JP2002031071A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- JP2002031071A JP2002031071A JP2000404616A JP2000404616A JP2002031071A JP 2002031071 A JP2002031071 A JP 2002031071A JP 2000404616 A JP2000404616 A JP 2000404616A JP 2000404616 A JP2000404616 A JP 2000404616A JP 2002031071 A JP2002031071 A JP 2002031071A
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- Japan
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- pump
- rotor
- pitch
- threads
- inlet
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
- F04C18/084—Toothed wheels
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2250/00—Geometry
- F04C2250/20—Geometry of the rotor
- F04C2250/201—Geometry of the rotor conical shape
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポンプ使用時にロータの長さに沿って体積圧
縮を生じ、比較的低い入口圧力でも汲み出し速度が低く
ならない真空ポンプを提供する。 【解決手段】 本発明は、スクリュー機構を有し、ポン
プ本体内の夫々のシャフトに取付けられた２つの雄ネジ
山付きロータを有し、該ロータは、ロータネジ山の作動
によって気体をポンプ入口からポンプ出口に汲み出すこ
とができるように、ネジ山の間及びポンプ本体の内面と
の間を狭い寸法公差でロータネジ山をかみ合わせて、ポ
ンプ本体内で反対方向に回転するようになっており、ポ
ンプ入口からポンプ出口の方向に各ロータの歯元直径が
増大し、かつ各ロータのネジ山直径が減少し、ポンプ入
口からポンプ出口の方向にロータネジ山のピッチが減少
する、真空ポンプを提供する。
縮を生じ、比較的低い入口圧力でも汲み出し速度が低く
ならない真空ポンプを提供する。 【解決手段】 本発明は、スクリュー機構を有し、ポン
プ本体内の夫々のシャフトに取付けられた２つの雄ネジ
山付きロータを有し、該ロータは、ロータネジ山の作動
によって気体をポンプ入口からポンプ出口に汲み出すこ
とができるように、ネジ山の間及びポンプ本体の内面と
の間を狭い寸法公差でロータネジ山をかみ合わせて、ポ
ンプ本体内で反対方向に回転するようになっており、ポ
ンプ入口からポンプ出口の方向に各ロータの歯元直径が
増大し、かつ各ロータのネジ山直径が減少し、ポンプ入
口からポンプ出口の方向にロータネジ山のピッチが減少
する、真空ポンプを提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スクリュー機構で
作動する無オイル（ドライ）真空ポンプに関し、より詳
細には、低入口圧力で改善された汲み出し速度を有する
真空ポンプに関する。
作動する無オイル（ドライ）真空ポンプに関し、より詳
細には、低入口圧力で改善された汲み出し速度を有する
真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】ポンプ本体内に取付けられた２つの雄ネ
ジ山付きロータ（externally threaded rotors）又は羽
根付きロータを有し、ロータネジ山をかみ合わせながら
本体内で反対方向に回転するようになったスクリュー機
構真空ポンプは良く知られている。かみ合う点でのロー
タネジ山の間の狭い寸法公差（close tolerances）及び
