたメモ
リモジュールと等価な試験で選別を行い、不良デバイス
の解析が可能なシステムとされ、基準デバイスなどを実
装した基準機となるマザーボード1と、このマザーボー
ド1に接続され、ASICと被検査デバイスおよびFB
M取得用またはフェイル時書き込みデータ保持用デバイ
スなどを実装した評価ボード2と、この評価ボード2に
接続され、FBMの取得が可能なメモリテスタ3などか
ら構成され、クロック信号(CLK)、アドレスなどの
各種信号、入出力データ(I/O)が入出力可能となっ
ている。
First, the configuration of an example of the memory evaluation system according to the present embodiment will be described with reference to FIG. The memory evaluation system according to the present embodiment is a system capable of performing selection by a test equivalent to a memory module mounted on a PC and analyzing a defective device, and a motherboard 1 serving as a reference device mounting a reference device and the like. And the ASIC, the device under test, and the FB
An evaluation board 2 mounted with a device for acquiring M or holding write data at the time of a failure, and a memory tester 3 connected to the evaluation board 2 and capable of acquiring an FBM. The clock signal (CLK), address, etc. And input / output data (I / O) can be input / output.

【0020】マザーボード1には、たとえば基準デバイ
ス4となる良品のメモリモジュールと、基準デバイス4
をリード/ライト動作させる制御回路である基準PC
(チップセットLSI)5などが搭載されている。この
基準PC5から基準デバイス4、評価ボード2に対し
て、クロック信号(CLK)、アドレスなどの各種信
号、入出力データ(I/O)などが出力される。
The motherboard 1 includes, for example, a non-defective memory module serving as a reference device 4 and a reference device 4.
PC that is a control circuit for reading / writing data
(Chip set LSI) 5 and the like. A clock signal (CLK), various signals such as addresses, input / output data (I / O), and the like are output from the reference PC 5 to the reference device 4 and the evaluation board 2.

【0021】評価ボード2には、たとえばASIC6
と、3個の被検査デバイス用ソケット7〜9と、2個の
FBM取得用(フェイル時書き込みデータ保持用と共
用)ソケット10,11などが搭載されている。各被検
査デバイス用ソケット7〜9には被検査デバイスDUT
1〜DUT3のメモリモジュールが挿入され、各FBM
取得用ソケット10,11には被検査デバイスと同一製
品の良品のメモリモジュールがFBM取得用(フェイル
時書き込みデータ保持用と共用)デバイスDUTA,D
UTBとして挿入される。ASIC6は、複数のバッフ
ァおよび3個のEXORゲートEXOR1〜EXOR3
などからなるパス/フェイル判定回路と、コマンド変換
回路12、2個のセレクタ(A)13,(B)14、ラ
ッチ回路15および複数のスイッチASW1〜ASW
3,BSW1〜BSW3,FSW1〜FSW3,DSW
A,DSWB,TSW1〜TSW3,TSWA,TSW
BなどからなるFBM取得回路・フェイル時書き込みデ
ータ保持回路などから構成されている。
The evaluation board 2 includes, for example, an ASIC 6
And three sockets 7 to 9 for devices to be inspected, two sockets 10 and 11 for FBM acquisition (shared with write data holding at the time of failure), and the like. The device under test DUT is provided in each of the device sockets 7 to 9
1 to DUT3 are inserted, and each FBM
A non-defective memory module of the same product as the device to be inspected is provided in the acquisition sockets 10 and 11 for FBM acquisition (shared with the write data holding device at the time of failure).
Inserted as UTB. The ASIC 6 includes a plurality of buffers and three EXOR gates EXOR1 to EXOR3.
A command / conversion circuit 12, two selectors (A) 13, (B) 14, a latch circuit 15, and a plurality of switches ASW1 to ASW.
3, BSW1 to BSW3, FSW1 to FSW3, DSW
A, DSWB, TSW1 to TSW3, TSWA, TSW
It is composed of an FBM acquisition circuit including B, a write data holding circuit at the time of failure, and the like.

【0022】メモリテスタ3には、1DUT分のFBM
を取得する機能を有し、1DUT分のドライバ、コンパ
レータおよびFBM取得能力があればよい。また、FB
Mは低速取得のみの能力で問題がない。
The memory tester 3 has an FBM for one DUT.
And a function of acquiring a driver, a comparator, and an FBM for one DUT. Also, FB
M has no problem in its ability to only acquire at low speed.

【0023】以上のように構成されるメモリ評価システ
ムは、被検査デバイスが3個取り(DUT1〜DUT
3)のシステム例であり、DUTAおよびDUTBには
FBM取得用またはフェイル時書き込みデータ保持用デ
バイスの良品を挿入する。DUTA,DUTBの両方に
良品を挿入することで、3個中(DUT1〜DUT3)
の2個を選択し、その2個のFBMを同時に取得するこ
とが可能である。また、DUTA,DUTBの一方で3
個中(DUT1〜DUT3)の1個のフェイル時マット
内書き込みデータを保持することができる。
In the memory evaluation system configured as described above, three devices to be inspected are taken (DUT1 to DUT1).
This is an example of the system of 3), in which a non-defective device for acquiring FBM or holding write data at the time of failure is inserted into DUTA and DUTB. By inserting non-defective products into both DUTA and DUTB, out of three (DUT1 to DUT3)
Can be selected and the two FBMs can be acquired simultaneously. In addition, one of DUTA and DUTB is 3
The write data in the mat at the time of one of the failures (DUT1 to DUT3) can be held.

【0024】続いて、図2により、FBM取得用および
フェイル時書き込みデータ保持用のコマンド変換回路の
一例の構成を説明する。
Next, the configuration of an example of a command conversion circuit for acquiring an FBM and holding write data at the time of a failure will be described with reference to FIG.

