JP2002032902A - Magnetic head and its manufacturing method - Google Patents

Magnetic head and its manufacturing method

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JP2002032902A
JP2002032902A JP2000218744A JP2000218744A JP2002032902A JP 2002032902 A JP2002032902 A JP 2002032902A JP 2000218744 A JP2000218744 A JP 2000218744A JP 2000218744 A JP2000218744 A JP 2000218744A JP 2002032902 A JP2002032902 A JP 2002032902A
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lead
terminal
magnetic head
bumps
terminals
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Koji Sasaki
浩司 佐々木
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head which can deal with miniaturization of a magnetic head element and a finer pitch of a terminal size and secure bonding strength and to provide its manufacturing method. SOLUTION: A terminal 4 formed on a substrate 2 of a magnetic head 1 and a lead terminal LT formed on a lead L surface connected with the magnetic head 1 are fixed by a bump B consisting of gold (Au) and the like and electrically connected with each other. The bump B is formed by integrally bonding the tip part of the terminal 4 and a tip part of the lead terminal LT to each other by using a wire bonding device such as a ball bonder. Thus, the magnetic head 1 can deal with the finer pitch of the terminal 4 and prevent a connection defect, since the terminal 4 and the lead terminal LT can be directly joined to each other by the bump B without using a bonding wire.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に対
して情報を記録・再生する磁気ヘッドおよびその製造方
法に関し、特に磁気ヘッドと配線リードとの電気的な接
続技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for recording / reproducing information on / from a magnetic recording medium and a method of manufacturing the same, and more particularly to an electrical connection technique between a magnetic head and a wiring lead.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気テープ装置では、磁気ヘッドに設け
られた端子と配線リードの表面端部に設けられたリード
端子とを、ワイヤボンディング装置などを用いてボンデ
ィングすることにより電気的に接続して磁気ヘッドの記
録電流を供給し、記録媒体に情報を記録、あるいは記録
された媒体から磁気ヘッドで再生信号を検出することに
よって再生している。
2. Description of the Related Art In a magnetic tape device, a terminal provided on a magnetic head and a lead terminal provided on a surface end of a wiring lead are electrically connected by bonding using a wire bonding device or the like. A recording current is supplied to a magnetic head, and information is recorded on a recording medium, or reproduction is performed by detecting a reproduction signal from the recorded medium with the magnetic head.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】近年の記録媒体におけ
る高容量化に伴う磁気ヘッドの小型化、および端子サイ
ズのファインピッチ化により、ワイヤボンディングによ
る接続技術では、隣接するワイヤの接触、小ボールボン
ド化に対応するためのワイヤ径の微細化によるワイヤの
断線、ならびにセカンドボンディング接合面積の縮小化
による接合強度不足などが生じてしまい、電気的接合の
不良が発生してしまうという問題がある。
Due to the miniaturization of the magnetic head and the fine pitch of the terminal size accompanying the recent increase in the capacity of the recording medium, the connection technique by wire bonding requires contact of adjacent wires and small ball bond. There is a problem that the wire is broken due to the reduction in the wire diameter to cope with the increase in the diameter, and the bonding strength is insufficient due to the reduction in the second bonding bonding area, and the electrical bonding is poor.

【0004】また、ワイヤボンディング部の樹脂補強に
よって、その樹脂の応力によるセカンド端子接合部のワ
イヤ断線が発生してしまうという問題もある。そこで本
発明は、上記課題を解決し、磁気ヘッド素子の小型化お
よび端子サイズのファインピッチ化に対応し、かつボン
ディング強度を確保することのできる磁気ヘッドおよび
その製造方法を提供することを目的とする。
[0004] Further, there is also a problem that the reinforcement of the resin at the wire bonding portion causes wire breakage at the second terminal bonding portion due to the stress of the resin. Accordingly, an object of the present invention is to provide a magnetic head capable of solving the above-described problems, responding to the miniaturization of the magnetic head element and the fine pitch of the terminal size, and ensuring the bonding strength, and a method of manufacturing the same. I do.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、磁気記録媒体に対して情報を記録・再生する磁
気ヘッドであって、先端部表面に複数のリード端子が形
成された配線リードと、記録信号、再生信号を検出する
磁気ヘッド素子が形成され、該リード端子に接続される
複数の端子が、配線リードの先端部に沿って設けられた
基板とを有し、配線リードのリード端子と基板の端子と
をバンプにより、それぞれ接続した構成により達成され
る。
According to the present invention, there is provided a magnetic head for recording / reproducing information on / from a magnetic recording medium, wherein a plurality of lead terminals are formed on a front end surface. A wiring lead, and a magnetic head element for detecting a recording signal and a reproduction signal are formed, and a plurality of terminals connected to the lead terminals have a substrate provided along a tip of the wiring lead; This is achieved by a configuration in which the lead terminals and the terminals of the substrate are connected by bumps.

