JP2002025296A - Verifying method for redundancy analyzing program of semiconductor integrated circuit and system - Google Patents

Verifying method for redundancy analyzing program of semiconductor integrated circuit and system

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JP2002025296A
JP2002025296A JP2000201788A JP2000201788A JP2002025296A JP 2002025296 A JP2002025296 A JP 2002025296A JP 2000201788 A JP2000201788 A JP 2000201788A JP 2000201788 A JP2000201788 A JP 2000201788A JP 2002025296 A JP2002025296 A JP 2002025296A
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redundancy analysis
pattern
redundancy
information
analysis program
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JP2000201788A
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Japanese (ja)
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Toshio Nakano
敏男 中野
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten a test time by automatically performing examination and preparation of a redundancy analyzing and verifying program and to prevent dispersion of a verified quality level owing to difference of recognition levels by automating examination of verifying contents and a relieving code expected value and discrimination of acceptance or rejection. SOLUTION: Information for generating a pseudo memory defective pattern is automatically extracted based on information about memory circuit constitution of a test specification 2 and redundancy circuit constitution, a pseudo memory pattern information file 10 is prepared, while a relieving code expected value is automatically extracted, and a relieving code expected value file 11 is prepared (STP6). A pseudo memory defective pattern is automatically generated and a test is performed based on the pseudo memory defective pattern information, a model program, and a model pattern 12, while redundancy analysis is performed by a redundancy analyzing program 7, the redundancy analyzed result is stored in a relieving code output result file 13. Then the relieving code expected value file 11 is compared with the reliving code output result file.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、メモリ回路を含
む半導体集積回路において、メモリ回路構成及びその冗
長回路構成に基づいて作成した冗長解析プログラムを自
動検証するための冗長解析プログラム検証方法及びシス
テムに関するものである。
The present invention relates to a redundancy analysis program verification method and system for automatically verifying a redundancy analysis program created based on a memory circuit configuration and a redundancy circuit configuration in a semiconductor integrated circuit including a memory circuit. Things.

【0002】[0002]

【従来の技術】図16は、メモリセルを含む半導体集積
回路において、メモリ回路構成及びその冗長回路構成に
基づいて作成した冗長解析プログラムを検証する従来の
フローチャート図である。冗長解析プログラムの検証
は、大別すると以下の5ステップがあり、従来は全て人
手により行っている。
2. Description of the Related Art FIG. 16 is a conventional flowchart for verifying a redundancy analysis program created based on a memory circuit configuration and its redundant circuit configuration in a semiconductor integrated circuit including a memory cell. Verification of a redundancy analysis program can be roughly classified into the following five steps, and conventionally, all are manually performed.

【0003】◎STEP1:擬似メモリ不良パターン及
び救済コード期待値の検討(図16のSTP1).図2
に示すメモリ回路を含む半導体集積回路(LSI)1に
おいて、そのメモリ回路構成(ロウ、カラム最大値、I
/O本数(入出力ピン本数))と冗長回路構成(使用す
るスペアを選択するロウ・カラムスペア選択ビット、選
択されたスペアをどのメインメモリと置換するかを定義
するロウ・カラム置換対象アドレスビット、救済領域内
に存在するロウ・カラムスペア本数)、メモリが仕様ど
おり動作するか確認するための試験内容、及び試験方法
を記述した試験仕様書2を用意し、この試験仕様書2を
基に作成された冗長解析プログラムに対し、出力され得
る全ての救済コードが正しく出力されるかを確認できる
複数の擬似メモリ不良パターン仕様3を下記の通り作成
する。
STEP 1: Examination of pseudo memory failure pattern and expected value of repair code (STP1 in FIG. 16). FIG.
In a semiconductor integrated circuit (LSI) 1 including a memory circuit shown in FIG.
/ O number (number of input / output pins)) and redundant circuit configuration (row / column spare selection bits for selecting a spare to be used, row / column replacement target address bits for defining which main memory to replace the selected spare with) , The number of row / column spares existing in the rescue area), test contents for confirming whether the memory operates as specified, and a test method 2 which describes a test method are prepared. Based on the test specification 2, For the created redundancy analysis program, a plurality of pseudo memory failure pattern specifications 3 that can confirm whether all the rescue codes that can be output are output correctly are created as follows.

【0004】(1*)I/O設定検証パターン(各I/
O毎の擬似メモリ不良パターンの作成) (2*)ロウスペア選択設定検証パターン(各ロウスペ
アを選択する擬似メモリ不良パターンの作成) (3*)カラムスペア選択設定検証パターン(各カラム
スペアを選択する擬似メモリ不良パターンの作成) (4*)ロウ置換対象アドレス選択設定検証パターン
(各ロウ置換対象アドレスを選択する擬似メモリ不良パ
ターンの作成) (5*)カラム置換対象アドレス選択設定検証パターン
(各カラム置換対象アドレスを選択する擬似メモリ不良
パターンの作成) (6*)ロウスペア本数設定検証パターン(ロウ救済領
域内に存在するメモリ不良数を変化させたパターンの作
成) (7*)カラムスペア本数設定検証パターン(カラム救
済領域内に存在するメモリ不良数を変化させたパターン
の作成) (8*)ロウアドレス冗長解析未使用ビット検証パター
ン(ロウ選択アドレスとして使用しないビットを変化さ
せた不良パターンの作成) (9*)カラムアドレス冗長解析未使用ビット検証パタ
ーン(カラム選択アドレスとして使用しないビットを変
化させた不良パターンの作成)
(1 *) I / O setting verification pattern (each I / O
(2 *) Row spare selection setting verification pattern (Creation of pseudo memory failure pattern for selecting each row spare) (3 *) Column spare selection setting verification pattern (Pseudo for selecting each column spare) (4 *) Row replacement target address selection setting verification pattern (Creation of pseudo memory failure pattern for selecting each row replacement target address) (5 *) Column replacement target address selection setting verification pattern (Each column replacement) (6 *) Verification pattern for setting the number of row spares (creating a pattern in which the number of memory defects existing in the row relief area is changed) (7 *) Verification pattern for setting the number of column spares (Creation of a pattern that changes the number of memory defects existing in the column rescue area (8 *) Row address redundancy analysis unused bit verification pattern (creation of defective pattern by changing bits not used as row selection address) (9 *) Column address redundancy analysis unused bit verification pattern (not used as column selection address Creating defective patterns with changed bits)

【0005】STEP1では、擬似メモリ不良パターン
仕様3の作成と同時に、冗長救済プログラムの合否判定
に使用する救済コード期待値4を、擬似メモリ不良パタ
ーン仕様3とあらかじめ決めた救済コード書式9(図
3)に基づいて作成する。
In STEP 1, at the same time as the creation of the pseudo memory defect pattern specification 3, the relief code expected value 4 used for the pass / fail judgment of the redundancy rescue program is changed to the pseudo memory defect pattern specification 3 and a predetermined relief code format 9 (FIG. 3). ).

【0006】◎STEP2:擬似メモリ不良パターンの
作成(図16のSTP2).半導体試験装置の不良情報
蓄積メモリに擬似メモリ不良情報を蓄積させるために、
STEP1で作成した擬似メモリ不良パターン仕様3に
基づいて擬似メモリ不良パターン5を作成する。
STEP 2: Creation of a pseudo memory failure pattern (STP2 in FIG. 16). In order to accumulate pseudo memory defect information in the defect information storage memory of the semiconductor test device,
A pseudo memory failure pattern 5 is created based on the pseudo memory failure pattern specification 3 created in STEP1.

