JP2002026406A - Thermoelectric conversion module comprising electric insulating structure and manufacturing method thereof - Google Patents

Thermoelectric conversion module comprising electric insulating structure and manufacturing method thereof

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JP2002026406A
JP2002026406A JP2000203701A JP2000203701A JP2002026406A JP 2002026406 A JP2002026406 A JP 2002026406A JP 2000203701 A JP2000203701 A JP 2000203701A JP 2000203701 A JP2000203701 A JP 2000203701A JP 2002026406 A JP2002026406 A JP 2002026406A
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Japan
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electrode
sprayed
conversion module
thermoelectric element
type thermoelectric
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Application number
JP2000203701A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Nagai
淳 長井
Yasumasa Ozora
靖昌 大空
Kazuhiro Fujii
一宏 藤井
Toru Inoue
亨 井上
Hiroki Kamakura
宏樹 鎌倉
Toshio Sakurada
敏生 桜田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyushu Electric Power Co Inc
Ube Corp
Original Assignee
Kyushu Electric Power Co Inc
Ube Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermoelectric conversion module comprising a heat- resistant electric insulating structure which is suitable for large-scale thermoelectric power generation whose heat source is exhaust heat and where scale-up is easy, and heat resistance is suppressed with high reliability. SOLUTION: A theremoelectric conversion module 10 comprises electrically/ thermally insulating frame 11 where a plurality of through holes 12 and a plurality of electrode grooves 13 communicating between the through holes 12 are provided, a p-type thermoelectric element 14 and an n-type thermoelectric element 15 arrayed alternately at the through hole 12 of the frame 11, a thermal- sprayed electrode 17 so embedded that the p-type thermoelectric element 14 and the n-type thermoelectric element 15 are alternately electrically connected, in series, on the electrode groove 13 of the frame 11, and a ceramic insulating thermal-sprayed layer 20 formed on the thermal-sprayed electrode 17. The frame 11, the p-type and n-type thermoelectric elements 14 and 15, the thermal-sprayed electrode 17, and the ceramic insulating thermal-sprayed layer 20 are integrally fitted.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、熱を直接電気に変
換する熱電変換モジュール及びその製造方法に関するも
のであって、特に発電プラントやゴミ焼却施設などの大
規模な排熱を熱源とする熱電発電装置において有用なも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermoelectric conversion module for directly converting heat into electricity and a method for manufacturing the same, and more particularly to a thermoelectric module using large-scale exhaust heat as a heat source, such as a power plant or a waste incineration facility. It is useful in power generators.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】熱電変
換モジュールは、通常複数個のp型熱電素子とn型熱電
素子とを交互に配置し、これらの熱電素子を金属などの
導電性材料を介して電気的に直列に接続することによっ
て作製される。この熱電変換モジュールは、熱電素子に
温度差を与えることにより、ゼーベック効果によって熱
起電力を発生し、熱電変換モジュールの電極端子に電気
的な負荷を接続することで熱の一部を電力に変換して取
り出すことができる。この熱電変換モジュールを用いた
発電装置は、構造が簡単で、振動、騒音、摩耗などを生
じる可動部がなく、熱源の規模を選ばないなどの特徴が
あるため、携帯型電源や、各種の排熱を電力として回収
し有効利用する手段として注目されている。
2. Description of the Related Art In a thermoelectric conversion module, a plurality of p-type thermoelectric elements and n-type thermoelectric elements are usually arranged alternately, and these thermoelectric elements are made of a conductive material such as metal. And electrically connected in series. This thermoelectric conversion module generates a thermoelectromotive force by the Seebeck effect by giving a temperature difference to the thermoelectric element, and converts a part of heat to electric power by connecting an electric load to the electrode terminals of the thermoelectric conversion module. Can be taken out. A power generator using this thermoelectric conversion module has features such as a simple structure, no moving parts that generate vibration, noise, wear, etc., and the scale of the heat source is not limited. It is attracting attention as a means of recovering heat as electric power and using it effectively.

【0003】一般に、このような熱電変換モジュールの
使用においては、ほとんどの場合、一方の面を熱の良導
体からなる高温側熱交換器に、もう一方の面をやはり熱
の良導体からなる低温側熱交換器にそれぞれ接触させ、
熱電素子に温度差を与えることにより、電力を発生させ
る。上記熱交換器は一般的に金属製であるため、そのま
ま熱交換器に熱電変換モジュールを接触させる場合に
は、電極間で電気的に短絡し、電力を取りだせない。従
って必然的に金属電極面と熱交換器の間になんらかの電
気絶縁層を設ける必要性が生じる。この電気絶縁層につ
いては、ほとんどの場合、安価で熱伝導性のよいアルミ
ナ板が利用される。しかしながら、熱抵抗を小さくする
ためには、アルミナ板は薄くする必要があるが、セラミ
ックスであるため、割れやすい。また割れ易いという理
由で大面積化が困難である。さらにアルミナ板にただ電
極面を押し付けるだけでは、十分に接触面積を確保する
ことが困難であるため、通常は熱伝導性のグリスをアル
ミナ表面に塗布することで、確実な接触状態を確保して
いる。ところが、熱伝導性のグリス層はそれだけで熱抵
抗を増加させる要因となる。
In general, in the use of such a thermoelectric conversion module, in most cases, one surface is connected to a high-temperature heat exchanger made of a good heat conductor, and the other surface is connected to a low-temperature heat exchanger also made of a good heat conductor. Contact each exchanger,
Electric power is generated by giving a temperature difference to the thermoelectric element. Since the heat exchanger is generally made of metal, when the thermoelectric conversion module is brought into contact with the heat exchanger as it is, an electrical short circuit occurs between the electrodes and power cannot be taken out. Therefore, it is necessary to provide some kind of electric insulating layer between the metal electrode surface and the heat exchanger. In most cases, an inexpensive and highly heat-conductive alumina plate is used for the electric insulating layer. However, in order to reduce the thermal resistance, the alumina plate needs to be thin, but is easily broken because it is a ceramic. Also, it is difficult to increase the area because it is easily broken. Furthermore, it is difficult to secure a sufficient contact area simply by pressing the electrode surface against the alumina plate, so usually applying thermally conductive grease to the alumina surface ensures a secure contact state. I have. However, the thermally conductive grease layer alone causes an increase in thermal resistance.

