JP2002002006A - Thick film type thermal printing head and its forming method - Google Patents

Thick film type thermal printing head and its forming method

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JP2002002006A
JP2002002006A JP2000182910A JP2000182910A JP2002002006A JP 2002002006 A JP2002002006 A JP 2002002006A JP 2000182910 A JP2000182910 A JP 2000182910A JP 2000182910 A JP2000182910 A JP 2000182910A JP 2002002006 A JP2002002006 A JP 2002002006A
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protective film
heating resistor
film
thick
type thermal
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JP2000182910A
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Tadayoshi Sato
忠義 佐藤
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Rohm Co Ltd
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Rohm Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the trouble without decreasing a durability that is caused by swelling a part of a protecting film 8 from a thick film heating resistor 7 in a thermal printing head in which the heating resistor 7, thin film electrode patterns 4 and 6 for energization to the heating resistor and the protecting film 8 for covering these heating resistor and electrode patterns are formed to a surface of a head substrate 1. SOLUTION: A film thickness of the part of the heating resistor 7 at the protecting film 8 is made smaller than that of the other part, and a protecting film 9 of a second layer is formed to a surface of the protecting film 8.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、サーマルプリント
ヘッドのうち、印字を行う発熱抵抗体を、厚膜にして形
成した厚膜型のサーマルプリントヘッドと、その製造方
法とに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thick-film type thermal print head in which a heating resistor for printing is formed as a thick film, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術と発明が解決しようとする課題】一般に、
この種のサーマルプリントヘッドは、ヘッド基板の表面
に、厚膜と発熱抵抗体と、この発熱抵抗体に対する電極
パターンと、これら発熱抵抗体及び各電極パターンを覆
うガラス等による保護膜とを形成するという構成にして
いることにより、前記保護膜における表面のうち発熱抵
抗体の部分が、当該発熱抵抗体を厚膜にした分だけ部分
的に盛り上がることになる。
2. Description of the Related Art In general,
In this type of thermal print head, a thick film, a heating resistor, an electrode pattern for the heating resistor, and a protective film made of glass or the like covering the heating resistor and each electrode pattern are formed on the surface of a head substrate. With this configuration, the heating resistor portion of the surface of the protective film is partially raised by the thickness of the heating resistor.

【0003】従って、前記保護膜における表面のうち前
記発熱抵抗体の部分に対して印字用紙をプラテンローラ
にて押圧した状態で送り移動したとき、印字用紙が、前
記保護膜の表面における盛り上がり部分に特に強く擦れ
てきしみ音が出たり、熱融着するというスティッキング
が発生し、円滑に紙送りすることができないとか、印字
不良になるという問題が発生するおそれがある。
Accordingly, when the printing paper is fed while being moved by pressing the platen roller against the heating resistor portion of the surface of the protective film, the printing paper is moved to a raised portion on the surface of the protective film. In particular, sticking such as strong rubbing noise or heat fusion occurs, which may cause problems such as inability to feed the paper smoothly or poor printing.

【0004】ところで、前記紙送りの円滑性等を改善す
るには、保護膜を形成したあとで、当該保護膜における
表面のうち前記発熱抵抗体に箇所において盛り上がる部
分を研磨にて切除すれば良い。
[0004] In order to improve the smoothness of the paper feed, after forming a protective film, a portion of the surface of the protective film which swells at the heating resistor may be cut off by polishing. .

【0005】しかし、このように保護膜における表面の
うち前記発熱抵抗体に箇所において盛り上がる部分を研
磨にて切除することは、保護膜のうち発熱抵抗体の部分
における膜厚さが薄くなるので、この部分における耐磨
耗性が低くなり、ひいては、サーマルプリントヘッドに
おける耐久性の低下を招来するのである。
[0005] However, cutting off the portion of the surface of the protective film that swells at the location of the heat generating resistor by polishing as described above requires a thinner film at the portion of the protective film where the heat generating resistor is formed. The abrasion resistance in this part is reduced, and the durability of the thermal print head is reduced.

