JP2002022597A - Airflow visualization apparatus - Google Patents

Airflow visualization apparatus

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JP2002022597A
JP2002022597A JP2000211388A JP2000211388A JP2002022597A JP 2002022597 A JP2002022597 A JP 2002022597A JP 2000211388 A JP2000211388 A JP 2000211388A JP 2000211388 A JP2000211388 A JP 2000211388A JP 2002022597 A JP2002022597 A JP 2002022597A
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JP
Japan
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visualization device
airflow
main body
mist
pure water
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Application number
JP2000211388A
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Japanese (ja)
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Hiroshige Kawabata
洋成 川端
Toshikatsu Asada
敏勝 浅田
Makoto Hifumi
真 一二三
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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  • Aerodynamic Tests, Hydrodynamic Tests, Wind Tunnels, And Water Tanks (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an airflow visualization apparatus being excellent in portability (small, power-saving and lightweight) and having an improv increased degree of freedom of its attitude in use. SOLUTION: The airflow visualization apparatus includes a body block 11 having a pure water excitation space 12 filled with pure water, and an ultrasonic transmitter 13 disposed below the excitation space 11. A discharge hole 12a in an apparatus body is formed above the excitation space 12. Since the pure water is excited by the ultrasonic transmitter 13 to generate a mist, which is then discharged from the discharge hole 12a, the path of migration of the mist is short and the structure is simple, and troubles such as re-condensation during migration of the mist do not occur and the amount of the mist discharged from the discharge hole does not decrease, so that the mist can be efficiently discharged.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームや
塵埃を嫌う環境において、塵埃の発生場所又は塵埃が気
流に乗って移動若しくは拡散する経路を計測するために
好適な気流可視化装置に関し、特にその装置の小型化に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air flow visualization apparatus suitable for measuring a place where dust is generated or a path along which the dust moves or diffuses in an air flow in a clean room or an environment where dust is disliked. For miniaturization.

【0002】[0002]

【従来の技術】クリーンルームや塵埃を嫌う環境におい
て所定の清浄度を維持するためには、塵埃の発生場所、
又は塵埃が気流に乗って移動若しくは拡散する経路を計
測して、その計測結果に対応した対策を講じる必要があ
る。その計測方法として、従来から、気流の風速、圧
力、方向を計測する方法があるが、その一つとして気流
を可視化する方法が人間の直感に訴えることができる計
測手段として用いられている。この気流可視化装置の従
来例について以下説明する。
2. Description of the Related Art In a clean room or an environment that dislikes dust, in order to maintain a predetermined cleanliness, a place where dust is generated,
Alternatively, it is necessary to measure a path along which the dust moves or diffuses in the airflow, and to take a measure corresponding to the measurement result. Conventionally, there is a method of measuring the wind speed, pressure, and direction of the air flow as a measurement method. As one of the methods, a method of visualizing the air flow has been used as a measurement means capable of appealing to human intuition. A conventional example of this airflow visualization device will be described below.

【0003】図5は液体窒素を用いた気流可視化装置の
概念図である。筐体50内には純水タンク51が設置さ
れており、純水タンク51には純水52が収納されてお
り、電気ボイラ53により加熱される。電気ボイラ53
は電源・制御回路55により制御される。また、純水タ
ンク51には水位計56が取付けられており、空だきを
防止するようにしてある。筐体50内には更に窒素タン
ク58が設置されており、窒素タンク58には低温の液
体窒素59が収納されている。この窒素タンク58はパ
イプ60を介して純水タンク51と連結されている。ま
た、窒素タンク58にはダクト61が接続されており、
このダクト61は筐体50の外側に突出している。
FIG. 5 is a conceptual diagram of an air flow visualization device using liquid nitrogen. A pure water tank 51 is provided in the housing 50, and pure water 52 is stored in the pure water tank 51 and is heated by an electric boiler 53. Electric boiler 53
Is controlled by the power supply / control circuit 55. Further, a water level gauge 56 is attached to the pure water tank 51 to prevent emptying. A nitrogen tank 58 is further provided in the housing 50, and a low-temperature liquid nitrogen 59 is stored in the nitrogen tank 58. This nitrogen tank 58 is connected to the pure water tank 51 via a pipe 60. A duct 61 is connected to the nitrogen tank 58,
The duct 61 protrudes outside the housing 50.

【0004】図5の気流可視化装置においては、電気ボ
イラタ53により純水タンク51内の純水52を加熱し
て沸騰させると蒸気57が発生し、蒸気57はパイプ6
0を介して窒素タンク58内に導かれて、液体窒素59
に吹き付けられて急速冷却されると、微小な水滴即ちミ
スト60となる。そして、このミスト60はダクト61
に導かれて外部に放出される。
In the air flow visualization device shown in FIG. 5, when the pure water 52 in the pure water tank 51 is heated and boiled by the electric boiler 53, steam 57 is generated.
0, and the liquid nitrogen 59
, And rapidly cooled to form minute water droplets, i.e., mist 60. And this mist 60 is a duct 61
Is led to the outside.

【0005】図6は超音波発振器を用いた気流可視化装
置の概念図である。筐体70内には純水タンク71が設
置されており、純水タンク71には純水72が収納され
ている。また、純水タンク71の底部には複数の超音波
発振器73が設置されている。また、筐体70内には送
風装置74が設置されており、送風装置74はファン7
5及びファン75により送り出される空気から塵埃を除
くためのフィルタ76から構成されている。そして、超
音波発振器73及びファン75は電源・制御回路77に
よりその駆動が制御される。送風装置74はパイプ78
を介して純水タンク71と連結されている。また、純水
タンク71にはダクト80が接続されており、このダク
ト80は筐体70の外側に突出している。
FIG. 6 is a conceptual diagram of an air flow visualizing device using an ultrasonic oscillator. A pure water tank 71 is provided in the housing 70, and the pure water tank 71 stores pure water 72. A plurality of ultrasonic oscillators 73 are provided at the bottom of the pure water tank 71. A blower 74 is provided in the housing 70, and the blower 74 is
5 and a filter 76 for removing dust from the air sent out by the fan 75. The driving of the ultrasonic oscillator 73 and the fan 75 is controlled by the power supply / control circuit 77. The blower 74 is a pipe 78
Through a pure water tank 71. A duct 80 is connected to the pure water tank 71, and the duct 80 protrudes outside the housing 70.