【0006】また、上記目的は、本発明にあっては、磁
気記録媒体に対して情報を記録・再生する磁気ヘッドの
製造方法であって、先端部表面に複数のリード端子が形
成された配線リードと記録信号、再生信号を検出する磁
気ヘッド素子が形成され、該リード端子に接続される複
数の端子が、配線リードの先端部に沿って設けられた基
板と準備し、配線リードのリード配線と前記基板の端子
とをボンディングワイヤを溶融して形成したバンプによ
り接続することにより達成される。
Further, the present invention provides a method for manufacturing a magnetic head for recording / reproducing information on / from a magnetic recording medium, comprising: a wiring having a plurality of lead terminals formed on a front end surface; A lead and a magnetic head element for detecting a recording signal and a reproduction signal are formed, and a plurality of terminals connected to the lead terminal are prepared with a substrate provided along the tip of the wiring lead. And the terminals of the substrate are connected by a bump formed by melting a bonding wire.

【0007】上記構成によれば、バンプによって端子と
リード端子とを直接接合し、電気的に接続できるので、
ワイヤボンディングを不要にすることができる。このた
め、端子の微細ピッチ化、磁気ヘッド素子の小型化をで
きるとともに接続不良を防止することができる。
According to the above configuration, the terminal and the lead terminal can be directly joined and electrically connected by the bump.
Wire bonding can be eliminated. For this reason, it is possible to reduce the pitch of the terminals and to reduce the size of the magnetic head element, and it is possible to prevent poor connection.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態を
添付図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる
実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的
に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲
は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記
載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are added. It is not limited to these forms unless otherwise stated.

【0009】図1は、本発明の磁気ヘッドの実施形態を
示す側面図、図2(a)は、磁気ヘッドの実施形態を示
す斜視図、(b)は、磁気ヘッドの基板に形成された端
子とリードに形成されたリード端子との接続状態を示す
説明図である。この磁気ヘッド1は、図1、および図2
(a)、(b)に示すように、長方形状の半導体ウエハ
からなる基板2上に磁気ヘッド素子3が形成されてい
る。磁気ヘッド素子3は、基板2の一方の長辺部近傍に
形成されている。
FIG. 1 is a side view showing an embodiment of a magnetic head according to the present invention, FIG. 2A is a perspective view showing an embodiment of the magnetic head, and FIG. 2B is formed on a substrate of the magnetic head. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a connection state between a terminal and a lead terminal formed on a lead. This magnetic head 1 is shown in FIGS.
As shown in FIGS. 1A and 1B, a magnetic head element 3 is formed on a substrate 2 made of a rectangular semiconductor wafer. The magnetic head element 3 is formed near one long side of the substrate 2.

