JP2002005736A - Measuring device for ultraviolet ray illuminance distribution - Google Patents
Measuring device for ultraviolet ray illuminance distributionInfo
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Abstract
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基
板、液晶基板、あるいは半導体基板等への照射光の照度
分布を測定する紫外線照度分布測定装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultraviolet illuminance distribution measuring device for measuring the illuminance distribution of light applied to a printed wiring board, a liquid crystal substrate, a semiconductor substrate or the like.
【０００１】[0001]
【従来の技術】従来、図５（ａ）に示すように、各種基
板の製造においては、感光性のレジストを塗布した基板
１に導体パターンを形成したマスクフィルム２を通して
光を照射し、硬化又は可溶性にすることにより所定のパ
ターンを形成している。この場合の光の照射に露光装置
が用いられる。この露光装置は、ランプ３から反射鏡
４、５、フライアイレンズ６、反射鏡７等の光学系で主
要部分が構成されている。このとき、露光装置は、基板
１の表面における光の当たる部分では、高精度のパター
ンを得るため、同じ光照射量、つまり照度分布が均一で
あることが必要とされる。そのため、従来は、以下のよ
うな手段で照度分布の測定を行っている。2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 5 (a), in the production of various substrates, light is irradiated through a mask film 2 in which a conductive pattern is formed on a substrate 1 coated with a photosensitive resist, and cured or cured. A predetermined pattern is formed by making it soluble. An exposure device is used for light irradiation in this case. The main part of this exposure apparatus is constituted by an optical system such as a lamp 3, reflecting mirrors 4, 5, a fly-eye lens 6, and a reflecting mirror 7. At this time, the exposure apparatus needs to have the same amount of light irradiation, that is, a uniform illuminance distribution, in order to obtain a highly accurate pattern in a portion of the surface of the substrate 1 where light is applied. Therefore, conventionally, the illuminance distribution is measured by the following means.
【０００２】図５（ｂ）に示すように、基板１の表面に
おける任意の複数箇所、例えば、測定ポイントＰ１、Ｐ
２、Ｐ３〜Ｐ９に照度計の光センサを順次移動させなが
ら各ポイントＰ１〜Ｐ９の照度を測定し、照度計の表示
部に表示する。そして、その表示に基づいて１人の作業
者が各ポイントでの照度を読み上げ、別の作業者がその
数値をパソコンに入力し、ここで照度分布を演算してい
た。[0002] As shown in FIG. 5 (b), arbitrary plural points on the surface of a substrate 1, for example, measurement points P 1, P
2. The illuminance at each of the points P1 to P9 is measured while sequentially moving the optical sensor of the illuminometer from P3 to P9, and displayed on the display unit of the illuminometer. Then, one worker reads out the illuminance at each point based on the display, and another worker inputs the numerical value to a personal computer, where the illuminance distribution is calculated.
【０００３】また、別の構成として、図６に示すよう
に、基板（半導体を含む）１０の上方にランプ１１を複
数個並べて紫外線を含む光を照射する作業を行う光照射
装置がある。この種の光照射装置においても、各位置の
基板１０に対して照度の均等化が要求されるため、同様
に各基板１０の測定ポイントＰ1 ・・の位置で光センサ
による測定を行っている。この場合も、上記露光装置と
同様に、各基板１０の照度を測定して照度計の表示部に
表示し、その表示に基づいて１人の作業者が各ポイント
での照度を読み上げ、別の作業者がその数値をパソコン
に入力し、ここで照度分布を演算していた。As another configuration, as shown in FIG. 6, there is a light irradiation device for arranging a plurality of lamps 11 above a substrate (including a semiconductor) 10 to irradiate light including ultraviolet rays. Also in this type of light irradiation device, since equalization of the illuminance is required for the substrate 10 at each position, the measurement by the optical sensor is similarly performed at the measurement points P1. Also in this case, similarly to the above-described exposure apparatus, the illuminance of each substrate 10 is measured and displayed on the display unit of the illuminometer. Based on the display, one worker reads out the illuminance at each point and reads another illuminance at each point. An operator inputs the numerical value into a personal computer, where the illuminance distribution is calculated.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来は
１人の作業者が各測定ポイントでの照度を読み上げ、別
の作業者がその数値をパソコンに入力し、ここで照度分
布を演算するという２重の手間がかかり、基板の照度分
布の測定に人手及び時間を要するという問題があった。As described above, conventionally, one worker reads out the illuminance at each measurement point, and another worker inputs the numerical value to a personal computer, where the illuminance distribution is calculated. In such a case, there is a problem in that measurement of the illuminance distribution of the substrate requires labor and time.
