JP2001356348A - Method for manufacturing liquid crystal alignment film, liquid crystal display device and method for manufacturing the same - Google Patents

Method for manufacturing liquid crystal alignment film, liquid crystal display device and method for manufacturing the same

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JP2001356348A
JP2001356348A JP2000179269A JP2000179269A JP2001356348A JP 2001356348 A JP2001356348 A JP 2001356348A JP 2000179269 A JP2000179269 A JP 2000179269A JP 2000179269 A JP2000179269 A JP 2000179269A JP 2001356348 A JP2001356348 A JP 2001356348A
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liquid crystal
alignment film
display device
crystal display
manufacturing
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JP2000179269A
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Tadashi Otake
忠 大竹
Kazufumi Ogawa
小川  一文
Yukio Nomura
幸生 野村
Naoko Takebe
尚子 武部
Tsuyoshi Kamimura
強 上村
Mariko Kawaguri
真理子 河栗
Kenji Nakao
健次 中尾
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a liquid crystal alignment film to significantly improve the yield by suppressing contamination of the alignment film during the aligning treatment with light, and to provide a liquid crystal display device and a method for manufacturing the device by using that film. SOLUTION: After an empty cell 13 is assembled without exposing the substrates to air for a long time, the empty cell 13 is exposed to UV rays 10, 14 to indirectly align the liquid crystal alignment films. Since contamination of the liquid crystal alignment films can be suppressed by this method, the liquid crystal display device can be manufactured with improved yield.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の製
造方法に関するものである。さらに詳しくは、テレビジ
ョン(TV)画像やコンピュータ画像等を表示する液晶
を用いた平面表示パネルの製造方法に関するものであ
る。
The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a flat display panel using a liquid crystal for displaying a television (TV) image, a computer image, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、液晶表示装置の製造プロセスに於
いて、配向膜に液晶配向性を付与する工程として必須で
あったラビング処理をなくす検討が行われている。ラビ
ング処理とは、液晶の配向手法の一種であり、配向膜の
形成された基板表面を、ナイロン等の布を張り付けたロ
ーラーで擦ることにより、配向膜表面に異方性を発現さ
せ、これにより液晶を所望の方向に初期配向させるとい
うものである。しかしこのラビング処理については、従
来より幾つかの欠点が指摘されてきており、例えばその
代表的なものとして、以下のものが挙げられる。
2. Description of the Related Art In recent years, in a process of manufacturing a liquid crystal display device, a study has been made to eliminate a rubbing treatment which is indispensable as a step of imparting liquid crystal alignment to an alignment film. Rubbing treatment is a type of liquid crystal alignment method, in which the substrate surface on which the alignment film is formed is rubbed with a roller to which a cloth such as nylon is adhered, thereby causing the alignment film surface to exhibit anisotropy. The liquid crystal is initially oriented in a desired direction. However, several disadvantages have been pointed out in the rubbing process, and the following are typical examples.

【0003】配向膜表面に凹凸があると凹部が擦れ
ず、特に大面積のパネルであると均一に擦れない為、配
向欠陥、表示ムラ及び表示焼き付き等が発生する。 ラビング処理の際に配向膜上に静電気が発生し、この
静電気がTFT等の回路を破壊する等してその機能を低
下させる。 ラビング処理の際にラビング材(綿布等)からゴミが
発生し、このゴミが表示ムラやセルギャップの不均一化
を招来する。
[0003] If the surface of the alignment film has irregularities, the concave portions will not rub, and especially if the panel has a large area, it will not rub uniformly, resulting in alignment defects, display unevenness, display burn-in, and the like. During the rubbing process, static electricity is generated on the alignment film, and the static electricity destroys a circuit such as a TFT to lower its function. During the rubbing process, dust is generated from the rubbing material (such as cotton cloth), and this dust causes display unevenness and non-uniform cell gap.

【0004】一方、ツイストネマチックモードなどの液
晶表示素子においては、従来より視野角が狭いという課
題があった。この課題を解決するために、例えば特開平
5−173135号公報ではラビング処理を用いた方法
が開示されている。具体的には、配向膜をある方向にラ
ビングし、さらに当該部分をレジストで被覆した後、逆
方向にラビングする方法を繰り返すことにより、液晶の
配向方向を異ならせた複数の領域を形成するものであ
る。
On the other hand, in a liquid crystal display device such as a twisted nematic mode, there is a problem that the viewing angle is narrower than in the past. In order to solve this problem, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-173135 discloses a method using a rubbing process. Specifically, by rubbing the alignment film in a certain direction, further covering the portion with a resist, and then rubbing in the opposite direction, forming a plurality of regions having different alignment directions of the liquid crystal. It is.

【0005】しかし、ラビング法(接触式)方法におい
て液晶配向方向の異なる複数の区画を形成するには、分
割した区画毎にマスキングを施してラビングするという
煩雑な作業を繰り返さなければならない。このため、上
記の技術によると、配向膜の生産効率が大幅に低下する
とともに、上記したゴミの発生等の問題が一層深刻とな
る。
However, in order to form a plurality of sections having different liquid crystal alignment directions in the rubbing method (contact type), it is necessary to repeat a complicated operation of masking and rubbing each divided section. For this reason, according to the above technique, the production efficiency of the alignment film is greatly reduced, and the above-described problem such as generation of dust becomes more serious.

【0006】以上の様なラビング処理の問題点を解消す
べく、ラビング処理に代わる他の配向手法も種々提案さ
れており、特に最近「光配向」という配向手法が注目を
浴びている。この光配向法は、配向膜材料として光感応
性基を有するポリマーを用い、そのポリマーに偏光UV
光を照射することにより、所望の異方性を配向膜表面に
発現させ、その異方性を用いて液晶を配向させるという
手法である。即ち、光配向法の最大の特徴は、ラビング
処理と異なり、「非接触」という点にある。これによ
り、従来ラビング処理で発生していた大半の問題を解消
可能となった。
In order to solve the problems of the rubbing treatment as described above, various other orientation methods have been proposed in place of the rubbing treatment. In particular, recently, an orientation technique called "photo-alignment" has attracted attention. This photo-alignment method uses a polymer having a photosensitive group as an alignment film material, and uses a polarized UV
By irradiating light, desired anisotropy is expressed on the surface of the alignment film, and the liquid crystal is aligned using the anisotropy. That is, the biggest feature of the photo-alignment method is that it is “non-contact”, unlike the rubbing treatment. As a result, most problems that have conventionally occurred in the rubbing process can be solved.

【0007】例えば、特開平5−53118号公報で
は、基板上に感光性組成物の層を形成し、露光及び熱処
理により組成物層に所定のパターンの溝を形成し、この
溝により配向性を付与する技術が提案されている。しか
し、この技術は、溝の形成のために大きな光エネルギー
を必要とする。また、均一な溝を形成し難いために、表
示ムラの発生等の問題が生じる。また配向規制力も充分
でない。
For example, in JP-A-5-53118, a layer of a photosensitive composition is formed on a substrate, and a groove having a predetermined pattern is formed in the composition layer by exposure and heat treatment. Techniques for applying have been proposed. However, this technique requires a large amount of light energy for forming the groove. In addition, since it is difficult to form a uniform groove, problems such as display unevenness occur. Further, the alignment regulating force is not sufficient.

【0008】また、特開平7−72483号公報では、
ポリイミド若しくはポリイミド前駆体を含む配向膜形成
用化合物層に直線偏光を照射してポリイミド等を重合す
ることにより、配向性を付与する技術が提案されてい
る。しかしこの技術は、有機高分子であるポリイミドを
用いるものであるので、厚い膜厚が液晶駆動電圧の上昇
を招くという問題を解消できない。また、配向膜の基板
に対する固定力が充分でないという問題もある。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-72483,
There has been proposed a technique for imparting orientation by irradiating linearly polarized light to a compound layer for forming an alignment film containing polyimide or a polyimide precursor to polymerize polyimide or the like. However, since this technique uses polyimide which is an organic polymer, it cannot solve the problem that a thick film thickness causes an increase in liquid crystal driving voltage. Another problem is that the fixing force of the alignment film to the substrate is not sufficient.

【0009】また、特開平7−318942号公報で
は、高分子構造を有する配向膜に斜めから光照射し、配
向膜の分子鎖に新たな結合または分解反応を起こさせて
配向性を有する分子構造となす技術が提案されている。
しかし、この技術もポリイミドやポリビニールアルコー
ル、ポリスチレン等の有機高分子からなる配向膜を対象
としている。従ってこの技術では、膜厚が厚い、基板固
定力が小さい等の上述した課題を解消できない。またこ
の技術は、プレチルト角を付与するための配向膜に対
し、斜めから光り照射することを必須とするが、斜めか
ら正確に光照射するためには精度の高い光照射装置を必
要とするので、その分、生産コストが上昇する。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-318942, an alignment film having a polymer structure is irradiated with light obliquely to cause a new bond or a decomposition reaction to occur in a molecular chain of the alignment film. Technology has been proposed.
However, this technique also targets an alignment film made of an organic polymer such as polyimide, polyvinyl alcohol, and polystyrene. Therefore, this technique cannot solve the above-mentioned problems such as a large film thickness and a small substrate fixing force. In addition, this technique requires that the alignment film for imparting a pretilt angle be irradiated with light obliquely, but a precise light irradiation device is required to accurately irradiate light obliquely. The production cost rises accordingly.

【0010】ここで、上記特開平5−53118号公報
等に記載の各技術を応用して、配向膜に、液晶の配向方
向を異ならせた複数の領域を形成することも可能であ
る。しかし、上記各技術は上述のごとく膜厚が厚く、基
板固定力が充分でない等の課題を有しているので、これ
らの技術を用いてもやはり充分に満足し得る配向膜を提
供できない。
Here, it is also possible to form a plurality of regions having different alignment directions of the liquid crystal on the alignment film by applying the techniques described in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-53118. However, each of the above techniques has problems such as a large film thickness and insufficient substrate fixing force as described above. Therefore, even if these techniques are used, a satisfactory alignment film cannot be provided.

【0011】また、上記従来の光配向処理に於いては、
光照射をする際、配向膜を長時間空気中に露出させてい
た。この為、空気中を浮遊している汚染物質等の付着に
より汚染されることとなり、膜表面が清浄な配向膜が得
られず歩留まり低下の大きな要因となっていた。
In the above-mentioned conventional photo-alignment treatment,
When irradiating light, the alignment film was exposed to air for a long time. For this reason, contamination is caused by the attachment of contaminants and the like floating in the air, and an alignment film with a clean film surface cannot be obtained, which has been a major factor in lowering the yield.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来の
問題点を解決すべくなされたものであり、その目的は、
光配向処理を行う際に配向膜の汚染を抑制することによ
り、歩留まりを飛躍的に向上させる液晶配向膜の製造方
法、並びにそれを用いた液晶表示装置、及びその製造方
法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems.
It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a liquid crystal alignment film that dramatically improves the yield by suppressing contamination of the alignment film when performing a light alignment process, a liquid crystal display device using the same, and a method of manufacturing the same. .

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決する為
に、請求項1に記載の液晶配向膜の製造方法は、光感応
性基を有する分子を含んでなる液晶配向膜を形成した透
明性基板に対して、少なくとも上記透明性基板側および
/または透明性基板の側面から露光することにより、上
記液晶配向膜を光配向処理することを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a liquid crystal alignment film, comprising the steps of: forming a liquid crystal alignment film comprising a molecule having a photosensitive group; The liquid crystal alignment film is subjected to photo-alignment treatment by exposing the transparent substrate from at least the transparent substrate side and / or the side surface of the transparent substrate.

【0014】上記の方法によれば、例えばリニア型の連
続成膜を行う場合、ライン上に載置された基板上に液晶
配向膜を成膜する一方で、裏面側から光照射をして配向
処理をすることが可能となる。この結果、光配向処理を
行う為に基板を搬送させる必要がなくなり生産効率の向
上が図れ、製造上のバリエーションを多様なものにでき
る。
According to the above-mentioned method, for example, in the case of performing a linear type continuous film formation, a liquid crystal alignment film is formed on a substrate placed on a line, and the light is irradiated from the back side to align the liquid crystal. Processing can be performed. As a result, it is not necessary to transport the substrate for performing the photo-alignment treatment, and the production efficiency can be improved, and the variation in manufacturing can be diversified.