【0006】図6の気流可視化装置においては、超音波
発振器73が駆動されて振動すると、純水タンク71内
の純水72はミスト79となり、そのミスト79は送風
装置74からの送風により押し出されてダクト80内を
移動して外部に放出される。
In the air flow visualizing device shown in FIG. 6, when the ultrasonic oscillator 73 is driven and vibrated, the pure water 72 in the pure water tank 71 becomes a mist 79, and the mist 79 is pushed out by the blowing from the blowing device 74. Then, it moves inside the duct 80 and is discharged to the outside.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】図5の液体窒素を用い
た気流可視化装置においては次のような問題点がある。 液体窒素タンク、電気式ボイラ、純水タンク及びこれ
らを接続する配管、制御回路、大型電源等が必要であ
り、構造の複雑化、大型化及び重量化が避けられず、コ
スト高となっている。 大型化及び大重量化のため携帯性がなく、このため、
機動性がない。 液体窒素を注入す必要がある。また、ボイラによる加
熱、加圧時間等の事前の長時間の準備作業が必要であ
り、準備作業が煩雑である。 液体窒素の調達コストが高く、また、電力消費が大き
い。
The air flow visualization device using liquid nitrogen shown in FIG. 5 has the following problems. A liquid nitrogen tank, an electric boiler, a pure water tank, and piping for connecting these, a control circuit, a large power supply, and the like are required, which complicates the structure, increases the size and weight, and increases the cost. . There is no portability due to the large size and heavy weight,
No mobility. Liquid nitrogen needs to be injected. Further, a long preparation operation such as heating and pressurizing time by a boiler is required, and the preparation operation is complicated. The procurement cost of liquid nitrogen is high and the power consumption is large.

【0008】図6の超音波発振器を用いた気流可視化装
置においては次のような問題点がある。 ミスト発生部からミストを吐出する出口までの経路が
長いため、ミストの移動中に再凝縮して、出口から吐出
されるミスト量が減少する。 ミスト量の減少を防ぐために、超音波発振器の大型
化、超音波発振器の複数台の装着が必要となり、装置の
大型化、複雑化をもたらしている。 超音波発振器の大型化は純水の温度上昇をもたらし、
ミストの発生効率が悪くなるので作業を休止し、冷却す
る必要があるため、連続運転が不可能である。 この気流可視化装置は、図5の気流可視化装置よりは
簡単な構造であるが、依然として大型で大重量であるた
め、床置き使用に限定され、可搬性に欠ける。また、本
体内のミストの移動経路が長く複雑なため、途中でミス
トが凝縮されて溜まり易い。本体が傾斜したときに純水
面が傾いてミストの経路を狭くして吐出効率を低下させ
るため、装置使用時には常に水平を保つ必要がある。
The air flow visualization device using the ultrasonic oscillator shown in FIG. 6 has the following problems. Since the path from the mist generating section to the outlet for discharging the mist is long, the mist is recondensed during the movement of the mist, and the amount of mist discharged from the outlet is reduced. In order to prevent a decrease in the amount of mist, it is necessary to increase the size of the ultrasonic oscillator and mount a plurality of ultrasonic oscillators, resulting in an increase in size and complexity of the apparatus. Increasing the size of the ultrasonic oscillator causes the temperature of pure water to rise,
Since the mist generation efficiency is deteriorated, it is necessary to suspend the work and cool down, so that continuous operation is impossible. This airflow visualization device has a simpler structure than the airflow visualization device of FIG. 5, but is still large and heavy, so it is limited to use on a floor and lacks portability. Further, since the moving path of the mist in the main body is long and complicated, the mist is easily condensed and accumulated on the way. When the main body is tilted, the pure water surface is tilted to narrow the mist path and lower the discharge efficiency. Therefore, it is necessary to always keep the horizontal level when using the apparatus.

【0009】本発明は、上述のような問題点を解決する
ためになされたものであり、携帯性(小型、小電力、軽
量)に優れ、且つ、使用時の姿勢の自由度を向上させた
気流可視化装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and has excellent portability (small size, small power, light weight) and improved freedom of posture during use. An object of the present invention is to provide an airflow visualization device.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】(1)本発明の一つの態
様に係る気流可視化装置は、液体が充填される加振空間
を備えた本体ブロックと、加振空間の下部に配置された
超音波発振器とを備え、加振空間の上部に装置本体の吐
出孔を形成したものである。本発明においては、加振空
間の上部に装置本体のミストの吐出孔を形成し、その加
振空間の下部に配置された超音波発振器により液体を加
振してミストを発生させ、前記の吐出孔から外部に放出
するようにしたので、ミストの移動経路は短く構造が単
純になるため、ミストの移動途中で再凝縮等の不都合が
起こらず、吐出孔から吐出されるミストの量が減少しな
いので、効率よくミストを放出することができる。この
ため、超音波発振器の小型化が可能になっており、液体
の温度上昇が避けられるので、連続運転も可能である。
更に、超音波発振器の小型化は装置全体の小型化、軽量
化、小電力化をもたらし、携帯性に優れたものとなる。
また、装置本体の吐出孔を加振空間の上部に設けたの
で、液体がこぼれにくくなっており、使用時の姿勢の自
由度を向上させることができる。
Means for Solving the Problems (1) An airflow visualizing device according to one aspect of the present invention comprises a main body block provided with a vibrating space filled with a liquid, and a super block disposed below the vibrating space. And a discharge hole of the apparatus main body formed above the excitation space. In the present invention, a mist discharge hole of the apparatus main body is formed in the upper part of the vibration space, and the liquid is vibrated by an ultrasonic oscillator arranged in the lower part of the vibration space to generate mist, and the discharge is performed. Since the mist is discharged to the outside from the hole, the mist movement path is short and the structure is simple, so that inconvenience such as recondensation does not occur during the movement of the mist, and the amount of the mist discharged from the discharge hole does not decrease. Therefore, mist can be efficiently released. Therefore, the size of the ultrasonic oscillator can be reduced, and a rise in the temperature of the liquid can be avoided, so that a continuous operation is also possible.
Further, the miniaturization of the ultrasonic oscillator leads to a reduction in the size, weight, and power consumption of the entire device, and makes the device excellent in portability.
Further, since the discharge hole of the apparatus main body is provided in the upper part of the vibration space, the liquid is hardly spilled, and the degree of freedom of the posture during use can be improved.

【0011】(2)本発明の他の態様に係る気流可視化
装置は、上記(1)の装置において、装置本体の吐出孔
にノズルを設けたものである。本発明において、加振空
間に発生したミストは装置本体の吐出孔を介してノズル
から外部に放出されるので、ミストの移動経路は短く構
造が単純になるため、ミストを効率よく放出することが
できる。
(2) An air flow visualization device according to another aspect of the present invention is the air flow visualization device according to the above (1), wherein a nozzle is provided at a discharge hole of the device main body. In the present invention, since the mist generated in the vibration space is discharged to the outside from the nozzle through the discharge hole of the apparatus main body, the moving path of the mist is short and the structure is simple, so that the mist can be efficiently discharged. it can.

【0012】(3)本発明の他の態様に係る気流可視化
装置は、上記(1)又は(2)の装置において、加振空
間の底部を超音波発振器で覆うようにして配置したもの
である。本発明においては、加振空間の横断面積と超音
波発振器の発振部上面面積とを、例えば横断面積>発振
部上面面積の関係で、且つ、2つの面積を近づける。ま
た、液面と超音波発振器表面までの距離(水深)を最適
化させる(図1のダクト18の上面位置を調整すること
によって)。このようにすることにより、加振空間の液
体を加振してミストを発生する際の液体の単位重量当た
りの効率や超音波加振エネルギー当たりの効率が良くな
り、この点からも小電力、小型化、軽量化が可能になっ
ており、携帯性に優れたものとなっている。
(3) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to the above (1) or (2), wherein the bottom of the excitation space is covered with an ultrasonic oscillator. . In the present invention, the cross-sectional area of the excitation space and the upper surface area of the oscillating portion of the ultrasonic oscillator are set close to each other, for example, in a relationship of cross-sectional area> upper surface area of the oscillating portion. Further, the distance (water depth) between the liquid surface and the surface of the ultrasonic oscillator is optimized (by adjusting the position of the upper surface of the duct 18 in FIG. 1). By doing so, the efficiency per unit weight of the liquid and the efficiency per ultrasonic vibration energy when generating a mist by vibrating the liquid in the vibration space are improved. It is possible to reduce the size and weight, and it is excellent in portability.