【0025】コマンド変換回路12は、デコーダ21、
ライトコマンド発生回路22、ノップコマンド発生回路
23、2個のセレクタ&位相(タイミング)調整回路2
4,25、2個の位相(タイミング)調整回路26,2
7や、複数のバッファおよびインバータなどから構成さ
れ、基準信号、基準データ(I/O)、フェイルラッチ
信号がそれぞれ入力端子から入力され、FBM取得用コ
マンド変換出力信号、フェイル時書き込みデータ保持用
コマンド変換出力信号、フェイル時書き込みデータ保持
用データ(I/O)出力信号がそれぞれ出力される。
The command conversion circuit 12 includes a decoder 21,
Write command generating circuit 22, Nop command generating circuit 23, two selectors & phase (timing) adjusting circuit 2
4, 25, two phase (timing) adjustment circuits 26, 2
7, a plurality of buffers and inverters, and a reference signal, reference data (I / O), and a fail latch signal are respectively input from input terminals, a command conversion output signal for FBM acquisition, a command for holding write data at the time of failure, A conversion output signal and a data (I / O) output signal for holding write data during a failure are output.

【0026】デコーダ21は、基準信号を入力として、
この基準信号をデコードしてライト(Write)、リ
ード(Read)、その他の信号を出力する。FBM取
得用コマンド変換出力のためのセレクタ&位相調整回路
24は、基準信号、ライトコマンド、ノップコマンド、
デコードされたライト、リード、その他の信号を入力と
して、リード(R)→ライト(W)、ライト(W)→ノ
ップ(Nop:Nooperation)、その他→不
変にそれぞれ変換し、FBM取得用コマンド変換出力信
号を出力する。フェイル時書き込みデータ保持用コマン
ド変換出力のためのセレクタ&位相調整回路25は、基
準信号、ノップコマンド、デコードされたライト、その
他の信号を入力として、ライト(W)→ノップ(No
p)、その他→不変にそれぞれ変換し、フェイル時書き
込みデータ保持用コマンド変換出力信号を出力する。
The decoder 21 receives the reference signal as an input,
The reference signal is decoded to output a write signal, a read signal, and other signals. The selector & phase adjustment circuit 24 for converting and outputting the command for FBM acquisition includes a reference signal, a write command, a nop command,
The decoded write, read, and other signals are input and converted into read (R) → write (W), write (W) → nop (Nop: Noperation), other → invariant, and command conversion output for FBM acquisition. Output a signal. The selector & phase adjustment circuit 25 for converting and outputting the write data retention command at the time of a failure receives a reference signal, a nop command, a decoded write, and other signals as inputs, and writes a write (W) → nop (No).
p), and others → unchanged, and outputs a command conversion output signal for holding write data at the time of failure.

【0027】このコマンド変換回路12において、フェ
イル時書き込みデータ保持用コマンド変換出力、フェイ
ル時書き込みデータ保持用データ出力、フェイルラッチ
信号入力の関係は、フェイルラッチ信号“L”時(Pa
ss時)は基準デバイスと同一動作となり、フェイルラ
ッチ信号“H”(Fail)を受けて、フェイル時の書
き込みデータを保持するためにその後のライトを停止す
るように動作する。
In the command conversion circuit 12, the relationship between the command conversion output for holding write data at the time of fail, the data output for holding write data at the time of fail, and the input of the fail latch signal is as follows when the fail latch signal is "L" (Pa).
During ss), the operation is the same as that of the reference device. Upon receiving the fail latch signal “H” (Fail), the operation is performed so as to stop the subsequent writing to hold the write data at the time of fail.

【0028】続いて、図3および図4により、被検査デ
バイスのリードコマンド変換、ライトコマンド変換を説
明する。
Next, referring to FIGS. 3 and 4, read command conversion and write command conversion of the device under test will be described.

【0029】図3のように、被検査デバイスのリードコ
マンド変換では、被検査デバイスにおいて、クロック信
号CLKに同期して、アクティブコマンドACTVの発
行後にリードコマンドReadを発行し、XアドレスX
−add、YアドレスY−addの指定により、出力デ
ータDoutとしてパス信号Pass、フェイル信号F
ailが出力すると、EXOR判定値はそれぞれパス信
号Passで“L”、フェイル信号Feilで“H”と
なる。そして、リードコマンドをライトコマンドに変換
し、FBM取得用デバイスにおいて、位相(タイミン
グ)調整によるクロック信号CLKに同期して、アクテ
ィブコマンドACTVの発行後にライトコマンドWri
teを発行すると、XアドレスX−add、Yアドレス
Y−addの指定により、入力データDinとして被検
査デバイスのEXOR判定値によるフェイル信号Fai
lが入力となり、フェイルしたアドレスに“H”データ
を書き込む。
As shown in FIG. 3, in the read command conversion of the device under test, in the device under test, the read command Read is issued after the active command ACTV is issued in synchronization with the clock signal CLK, and the X address X
-Add, Y address Y-add, pass signal Pass, fail signal F as output data Dout
When “ail” is output, the EXOR determination value becomes “L” for the pass signal Pass and “H” for the fail signal Fail, respectively. Then, the read command is converted into a write command, and the FBM acquisition device issues a write command Wri after issuing an active command ACTV in synchronization with a clock signal CLK by phase (timing) adjustment.
When te is issued, a fail signal Fai based on the EXOR determination value of the device under test is input data Din by designating the X address X-add and the Y address Y-add.
1 is input and "H" data is written to the failed address.

【0030】図4のように、被検査デバイスのライトコ
マンド変換では、被検査デバイスにおいて、クロック信
号CLKに同期して、アクティブコマンドACTVの発
行後にライトコマンドWriteを発行し、Xアドレス
X−add、YアドレスY−addの指定により、入力
データDinとしてデータDataを入力する。そし
て、ライトコマンドをノップコマンドに変換し、FBM
取得用デバイスにおいて、位相(タイミング)調整によ
るクロック信号CLKに同期して、アクティブコマンド
ACTVの発行後にノップコマンドNOPを発行し、入
力データDinとして被検査デバイスのリード時の判定
値以外を書き込まないようにする。
As shown in FIG. 4, in the write command conversion of the device under test, the device under test issues a write command Write after the issuance of the active command ACTV in synchronization with the clock signal CLK, and the X address X-add, By specifying the Y address Y-add, data Data is input as input data Din. Then, it converts the write command into a nop command, and
The acquisition device issues a nop command NOP after issuing the active command ACTV in synchronization with the clock signal CLK based on the phase (timing) adjustment, so that a value other than the determination value at the time of reading the device under test is not written as input data Din. To

【0031】次に、本実施の形態の作用について、前述
した図1〜図4を参照しながら、(A)FBM取得、
(B)フェイル時書き込みデータ保持の各動作を説明す
る。
Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
(B) Each operation of holding write data at the time of failure will be described.