【０００５】そこで、本発明の目的は、１人の作業者に
より簡単かつ高精度で照度分布を測定できる紫外線照度
分布測定装置を提供することにある。Accordingly, an object of the present invention is to provide an ultraviolet illuminance distribution measuring apparatus which can easily and accurately measure an illuminance distribution by one operator.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明はつぎのように構成した。すなわち、基板へ
の照射光の照度分布を測定する紫外線照度分布測定装置
であって、前記基板上で移動させて複数の測定ポイント
における所定波長の紫外線照射光を受光する受光器と、
この受光器からの検出信号を処理する測定装置本体とか
らなり、前記測定装置本体は、前記受光器からの検出信
号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換回路と、このＡ／Ｄ変換
回路からの出力に基づいて前記複数の測定ポイントでの
照度分布を演算する照度分布演算手段を有する演算制御
装置と、この演算制御装置により演算された演算値及び
前記測定ポイントを表示する表示部とを備えている紫外
線照度分布測定装置とした。In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. That is, an ultraviolet illuminance distribution measuring device that measures the illuminance distribution of the irradiation light on the substrate, and a light receiver that receives ultraviolet irradiation light of a predetermined wavelength at a plurality of measurement points by moving on the substrate,
A measuring device main body for processing a detection signal from the light receiver; the measuring device main body includes an A / D conversion circuit for A / D converting the detection signal from the light receiver, and an A / D conversion circuit. A calculation control device having illuminance distribution calculation means for calculating the illuminance distribution at the plurality of measurement points based on the output of the calculation control device, and a display unit for displaying the calculation values calculated by the calculation control device and the measurement points. UV illuminance distribution measuring device.
【０００７】このように構成することで、受光器を基板
の測定ポイントに順次移動させていくと、受光器からの
測定信号はＡ／Ｄ変換回路でデジタル値に変換されて演
算制御装置に入力され、測定ポイントと対応した照度が
演算制御装置の記憶部に記憶され、これを照度分布演算
手段において演算し、分かり易い照度分布の数字に変換
して表示する。With this configuration, when the light receiver is sequentially moved to the measurement point on the substrate, the measurement signal from the light receiver is converted into a digital value by the A / D conversion circuit and input to the arithmetic and control unit. Then, the illuminance corresponding to the measurement point is stored in the storage unit of the arithmetic and control unit, which is calculated by the illuminance distribution calculating means, converted into an easy-to-understand illuminance distribution number, and displayed.
【０００８】また、前記紫外線照度分布測定装置の前記
照度分布演算手段は、前記Ａ／Ｄ変換回路の出力値の最
大値と最小値を算出し、最小値と最大値の比により照度
分布を演算する手段として構成した。このように構成す
ることで、最大値と最小値の比から照度分布を表示し、
照射面全体について照度分布を把握することができる。The illuminance distribution calculating means of the ultraviolet illuminance distribution measuring device calculates a maximum value and a minimum value of an output value of the A / D conversion circuit, and calculates an illuminance distribution by a ratio between the minimum value and the maximum value. It was configured as a means to do it. With this configuration, the illuminance distribution is displayed from the ratio between the maximum value and the minimum value,
The illuminance distribution can be grasped for the entire irradiation surface.