【0013】(4)本発明の他の態様に係る気流可視化
装置は、上記(1)乃至(3)の何れかの装置におい
て、加振空間は縦長の円柱形状からなるものである。本
発明においては、加振空間が縦長の円柱形状からなって
いるので、作業中に装置を傾けたとしても、それによっ
て液体が漏れたり、超音波発振器が液体から露出するよ
うな状態が避けられ、使用時の姿勢の自由度を向上させ
ることができる。
(4) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to any one of the above (1) to (3), wherein the excitation space has a vertically long cylindrical shape. In the present invention, since the excitation space has a vertically long cylindrical shape, even if the device is tilted during the work, it is possible to avoid a state where the liquid leaks or the ultrasonic oscillator is exposed from the liquid. In addition, the degree of freedom in posture during use can be improved.

【0014】(5)本発明の他の態様に係る気流可視化
装置は、上記(1)乃至(4)の何れかの装置におい
て、本体ブロックは、タンクを着脱自在に取り付けるた
めの取付部と、取付部と加振空間とを連通するダクトと
を備えたものである。本発明においては、タンクが取り
付けられるように構成されており、タンクからの液体は
ダクトを介して加振空間に充填される。
(5) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to any one of the above (1) to (4), wherein the main body block comprises: a mounting portion for removably mounting the tank; It is provided with a duct for communicating the mounting portion with the excitation space. In the present invention, the tank is attached so that the liquid from the tank is filled into the vibration space via the duct.

【0015】(6)本発明の他の態様に係る気流可視化
装置は、上記(1)乃至(5)の何れかの装置におい
て、本体ブロックに着脱自在に装着され、加振空間に液
体を供給するタンクを備えたものである。本発明におい
ては、タンクが本体ブロックに取り付けられて、加振空
間に液体を供給する。そして、タンクの液体が無くなっ
てきたら、タンクを本体ブロックから取り外してタンク
に液体を充填した後に、再び本体ブロックに取り付け
る。
(6) An airflow visualizing device according to another aspect of the present invention, in any one of the above (1) to (5), detachably mounted on the main body block and supplying a liquid to the vibration space. It is equipped with a tank to perform. In the present invention, the tank is attached to the main body block and supplies the liquid to the vibration space. Then, when the liquid in the tank is exhausted, the tank is removed from the main body block, the tank is filled with liquid, and then attached to the main body block again.

【0016】(7)本発明の他の態様に係る気流可視化
装置は、上記(6)の装置において、タンクは少なくと
もその一部が透明部材から構成されている。本発明にお
いては、タンクの少なくとも一部が透明部材から構成さ
れているので、タンク内の液体の有無を簡単に把握する
ことができる。
(7) An air flow visualization device according to another aspect of the present invention is the air flow visualization device according to the above (6), wherein at least a part of the tank is formed of a transparent member. In the present invention, since at least a part of the tank is made of a transparent member, the presence or absence of the liquid in the tank can be easily grasped.

【0017】(8)本発明の他の態様に係る気流可視化
装置は、上記(6)又は(7)の装置において、定常的
には閉状態にある弁体を内蔵し、タンクの先端に着脱自
在に装着されるキャップを備え、タンクはキャップを介
して本体ブロックの取付部に着脱自在に装着される。本
発明においてはタンクの先端にキャップが取り付けられ
ており、タンクを本体ブロックから取り外した状態にお
いては弁体が閉状態になっており、タンクの持ち運びの
際に中の液体がこぼれることはない。
(8) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to the above (6) or (7), in which a valve body which is normally closed is built in, and is attached to and detached from the tip of the tank. The tank includes a cap that can be freely mounted, and the tank is removably mounted on the mounting portion of the main body block via the cap. In the present invention, a cap is attached to the tip of the tank, and when the tank is removed from the main body block, the valve body is in a closed state, so that the liquid does not spill when the tank is carried.

【0018】(9)本発明の他の態様に係る気流可視化
装置は、上記(8)の装置において、キャップは、本体
ブロックの取付部に着脱自在に装着され、本体ブロック
の取付部に装着されると、弁体が開状態になる。本発明
において、タンクの先端に取り付けられているキャップ
は、本体ブロックの取付部に装着されると弁体が開状態
になり、タンク内の液体を本体ブロックの加振空間に供
給する。
(9) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to the above (8), wherein the cap is detachably mounted on the mounting portion of the main body block and mounted on the mounting portion of the main body block. Then, the valve element is opened. In the present invention, when the cap attached to the tip of the tank is attached to the attachment portion of the main body block, the valve body is opened, and the liquid in the tank is supplied to the vibration space of the main body block.

【0019】(10)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(6)乃至(9)の装置において、タン
クは加振空間に所定レベルの液体を充填するものであ
る。本発明においては、タンクから加振空間に液体を供
給するが、そのときの液体のレベルが所定レベルになる
ように設定されており、ミストとして蒸発した分だけ加
振空間に補充される。
(10) In an air flow visualization device according to another aspect of the present invention, in the above-mentioned devices (6) to (9), the tank fills the vibration space with a predetermined level of liquid. In the present invention, the liquid is supplied from the tank to the vibrating space, and the level of the liquid at that time is set so as to be a predetermined level.

【0020】(11)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(1)乃至(10)の装置において、加
振空間に発生したミストを吐出孔側に押し出すための押
し出し空気供給装置を備えたものである。本発明におい
ては、押し出し空気供給装置からの押し出し空気により
ミストを外部に放出させる。
(11) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention, in the apparatus of (1) to (10) above, wherein an extruded air supply device for extruding mist generated in the vibration space to the discharge hole side. It is provided with. In the present invention, the mist is discharged to the outside by the extruded air from the extruded air supply device.

【0021】(12)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(11)の装置において、押し出し空気
供給装置は、モータとモータにより駆動されるポンプと
を備えたものである。本発明においては、ポンプがモー
タにより駆動されて押し出し空気を送出するので、ミス
トの飛散距離が長くなる。
(12) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to the above (11), wherein the extruded air supply device includes a motor and a pump driven by the motor. In the present invention, since the pump is driven by the motor to send out the extruded air, the scattering distance of the mist becomes longer.

【0022】(13)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(11)又は(12)の装置において、
加振空間内に押し出し空気を送り出すための導入孔を、
本体ブロックの加振空間の吐出孔側に設けたものであ
る。本発明においては、本体ブロックの加振空間の吐出
孔側に設けた導入孔からの押し出し空気によりミストを
押し出すようにしたので、ミストを効率よく放出するこ
とができる。
(13) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to the above (11) or (12),
An introduction hole for pushing out air into the excitation space,
It is provided on the ejection hole side of the excitation space of the main body block. In the present invention, since the mist is pushed out by the air pushed out from the introduction hole provided on the discharge hole side of the excitation space of the main body block, the mist can be efficiently discharged.