【0004】上述の問題を解決するための方法として、
電極面を、熱伝導性の良いアルミナセラミックスなどの
電気的な絶縁板とはんだ接合することが行われている。
しかしながら、この方法は、熱電冷却として熱電変換モ
ジュールを利用する場合など、低温での利用の場合には
有効であるが、高温側が200℃を超える発電への利用
の際には、はんだの耐熱性の限界により、熱電変換モジ
ュールが劣化してしまう。高温のロウ材により解決をは
かることも考えられるが、素子材料の融点や分解温度、
あるいはロウ材の素子への拡散による性能低下が問題と
なり、実用化は困難で、宇宙用途など極めて特殊な用途
に特化して開発された極めて特殊な例がわずかに有るだ
けである。このような技術については、例えば「熱電半
導体とその応用」(西田勲夫、上村欣一著、日刊工業新
聞社発行)や「熱電変換システム技術総覧」(梶川武信
他編、リアライズ社発行)に詳述されている。
[0004] As a method for solving the above-mentioned problem,
Description of the Related Art [0005] Soldering of an electrode surface to an electrical insulating plate such as alumina ceramic having good thermal conductivity is performed.
However, this method is effective for low-temperature use, such as when a thermoelectric conversion module is used for thermoelectric cooling. However, when used for power generation in which the high-temperature side exceeds 200 ° C., the heat resistance of the solder is reduced. , The thermoelectric conversion module deteriorates. It is conceivable to solve the problem by using a high-temperature brazing material, but the melting point, decomposition temperature,
Or, there is a problem that the performance is deteriorated due to the diffusion of the brazing material into the element, and it is difficult to put it into practical use. There are only a few very special examples developed specifically for very special uses such as space applications. For details on such technologies, see, for example, "Thermoelectric Semiconductors and Their Applications" (Isao Nishida and Kinichi Uemura, published by Nikkan Kogyo Shimbun) and "Thermoelectric Conversion System Technology" (edited by Takenobu Kajikawa et al., Published by Realize). Has been described.

【0005】一方、大規模な排熱を熱源とした場合に
は、従来からあるような小型の熱電モジュールを利用す
ると、システム全体の構造が複雑になり、設計施工上や
メンテナンス上の観点から問題が多いため、大型の熱電
変換モジュールが望まれている。しかしながら、先に述
べたように、大型の熱電変換モジュールを絶縁性良好な
物質で絶縁する場合、大面積化に対応する材料として、
それに適した材料は少なく、例えばポリイミドなどの耐
熱性ポリマーの利用が考えられるが、使用温度域の制限
や、それ自身の熱伝導率が低いため、熱抵抗を小さくす
るためにアルミナ板より更に薄くする必要があり、やは
り機械的強度に問題が生じてしまう。小面積のアルミナ
板を組み合わせ敷き詰める方法も考えられるが、この方
法は、厚みを均一にすることが困難であり、十分な接触
を確保することが困難であるため、構造的にグリス層が
必須であり、熱抵抗を低減できない。このように、特に
大型の熱電変換モジュールにおいて、信頼性が高く、熱
抵抗の小さい絶縁方法はまだ確立されていない。
On the other hand, when a large-scale exhaust heat is used as a heat source, the use of a conventional small-sized thermoelectric module complicates the structure of the entire system, which is problematic in terms of design and construction and maintenance. Therefore, a large thermoelectric conversion module is desired. However, as described above, when a large thermoelectric conversion module is insulated with a substance having good insulation properties, as a material corresponding to an increase in area,
There are few materials suitable for this, for example, the use of heat-resistant polymers such as polyimide is conceivable.However, because the operating temperature range is limited and the thermal conductivity of the material itself is low, it is thinner than an alumina plate to reduce thermal resistance. Must be performed, which also causes a problem in mechanical strength. A method of laying a combination of small-area alumina plates is also conceivable, but this method is difficult to make the thickness uniform and it is difficult to secure sufficient contact, so a grease layer is indispensable structurally. Yes, thermal resistance cannot be reduced. As described above, especially in a large thermoelectric conversion module, an insulating method with high reliability and low thermal resistance has not yet been established.

【0006】従って、本発明の目的は、このような従来
の課題が解消された熱電変換モジュール、即ち大規模な
排熱を熱源とした熱電発電に好適な、大型化が容易で、
熱抵抗を抑制し、しかも信頼性が高く熱耐久性のある電
気絶縁構造を有する熱電変換モジュール、及びその製造
方法を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a thermoelectric conversion module which solves such a conventional problem, that is, a thermoelectric conversion module suitable for thermoelectric power generation using large-scale exhaust heat as a heat source.
It is an object of the present invention to provide a thermoelectric conversion module having an electrical insulation structure that suppresses thermal resistance and has high reliability and high heat durability, and a method for manufacturing the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を、
下記の熱電変換モジュール及びその製造方法を提供する
ことにより達成したものである。「複数の貫通孔及び該
貫通孔間を連絡する複数の電極用溝が設けられた電気的
且つ熱的絶縁性型枠と、該型枠の上記貫通孔に交互に配
列されたp型熱電素子及びn型熱電素子と、上記型枠の
上記電極用溝に上記p型熱電素子と上記n型熱電素子と
が交互に電気的に直列に接続するように埋設された溶射
電極と、上記溶射電極上に形成されたセラミックス絶縁
溶射層とからなり、上記型枠、上記p型及びn型熱電素
子、上記溶射電極、並びに上記セラミックス絶縁溶射層
が一体的に固着されていることを特徴とする熱電変換モ
ジュール。」「電気的且つ熱的絶縁性材料を用いて、複
数の貫通孔及び該貫通孔間を連絡する複数の電極用溝が
設けられた電気的且つ熱的絶縁性型枠を作製する工程
と、上記型枠の上記貫通孔にp型熱電素子とn型熱電素
子とを交互に配列する工程と、導電性材料を用いて、上
記の熱電素子を配列した型枠の両面に溶射電極を形成す
る工程と、上記型枠の上記電極用溝以外に形成された不
要な溶射電極を除去する工程と、上記溶射電極上にセラ
ミックス絶縁溶射層を形成する工程と、上記セラミック
ス絶縁溶射層の表面を平滑にする工程とを含む熱電変換
モジュールの製造方法。」
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides the above object,
This has been achieved by providing the following thermoelectric conversion module and a method for manufacturing the same. An electrically and thermally insulating mold provided with a plurality of through holes and a plurality of electrode grooves communicating between the through holes, and p-type thermoelectric elements alternately arranged in the through holes of the mold And an n-type thermoelectric element; a spray electrode embedded in the electrode groove of the mold so that the p-type thermoelectric element and the n-type thermoelectric element are alternately electrically connected in series; and A thermoelectric element comprising a ceramic insulating spray layer formed thereon, wherein the mold, the p-type and n-type thermoelectric elements, the spray electrode, and the ceramic insulating spray layer are integrally fixed. "Conversion module.""Using an electrically and thermally insulating material, an electrically and thermally insulating formwork provided with a plurality of through holes and a plurality of electrode grooves communicating between the through holes is produced. A p-type thermoelectric element and an n-type thermoelectric element in the through hole of the mold. And a step of alternately arranging the elements, using a conductive material, a step of forming sprayed electrodes on both surfaces of the mold in which the thermoelectric elements are arranged, and formed in other than the electrode grooves of the mold. A method for manufacturing a thermoelectric conversion module, comprising: a step of removing an unnecessary thermal spray electrode, a step of forming a ceramic insulating thermal spray layer on the thermal spray electrode, and a step of smoothing the surface of the ceramic thermal spray layer. "

