JP2001507999A - Positioning device with H-shaped driving means - Google Patents

Positioning device with H-shaped driving means

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ハステル ヨセフス マルティヌス マリア ファン
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Abstract

(57)【要約】 本発明は、Xビーム(6)および2個のYビーム(2,3)をH字状に配置して具える位置決め装置に関する。各Yビーム上にモータ駆動の移動台(4,5)を設ける。これら移動台間にXビームを連結する。Xビーム上に、位置決めヘッド(10)を具えた移動台(9)を設ける。Xビームの一端と第1Yビーム(2)上の移動台(4)との間におけるカップリング(7)を、2個の相互に直角な板ばね(19,20)で構成し、これら板ばねの交差線によりカップリングの仮想上の回転軸線(28)を形成する。Xビームの他端と他方の第2Yビーム(3)上の移動台(5)との間におけるカップリング(8)をY方向に延在する1個の板ばね(29)で構成し、該板ばねのY方向における剛性を比較的大きくし、X方向における剛性を比較的小さくする。これらカップリングによれば、遊びがなく、摩擦がなく、更に位置決めヘッドを小角度補正し得る利点がある。 (57) [Summary] The present invention relates to a positioning device having an X beam (6) and two Y beams (2, 3) arranged in an H shape. A motor-driven moving table (4, 5) is provided on each Y beam. An X beam is connected between these moving tables. A moving table (9) having a positioning head (10) is provided on the X beam. The coupling (7) between one end of the X beam and the carriage (4) on the first Y beam (2) is constituted by two mutually perpendicular leaf springs (19, 20). Form an imaginary axis of rotation (28) of the coupling. The coupling (8) between the other end of the X beam and the movable table (5) on the other second Y beam (3) is constituted by one leaf spring (29) extending in the Y direction. The rigidity of the leaf spring in the Y direction is relatively large, and the rigidity in the X direction is relatively small. According to these couplings, there is an advantage that there is no play, there is no friction, and a small angle of the positioning head can be corrected.

Description

【発明の詳細な説明】 H型駆動手段付き位置決め装置 本発明は、位置決めヘッド付きの移動台をX方向に移動可能に支持するXビー ムと、第1移動台をY方向に移動可能に支持する第1Yビームと、第2移動台を Y方向に移動可能に支持する第2Yビームとを具え、これらXビームおよび両Y ビームをH字状に配置して、Xビームの第1端部を第1カップリングにより第1 Yビームの第1移動台に連結すると共に、Xビームの第2端部を第2カップリン グにより第2Yビームの第2移動台に連結し、更に、両Yビーム上の移動台およ びXビーム上の位置決めヘッド付き移動台を個々に移動させるための駆動手段を 設けた位置決め装置に関するものである。 かかる位置決め装置はヨーロッパ特許EP−B1−0,109,718におい て周知である。この位置決め装置においては、XビームとYビーム上における移 動台との間のカップリングをZ方向に延在するピボットシャフトで構成し、これ により部品間を相互に回動可能に連結する。XビームをZ軸周りに回動可能にす るために、Xビームの一端をX方向のスライディングカップリングとして構成す る。位置決め装置は、Xビーム上における移動台の載置ヘッドにより支持された 1個の部品を、通常は固定の機械部分に支持された他の部品に対し高精度に位置 決めするのに用いる。例えばプリント配線基板上に部品を載置する場合がこれに 相当する。絶え間ざる部品の小型化は、部品を他の部品に対し相対的に位置決め する時の精度に関する要求を一層厳しいものにする。 本発明は装置の精度を向上させることを目的とする。 この目的のために、前記第1カップリングを、2個の相互に直角な板ばねで構 成し、これら板ばねをそれぞれほぼX方向およびY方向に延在させると共に、各 板ばねの一端をXビームの第1端部に、また各板ばねの他端を第1Yビームの第 1移動台にそれぞれ固定し、これら板ばねの交差線によりZ方向に延在する回転 軸線を形成し、 前記第2カップリングをほぼY方向に延在する単一板ばねで構成し、該板ば ねの一端をXビームの第2端部に、また他端を第2Yビームの第2移動台にそれ ぞれ固定し、該板ばねのY方向における剛性を比較的大きくし、X方向における 剛性を比較的小さくして、位置決め装置を構成したことを特徴とするものである 。 第1カップリングは一種の交差スプリングヒンジである。2個の板ばねの(仮 想上の)交差線は、Xビームが第1Yビーム上の移動台に対し相対的に回動する 時の極めて正確な回動軸線を形成する。第1カップリングのほぼX方向に延在す る板ばねは、X方向の剛性を比較的大きくし、Y方向の剛性を比較的小さくする が、これに対し直角な板ばねの場合これとは逆とする。極めて僅かであるがXビ ームの回動を可能にするためには、第2カップリングの板ばねをX方向の剛性が 比較的小さく、Y方向の剛性が比較的大きなものにする必要がある。なお全ての 板ばねのZ方向の剛性は大きなものにすること明らかである。板ばね式カップリ ングの有利な利点は、遊びおよび摩擦が完全にないことである。板ばねがY方向 に延在しているため、Xビームの長手方向軸線周りの回転に対する剛性は高い。 Yビームに関連してXビームの構成は静的に十分限定される。第2カップリング の板ばねは更に、温度変化によるXビームのX方向長さ変化を許容する。 他の有利な利点は、プリント配線基板上の部品のような載置部品のX軸周りに おける方向を極めて正確に調整し得ることである。例えばYビーム上の移動台の 一方が僅かに過大移動したり、過小移動した場合には、Xビームが僅かな角度に 亘って回動することができ、これにより部品角度の微調整が達成される。 