【0010】また、基板2の中央部近傍には複数の端子
4が設けられている。これら端子4は、導電材料からな
る長方形状の電極であり、約7mm程度の幅に46個程
度の端子4が等間隔で基板2上に形成されている。基板
2の表面には、支持溝5が設けられている。この支持溝
5は、エッチングなどによって、他方の長辺側の周辺部
から端子4の直前まで形成されている。支持溝5の深さ
は、磁気ヘッド1に接続されるリード(配線リード)L
の厚さと同じ程度となっており、支持溝5の幅も、リー
ドLの幅と同じ程度となっている。
Further, a plurality of terminals 4 are provided near the center of the substrate 2. These terminals 4 are rectangular electrodes made of a conductive material, and about 46 terminals 4 are formed on the substrate 2 at equal intervals with a width of about 7 mm. A support groove 5 is provided on the surface of the substrate 2. The support groove 5 is formed from the peripheral portion on the other long side to immediately before the terminal 4 by etching or the like. The depth of the support groove 5 depends on the lead (wiring lead) L connected to the magnetic head 1.
, And the width of the support groove 5 is also approximately the same as the width of the lead L.

【0011】リードLは、ポリイミド、ポリエステルな
どの樹脂をベースフィルムとして、屈曲性の優れた銅張
板にパターン加工を施したフレキシブル配線基板から構
成されている。また、リードLの先端の表面には、同じ
く導電材料から形成された複数のリード端子LTが設け
られている。これらリード端子LTも同様に、約7mm
程度の幅に46個程度の長方形状の電極が形成された構
成になっている。リード端子LTのピッチも、端子4と
同じピッチでそれぞれ形成されている。
The leads L are made of a flexible wiring board obtained by patterning a copper-clad board having excellent flexibility using a resin such as polyimide or polyester as a base film. Further, a plurality of lead terminals LT also formed of a conductive material are provided on the surface of the tip of the lead L. Similarly, these lead terminals LT are about 7 mm
It is configured such that about 46 rectangular electrodes are formed in a width of about 46 pieces. The lead terminals LT are also formed at the same pitch as the terminals 4.

【0012】さらに、基板2に設けられた支持溝5に
は、リードLの先端部がはめ込まれており、基板2の端
子4とリードLのリード端子LTとが、電気的にそれぞ
れ接続されている。前述したように支持溝5の深さがリ
ードLの厚さと同じ程度であるので、該支持溝5にリー
ドLの先端部をはめ込んだ際には、基板2の表面とリー
ドLの表面との高さが同じ、いわゆるツライチの状態と
なる。同様に、端子4の表面とリード端子LTの表面
も、それぞれツライチの状態になっている。
Further, the tips of the leads L are fitted into the support grooves 5 provided in the substrate 2, and the terminals 4 of the substrate 2 and the lead terminals LT of the leads L are electrically connected to each other. I have. As described above, since the depth of the support groove 5 is almost the same as the thickness of the lead L, when the tip of the lead L is fitted into the support groove 5, the surface of the substrate 2 and the surface of the lead L The height is the same, that is, a so-called lychee state. Similarly, the surface of the terminal 4 and the surface of the lead terminal LT are also in the state of slash.

【0013】そして、端子4とリード端子LTとの両方
の端子をブリッジするように、たとえば、金(Au)な
どからなるバンプBによって固定され、電気的に接続さ
れている。また、バンプBの材料は金以外でもよく、た
とえば、金合金、アルミニウム(Al)、アルミニウム
合金、あるいは銅(Cu)などでもよい。
Then, both terminals of the terminal 4 and the lead terminal LT are fixed by a bump B made of, for example, gold (Au) and are electrically connected so as to bridge. The material of the bump B may be other than gold, for example, a gold alloy, aluminum (Al), an aluminum alloy, or copper (Cu).

【0014】次に、磁気ヘッド1の基板2の端子4とリ
ードLのリード端子LTとの接続技術について説明す
る。まず、基板2に磁気ヘッド素子3、端子4、ならび
に支持溝5が形成された磁気ヘッド1と、リードLとを
準備する。そして、リード端子LTが形成されたリード
Lの先端部を支持溝にはめ込む。
Next, a technique for connecting the terminals 4 of the substrate 2 of the magnetic head 1 and the lead terminals LT of the leads L will be described. First, a magnetic head 1 having a magnetic head element 3, terminals 4, and a support groove 5 formed on a substrate 2, and a lead L are prepared. Then, the tip of the lead L on which the lead terminal LT is formed is fitted into the support groove.