【0007】◎STEP3:擬似メモリ不良パターンで
出力される救済コード取得(図16のSTP3).半導
体試験装置に冗長解析結果を出力させるために、あらか
じめ量産試験の目的で作成したメインプログラム6と、
冗長解析プログラム7と、STEP2で作成した擬似メ
モリ不良パターン5を半導体試験装置で動作させ、半導
体試験装置内の不良情報メモリに擬似メモリ不良情報を
転送し、冗長解析を実行する。そして、冗長解析実行
後、救済コード出力結果ファイル8が作成される。
STEP 3: Acquisition of a relief code output in a pseudo memory failure pattern (STP3 in FIG. 16). A main program 6 created in advance for mass production testing in order to output a redundant analysis result to a semiconductor test device;
The redundancy analysis program 7 and the pseudo memory failure pattern 5 created in STEP 2 are operated by the semiconductor test apparatus, the pseudo memory failure information is transferred to the failure information memory in the semiconductor test apparatus, and the redundancy analysis is performed. Then, after executing the redundancy analysis, a relief code output result file 8 is created.

【0008】◎STEP4:救済コード期待値と救済コ
ード出力結果の検討(図16のSTP4).STEP1
で検討した救済コード期待値4とSTEP3で作成した
救済コード出力結果ファイル8を人手により比較し、期
待通り救済コードが出力されるか人手により確認する。
ここで、期待通りに救済コードが出力されない場合は、
擬似メモリ不良パターン仕様3、救済コード期待値4、
擬似メモリ不良パターン5、冗長解析プログラム7を全
て見直し、再度検証を実施する。
STEP 4: Examination of expected value of rescue code and output result of rescue code (STP4 in FIG. 16). STEP1
The expected value 4 of the rescue code examined in the step 3 is compared with the rescue code output result file 8 created in STEP 3 by hand to confirm whether the rescue code is output as expected.
If the rescue code is not output as expected,
Pseudo memory failure pattern specification 3, expected rescue code 4,
The pseudo memory failure pattern 5 and the redundancy analysis program 7 are all reviewed, and the verification is performed again.

【0009】◎STEP5:全検証項目実施、合否判定
(図16、STP5).STEP1で検討した擬似メモ
リパターン仕様3に従い、STEP2からSTEP4を
繰り返し実行し、全ての結果が期待値どおり出力された
ことを確認したことで検証完了となる。
STEP5: Implementation of all verification items, pass / fail judgment (FIG. 16, STP5). According to the pseudo memory pattern specification 3 examined in STEP1, STEP2 to STEP4 are repeatedly executed, and verification is completed by confirming that all results are output as expected values.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】従来のメモリセルを含
む半導体集積回路において、メモリ回路構成及びその冗
長回路構成に基づいて作成した冗長解析プログラムを検
証する手法は以上のように構成されているので、下記の
ような問題が発生していた。
In a conventional semiconductor integrated circuit including a memory cell, a method for verifying a redundancy analysis program created based on a memory circuit configuration and its redundant circuit configuration is configured as described above. However, the following problems have occurred.

【0011】1)テスト開発時間の増大 通常のテストプログラム、冗長解析プログラム開発以外
に検証用プログラムの検討・作成を行なう必要があり、
当該検証を新規半導体集積回路のテスト開発毎に実施す
る必要がある。更にシステムLSIでは、1チップに複
数個、複数種類のメモリが搭載されるため、各冗長解析
ルール毎に人手により検証を行うことになり、テスト開
発時間の増大につながっていた。
1) Increase in test development time It is necessary to examine and create a verification program in addition to the normal test program and redundancy analysis program development.
The verification needs to be performed for each test development of a new semiconductor integrated circuit. Further, in the system LSI, since a plurality of types of memories are mounted on one chip, verification is manually performed for each redundancy analysis rule, which leads to an increase in test development time.

【0012】2)検証品質のばらつき 人手により検証内容、救済コード期待値の検討、及び合
否判定をするために、人員の認識レベルの差による検証
品質レベルのばらつきが発生していた。
2) Variation in verification quality In order to manually examine the contents of verification, the expected value of the rescue code, and make a pass / fail decision, a variation in verification quality due to a difference in the recognition level of personnel has occurred.

【0013】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたものであり、人手によっていた冗長解
析検証プログラムの検討及び作成を自動で行なうことに
より、テスト時間を大幅に短縮するとともに、人手によ
っていた検証内容、救済コード期待値の検討、及び合否
判定を自動化することにより、認識レベルの差による検
証品質レベルのばらつきを防止することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and greatly reduces the test time by automatically examining and creating a manual redundant analysis verification program. It is another object of the present invention to prevent the variation of the verification quality level due to the difference in the recognition level by automating the verification contents manually, the examination of the expected value of the rescue code, and the pass / fail judgment.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、メモ
リ回路及びその冗長回路を備えた半導体集積回路につい
て、冗長解析プログラムを自動検証するための冗長解析
プログラム検証方法であって、メモリ回路構成及び冗長
回路構成に関する情報に基づいて、冗長解析プログラム
の検証パターンである擬似メモリ不良パターンを発生さ
せるための情報を自動抽出し、擬似メモリ不良パターン
情報ファイルを作成するステップを有することを特徴と
する。
According to the first aspect of the present invention, there is provided a redundancy analysis program verifying method for automatically verifying a redundancy analysis program for a memory circuit and a semiconductor integrated circuit having the redundancy circuit. Automatically extracting information for generating a pseudo memory failure pattern which is a verification pattern of a redundancy analysis program based on information on the configuration and the redundant circuit configuration, and creating a pseudo memory failure pattern information file. I do.

【0015】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、メモリ回路構成及び冗長回路構成に関する情報に基
づいて、冗長解析の検証を行なうための救済コード期待
値を自動抽出し、救済コード期待値ファイルを作成する
ステップを有することを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, a rescue code expected value for verifying the redundancy analysis is automatically extracted based on the information on the memory circuit configuration and the redundant circuit configuration. A step of creating a value file.

【0016】請求項3の発明は、請求項1又は請求項2
の発明において、擬似メモリ不良パターン情報と、雛型
プログラム及び雛型パターンに基づいて、擬似メモリ不
良パターンを自動生成してテストを行なうとともに、冗
長解析プログラムにより冗長解析を行ない、その冗長解
析結果を救済コード出力結果ファイルに格納するステッ
プを有することを特徴とする。
[0016] The invention of claim 3 is claim 1 or claim 2.
In the invention of the present application, a pseudo memory failure pattern is automatically generated and tested based on the pseudo memory failure pattern information, the template program and the template pattern, and the redundancy analysis is performed by the redundancy analysis program. The method further comprises the step of storing in a relief code output result file.