【0023】(14)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(11)乃至(13)の何れかの装置に
おいて、押し出し空気供給装置は、押し出し空気から塵
埃を除去するためのフィルタを備えたものである。本発
明においては、フィルタにより押し出し空気から塵埃を
除去して、ミストに塵埃が混入しないようにしている。
(14) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to any one of (11) to (13), wherein the extruded air supply device is a filter for removing dust from the extruded air. It is provided with. In the present invention, dust is removed from the extruded air by the filter so that the dust is not mixed into the mist.

【0024】(15)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(14)の装置において、押し出し空気
供給装置は、フィルタと導入孔との間に設けられた逆止
弁を備えたものである。本発明においては、逆止弁によ
り加振空間のミストがフィルタ側に行かないようにし
て、フィルタに湿気が含まないようにしてある。
(15) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to the above (14), wherein the pushing air supply device is provided with a check valve provided between the filter and the introduction hole. Things. In the present invention, the check valve prevents the mist in the excitation space from going to the filter side, so that the filter does not contain moisture.

【0025】(16)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(9)乃至(15)の何れかの装置にお
いて、押し出し空気供給装置は、作業の終了後も駆動を
継続するものである。本発明においては、作業の終了後
も押し出し空気供給装置の駆動を継続することにより、
装置に付着した湿気により雑菌が発生しないようにす
る。
(16) An air flow visualization device according to another aspect of the present invention is the air flow visualization device according to any one of (9) to (15), wherein the pushing air supply device continues to be driven even after the operation is completed. It is. In the present invention, by continuing to drive the pushing air supply device even after the end of the work,
Prevent germs from being generated by the moisture attached to the device.

【0026】(17)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(1)乃至(15)の何れかの装置にお
いて、加振空間の液面レベルを計測する水位計を備え、
液体レベルが所定レベル以下になると超音波発振器の駆
動を停止させる。本発明においては、水位計により加振
空間の液体レベルを検出してそれが所定レベル以下にな
ると超音波発振器の駆動を停止させるようにして、いわ
ゆる空だきによる超音波発振器の破壊を防止している。
(17) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to any one of the above (1) to (15), further comprising a water level meter for measuring a liquid level in the excitation space,
When the liquid level falls below a predetermined level, the driving of the ultrasonic oscillator is stopped. In the present invention, the liquid level in the vibration space is detected by the water level gauge, and when the liquid level becomes equal to or lower than a predetermined level, the driving of the ultrasonic oscillator is stopped to prevent the ultrasonic oscillator from being destroyed due to so-called emptying. I have.

【0027】(18)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(17)の装置において、水位計は、併
設された発光素子及び受光素子と、加振空間に充填され
る液体とほぼ同じ(同一を含む)透過率の樹脂からな
り、発光素子及び受光素子をモールドしてなるモールド
体とからなる。本発明においては、加振空間の水位計の
設置個所に液体が無いときには発光素子からの光がモー
ルド体により反射しそれを受光素子で受光する。液体が
有るときには発光素子からの光がモールド体を透過して
しまい受光素子で受光できなくなる。このようにして、
受光素子の受光の有無により加振空間内の液面レベルが
所定のレベル以上であるか否かを検出する。
(18) An air flow visualization device according to another aspect of the present invention is the air flow visualization device according to the above (17), wherein the water level gauge is provided with a light emitting element and a light receiving element provided side by side, and a liquid filled in the vibration space. It is made of a resin having substantially the same (including the same) transmittance, and a molded body formed by molding a light emitting element and a light receiving element. In the present invention, when there is no liquid at the location of the water level meter in the vibration space, light from the light emitting element is reflected by the mold body and received by the light receiving element. When there is a liquid, light from the light emitting element passes through the mold body and cannot be received by the light receiving element. In this way,
Whether or not the liquid level in the excitation space is equal to or higher than a predetermined level is detected based on whether or not light is received by the light receiving element.

【0028】(19)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(18)の装置において、モールド体
は、発光素子からの光が進む側に、横断面三角形状の突
起を備えたものである。本発明においては、加振空間の
水位計の設置個所に液体が無いときには発光素子からの
光がモールド体の突起により反射しそれを受光素子で受
光する。
(19) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to the above (18), wherein the molded body is provided with a triangular cross-section projection on the side where light from the light emitting element travels. Things. In the present invention, when there is no liquid at the location of the water level meter in the excitation space, light from the light emitting element is reflected by the projection of the mold body and received by the light receiving element.

【0029】(20)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(1)乃至(19)の何れかの装置にお
いて、本体ブロックは金属材料からなることができる。
本発明においては、本体ブロックが金属材料からなる場
合には、超音波発振器による加振によって発生する熱が
効率よく外部に放散され、温度上昇が避けられる。
(20) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to any one of the above (1) to (19), wherein the main body block can be made of a metal material.
In the present invention, when the main body block is made of a metal material, the heat generated by the vibration by the ultrasonic oscillator is efficiently radiated to the outside, and a rise in temperature can be avoided.

【0030】(21)本発明の他の態様に係る気流可視
化装置は、上記(1)乃至(20)の何れかの装置にお
いて、電源ユニットを外付けにしたものである。本発明
においては、電源ユニットを外付けにして、例えばAC
アダプタとAC電源ケーブルとの組み合わせによりAC
電源のコンセントを利用したり、又は、例えば作業者の
腰ベルトに携帯型バッテリを装着して利用するようにし
て、装置本体の小型化、軽量化を図っている。
(21) An airflow visualization device according to another aspect of the present invention is the airflow visualization device according to any one of the above (1) to (20), except that a power supply unit is externally provided. In the present invention, an external power supply unit is used, for example, AC
AC by combination of adapter and AC power cable
The size and weight of the apparatus main body are reduced by using an outlet of a power source or by using a portable battery mounted on a waist belt of an operator, for example.

【0031】[0031]

【発明の実施の形態】実施形態1.図1は本発明の実施
形態1に係る気流可視化装置の構成を示す断面図であ
る。この気流可視化装置においては、筐体10は金属材
料から構成されており、その上部には本体ブロック11
が配置されている。この本体ブロック11は、その内部
に縦長の円柱形状の純水加振空間12が形成されてお
り、そして、超音波発振器13がその底部開口を封止す
るような状態で取り付けられている。但し、超音波発振
器13の振動を発生する箇所は、その振動が本体ブロッ
ク11に直接伝わらないようにするために、純水加振空
間12の内壁に接触しないようにしてある。また、本体
ブロック11の純水加振空間12の上部には装置本体の
ミストの吐出孔12aが形成されている。また、純水加
振空間12の内壁には水位計14が埋め込まれている
(この水位計の詳細は後述する)。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an airflow visualization device according to Embodiment 1 of the present invention. In this airflow visualization device, the housing 10 is made of a metal material, and a main body block 11 is provided at an upper portion thereof.
Is arranged. The main body block 11 has a vertically long columnar pure water excitation space 12 formed therein, and an ultrasonic oscillator 13 is attached in such a manner as to seal the bottom opening. However, the location where the vibration of the ultrasonic oscillator 13 is generated does not come into contact with the inner wall of the pure water vibration space 12 so that the vibration is not transmitted directly to the main body block 11. A mist discharge hole 12a of the apparatus main body is formed above the pure water excitation space 12 of the main body block 11. A water level gauge 14 is embedded in the inner wall of the pure water excitation space 12 (the details of the water level gauge will be described later).