ポンプ本体の内面との間の狭い寸法公差は、入口と出口
との間で汲み出すべき気体を、ロータのネジ山の間及び
ポンプ本体の内面に閉じ込め、それにより、気体はロー
タが回転するときポンプによって押される。かかるスク
リューポンプは、僅かな作動構成部品で製造することが
でき、かつ、ポンプ入口での高真空環境からポンプ出口
での大気圧に汲み出す能力を有するので、潜在的に魅力
的なものである。
ジ山付きロータ（externally threaded rotors）又は羽
根付きロータを有し、ロータネジ山をかみ合わせながら
本体内で反対方向に回転するようになったスクリュー機
構真空ポンプは良く知られている。かみ合う点でのロー
タネジ山の間の狭い寸法公差（close tolerances）及び
ポンプ本体の内面との間の狭い寸法公差は、入口と出口
との間で汲み出すべき気体を、ロータのネジ山の間及び
ポンプ本体の内面に閉じ込め、それにより、気体はロー
タが回転するときポンプによって押される。かかるスク
リューポンプは、僅かな作動構成部品で製造することが
でき、かつ、ポンプ入口での高真空環境からポンプ出口
での大気圧に汲み出す能力を有するので、潜在的に魅力
的なものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】スクリューポンプ（sc
rew pump）は、一般的には、各スクリューロータが全体
的に概ね円柱形で、スクリューネジ山チップの断面がロ
ータの長さに沿って実質的に一定に設計される。これ
は、特に、ポンプを使用するときロータの長さに沿って
体積圧縮が生じないという真空ポンプの欠点があり、そ
れにより、ポンプの電力消費に悪影響する。普通のスク
リューポンプが出くわす更なる欠点は、比較的低い入口
圧力、例えば、５０ミリバール又はそれ以下程度の入口
圧力でスクリューポンプが低い汲み出し速度になる傾向
があることである。
rew pump）は、一般的には、各スクリューロータが全体
的に概ね円柱形で、スクリューネジ山チップの断面がロ
ータの長さに沿って実質的に一定に設計される。これ
は、特に、ポンプを使用するときロータの長さに沿って
体積圧縮が生じないという真空ポンプの欠点があり、そ
れにより、ポンプの電力消費に悪影響する。普通のスク
リューポンプが出くわす更なる欠点は、比較的低い入口
圧力、例えば、５０ミリバール又はそれ以下程度の入口
圧力でスクリューポンプが低い汲み出し速度になる傾向
があることである。
【０００４】かかる欠点を最小にする方法が欧州特許出
願第99304669.7及び米国特許出願第09/334,316号に記載
されており、そこには、ポンプ入口からポンプ出口の方
向にスクリュー機構の長さに沿って体積圧縮が生じるよ
うに断面がテーパした互いにかみ合うスクリューロータ
を有する真空ポンプが記載されている。このテーパは、
それぞれ、ポンプ入口からポンプ出口の方向に、各ロー
タの歯元直径を徐々に増加させ、各ロータのネジ山直径
を徐々に減少させることによって達成される。体積圧縮
の目的は、気体がポンプを通過するとき、ロータの間に
ある容積を徐々に減少させることであり、特に、汲み出
されるべきチャンバーを素早く真空にし、汲み出される
べき気体のポンプ入口速度を速くすることができるよう
に、比較的大きなポンプ入口を維持しながら、排気時の
大きさを最小にすることにより、ポンプの電力消費を最
小に保つ。
願第99304669.7及び米国特許出願第09/334,316号に記載
されており、そこには、ポンプ入口からポンプ出口の方
向にスクリュー機構の長さに沿って体積圧縮が生じるよ
うに断面がテーパした互いにかみ合うスクリューロータ
を有する真空ポンプが記載されている。このテーパは、
それぞれ、ポンプ入口からポンプ出口の方向に、各ロー
タの歯元直径を徐々に増加させ、各ロータのネジ山直径
を徐々に減少させることによって達成される。体積圧縮
の目的は、気体がポンプを通過するとき、ロータの間に
ある容積を徐々に減少させることであり、特に、汲み出
されるべきチャンバーを素早く真空にし、汲み出される