【0017】請求項4の発明は、請求項3の発明におい
て、救済コード期待値ファイルの情報と、救済コード出
力結果ファイルの情報を比較し、その比較結果を冗長解
析用プログラム判定結果ファイルに格納するステップを
有することを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, the information in the relief code expected value file is compared with the information in the relief code output result file, and the comparison result is stored in the redundancy analysis program determination result file. The step of performing

【0018】請求項5の発明は、請求項3又は請求項4
の発明において、擬似メモリ不良パターン情報と、雛型
プログラム及び雛型パターンに基づいて、電子計算機上
での擬似半導体試験環境下にて擬似メモリ不良パターン
を自動生成してテストを行なうとともに、同じく電子計
算機上での擬似半導体試験環境下にて冗長解析プログラ
ムにより冗長解析を行ない、その冗長解析結果を救済コ
ード出力結果ファイルに格納することを特徴とする。
The invention according to claim 5 is the invention according to claim 3 or claim 4.
In the invention, a pseudo memory failure pattern is automatically generated and tested in a pseudo semiconductor test environment on an electronic computer based on the pseudo memory defect pattern information, the template program and the template pattern. A redundancy analysis is performed by a redundancy analysis program in a pseudo semiconductor test environment on a computer, and the result of the redundancy analysis is stored in a relief code output result file.

【0019】請求項6の発明は、請求項3又は請求項4
の発明において、擬似メモリ不良パターン情報と、雛型
プログラム及び雛型パターンに基づいて、半導体集積回
路に内蔵された自己パターン発生回路により擬似メモリ
不良パターンを自動生成してテストを行なうとともに、
半導体集積回路に内蔵された冗長解析回路により冗長解
析を行ない、その冗長解析結果を格納することを特徴と
する。
The invention according to claim 6 is the invention according to claim 3 or claim 4.
In the invention, a pseudo memory failure pattern is automatically generated by a self-pattern generation circuit built in a semiconductor integrated circuit based on the pseudo memory failure pattern information, the template program and the template pattern, and a test is performed.
A redundancy analysis is performed by a redundancy analysis circuit built in the semiconductor integrated circuit, and the result of the redundancy analysis is stored.

【0020】請求項7の発明は、メモリ回路及びその冗
長回路を備えた半導体集積回路について、冗長解析プロ
グラムを自動検証するための冗長解析プログラム検証シ
ステムであって、メモリ回路構成及び冗長回路構成に関
する情報に基づいて、冗長解析プログラムの検証パター
ンである擬似メモリ不良パターンを発生させるための情
報を自動抽出し、擬似メモリ不良パターン情報ファイル
を作成する手段を備えたことを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a redundancy analysis program verification system for automatically verifying a redundancy analysis program for a semiconductor integrated circuit having a memory circuit and its redundant circuit, and relates to a memory circuit configuration and a redundant circuit configuration. A means for automatically extracting information for generating a pseudo memory failure pattern, which is a verification pattern of the redundancy analysis program, based on the information and creating a pseudo memory failure pattern information file is provided.

【0021】請求項8の発明は、請求項7の発明におい
て、メモリ回路構成及び冗長回路構成に関する情報に基
づいて、冗長解析の検証を行なうための救済コード期待
値を自動抽出し、救済コード期待値ファイルを作成する
手段を備えたことを特徴とする。
According to an eighth aspect of the present invention, in the seventh aspect of the present invention, a rescue code expected value for verifying the redundancy analysis is automatically extracted based on the information on the memory circuit configuration and the redundant circuit configuration. It is characterized by comprising means for creating a value file.

【0022】請求項9の発明は、請求項7又は請求項8
において、擬似メモリ不良パターン情報と、雛型プログ
ラム及び雛型パターンに基づいて、擬似メモリ不良パタ
ーンを自動生成してテストを行なうとともに、冗長解析
プログラムにより冗長解析を行ない、その冗長解析結果
を救済コード出力結果ファイルに格納する手段を備えた
ことを特徴とする。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided an image processing apparatus comprising:
, A pseudo memory failure pattern is automatically generated and tested based on the pseudo memory failure pattern information, the template program and the template pattern, the redundancy analysis is performed by the redundancy analysis program, and the redundancy analysis result is saved as a repair code. It is characterized by comprising means for storing in an output result file.

【0023】請求項10の発明は、請求項9の発明にお
いて、救済コード期待値ファイルの情報と、救済コード
出力結果ファイルの情報を比較し、その比較結果を冗長
解析用プログラム判定結果ファイルに格納する手段を備
えたことを特徴とする。
According to a tenth aspect of the present invention, in the ninth aspect of the present invention, the information of the relief code expected value file is compared with the information of the relief code output result file, and the comparison result is stored in the redundancy analysis program determination result file. Means for performing the operation.

【0024】請求項11の発明は、請求項1から請求項
10の発明において、擬似メモリ不良パターンを発生さ
せるための情報は、パターン動作開始及び終了アドレ
ス、繰り返し回数、I/Oピンに関する情報であること
を特徴とする。
According to an eleventh aspect of the present invention, in the first to tenth aspects of the present invention, the information for generating the pseudo memory failure pattern is information on a pattern operation start and end address, the number of repetitions, and an I / O pin. There is a feature.

【0025】請求項12の発明は、請求項1から請求項
11の発明において、半導体集積回路は複数個又は複数
種類のメモリ回路を搭載したものであり、各々のメモリ
回路についての冗長解析プログラムを自動検証すること
を特徴とする。
According to a twelfth aspect of the present invention, in the first to eleventh aspects of the present invention, the semiconductor integrated circuit includes a plurality of or a plurality of types of memory circuits, and a redundancy analysis program for each memory circuit is stored. It is characterized by automatic verification.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】実施の形態1.図1はこの発明の
実施の形態1による半導体集積回路の冗長解析プログラ
ム検証方法を示すフローチャート図であり、半導体試験
装置により単一メモリ搭載の半導体集積回路(LSI)
の冗長解析プログラムの自動検証フローを示している。
以下、本実施の形態の手法を、4つのメインステップに
基づいて順を追って説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. 1 is a flowchart showing a method for verifying a redundancy analysis program of a semiconductor integrated circuit according to a first embodiment of the present invention.
3 shows an automatic verification flow of the redundancy analysis program of FIG.
Hereinafter, the method of the present embodiment will be described step by step based on four main steps.

【0027】◎STEP6:擬似メモリ不良パターン情
報抽出、救済コード期待値作成(図1のSTP6).図
2に示すメモリ回路を含む半導体集積回路(LSI)1
において、そのメモリ回路構成(ロウ、カラム最大値、
I/O本数(入出力ピン本数))と冗長回路構成(使用
するスペアを選択するロウ・カラムスペア選択ビット、
選択されたスペアをどのメインメモリと置換するかを定
義するロウ・カラム置換対象アドレスビット、救済領域
内に存在するロウ・カラムスペア本数)、メモリが仕様
通り動作するか確認するための試験内容、試験方法を記
述した試験仕様書2を用意し、その試験仕様書2に基づ
いてメモリ回路構成情報と冗長回路情報を手入力するこ
とで、半導体試験装置により擬似メモリ不良パターンを
自動発生するための擬似メモリ不良パターン情報ファイ
ル10と半導体試験装置から出力される救済コード出力
結果ファイル13を自動判定するための救済コード期待
値ファイル11を作成する。
STEP6: Pseudo memory defect pattern information extraction, expected repair code creation (STP6 in FIG. 1). Semiconductor integrated circuit (LSI) 1 including the memory circuit shown in FIG.
In the memory circuit configuration (row, column maximum value,
Number of I / O lines (number of input / output pins)) and redundant circuit configuration (row / column spare selection bits for selecting a spare to be used)
Row / column replacement target address bits that define which main memory is to be replaced with the selected spare, the number of row / column spares present in the rescue area), test contents to confirm whether the memory operates as specified, A test specification 2 describing a test method is prepared, and memory circuit configuration information and redundant circuit information are manually input based on the test specification 2 to automatically generate a pseudo memory failure pattern by a semiconductor test apparatus. A relief code expected value file 11 for automatically determining the pseudo memory failure pattern information file 10 and the relief code output result file 13 output from the semiconductor test apparatus is created.