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、まず本発明の熱電変換モジ
ュールを図1に示す実施形態について説明する。図1に
示すように、本実施形態の熱電変換モジュール10は、
複数の貫通孔12及び複数の電極用溝13が設けられた
電気的且つ熱的絶縁性枠11と、該型枠11の上記貫通
孔12に交互に配置されたp型熱電素子14及びn型熱
電素子15と、上記型枠11の上記電極用溝13に埋設
された溶射電極17と、該溶射電極17と上記p型及び
n型熱電素子14及び15との間に形成された金属下地
層16と、上記溶射電極17上に形成されたセラミック
ス絶縁溶射層20とから構成されている。そして、上記
p型熱電素子14と上記n型熱電素子15とは、上記溶
射電極17を介して交互に電気的に直列に接続されてい
る。また、上記p型及びn型熱電素子14及び15、上
記金属下地層16、上記溶射電極17並びに上記セラミ
ックス絶縁溶射層20は、上記型枠11に一体的に固着
してある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a thermoelectric conversion module according to the present invention will be described with reference to the embodiment shown in FIG. As shown in FIG. 1, the thermoelectric conversion module 10 of the present embodiment
An electrically and thermally insulating frame 11 provided with a plurality of through holes 12 and a plurality of electrode grooves 13, and p-type thermoelectric elements 14 and n-type elements alternately arranged in the through holes 12 of the mold frame 11. Thermoelectric element 15, thermal spray electrode 17 buried in electrode groove 13 of form 11; metal underlayer formed between thermal spray electrode 17 and p-type and n-type thermoelectric elements 14 and 15 16 and a ceramic insulation sprayed layer 20 formed on the sprayed electrode 17. The p-type thermoelectric elements 14 and the n-type thermoelectric elements 15 are electrically connected alternately in series via the sprayed electrodes 17. The p-type and n-type thermoelectric elements 14 and 15, the metal base layer 16, the spray electrode 17, and the ceramic insulating spray layer 20 are integrally fixed to the mold 11.

【0009】上記電気的且つ熱的絶縁性型枠11として
は、珪酸カルシウムの成型体からなる型枠を使用するこ
とができる。珪酸カルシウムはゾノトライト及びトバモ
ライトと言われる結晶相があり、これらに有機バインダ
ーを混入し成型したものは人造木材と言われる。この人
造木材は、不燃、低熱伝導率、軽量、さらには加工性が
良いなどの特徴を有するため、熱電変換モジュールの絶
縁性型枠として好適である。例えば、熱伝導率において
は、一般的な鉛ガラスが1.2W/mKであるのに比
べ、珪酸カルシウムの成型体は0.08W/mKであり
1/15程度と小さく、また、一般的な耐熱性樹脂であ
るポリイミドの0.4W/mKと比較しても1/5程度
と小さい。また、比重においては、鉛ガラス及びポリイ
ミドがそれぞれ3.0及び1.4であるのと比べ、0.
5程度と小さく、熱電変換モジュールの絶縁性型枠材料
として望ましい。
As the electrically and thermally insulating mold 11, a mold made of a molded product of calcium silicate can be used. Calcium silicate has crystalline phases called zonotolite and tobermorite, and those formed by mixing an organic binder with them are called artificial wood. This artificial wood has characteristics such as non-combustibility, low thermal conductivity, light weight, and good workability, and thus is suitable as an insulating mold for a thermoelectric conversion module. For example, the thermal conductivity is 1.2 W / mK for general lead glass, whereas the molded product of calcium silicate is 0.08 W / mK, which is as small as about 1/15. Compared to 0.4 W / mK of polyimide which is a heat-resistant resin, it is as small as about 1/5. Further, in terms of specific gravity, lead glass and polyimide have a specific gravity of 3.0 and 1.4, respectively.
It is as small as about 5 and is desirable as an insulating mold material for a thermoelectric conversion module.

【0010】また、上記p型熱電素子14及び上記n型
熱電素子15として使用される熱電材料は、公知である
Bi2 Te3 系、BiSb系、FeSi2 系、PbTe
系、SiGe系などの熱電半導体の単結晶や焼結体など
を使用することが可能であるが、絶縁性型枠11として
上記の珪酸カルシウムの成型体からなる型枠を使用する
場合は、該型枠の使用可能な温度域からBi2 Te3
が望ましい。
The thermoelectric materials used as the p-type thermoelectric element 14 and the n-type thermoelectric element 15 are known Bi 2 Te 3 , BiSb, FeSi 2 , PbTe.
It is possible to use a single crystal or a sintered body of a thermoelectric semiconductor such as a SiGe-based thermoelectric semiconductor, but when using a mold made of the above-described calcium silicate molded body as the insulating mold 11, The Bi 2 Te 3 system is preferable from the temperature range where the mold can be used.

