JP2001343654A - Liquid crystal display device and method of manufacture - Google Patents

Liquid crystal display device and method of manufacture

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JP2001343654A
JP2001343654A JP2000164493A JP2000164493A JP2001343654A JP 2001343654 A JP2001343654 A JP 2001343654A JP 2000164493 A JP2000164493 A JP 2000164493A JP 2000164493 A JP2000164493 A JP 2000164493A JP 2001343654 A JP2001343654 A JP 2001343654A
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JP
Japan
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liquid crystal
wall
crystal display
substrates
spacer
Prior art date
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Application number
JP2000164493A
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Japanese (ja)
Inventor
Goro Saito
悟郎 齋藤
Shinichi Uehara
伸一 上原
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a liquid crystal display device capable of being easily manufactured because of its simple structure and tough against deformation due to external pressure, wherein a wall-shaped spacer is closely adhered to a substrate and intervals between the substrates are uniform. SOLUTION: In the liquid crystal display device having a liquid crystal 8 interposed between a pair of substrates 1 and 5 having electrodes 2 and 6, respectively, the wall-shaped spacer 3 is provided on one substrate 1 and a recess 9 is provided on the top part of the wall-shaped spacer 3. The internal part of the recess 9 is held in a reduced pressure state and the substrates 1 and 5 are fixed to each other in a closely adhered state by suction force developed by pressure difference of the reduced pressure and the atmospheric pressure.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、文字、図形等を表
示する表示装置、入射光の透過量が変化する調光装置、
光シャッター等に利用される液晶表示素子およびその製
造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display device for displaying characters, figures, etc., a dimming device in which the amount of transmission of incident light changes,
The present invention relates to a liquid crystal display element used for an optical shutter and the like and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の液晶表示素子では、電極を有する
1対の基板間にガラスファイバー・ビーズや樹脂製ビー
ズを散布し、液晶を狭持するための基板間間隔を制御し
ている。しかし、ビーズ等の散布では、厳密な基板間間
隔の制御や、外圧に対する変形の抑制が困難である。そ
こで、フォトリソグラフィ等の方法を用いて、基板間に
柱状または壁状のスペーサを形成することが行われてい
る(例えば、特開平10−161125号公報)。ま
た、このような壁状スペーサ(隔壁構造)を有する液晶
表示素子を用い、さらに液晶の再配向過程において温度
勾配を持たせた冷却方法を行うことによって、液晶(強
誘電性・反強誘電性液晶)の配向欠陥を抑制できること
が知られている(特開平7−318912号公報)。
2. Description of the Related Art In a conventional liquid crystal display device, glass fiber beads or resin beads are scattered between a pair of substrates having electrodes to control the distance between the substrates for holding the liquid crystal. However, when spraying beads or the like, it is difficult to strictly control the distance between the substrates and suppress deformation due to external pressure. Therefore, a columnar or wall-shaped spacer is formed between substrates using a method such as photolithography (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-161125). Further, by using a liquid crystal display element having such a wall-shaped spacer (partition structure) and performing a cooling method having a temperature gradient in a process of reorienting the liquid crystal, the liquid crystal (ferroelectric / antiferroelectric It is known that alignment defects of (liquid crystal) can be suppressed (Japanese Patent Laid-Open No. Hei 7-318912).

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】基板間隔の制御や、外
圧による変形の抑制のためには、基板と壁状スペーサと
が密着している必要がある。また、特開平7−3189
12号公報のように、壁状スペーサを有する液晶表示素
子を用い、さらに液晶の再配向過程において温度勾配を
持たせた冷却方法を行うことによって、液晶(強誘電性
・反強誘電性液晶)の配向欠陥を抑制する場合において
も、基板と壁状スペーサが密着し直線状の空間が維持さ
れている必要がある。そこで、壁状スペーサと基板との
接着が行われている。
In order to control the distance between the substrates and to suppress deformation due to external pressure, it is necessary that the substrate and the wall-shaped spacer are in close contact with each other. Also, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-3189
As disclosed in Japanese Patent Publication No. 12, a liquid crystal (ferroelectric / anti-ferroelectric liquid crystal) is obtained by using a liquid crystal display element having wall-shaped spacers and performing a cooling method with a temperature gradient in the process of realigning the liquid crystal. In the case of suppressing the alignment defect, it is necessary that the substrate and the wall-shaped spacer are in close contact with each other and a linear space is maintained. Therefore, the wall-shaped spacer and the substrate are bonded.

【0004】壁状スペーサを有する液晶表示素子の製造
方法としては、図9に示すように、配向制御層24を形
成した後、その配向制御層24上に壁状スペーサ23を
形成する方法と、図10に示すように、壁状スペーサ2
3の形成後に配向制御層24を形成する方法がある。
As a method of manufacturing a liquid crystal display device having a wall-shaped spacer, as shown in FIG. 9, after forming an alignment control layer 24, a wall-shaped spacer 23 is formed on the alignment control layer 24; As shown in FIG.
There is a method of forming the orientation control layer 24 after the formation of No. 3.

【0005】配向制御層24上に壁状スペーサ23を形
成する場合、配向制御層24と壁状スペーサ23とを接
着することになる。例えば、特開平7−318912号
公報に開示されている実施例1では、一方の基板21の
配向制御層24上にリソグラフィーにより壁状スペーサ
23を形成し、これを、他方の配向制御層27を有する
基板25と、大気圧中で機械的に圧接させながら加熱す
ることによって、接着を行っている。なお、基板21,
25にはそれぞれ電極22,26が設けられている。
When the wall-like spacer 23 is formed on the orientation control layer 24, the orientation control layer 24 and the wall-like spacer 23 are bonded. For example, in Example 1 disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-318912, a wall-like spacer 23 is formed on an alignment control layer 24 of one substrate 21 by lithography, and this is Bonding is performed by heating while mechanically pressing the substrate 25 having the same at atmospheric pressure. The substrate 21,
25 is provided with electrodes 22 and 26, respectively.

【0006】一方、配向制御層24上に壁状スペーサ2
3を形成する場合、壁状スペーサ23の形成時に配向制
御層24がスペーサ材料等によって汚染されるという問
題が生じる。また、液晶28が接触する面が配向制御層
24,27と壁状スペーサ23の2種類となり、配向制
御層24,27によって制御しようとする液晶28の配
向方向と、壁状スペーサ23により導かれる配向方向が
異なる可能性があり、この場合、液晶28のスイッチン
グ不良や配向不良あるいは長時間の経過に伴う経時的配
向変化等の問題が生じる。特開平7−318912号公
報においては、壁状スペーサ23の内壁面に高分子有機
物膜を塗布し、直線状空間の内壁面を化学的に均一する
ことが望ましいと述べられているが、内壁面に高分子有
機物膜を塗布する方法については述べられていない。
On the other hand, the wall-shaped spacer 2
In the case where 3 is formed, there arises a problem that the orientation control layer 24 is contaminated by the spacer material or the like when the wall-like spacer 23 is formed. Also, there are two types of surfaces that the liquid crystal 28 comes into contact with, ie, the alignment control layers 24 and 27 and the wall-shaped spacer 23. The alignment direction of the liquid crystal 28 to be controlled by the alignment control layers 24 and 27 is guided by the wall-shaped spacer 23. There is a possibility that the alignment directions are different. In this case, problems such as poor switching and poor alignment of the liquid crystal 28, and changes in the alignment over time with the elapse of a long time occur. Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-318912 describes that it is desirable to apply a polymer organic material film to the inner wall surface of the wall-shaped spacer 23 and to chemically uniform the inner wall surface of the linear space. No method is described for coating a high molecular organic film on the substrate.