【0032】(A)FBM取得の実動作使用例(被検査
デバイスはSDRAM(Synchronous DR
AM)によるDIMM(Dual In−line M
emory Module)、被検査デバイスDUT
1,DUT3のFBMを同時に取得する場合) (1)入力イネーブル端子を“L”(ディスエーブ
ル)、スイッチTSW1〜TSW3をOFF、スイッチ
TSWA,TSWBをONにして、メモリテスタ3より
FBM取得用デバイスDUTA,DUTBのみを対象に
全アドレス空間に“0”を書き込む。これが、FBM取
得用デバイスDUTA,DUTBの前処理となる。
(A) Example of actual operation of FBM acquisition (device under test is SDRAM (Synchronous DR)
AM) and DIMM (Dual In-line M)
memory module), device under test DUT
1, when the FBM of the DUT 3 is obtained simultaneously) (1) The input enable terminal is “L” (disabled), the switches TSW1 to TSW3 are turned off, the switches TSWA and TSWB are turned on, and the FBM obtaining device is obtained from the memory tester 3. "0" is written in all address spaces only for DUTA and DUTB. This is the pre-processing of the FBM acquisition devices DUTA and DUTB.

【0033】(2)スイッチASW1,BSW3の計2
個のスイッチをONにし、残りのスイッチをOFFにす
る。
(2) Switches ASW1 and BSW3 Total 2
The switches are turned on and the remaining switches are turned off.

【0034】(3)セレクタ(A)13,(B)14共
にFBM取得用コマンド変換出力を選択する。すなわ
ち、被検査デバイスDUT1のFBMをFBM取得用デ
バイスDUTA、被検査デバイスDUT3のFBMをF
BM取得用デバイスDUTBにそれぞれ割り当てる。
(3) Both the selectors (A) 13 and (B) 14 select an FBM acquisition command conversion output. In other words, the FBM of the device under test DUT1 is represented by the device DUTA for acquiring FBM, and the FBM of the device
Each is assigned to the BM acquisition device DUTB.

【0035】(4)入力イネーブル端子を“H”(イネ
ーブル)にし、基準PC5より基準デバイス4を試験す
る。
(4) The input enable terminal is set to “H” (enable), and the reference device 4 is tested by the reference PC 5.

【0036】(5)試験実行の間、基準デバイス4と被
検査デバイスDUT1〜DUT3は同じパターンが入力
され、基準デバイス4の出力を期待値として被検査デバ
イスDUT1〜DUT3のEXOR判定が随時行われ
る。また、FBM取得用デバイスDUTAに対しては、
コマンド変換回路12で図3および図4に示すような変
換が行われ、被検査デバイスDUT1で発生したフェイ
ルアドレスのみに“1”データが書き込まれる。FBM
取得用デバイスDUTBに対しても同様に、被検査デバ
イスDUT3で発生したフェイルアドレスのみに“1”
データが書き込まれる。
(5) During execution of the test, the same pattern is input to the reference device 4 and the devices under test DUT1 to DUT3, and the EXOR determination of the devices under test DUT1 to DUT3 is performed as needed using the output of the reference device 4 as an expected value. . Also, for the FBM acquisition device DUTA,
The command conversion circuit 12 performs the conversion as shown in FIGS. 3 and 4, and writes “1” data only to the fail address generated in the device under test DUT1. FBM
Similarly, for the acquisition device DUTB, “1” is set only in the fail address generated in the device under test DUT3.
Data is written.

【0037】(6)試験が終了した段階で、入力イネー
ブル端子を“L”(ディスエーブル)、スイッチTSW
AをONにして、メモリテスタ3よりFBM取得用デバ
イスDUTAを期待値“0”でリードして、被検査デバ
イスDUT1のFBMを取得することができる。同様
に、スイッチTSWAをOFF、スイッチTSWBをO
Nにして、被検査デバイスDUT3のFBMを取得する
ことができる。
(6) When the test is completed, the input enable terminal is set to “L” (disabled) and the switch TSW
A is turned on, and the FBM acquisition device DUTA is read from the memory tester 3 with the expected value “0”, so that the FBM of the device under test DUT1 can be acquired. Similarly, switch TSWA is turned off and switch TSWB is turned off.
By setting N, the FBM of the device under test DUT3 can be obtained.

【0038】なお、評価ボード2上の3個の被検査デバ
イスDUT1〜DUT3に対しても、2個のFBM取得
用デバイスDUTA,DUTBをスイッチなどで切り離
しながら1個ずつメモリテスタ3でFBMを取得すれ
ば、1つのテストパターンにて同時に3個の被検査デバ
イスDUT1〜DUT3のFBMを取得することが可能
となる。
It should be noted that, for the three devices under test DUT1 to DUT3 on the evaluation board 2, the FBM acquisition devices DUTA and DUTB are separated by a switch or the like while the FBM is acquired by the memory tester 3 one by one. Then, the FBMs of the three devices under test DUT1 to DUT3 can be acquired simultaneously with one test pattern.

【0039】(B)フェイル時マット内書き込みデータ
取得の実動作使用例(被検査デバイスDUT1のFBM
とフェイル時書き込みデータを取得する場合) (1)入力イネーブル端子を“L”(ディスエーブ
ル)、スイッチTSW1〜TSW3をOFF、スイッチ
TSWA,TSWBをONにして、メモリテスタ3より
FBM取得用デバイスDUTA,DUTBのみを対象に
全アドレス空間に“0”を書き込む。これが、FBM取
得用デバイスDUTA,DUTBの前処理となる。
(B) Example of actual operation of obtaining write data in the mat at the time of failure (FBM of device under test DUT1)
(1) The input enable terminal is “L” (disabled), the switches TSW1 to TSW3 are turned off, the switches TSWA and TSWB are turned on, and the FBM acquisition device DUTA is obtained from the memory tester 3. , DUTB are written in all address spaces. This is the pre-processing of the FBM acquisition devices DUTA and DUTB.