【0006】本発明は、前記の問題を、耐久性の低下を
招来することなく、解消したサーマルプリントヘッド、
及びその製造方法を提供することを技術的課題とするも
のである。
[0006] The present invention provides a thermal print head which solves the above-mentioned problems without reducing durability.
And a method for manufacturing the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「ヘッド基板の表面に、厚膜の発熱抵
抗体と、この発熱抵抗体に対する通電用の電極パターン
と、これら発熱抵抗体及び電極パターンを覆う保護膜と
を形成して成るサーマルプリントヘッドにおいて、前記
保護膜のうち前記発熱抵抗体の部分における膜厚さを、
他の部分よりも薄くして、この保護膜の表面に2層目の
保護膜を形成することを特徴とする。」ものである。
In order to achieve this technical object, the present invention provides a method of forming a thick-film heat-generating resistor on a surface of a head substrate, an electrode pattern for energizing the heat-generating resistor, In a thermal print head formed with a protective film covering a resistor and an electrode pattern, the thickness of the protective film at a portion of the heating resistor,
It is characterized in that a second protective film is formed on the surface of the protective film by making it thinner than other portions. Is the thing.

【0008】また、本発明の製造方法は、「ヘッド基板
の表面に、厚膜の発熱抵抗体を形成する工程と、この発
熱抵抗体に対する通電用の電極パターンを形成する工程
と、これらを覆う保護膜を形成する工程とから成り、更
に、前記保護膜における表面のうち前記発熱抵抗体の部
分を除去する工程と、この除去工程に次いで、前記保護
膜の表面に2層目の保護膜を形成する工程とを備えるこ
とを特徴とする。」ものである。
Further, the manufacturing method of the present invention comprises a step of forming a thick-film heating resistor on a surface of a head substrate, a step of forming a current-carrying electrode pattern for the heating resistor, and covering these. Forming a protective film, further comprising: removing a portion of the heating resistor from the surface of the protective film; and, following the removing step, a second protective film is formed on the surface of the protective film. And a forming step. "

【0009】[0009]

【発明の作用・効果】このように、保護膜のうち発熱抵
抗体の部分における膜厚さを、他の部分よりも薄くした
上で、前記保護膜の表面に2層目の保護膜を形成したこ
とにより、前記発熱抵抗体の部分に、保護膜の一部と、
2層目の保護膜とによって所定の膜厚さを確保した状態
のもとで、前記発熱抵抗体の部分において盛り上がるこ
とを、保護膜の膜厚さを発熱抵抗体の部分において薄く
したことで、殆ど無くすることができるか、或いは、そ
の盛り上がりの高さを大幅に低くすることができるので
ある。
As described above, the second protective film is formed on the surface of the protective film after the thickness of the protective film in the heating resistor portion is made thinner than the other portions. By doing so, a part of the protective film,
Under the condition that the predetermined thickness is secured by the second protective film, the swelling in the heating resistor portion is caused by reducing the thickness of the protection film in the heating resistor portion. Can be almost eliminated, or the height of the swell can be greatly reduced.

【0010】従って、本発明によると、スティッキング
に起因する紙送りの不円滑、印字不良等を、耐久性の低
下を招来することなく、確実に改善できる効果を有す
る。
Therefore, according to the present invention, it is possible to surely improve the non-smoothness of paper feeding and the printing failure due to the sticking without lowering the durability.

【0011】なお、前記2層目の保護膜は、請求項2に
記載したように、その下の保護膜を同じガラス製にする
ことによって、保護膜を形成するのと同じ方法にて形成
するようにしても良いが、この2層目の保護膜を、請求
項3に記載したように、サイアロン製にすることによ
り、耐久性の向上とを図るようにしても良い。
The second protective film is formed by the same method as that for forming the protective film by forming the lower protective film from the same glass as described in claim 2. Alternatively, the second protective film may be made of Sialon to improve the durability, as described in claim 3.

【0012】また、本発明の製造方法によると、保護膜
のうち発熱抵抗体の部分における膜厚さを薄くすること
が簡単な加工にて容易にできるから、コストの大幅なア
ップを回避できるのである。
Further, according to the manufacturing method of the present invention, it is possible to easily reduce the thickness of the protective film at the heating resistor portion by a simple processing, so that a significant increase in cost can be avoided. is there.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0014】図1〜図6は、第1の実施の形態を示す。FIG. 1 to FIG. 6 show a first embodiment.