【０００９】また、前記紫外線照度分布測定装置の前記
照度分布演算手段は、前記Ａ／Ｄ変換回路の出力値の平
均値を求め、この平均値と測定値とを比較して平均値に
対する増減を正又は負の数値で算出して照度分布を演算
する手段として構成した。このように構成することで、
各測定ポイントにおける平均値に対する正又は負の数値
により照度分布を表示し、部分的な照度分布について判
断する場合に都合がよい。Further, the illuminance distribution calculating means of the ultraviolet illuminance distribution measuring device obtains an average value of output values of the A / D conversion circuit, compares the average value with the measured value, and increases or decreases the average value. It is configured as means for calculating the illuminance distribution by calculating with a positive or negative numerical value. With this configuration,
It is convenient when the illuminance distribution is displayed by a positive or negative numerical value with respect to the average value at each measurement point, and a partial illuminance distribution is determined.
【００１０】また、前記受光器は、ケースの表面にフィ
ルタ部材が着脱自在に設けられ、前記フィルタ部材の裏
面に受光素子が設けられた構造の紫外線照度分布測定装
置とした。このように構成することで、透過波長の異な
るフィルタが取付けられているフィルタ部材と着脱交換
することができる。The photodetector is an ultraviolet illuminance distribution measuring device having a structure in which a filter member is detachably provided on a front surface of a case and a light receiving element is provided on a back surface of the filter member. With such a configuration, it is possible to detachably replace the filter member with a filter having a filter having a different transmission wavelength.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
図面に基づいて説明する。図１は、紫外線照度分布測定
装置の実施の形態を示すブロック図、図２は受光器と測
定装置本体の斜視図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an ultraviolet illuminance distribution measuring device, and FIG. 2 is a perspective view of a light receiver and a measuring device main body.
【００１２】図１及び図２に示すように、本実施の形態
の紫外線照度分布測定装置Ａは、受光器１２と、測定装
置本体１３とで概略構成されている。図１および図２に
示すように、受光器１２は、ハンディタイプのケース１
４の表面側に設けられたフィルタ１６と、このフィルタ
１６の裏面に設けられたフォトダイオード等の受光素子
１５とで構成されている。受光器１２と測定装置本体１
３とは配線コード１７を介して接続されている。測定装
置本体１３のケース１８の外側には表示部２１、操作ス
イッチ１９及びテンキー２２等が設けられている。As shown in FIGS. 1 and 2, an ultraviolet illuminance distribution measuring apparatus A according to the present embodiment is schematically constituted by a light receiver 12 and a measuring apparatus main body 13. As shown in FIGS. 1 and 2, the light receiver 12 is a handy type case 1.
4 and a light receiving element 15 such as a photodiode provided on the back surface of the filter 16. Light receiver 12 and measuring device body 1
3 is connected via a wiring cord 17. A display unit 21, an operation switch 19, a numeric keypad 22, and the like are provided outside the case 18 of the measurement device body 13.
【００１３】図１に示すように、測定装置本体１３は、
電流−電圧変換回路２４、電源用の電池２６、電源回路
２７、Ａ／Ｄ変換器２８、演算制御装置（ＣＰＵ）２
９、及びインタフェース３０を備えている。演算制御装
置２９は、Ａ／Ｄ変換回路２８からの入力を記憶する記
憶部、照度分布を演算する演算部、及び制御信号の生成
を行う制御部を含んでいる。演算制御装置２９には前記
表示部２１、インタフェース３０、及びプリンタ３１が
接続され、インタフェース３０にはコンピュータ３２が
接続されるように構成されている。As shown in FIG. 1, the measuring device main body 13
Current-voltage conversion circuit 24, power supply battery 26, power supply circuit 27, A / D converter 28, arithmetic and control unit (CPU) 2
9 and an interface 30. The arithmetic and control unit 29 includes a storage unit for storing an input from the A / D conversion circuit 28, an arithmetic unit for calculating an illuminance distribution, and a control unit for generating a control signal. The display unit 21, the interface 30, and the printer 31 are connected to the arithmetic and control unit 29, and a computer 32 is connected to the interface 30.