【0040】(2)スイッチASW1,BSW3,FS
W1の計3個のスイッチをONにし、残りのスイッチを
OFFにする。
(2) Switches ASW1, BSW3, FS
The three switches W1 are turned on, and the remaining switches are turned off.

【0041】(3)セレクタ(A)13はFBM取得用
コマンド変換出力を選択し、セレクタ(B)14はフェ
イル時書き込みデータ保持用コマンド変換出力を選択す
る。すなわち、FBM取得用デバイスDUTAに被検査
デバイスDUT1のFBM、FBM取得用デバイスDU
TBに被検査デバイスDUT1のフェイル時書き込みデ
ータが保持される。
(3) The selector (A) 13 selects the command conversion output for FBM acquisition, and the selector (B) 14 selects the command conversion output for holding write data at the time of failure. That is, the FBM of the device under test DUT1 and the device DU of FBM acquisition are added to the FBM acquisition device DUTA.
The write data at the time of the failure of the device under test DUT1 is held in the TB.

【0042】(4)入力イネーブル端子を“H”(イネ
ーブル)にし、基準PC5より基準デバイス4を試験す
る。
(4) The input enable terminal is set to “H” (enable), and the reference device 4 is tested by the reference PC 5.

【0043】(5)試験実行の間、FBM取得用デバイ
スDUTAに対しては、被検査デバイスDUT1で発生
したフェイルアドレスのみに“1”データが書き込まれ
る。FBM取得用デバイスDUTBに対しては、被検査
デバイスDUT1がパスの間は被検査デバイスDUT1
と同一のデータが書き込まれ、被検査デバイスDUT1
のフェイル時と同時にその後の書き込みを停止する。こ
のため、FBM取得用デバイスDUTBは被検査デバイ
スDUT1のフェイル時マット内書き込みデータを保持
することができる。
(5) During the test, "1" data is written into the FBM acquisition device DUTA only at the fail address generated in the device under test DUT1. For the FBM acquisition device DUTB, while the device under test DUT1 passes, the device under test DUT1
Is written to the device under test DUT1.
And the subsequent writing is stopped at the same time as the failure. For this reason, the FBM acquisition device DUTB can hold the write data in the mat at the time of the failure of the device under test DUT1.

【0044】(6)試験が終了した段階で、入力イネー
ブル端子を“L”(ディスエーブル)、スイッチTSW
AをONにして、メモリテスタ3よりFBM取得用デバ
イスDUTAを期待値“0”でリードして、被検査デバ
イスDUT1のFBMを取得することができる。同様
に、スイッチTSWAをOFF、スイッチTSWBをO
Nにして、被検査デバイスDUT1のフェイル時マット
内書き込みデータを取得することができる。
(6) When the test is completed, the input enable terminal is set to “L” (disabled) and the switch TSW
A is turned on, and the FBM acquisition device DUTA is read from the memory tester 3 with the expected value “0”, so that the FBM of the device under test DUT1 can be acquired. Similarly, switch TSWA is turned off and switch TSWB is turned off.
N, the write data in the mat at the time of a failure of the device under test DUT1 can be obtained.

【0045】従って、本実施の形態のメモリ評価システ
ムによれば、FBM取得回路およびフェイル時書き込み
データ保持回路などからなるASIC6を搭載した評価
ボード2と、FBMの取得が可能なメモリテスタ3など
を有することにより、不良解析に必要なFBM、フェイ
ル時書き込みデータパターンが取得できる。また、FB
M取得用デバイス(フェイル時書き込みデータ保持用デ
バイス)DUTA,DUTBを設けることにより、フェ
イルビットの蓄積が可能となり、フェイル用メモリを安
価(対メモリテスタ)で増設でき、評価ボード2上でn
個の被検査デバイスに対して、n個のFBM取得用デバ
イスを挿入すれば、1つのテストパターンにて同時にn
個の被検査デバイスのFBMが取得できる。さらに、た
とえばASIC6内でアドレスをラッチする方法などを
用いてFBMを取得する場合よりもASIC6を簡素化
できる。
Therefore, according to the memory evaluation system of the present embodiment, the evaluation board 2 equipped with the ASIC 6 including the FBM acquisition circuit and the write data holding circuit at the time of failure, the memory tester 3 capable of acquiring the FBM, etc. With this, it is possible to obtain the FBM and the write data pattern at the time of failure required for failure analysis. Also, FB
By providing M acquisition devices (devices for holding write data at the time of failure) DUTA and DUTB, fail bits can be stored, and fail memories can be added at a low cost (for a memory tester).
If n FBM acquisition devices are inserted into a plurality of devices to be inspected, n
The FBMs of the devices to be inspected can be obtained. Further, the ASIC 6 can be simplified as compared with the case where the FBM is acquired by using, for example, a method of latching an address in the ASIC 6.

【0046】(実施の形態2)図5は本発明の実施の形
態2のメモリ評価システムを示す構成図である。本実施
の形態のメモリ評価システムは、前記実施の形態1と同
様に、たとえばPCに実装されたメモリモジュールと等
価な試験で選別を行い、不良デバイスの解析が可能なシ
ステムとされ、前記実施の形態1との相違点は、評価ボ
ード上に、ASICと被検査デバイス用およびFBM取
得用のソケットに加えて、基準デバイス用のソケットを
搭載し、ASICにパス/フェイル判定回路およびFB
M取得回路を有し、メモリテスタに、基準デバイスをリ
ード/ライト動作させる制御回路を含むようにした点で
ある。
(Embodiment 2) FIG. 5 is a configuration diagram showing a memory evaluation system according to Embodiment 2 of the present invention. As in the first embodiment, the memory evaluation system according to the present embodiment is a system capable of performing selection by a test equivalent to a memory module mounted on a PC, for example, and analyzing a defective device. The difference from the first embodiment is that a socket for a reference device is mounted on an evaluation board in addition to an ASIC, a socket for a device under test, and a socket for obtaining an FBM, and a pass / fail determination circuit and an FB
An M acquisition circuit is provided, and the memory tester includes a control circuit for performing a read / write operation of the reference device.