【0015】また、上記方法に於いては、液晶配向膜に
直接照射して光配向処理をする場合を排除するものでは
ない。即ち、液晶配向膜に直接照射すると共に、基板側
から間接的に照射してもよい。さらに、基板の側面側か
ら当該基板内に光を入射させてもよい。これにより、従
来よりも少ない露光量で効率良く光配向処理することが
でき、タクトタイムの短縮等を図ることができる。
Further, the above method does not exclude the case where the liquid crystal alignment film is directly irradiated with light to perform the optical alignment treatment. That is, the liquid crystal alignment film may be directly irradiated and the substrate side may be irradiated indirectly. Further, light may enter the substrate from the side surface side of the substrate. As a result, the photo-alignment treatment can be efficiently performed with a smaller amount of exposure than before, and the tact time can be shortened.

【0016】上記の課題を解決する為に、請求項2に記
載の液晶表示装置の製造方法は、透明性を有する一対の
基板上に、光感応性基を有する化合物をそれぞれ接触さ
せて液晶配向膜を形成する配向膜形成工程と、上記一対
の基板のうち何れか一方に、液晶注入口の部分を欠いた
枠状のシール材を形成した後、上記液晶配向膜が対向す
るように、上記一対の基板を所定の間隙を有して貼り合
わせる空セル作製工程と、上記空セルに対して露光する
ことにより、上記液晶配向膜を間接的に光配向処理する
露光工程と、上記液晶注入口から液晶材料を注入して液
晶層を形成する液晶注入工程とを有することを特徴とす
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising: bringing a compound having a photosensitive group into contact with a pair of transparent substrates; An alignment film forming step of forming a film, and after forming a frame-shaped sealing material lacking a portion of a liquid crystal injection port on one of the pair of substrates, the liquid crystal alignment film faces each other. An empty cell manufacturing step of bonding a pair of substrates with a predetermined gap, an exposure step of indirectly performing an optical alignment process on the liquid crystal alignment film by exposing the empty cell, and the liquid crystal injection port And a liquid crystal injecting step of injecting a liquid crystal material from above to form a liquid crystal layer.

【0017】上記の方法によれば、液晶配向膜の成膜直
後、配向処理を行わずに基板同士を貼り合わせて空セル
を作製する。更に、空セル形成後に当該空セルの外部か
ら露光することにより光配向処理を行う。従って、従
来、配向処理の際に液晶配向膜が空気中に長時間曝され
ることに起因して発生していた液晶配向膜の汚染の問題
を防止できる。液晶配向膜の汚染が防止できた結果、液
晶配向性の低下を抑制できた液晶配向膜を形成すること
ができ、これにより、従来よりも歩留まりを一層向上さ
せて液晶表示装置の作製が可能となる。
According to the above-described method, immediately after the formation of the liquid crystal alignment film, the substrates are bonded to each other without performing the alignment treatment, thereby producing an empty cell. Further, after the empty cell is formed, the light alignment process is performed by exposing the empty cell from the outside. Therefore, it is possible to prevent the problem of contamination of the liquid crystal alignment film, which has conventionally been caused by exposing the liquid crystal alignment film to air for a long time during the alignment process. As a result of preventing contamination of the liquid crystal alignment film, it is possible to form a liquid crystal alignment film in which a decrease in liquid crystal alignment can be suppressed, and thereby it is possible to further improve the yield and manufacture a liquid crystal display device. Become.

【0018】上記の課題を解決する為に、請求項3に記
載の液晶表示装置の製造方法は、透明性を有する一対の
基板上に、光感応性基を有する化合物をそれぞれ接触さ
せて液晶配向膜を形成する配向膜形成工程と、上記一対
の基板のうち何れか一方に枠状のシール材を形成したの
ち液晶材料を滴下し、さらに上記液晶配向膜が対向する
ように、上記一対の基板を所定の間隙を有して貼り合わ
せる液晶セル作製工程と、上記液晶セルに対して露光す
ることにより、上記液晶配向膜を間接的に光配向処理す
る露光工程とを有することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising: bringing a compound having a photosensitive group into contact with a pair of transparent substrates; An alignment film forming step of forming a film, and after forming a frame-shaped sealing material on one of the pair of substrates, a liquid crystal material is dropped, and further, the pair of substrates are arranged so that the liquid crystal alignment film faces each other. And a step of exposing the liquid crystal cell to indirect light alignment treatment of the liquid crystal alignment film by exposing the liquid crystal cell.

【0019】上記の方法によれば、液晶配向膜の成膜直
後、配向処理を行わずにいわゆる滴下法により液晶セル
を作製する。更に、液晶セル形成後に当該液晶セルの外
部から露光することにより光配向処理を行う。従って、
上記請求項1に於いて述べたと同様に、液晶配向膜の汚
染を抑制することができ、歩留まりを向上させて液晶表
示装置を作製することができる。
According to the above method, a liquid crystal cell is manufactured by a so-called dropping method immediately after the formation of the liquid crystal alignment film without performing the alignment treatment. Further, after the liquid crystal cell is formed, a photo-alignment treatment is performed by exposing the liquid crystal cell from the outside. Therefore,
As described in the first aspect, contamination of the liquid crystal alignment film can be suppressed, and a liquid crystal display device can be manufactured with an improved yield.

【0020】請求項4に記載の発明は、請求項2又は請
求項3に記載の液晶表示装置の製造方法に於いて、上記
露光工程が、上記液晶配向膜の全面に間接的に露光した
後、更に当該液晶配向膜の一部に露光することを特徴と
する。
According to a fourth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the second or third aspect, the exposing step comprises a step of indirectly exposing the entire surface of the liquid crystal alignment film. Further, a part of the liquid crystal alignment film is exposed.

【0021】上記方法は、配向処理工程に於いて一度光
配向処理された液晶配向膜に対して、空セルまたは液晶
セルの作製後に再びスポット照射するものである。この
様にする技術的意義は、例えば液晶層の一部にディスク
リネーション等の配向不良が生じる領域を再度露光する
ことにより、配向不良の補修が可能となる点にある。ま
た、配向不良の発生箇所が判明している場合には、予め
スポット照射をしておくことにより配向不良の発生を防
止することができる。
In the above-mentioned method, the liquid crystal alignment film which has been subjected to the photo-alignment treatment in the alignment treatment step is again irradiated with spots after the production of an empty cell or a liquid crystal cell. The technical significance of this is that, for example, by re-exposing a region where a defective alignment such as disclination occurs in a part of the liquid crystal layer, the defective alignment can be repaired. In addition, when the position where the alignment defect occurs is known, the occurrence of the alignment defect can be prevented by performing spot irradiation in advance.

【0022】さらに、液晶配向膜の一部を再度露光すれ
ば、当該露光部分の液晶配向能を選択的に異ならせるこ
とができ、これにより液晶の配向状態を一部異ならせる
こともできる。
Further, if a part of the liquid crystal alignment film is exposed again, the liquid crystal alignment ability of the exposed portion can be selectively changed, thereby making it possible to partially change the alignment state of the liquid crystal.

【0023】請求項5に記載の発明は、請求項2に記載
の液晶表示装置の製造方法に於いて、上記露光工程が、
上記液晶配向膜の全面に間接的に露光した後、更に当該
液晶配向膜の液晶注入口および/またはシール材近傍に
露光することを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the second aspect, the exposing step comprises:
After indirectly exposing the entire surface of the liquid crystal alignment film, the liquid crystal alignment film is further exposed to the vicinity of a liquid crystal injection port and / or a sealing material.

【0024】上記液晶注入口から液晶材料を注入する際
には、液晶分子の長軸方向と液晶材料の流動方向との一
致、液晶の集団性及び液晶材料の注入方向等の素因が複
合して流動配向が発生する。そして、この流動配向は液
晶注入口付近及びシール材付近で顕現する。
When the liquid crystal material is injected from the liquid crystal injection port, factors such as coincidence between the major axis direction of the liquid crystal molecules and the flow direction of the liquid crystal material, collective properties of the liquid crystal, and the injection direction of the liquid crystal material are combined. Flow orientation occurs. This flow orientation appears near the liquid crystal injection port and near the sealing material.

【0025】しかし、上記方法の様に、流動配向が発生
し易い液晶注入口および/またはシール材付近にスポッ
ト的に露光すれば、露光された液晶配向膜の領域の液晶
配向能を補修することができる。これにより、流動配向
を除去し又はその発生を抑制した液晶表示装置を製造す
ることができる。
However, as in the above-mentioned method, if the liquid crystal injection port and / or the vicinity of the sealing material where flow alignment is likely to occur are spotwise exposed, the liquid crystal alignment ability in the exposed liquid crystal alignment film region is repaired. Can be. This makes it possible to manufacture a liquid crystal display device in which the flow alignment is removed or its generation is suppressed.

【0026】請求項6に記載の発明は、請求項3に記載
の液晶表示装置の製造方法に於いて、上記露光工程が、
上記液晶配向膜の全面に間接的に露光した後、更に当該
液晶配向膜のシール材近傍に露光することを特徴とす
る。
According to a sixth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the third aspect, the exposing step comprises the steps of:
After indirectly exposing the entire surface of the liquid crystal alignment film, further exposing the liquid crystal alignment film near the sealing material.

【0027】流動配向の発生は、上記請求項5に於いて
説明した場合の様に液晶注入法により液晶層を形成した
場合に限定されるものではなく、滴下法により液晶層を
形成した場合にも、シール材近傍で発生する。しかし、
上記方法の様にシール材近傍に露光すれば、露光された
液晶配向膜の領域の液晶配向能を補修することができ、
この結果流動配向を除去し又はその発生を抑制した液晶
表示装置を製造することができる。
The occurrence of the flow alignment is not limited to the case where the liquid crystal layer is formed by the liquid crystal injection method as in the case described in claim 5, but the case where the liquid crystal layer is formed by the dropping method. Also occurs near the sealing material. But,
By exposing the vicinity of the sealing material as in the above method, it is possible to repair the liquid crystal alignment ability in the area of the exposed liquid crystal alignment film,
As a result, it is possible to manufacture a liquid crystal display device in which the flow alignment is removed or its generation is suppressed.

【0028】請求項7に記載の発明は、請求項2〜請求
項6の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法に於
いて、上記露光工程が、上記一対の基板のうち何れか一
方に設けた配線近傍に対して光を照射する工程であるこ
とを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to any one of the second to sixth aspects, the exposing step may be performed by any one of the pair of substrates. This is a step of irradiating light to the vicinity of the wiring provided on one side.

【0029】従来の液晶表示装置は、高精細化の進展に
より画素の細小化が進んでおり、この結果電圧印加時に
配線近傍で発生する横電界に起因して配向不良の発生が
問題となっていた。しかし、上記方法の様に、露光工程
に於いて配線近傍に露光することにより、露光された液
晶配向膜の領域の液晶配向能を補修することができる。
この結果、横電界による配向不良の除去又はその発生の
抑制が可能となる。
In the conventional liquid crystal display device, the size of the pixel has been reduced due to the progress of high definition, and as a result, there has been a problem of occurrence of poor alignment due to a horizontal electric field generated near the wiring when a voltage is applied. Was. However, by exposing the vicinity of the wiring in the exposing step as in the above method, the liquid crystal alignment ability in the exposed liquid crystal alignment film region can be repaired.
As a result, it becomes possible to remove the alignment defect due to the lateral electric field or to suppress the occurrence thereof.