【0007】壁状スペーサ23の形成後に配向制御層2
4を形成する場合、両基板21,25の配向制御層2
4,27同士が接着される。しかし、配向制御層24,
27間の接着は、接着力と配向制御力の両立が極めて困
難である。すなわち、配向制御層24,27として通常
用いられるポリイミド等の有機薄膜同士を接着させるた
めには高温で加熱する必要があるが、有機薄膜からなる
配向制御層24,27を高温で加熱すると、ラビング処
理等によって与えられている配向制御力が消失してしま
う。また、二酸化シリコンの斜方蒸着等の無機薄膜を用
いて配向制御層24,27を形成する場合、あまり大型
化できないため液晶表示素子の大面積化の妨げとなる。
After the formation of the wall-like spacer 23, the orientation control layer 2
4 is formed, the orientation control layers 2 of both substrates 21 and 25 are formed.
4, 27 are bonded together. However, the orientation control layer 24,
It is extremely difficult to achieve a balance between the adhesive force and the orientation control force in the bonding between 27. That is, it is necessary to heat at a high temperature in order to bond organic thin films such as polyimide which are usually used as the alignment control layers 24 and 27 to each other. The orientation control force given by the treatment or the like disappears. Further, when the orientation control layers 24 and 27 are formed by using an inorganic thin film such as oblique evaporation of silicon dioxide, the size cannot be increased so much that it hinders an increase in the area of the liquid crystal display element.

【0008】そこで、特開平10−161125号公報
では、壁状スペーサ23となる感光性樹脂上に熱可塑性
樹脂29および特定の溶媒に可溶な樹脂(図示せず)を
積層した後、パターニングして壁状スペーサ23を形成
している。このとき、熱可塑性樹脂29および特定の溶
媒に可溶な樹脂は、壁状スペーサ23の頭頂部のみに存
在している。その後、壁状スペーサ23および基板21
上に配向制御層24を形成する。それから、基板21を
特定の溶媒に浸漬させ可溶性樹脂を剥離すると、可溶性
樹脂の剥離と同時に可溶性樹脂の上方に位置する配向制
御層24が除去されて、図11に示すように、壁状スペ
ーサ23の頭頂部に熱可塑性樹脂29が露出する。そこ
で、この熱可塑性樹脂29によって他の基板25との接
着が行われる。この方法によると、壁状スペーサ23の
壁面にも配向制御層24が存在するため配向特性がよ
く、しかも強い接着力つまり高い密着性を得ることがで
きる。しかし、この方法は複数回の樹脂の塗布工程およ
び剥離工程を含み、製造工程が煩雑である。
Therefore, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-161125, a thermoplastic resin 29 and a resin (not shown) soluble in a specific solvent are laminated on a photosensitive resin to be the wall-like spacer 23 and then patterned. To form a wall-like spacer 23. At this time, the resin soluble in the thermoplastic resin 29 and the specific solvent exists only at the top of the wall-like spacer 23. Thereafter, the wall-like spacer 23 and the substrate 21
An orientation control layer 24 is formed thereon. Then, when the substrate 21 is immersed in a specific solvent and the soluble resin is peeled off, the alignment control layer 24 located above the soluble resin is removed simultaneously with the peeling of the soluble resin, and as shown in FIG. The thermoplastic resin 29 is exposed at the top of the head. Therefore, the thermoplastic resin 29 is used to bond with another substrate 25. According to this method, since the alignment control layer 24 is also present on the wall surface of the wall-shaped spacer 23, the alignment characteristics are good, and a strong adhesive force, that is, a high adhesion can be obtained. However, this method includes a plurality of steps of applying and peeling the resin, and the manufacturing process is complicated.

【0009】また、図示しないが、特開平11−194
350号公報には、配向制御層の材料と壁状スペーサの
材料を、配向制御層形成時に配向制御層材料が壁状スペ
ーサにはじかれるように選択し、壁状スペーサの形成さ
れている領域以外の領域のみに選択的に配向制御層を形
成する方法が開示されている。しかし、壁状スペーサの
頭頂部のみにおいて配向制御層が壁状スペーサにはじか
れる構成として、壁状スペーサの頭頂部のみにスペーサ
材料を露出させることは困難で、さらに材料選択の幅が
狭められてしまう。
Although not shown, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-194
No. 350 discloses that the material for the alignment control layer and the material for the wall-like spacer are selected so that the alignment control layer material is repelled by the wall-like spacer when the alignment control layer is formed, and other than the region where the wall-like spacer is formed. A method for selectively forming an orientation control layer only in the region is disclosed. However, it is difficult to expose the spacer material only to the top of the wall-shaped spacer as the configuration in which the orientation control layer is repelled by the wall-shaped spacer only at the top of the wall-shaped spacer, and the range of material selection is further reduced. I will.

【0010】そこで、本発明の目的は、簡単な構成で、
壁状スペーサが基板に密着し、基板間隔が均一で厳密に
制御可能であり、外圧による変形に強く、高いコントラ
ストが得られる液晶表示素子と、このような液晶表示素
子を容易に製造できる方法とを提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a simple configuration,
A liquid crystal display element in which the wall-shaped spacer is in close contact with the substrate, the distance between the substrates is uniform and strictly controllable, is resistant to deformation due to external pressure, and provides high contrast, and a method for easily manufacturing such a liquid crystal display element. Is to provide.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、電極を
有する1対の基板間に液晶が狭持されている液晶表示素
子において、少なくとも一方の基板上に壁状スペーサが
設けられており、壁状スペーサの頭頂部に凹部が設けら
れているところにある。
A feature of the present invention is that in a liquid crystal display element in which liquid crystal is held between a pair of substrates having electrodes, a wall-like spacer is provided on at least one of the substrates. And a recess is provided at the top of the wall-shaped spacer.

【0012】また、本発明のもう一つの特徴は、電極を
有する1対の基板間に液晶が狭持されている液晶表示素
子において、少なくとも一方の基板上に、実質的に平行
な少なくとも2つの壁状スペーサからなる多重スペーサ
ラインが設けられており、多重スペーサラインを構成す
る少なくとも2つの壁状スペーサ間に間隙が存在すると
ころにある。
Another feature of the present invention is that in a liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates having electrodes, at least one substrate has at least two substantially parallel substrates. A multiple spacer line comprising wall spacers is provided, wherein a gap exists between at least two wall spacers forming the multiple spacer line.