べき気体のポンプ入口速度を速くすることができるよう
に、比較的大きなポンプ入口を維持しながら、排気時の
大きさを最小にすることにより、ポンプの電力消費を最
小に保つ。
【０００５】しかしながら、テーパしたスクリュー機構
において可能な圧縮の程度に実際上の制限がある。一般
的に、最大限達成し得る容積比は、約４：１である。即
ち、ポンプの入口端で最初に捕らえた気体を、ポンプの
排気端で最初の容積の約２５％にしか圧縮できない。出
願人らが以前出願した発明によれば、全般的にポンプの
総合的性能を改善し、特に、汲み出されるべき気体の入
口速度を改善するために、ポンプの入口端に分離ルート
機構段（separate roots mechanism stage）を採用す
る。それにもかかわらず、分離ルート機構段の存在は、
真空ポンプのサイズを大きくし、複雑にし、コストを高
くするという欠点を有する。本発明は、これらの欠点を
克服する真空ポンプを提供することに関する。
において可能な圧縮の程度に実際上の制限がある。一般
的に、最大限達成し得る容積比は、約４：１である。即
ち、ポンプの入口端で最初に捕らえた気体を、ポンプの
排気端で最初の容積の約２５％にしか圧縮できない。出
願人らが以前出願した発明によれば、全般的にポンプの
総合的性能を改善し、特に、汲み出されるべき気体の入
口速度を改善するために、ポンプの入口端に分離ルート
機構段（separate roots mechanism stage）を採用す
る。それにもかかわらず、分離ルート機構段の存在は、
真空ポンプのサイズを大きくし、複雑にし、コストを高
くするという欠点を有する。本発明は、これらの欠点を
克服する真空ポンプを提供することに関する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、スクリ
ュー機構を有し、ポンプ本体内の夫々のシャフトに取付
けられた２つの雄ネジ山付きロータを有し、該ロータ
は、ロータネジ山の作動によって気体をポンプ入口から
ポンプ出口に汲み出すことができるように、ネジ山の間
及びポンプ本体の内面との間を狭い寸法公差でロータネ
ジ山をかみ合わせて、ポンプ本体内で反対方向に回転す
るようになっており、ポンプ入口からポンプ出口の方向
に各ロータの歯元直径が増大し、かつ各ロータのネジ山
直径が減少し、ポンプ入口からポンプ出口の方向にロー
タネジ山のピッチが減少する、真空ポンプを提供する。
ュー機構を有し、ポンプ本体内の夫々のシャフトに取付
けられた２つの雄ネジ山付きロータを有し、該ロータ
は、ロータネジ山の作動によって気体をポンプ入口から
ポンプ出口に汲み出すことができるように、ネジ山の間
及びポンプ本体の内面との間を狭い寸法公差でロータネ
ジ山をかみ合わせて、ポンプ本体内で反対方向に回転す
るようになっており、ポンプ入口からポンプ出口の方向
に各ロータの歯元直径が増大し、かつ各ロータのネジ山
直径が減少し、ポンプ入口からポンプ出口の方向にロー
タネジ山のピッチが減少する、真空ポンプを提供する。
【０００７】ロータネジ山のピッチの減少は、一般に、
ポンプの大きな容積比の達成を可能にし、従って、ポン
プの入口から出口にポンプを通過するときに、汲み出さ
れるべき気体の大きな圧縮を達成させる。ピッチ２の減
少は、各ロータの長さに沿って各ネジ山のターンから次
のターンへ徐々にもたらされる。例えば、隣接するネジ
山のターンの間のピッチの一様な変化、即ち、線形的変
化でもたらされ、別の例では、非線形増加で、例えば、
スクリューネジ山のベースまでの距離の二乗に比例する
ものとしてもたらされる。最初のターンのピッチは、有
利には、最後のターンの約３倍までのピッチであり、例
えば、最後のターンのピッチの２倍である。
ポンプの大きな容積比の達成を可能にし、従って、ポン
プの入口から出口にポンプを通過するときに、汲み出さ
れるべき気体の大きな圧縮を達成させる。ピッチ２の減
少は、各ロータの長さに沿って各ネジ山のターンから次
のターンへ徐々にもたらされる。例えば、隣接するネジ
山のターンの間のピッチの一様な変化、即ち、線形的変
化でもたらされ、別の例では、非線形増加で、例えば、