【0030】請求項8に記載の発明は、請求項2に記載
の液晶表示装置の製造方法に於いて、上記露光工程の直
後、または空セル作製工程の直後に、上記空セルを所定
の形状となる様に割断する工程を行うことを特徴とす
る。
According to an eighth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the second aspect, immediately after the exposing step or immediately after the empty cell producing step, the empty cell is formed into a predetermined shape. And performing a cutting step such that

【0031】上記空セルを所定の形状に割断するとは、
多面取りの大判貼り合わせ基板を所定サイズに複数個の
空セルに分断することを意味する。従って、上記の方法
の様に露光工程後に割断すれば、請求項2に記載の作用
・効果に加えて、更に同種の液晶表示装置を大量生産で
きる。
To cut the empty cell into a predetermined shape,
This means that a large-sized laminated substrate is cut into a plurality of empty cells of a predetermined size. Therefore, if the cutting is performed after the exposure step as in the above method, the same kind of liquid crystal display device can be mass-produced in addition to the operation and effect described in claim 2.

【0032】その一方、空セル作製工程の直後であっ
て、露光工程の直前に空セルを割断すれば、異物の混入
を防止でき液晶配向膜が汚染されていない液晶表示装置
を多種多様に、かつ歩留まりを大幅に向上させて作製す
ることができる。
On the other hand, if the empty cell is cut just after the empty cell forming step and immediately before the exposure step, it is possible to prevent foreign substances from being mixed in and prevent the liquid crystal alignment film from being contaminated. In addition, it can be manufactured with greatly improved yield.

【0033】尚、空セルを割断する工程では、上記した
複数個の空セルに分断する場合に限定されるものではな
く、液晶注入口または電極部分を取り出すための分断等
を含む。
The step of dividing the empty cell is not limited to the above-mentioned case of dividing the cell into a plurality of empty cells, but includes the step of taking out the liquid crystal injection port or the electrode portion.

【0034】請求項9に記載の発明は、請求項2〜請求
項8の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法に於
いて、上記配向膜形成工程は、上記感光性配向膜材料と
して光感応性基および下記化学式(1)で表される官能
基群から選ばれる1種の官能基を有する化学吸着物質を
使用し、該化学吸着物質を含む化学吸着液を前記基板面
に接触させることにより、前記化学吸着物質を基板面に
化学吸着させて有機薄膜を形成する工程であることを特
徴とする。
According to a ninth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a liquid crystal display device according to any one of the second to eighth aspects, the step of forming the alignment film includes the step of forming the photosensitive alignment film material. A chemical adsorption substance having a photosensitive group and one kind of functional group selected from the group of functional groups represented by the following chemical formula (1) is used, and a chemical adsorption liquid containing the chemical adsorption substance is brought into contact with the substrate surface. The step is a step of forming an organic thin film by chemically adsorbing the chemisorbed substance on a substrate surface.

【化2】 (但し、Aはケイ素、ゲルマニウム、スズ、チタン及び
ジルコニウムからなる群より選ばれる1種の原子を表
し、Xはハロゲン、アルコキシ基及びイソシアネート基
から選ばれる1種の官能基を表している。)
Embedded image (However, A represents one kind of atom selected from the group consisting of silicon, germanium, tin, titanium and zirconium, and X represents one kind of functional group selected from halogen, alkoxy group and isocyanate group.)

【0035】化学吸着物質が上記した官能基群から選ば
れる1種の官能基を有していると、当該化学吸着物質を
含む化学吸着液を基板面に接触させた際に、この化学吸
着物質と基板表面に存在する活性水素を備えた官能基と
を反応させることができる。これにより、化学吸着が可
能となって基板面に強固に結合した、密着性及び耐剥離
性等に優れた液晶配向膜を成膜することができる。
When the chemically adsorbed substance has one kind of functional group selected from the above-mentioned functional group, when the chemically adsorbed liquid containing the chemically adsorbed substance is brought into contact with the substrate surface, the chemically adsorbed substance becomes And a functional group having active hydrogen present on the substrate surface. As a result, it becomes possible to form a liquid crystal alignment film having excellent adhesion and peeling resistance, which can be chemically adsorbed and firmly bonded to the substrate surface.

【0036】請求項10に記載の発明は、請求項2〜請
求項8の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法に
於いて、上記配向膜形成工程の直後に、上記基板上に存
在する未吸着の化学吸着物質を除去する除去工程を含む
ことを特徴とする。
According to a tenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to any one of the second to eighth aspects, the substrate is formed on the substrate immediately after the alignment film forming step. The method is characterized by including a removing step of removing existing non-adsorbed chemisorbed substances.

【0037】上記の方法によれば、除去工程後の基板上
には、当該基板面に結合した化学吸着物質のみが除去さ
れずに残るので、この結果単分子膜状の液晶配向膜を形
成することができる。
According to the above-described method, only the chemically adsorbed substance bonded to the substrate surface remains on the substrate after the removal step without being removed. As a result, a monomolecular liquid crystal alignment film is formed. be able to.

【0038】請求項11に記載の発明は、請求項10に
記載の液晶表示装置の製造方法に於いて、上記除去工程
は、上記化学吸着物質が結合した基板面を洗浄用の非水
系溶媒で洗浄する洗浄工程であり、更に、上記洗浄工程
の直後に、上記基板を一定方向に立てて前記非水系溶媒
を液切り乾燥する液切り乾燥工程を備えることを特徴と
する。
According to an eleventh aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the tenth aspect, the removing step comprises cleaning the substrate surface to which the chemically adsorbed substance is bonded with a non-aqueous solvent for cleaning. A washing step of washing, and further comprising, immediately after the washing step, a drain-drying step of setting the substrate in a predetermined direction and draining and drying the non-aqueous solvent.

【0039】上記洗浄工程で使用する非水系溶媒である
と、化学吸着物質が溶媒中の水と反応することもないの
で、化学吸着液を失活させることがない。
When the non-aqueous solvent used in the washing step is used, the chemically adsorbed substance does not react with water in the solvent, so that the chemically adsorbed liquid is not deactivated.

【0040】又、上記液切り乾燥工程を行うことによ
り、単分子膜状の液晶配向膜を構成する薄膜構成分子を
仮配向させることができる。
Further, by performing the liquid draining and drying step, the thin film constituting molecules constituting the monomolecular liquid crystal alignment film can be provisionally aligned.

【0041】請求項12に記載の発明は、請求項2〜請
求項8の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法に
於いて、上記配向膜形成工程は、光感応性基を有するポ
リマーからなる液晶配向膜を成膜する工程であることを
特徴とする。
According to a twelfth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to any one of the second to eighth aspects, the alignment film forming step has a photosensitive group. The method is characterized by a step of forming a liquid crystal alignment film made of a polymer.

【0042】請求項13に記載の発明は、請求項12に
記載の液晶表示装置の製造方法に於いて、上記光感応性
基を備えたポリマーの主鎖にポリビニル、ポリシロキサ
ン又はポリイミドの何れか1つを有することを特徴とす
る。
According to a thirteenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the twelfth aspect, the main chain of the polymer having the photosensitive group is any one of polyvinyl, polysiloxane and polyimide. It is characterized by having one.

【0043】請求項14に記載の発明は、請求項10〜
請求項13に記載の液晶表示装置の製造方法に於いて、
上記光感応性基がカルコン骨格基又はシンナメート骨格
基であることを特徴とする。
The invention according to claim 14 is the invention according to claim 10
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 13,
The photosensitive group is a chalcone skeleton group or a cinnamate skeleton group.

【0044】上記の方法によれば、カルコン骨格基及び
シンナメート骨格基は光感応性に優れるので、偏光紫外
線の照射により配向性を付与するのに都合がよい。
According to the above method, the chalcone skeleton group and the cinnamate skeleton group are excellent in photosensitivity, so that it is convenient to impart orientation by irradiation with polarized ultraviolet rays.

【0045】請求項15に記載の発明は、請求項2〜請
求項14の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法
に於いて、上記露光工程を減圧下で行うことを特徴とす
る。
According to a fifteenth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a liquid crystal display device according to any one of the second to fourteenth aspects, the exposing step is performed under reduced pressure. .

【0046】上記方法の様に、液晶材料注入前の空セル
に対して減圧下で露光を行えば、プロセス時間を短縮で
きる。また、減圧下に置くことにより、液晶配向膜中に
わずかに残存している溶媒分子やその他液晶配向膜に付
着している有機化合物分子の除去も促進できる。
As in the above-described method, if the empty cells before the injection of the liquid crystal material are exposed under reduced pressure, the processing time can be reduced. Further, by placing the substrate under reduced pressure, removal of solvent molecules slightly remaining in the liquid crystal alignment film and other organic compound molecules attached to the liquid crystal alignment film can be promoted.

【0047】請求項16に記載の発明は、請求項2〜請
求項15の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法
に於いて、上記露光工程が偏光を照射する工程であるこ
とを特徴とする。
According to a sixteenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to any one of the second to fifteenth aspects, the exposing step is a step of irradiating polarized light. Features.

【0048】上記の方法によれば、偏光の照射により光
感応性基同士を光反応させて特定方向に重合させること
ができる。この結果、液晶分子を特定方向に配向規制さ
せることが可能な液晶配向膜を形成できる。
According to the above method, the photosensitive groups can be photoreacted by irradiation of polarized light to polymerize in a specific direction. As a result, a liquid crystal alignment film capable of controlling the alignment of liquid crystal molecules in a specific direction can be formed.

【0049】請求項17に記載の発明は、請求項16に
記載の液晶表示装置の製造方法に於いて、上記露光工程
が、所定の時間間隔をおいて、同一領域に偏光を複数回
照射する工程であることを特徴とする。
According to a seventeenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the sixteenth aspect, the exposing step irradiates the same region with polarized light a plurality of times at predetermined time intervals. Process.

【0050】上記の方法によれば、所定の時間間隔をお
いて照射することにより、照射に伴う光エネルギーの付
与によって基板温度が上昇するのを防止できる。
According to the above-described method, by irradiating at predetermined time intervals, it is possible to prevent the substrate temperature from rising due to the application of light energy accompanying the irradiation.

【0051】請求項18に記載の発明は、請求項16ま
たは請求項17に記載の液晶表示装置の製造方法に於い
て、上記露光工程が、前記基板に対する入射角を変えて
複数回の偏光の照射を行う工程であることを特徴とす
る。
According to an eighteenth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the sixteenth or seventeenth aspect, the exposing step comprises changing the incident angle with respect to the substrate a plurality of times to change the polarization. It is a step of performing irradiation.

【0052】上記の方法によれば、配向規制する液晶分
子のプレチルト角を所望の角度に制御可能な液晶配向膜
を形成することができる。
According to the above method, it is possible to form a liquid crystal alignment film capable of controlling the pretilt angle of liquid crystal molecules for controlling alignment to a desired angle.

【0053】請求項19に記載の発明は、請求項16〜
請求項18の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方
法に於いて、上記偏光の波長が200〜450nmの範
囲内にあることを特徴とする。
The nineteenth aspect of the present invention relates to the sixteenth aspect.
20. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 18, wherein a wavelength of the polarized light is in a range of 200 to 450 nm.

【0054】上記数値範囲内の波長域を有する偏光を使
用することにより、波長が短すぎる偏光を使用した場合
に起きる副反応としての分解反応を防止できる。
By using polarized light having a wavelength range within the above numerical range, a decomposition reaction as a side reaction that occurs when polarized light having a too short wavelength is used can be prevented.

【0055】上記の課題を解決する為に、請求項20に
記載の液晶表示装置は、透明性を有する一対の基板間に
液晶層が設けられた液晶表示装置であって、上記液晶層
に於ける光の非透過部分と透過部分とで液晶の配向状態
が異なることを特徴とする。
According to a twentieth aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device having a liquid crystal layer provided between a pair of transparent substrates. The non-transmissive portion and the transmissive portion of the applied light have different alignment states of the liquid crystal.

【0056】請求項21に記載の発明は、請求項20に
記載の液晶表示装置に於いて、上記一対の基板のうち、
一方の基板の内側には複数の配線が設けられており、記
光の非透過部分が、上記複数の配線部分であり、上記透
過部分が画素領域であることを特徴とする。
According to a twenty-first aspect of the present invention, in the liquid crystal display device according to the twentieth aspect, of the pair of substrates,
A plurality of wirings are provided inside one of the substrates, a light non-transmitting portion is the plurality of wiring portions, and the transmitting portion is a pixel region.