【0013】前者の構成における頭頂部に凹部を有する
壁状スペーサは、フォトマスクとしてグレイマスク(階
調を有するフォトマスク)を用いたフォトリソグラフィ
法によって形成することができる。つまり基板上にフォ
トレジストを塗布した後、所定のグレイマスクを施し、
光照射を行い、現像を行うことによって頭頂部に凹部を
有する壁状スペーサを作成できる。また、後者の構成に
おける多重スペーサラインを構成する壁状スペーサは、
通常のフォトリソグラフィの手法によって形成すること
ができる。また、フォトリソグラフィの代わりに高精細
の印刷手法等で形成することもできる。いずれにして
も、壁状スペーサは、従来から広く一般的に用いられて
いる技術を利用して形成することができる。
The wall-shaped spacer having a concave portion at the top in the former configuration can be formed by a photolithography method using a gray mask (photomask having a gradation) as a photomask. That is, after applying a photoresist on the substrate, a predetermined gray mask is applied,
By irradiating light and performing development, a wall-shaped spacer having a concave portion at the top can be formed. Further, the wall-shaped spacer constituting the multiple spacer line in the latter configuration,
It can be formed by a usual photolithography technique. Further, it can be formed by a high-definition printing method or the like instead of photolithography. In any case, the wall-shaped spacer can be formed by using a technique that has been widely used in the past.

【0014】前記した構成の液晶表示素子は、壁状スペ
ーサの凹部内、または多重スペーサラインを構成する壁
状スペーサ間の前記間隙内の気圧と大気圧との圧力差に
よって生じる吸着力により、1対の基板が互いに密着状
態に固定されている。例えば、頭頂部に凹部を有する壁
状スペーサまたは少なくとも2つの壁状スペーサからな
る多重スペーサライン上に配向制御層を有する透明電極
基板と、配向制御層を有する透明電極基板とを貼り合わ
せた状態で機械的にプレスし、それにより密着させた状
態で減圧器の中に入れる。そして、減圧を行い、減圧状
態で壁状スペーサの頭頂部の凹部または多重スペーサラ
インを構成する壁状スペーサ間の間隙を外部から密封
し、大気圧雰囲気中に戻す。すると、凹部または壁状ス
ペーサ間の間隙が負圧状態に維持され、それと大気圧と
の圧力差によって生じる吸着力により、1対の基板が互
いに密着状態で固定される。なお、この時、基板を加熱
することが密着性の面から好ましい。
The liquid crystal display device having the above-described structure is characterized in that the suction force caused by the pressure difference between the atmospheric pressure and the atmospheric pressure in the recesses of the wall-shaped spacers or in the gap between the wall-shaped spacers constituting the multiple spacer lines causes the liquid crystal display element to have a pressure of 1: 1. The pair of substrates are fixed to each other so as to be in close contact with each other. For example, in a state where a transparent electrode substrate having an orientation control layer and a transparent electrode substrate having an orientation control layer are bonded on a wall-shaped spacer having a concave portion at the top or on a multiple spacer line composed of at least two wall-shaped spacers. It is mechanically pressed and thereby placed in close contact with the vacuum. Then, the pressure is reduced, and in the reduced pressure state, the recess at the top of the wall-shaped spacer or the gap between the wall-shaped spacers forming the multiple spacer line is sealed from the outside, and returned to the atmospheric pressure atmosphere. Then, the gap between the concave portion or the wall-shaped spacer is maintained in a negative pressure state, and the pair of substrates is fixed in a state of being in close contact with each other by an attraction force generated by the pressure difference between the concave portion and the atmospheric pressure. At this time, it is preferable to heat the substrate from the viewpoint of adhesion.

【0015】少なくとも2つの壁状スペーサにより多重
スペーサラインを構成する場合、壁状スペーサ間の間隔
が、1対の前記基板間の間隔以下であることが好まし
い。
When a multi-spacer line is constituted by at least two wall-like spacers, the distance between the wall-like spacers is preferably equal to or less than the distance between a pair of the substrates.

【0016】また、このような液晶表示素子では、1対
の基板間の密着と液晶注入を同時に行うことが容易とな
る。頭頂部に凹部を有する壁状スペーサまたは多重スペ
ーサラインを有する基板を、もう一つの基板と重ね合わ
せて機械的にプレスし、液晶を真空注入すると、液晶は
電極間に優先的に浸透していき、壁状スペーサの凹部あ
るいは多重スペーサラインを構成する壁状スペーサ間の
間隙には、ほとんど浸透していかない。したがって、液
晶を注入した後、液晶表示素子を大気圧に戻した時に、
外部の大気圧と、壁状スペーサの凹部あるいは壁状スペ
ーサ間の間隙との圧力差によって、1対の基板を密着状
態に固定することができる。
Further, in such a liquid crystal display device, it becomes easy to simultaneously perform the close contact between the pair of substrates and the injection of the liquid crystal. When a substrate with a wall-shaped spacer with a concave portion at the top or a multiple spacer line is overlapped with another substrate and mechanically pressed, and liquid crystal is vacuum injected, the liquid crystal preferentially penetrates between the electrodes. However, it hardly penetrates into the recesses of the wall-like spacers or the gaps between the wall-like spacers constituting the multiple spacer line. Therefore, when the liquid crystal display element is returned to the atmospheric pressure after injecting the liquid crystal,
The pair of substrates can be fixed in close contact with each other by the pressure difference between the external atmospheric pressure and the recess of the wall-shaped spacer or the gap between the wall-shaped spacers.

【0017】狭持される液晶として、強誘電性液晶ある
いは反強誘電性液晶等のスメクチック相を有する液晶を
用いた場合、スメクチック相を有する液晶の欠点とされ
る対衝撃性や配向性を著しく改善することができる。
When a liquid crystal having a smectic phase such as a ferroelectric liquid crystal or an antiferroelectric liquid crystal is used as the liquid crystal to be held, the liquid crystal having the smectic phase has a remarkable impact resistance and orientation, which are disadvantages of the liquid crystal having the smectic phase. Can be improved.

【0018】なお、壁状スペーサが基板の電極形成位置
以外の位置に配置されていることが、液晶表示素子の開
口率の面から好ましい。
It is preferable that the wall-shaped spacer is arranged at a position other than the electrode forming position on the substrate from the viewpoint of the aperture ratio of the liquid crystal display element.

【0019】また、壁状スペーサの表面に配向制御層が
設けられていると、液晶の均一な配向を得るために効果
的である。
If an alignment control layer is provided on the surface of the wall-like spacer, it is effective to obtain a uniform alignment of the liquid crystal.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0021】(第1の実施形態)図1は本発明の第1の
実施形態の液晶表示素子を示している。この液晶表示素
子の構成について以下に説明する。
(First Embodiment) FIG. 1 shows a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention. The configuration of this liquid crystal display element will be described below.