【００１４】次に、上記紫外線照度分布測定装置の動作
を説明する。受光器１２を手に持ち、図５（ｂ）に示さ
れているように、基板１の測定ポイントＰ１、Ｐ２、Ｐ
３〜Ｐ９（このポイント数はここでは９９ポイントまで
可能である）に順次移動させていく。なお、この際、基
板１と同じ高さで照度を測定きるように、基板１を除い
たテーブル上で受光器１２を移動させると都合がよい。
最初に測定ポイントＰ１に受光器１２を配置し、操作ス
イッチ１９を押し、次いで測定装置本体１３のテンキー
２２でその測定ポイントＰ1 を示す数字（例えば１）を
入力し、次いで第２の測定ポイントＰ２に移動させて同
様の操作を行い、このようにして順次測定ポイントＰ９
まで受光器１２を移動させていく。Next, the operation of the ultraviolet illuminance distribution measuring device will be described. Holding the light receiver 12 in the hand, as shown in FIG. 5B, the measurement points P1, P2, P
3 to P9 (the number of points can be up to 99 in this case). At this time, it is convenient to move the light receiver 12 on a table excluding the substrate 1 so that the illuminance can be measured at the same height as the substrate 1.
First, the photodetector 12 is arranged at the measurement point P1, the operation switch 19 is pressed, and then a numeral (for example, 1) indicating the measurement point P1 is input using the numeric keypad 22 of the measurement device main body 13, and then the second measurement point P2 , And the same operation is performed. Thus, the measurement points P9
The light receiver 12 is moved up to that point.
【００１５】これにより、受光器１２からの測定信号が
電流−電圧変換回路２４に入力されて電圧値に変換さ
れ、Ａ／Ｄ変換回路２８でデジタル値に変換されて演算
制御装置２９に入力され、測定ポイントＰ１〜Ｐ９と対
応した照度が演算制御装置２９の記憶部に記憶される。
この演算制御装置２９は、その演算部において以下のよ
うにして照度分布を演算する。As a result, the measurement signal from the photodetector 12 is input to the current-voltage conversion circuit 24 and is converted into a voltage value, is converted into a digital value by the A / D conversion circuit 28, and is input to the arithmetic and control unit 29. The illuminance corresponding to the measurement points P1 to P9 is stored in the storage unit of the arithmetic and control unit 29.
The arithmetic and control unit 29 calculates the illuminance distribution in the arithmetic unit as follows.
【００１６】Ａ／Ｄ変換回路２８からの入力はその測定
ポイントＰ１〜Ｐ９での照度のデジタル値であり、これ
をそのまま数値で表示すると照度分布としては判定が困
難である。そのため、この照度のデジタル値を見やすい
数字、例えば一桁の数字に変換して表示する。The input from the A / D conversion circuit 28 is a digital value of the illuminance at the measurement points P1 to P9. If this is displayed as a numerical value as it is, it is difficult to determine the illuminance distribution. For this reason, the digital value of the illuminance is converted into an easy-to-view number, for example, a single-digit number and displayed.
【００１７】測定ポイントＰ１〜Ｐ９の各デジタル値
は、初めに入力されたものを基準として、次に入力した
値との比較を行う。このとき、予め最大値用の変数Ｆａ
と最小値用の変数Ｆｂを用意しておき、各変数に入力さ
れてくる値を演算して特定する。Each digital value of the measurement points P1 to P9 is compared with the next input value based on the first input value. At this time, the variable Fa for the maximum value is set in advance.
And a variable Fb for the minimum value are prepared, and the value input to each variable is calculated and specified.