【0028】まず始めに、LSI1での擬似メモリ不良
パターンの出力例、作成方法を下記の(1)〜(9)に
示す。
First, an output example of a pseudo memory failure pattern in the LSI 1 and a method of producing the same will be described in the following (1) to (9).

【0029】(1)I/O設定についての検証パターン 図4の出力例は、LSI1のI/Oを変化させた際の救
済コードを検証するためのパターンであり、図2のLS
I1はI/Oが4本であるため、“I/O”を“1(2
進数:0001)”、“2(0010)”、“4(01
00)”、“8(1000)” の4種類作成する。因
みに、擬似メモリ不良情報は図4の通り、“ロウ”、
“カラム”、“I/O”、“方向”、“ライン長”から
成る。“ロウ”、“カラム”は擬似メモリ不良パターン
の開始アドレス、“I/O”は擬似メモリ不良を作成し
たいI/O情報、“方向”は作成する擬似メモリ不良が
ロウライン不良またはカラムライン不良かを表し、“ラ
イン長”はロウライン不良またはカラムライン不良のビ
ット数(ライン不良の長さ)を意味する。
(1) Verification Pattern for I / O Setting The output example of FIG. 4 is a pattern for verifying a relief code when the I / O of the LSI 1 is changed.
Since I1 has four I / Os, "I / O" is changed to "1 (2
Base number: 0001) "," 2 (0010) "," 4 (01
00) ”and“ 8 (1000) ”. By the way, the pseudo memory failure information is“ Low ”,
It consists of “column”, “I / O”, “direction”, and “line length”. “Row” and “column” are the start addresses of the pseudo memory defect pattern, “I / O” is the I / O information for which a pseudo memory defect is to be created, and “direction” is whether the pseudo memory defect to be created is a row line defect or a column line defect. The “line length” means the number of bits of a row line defect or a column line defect (length of a line defect).

【0030】(2)ロウスペア選択設定についての検証
パターン 図5の出力例は、ロウスペア選択アドレスを変化させた
際の救済コードを検証するためのパターンであり、ロウ
最大値、ロウスペア選択アドレスビット、救済領域内の
スペア本数を基に作成される。ロウアドレスは最大値7
FF、ロウスペア選択アドレスビットはロウ11ビット
目とカラム9ビット目、ロウスペア本数は1本であるこ
とから、ロウ11ビット目、カラム9ビット目を変化さ
せた、ライン長がロウスペアと同等であるカラムライン
不良4パターン(図5)でロウスペア選択設定を検証で
きる。ここで、図6は図5、一行目(メインメモリ1
用)の擬似メモリ不良パターンの簡略図である。
(2) Verification Pattern for Row Spare Selection Setting The output example of FIG. 5 is a pattern for verifying a rescue code when a row spare selection address is changed, and includes a row maximum value, a row spare selection address bit, and a rescue code. It is created based on the number of spares in the area. Row address is maximum value 7
Since the FF and row spare selection address bits are the 11th bit and the 9th bit of the row and the number of row spares is 1, the 11th row and the 9th bit of the row are changed, and the column length is equivalent to that of the row spare. The row spare selection setting can be verified with four line failure patterns (FIG. 5). Here, FIG. 6 is the first line in FIG.
FIG. 7 is a simplified diagram of a pseudo memory failure pattern of FIG.

【0031】(3)カラムスペア選択設定についての検
証パターン カラムスペア選択アドレスを変化させた際の救済コード
を検証するためのパターンであり、カラム最大値、カラ
ムスペア選択アドレスビット、救済領域内のスペア本数
を基に作成され、情報抽出方法は上記(2)のロウスペ
ア選択設定についての検証パターンの場合と同様であ
る。
(3) Verification pattern for column spare selection setting This is a pattern for verifying a relief code when the column spare selection address is changed. The column maximum value, the column spare selection address bit, and the spare in the relief area The information is created based on the number and the information extraction method is the same as that of the verification pattern for the row spare selection setting in (2) above.

【0032】(4)ロウ置換対象アドレス選択設定につ
いての検証パターン 図7の出力例は、ロウ置換対象アドレスを変化させた際
の救済コードを検証するためのパターンであり、ロウ最
大値、ロウスペア選択アドレスビットを基に作成され
る。ロウスペア選択ビット以外のロウアドレスビットを
1ビットずつ加算し、ロウスペア選択ビット以外の全て
のビットに“1”が立つまで繰り返し検証をする擬似メ
モリ不良情報となる。また、本検証より従来技術の(8
*)のロウアドレス冗長解析での未使用ビットについて
も検証できる。
(4) Verification Pattern for Selecting Row Replacement Target Address The output example in FIG. 7 is a pattern for verifying a relief code when the row replacement target address is changed. Created based on address bits. The pseudo memory failure information is obtained by adding the row address bits other than the row spare selection bits one bit at a time and repeatedly performing verification until all bits other than the row spare selection bits become "1". In addition, from this verification, the prior art (8)
The unused bits in the row address redundancy analysis of *) can also be verified.

【0033】(5)カラム置換対象アドレス選択設定に
ついての検証パターン カラム置換対象アドレスを変化させた際の救済コードを
検証するためのパターンであり、カラム最大値、カラム
スペア選択アドレスを基に作成され、情報抽出方法は上
記(4)のロウ置換対象アドレス選択設定についての検
証パターンの場合と同様である。
(5) Verification pattern for selecting a column replacement target address This is a pattern for verifying a relief code when the column replacement target address is changed, and is created based on the column maximum value and the column spare selection address. The information extraction method is the same as that of the verification pattern for the row replacement target address selection setting in the above (4).

【0034】(6)ロウスペア本数設定についての検証
パターン 図8の出力例は、ロウ救済領域内のカラムライン不良を
複数発生させた際の救済コード、冗長解析結果を検証す
るためのパターンであり、ロウ最大値、ロウスペア選択
アドレスビットを基に作成される。情報抽出方法は上記
(4)のロウ置換対象アドレス選択設定についての検証
パターンの場合と同様である。
(6) Verification Pattern for Setting the Number of Row Spares The output example of FIG. 8 is a pattern for verifying a repair code and a redundancy analysis result when a plurality of column line defects occur in the row repair area. It is created based on the row maximum value and the row spare selection address bit. The information extraction method is the same as that in the case of the verification pattern for the row replacement target address selection setting in (4).

【0035】(7)カラムスペア本数設定についての検
証パターン カラム救済領域内のロウライン不良を複数発生させた際
の救済コード、冗長解析結果を検証するためのパターン
であり、情報抽出方法は(6)のロウスペア本数設定に
ついての検証パターンの場合と同様である。
(7) Verification pattern for setting the number of column spares This is a pattern for verifying a repair code and a redundancy analysis result when a plurality of row line defects occur in the column repair area, and the information extraction method is (6). This is the same as the case of the verification pattern for the setting of the number of row spares.

【0036】(8)ロウアドレス冗長解析での未使用ビ
ットについての検証パターン 上記(4)のロウ置換対象アドレス選択設定についての
検証パターンにて確認されるため、改めて擬似メモリ不
良パターン情報は作成しない。
(8) Verification Pattern for Unused Bits in Row Address Redundancy Analysis Since the verification pattern is verified by the verification pattern for selecting the address to be replaced in (4) above, pseudo memory failure pattern information is not newly created. .

