JP2002033337A - Component-mounting device - Google Patents

Component-mounting device

Info

Publication number
JP2002033337A
JP2002033337A JP2000212775A JP2000212775A JP2002033337A JP 2002033337 A JP2002033337 A JP 2002033337A JP 2000212775 A JP2000212775 A JP 2000212775A JP 2000212775 A JP2000212775 A JP 2000212775A JP 2002033337 A JP2002033337 A JP 2002033337A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
unit
light beam
substrate
component mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000212775A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kinji Ogawa
謹治 小川
Sadao Sano
定男 佐野
Kazuo Sato
一男 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DAIWA HOOYUU KK
Sodick Co Ltd
Original Assignee
DAIWA HOOYUU KK
Sodick Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DAIWA HOOYUU KK, Sodick Co Ltd filed Critical DAIWA HOOYUU KK
Priority to JP2000212775A priority Critical patent/JP2002033337A/en
Publication of JP2002033337A publication Critical patent/JP2002033337A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component-mounting device, capable of accurately mounting a component on a prescribed position on a substrate. SOLUTION: A collet 71a sucks and carries the component 3 from a component supply part 4 to a posture correction part 6 and places the component 3 on a relay table 6c. The component 3 is clamped between a positioning part 6a and the positioning part 6b, and the attitude is corrected, so as to make the component end faces 3a and 3b be parallel with respect to a parallel light beam B. A dimension measurement part 9 measures a component length to compute the position deviation amount between a component center position and a component suction position. The collet 72a sucks and carries the component 3, whose attitude is corrected in a prescribed direction from the attitude correction part 6 to a component-mounting part 5. An operation control part corrects the positional deviation amount so as to make the collet 72a mount the component 3 on the prescribed position on the substrate 2. As a result, the component is positioned and mounted accurately, regardless of the positional deviation between the component center position and the component suction position or the dispersion of a component dimension.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、基板上の所定位
置に部品を装着する部品装着装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a component mounting apparatus for mounting a component at a predetermined position on a board.

【0002】[0002]

【従来の技術】図10は、従来の部品装着装置の主要部
を概略的に示す平面図及び正面図であり、図10(A)
は部品供給部であり、図10(B)は姿勢修正部であ
り、図10(C)は部品装着部である。従来の部品装着
装置101は、図10に示すように、部品供給部104
と、部品装着部105と、姿勢修正部106と、部品搬
送部107とを備えている。従来の部品装着装置101
では、部品供給部104が部品103を供給すると、部
品搬送部107が部品103をピックアップして姿勢修
正部106に搬送して、姿勢修正部106が部品103
の方向と位置を修正する。そして、部品搬送部107が
姿勢修正部106で部品103を再度ピックアップして
部品装着部105に搬送し、基板102上の所定位置に
部品103を装着する。基板102上には接着剤が予め
塗布されており、基板102上に部品103が固定され
る。
2. Description of the Related Art FIG. 10 is a plan view and a front view schematically showing a main part of a conventional component mounting apparatus.
10B is a component supply unit, FIG. 10B is a posture correction unit, and FIG. 10C is a component mounting unit. As shown in FIG. 10, the conventional component mounting apparatus 101 includes a component supply unit 104.
, A component mounting unit 105, a posture correction unit 106, and a component transport unit 107. Conventional component mounting apparatus 101
Then, when the component supply unit 104 supplies the component 103, the component transport unit 107 picks up the component 103, transports the component 103 to the attitude correction unit 106, and the attitude correction unit 106
Correct the direction and position of. Then, the component transport unit 107 picks up the component 103 again by the posture correction unit 106, transports the component 103 to the component mounting unit 105, and mounts the component 103 at a predetermined position on the board 102. An adhesive is applied on the substrate 102 in advance, and the component 103 is fixed on the substrate 102.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の部品装
着装置101では、姿勢修正部106で部品103を吸
着するときに、部品103の中心位置と部品103の吸
着位置との間に位置ずれ(位置誤差)を生じることがあ
った。特に、従来の部品装着装置101では、製造過程
で部品103に寸法のばらつきが発生するために、姿勢
修正部106によって部品103の位置と方向を完全に
修正することが困難であり位置ずれが生じることがあっ
た。その結果、基板102上の所定位置からずれた位置
に部品103が装着されてしまうおそれがあった。
However, in the conventional component mounting apparatus 101, when the component 103 is picked up by the posture correction unit 106, the position is shifted between the center position of the component 103 and the picked-up position of the component 103. Position error). In particular, in the conventional component mounting apparatus 101, since the dimensions of the component 103 vary during the manufacturing process, it is difficult to completely correct the position and the direction of the component 103 by the posture correction unit 106, resulting in a displacement. There was something. As a result, there is a possibility that the component 103 may be mounted at a position shifted from a predetermined position on the substrate 102.

【0004】この発明の課題は、基板上の所定位置に部
品を正確に装着することができる部品装着装置を提供す
ることである。
[0004] It is an object of the present invention to provide a component mounting apparatus capable of accurately mounting a component at a predetermined position on a substrate.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明は、以下のよう
な解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発
明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これ
に限定するものではない。請求項1の発明は、基板
(2)上の所定位置に部品(3)を装着する部品装着装
置であって、前記部品が供給される部品供給部(4)
と、前記部品の姿勢を所定方向に修正する姿勢修正部
(6)と、前記基板上に前記部品が装着される部品装着
部(5)と、前記部品供給部から前記姿勢修正部に前記
部品を吸着し搬送するとともに、この姿勢修正部から前
記部品装着部にこの部品を吸着し搬送する部品搬送部
(7)と、前記姿勢修正部から前記部品装着部に前記部
品搬送部が前記部品を搬送するときに、前記所定方向に
姿勢が修正されたこの部品に光を照射してこの部品の寸
法(L0 )を測定する寸法測定部(9)と、前記寸法測
定部の測定結果に基づいて、前記部品の中心位置
(P1 )と前記部品の吸着位置(P2 )との間の位置ず
れ量(ΔL)を演算する位置ずれ量演算部(10)と、
前記部品搬送部が前記基板上の所定位置に前記部品を装
着するように、前記位置ずれ量を補正してこの部品搬送
部を動作制御する動作制御部(11)とを含む部品装着
装置(1)である。
The present invention solves the above-mentioned problems by the following means. Note that the description will be given with reference numerals corresponding to the embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to this. The invention according to claim 1 is a component mounting apparatus for mounting a component (3) at a predetermined position on a substrate (2), wherein the component supply unit (4) to which the component is supplied.
A posture correction unit (6) for correcting the posture of the component in a predetermined direction, a component mounting unit (5) for mounting the component on the board, and the component supply unit to the component correction unit. And a component transport unit (7) that sucks and transports the component from the attitude correction unit to the component mounting unit, and the component transport unit transfers the component from the attitude correction unit to the component mounting unit. A dimensional measuring unit (9) for irradiating light to the part whose posture has been corrected in the predetermined direction to measure the dimension (L 0 ) of the part when transporting, and based on a measurement result of the dimensional measuring unit. A displacement amount calculator (10) for calculating a displacement amount (ΔL) between the center position (P 1 ) of the component and the suction position (P 2 ) of the component;
An operation control unit (1) including an operation control unit (11) that corrects the displacement amount and controls the operation of the component transport unit so that the component transport unit mounts the component at a predetermined position on the substrate. ).