【００１８】例えば、初めに入力される測定ポイントＰ
１でのデジタル値が４０〔ｍｗ／ｃｍ2〕であった場
合、各変数の値をＦａ＝４０、Ｆｂ＝４０とする。次
に、測定ポイントＰ２でのデジタル値が３８〔ｍｗ／ｃ
ｍ2〕であると、両変数と対比してＦａ＝４０、Ｆｂ＝
３８とする。以下、同様にして最大値と最小値を求め
る。そして、全ての測定ポイントでの比較が終了する
と、両変数Ｆａ、Ｆｂの値が算出される。そして、最大
値により最小値を除してＦｂ／Ｆａとすることで照度分
布を測定する。For example, a measurement point P input first
When the digital value at 1 is 40 [mw / cm 2 ], the values of the variables are set to Fa = 40 and Fb = 40. Next, the digital value at the measurement point P2 is 38 [mw / c
m 2 ], Fa = 40 and Fb =
38. Hereinafter, the maximum value and the minimum value are obtained in the same manner. When the comparison at all the measurement points is completed, the values of both variables Fa and Fb are calculated. Then, the illuminance distribution is measured by dividing the minimum value by the maximum value to obtain Fb / Fa.
【００１９】この場合、算出した値が１に近いほど照度
分布は整っており、０に近いほど照度分布にばらつきが
あることを示すことになる。なお、最小値により最大値
を除するＦａ／Ｆｂにより求めてもよい。なお、各測定
ポイントに対して、求めた最大値あるいは最小値との比
として照度分布を算出して各測定ポイントの値を表示す
ることも可能である。In this case, the closer the calculated value is to 1, the better the illuminance distribution is, and the closer the calculated value is to 0, the more the illuminance distribution varies. In addition, you may obtain | require by Fa / Fb which divides a maximum value by a minimum value. In addition, it is also possible to calculate the illuminance distribution as a ratio to the obtained maximum value or minimum value for each measurement point and display the value of each measurement point.
【００２０】さらにまた、各測定ポイントＰ１〜Ｐ９の
照度のデジタル値を合計して測定ポイント数で除するこ
とにより、全測定ポイントにおける平均値を求め、この
平均値と各測定ポイントにおける測定値を比較して、平
均値に対して増減している正又は負の数値を算出して、
例えば−３、＋５のように表示するようにすることもで
きる。この場合、数値が０であれば、照度分布は整って
おり、０より大きい、あるいは小さい数値になれば、照
度分布にばらつきがあることを示している。なお、平均
値は、２以上の任意の測定ポイントに対して求めること
も可能である。Furthermore, by summing up the digital values of the illuminance at each of the measurement points P1 to P9 and dividing by the number of measurement points, an average value at all the measurement points is obtained, and this average value and the measurement value at each measurement point are calculated. By comparing, calculate the positive or negative numerical value that is increasing or decreasing with respect to the average value,
For example, it may be displayed as -3, +5. In this case, if the numerical value is 0, the illuminance distribution is in order. If the numerical value is larger or smaller than 0, it indicates that the illuminance distribution is uneven. The average value can be obtained for two or more arbitrary measurement points.
【００２１】上記操作では、テンキー２２等で各測定ポ
イントＰ１〜Ｐ９を入力しているが、このときの測定ポ
イントＰ１〜Ｐ９と移動経路を演算制御装置２９で記憶
しておけば、次回の測定の際は同じ移動ルートで操作ス
イッチ１９の操作だけで自動的にその測定ポイントでの
測定値が表示できる。演算制御装置２９の出力は必要に
応じてプリンタ３１に入力され、各測定ポイントＰ１〜
Ｐ９とその照度分布がプリントされ、また、インタフェ
ース３０からコンピュータ３２に必要に応じて入力さ
れ、露光装置の光学系の角度、位置、劣化などの修正を
行うデータとして用いることができる。In the above operation, the measurement points P1 to P9 are input using the numeric keypad 22 or the like. If the measurement points P1 to P9 and the movement path at this time are stored in the arithmetic and control unit 29, the next measurement is performed. In this case, the measurement value at the measurement point can be automatically displayed only by operating the operation switch 19 on the same movement route. The output of the arithmetic and control unit 29 is input to the printer 31 as necessary, and each measurement point P1
P9 and its illuminance distribution are printed, and are input from the interface 30 to the computer 32 as needed, and can be used as data for correcting the angle, position, deterioration, and the like of the optical system of the exposure apparatus.