【0047】すなわち、本実施の形態のメモリ評価シス
テムは、ASICと基準デバイス、被検査デバイスおよ
びFBM取得用デバイスなどを実装した評価ボード2a
と、この評価ボード2aに接続され、FBMの取得が可
能なメモリテスタ3aなどから構成され、アドレス(a
dd)などの各種信号、入出力データ(I/O)が入出
力可能となっている。
That is, the memory evaluation system according to the present embodiment comprises an evaluation board 2a on which an ASIC, a reference device, a device under test, and a device for FBM acquisition are mounted.
And a memory tester 3a connected to the evaluation board 2a and capable of acquiring an FBM.
dd) and input / output data (I / O).

【0048】評価ボード2aには、たとえばASIC6
aと、1個の基準デバイス用ソケット31と、3個の被
検査デバイス用ソケット7a〜9aと、2個のFBM取
得用ソケット10a,11aなどが搭載されている。基
準デバイス用ソケット31には良品の基準デバイスDU
TR、被検査デバイス用ソケット7a〜9aには被検査
デバイスDUT1〜DUT3、FBM取得用ソケット1
0a,11aには被検査デバイスと同一製品の良品のF
BM取得用デバイスDUTA,DUTBのメモリモジュ
ールがそれぞれ挿入される。ASIC6aは、FPGA
(FieldProgrammable Gate A
rray)からなり、複数のバッファおよび3個のEX
ORゲートEXOR1〜EXOR3などからなるパス/
フェイル判定回路と、FBM用回路32、ラッチ回路3
3および複数のスイッチASW1〜ASW3,BSW1
〜BSW3,CSW1〜CSW3,DSW1,DSW2
などからなるFBM取得回路などから構成されている。
FBM用回路32は、前記実施の形態1のコマンド変換
回路と同様の機能を持ち、リード→ライトコマンド変
換、ライト→ノップコマンド変換、位相(タイミング)
調整機能などを有している。
The evaluation board 2a includes, for example, an ASIC 6
a, one reference device socket 31, three DUT sockets 7a to 9a, two FBM acquisition sockets 10a and 11a, and the like. The reference device socket 31 has a good reference device DU.
TR, device under test DUT1 to DUT3, socket 1 for FBM acquisition are provided in sockets 7a to 9a for device under test.
0a and 11a are non-defective F of the same product as the device under test.
The memory modules of the BM acquisition devices DUTA and DUTB are respectively inserted. ASIC6a is FPGA
(Field Programmable Gate A
rray), a plurality of buffers and three EXs
Path consisting of OR gates EXOR1 to EXOR3 /
Fail determination circuit, FBM circuit 32, latch circuit 3
3 and a plurality of switches ASW1 to ASW3, BSW1
To BSW3, CSW1 to CSW3, DSW1, DSW2
And the like.
The FBM circuit 32 has a function similar to that of the command conversion circuit of the first embodiment, and converts a read command to a write command, a write command to a nop command, and a phase (timing).
It has an adjustment function and the like.

【0049】メモリテスタ3aには、1DUT分のFB
Mを取得する機能を有し、1DUT分のドライバ、コン
パレータおよびFBM取得能力があればよく、FBMは
低速取得のみの能力で問題がない。また、メモリテスタ
3aには、基準デバイスDUTRをリード/ライト動作
させる制御回路を含み、ASIC6aに対して、アドレ
ス(add)などの各種信号、入出力データ(I/O)
などが入出力可能となっている。
The memory tester 3a has an FB for one DUT.
It is only necessary to have a function of acquiring M and to have a driver, a comparator, and an FBM acquiring capability for one DUT. The memory tester 3a includes a control circuit for performing read / write operations on the reference device DUTR. The memory tester 3a supplies various signals such as an address (add) and input / output data (I / O) to the ASIC 6a.
Can be input and output.

【0050】以上のように構成されるメモリ評価システ
ムは、被検査デバイスが3個取り(DUT1〜DUT
3)のシステム例であり、DUTRには期待値出力用の
良品の基準デバイスを挿入し、DUTAおよびDUTB
にはFBM取得用デバイスの良品を挿入する。DUT
A,DUTBの両方に良品を挿入することで、3個中
(DUT1〜DUT3)の2個を選択し、その2個のF
BMを同時に取得することが可能である。
In the memory evaluation system configured as described above, three devices to be inspected are taken (DUT1 to DUT1).
3) This is an example of a system in which a good reference device for outputting an expected value is inserted into DUTR, and DUTA and DUTB are inserted.
, A non-defective device of the FBM acquisition device is inserted. DUT
By inserting non-defective products into both A and DUTB, two out of three (DUT1 to DUT3) are selected, and the two F
It is possible to acquire BM at the same time.

【0051】次に、本実施の形態の作用について、
(A)FBM取得の動作を説明する。
Next, the operation of the present embodiment will be described.
(A) The operation of FBM acquisition will be described.

【0052】(A)FBM取得の実動作使用例(被検査
デバイスはSDRAMによるDIMM、被検査デバイス
DUT1,DUT3のFBMを同時に取得する場合) (1)スイッチDSW1,CSW1,ASW1〜ASW
3,BSW1〜BSW3の計8個のスイッチをOFF、
スイッチCSW2,CSW3,DSW2の計3個のスイ
ッチをONにして、メモリテスタ3aよりFBM取得用
デバイスDUTA,DUTBのみを対象に全アドレス空
間に“0”を書き込む。これが、FBM取得用デバイス
DUTA,DUTBの前処理となる。
(A) Example of actual operation of FBM acquisition (when a device under test acquires a DIMM by SDRAM and an FBM of devices under test DUT1 and DUT3 simultaneously) (1) Switches DSW1, CSW1, ASW1 to ASW
3, a total of eight switches BSW1 to BSW3 are turned off,
The switches CSW2, CSW3, and DSW2 are turned on, and the memory tester 3a writes "0" to the entire address space only for the FBM acquisition devices DUTA and DUTB. This is the pre-processing of the FBM acquisition devices DUTA and DUTB.

【0053】(2)スイッチDSW1,CSW1,AS
W1,BSW3の計4個のスイッチをONにし、残りの
スイッチをOFFにする。すなわち、被検査デバイスD
UT1のFBMをFBM取得用デバイスDUTA、被検
査デバイスDUT3のFBMをFBM取得用デバイスD
UTBにそれぞれ割り当てる。
(2) Switches DSW1, CSW1, AS
The four switches W1 and BSW3 are turned on, and the remaining switches are turned off. That is, the device under test D
The FBM of UT1 is an FBM acquisition device DUTA, and the FBM of device under test DUT3 is an FBM acquisition device D.
Assign to each UTB.