好ましくは、XビームおよびYビームをほぼ1つのおよび同一の平面内に配置 するのが良い。その結果として総合可動構造体(Xビームと、移動台と、載置ヘ ッド)の重心がほぼ駆動力作用面内に位置する。これも位置決め精度を高めるの を助長する。 次いで本発明を、キャリア上に部品を載置するための装置として構成した、以 下の図面に示す実施例に基づき詳細に説明するに、 図1は、本発明による位置決め装置の斜視図、 図2は、図1に示す位置決め装置の線図的平面図、 図3は、Xビームと、第1Yビーム上における移動台との間における第1カッ プリングの詳細を示し、 図4は、Xビームと、第2Yビーム上における移動台との間における第2カッ プリングの詳細を示す。 図1に示す位置決め装置は、プリント配線基板のようなキャリア上に部品を載 置するための部品載置機である。機枠1上に2個の平行なガイドビーム2および 3を固定し、これらガイドビームを以下では第1Yビーム2および第2Yビーム 3と称する。これらYビーム上にそれぞれ、第1移動台4および第2移動台5を 当該ビームに沿って移動し得るよう設ける。移動台4および5間に、以下ではX ビームと称する横方向ガイドビーム6を設ける。このXビームは、上記第1およ び第2YビームとともにH字形状を形成する。Xビームを第1カップリング7お よび第2カップリング8(それぞれ図2参照)により移動台4および5に結合す る。Xビーム6上に移動台9を設け、この移動台を当該Xビームに沿って移動し 得るようにする。移動台9上には載置ヘッド10を固定する。この載置ヘッドは マガジンから部品を掴み上げて所望の位置に移動させ、プリント配線基板11上 に載置することができる。プリントは配線基板は、詳細には図示しなかった移送 機により部品載置機に通過させる。移動台9上には数個の載置ヘッド10を固定 することもできる。載置ヘッドは例えば、極めて小さな部品を可とする部品13 を吸引により掴み上げ得る吸引ピペット12で構成する。載置ヘッド10はX方 向およびY方向の両方向に変位可能にする。これがため各移動台4,5,9を個 々にそれぞれのモータ14,15,16で第1Yビーム2、第2Yビーム3、お よびXビーム6に沿って駆動させる。このことが上記の装置をして、H型ドライ ブ付き位置決め装置と称する所以である。載置ヘッド10は更に、Z方向にモー タ駆動し得るようにすることができ、一方で吸引ピペットは時として、その長手 方向軸線、つまりZ軸の周りに回転Φを行い得るようにすることができる。 XビームのY方向における移動は極めて正確に、且つ、或る制御のもとに行う 必要がある。全ての移動台の動きは、載置ヘッドおよび吸引ピペットの動きとと もにコンピュータ制御する。高精度が達成されるのは、Xビーム6の端部 17,18と、移動台4,5との間におけるカップリング7,8が高い要求を満 足する場合のみである。この目的のため第1カップリング7を、2個の相互に直 角な板ばね19,20により形成された直交ばねカップリングとする。板ばね1 9はほぼY方向に延在させ、板ばね20はほぼX方向に延在させる。図3に示す ように、第1カップリング7の板ばね19は、事実上の板ばねを形成する薄い中 央部22を有した高剛性ばね板21で構成する。中央部に開口23を形成し、こ の開口に他方の板ばね20を貫通させる。板ばね19,20の端部24,26を それぞれXビーム6の第1端部17に連結し、板ばねの他方の端部25,27を それぞれ第1移動台4(移動台4は図面の明瞭を保つため図示しなかった)に連 結する。これによりカップリングは、X方向およびY方向の両方向に極めて高剛 性であるが、Z軸周りには僅かな回転を許容するものとなる。2個の板ばねが交 差する(仮想の)線は事実上、Z方向における回転軸線28を形成する。従って Xビーム6は、この回転軸線28の周りで第1Yビームに対し相対的に僅かに回 動することができる。しかし、かかる回動のためには第2カップリング8も同じ 回動を許容するものであるを要する。この第2カップリングは、ほぼY方向に延 在する1個の板ばね29で構成する。図4に示すように、板ばね29も、事実上 の板ばねを形成する薄い中央部31を有した高剛性のばね板30で構成する。ここ でも当該中央部に開口32を設ける。板ばね29の一端33をXビームの第2端 部18に連結し、板ばねの他端34を第2移動台5(移動台5は図面の明瞭を保 つため図示しなかった)に連結する。板ばね29はY方向に比較的高い剛性を持 たせ、X方向の剛性を比較的低くする。第2移動台5がY方向において第1移動 台4よりも多く駆動されると、Xビームは回転軸線28(図2参照)の周りに回 動する。この回動は、ほぼ1°までの小さな角度の回動である。吸引ピペット1 2により掴み上げた部品をプリント配線基板上の所望位置に位置決めするために 吸引ピペットを、載置ヘッド10上に固定したモータ35によりZ軸周りに回転 し得るようになす。しかし当該回転の精度には限界がある。この限界は、極めて 小さな部品を位置決めする場合に問題となる。そこで本発明による構成は、吸引 ピペット、従って部品の、回転軸線28の周りにおける極めて僅かな角度の回転 を可能にする。 Xビーム6が板ばねを損傷するような過大角度に亘って回動するのを防止する 角度制限器36を第2カップリングに隣接して設ける。この角度制限器はT字状 板片で構成し、その中央脚部37を板ばね29の開口32に貫通させてXビーム 6に連結する。T字状板片の横棒38はXビームが過度に回動するのを防止する 。この横棒は、過度の回動時にばね板30の剛性部分に衝接する。 図1に見られるように、Xビームおよび2個のYビームはほぼ同一平面内に位 置させる。従って、全ての移動台および載置ヘッドを含むXビームの重心はほぼ 、移動台を動かす駆動力が作用する平面内に位置する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION                       Positioning device with H-shaped driving means   The present invention relates to an X-bead for supporting a movable table with a positioning head so as to be movable in the X direction. And a first Y beam for supporting the first movable base so as to be movable in the Y direction; A second Y beam that is movably supported in the Y direction. The beam is arranged in an H-shape, and the first end of the X-beam is connected to the first end by the first coupling. The first end of the X beam is connected to the first movable stage of the Y beam, and the second end of the X beam is connected to the second coupling. Connected to the second carriage for the second Y beam, and further to the carriages on both Y beams. Drive means for individually moving the carriages with positioning heads on the X-ray and the X-beam The present invention relates to a positioning device provided.   