【0022】透明な電極2を有する透明な基板1上に、
壁状スペーサ3が形成され、さらにその上にポリイミド
からなる配向制御層4が形成されている。これに対し、
透明な電極6を有しポリイミドからなる配向制御層7が
形成されているもう一つの基板5が、互いに配向制御層
4,7同士が対向するように重ね合わされて固定されて
いる。両基板1,5間(両配向制御層4,7間)には液
晶8が封入されている。両配向制御層4,7は、ラビン
グにより同一方向に配向処理が施されている。この液晶
表示装置において、壁状スペーサ3の頭頂部(もう一つ
の基板5と接する先端部)に、凹部9が形成されてい
る。この凹部9は、もう一つの基板5の配向制御層7に
塞がれ、端部は接着材12(図4,5参照)に封止され
て密封状態にあり、内部は負圧に保たれている。両基板
1,5(両配向制御層4,7)は、接着剤による接着
や、加熱処理が行われておらず、凹部9内の負圧に起因
する吸着力により、互いに固定されている。
On a transparent substrate 1 having a transparent electrode 2,
A wall-shaped spacer 3 is formed, and an orientation control layer 4 made of polyimide is further formed thereon. In contrast,
Another substrate 5 having a transparent electrode 6 on which an orientation control layer 7 made of polyimide is formed is fixed by being overlapped so that the orientation control layers 4 and 7 face each other. A liquid crystal 8 is sealed between the substrates 1 and 5 (between the alignment control layers 4 and 7). Both alignment control layers 4 and 7 are subjected to an alignment treatment in the same direction by rubbing. In this liquid crystal display device, a recess 9 is formed at the top of the wall-shaped spacer 3 (at the tip in contact with another substrate 5). The recess 9 is closed by the orientation control layer 7 of the other substrate 5, the end is sealed by an adhesive 12 (see FIGS. 4 and 5), and the inside is kept at a negative pressure. ing. The substrates 1 and 5 (both the orientation control layers 4 and 7) are not bonded to each other by an adhesive or subjected to heat treatment, and are fixed to each other by an attraction force caused by a negative pressure in the recess 9.

【0023】次に、この液晶表示装置の製造方法につい
て、図2〜5を参照して説明する。
Next, a method of manufacturing the liquid crystal display device will be described with reference to FIGS.

【0024】まず、透明な電極2を有する透明な基板1
上に、フォトレジスト10を塗布する(図2(a)参
照)。このフォトレジスト10上にグレイマスク11を
置く(図2(b)参照)。このグレイマスク11は、図
2(b)には模式的に示しているが、電極2の部分をマ
スクして壁状スペーサ3を形成すべき部分をマスクせ
ず、ただし、マスクしない部分の中央が僅かに薄い階調
を有するマスクである。それから、フォトレジスト11
が塗布された基板1に光照射を行った後、未硬化部分を
溶媒で除去し、中央部に凹部9を有する壁状スペーサ3
を形成する(図2(c)参照)。この壁状スペーサ3を
有する基板1に、ポリイミドからなる配向制御層4を塗
布形成し、壁状スペーサ3と平行にラビング処理を行う
(図2(d)参照)。
First, a transparent substrate 1 having a transparent electrode 2
A photoresist 10 is applied thereon (see FIG. 2A). A gray mask 11 is placed on the photoresist 10 (see FIG. 2B). Although this gray mask 11 is schematically shown in FIG. 2B, the portion of the electrode 2 that is to be formed is not masked by masking the portion of the electrode 2, but the center of the unmasked portion is not masked. Is a mask having a slightly lighter gradation. Then, the photoresist 11
After irradiating light to the substrate 1 coated with the resin, the uncured portion is removed with a solvent, and the wall-shaped spacer 3 having the concave portion 9 in the center portion is removed.
Is formed (see FIG. 2C). An orientation control layer 4 made of polyimide is applied and formed on the substrate 1 having the wall-shaped spacer 3, and a rubbing process is performed in parallel with the wall-shaped spacer 3 (see FIG. 2D).

【0025】一方、もう一枚の透明な電極6を有する透
明な基板5に、ポリイミドからなる配向制御層7を塗布
形成し、壁状スペーサ3を有する基板1の配向制御層4
と同一方向となるようにラビング処理を行う(図3参
照)。
On the other hand, an orientation control layer 7 made of polyimide is applied to another transparent substrate 5 having a transparent electrode 6 by coating, and the orientation control layer 4 of the substrate 1 having the wall spacer 3 is formed.
A rubbing process is performed so as to be in the same direction as (see FIG. 3).

【0026】それから、両基板1,5を、互いに配向制
御層4,7同士が対向するように重ね合わせて貼り合わ
せる(図4参照)。具体的には、図示しないが、この素
子を加圧治具に挟み込み機械的に加圧した状態で、減圧
器に入れ減圧を行う。減圧雰囲気内で、図4,5に模式
的に示すように、壁状スペーサ3の端部で開放されてい
る凹部9を接着剤12で塞ぎ、壁状スペーサ3を基板5
に密着させたまま減圧器外(大気中)に取り出す。こう
すると、凹部9内は減圧雰囲気に保持されたまま、液晶
表示素子が大気中に存在するため、凹部9内が外気圧に
比べて負圧状態となり、吸引力が発生する。この吸引力
により、両基板1,5が互いに引き付け合って、固定さ
れる。その後、両基板1,5間でシール17により区画
された領域内に強誘電性液晶8を真空注入し、図示しな
いが、液晶8を注入した部分を接着剤で塞ぐ。この真空
注入時の気圧は、基板密着時の気圧よりも高くし、基板
1,5の剥がれを防ぐ。このようにして、図1に示す液
晶表示素子が製造される。
Then, the two substrates 1 and 5 are laminated and bonded so that the orientation control layers 4 and 7 face each other (see FIG. 4). Specifically, although not shown, this element is inserted into a pressure jig and mechanically pressurized. In a reduced-pressure atmosphere, as shown schematically in FIGS. 4 and 5, a concave portion 9 opened at an end of the wall-shaped spacer 3 is closed with an adhesive 12, and the wall-shaped spacer 3 is
Take it out of the pressure reducer (in the air) while keeping it in close contact with. In this case, since the liquid crystal display element is present in the atmosphere while the inside of the concave portion 9 is kept in a reduced pressure atmosphere, the inside of the concave portion 9 is in a negative pressure state as compared with the outside air pressure, and a suction force is generated. Due to this suction force, the substrates 1 and 5 are attracted to each other and fixed. Thereafter, the ferroelectric liquid crystal 8 is vacuum-injected into a region defined by the seal 17 between the two substrates 1 and 5, and the portion into which the liquid crystal 8 is injected is closed with an adhesive (not shown). The pressure at the time of vacuum injection is made higher than the pressure at the time of close contact of the substrates to prevent the substrates 1 and 5 from peeling off. Thus, the liquid crystal display device shown in FIG. 1 is manufactured.

【0027】なお、この液晶表示素子を液晶材料の等方
相温度まで加熱し、それから1℃/minで室温まで徐冷
したところ、光漏れのない均一な配向を得ることができ
た。さらに、この液晶表示素子は、衝撃にも強いもので
あった。
When this liquid crystal display element was heated to the isotropic phase temperature of the liquid crystal material and then gradually cooled to room temperature at 1 ° C./min, a uniform alignment without light leakage could be obtained. Further, this liquid crystal display element was resistant to impact.

【0028】(第2の実施形態)図6は本発明の第2の
実施形態の液晶表示素子を示している。第1の実施例と
同様の構成については、同一の符号を付与し、説明を省
略する。
(Second Embodiment) FIG. 6 shows a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0029】本実施形態の液晶表示素子は、隣接する2
本の壁状スペーサ13を対として構成された二重スペー
サライン14を有している。すなわち、第1の実施形態
のように凹部9は有しておらず比較的薄い壁状スペーサ
13が2つ微小な間隔をおいて実質的に平行に形成され
て二重スペーサライン14が構成されている。スペーサ
以外の部分については第1の実施形態と同様な構成であ
る。
The liquid crystal display element of the present embodiment has two adjacent
It has a double spacer line 14 configured as a pair of book-like spacers 13. That is, unlike the first embodiment, the double spacer line 14 is formed by forming two relatively thin wall-shaped spacers 13 substantially parallel to each other at a small interval without having the concave portion 9. ing. Portions other than the spacers have the same configuration as in the first embodiment.