【0054】(3)メモリテスタ3aよりテストパター
ンを実行する。また、メモリテスタ3aによる出力判定
は不要である。
(3) The test pattern is executed by the memory tester 3a. Further, the output judgment by the memory tester 3a is unnecessary.

【0055】(4)テストパターン実行の間、基準デバ
イスDUTRと被検査デバイスDUT1〜DUT3は同
じパターンが入力され、基準デバイスDUTRの出力を
期待値として被検査デバイスDUT1〜DUT3のEX
OR判定が随時行われる。また、FBM取得用デバイス
DUTAに対しては、FBM用回路32で前述した図3
および図4に示すような変換が行われ、被検査デバイス
DUT1で発生したフェイルアドレスのみに“1”デー
タが書き込まれる。FBM取得用デバイスDUTBに対
しても同様に、被検査デバイスDUT3で発生したフェ
イルアドレスのみに“1”データが書き込まれる。
(4) During execution of the test pattern, the same pattern is input to the reference device DUTR and the devices under test DUT1 to DUT3, and the EX of the devices under test DUT1 to DUT3 is used as the expected value of the output of the reference device DUTR.
An OR determination is made as needed. Also, for the FBM acquisition device DUTA, the FBM circuit 32 shown in FIG.
4 is performed, and "1" data is written only in the fail address generated in the device under test DUT1. Similarly, "1" data is written only to the fail address generated in the device under test DUT3 for the FBM acquisition device DUTB.

【0056】(5)また、フェイル時はラッチ回路33
を経由してフェイルの被検査デバイスDUT1〜DUT
3の識別信号(DUT1Fail〜DUT3Fail)
を出力する。
(5) In the case of a failure, the latch circuit 33
Devices under test DUT1 through DUT
3 identification signal (DUT1Fail to DUT3Fail)
Is output.

【0057】(6)テストパターンが終了した段階で、
スイッチDSW1,CSW1,ASW1〜ASW3,B
SW1〜BSW3,CSW3の計9個のスイッチをOF
F、スイッチCSW2,DSW2の計2個のスイッチを
ONにして、メモリテスタ3aよりFBM取得用デバイ
スDUTAを期待値“0”でリードして、被検査デバイ
スDUT1のFBMを取得することができる。同様に、
スイッチCSW2をOFF、スイッチCSW3をONに
して、被検査デバイスDUT3のFBMを取得すること
ができる。
(6) When the test pattern is completed,
Switches DSW1, CSW1, ASW1 to ASW3, B
SW1 to BSW3, CSW3, 9 switches in total
F, the switches CSW2 and DSW2 are turned on, and the FBM acquisition device DUTA is read from the memory tester 3a with the expected value “0” to acquire the FBM of the device under test DUT1. Similarly,
By turning off the switch CSW2 and turning on the switch CSW3, the FBM of the device under test DUT3 can be acquired.

【0058】従って、本実施の形態のメモリ評価システ
ムによれば、FBM取得回路などからなるASIC6a
を搭載した評価ボード2aと、FBMの取得が可能なメ
モリテスタ3aなどを有することにより、不良解析に必
要なFBMが取得できる。また、FBM取得用デバイス
DUTA,DUTBを設けることにより、フェイルビッ
トの蓄積が可能となり、フェイル用メモリを安価(対メ
モリテスタ)で増設でき、評価ボード2a上でn個の被
検査デバイスに対して、n個のFBM取得用デバイスを
挿入すれば、1つのテストパターンにて同時にn個の被
検査デバイスのFBMが取得できる。さらに、たとえば
ASIC6a内でアドレスをラッチする方法などを用い
てFBMを取得する場合よりもASIC6aを簡素化で
きる。
Therefore, according to the memory evaluation system of the present embodiment, the ASIC 6a including the FBM acquisition circuit and the like
The FBM required for failure analysis can be obtained by having the evaluation board 2a on which the device is mounted and the memory tester 3a capable of obtaining the FBM. Further, by providing the FBM acquisition devices DUTA and DUTB, it is possible to accumulate fail bits, and to add a fail memory at a low cost (for a memory tester). , N devices for FBM acquisition, FBMs of n devices under test can be acquired simultaneously in one test pattern. Further, the ASIC 6a can be simplified as compared with the case where the FBM is acquired by using, for example, a method of latching an address in the ASIC 6a.

【0059】以上、本発明者によってなされた発明をそ
の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前
記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiment, the invention is not limited to the embodiment, and various modifications may be made without departing from the gist of the invention. It goes without saying that it is possible.

【0060】たとえば、前記実施の形態においては、P
Cに実装されたDIMMなどのメモリモジュールと等価
な試験で選別を行い、不良デバイスの解析が可能なメモ
リ評価システムに適用した場合について説明したが、S
IMM(Single In−line Memory
Module)などの他のメモリモジュールや、メモ
リ単体の不良デバイスの解析にも適用可能であり、さら
にメモリモジュールとしては、SDRAMに限らず、D
RAM,SRAMなどについても広く適用可能であるこ
とはいうまでもない。
For example, in the above embodiment, P
In the above description, a case is described in which a selection is performed by a test equivalent to a memory module such as a DIMM mounted on C and a memory evaluation system capable of analyzing a defective device is applied.
IMM (Single In-line Memory)
The present invention can be applied to analysis of other memory modules such as an external memory module and a defective device of a single memory.
It goes without saying that the present invention can be widely applied to RAM, SRAM, and the like.

【0061】また、本発明は、PC実装選別装置に効果
的であるが、さらにメモリテスタのハードウェアシステ
ムとしても適用することができる。たとえば、基準とな
る信号をメモリテスタから取り出し、ASICで信号分
配およびパス/フェイル判定を行う。また、同時にFB
M取得用デバイスにはフェイルビットが貯えられるた
め、これをメモリテスタでリードすることでFBMを得
ることができる。
Although the present invention is effective for a PC-mounted sorting apparatus, it can be further applied to a hardware system of a memory tester. For example, a reference signal is taken out from the memory tester, and the ASIC performs signal distribution and pass / fail determination. At the same time, FB
Since the fail bit is stored in the M acquisition device, an FBM can be obtained by reading the fail bit with a memory tester.