Such a positioning device is described in European Patent EP-B1-0,109,718. It is well known. In this positioning device, the movement on the X beam and the Y beam is performed. The coupling between the base and the base is constituted by a pivot shaft extending in the Z direction. Thus, the components are rotatably connected to each other. Enables X beam to rotate around Z axis Therefore, one end of the X beam is configured as a sliding coupling in the X direction. You. The positioning device was supported by the mounting head of the moving table on the X beam. Position one component with high precision relative to other components, usually supported by stationary mechanical parts Use to decide. For example, when placing components on a printed wiring board Equivalent to. Persistent miniaturization of components positions components relative to other components Stricter requirements for accuracy when performing   The present invention aims to improve the accuracy of the device.   For this purpose, the first coupling is composed of two mutually perpendicular leaf springs. These leaf springs extend substantially in the X and Y directions, respectively. One end of the leaf spring is at the first end of the X beam, and the other end of each leaf spring is at the first end of the first Y beam. Rotation that is fixed to one moving table and extends in the Z direction by the crossing line of these leaf springs Form an axis,   The second coupling is constituted by a single leaf spring extending substantially in the Y direction. One end to the second end of the X beam and the other end to the second carriage for the second Y beam Fixed in each direction, the rigidity of the leaf spring in the Y direction is relatively large, It is characterized in that the positioning device is configured with relatively low rigidity. .   The first coupling is a kind of cross spring hinge. (Temporary of two leaf springs The (imaginary) intersection line causes the X beam to rotate relative to the carriage on the first Y beam. It forms a very accurate pivot axis of time. Extends substantially in the X direction of the first coupling The leaf spring has a relatively large rigidity in the X direction and a relatively small rigidity in the Y direction. However, the opposite is true for a leaf spring that is perpendicular to this. X In order to enable the rotation of the arm, the leaf spring of the second coupling must have rigidity in the X direction. It must be relatively small and have relatively high rigidity in the Y direction. Note that all Obviously, the leaf spring has a large rigidity in the Z direction. Leaf spring type coupling An advantageous advantage of the ring is that there is no play and no friction. Leaf spring in Y direction , The rigidity against rotation about the longitudinal axis of the X-beam is high. The configuration of the X beam in relation to the Y beam is statically well defined. 2nd coupling The plate spring further allows a change in the length of the X beam in the X direction due to a change in temperature.   