スクリューネジ山のベースまでの距離の二乗に比例する
ものとしてもたらされる。最初のターンのピッチは、有
利には、最後のターンの約３倍までのピッチであり、例
えば、最後のターンのピッチの２倍である。
【０００８】別の例では、ピッチの減少は、ポンプ性能
の要求に合わせて、又は製造を容易にするように、徐々
にでなくても良い。特に、各ロータネジ山の最初の数タ
ーン、例えば、１乃至３ターンが同じピッチを有し、後
続の数ターン、又は残りのターンが減少したピッチを有
しても良い。かかる実施形態では、最初のターンのピッ
チは、実用的には後続のターンのピッチの３倍までであ
るのが良く、例えば、後続のターンの約２倍のピッチに
する。１０：１又はそれ以上までの容積比を達成できる
ことが見出されている。４：１から６：１の容積比が好
ましく、例えば、４：１又は５：１にする。
の要求に合わせて、又は製造を容易にするように、徐々
にでなくても良い。特に、各ロータネジ山の最初の数タ
ーン、例えば、１乃至３ターンが同じピッチを有し、後
続の数ターン、又は残りのターンが減少したピッチを有
しても良い。かかる実施形態では、最初のターンのピッ
チは、実用的には後続のターンのピッチの３倍までであ
るのが良く、例えば、後続のターンの約２倍のピッチに
する。１０：１又はそれ以上までの容積比を達成できる
ことが見出されている。４：１から６：１の容積比が好
ましく、例えば、４：１又は５：１にする。
【０００９】本発明によるピッチの変化は、一般的に、
スクリュー機構の入口セクションに公知の機構よりも大
きな掃引容積（swept volume）を持たせ、汲み出し速度
を改善させる。本発明のポンプは、概ね、標準的なポン
プ入口圧力の範囲に亘って、大気圧でポンプの排気に送
られる気体について作動することができる。
スクリュー機構の入口セクションに公知の機構よりも大
きな掃引容積（swept volume）を持たせ、汲み出し速度
を改善させる。本発明のポンプは、概ね、標準的なポン
プ入口圧力の範囲に亘って、大気圧でポンプの排気に送
られる気体について作動することができる。
【００１０】５０ミリバール又はそれ以下の典型的な入
口圧力では、ポンプを、通常、１分間当り１００００回
転（ｒ．ｐ．ｍ）程度のロータの全速力で作動させる。
しかしながら、入口圧力が大気圧に近い時、或いは、入
口圧力が大気圧である時、例えば、ポンプの始動時に、
高電力消費を引起こすスクリュー機構前後で非常に大き
な圧縮力を生じることがある。好ましい実施形態では、
本発明のポンプは、ポンプモータによって加えられるト
ルクを一般的な入口圧力で耐えることができるレベルに
制限する電気デバイス機構を採用する。これは、シャフ
ト速度を減ずることによって達成される。
口圧力では、ポンプを、通常、１分間当り１００００回
転（ｒ．ｐ．ｍ）程度のロータの全速力で作動させる。
しかしながら、入口圧力が大気圧に近い時、或いは、入
口圧力が大気圧である時、例えば、ポンプの始動時に、
高電力消費を引起こすスクリュー機構前後で非常に大き
な圧縮力を生じることがある。好ましい実施形態では、
本発明のポンプは、ポンプモータによって加えられるト
ルクを一般的な入口圧力で耐えることができるレベルに
制限する電気デバイス機構を採用する。これは、シャフ
ト速度を減ずることによって達成される。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明のより良い理解のために、
例示としてのみ添付図面を参照する。図面を参照すれ
ば、図１は、特に内部のスクリューロータを参照するた
めの、本発明の真空ポンプの模式図を示す。真空ポンプ
は、第１シャフト２と、第１シャフトに対して間隔を隔
て且つ平行な第２シャフト３とを、軸受手段（図示せ
ず）によって内部に取付けたポンプ本体１とを有する。
外面に雄ネジ山６を有するロータ４がシャフト２に取付
けられ、外面に雄ネジ山７を有するロータ５がシャフト
３に取付けられる。
例示としてのみ添付図面を参照する。図面を参照すれ
ば、図１は、特に内部のスクリューロータを参照するた
めの、本発明の真空ポンプの模式図を示す。真空ポンプ