【0006】請求項2の発明は、請求項1に記載の部品
装着装置において、前記姿勢修正部は、前記寸法測定部
が照射する平行光線(B)に対して部品端面(3a,3
b)が平行になる方向に前記部品の姿勢を修正し、前記
寸法測定部は、前記平行光線を照射する発光部(9a)
と、前記平行光線のうち前記部品が反射する光線以外の
光線を受光する受光部(9c)と、前記受光部が受光す
る前記平行光線のうち前記部品端面を通過する光線に基
づいて、前記部品の中心位置を測定する中心位置測定部
(9e)とを含むことを特徴とする部品装着装置であ
る。
According to a second aspect of the present invention, in the component mounting apparatus according to the first aspect, the posture correcting section is configured to detect the parallel light rays (B) emitted by the dimension measuring section from the component end surfaces (3a, 3a).
b) correcting the orientation of the component in a direction in which the component becomes parallel, and the dimension measuring unit emits the parallel light beam to the light emitting unit (9a).
A light receiving unit (9c) for receiving a light beam other than the light beam reflected by the component among the parallel light beams; and a light beam passing through the component end face among the parallel light beams received by the light receiving unit. And a center position measuring unit (9e) for measuring the center position of the component.

【0007】請求項3の発明は、請求項1又は請求項2
に記載の部品装着装置において、前記動作制御部は、前
記部品の寸法にばらつきがあるときには、前記部品端面
を基準に所定の間隔(g)を開けて前記基板上に前記部
品を装着するように、前記部品搬送部を動作制御するこ
とを特徴とする部品装着装置である。
[0007] The third aspect of the present invention is the first or second aspect.
In the component mounting device described in the above, when the dimensions of the component vary, the operation control unit may mount the component on the substrate at a predetermined interval (g) based on the component end surface. And a component mounting device for controlling the operation of the component transport unit.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施形態について詳しく説明する。図1は、この発明
の実施形態に係る部品装着装置の平面図である。図2
は、この発明の実施形態に係る部品装着装置の正面図で
ある。図3は、この発明の実施形態に係る部品装着装置
の側面図である。図4は、この発明の実施形態に係る部
品装着装置の主要部を概略的に示す平面図及び正面図で
あり、図4(A)は部品供給部であり、図4(B)は姿
勢修正部であり、図4(C)は寸法測定部であり、図4
(D)は部品装着部である。図5は、この発明の実施形
態に係る部品装着装置のブロック図である。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG.
1 is a front view of a component mounting device according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a side view of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. 4A and 4B are a plan view and a front view schematically showing a main part of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 4A shows a component supply unit, and FIG. FIG. 4C is a dimension measurement unit, and FIG.
(D) is a component mounting part. FIG. 5 is a block diagram of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【0009】部品装着装置1は、基板2上の所定位置に
部品3を装着する装置である。基板2は、リードフレー
ムやパッケージなどである。部品3は、ウェーハを切断
したダイ(半導体チップ)などの電子部品である。部品
装着装置1は、図1〜図5に示すように、部品供給部4
と、部品装着部5と、姿勢修正部6と、部品搬送部7
と、撮像部8と、寸法測定部9と、位置ずれ量演算部1
0と、動作制御部11とを備えている。
The component mounting device 1 is a device for mounting a component 3 at a predetermined position on a substrate 2. The substrate 2 is a lead frame, a package, or the like. The component 3 is an electronic component such as a die (semiconductor chip) obtained by cutting a wafer. As shown in FIGS. 1 to 5, the component mounting apparatus 1 includes a component supply unit 4.
, A component mounting unit 5, a posture correction unit 6, and a component transport unit 7
, An imaging unit 8, a dimension measurement unit 9, and a displacement amount calculation unit 1
0 and an operation control unit 11.

【0010】部品供給部4は、部品3が供給される部分
である。部品供給部4は、図1〜図5に示すように、リ
ニアテーブル4aと、リニアモータ4bと、位置検出部
4cと、ウェーハ台4dとを備えている。図1〜図4に
示すリニアテーブル4aは、Y軸方向に移動して部品3
を位置決めする。図1〜図3に示すリニアモータ4b
は、リニアテーブル4aをY軸方向に駆動するモータで
ある。図5に示す位置検出部4cは、リニアテーブル4
aの駆動位置を検出する装置であり現在位置信号を動作
制御部11に出力する。図1〜図3に示すウェーハ台4
dは、部品3を保持するウェーハシート(粘着性樹脂テ
ープ)を搭載しており、このウェーハシート上から部品
3がピックアップされるピックアップステージである。
The component supply section 4 is a section to which the component 3 is supplied. As shown in FIGS. 1 to 5, the component supply unit 4 includes a linear table 4a, a linear motor 4b, a position detection unit 4c, and a wafer table 4d. The linear table 4a shown in FIGS.
Position. Linear motor 4b shown in FIGS.
Is a motor that drives the linear table 4a in the Y-axis direction. The position detector 4c shown in FIG.
This is a device that detects the drive position of “a” and outputs a current position signal to the operation control unit 11. Wafer table 4 shown in FIGS.
Reference numeral d denotes a pickup stage on which a wafer sheet (adhesive resin tape) holding the component 3 is mounted, and the component 3 is picked up from the wafer sheet.

【0011】部品装着部5は、基板2上に部品3が装着
される部分である。部品装着部5は、図1に示すよう
に、テーブル5aと基板マガジン5bとを備えている。
テーブル5aは、基板2上の所定位置に部品3が装着さ
れるプレースステージである。基板マガジン5bは、基
板3を自動的に交換する装置である。
The component mounting section 5 is a portion where the component 3 is mounted on the board 2. As shown in FIG. 1, the component mounting section 5 includes a table 5a and a board magazine 5b.
The table 5a is a place stage on which the component 3 is mounted at a predetermined position on the substrate 2. The substrate magazine 5b is a device for automatically replacing the substrate 3.

【0012】姿勢修正部6は、部品3の姿勢を所定方向
に修正する装置である。姿勢修正部6は、図4(B)
(C)に示すように、寸法測定部9が照射する平行光線
Bに対して部品端面3a,3bが平行になる方向に部品
3の姿勢を修正する。姿勢修正部6は、図4及び図5に
示すように、位置決め部6a,6bと、中継テーブル6
cと、スライド駆動部6dとを備えている。図4(B)
に示す位置決め部6aは、部品3を位置決めする略L字
状の部材でありテーブル6c上に固定されている。位置
決め部6bは、位置決め部6aに向けて部品3を押し付
けて、位置決め部6bとの間で部品3を挟み込み位置決
めする部材である。中継テーブル6cは、図1に示すよ
うに、部品供給部4と部品装着部5との間に配置された
中間ステージである。図5に示すスライド駆動部6d
は、中継テーブル6c上で位置決め部6bを矢印方向に
スライドさせる駆動装置である。
The posture correcting section 6 is a device for correcting the posture of the component 3 in a predetermined direction. The posture correction unit 6 is configured as shown in FIG.
As shown in (C), the orientation of the component 3 is corrected in a direction in which the component end faces 3a and 3b become parallel to the parallel light beam B emitted by the dimension measuring unit 9. As shown in FIGS. 4 and 5, the posture correcting section 6 includes a positioning section 6 a, 6 b and a relay table 6.
c and a slide drive unit 6d. FIG. 4 (B)
Is a substantially L-shaped member for positioning the component 3, and is fixed on the table 6c. The positioning portion 6b is a member that presses the component 3 toward the positioning portion 6a and sandwiches and positions the component 3 with the positioning portion 6b. The relay table 6c is an intermediate stage arranged between the component supply unit 4 and the component mounting unit 5, as shown in FIG. Slide drive unit 6d shown in FIG.
Is a drive device for sliding the positioning portion 6b in the direction of the arrow on the relay table 6c.