【0015】その後、金属トーチが設けられたボールボ
ンダなどのワイヤボンディング装置を用いて、端子4の
先端部とリード端子LTの先端部とをブリッジするよう
にバンプBを形成し、これら端子4とリード端子LTと
をそれぞれ接合し、電気的に接続する。電気トーチは、
キャピラリ先端に出た金線などのワイヤを電極からの放
電エネルギによって溶融し、ボールを形成する。
Thereafter, using a wire bonding device such as a ball bonder provided with a metal torch, a bump B is formed so as to bridge the tip of the terminal 4 and the tip of the lead terminal LT. The lead terminals LT are respectively joined and electrically connected. Electric torch
A wire such as a gold wire protruding from the tip of the capillary is melted by the discharge energy from the electrode to form a ball.

【0016】このボールボンダは、第1ボンディングの
際に、電気トーチによってワイヤ先端に形成されたボー
ルをキャピラリで押しつけてボンディングした後、第2
ボンディングせずにワイヤを該ボールから引きちぎるこ
とによってバンプBが形成される。
In this ball bonder, at the time of the first bonding, a ball formed at the tip of the wire by an electric torch is pressed by a capillary and bonded, and then the second bonding is performed.
The bump B is formed by tearing the wire from the ball without bonding.

【0017】それにより、バンプBによって端子4とリ
ード端子LTとを直接接合し、それぞれ電気的接続こと
によって、ワイヤボンディングを不要にでき、端子4の
微細ピッチ化に対応するとともに接続不良を防止するこ
とができ、磁気ヘッドの信頼性を向上させることができ
る。また、上述した本実施の形態では、1つのバンプB
によって端子4の先端部とリード端子LTの先端部とを
ブリッジするように接続固定したが、2つ以上のバンプ
を用いてによる端子とリード端子とを接続固定するよう
にしてもよい。
Thus, the terminal 4 and the lead terminal LT are directly joined by the bumps B and electrically connected to each other, so that wire bonding can be eliminated, and the fine pitch of the terminals 4 can be coped with and the connection failure can be prevented. Therefore, the reliability of the magnetic head can be improved. In the above-described embodiment, one bump B
However, the terminal and the lead terminal may be connected and fixed by using two or more bumps.

【0018】図3、図4は、2つのバンプB1,B2に
よって接続された端子4とリード端子LTとの接続状態
を示す斜視図、図5は、3つのバンプB3〜B5によっ
て接続された端子4とリード端子LTとの接続状態を示
す斜視図、図6は、4つのバンプB6〜B9によって接
続された端子4とリード端子LTとの接続状態を示す斜
視図である。
FIGS. 3 and 4 are perspective views showing a connection state between a terminal 4 connected by two bumps B1 and B2 and a lead terminal LT, and FIG. 5 is a terminal connected by three bumps B3 to B5. FIG. 6 is a perspective view showing a connection state between the lead 4 and the lead terminal LT. FIG. 6 is a perspective view showing a connection state between the terminal 4 and the lead terminal LT connected by the four bumps B6 to B9.

【0019】2つのバンプB1,B2を用いる場合に
は、図3に示すように、2つのバンプB1,B2が端子
4とリード端子LTとをブリッジするように、該バンプ
B1,B2がいずれも端子4の幅方向(第1の方向)に
並べられ、かつバンプB1,B2がそれぞれ接触するよ
うに形成したり、あるいは図4に示すように、バンプB
1,B2を端子4の長手方向(第2の方向)に端子4と
リード端子LTとをブリッジする位置に設け、これらバ
ンプB1,B2は相互に接触するように形成する。これ
により、接合を補強することができる。
When two bumps B1 and B2 are used, as shown in FIG. 3, both bumps B1 and B2 are connected so that two bumps B1 and B2 bridge terminal 4 and lead terminal LT. The bumps B1 and B2 are arranged in the width direction (first direction) of the terminal 4 and are in contact with each other. Alternatively, as shown in FIG.
1 and B2 are provided in the longitudinal direction (second direction) of the terminal 4 at a position where the terminal 4 and the lead terminal LT are bridged, and the bumps B1 and B2 are formed so as to be in contact with each other. Thereby, joining can be reinforced.