は、第１シャフト２と、第１シャフトに対して間隔を隔
て且つ平行な第２シャフト３とを、軸受手段（図示せ
ず）によって内部に取付けたポンプ本体１とを有する。
外面に雄ネジ山６を有するロータ４がシャフト２に取付
けられ、外面に雄ネジ山７を有するロータ５がシャフト
３に取付けられる。
【００１２】シャフト２、３は、従って、ロータ４、５
は、駆動シャフトが１分間当り約１００００回転（ｒ．
ｐ．ｍ）の回転速度で回転し、他方のシャフトが同一速
度で反対の方向に回転するように、一方のシャフトがモ
ータ及びそれに結合されたトルク制限電気ドライブ（こ
れら全て図示せず）によって駆動され、他方のシャフト
がタイミングギヤによって第１シャフトに連結されて、
ロータの長手方向軸線を中心に回転するようになってい
る。
は、駆動シャフトが１分間当り約１００００回転（ｒ．
ｐ．ｍ）の回転速度で回転し、他方のシャフトが同一速
度で反対の方向に回転するように、一方のシャフトがモ
ータ及びそれに結合されたトルク制限電気ドライブ（こ
れら全て図示せず）によって駆動され、他方のシャフト
がタイミングギヤによって第１シャフトに連結されて、
ロータの長手方向軸線を中心に回転するようになってい
る。
【００１３】互いに関係し合い、及び、本体１の内面と
関係し合うシャフト２、３及びロータ４、５の位置及び
大きさは、シャフトがネジ山とネジ山との間、及び、本
体内面との間の狭い間隙公差（close clearance tolera
nce）をもって回転するとき、ネジ山６、７がかみ合う
ようになっている。ポンプ入口８は（図のように）本体
１の頂面にあり、ポンプ出口９は（図のように）本体１
の底面にある。
関係し合うシャフト２、３及びロータ４、５の位置及び
大きさは、シャフトがネジ山とネジ山との間、及び、本
体内面との間の狭い間隙公差（close clearance tolera
nce）をもって回転するとき、ネジ山６、７がかみ合う
ようになっている。ポンプ入口８は（図のように）本体
１の頂面にあり、ポンプ出口９は（図のように）本体１
の底面にある。
【００１４】本発明では、 ｉ）各ロータの歯元直径（root diameter）は点Ｒ1と点
Ｒ2との間で、ポンプ入口８からポンプ出口９の方向に
増加する。 ｉｉ）各ロータのネジ山直径（thread diameter）は点
Ｔ1と点Ｔ2との間で、ポンプ入口８からポンプ出口９の
方向に減少する。 ｉｉｉ）各ロータのロータネジ山のピッチは、ポンプ入
口からポンプ出口の方向に減少する。 ようになっている。
Ｒ2との間で、ポンプ入口８からポンプ出口９の方向に
増加する。 ｉｉ）各ロータのネジ山直径（thread diameter）は点
Ｔ1と点Ｔ2との間で、ポンプ入口８からポンプ出口９の
方向に減少する。 ｉｉｉ）各ロータのロータネジ山のピッチは、ポンプ入
口からポンプ出口の方向に減少する。 ようになっている。
【００１５】図１に示す実施形態では、上記の事項ｉｉ
ｉ）によれば、ポンプ入口８に最も近いネジ山の１ター
ンのピッチＰ1は、ポンプ出口９に最も近いネジ山の１
ターンのピッチＰ2よりも大きい。図示するように、ポ
ンプ入口８に最も近い最初の２ターンのピッチは一定で
あり、ポンプ出口９に向かう後続のターンのピッチは一
定であるが、２倍の比率で、最初の２ターンのピッチよ
りも小さい。ロータ５を、ロータ４から分離してより明
確に図２に示す。
ｉ）によれば、ポンプ入口８に最も近いネジ山の１ター
ンのピッチＰ1は、ポンプ出口９に最も近いネジ山の１
ターンのピッチＰ2よりも大きい。図示するように、ポ
ンプ入口８に最も近い最初の２ターンのピッチは一定で
あり、ポンプ出口９に向かう後続のターンのピッチは一
定であるが、２倍の比率で、最初の２ターンのピッチよ
りも小さい。ロータ５を、ロータ４から分離してより明
確に図２に示す。
【００１６】図面に示したポンプの使用において、モー
タはシャフト及びそれに関連したロータを、高速で反対
方向に駆動し、気体を抜くべきポンプ入口８に連結され
たチャンバから気体が吸込まれる。先細になったロータ
ネジ山直径及びロータネジ山の減少するピッチによっ