【0013】部品搬送部7は、部品供給部4から姿勢修
正部6に部品3を吸着し搬送するとともに、姿勢修正部
6から部品装着部5に部品3を吸着し搬送する装置であ
る。部品搬送部7は、図1に示すように、第1搬送部7
1と第2搬送部72とを備えている。この実施形態で
は、第1搬送部71及び第2搬送部72を同一方向に駆
動させてピックアップ動作とプレース動作とを独立させ
ているために、装着作業の高速化を図ることができる。
The component transport unit 7 is a device that sucks and transports the component 3 from the component supply unit 4 to the attitude correction unit 6 and sucks and transports the component 3 from the attitude correction unit 6 to the component mounting unit 5. As shown in FIG. 1, the component transport unit 7 includes a first transport unit 7.
1 and a second transport section 72. In this embodiment, since the first transport unit 71 and the second transport unit 72 are driven in the same direction to make the pick-up operation and the place operation independent, the mounting operation can be speeded up.

【0014】第1搬送部71は、部品供給部4から姿勢
修正部6に部品3を吸着し搬送する装置である。第1搬
送部71は、図1〜図5に示すように、コレット71a
と、アーム71bと、昇降駆動部71cと、リニアテー
ブル71dと、リニアモータ71eと、位置検出部71
fと、後退駆動部71gと、突き上げユニット71h
と、アンダーアーム71iと、昇降駆動部71jとを備
えている。
The first transport unit 71 is a device for sucking and transporting the component 3 from the component supply unit 4 to the attitude correcting unit 6. As shown in FIGS. 1 to 5, the first transport unit 71 includes a collet 71a.
, An arm 71b, a lifting drive unit 71c, a linear table 71d, a linear motor 71e, a position detection unit 71
f, retraction drive 71g, push-up unit 71h
, An under arm 71i, and a lifting drive unit 71j.

【0015】コレット71aは、部品3を吸着して保持
する吸着保持具である。図1〜図4に示すコレット71
aは、ウェーハ台4dから部品3をピックアップして中
継テーブル6c上で部品3を吸着解除する。アーム71
bは、コレット71aを支持する部材である。図5に示
す昇降駆動部71cは、コレット71aを上下方向に駆
動する装置である。図1及び図3に示すリニアテーブル
71dは、アーム71bやアンダーアーム71i、撮像
部8等をX軸方向に移動して位置決めする位置決め装置
である。リニアテーブル71dは、コレット71aが部
品3を吸着すると部品供給部4から姿勢修正部6に移動
して、コレット71aが部品3を吸着解除すると姿勢修
正部6から部品供給部4に戻る。リニアモータ71e
は、リニアテーブル71dをX軸方向に駆動するモータ
である。図5に示す位置検出部71fは、リニアテーブ
ル71dの駆動位置を検出するセンサであり現在位置信
号を動作制御部11に出力する。図1及び図3、図5に
示す後退駆動部71gは、コレット71aを退避駆動す
る装置である。後退駆動部71gは、撮像部8が部品3
の撮像を行う際にコレット71aが邪魔になるので、コ
レット71aをアーム71bごとY軸方向に駆動し、コ
レット71aを撮像部8の撮像範囲から一時的に退避さ
せる。図1〜図3に示す突き上げユニット71hは、ウ
ェーハ台4dのウェーハシートから部品3を剥離させる
ための装置である。突き上げユニット71hは、図1〜
図3に示すように、コレット71aが部品3を吸着する
位置の真下に位置する。突き上げユニット71hはエジ
ェクタピンを備えており、コレット71aが部品3を吸
着する際、部品3の下からエジェクタピンで部品3を突
き上げて、ウェーハシートから部品3を剥離させる。ア
ンダーアーム71iは、突き上げユニット71hを支持
する部材である。図2に示す昇降駆動部71jは、突き
上げユニット71hを上下方向に駆動する装置である。
昇降駆動部71jは、第1搬送部71が部品供給部4か
ら姿勢修正部6に移動する際、突き上げユニット71h
が姿勢修正部6に衝突しないよう退避させる為に、ま
た、第1搬送部71が姿勢修正部6から部品供給部4に
移動する際、退避させた突き上げユニット71hをウェ
ーハ台4dに接近させる為に、突き上げユニット71h
を上下方向に駆動する。
The collet 71a is a suction holder for sucking and holding the component 3. Collet 71 shown in FIGS.
a picks up the component 3 from the wafer table 4d and releases the component 3 by suction on the relay table 6c. Arm 71
b is a member that supports the collet 71a. 5 is a device that drives the collet 71a in the vertical direction. The linear table 71d shown in FIGS. 1 and 3 is a positioning device that moves and positions the arm 71b, the under arm 71i, the imaging unit 8, and the like in the X-axis direction. The linear table 71d moves from the component supply unit 4 to the attitude correction unit 6 when the collet 71a sucks the component 3, and returns from the attitude correction unit 6 to the component supply unit 4 when the collet 71a releases the component 3. Linear motor 71e
Is a motor that drives the linear table 71d in the X-axis direction. 5 is a sensor that detects the drive position of the linear table 71d, and outputs a current position signal to the operation control unit 11. The retraction drive 71g shown in FIGS. 1, 3, and 5 is a device that retreats and drives the collet 71a. The reversing drive unit 71g is configured such that the imaging unit 8
Since the collet 71a is in the way when performing the imaging, the collet 71a is driven together with the arm 71b in the Y-axis direction to temporarily retract the collet 71a from the imaging range of the imaging unit 8. The push-up unit 71h shown in FIGS. 1 to 3 is an apparatus for separating the component 3 from the wafer sheet of the wafer table 4d. The push-up unit 71h is shown in FIGS.
As shown in FIG. 3, the collet 71a is located immediately below the position where the component 3 is sucked. The push-up unit 71h includes an ejector pin. When the collet 71a sucks the component 3, the component 3 is pushed up from below the component 3 by the ejector pin, and the component 3 is separated from the wafer sheet. The under arm 71i is a member that supports the push-up unit 71h. 2 is a device that drives the push-up unit 71h in the up-down direction.
When the first transport unit 71 moves from the component supply unit 4 to the posture correction unit 6, the lifting drive unit 71j raises the push-up unit 71h.
In order not to collide with the attitude correction unit 6, and to make the retracted push-up unit 71 h approach the wafer table 4 d when the first transport unit 71 moves from the attitude correction unit 6 to the component supply unit 4. And push-up unit 71h
Is driven up and down.