【0015】この図において、符号1は、セラミック製
のヘッド基板を示し、その表面の全体に、グレーズ層2
が形成されている。
In this figure, reference numeral 1 denotes a ceramic head substrate, and a glaze layer 2 is formed on the entire surface of the head substrate.
Are formed.

【0016】このグレーズ2の表面には、長手方向に延
びるコモン電極3と、このコモン電極3から櫛歯状に細
く延びる多数本の第1電極パターン4と、多数本の個別
電極5と、この各個別電極5から細く延びる第2電極パ
ターン6とが、前記第1及び第2電極パターン4,6の
うち一方の電極パターンが他方の電極パターンの間に入
り込むようにして、膜厚さ1ミクロン以下の金にて形成
されているとともに、各第1電極パターン4及び第2電
極パターン6の両方を横切って前記コモン電極3と平行
のライン状に延びる発熱抵抗体7が、スクリーン印刷等
により厚さ約3〜9ミクロン程度の厚膜にして形成され
ている。
On the surface of the glaze 2, a common electrode 3 extending in the longitudinal direction, a large number of first electrode patterns 4 extending in a comb-like shape from the common electrode 3, a large number of individual electrodes 5, A second electrode pattern 6 extending thinly from each individual electrode 5 has a film thickness of 1 μm such that one of the first and second electrode patterns 4 and 6 enters between the other electrode patterns. A heating resistor 7 formed of the following gold and extending in a line parallel to the common electrode 3 across both the first electrode pattern 4 and the second electrode pattern 6 is formed by screen printing or the like. It is formed in a thickness of about 3 to 9 microns.

【0017】そして、前記グレーズ層2の表面に、ガラ
スによる厚さ約6〜10ミクロン程度の保護膜8を、前
記コモン電極2、前記各第1及び第2電極パターン4,
6、前記各個別電極4及び前記発熱抵抗体7の全体を覆
うように、スクリーン印刷及びその後における焼成にて
形成する。
On the surface of the glaze layer 2, a protective film 8 of glass having a thickness of about 6 to 10 μm is formed on the common electrode 2, the first and second electrode patterns 4, 4.
6. Screen printing and subsequent baking are performed so as to cover the individual electrodes 4 and the entire heating resistor 7.

【0018】このようにして保護膜8を形成することに
より、この保護膜8における表面のうち前記発熱抵抗体
7の部分が、図3に符号8aで示すように、部分的に最
大で約6ミクロン程度の高さに盛り上がることになる。
By forming the protective film 8 in this manner, the heating resistor 7 on the surface of the protective film 8 is partially covered by a maximum of about 6 as indicated by reference numeral 8a in FIG. It will rise to a height of about a micron.

【0019】そこで、この保護膜8において符号8aで
示す前記盛り上がり部を、この部分に対して研磨加工を
施すことにより、図4に示すように、無くするように切
除するか、或いは、その高さを低くするように切削にて
除去する。この研磨加工による除去により、前記保護膜
8における膜厚さを、前記発熱抵抗体7の部分において
部分的に薄くすることができる。
Therefore, the raised portion indicated by reference numeral 8a in the protective film 8 is polished to remove the raised portion as shown in FIG. It is removed by cutting to reduce the height. By the removal by the polishing process, the thickness of the protective film 8 can be partially reduced at the heating resistor 7.

【0020】この研磨加工による除去を終わると、前記
保護膜8の表面に、図5に示すように、同じくガラスに
よる約6〜10ミクロン程度の膜厚さを有する2層目の
保護膜9を、スクリーン印刷及びその後における焼成に
て形成する。
After the removal by the polishing process, a second protective film 9 made of glass and having a thickness of about 6 to 10 μm is formed on the surface of the protective film 8 as shown in FIG. , Screen printing and subsequent baking.