【0020】また、3つのバンプB3〜B5を用いる場
合には、図5に示すように、端子4とリード端子LTと
をブリッジするように2つのバンプB3,B4を端子4
の幅方向に並べ、かつバンプB3,B4を補強するよう
に、端子4、またはリード端子RTのいずれかに該バン
プB3,B4の両方に接触して形成する。これにより、
接合強度をより強くすることができる。
When the three bumps B3 to B5 are used, as shown in FIG. 5, the two bumps B3 and B4 are connected to the terminal 4 so as to bridge the terminal 4 and the lead terminal LT.
Are formed in contact with both the bumps B3 and B4 on either the terminal 4 or the lead terminal RT so as to reinforce the bumps B3 and B4. This allows
The joining strength can be further increased.

【0021】さらに、4つのバンプB6〜B9を用いる
場合には、図6に示すように、端子4とリード端子LT
とをブリッジするように2つのバンプB6,B7を端子
4の幅方向に並べ、これらバンプを補強するように、端
子4、ならびにリード端子RTの両方に該バンプB3,
B4を補強するようにこれらバンプB3,B4の両方に
接触して形成する。これによって、接合強度を、より大
幅に強化することができる。
Further, when four bumps B6 to B9 are used, as shown in FIG. 6, the terminal 4 and the lead terminal LT are used.
And the two bumps B6 and B7 are arranged in the width direction of the terminal 4 so as to bridge the bumps B3 and B3 on both the terminal 4 and the lead terminal RT so as to reinforce these bumps.
B4 is formed in contact with both bumps B3 and B4 so as to reinforce B4. As a result, the joining strength can be further greatly enhanced.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、磁気ヘ
ッド素子の小型化を進めながら、磁気ヘッドの信頼性を
向上させることができる。
As described above, according to the present invention, the reliability of the magnetic head can be improved while the size of the magnetic head element is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の磁気ヘッドの実施形態を示す側面図。FIG. 1 is a side view showing an embodiment of a magnetic head according to the present invention.

【図2】(a)は、磁気ヘッドの実施形態を示す斜視
図、(b)は、磁気ヘッドの基板に形成された端子とリ
ードに形成されたリード端子との接続状態を示す説明
図。
FIG. 2A is a perspective view illustrating an embodiment of a magnetic head, and FIG. 2B is an explanatory diagram illustrating a connection state between terminals formed on a substrate of the magnetic head and lead terminals formed on leads.

【図3】本発明の他の実施の形態における磁気ヘッドの
端子とリード端子とを2つのバンプによって接続した接
続状態の一例を示す斜視図。
FIG. 3 is a perspective view showing an example of a connection state in which a terminal of a magnetic head and a lead terminal are connected by two bumps according to another embodiment of the present invention.

【図4】本発明の他の実施の形態における磁気ヘッドの
端子とリード端子とを2つのバンプによって接続した接
続状態の他の例を示す斜視図。
FIG. 4 is a perspective view showing another example of a connection state in which a terminal and a lead terminal of a magnetic head are connected by two bumps according to another embodiment of the present invention.

【図5】本発明の他の実施の形態における磁気ヘッドの
端子とリード端子とを3つのバンプによって接続した接
続状態の一例を示す斜視図。
FIG. 5 is a perspective view showing an example of a connection state in which a terminal of a magnetic head and a lead terminal are connected by three bumps according to another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の他の実施の形態における磁気ヘッドの
端子とリード端子とを4つのバンプによって接続した接
続状態の一例を示す斜視図。
FIG. 6 is a perspective view showing an example of a connection state in which a terminal and a lead terminal of a magnetic head are connected by four bumps according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・磁気ヘッド、2・・・基板、3・・・磁気ヘッ
ド素子、4・・・端子、5・・・支持溝、L・・・リー
ド(配線リード)、LT・・・リード端子、B・・・バ
ンプ、B1〜B9・・・バンプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic head, 2 ... Substrate, 3 ... Magnetic head element, 4 ... Terminal, 5 ... Support groove, L ... Lead (wiring lead), LT ... Lead terminal , B: bump, B1 to B9: bump