【0030】図7に要部を示す本実施形態の製造方法
は、第1の実施形態と同様であり、両基板1,5を、互
いに配向制御層4,7同士が対向するように重ね合わせ
て貼り合わせるために、この素子を加圧治具に挟み込み
機械的に加圧した状態で、反強誘電性の液晶15を真空
注入する。図8に示すように、液晶15は、シール17
にて区画された領域に浸透する。このとき、二重スペー
サライン14を構成する1対の壁状スペーサ13間の間
隙16には、ごく僅かな量の液晶15が浸入する。この
浸入した少量の液晶15が、壁状スペーサ13の両端部
で開放されている間隙16を塞ぐ。なお、前記の通り、
液晶15は狭い間隙16内へはごく少量しか浸透してい
かないので、間隙16内が液晶15で満たされることは
ないが、間隙16の両端部を封止することは可能であ
る。その後、液晶15の注入口18を接着剤で塞ぐ。
The manufacturing method of the present embodiment, the main part of which is shown in FIG. 7, is the same as that of the first embodiment, and the substrates 1 and 5 are overlapped so that the orientation control layers 4 and 7 face each other. In order to attach the element, the element is sandwiched by a pressing jig and the anti-ferroelectric liquid crystal 15 is vacuum-injected while being mechanically pressed. As shown in FIG. 8, the liquid crystal 15
Penetrates into the area defined by. At this time, a very small amount of liquid crystal 15 penetrates into the gap 16 between the pair of wall-shaped spacers 13 constituting the double spacer line 14. A small amount of the liquid crystal 15 that has entered the gap 16 that is open at both ends of the wall-shaped spacer 13. As mentioned above,
Since the liquid crystal 15 penetrates only a small amount into the narrow gap 16, the gap 16 is not filled with the liquid crystal 15, but it is possible to seal both ends of the gap 16. Thereafter, the injection port 18 of the liquid crystal 15 is closed with an adhesive.

【0031】液晶表示素子を大気圧に戻すと、二重スペ
ーサライン14をなす1対の壁状スペーサ13間の間隙
16内は、少量の液晶15に封止されて減圧雰囲気に保
持されたまま、液晶表示素子は大気中に存在するため、
間隙16内が外気圧に比べて負圧状態となり、吸引力が
発生する。この吸引力により、両基板1,5が互いに引
き付け合って、固定される。このようにして、図6に示
す液晶表示素子が製造される。
When the liquid crystal display element is returned to the atmospheric pressure, the space 16 between the pair of wall-shaped spacers 13 forming the double spacer line 14 is sealed with a small amount of liquid crystal 15 and kept in a reduced pressure atmosphere. Since the liquid crystal display element exists in the atmosphere,
The inside of the gap 16 is in a negative pressure state as compared with the outside air pressure, and a suction force is generated. Due to this suction force, the substrates 1 and 5 are attracted to each other and fixed. Thus, the liquid crystal display device shown in FIG. 6 is manufactured.

【0032】2つの壁状スペーサ13により二重スペー
サライン14を構成する場合、壁状スペーサ13間の間
隔が、1対の基板1,5間の間隔以下であると、圧力差
による吸引効果をより強く発揮できるので好ましい。
When the double spacer line 14 is constituted by the two wall spacers 13, if the distance between the wall spacers 13 is smaller than the distance between the pair of substrates 1 and 5, the suction effect due to the pressure difference will be reduced. It is preferable because it can exert more strength.

【0033】なお、本実施形態では、2つの壁状スペー
サ13により二重スペーサライン14を構成している
が、3つ以上の壁状スペーサラインにより多重(三重以
上の)スペーサラインを構成してもよい。
In this embodiment, the double spacer line 14 is constituted by two wall-shaped spacers 13. However, a multiplex (triple or more) spacer line is constituted by three or more wall-shaped spacer lines. Is also good.

【0034】こうして製造した液晶表示素子は、隣接し
た壁状スペーサ13間の間隙16に液晶15がほとんど
浸透しておらず、加圧治具をはずした後も両基板1,5
は密着したままであった。この液晶表示素子を、第1の
実施形態と同様に加熱・徐冷したところ、光漏れのない
均一な配向を得ることができた。さらにこの液晶表示素
子は、衝撃にも強いものであった。
In the liquid crystal display element thus manufactured, the liquid crystal 15 hardly penetrates into the gap 16 between the adjacent wall-shaped spacers 13, and the two substrates 1, 5 remain even after the pressing jig is removed.
Remained in close contact. When this liquid crystal display element was heated and gradually cooled in the same manner as in the first embodiment, a uniform alignment without light leakage could be obtained. Further, this liquid crystal display element was resistant to impact.

【0035】(実施形態3)本実施形態では、図示しな
いが、第2の実施形態と実質的に同様な構成の液晶表示
素子において、配向制御層4,7への配向処理をラビン
グ処理ではなく光配向処理を行った。すなわち、第2の
実施形態と同様に、図7(a)に示すように、隣接した
壁状スペーサ13からなる二重スペーサライン14を有
する基板1を作成した後、図7(b)に示すように、ポ
リイミドからなる配向制御層4を塗布形成し、偏向紫外
線光を照射し、光配向処理を行う。もう一方の基板5に
も配向制御層7を塗布形成して同様に光配向処理を行
い、両基板1,5を重ね合わせる。その後、第2の実施
形態と同様に、機械的加圧および液晶の真空注入を経て
液晶表示素子を製造する。こうして製造した液晶表示素
子を、第1の実施形態と同様に加熱・徐冷したところ、
光漏れのない均一な配向を得ることができた。さらにこ
の液晶表示素子は、衝撃にも強いものであった。
(Embodiment 3) In the present embodiment, although not shown, in the liquid crystal display element having substantially the same configuration as that of the second embodiment, the alignment processing for the alignment control layers 4 and 7 is not performed by rubbing. Photo-alignment treatment was performed. That is, similarly to the second embodiment, as shown in FIG. 7A, after the substrate 1 having the double spacer lines 14 including the adjacent wall-shaped spacers 13 is formed, the substrate 1 shown in FIG. As described above, the orientation control layer 4 made of polyimide is applied and formed, and a photo-alignment treatment is performed by irradiating polarized ultraviolet light. The other substrate 5 is coated with an orientation control layer 7 and subjected to the same photo-alignment treatment. Thereafter, similarly to the second embodiment, a liquid crystal display element is manufactured through mechanical pressure and vacuum injection of liquid crystal. When the liquid crystal display element thus manufactured was heated and gradually cooled in the same manner as in the first embodiment,
A uniform alignment without light leakage was obtained. Further, this liquid crystal display element was resistant to impact.

【0036】なお、第1の実施形態と同様に頭頂部に凹
部9を有する壁状スペーサ3を備えた構成の液晶表示素
子において、配向制御層にラビング処理ではなく光配向
処理を施しても、同様な効果が得られる。
In the liquid crystal display device having the wall-shaped spacer 3 having the concave portion 9 at the top as in the first embodiment, even if the alignment control layer is subjected to a photo-alignment treatment instead of a rubbing treatment. Similar effects can be obtained.