【0021】これにより、前記発熱抵抗体7の部分に、
保護膜8の一部と、2層目の保護膜9とによって所定の
膜厚さを確保した状態のもとで、前記発熱抵抗体7の部
分において盛り上がることを、保護膜8の膜厚さを発熱
抵抗体7の部分において薄くしたことで、殆ど無くする
ことができるか、或いは、その盛り上がりの高さを大幅
に低くすることができるのである。
Thus, the portion of the heating resistor 7 is
Under the condition that a predetermined thickness is secured by a part of the protective film 8 and the second protective film 9, the swelling at the heating resistor 7 is determined by the thickness of the protective film 8. Can be almost eliminated by reducing the thickness of the heating resistor 7 or the height of the swell can be significantly reduced.

【0022】なお、前記保護膜8における盛り上がり部
分8aに対する研磨加工は、図6に示すように、回転す
る砥石車Aを接触して、この状態で発熱抵抗体7の長手
方向に相対的に移動するとか、或いは、図7に示すよう
に、複数個のローラBに、表面に研磨粒子を塗着したベ
ルトCを巻掛けし、このベルトCを回転しながら押圧接
触して、この状態で発熱抵抗体7の長手方向に相対的に
移動することによって行うのであり、また、別の研磨加
工の方法としては、前記保護膜8における盛り上がり部
分8aに対して、研磨粒子を吹き付けるという方法があ
る。また、前記研磨加工以外の方法としては、前記保護
膜8における盛り上がり部分8aを、薬品によるエッチ
ングにて除去する方法も存在する。
As shown in FIG. 6, the raised portion 8a of the protective film 8 is polished by bringing the rotating grinding wheel A into contact and moving relatively in the longitudinal direction of the heating resistor 7 in this state. Or, as shown in FIG. 7, a belt C having abrasive particles coated on its surface is wound around a plurality of rollers B, and the belt C is brought into pressure contact with the belt C while rotating. This is performed by relatively moving the resistor 7 in the longitudinal direction. As another polishing method, there is a method in which abrasive particles are sprayed on the raised portion 8a of the protective film 8. As a method other than the polishing process, there is a method of removing the raised portion 8a of the protective film 8 by etching with a chemical.

【0023】次に、図8〜図11は、第2の実施の形態
を示す。
Next, FIGS. 8 to 11 show a second embodiment.

【0024】この第2の実施の形態は、ヘッド基板1′
の表面にグレーズ層を形成するにおいて、このグレーズ
層2′を、なだらかな円弧状断面に盛り上がるように部
分的に、このズレーズ層2′の表面に、前記発熱抵抗体
7′と、この発熱抵抗体7′に対する通電用の第1及び
第2電極パターン(図示せず)を形成する場合である。
In the second embodiment, the head substrate 1 '
When the glaze layer 2 'is formed on the surface of the glaze layer 2', the heat generation resistor 7 'and the heat generation resistor 7' This is a case where first and second electrode patterns (not shown) for energizing the body 7 'are formed.

【0025】この場合においても、ヘッド基板1′及び
グレーズ層2′の表面にガラスによる保護膜8′を形成
することにより、この保護膜8′における表面のうち前
記発熱抵抗体7′の部分は、図9に符号8a′で示すよ
うに、部分的に盛り上がることになるから、この盛り上
がり部分8a′を、前記と同様に、研磨加工等により除
去することにより、図10に示すように、無くするか、
或いは、その高さを低くするようにして、前記保護膜
8′における膜厚さを、前記発熱抵抗体7′の部分にお
いて部分的に薄くする。
Also in this case, a protective film 8 'made of glass is formed on the surfaces of the head substrate 1' and the glaze layer 2 ', so that the heating resistor 7' on the surface of the protective film 8 ' As shown by the reference numeral 8a 'in FIG. 9, the raised portion 8a' is removed by polishing or the like in the same manner as described above so that the raised portion 8a 'is removed as shown in FIG. Or,
Alternatively, the thickness of the protective film 8 'is partially reduced at the portion of the heating resistor 7' by reducing the height.