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気記録媒体に対して情報を記録・再生
する磁気ヘッドであって、 先端部表面に複数のリード端子が形成された配線リード
と、 記録信号、再生信号を検出する磁気ヘッド素子が形成さ
れ、前記リード端子に接続される複数の端子が、前記配
線リードの先端部に沿って設けられた基板とを有し、前
記配線リードのリード端子と前記基板の端子とをバンプ
により、それぞれ接続したことを特徴とする磁気ヘッ
ド。
1. A magnetic head for recording / reproducing information on / from a magnetic recording medium, comprising: a wiring lead having a plurality of lead terminals formed on the tip surface; and a magnetic head element for detecting a recording signal and a reproduction signal. Are formed, a plurality of terminals connected to the lead terminals have a substrate provided along the tip of the wiring leads, and the lead terminals of the wiring leads and the terminals of the substrate are bumped, Magnetic heads characterized by being connected to each other.
【請求項2】 磁気記録媒体に対して情報を記録・再生
する磁気ヘッドであって、 先端部表面に複数のリード端子が形成された配線リード
と、 記録信号、再生信号を検出する磁気ヘッド素子、および
前記配線リードの先端部を指示する支持溝が形成され、
前記リード端子に接続される複数の端子が、前記支持溝
に臨んで前記配線リードの先端部に沿って設けられた基
板とを有し、前記支持溝に前記配線リードをはめ込むこ
とによって、同一面となった前記配線リードのリード端
子と前記基板の端子とをバンプにより、それぞれ接続し
たことを特徴とする磁気ヘッド。
2. A magnetic head for recording / reproducing information on / from a magnetic recording medium, comprising: a wiring lead having a plurality of lead terminals formed on a tip end surface; and a magnetic head element for detecting a recording signal and a reproduction signal. , And a support groove for indicating the tip of the wiring lead is formed,
A plurality of terminals connected to the lead terminals have a substrate facing the support groove and provided along the tip of the wiring lead, and by fitting the wiring lead into the support groove, the same surface is provided. A lead terminal of the wiring lead and a terminal of the substrate are connected by bumps.
【請求項3】 前記基板に形成された支持溝の深さが、
前記配線リードの厚さと同じ程度であることを特徴とす
る請求項2記載の磁気ヘッド。
3. The depth of a support groove formed in the substrate is:
3. The magnetic head according to claim 2, wherein the thickness is substantially the same as the thickness of the wiring lead.
【請求項4】 磁気記録媒体に対して情報を記録・再生
する磁気ヘッドの製造方法であって、 先端部表面に複数のリード端子が形成された配線リード
と記録信号、再生信号を検出する磁気ヘッド素子が形成
され、前記リード端子に接続される複数の端子が、前記
配線リードの先端部に沿って設けられた基板と準備し、 前記配線リードのリード配線と前記基板の端子とをボン
ディングワイヤを溶融して形成したバンプにより接続す
ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
4. A method for manufacturing a magnetic head for recording / reproducing information on / from a magnetic recording medium, comprising: a wiring lead having a plurality of lead terminals formed on a front end surface thereof; A head element is formed, and a plurality of terminals connected to the lead terminals are prepared as a substrate provided along the tip of the wiring lead. A bonding wire is formed between the lead wiring of the wiring lead and the terminal of the substrate. A method for manufacturing a magnetic head, characterized in that the connection is made by a bump formed by melting the magnetic head.
【請求項5】 磁気記録媒体に対して情報を記録・再生
する磁気ヘッドの製造方法であって、 先端部表面に複数のリード端子が形成された配線リード
と記録信号、再生信号を検出する磁気ヘッド素子、なら
びに前記配線リードの先端部を指示する支持溝が形成さ
れ、前記リード端子に接続される複数の端子が、前記配
線リードの先端部に沿って設けられた基板と準備し、 前記支持溝に前記配線リードをはめ込み、同一面となっ
た前記配線リードのリード端子と前記基板の端子とをボ
ンディングワイヤを溶融して形成したバンプにより接続
することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