【0037】次に、図示しないが、前記した本発明の各
実施形態と対比するための比較例について説明する。
Next, although not shown, a comparative example for comparison with each of the above-described embodiments of the present invention will be described.

【0038】(第1の比較例)透明電極を有する透明基
板にフォトレジストを塗布した。このフォトレジスト上
に所定のフォトマスク(第1の実施形態で用いたグレイ
マスクとは異なり階調のないもの)を置き、光照射を行
った後、未硬化部分を溶媒で除去し、電極間に1本の壁
状スペーサ(第1の実施形態のような凹部のないもの)
を形成した。その後、第1〜3の実施形態と同様に、壁
状スペーサ基板およびもう一方の基板に配向制御層を形
成して配向処理を行った。両基板を貼り合わせ機械的に
加圧し、150℃で2時間加熱を行った。このようにし
て製造した液晶表示素子では、壁状スペーサともう一方
の基板とは密着していなかった。
(First Comparative Example) A transparent substrate having a transparent electrode was coated with a photoresist. A predetermined photomask (one having no gradation unlike the gray mask used in the first embodiment) is placed on this photoresist, and after light irradiation, the uncured portion is removed with a solvent, One wall-shaped spacer (without concave portion as in the first embodiment)
Was formed. After that, similarly to the first to third embodiments, an alignment control layer was formed on the wall-shaped spacer substrate and the other substrate, and an alignment process was performed. The two substrates were bonded and mechanically pressed, and heated at 150 ° C. for 2 hours. In the liquid crystal display device thus manufactured, the wall-shaped spacer and the other substrate were not in close contact.

【0039】(第2の比較例)第1の比較例と同様に両
基板を作成し、貼り合わせ時の加熱温度を220℃とし
た。その他の工程は第1の実施形態と同様にして製造し
た液晶表示素子では、壁状スペーサはもう一方の基板に
密着したが、強誘電性電性液晶を真空注入し、液晶材料
の等方相温度に加熱してから1℃/minで室温まで徐冷
したところ、液晶は配向していなかった。
(Second Comparative Example) Both substrates were prepared in the same manner as in the first comparative example, and the heating temperature at the time of bonding was 220 ° C. In the other steps, in the liquid crystal display device manufactured in the same manner as in the first embodiment, the wall-shaped spacer adhered to the other substrate, but the ferroelectric liquid crystal was vacuum-injected and the isotropic phase of the liquid crystal material was changed. The liquid crystal was not oriented when it was gradually cooled to room temperature at 1 ° C./min after heating to the temperature.

【0040】前記した第1の実施形態では、基板1,5
間に狭持される液晶として強誘電性液晶8を用い、第2
の実施形態では反強誘電性液晶15を用いているが、液
晶の種類について限定されるものではない。ただし、強
誘電性液晶8あるいは反強誘電性液晶15等のスメクチ
ック相を有する液晶材料を用いる場合、スメクチック相
を有する液晶の欠点とされる対衝撃性や配向性を著しく
改善することができるため、本発明の構成は特に効果的
である。
In the first embodiment, the substrates 1, 5
The ferroelectric liquid crystal 8 is used as the liquid crystal held between
In the embodiment, the antiferroelectric liquid crystal 15 is used, but the type of the liquid crystal is not limited. However, when a liquid crystal material having a smectic phase such as the ferroelectric liquid crystal 8 or the antiferroelectric liquid crystal 15 is used, impact resistance and orientation, which are disadvantages of the liquid crystal having a smectic phase, can be significantly improved. The configuration of the present invention is particularly effective.

【0041】本発明の液晶表示素子は、電極2,6を有
する1対の基板1,5間に液晶8,15が挟持されてい
る構造であり、両方の基板1,5が透明である光透過型
のみならず、いずれか一方の基板が不透明な光反射型の
液晶表示素子にも適用できる。例えば、液晶材料を透明
な基板と光反射板間に挟持した素子構造、電極を有する
透明な基板と電極を有する光吸収板間に挟持した素子構
造等がある。前者の場合、光反射板は光を反射する材料
で構成されていれば無機材料でも有機材料でも構わな
い。また反射強度または反射波長は目的とする素子特性
により任意に変更できる。その構造は光反射材料が光反
射板全体を形成しているものであってもよいし、光反射
材料がガラス等の別の材質による基板上にコーティング
されていてもよい。光反射材料をコーティングした場
合、光反射材料が液晶層側にある必要はない。また光反
射材料をコーティングする基板は光反射材料が調光層側
に位置していない場合は必ずしも透明である必要はな
い。後者の場合、光吸収板は光を吸収する材料で構成さ
れていれば無機材料でも有機材料でも構わない。吸収強
度または吸収波長は目的とする素子特性により任意に変
更できる。その構造は光吸収材料が光吸収板全体を形成
しているものであってもよいし、光吸収材料がガラス等
の異なる材質の基板上にコーティングされていてもよ
い。光吸収材料をコーティングした場合、光吸収材料が
液晶層側にある必要はない。また光吸収材料をコーティ
ングする基板は光吸収材料が液晶層側に位置していない
場合は必ずしも透明である必要はない。
The liquid crystal display device of the present invention has a structure in which liquid crystals 8 and 15 are sandwiched between a pair of substrates 1 and 5 having electrodes 2 and 6, and both substrates 1 and 5 are transparent. The present invention can be applied to not only a transmission type but also a light reflection type liquid crystal display device in which one of the substrates is opaque. For example, there are an element structure in which a liquid crystal material is sandwiched between a transparent substrate and a light reflecting plate, and an element structure in which a liquid crystal material is sandwiched between a transparent substrate having electrodes and a light absorbing plate having electrodes. In the former case, the light reflecting plate may be made of an inorganic material or an organic material as long as it is made of a material that reflects light. Further, the reflection intensity or the reflection wavelength can be arbitrarily changed according to the target device characteristics. The structure may be such that the light reflecting material forms the entire light reflecting plate, or the light reflecting material may be coated on a substrate made of another material such as glass. When a light reflecting material is coated, the light reflecting material does not need to be on the liquid crystal layer side. The substrate on which the light reflecting material is coated is not necessarily required to be transparent when the light reflecting material is not located on the light control layer side. In the latter case, the light absorbing plate may be made of an inorganic material or an organic material as long as it is made of a material that absorbs light. The absorption intensity or absorption wavelength can be arbitrarily changed depending on the target device characteristics. The structure may be such that the light absorbing material forms the entire light absorbing plate, or the light absorbing material may be coated on a substrate made of a different material such as glass. When coated with a light absorbing material, the light absorbing material need not be on the liquid crystal layer side. Further, the substrate on which the light absorbing material is coated is not necessarily required to be transparent when the light absorbing material is not located on the liquid crystal layer side.