【0032】また、この本体ブロック11には純水タン
クの取付部15が形成されており、純水タンクの取付部
15の上部開口部にはネジ部16が形成されており、ま
た、下部には後述の純水タンクのボール弁を押して開放
するための押し棒17が植設されている。そして、純水
タンクの取付部15はダクト18を介して純水加振空間
12に連通している。また、この本体ブロック11にお
ける純水加振空間12の上部側には純水加振空間12で
発生したミストを外部に押し出すための押し出し空気が
導かれる導入孔19が形成されている。そして、純水加
振空間12の上部の吐出孔12aにはミストを外部に導
くためのノズル20が取り付けられている。
Further, a mounting portion 15 for a pure water tank is formed in the main body block 11, a screw portion 16 is formed in an upper opening of the mounting portion 15 for the pure water tank, and a screw portion 16 is formed in a lower portion. A push rod 17 for pushing and opening a ball valve of a pure water tank described later is implanted. The mounting portion 15 of the pure water tank communicates with the pure water exciting space 12 via the duct 18. In addition, an introduction hole 19 through which extruded air for extruding mist generated in the pure water excitation space 12 to the outside is formed on the upper side of the pure water excitation space 12 in the main body block 11. A nozzle 20 for guiding the mist to the outside is attached to the discharge hole 12a above the pure water vibration space 12.

【0033】純水タンク21の先端にはキャップ22が
取付られており、キャップ22は、純水タンク21の先
端に螺合するキャップ本体23と、このキャップ本体2
3内に装着されたスプリング24及びスプリング24に
より下方に押圧されて閉状態になるボール弁25とから
構成されている。そして、純水タンク21とキャップ2
2とは一体的に取り扱われ、純水タンク21に純水1を
充填するときにはキャップ22を外す。この純水タンク
21を本体ブロック11に取り付ける際には、キャップ
本体23の下部に設けられているネジ部23aを取付部
15のネジ部16に螺合する。この純水タンク21が本
体ブロック11に取り付けられると、押し棒17がボー
ル弁25を押し上げて、ボール弁25が開放されて純水
タンク21に充填されている純水1がダクト18を通っ
て純水加振空間12に移行する。このとき、純水加振空
間12の水位は、純水タンク21の水圧と大気圧とでバ
ランスする一定のレベルになるように構成されている。
A cap 22 is attached to the front end of the pure water tank 21. The cap 22 includes a cap body 23 screwed to the front end of the pure water tank 21 and the cap body 2
3 and a ball valve 25 which is pressed downward by the spring 24 to be closed. Then, the pure water tank 21 and the cap 2
When the pure water tank 21 is filled with the pure water 1, the cap 22 is removed. When attaching the pure water tank 21 to the main body block 11, the screw portion 23 a provided at the lower portion of the cap main body 23 is screwed to the screw portion 16 of the mounting portion 15. When the pure water tank 21 is attached to the main body block 11, the push rod 17 pushes up the ball valve 25, the ball valve 25 is opened, and the pure water 1 filled in the pure water tank 21 passes through the duct 18. The process moves to the pure water excitation space 12. At this time, the water level of the pure water exciting space 12 is configured to be a constant level that balances the water pressure of the pure water tank 21 and the atmospheric pressure.

【0034】また、この気流可視化装置の筐体10内の
底部には制御回路ユニット30が配置されており、その
上部に押し出し空気供給装置31が配置されている。押
し出し空気供給装置31は、偏心軸(又は偏心カム)3
2が取りられたモータ33と、偏心軸32の回転によっ
て駆動されるタイヤフラム型ポンプ34と、逆止弁内蔵
のフィルタ35とを備えており、タイヤフラム型ポンプ
34と逆止弁内蔵のフィルタ35との間及び逆止弁内蔵
のフィルタ35と上記の導入孔19との間はそれぞれパ
イプ36,37により接続されている。
A control circuit unit 30 is arranged at the bottom of the airflow visualizing device in the housing 10, and a push-out air supply device 31 is arranged at the top. The pushing air supply device 31 is provided with an eccentric shaft (or eccentric cam) 3.
And a filter 35 with a built-in check valve, which is driven by the rotation of the eccentric shaft 32, and a filter 35 with a built-in check valve. 35 and between the filter 35 with a built-in check valve and the introduction hole 19 are connected by pipes 36 and 37, respectively.

【0035】また、筐体10内には姿勢センサ(図示せ
ず)が設置されており、筐体10が所定角度以上傾斜す
ると、姿勢センサはその姿勢を検出して制御回路ユニッ
ト30に出力し、制御回路ユニット30は超音波発振器
13の駆動を停止する。この制御回路ユニット30は超
音波発振器13の駆動するための発振回路等を内蔵して
いるが、この発振回路からの電磁波防止するための電磁
シール材も設けられている。
A posture sensor (not shown) is provided in the housing 10. When the housing 10 is tilted by a predetermined angle or more, the posture sensor detects the posture and outputs it to the control circuit unit 30. The control circuit unit 30 stops driving the ultrasonic oscillator 13. The control circuit unit 30 incorporates an oscillation circuit for driving the ultrasonic oscillator 13 and the like, and is also provided with an electromagnetic sealing material for preventing electromagnetic waves from the oscillation circuit.

【0036】更に、筐体10の外側には腰ベルト用フッ
ク(図示せず)を設けており、それに肩掛けベルト(例
えば無発塵素材により構成される)を掛けることにより
作業者が携帯できるようにしてある。また、筐体10の
底部には3脚固定用部材39が取り付けてられており、
3脚(図示せず)に固定する際に利用する。また、制御
回路ユニット30を駆動するための電源供給ユニット
(図示せず)は、筐体10には内蔵しておらず、ACア
ダプタとAC電源ケーブルとの組み合わせによりAC電
源のコンセントを利用したり、又は、例えば作業者の腰
ベルトに携帯型バッテリを装着して利用する。
Further, a hook for a waist belt (not shown) is provided on the outside of the housing 10, and a worker can carry it by hanging a shoulder belt (made of, for example, a dust-free material) on the hook. It is. Also, a tripod fixing member 39 is attached to the bottom of the housing 10,
Used when fixing to three legs (not shown). Further, a power supply unit (not shown) for driving the control circuit unit 30 is not built in the housing 10, and an AC power outlet is used by combining an AC adapter and an AC power cable. Or, for example, a portable battery is attached to an operator's waist belt for use.