【0026】次いで、前記保護膜8′の表面に、図11
に示すように、同じくガラスによる2層目の保護膜9′
を、スクリーン印刷及びその後における焼成にて略同じ
膜厚さにして形成するのであり、これにより、前記発熱
抵抗体7′の部分に、保護膜8′の一部と、2層目の保
護膜9′とによって所定の膜厚さを確保した状態のもと
で、前記発熱抵抗体7′の部分において盛り上がること
を、保護膜8′の膜厚さを発熱抵抗体7′の部分におい
て薄くしたことで、殆ど無くすることができるか、或い
は、その盛り上がりの高さを大幅に低くすることができ
るのである。
Next, on the surface of the protective film 8 ', FIG.
As shown in FIG. 7, a second protective film 9 'also made of glass.
Is formed to have substantially the same film thickness by screen printing and subsequent baking, whereby a part of the protective film 8 'and a second protective film are formed on the heating resistor 7'. Under the condition that a predetermined film thickness is secured by 9 ', the swelling at the heating resistor 7' is reduced by reducing the thickness of the protective film 8 'at the heating resistor 7'. Thus, it can be almost eliminated, or the height of the swell can be greatly reduced.

【0027】また、本発明における第3の実施の形態
は、前記2層目の保護膜9″を、その下の保護膜8,
8′と同様にガラス製にすることに代えて、前記保護膜
8,8′よりも薄い膜厚さのSi−Al−N系の化合物
を主成分とするサイアロン製にしたものである。
Further, in the third embodiment of the present invention, the second protective film 9 ″ is replaced by a protective film 8,
Instead of glass as in the case of 8 ', it is made of sialon mainly composed of a Si-Al-N-based compound having a smaller thickness than the protective films 8 and 8'.

【0028】すなわち、前記図4及び図10に示すよう
に、研磨加工等による除去が終わると、ヘッド基板1,
1′を、高い真空度を維持したスパッタリング容器内に
入れて、このヘッド基板1,1′の表面と対向する位置
に、サイアロンのターゲットを配設し、このターゲット
と、前記ヘッド基板1,1′との間にターゲット電圧を
印加するというスパッタリングを施すことにより、前記
2層目の保護膜9″を、その膜厚さを前記保護膜8,
8′よりも薄くして形成する。
That is, as shown in FIGS. 4 and 10, after the removal by polishing or the like is completed, the head substrate 1,
1 ′ is placed in a sputtering vessel maintaining a high degree of vacuum, and a sialon target is disposed at a position facing the surface of the head substrate 1, 1 ′. ′ By applying a target voltage to the second protective film 9 ″.
8 ′.

【0029】このように、この2層目の保護膜9″を、
ガラスに代えてサイアロン製にすることにより、耐磨耗
性の向上、ひいては、耐久性の向上を図ることができる
とともに、軽量化をも図ることができる。
As described above, this second protective film 9 ″ is
By using sialon instead of glass, it is possible to improve the wear resistance and, consequently, the durability, and also to reduce the weight.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施の形態によるサーマルプリントヘッ
ドの要部を示す拡大断面図である。
FIG. 1 is an enlarged sectional view showing a main part of a thermal print head according to a first embodiment.

【図2】図1の平面図である。FIG. 2 is a plan view of FIG.

【図3】第1の実施の形態において保護膜を形成した状
態の拡大断面図である。
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing a state where a protective film is formed in the first embodiment.

【図4】第1の実施の形態において前記保護膜における
盛り上がり部を除去した状態の拡大断面図である。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the first embodiment with a raised portion of the protective film removed.

【図5】第1の実施の形態において前記保護膜の表面に
2層目の保護膜を形成した状態の拡大断面図である。
FIG. 5 is an enlarged sectional view showing a state in which a second protective film is formed on the surface of the protective film in the first embodiment.

【図6】前記保護膜に対して研磨加工を施している状態
を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a state in which the protective film is being polished.

【図7】別の研磨加工を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing another polishing process.

【図8】第2の実施の形態における要部拡大断面図であ
る。
FIG. 8 is an enlarged sectional view of a main part according to the second embodiment.

【図9】第2の実施の形態において保護膜を形成した状
態の拡大断面図である。
FIG. 9 is an enlarged sectional view showing a state where a protective film is formed in the second embodiment.