5. A method of manufacturing a magnetic head for recording / reproducing information on / from a magnetic recording medium, comprising: a wiring lead having a plurality of lead terminals formed on a front end surface thereof; and a magnetic head for detecting a recording signal and a reproduction signal. A head element, and a support groove for indicating a tip end of the wiring lead are formed, and a plurality of terminals connected to the lead terminal are prepared with a substrate provided along the tip end of the wiring lead; A method of manufacturing a magnetic head, comprising: fitting the wiring lead into a groove; and connecting a lead terminal of the wiring lead and a terminal of the substrate on the same surface by a bump formed by melting a bonding wire.
【請求項6】 前記バンプによる接続が、隣接した前記
端子と前記リード端子との間に1つのバンプを形成して
接続することを特徴とする請求項4または5のいずれか
1項に記載の磁気ヘッドの製造方法。
6. The connection according to claim 4, wherein the connection by the bump is performed by forming one bump between the adjacent terminal and the lead terminal. A method for manufacturing a magnetic head.
【請求項7】 前記端子と前記リード端子とが2つのバ
ンプによって接続され、前記2つのバンプは、前記端子
と前記リード端子との間に、前記端子おける第1の方
向、またはその第1の方向に直交する第2の方向のいず
れかに並べられ、かつ前記2つのバンプが接触するよう
にそれぞれ形成して接続することを特徴とする請求項4
または5のいずれか1項に記載の磁気ヘッドの製造方
法。
7. The terminal and the lead terminal are connected by two bumps, and the two bumps are provided between the terminal and the lead terminal in a first direction at the terminal or a first direction thereof. 5. The semiconductor device according to claim 4, wherein the two bumps are arranged in any one of a second direction perpendicular to the direction, and the two bumps are formed and connected so as to be in contact with each other.
Or the method of manufacturing a magnetic head according to any one of the above items 5.
【請求項8】 前記端子と前記リード端子とが3つのバ
ンプによって接続され、前記3つのバンプのうち、2つ
バンプは、前記端子と前記リード端子との間に、前記端
子おける第1の方向、またはその第1の方向に直交する
第2の方向のいずれかに並べられ、かつ前記2つのバン
プが接触するようにそれぞれ形成され、残る1つのバン
プは、前記端子側、あるいは前記リード端子側のいずれ
かに、前記2つのバンプの両方に接触させながら形成し
て接続することを特徴とする請求項4または5のいずれ
か1項に記載の磁気ヘッドの製造方法。
8. The terminal and the lead terminal are connected by three bumps, and two bumps of the three bumps are provided between the terminal and the lead terminal in a first direction in the terminal. , Or in a second direction orthogonal to the first direction, and the two bumps are formed so as to be in contact with each other, and the remaining one bump is connected to the terminal side or the lead terminal side. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 4, wherein the magnetic head is formed while being in contact with both of the two bumps and connected.
【請求項9】 前記端子と前記リード端子とが4つのバ
ンプによって接続され、前記4つのバンプのうち、2つ
バンプは、前記端子と前記リード端子との間に、前記端
子おける第1の方向、またはその第1の方向に直交する
第2の方向のいずれかに並べられ、かつ前記2つのバン
プが接触するようにそれぞれ形成され、他の2つのバン
プは、前記端子側、ならびに前記リード端子側の両方に
前記2つのバンプの両方に接触させながら形成して接続
することを特徴とする請求項4または5のいずれか1項
に記載の磁気ヘッドの製造方法。
9. The terminal and the lead terminal are connected by four bumps, and two of the four bumps are in a first direction between the terminal and the lead terminal in the terminal. , Or in a second direction orthogonal to the first direction thereof, and the two bumps are formed so as to be in contact with each other, and the other two bumps are connected to the terminal side and the lead terminal. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 4, further comprising forming and connecting both of the two bumps while making contact with both of the two bumps.
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