【0042】液晶表示素子の構成としては、従来の技術
が適用できる。電極2,6としてはインジウム−スズ−
オキサイド(ITO)等が利用できるが、ポリピロール
等の有機導電性薄膜も利用できる。また、使用する基板
1,5自身が導電性を有している場合は、基板1,5を
電極2,6としても利用することもできる。前記した光
反射材料または光吸収材料が導電性を有している場合に
は、これらを電極2,6としても利用することができ
る。電極2,6は調光層と密着した状態で設置される。
As the configuration of the liquid crystal display element, a conventional technique can be applied. The electrodes 2 and 6 are indium-tin-
Oxide (ITO) or the like can be used, but an organic conductive thin film such as polypyrrole can also be used. When the substrates 1 and 5 used themselves have conductivity, the substrates 1 and 5 can also be used as the electrodes 2 and 6. When the above-mentioned light reflecting material or light absorbing material has conductivity, these can also be used as the electrodes 2 and 6. The electrodes 2 and 6 are installed in a state of being in close contact with the light control layer.

【0043】配向制御層4,7としては、ポリイミドが
溶剤に溶け込んでいる可溶性タイプのポリイミドや焼成
してポリイミド化する焼成タイプのポリイミド、あるい
はナイロン等が利用できる。配向処理としては、前記し
たとおり、配向制御層4,7を布で擦るラビング処理や
偏向紫外線光の照射によって行われる光配向処理を利用
できる。また、本発明に用いられる基板1,5の材質
は、ガラス、プラスチック、金属等である。また、カラ
ーフィルターを有する基板1,5を用いたり、顔料や色
素等を基板中に分散させることによって、カラー化する
ことができる。基板1,5は電極2,6が調光層側にな
るように設置する。
As the orientation control layers 4 and 7, a soluble type polyimide in which polyimide is dissolved in a solvent, a baked type polyimide which is baked to form a polyimide, nylon, or the like can be used. As described above, a rubbing process of rubbing the orientation control layers 4 and 7 with a cloth or a photo-alignment process performed by irradiation with polarized ultraviolet light can be used as the orientation process. The materials of the substrates 1 and 5 used in the present invention are glass, plastic, metal and the like. Coloring can be achieved by using the substrates 1 and 5 having a color filter, or by dispersing a pigment or a dye in the substrate. The substrates 1 and 5 are set so that the electrodes 2 and 6 are on the dimming layer side.

【0044】本発明の液晶表示素子は、薄層トランジス
タ(TFT)素子、メタル−インシュレーター−メタル
(MIM)素子などの能動素子と組み合わせて用いるこ
とも可能であり、用途に応じて単純マトリックスで駆動
させることもできる。
The liquid crystal display device of the present invention can be used in combination with an active device such as a thin-layer transistor (TFT) device or a metal-insulator-metal (MIM) device, and is driven by a simple matrix according to the application. It can also be done.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明によると、液晶表示素子の基板間
隔が均一で厳密に制御可能であり、外圧による変形に強
く、高いコントラストが得られる。しかも、構成が簡単
で、製造が容易である。
According to the present invention, the distance between the substrates of the liquid crystal display device is uniform and strictly controllable, and is resistant to deformation due to external pressure, and a high contrast is obtained. Moreover, the structure is simple and the manufacture is easy.

【0046】1対の基板間に設けられる壁状スペーサの
頭頂部に凹部を形成する場合、フォトマスクとしてグレ
イマスク(階調を有するフォトマスク)を用いたフォト
リソグラフィ法によって形成することができる。また、
1対の基板間に実質的に平行な複数の壁状スペーサから
なる多重スペーサラインを形成する場合、通常のフォト
リソグラフィ法によって形成することができる。また、
フォトリソグラフィ法の代わりに高精細の印刷手法等で
形成することもできる。いずれにしても、従来から用い
られている容易な方法で形成可能である。そして、これ
らの壁状スペーサ上に配向制御層を設けることにより、
高い配向特性を保つことができる。
When a recess is formed at the top of a wall-like spacer provided between a pair of substrates, the recess can be formed by a photolithography method using a gray mask (photomask having a gradation) as a photomask. Also,
When forming a multiple spacer line composed of a plurality of substantially parallel wall-like spacers between a pair of substrates, it can be formed by a usual photolithography method. Also,
Instead of the photolithography method, it can be formed by a high-definition printing method or the like. In any case, it can be formed by an easy method conventionally used. By providing an orientation control layer on these wall-like spacers,
High alignment characteristics can be maintained.

【0047】なお、壁状スペーサが基板の電極形成位置
以外の位置に配置されていることが、液晶表示素子の開
口率の面から好ましい。
It is preferable that the wall-shaped spacer is arranged at a position other than the electrode forming position on the substrate from the viewpoint of the aperture ratio of the liquid crystal display element.

【0048】また、壁状スペーサの表面に配向制御層が
設けられていると、液晶の均一な配向を得るために効果
的である。
When an alignment control layer is provided on the surface of the wall-like spacer, it is effective to obtain a uniform alignment of the liquid crystal.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態の液晶表示素子の構成
を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】第1の実施形態の液晶表示素子の一方の基板の
製造工程を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a step of manufacturing one substrate of the liquid crystal display element of the first embodiment.

【図3】第1の実施形態の液晶表示素子の他方の基板の
製造工程を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a step of manufacturing the other substrate of the liquid crystal display device of the first embodiment.

【図4】第1の実施形態の液晶表示素子の両基板の貼り
合わせ工程を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a step of bonding both substrates of the liquid crystal display element of the first embodiment.

【図5】第1の実施形態の液晶表示素子の凹部封止工程
を示す模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a recess sealing step of the liquid crystal display element of the first embodiment.

【図6】本発明の第2の実施形態の液晶表示素子の構成
を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display element according to a second embodiment of the present invention.

【図7】第2の実施形態の液晶表示素子の一方の基板の
製造工程を示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a step of manufacturing one substrate of the liquid crystal display device of the second embodiment.

【図8】第2の実施形態の液晶表示素子の液晶注入およ
び間隙封止工程を示す模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram showing a liquid crystal injection and gap sealing step of the liquid crystal display element of the second embodiment.

【図9】第1の従来例の液晶表示素子の構成を示す断面
図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display device of a first conventional example.

【図10】第2の従来例の液晶表示素子の構成を示す断
面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display device of a second conventional example.

【図11】第3の従来例の液晶表示素子の構成を示す断
面図である。
FIG. 11 is a sectional view showing a configuration of a liquid crystal display device of a third conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 電極 3 壁状スペーサ 4 配向制御層 5 基板 6 電極 7 配向制御層 8 液晶 9 凹部 10 フォトレジスト 11 グレイマスク 12 接着剤 13 壁状スペーサ 14 二重スペーサライン(多重スペーサライン) 15 液晶 16 間隙 17 シール 18 注入口 Reference Signs List 1 substrate 2 electrode 3 wall spacer 4 alignment control layer 5 substrate 6 electrode 7 alignment control layer 8 liquid crystal 9 concave portion 10 photoresist 11 gray mask 12 adhesive 13 wall spacer 14 double spacer line (multiple spacer line) 15 liquid crystal 16 Gap 17 Seal 18 Inlet