【0037】図2は図1の水位計14の斜視図であり、
図3は水位計14の横断面図である。水位計14はセン
サ40、及びそれを内蔵した透明なプラスチックモール
ド41から構成されており、センサ40はケーブル42
を介して制御回路ユニット30と接続されている。セン
サ40は発光素子40a及び受光素子40bから構成さ
れており、また、プラスチックモールド41の前面側
(純水加振空間12側)には横断面三角形状の突起部4
1aが形成されている。
FIG. 2 is a perspective view of the water level gauge 14 of FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the water level gauge 14. The water level gauge 14 comprises a sensor 40 and a transparent plastic mold 41 containing the sensor 40.
Is connected to the control circuit unit 30 via the. The sensor 40 includes a light emitting element 40a and a light receiving element 40b, and a protrusion 4 having a triangular cross section is provided on the front side (the pure water excitation space 12 side) of the plastic mold 41.
1a is formed.

【0038】図4(A)(B)は水位計14の動作を示
す説明図である。水位計14の前面側に純水が無い場合
には、図4(A)に示されるように、発光素子40aか
らの光は突起部41aに反射して受光素子41bにより
受光される。また、水位計14の前面側に純水が有る場
合には、図4(B)に示されるように、発光素子40a
からの光は突起部41aから抜け出て受光素子41b側
には行かない。このため、受光素子41が受光している
か否かによって、純水加振空間12の水位が所定のレベ
ルであるか否かを検出する。
FIGS. 4A and 4B are explanatory diagrams showing the operation of the water level gauge 14. FIG. When there is no pure water on the front side of the water level gauge 14, as shown in FIG. 4A, light from the light emitting element 40a is reflected by the projection 41a and received by the light receiving element 41b. When pure water is present on the front side of the water level gauge 14, as shown in FIG.
The light from the lens escapes from the protrusion 41a and does not go to the light receiving element 41b. Therefore, whether or not the water level in the pure water excitation space 12 is at a predetermined level is detected based on whether or not the light receiving element 41 is receiving light.

【0039】次に、本実施形態の気流可視装置の動作に
ついて説明する。図1の気流可視装置は、純水加振空間
12に純水1が充填されている状態において、制御回路
ユニット30が超音波発振器13を駆動すると、その駆
動により生じるエネルギーによってミストが発生するこ
ととなる。また、モータ33は制御回路ユニット30に
より駆動されてその偏心軸32がポンプ34を駆動する
と、押し出し空気がパイプ36を介して逆止弁内蔵フィ
ルタ36側に送り出される。逆止弁内蔵フィルタ36で
はフィルタにより塵埃等が除去された後に逆止弁を介し
て導入孔19に送り出される。この導入孔19に送り出
された押し出し空気は、超音波発振器13の駆動により
発生したミスト21を押し出して吐出孔12aを介して
ノズル20から吐出させる。このノズル20から吐出さ
れたミスト21の流れを観測することにより、例えばク
リーンルーム内の塵埃の発生箇所や、塵埃が気流に乗っ
て移動若しくは拡散する経路を計測することが可能にな
る。
Next, the operation of the airflow visualization device according to this embodiment will be described. When the control circuit unit 30 drives the ultrasonic oscillator 13 in a state where the pure water exciting space 12 is filled with the pure water 1, the airflow visualization device of FIG. 1 generates mist due to energy generated by the driving. Becomes When the motor 33 is driven by the control circuit unit 30 and the eccentric shaft 32 drives the pump 34, the extruded air is sent out to the filter with built-in check valve 36 via the pipe 36. In the non-return valve built-in filter 36, after the dust or the like is removed by the filter, it is sent out to the introduction hole 19 via the non-return valve. The extruded air sent to the introduction hole 19 extrudes the mist 21 generated by driving the ultrasonic oscillator 13 and discharges the mist 21 from the nozzle 20 through the discharge hole 12a. By observing the flow of the mist 21 discharged from the nozzle 20, it is possible to measure, for example, a location where dust is generated in a clean room and a path where the dust moves or diffuses in an air flow.

【0040】そして、純水加振空間12における純水1
がミスト21となってノズル20から吐出されることに
より純水加振空間12の純水1の水位が下がることにな
るが、その分は純水タンク21から供給され、純水加振
空間12の純水1の水位が一定に保持される。純水タン
ク21は透明部材から構成されているので、純水タンク
21内の純水1がどのような状態であるかを容易に把握
することができ、必要に応じて、キャップ22を本体ブ
ロック11の取り付け部15から外して純水タンク21
に純水を充填する。そして、キャップ22を本体ブロッ
ク11の取付部15に装着する。そして、純水タンク2
1の純水が枯渇してくると、純水加振空間12の純水1
の水位を一定に保持することができなくなり水位は下が
り始める。所定のレベル以下になると、水位計14は図
4(A)の状態となって、受光素子40bは発光素子4
0aからの光を受光してその出力をケーブル42を介し
て制御回路ユニット30に送る。制御回路ユニット30
はその出力を受信すると、超音波発振器13の駆動を停
止させて、いわゆる空だきによる超音波発振器13の破
壊を防止している。
The pure water 1 in the pure water exciting space 12
Is discharged from the nozzle 20 as a mist 21, which lowers the level of the pure water 1 in the pure water vibration space 12, but the water level is supplied from the pure water tank 21 and the pure water vibration space 12 Of the pure water 1 is kept constant. Since the pure water tank 21 is made of a transparent member, it is possible to easily grasp the state of the pure water 1 in the pure water tank 21 and, if necessary, attach the cap 22 to the main body block. 11 from the mounting portion 15 of the pure water tank 21
Is filled with pure water. Then, the cap 22 is mounted on the mounting portion 15 of the main body block 11. And pure water tank 2
When the pure water 1 is depleted, the pure water 1
The water level cannot be kept constant and the water level starts to fall. When the level falls below a predetermined level, the water level gauge 14 is in the state shown in FIG.
Light from Oa is received and its output is sent to the control circuit unit 30 via the cable 42. Control circuit unit 30
Receives the output, stops the driving of the ultrasonic oscillator 13 to prevent the ultrasonic oscillator 13 from being broken by so-called emptying.

【0041】作業が終了すると、超音波発振器13の駆
動を停止させ、純水タンク21を取り外すともに純水加
振空間12の水を除去する。純水加振空間12の水は、
筐体10を逆さにしてノズル20を下方に向けて除去す
るようにしても良いし、別にドレインパイプ(図示せ
ず)を設けてその常閉バルブを開いて除去するようにし
ても良い。このようにして純水を除去した後もモータ3
3の駆動は継続して、濡れた状態にある純水加振空間作
業12、ノズル20等に雑菌が発生しないようにするの
が望ましい。そして、超音波発振器13及びモータ33
の駆動については、それぞれに対応したスイッチを設け
ても良いが、モータ33については超音波発振器13が
駆動状態にあるとき及び停止してから所定時間駆動させ
るようにして、その駆動を超音波発振器13の駆動に従
属させるようにしても良い。
When the operation is completed, the driving of the ultrasonic oscillator 13 is stopped, the pure water tank 21 is removed, and the water in the pure water exciting space 12 is removed. The water in the pure water excitation space 12 is
The nozzle 20 may be removed downward by turning the housing 10 upside down, or a separate drain pipe (not shown) may be provided and the normally closed valve may be opened to remove the nozzle. After removing the pure water in this manner, the motor 3
It is desirable that the driving of No. 3 be continued so that various bacteria are not generated in the pure water vibration space work 12, the nozzle 20 and the like in a wet state. Then, the ultrasonic oscillator 13 and the motor 33
May be provided with corresponding switches. However, the motor 33 is driven for a predetermined time when the ultrasonic oscillator 13 is in a driving state and after the ultrasonic oscillator 13 is stopped. 13 may be driven.