【0016】第2搬送部72は、姿勢修正部6から部品
装着部5に部品3を吸着し搬送する装置である。第2搬
送部72は、図1〜図5に示すように、コレット72a
と、アーム72bと、昇降駆動部72cと、リニアテー
ブル72dと、リニアモータ72eと、位置検出部72
fとを備えている。第2搬送部72は、第1搬送部71
における部品3を吸着し搬送する部分のみの構造であ
り、以下ではその構造を簡単に説明する。図1及び図4
に示すコレット72aは、中継テーブル6cから部品3
をピックアップしてテーブル5a上の基板2で部品3を
吸着解除する。図1に示すリニアテーブル72dは、ア
ーム72bをX軸方向に移動して位置決めする位置決め
装置である。リニアテーブル72dは、コレット72a
が部品3を吸着すると姿勢修正部6から部品装着部5に
移動し、コレット72aが部品3を吸着解除すると部品
装着部5から姿勢修正部6に戻る。リニアモータ72e
は、リニアテーブル72dをX軸方向に駆動するモータ
である。図5に示す位置検出部72fは、リニアテーブ
ル72dの駆動位置を検出するセンサであり現在位置信
号を動作制御部11に出力する。
The second transport section 72 is a device for sucking and transporting the component 3 from the attitude correcting section 6 to the component mounting section 5. As shown in FIGS. 1 to 5, the second transport section 72 includes a collet 72 a
, Arm 72b, lifting drive 72c, linear table 72d, linear motor 72e, position detector 72
f. The second transport unit 72 includes the first transport unit 71
Is a structure of only a part for sucking and conveying the component 3 in the above, and the structure will be briefly described below. 1 and 4
The collet 72a shown in FIG.
Is picked up, and the component 3 is released by the board 2 on the table 5a. The linear table 72d shown in FIG. 1 is a positioning device that moves and positions the arm 72b in the X-axis direction. The linear table 72d includes a collet 72a.
Moves from the posture correction unit 6 to the component mounting unit 5 when the component 3 is sucked, and returns from the component mounting unit 5 to the posture correction unit 6 when the collet 72a releases the component 3 from suction. Linear motor 72e
Is a motor for driving the linear table 72d in the X-axis direction. 5 is a sensor that detects the drive position of the linear table 72d, and outputs a current position signal to the operation control unit 11.

【0017】撮像部8は、部品3を撮像する装置であ
る。撮像部8は、コレット71aが部品3を吸着すると
きの中心位置(吸着位置)を認識したり、不良品の吸着
を防止するために部品3に表示された不良マークを認識
するCCDカメラなどである。撮像部8は、図1から図
3に示すように、コレット71aが部品3を吸着する位
置及び突き上げユニット71hの真上に設置されてい
る。撮像部8が部品3の撮像を行う際、コレット71a
が撮像範囲にあり部品3の撮像邪魔となるので、後退駆
動部71gによりコレット71aを撮像範囲から一時的
に退避させる。撮像部8は、撮像した画像情報を動作制
御部11に出力する。
The imaging section 8 is an apparatus for imaging the component 3. The imaging unit 8 is a CCD camera or the like that recognizes a center position (suction position) when the collet 71a sucks the component 3 and that recognizes a defective mark displayed on the component 3 in order to prevent suction of a defective product. is there. As shown in FIGS. 1 to 3, the imaging unit 8 is installed at a position where the collet 71 a sucks the component 3 and directly above the push-up unit 71 h. When the imaging unit 8 captures an image of the component 3, the collet 71a
Is in the imaging range and interferes with the imaging of the component 3, so that the retraction driving unit 71g temporarily retracts the collet 71a from the imaging range. The imaging unit 8 outputs the captured image information to the operation control unit 11.

【0018】図6は、この発明の実施形態に係る部品装
着装置の寸法測定部の斜視図である。図7は、この発明
の実施形態に係る部品装着装置における寸法測定部の測
定動作を説明するための図である。寸法測定部9は、姿
勢修正部6から部品装着部5に部品搬送部7が部品3を
搬送するときに、所定方向に姿勢が修正された部品3に
光を照射してこの部品3の寸法を測定する装置である。
寸法測定部9は、例えば、レーザ光を照射して部品3の
長さを測定するレーザ測長器などである。寸法測定部9
は、図5及び図6に示すように、発光部9aと、スリッ
ト部9b,9dと、受光部9cと、中心位置測定部9e
とを備えている。寸法測定部9は、図6に示すように、
姿勢修正部6の上方に配置されている。
FIG. 6 is a perspective view of a dimension measuring unit of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 7 is a diagram for explaining a measuring operation of the dimension measuring unit in the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. When the component transporting unit 7 transports the component 3 from the attitude correcting unit 6 to the component mounting unit 5, the dimension measuring unit 9 irradiates light to the component 3 whose orientation has been corrected in a predetermined direction, and measures the dimension of the component 3. Is a device for measuring
The dimension measuring unit 9 is, for example, a laser length measuring device that irradiates a laser beam to measure the length of the component 3. Dimension measurement unit 9
As shown in FIGS. 5 and 6, the light emitting unit 9a, the slit units 9b and 9d, the light receiving unit 9c, and the center position measuring unit 9e
And As shown in FIG. 6, the dimension measuring unit 9
It is arranged above the posture correction unit 6.

【0019】発光部9aは、平行光線Bを照射する装置
である。発光部9aは、図7に示すように、測定開始位
置(基準位置)PS から測定終了位置PE に向けて、部
品端面3a,3bに対して平行な平行光線BをA方向に
走査する。スリット部9bは、発光部9aが照射する平
行光線Bの照射領域を所定範囲内(開口面積内)に制限
する長方形状の開口部である。スリット部9bは、図7
に示すように、一方の短辺が測定開始位置PS と重な
り、他方の短辺が測定終了位置PE と重なる。
The light emitting section 9a is a device that emits a parallel light beam B. Emitting portion 9a, as shown in FIG. 7, the measurement start position (reference position) toward the P S to the measurement end position P E, scans the component end face 3a, the collimated beam B parallel to 3b in the direction A . The slit portion 9b is a rectangular opening that limits the irradiation area of the parallel light beam B irradiated by the light emitting section 9a within a predetermined range (within the opening area). FIG. 7 shows the slit portion 9b.
As shown in (1), one short side overlaps the measurement start position P S, and the other short side overlaps the measurement end position P E.

【0020】受光部9cは、発光部9aが照射する平行
光線Bのうち部品3が反射する光線以外の光線を受光す
る装置である。受光部9cは、発光部9aの走査タイミ
ングと同期して平行光線Bを受光する。スリット部9d
は、スリット部9bを通過した平行光線Bのみを受光部
9dに入射させる開口部であり、スリット部9bと同一
形状である。
The light receiving portion 9c is a device for receiving light beams other than the light beams reflected by the component 3 among the parallel light beams B emitted by the light emitting portion 9a. The light receiving unit 9c receives the parallel light beam B in synchronization with the scanning timing of the light emitting unit 9a. 9d slit
Is an opening that allows only the parallel light beam B passing through the slit 9b to enter the light receiving portion 9d, and has the same shape as the slit 9b.