【００２２】なお、受光器１２は、配線コード１７を測
定装置本体１３から抜き取り、他の受光器（図示せず）
と差し替えることにより、受光する紫外線の波長を任意
に選択することができるように構成されている。The light receiver 12 removes the wiring cord 17 from the main body 13 of the measuring device, and receives another light receiver (not shown).
The wavelength of the ultraviolet light to be received can be arbitrarily selected by replacing the above.
【００２３】図３は、図１に示す受光器１２の他の形態
を示すもので、受光部４２は、ケース３３にガイド溝３
４が形成され、このガイド溝３４に、フィルタ１６ａを
有する板状のフィルタ部材３３ａをスライドして着脱す
るようになっており、取り付けられたフィルタ１６ａの
直下に受光素子１５ａが配置されるように構成されてい
る。そのため、透過波長の異なるフィルタ１６ｂを有す
るフィルタ部材３３ｂを複数種類用意しておけば、フィ
ルタ部材３３ａ等を交換するだけで各種波長の紫外線照
射光に対応できるものである。FIG. 3 shows another embodiment of the light receiver 12 shown in FIG.
4, a plate-shaped filter member 33a having a filter 16a is slidably attached to and detached from the guide groove 34, and the light receiving element 15a is arranged immediately below the attached filter 16a. It is configured. Therefore, if a plurality of types of filter members 33b having filters 16b having different transmission wavelengths are prepared, it is possible to cope with ultraviolet irradiation light of various wavelengths only by replacing the filter members 33a and the like.
【００２４】なお、前記実施の形態では、ハンディタイ
プの受光器１２（４２）を基板１上で移動させて測定す
る例を示したが、図４に示すような構成であっても良
い。すなわち、受光器３７は、基板１の全体を覆う大き
さの取付板３５と、この取付板３５に多数の受光素子３
６を配列して構成された受光器３７を備えた構成であ
る。In the above-described embodiment, an example is shown in which the measurement is performed by moving the hand-held light receiver 12 (42) on the substrate 1, but a configuration as shown in FIG. 4 may be used. That is, the light receiver 37 has a mounting plate 35 large enough to cover the entire substrate 1 and a large number of light receiving elements 3
This is a configuration including a light receiver 37 configured by arranging 6 light receiving elements.
【００２５】この受光器３７を、基板１を載置するテー
ブル上に配置し、この受光器３７をスキャナ（図示せ
ず）で走査してＡ／Ｄ変換回路２８に出力し、演算制御
装置２９で上記のように演算処理することにより、自動
的に各受光素子３６のポイントでの照度分布が得られる
構成としたものである。この装置では、受光素子３６の
個数を多くする程精度の高い照度分布が測定できるた
め、半導体基板のような精密な露光が必要な場合の紫外
線照度分布測定装置として好適である。The light receiver 37 is arranged on a table on which the substrate 1 is placed, and the light receiver 37 is scanned by a scanner (not shown) and output to the A / D conversion circuit 28, and the arithmetic and control unit 29 By performing the arithmetic processing as described above, the illuminance distribution at the point of each light receiving element 36 is automatically obtained. In this apparatus, the more accurate the illuminance distribution can be measured as the number of the light receiving elements 36 increases, it is suitable as an ultraviolet illuminance distribution measuring apparatus when precise exposure is required such as a semiconductor substrate.