【0057】請求項22に記載の発明は、請求項20に
記載の液晶表示装置に於いて、上記一対の基板のうち、
一方の基板の内側には複数の配線が設けられ、他方の基
板の内側にはカラーフィルター層が設けられており、上
記光の非透過部分が上記複数の配線部分および/または
上記カラーフィルター層に於けるブラックマトリックス
部分であり、上記透過部分が画素領域であることを特徴
とする。
According to a twenty-second aspect of the present invention, in the liquid crystal display device according to the twentieth aspect, of the pair of substrates,
A plurality of wirings are provided inside one substrate, and a color filter layer is provided inside the other substrate, and the light non-transmitting portion is provided on the plurality of wiring portions and / or the color filter layer. And the transparent portion is a pixel region.

【0058】[0058]

【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態について、
図1に基づいて説明する。尚、以下の説明では、単分子
膜状の液晶配向膜を備えた液晶表示装置を例にして述べ
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described.
A description will be given based on FIG. In the following description, a liquid crystal display device having a monomolecular liquid crystal alignment film will be described as an example.

【0059】本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、
透明性を有する一対の基板上に液晶配向膜を形成する配
向膜形成工程と、一対の基板のうち何れか一方に、液晶
注入口の部分を欠いた枠状のシール材を形成した後、液
晶配向膜が対向するように、上記一対の基板を貼り合わ
せる空セル作製工程と、上記空セルに対して露光するこ
とにより、上記液晶配向膜を間接的に光配向処理する露
光工程と、上記液晶注入口から液晶材料を注入して液晶
層を形成する液晶注入工程とを有する。
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises:
After forming an alignment film forming step of forming a liquid crystal alignment film on a pair of transparent substrates, and forming a frame-shaped sealing material lacking a liquid crystal injection port portion on one of the pair of substrates, An empty cell forming step of bonding the pair of substrates so that the alignment films face each other, an exposure step of indirectly performing an optical alignment process on the liquid crystal alignment film by exposing the empty cells, and A liquid crystal injecting step of injecting a liquid crystal material from an inlet to form a liquid crystal layer.

【0060】上記配向膜形成工程は、基板上に液晶配向
膜を成膜する工程である。具体的には、先ず光感応性基
を有する化学吸着物質を含む化学吸着液を調製した後、
基板表面に化学吸着溶液を接触させる。本工程は、相対
湿度35%以下の乾燥雰囲気中、例えば乾燥空気、乾燥
窒素又は乾燥ヘリウム中で行うのが好ましい。また接触
させる方法としては、化学吸着液を基板に塗布する方
法、当該溶液中に基板を浸漬する方法、化学吸着溶液を
揮発させることにより、化学吸着物質を基板表面に接触
させ気相反応により薄膜を形成する方法等が挙げられ
る。
The alignment film forming step is a step of forming a liquid crystal alignment film on a substrate. Specifically, first, after preparing a chemisorption liquid containing a chemisorption substance having a photosensitive group,
The surface of the substrate is brought into contact with the chemisorption solution. This step is preferably performed in a dry atmosphere having a relative humidity of 35% or less, for example, in dry air, dry nitrogen, or dry helium. Examples of the contacting method include a method of applying a chemically adsorbed liquid to a substrate, a method of dipping the substrate in the solution, and a method of vaporizing the chemically adsorbed solution so that the chemically adsorbed substance comes into contact with the substrate surface and a thin film is formed by a gas phase reaction. And the like.

【0061】上記基板としては、その表面に活性水素を
有する表面官能基が露出しているものが使用できる。具
体的には、例えばガラス基板、樹脂基板等が挙げられ
る。又、活性水素を有する表面官能基としては、上記し
た水酸基の他に、カルボキシル基、スルフィン酸基、ス
ルフォン酸基、リン酸基、亜リン酸基、チオール基、ア
ミノ基等が挙げられる。更に、上記官能基の活性な水素
が、それぞれアルカリ金属、アルカリ土類金属で置換さ
れた官能基であってもよい。又、上記基体表面に活性な
水素を有する官能基が存在しないか、若しくはそれが少
ない場合には、UV/オゾン処理、酸素プラズマ処理、
エキシマUV処理、過マンガン酸カリウム処理等の化合
物酸化剤処理を施すことにより、基体表面を改質して上
記官能基を導入し、或いはその数を増やすことが適当で
ある。
As the above substrate, a substrate having a surface functional group having active hydrogen exposed on its surface can be used. Specifically, for example, a glass substrate, a resin substrate, or the like can be given. Examples of the surface functional group having active hydrogen include a carboxyl group, a sulfinic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a phosphorous acid group, a thiol group, and an amino group, in addition to the above-described hydroxyl group. Furthermore, the active hydrogen of the functional group may be a functional group substituted with an alkali metal or an alkaline earth metal, respectively. Further, when the functional group having active hydrogen does not exist on the surface of the base or is small, the UV / ozone treatment, the oxygen plasma treatment,
It is appropriate to apply a compound oxidizing agent treatment such as an excimer UV treatment or a potassium permanganate treatment to modify the surface of the substrate to introduce the above-mentioned functional groups or to increase the number of the functional groups.

【0062】上記液晶配向膜を形成する為の配向膜材料
としては、感光性配向膜材料単独で構成されていてもよ
く、或いは感光性配向膜材料に他の材料等が2種以上混
合したものでもよい。
As the alignment film material for forming the liquid crystal alignment film, a photosensitive alignment film material alone may be used, or a mixture of two or more kinds of other materials with the photosensitive alignment film material may be used. May be.

【0063】上記光感応性官能基としては、カルコン骨
格基又はシンナモイル基等が例示できる。又、上記光感
応性基を有した化学吸着物質としては、下記化学式
(1)で表される官能基群から選ばれる1種の官能基を
有する化学吸着物質を使用できる。
Examples of the photosensitive functional group include a chalcone skeleton group and a cinnamoyl group. Further, as the chemisorbing substance having the photosensitive group, a chemisorbing substance having one kind of functional group selected from the group of functional groups represented by the following chemical formula (1) can be used.

【化3】 (但し、Aはケイ素、ゲルマニウム、スズ、チタン及び
ジルコニウムからなる群より選ばれる1種の原子を表
し、Xはハロゲン、アルコキシ基及びイソシアネート基
から選ばれる1種の官能基を表している。)
Embedded image (However, A represents one kind of atom selected from the group consisting of silicon, germanium, tin, titanium and zirconium, and X represents one kind of functional group selected from halogen, alkoxy group and isocyanate group.)

【0064】前記化学吸着物質としては、以下に列挙す
る官能基が上記化学式(1)で表される官能基群から選
ばれる1種の官能基と連結して構成される。
The above-mentioned chemisorbing substance is constituted by linking the following functional groups to one kind of functional group selected from the group of functional groups represented by the above chemical formula (1).

【0065】1.メチル基、エチル基、n−プロピル
基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、
n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−
デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基、n−ト
リデシル基、n−テトラデシル基、n−ペンタデシル
基、n−ヘキサデシル基、n−ヘプタデシル基、n−オ
クタデシル基、n−ノナデシル基、n−エイコシル基、
フェニル基等の炭化水素基。
1. Methyl group, ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group,
n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-
Decyl group, n-undecyl group, n-dodecyl group, n-tridecyl group, n-tetradecyl group, n-pentadecyl group, n-hexadecyl group, n-heptadecyl group, n-octadecyl group, n-nonadecyl group, n- Eicosyl group,
Hydrocarbon groups such as phenyl groups;

【0066】2.1の炭化水素基の一部に炭素炭素二重
結合若しくは炭素炭素三重結合を含む炭化水素基。
A hydrocarbon group containing a carbon-carbon double bond or a carbon-carbon triple bond as a part of the hydrocarbon group of 2.1.

【0067】3.1及び2の炭化水素基における水素が
他の官能基(例えば、メチル基、エチル基、ハロゲン化
メチル基、水酸基、シアノ基、アミノ基、イミノ基、カ
ルボキシル基、エステル基、チオール基、アルデヒド基
等)及び/または原子(例えば、F、Cl、Br、I
等)に置換された官能基。
The hydrogen in the hydrocarbon group of 3.1 and 2 is replaced with another functional group (for example, methyl group, ethyl group, methyl halide group, hydroxyl group, cyano group, amino group, imino group, carboxyl group, ester group, Thiol groups, aldehyde groups, etc.) and / or atoms (for example, F, Cl, Br, I
Etc.) substituted functional group.

【0068】4.1及び2の炭化水素基におけるC−C
(カルボニール)結合の一部がC−O−C(エーテル)
結合、C−CO−C(カルボニル)結合、又はC=N結
合に置換された官能基。
4.1 CC in the hydrocarbon groups of 1 and 2
Part of the (carbonyl) bond is C—O—C (ether)
A functional group substituted by a bond, a C—CO—C (carbonyl) bond, or a C = N bond.

【0069】次に、本発明に於いては、基板上に残って
いる未反応の化学吸着物質を除去するための除去工程を
行うことができる。具体的には、例えば洗浄用の非水系
溶媒で未反応の化学吸着物質を洗い流す方法等を行えば
よい。
Next, in the present invention, a removing step for removing unreacted chemically adsorbed substances remaining on the substrate can be performed. Specifically, for example, a method of washing away the unreacted chemically adsorbed substance with a nonaqueous solvent for washing may be used.

【0070】上記洗浄剤としては、非プロトン系溶媒、
プロトン系溶媒又はこれらの混合溶媒等が使用できる。
但し、水分を極力含まない溶媒を使用するのが好ましい
場合が多い。上記非プロトン系溶媒としては特に限定さ
れるものではなく、クロロホルム等の塩素系溶媒、ベン
ゼン、トルエン等の芳香族系溶媒、γ−ブチルラクトン
等のラクトン系溶媒、酢酸エチル等のエステル系溶媒等
が挙げられる。また、プロトン系溶媒としては特に限定
されるものではなく、メタノール、エタノール等のアル
コール系溶媒等が挙げられる。
As the above-mentioned cleaning agent, an aprotic solvent,
A protic solvent or a mixed solvent thereof can be used.
However, it is often preferable to use a solvent containing as little water as possible. The aprotic solvent is not particularly limited, but may be a chlorine-based solvent such as chloroform, an aromatic solvent such as benzene or toluene, a lactone-based solvent such as γ-butyl lactone, or an ester-based solvent such as ethyl acetate. Is mentioned. The proton solvent is not particularly limited, and examples thereof include alcohol solvents such as methanol and ethanol.

【0071】尚、以上に列挙した溶媒類は一般的に可燃
性の物質が多いので、その様な溶媒を使用する際には必
要に応じて防爆手段を備えてもよい。又、本工程は上記
した配向膜形成工程と同様、相対湿度35%以下の乾燥
雰囲気中で行う必要がある。なぜならば、未吸着分子が
空気中の水分と反応する等して白濁するからである。
The solvents listed above generally contain a large amount of flammable substances, so that when such a solvent is used, explosion-proof means may be provided if necessary. Also, this step needs to be performed in a dry atmosphere at a relative humidity of 35% or less, similarly to the above-described alignment film forming step. This is because the unadsorbed molecules react with moisture in the air and become cloudy.

【0072】更に、上記洗浄工程の直後に、上記基板を
一定方向に立てて前記非水系溶媒を液切り乾燥する液切
り乾燥工程を行うこともできる。本工程は、化学吸着物
質が吸着した基板面に非水系溶媒を接触させ、その後当
該非水系溶媒を一定方向に液切り乾燥する工程である。
より詳細には、例えば液晶配向膜成膜後の基板に於い
て、液切り乾燥したい部分を溶媒槽に一定時間浸漬させ
る。このとき、液面と基板がほぼ垂直の関係になる様に
して浸漬させる。次いで、浸漬しておいた基板を鉛直方
向に引き上げる。このとき液晶配向膜表面では、基板が
引き上げられるに連れて順次液切りされ、かつ乾燥され
る。これにより、液晶配向膜を構成する分子を仮配向さ
せることができる。本工程は、光照射による配向処理の
前に、予めある程度配向処理を行う方が好ましい場合
に、1次配向処理としての役割を果たす。尚、液切り乾
燥工程は上記した方法に限定されるものではなく、他の
種々の方法を採用することもできる。
Further, immediately after the washing step, a drain-drying step may be performed in which the substrate is set in a certain direction and the non-aqueous solvent is drained and dried. This step is a step of bringing a non-aqueous solvent into contact with the substrate surface to which the chemically adsorbed substance has been adsorbed, and then draining and drying the non-aqueous solvent in a certain direction.
More specifically, for example, on the substrate after the formation of the liquid crystal alignment film, a portion to be drained and dried is immersed in a solvent tank for a certain period of time. At this time, the immersion is performed so that the liquid surface and the substrate have a substantially vertical relationship. Next, the immersed substrate is pulled up in the vertical direction. At this time, the liquid is sequentially drained and dried on the surface of the liquid crystal alignment film as the substrate is pulled up. As a result, molecules constituting the liquid crystal alignment film can be provisionally aligned. This step plays a role as a primary alignment treatment when it is preferable to perform an alignment treatment to some extent before the alignment treatment by light irradiation. The draining and drying step is not limited to the method described above, and various other methods can be employed.