【0021】中心位置測定部9eは、受光部9cが受光
する平行光線Bのうち部品端面3a,3bを通過する光
線に基づいて、部品中心位置P1 を測定する装置であ
る。中心位置測定部9eは、平行光線Bを部品3の側面
が反射して影になる部品3の投影像(暗部分)に基づい
て、測定開始位置PS から一方の部品端面3aまでの距
離L1 と、測定開始位置PS から他方の部品端面3bま
での距離L2 とを演算してこの部品長さL0 を測定す
る。
The center position measuring unit 9e on the basis of the light passing through the component end face 3a, and 3b of the parallel rays B to the light-receiving portion 9c are received, a device for measuring the component center position P 1. Center position measuring section 9e, based parallel rays B projected image of the component 3 side of the part 3 becomes shadow reflected (dark portion), the distance from the measurement start position P S to one part end face 3a L 1, calculates the distance L 2 from the measurement start position P S to the other part end face 3b to measure this component length L 0.

【0022】位置ずれ量演算部10は、寸法測定部9の
測定結果に基づいて、部品中心位置P1 と部品吸着位置
2 との間の位置ずれ量ΔLを演算する部分である。コ
レット72aは、図7に示すように、測定開始位置PS
に対して一定の距離L3 で昇降動作して部品3を吸着す
るために、測定開始位置PS と部品吸着位置P2 との間
の距離L3 は一定値である。位置ずれ量演算部10は、
部品長さL0 の半分(L0 /2)と距離L1 とを加算し
て測定開始位置PS から部品中心位置P1 までの距離L
4 を演算するとともに、距離L3 と距離L4 との差を演
算して、位置ずれ量ΔLを演算する。
The displacement calculator 10 calculates the displacement ΔL between the component center position P 1 and the component suction position P 2 based on the measurement result of the dimension measuring unit 9. Collet 72a, as shown in FIG. 7, the measurement start position P S
To pick up the components 3 and elevating operation at a fixed distance L 3 relative to the distance L 3 between the measurement start position P S and the component pickup position P 2 is a constant value. The displacement calculating unit 10 calculates
Distance L half part length L 0 (L 0/2) and the distance L 1 and the measurement start position P S by adding to component center position P 1
4 as well as calculating a difference between the distance L 3 and the distance L 4 calculates, for calculating a positional deviation amount [Delta] L.

【0023】図5に示す動作制御部11は、部品装着装
置1の種々の動作を制御する中央処理部(CPU)であ
る。動作制御部11は、部品搬送部7が基板2上の所定
位置に部品3を装着するように、寸法測定部9が出力す
る位置ずれ量ΔLを補正して部品搬送部7を動作制御す
る。また、動作制御部11は、位置検出部4c,71
f,72fが出力する現在位置信号に基づいて、リニア
モータ4b,71e,72eを動作制御するとともに、
昇降駆動部71c,72c及びスライド駆動部6dを動
作制御する。
The operation control unit 11 shown in FIG. 5 is a central processing unit (CPU) for controlling various operations of the component mounting apparatus 1. The operation control unit 11 controls the operation of the component transport unit 7 by correcting the positional deviation amount ΔL output by the dimension measuring unit 9 so that the component transport unit 7 mounts the component 3 at a predetermined position on the substrate 2. In addition, the operation control unit 11 includes the position detection units 4c, 71
The operation of the linear motors 4b, 71e, and 72e is controlled based on the current position signals output by the f and 72f.
The operation of the elevation drive units 71c and 72c and the slide drive unit 6d is controlled.

【0024】記憶部12は、部品形状に応じて位置ずれ
量ΔLを補正するための補正データを記憶するメモリで
ある。記憶部12は、部品形状が四角形である場合と円
形である場合とでは受光部11cの出力信号が変化する
ために、この出力信号を補正するための補正値などを記
憶する。記憶部12は、動作制御部11が位置ずれ量Δ
Lを補正するときに必要に応じて補正データを出力す
る。この実施形態では、部品形状に応じて位置ずれ量Δ
Lを高精度に補正するために、装着速度を向上させるこ
とができる。
The storage section 12 is a memory for storing correction data for correcting the positional deviation amount ΔL according to the component shape. The storage unit 12 stores a correction value or the like for correcting the output signal because the output signal of the light receiving unit 11c changes depending on whether the component shape is a square or a circle. The storage unit 12 stores the position shift amount Δ
When correcting L, correction data is output as needed. In this embodiment, the positional deviation amount Δ
In order to correct L with high accuracy, the mounting speed can be improved.

【0025】次に、この発明の実施形態に係る部品装着
装置の動作を説明する。図8は、この発明の実施形態に
係る部品装着装置の動作を説明するためのフローチャー
トである。ステップ(以下、Sという)100におい
て、部品供給部4が部品3を供給する。部品3は、図示
しないダイシング装置によって複数に分割されており、
ウェーハ台4d上に搭載されている。動作制御部11が
リニアモータ4bを駆動制御すると、リニアテーブル4
aが部品3を供給位置に搬送する。そして、動作制御部
11がリニアモータ4b,71cを駆動制御すると、リ
ニアテーブル4aがY軸方向に移動するとともにリニア
テーブル71dがX軸方向に移動して、XY平面内の所
定位置に部品3が位置決めされる。動作制御部11は、
撮像部8が出力する画像情報に基づいて、部品3が良品
であるか不良品であるかを判定するとともに部品3の中
心位置を認識する。
Next, the operation of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention will be described. FIG. 8 is a flowchart for explaining the operation of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. In step (hereinafter, referred to as S) 100, the component supply unit 4 supplies the component 3. The part 3 is divided into a plurality of parts by a dicing device (not shown).
It is mounted on the wafer table 4d. When the operation control unit 11 drives and controls the linear motor 4b, the linear table 4
a transports the part 3 to the supply position. When the operation control unit 11 controls the driving of the linear motors 4b and 71c, the linear table 4a moves in the Y-axis direction and the linear table 71d moves in the X-axis direction, and the component 3 is moved to a predetermined position in the XY plane. Positioned. The operation control unit 11
Based on the image information output by the imaging unit 8, it is determined whether the component 3 is good or defective, and the center position of the component 3 is recognized.

【0026】S200において、第1搬送部71が部品
3を吸着する。突き上げユニット71hに備えられたエ
ジェクタピンが部品3を突き上げてウェーハシートと部
品3とを分離すると、動作制御部11が昇降駆動部71
cを駆動制御する。その結果、図4(A)に示すよう
に、コレット71aが下降して部品3を吸着して所定高
さまで上昇する。
In S200, the first transport section 71 sucks the component 3. When the ejector pins provided in the push-up unit 71h push up the component 3 to separate the wafer sheet from the component 3, the operation control unit 11 causes the elevation drive unit 71 to move.
c is driven and controlled. As a result, as shown in FIG. 4A, the collet 71a descends, sucks the component 3, and rises to a predetermined height.