Another advantageous advantage is that the mounted component, such as a component on a printed circuit board, can be rotated around the X axis. In that the direction can be adjusted very precisely. For example, of the moving platform on the Y beam If one moves slightly too much or too little, the X-beam will move to a slight angle. For fine adjustment of the part angle.   Preferably, the X and Y beams are located in approximately one and the same plane Good to do. As a result, the overall movable structure (X beam, moving table, The center of gravity of the arm is substantially located within the driving force acting surface. This also increases the positioning accuracy To encourage.   Next, the present invention is configured as an apparatus for placing components on a carrier. To explain in detail based on the embodiment shown in the drawings below,   FIG. 1 is a perspective view of a positioning device according to the present invention,   2 is a diagrammatic plan view of the positioning device shown in FIG. 1,   FIG. 3 shows the first cut between the X beam and the carriage on the first Y beam. Showing the details of the pulling,   FIG. 4 shows a second bracket between the X beam and the carriage on the second Y beam. Shows details of the pulling.   The positioning device shown in FIG. 1 places components on a carrier such as a printed wiring board. It is a component placement machine for placing. Two parallel guide beams 2 on a machine frame 1 and 3 and these guide beams are hereinafter referred to as a first Y beam 2 and a second Y beam. No. 3. The first movable table 4 and the second movable table 5 are respectively placed on these Y beams. It is provided so that it can move along the beam. Between the carriages 4 and 5, below X A lateral guide beam 6, called a beam, is provided. This X-beam is applied to the first and second beams. And an H-shape with the second Y beam. X beam is applied to the first coupling 7 and And the second coupling 8 (see FIG. 2) to the carriages 4 and 5 respectively. You. A moving table 9 is provided on the X beam 6, and the moving table is moved along the X beam. To get. The mounting head 10 is fixed on the moving table 9. This mounting head The component is picked up from the magazine and moved to a desired position, Can be placed on Printed circuit board, transport not shown in detail Through the parts placement machine. Several mounting heads 10 are fixed on the moving table 9 You can also. The mounting head is, for example, a component 13 that allows extremely small components. Is constituted by a suction pipette 12 which can be picked up by suction. The mounting head 10 is the X direction Displaceable in both directions. Because of this, each mobile base 4,5,9 The first Y beam 2, the second Y beam 3, and the And is driven along the X beam 6. This allows the above equipment to be This is the reason why the positioning device is referred to as a positioning device with a valve. The mounting head 10 further moves in the Z direction. The suction pipette can sometimes be A rotation Φ about the direction axis, ie the Z axis, can be made possible.   