【0073】上記空セル作製工程は、基板上に液晶配向
膜を形成した後に行う。即ち、本発明に於いては、従来
の製造プロセスと異なり、光配向処理を行わずに空セル
の作製に移行する。この結果、配向処理の際に液晶配向
膜が空気中に長時間露出させることがないので、空気中
から異物の付着を防ぐなど、液晶配向膜の汚染を防止で
きる。尚、本工程に於いては、空セルに液晶材料を注入
する際の液晶注入口を確保すべく、塗布形状が当該部分
を欠いた枠状のシール材を予め形成しておく。このとき
基板が多面取り用の大判基板を使用している場合には、
上記枠状のシール材はマトリクス状に複数個形成するこ
ともできる。
The empty cell forming step is performed after forming a liquid crystal alignment film on a substrate. That is, in the present invention, unlike the conventional manufacturing process, the process shifts to the production of an empty cell without performing the optical alignment treatment. As a result, since the liquid crystal alignment film is not exposed to the air for a long time during the alignment treatment, contamination of the liquid crystal alignment film can be prevented, for example, by preventing adhesion of foreign substances from the air. In this step, in order to secure a liquid crystal injection port for injecting a liquid crystal material into an empty cell, a frame-shaped sealing material having a coating shape lacking the portion is formed in advance. At this time, if the board uses a large-sized board for multiple
A plurality of the frame-shaped sealing materials may be formed in a matrix.

【0074】上記露光工程は、光照射により液晶配向膜
を構成する薄膜構成分子の光感応性基を選択的に光重合
させる為に行う工程である。これにより、基板表面の薄
膜構成分子同志を特定方向に架橋結合させることがで
き、薄膜構成分子の配向を固定させることができる。こ
の結果、熱的安定性や化学的安定性等の向上が図れる。
The above-mentioned exposure step is a step performed for selectively photopolymerizing the photosensitive group of the constituent molecules of the thin film constituting the liquid crystal alignment film by light irradiation. Thereby, the thin film constituent molecules on the substrate surface can be cross-linked in a specific direction, and the orientation of the thin film constituent molecules can be fixed. As a result, thermal stability, chemical stability, and the like can be improved.

【0075】ここで露光は、空セルの片面側から行って
もよく、或いは両面から行ってもよい。片面側から行う
場合、一方の基板面側から照射を行った後、他方の基板
面側から行うなど交互に露光してもよい。また両面から
行う場合、同時に露光してもよく、或いは時間差を設け
て行うことも可能である。空セルの一方の面側にのみ光
源を配置した場合であって、空セルの両面に露光したい
場合には、空セルを裏表反転させて露光する方法や、空
セルを反転させずにミラー等を用いて光反射させること
により空セルの反対面に露光する方法等が挙げられる。
また、空セルの両面側に光源を一つずつ配置した場合に
は、照射は同時に行ってもよく、或いは時間差をつけて
行ってもよい。
Here, the exposure may be performed from one side of the empty cell or from both sides. When the irradiation is performed from one side, the irradiation may be performed from one substrate side, and then the exposure may be performed alternately, such as from the other substrate side. When the exposure is performed from both sides, the exposure may be performed at the same time, or the exposure may be performed with a time difference. If the light source is arranged only on one side of the empty cell and you want to expose both sides of the empty cell, you can expose the empty cell by turning it over, or use a mirror or the like without inverting the empty cell. A method of exposing the opposite surface of an empty cell by reflecting light using a method.
When one light source is arranged on each side of the empty cell, the irradiation may be performed simultaneously or with a time difference.

【0076】本工程で使用する光は偏光であることが好
ましく、更に直線偏光であることがより好ましい。直線
偏光を照射する為の具体的方法としては、例えば通常用
いられる吸収型の偏光板を介して光照射する方法、偏光
ビームスプリッター等の非吸収型の偏光分離素子を介し
て光照射する方法等が挙げられるが、これらに特に限定
されるものでない。また偏光の波長は、光感応性基が光
反応を起こさせるのに適した波長であればよく、通常紫
外光領域に波長域を有する光を用いるが、本発明はこれ
に何ら限定されるものではない。具体的には、例えば本
工程で使用する光の波長域は、200〜450nmの範
囲内であればよい。これは、光照射による主反応が架橋
反応や重合反応である場合、照射光の波長が短過ぎる
と、反対に副反応として分解反応が起き易くなるからで
ある。更に露光温度は、室温から100℃程度以下であ
ればよいが、これに何ら限定されるものではない。
The light used in this step is preferably polarized light, and more preferably linearly polarized light. Specific methods for irradiating linearly polarized light include, for example, a method of irradiating light through a commonly used absorption-type polarizing plate, a method of irradiating light through a non-absorption-type polarization separation element such as a polarizing beam splitter, and the like. But are not particularly limited to these. The wavelength of the polarized light may be any wavelength that is suitable for the photosensitive group to cause a photoreaction, and usually uses light having a wavelength range in the ultraviolet region, but the present invention is not limited to this. is not. Specifically, for example, the wavelength range of the light used in this step may be in the range of 200 to 450 nm. This is because, when the main reaction by light irradiation is a crosslinking reaction or a polymerization reaction, if the wavelength of the irradiation light is too short, on the contrary, a decomposition reaction is likely to occur as a side reaction. Further, the exposure temperature may be from room temperature to about 100 ° C. or lower, but is not limited thereto.

【0077】また本工程は、所定の時間間隔をおいて、
液晶配向膜の同一領域に偏光を複数回照射してもよい。
これにより、照射に伴う光エネルギーの付与によって基
板温度が上昇するのを防止できる。更に、本工程は、基
板に対する入射角や照射量を変えて複数回の偏光照射を
行うことも可能である。これにより、例えば有機薄膜を
液晶配向膜として使用した場合に、配向規制する液晶分
子のプレチルト角を所望の角度に制御できる。さらに、
本工程は減圧下で行ってもよい。例えば、液晶材料注入
前の空セルに対して減圧下で露光を行えば、プロセス時
間を短縮できる。また、減圧下に置くことにより、液晶
配向膜中にわずかに残存している溶媒分子やその他液晶
配向膜に付着している有機化合物分子の除去も促進でき
る。尚、上記溶媒分子とは、上記配向膜形成工程で使用
した化学吸着液に含まれる溶媒分子を言う。
In this step, at a predetermined time interval,
The same region of the liquid crystal alignment film may be irradiated with polarized light a plurality of times.
Thus, it is possible to prevent the substrate temperature from increasing due to the application of light energy accompanying the irradiation. Further, in this step, it is also possible to perform polarized light irradiation a plurality of times by changing the incident angle and the irradiation amount with respect to the substrate. Thus, for example, when an organic thin film is used as the liquid crystal alignment film, the pretilt angle of the liquid crystal molecules whose alignment is regulated can be controlled to a desired angle. further,
This step may be performed under reduced pressure. For example, if exposure is performed under reduced pressure on an empty cell before injecting a liquid crystal material, the process time can be reduced. Further, by placing the substrate under reduced pressure, removal of solvent molecules slightly remaining in the liquid crystal alignment film and other organic compound molecules attached to the liquid crystal alignment film can be promoted. Here, the solvent molecules refer to solvent molecules contained in the chemical adsorption solution used in the alignment film forming step.

【0078】上記液晶注入工程は、液晶注入口から液晶
材料を注入することにより液晶層を形成する工程であ
る。液晶材料としては、ネマチック液晶、スメクチック
液晶、ディスコチック液晶、強誘電性液晶等が挙げられ
るが、ネマチック液晶が特に好ましい。更にネマチック
液晶の例としては、ビフェニル系、ターフェニル系、ア
ゾキシ系、シッフベース系、フェニルシクロヘキサン
系、ビフェニルシクロヘキサン系、エステル系、ピリミ
ジン系、ジオキサン系、ビシクロオクタン系、キュバン
系等が挙げられる。
The liquid crystal injection step is a step of forming a liquid crystal layer by injecting a liquid crystal material from a liquid crystal injection port. Examples of the liquid crystal material include a nematic liquid crystal, a smectic liquid crystal, a discotic liquid crystal, and a ferroelectric liquid crystal, and a nematic liquid crystal is particularly preferable. Examples of the nematic liquid crystal include biphenyl, terphenyl, azoxy, Schiff base, phenylcyclohexane, biphenylcyclohexane, ester, pyrimidine, dioxane, bicyclooctane, and cubane.

【0079】ここで、本発明に於いては、上記配向膜形
成工程の直後に、上記液晶配向膜の全面に光照射をして
配向処理する配向処理工程を行い、かつ上記露光工程に
於ける光照射を液晶配向膜の一部に対して行うことも可
能である。この様に、既に光配向処理されている液晶配
向膜に対して、更にスポット照射を行うことにより、例
えば液晶層の一部にディスクリネーション等の配向不良
が生じる領域または生じる恐れのある領域の補修を可能
とする。具体的には、図1(a)に示すように、液晶注
入法により空セル1内部に液晶材料を注入する場合、流
動配向が液晶注入口2および/またはシール材3近傍で
発生するが、この様な部分を露光することにより液晶配
向膜の液晶配向能を補修することができ、流動配向を低
減させることができる。更に、液晶を駆動する為に信号
を伝達する各種の配線が基板上に設けられている場合に
は、電圧印加時に配線近傍で発生する横電界に起因して
配向不良が発生するという問題があったが、上記露光工
程はこの様な場合にも当該配線及びその近傍を露光する
ことにより、配向不良の低減を図ることができる。ま
た、液晶の配向状態を一部異ならせたい場合にも、それ
に対応する液晶配向膜の領域を再度露光することによ
り、新たな液晶配向状態となる様に加工することもでき
る。
In the present invention, an alignment treatment step of irradiating the entire surface of the liquid crystal alignment film with light to perform an alignment treatment is performed immediately after the alignment film formation step. Light irradiation can be performed on a part of the liquid crystal alignment film. In this way, by further performing spot irradiation on the liquid crystal alignment film that has already been subjected to the photoalignment treatment, for example, a region in which alignment defects such as disclination occur in a part of the liquid crystal layer or a region in which alignment failure is likely to occur may occur. Repair is possible. Specifically, as shown in FIG. 1A, when a liquid crystal material is injected into the empty cell 1 by a liquid crystal injection method, flow alignment occurs near the liquid crystal injection port 2 and / or the sealing material 3. By exposing such a portion, the liquid crystal alignment ability of the liquid crystal alignment film can be repaired, and the flow alignment can be reduced. Further, when various wirings for transmitting signals for driving the liquid crystal are provided on the substrate, there is a problem that poor alignment occurs due to a lateral electric field generated near the wirings when a voltage is applied. However, in the above-mentioned exposure step, even in such a case, the exposure of the wiring and the vicinity thereof can reduce the alignment defect. Also, when it is desired to partially change the alignment state of the liquid crystal, the region of the liquid crystal alignment film corresponding thereto can be processed so as to have a new liquid crystal alignment state by exposing it again.