フロントページの続き Fターム(参考) 2H089 LA13 LA42 LA47 NA25 NA30 NA49 PA08 QA03 QA14 QA15 RA13 RA14 TA04 2H090 HB08Y JA03 JC03 KA14 KA15 LA02 LA03 MB01 MB14 5C094 AA03 AA06 AA31 BA03 BA49 CA19 EC03 EC04 5G435 AA02 AA07 BB12 Continued on the front page F term (reference) 2H089 LA13 LA42 LA47 NA25 NA30 NA49 PA08 QA03 QA14 QA15 RA13 RA14 TA04 2H090 HB08Y JA03 JC03 KA14 KA15 LA02 LA03 MB01 MB14 5C094 AA03 AA06 AA31 BA03 BA49 CA19 EC03 EC04 5G435 ABB

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電極を有する1対の基板間に液晶が狭持
されている液晶表示素子において、 少なくとも一方の前記基板上に壁状スペーサが設けられ
ており、前記壁状スペーサの頭頂部に凹部が設けられて
いることを特徴とする液晶表示素子。
1. A liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates having electrodes, wherein a wall-shaped spacer is provided on at least one of the substrates, and a top of the wall-shaped spacer is provided on the top of the wall-shaped spacer. A liquid crystal display device comprising a concave portion.
【請求項2】 前記壁状スペーサの前記凹部内の気圧と
大気圧との圧力差によって生じる吸着力により、1対の
前記基板が互いに固定されている、請求項1に記載の液
晶表示素子。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the pair of substrates are fixed to each other by an attraction force generated by a pressure difference between an atmospheric pressure and an atmospheric pressure in the recess of the wall-shaped spacer.
【請求項3】 電極を有する1対の基板間に液晶が狭持
されている液晶表示素子において、 少なくとも一方の前記基板上に、実質的に平行な少なく
とも2つの壁状スペーサからなる多重スペーサラインが
設けられており、前記多重スペーサラインを構成する前
記少なくとも2つの壁状スペーサ間に間隙が存在するこ
とを特徴とする液晶表示素子。
3. A liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates having electrodes, wherein a multi-spacer line comprising at least two substantially parallel wall-shaped spacers on at least one of the substrates. And a gap is present between the at least two wall-shaped spacers constituting the multiple spacer line.
【請求項4】 前記多重スペーサラインを構成する前記
壁状スペーサ間の前記間隙内の気圧と大気圧との圧力差
によって生じる吸着力により、1対の前記基板が互いに
固定されている、請求項3に記載の液晶表示素子。
4. A pair of said substrates are fixed to each other by an adsorption force generated by a pressure difference between an atmospheric pressure and an atmospheric pressure in said gap between said wall-like spacers constituting said multiple spacer line. 4. The liquid crystal display device according to 3.
【請求項5】 前記多重スペーサラインを構成する前記
壁状スペーサ間の間隔が、1対の前記基板間の間隔以下
である、請求項3または4に記載の液晶表示素子。
5. The liquid crystal display device according to claim 3, wherein an interval between the wall-like spacers constituting the multiple spacer line is equal to or less than an interval between a pair of the substrates.
【請求項6】 前記壁状スペーサが、前記基板の前記電
極形成位置以外の位置に配置されている、請求項1〜5
のいずれか1項に記載の液晶表示素子。
6. The device according to claim 1, wherein the wall-shaped spacer is arranged at a position other than the electrode forming position on the substrate.
The liquid crystal display device according to any one of the above items.
【請求項7】 前記壁状スペーサの表面に配向制御層が
設けられている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の
液晶表示素子。
7. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein an alignment control layer is provided on a surface of said wall-shaped spacer.
【請求項8】 1対の前記基板間に狭持される前記液晶
が、強誘電性液晶または反強誘電性液晶などのスメクチ
ック相を有する液晶である、請求項1〜7のいずれか1
項に記載の液晶表示素子。
8. The liquid crystal according to claim 1, wherein the liquid crystal sandwiched between the pair of substrates is a liquid crystal having a smectic phase such as a ferroelectric liquid crystal or an antiferroelectric liquid crystal.
A liquid crystal display element according to the item.
【請求項9】 電極を有する1対の基板間に液晶を狭持
させる液晶表示素子の製造方法において、 少なくとも一方の前記基板上に、頭頂部に凹部を有する
壁状スペーサを形成し、前記壁状スペーサの表面に配向
制御層を形成することを特徴とする液晶表示素子の製造
方法。
9. A method of manufacturing a liquid crystal display element in which a liquid crystal is held between a pair of substrates having electrodes, wherein a wall-shaped spacer having a concave portion at the top of the head is formed on at least one of the substrates. A method for manufacturing a liquid crystal display element, comprising forming an alignment control layer on a surface of a spacer in a liquid crystal display form.
【請求項10】 前記壁状スペーサの前記凹部内の気圧
と大気圧との圧力差によって生じる吸着力により、1対
の前記基板を互いに固定させている、請求項9に記載の
液晶表示素子の製造方法。
10. The liquid crystal display element according to claim 9, wherein a pair of said substrates are fixed to each other by an attraction force generated by a pressure difference between an atmospheric pressure in said concave portion of said wall-shaped spacer and an atmospheric pressure. Production method.
【請求項11】 1対の前記基板を重ね合わせた状態で
減圧雰囲気中に入れて、前記凹部が外部に開放されてい
る部分を封止した後、大気圧雰囲気中に戻すことによ
り、前記凹部内を負圧状態に維持する、請求項10に記
載の液晶表示素子の製造方法。
11. A method in which a pair of substrates are placed in a reduced pressure atmosphere in a state of being overlapped with each other to seal a portion where the concave portion is open to the outside, and then return to an atmospheric pressure atmosphere, thereby forming the concave portion. The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 10, wherein the inside is maintained in a negative pressure state.
【請求項12】 電極を有する1対の基板間に液晶材料
を狭持させる液晶表示素子の製造方法において、 少なくとも一方の前記基板上に、実質的に平行な少なく
とも2つの壁状スペーサからなる多重スペーサラインを
形成し、前記壁状スペーサの表面に配向制御層を形成す
ることを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
12. A method of manufacturing a liquid crystal display device in which a liquid crystal material is held between a pair of substrates having electrodes, wherein at least one of the substrates includes at least two substantially parallel wall-shaped spacers. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: forming a spacer line; and forming an alignment control layer on a surface of the wall-shaped spacer.
【請求項13】 前記多重スペーサラインを構成する前
記少なくとも2つの壁状スペーサ間の間隙内の気圧と大
気圧との圧力差によって生じる吸着力により、1対の前
記基板を互いに固定させている、請求項12に記載の液
晶表示素子の製造方法。
13. A pair of said substrates are fixed to each other by an adsorption force generated by a pressure difference between an atmospheric pressure and an atmospheric pressure in a gap between said at least two wall-like spacers constituting said multiple spacer line. A method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 12.
【請求項14】 1対の前記基板を重ね合わせた状態で
減圧雰囲気中に入れて、前記間隙が外部に開放されてい
る部分を封止した後、大気圧雰囲気中に戻すことによ
り、前記間隙内を負圧状態に維持する、請求項13に記
載の液晶表示素子の製造方法。
14. A method in which a pair of the substrates are placed in a reduced pressure atmosphere in a state of being overlapped, a portion where the gap is opened to the outside is sealed, and then the atmosphere is returned to an atmospheric pressure atmosphere. 14. The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 13, wherein the inside is maintained in a negative pressure state.
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