【0042】また、図1の気流可視化装置においては、
装置本体の吐出孔12aを加振空間12の上部に設け、
また、純水加振空間作業12が縦長の円柱形状になって
いるので、筐体10が斜めになっても純水1がこぼれた
り、その水位が水位計12よりも下になるおそれが少な
い。このため、作業者が図1の気流可視化装置を携帯し
ながら作業した際に筐体10が傾いてもその都度が停止
することがない。但し、作業者が転倒した場合のよう
に、筐体10が極端に傾いた場合には姿勢センサ(図示
せず)が筐体10の姿勢を検出してその動作を停止させ
る。
Further, in the air flow visualization device shown in FIG.
A discharge hole 12a of the apparatus main body is provided above the vibration space 12,
In addition, since the pure water excitation space work 12 has a vertically long cylindrical shape, there is little possibility that the pure water 1 will spill even if the housing 10 is inclined, or that the water level will be lower than the water level gauge 12. . For this reason, even when the housing 10 is tilted when the worker carries the airflow visualization device of FIG. 1 while working, it does not stop every time. However, when the housing 10 is extremely inclined, such as when the worker falls down, an attitude sensor (not shown) detects the attitude of the housing 10 and stops the operation.

【0043】なお、図1の気流可視化装置(試作機の重
量:約14kg)及び図5の気流可視化装置(装置重
量:約70kg)の追随性(ミストの目視可能な長さ)
を調べたところ、図1のものは1600mm、図5のも
のは1800mmであり、本発明においては小型化が実
現でき、且つ、その機能も従来の大型のものと遜色がな
いことが確認された。
The followability of the air flow visualization device (weight of the prototype: about 14 kg) in FIG. 1 and the air flow visualization device (apparatus weight: about 70 kg) in FIG. 5 (visible length of the mist)
1 was 1600 mm and that of FIG. 5 was 1800 mm, and it was confirmed that the present invention can be downsized and its function is not inferior to the conventional large one. .

【0044】上記のように本実施形態に係る気流可視化
装置は小型化が可能になっているので、クリーンルーム
のような大きな空間内の気流の流れを計測するだけでな
く、装置内の局所的な部位についての気流の流れも計測
することもできる。
As described above, the airflow visualization device according to the present embodiment can be miniaturized, so that it not only measures the airflow in a large space such as a clean room, but also locally It is also possible to measure the flow of airflow about the part.

【0045】実施形態2.なお、上記の本体ブロック1
1はプラスチック樹脂により構成されているが、熱伝導
を更に良くするために金属材料例えばアルミを用いるこ
とも好ましい。また、電源供給ユニットを外付けする例
について説明したが、バッテリを内蔵させても良い。ま
た、上記の例においては装置本体の吐出孔12aを本体
ブロック11に形成した例について説明したが、この吐
出孔12aについては本体ブロック11と別体であって
も良い。例えば筐体により形成しても良い。また、逆止
弁内蔵のフィルタ35についても、両者を別体構造にし
てもよい。また、図2の水位計14は縦に設置して使用
した例について説明したが、横に設置して使用しても良
い。
Embodiment 2 The above main body block 1
Although 1 is made of a plastic resin, it is also preferable to use a metal material, for example, aluminum in order to further improve heat conduction. In addition, although the example in which the power supply unit is externally described has been described, a battery may be incorporated. In the above example, the example in which the discharge holes 12a of the apparatus main body are formed in the main body block 11 has been described. However, the discharge holes 12a may be separate from the main body block 11. For example, it may be formed by a housing. Also, the filter 35 with a built-in check valve may have a separate structure. Further, the example in which the water level gauge 14 in FIG. 2 is installed vertically and used has been described, but the water level gauge 14 may be installed horizontally and used.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、液体が充
填される加振空間を備えた本体ブロックと、加振空間の
下部に配置された超音波発振器とを備え、加振空間の上
部に装置本体のミストの吐出孔を形成し、超音波発振器
により液体を加振してミストを発生させるようにしたの
で、ミストの移動経路は短く構造が単純になるため、ミ
ストの移動途中で再凝縮等の不都合が起こらず、吐出孔
から吐出されるミストの量が減少しないので、効率よく
ミストを吐出されることができる。このため、小電力、
小型化、軽量化が可能になっており、携帯性に優れたも
のとなっている。
As described above, according to the present invention, the main body block having the vibration space filled with the liquid, and the ultrasonic oscillator disposed below the vibration space, are provided. The mist discharge hole of the device body is formed at the top, and the mist is generated by vibrating the liquid with an ultrasonic oscillator, so the mist movement path is short and the structure is simple, so during the movement of the mist Since inconvenience such as recondensation does not occur and the amount of mist discharged from the discharge holes does not decrease, mist can be discharged efficiently. For this reason, low power,
It is possible to reduce the size and weight, and it is excellent in portability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は本発明の一実施形態に係る気流可視化装
置の構成を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an airflow visualization device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は図1の水位計の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the water level gauge of FIG. 1;

【図3】図3は図1の水位計の横断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the water level gauge of FIG. 1;

【図4】図4(A)(B)は水位計の動作を示す説明図
である。
FIGS. 4A and 4B are explanatory diagrams showing the operation of the water level gauge.

【図5】図5は液体窒素を用いた気流可視化装置の概念
図である。
FIG. 5 is a conceptual diagram of an airflow visualization device using liquid nitrogen.

【図6】図6は超音波発振器を用いた気流可視化装置の
概念図である。
FIG. 6 is a conceptual diagram of an airflow visualization device using an ultrasonic oscillator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 筐体 11 本体ブロック 12 純水加振空間 13 超音波発振器 14 水位計 15 純水タンクの取付部 16 ネジ 17 押し棒 18 ダクト 20 ノズル 21 純水タンク 22 キャップ 31 押し出し空気供給装置 33 モータ 34 ダイヤフラム型ポンプ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Case 11 Body block 12 Pure water excitation space 13 Ultrasonic oscillator 14 Water level gauge 15 Attachment part of pure water tank 16 Screw 17 Push rod 18 Duct 20 Nozzle 21 Pure water tank 22 Cap 31 Extruded air supply device 33 Motor 34 Diaphragm Type pump

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 一二三 真 東京都豊島区巣鴨1−17−1−402 クリ ーンテクノサービス株式会社内 Fターム(参考) 2G023 AB24  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Makoto Hikami 1-17-1-402 Sugamo, Toshima-ku, Tokyo Clean Techno Service Co., Ltd. F-term (reference) 2G023 AB24