【0011】また、上記溶射電極17は、一般的なプラ
ズマ溶射、ガス溶射、アーク溶射、高速フレーム溶射な
どの方法により形成可能であるが、緻密で均一な電極を
得るためには、プラズマ溶射及びガス溶射の方法により
形成することが望ましい。また、上記溶射電極17の材
質としては、アルミニウムや銅などの導電性の高い金属
が適するが、これに限定されるものではない。また、上
記溶射電極17は、熱電素子との剥離強度の向上や、接
触電気抵抗の低減のため、熱電素子と電極との界面に他
の導電性物質の溶射層(上記金属下地層16)を介在さ
せることもできる。
The sprayed electrode 17 can be formed by a general method such as plasma spraying, gas spraying, arc spraying, and high-speed flame spraying. However, in order to obtain a dense and uniform electrode, plasma spraying and plasma spraying are performed. It is desirable to form by a gas spraying method. Further, as the material of the sprayed electrode 17, a metal having high conductivity such as aluminum or copper is suitable, but is not limited thereto. Further, the thermal spray electrode 17 is provided with a thermal spray layer of another conductive substance (the metal base layer 16) at the interface between the thermoelectric element and the electrode, in order to improve the peel strength between the thermoelectric element and the contact electric resistance. It can also be interposed.

【0012】また、上記セラミックス絶縁溶射層20
は、緻密で均一な絶縁層を得るためにはプラズマ溶射の
方法により形成することが望ましい。また、該絶縁溶射
層20の形成材料のセラミックスとしては、アルミナな
どの比較的高い熱伝導性を有するものが適するが、これ
に限定されるものではなく、ジルコニア、熱安定化ジル
コニア、アルミナとチタニアからなる複合材料なども利
用できる。
Further, the ceramic insulating spray layer 20
Is preferably formed by a plasma spraying method in order to obtain a dense and uniform insulating layer. Suitable ceramics for forming the insulating sprayed layer 20 include those having relatively high thermal conductivity, such as alumina, but are not limited thereto, and include zirconia, thermally stabilized zirconia, alumina and titania. Composite materials consisting of, for example, can also be used.

【0013】本発明の熱電変換モジュールは、発電所な
どの排熱、ゴミ焼却設備の排熱、自動車の排熱、太陽光
などを利用した熱電発電システムに適用することが可能
である。
The thermoelectric conversion module of the present invention can be applied to a thermoelectric power generation system utilizing exhaust heat of a power plant, waste heat of a garbage incineration facility, exhaust heat of an automobile, sunlight, and the like.

【0014】次に、本発明の熱電変換モジュールの製造
方法を、上述した図1に示す実施形態の熱電変換モジュ
ールを製造する場合を例にとり、図2を参照しながら説
明する。まず、電気的且つ熱的絶縁性材料を用いて、図
2(a)に示すような、複数の貫通孔12及び該貫通孔
12間を連絡する複数の電極用溝13が設けられた電気
的且つ熱的絶縁性型枠11を作製する。上記絶縁性材料
として珪酸カルシウムを用いる場合は、まず珪酸カルシ
ウムの成型体を、例えば特開昭62−123053号公
報や特開平3−3635号公報に記載されている製造方
法により製造し、得られた成型体を機械加工することに
より上記絶縁性型枠11を作製すると良い。
Next, a method of manufacturing a thermoelectric conversion module according to the present invention will be described with reference to FIG. 2 taking the case of manufacturing the thermoelectric conversion module of the embodiment shown in FIG. 1 as an example. First, as shown in FIG. 2A, an electrical and thermal insulating material is used to form an electrically and thermally insulating material in which a plurality of through holes 12 and a plurality of electrode grooves 13 communicating between the through holes 12 are provided. In addition, a thermally insulating mold 11 is manufactured. When calcium silicate is used as the insulating material, first, a molded body of calcium silicate is produced by a production method described in, for example, JP-A-62-213053 or JP-A-3-3635, and is obtained. It is preferable to fabricate the insulating mold 11 by machining the molded body.

【0015】次に、図2(b)に示すように、上記絶縁
性型枠11の上記貫通孔12に、p型熱電素子14とn
型熱電素子15とを素子スペーサー18及び19を用い
て交互に配列する。
Next, as shown in FIG. 2B, a p-type thermoelectric element 14 and an n-type
The thermoelectric elements 15 are alternately arranged using element spacers 18 and 19.

【0016】次いで、素子スペーサー18及び19を取
り外し、図2(c)に示すように、金属下地層16をプ
ラズマ溶射などにより上記p型熱電素子14及び上記n
型熱電素子15の両面に形成した後、アルミニウムや銅
などの導電性材料を用いて、上記絶縁性型枠11の両面
を被覆するように、溶射電極17を形成する。
Next, the element spacers 18 and 19 are removed, and as shown in FIG. 2C, the metal underlayer 16 is subjected to the above-mentioned p-type thermoelectric element 14 and the above-mentioned n-type
After being formed on both sides of the mold thermoelectric element 15, the sprayed electrodes 17 are formed using a conductive material such as aluminum or copper so as to cover both sides of the insulating mold 11.

【0017】次いで、図2(d)に示すように、上記絶
縁性型枠11の上記電極用溝13以外に形成された不要
な溶射電極を平面研削盤などを用いて研削除去する。こ
の不要な溶射電極を研削除去する際、絶縁性型枠11の
表面も僅かに削り込むことによって、電極面の平面性が
確保できる。
Next, as shown in FIG. 2D, unnecessary thermal spray electrodes formed on the insulating mold 11 other than the electrode grooves 13 are ground and removed using a surface grinder or the like. When the unnecessary thermal spray electrode is removed by grinding, the surface of the insulating mold 11 is slightly ground to ensure the flatness of the electrode surface.