【００２６】なお、紫外線照度分布測定装置は、その測
定ポイントの数は任意に決めることができ、また、各測
定ポイントでの照度測定および積算光量の測定は測定装
置本体１３に設けられた切換えスイッチ２０を操作する
ことにより測定でき、さらに、表示部２１に照度、積算
光量、照度分布を表示することができるものである。The number of measurement points of the ultraviolet illuminance distribution measuring device can be arbitrarily determined. The illuminance measurement and the measurement of the integrated light quantity at each measuring point are performed by a changeover switch provided on the measuring device body 13. 20 can be measured by operating the display unit 20, and further, the illuminance, the integrated light amount, and the illuminance distribution can be displayed on the display unit 21.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上、詳述したように、請求項１記載の
発明によれば、基板上で移動させて照射光を検出する受
光器からの検出信号を演算制御装置に入力させて測定ポ
イントと照度分布とを表示することが簡単な構成で精度
良く行うことができる。また、受光器を基板の測定ポイ
ントに順次移動させていく操作だけで、測定ポイントと
対応させて見やすい数字の照度分布を表示することがで
き、１人の作業者だけで基板の照度分布が測定でき、作
業効率が向上する。As described in detail above, according to the first aspect of the present invention, a detection signal from a light receiver for detecting irradiation light by moving on a substrate is input to an arithmetic and control unit to measure a measurement point. And the illuminance distribution can be accurately displayed with a simple configuration. In addition, simply by moving the light receiver to the measurement point on the board sequentially, the illuminance distribution of numbers that are easy to see in correspondence with the measurement points can be displayed, and the illuminance distribution of the board can be measured with only one worker Work efficiency is improved.
【００２８】さらに、請求項２記載の発明によれば、照
度の最大値と最小値を算出し、この算出した値から照度
分布を演算できるため、全体的な照度分布を判断するの
に必要なデータを得ることができる。Further, according to the second aspect of the invention, the maximum value and the minimum value of the illuminance can be calculated and the illuminance distribution can be calculated from the calculated values, so that it is necessary to determine the overall illuminance distribution. Data can be obtained.
【００２９】また、請求項３記載の発明によれば、照度
の平均値を求め、この平均値と測定値とを比較して平均
値に対して増減する値を正又は負の数値で算出して表示
部に表示するので、部分的な照度分布を判断するのに必
要なデータを得ることができる。According to the third aspect of the present invention, an average value of the illuminance is obtained, and the average value is compared with the measured value to calculate a value which increases or decreases with respect to the average value as a positive or negative value. Therefore, data necessary for determining a partial illuminance distribution can be obtained.
【００３０】また、請求項４記載の発明によれば、フィ
ルタ部材が着脱自在に設けられた受光器としたので、透
過波長の異なるフィルタ部材を交換するだけで各種波長
の照射光に対応して照度分布を測定することができる。Further, according to the fourth aspect of the present invention, since the filter member is provided with a detachable filter member, it is possible to cope with irradiation light of various wavelengths only by exchanging filter members having different transmission wavelengths. The illuminance distribution can be measured.
【図１】 本発明にかかる紫外線照度分布測定装置の実
施の形態を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an ultraviolet illuminance distribution measuring device according to the present invention.
【図２】 本発明にかかる受光器及び測定装置本体の斜
視図である。FIG. 2 is a perspective view of a light receiver and a measuring device main body according to the present invention.
【図３】 本発明にかかる受光器の第２実施の形態を示
す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a second embodiment of the light receiver according to the present invention.
【図４】 本発明にかかる受光器の第３実施の形態を示
す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a third embodiment of the light receiver according to the present invention.
【図５】 （ａ）は露光装置の構成図、（ｂ）は基板の
平面図である。FIG. 5A is a configuration diagram of an exposure apparatus, and FIG. 5B is a plan view of a substrate.
【図６】 光照射装置の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a light irradiation device.