て、両側のロータの個々のターンの間に形成される分離
した容積の中を、気体が一つの容積から次の容積へ通過
するとき気体が圧縮されながら、ポンプを通過する。図
示した例は、容積圧縮が１０：１程度の容積比のもので
ある。
タはシャフト及びそれに関連したロータを、高速で反対
方向に駆動し、気体を抜くべきポンプ入口８に連結され
たチャンバから気体が吸込まれる。先細になったロータ
ネジ山直径及びロータネジ山の減少するピッチによっ
て、両側のロータの個々のターンの間に形成される分離
した容積の中を、気体が一つの容積から次の容積へ通過
するとき気体が圧縮されながら、ポンプを通過する。図
示した例は、容積圧縮が１０：１程度の容積比のもので
ある。
【図１】図１は、本発明の真空ポンプのスクリューロー
タの模式図である。
タの模式図である。
【図２】図２は、図１のロータの一方を、より明確に示
す。
す。
１ ポンプ本体 ２ 第１シャフト ３ 第２シャフト ４ ロータ ５ ロータ ６ 雄ネジ山 ７ 雄ネジ山 ８ ポンプ入口 ９ ポンプ出口
Claims (6)
- 【請求項１】 スクリュー機構を有し、ポンプ本体内の
夫々のシャフトに取付けられた２つの雄ネジ山付きロー
タを有し、該ロータは、ロータネジ山の作動によって気
体をポンプ入口からポンプ出口に汲み出すことができる
ように、ネジ山の間及びポンプ本体の内面との間を狭い
寸法公差（close tolerances）でロータネジ山をかみ合
わせて、ポンプ本体内で反対方向に回転するようになっ
ており、ポンプ入口からポンプ出口の方向に各ロータの
歯元直径（root diameter）が増大し、かつ各ロータの
ネジ山直径が減少し、ポンプ入口からポンプ出口の方向
にロータネジ山のピッチが減少することを特徴とする真
空ポンプ。 - 【請求項２】 前記ピッチの減少が、各ロータの長さに
沿って、各ネジ山のターン（thread turn）から次のネ
ジ山のターンへ徐々に与えられることを特徴とする請求
項１記載のポンプ。 - 【請求項３】 前記ピッチの減少が、隣接するネジ山の
ターンの間でピッチが一様に変化、即ち、線形的に変化
するように形成されることを特徴とする請求項２記載の
ポンプ。 - 【請求項４】 前記ピッチの減少が、隣接するネジ山の
ターンの間で、ピッチが一様でない変化をするように形
成されることを特徴とする請求項２記載のポンプ。 - 【請求項５】 前記ピッチの減少が、徐々に変化するの
ではないことを特徴とする上記請求項の何れかに記載の
ポンプ。 - 【請求項６】 各ロータネジ山の最初の数ターンは同一
のピッチを有し、後続の数ターンは減少したピッチを有
することを特徴とする請求項５記載のポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9930556:7 | 1999-12-23 | ||
| GBGB9930556.7A GB9930556D0 (en) | 1999-12-23 | 1999-12-23 | Improvements in vacuum pumps |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002031071A true JP2002031071A (ja) | 2002-01-31 |
Family
ID=10866978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000404616A Pending JP2002031071A (ja) | 1999-12-23 | 2000-12-25 | 真空ポンプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6672855B2 (ja) |
| EP (1) | EP1111243A3 (ja) |
| JP (1) | JP2002031071A (ja) |
| GB (1) | GB9930556D0 (ja) |
Cited By (5)
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