【0080】更に、滴下法により液晶層を形成する場合
には、図1(b)に示すように、基板4上に枠状のシー
ル材3を形成したのち液晶材料を滴下するので、シール
材3近傍で流動配向が発生する場合がある。この様な場
合にも、上記と同様に、シール材3近傍を露光すること
により、流動配向の低減を図ることができる。
Further, when a liquid crystal layer is formed by a dropping method, as shown in FIG. 1B, a liquid crystal material is dropped after forming a frame-shaped sealing material 3 on a substrate 4. In some cases, flow orientation may occur near 3. Also in such a case, the flow orientation can be reduced by exposing the vicinity of the sealing material 3 as described above.

【0081】以上の様に、本発明に於いては、液晶配向
膜の汚染を抑制して光配向処理を行う為、歩留まりを向
上させて液晶表示装置を製造することが可能となる。
又、以上の様にして製造された液晶表示装置は、厳密な
ギャップ精度が要求されるSTN(Super Twisted Nema
tic)モード等に適用することが可能となった。
As described above, in the present invention, since the optical alignment treatment is performed while suppressing the contamination of the liquid crystal alignment film, it is possible to manufacture a liquid crystal display device with an improved yield.
Further, the liquid crystal display device manufactured as described above requires an STN (Super Twisted Nema) which requires strict gap accuracy.
tic) mode, etc.

【0082】尚、本発明に係る製造方法により作製され
た液晶表示装置は、空セル又は液晶セルの外側から光配
向処理を行うので、遮光される部分では液晶配向膜の光
配向処理がされない。この為、光の非透過部分と透過部
分とで、液晶の配向状態が異なる。具体的には、ゲート
ラインやソースライン等の複数の配線であって、アルミ
ニウム等の金属材料からなる配線が基板の内側に設けら
れている場合、この基板側から露光すると、液晶配向膜
に於ける配線の射影部分では露光されない。この為、射
影部分は他の領域と比較して液晶の配向状態が異なる。
又、R・G・B及びブラックマトリクスからなるカラー
フィルター層が設けられたカラーフィルター付き基板の
場合も、液晶配向膜に於けるブラックマトリクスの射影
部分では露光されない為、射影部分は他の領域と比較し
て液晶の配向状態が異なる。
In the liquid crystal display device manufactured by the manufacturing method according to the present invention, since the optical alignment processing is performed from the empty cell or the outside of the liquid crystal cell, the optical alignment processing of the liquid crystal alignment film is not performed in the light-shielded portion. Therefore, the alignment state of the liquid crystal is different between the light non-transmission portion and the light transmission portion. Specifically, in the case where a plurality of wirings such as gate lines and source lines are provided on the inside of the substrate and a wiring made of a metal material such as aluminum is provided, when exposure is performed from the substrate side, a liquid crystal alignment film is formed. It is not exposed at the projected portion of the wiring. Therefore, the projected portion has a different alignment state of the liquid crystal as compared with other regions.
Further, even in the case of a substrate with a color filter provided with a color filter layer composed of R, G, B and a black matrix, the projected portion of the black matrix in the liquid crystal alignment film is not exposed. The alignment state of the liquid crystal is different in comparison.

【0083】(その他の事項)以上に於いては、液晶配
向膜が単分子膜である場合について述べたが、本発明は
これに何ら限定されるものではない。例えば、光感応性
基を有するポリマーを含んでなるポリマー膜であっても
よい。ここで、上記光感応性官能基を有したポリマーと
しては、その主鎖にポリビニル、ポリシロキサン若しく
はポリイミドを有するものが好ましい。
(Other Matters) The case where the liquid crystal alignment film is a monomolecular film has been described above, but the present invention is not limited to this. For example, it may be a polymer film containing a polymer having a photosensitive group. Here, as the polymer having a photosensitive functional group, a polymer having polyvinyl, polysiloxane, or polyimide in its main chain is preferable.

【0084】また以上に於いては、単葉の液晶表示装置
を作製する場合について述べたが、基板として多面取り
用の大判基板を用いた場合には、複数個の液晶表示装置
を同時に製造することも可能である。この場合、上記空
セル作製工程の直後、又は露光工程の直後に、上記空セ
ルを所定の形状となる様に割断する工程を行う必要があ
る。又、枠状のシール材はマトリクス状に複数個形成す
る必要がある。更に、上記空セルを割断する工程は、液
晶注入口または電極部分を取り出すための分断等を行っ
てもよい。
In the above description, the case where a single-leaf liquid crystal display device is manufactured has been described. However, in the case where a large-sized substrate for multi-paning is used as a substrate, a plurality of liquid crystal display devices must be manufactured simultaneously. Is also possible. In this case, it is necessary to perform a step of cutting the empty cell into a predetermined shape immediately after the empty cell forming step or immediately after the exposure step. Further, it is necessary to form a plurality of frame-shaped seal materials in a matrix. Further, in the step of dividing the empty cell, division for extracting a liquid crystal injection port or an electrode portion may be performed.

【0085】[0085]

【実施例】以下に、実施例を用いて本発明をさらに具体
的に説明する。
The present invention will be described more specifically below with reference to examples.

【0086】(実施例1) (1)液晶配向膜形成プロセス 表面に透明電極の形成されたガラス基板5(表面に水酸
基を多数含む)を準備し、あらかじめよく洗浄・脱脂す
る。次に、下記化学式(2)と非プロトン系の溶媒を用
い、1重量%程度の濃度の化学吸着溶液を調製した。非
プロトン系溶媒としては、良く脱水したシロキサン系溶
媒(商品名;KF96L、信越化学社製)及びクロロホ
ルムの混合溶媒を用いた。
Example 1 (1) Liquid Crystal Alignment Film Forming Process A glass substrate 5 (containing a large number of hydroxyl groups on the surface) having a transparent electrode formed on the surface is prepared and thoroughly washed and degreased in advance. Next, a chemical adsorption solution having a concentration of about 1% by weight was prepared using the following chemical formula (2) and an aprotic solvent. A mixed solvent of a well-dehydrated siloxane-based solvent (trade name: KF96L, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and chloroform was used as the aprotic solvent.

【化4】 Embedded image

【0087】続いて、図2に示すように、相対湿度30
%以下の乾燥雰囲気中で化学吸着液6の中にガラス基板
5を1時間程度浸漬した。これにより、クロロシラン系
化学吸着物質のSiCl基と基板表面のOH基とを脱H
Cl反応させ、当該クロロシラン系化学吸着物質をガラ
ス基板5の表面に強固に結合させた。尚、化学吸着液6
中に浸漬する方法に代えて、ガラス基板5の表面に化学
吸着液6を塗布する方法を採用してもよい。
Subsequently, as shown in FIG.
% Of the glass substrate 5 was immersed in the chemical adsorption solution 6 for about 1 hour in a dry atmosphere of not more than 1%. As a result, the SiCl group of the chlorosilane-based chemisorbed substance and the OH group on the substrate surface are dehydrogenated.
The Cl reaction was carried out, and the chlorosilane-based chemically adsorbed substance was firmly bonded to the surface of the glass substrate 5. In addition, chemical adsorption liquid 6
Instead of the immersion method, a method of applying the chemical adsorption liquid 6 to the surface of the glass substrate 5 may be adopted.

【0088】その後、化学吸着液6から引き上げて、良
く脱水した水を含まない非プロトン系の溶媒であるクロ
ロホルム7(洗浄剤)で洗浄した。これにより、未反応
のクロロシラン系化学吸着物質をガラス基板5から除去
した。即ち、洗浄により、単分子層状の薄膜を形成する
ことができた。
Thereafter, the substrate was taken out of the chemical adsorption solution 6 and washed with chloroform 7 (cleaning agent) which is a well-dehydrated water-free aprotic solvent. As a result, unreacted chlorosilane-based chemically adsorbed substances were removed from the glass substrate 5. That is, a monomolecular layered thin film could be formed by washing.

【0089】更に、このガラス基板5をクロロホルム7
から矢印8方向に引き上げ、乾燥雰囲気中に於いて該ガ
ラス基板5を垂直に立てた状態で洗浄液を液切り乾燥し
た(図3参照)。これにより、ガラス基板5に固定され
た吸着分子を洗浄液切り方向9に沿って吸着分子が一次
配向させることができた。
Further, this glass substrate 5 was washed with chloroform 7
The cleaning liquid was drained and dried while the glass substrate 5 was set upright in a dry atmosphere (see FIG. 3). As a result, the adsorbed molecules fixed on the glass substrate 5 were able to be primarily oriented along the cleaning solution draining direction 9.

【0090】次いで、ガラス基板5の表面を、湿度を含
む空気中に暴露した。これにより、SiCl基の残りの
Clを空気中の水分と脱HCl反応させ、下記化学式3
に示すように、吸着分子同士をシロキサン結合させた。
以上により、単分子膜状の化学吸着膜(液晶配向膜)が
形成された。
Next, the surface of the glass substrate 5 was exposed to air containing humidity. As a result, the remaining Cl of the SiCl group is subjected to a dehydrochlorination reaction with moisture in the air, and the following chemical formula 3
As shown in the figure, the adsorbed molecules were siloxane-bonded.
As described above, a monomolecular film-like chemical adsorption film (liquid crystal alignment film) was formed.

【化5】 Embedded image

【0091】上記で作製した単分子膜の膜厚をエリプソ
メーター(屈折率を1.45とする。)で測定したとこ
ろ、約25nmであった。
The thickness of the monomolecular film prepared above was measured by an ellipsometer (with a refractive index of 1.45) and found to be about 25 nm.

【0092】(2)空セル組立プロセス 上記液晶配向膜形成プロセスに於いて液晶配向膜を形成
した液晶配向膜付き基板11・12を2枚用意し、これ
らの基板11・12を用いて空セルを作製した。即ち、
基板11に、液晶注入口の部分を欠いた枠状となる様に
してシール材を塗布し、更に樹脂スペーサ(径12μ
m)を散布した。次いで、液晶配向膜が互いに対向する
様にして基板11と基板12とを貼り合わせ、空セル1
3を作製した(図4参照)。このとき、液晶配向膜を構
成する吸着分子の傾斜方向(洗浄液切り方向9)が平行
で、かつ、相互に反対向きとなるように、即ちアンチパ
ラレルになる様に位置合わせをした。
(2) Empty cell assembling process Two substrates 11 and 12 each having a liquid crystal alignment film on which a liquid crystal alignment film was formed in the liquid crystal alignment film forming process were prepared, and an empty cell was formed using these substrates 11 and 12. Was prepared. That is,
A sealing material is applied to the substrate 11 so as to form a frame shape lacking a liquid crystal injection port, and further a resin spacer (diameter 12 μm) is applied.
m). Next, the substrate 11 and the substrate 12 are bonded together such that the liquid crystal alignment films face each other, and
No. 3 was produced (see FIG. 4). At this time, the alignment was performed so that the inclination directions of the adsorbed molecules constituting the liquid crystal alignment film (cleaning liquid removal direction 9) were parallel and opposite to each other, that is, antiparallel.

【0093】(3)光配向処理プロセス 上記空セル組立プロセスに於いて作製した空セル13に
対し、偏光軸が液晶配向膜に於ける吸着分子の傾斜方向
(洗浄液切り方向9)と平行となる様に、グランティラ
ー型偏光子(図示しない)を配置し、基板12側から光
照射を行った。光源として500Wの高圧水銀灯を使用
し、初期照射強度が480mJ/cm2の紫外光10
(主波長:365nm)を照射した。尚、グランティラ
ー型偏光子透過後の照射強度は2.1mW/cm2であ
った。次に、基板11側から、上記と同様の照射条件で
紫外光14を照射した。
(3) Photo-alignment process The polarization axis of the empty cell 13 produced in the empty cell assembling process is parallel to the tilt direction of the adsorbed molecules in the liquid crystal alignment film (cleaning liquid draining direction 9). As described above, a Grantler-type polarizer (not shown) was arranged, and light irradiation was performed from the substrate 12 side. A high-pressure mercury lamp of 500 W was used as a light source, and the initial irradiation intensity was 480 mJ / cm 2 for ultraviolet light 10
(Main wavelength: 365 nm). The irradiation intensity after transmission through the Grantler-type polarizer was 2.1 mW / cm 2 . Next, ultraviolet light 14 was irradiated from the substrate 11 side under the same irradiation conditions as above.