【0037】(9)カラムアドレス冗長解析での未使用
ビットについての検証パターン 上記(5)のカラム置換対象アドレス選択設定について
の検証パターンにて確認されるため、改めて擬似メモリ
不良パターン情報は作成しない。
(9) Verification Pattern for Unused Bits in Column Address Redundancy Analysis Since the verification pattern for the column selection target address selection setting in (5) above is confirmed, no pseudo memory failure pattern information is created again. .

【0038】次に、半導体試験装置から出力される冗長
解析結果の自動判定に使用する救済コード期待値につい
て説明する。
Next, an explanation will be given of the expected value of the rescue code used for the automatic judgment of the redundancy analysis result output from the semiconductor test apparatus.

【0039】先に示した擬似メモリ不良パターン情報フ
ァイル10のパターン(1)〜(9)について、救済コ
ード書式9(図3)を基に生成される。図9は擬似メモ
リ不良パターン情報ファイル10のパターン(2)(図
5)についての救済コード期待値の出力例を示す。一行
目は擬似メモリ不良情報のパターンスタートアドレスが
ロウ・カラム共に“0”であり、256行のカラムライ
ン不良であるため、メインメモリ1のロウスペアにて置
換が出来ることがわかる(図6のパターン簡略図を参
照)。その際のロウ置換対象アドレスは“0”であるの
で、以上の情報を救済コード書式9に当てはめると2進
表記では“1000000000000000”であり、16進表記にす
ると“8000”となる。二行目以降も同様に救済コード期
待値を作成する。
The patterns (1) to (9) of the pseudo memory failure pattern information file 10 described above are generated based on the relief code format 9 (FIG. 3). FIG. 9 shows an output example of the expected rescue code value for the pattern (2) (FIG. 5) of the pseudo memory failure pattern information file 10. In the first row, the pattern start address of the pseudo memory defect information is “0” in both the row and column, and there are 256 column line defects, so that it can be seen that the row can be replaced by the row spare of the main memory 1 (see FIG. See simplified diagram). Since the row replacement target address at that time is "0", when the above information is applied to the relief code format 9, it becomes "100000000000000000" in binary notation, and becomes "8000" in hexadecimal notation. Similarly, the expected value of the rescue code is created in the second and subsequent lines.

【0040】◎STEP7:テスト実行、冗長解析(図
1のSTP7) STEP6で作成した擬似メモリ不良パターン情報ファ
イル10とあらかじめ作成した雛型プログラム、雛型パ
ターンファイル12を用いて擬似メモリ不良パターンを
生成し、不良メモリ情報を被試験対象である冗長解析プ
ログラム7で冗長解析し、救済コード出力結果ファイル
13を作成する。ここで、擬似メモリ不良パターン情報
ファイル10に従い、半導体試験装置からLSI1に擬
似メモリ不良パターンを印加するための雛型プログラム
ファイルと雛型パターンファイル12を雛形プログラム
のフローである図10を用いて説明する。
STEP 7: Test execution, redundancy analysis (STP 7 in FIG. 1) A pseudo memory failure pattern is generated using the pseudo memory failure pattern information file 10 created in STEP 6 and the template program and template pattern file 12 created in advance. Then, the defective memory information is subjected to redundancy analysis by the redundancy analysis program 7 to be tested, and a relief code output result file 13 is created. Here, a template program file and a template pattern file 12 for applying a pseudo memory failure pattern from the semiconductor test apparatus to the LSI 1 according to the pseudo memory failure pattern information file 10 will be described with reference to FIG. I do.

【0041】まず、擬似メモリ不良パターン情報ファイ
ルからの擬似メモリ不良パターン情報を一行分読み込み
(STP20)、読み込んだ擬似メモリ不良パターン情
報の“方向”情報が“R”(ロウライン不良)か“C”
(カラムライン不良)か判定する(STP21)。“方
向”が“R”の場合、ロウライン不良作成用雛型パター
ンを呼び出し(STP22)た後で、擬似メモリ不良パ
ターン情報の“ロウ、カラム、I/O、ライン長”に従
い、パターン開始アドレス(ロウ、カラム)、期待する
I/Oピン、パターンリピート回数を設定する(STP
24)。(パターンはロウライン・カラムライン不良作
成用雛型パターンがあり、リピート回数を変えることで
ライン長を変更できるように作られている。) 設定終了後、パターン試験を実行(STP25)し、そ
れにより得られた不良メモリ情報を半導体試験装置の不
良情報蓄積メモリ(フェイルメモリ)に転送し(STP
26)、転送された不良メモリ情報を冗長解析プログラ
ム7で冗長解析(STP27)を実施し、得られた救済
コードをファイルに出力する(STP28)。検証項目
が全て完了するまで、上記動作を繰り返す。
First, the pseudo memory defective pattern information from the pseudo memory defective pattern information file for one line is read (STP20), and the "direction" information of the read pseudo memory defective pattern information is "R" (row line defect) or "C".
(STP21). When the “direction” is “R”, after calling the row line defect creation template pattern (STP22), the pattern start address (“row, column, I / O, line length”) of the pseudo memory defect pattern information is referred to. Set row, column), expected I / O pin, and pattern repeat count (STP
24). (There is a pattern pattern for creating row line / column line defects, and the pattern is made so that the line length can be changed by changing the number of repeats.) After the setting is completed, a pattern test is executed (STP25), and The obtained defective memory information is transferred to a defect information storage memory (fail memory) of the semiconductor test apparatus (STP
26), the transferred defective memory information is subjected to redundancy analysis (STP27) by the redundancy analysis program 7, and the obtained repair code is output to a file (STP28). The above operation is repeated until all the verification items are completed.

【0042】◎STEP8:全項目検証実施(STP
8) 雛型プログラムファイル中で擬似メモリ不良情報ファイ
ル10に記載された全ての検証項目を終了したかをチェ
ックする。
Step 8: Verification of all items (STP
8) It is checked whether all the verification items described in the pseudo memory failure information file 10 in the template program file have been completed.

【0043】◎STEP9:救済コード出力、期待値比
較(STP9) 半導体試験装置より出力された救済コード出力結果ファ
イル13とSTEP6で作成された救済コード期待値フ
ァイル11を比較し、結果を冗長解析プログラム判定結
果ファイル14に出力することを雛型プログラム内で処
理する。
STEP9: Output of rescue code, expected value comparison (STP9) The rescue code output result file 13 output from the semiconductor test apparatus is compared with the rescue code expected value file 11 created in STEP6, and the result is analyzed by the redundancy analysis program. The output to the determination result file 14 is processed in the template program.

【0044】以上のように実施の形態1によれば、試験
仕様の入力以外を全て自動化することにより、テスト開
発時間増加の抑止、検証品質のばらつきを抑えることが
出来る。
As described above, according to the first embodiment, by automating all the steps other than the input of the test specifications, it is possible to suppress an increase in test development time and suppress a variation in verification quality.

【0045】実施の形態2.図11はこの発明の実施の
形態2による冗長解析プログラム検証方法を示すフロー
チャート図であり、電子計算機上での擬似的な半導体試
験装置環境下での単一メモリ搭載の半導体集積回路(L
SI)の冗長解析プログラムの自動検証フローを示して
いる。
Embodiment 2 FIG. 11 is a flowchart showing a redundancy analysis program verification method according to the second embodiment of the present invention. A semiconductor integrated circuit (L) having a single memory in a pseudo semiconductor test apparatus environment on an electronic computer is shown.
3 shows an automatic verification flow of a redundancy analysis program of SI).