【図10】第2の実施の形態において前記保護膜におけ
る盛り上がり部を除去した状態の拡大断面図である。
FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of a second embodiment in which a protruding portion of the protective film is removed.

【図11】第2の実施の形態において前記保護膜の表面
に2層目の保護膜を形成した状態の拡大断面図である。
FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view showing a state where a second protective film is formed on the surface of the protective film in the second embodiment.

【図12】第3の実施の形態を示す要部拡大断面図であ
る。
FIG. 12 is an enlarged sectional view of a main part showing a third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1′ ヘッド基板 2,2′ グレーズ層 3 コモン電極 4 第1電極パターン 5 個別電極 6 第2電極パターン 7,7′ 発熱抵抗体 8,8′ 保護膜 8a,8a′ 保護膜の盛り上がり部 9,9′,9″ 2層目の保護膜 Reference Signs List 1, 1 'head substrate 2, 2' glaze layer 3 common electrode 4 first electrode pattern 5 individual electrode 6 second electrode pattern 7, 7 'heating resistor 8, 8' protective film 8a, 8a 'raised portion of protective film 9, 9 ', 9 "Second protective film

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ヘッド基板の表面に、厚膜の発熱抵抗体
と、この発熱抵抗体に対する通電用の電極パターンと、
これら発熱抵抗体及び電極パターンを覆う保護膜とを形
成して成るサーマルプリントヘッドにおいて、 前記保護膜のうち前記発熱抵抗体の部分における膜厚さ
を、他の部分よりも薄くして、この保護膜の表面に2層
目の保護膜を形成することを特徴とする厚膜型サーマル
プリントヘッド。
1. A heating resistor having a thick film, an electrode pattern for energizing the heating resistor, on a surface of a head substrate.
In a thermal print head comprising a heating film and a protective film covering the electrode pattern, a thickness of the protective film at a portion of the heating resistor is made thinner than at other portions to protect the protective film. A thick film type thermal print head, wherein a second protective film is formed on the surface of the film.
【請求項2】前記請求項1の記載において、前記保護膜
がガラス製で、前記2層目の保護膜が前記保護膜と同じ
ガラス製であることを特徴とする厚膜型サーマルプリン
トヘッド。
2. A thick film type thermal print head according to claim 1, wherein said protective film is made of glass, and said second protective film is made of the same glass as said protective film.
【請求項3】前記請求項1の記載において、前記保護膜
がガラス製で、前記2層目の保護膜がSi−Al−N系
の化合物を主成分とするサイアロン製であることを特徴
とする厚膜型サーマルプリントヘッド。
3. The protective film according to claim 1, wherein said protective film is made of glass, and said second protective film is made of Sialon containing a Si-Al-N-based compound as a main component. Thick film type thermal print head.
【請求項4】ヘッド基板の表面に、厚膜の発熱抵抗体を
形成する工程と、この発熱抵抗体に対する通電用の電極
パターンを形成する工程と、これらを覆う保護膜を形成
する工程とから成り、更に、前記保護膜における表面の
うち前記発熱抵抗体の部分を除去する工程と、この除去
工程に次いで、前記保護膜の表面に2層目の保護膜を形
成する工程とを備えることを特徴とする厚膜型サーマル
プリントヘッドの製造方法。
4. A step of forming a thick-film heating resistor on the surface of a head substrate, forming an energizing electrode pattern for the heating resistor, and forming a protective film covering these. And a step of removing a portion of the heating resistor from the surface of the protective film, and a step of forming a second protective film on the surface of the protective film following the removing step. A method for manufacturing a thick film type thermal print head.
【請求項5】前記2層目の保護膜を形成する工程が、S
i−Al−N系の化合物を主成分とするサイアロンをタ
ーゲットとするスパッタリングであることを特徴とする
厚膜型サーマルプリントヘッドの製造方法。
5. The method according to claim 1, wherein the step of forming the second protective film comprises:
A method for manufacturing a thick-film type thermal print head, wherein sputtering is performed using a sialon having an i-Al-N compound as a main component as a target.
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