【0094】(4)液晶注入・アニールプロセス 光配向処理された上記空セル13に対し、常温常圧下に
てネマチック液晶(ZLI4792;メルク社製)を注
入した。その後、その液晶セルを120℃で30分間ア
ニールを施し、室温まで徐冷させた。以上により、液晶
セルを完成させた。
(4) Liquid Crystal Injection and Annealing Process The nematic liquid crystal (ZLI4792; manufactured by Merck) was injected into the empty cell 13 subjected to the photo-alignment treatment at normal temperature and normal pressure. Thereafter, the liquid crystal cell was annealed at 120 ° C. for 30 minutes, and gradually cooled to room temperature. Thus, a liquid crystal cell was completed.

【0095】(5)液晶セルの評価 上記液晶セルに対して、クロスニコル状態となる様に一
対の偏光板を配置し、液晶の配向評価を行った。その結
果、ディスクリネーションが極めて少なく、また黒表示
の際の黒さも極めて濃いことが確認できた。更に、液晶
セルの特性について種々調べた結果、プレチルト角は1
゜であり、コントラスト(5V)は330であり、電圧
保持率は98.5%であった。
(5) Evaluation of Liquid Crystal Cell A pair of polarizing plates was arranged in the above liquid crystal cell so as to be in a crossed Nicols state, and the alignment of the liquid crystal was evaluated. As a result, it was confirmed that the disclination was extremely small and the blackness at the time of black display was extremely dark. Further, as a result of various investigations on the characteristics of the liquid crystal cell, the pretilt angle was 1
コ ン ト ラ ス ト, the contrast (5 V) was 330, and the voltage holding ratio was 98.5%.

【0096】以上から、液晶配向膜の形成後、光配向処
理を行わずに空セルを作製し、その後に空セルの外部か
ら光配向処理を施すことにより極めて良好な液晶配向性
を示す液晶セルを作製できることが確認された。
As described above, after the formation of the liquid crystal alignment film, an empty cell is produced without performing the optical alignment treatment, and then the liquid crystal cell exhibiting extremely good liquid crystal alignment is obtained by performing the optical alignment treatment from outside the empty cell. Can be produced.

【0097】ここで、選択的に配向方向を変えたい場合
には、パターン状のマスクを用意し、これを偏光板に重
ねた後、400〜800mJ/cm2の紫外光で365
nmの波長の紫外線を照射すると、照射された部分のみ
配向方向が変化し同一面内の配向膜内でパターン状に配
向方向の異なる部分、すなわち洗浄液切り方向9と偏光
方向にそれぞれ沿って液晶が配向する部分を複数箇所設
けることができた。
Here, when it is desired to selectively change the orientation direction, a patterned mask is prepared, and the mask is superimposed on a polarizing plate. Then, the mask is irradiated with 365 to 400 mJ / cm 2 of ultraviolet light.
When ultraviolet light having a wavelength of nm is irradiated, the alignment direction changes only in the irradiated portion, and the liquid crystal is formed along the portions having different alignment directions in a pattern in the alignment film in the same plane, that is, along the cleaning solution draining direction 9 and the polarization direction. A plurality of orienting portions could be provided.

【0098】更に、1画素単位を複数に分割した小区画
に偏光が照射されるように調製したマスクを介し、かつ
1回ごとに薄膜面と偏光方向との位置関係を変えて、複
数回の紫外光照射を行えば、1画素内でマルチドメイン
配向された液晶セルを作製することができた。
Further, through a mask prepared so as to irradiate polarized light to a small section obtained by dividing one pixel unit into a plurality of parts, and by changing the positional relationship between the thin film surface and the polarization direction each time, a plurality of times are performed. By irradiating with ultraviolet light, a liquid crystal cell with multi-domain alignment in one pixel could be produced.

【0099】(実施例2)実施例2では、上記の如き液
晶配向膜を用いて液晶表示装置を作製した。以下、この
液晶表示装置の製造プロセスについて図4を用いて説明
する。
Example 2 In Example 2, a liquid crystal display device was manufactured using the liquid crystal alignment film as described above. Hereinafter, a manufacturing process of the liquid crystal display device will be described with reference to FIG.

【0100】先ず、図4に示すように、マトリックス状
に載置された第1の電極群21とこの電極を駆動するT
FT(Thin Film Transistor) 群22を有する第1の基
板20上、および第1の電極群21と対向するように載
置したカラーフィルター群25と第2の電極26(対向
電極)を有する第2の基板24上に、実施例1と同様の
手順にしたがって調製した化学吸着液を塗布し同様の化
学吸着単分子膜を作製した。これにより、実施例1と同
様に電極パターンに沿って再配向した液晶配向膜23、
27が作製できた。
First, as shown in FIG. 4, a first electrode group 21 mounted in a matrix and a T
A second substrate having a first substrate 20 having an FT (Thin Film Transistor) group 22 and a color filter group 25 and a second electrode 26 (a counter electrode) placed so as to face the first electrode group 21. A chemically adsorbed liquid prepared according to the same procedure as in Example 1 was applied onto the substrate 24 of Example 1 to produce a similar chemically adsorbed monomolecular film. Thereby, the liquid crystal alignment film 23 re-aligned along the electrode pattern as in the first embodiment,
27 were produced.

【0101】次に、前記第1の基板20と第2の基板2
4とを、電極が対向するように位置合わせして貼り合わ
せ、空セルを作製した。このとき、液晶配向膜23及び
液晶配向膜27に於ける配向処理方向が互いに90度と
なすようにした。
Next, the first substrate 20 and the second substrate 2
No. 4 was aligned and bonded so that the electrodes faced each other, thereby producing an empty cell. At this time, the alignment processing directions in the liquid crystal alignment film 23 and the liquid crystal alignment film 27 were set to 90 degrees with each other.

【0102】次いで、前記実施例1と同様にして、グラ
ンティラー型偏光子(図示しない)を配置し、第1の基
板20及び第2の基板24の両面から、初期照射強度が
480mJ/cm2の紫外光(主波長:365nm)を
照射した。尚、グランティラー型偏光子透過後の照射強
度は190mW/cm2であった。
Next, a grantler-type polarizer (not shown) was disposed in the same manner as in the first embodiment, and the initial irradiation intensity was 480 mJ / cm 2 from both surfaces of the first substrate 20 and the second substrate 24. (Main wavelength: 365 nm). The irradiation intensity after transmission through the Grantler-type polarizer was 190 mW / cm 2 .

【0103】その後、空セルに前記TN液晶(ZLI4
792;メルク社製)を注入して液晶層28を形成し、
液晶パネルを作製した。更にこのパネルの両外側に偏光
板31・32を配置し、第1の基板20側にバックライ
ト33を配置して液晶表示装置を完成した。
Thereafter, the TN liquid crystal (ZLI4
792; Merck) to form the liquid crystal layer 28,
A liquid crystal panel was manufactured. Further, polarizing plates 31 and 32 were disposed on both outer sides of the panel, and a backlight 33 was disposed on the first substrate 20 side, thereby completing a liquid crystal display device.

【0104】上記液晶表示装置について、第1の基板2
0側からバックライト33を照射しながら画像を表示さ
せたところ、輝度に優れた鮮明な映像が表示できた。
In the above liquid crystal display device, the first substrate 2
When an image was displayed while illuminating the backlight 33 from the 0 side, a clear image with excellent brightness could be displayed.

【0105】(その他の事項)なお、前記各実施例に於
いては、液晶配向膜形成プロセスで使用した洗浄剤とし
て、水を含まない非プロトン系の溶媒であるクロロホル
ムを用いたが、本発明はこれに限定されるものではな
い。即ち、水を含まず界面活性剤が可溶性を示す溶媒で
あればどの様な溶媒でも使用できる。例えば、フッ化炭
素基、塩化炭素基またはシロキサン基を有する物質から
なる溶媒、具体的にはフレオン113、クロロホルム、
ヘキサメチルジシロキサン等が挙げられる。
(Other Matters) In each of the above embodiments, chloroform, which is an aprotic solvent containing no water, was used as the cleaning agent used in the liquid crystal alignment film forming process. Is not limited to this. That is, any solvent can be used as long as the solvent does not contain water and the surfactant is soluble. For example, a solvent including a substance having a fluorocarbon group, a carbon chloride group, or a siloxane group, specifically, Freon 113, chloroform,
Hexamethyldisiloxane and the like.

【0106】又、本発明にかかる液晶配向膜は、下記化
学式(4)で表される化学結合単位を含んでいるが、
(4)で表される化学結合単位を含む配向膜は、ツイス
トネマチック(TN)型液晶に対する配向規制力が強く
配向効果が高い。従って、本発明はこのタイプの液晶表
示素子に特に好適に適用できる。
Further, the liquid crystal alignment film according to the present invention contains a chemical bond unit represented by the following chemical formula (4).
The alignment film containing the chemical bond unit represented by (4) has a strong alignment control force with respect to a twisted nematic (TN) type liquid crystal, and has a high alignment effect. Therefore, the present invention can be particularly suitably applied to this type of liquid crystal display device.

【化6】 Embedded image

【0107】この場合、化学吸着液作成用の非水系の有
機溶媒としては、アルキル基、ふっ化炭素基、塩化炭素
基又はシロキサン基を含む物質からなる溶媒が好適に利
用できる。上記化学式(4)で表される化学結合単位を
有する化学吸着物質は、これらの非水系の有機溶剤に対
して可溶性を示すからである。
In this case, as the non-aqueous organic solvent for preparing the chemical adsorption liquid, a solvent comprising a substance containing an alkyl group, a carbon fluoride group, a carbon chloride group or a siloxane group can be suitably used. This is because the chemically adsorbed substance having the chemical bonding unit represented by the chemical formula (4) is soluble in these non-aqueous organic solvents.

【0108】[0108]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、成
膜後の液晶配向膜を空気中に露出させることなく光配向
処理するので、製造プロセスに於いて液晶配向膜の汚染
を抑制することができる。この結果、従来の製造方法と
比較して歩留まりを向上させて液晶表示装置を作製する
ことが可能となる。
As described above, according to the present invention, since the liquid crystal alignment film after film formation is subjected to photo-alignment treatment without exposing it to the air, contamination of the liquid crystal alignment film in the manufacturing process is suppressed. be able to. As a result, it is possible to manufacture a liquid crystal display device with an improved yield as compared with the conventional manufacturing method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】流動配向の発生の状態を模式的に示す平面図で
ある。
FIG. 1 is a plan view schematically showing a state of occurrence of flow orientation.

【図2】本発明の実施例1に係る液晶配向膜の形成を説
明する為の概念図であって、基板を化学吸着液に浸漬し
た様子を示している。
FIG. 2 is a conceptual diagram for explaining formation of a liquid crystal alignment film according to Example 1 of the present invention, and shows a state where a substrate is immersed in a chemical adsorption solution.

【図3】本発明の実施例1に係る液晶配向膜の形成を説
明する為の概念図であって、基板を洗浄する様子を示し
ている。
FIG. 3 is a conceptual diagram for explaining formation of a liquid crystal alignment film according to Example 1 of the present invention, and shows a state of cleaning a substrate.

【図4】本発明の実施例1に係る液晶配向膜の光配向処
理を説明する為の概念図である。
FIG. 4 is a conceptual diagram for explaining a photo-alignment treatment of a liquid crystal alignment film according to Example 1 of the present invention.