１ 基板 ２ マスクフ
ィルム ３ ランプ ４、５ 反射鏡 ６ フライアイレンズ ７ 反射鏡 １０ 基板 １１ ランプ １２ 受光器 １３ 測定装置
本体 １４ ケース １５ 受光素子 １６ フィルタ １７ 配線コー
ド １８ ケース １９ 操作スイ
ッチ ２０ 切換えスイッチ ２１ 表示部 ２２ テンキー ２４ 電流−電
圧変換回路 ２６ 電池 ２７ 電源回路 ２８ Ａ／Ｄ変換器 ２９ 演算制御
装置 ３０ インタフェース ３２ コンピュ
ータ ３３ａ フィルタ部材 ３４ ガイド溝 ３５ 取付板 ３６ 受光素子 ３７ 受光器 Ａ 紫外線照
度分布測定装置 ４２ 受光器DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Mask film 3 Lamp 4, 5 Reflecting mirror 6 Fly-eye lens 7 Reflecting mirror 10 Substrate 11 Lamp 12 Light receiver 13 Measuring device main body 14 Case 15 Light receiving element 16 Filter 17 Wiring code 18 Case 19 Operation switch 20 Switching switch 21 Display Part 22 Numeric keypad 24 Current-voltage conversion circuit 26 Battery 27 Power supply circuit 28 A / D converter 29 Arithmetic controller 30 Interface 32 Computer 33a Filter member 34 Guide groove 35 Mounting plate 36 Light receiving element 37 Light receiver A Ultraviolet illumination distribution measuring device 42 Receiver
Claims (4)
外線照度分布測定装置であって、 前記基板上で移動させて複数の測定ポイントにおける所
定波長の紫外線照射光を受光する受光器と、この受光器
からの検出信号を処理する測定装置本体とからなり、前
記測定装置本体は、前記受光器からの検出信号をＡ／Ｄ
変換するＡ／Ｄ変換回路と、このＡ／Ｄ変換回路からの
出力に基づいて前記複数の測定ポイントでの照度分布を
演算する照度分布演算手段を有する演算制御装置と、こ
の演算制御装置により演算された演算値及び前記測定ポ
イントを表示する表示部とを備えていることを特徴とす
る紫外線照度分布測定装置。1. An ultraviolet illuminance distribution measuring device for measuring an illuminance distribution of irradiation light on a substrate, comprising: a light receiver that moves on the substrate to receive ultraviolet irradiation light of a predetermined wavelength at a plurality of measurement points; A measuring device main body for processing a detection signal from the light receiver; the measuring device main body converts the detection signal from the light receiver into an A / D signal
An arithmetic and control unit having an A / D conversion circuit for converting, an illuminance distribution calculating means for calculating the illuminance distribution at the plurality of measurement points based on an output from the A / D conversion circuit, And a display unit for displaying the calculated value and the measurement point.
換回路の出力値の最大値と最小値を算出し、最小値と最
大値の比により照度分布を演算する手段であることを特
徴とする請求項１記載の紫外線照度分布測定装置。2. The illuminance distribution calculating means is means for calculating a maximum value and a minimum value of an output value of the A / D conversion circuit, and calculating an illuminance distribution based on a ratio of the minimum value to the maximum value. The ultraviolet illuminance distribution measuring device according to claim 1.
換回路の出力値の平均値を求め、この平均値と測定値と
を比較して平均値に対する増減を正又は負の数値で算出
して照度分布を演算する手段であることを特徴とする請
求項１記載の紫外線照度分布測定装置。3. The illuminance distribution calculating means calculates an average value of output values of the A / D conversion circuit, compares the average value with a measured value, and calculates an increase or decrease with respect to the average value as a positive or negative value. 2. The ultraviolet illuminance distribution measuring device according to claim 1, wherein the illuminance distribution is calculated.
部材が着脱自在に設けられ、前記フィルタ部材の裏面に
受光素子が設けられた構造のものであることを特徴とす
る請求項１、２又は３記載の紫外線照度分布測定装置。4. The light-receiving device according to claim 1, wherein a filter member is detachably provided on a front surface of a case, and a light-receiving element is provided on a back surface of the filter member. Or the ultraviolet irradiance distribution measuring device according to 3.
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|---|---|---|---|
| JP2000189394A JP2002005736A (en) | 2000-06-23 | 2000-06-23 | Measuring device for ultraviolet ray illuminance distribution |
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|---|---|
| JP2002005736A true JP2002005736A (en) | 2002-01-09 |
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2000
- 2000-06-23 JP JP2000189394A patent/JP2002005736A/en active Pending
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