【0046】実施の形態1では擬似メモリ不良パターン
の印加、冗長解析を半導体試験装置上で実現していた
が、本実施の形態では、電子計算機上での擬似的な半導
体試験装置の環境下での冗長解析プログラムの自動検証
を行うことを目的とする。
In the first embodiment, the application of the pseudo memory failure pattern and the redundancy analysis are realized on the semiconductor test device. However, in the present embodiment, in the environment of the pseudo semiconductor test device on the electronic computer. The purpose of the present invention is to perform automatic verification of the redundancy analysis program.

【0047】図11において、STP10は、擬似メモ
リ不良情報ファイル10を参照して、雛型プログラムフ
ァイルと雛型パターンファイル12を使用して擬似メモ
リ不良パターンを作成し、得られたメモリ不良情報を冗
長解析プログラムファイル7に従い解析し、救済コード
出力結果ファイル13を作成するステップにおいて、実
施の形態1の半導体試験装置ではなく、電子計算機上で
擬似的に実現する。その他の処理は実施の形態1と同様
である。
In FIG. 11, the STP 10 refers to the pseudo-memory defect information file 10 and creates a pseudo-memory defect pattern using the template program file and the template pattern file 12, and stores the obtained memory defect information. In the step of analyzing the data in accordance with the redundancy analysis program file 7 and creating the repair code output result file 13, it is realized not on the semiconductor test apparatus of the first embodiment but on an electronic computer in a pseudo manner. Other processes are the same as in the first embodiment.

【0048】実施の形態2によれば、実施の形態1の効
果に加え、半導体試験装置ではなく電子計算機にて検証
することで、場所・時間の制約が低減するという効果が
ある。
According to the second embodiment, in addition to the effect of the first embodiment, there is an effect that the restriction on the place and time is reduced by performing the verification with the electronic computer instead of the semiconductor test apparatus.

【0049】実施の形態3.図13はこの発明の実施の
形態3による冗長解析プログラム検証方法を示すフロー
チャート図であり、複数個、複数種のメモリを搭載した
半導体集積回路(LSI)の冗長解析プログラムの自動
検証フローを示す。
Embodiment 3 FIG. 13 is a flowchart showing a method for verifying a redundancy analysis program according to Embodiment 3 of the present invention, and shows an automatic verification flow of a redundancy analysis program for a semiconductor integrated circuit (LSI) equipped with a plurality of types of memories.

【0050】実施の形態1では、単一メモリ搭載の半導
体集積回路(チップ)の場合について記述したが、本実
施の形態では半導体集積回路(チップ)内に存在する複
数個、複数種メモリについての冗長解析プログラムの自
動検証を行うことを目的とする。
In the first embodiment, the case of a semiconductor integrated circuit (chip) equipped with a single memory has been described. In the present embodiment, a plurality of types of memories and a plurality of types of memories existing in the semiconductor integrated circuit (chip) are described. The purpose is to perform automatic verification of a redundancy analysis program.

【0051】図12は、複数個、複数種のメモリ回路部
を含む半導体集積回路(LSI)15を示した図であ
り、LSI15には複数搭載されたメモリ回路を区別す
るための“チップアドレス”が存在する。
FIG. 12 is a diagram showing a semiconductor integrated circuit (LSI) 15 including a plurality of types and a plurality of types of memory circuit portions. The LSI 15 has a "chip address" for distinguishing a plurality of mounted memory circuits. Exists.

【0052】図13において、試験仕様書16には、L
SI15に搭載された全てのメモリ回路について、試験
に必要なメモリ回路構成情報(ロウ・カラム最大値、I
/O本数)、冗長回路情報(ロウ・カラムスペア選択ア
ドレスビット、ロウ・カラム置換対象アドレスビット、
ロウ・カラム救済領域内のスペア本数)、試験項目、及
び試験手法が記述されている。本実施の形態の検証は、
試験仕様書16に基づき各冗長解析ルールごとに情報を
抽出し、メモリ回路個々に検証する。その際、搭載され
た個々のメモリ回路はチップアドレスにて選択する(S
TP11)。その他の処理は実施の形態1又は実施の形
態2と同様である。
In FIG. 13, the test specification 16 includes L
For all memory circuits mounted on the SI15, memory circuit configuration information (row / column maximum value, I
/ O number), redundant circuit information (row / column spare selection address bits, row / column replacement target address bits,
The number of spares in the row / column repair area), test items, and test methods are described. The verification of this embodiment is as follows.
Information is extracted for each redundancy analysis rule based on the test specification 16 and verified for each memory circuit. At this time, each of the mounted memory circuits is selected by a chip address (S
TP11). Other processing is the same as in the first or second embodiment.

【0053】実施の形態3によれば、実施の形態1の効
果に加え、冗長解析ルールごとに検証を実施することで
複数個、複数種メモリ搭載LSI15の冗長解析プログ
ラムの自動検証を実現することができる。
According to the third embodiment, in addition to the effect of the first embodiment, automatic verification of the redundancy analysis program of the LSI 15 with a plurality of types of memories is realized by performing the verification for each redundancy analysis rule. Can be.

【0054】実施の形態4.図14は、この発明の実施
の形態4による自己パターン発生回路、冗長解析回路を
搭載したメモリを有する半導体集積回路を示すブロック
図である。また、図15は実施の形態4による冗長解析
プログラム検証方法を示すフローチャート図であり、図
14の半導体集積回路の冗長解析回路の自動検証フロー
を示す。
Embodiment 4 FIG. 14 is a block diagram showing a semiconductor integrated circuit having a memory on which a self-pattern generation circuit and a redundancy analysis circuit according to a fourth embodiment of the present invention are mounted. FIG. 15 is a flowchart showing a redundancy analysis program verification method according to the fourth embodiment, and shows an automatic verification flow of the redundancy analysis circuit of the semiconductor integrated circuit of FIG.

【0055】実施の形態1では、パターン発生、冗長解
析を半導体試験装置で実施していたが、本実施の形態で
は自己パターン発生回路、冗長解析回路を搭載した半導
体集積回路において、自身で冗長解析回路の自動検証を
目的とする。
In the first embodiment, the pattern generation and the redundancy analysis are performed by the semiconductor test apparatus. However, in the present embodiment, the semiconductor integrated circuit equipped with the self-pattern generation circuit and the redundancy analysis circuit performs the redundancy analysis by itself. The purpose is to automatically verify the circuit.

【0056】図14において、半導体集積回路(LS
I)17は、自己パターン発生回路、冗長解析回路(自
己診断回路)を備えている。
In FIG. 14, a semiconductor integrated circuit (LS
I) 17 includes a self-pattern generation circuit and a redundancy analysis circuit (self-diagnosis circuit).