Claims (21)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液体が充填される加振空間を備えた本体
ブロックと、該加振空間の下部に配置された超音波発振
器とを備え、前記加振空間の上部に装置本体のミストの
吐出孔を形成したことを特徴とする気流可視化装置。
1. A main body block having a vibrating space filled with a liquid, and an ultrasonic oscillator disposed below the vibrating space, wherein a mist of the apparatus main body is discharged above the vibrating space. An airflow visualization device characterized by forming holes.
【請求項2】 前記ミストの吐出孔にノズルを設けたこ
とを特徴とする請求項1記載の気流可視化装置。
2. The airflow visualization device according to claim 1, wherein a nozzle is provided at the discharge hole of the mist.
【請求項3】 前記超音波発振器を前記加振空間の底部
を覆うようにして配置したことを特徴とする請求項1又
は2記載の気流可視化装置。
3. The air flow visualization device according to claim 1, wherein the ultrasonic oscillator is disposed so as to cover a bottom of the excitation space.
【請求項4】 前記加振空間は縦長の円柱形状からなる
ものであることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに
記載の気流可視化装置。
4. The air flow visualization device according to claim 1, wherein the vibration space has a vertically long cylindrical shape.
【請求項5】 前記本体ブロックは、タンクを着脱自在
に取り付けるための取付部と、前記取付部と前記加振空
間とを連通するダクトとを備えたことを特徴とする請求
項1乃至4の何れかに記載の気流可視化装置。
5. The apparatus according to claim 1, wherein the main body block includes a mounting portion for detachably mounting the tank, and a duct communicating the mounting portion with the vibration space. An airflow visualization device according to any one of the above.
【請求項6】 前記本体ブロックに着脱自在に装着さ
れ、前記加振空間に液体を供給するタンクを備えたこと
を特徴する請求項1乃至5何れかに記載の気流可視化装
置。
6. The air flow visualization device according to claim 1, further comprising a tank that is detachably attached to the main body block and that supplies a liquid to the vibration space.
【請求項7】 前記タンクは少なくともその一部が透明
部材から構成されていることを特徴とする請求項6記載
の気流可視化装置。
7. The airflow visualization device according to claim 6, wherein at least a part of the tank is formed of a transparent member.
【請求項8】 定常的には閉状態にある弁体を内蔵し、
前記タンクの先端に着脱自在に装着されるキャップを備
え、前記タンクは該キャップを介して前記本体ブロック
の取付部に着脱自在に装着されることを特徴とする請求
項6又は7記載の気流可視化装置。
8. A built-in valve body which is normally closed.
The airflow visualization according to claim 6, further comprising a cap detachably mounted on a tip of the tank, wherein the tank is detachably mounted on a mounting portion of the main body block via the cap. apparatus.
【請求項9】 前記キャップは、前記本体ブロックの取
付部に着脱自在に装着され、前記本体ブロックの取付部
に装着されると前記弁体が開状態になる請求項8記載の
気流可視化装置。
9. The airflow visualization device according to claim 8, wherein the cap is detachably attached to a mounting portion of the main body block, and the valve body is opened when the cap is mounted to the mounting portion of the main body block.
【請求項10】 前記タンクは前記加振空間に所定レベ
ルの液体を充填するものであることを特徴とする請求項
6乃至9の何れかに記載の気流可視化装置。
10. The airflow visualization device according to claim 6, wherein the tank fills the vibration space with a predetermined level of liquid.
【請求項11】 前記加振空間に発生したミストを前記
吐出孔側に押し出すための押し出し空気を供給する押し
出し空気供給装置を備えたことを特徴とする請求項1乃
至10の何れかに記載の気流可視化装置。
11. The apparatus according to claim 1, further comprising an extruding air supply device for supplying extruding air for extruding mist generated in the vibrating space to the discharge hole side. Airflow visualization device.
【請求項12】 前記押し出し空気供給装置は、モータ
と該モータにより駆動されるポンプとを備えたことを特
徴とする請求項11記載の気流可視化装置。
12. The airflow visualization device according to claim 11, wherein the extruded air supply device includes a motor and a pump driven by the motor.
【請求項13】 前記加振空間内に押し出し空気を送り
出すための導入孔を、前記本体ブロックの加振空間の吐
出孔側に設けたことを特徴とする請求項11又は12記
載の気流可視化装置。
13. The air flow visualization device according to claim 11, wherein an introduction hole for sending out the extruded air into the vibration space is provided on a discharge hole side of the vibration space of the main body block. .
【請求項14】 前記押し出し空気供給装置は、前記押
し出し空気から塵埃を除去するためのフィルタを備えた
ことを特徴とする請求項11乃至13の何れかに記載の
気流可視化装置。
14. The airflow visualizing device according to claim 11, wherein the extruded air supply device includes a filter for removing dust from the extruded air.
【請求項15】 前記押し出し空気供給装置は、前記フ
ィルタと前記導入孔との間に設けられた逆止弁を備えた
ことを特徴とする請求項14記載の気流可視化装置。
15. The airflow visualization device according to claim 14, wherein the pushing air supply device includes a check valve provided between the filter and the introduction hole.
【請求項16】 前記押し出し空気供給装置は、作業の
終了後も駆動を継続することを特徴とする請求項11乃
至15の何れかに気流可視化装置。
16. The airflow visualization device according to claim 11, wherein the pushing air supply device continues to be driven even after the operation is completed.
【請求項17】 前記加振空間の液体レベルを計測する
水位計を備え、前記液体レベルが所定レベル以下になる
と前記超音波発振器の駆動を停止させることを特徴とす
る請求項1乃至16の何れかに記載の気流可視化装置。
17. The apparatus according to claim 1, further comprising a water level meter for measuring a liquid level in the vibration space, wherein the driving of the ultrasonic oscillator is stopped when the liquid level falls below a predetermined level. An airflow visualization device according to any of the above items.
【請求項18】 前記水位計は、併設された発光素子及
び受光素子と、前記加振空間に充填される液体とほぼ同
じ透過率の樹脂からなり、前記発光素子及び前記受光素
子をモールドしてなるモールド体とからなることを特徴
とする請求項17記載の気流可視化装置。
18. The water level gauge comprises a light emitting element and a light receiving element provided side by side, and a resin having substantially the same transmittance as a liquid filled in the vibration space, and molding the light emitting element and the light receiving element. 18. The airflow visualization device according to claim 17, comprising a molded body.
【請求項19】 前記モールド体は、前記発光素子から
の光が進む側に、横断面三角形状の突起を備えたことを
特徴とする請求項18記載の気流可視化装置。
19. The airflow visualization device according to claim 18, wherein the mold body is provided with a protrusion having a triangular cross section on a side on which light from the light emitting element travels.
【請求項20】 前記本体ブロックは金属材料からなる
ものであることを特徴とする請求項1乃至19の何れか
に記載の気流可視化装置。
20. The airflow visualization device according to claim 1, wherein the main body block is made of a metal material.
【請求項21】 電源ユニットを外付けにしたことを特
徴とする請求項1乃至20の何れかに記載の気流可視化
装置。
21. The airflow visualization device according to claim 1, wherein a power supply unit is provided externally.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2018179585A (en) * 2017-04-05 2018-11-15 東京電力ホールディングス株式会社 Air flow visualization device
JP2019190723A (en) * 2018-04-24 2019-10-31 株式会社日立産機システム Safety cabinet

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