【0027】S300において、部品供給部4から姿勢
修正部6に第1搬送部71が部品3を搬送する。動作制
御部11は、位置検出部71fが出力する現在位置信号
に基づいて、リニアテーブル71dが目標位置まで駆動
するようにリニアモータ71eを駆動制御して、リニア
テーブル71dを姿勢修正部6まで移動させ停止させ
る。動作制御部11が昇降駆動部71cを駆動制御する
と、図4(B)に示すように、コレット71aが下降し
て中継テーブル6c上に部品3を置く。
In step S300, the first transport unit 71 transports the component 3 from the component supply unit 4 to the attitude correcting unit 6. The operation control unit 11 drives and controls the linear motor 71e based on the current position signal output from the position detection unit 71f so that the linear table 71d drives to the target position, and moves the linear table 71d to the posture correction unit 6. And stop. When the operation control unit 11 drives and controls the elevation drive unit 71c, the collet 71a descends and places the component 3 on the relay table 6c as shown in FIG. 4B.

【0028】S400において、姿勢修正部6が部品3
の姿勢を修正する。駆動制御部11がスライド駆動部6
dを駆動制御すると、中継テーブル6c上を位置決め部
6bがスライドする。その結果、図4(B)及び図6に
示すように、位置決め部6aと位置決め部6bとの間に
部品3が挟み込まれて、部品端面3a,3bが平行光線
Bに対して平行になり部品3の姿勢が修正される。
In S400, the posture correction unit 6
Correct the posture of the player. The drive control unit 11 is a slide drive unit 6
When the driving of d is controlled, the positioning section 6b slides on the relay table 6c. As a result, as shown in FIGS. 4B and 6, the component 3 is sandwiched between the positioning portion 6a and the positioning portion 6b, and the component end surfaces 3a and 3b become parallel to the parallel light beam B. The posture of No. 3 is corrected.

【0029】S500において、第2搬送部72が部品
3を吸着する。動作制御部11が昇降駆動部72cを駆
動制御すると、図4(C)及び図6に示すように、コレ
ット72aが下降して所定方向に姿勢が修正された部品
3を吸着する。そして、発光部9aと受光部9cとが対
向する位置までコレット72aが上昇する。
In S500, the second transport section 72 sucks the component 3. When the operation control section 11 drives and controls the elevation drive section 72c, as shown in FIGS. 4C and 6, the collet 72a descends and sucks the component 3 whose posture has been corrected in a predetermined direction. Then, the collet 72a moves up to a position where the light emitting unit 9a and the light receiving unit 9c face each other.

【0030】S600において、寸法測定部9が部品3
の寸法を測定する。図7に示すように、測定開始位置P
S から測定終了位置PE に向けて平行光線Bを走査する
ように、駆動制御部11が発光部9aを動作制御する。
その結果、中心位置測定部9eが部品長さL0 を測定す
る。
In step S600, the dimension measuring unit 9 sets the component 3
Measure the dimensions of As shown in FIG. 7, the measurement start position P
To scan the collimated light beam B toward the measurement end position P E of S, the drive control unit 11 controls the operation of the light emitting portion 9a.
As a result, the center position measuring unit 9e measures the component length L 0.

【0031】S700において、位置ずれ量演算部10
が位置ずれ量ΔLを演算する。位置ずれ量演算部10
は、寸法測定部9の測定結果に基づいて、部品中心位置
3 と部品吸着位置P2 との間の位置ずれ量ΔLを演算
する。
In step S700, the displacement amount calculating unit 10
Calculates the displacement amount ΔL. Position shift amount calculation unit 10
Calculates the positional deviation amount ΔL between the component center position P 3 and the component suction position P 2 based on the measurement result of the dimension measuring unit 9.

【0032】S800において、姿勢修正部6から部品
装着部5に第2搬送部72が部品3を搬送する。動作制
御部11は、位置検出部72fが出力する現在位置信号
に基づいて、リニアテーブル72dが目標位置まで駆動
するようにリニアモータ72eを駆動制御して、リニア
テーブル72dを部品装着部5まで移動させ停止させ
る。
In S800, the second transport section 72 transports the component 3 from the attitude correction section 6 to the component mounting section 5. The operation control unit 11 drives and controls the linear motor 72e based on the current position signal output from the position detection unit 72f so that the linear table 72d drives to the target position, and moves the linear table 72d to the component mounting unit 5. And stop.

【0033】S900において、第2搬送部72が基板
2上の所定位置に部品3を装着する。動作制御部11が
位置ずれ量ΔLだけ目標位置を修正するようにリニアモ
ータ72eを動作制御すると、リニアテーブル72dが
X軸方向に移動して位置ずれ量ΔLが補正される。その
結果、動作制御部11が昇降駆動部72cを駆動制御し
てコレット72aが下降すると、基板2上の所定位置に
部品3が装着される。
In S900, the second transport section 72 mounts the component 3 at a predetermined position on the substrate 2. When the operation control unit 11 controls the operation of the linear motor 72e so as to correct the target position by the displacement amount ΔL, the linear table 72d moves in the X-axis direction to correct the displacement amount ΔL. As a result, when the operation control section 11 drives and controls the elevation drive section 72c to lower the collet 72a, the component 3 is mounted at a predetermined position on the substrate 2.

【0034】図9は、この発明の実施形態に係る部品装
着装置において部品の寸法にばらつきがあるときの装着
動作を説明するための図である。部品3は、図9に示す
ように、ダイシング装置がウェーハを切断するときの位
置ずれなどによって寸法にばらつきがある。寸法測定部
9は、このような寸法にばらつきのある部品長さL01
02,L03を測定して、それぞれの部品3について位置
ずれ量ΔL01,ΔL02,ΔL03を位置ずれ量演算部10
が演算する。動作制御部11は、これらの位置ずれ量Δ
01,ΔL02,ΔL03を補正するように、リニアモータ
72eを駆動制御する。その結果、部品3の寸法のばら
つきに関わらず、部品端面3aを基準に装着間隔gを開
けて、基板2上に部品3が装着される。
FIG. 9 is a view for explaining the mounting operation when the dimensions of the components vary in the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 9, the dimensions of the component 3 vary due to a displacement or the like when the dicing apparatus cuts the wafer. The dimension measuring section 9 calculates the component length L 01 ,
L 02 and L 03 are measured, and the positional deviation amounts ΔL 01 , ΔL 02 , and ΔL 03 are calculated for each of the components 3 by the positional deviation amount calculating unit 10.
Is calculated. The operation control unit 11 calculates the displacement amount Δ
The drive of the linear motor 72e is controlled so as to correct L 01 , ΔL 02 , and ΔL 03 . As a result, the component 3 is mounted on the board 2 with a mounting interval g based on the component end face 3a regardless of the variation in the dimensions of the component 3.

【0035】この発明の実施形態に係る部品装着装置に
は、以下に記載するような効果がある。 (1) この実施形態では、所定方向に姿勢が修正された部
品3に光を照射して、部品中心位置P1 と部品吸着位置
2 との間の位置ずれ量ΔLを演算し、基板2上の所定
位置に部品3を装着するように位置ずれ量ΔLを補正す
る。このために、部品中心位置P1 からずれた位置で部
品3を吸着した場合や、部品3の個々の大きさにばらつ
きがある場合であっても、基板2上の所定位置に部品3
を高精度で位置決めすることができるとともに、装着精
度を向上させることができる。
The component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention has the following effects. (1) In this embodiment, by irradiating light to the component 3 posture is corrected in the predetermined direction, and calculates the position displacement amount ΔL between the component center position P 1 and the component suction position P 2, the substrate 2 The position shift amount ΔL is corrected so that the component 3 is mounted at the upper predetermined position. For this, and if the adsorbed parts 3 at a position shifted from the component center position P 1, even if there are variations in individual size of the parts 3, part 3 to a predetermined position on the substrate 2
Can be positioned with high accuracy, and the mounting accuracy can be improved.