【0018】次いで、図2(e)に示すように、セラミ
ックス絶縁溶射層20を、アルミナなどのセラミックス
を用いてプラズマ溶射などにより上記溶射電極上に形成
する。その後、上記セラミックス絶縁溶射層20の平面
性を確保するため、該絶縁溶射層20の表面に平面研削
を行い、図1に示す実施形態の熱電変換モジュールを得
る。
Next, as shown in FIG. 2E, a ceramic insulation sprayed layer 20 is formed on the sprayed electrode by plasma spraying using ceramics such as alumina. Thereafter, in order to ensure the flatness of the ceramic insulating spray layer 20, the surface of the insulating spray layer 20 is subjected to surface grinding to obtain the thermoelectric conversion module of the embodiment shown in FIG.

【0019】[0019]

【作用】請求項1に係る本発明の熱電変換モジュール
は、溶射電極上にセラミックス絶縁層が溶射により形成
され、電極と絶縁層が一体的に固着されているため、電
極面に絶縁板を接合しなくとも機械的な強度が大きく、
また電極の接合にはんだなどのロウ材を使用せず、溶射
電極を使用しているため、ロウ材の耐熱性に支配される
ことなく、熱電素子の耐熱性の上限まで温度差を印加す
ることが可能となるため、発電性能が向上する。また、
溶射電極上にセラミックス絶縁層が溶射により直接形成
されているため、熱伝導性グリース層の使用が低減で
き、まず全体の熱抵抗が低減されたことにより、熱流入
量が増加し、しかも電気絶縁層及び電気絶縁層と熱電モ
ジュール電極表面の熱抵抗が低減されたことにより熱電
素子そのものに有効に温度差が配分され、その結果、発
電出力が向上する。また、請求項2に係る本発明の熱電
変換モジュールの製造方法によれば、比較的簡単な工程
で、大規模な排熱を熱源とした熱電発電に好適な、大型
化が容易で、熱抵抗を抑制し、しかも信頼性が高く熱耐
久性のある電気絶縁構造を有する熱電変換モジュールを
製造することができる。
In the thermoelectric conversion module according to the first aspect of the present invention, a ceramic insulating layer is formed on a sprayed electrode by thermal spraying, and the electrode and the insulating layer are integrally fixed. High mechanical strength without
In addition, since a brazing material such as solder is not used for joining the electrodes and a sprayed electrode is used, apply a temperature difference up to the upper limit of the heat resistance of the thermoelectric element without being affected by the heat resistance of the brazing material. Is possible, and the power generation performance is improved. Also,
Since the ceramic insulating layer is formed directly on the sprayed electrode by thermal spraying, the use of a thermally conductive grease layer can be reduced. First, the overall thermal resistance is reduced, resulting in an increase in heat inflow and electrical insulation. The temperature difference is effectively distributed to the thermoelectric element itself due to the reduced thermal resistance of the layer and the electric insulating layer and the thermoelectric module electrode surface, and as a result, the power generation output is improved. Further, according to the method for manufacturing a thermoelectric conversion module of the present invention according to claim 2, it is easy to increase the size of the thermoelectric conversion module, which is suitable for thermoelectric power generation using large-scale exhaust heat as a heat source, with a relatively simple process. And a thermoelectric conversion module having an electrically insulating structure having high reliability and high heat durability can be manufactured.

【0020】[0020]

【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げ、本発明の効
果を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に制
限されるものではない。
EXAMPLES The effects of the present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0021】実施例1 本実施例では、本発明の熱電変換モジュールにおいて溶
射電極上に形成されるセラミックス絶縁溶射層の効果み
るために、下記のようにして、試料を作製し、該試料に
ついて溶射層断面組織の観察及びヒートサイクル試験を
行った。 〔試料の作製〕アルミニウム板(50mm×50mm×5mm
厚)上に、アルミニウムをプラズマ溶射し、2.4mm厚
のアルミニウム溶射層を形成した。これを切削により2
mm厚に平面加工した。そして、このアルミニウム溶射層
(2mm厚)の上に、アルミナセラミックスをプラズマ溶
射し、0.4mm厚のアルミナセラミックス絶縁溶射層を
形成した。これを研削により0.25mm厚に平面加工
し、試料とした。 〔溶射層断面組織の観察〕試料を樹脂で包埋し、切断面
を耐水研磨紙で#1000まで研磨し、バフ研磨仕上げ
を行い、SEMにて断面組織を観察した。図3に示すよ
うに、組織は緻密であり、空隙も少なかった。 〔ヒートサイクル試験〕アルミナるつぼ中に試料をセッ
トし、大気中にて、図4に示すようなヒートサイクルを
3回繰り返し行った。その後、SEMにて断面組織及び
表面を観察した。その結果、アルミナセラミックス絶縁
溶射層のアルミニウム溶射層からの剥離及びアルミナセ
ラミックス絶縁溶射層でのクラックは認められなかっ
た。以上の〔溶射層断面組織の観察〕及び〔ヒートサイ
クル試験〕の結果より、溶射により形成されるセラミッ
クス絶縁溶射層は、熱電変換モジュールに十分適応可能
であることを確認した。
Example 1 In this example, in order to see the effect of the ceramic insulating sprayed layer formed on the sprayed electrode in the thermoelectric conversion module of the present invention, a sample was prepared as follows, and the sample was sprayed. The observation of the layer cross-sectional structure and the heat cycle test were performed. [Preparation of sample] Aluminum plate (50 mm x 50 mm x 5 mm
Thickness), aluminum was plasma sprayed to form a 2.4 mm thick aluminum sprayed layer. This is cut by 2
The surface was machined to a thickness of mm. Then, on this aluminum sprayed layer (2 mm thick), alumina ceramics was plasma sprayed to form a 0.4 mm thick alumina ceramics insulating sprayed layer. This was flattened to a thickness of 0.25 mm by grinding to obtain a sample. [Observation of Cross Section Structure of Thermal Sprayed Layer] The sample was embedded in a resin, the cut surface was polished to # 1000 with water resistant abrasive paper, buffed and finished, and the cross section structure was observed by SEM. As shown in FIG. 3, the structure was dense and the number of voids was small. [Heat Cycle Test] A sample was set in an alumina crucible, and a heat cycle as shown in FIG. 4 was repeated three times in the atmosphere. Then, the cross-sectional structure and the surface were observed by SEM. As a result, no peeling of the alumina ceramics sprayed layer from the aluminum sprayed layer and no cracks in the alumina ceramics sprayed layer were observed. From the results of the [observation of the cross-sectional structure of the thermal spray layer] and the [heat cycle test], it was confirmed that the ceramic insulating thermal spray layer formed by thermal spraying was sufficiently applicable to a thermoelectric conversion module.