【0057】図15において、試験仕様書18は、自己
パターン発生回路、自己診断回路を含むLSI17につ
いて、メモリ回路構成情報、冗長回路情報、試験項目、
及び試験手法を記述している。また、19は自己パター
ン発生回路、自己診断回路を試験するための雛型プログ
ラム、雛型パターンを意味する。更に、STP12は擬
似メモリ不良情報ファイル10と雛型プログラム・パタ
ーン19を基に、半導体試験装置より自己パターン発生
回路、自己診断回路を動作させるためのパターンをLS
I17に印加するステップを表す。
In FIG. 15, the test specification 18 indicates that the LSI 17 including the self-pattern generation circuit and the self-diagnosis circuit has memory circuit configuration information, redundant circuit information, test items,
And test methods. Reference numeral 19 denotes a template program and a template pattern for testing the self-pattern generation circuit and the self-diagnosis circuit. Further, the STP 12 uses the semiconductor test apparatus to change the pattern for operating the self-pattern generation circuit and the self-diagnosis circuit to LS based on the pseudo memory failure information file 10 and the template program pattern 19.
Represents the step of applying to I17.

【0058】実施の形態4によれば、事前に半導体集積
回路(LSI)17の自己パターン発生回路の動作検証
が必要であるが、冗長解析回路の検証が可能となる。
According to the fourth embodiment, it is necessary to verify the operation of the self-pattern generating circuit of the semiconductor integrated circuit (LSI) 17 in advance, but it is possible to verify the redundancy analysis circuit.

【0059】[0059]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、冗長
解析検証プログラムの検討及び作成を自動で行なうこと
により、テスト時間を大幅に短縮することができる。ま
た、人手による検証内容、救済コード期待値の検討、及
び合否判定を自動化することにより、認識レベルの差に
よる検証品質レベルのばらつきを防止することができ
る。
As described above, according to the present invention, the test time can be greatly reduced by automatically examining and creating a redundancy analysis verification program. Further, by automatically examining the verification contents, the expected value of the rescue code, and the pass / fail judgment, it is possible to prevent variations in the verification quality level due to the difference in the recognition level.

【0060】また、半導体試験装置の代りに電子計算機
にて検証することにより、場所・時間の制約が低減する
という効果がある。
Further, by performing verification using an electronic computer instead of the semiconductor test apparatus, there is an effect that restrictions on place and time are reduced.

【0061】更に、冗長解析ルールごとに検証を実施す
ることで複数個、複数種メモリ搭載の半導体集積回路の
冗長解析プログラムの自動検証を実現することができ
る。
Further, by performing verification for each redundancy analysis rule, automatic verification of a redundancy analysis program for a semiconductor integrated circuit having a plurality of memories and a plurality of types of memories can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態1による半導体集積回
路の冗長解析プログラム検証方法を示すフローチャート
図である。
FIG. 1 is a flowchart showing a redundancy analysis program verification method for a semiconductor integrated circuit according to a first embodiment of the present invention;

【図2】 メモリ回路及び冗長回路を備えた半導体集積
回路を示すブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram illustrating a semiconductor integrated circuit including a memory circuit and a redundant circuit.

【図3】 救済コード書式例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of a relief code format.

【図4】 I/O設定についての検証パターン例を示す
図である。
FIG. 4 is a diagram showing an example of a verification pattern for I / O settings.

【図5】 ロウスペア選択設定についての検証パターン
例を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an example of a verification pattern for row spare selection setting.

【図6】 図5の擬似メモリ不良パターンの検証対象メ
モリを示す簡略図である。
FIG. 6 is a simplified diagram showing a memory to be verified for a pseudo memory failure pattern in FIG. 5;

【図7】 ロウ置換対象アドレス選択設定についての検
証パターン例を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing an example of a verification pattern for a row replacement target address selection setting.

【図8】 ロウスペア本数設定についての検証パターン
例を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing an example of a verification pattern for setting the number of row spares.

【図9】 救済コード期待値出力例[Fig. 9] Example of output of expected value of rescue code

【図10】 擬似メモリ不良パターン情報に基づく雛型
プログラムの動作フローを示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing an operation flow of a template program based on pseudo memory failure pattern information.

【図11】 この発明の実施の形態2による冗長解析プ
ログラム検証方法を示すフローチャート図である。
FIG. 11 is a flowchart illustrating a redundancy analysis program verification method according to Embodiment 2 of the present invention;

【図12】 複数個、複数種のメモリ回路を搭載した半
導体集積回路を示すブロック図である。
FIG. 12 is a block diagram showing a semiconductor integrated circuit on which a plurality of types of memory circuits are mounted.

【図13】 図13はこの発明の実施の形態3による冗
長解析プログラム検証方法を示すフローチャート図であ
る。
FIG. 13 is a flowchart showing a redundancy analysis program verification method according to Embodiment 3 of the present invention.

【図14】 この発明の実施の形態4による自己パター
ン発生回路、冗長解析回路を搭載したメモリを有する半
導体集積回路を示すブロック図である。
FIG. 14 is a block diagram showing a semiconductor integrated circuit having a memory on which a self-pattern generation circuit and a redundancy analysis circuit are mounted according to a fourth embodiment of the present invention.

【図15】 この発明の実施の形態4による冗長解析プ
ログラム検証方法を示すフローチャート図である。
FIG. 15 is a flowchart illustrating a redundancy analysis program verification method according to Embodiment 4 of the present invention;

【図16】 従来の半導体集積回路の冗長解析プログラ
ム検証方法を示すフローチャート図である。
FIG. 16 is a flowchart showing a conventional redundancy analysis program verification method for a semiconductor integrated circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体集積回路(LSI)、2 試験仕様書、7
冗長解析プログラムファイル、10 擬似メモリ不良パ
ターン情報ファイル、11 救済コード期待値ファイ
ル、12 雛型プログラム、雛型パターンファイル、1
3 救済コード出力結果ファイル、14 冗長解析プロ
グラム判定結果ファイル、15 複数のメモリ回路を備
えた半導体集積回路(LSI)、16 試験仕様書、1
7 自己パターン発生回路、冗長解析回路を搭載した半
導体集積回路(LSI)、18 試験成績書、19 雛
型プログラム、雛型パターンファイル。
1 semiconductor integrated circuit (LSI), 2 test specifications, 7
Redundancy analysis program file, 10 pseudo memory failure pattern information file, 11 relief code expected value file, 12 template program, template pattern file, 1
3 relief code output result file, 14 redundancy analysis program judgment result file, 15 semiconductor integrated circuit (LSI) having a plurality of memory circuits, 16 test specifications, 1
7 Self-pattern generation circuit, semiconductor integrated circuit (LSI) equipped with redundancy analysis circuit, 18 test report, 19 template program, template pattern file.