【0036】(2) この実施形態では、平行光線Bに対し
て部品端面3a,3bが平行になる方向に部品3の姿勢
が修正されて、この平行光線Bのうち部品端面3a,3
bを通過する光線に基づいて部品中心位置P1 が測定さ
れる。その結果、部品3の寸法を測定する前に部品3の
姿勢を所定方向に修正するために、装置の構造が簡単に
なるとともに、装着速度を向上させることができる。
(2) In this embodiment, the orientation of the component 3 is corrected so that the component end faces 3a and 3b become parallel to the parallel light beam B, and the component end faces 3a and 3
component center position P 1 on the basis of the light passing through the b is measured. As a result, since the posture of the component 3 is corrected in a predetermined direction before measuring the dimensions of the component 3, the structure of the device can be simplified and the mounting speed can be improved.

【0037】(3) この実施形態では、部品3の寸法にば
らつきがあるときには、部品端面3aを基準に所定の間
隔gを開けて基板2上に部品3を装着するように、部品
搬送部72を動作制御部11が動作制御する。例えば、
コピー機などで使用されるスキャン用半導体素子は、各
素子間の間隔が均一になるようにセンサ基板上に装着す
る必要がある。このように、部品中心位置P1 ではなく
部品端面3aを基準とする装着位置精度が要求される場
合に、部品3の大きさにばらつきがあっても、装着精度
を向上させることができる。
(3) In this embodiment, when there is a variation in the dimensions of the component 3, the component transport section 72 is mounted such that the component 3 is mounted on the board 2 at a predetermined interval g based on the component end surface 3a. Is controlled by the operation control unit 11. For example,
Scanning semiconductor elements used in copiers and the like must be mounted on a sensor substrate so that the intervals between the elements are uniform. Thus, when the mounting position accuracy relative to the component center position P 1 rather than the component end face 3a is required, even if there are variations in the size of the part 3, it is possible to improve the mounting accuracy.

【0038】この発明は、以上説明した実施形態に限定
するものではなく、以下に記載するように種々の変形又
は変更が可能であり、これらもこの発明の範囲内であ
る。 (1) この実施形態では、リードフレームなどにダイを装
着するダイボンディング装置を例に挙げて説明したが、
モールドされたチップをプリント基板上に装着するチッ
プマウンタについても、この発明を適用することができ
る。また、この実施形態では、位置決め部6aと位置決
め部6bとの間に部品3を挟み込んで位置決めしている
が、ノズルなどによって部品3を吸引して位置決めして
もよい。
The present invention is not limited to the embodiment described above, but various modifications or changes can be made as described below, and these are also within the scope of the present invention. (1) In this embodiment, a die bonding apparatus for mounting a die on a lead frame or the like has been described as an example.
The present invention can also be applied to a chip mounter for mounting a molded chip on a printed circuit board. Further, in this embodiment, the component 3 is sandwiched and positioned between the positioning portion 6a and the positioning portion 6b. However, the component 3 may be positioned by suctioning the component 3 with a nozzle or the like.

【0039】(2) この実施形態では、第1搬送部71が
ピックアップ動作し、第2搬送部72がプレース動作し
ているが、一つの搬送装置によってこれらの動作をさせ
てもよい。また、この実施形態では、部品3のX軸方向
の装着位置を補正しているが、寸法測定部9を2台設置
して部品3の長さと幅を測定し、部品3のX軸方向及び
Y軸方向の装着位置を補正してもよい。
(2) In this embodiment, the first transport unit 71 performs the pick-up operation, and the second transport unit 72 performs the place operation. However, these operations may be performed by a single transport device. In this embodiment, the mounting position of the component 3 in the X-axis direction is corrected. However, two dimension measuring units 9 are installed to measure the length and width of the component 3, and the X-axis direction and the component 3 are measured. The mounting position in the Y-axis direction may be corrected.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上説明したように、この発明による
と、所定方向に姿勢が修正された部品に光を照射して、
部品の中心位置と部品の吸着位置との間の位置ずれ量を
演算し、基板上の所定位置に部品を装着するように位置
ずれ量を補正するので、基板上の所定位置に部品を正確
に装着することができる。
As described above, according to the present invention, a part whose posture is corrected in a predetermined direction is irradiated with light,
Calculates the amount of misalignment between the center position of the component and the pick-up position of the component, and corrects the amount of misalignment so that the component is mounted at a predetermined position on the board. Can be installed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施形態に係る部品装着装置の平面
図である。
FIG. 1 is a plan view of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の実施形態に係る部品装着装置の正面
図である。
FIG. 2 is a front view of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図3】この発明の実施形態に係る部品装着装置の側面
図である。
FIG. 3 is a side view of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図4】この発明の実施形態に係る部品装着装置の主要
部を概略的に示す平面図及び正面図であり、(A)は部
品供給部であり、(B)は姿勢修正部であり、(C)は
寸法測定部であり、(D)は部品装着部である。
4A and 4B are a plan view and a front view schematically showing a main part of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention, wherein FIG. 4A is a component supply unit, FIG. (C) is a dimension measuring unit, and (D) is a component mounting unit.

【図5】この発明の実施形態に係る部品装着装置のブロ
ック図である。
FIG. 5 is a block diagram of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図6】この発明の実施形態に係る部品装着装置の寸法
測定部の斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view of a dimension measuring unit of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図7】この発明の実施形態に係る部品装着装置におけ
る寸法測定部の測定動作を説明するための図である。
FIG. 7 is a diagram for explaining a measuring operation of a dimension measuring unit in the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図8】この発明の実施形態に係る部品装着装置の動作
を説明するためのフローチャートである。
FIG. 8 is a flowchart for explaining the operation of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図9】この発明の実施形態に係る部品装着装置におい
て部品の寸法にばらつきがあるときの装着動作を説明す
るための図である。
FIG. 9 is a view for explaining a mounting operation when there is a variation in dimensions of components in the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図10】従来の部品装着装置の主要部を概略的に示す
平面図及び正面図であり、(A)は部品供給部であり、
(B)は姿勢修正部であり、(C)は部品装着部であ
る。
10A and 10B are a plan view and a front view schematically showing a main part of a conventional component mounting apparatus, wherein FIG. 10A is a component supply unit,
(B) is a posture correction unit, and (C) is a component mounting unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 部品装着装置 2 基板 3 部品 3a,3b 部品端面 4 部品供給部 5 部品装着部 6 姿勢修正部 7 部品搬送部 71 第1搬送部 72 第2搬送部 9 寸法測定部 9a 発光部 9c 受光部 9e 中心位置測定部 10 位置ずれ量演算部 11 動作制御部 B 平行光線 L0 ,L01,L02,L03 部品長さ ΔL,ΔL01,ΔL02,ΔL03 位置ずれ量 P1 部品中心位置 P2 部品吸着位置 g 装着間隔DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting apparatus 2 Substrate 3 Component 3a, 3b Component end surface 4 Component supply part 5 Component mounting part 6 Attitude correction part 7 Component transfer part 71 First transfer part 72 Second transfer part 9 Dimension measurement part 9a Light emission part 9c Light reception part 9e Center position measurement unit 10 Position shift amount calculation unit 11 Operation control unit B Parallel rays L 0 , L 01 , L 02 , L 03 Component length ΔL, ΔL 01 , ΔL 02 , ΔL 03 Position shift amount P 1 Component center position P 2 Parts adsorption position g Mounting interval