【0062】[0062]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
Advantageous effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described.
It is as follows.

【0063】(1)FBM取得回路およびフェイル時書
き込みデータ保持回路を含むASICを搭載した評価ボ
ードと、FBMの取得が可能なメモリテスタを有するこ
とで、廉価なメモリテスタを用いて、不良解析に必要な
FBM、フェイル時書き込みデータパターンの情報を取
得することが可能となる。
(1) Since an evaluation board equipped with an ASIC including an FBM acquisition circuit and a write data holding circuit at the time of failure and a memory tester capable of acquiring an FBM are provided, an inexpensive memory tester can be used for failure analysis. Necessary FBM and information on the write data pattern at the time of failure can be acquired.

【0064】(2)被検査デバイスと同一製品の良品の
メモリをFBM取得用デバイスまたはフェイル時書き込
みデータ保持用デバイスとして挿入するFBM取得用ま
たはフェイル時書き込みデータ保持用ソケットを搭載し
た評価ボードを有することで、フェイルビットの蓄積が
可能となり、またフェイル用メモリを安価(対メモリテ
スタ)で増設でき、1つのテストパターンにて同時に複
数個の被検査デバイスのFBM、フェイル時書き込みデ
ータを取得することが可能となる。
(2) An evaluation board equipped with an FBM acquisition or fail-time write data holding socket for inserting a non-defective memory of the same product as the device under test as an FBM acquisition device or a fail-time write data holding device. This makes it possible to accumulate fail bits, add a fail memory at a low cost (for a memory tester), and obtain FBM of a plurality of devices to be inspected and write data at the time of a failure simultaneously with one test pattern. Becomes possible.

【0065】(3)前記(1),(2)により、複数個
の被検査デバイスのFBM、フェイル時書き込みデータ
の取得方法として、評価ボードに搭載するASICを簡
素化することが可能となる。
(3) According to the above (1) and (2), the ASIC mounted on the evaluation board can be simplified as a method of acquiring the FBM of a plurality of devices under test and write data at the time of failure.

【0066】(4)前記(1),(2)により、不良解
析に必要な情報が容易に得られるので、不良解析のTA
Tを短縮することが可能となる。
(4) According to the above (1) and (2), information necessary for failure analysis can be easily obtained.
T can be shortened.

【0067】(5)前記(1),(2)により、メモリ
製品の選別および不良解析で使用している高速メモリテ
スタの負担が低減でき、他方で低速メモリテスタの使用
が可能となるので、テスタ投資のコストを低減すること
が可能となる。
(5) According to the above (1) and (2), the burden on the high-speed memory tester used for memory product selection and failure analysis can be reduced, and on the other hand, the low-speed memory tester can be used. The cost of tester investment can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態1のメモリ評価システムを
示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a memory evaluation system according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態1のメモリ評価システムに
おいて、FBM取得用およびフェイル時書き込みデータ
保持用コマンド変換回路を示す構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram showing a command conversion circuit for acquiring an FBM and holding write data during a failure in the memory evaluation system according to the first embodiment of the present invention;

【図3】本発明の実施の形態1のメモリ評価システムに
おいて、被検査デバイスのリードコマンド変換を示すタ
イミング図である。
FIG. 3 is a timing chart showing read command conversion of a device under test in the memory evaluation system according to the first embodiment of the present invention;

【図4】本発明の実施の形態1のメモリ評価システムに
おいて、被検査デバイスのライトコマンド変換を示すタ
イミング図である。
FIG. 4 is a timing chart showing write command conversion of a device under test in the memory evaluation system according to the first embodiment of the present invention;

【図5】本発明の実施の形態2のメモリ評価システムを
示す構成図である。
FIG. 5 is a configuration diagram illustrating a memory evaluation system according to a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 マザーボード 2,2a 評価ボード 3,3a メモリテスタ 4 基準デバイス 5 基準PC 6,6a ASIC 7〜9,7a〜9a 被検査デバイス用ソケット 10,11,10a,11a FBM取得用ソケット 12 コマンド変換回路 13,14 セレクタ 15 ラッチ回路 21 デコーダ 22 ライトコマンド発生回路 23 ノップコマンド発生回路 24,25 セレクタ&位相調整回路 26,27 位相調整回路 31 基準デバイス用ソケット 32 FBM用回路 33 ラッチ回路 DUT1〜DUT3 被検査デバイス DUTA,DUTB FBM取得用デバイス EXOR1〜EXOR3 EXORゲート ASW1〜ASW3,BSW1〜BSW3,FSW1〜
FSW3,DSWA,DSWB,TSW1〜TSW3,
TSWA,TSWB,CSW1〜CSW3,DSW1,
DSW2 スイッチ DUTR 基準デバイス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Motherboard 2, 2a Evaluation board 3, 3a Memory tester 4 Reference device 5 Reference PC 6, 6a ASIC 7-9, 7a-9a Socket for device under test 10, 11, 10a, 11a Socket for FBM acquisition 12 Command conversion circuit 13 , 14 selector 15 latch circuit 21 decoder 22 write command generation circuit 23 nop command generation circuit 24, 25 selector & phase adjustment circuit 26, 27 phase adjustment circuit 31 reference device socket 32 FBM circuit 33 latch circuit DUT1 to DUT3 device under test DUTA, DUTB FBM acquisition device EXOR1 to EXOR3 EXOR gate ASW1 to ASW3, BSW1 to BSW3, FSW1
FSW3, DSWA, DSWB, TSW1 to TSW3
TSWA, TSWB, CSW1 to CSW3, DSW1,
DSW2 Switch DUTR Reference Device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青木 英之 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体グループ内 Fターム(参考) 2G032 AA07 AC03 AE07 AE08 AE10 AE11 AG07 AH01 AH04 AK16 5B018 GA03 HA01 NA01 QA13 5L106 DD24 EE02  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Hideyuki Aoki 5-2-1, Kamimizuhoncho, Kodaira-shi, Tokyo F-term in Hitachi Semiconductor Group 2G032 AA07 AC03 AE07 AE08 AE10 AE11 AG07 AH01 AH04 AK16 5B018 GA03 HA01 NA01 QA13 5L106 DD24 EE02