【0022】実施例2 本実施例は、300℃程度の熱源を対象とし、熱電素子
材料としてBi2 Te 3 系を、絶縁性型枠として珪酸カ
ルシウムの成型体からなる型枠を、溶射電極を形成する
導電性材料としてアルミニウムを、セラミックス絶縁溶
射層の形成材料としてアルミナセラミックスを、それぞ
れ使用した場合の本発明の熱電変換モジュールの実施例
である。まず、珪酸カルシウムの成型体〔宇部興産
(株)製、登録商標;ウッディセラム〕を用いて、図2
(a)に示す絶縁性型枠11を機械加工(NCルータ
ー)によって作製した。珪酸カルシウムの成型体は不
燃、低熱伝導率、軽量、さらには加工性が良いなどの特
徴を有するため、熱電変換モジュールの絶縁性型枠とし
て好適である。ここで示す珪酸カルシウムの成型体の製
造方法は、例えば、特開昭62−123053号公報や
特開平3−3635号公報に詳しく記述されている。
Embodiment 2 This embodiment is directed to a heat source of about 300 ° C.
Bi as materialTwoTe ThreeSystem as an insulating mold
Forming a formwork made of a molded body of lucium to form a sprayed electrode
Aluminum as conductive material and ceramic insulation
Alumina ceramics as the material for forming the coating layer
Example of thermoelectric conversion module of the present invention when used and used
It is. First, a molded product of calcium silicate [Ube Industries
2 (registered trademark; Woody Serum)
Machining the insulating mold 11 shown in FIG.
-). Calcium silicate moldings are not
Features such as fuel, low thermal conductivity, light weight, and good workability
The thermoelectric conversion module as an insulating formwork
It is suitable. Production of the molded body of calcium silicate shown here
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-123053 and
This is described in detail in JP-A-3-3635.

【0023】次に、Bi2 Te3 系熱電素子を次のよう
にして作製した。まず、原子比でBi0.3 Sb1.7 Te
3 (p型)、Bi2 Te2.4 Se0.6 (n型)となるよ
うに各原料を秤量した。n型には、SbI3 を0.1重
量%添加し、キャリア密度の調整を行った。次に、これ
らの原料をガラス管に真空封入し、650℃で1時間溶
融撹拌し、Bi2 Te3 系熱電材料を作製した。これら
の熱電材料をスタンプミル及びボールミルで平均粒径1
0μm程度まで粉砕した後、390℃で12時間の還元
処理を行った。得られた熱電材料粉末をホットプレスを
用いて490℃で15分の焼結により熱電材料の焼結体
を得た。得られた焼結体を薄切り盤、超音波加工機など
を用いて円柱状の熱電素子(12φ×7mmh)を作製し
た。
Next, a Bi 2 Te 3 -based thermoelectric element was manufactured as follows. First, the atomic ratio of Bi 0.3 Sb 1.7 Te
Each raw material was weighed so as to be 3 (p-type) and Bi 2 Te 2.4 Se 0.6 (n-type). To the n-type, 0.1% by weight of SbI 3 was added to adjust the carrier density. Next, these materials were vacuum-sealed in a glass tube and melt-stirred at 650 ° C. for 1 hour to produce a Bi 2 Te 3 thermoelectric material. These thermoelectric materials were subjected to stamp mill and ball mill to obtain an average particle size of 1
After pulverizing to about 0 μm, a reduction treatment was performed at 390 ° C. for 12 hours. The obtained thermoelectric material powder was sintered at 490 ° C. for 15 minutes using a hot press to obtain a sintered body of the thermoelectric material. A columnar thermoelectric element (12φ × 7 mmh) was prepared from the obtained sintered body by using a slicer, an ultrasonic machine or the like.

【0024】次に、p型熱電素子14とn型熱電素子1
5をサンドブラスト処理し表面を粗面化した後、図2
(b)に示すように絶縁性型枠に交互に配置した。
Next, the p-type thermoelectric element 14 and the n-type thermoelectric element 1
5 after sandblasting to roughen the surface.
As shown in (b), they were alternately arranged on an insulating mold.

【0025】次いで、図2(c)に示すように、熱電素
子とアルミニウム溶射電極の密着強度を向上させるため
プラズマ溶射によりモリブテンの下地層16を100μ
m程度形成した後、その上にアルミニウム電極17を2
mm程度形成した。裏面のモリブテン下地層とアルミニウ
ム溶射電極の形成も同様にして行った。
Next, as shown in FIG. 2 (c), the molybdenum underlayer 16 is formed by plasma spraying to improve the adhesion strength between the thermoelectric element and the aluminum sprayed electrode by 100 μm.
m, and then an aluminum electrode 17 is formed thereon.
mm. The formation of the backside molybdenum underlayer and the aluminum sprayed electrode was performed in the same manner.

【0026】次いで、図2(d)に示すように、絶縁性
型枠11の両面に形成されたアルミニウム溶射電極17
を平面研削盤を用いて不要な部分を研削した。このと
き、電極面の平面性を確保するために、絶縁性型枠も僅
かに削り込んだ。
Next, as shown in FIG. 2D, aluminum sprayed electrodes 17 formed on both surfaces of the insulating mold 11 are formed.
Unnecessary portions were ground using a surface grinder. At this time, the insulating mold was slightly cut to secure the flatness of the electrode surface.

【0027】次いで、図2(e)に示すように、アルミ
ニウム溶射電極17上にアルミナセラミックスを溶射
し、0.4mm厚のアルミナセラミックス絶縁溶射層20
を形成した。しかる後、上記アルミナセラミックス絶縁
溶射層20の平面性を確保するため、その表面を0.2
mm研削し、最終的なアルミナセラミックス絶縁溶射層2
0の厚みを0.2mmとした。
Next, as shown in FIG. 2 (e), alumina ceramic is sprayed on the aluminum spray electrode 17 to form a 0.4 mm thick alumina ceramic insulating spray layer 20.
Was formed. Thereafter, in order to secure the planarity of the alumina ceramics thermal spray layer 20, the surface thereof is 0.2
mm ground, final alumina ceramics sprayed layer 2
The thickness of 0 was 0.2 mm.