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐野 定男 神奈川県横浜市緑区長津田町5289番地 株 式会社ソディック長津田事業所内 (72)発明者 佐藤 一男 大阪府大阪市北区西天満4丁目4番8号 株式会社台和ホーユー内 Fターム(参考) 5E313 AA03 AA11 CC04 EE02 EE03 EE24 FF06 FF33 5F031 CA13 FA02 FA12 GA23 KA02 KA11 MA35 5F047 FA08 FA14 FA73  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Sadao Sano 5289 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Sodick Nagatsuda Office (72) Inventor Kazuo Sato 4-4-2 Nishitenma, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka No. F-term in Taiwa Hoyu Co., Ltd. (reference) 5E313 AA03 AA11 CC04 EE02 EE03 EE24 FF06 FF33 5F031 CA13 FA02 FA12 GA23 KA02 KA11 MA35 5F047 FA08 FA14 FA73

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上の所定位置に部品を装着する部品
装着装置であって、 前記部品が供給される部品供給部と、 前記部品の姿勢を所定方向に修正する姿勢修正部と、 前記基板上に前記部品が装着される部品装着部と、 前記部品供給部から前記姿勢修正部に前記部品を吸着し
搬送するとともに、この姿勢修正部から前記部品装着部
にこの部品を吸着し搬送する部品搬送部と、 前記姿勢修正部から前記部品装着部に前記部品搬送部が
前記部品を搬送するときに、前記所定方向に姿勢が修正
されたこの部品に光を照射してこの部品の寸法を測定す
る寸法測定部と、 前記寸法測定部の測定結果に基づいて、前記部品の中心
位置と前記部品の吸着位置との間の位置ずれ量を演算す
る位置ずれ量演算部と、 前記部品搬送部が前記基板上の所定位置に前記部品を装
着するように、前記位置ずれ量を補正してこの部品搬送
部を動作制御する動作制御部と、 を含む部品装着装置。
1. A component mounting apparatus that mounts a component at a predetermined position on a substrate, a component supply unit to which the component is supplied, an attitude correction unit that corrects an attitude of the component in a predetermined direction, and the substrate. A component mounting unit on which the component is mounted, and a component that sucks and conveys the component from the component supply unit to the posture correcting unit, and suctions and conveys the component from the posture correcting unit to the component mounting unit. A transport unit, and when the component transport unit transports the component from the attitude correction unit to the component mounting unit, irradiates light to the component whose orientation has been corrected in the predetermined direction and measures the dimension of the component. A dimension measuring unit that performs, a displacement calculating unit that calculates a displacement between a center position of the component and a suction position of the component based on a measurement result of the dimension measuring unit; At a predetermined position on the substrate The serial parts to be worn, the component mounting apparatus comprising, an operation control unit which controls the operation of the component conveying unit by correcting the positional deviation amount.
【請求項2】 請求項1に記載の部品装着装置におい
て、 前記姿勢修正部は、前記寸法測定部が照射する平行光線
に対して部品端面が平行になる方向に前記部品の姿勢を
修正し、 前記寸法測定部は、 前記平行光線を照射する発光部と、 前記平行光線のうち前記部品が反射する光線以外の光線
を受光する受光部と、 前記受光部が受光する前記平行光線のうち前記部品端面
を通過する光線に基づいて、前記部品の中心位置を測定
する中心位置測定部とを含むこと、 を特徴とする部品装着装置。
2. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein the posture correction unit corrects a posture of the component in a direction in which a component end face is parallel to a parallel light beam emitted by the dimension measurement unit, A light-emitting unit that irradiates the parallel light beam; a light-receiving unit that receives a light beam other than the light beam reflected by the component of the parallel light beam; and a component of the parallel light beam that the light-receiving unit receives. A center position measuring unit for measuring a center position of the component based on a light beam passing through the end face.
【請求項3】 請求項1又は請求項2に記載の部品装着
装置において、 前記動作制御部は、前記部品の寸法にばらつきがあると
きには、前記部品端面を基準に所定の間隔を開けて前記
基板上に前記部品を装着するように、前記部品搬送部を
動作制御すること、 を特徴とする部品装着装置。
3. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein the operation control unit is configured to, when there is variation in the dimensions of the component, leave a predetermined interval based on the component end surface to form the substrate. Controlling the operation of the component transport unit so as to mount the component on the component mounting device.
JP2000212775A 2000-07-13 2000-07-13 Component-mounting device Pending JP2002033337A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000212775A JP2002033337A (en) 2000-07-13 2000-07-13 Component-mounting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000212775A JP2002033337A (en) 2000-07-13 2000-07-13 Component-mounting device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002033337A true JP2002033337A (en) 2002-01-31

Family

ID=18708645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000212775A Pending JP2002033337A (en) 2000-07-13 2000-07-13 Component-mounting device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002033337A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012015253A (en) * 2010-06-30 2012-01-19 Yamaha Motor Co Ltd Component transport method, component transport device, and component mounting device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012015253A (en) * 2010-06-30 2012-01-19 Yamaha Motor Co Ltd Component transport method, component transport device, and component mounting device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR910003000B1 (en) Electronic component mounting system
JP6928134B2 (en) Electronic component mounting equipment and mounting method, and package component manufacturing method
US20090300908A1 (en) Electronic component mounter and mounting method
US6208419B1 (en) Method of and apparatus for bonding light-emitting element
KR101868781B1 (en) Placement machine and method for equipping a substrate with unhoused chips
TW201742171A (en) Chip bonding apparatus and method
KR20170110651A (en) Cutting device and cutting method
KR102132094B1 (en) Electronic component mounting device and electronic component mounting method
JP2009212254A (en) Chip mounting method and chip mounting apparatus
EP3764763A1 (en) Component mounting system
JP2002217597A (en) Method for detecting rotating central position of suction nozzle, and electrical component mounting system
JP6154915B2 (en) Component mounting equipment
JP2005114882A (en) Method for placing substrate on process stage, substrate exposure stage, and substrate exposure apparatus
JP4855347B2 (en) Parts transfer device
JP2002176300A (en) Device for detecting lead coplanarity, electronic part situation detecting device, and electronic part attaching system
JP4760752B2 (en) Component mounting device and mounting position accuracy measuring method in component mounting device
JP2008227400A (en) Electronic part mounting apparatus
JP2012248728A (en) Die bonder and bonding method
JP2003234598A (en) Component-mounting method and component-mounting equipment
US6266891B1 (en) Method of and apparatus for bonding component
JP2002033337A (en) Component-mounting device
JP2008153458A (en) Electronic component transfer apparatus and surface mounting machine
JP4562275B2 (en) Electrical component mounting system and accuracy inspection method thereof
JP7417371B2 (en) mounting equipment
JP2013168683A (en) Chip mounting method and chip mounting apparatus