The movement of the X beam in the Y direction is very accurate and under some control There is a need. All movements of the carriage are coordinated with the movements of the mounting head and the suction pipette. Also computer controlled. High accuracy is achieved at the end of the X-beam 6. Couplings 7, 8 between 17, 18 and the carriages 4, 5 meet high demands. Only when adding. For this purpose, the first coupling 7 is connected to two mutually An orthogonal spring coupling formed by the square leaf springs 19 and 20 is used. Leaf spring 1 9 extends substantially in the Y direction, and the leaf spring 20 extends substantially in the X direction. Shown in FIG. Thus, the leaf spring 19 of the first coupling 7 has a thin, It is composed of a high-rigidity spring plate 21 having a central portion 22. An opening 23 is formed in the center, Through the other leaf spring 20. The ends 24, 26 of the leaf springs 19, 20 Each is connected to the first end 17 of the X beam 6 and the other end 25, 27 of the leaf spring is Each of them is connected to the first mobile platform 4 (the mobile platform 4 is not shown to keep the drawing clear). Tie. This allows the coupling to be extremely rigid in both the X and Y directions. However, a slight rotation around the Z axis is allowed. Two leaf springs intersect The connecting (virtual) line effectively forms the rotation axis 28 in the Z direction. Therefore The X beam 6 rotates slightly about this rotation axis 28 relative to the first Y beam. Can move. However, for such rotation, the second coupling 8 is the same. It is necessary to allow rotation. This second coupling extends substantially in the Y direction. It is constituted by one existing leaf spring 29. As shown in FIG. 4, the leaf spring 29 is also substantially And a high-rigidity spring plate 30 having a thin central portion 31 forming a leaf spring. here However, the opening 32 is provided at the center. One end 33 of the leaf spring 29 is connected to the second end of the X beam. The other end 34 of the leaf spring is connected to the second movable table 5 (the movable table 5 is (Not shown). The leaf spring 29 has relatively high rigidity in the Y direction. In addition, the rigidity in the X direction is made relatively low. The second moving table 5 makes the first movement in the Y direction When driven more than the table 4, the X-beam rotates around the rotation axis 28 (see FIG. 2). Move. This rotation is a small angle rotation of approximately 1 °. Suction pipette 1 In order to position the parts picked up by 2 in the desired position on the printed circuit board The suction pipette is rotated around the Z axis by the motor 35 fixed on the mounting head 10. To be able to do it. However, there is a limit to the accuracy of the rotation. This limit is extremely This is a problem when positioning small parts. The configuration according to the present invention A very slight angle of rotation of the pipette, and thus of the part, about the axis of rotation 28 Enable.   Prevents the X-beam 6 from rotating over an excessive angle that would damage the leaf spring An angle limiter 36 is provided adjacent to the second coupling. This angle limiter is T-shaped The X-ray beam is formed by passing the central leg 37 through the opening 32 of the leaf spring 29. Connect to 6. T-shaped bar bar 38 prevents excessive rotation of the X-beam. . The bar abuts against the rigid portion of the spring plate 30 during excessive rotation.   