【0028】以上のようにして作製した熱電変換モジュ
ール(素子数15対、モジュール寸法80×144×1
0mm)を電気ヒータと水冷板で熱伝導性グリースを介し
て挟み込み、250℃の温度差を印加し、発電特性の評
価を行った。測定には電子負荷装置を使用し、負荷抵抗
は0.15Ωで測定を行った。加熱板と水冷板の温度差
が250℃の時、開放電圧は1.205Vであり、この
値より求めたモジュールの高温側と低温側との間の温度
差は219.1℃であった。また、最大出力は10.8
6Wであった。また、上述の条件で2週間の連続試験を
行ったが、発電性能の低下は認められず信頼性において
も優れたものであることが確認された。
The thermoelectric conversion module fabricated as described above (15 pairs of elements, module size 80 × 144 × 1)
0 mm) was sandwiched between an electric heater and a water-cooled plate via thermal conductive grease, and a temperature difference of 250 ° C. was applied to evaluate the power generation characteristics. An electronic load was used for the measurement, and the load resistance was measured at 0.15Ω. When the temperature difference between the heating plate and the water cooling plate was 250 ° C., the open circuit voltage was 1.205 V, and the temperature difference between the high temperature side and the low temperature side of the module determined from this value was 219.1 ° C. The maximum output is 10.8
6W. In addition, a continuous test was performed for two weeks under the above-mentioned conditions, but no reduction in power generation performance was observed, and it was confirmed that the reliability was excellent.

【0029】比較例1 絶縁層として、ポリイミドフィルム(0.04mmt)
の両面に熱伝導性グリースを塗布して使用した以外は、
実施例2と同一の工程により熱電変換モジュールを作製
した。このアルミナセラミックス絶縁溶射層を有しない
熱電変換モジュールについて、実施例2と同様の発電特
性の評価を行った。その結果、開放電圧は1.120V
であり、この値より求めたモジュールの高温側と低温側
との間の温度差は203.6℃であった。また、最大出
力は9.57Wであった。
Comparative Example 1 As an insulating layer, a polyimide film (0.04 mmt)
Except that the thermal conductive grease was applied to both sides of
A thermoelectric conversion module was manufactured through the same steps as in Example 2. With respect to the thermoelectric conversion module having no alumina ceramics thermal spray layer, the same power generation characteristics as in Example 2 were evaluated. As a result, the open circuit voltage is 1.120 V
The temperature difference between the high temperature side and the low temperature side of the module determined from this value was 203.6 ° C. The maximum output was 9.57W.

【0030】実施例2及び比較例1の熱電変換モジュー
ルの発電特性の評価結果から明らかなように、絶縁層と
してアルミナセラミックス絶縁溶射層を使用した場合、
ポリイミドフィルムを使用した場合と比較すると最大出
力が13.5%アップした。これは、アルミナの熱伝導
度が20W/mKなのに比べポリイミドフィルムが0.
4W/mKとアルミナの1/50と非常に小さい。また
アルミナ溶射膜をアルミニウム溶射電極に直接形成する
ことにより、熱伝導性グリース層が低減できたため、加
熱板と冷却板間に同じ温度差を印加しても、全体の熱抵
抗が低減されたことにより、熱流入量が増加し、しかも
電気絶縁層及び電気絶縁層と熱電モジュール電極表面の
熱抵抗が低減されたことにより、熱電素子そのものに、
有効に温度差が配分される。その結果、発電出力が向上
したものである。
As is clear from the evaluation results of the power generation characteristics of the thermoelectric conversion modules of Example 2 and Comparative Example 1, when the alumina ceramics thermal sprayed layer was used as the insulating layer,
The maximum output increased by 13.5% as compared with the case where the polyimide film was used. This is because the thermal conductivity of alumina is 20 W / mK and the polyimide film has a thermal conductivity of 0.2 W / mK.
4 W / mK, 1/50 of alumina, very small. Also, by forming the alumina sprayed film directly on the aluminum sprayed electrode, the thermal conductive grease layer could be reduced, so that even if the same temperature difference was applied between the heating plate and the cooling plate, the overall thermal resistance was reduced. As a result, the heat inflow increases, and the thermal resistance of the electrical insulating layer and the electrical insulating layer and the surface of the thermoelectric module electrode is reduced.
The temperature difference is effectively distributed. As a result, the power generation output is improved.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明の熱電変換モジュールは、大規模
な排熱を熱源とした熱電発電に好適な、大型化が容易
で、熱抵抗を抑制し、しかも信頼性が高く熱耐久性のあ
る電気絶縁構造を有する熱電変換モジュールである。ま
た、本発明の熱電変換モジュールの製造方法によれば、
比較的簡単な工程で、上記の本発明の熱電変換モジュー
ルを製造することができる。
The thermoelectric conversion module of the present invention is suitable for thermoelectric power generation using large-scale exhaust heat as a heat source, is easy to increase in size, suppresses thermal resistance, and has high reliability and high heat durability. It is a thermoelectric conversion module having an electric insulation structure. Further, according to the method for manufacturing a thermoelectric conversion module of the present invention,
The above-described thermoelectric conversion module of the present invention can be manufactured by relatively simple steps.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明の熱電変換モジュールの一例を
示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a thermoelectric conversion module of the present invention.

【図2】図2(a)、(b)、(c)、(d)及び
(e)は、本発明の熱電変換モジュールの製造方法の一
例を示す工程図である。
2 (a), 2 (b), 2 (c), 2 (d) and 2 (e) are process diagrams showing an example of a method for manufacturing a thermoelectric conversion module according to the present invention.

【図3】図3は、実施例1におけるSEMによる溶射層
断面組織の観察図である。
FIG. 3 is an observation view of a cross-sectional structure of a sprayed layer by SEM in Example 1.