【図5】本発明の実施例2に係る液晶表示装置を模式的
に示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view schematically showing a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 化学吸着液 3 クロロホルム(非水系溶媒) 9 洗浄液切り方向 9 紫外光 11、12 液晶配向膜付き基板 13 空セル 14 紫外光 20 第1の基板 21 第1の電極群 22 TFT群 23、27 液晶配向膜 24 第2の基板 25 カラーフィルター群 26 第2の電極 28 液晶層 31、32 偏光板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Chemical adsorption liquid 3 Chloroform (non-aqueous solvent) 9 Cleaning liquid removal direction 9 Ultraviolet light 11, 12 Substrate with liquid crystal alignment film 13 Empty cell 14 Ultraviolet light 20 First substrate 21 First electrode group 22 TFT group 23 27 liquid crystal alignment film 24 second substrate 25 color filter group 26 second electrode 28 liquid crystal layer 31, 32 polarizing plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野村 幸生 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 武部 尚子 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 上村 強 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 河栗 真理子 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 中尾 健次 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2H089 HA29 NA22 NA24 QA12 QA15 QA16 RA05 TA04 TA12 2H090 HB08Y HC13 KA05 MB01 MB12 2H091 FA02Y FA34Y GA06 HA07 LA12 LA30  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yukio Nomura 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 72) Inventor Tsuyoshi Uemura 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Mariko Kawaguri 1006 Okadoma Kadoma, Kadoma City Osaka Pref. 1006 Kadoma, Kamon, Fumonma Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.F-term (reference)

Claims (22)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光感応性基を有する分子を含んでなる液
晶配向膜を形成した透明性基板に対して、少なくとも上
記透明性基板側および/または透明性基板の側面から露
光することにより、上記液晶配向膜を光配向処理するこ
とを特徴とする液晶配向膜の製造方法。
1. The method according to claim 1, wherein a transparent substrate on which a liquid crystal alignment film containing molecules having a photosensitive group is formed is exposed from at least the transparent substrate side and / or a side surface of the transparent substrate. A method for producing a liquid crystal alignment film, comprising subjecting a liquid crystal alignment film to a photo-alignment treatment.
【請求項2】 透明性を有する一対の基板上に、光感応
性基を有する化合物をそれぞれ接触させて液晶配向膜を
形成する配向膜形成工程と、 上記一対の基板のうち何れか一方に、液晶注入口の部分
を欠いた枠状のシール材を形成した後、上記液晶配向膜
が対向するように、上記一対の基板を所定の間隙を有し
て貼り合わせる空セル作製工程と、 上記空セルに対して露光することにより、上記液晶配向
膜を間接的に光配向処理する露光工程と、 上記液晶注入口から液晶材料を注入して液晶層を形成す
る液晶注入工程とを有することを特徴とする液晶表示装
置の製造方法。
2. An alignment film forming step in which a compound having a photosensitive group is brought into contact with a pair of transparent substrates to form a liquid crystal alignment film. After forming a frame-shaped sealing material lacking a portion of a liquid crystal injection port, an empty cell forming step of bonding the pair of substrates with a predetermined gap so that the liquid crystal alignment films face each other; An exposure step of indirectly photoaligning the liquid crystal alignment film by exposing the cell to light; and a liquid crystal injection step of injecting a liquid crystal material from the liquid crystal injection port to form a liquid crystal layer. Manufacturing method of a liquid crystal display device.
【請求項3】 透明性を有する一対の基板上に、光感応
性基を有する化合物をそれぞれ接触させて液晶配向膜を
形成する配向膜形成工程と、 上記一対の基板のうち何れか一方に枠状のシール材を形
成したのち液晶材料を滴下し、さらに上記液晶配向膜が
対向するように、上記一対の基板を所定の間隙を有して
貼り合わせる液晶セル作製工程と、 上記液晶セルに対して露光することにより、上記液晶配
向膜を間接的に光配向処理する露光工程とを有すること
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
3. An alignment film forming step of forming a liquid crystal alignment film by bringing a compound having a photosensitive group into contact with a pair of transparent substrates, and forming a frame on one of the pair of substrates. A liquid crystal material is dropped after forming a seal material in a shape, and a liquid crystal cell manufacturing step of bonding the pair of substrates with a predetermined gap so that the liquid crystal alignment films face each other; An exposure step of indirectly subjecting the liquid crystal alignment film to a photo-alignment treatment by exposing the liquid crystal display to light.
【請求項4】 上記露光工程が、上記液晶配向膜の全面
に間接的に露光した後、更に当該液晶配向膜の一部に露
光することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の
液晶表示装置の製造方法。
4. The method according to claim 2, wherein in the exposing step, after indirectly exposing the entire surface of the liquid crystal alignment film, further exposing a part of the liquid crystal alignment film. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
【請求項5】 上記露光工程が、上記液晶配向膜の全面
に間接的に露光した後、更に当該液晶配向膜の液晶注入
口および/またはシール材近傍に露光することを特徴と
する請求項2に記載の液晶表示装置の製造方法。
5. The method according to claim 2, wherein in the exposing step, after indirectly exposing the entire surface of the liquid crystal alignment film, further exposing the liquid crystal alignment film in the vicinity of a liquid crystal injection port and / or a sealing material. 3. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to 1.
【請求項6】 上記露光工程が、上記液晶配向膜の全面
に間接的に露光した後、更に当該液晶配向膜のシール材
近傍に露光することを特徴とする請求項3に記載の液晶
表示装置の製造方法。
6. The liquid crystal display device according to claim 3, wherein in the exposing step, after indirectly exposing the entire surface of the liquid crystal alignment film, further exposing the liquid crystal alignment film near a sealing material. Manufacturing method.
【請求項7】 上記露光工程が、上記一対の基板のうち
何れか一方に設けた配線近傍に対して光を照射する工程
であることを特徴とする請求項2〜請求項6の何れか1
項に記載の液晶表示装置の製造方法。
7. The method according to claim 2, wherein the exposing step is a step of irradiating light near a wiring provided on one of the pair of substrates.
13. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to item 10.
【請求項8】 上記空セル作製工程の直後、または露光
工程の直後に、上記空セルを所定の形状となる様に割断
する工程を行うことを特徴とする請求項2に記載の液晶
表示装置の製造方法。
8. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein a step of cutting the empty cell into a predetermined shape is performed immediately after the empty cell forming step or immediately after the exposure step. Manufacturing method.
【請求項9】 上記配向膜形成工程は、光感応性基およ
び下記化学式(1)で表される官能基群から選ばれる1
種の官能基を有する化学吸着物質を含む化学吸着液を、
前記基板面に接触させることにより、前記化学吸着物質
を基板面に化学吸着させて液晶配向膜を形成する工程で
あることを特徴とする請求項2〜請求項6の何れか1項
に記載の液晶表示装置の製造方法。 【化1】 (但し、Aはケイ素、ゲルマニウム、スズ、チタン及び
ジルコニウムからなる群より選ばれる1種の原子を表
し、Xはハロゲン、アルコキシ基及びイソシアネート基
から選ばれる1種の官能基を表している。)
9. The method for forming an alignment film according to claim 1, wherein the step of forming the alignment film comprises a photosensitive group and a functional group represented by the following chemical formula (1).
A chemisorption solution containing a chemisorption substance having a kind of functional group,
The method according to any one of claims 2 to 6, further comprising a step of forming a liquid crystal alignment film by causing the chemical adsorption substance to chemically adsorb to the substrate surface by being brought into contact with the substrate surface. A method for manufacturing a liquid crystal display device. Embedded image (However, A represents one kind of atom selected from the group consisting of silicon, germanium, tin, titanium and zirconium, and X represents one kind of functional group selected from halogen, alkoxy group and isocyanate group.)
【請求項10】 上記配向膜形成工程の直後に、上記基
板上に存在する未吸着の化学吸着物質を除去する除去工
程を含むことを特徴とする請求項2〜請求項6の何れか
1項に記載の液晶表示装置の製造方法。
10. The method according to claim 2, further comprising a step of removing a non-adsorbed chemically adsorbed substance present on the substrate immediately after the step of forming the alignment film. 3. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to item 1.
【請求項11】 上記除去工程は、上記化学吸着物質が
結合した基板面を洗浄用の非水系溶媒で洗浄する洗浄工
程であり、 更に、上記洗浄工程の直後に、上記基板を一定方向に立
てて前記非水系溶媒を液切り乾燥する液切り乾燥工程を
備えることを特徴とする請求項10に記載の液晶表示装
置の製造方法。
11. The removing step is a washing step of washing the surface of the substrate to which the chemically adsorbed substance is bound with a non-aqueous solvent for washing. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 10, further comprising a drain drying step of draining and drying the non-aqueous solvent.
【請求項12】 上記配向膜形成工程は、光感応性基を
有するポリマーからなる液晶配向膜を形成する工程であ
ることを特徴とする請求項2〜請求項6の何れか1項に
記載の液晶表示装置の製造方法。
12. The method according to claim 2, wherein the step of forming an alignment film is a step of forming a liquid crystal alignment film made of a polymer having a photosensitive group. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
【請求項13】 上記光感応性基を備えたポリマーの主
鎖にポリビニル、ポリシロキサン又はポリイミドの何れ
か1つを有することを特徴とする請求項10に記載の液
晶表示装置の製造方法。
13. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 10, wherein the polymer having the photosensitive group has any one of polyvinyl, polysiloxane, and polyimide in a main chain.
【請求項14】 上記光感応性基がカルコン骨格基又は
シンナメート骨格基であることを特徴とする請求項7〜
請求項11に記載の液晶表示装置の製造方法。
14. The method according to claim 7, wherein the photosensitive group is a chalcone skeleton group or a cinnamate skeleton group.
A method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 11.
【請求項15】 上記露光工程を減圧下で行うことを特
徴とする請求項2〜請求項12の何れか1項に記載の液
晶表示装置の製造方法。
15. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 2, wherein the exposing step is performed under reduced pressure.
【請求項16】 上記露光工程が偏光を照射する工程で
あることを特徴とする請求項2〜請求項13の何れか1
項に記載の液晶表示装置の製造方法。
16. The method according to claim 2, wherein the exposing step is a step of irradiating polarized light.
13. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to item 10.
【請求項17】 上記露光工程が、所定の時間間隔をお
いて、同一領域に偏光を複数回照射する工程であること
を特徴とする請求項14に記載の液晶表示装置の製造方
法。
17. The method according to claim 14, wherein the exposing step is a step of irradiating the same region with polarized light a plurality of times at predetermined time intervals.
【請求項18】 上記露光工程が、前記基板に対する入
射角を変えて複数回の偏光の照射を行う工程であること
を特徴とする請求項14または請求項15に記載の液晶
表示装置の製造方法。
18. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 14, wherein the exposing step is a step of performing irradiation of polarized light a plurality of times while changing an incident angle with respect to the substrate. .
【請求項19】 上記偏光の波長が200〜450nm
の範囲内にあることを特徴とする請求項14〜請求項1
6の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法。
19. The wavelength of the polarized light is 200 to 450 nm.
14. The method according to claim 14, wherein
7. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to any one of 6.
【請求項20】 透明性を有する一対の基板間に液晶層
が設けられた液晶表示装置であって、 上記液晶層に於ける光の非透過部分と透過部分とで液晶
の配向状態が異なることを特徴とする液晶表示装置。
20. A liquid crystal display device in which a liquid crystal layer is provided between a pair of transparent substrates, wherein a liquid crystal alignment state is different between a light non-transmission part and a light transmission part in the liquid crystal layer. A liquid crystal display device characterized by the above-mentioned.
【請求項21】 上記一対の基板のうち、一方の基板の
内側には複数の配線が設けられており、 上記光の非透過部分が、上記複数の配線部分であり、上
記透過部分が画素領域であることを特徴とする請求項2
0に記載の液晶表示装置。
21. A plurality of wirings are provided inside one of the pair of substrates, the non-light-transmitting portion is the plurality of wiring portions, and the transmitting portion is a pixel region. 3. The method according to claim 2, wherein
The liquid crystal display device according to 0.
【請求項22】 上記一対の基板のうち、一方の基板の
内側には複数の配線が設けられ、他方の基板の内側には
カラーフィルター層が設けられており、 上記光の非透過部分が上記複数の配線部分および/また
は上記カラーフィルター層に於けるブラックマトリック
ス部分であり、上記透過部分が画素領域であることを特
徴とする請求項20に記載の液晶表示装置。
22. Among the pair of substrates, a plurality of wirings are provided inside one of the substrates, and a color filter layer is provided inside the other substrate. 21. The liquid crystal display device according to claim 20, wherein a plurality of wiring portions and / or a black matrix portion in the color filter layer, and the transmission portion is a pixel region.
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