As can be seen in FIG. 1, the X beam and the two Y beams are located approximately in the same plane. Place. Therefore, the center of gravity of the X beam including all the moving tables and the mounting heads is almost , Are located in a plane on which a driving force for moving the moving table acts.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1.位置決めヘッド付きの移動台をX方向に移動可能に支持するXビームと、第 1移動台をY方向に移動可能に支持する第1Yビームと、第2移動台をY方向に 移動可能に支持する第2Yビームとを具え、これらXビームおよび両Yビームを H字状に配置して、Xビームの第1端部を第1カップリングにより第1Yビーム の第1移動台に連結すると共に、Xビームの第2端部を第2カップリングにより 第2Yビームの第2移動台に連結し、更に、両Yビーム上の移動台およびXビー ム上の位置決めヘッド付き移動台を個々に移動させるための駆動手段を設けた位 置決め装置において、 前記第1カップリングを、2個の相互に直角な板ばねで構成し、これら板ば ねをそれぞれほぼX方向およびY方向に延在させると共に、各板ばねの一端をX ビームの第1端部に、また各板ばねの他端を第1Yビームの第1移動台にそれぞ れ固定し、これら板ばねの交差線によりZ方向に延在する回転軸線を形成し、 前記第2カップリングをほぼY方向に延在する単一板ばねで構成し、該板ば ねの一端をXビームの第2端部に、また他端を第2Yビームの第2移動台にそれ ぞれ固定し、該板ばねのY方向における剛性を比較的大きくし、X方向における 剛性を比較的小さくしたことを特徴とする位置決め装置。 2.ほぼY方向に延在する第1カップリングのに開口を設け、この開口に、ほぼ X方向へ延在する板ばねを貫通させたことを特徴とする請求項1記載の位置決め 装置。 3.XビームおよびYビームをほぼ1つのおよび同一の平面内に配置したことを 特徴とする請求項1記載の位置決め装置。 4.第2カップリングに角度制限器を設けたことを特徴とする請求項1記載の位 置決め装置。[Claims] 1. An X beam for supporting a movable table with a positioning head so as to be movable in the X direction; A first Y beam for supporting one movable base in the Y direction and a second movable base in the Y direction A second Y beam movably supporting the X beam and both Y beams. The first end of the X beam is arranged in an H shape, and the first end of the X beam is And the second end of the X beam is connected by a second coupling. The second carriage for the second Y beam is connected to the carriages on both Y beams and the X carriage. Where a driving means for individually moving the movable table with the positioning head on the system is provided. In the positioning device,     The first coupling is composed of two mutually perpendicular leaf springs. The springs extend substantially in the X and Y directions, respectively. The first end of the beam and the other end of each leaf spring to the first carriage of the first Y beam, respectively. And a rotation axis extending in the Z direction is formed by the intersection line of these leaf springs,     The second coupling is constituted by a single leaf spring extending substantially in the Y direction. One end to the second end of the X beam and the other end to the second carriage for the second Y beam Fixed in each direction, the rigidity of the leaf spring in the Y direction is relatively large, A positioning device characterized by relatively low rigidity. 2. An opening is provided in the first coupling extending substantially in the Y direction, and the opening is substantially The positioning according to claim 1, wherein a leaf spring extending in the X direction is penetrated. apparatus. 3. Note that the X and Y beams were located in approximately one and the same plane. The positioning device according to claim 1, wherein: 4. 2. The position according to claim 1, wherein an angle limiter is provided in the second coupling. Placement device.
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