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 メモリ回路及びその冗長回路を備えた半
導体集積回路について、冗長解析プログラムを自動検証
するための冗長解析プログラム検証方法であって、 メモリ回路構成及び冗長回路構成に関する情報に基づい
て、冗長解析プログラムの検証パターンである擬似メモ
リ不良パターンを発生させるための情報を自動抽出し、
擬似メモリ不良パターン情報ファイルを作成するステッ
プを有する半導体集積回路の冗長解析プログラム検証方
法。
1. A redundancy analysis program verification method for automatically verifying a redundancy analysis program for a memory circuit and a semiconductor integrated circuit having the redundancy circuit, wherein the method is based on information on a memory circuit configuration and a redundancy circuit configuration. Automatically extract information for generating a pseudo memory failure pattern which is a verification pattern of a redundancy analysis program,
A method for verifying a redundancy analysis program of a semiconductor integrated circuit, comprising a step of creating a pseudo memory failure pattern information file.
【請求項2】 メモリ回路構成及び冗長回路構成に関す
る情報に基づいて、冗長解析の検証を行なうための救済
コード期待値を自動抽出し、救済コード期待値ファイル
を作成するステップを有する請求項1に記載の半導体集
積回路の冗長解析プログラム検証方法。
2. The method according to claim 1, further comprising a step of automatically extracting a rescue code expected value for verifying the redundancy analysis based on information on the memory circuit configuration and the redundant circuit configuration, and creating a rescue code expected value file. A method for verifying a redundancy analysis program of a semiconductor integrated circuit according to the above.
【請求項3】 上記擬似メモリ不良パターン情報と、雛
型プログラム及び雛型パターンに基づいて、擬似メモリ
不良パターンを自動生成してテストを行なうとともに、
冗長解析プログラムにより冗長解析を行ない、その冗長
解析結果を救済コード出力結果ファイルに格納するステ
ップを有する請求項1又は請求項2に記載の半導体集積
回路の冗長解析プログラム検証方法。
3. A method for automatically generating and testing a pseudo memory failure pattern based on the pseudo memory failure pattern information, the template program and the template pattern,
3. The method according to claim 1, further comprising the step of performing a redundancy analysis by a redundancy analysis program, and storing the result of the redundancy analysis in a repair code output result file.
【請求項4】 上記救済コード期待値ファイルの情報
と、上記救済コード出力結果ファイルの情報を比較し、
その比較結果を冗長解析用プログラム判定結果ファイル
に格納するステップを有する請求項3に記載の半導体集
積回路の冗長解析プログラム検証方法。
4. Comparing information of the relief code expected value file with information of the relief code output result file,
4. The method according to claim 3, further comprising the step of storing the comparison result in a redundancy analysis program determination result file.
【請求項5】 上記擬似メモリ不良パターン情報と、雛
型プログラム及び雛型パターンに基づいて、電子計算機
上での擬似半導体試験環境下にて擬似メモリ不良パター
ンを自動生成してテストを行なうとともに、同じく電子
計算機上での擬似半導体試験環境下にて冗長解析プログ
ラムにより冗長解析を行ない、その冗長解析結果を救済
コード出力結果ファイルに格納する請求項3又は請求項
4に記載の半導体集積回路の冗長解析プログラム検証方
法。
5. A pseudo memory defect pattern is automatically generated and tested in a pseudo semiconductor test environment on an electronic computer based on the pseudo memory defect pattern information, the template program and the template pattern. 5. The redundancy of a semiconductor integrated circuit according to claim 3, wherein a redundancy analysis is performed by a redundancy analysis program in a pseudo semiconductor test environment on an electronic computer, and the redundancy analysis result is stored in a relief code output result file. Analysis program verification method.
【請求項6】 上記擬似メモリ不良パターン情報と、雛
型プログラム及び雛型パターンに基づいて、半導体集積
回路に内蔵された自己パターン発生回路により擬似メモ
リ不良パターンを自動生成してテストを行なうととも
に、半導体集積回路に内蔵された冗長解析回路により冗
長解析を行ない、その冗長解析結果を格納する請求項3
又は請求項4に記載の半導体集積回路の冗長解析プログ
ラム検証方法。
6. A self-pattern generating circuit built in a semiconductor integrated circuit automatically generates a pseudo-memory defect pattern based on the pseudo-memory defect pattern information, the template program and the template pattern, and performs a test. 4. A redundancy analysis is performed by a redundancy analysis circuit built in the semiconductor integrated circuit, and the result of the redundancy analysis is stored.
5. The method of verifying a redundancy analysis program for a semiconductor integrated circuit according to claim 4.
【請求項7】 メモリ回路及びその冗長回路を備えた半
導体集積回路について、冗長解析プログラムを自動検証
するための冗長解析プログラム検証システムであって、 メモリ回路構成及び冗長回路構成に関する情報に基づい
て、冗長解析プログラムの検証パターンである擬似メモ
リ不良パターンを発生させるための情報を自動抽出し、
擬似メモリ不良パターン情報ファイルを作成する手段を
備えた半導体集積回路の冗長解析プログラム検証システ
ム。
7. A redundancy analysis program verification system for automatically verifying a redundancy analysis program with respect to a memory circuit and a semiconductor integrated circuit having the redundancy circuit, wherein the redundancy analysis program verification system is provided based on information on a memory circuit configuration and a redundancy circuit configuration. Automatically extract information for generating a pseudo memory failure pattern which is a verification pattern of a redundancy analysis program,
A redundancy analysis program verification system for a semiconductor integrated circuit, comprising: means for creating a pseudo memory failure pattern information file.
【請求項8】 メモリ回路構成及び冗長回路構成に関す
る情報に基づいて、冗長解析プログラムの検証を行なう
ための救済コード期待値を自動抽出し、救済コード期待
値ファイルを作成する手段を備えた請求項7に記載の半
導体集積回路の冗長解析プログラム検証システム。
8. A means for automatically extracting a rescue code expected value for verifying a redundancy analysis program based on information on a memory circuit configuration and a redundant circuit configuration and creating a rescue code expected value file. 8. The system for verifying redundancy analysis of a semiconductor integrated circuit according to claim 7.
【請求項9】 上記擬似メモリ不良パターン情報と、雛
型プログラム及び雛型パターンに基づいて、擬似メモリ
不良パターンを自動生成してテストを行なうとともに、
冗長解析プログラムにより冗長解析を行ない、その冗長
解析結果を救済コード出力結果ファイルに格納する手段
を備えた請求項7又は請求項8に記載の半導体集積回路
の冗長解析プログラム検証システム。
9. A pseudo memory failure pattern is automatically generated based on the pseudo memory failure pattern information, the template program and the template pattern, and a test is performed.
9. The redundancy analysis program verification system for a semiconductor integrated circuit according to claim 7, further comprising means for performing a redundancy analysis by a redundancy analysis program and storing the result of the redundancy analysis in a repair code output result file.
【請求項10】 上記救済コード期待値ファイルの情報
と、上記救済コード出力結果ファイルの情報を比較し、
その比較結果を冗長解析用プログラム判定結果ファイル
に格納する手段を備えた請求項9に記載の半導体集積回
路の冗長解析プログラム検証システム。
10. Comparing information of the relief code expected value file with information of the relief code output result file,
The redundancy analysis program verification system for a semiconductor integrated circuit according to claim 9, further comprising means for storing the comparison result in a redundancy analysis program determination result file.
【請求項11】 上記擬似メモリ不良パターンを発生さ
せるための情報は、パターン動作開始及び終了アドレ
ス、繰り返し回数、I/Oピンに関する情報である請求
項1から請求項10のいずれか1項に記載の半導体集積
回路の冗長解析プログラム検証方法又はシステム。
11. The information according to claim 1, wherein the information for generating the pseudo memory failure pattern is information on a pattern operation start and end address, the number of repetitions, and an I / O pin. A method or system for verifying a redundancy analysis program of a semiconductor integrated circuit.
【請求項12】 上記半導体集積回路は複数個又は複数
種類のメモリ回路を搭載したものであり、各々のメモリ
回路についての冗長解析プログラムを自動検証すること
を特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に
記載の半導体集積回路の冗長解析プログラム検証方法又
はシステム。
12. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein a plurality or a plurality of types of memory circuits are mounted, and a redundancy analysis program for each memory circuit is automatically verified. The method or system for verifying a redundancy analysis program of a semiconductor integrated circuit according to any one of the preceding claims.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010192074A (en) * 2009-02-18 2010-09-02 King Yuan Electronics Co Ltd Semiconductor test system with self-inspection function of memory repair analysis

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