【図4】図4は、実施例1におけるヒートサイクル試験
の温度パターンを示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing a temperature pattern of a heat cycle test in Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 熱電変換モジュール 11 絶縁性型枠 12 貫通孔 13 電極溝 14 p型熱電素子 15 n型熱電素子 16 下地層 17 溶射電極 20 セラミックス絶縁溶射層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Thermoelectric conversion module 11 Insulating mold 12 Through-hole 13 Electrode groove 14 P-type thermoelectric element 15 n-type thermoelectric element 16 Underlayer 17 Thermal spray electrode 20 Ceramic insulating thermal spray layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大空 靖昌 山口県宇部市大字小串1978番地の5 宇部 興産株式会社宇部研究所内 (72)発明者 藤井 一宏 山口県宇部市大字小串1978番地の5 宇部 興産株式会社宇部研究所内 (72)発明者 井上 亨 福岡県福岡市中央区渡辺通二丁目1番82号 九州電力株式会社内 (72)発明者 鎌倉 宏樹 福岡県福岡市中央区渡辺通二丁目1番82号 九州電力株式会社内 (72)発明者 桜田 敏生 福岡県福岡市中央区渡辺通二丁目1番82号 九州電力株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yasumasa Ozora 5 in 1978 Kogushi, Oji, Ube City, Yamaguchi Prefecture Inside Ube Research Institute, Ltd. (72) Inventor Kazuhiro Fujii 5 Ube, 1978 Kogushi in Obe City, Ube City, Yamaguchi Prefecture Kobe Industries, Ltd.Ube Research Institute (72) Inventor Toru Inoue 2-182 Watanabe-dori, Chuo-ku, Fukuoka City, Fukuoka Prefecture Kyushu Electric Power Company (72) Inventor Hiroki Kamakura 2-1-1 Watanabe-dori, Chuo-ku, Fukuoka City, Fukuoka Prefecture No. 82 Kyushu Electric Power Co., Inc. (72) Inventor Toshio Sakurada 2-82 Watanabe-dori, Chuo-ku, Fukuoka City, Fukuoka Prefecture Kyushu Electric Power Co., Ltd.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の貫通孔及び該貫通孔間を連絡する
複数の電極用溝が設けられた電気的且つ熱的絶縁性型枠
と、該型枠の上記貫通孔に交互に配列されたp型熱電素
子及びn型熱電素子と、上記型枠の上記電極用溝に上記
p型熱電素子と上記n型熱電素子とが交互に電気的に直
列に接続するように埋設された溶射電極と、上記溶射電
極上に形成されたセラミックス絶縁溶射層とからなり、
上記型枠、上記p型及びn型熱電素子、上記溶射電極、
並びに上記セラミックス絶縁溶射層が一体的に固着され
ていることを特徴とする熱電変換モジュール。
1. An electrically and thermally insulating mold provided with a plurality of through holes and a plurality of electrode grooves communicating between the through holes, and alternately arranged in the through holes of the mold. a p-type thermoelectric element and an n-type thermoelectric element, and a sprayed electrode embedded in the electrode groove of the mold so that the p-type thermoelectric element and the n-type thermoelectric element are alternately electrically connected in series. Comprises a ceramic insulating spray layer formed on the spray electrode,
The mold, the p-type and n-type thermoelectric elements, the spray electrode,
And a thermoelectric conversion module, wherein the ceramic insulation sprayed layer is integrally fixed.
【請求項2】 電気的且つ熱的絶縁性材料を用いて、複
数の貫通孔及び該貫通孔間を連絡する複数の電極用溝が
設けられた電気的且つ熱的絶縁性型枠を作製する工程
と、上記型枠の上記貫通孔にp型熱電素子とn型熱電素
子とを交互に配列する工程と、導電性材料を用いて、上
記の熱電素子を配列した型枠の両面に溶射電極を形成す
る工程と、上記型枠の上記電極用溝以外に形成された不
要な溶射電極を除去する工程と、上記溶射電極上にセラ
ミックス絶縁溶射層を形成する工程と、上記セラミック
ス絶縁溶射層の表面を平滑にする工程とを含む熱電変換
モジュールの製造方法。
2. An electrically and thermally insulating formwork having a plurality of through-holes and a plurality of electrode grooves communicating between the through-holes is produced using an electrically and thermally insulating material. A step of alternately arranging a p-type thermoelectric element and an n-type thermoelectric element in the through-hole of the mold; and using a conductive material, spraying electrodes on both surfaces of the mold in which the thermoelectric element is arranged. Forming a, a step of removing unnecessary sprayed electrodes formed other than the electrode grooves of the mold, a step of forming a ceramic insulating sprayed layer on the sprayed electrode, and a step of forming the ceramic insulating sprayed layer A method for producing a thermoelectric conversion module, the method comprising: smoothing a surface.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109314172A (en) * 2016-03-22 2019-02-05 金瑟姆股份有限公司 Distributed heat electric material with non-homogeneous heat transfer characteristic
CN109713116A (en) * 2017-10-26 2019-05-03 现代自动车株式会社 Thermoelectric element unit and its manufacturing method and electrothermal module including it
US20220238980A1 (en) * 2019-10-14 2022-07-28 Schott Ag Header for a package including an electronic component for radio frequency signal transmission

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109314172A (en) * 2016-03-22 2019-02-05 金瑟姆股份有限公司 Distributed heat electric material with non-homogeneous heat transfer characteristic
JP2019513303A (en) * 2016-03-22 2019-05-23 ジェンサーム インコーポレイテッドGentherm Incorporated Distributed Thermoelectrics with Non-uniform Heat Transfer Characteristics
CN109713116A (en) * 2017-10-26 2019-05-03 现代自动车株式会社 Thermoelectric element unit and its manufacturing method and electrothermal module including it
US10468572B2 (en) 2017-10-26 2019-11-05 Hyundai Motor Company Thermoelectric element unit, thermoelectric module including the same, and method for manufacturing the same
US10930833B2 (en) 2017-10-26 2021-02-23 Hyundai Motor Company Thermoelectric element unit, thermoelectric module including the same, and method for manufacturing the same
CN109713116B (en) * 2017-10-26 2023-08-08 现代自动车株式会社 Thermoelectric element unit, method of manufacturing the same, and thermoelectric module including the same
US20220238980A1 (en) * 2019-10-14 2022-07-28 Schott Ag Header for a package including an electronic component for radio frequency signal transmission
US11777189B2 (en) * 2019-10-14 2023-10-03 Schott Ag Header for a package including an electronic component for radio frequency signal transmission

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