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基準デバイスとなる良品のメモリを実装
し、前記基準デバイスをリード/ライト動作させる制御
回路を含む基準機と、 パス/フェイル判定回路、FBM取得回路およびフェイ
ル時書き込みデータ保持回路を含むASICと、被検査
デバイス用ソケットおよびFBM取得用またはフェイル
時書き込みデータ保持用ソケットを搭載した評価ボード
と、 FBMの取得が可能なメモリテスタとを有し、 前記被検査デバイス用ソケットに被検査デバイスのメモ
リを挿入し、前記FBM取得用またはフェイル時書き込
みデータ保持用ソケットに前記被検査デバイスと同一製
品の良品のメモリをFBM取得用デバイスまたはフェイ
ル時書き込みデータ保持用デバイスとして挿入し、前記
FBM取得回路により前記被検査デバイスのFBMを前
記FBM取得用デバイスに取得し、前記フェイル時書き
込みデータ保持回路により前記被検査デバイスのフェイ
ル時書き込みデータを前記フェイル時書き込みデータ保
持用デバイスに取得することを特徴とするメモリ評価シ
ステム。
A reference device including a control circuit for mounting a non-defective memory serving as a reference device and performing a read / write operation of the reference device, a pass / fail determination circuit, an FBM acquisition circuit, and a write data holding circuit at the time of failure. An ASIC that includes a device-under-test socket and an FBM acquisition or fail-time write data holding socket; and a memory tester that can acquire an FBM. Inserting a memory of a device and inserting a non-defective memory of the same product as the device to be inspected into the socket for holding the FBM or holding write data at the time of fail as the device for holding FBM or holding the write data at the time of fail; Before the FBM of the device under test by the acquisition circuit A memory evaluation system for acquiring the FBM acquisition device, and acquiring the fail write data of the device under test by the fail write data holding circuit by the fail write data holding circuit.
【請求項2】 請求項1記載のメモリ評価システムであ
って、前記FBM取得回路により前記被検査デバイスの
FBMを前記FBM取得用デバイスに取得する場合に、 前記被検査デバイスのリード時、前記基準デバイスの出
力と前記被検査デバイスの出力とをEXOR判定する手
段と、 前記被検査デバイスに入力されるリードコマンドをライ
トコマンドに変換し、ライトデータをEXORの判定値
として前記FBM取得用デバイスを動作させる手段と、 前記メモリテスタにて、期待値“L”で前記FBM取得
用デバイスをスキャンかつリードして前記被検査デバイ
スのフェイルアドレスを取得する手段とを有することを
特徴とするメモリ評価システム。
2. The memory evaluation system according to claim 1, wherein when the FBM acquisition circuit acquires the FBM of the device under test by the device for FBM acquisition, the reference is used when reading the device under test. Means for EXOR-determining the output of the device and the output of the device under test, converting the read command input to the device under test into a write command, and operating the device for FBM acquisition using the write data as the EXOR determination value Means for causing the memory tester to scan and read the FBM acquisition device with an expected value “L” to acquire a fail address of the device under test.
【請求項3】 請求項1記載のメモリ評価システムであ
って、前記フェイル時書き込みデータ保持回路により前
記被検査デバイスのフェイル時書き込みデータを前記フ
ェイル時書き込みデータ保持用デバイスに取得する場合
に、 前記基準デバイスと前記被検査デバイスのEXOR判定
後の出力をラッチする手段と、 前記被検査デバイスの出力判定ラッチが“H”と同時に
それ以降、前記フェイル時書き込みデータ保持用デバイ
スに対するライトを停止する手段と、 前記メモリテスタにて、前記フェイル時書き込みデータ
保持用デバイスをリードしてFBMを取得し、前記被検
査デバイスのフェイル時のマット内書き込みデータを取
得する手段とを有することを特徴とするメモリ評価シス
テム。
3. The memory evaluation system according to claim 1, wherein the fail-time write data holding circuit acquires fail-time write data of the device under test to the fail-time write data holding device. Means for latching the output after the EXOR judgment of the reference device and the device under test, and means for stopping the writing to the write data holding device at the time of failure after the output judgment latch of the device under test becomes "H" Means for reading the write data holding device at the time of fail by the memory tester to obtain an FBM, and acquiring write data in the mat at the time of the fail of the device under test. Evaluation system.
【請求項4】 請求項1、2または3記載のメモリ評価
システムであって、前記メモリテスタは、 1DUT分のFBMの取得が可能な低速テスタであるこ
とを特徴とするメモリ評価システム。
4. The memory evaluation system according to claim 1, wherein the memory tester is a low-speed tester capable of acquiring an FBM for one DUT.
【請求項5】パス/フェイル判定回路およびFBM取得
回路を含むASICと、基準デバイス用ソケット、被検
査デバイス用ソケットおよびFBM取得用ソケットを搭
載した評価ボードと、 基準デバイスをリード/ライト動作させる制御回路を含
み、FBMの取得が可能なメモリテスタとを有し、 前記基準デバイス用ソケットに良品のメモリである前記
基準デバイスを挿入し、前記被検査デバイス用ソケット
に被検査デバイスのメモリを挿入し、前記FBM取得用
ソケットに前記被検査デバイスと同一製品の良品のメモ
リをFBM取得用デバイスとして挿入し、前記FBM取
得回路により前記被検査デバイスのFBMを前記FBM
取得用デバイスに取得することを特徴とするメモリ評価
システム。
5. An ASIC including a pass / fail determination circuit and an FBM acquisition circuit, an evaluation board equipped with a socket for a reference device, a socket for a device under test, and a socket for FBM acquisition, and control for performing read / write operations on the reference device. A memory tester including a circuit, capable of acquiring an FBM, inserting the reference device, which is a non-defective memory, into the reference device socket, and inserting the memory of the device under test into the socket for the device under test. A non-defective memory of the same product as the device under test is inserted into the socket for FBM acquisition as a device for FBM acquisition, and the FBM of the device under test is replaced by the FBM by the FBM acquisition circuit.
A memory evaluation system obtained by an acquisition device.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010537264A (en) * 2007-08-17 2010-12-02 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション Programmable diagnostic memory module

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